SU1523915A1

SU1523915A1 - Способ измерени вертикальных размеров элементов топологии микрообъектов

Info

Publication number: SU1523915A1
Application number: SU874239862A
Authority: SU
Inventors: Владимир Витальевич Рыбалко; Александр Николаевич Тихонов
Original assignee: Московский Институт Электронного Машиностроения
Priority date: 1987-05-06
Filing date: 1987-05-06
Publication date: 1989-11-23

Abstract

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в сканирующих микрозондовых контрольно-измерительных приборах, например растровых микроскопах. Цель изобретени - упрощение измерений и повышение их производительности. Она достигаетс использованием дл измерений зависимости параметра излучени после взаимодействи с элементом от угла наклона потока зондирующего излучени относительно поверхности исследуемого объекта. Исследуемый элемент облучают потоком зондирующего излучени , регистрируют параметр излучени после взаимодействи с элементом. Наклон объект относительно потока излучени , добиваютс экстремума этого параметра. Не мен ориентации объекта, скариуют его потоком излучени . По величинам параметра излучени определ ют вертикальный размер элемента микрообъекта. Параметром излучени вл ютс или поток упругоотраженного зондирующего излучени , или поток вторичных частиц, или поток поглощаемого зондирующего излучени . 1 с. и 2 з.п.ф-лы.

Description

Изобретение относитс к измерительной технике и может быть использовано в анализирующих микрозондовых контрольно-измерительных приборах, например , растровых микроскопах.

Целью изобретени вл етс упрощение измерений и повышение их производительности , что достигаетс использованием дл измерений зависимости параметра измерени после взаимодействи с элементом от угла наклона потока зондирующего излучени относительно поверхности исследуемого объекта.

Способ осуществл етс следующим образом .

Потоком зондирующего излучени облучают участок верхней плоскости измер емого элемента наклон ют эту плоскость относительно оси потока, зондирующего излучени до по влени экстремума параметра излучени , далее, ,не измен угол наклона зондирующего потока к указанной плоскости более чем на величину kl,, где k - коэф- фициент пропорциональности, св зывающий величину угла наклона зондирующего потока, к плоскости облучени и величину параметра излучени , возникающего при этом облучении; минимально регистрируема величина параметра излучени , сканируют поток в направлении, перпендикул рном границе верхней плоскости элемента, до по влени второго такого же экстремусд

N)

СО

СО ел

ма, при этом измер ют величину параметра излучени между двум экстремумами , после этого по результатам вычисл ют искомую величину по формуле

5

Н IZ (Xi., -Xj).tgAt di/Io). I --1

где (Х|4( -Х,-)-длина i-го участка, чу- три которого амплит уда параметра |g излучени равна I I,;

экстремальное значение параметра излучени ;

j - количество участков параметра излучени , в пределах которых он j принимает фиксированные значени ;

) - функщ1 угловой зависимости генеращн параметра излучени , физический смысл которой - угол

0,5 мкм, заключающийс в том, что на объект под разными углами направл ют поток зондирующего излучени , регистрируют излучение после взаимодействи с объектом и с учетом его параметров определ ют вертикальный размер элемента, отличающийс тем, что, с целью упрощени и повышени производительности измерени , поток зондирующего излучени направл ют на верхнюю плоскость элемента, при изменении угла падени потока зондирующего излучени фиксируют угол при котором параметр излучени экстремума Id,при зафиксированном угле сканируют элемент потоком излучени в направлении, перпендикул рном краю элемента, до по влени второго экст

между нормалью к облучаемому уча-2о ремума IQ параметра излучени , регистку поверхности и осью потока зондирующего излучени , обеспечивающий генерацию параметра излучени с амплитудой Ij . В качестве параметра излучени используют либо поток упругоотраженых или вторичных частиц зондирующего излучени , в этом случае измерение провод т с помощью парносимьгетричиого .преобразовател на отрезке меиуду дзум минимумами параметра, либо поток поглощенных .частиц зондирующего :r:jj;y- чени , в этом случае измеренш /фсво- д т на отрезке между )1ума ми параметра.

Использование предлагаемого способа целесообразно з научных исследовани х , а также в заводских лаборатори х и технологических линейках.

Способ существенно упрощает процесс

измерени и вл етс высокоскоростным, что позвол ет примен ть способ дл выполнени больших объемов измерений параметров микроструктур.

Claims

1. Способ измерени вертикальных размеров элементов топологии микрообъектов с линейными размерами более

стрируют величины Ij параметра излучени и рассто ни Д X(, на которых I Ij и определ ют вертикальный размер Н элемента топологии по формуле

Н uXjtg(4 (Ij/Io),

где л|(1;/1о зависимость угла падени потока зондирующего излучени от относительной величины параметра излучени 1{/1() дл материала из которого изготовлен элемент.

2,Способ поп.1,отлича ю- щ и и с тем, что в качестве регистрируемого параметра излучени выбирают поток отраженного зондирующего излучени или вторичного излучени , а в качестве экстремума параметра из лучени - минимум этого параметра.

3.Способ по П.1, отличаю- щ и и с тем, что в качестве регистрируемого параметра излучени выбирают поток поглощенного зондирующего излучени , а в качестве экстремума параметра излучени - максимум этого параметра.