KR102457720B1

KR102457720B1 - 화학약품 장비의 표시 판넬

Info

Publication number: KR102457720B1
Application number: KR1020210026542A
Authority: KR
Inventors: 김원봉
Original assignee: 김원봉
Priority date: 2021-02-26
Filing date: 2021-02-26
Publication date: 2022-10-21
Also published as: KR20220122205A

Abstract

본 발명은, 화학장비 내에서 화학약품이 이송되는 회로도가 정면에 형성되는 패널; 상기 화학약품의 이송을 제어하는 제어부; 및 상기 화학약품의 이송상태에 따라 상기 회로도를 조명하는 조명부를 포함하는 화학약품 장비의 표시 판넬을 제공한다.

Description

화학약품 장비의 표시 판넬{Display panel for chemicals supplying apparatus}

본 발명은 화학약품 장비의 표시 판넬에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 화약약품 이송 회로도 상에서 화학약품의 이송 상태에 대응하여 조명이 이루어지는 화학약품 장비의 표시 판넬에 관한 것이다.

반도체 산업을 비롯한 전기, 전자부품 생산과정에 사용되는 고순도의 케미컬 이송장치와 화학플랜트 산업에 있어서 원료 약품류의 지속적인 공급 및 이송과정에 주로 설치되어 적용되는 약품 공급장치는 생산 공정을 연속적으로 가동하기 위해 약품 공급의 제어와 공급 상태를 표시하는 표시 판넬을 포함한다.

반도체 공정에서 공급되는 약품은 예를 들어 TEOS(Tetra Ethyl Ortho Silicate), TEB(Tri ethyl Borate), TMB(Tri Methyl Borate), TMPI(Tri Methyl Phosphite), TMOP(Tri Methyl Phosphate), TEOP(Tri Ethyl Phosphate) 등을 예시할 수 있다.

도 1은 종래의 기술에 따른 표시 판넬의 구성의 일 예를 나타내는 도면이다.

도 1을 참조하면, 종래의 기술에서 따른 표시 판넬(1)은 소정의 면적을 갖는 직사각형 형태로 이루어지고, 전면으로는 화약약품의 수요처로 약품을 공급하는 화학장비의 약품 공급 회로도(2)가 형성되어 있다.

여기서, 화약약품의 수요처로 약품을 공급하는 화학장비는 화학 약품이 저장되는 약품 저장 탱크(11a, 11b), 약품을 이송하는 관로(12) 및 관로(12)를 통한 약품 공급을 단속하는 제어밸브(V1, V2, V3, V4)를 포함한다.

여기서, 약품 공급 회로도(2) 상에는 화학장비가 포함하는 약품 저장 탱크, 관로 및 제어밸브가 각각 소정의 기호로 표시됨을 알 수 있다.

또한, 약품 공급 회로도(2) 상에서 제어밸브에 대응하는 위치에는 화학장비가 포함하는 제어밸브(V1, V2, V3, V4)를 통해 약품 수요처로 약품이 공급될 때, 제어밸브(V1, V2, V3, V4)의 개폐에 연동하는 동작 램프(L1, L2, L3, L4)가 배치된다.

따라서, 동작 램프(L1, L2, L3, L4)는 제어밸브(V1, V2, V3, V4) 각각이 개폐 동작할 때, 발광 동작하여 사용자에게 제어밸브(V1, V2, V3, V4)가 개폐됨을 알려준다.

상기와 같이, 동작 램프에 의해 제어밸브의 개폐는 알려줄 있지만, 약품을 이송하는 관로를 통한 약품 이송 상황은 표시되지 않는 문제점이 있다.

또한, 일반적인 화학 장비는 약품 공급 상황(공급되는 약품의 종류, 공급총량, 공정 진행에 따른 공급량 등)이 작업자에 의해 소정 상태로 설정되고, 설정된 상태로 자동 제어되지만, 공급되는 약품의 순도 유지를 위해 화학장비의 필터 교체, 약품 순도 확인 작업 등의 관리 작업이 빈번하게 이루어지므로, 화학장비를 수동으로 조작해야 하는 경우도 자주 발생된다.

이와 같이, 화학장비가 수동으로 조작되는 경우, 기존의 표시 판넬은 관로를 통한 약품 공급 상황이 표시되지 않음으로 인해, 작업자가 장비의 조작이 자동으로 이루어지는 것으로 혼돈하여, 화학장비의 조작을 수행하지 못함으로써 약품 수요처에서 필요한 약품 순도의 유지가 이루어지지 못하는 문제점이 있다.

또한, 기존의 화학장비에서 사용하는 표시 판넬에서 동작 램프는 밸브의 동작만을 나타낼 뿐, 관로를 통한 약품의 이송을 나타내지 못해 관로의 이상에 의해 약품 이송이 설정 상태로 이루어지지 못하는 상황을 표시하지 못하는 문제점이 있다.

본 발명에 대한 선행기술로는 등록특허 10-1258911호를 예시할 수 있다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하 것으로서, 약품 수요처로의 화약약품 공급을 위한 제어밸브 개방 조작 시, 제어밸브 측에서 출력되는 신호에 따라 동작하는 조명부에 의해 화학약품의 이송이 이루어지고 있음을 나타내는 화학약품 장비의 표시 판넬을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 제어밸브에 연결되는 관로를 통해 화학약품의 흐름이 이루어지면 이에 대응하는 신호를 출력하고, 이에 따라 표시 약품의 흐름이 표시되는 화학약품 장비의 표시 판넬을 제공하는 것을 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 밸브에 연결되는 관로를 통해 약품의 흐름이 이루어지면 공급되는 약품의 공급 압력, 공급량 등을 측정하여 사용자에게 알려줄 수 있는 화학약품 장비의 표시 판넬을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기한 목적을 달성하기 위해 본 발명은, 화학장비 내에서 화학약품이 이송되는 회로도가 정면에 형성되는 패널; 상기 화학약품의 이송을 제어하는 제어부; 및 상기 화학약품의 이송상태에 따라 상기 회로도를 조명하는 조명부를 포함하는 화학약품 장비의 표시 판넬을 제공한다.

상기 화학장비는, 상기 화학약품이 이송되는 복수개의 관로와, 상기 관로에 장착되는 제어밸브를 포함하고, 상기 조명부는, 상기 제어밸브의 작동상태에 따라 상기 제어밸브가 설치된 관로에 해당하는 상기 회로도를 선택적으로 조명할 수 있다.

상기 제어밸브는 솔레노이드 밸브이고, 상기 조명부는 상기 솔레이노이드 밸브 신호에 기초하여 점등할 수 있다.

상기 제어밸브의 작동상태를 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 밸브 작동센서를 더 포함할 수 있다.

상기 제어밸브는 공압밸브이고, 상기 밸브 작동센서는 상기 제어밸브에 인가되는 공압을 측정할 수 있다.

상기 관로 상에 배치되어 상기 관로를 통한 상기 유체의 흐름을 감지하여 해당하는 신호를 출력하는 유체 흐름 감지 센서를 더 포함할 수 있다.

상기 유체 흐름 감지 센서는, 상기 관로를 통한 유체의 흐름이 개시되면 이에 해당하는 신호를 출력하는 제1 단위 유체 흐름 감지 센서와, 상기 관로를 통한 유체의 공급압력을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 제2 단위 유체 흐름 감지 센서와, 상기 관로를 통한 유체의 공급량을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 제3 단위 유체 흐름 감지 센서를 포함할 수 있다.

상기 제어부는, 상기 제어밸브의 동작 모드를 자동 동작 모드 또는 수동 동작 모드로 설정하는 모드 설정 수단과, 작업 공정의 진행에 따른 약품의 공급 로직이 저장되는 메모리와, 상기 메모리에 저장된 공급 로직에 대응하여 상기 제어밸브로 동작 제어 신호를 출력하는 제어 유닛과, 수조작에 의해 조작되면 상기 제어밸브로 동작 제어 신호를 출력하는 밸브 스위치를 포함할 수 있다.

상기 모드 설정부가 상기 자동 동작 모드로 설정되면, 상기 제어 유닛이 동작하여 상기 제어밸브의 동작이 이루어질 수 있다.

상기 모드 설정부가 상기 수동 동작 모드로 설정되면, 상기 밸브 스위치의 수조작에 의해 상기 제어밸브의 동작이 이루어질 수 있다.

상기 조명부는, 상기 동작 모드의 설정을 나타내는 제1 단위 조명과, 상기 제어밸브의 동작 상태를 나타내는 제2 단위 조명과, 상기 관로를 통한 유체의 흐름을 표시하는 제3 단위 조명을 포함할 수 있다.

이송 대상인 상기 화학약품이 저장되는 약품 저장 탱크의 약품 저장량을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 저장량 측정부와, 상기 패널에 배치되어, 상기 저장량 측정부에 의해 측정된 상기 약품의 양을 표시하는 약품 저장량 표시부를 더 포함할 수 있다.

상기와 같은 본 발명은, 약품 수요처로의 화약약품 공급을 위한 제어밸브 개방 조작 시, 제어밸브 측에서 출력되는 신호에 따라 조명부가 동작하고, 제어밸브에 연결되는 관로를 통해 화학약품의 이송이 이루어지면 이를 감지하여 출력되는 신호에 조명부가 동작함으로써 사용자에게 제어밸브와 관로를 포함한 화학장비를 통해 화학약품의 이송이 이루어지고 있음을 나타낼 수 있다.

또한, 본 발명은 약품 수요처로 밸브에 연결되는 관로를 통해 약품의 흐름이 이루어지면 공급되는 약품의 공급 압력, 공급량 등을 측정하여 사용자에게 알려줄 수 있다.

도 1은 종래의 기술에 따른 표시 판넬의 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 화학약품 장비의 표시판넬의 구성을 나타내는 블록도이다.
도 3은 본 발명에서 사용하는 패널본체의 일 예를 나타내는 도면이다.

이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 화학약품 장비의 표시판넬의 구성을 나타내는 블록도이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학약품 장비의 표시판넬(100)은 패널(110), 제어부(120) 및 조명부(130)를 포함한다. 또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 화학약품 장비의 표시판넬(100)은 저장량 측정부(142)와 약품 저장량 표시부(144)를 더 포함한다.

패널(110)은 소정의 면적을 갖는 플레이트 형상으로 이루어진다. 패널(110)은 화학약품 장비의 일측으로 배치되거나, 화학약품 장비와 소정거리 이격된 장소(예를 들어 기기 제어실 등)에 배치된다.

패널(110) 상에는 화학약품의 이송이 이루어지는 회로도가 전면에 형성될 수 있다. 또한, 패널(110) 상에 형성된 회로도 상에는 화학약품의 이송상태에 대응하여 회로도(112)를 조명하는 후술하는 조명부(130)가 배치될 수 있다.

도 3은 본 발명에서 사용하는 패널 본체의 일 예를 나타내는 도면이다.

도 3을 참조하면, 패널(110)은 소정의 면적을 갖는 직사각형 형태로 이루어지고, 전면으로는 화약약품의 수요처로 약품을 공급하는 화학장비의 약품 공급 회로도가 형성되어 있다.

우선, 약품 공급 회로도 상에는 화약약품의 수요처로 약품을 공급하는 화학장비는 화학 약품이 저장되는 약품 저장 탱크(111a, 111b), 약품을 이송하는 관로(112) 및 관로(112)를 통한 약품 공급을 단속하는 제어밸브(V1, V2, V3, V4) 등이 각각 소정의 기호로 표시되어 있다.

약품 저장 탱크에 저장되어 있는 화학 약품을 소정의 공급처로 이송하는 관로 상에는 관로를 통해 약품의 공급이 이루어지면 약품의 흐름을 감지하여 해당하는 신호를 출력하는 유체 흐름 감지 센서(1142)가 배치될 수 있다.

유체 흐름 감지 센서(1142)는 제1 내지 제3 단위 유체 흐름 감지 센서(1142A, 1142B, 1142C)를 포함한다.

제1 단위 유체 흐름 감지 센서(1142A)는 관로를 통한 약품의 흐름이 개시되면 이를 측정하여 해당하는 신호를 출력한다.

제2 단위 유체 흐름 감지 센서(1142B)는 관로를 통해 이송되는 약품의 공급 압력을 측정하여 해당하는 신호를 출력한다.

제3 단위 유체 흐름 감지 센서(1142C)는 관로를 통한 약품의 시간당 공급량을 측정하여 해당하는 신호를 출력한다.

제1 내지 제3 단위 유체 흐름 감지 센서(1142A, 1142B, 1142C)에서 출력되는 신호는 후술하는 조명부(130)의 동작에 의해 사용자에게 표시될 수 있다.

관로를 통한 약품 공급을 단속하기 위하여 복수의 관로 상에는 적어도 하나 이상의 개수로 제어밸브가 배치될 수 있다.

제어밸브의 동작을 감지하기 위하여 제어밸브 상에는 후술하는 밸브 작동 센서(1152)가 배치된다.

여기서, 제어밸브는 솔레노이드 밸브(Solenoid Valve)일 수 있다.

솔레노이드 밸브는 후술하는 제어 유닛 또는 밸브 스위치에서 출력되는 동작 신호가 인가되면 개방되고, 동작 신호가 정지되면 폐쇄 동작하는 밸브이다.

또한, 제어밸브는 외부에서 인가되는 공압에 의해 동작하는 공압 밸브일 수 있다.

제어밸브의 동작의 위해 동작 신호가 인가될 때, 제어밸브로 인가되는 동작 신호는 후술하는 조명부(130)로도 동시에 인가될 수 있다.

제어밸브(115) 상에는 제어밸브(115)의 동작이 이루어지면 동작 상태를 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 밸브 작동 센서(1152)가 배치될 수 있다.

밸브 작동 센서(1152)는 제어밸브(115)의 동작을 위해 인가되는 공압을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 공압센서를 포함할 수 있다.

제어부(120)는 관로와 제어밸브를 통한 화학약품의 이송을 제어한다. 제어부(120)는 본 발명에서 사용하는 패널(110)에 배치될 수 있지만, 사용자의 필요에 따라 다양한 위치에 배치될 수 있다.

제어부(120)는 모드 설정 수단(122), 메모리(124), 제어 유닛(126), 밸브 스위치(128)를 포함한다.

모드 설정 수단(122)은 사용자에 의해 설정되어, 제어밸의 동작이 소정의 로직(Logic)에 따라 자동 제어되는 자동 동작 모드(M1) 또는 후술하는 밸브 스위치(128)의 수조작에 의해 제어되는 수동 동작 모드(M2)에 따라 이루어지도록 한다.

자동 동작 모드(M1)와 수동 동작 모드(M2)에 대해서는 후술하기로 한다.

메모리(124)에는 본 발명에 따른 표시판넬(100)을 사용하는 화학약품 장비를 통해 수행되는 소정의 공정(예를 들어 반도체 제조 공정)의 수행 시, 공정의 진행과 이에 대응하여 공급하는 약품의 종류, 약품의 공급량 등의 공급 로직(logic)이 저장된다.

제어 유닛(126)은 메모리(124)에 저장된 공급 로직을 출력받고, 이에 대응하는 제어 신호에 따라 제어밸브(115)에 대하여 동작 제어 신호를 출력한다.

밸브 스위치(128)는 패널(110) 상에 배치되어, 사용자의 수조작에 의해 조작된다. 밸브 스위치(128)가 조작되면, 밸브 스위치(128)에 대응하는 제어밸브의 동작이 이루어질 수 있다.

여기서, 화학장비는 하나 이상의 제어밸브를 포함하므로, 밸브 스위치(128)는 제어밸브에 대응하는 개수로 배치된다. 여기서, 밸브 스위치(128)는 패널(110) 상의 회로도상에서 밸브 스위치(128)에 대응하는 제어밸브의 위치에 배치될 수 있지만, 사용자의 필요에 따라 별도의 위치에 배치될 수도 있다.

모드 설정 수단(122), 메모리(124), 제어 유닛(126), 밸브 스위치(128)를 포함하는 제어부(120)의 동작 모드에 대해 설명하기로 한다.

자동 동작 모드(M1)는 약품 공급을 위해 동작하는 제어밸브(115)가 소정의 공급 로직에 대응하는 제어 신호의 인가에 의해 동작되는 동작 모드이다.

자동 동작 모드(M1)의 일 예를 설명하면 다음과 같다.

공정초기 시 소정의 제1 약품이 소정의 제1 설정량으로 공급되고, 이후 소정의 제2 약품이 소정의 제2 설정량으로 공급되는 로직으로 메모리(124)에 저장되어 있는 것으로 상정하기로 한다.

모드 설정 수단(122)이 자동 동작 모드(M1)로 설정되면, 제어 유닛(126)은 소정의 제1 단위 제어밸브(미도시)에 대하여 소정 시간 동안 개방이 이루어지도록 제어 신호를 출력한다. 제1 단위 제어밸브의 개방에 의해 제1 약품의 공급이 이루진 후, 제어 유닛(126)은 제1 단위 제어밸브가 폐쇄되도록 하고, 소정의 제2 단위 제어밸브(미도시)에 대하여 소정 시간 동안 개방이 이루어지도록 하여 제2 약품의 공급이 이루지도록 한 후, 제2 약품 공급이 이루어지면 제2 단위 제어밸브(115)의 폐쇄가 이루어지도록 할 수 있다.

모드 설정 수단(122)이 수동 동작 모드(M2)로 설정되면, 다음과 같이 동작한다.

수동 동작 모드(M2)는 약품 공급을 위해 동작하는 제어밸브가 사용자의 수조작에 의해 동작하는 밸브 스위치(128) 설정에 의해 개폐가 이루어지며 약품 공급이 이루어지는 동작 모드이다.

따라서, 사용자가 개폐를 필요로 하는 제어밸브에 대응하는 밸브 스위치(128)를 수조작함으로써 약품의 공급이 이루어질 수 있다.

모드 설정 수단(122)이 자동 동작 모드(M1) 또는 수동 동작 모드(M2)로 설정되면 그 설정 상태는 후술하는 제1 단위 조명(132A)을 통해 표시된다.

조명부(130)는 동작 모드의 설정에 따른 화약약품의 이송 상태에 따라 패널(110) 상에 형성된 회로도를 조명한다.

여기서, 조명부(130)는 제어유닛(126)에서 제어밸브의 동작을 위한 동작 제어 신호를 출력할 때, 동작 제어 신호에 기초하여 점등된다. 또한, 조명부(130)는 밸브 스위치(128) 조작 시 출력되는 동작 제어 신호에 기초하여 점등된다.

조명부(130)는 제1 단위 조명(132A), 제2 단위 조명(132B), 제3 단위 조명(132C)을 포함한다.

제1 단위 조명(132A)은 모드 설정 수단(122)에 의해 설정된 동작 모드를 표시한다. 여기서, 동작 모드의 표시는 발광 램프의 점멸 주기 설정에 의해 이루어질 수 있다. 예를 들어, 자동 동작 모드(M1)로 설정되면 제1 단위 조명(132A)이 일정 시간 간격으로 점멸하고, 수동 동작 모드(M2)로 설정되면 연속적으로 점등되도록 동작하는 등, 자동 동작 모드(M1)와 수동 동작 모드(M2) 설정에 따라 제1 단위 조명(132A)이 서로 다른 발광 주기로 동작이 이루어질 수 있다.

또한, 동작 모드의 표시는 자동 동작 모드(M1)와 수동 동작 모드(M2)를 제1 단위 조명(132A)의 색상 변화에 의해 표시할 수 있다.

상기와 같이, 제1 단위 조명(132A)을 통한 자동 동작 모드(M1)와 수동 동작 모드(M2)의 표시는 다양한 방식으로 이루어질 수 있다.

제2 단위 조명(132B)은 제어밸브의 동작 상태를 나타낸다.

즉, 제2 단위 조명(132B)은 화학약품 장비에서 사용되는 제어밸브와 동일한 개수로 사용된다. 그리고, 제2 단위 조명(132B) 각각은 대응하는 제어밸브로 제어 입력 시 발광 동작할 수 있다.

도면에 도시되어 있는 바와 같이, 제어밸브(V1, V2, V3, V4)에는 제2 단위 조명(132B)이 각각 연결되어 있음을 알 수 있다.

제3 단위 조명(132C)은 유체 흐름 감지 센서(1342)에서 출력되는 신호에 대응하여 동작한다.

제3 단위 조명(132C)은 패널(110) 상에 형성된 회로도(112) 상에서 관로를 나타내는 부분을 따라 배치되어, 관로를 통한 약품의 이송이 이루어질 때 제1 단위 유체 흐름 감지 센서(1342A)가 이를 감지하여 출력되는 신호에 대응하여 동작함으로써, 약품의 이송을 표시할 수 있다.

이외에도, 제3 단위 조명(132C)은 제2 및 제3 단위 유체 흐름 감지 센서(1342B, 1342C)가 감지한 약품의 공급압력과 공급량을 표시할 수 있다. 약품의 공급압력과 공급량은 소정의 수치로 표시할 수 도 있지만, 제3 단위 조명(132C)의 색상과 명도의 변화에 따라 표시할 수도 있다.

예를 들어, 약품의 공급압력이 점차 높아짐에 따라 제3 단위 조명(132C)의 색상이 청색에서 적색으로 변화되며 표시할 수 있고, 약품의 공급량이 점차 증가함에 따라 제3 단위 조명(132C)의 명도가 점차 증가되며 표시하는 등, 다양한 표시 방법으로 표시가 이루어질 수 있다.

한편, 본 발명에 따른 표시판넬(100)은 저장량 측정부(142)와 약품 저장량 표시부(144)를 더 포함할 수 있다.

저장량 측정부(142)는 약품 저장 탱크(미도시)에 저장되어 있는 약품의 양을 측정하여 해당하는 신호를 출력한다.

약품 저장량 표시부(144)는 저장량 측정부(142)에서 출력되는 신호를 입력받아, 측정된 약품의 양을 표시하여 사용자에게 알려준다.

약품 저장량 표시부(144)는 패널(110)의 일측에 배치될 수 있다.

상기와 같이 구성된 본 발명은, 약품 수요처로의 화약약품 공급을 위한 제어밸브 개방 조작 시, 제어밸브 측에서 출력되는 신호에 따라 조명부가 동작하고, 제어밸브에 연결되는 관로를 통해 화학약품의 이송이 이루어지면 이를 감지하여 출력되는 신호에 조명부가 동작함으로써 사용자에게 제어밸브와 관로를 포함한 화학장비를 통해 화학약품의 이송이 이루어지고 있음을 나타낼 수 있다. 또한, 본 발명은 약품 수요처로 밸브에 연결되는 관로를 통해 약품의 흐름이 이루어지면 공급되는 약품의 공급 압력, 공급량 등을 측정하여 사용자에게 알려줄 수 있다.

본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.

100: 화학약품 장비의 표시판넬 110: 패널
120: 제어부 130: 조명부
142: 저장량 측정부 144: 약품 저장량 표시부

Claims

화학장비 내에서 화학약품이 이송되는 회로도가 정면에 형성되는 패널;
상기 화학약품의 이송을 제어하는 제어부; 및
상기 화학약품의 이송상태에 따라 상기 회로도를 조명하는 조명부를 포함하고,
상기 화학장비는,
상기 화학약품이 이송되는 복수개의 관로와,
상기 관로에 장착되는 제어밸브를 포함하며,
상기 제어부는,
상기 제어밸브의 동작 모드를 자동 동작 모드 또는 수동 동작 모드로 설정하는 모드 설정 수단과,
작업 공정의 진행에 따른 약품의 공급 로직이 저장되는 메모리와,
상기 메모리에 저장된 공급 로직에 대응하여 상기 제어밸브로 동작 제어 신호를 출력하는 제어 유닛과,
수조작에 의해 조작되면 상기 제어밸브로 동작 제어 신호를 출력하는 밸브 스위치를 포함하는 화학약품 장비의 표시판넬.
제1항에 있어서,
상기 조명부는,
상기 제어밸브의 작동상태에 따라 상기 제어밸브가 설치된 관로에 해당하는 상기 회로도를 선택적으로 조명하는 화학약품 장비의 표시 판넬.
제2항에 있어서,
상기 제어밸브는 솔레노이드 밸브이고,
상기 조명부는 상기 솔레노이드 밸브 신호에 기초하여 점등하는 화학약품 장비의 표시판넬.
제1항에 있어서,
상기 제어밸브의 작동상태를 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 밸브 작동센서를 더 포함하는 화학약품 장비의 표시 판넬.
제4항에 있어서,
상기 제어밸브는 공압밸브이고,
상기 밸브 작동센서는 상기 제어밸브에 인가되는 공압을 측정하는 공압센서인 화학약품 장비의 표시판넬.
제2항에 있어서,
상기 관로 상에 배치되어 상기 관로를 통한 유체의 흐름을 감지하여 해당하는 신호를 출력하는 유체 흐름 감지 센서를 더 포함하는 공압센서인 화학약품 장비의 표시판넬.
제6항에 있어서,
상기 유체 흐름 감지 센서는,
상기 관로를 통한 상기 유체의 흐름이 개시되면 이에 해당하는 신호를 출력하는 제1 단위 유체 흐름 감지 센서와,
상기 관로를 통한 상기 유체의 공급압력을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 제2 단위 유체 흐름 감지 센서와,
상기 관로를 통한 상기 유체의 공급량을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 제3 단위 유체 흐름 감지 센서를 포함하는 화학약품 장비의 표시판넬.
삭제
제1항에 있어서,
상기 모드 설정 수단이 상기 자동 동작 모드로 설정되면,
상기 제어 유닛이 동작하여 상기 제어밸브의 동작이 이루어지는 화학약품 장비의 표시판넬.
제1항에 있어서,
상기 모드 설정 수단이 상기 수동 동작 모드로 설정되면,
상기 밸브 스위치의 수조작에 의해 상기 제어밸브의 동작이 이루어지는 화학약품 장비의 표시판넬.
제1항에 있어서,
상기 조명부는,
상기 동작 모드의 설정을 나타내는 제1 단위 조명과,
상기 제어밸브의 동작 상태를 나타내는 제2 단위 조명과,
상기 관로를 통한 유체의 흐름을 표시하는 제3 단위 조명을 포함하는 화학약품 장비의 표시판넬.
화학장비 내에서 화학약품이 이송되는 회로도가 정면에 형성되는 패널;
상기 화학약품의 이송을 제어하는 제어부;
상기 화학약품의 이송상태에 따라 상기 회로도를 조명하는 조명부;
이송 대상인 상기 화학약품이 저장되는 약품 저장 탱크의 약품 저장량을 측정하여 해당하는 신호를 출력하는 저장량 측정부; 및
상기 패널에 배치되어, 상기 저장량 측정부에 의해 측정된 상기 약품의 양을 표시하는 약품 저장량 표시부를 더 포함하는 화학약품 장비의 표시판넬.