TW315483B - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- TW315483B TW315483B TW084105542A TW84105542A TW315483B TW 315483 B TW315483 B TW 315483B TW 084105542 A TW084105542 A TW 084105542A TW 84105542 A TW84105542 A TW 84105542A TW 315483 B TW315483 B TW 315483B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- glove box
- item
- seal
- sealing element
- product
- Prior art date
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J21/00—Chambers provided with manipulation devices
- B25J21/02—Glove-boxes, i.e. chambers in which manipulations are performed by the human hands in gloves built into the chamber walls; Gloves therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
- H01J9/395—Filling vessels
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Description
經濟部中央樣準局貝工消費合作社印裝 315483 A7 __B7_._ 五、發明説明(1 ) 發明之範園 本發明是鬭於一包含保護氣分(protective gas atmosphere)的手套箱。更特別地,本發明是矚於一手 套箱,其中之氣體放霣燈,對於充埔純度有極离之需求 ,被供慝以離子化充埔。 發明之背聚 當以製燈檐器製迪低瓦特离懕放霣燈時,離子化充熵 必須特別小心地引入放霣容器内。因為低瓦特高壓放電 燈具有相當小的放《室,對蠹地,具有小計量的充«成 份,邸使微量的放霣癦污染亦可影響燈所發出的光或甚 至使燈失效。因此,以使用於其他氣體放霣燈之型式的 傳統泵站(puip stand)來執行沖洗和充填程序要負擔可 覼的風險。 «离壓放電燈之製造典型上大部分是在一手套箱内在 保謹氣分中執行。為了處理•先期産品或次總成,銷离 壓放電燈本身經由一或更多門整批進料至手套箱内部。 工具配置於手套箱内部以處理和/或加工燈和/或燈先 期産品。逋些工具或工作站以燈和/或燈先期産品的輪 送裝置互相两聯。它們為髙度自動化以提供离産量。 然而,逭些技術不能遽用於製造其他离壓放霣燈,例 如水銀蒸氣离壓放霣燈或《索金羼蒸氣离壓放霣燈,因 為JI些燈所補要的某些生産步骤,例如密封放電容器端 -3- 本紙張尺度逍用中國國家橾準(CNS )八4规格(210X297公釐) (請先閲讀背面之注意參項再填寫本頁) 裝. 訂 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明(2 ) 部和凍結稀有氣讎充缜成份,只能在非常离和幾乎無法 接受的技術能力和費用下才可在一手套箱内完成。 此外,手套箱内的髙度自勳化程序可能由於灰應、藝 損和潤滑蒸氣而導致輕撇污染,此污染在裂造具有極小 至0.0 3立方公分的放電室和對蠢的小計量充«成份之放 霣燈是無法忍受的。逭些煊使用於,例如車辆頭煻的低 瓦特离壓放«燈。另一方面,如果要保持高生産力,即 使是裂造低瓦待高壓放霣燈,亦不能免於使用离度自動 化程序。 發明之說明 因此,本發明之一目的是提供一手套箱以製造對於手 套箱内保護氣分之纯度有离度霈求的産品,尤其是電煜 ,且其提供离産《或《理能力或性能。 簡言之,依鐮本發明之手套箱具有Μ部和至少一項部 和一可橈一 最好是可轉動_,轉動的底構件。底構 件•侧部,和至少一頂部建结在一起以形成一氣密的密 封内部,其包含保謹氣氛。很多産品夾持器固定在底構 件以保持待加工的先期産品或次鍵成或半成品。毎值産 品夾持器具有一導管可鼷閉成氣密。 産品夾持器沿一輿底構件之__同心的鼷或·弧而配 置。産品夾持器保持先期産品或半成品,俾使先期産品 或半成品的一子區域或部分區域或部分可供配置於手袭 本纸張尺度適用中國國家橾率(CNS ) Α4规格(210X297公釐〉 ------'---Λ ^-----:1 訂-----Ο (請先Μ讀背面之注項再填寫本頁) 3丄£4S3 A7 _B7_ 五、發明説明(3 ) . 箱内部之保護氣氛内的«理裝置加以處理。 同時先期産品或半成品的另一子區域或部分可供配置 於手套箱外部的工具或工作站加工。 此配置使得可在手套葡内執行那些絕衡必須在保護氣 氛内貢施的程序,而其餘所有生産步驟可在手套箱外執 行。因此,只有執行在保謹氣氛内實施之程序所需的處 理裝置或工作站必須安裝在手*箱内部,其餘所有工具 或工作站可配置在手套箱外部。此配置可觀地減少在手 套箱保謹氣氛内可能發生的污染。 依擦本發明之手套箱允許待*理的先期産品或半成品 不再需要整批進料至手套箱内。此外,本發明之手套箱 内部不需要輸送装置來輪送待《理的先期産品或半成品。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 (請先聞讀背面之注項再填寫本頁) 處理装置,工作站和/或工具配置在由産品夾持器所 界定的鼷或弧之上或之下,以致於當手套箱底部輿處理 装置和工具的嫌作旋律或饋檸或循琛两步轉動時,保持 在産品夾持器内的,先期産品,次總成或半成品被直接 供應至不問的處理裝置或工作站和工具。如此可邃成很 高的生産力。 手套箱的底構件最好以一環形密封加以封閉,環形密 封具有受歷而頂住手*箱之底構件的乾》支撑件。所霈 之接觸壓力在一實施例中藉一設置在手套箱壁中而在密 封上方的可膨脹琿形軟管而産生。亦可以其他方式産生 -5 - 本紙張尺度逍用中國國家梂率(CNS ) A4规格(210X297公釐) 315483 A7 B7 __ 五、發明説明(4) (請先閲讀背面之注I項再填寫本頁) 所需之接觸屋力。例如,在第二實施例中•所需之接觴 S力借助於滾動支座(roller block)而確保,滾動支座 使相對移動的元件,即,手套箱的底構件和手套箱的外 單,相對於彼此而精密定位。 密封本身具有一以鈍氣沖洗的鼷周狀阻擂槽,以防止 空氣擴散進入手套箱内部。手套箱内的氣讎力稍大於 充«手套箱外部的空氣K力較有利,以使空氣和其他污 物難以侵入手套箱内部。 式之說明 _1為依據本發明之手褰箱之离度示意剖面·。 2為依據本發明之手套箱的侧视_,部分為剖而·。 _3為手套箱之底構件之一密封的第一實施例之剖面 ,和一産品夾持罌t且 4為手套箱之底構件之密封的第二實施例之剖面鼸。 發明之詳细說明 經濟部中央標準局貝工消费合作社印装 1以离度示意方式說明依據本發明之手套箱的基本 應則。手套箱具有一含有一 Λ部la和一供部lb之外軍, 和一被可旋轉支撑的底構件2。底構件2設有很多産品夾 持器3以保持先期産品4。所顯示的先期産品為4為低 瓦特离壓放霣燈的放電容器。放霣容器4的上觸位於手 套箱内部的保護氣氛内,以使放霣室輿保護氣氛相通, 而放電容器4的下蠕位於手套箱外部。 本紙張尺度逋用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) B7 五、發明説明(5 ) 充《成份之引入,現在可利用安裝在手赛箱内部的處 理裝置或操作站而保護氣氛内執行。藉手套箱之底構件 2輿製煜機器之操作*琢的間步轉動,保持在産品夾持 器3的放電容器4被送至手套箱1内部的不同處理站和 其工具。手套箱之底構件2的密封5a, 5b具有界定一璨 形阻播槽6的雙壁,環形阻擂榷&以鈍氣7沖洗。 鼷2為依據本發明之一手套箱的更样细侧视·,部分 為剖面_。此手套箱包含一外軍10具有頂部10a, 10a’ 和侧部10b,及一底構件11。外睪10和底11 一起界定一 密封的氣密内部12。手套箱之内部12可藉手套21以人工 操作而進入,手套21以氣密方式建接至侧部10b且突出至 手套箱内部12。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注項再填寫本頁) 手套箱溝件11為一 盤,其由一璣11 a支撑,可橈其 垂直鞴轉動。底構件11的直徑約110公分。一*形密封 13設置在底構件11的邊與外罩10的韬部10b之間。二十 四ft産品夾持器14安装在底構件上,沿一與底構件11之 垂直麯同心而延伸的Η等距離分佈。毎俪産品夾持器14 保持一离壓放電燈的放電容器15。 外軍的頂部10a平行於手套箱的底構件11而配置且做 為λ理裝置16之安装平台,處理装置僅以示意_表示, 安裝在手套箱之内部。逭些處理裝置16沿産品夾持器14 所界定的鬭而配置在産品夾持器14上方。一第二《安裝 -7- 本紙張尺度逍用中國國家揉车(CNS ) A4规格(210X297公釐) A7 B7 五、發明説明(6 ) 至不同處理站上的裝置16和工作站和工具18。 手套箱之内部12包含一氫氣氛,其壓力稍大於手套箱 外部的空氣壓力,以防止空氣或其他污物浸入手套箱。 氫承受一値循環程序,其自氫淸潔装置R經由一 _向安 裝在外罩10之頂部10a的供應管》19被送至手套箱内部 12。氬經由偏心安裝在頂部10a的吸除裝置20回送至氬 淸潔裝置R。此裝置一方面在手套箱内部12産生一徑向 朝外的流動,另一方面以氫沖洗密封S域13,以防止空 氣向内《散。流動的路嫌在_2中以能頭代表。 密封13和産品夾持器14其次將配合_3詳细説明。 經濟部中央梂準局負工消费合作社印製 〇 套如處底步送 之手例的的同被 行在行12箱现鑛 平理轔部套循酯 且處18内手作15 方來站箱。操器 下用作套室的容 11. Η 手霣18霣 件18些在放具放 構具邃而入 Η 的 底 Η 〇 *引和 1 動和15鐮份站器 轉站器緊成作持 可作容或埔工夾 的工電熱充和品 箱有放加將16産 襄設的的為置在 手17面部作装持 在台外端 Η 理保 置平之器之處使 配裝12容16輿以 17安部管置11, 台二内霣装件« 平第箱放理構蓮 -------^---裝-- (請先Μ讀背面之注I項再填寫本頁) 3之密封的構造 在第一實施例中,密封13具有ϋ形拥面的密封環13 a, 其具有二同心環形密封面。密封13更包含可膨膜璨形軟 管13b和粘附至密封面的乾滑動支撑件13c。軟管13b可 以壓縮空氣L使之膨脹,而密封環13a舆乾滑動支撑件 "8 ~ 本紙張尺度逍用中BH家橾率(CNS ) Α4规格(210Χ297公釐) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印策 A7 B7 五、發明説明(7 ) 13c被壓而項住手套箱之麻構件11。乾滑動支撑件13係 由聚四氟乙烯俗稱鐵弗》,或二《乙烯-六«丙烯共聚 物俗稱VITON 组成。如果滑動支撑件13是由VITOH 裂 成,則必須用离真空拥滑腰和滑。U型密封珊13a和手 套箱底構件11之一凹部界定一阻播槽22 ,其經由一管 22a以氬神洗。氬經由管22a被引人,並經由一導管22b 而離鬭槽22。手套箱的底構件11和作用如一安裝平台的 外軍之頂部的低部10a設有重叠B29, 30,其平行於外 罩之««部10 b而延伸且將密封區域舆手套箱之其餘的内 部12隔臑。任何可能穿越密封13的氣體污物輿氬一起被 吸除装置2 8箝離此«到逢氬淸潔裝置 産品夾持器14以氣密方式钃合至底構件11。産品夾持 器14具有一 柱形導管23,其穿遇手套箱的底構件11且 設有一可收緊的密封琛24。放《容器15的管狀延伸,固 定在一安裝框荣25中,以氣密方式固定在導管23内,侔 使容器15的放電室可輿手套箱内部12相通。導管2 3朗向 手套箱内部12的開口,如·3所示,以氣密方式遽接至 一氬沖洗裝置27的沖洗槽26,在此以示意表示,其用 來沖洗放«室。沖洗装置27藉一在技藝上廣為人知的遽 當旋轉接頭,亦可以類似於密封13,達接至可轉動的底 構件11。沖洗槽26固定至一框架31並可藉將框架31輿起 和轉動以自産品夾持器14移走,侔使充填成份和上《極 -9- 本紙張尺度逍用中國國家標準(CNS ) Α4规格(210X297公釐) ---------^ 装-----ΜI 訂,;------〈kl·I、 (請先聞讀背面之注I項再填寫本頁) 0^5483 A7 B7 五、發明説明(8 ) 装置可自手套箱内部12引入放霣容器15。 _ 4之密封的構造 _4願示一手套箱之密封的第二實施例之剖面鼸。此 第二實施例輿手套箱密封之第一實施例的不冊黏只在於 手套箱底部51的密封,底部51大致相當於·1之板2或 謂3的板11。 在此實施例中,密封包含一琢形密封元件40,其經由 一橡醪板41蠼合至手套箱外軍52的销部52a。外犟52相 當於匪2的外單10。密封元件40安置在二鐵弗龍密封_ 42a, 42b,其舆手套箱之底構件51的垂直轉_(画4中 未示出)同心。密封琛42a、42b»複數接合件43蠼合至 手套箱的底構件51,侔使一旦手套箱之底構件51_動, 密封元件4 0在鐵弗鼸密封璨4 2a, 42 b上滑動。此二密封 琢42a, 42b輿手套箱之底構件51和密封元件40形成一琛 形阻播槽44,其經由手套箱底構件51中的两口 45以鈍氣 沖洗,此鈍氣以氬較佳。 經濟部中央揉準局員工消費合作社印裝 (請先聞讀背面之注$項再填寫本頁) 手套箱之底構件51和滑動於鐵弗龍環42a, 42b上的琢 形密封元件4 0藉很多滾柱構件46,47,4 8相财於彼此而精 密定位,滾柱構件固定至密封元件40。滾柱構件4 8相對 於滾柱構件46,47在園周上傷移。二重叠® 49,50將密封 元件40隔離於手套箱之内部。一區49固定至手套箱外單 52之侧部52a,另一霣50固定至手套箱之底構件51。 -1 0 _ 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) A4规格(210X297公釐) A7 _B7__ 五、發明説明(9 ) 本發明不限於上面所詳細說明之實施例。例如,在第 二實施例中,可將鐵弗龍密封環42a, 42b固定至密封元 件40,而非手套箱之底部51,律使手套箱之底構件51在 密封璨42a, 42 b上潸動。此外,手套箱之外形,特別是 手套箱外睪10,52之外形實際上可為任意想要的形狀。 例如,其可為箱形或面柱形。 J-----7,--Λ ^-----Γ-Ι1Τ;------- (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) 經濟部中央橾準局員工消费合作社印装 11 本紙張尺度逋用中國國家梂準(CNS ) A4规格(210X297公釐)
Claims (1)
- ABCD £|絛補 六、申請專利範圍 第84105542號「手套箱」專利案 (85年1月修正) 勺申諳專利範圍 1. 一種手套箱,具有一底(2,11,51),側部(lb,10b,52a) 和外罩部(1 a , 1 0 a , 1 0 a ’),該底,側部和外罩部界定— 氣密的内空間(12),其特擻為: 底(2,11,51)是可轉動的; 設有産品夾持器(3,14),氣密地固定在該底,且與 一穿越導管(23)形成氣密以接納産品(4,15),部分延 伸至手套箱的内空間(12),且部分在其外面, 該産品夾持器沿一與底之轉軸同心的圓或弧配置在 底(2,11,51)上; 處理裝置(16) /或工作站配置在手套箱之内空間(12) 裡面以對在該内空間的産品之部分加工;且 外配置之處理裝置或工作站(18)配置在手套箱外部 且被定位以對延伸至産品夾持器(3,14)外面的産品( 4 ,15)之部分加以操作。 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印袋 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 2. 如申請專利範圍第1項之手套箱,更包含一安裝板 (10a)以固定處理裝置(16),其有部分延伸進入該空 間(12);和 —第二安装板(17),相對於該手套箱,配置於第一 安裝板之相反側以保持外處理裝置或工作站(18), 該處理裝置或工作站沿箸一與該旋轉圓同心的圓或 -1 - 本纸張尺度適用中國國家標準(CNS ) Μ規格(210X297公釐) if 二 483 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 弧而配置。 (請先閱讀背面之注意ί項再填寫本頁) 3. 如申請專利範圍第1項之手套箱,其中該轉軸是一垂 直軸。 4. 如申請專利範圍第2項之手套箱,其中該轉軸是一垂 直軸;且其中該第一安裝板(10a)配置在手套箱的底 (2,11, 51)上方,且第二安裝板(17)配置在手套箱之 該底(2,11,51)下方。 5. 如申請專利範圍第1項之手套箱,其中手套箱的底 (2,11,51)可相對於下列之一而轉動:該邊(lb,10b, 52a)和該外罩(la ,10a,10a ' ) ; s 且設有一密封(13),以相關於一邊和外罩而將底(2, 11,51)密封,該密封包含一環形密封元件(13a)和固 定至該密封元件的乾滑動支撑件(13c)。 6. 如申請專利範圍第5項之手套箱,更包含一可膨脹軟 管(13b)以施壓於密封元件(13a)而頂住底(2,11)。 7. 如申請專利範圍第6項之手套箱,其中該乾滑動支撑 件(13c)由鐵弗龍元件組成。 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 8. 如申請專利範圍第4項之手套箱,其中該密封包括 一環形密封元件(40)氣密地連接至側部(52a)和外 罩(la); 二圓形或片狀密封環(42a ,42b)與該轉軸同心,且 在手套箱的可轉動底(51)和環形密封元件(40)之間形 -2- 本紙張尺度逋用中國國家揉準(CNS ) Α4規格(210 X 297公釐) 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印製 A8 Βδ C8 D8 六、申請專利範圍 成一氣密密封;和 滾柱元件(46,47, 48)連接至該密封元件(40)和該外 罩(la)之一,且被定位以相對精確地將手套箱的可轉 動底(5 1)和密封元件(4 0 )定位。 9.如申請專利範圍第8項之手套箱,其中密封環(42a, 42b)由鐵弗龍組成。 10. 如申請專利範圍第8項之手套箱,.其中密封環(42a, 42b)被固定至手套箱之底(51)。 11. 如申請專利範圍第1項之手套箱,其中手套箱(11,51 )之底由一配置在密封(5a,5b;13a,13c; 40,42 a, ,42b) 之相反側的環形槽(6,22,44)所形成,且包含以鈍氣沖 洗該槽的連接裝置。 12. 如申請專利範圍第1項之手套箱,更包含裝置(19)以 提高在該空間(12)内的氣壓至高於在該手套箱外的周 圍空氣壓力。 13. 如申請專利範圍第1項之手套箱,其中該産品(4,15) 包括高壓放電燈的放電容器。 4 4.如申請專利範圍第13項之手套箱,其中該高壓放電燈 的放電容器之容積的位階為數百分之一立方公分。 本紙诛尺度適用中國國家標準(CNS ) A4規格(210X297公釐) --------^ 裝-- (請先閲讀背面之注^h項再填寫本頁) 訂
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4422419A DE4422419A1 (de) | 1994-06-29 | 1994-06-29 | Glove-Box |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW315483B true TW315483B (zh) | 1997-09-11 |
Family
ID=6521588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW084105542A TW315483B (zh) | 1994-06-29 | 1995-06-01 |
Country Status (9)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5628665A (zh) |
EP (1) | EP0689904B1 (zh) |
JP (1) | JP3400614B2 (zh) |
KR (1) | KR100354723B1 (zh) |
CN (1) | CN1066665C (zh) |
CA (1) | CA2150646A1 (zh) |
DE (2) | DE4422419A1 (zh) |
HU (1) | HU215000B (zh) |
TW (1) | TW315483B (zh) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4422419A1 (de) * | 1994-06-29 | 1996-01-04 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Glove-Box |
DE10212191A1 (de) * | 2002-03-19 | 2003-10-09 | Konstantinos Raymondos | Respirator |
US7594281B1 (en) * | 2004-04-14 | 2009-09-29 | Larry & Brenda Stinson | Explosion and fire extraction safety garment |
DE102004041633A1 (de) † | 2004-08-27 | 2006-03-02 | Fockele, Matthias, Dr. | Vorrichtung zur Herstellung von Formkörpern |
KR100671124B1 (ko) | 2004-10-19 | 2007-01-17 | 제일모직주식회사 | 이온화모듈을 구비한 글로브박스, 및 이를 이용한 반도체및 유기el 소자의 평가방법 |
US7594342B2 (en) * | 2006-03-10 | 2009-09-29 | Bel-Art Products, Inc. | Spherical desiccator |
KR100731645B1 (ko) * | 2006-06-20 | 2007-06-22 | (주)엠오텍 | 고온고진공로가 부착된 글로브 박스 |
FR2906749B1 (fr) * | 2006-10-05 | 2009-01-30 | Cogema | Support de gant souple utilisable dans une ouverture d'une boite a gant. |
CN101456185B (zh) * | 2007-12-12 | 2012-02-01 | 张德龙 | 手套箱 |
US20090223592A1 (en) | 2008-03-04 | 2009-09-10 | Vanrx Pharmaceuticals, Inc. | Robotic filling systems and methods |
US9789986B2 (en) * | 2009-02-26 | 2017-10-17 | Vanrx Pharmasystems Inc. | Robotic filling systems and methods |
DE102008001411A1 (de) * | 2008-04-28 | 2009-10-29 | Robert Bosch Gmbh | Handschuhanordnung für Produktionseinrichtung |
GB2475536B (en) * | 2009-11-23 | 2016-05-18 | Heraeus Noblelight Ltd | A flash lamp, a corresponding method of manufacture and apparatus for the same |
JP5998684B2 (ja) * | 2012-07-05 | 2016-09-28 | 株式会社Ihi | グローブボックス装置 |
US20150164158A1 (en) * | 2013-12-13 | 2015-06-18 | Honeywell International Inc. | Protective overglove for glove-box gloves |
CN103646837B (zh) * | 2013-12-25 | 2016-01-27 | 尚忠法 | 双层手套箱式中频炉加热陶瓷金卤灯电弧管封接设备 |
CN106274708B (zh) * | 2016-08-29 | 2019-03-26 | 东风伟世通汽车饰件系统有限公司 | 一种汽车乘客侧手套箱 |
US10596532B2 (en) * | 2016-11-16 | 2020-03-24 | Zyno Medical, Llc | Isolatable automatic drug compounding system |
CN112213344B (zh) * | 2019-07-09 | 2024-06-07 | 万向一二三股份公司 | 一种软包锂离子电池极片析锂的判定方法 |
EP3771526B1 (de) * | 2019-07-30 | 2022-11-30 | Skan Ag | Handschuhvorrichtung zum geschützten eingriff in ein containment |
CN112476358B (zh) * | 2020-11-25 | 2021-11-09 | 深圳市互创赢科技有限公司 | 一种高平衡防护的高端智能芯片的防护台及其防护方法 |
JP7539857B2 (ja) * | 2021-09-15 | 2024-08-26 | 株式会社スギノマシン | 湿式微粒化装置 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2927679A (en) * | 1959-01-16 | 1960-03-08 | Westinghouse Electric Corp | Control apparatus |
GB887367A (en) * | 1959-03-03 | 1962-01-17 | Atomic Energy Authority Uk | Improvements in or relating to equipment for handling dangerous substances |
FR1282653A (fr) * | 1960-12-14 | 1962-01-27 | Installation pour le traitement et la manipulation de produits chimiques ou autres | |
FR2293288A1 (fr) * | 1974-12-06 | 1976-07-02 | Jean Francis Cadrot | Boite a gants pour manipulations en serie |
KR830001483Y1 (ko) * | 1980-02-25 | 1983-08-13 | 파이오니아 가부시기 가이샤 | 증폭기 |
HU207175B (en) * | 1986-02-12 | 1993-03-01 | Tungsram Reszvenytarsasag | Device for manufacturing discharge tube of a sodium vapour discharge lamp |
FR2621849B1 (fr) * | 1987-09-24 | 1994-11-25 | Calhene Sne | Installation pour travaux hors poussiere |
JPH01100847A (ja) * | 1987-10-12 | 1989-04-19 | Stanley Electric Co Ltd | 金属蒸気放電灯の製造方法 |
US5108333A (en) * | 1988-12-19 | 1992-04-28 | Patent Treuhand fur elektrische Gluhlampen m.b.H. | Method of making a double-ended high-pressure discharge lamp |
US5496201A (en) * | 1994-06-16 | 1996-03-05 | Industrial Technology Research Institute | Extendable exhausting assembly for the manufacture of gas discharge lamps |
DE4422419A1 (de) * | 1994-06-29 | 1996-01-04 | Patent Treuhand Ges Fuer Elektrische Gluehlampen Mbh | Glove-Box |
KR100689904B1 (ko) * | 2005-08-17 | 2007-03-08 | 위니아만도 주식회사 | 에어컨의 살균장치 |
-
1994
- 1994-06-29 DE DE4422419A patent/DE4422419A1/de not_active Withdrawn
-
1995
- 1995-05-24 US US08/449,428 patent/US5628665A/en not_active Expired - Fee Related
- 1995-05-31 CA CA002150646A patent/CA2150646A1/en not_active Abandoned
- 1995-06-01 TW TW084105542A patent/TW315483B/zh active
- 1995-06-14 EP EP95109257A patent/EP0689904B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-14 DE DE59501094T patent/DE59501094D1/de not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-27 HU HU9501895A patent/HU215000B/hu unknown
- 1995-06-28 JP JP16261695A patent/JP3400614B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1995-06-29 KR KR1019950019343A patent/KR100354723B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1995-06-29 CN CN95108128A patent/CN1066665C/zh not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
HUT73110A (en) | 1996-06-28 |
CN1066665C (zh) | 2001-06-06 |
HU9501895D0 (en) | 1995-08-28 |
KR960000427A (ko) | 1996-01-25 |
CA2150646A1 (en) | 1995-12-30 |
DE4422419A1 (de) | 1996-01-04 |
EP0689904B1 (de) | 1997-12-10 |
CN1127930A (zh) | 1996-07-31 |
JPH0847889A (ja) | 1996-02-20 |
HU215000B (hu) | 1998-08-28 |
DE59501094D1 (de) | 1998-01-22 |
EP0689904A1 (de) | 1996-01-03 |
KR100354723B1 (ko) | 2002-11-02 |
US5628665A (en) | 1997-05-13 |
JP3400614B2 (ja) | 2003-04-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW315483B (zh) | ||
US4094722A (en) | Etching apparatus using a plasma | |
JPH0613361A (ja) | 処理装置 | |
KR100280689B1 (ko) | 열처리 장치 | |
KR930022515A (ko) | 클린룸용 밀폐식 컨테이너 | |
JPH0774227A (ja) | マイクロ環境下のロードロック | |
WO2004012259A1 (ja) | 基板処理容器 | |
US6485604B1 (en) | Substrate processing apparatus | |
CN217797816U (zh) | 一种真空等离子清洗腔体 | |
KR100207607B1 (ko) | 방사성 동위원소 조사용기의 밀봉캡 핀홀 용접장치 및 용접방법 | |
US2678761A (en) | Exhaust head assembly | |
JP2002280373A (ja) | 基板処理装置 | |
CN210890069U (zh) | 一种反应室法兰的密封结构 | |
US3046641A (en) | Automatic assembling-apparatus for assembling clean semiconductors in clean shells | |
JP3449636B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JP2700939B2 (ja) | 封止装置 | |
CN217754196U (zh) | 一种电子浆料用具有扩容结构的灌装装置 | |
JP2002064104A (ja) | ガス処理装置 | |
CN209022312U (zh) | 一种橡胶管加工装置 | |
JP3269881B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
JPS58113378A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2004128366A (ja) | プラズマ処理装置 | |
JPH0547974B2 (zh) | ||
JP3183478B2 (ja) | 縦型プラズマリアクター | |
JPH03111575A (ja) | 真空処理装置 |