TW319709B - - Google Patents

Description

319709 A7 經濟部中央樣準局負工消費合作社印裝 B7五、發明説明（1 ) 發明背醫 發明镅城 本發明係有MS氣處理系統，其具備有能夠使半導體 裝置製造系统排放出的廢氣成為無害之廢氣處理工具。 相Μ持g說明 參閲第10(A)IB,由半導體裝置製造糸統會排放出在 半導膛裝置製造糸統中進行，例如CVD製程所用的反邂氣 » ,例如矽烷氣體（S i Η 4 ),砷烷氣髓（A s Η 3 )及磷烷氣體（ ΡΗ3)且傳送至廢氣處理系統10Ρ。廢氣處理糸統10Ρ係使該 廢氣成為無害者。 該廢氣處理糸統10Ρ具有廢氣處理裝置11其係經由排 放管線41連接至半導體裝置製造系统1,及一鼓風機51, 例如，抽氣工具，其係以抽氣管線45連接至該廢氣處理裝 置11。當鼓風櫬51搡作時，廢氣即由半導體裝置製造系統 1被抽取入廢氣處理裝置11而為該發氣處理裝置11處理成 為無害。 更特定言之，該廢氣處理裝置11處理廢氣至使廢氣 之有害氣體瀠度減少至低於可允許濃度（例如TLV, —種環 境品霣檷準）。該《氣處理裝置11為使用吸收劑之乾式糸 统，使用水淋幕等之瀠式系统，或為焚化廢氣之焚化系统 。通常採用焚化系铳之S氣處理裝置Μ處理含有不眭被乾 式系铳或湄式系铳之廢氣處理裝置令人滿意地去除的有客 氣《之《氣。使用焚化系统之《氣處理装置Μ減低廢氣中 的神烷（ASH3)氣«濃度至0.05ρρ·環》品*檷準或以下及 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 3 38572 A7 B7 修正補充j 附件三 經濟部中央橾準局員工消费合作社印裂 五、發明説明（2 ) 將磷烷（PH3)氣體濃度減低至0.3ρρΠ環境品質標準或以下 之值。 如第10(B)圖所示者，具備有焚化条統廢氣處理裝置 11’之廢氣處理条統10P’傺附有一輔助氣體處理裝置19例 如滌氣器以在廢氣於焚化糸统的廢氣處理裝置11’中燃燒 時去除其所産生的氣醱例如HF及HC1氣體。 有時，氣氣（〇2)會與矽烷（SiH4)於第10(A)圖中所示 半導體装置製造条統1内反應産生Si〇2粉末，使得流經排 放管線41進入廢氣處理裝置11内之廢氣含有該Si〇2粉末。 Si〇2粉末會在排放管線41中聚積而阻礙廢氣順暢地流 經排放管線41進入廢氣處理裝置11。結果使得廢氣處理裝 置11之有害氣體去除效率明顯地減低。 當使用廢氣處理糸統10P’時，矽烷（SiH4)會於焚化糸 統廢氣處理裝置11’内氧化産生Si〇2粉末。該Si〇2粉末易 於在抽氣管線45中聚積而大大地惡化輔肋氣體處理裝置 19之性能。 當Si〇2粉末遇度地在排放管線41(抽氣管線45)内聚積 時，半導體裝置製造条統1及廢氣處理糸統ΙΟΡ(ΙΟΡ’）會被 迫停止，而必須拆卸並清理排放管線41(抽氣管線45)及廢 氣處理裝置11(11’），此舉使半導體裝置製造糸統1的産率 大大地減低。 備有乾式糸統或濕式条統廢氣處理裝置之廢氣處理条 統10P可能在排放管線41中裝設著過濾器（未繪出）而裝設 有焚化糸統廢氣處理裝置η'之廢氣處理糸統ιορ'可能在 I--------------IT-----ίλ (诗先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 4 (修正頁） 3 8 5 7 2 319709 A7 ___B7五、發明説明（3 ) 出 嬢 導 半 使 而 因 塞 培 所 末 粉 為 ,内 S間 器時 濾短 W 在 著會 設器 裝滤 内逢 5 4 , 線遇 管不 氣 抽 器 濾 換 S 3 M 櫬 停 常 經 須 必 1 統 糸 造 製 置 装 » 積 沉 末 粉 之 積 沉 而 氣 廢 理 處 内 處 於 而 應 反 氣 之 中 氣 大 與 能 可 有 氣 10廢 铳性 糸炸 理爆 處的 氣帶 廢夾 於所 中 層 處 全 安立 建 要 需 有 % 所 〇 炸 爆 外 意 〇 起術 引技 時之 層 層 積積 沉沉 末末 粉粉 I: 理理 诛 0 明 發 系氣 理廢 處的 氣出 廢放 棰排 一 统 出系 提造 為製 的置 目裝 1 » 第導 之半 明由 發理 本清 , 地 述囑 所順 上夠 綜能 其 铳 必« 不分 在中 括氣 包廢 其由 , 下 氣之 醆期 的作 出搡 放 ί— 0 置停 裝作 理操 處之 氣統 廢 糸 统置 系裝 化« 焚導 由半 或使 的 巨二 第 之 明 發 本 ο 末 粉 出 之樣 末態 粉一 的第 生之 產明 所發 序本 程據 Μ根 分 » 長提氣該 止為 S , 氣 害 有 I- 理 處 地 全 安 夠 能 出 式 乾1 括 包 統 〇 系 铳理 系處 理氣 處廢 連氣 線抽 管由 放經 排後 氣其 廢 由具 烴工 係氣 其抽 丨 一 具及 Η . 理铳 處糸 氣造 廢製 統置 糸裝 式 《 濕導 或半 統至 系接 (請先閲讀背面之注意Ϋ項再填寫本頁) k 裝. 訂 .^.^ 經濟部中央襟準局貧X消費合泎社印踅 廢一 將由 统係 糸 線 造管 製放 置排 裝氣 體醆 導該 半中 自其 Μ* 具内 Η 具 理工 處理 氣處 廢氣 該廢 至該 接至 連取 線抽 管氣 放 排 颯 後1 及 線 管 放 ti» 蠟 前 廢 將 能 著 置 £ 間 之 線 管 放 tt 0 置 裝 離 分 子 粒 的 除 去 予 並 1 出 定放 界排 其蟠 ，後 器之 容線 «管 氣放 一.排 蟠 前 媒中粒體廢 管氣該氣的 蟠出 後離 及分 嬝中 前氣 該醆 於由 , 子 的粒 成含 而所 由 並 子 : 粒 有有 具含 置該 裝纳 離容 分M., 子室氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 5 38572 319709 五、發明説明（4 ) 經濟部中央揉準局属工消費合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 定體抽體動 捵放铳導 SM 大聚室 氣底由 及係在 界氣該氣滾 動排糸之 與氣量子 ffi 在室經 媒置可 有與使該式 驅蟠造件 而廢質粒氣 式之則 管装即 具間 Μ 至形 被前製元 用當成之於 形室 « 放離子 且空成放旋 而由置引 作。聚量體 流體氣 排分粒 内部形排迴 氣即裝導 性下凝質集 旋氣的 嬝子含 室内以端直 廢氣體由 慣落並大聚 邂於成。後粒所 Μ 該予後垂 取廢導經 依並撞有子 直積而内 ，於中 氣使係之 Μ 抽 的半係 。能出磁具粒 垂 沉除具 之由氣 該Μ壁線内 口出有氣動不離此等此 以並去工言。廢 於藉引管室 開放含廢潦子分彼該因 氣出予理定塞此 置口 導放體 之排常。式粒中會於，。廢離且處特堵因 Κ 開之排氣 件铳中子形該流子由Λ)下於分出氣更所 ， 係有件端該 元糸氣粒流 ，旋粒 。1>落子中離«|-子塞 其上元前於 引造廢02旋時酒，體»>'速粒氣分入線粒堵 ，其引該氣 導製 。S^迴子直時集丨迅含廢氣取管為所 件 ，導由廢 由置内如 ，粒垂動聚性會所由廢抽放致子 元壁氣引該 經裝室例直有由流子慣段中迫自被排不粒 引引廢導使 具體體 ，垂含而式粒的階氣被子口 氣均為 導導該時並 Η 導氣子 Μ 中，形之大旋廢時粒開廢具致 氣之 且作氣 氣半入粒而氣旋滾子較 埋 -動將之 ，工不 _ 間 ，操廢 抽由抽的引廢迺旋粒有期此流而件此理成 一 空通具之 當 ，被生導若時迺別具初因内，元如* 逭 部满 Η 中 時線產堃 同直個«之 室分引 氣構 内室氣室。 作管中引 氣垂於集中 β 部専 » 經 本紙法尺度適用中國國家棣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 38 57 2 經濟部中央揉準局MB：工消費合作社印製 A7 ___________ B7五、發明説明（5 ) 長期連缅操作中由醆氣中有效地分離出且予去除而不必停 止半導體裝置製造系铳。 根據本發明之第二形態，提出一種《I氣處理糸统，其 包括： 一焚化糸统睡氣處理工具，其僳經由《氣排放管線速 接至半導體裝置製造糸铳，及 一抽氣工具其係經由抽氣管線連接至該廢氣處理工具 K由該半導體裝置製造系铳將廢氣抽取至該廢氣處理工具 内，其中該抽氣管線係由一前蟠抽氣管線及後端抽氣管線 而成的，於該前嬝與後靖抽氣管線之間S置著能將廢氣中 所含粒子由_氣中分離出且予去除的粒子分離裝置，該粒 子分雛装置具有： 一氣體容器，其界定一氣體室以容纳該含有粒子並由 該前端抽氣管線之後斓排放出的廢氣；及 一騣氣導引元件，其係配置於該氣體室内且具有界定 内部空間之導引壁，其上有開口藉以使該内部空間與該氣 «室满通，且該睹氣導引元件之導引壁係予以形成Μ使該 抽氣工具操作導引由該前翊抽氣管線之後端排放至該氣通 室中之廢氣並使該廢氣於該氣體室内Μ垂直垣旋流形式潦 動。 根據本發明之·第二形戆的廢氣處理裝置，類似於根據 本發明之第一形態者，能夠在不必停止半導《裝置製造糸 統之下於長連鑛操作期内確實地將焚化糸統廢氣處理工具 所產生的粒子，例如Si〇2由醆氣中分離並予去除。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 7 38572 I.—^—--I---^裝-- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

,1T 319709 經濟部中央樣準局廣工消費合作社印裝 A7 __B7五、發明説明（6 ) 根據本發明之第三形態，該«氣處理系統更包括一粒 子容器，其具有一粒子接收單元，其係K可拆卸方式經由 一連接管連接至粒子分離裝置之粒子排放單元。 閥，其分別K置於粒子分離裝置之粒子排放單元上及 粒子容器之粒子接收單元上，及 一氣體置換工具，用Μ用惰性氣體置換該連接管及該 粒子容器内所含氣應以將其内密封著惰性氣體之粒子容器 由粒子分離裝置與開供後續處理。 閥打開時即將粒子分離装置氣«室內收集的粒子_送 入粒子容器内。當粒子容器内所收集及貯存的粒子已予處 置時，S置於粒子容器之粒子接收單元内的閥即保持開放 而配置於粒子分離裝置的粒子排放單元內之閥則闕閉，氣 體置換工具即予搡作而Μ惰性氣體，例如Ν2氣賸置換粒子 容器内所含的氣髖，配置於粒子容器的粒子接收單元内之 W即W閉，然後，由粒子分離裝置拆卸該粒子容器。 由於W係W閉以於用情性氣體置換粒子容器内所含氣 體及將粒子容器由粒子分離装置拆卸的搡作遇程中能密封 任該粒子容器，因此粒子不致由粒子容器及粒子分離裝置 洩漏出。由於由粒子分離裝置拆卸的粒子容器内係含有惰 性氣體，因此即使於該粒子容器所含的粒子内持留著爆炸 性廢氣亦不致發生意外爆炸或類似情況，使得該粒子容器 可Μ安全地處置。 1忒夕觼里銳明 _由下述的說明配合附園可更明瞭明顯上述及其他的本 本紙張尺度適用中國國家棵準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 8 38572 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_

,1T 319709 A7 B7 經濟部中央標準局員工消费合作社印裝 五、發明説明（7 ) 發 明 的 目的、 特徽及優黏， 於諸附圃中： 第 1圈為 說明 本發明 之 第 一 實 施例 之 圈 f 第 2_為 閜示 導引元 件 與 前 m 排放 管 媒 的 一 端 之 間 的 位 置 闞 係之類似_ ; 第 3醒為 Μ示 粒子分 離 裝 置 的 结構 之 類 似 横 截 面 匾 第 4圜為 閫示 於導引 元 件 表 面 上界 定 的 出 P 之 類 U 横 斷 面 圈 • 第 5圈為 轜肋 闞逑邂 旋 氣 « 流 促成 粒 子 落 下 的 原 理 之 圖 形 * 第 6園為 闡示 本發明 之 第 二 實 豳例 之 類 似 園 V 第 7_為 多數 粒子分 鐮 裝 置 之 配置 圈 9 第 8圖為 導引 元件之 各 種 變 形 體之 鼷 形 第 9_為 闞示 將粒子 容 器 連 接 至氣 體 容 91 容 器 的 連 接 機 m 之 圈形； 且 第 10·為傅統廢氣處理糸统之闞示匾。 較 伴 JL 淪俐夕詳ffl銳明 第 — V m m 根 據本發明第一實_例之《氣處理系铳參照第] 圓 至 第 4圓說明， 其中 與第10圈 所 示 傳 铳廢 氣 處 理 系 铳 所 含 组 件 相 同 或相對«的姐件係^ 从相同的指示匾號檷定而其說明 則 予 >λ 省略。 第 1圔至 第4圈中所示的第- -實施例之醆氣處理系统 1 0在 基 本組態上係與前〗 遂第10圈說明的傅铳ISM K處理系铳 類 似 0 該廢氣處理系统装設有- -個配置於形成廢氣排放管 本紙張尺度適用中國國家揉準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 3857 2

五、發明説明（8 ) 線41之前端排放管線42與後端排放管線43之間的粒子分離 式 形 流 旋 迴 以 部 ·1 内 S 其如 於例 氣 ， 廢子 使粒 20的 置含 裝所 離中 分氣 子廢 粒出 該離 〇 分 20而 置動 裝流 子 粒 2 向 直 0 個1 有 具 2 4 線 管 放 排 端 前 該 者 示 所 圖 ix 第 如 分 子 粒 统該条在 造至 製接 置連 裝個體 一 導有 半含 至43 接管 連放 及排 , 端 2a後 份 部bo 端42 的份 彎部 上端 份 部 端 之 11 3 件 元 引 導 的 内 ο 2 置 裝 離 連 及 般 述 後 如 容 bo體 43氣 份之 部22 端室 一 體 另氣 之 一 11定 置界 裝値 理 一 處有 氣具 廢 2 統置 条裝 式離 濕分 或子 式粒 乾該 至 接 1IA 2 器 件 元 引 導 置 装 氣 抽1 及 容 體 氣 至 放 排 a 2 4 份 部 端 之 11 2 器 容 體 氣 於 示 所 匾 9 第 及 4圖 線 3 管第 放如 排 。 端内 前22 由室 偽體 氣氣 廢之 IX 2 器 所放 内抹 2 6 2 2 室元 體單 氣放 。 排 26子 元粒 單該 放由 排經 子偽 粒子 痼 粒 一02 著S1 接如 連例 上 -23子 壁粒 部的 底集 之收 經 式 方 的 卸 拆 可 以 係 3 8 2 元 單 收 接 子 粒 之 8 2 器 容 子 粒 管 接 .1- 由 元 單 放 排 子 粒 至 接 管 軟1 如 例 子 粒 1 --1» .「· i .1 - ^^^1 n—^^1 . --- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央襟準局負工消費合作社印裝 元 單 放 排 子 粒 至 接 遘 接 直 可 a 8 2 元 單 收 接 子 粒 之 8 2 器 容 閥 値 有 設 裝 上 6 2 元 單 放 排 子 粒 之 1± 2 器 容 子 粒 有 設 則 a 置 裝 換 置 裝 28睡 元氣 單舾 收 一 接有 子設 粒10 之統 28糸 器理 容處 子氣 粒廢 該 而 氣 2 閥 性 惰 用 以 將 以 A ο ο 6 體一兀 氣單 的給 含供 所髅 内氣 8 i 2 性 器惰 容 一 子括 粒包 換60 置置 體裝 換 置 如醱 例氣 , 該 體 氣 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 10 (修正頁） 3 8 5 7 2 經濟部中央揉準局員工消费合作社印製 kl B7五、發明説明（9 ) 惰性氣體供給至粒子容器28之内，及一回流單元60B Μ將 粒子容器28内所含氣體回流至前端排放管線42之内。 該惰性氣體供給單元60Α具有一惰性氣體供給管線61 其一端連接至閥27Α下方的粒子排放單元26,而其另一端 連接至一惰性氣«源（未繪出及具有一配置於該侑性氣 通供給管線61内之閥62。該氣體置換裝置60將惰性氣體（ Ν2氣體）經由軟性連接管29及類似物供給至粒子容器28内 〇 該回流管媒60Β具有一回流管件65其具有一連接至粒 子容器28之下端，且連接至前端排放管線42之上蟠，且具 有配置於回流管件65之半途處的閥66及67。氣體係由粒子 容器28回流至前皤排放管線42。6 9所指者為一壓力計Κ指 示出粒子容器28内之壓力。 參閲第2圈，導引元件3]係S置於氣體容器21所界定 的氣體室22之上嬝部份，其具有一對沿著畏袖邊緣36接合 的底部壁32及33而形成一個V-形截面之底部份，且装設有 吼□ 藉此導引元件31之内部空間35與氣體室22相通。導 引元件3 1装設有強化甩,如第2圈至第4圈所示者 。内部空間35係經由後端排放管線43連接至睡氣處理裝置 11。導引元件31係以其V -形下蟠部份之緣36平行於前端排 故管線42之襯部份42a延展而配置的且其底部壁3.2及33之 導引面係K相對於包括前端排放管線42端部份42a的縱袖 之垂直平面呈相等傾斜角Θ 1及Θ 2(例如Θ 1 = 0 2 = 37° )而 傾斜的S置著。 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 1 1 3 8 5 7 2 ________f 裝 —I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)

B7 五、發明説明（10 ) 當抽氣裝置51操作時，廢氣即經由前端排放管線42之 端部份42a吹向導引元件31底部壁32及33之導引面。其結 果，廢氣會受導引元件31底部壁32及33之導引面所偏轉而 於氣體室22内以垂直遛旋流形式流動。 如第4圖所示者，導引元件31之開口 34像於底部壁32 及3 3之倨別中間部份以外的底部壁3 2及3 3部份以預定間隔 形成的隙縫。此等開口 34亦可為穿孔形式。 當抽氣裝置51被驅動而操作時，氣體即由氣體室22抽 取流經導引元件31之開口 34,後端排放管線43,廢氣處理 裝置11及抽氣管45。 以下説明廢氣處理条統10之操作，抽氣裝置51被驅動 而由粒子分離裝置20氣體室22抽取氣體通過導引元件31之 開口 34。其結果使半導體裝置製造糸統1用過的廢氣例如 SiH4等氣體在抽經前端排放管線42的另一端部份42b之後 經由前端排放管線42之端部份42a排放至氣體室22之内。 有時，廢氣中含有半導體裝置製造糸統1所産生的粒子， 例如S i 0 2粒子。 由而排放入氣體室22内部之廢氣會受導引元件底部壁 32及33之導引面所偏轉而於氣體室22内以垂直迴旋流《II及 J2形式流動。 若廢氣含有粒子P,則當該粒子P沿箸第5圖所示的垂 直迴旋流J1及J2移動時，會有一離心力F作用至每一粒子 P之上。於該垂直迴旋流J1及J2之下端部份，離心力P之垂 直分力Fv會增加，且因為離心力F垂直分力Fv之增加及其 12 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝--- 、-='3 Λ 水-- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4规格UlOX29_?公釐） 3 8 5 7 2 319709 A7 __B7 五、發明説明（1 I) 本身重量W兩者傾向於使粒子P向下移動，所Μ粒子P不再 能與廢氣同時流動，而最後粒子Ρ由_氣之垂直迺旋流J1 及J2分離出並集中於氣體室22之底部。 粒子Ρ在垂直垣旋流J1及J2中流動時，粒子Ρ畲彼此播 撞且若干粒子Ρ會凝聚成粒子Ρ之聚集趙。由於粒子Ρ之聚 集體之質量大於個別粒子Ρ者且有較高的離心力作用於粒 子Ρ,聚集體上，因此粒子Ρ由裔氣中被分離出並予加速。 因此，随著廢氣於氣體室22内Μ垂直埵旋滾J1及J2形 式流動，粒子Ρ會自醆氣中分離出並沉積於氣體室22之底 部，而不含粒子Ρ之廢氣則流經導引元件31之開口 34進入 - -- I. - I - I - —--I I - I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 内 TA Τ—t 置 裝 II 理 處 氣0 壁 部 底 之 1 3 件 元 引 導 著 沿 然 雖 流 夠 能 份 部 端 上 的 流 氣0 旋 遐 直 5 子 粒 之 量 質 氣 廢 於 大 量 質 過 不 由 未 尚 使 即M 所 ο 2 J 及 11 J 潦 旋 港 接 動 移 而 2 J 及 11 J 流 旋 0 直 6 該 由 經 經濟部中央揉準局I工消費合作社印製 稹 沉 使 後 放 開 予 〇 經 4 Β 3 7 Ρ 2 目及 開 A 該27 經閥 流 能 放 排 Ρ 子 粒

•1T 之 動口 滾開 面之 I TX 引 3 導件 的元 及導 U 氣開 收 ？粒肖砍 32經PI® 近 且ί 的纟及 直 垂 通 越 il 移 能 未 則 子 粒 輕 的 出 離 分口 不 亦 子 粒 該 4 之 内 2 2 室 檀 氣 於 集 線 内 之 8 2 器 容 子 粒 入 進 9 2 管 接 連 質 κ

過sf則 »理.7B 集 收 所 内 8 2 器 容 子 粒 mj 理 處 欲 畨 閥 閉 關 性氣 惰的 態 狀 敢 開 持 保 時 Ρ 子 閥 將 係 K ο 6 置 裝 換 置 體 氣 用 後 然 8 2 器 容 子 粒 換 置 \Iy 體 氣 2 N /V 通 氣 管 接 連 質 及 6 6 閥 將 即 時 換 置 艚 氣 性 惰 用 欲 0 氣 。該 «' 當 含 ， 所 啟 内 開 3 857 2 本紙伕尺度適用中國國家梂準（CNS ) A4规格（210X297公釐） A7 __B7_五、發明説明（12) 然後起動惰性氣體供給單元供給情性氣體（N2氣》) 粒子容器28及软質連接管29内。其结果為使粒子容器28及 钦質連接管29内所含的氣體為惰性氣體所迫而流經回流管 線60Β之閥66,管65及閥67而進入前蟠排放管42内。如此， 於粒子容器28及软質連接管29内所含的氣體即為惰性氣體 (Ν2氣體）所置換。 然後，將粒子容器28之粒子接收單元28a自软質連接 管29卸下，且將閥66闞閉並自回流管線65拆卸。 由於由粒子分離裝置20分離出的情性氣體（氮氣）係被 密封入粒子容器28内，因此即使粒子容器2 8内所含的粒子 内持留著爆炸性廢氣，亦不致發生意外的爆炸或類Μ情況 ，致使該粒子可予安全地處置。 裝有粒子之粒子容器28係經由下述步嫌予Μ排空的。 將由粒子分離裝置28上拆雕的粒子容器28運送至預定的廢 棄物處理場所。將裝有流速調節閥之空氣供給簸動櫬（jig )(未繪出）連接至粒子容器28之粒子接收單元28a上的閥 v 27B。該裝有流速諝節閥之空氣供給簸動櫬能夠Μ低流速 供給空氣並調整空氣之氧漘度。 陳後，將空氣以低流速供給至粒子容器28之中，監控 粒子容器28内部之溫度。若粒子容器28内部之溫度趨向上 升時，需監控溫度至溫度停止上升，並調節空氣流速或減 低空氣之氧濃度。若粒子容器28内部之溫度根本不上升或 若該溫度先上升然後下降並穩定在低溫，則連鱗供給空氣 直至粒子容器28為空氣所充滿。 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X：297公釐） 3 8 5 7 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 經濟部中央樣準局貝工消費合作社印製 A7 B7 ’五、發明説明（1 3) 於粒子容器28為空氣所充滿之後，由粒子容器28移開 空氣供給簸動機，然後由粒子容器28去除粒子P。如此即 可將.粒.子處】。 如上文提及者，於本實施例之顢氣處理糸統，粒子分 離裝置20係S置於廢氣排放管線41之前端排放管42與後襯 排放管43之間，且於粒子分離裝置20内產生垂直迺旋廢氣 流J1及J2而將粒子P由廢氣中分離出，如此，廢氣排放管 線41,更特定言之，廢氣排放管線41之後端排放管43及廢 氣處理裝置11均不會為粒子P所堵塞，且粒子分離裝置20 係經設計成不致為粒子所堵塞。如此，廢氣中所含的粒子 即可確實地由廢氣分離出且可在不必中》半導體裝置製造 系铳1的操作之情況下長搡作期間有效率地處理晓氣並自 廢氣並自廢氣中去除有害氣體。 由於該導引元件31具有形成導引面之一對底部壁32及 33,因此可於氣體室22内形成兩道垂直迴旋氣流J1及J2, 賴此可進一步縮短S氣處理所需的時間。 由於粒子容器28内所含的可能爆炸之氣體已於氣體置 換裝置60内為惰性氣體所置換，因此可於無粒子容器28發 生意外爆炸或類似情況之顧處下將粒子容器28由粒子分離 « 裝置20分雛出。當粒子容器28由粒子分離裝置20分離後， 可Μ使用裝有流速調節閥之空氣供給簸動櫬將粒子容器 2 8中所含的粒子由粒子容器28内安全地去除。 第二奮豳例 接著根據本發明之第二實施例之睹氣«理系铳10’參 1 5 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X 297公釐） 3 8 57 2 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 、1Τ k 經濟部中央標準局—工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14) 閲第6圓說明，其中與第1圔至第4圈所示廢氣處理糸统10 所含組件相同或相對應的组件係以相同的指示圈號棵定且 省略其說明Μ避免重複。該廢氣處理糸統10'具有一焚化糸统廢氣處理裝置11 ，其係經由廢氣排放管線41連接至半導體裝置糸統1;一 氣 嬙 前 由 0 係 其 ο 2 置 裝 離 分 子 粒 置 装 理 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 處接 氣連 _47 該管 至體 接氣 連端 46後 管由 體經 1 2 } 由 置 及[1經 抽 置 裝 離 分 子 粒 至 係 \«/ 子 粒 粒 装醆分 氣 。子 係 其 ΤΛ 5 置 子 粒 的 生 — 3- 所 IX IX 置 裝 理 處 氣0 理 處 氣0 該 ο 除 去 K 予 ο 2 置 裝 雄 者 兩 I \tjf- 出 繪 未 /fv 置 裝 換 置 體 氣 及 .器 容 子 粒 有 設 裝 ο TX 統 糸 氣 廢 例 施 。 實60 1 置 第裝 於換 似.置 類體 皆氣 子輿 6 粒 4 該管 ，.體 言氣 而蟠 體前 具之 更45 線 管 具 ο 2 置 装 離 分 子 粒 該 理 離端 ί 有 處 分後ίί 及 8 2 器 容 子 粒 之 中 P ο 1* 铳 系 0 抽 成 形 於 置 配 係 ο 2 置 裝 -訂 端 前 由 且 子 粒 有 含 收 接 M 2 2 室 體 氣 的 配 係 其 1L 3 件 元 引 導 0 0 191¾¾ 氣 氣 間 之 7 4 管 體 氣 1 定 界 其 IX 2 器 容 體 氣 份 部 端 之 6 4 管 出 tl· 5¾ a

U ο IX 5 置 裝 氣 抽 至 接 W 7 4 管 體 氣 端 後壁 由部 經底 且有 内具 2 1 2 3 室件 體元 氣引 該導 於該 置 40時 3 1 3 開元 有| 設1¾ 向 Iffi吹 弓 a 6 導 4 成份 形部 其端 33之 及46 32管

於 體 氣 使 而 轉0 體 。 氣動 使流 即式 面形 丨 2 弓 J 11導 置半 装止 埋停 處必 氣不 醆在 铳 Μ 糸可 化子 焚粒 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） 體 氣 端 前 由0 體 0 當 導 之 3 3 及 2 3 壁 部 底 及 1* J 流 旋 壢 直 E Μ 2 2 室 如 例 子 粒 的 生 產

期 作 操 長 1 統 糸 造 製 S 16 3 8 57 2 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 318709 A7 __B7五、發明説明《5 ) 之情況下經由粒子分離裝置20'確實且有效率地由氣醱中 分離並予去除。 於第一及第二賁施例中之廢氣處理糸統皆可裝設多個 類似粒子分離裝置20之粒子分離裝置以更有效地進行粒子 分離操作。 如第7圓所例示般，可由前端排放管線42A,中間排放 管線42B及後端排放管線42C形成氣醱排放管線41,且可於 前端排放管線42A與中間排放管線42B之間及於中間排放管 線42B舆後端排放管線42C之間分別配置粒子分離裝置20。 類似地，可於氣體排放管線41上配置兩傾粒子分離裝置 20 ' 〇 雖然前述諸實施例中.所用的導引元件31具有形成V-形 導引面之兩籲底部壁3 2及33,然而該導引面可以形成為任 何形狀，僅需能使棑放管線42(46)之端部份42a(46a)吹出 的廢氣（氣醱）以迺旋流形式流動即可。例如，導引元件31 可以裝設有形成單一導引面之單一底部壁，例如32,以減 少氣體容器21之水平尺寸。 可以採用如第8(A)圖所示具有圚錐形導引面32之導引 元件31或第8(B)圏所示具有角錐形導引面之導引元件31。 亦可採用具有形成水平導引面的底部壁32之導引元件31, 並將排放管線4 2 (46)配置成使其端部份42a(46a)傾斜地相 對於導引元件31之水平導引面延展如第8(C)圈所示者以産 生迺旋流。 雖然本發明已就其較佳形態予以詳細説明然而顯然的 仍有多種變更及變形醱。因此欲以了解者，為本發明可用 前文特別説明者以外的方式實施而仍不違離其範園舆旨意 -----------^ -裝--；-----訂------f 冰 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 17 (修正頁） 3 857 2 附件 經濟部中央標準局—工消費合作社印製

五、發明説明（16 ) 羊要元件符號説明' 符號 m_& 1 半 導 體 裝 置 製造糸統 10 (10Ρ , 10Ρ ') 廢 氣 處 理 % 統 11(1 1 ') 廢 氣 處 理 裝 置 20(20，） 粒 子 分 離 裝 置 21 氣 體 容 器 22 氣 體 室 23 底 部 壁 26 粒 子 排 放 α» 卑 元 27 A , 27B 閥 28 粒 子 容 器 28a 粒 子 接 收 aa 早 元 29 連 接 Mr' 営 31 導 引 元 件 32 底 部 壁 33 底 部 壁 34 開 π 35 内 部 空 間 36 m 3 8 肋 狀 物 41 廢 氣 排 放 管 線. 42 前 端 排 放 管 線 4 2a, 42b 端 部 份 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) £, 装·

、1T Λ 本紙張尺度適用中.國國家標準（CNS〉A4規格（210 X 297公釐） . 18 (補充頁） 3 8 5 7 2 經濟部中央襟準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（丨7 ) 42 A 前 端 排 放 管 線 42B 中 間 排 放 管 線 42C 後 端 排 放 管 線 43 後 端 排 放 管 線 45 抽 氣 管 46 前 端 氣 體 管 4 6a 端 部 份 47 後 端 氣 體 管 5 1 抽 氣 裝 置 60 氣 體 置 換 裝 置 60A 惰 性 氣 體 供 給 早 元 60B 回 流 管 線 61 惰 性 氣 體 供 應 管 線 62 閥 65 回 流 管 線 66 閥 67 閥 69 壓 力 計 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 19 (補充頁） 3 8 5 7 2

Claims (1)

1. 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 附件四 --I - V η 〆 修嚴 ii倉 Λ Η3 η 1 8 5 1 1 5 5 4 6 號專 利申請案 申請專利範圍 修正本 (86年9月 12 0 ) 1 . 一 種 廢 氣 處 理 % 統 其 包 括 乾 式 条 統 或 濕 式 糸 統 廢 A R 處 理 工 具 該 工 具 偽 經 由 廢 氣 排 放 管 線 連 接 至 半 導 體 裝 置 製 造 % 統 1 及 抽 氣 工 具 1 其 係 經 由 抽 氣 管 線 連 接 至 該 廢 氣 處 理 工 具 * 以 白 半 導 體 裝 置 製 造 % 統 將 廢 氣 抽 取 至 該 廢 氣 處 理 工 具 内 ) 其 改 良 處 包 括 粒 子 分 離 裝 置 > 其 能 夠 將 廢 氣 中 所 含 粒 子 由 廢 氣 中 分 離 並 予 去 除 > 且 其 % 配 置 於 形 成 該 廢 氣 排 放 管 線 之 ..VA· 刖 端 排 放 管 與 後 端 排 放 管 之 間 9 該 粒 子 分 離 裝 置 包 括 ： 氣 體 容 器 r 其 界 定 用 以 容 納 該 含 有 粒 子 且 由 Λ t. 刖 XUI m 排 放 管 線 之 後 端 部 分 排 放 出 Ϊ 廢 氣 之 氣 體 室 > 廢 氣 導 引 元 件 其 係 配 置 於 該 氣 體 室 内 且 具 有 界 定 内 部 空 間 之 導 引 壁 其 上 有 開 Ρ 藉 以 使 該 内 部 空 間 與 氣 體 室 溝 通 且 該 廢 氣 導 引 元 件 之 導 引 壁 像 予 以 形 成 > 以 使 該 抽 氣 工 具 操 作 時 導 引 由 該 前 端 排 放 管 線 之 後 端 排 放 至 該 氣 體 室 中 之 廢 氣 > 並 使 該 廢 氣 於 該 氣 體 室 内 以 垂 直 迴 旋 流 形 式 流 動 C 2 . ^ 種 廢 氣 處 理 糸 統 > 其 包 括 經 由 廢 氣 排 放 管 線 連 接 至 半 導 體 裝 置 製 造 % 統 之 焚 化 % 統 廢 氣 處 理 工 具 1 及 抽 氣 工 具 > 該 抽 氣 工 具 % 經 由 ί 由 氣 管 線 連 接 至 該 廢 氣 處 理 工 具 以 將 廢 氣 由 該 半 導 體 裝 置 製 造 糸 統 抽 取 至 該 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )A4規格（210 X 297公梦） 3 經濟部中央標準局員工福利委員會印製 19709 _H3_ 廢氣處理工具之内； 其改良處包括粒子分離裝置，該裝置能將廢氣中 所含粒子由廢氣中分離出且予去除，且其偽配置於形 成該抽氣管線之前端抽氣管與後端抽氣管之間，該粒 子分離裝置包括： 氣體容器，其界定用以容納該含有粒子且由該前 端抽氣管之後端排放出的廢氣之氣體室； 廢氣導引元件，其傜配置於該氣體室内且具有界 定内部空間之導引壁，其上有開口藉以使該内部空間 與氣體室溝通，且該廢氣導引元件之導引壁傺予以形 成，以使在抽氣工具操作時導引由該前端抽琿管之後 端排放至該氣體室中之廢氣，並使該廢氣於該氣體室 内以垂直迴旋流形式流動。 3.-如申請專利範圍第1項之廢氣處理糸統，更包括： 粒子容器，其具有粒子接收單元，傜以可拆卸方 式，經由連接管連至該粒子分離裝置之粒子排放單元， 閥，傑分別配置於該粒子分離裝置之粒子排放單 元及粒子容器之粒子接收單元内，及 氣體置換工具，傜用以將該連接管與該粒子容器 内所含的氣體用惰性氣體置換，以使該粒子容器内初 始所含的氣體為該惰性氣體所置換，並在將該惰性氣 體密封於該粒子容器内後始將該粒子容器由該粒子分 離裝置上拆卸，以處理該粒子容器内所含的粒子。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )A4規格（210 X 297公爱)