TW388198B - Vacuum deposition system including mobile source - Google Patents

Description

經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 A7 B7_ 五、發明説明（） 本發明係指一種設有移動料源的真空積附系統：而此 處所稱「真空積附」係採用廣義解釋，包括在真空條件下 κ一種電級料塗佈一種物品的所有製程，例如包括蒸汽稹 附、濺鍍、和電子束蒸發法等。是μ·本發明尤指但不專 指使用像鑭逭類導電材料對霄路板基板予以塗佈所墉用的 一轤高真空蒸汽積附糸統者。 像鋦缠類導《材料可用許多方法將其蒸汽積附到《路 板基板上；當逭材料一被稹附到電路板上*便需將積附料 的理定部位蝕刻掉，以便在電路板表面上界定出専霄路徑 ;触刻掉的材料通常則被回收和再生。 對電路板基板予Μ塗佈的習用系統均涉及一個或多個 固定料涵，以便在物品被移動到真空室内時•對其塗佈。 «路板往注設有若干與其主表面保持垂直延伸的盲孔或貢 通孔•然辱霄材料很難積附到逭些盲孔和貫通孔的孔心裡 面，尤其在逭孔洞的孔徑相當小且/或深度相當深時；其 原因是相對於«路板》導霣材料必須以特定的入射角移行 始能進入孔涧和衢射到孔心上。是以•整個導電材料只剩 一小部份能滿足埴要求和進入孔洞内；有時候，只要增長 對料源的曝露時間便可克服埴問題•然，此法卻又帶來電 路板其餘部份被適度塗佈•其後仍需將過量材料予以清除 及回收的缺點。 本發明之主要目的，係在提供一種設有移動fl·源的真 空携附系統；係包括·· 一真空室；用以容萱準備«鍍的物品，· -3- ______ 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先Μ讀背面之注$項再填寫本頁) •11 線 經濟部中央櫺準局—工消费合作社印製 A7 _ B7___ 五、發明説明（） 一真空產生裝置；可供在真空室内產生真空； 一料滙：係設於真空室内以便對物品加以塗佈； —運_裝置；κ供運送真空室內的料獮*其中該料湎 靨於無定向•並包括一屏罩》以便只有遘定定向的«鍍料 ♦衡射到物品上*再由逭定向電級料刮掃該物品。 本發明之次一目的•仍係在提供一種設有移動料源的 真空積附系統；其中*該屏罩係由前述電鍍料製成*以便 易於回收衡射到該屏罩上的電鍍料。 本發明之再一目的•仍係在提供一種設有移動料源的 真空積附系統；其中*該被霄級物品宜在真空室内移動* 而物品係朝蓍第一方向在真空室内移動，而料源則朗著大 致與該第一方向保持正交的第二方向被埋送。 本發明的另一目的是提供一種設有移動料源的真空積 附系統•包括： 一真空室•用以容置準備以一種材料將其霄鍍的物品 9 一真空產生裝置，可供在真空室内產生真空； —設於真空室内可移動的屏蔽料源。 玆舉實施例並配合_式•將本發明詳述於後以求易於 瞭解及實施，其中： 第一跚：係一真空積附糸統的匾解平面_•其中輿空 室内未存有待電鍍的基板；和 第二圓：係舆空積附糸統的端剖視圖*其中設有一片 待電鍍的基板。 -4- 本紙張又度逋用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再瑰寫本頁) -,ΤΓ 歧 A7 B7 經濟部中央橾準扃貝工消费合作社印装 五、發明説明（） 圆示中元件名稱 N 編號之對照說明： 基板處理夾具： 1 基板 ：3 料瀰 1 1 孔涧 :4 旋轉位置 1 2 覆Μ屏罩 ：5 真空軸封 1 3 真空孔 ：Ύ 屏罩 2 真空室 ：9 請參閲第一圔及第二圓所示：真空室9內有一料濂1 1可生產蒸汽·以供積附到一片其内設有若干待霉級之孔 涧的基板3上。料源1 1係Μ—種容後詳述的方式設於一 屏罩2内。該料源11及屏罩2係朝蕃如第一跚中之觭頭 所示的方向移動·而基板3則朗著埴方向的横向移動。 基板3是由基板處理夾具1予以夾住·並連續或淅進 式移向旋轉位置，反之•料源1 1係以能對該基板3之第 一面發揮最佳塗蓋效果的速率及距離》來回移動越過整偭 基板3。 當基板3抵達旋轉位置1 2時*基板處理夾具1便將 其釋放，並利用真空軸封1 3的動作使其旋轉1 8 ◦度。 然後•在按照如同第一面之方式對第二面進行塗佈時，將 埴基板3送回到一裝料閜門處。此時可減低或停止料濂的 排放•直到下一片基板3經由裝料閘門送入為止。從匾中 可看出•真空室9設有一真空孔7 * —霉級料源1 1和圃 封住該料源1 1的一屏覃2。屏罩2的形狀設成僅能讓有 限數量的原子或離子從料源11柢達基板3·並可供捕集 所有其它的霣鍍料以利回收及再利用。屏罩2的製造用料 —5— 本紙張尺度適用t國國家搞準（CNS ) Α4规格（210X297公釐) — (請先閱讀背面之注$項再填寫本頁) ( 後 A7 B7 388198 五、發明説明（） (請先《讀背*之注意事項再填寫本筲) 可跟霄級料相同，並可在霄級作结柬時與捕集的廢料一起 取出及換用新屏覃》或可使用不同材料製成•以便可用物 理成化學方式回收其上的應料。屏罩2可供達到料涠所給 予的溫度*成可使用液鍾冷都、散熱、或孀熟熱交捵技鷗 者所知的其它方式使其冷郤。 屏罩2宜在基板3的邊界範臞内移動·Μ便霣鍍材料 實質不會逸出到真空室内•但邊界的邊緣若需霄鍍成均勻 厚度時•則可讓屏罩及料源移動越過邊界。在此情況下· 可加設一個覆蓋屏罩5來捕集逸出的電鍍廢料。 如果基板3設有若干準備以«級料予以«級的孔洞4 時•便將屏罩2設計成只讅霣鍍料的那些將按照蠢小孔徑 之孔洞的意欲深度而積附到孔心上的原子或離子能逸出屏 單的捕集。若是埴些孔涧的孔心比基板3厚度小（髙縱横 比）時》此舉尤其有益。 易於壤成此舉的屏罩2設計，是諝整屏罩壁面的高度 和孔洞的寬度•直到孔涧内獾榑最佳成效為止。一般說來 •當料源和屏罩移得較接近基板3時，積附率便增快，因 而滅低廢料。 經濟部中央揲準局< 工消费合作社印装 如果孔涧的位置是在基板3的邊界附近，便將料源移 動越過該邊界，確使重級材料的原子或離子能充分塗佈到 該等孔涧面對邊界的孔心處。覆蓋屏罩5可供用來捕集從 基板3邊界逸出的轚鍍料。 若需以電級料塗佈基板3的兩面時*旋轉裝置可將基 板3翻面，或在基板3的對向兩邊各設一個或數個料源* -6- 本纸涑尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Α4规格（210Χ297公釐) — 388196 A7 B7 五、發明说明（） 以便同時塗佈該基板3。在此情況下•可將基板3安排成 級向。 (請先閱讀背*之注$項再填寫本頁) 本發明所舉的逭實施例比習用蒸汽積附糸統所用的各 種装置及方法具有甚多優貼。 它避免了謦用糸統之《級料有相當大比例的原子或難 子不但積附在基板3上•也舍積附到周園真空室及内部裝 置上的缺點。此舉除了可能造成故陣外•淸瀠作業也相當 困難。若是積附料饜贵金靨，那麽此舉尤其浪费。 尤其在埴些孔洞若與基板3厚度具有高縦横比的醑係 時》孔洞的孔心會被更可靠與充分的《級（不論是盲孔或 貢通孔）。對照之下》習用糸統若想對孔洞的孔心積附充 分的電鐮料時*總是會遭遇基板3表面上積附遇多霣鍍料 的困難。 它滅少了稹附時閭，所以不會像習用系統那樣•因為 稹附時間長•以致可能對基板3過度加熱而引起損害。 它也減低了霄鍍料的浪费，和對真空室與內部裝置散 放出過度热量的情形，所以不會像習用系統那樣在基板3 邊界境外存有多餘《鍍料源的問鼴。 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印裝 它除了有效塗佈基板3表面外，遢滅低基板3的受熱 情形·同時可捕集電鍍料大部份的廢料以供回收或再利用 。逭糸統也能有效電級孔涧的孔心•尤其是基板3上那些 高縱横比的孔洞，同時埋可減少表面積附的厚度，因而降 低基板3的受热情形。當基板3準備作為印刷《路板•而 在随後將用蝕刻方式將某些表面《鍍處予以去除時，此黏 -7- 本紙張又度適用中國國家揉準（CNS > Α4规格（210X297公釐） §881^^ A7 B7 五、發明説明（） 尤其有利。 以上所舉實施例僅用以說明本發明而巳·非用以限制 本發明之範匾。舉凡不遣本發明精神所從事的該等變化、 修改和改良·俱靥本發明申請専利範園。 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) 订 後 Μ濟部中央橾準局負工消费合作社印装 -δ- 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) Α4规格（210X297公釐）

Claims (1)

1. 經濟部中央揉率局負工消费合作社印装 A8 2! 388198 D8 六、申請專利範圍 1· 一種設有移動料湎的興空積附糸統•包括： 一輿空室•用Μ容置準供Μ—種材料將其«鍍的物品 :离空廒生裝置*可供在萬空室内產生真空； 一種投於真空室内以便對物品加以逾佈的料湎； 邐_裝置•以供運送真空室内的料源*其中該料滙靨 於無定向·並包括一屏》•以便只有邐定定向的《鍍料會 銜射到物品上*再由該定向電鍍料刮掃該物品。 2. 如申請專利範_第1.項所述投有移動料湎的莫空積附 系統；其中•屏罩是由所稱霄級料製成·以便易於回收® 射到該屏罩上的此種霄踱料。 3. 如申請專利範_第1.項所述設有移動料源的真空積附 系統；其中•物品也在真空室内移動。 4. 如申諝專利範鼴第3項所述設有移動料源的真空積附 糸統；其中•物品是朗蓍第一方向在輿空室内移動•而料 源則朗瞢大致與該第一方向保持正交的第二方向被運送。 5. —種設有移動料源的真空積附糸統•包括： 一真空室•用以容置準備以一種材料將其電級的物品 真空產生裝置•可供在真空室内產生真空； 種設於真空室内的移動和加以屏蔽的料源。 -9- 本纸張尺度逋用中國國家揉率（CNS > Α4規格（210)097公釐） (請先Η讀背面之注$項再填窝本頁) 訂 線