A7 318883 B7 五、發明説明（1 ) 琎明背畏 链明镅城 本發明係關於一般的製造過程及特別的是醑於一種準 確定位在周期配置之小目的物（或物體）（微米至次微米） 之自動非視覺方法。 先前枝藝說明 規代技術已使類如電氣裝置之目的物以一再縮小之體 積生產。此類目的物如動態嫌機存取記憶器（DRAM)之晶 胞在今天Μ次微米大小或體積生產。經常這些非常小目 的物是利用作為一組大數目稱為陣列。這些陣列是通常 配置及安裝至一稱為晶片之一平坦表面上。此陣列經常 配置為一周期的次序以使每一目的物在晶片上具有一唯 一之Χ-Υ位址（location)。參考第1匾，顯示有一次微 米目的物之周期配置陣列之實例。此實例代表一能容納 幾千涸目的物之大規模陣列，其中每點代表一次微米目 的物而各劃代表這些物件之連續。可Μ看出來每一目的 物是周期的配置在晶片12上，Κ使其具有一獨一之Χ-Υ位 址° 在這些陣列之製造過程中或物理分析時，涸別的目的 物常需定位Μ便執行影像，微手術，修理或加檷記等。 定位此特別待操作之目的物需要找出其在陣列内之精密 Χ-Υ位址。由於瑄些目的物之數目甚大及非常小之尺寸， 故通常是困難作業之執行。事實上，僅有非常精密的儀 器，類如掃描電子顯微鏡或聚焦離子束工具可Κ準確的 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ------：----^------ir------^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 315883 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 2 ) 1 i 在 該 陣 列 内 定 位 一 單 獮 巨 的 物 之 X- Y位置， 將 說 明 如 下 ： 1 掃 描 電 子 顯 微 鏡 • 包 含 電 磁 透 鏡 9 用 Η 形 成 電 子 探 之 1 1 測 針 * 掃 描 線 BMI 圈 其 拂 掠 電 子 束 於 樣 本 上 参 一 檢 测 器 1 請 1 先 1 —- 放 大 器 及 陰 極 射 線 管 〇 掃 描 電 子 顯 微 鏡 是 由 電 子 之 閲 讀 1 细 微 探 测 針 銜 擊 樣 品 之 表 面 而 操 作 » 其 電 子 束 一 般 小 於 背 面 1 I 之 卜 100埃（An g e t r 0 9 S = 1CT10米） >此樣本放射由主電子束之 注 意 1 事 活 動 而 產 生 之 二 次 電 子 〇 此 二 次 霣 子 再 由 檢 測 器 收 集 並 項 I 再 | 予 放 大 〇 放 大 之 二 次 電 子 再 輸 送 至 陰 極 射 線 管 Μ 產 生 —* 填 寫 本 1 Λ 樣 子 之 影 像 〇 頁 '---， 1 I 聚 焦 離 子 束 儀 器 相 似 於 掃 描 電 子 顯 微 鏡 之 運 作 其 中 1 1 由 Μ 物 質 流 衡 擊 樣 品 而 產 生 一 影 像 1 而 在 聚 焦 離 子 束 之 1 1 狀 況 中 * 該 物 質 流 Aft 就 是 離 子 束 〇 聚 焦 離 子 束 和 掃 描 電 子 1 訂 顯 微 鏡 二 者 在 今 Β 是 設 置 有 或 多 或 少 精 確 之 手 動 或 電 動 1 載 台 (s t a g e ) >這些儀器之載台支持及移動樣本， 致令 1 | 瑄 些 儀 器 之 離 子 或 電 子 束 可 掃 描 樣 本 〇 聚 焦 離 子 束 和 掃 1 I 描 電 子 顯 微 鏡 二 者 能 產 生 樣 本 之 視 覺 影 像 或 線 性 圓 解 信 1 1 號 〇 此 視 覺 影 像 是 由 多 數 掃 描 媒 界 定 而 媒 性 圖 解 信 號 線 I 是 由 單 一 掃 描 線 界 定 0 I 如 前 面 所 述 9 一 種 儀 器 類 如 掃 描 電 子 顯 微 鏡 或 聚 焦 1 1 離 子 束 工 具 是 立 刻 利 用 於 定 位 在 一 陣 列 中 之 一 特 殊 次 微 I 米 裝 置 之 X- Y位址， 如 前 面 所 述 〇 在 此 陣 列 中 有 闞 的 地 址 1 1 是 由 移 動 儀 器 之 載 台 於X及/或Y方向及同時以視覺的計 1 1 數 通 過 裝 置 之 影 像 場 之 裝 置 〇 視 覺 計 數 至 有 闞 地 位 是 耗 1 I 費 時 間 及 不 可 靠 之 方 法 〇 經 常 計 數 必 需 重 複 二 次 或 三 次 1 1 於 相 同 之 地 位 Μ 保 證 其 是 可 再 4- 次 發 現 的 9 因 之 此 程 序 在 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 _B7_ 五、發明説明（3 ) 工具項目及人力資源上是昂贵，並亦是不準確的。 在陣列中裝置之準確定位問鼸是不易由其他方法解決 。例如，此問鼸不能由利用一高精確電動載台及度量有 闞裝置之距離而解決，若有使用，其費用將是非常昂貴 的。使用電臞輔動全画案辨認系統亦將是非常昂貴並是 不可能的，此因出現之園案（特別是在用於裝置之實體 分析之去暦（unlayering)程序）全是不可預期的。 所以本發明之目禰是提供一相當價廉之方法，用W準 確的在一周期性佈置之陣列中定位次微米之目的物。 發明節述 用於在一周期配置之相同目的物之陣列中定位一特別 非常小（小至次微米）之目的物之方法之掲示使用一掃描 工具。此方法包含掃描陣列Μ產生多個脈衡。此脈街係 相當於在陣列内含有之次微米目的物。由於要定位在陣 列中之一特殊目的物可計數此多個脈衡。 亦揭示一種糸統，用Μ定位在一周期Κ置之相同目的 物之陣列中之一特定相同目的物。此係統包含一掃描工 具，用Μ掃描陣列Μ為產生多個脈銜，此脈衢是相當於 陣列中之次微米目的物，一設備，用以計數多個脈衝， Κ為定位陣列中之一特殊目的物。 本發明之上述目欏，其他特性及利益將於下文中與闞 埋之圖示詳细說明之。 圖示簡單說明 第1圖是周期配置之次微米目的物之一實例。 -5- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ297公釐） ----------^------ΐτ------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 318883 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 1 1 第 2 圖 是 根 據 本 發 明 之 方 法 所 利 用 之 裝 備 之 一 方 塊 圈。 1 1 第 3 圖 是 根 據 本 發 明 之 一 掃 描 工 具 所 產 生 之 一 連 串 脈 1 1 衝 之 一 波 形 圖 〇 y—v 請 1 先 1 第 4 圖 是 根 據 本 發 明 之 —» 掃 描 工 具 所 產 生 之 — 連 串 脈 閲 讀 1 I 衡 之 另 波 形 nan IBM 〇 背 面 1 1 之 · 第 5 圈 是 根 據 本 發 明 之 一 掃 描 工 具 所 產 生 之 一 雜 音 水 注 意 1 事 1 平 之 —* 波 形 131 國 〇 項 再 第 6 圈 是 根 據 本 發 明 之 用 Μ 定 位 周 期 配 置 之 次 微 米 巨 填 寫 本 1 的 物 之 方 法 之 — 流 程 圖 〇 頁 '—^ 1 I 圓示詳细說明 1 1 本 發 明 是 集 中 注 意 於 一 種 方 法 • 用 以 在 一 周 期 性 配 置 1 1 陣 列 中 準 確 定 位 非 常 小 (小至次撤米） 之 巨 的 物 0 類 此 之 1 訂 周 期 配 置 陣 列 之 實 例 是 展 示 於 第 1 圖 中 〇 所 示 陣 列 10含 1 有 安 裝 在 晶 片 1 2上 之 多 個 次 微 米 百 的 物 上 作 周 期 性 配 置 1 1 9 以 使 每 一 百 的 物 有 唯 一 之 X- Υ位址c >此目的物可安裝在 1 | 任 何 平 面 表 面 上 〇 上 述 之 實 例 是 普 缠 使 用 於 電 氣 裝 置 領 1 1 域 中 之 型 式 〇 雖 然 本 發 明 在 電 氣 裝 置 領 域 中 有 大 大 的 利 線 | 用 價 值 1 但 應 注 意 其 並 不 限 制 於 任 何 特 別 使 用 之 領 域 〇 丨· 本 發 明 能 利 用 作定位任何在 一 周 期 配 置 陣 列 中 之 小 百 的 1 1 物 (小至次微米） 〇 I 本 發 明 之 方 法 是 由 計 數 巨 一 預定位置16向X及Y方 向 二 1 1 I 者 在 陣 列 1 0中 之 巨 的 物 數 巨 而 定 位 一 特 殊 之 次 微 米 的 1 1 物 * 此 計 數 係 由 首 先 產 生 與 陣 列 中 X及/或Y 方 向 遭 遇 之 1 I 巨 的物相紫t多個腺衝 〇 特 別 巨 的 6- 物 14之所在 即 由 計 數 在 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 A7 __B7_ 五、發明説明（S ) 方向之脈衡數目而決定，此相當於特別目的物件之欲要 位址。 參考第2 其展示根據本發明之方法所利用之裝備 18之方塊圏。本發明利用之裝備之第1個是一掃描工具 20。此掃描工具20是利用於產生與在陣列内遭遇之多個 次微米目的物相當之脈® 30。 掃描工具20是由一掃脈電子顯微鏑或一聚焦離子束儀 器而具體化，其亦能是一掃描光束（雷射）用於較大之目 的物。在本發明中，任一儀器都利用於線性圖解横態Μ 使產生哌衡30於陣列之X及Υ二個方向如前所述。在媒性 圖解模態中，不論儀器沿單一線條掃描該有闞係之目的 物或沿此線條取得之信號-皆顯示在螢光幕上。顯示之 信號是一具有由該有闞係之目的物產生之二次電子之幅 度之電氣信號。 參考第3圖及第4 其展示有任一根據本發明之線 性線圖解横懸中之儀器所產生之波形實例。這些波形是由 掃描一次微米目的物之陣列而產生，如第2圃所示。能 由第3匾和第4匾看出產生之周期性信號具有界定良好 之波峰或脈»30,其是明顯的在雜音水平36之上，如第5 圃所示。脈衡30是相當於陣列内之目的物，而低下點32 則是相當於各目的物間之間隔。實線34是相當於獲得線 性圖解信號之基本線。亦應注意由儀器之任一型式所產 生之邏輯位準是檷準的5伏，其使脈衡30與數位電路，類 如一計數器相容。 -7- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公嫠） ------：----------ΐτ------0 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 815883 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印裂 五、發明説明（6 ) 1 ! 現 今 之 掃 描 電 子 顯 微 鏡 和 聚 焦 離 子 束 儀 器 皆 是 裝 備 有 1 1 或 多 或 少 精 確 的 手 動 或 馬 達 驅 動 之 載 台 0 此 載 台 支 持 及 1 1 移 動 有 關 之 S 的 物 在 被 這 些 儀 器 之 波 束 掃 描 期 間 〇 手 動 /—V 請 1 先 1 載 台 通 常 有 微 調 紐 9 其 使 得 使 用 者 可 移 動 載 台 於 任 —«- X 閲 讀 1 或 Y 之 方 向 〇 而 馬 達 驅 動 載 台 則 有 相 當 之 步 進 器 横 式 的 背 1 I 之 移 55 載 台 於 任 一 X或Y之方 向 〇 注 意 1 事 1 本 發 明 之 方 法 意 指 利 用 - 具 有 任 -- 手 動 或 馬 達 驅 動 載 項 再 1 台 之 儀 器 〇 此 載 台 之 二 種 型 式 皆 能 Μ 相 當 精 確 之 方 式 移 填 寫 本 1 % I 動 陣 列 Μ 使 其 能 準 確 掃 描 9 其 後 並 能 在 正 確 時 間 停 止 〇 頁 ^^ 1 I 但 是 最 佳 结 果 是 用 一 掃 描 電 子 顯 微 鏑 或 聚 焦 離 子 束 儀 器 1 1 * 其 是 利 用 一 馬 達 驅 動 載 台 者 而 完 成 〇 1 1 再 參 考 第 2 ΓΒΤ 圈 * 由 掃描工具20產生之脈衡30其後是轔 1 訂 合 至 脈 衝 處 理 器 22 〇 此脈衝處理器2 2確保在陣列 内 與 1 真 實 百 的 物 相 當 之 唯 一 脈街30之認知或計數 〇 位 在 陣 列 1 I 之 巨 的 物 間 之 污 染 粒 子 能 致 使 產 生 假 的 眤 衝 〇 此 假 脈 衝 1 I 之 剔 除 是 由 開 發 沿 掃 描 媒 條 脈 衡 之 周 期 性 且 不 接 受 在 陣 1 1 列 內 二 直 實 巨 的 物 間 之 任 何 脈 衝 而 達 成 〇 脈 衝 之 周 期 性 線 I 用 作 界 定 沿 載 台 之 掃 描 線 條 之 諸 窗 0 t 在 瑄 些 窗 α 中 計 1. 數 之 脈 衝 被 接 受 下 來 〇 若 一 脈 衝 是 在 該 窗 P 之 外 則 會 被 1 1 拒 絕 0 此 窗 P 之 頻 率 (f W)是 由 下 式 計 算 : I f W =( Ss N) /L A (1 ) 1 1 I 其 中 S S =諸載台之速率 1 1 N =陣列之設定方向上目的物之個數 1 I L A =設定方向上陣列之長度 -8 - 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (7 1 1 一 高 精 確 載 台 能 Μ 兩 種 方 式 使 用 :1)載台之長度測量 1 1 能 用 作 界 定 上 面 提 到 之 窗 Ρ » 在 這 些窗口 中之输 入 是被 1 1 接 受 的 Ο 2) 由 百 的 物 產 生 之 m flf 與 目的物 之已知 距 離一 f-N 請 1 先 1 齊 能 被 用 於 校 正 載 台 長 度 測 量 之 不 準確之 長度測 量 。在 閱 tji 1 此 狀 況 中 * 基 本 上 此 巨 的 物 是 用 高 精確載 台（此 載 台之 背 面 1 I 之 不 準 確 是 由 臟 衝 校 正 〇 在 有 大 污 染 粒子之 狀況下 » 脈衝 注 意 1 I 處 理 器 22 中 止 接 受 脈 衝 9 而 操 作 者 以手動 選擇另 —- X-Y 事 項 I 再 1 I 方 向 向 前 產 生 脈 衝 〇 但 是 類 似 之 大粒子 並不常 在 好的 寫 1 A 1 I 製 造 m 程 中 或 在 好 的 物 理 分 析 步 驟 中遭遇 〇 本 頁 ^ 脈 衝 處 理 器 22更 包 含 濾 波 由 掃 描 工具20 產生之 脈 衢30 1 1 〇 此 濾 波 轉 換 脈 衝 利 用 脈 衡 之 斜 度 及高度 成為短 形 信號 1 | 〇 此 種 轉 換 起 動 掃 描 工 其 20之 輸 出 更為容 易的為 數 位電 1 訂 路 9 類 如 —- 計 數 器 辨 認 〇 該 濾 波 已 是熟知 並是伴 m 利用 1 之 電 路 * 如 限 制 器 9 史 米 特 (S c h mi dt)觸發器等 ) 1 I 處 理 過 之 脈 衝 22A随後耦合至- -計數器24。計數器24 1 I 產 生 收 到 脈 街 之 計 數 24Α , 其 中 一 特 別之計 算是相 當 於掃 1 1 描 工 具 20在 X及/或 Υ方向所遭遇之目的物之數目< >此致 線 I 使 本 發 明 能 追 蹤 在 陣 列 中 掃 描 工 具 20之位 置。其 後 脈衝 1 計 數 24A是耦合至- -比較器26 C 比較器26比較脈衡計數 1 1 24A 與- -相當於陣列中任- - X或 Y方向上定位之特殊次微 I 米 百 的 物 之 位 址 之 一 預 定 數 產 生 之 數目。 當此計 數 24A 1 1 等 於 預 定 數 目 的 9 比 較 器 產 生 一 终 止掃描 信號26A , 其终 1 1 止 此 级 之 動 作 或 計 數 〇 熟 知 本 技 藝 之人士 應瞭解 計 數器 1 I 及 比 較 器 之 利 用 僅 是 眾 多 應 用 9- 本 發 明之方 式之一 種 °例 1 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ^1SSS3 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (8 ) 1 1 如 9 比 較 器 26若 在 利 用 一 可 規 劃 程 式 之 計 數 器 時 » 可 加 1 1 Μ 剔 除 〇 此 種 計 數 器 可 剔 除 比 較 器 26之 箱 要 9 其 因 能 程 1 1 式 化 計 數 至 一 相 當 於 陣 列 中 一 巨 的 物 之 位 址 之 一 預 定 計 —V 請 1 先 1 數 〇 閱 讀 1 I 計 數 器 24和 比 較 器 26最 好 是 具 體 化 為 分 離 之 數 位 電 路 背 1 I 之 或 為 一 微 處 理 器 中 之 軟 體 功 能 0 此 將 使 本 發 明 之 方 法 能 注 意 1 事 白 動 的 >Χ 及 非 視 覺 的 在 陣 列 中 定 位 *—* 特 殊 小 的 百 的 物 〇 項 再 1 其 後 * 此 終 止 掃 描 让 號 26Α是耦合至- -用於終止掃描 填 寫 本 1 28之 設 備 〇 在 掃 描 X 具 20有 —- 手 動 載 物 台 之 狀 況 下 • 此 頁 ^^ 1 I 终 止 掃 描 設 備 28是 具 體 化 為 一 指 示 装 置 » 類 如 一 燈 光 或 1 1 — 蜂 音 器 * 其 能 譬 示 操 作 者 去 停 止 移 動 之 載 台 〇 在 掃 描 1 1 工 具 20有 馬 達 驅 動 之 載 台 之 狀 況 時 t 终 止 掃 描 設 備 28是 1 訂 具 體 化 為 交 換 電 路 9 簡 單 地 切 斷 該 載 台 之 馬 達 驅 動 之 1 電 力 〇 綜 上 所 述 $ 此 掃 描 工 具 9 包 含 任 一 手 動 或 馬 達 驅 1 I 動 載 台 〇 此 載 台 能 Μ 非 常 精 確 及 鑀 慢 方 式 移 動 一 陣 列 〇 1 I 所 以 有 夠 多 之 時 間 在 超 過 陣 列 中 待 定 位 之 特 別 巨 的 物 之 1 1 前 停 止 此 掃 描 工 具 20 〇 不 然 的 話 燈 光 可 在 謓 出 真 實 巨 線 1 的 物 之 前 之 二 個 或 三 儸 巨 的 物 時 打 開 > 或 者 載 台 之 馬 達 1 厂 可 在 讀 取 巨 的 物 之 刖 暫 短 的 慢 下 來 0 1 1 參 考 第 6 圖 » 其 展 示 根 據 本 發 明 之 定 位 周 期 配 置 之 次 | 微 米 百 的 物 38之 方 法 之 流 程 圖 〇 在 方 法 38中 之 第 1 步 驟 1 1 含 有 在 掃 描 工 具 40 之 載 台 内 放 置 一 陣 列 〇 此 陣 列 是 放 置 1 1 在 載 台 內 9 Μ 使 掃 描 工 具 白 一 陣 列 之 預 定 位 址 開 始 掃 描 1 I 〇 如 此 陣 列 中 之 任 何 其 他 百 的 物 是 由 白 此 位 址 移 動 在 X 1 1 10 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（2丨OX297公釐）
V 务 A7 B7 經濟部中央標準局負工消費合作社印製 五、發明説明 ( 9 ) 1 1 及 / 或 Y 之 方 向 上 〇 1 1 在 放 置 步 驟 40之 後 t 陣 列 之 X及Y方 向 是 Μ 掃 瞄 工 具 42 1 1 之 射 束 及 載 台 在 X及Y方 向 之 移 動 對 準 〇 載 台 與 掃 瞄 射 束 /—*. 請 1 先 1 之 方 向 能 獮 立 的 旋 轉 » 由 於 要 在 陣 列 被 掃 描 時 防 止 信 號 閲 讀 1 或 m 衝 之 失 去 1 對 準 是 必 需 的 〇 即 使 是 在 一 手 動 載 台 亦 背 1 | 之 曾 示 範 如 此 之 對 準 是 容 易 達 成 的 f 使 垂 直 於 掃 描 方 向 注 意 1 | 之 方 向 上 有 超 過 幾 有 微 米 之 偏 差 仍 是 夠 小 而 不 會 失 去 信 事 項 1 號 0 丹 填 寫 本 1 裝 若 沒 有 白 動 對 準 t 對 準 (手動及馬達驅動） 是 由 移 動 載 頁 1 I 台 於 X (Y) 方 向 並 覼 察 在 Y (X) 方 向 之 餳 差 一 長 距 雛 後 完 成 1 1 〇 載 台 被 轉 動 直 至 在 載 台 移 動 方 向 上 垂 直 之 偏 差 不 被 觀 1 I 察 出 來 為 止 〇 當 在 馬 達 驅 動 之 載 台 時 * 對 準 是 由 掃 描 1 訂 工 具 白 動 的 達 成 0 甚 多 馬 達 驅 動 之 掃 描 電 子 顯 微 鏡 及 聚 1 隹 離 子 束 儀 器 有 能 力 作 白 動 對 準 目 的 物 至 掃 描 射 束 〇 這 1 I 些 儀 器 由 用 一 附 加 之 馬 達 旋 轉 載 台 直 至 儀 器 内 之 软 體 功 1 I 能 之 決 定 陣 列 被 對 準 為 止 〇 1 1 在 對 準 步 驟 42之 後 t 陣 列 隨 即 被 掃 描 於 第 一 方 向 44 〇 線 I 此 係 由 啟 動 掃 描 工 具 之 掃 描 射 束 及 後 移 動 載 台 於 X或Y之 1 1， 任 一 方 向 而 完 成 〇 此 致 使 掃 描 工 具 產 生 脈 衝 其 是 相 當 1 1 於 在 掃 描 工 具 掃 描 陣 列 之 第 一 方 向 時 所 遭 遇 之 S 的 物 〇 I 陣 列 之 組 m 決 定 何 者 是 首 先 掃 描 之 陣 列 方 向 9 對 於 具 1 1 有 矩 形 或 正 方 形 組 態 之 陣 列 而 言 9 那 個 方 向 應 首 先 掃 瞄 1 1 並 不 重 要 〇 I 但 是 對 於 一 具 有 不 規 則 組 態 之 陣 列 如 第 1 匾 中 展 示 者 1 1 11 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公嫠） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 (1〇 ) 1 1 首 先 掃 描 之 方 向 就 很 重 要 〇 由 於 要 白 預 定 位 置 16開 始 1 1 定 位 S 的 物 17 〇 很 明 顯 自 第 1 圖 得 知 掃 描 之 第 一 方 向 必 1 1 需 是 X方向 >若掃描之第- -方向是Υ方 向 9 掃 描 X 具 將 不 請 1 先 1 會 遭 遇 任 何 巨 的 物 以 白 其 產 生 脈 衝 〇 此 將 使 本 發 明 之 方 閱 讀 1 法 不 能 運 作 * 其 因 完 全 沒 有 脈 衡 去 計 數 〇 背 1 | 之 再 回 去 參 考 第 6 ΓΒΗ 圖 > 在 掃 描 陣 列 在 第 —- 方 向 44時 所 產 注 意 1 I 生 之 脈 衡 是 被 處 理 46 〇 Μ Λ，· 刖 面 所 討 論 9 處 理 46包 含 剔 除 事 項 1. 再 I 與 陣 列 中 真 實 次 微 米 百 的 物 不 相 當 之 假 脈 衝 〇 處 理 46亦 填 寫 本 1 包 含 轉 換 脈 衡 成 為 —- 矩 形 信 號 之 濾 波 〇 頁 -—^ 1 I 處 理 46 更 包 含 電 子 式 或 手 動 式 之 調 整 掃 描 工 具 之 對 準 1 1 Μ 為 載 台 僑 移 之 補 償 » 其 保 證 脈 衝 具 有 最 大 之 波 峰 〇 此 1 1 係 由 比 較 脈 衡 之 波 幅 於 一 預 定 之 臨 限 並 當 脈 衡 波 幅 降 至 1 訂 此 臨 限 Μ 下 時 t 在 掃 描 工 具 內 之 - 對 準 程 序 乃 被 啟 始 〇 1 此 對 準 程 序 可 能 是 掃 描 線 條 之 載 台 移 動 在 垂 直 於 巨 前 計 1 | 數 之 方 向 直 至 最 大 9 波 峰 高 度 再 次 達 到 為 止 (將載台停 1 I 止 或 移 動 ) ) 1 1 已 處 理 之 脈 衡 其 後 加 Μ 計 數 48 » 其 發 生 一 脈 衢 計 數 9 線 I 指 示 掃 描 工 具 在 陣 列 中 遭 遇 百 的 物 之 數 巨 〇 在 計 數 步 驟 48時 9 產 生 之 脈 衝 計 數 亦 是 與 一 預 定 數 比 較 » 此 數 巨 1 1 是 相 當 於 該 特 殊 S 的 物 在 陣 列 之 第 一 方 向 上 之 位 址 〇 此 I 比 較 步 驟 50 m 績 直 至 此 脈 衝 計 數 等 於 預 定 數 巨 9 此 意 指 1 1 掃 描 工 具 已 到 達 陣 列 之 第 一 方 向 上 待 定 位 之 特 殊 巨 的 物 1 1 之 位 址 〇 1 I 計 數 及 比 較 步 驟 50 ,52最佳是如上所討論之電子設備 1 1 12 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1 I 執 行 Ο 但 是 本 發 明 之 方 法 已 曾 成 功 的 由 _- 使 用 者 實 施 以 1 1 I 視 覺 計 算 及 比 較 白 掃 描 工 具 之 顯 示 器 上 看 到 之 脈 衝 0 本 1 1 發 明 之 此 項 示 範 是 利 用 B 立 廠 (Hi t a c h i )之SEM作為掃描 /—S 1 I 工 具 而 執 行 者 〇 請 先 閲 背 1 1 當計數之脈衝等於預定數 巨 的 * 在 第 一 方 向 之 掃 描 終 1 1 止 了 52 〇 此步驟52是在 一 由 使 用 者 終 止 旋 轉 與 第 一 方 向 ώ 之 注 1 關 連 之 微 調 紐 而 完 成 〇 在 馬 達 驅 動 之 載 台 中 » 此 步 驟 52 意 事 是 由 切 斷 在 第 一 方 向 上 馬 達 驅 動 載 台 之 電 力 而 完 成 〇 再 填 1 1 在 終 止 第 一 方 向 之掃描52後 » 掃 描 工 具 將 開 始 掃 描 陣 寫 本 頁 裝 I 列 之 第 二 方 向 54 〇 此 第 二 方 向 可以是X或Y之任 —* 方 向 9 1 1 即 是 在 當 掃 描 第 一 方 向 44時未為掃描工具採行者 〇 此 步 1 1 驟54產生 相 當 於 在 陣 列 之 第 二 方 向 上 掃 描 工 具 所 遭 遇 之 1 | 巨 的 物 之 脈 衡 〇 產 生 之 m 衢 再 加 處 理 56 » 計 數 58 » 隨 後 1 訂 比 較 60 9 如 前 面 所 說 明 之 步 m 46 ，48及 50- -樣 > 1 I 在 比較步驟6 0中 » 相 當 於 在 第 二 方 向 遭 遇 之 百 的 物 之 1 1 脈 衡 計 數 是 與 一 預 定 數 百 比 較 » 此 預 定 數 百 是 相 當 於 陣 1 1 列 之 第 二 方 向 上 特 殊 g 的 物 之 位 址 〇 比較步驟60是執行 1 線 直 至 此 脈 衡 計 數 相 等 於 相 等 之 第 二 方 向 之 預 定 數 巨 為 止 1 I * 此 意 指 掃 描 工 具 亦 到 達 陣 列 之 第 二 方 向 上 特 殊 巨 的 物 1 之 位 址 〇 在 此 時 間 » 在 第 二 方 向 之 掃 描 被 終 止 62 ♦ 其 因 1. 該 特 殊 百 的 物 已 在 陣 列 中 定 位 了 〇 1 1 I 本 發 明 亦 能 組 配 成 剔 除 終 止 掃 描 步 驟 62 〇 此 能 使 本 發 1 1 明 繼 讀 掃 描 Μ 使 能 在 陣 列 内 定 位 若 干 百 的 物 〇 1 | 本 發 明 在 本 說 明 中 已 參 考 其 最 佳 實 施 例 作 特 別 的 展 示 1 1 及 說 明 〇 精· 於 本 技 藝 之 人 士 應 瞭 解 在 不 偏 離 於 本 發 明 之 1 1 精 神 及 範 圍 下 可 Μ 作 细 節 及 形 式 之 改 變 0 1 I - 13 - 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）