TW310443B - - Google Patents

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31C443 Α7 Β7 五、發明説明（1 ) 經濟部中央榇準局員工消費合作杜印製 本發明係鼷於在陰極射線管的表面上熟化一薄膜的方法 Ο 陰極射線管使用於，特別是，《視接收器、霣腦監視器 和示波器。 在開頭段落中所提到的該型鐮方法本身是為人所知的。 ,將一薄膜施加於陰棰射繚管之顧示視窗的表面上。這薄縝 Μ液體的形式瀾佈於表面上，於其後將它乾爍並加K热化 。習慣上，薄膜在鳙子中加Μ熟梅。鑪中的高溫造成薄膜 的热化。薄膜的热化時間從30分鑪變化至]小時。該方法 較不罐合於大量生產。在生產繚上，目檷是要讕轚各個製 程步驟彼此之間的捋鑛時間。然後顯示視窗或顯示管可接 續地或者「連線J地接受各個製程步驟。一僩製程步驟典 型而言耗費約略1分鐘。如果-·個製程步驟的持緬時間遠 超過平均持鑛時間，則該製程步鼸無法實施「逋鑛」，因 為生產線的速度通常是由最慢的製程步驟所決定。該相闞 製程步驟必須在生產線之外實施。為達此目的，顯示視窗 或顯示管必須自生產線移出，且實施該製程步鼸的裝置必 須在生產線側邊加Μ組立。這導致生產成本Μ及破裂風除 的增加。 本發明的目棵是提供一種關顗段落所提到之型態的方法 *其更缠合於「建鰊丄應用。 為達到這個目的，根據本發明之方法具有待徵為，薄膜 Κ入射於該膜之有限面積上且_繼鰊泰礙終《Γ射柬齄Μ鐮 化。 m flm ^in HI— —Bui tm tftn m n^i nn mu ^ r (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（2K)X*297公釐）—4- A7 B7 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 五、發明説明 ( 2 ) 1 1 I 本 發 明 是 Μ 位 於 該 面積中之 部 分薄 m Μ 1 1 1 I 請 1 1 由 m 射 柬 加 化 的黼霱為基 m 。頃 發 現 > 薄 鎮 可 在 從 先 閱 1 I 10秒 鑪 變 化 至 幾 分 鎗 的一段時 間 内箱 由 以 該 笛 射 束 掃 描 表 讀 背 1 1 面 而 加 Μ 热 化 〇 雷 射 束在表面 之 上的 移 動 具 有 元 件 本 身 t 面 1 例 如 顧 示 視 窗 之 m 度藝稍猶 増 旗的嫌點 0 只 有 薄 m 和 表 意 事 1 1 ,面 的 最 上 層 (即元件位於膜正下方的部分） 通 受 到 相 當 的 溫 項 1 度 增 加 〇 其 特 性 热麵游很 繼 產生: 或 者 一一 點 也 不 會 發 寫 本 装 I 生 〇 因 此 預 先 排 除 了由热應 力 導致 的 T.rit 败 裂 〇 後 •' 儸 儍 黏 1 1 1 在 根 據 本 發 明 之 方 法 的具賭簧 施 例中 特 別 籯 WB * 該 具 蘼 實 1 施 例 具 有 特 徵 為 將 薄膜施加 於 例如 顯 示 視 窗 之 已 抽 真 空 1 1 陰 極 管 的 外 側 或 已 抽 真空陰棰 射 線管 的 錐 角 〇 ——* 般 而 —w » 訂 已 抽 真 空 的 顬 示 管 不 能暴露於 高 潘一 長 段 的 時 間 〇 在 已 知 1 的 方 法 中 顯 示 管 及 因此鑪子 的 溫度 必 須 受 限 於 約 咯 100 1 I V - 200 t： > 在 較 高 的溫度下 有相 當 的 顧 示 管 Tjjr 販 裂 風 險 I 1 〇 在 根 據 本 發 明 的 方 法中，Μ 爾 射束 加 以 照 射 之 部 分 薄 膜 1 I 的 溫 度 是 攝 氏 好 幾 百 度。然而 » 整個 顧 示 签 的 溜 度 低 了 很 1 多 〇 後 錮 優 m (降樣姆被裂臟除)是 重 要 的 特 別 是 對 包 I 含 具 有 長 度 超 過 50 厘 米之對角 繚 之顯 示 視 窗 的 顯 示 朁 而 言 0 在 爐 子 中 加 熱 顯 示 管至須要 之 溫度 所 霈 要 的 時 間 鏞 著 顯 1 I 示 管 越 大 而 增 加 • 因 此破裂的 風 險也 鼸 之 增 加 0 根 據 本 發 1 明 之 方 法 的 較 佳 具 體 實施例具 有 特徽 為 f 薄 m 吸 收 少 量 的 1 | 雷 射 光 且 能 量 的 釋 出 集中於薄 膜 下方 的 面 積 埵 小 於 10 微 米 | 的 深 度 0 1 I 雷 射 光 由 材 料 吸 收 一般根據 .e箱:次蘑（::e - 〆 施行 ，ί 1$ 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國囷家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐）_5 31C443 A7 B7五、發明説明（3 ) 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 於其中do是常數。對薄膜而言，較好，do超遇薄膜的厚度 很多，且對基板而言•較好，do是在10微米之下。Μ其特 性，薄膜的雷射光吸收受到限制且雷射能產釋出於位在薄 膜正下方的薄層中（<1〇微米）。相較於將相當部分之雷射 能量釋出於薄膜中的情況*較佳方法較受喜愛*因為薄膜 ,中的溫度更為均勻且降低了薄膜堍《的風除。 本發明的一儷具驊實廊例具有特撖為，襯壩性羼痛倉氳 氛顯中加Μ熟化。 頃發現，藉由在含竄氛圈中施行雷射處理*可有利地影 響該層的導電係數。 陰極射線管要符合的一個要求楚，陰橱射線管所發出之 雜散埸的場強度在距陰播射線管的某些距離處要低於-·個 最小值。這另外稱之為「電磁遮蔽（electromagnetic sh ie lding *下文簡稱EMS) J 為達此目的，所施加的導 罨性層必須擁有相當低的霣氣阻抗。然而*頃發現，如果 該類層以退火加Μ熟化，則導》性曆的導罨度在空氣的影 響下增加，因此EMS降低。 如果造些層，例如ΙΤ0層（包含SnOWJnsrO»的灌）藉由 在含氳氛围中的雷射加Μ热化’則阻抗Μ鐮定降低的方式 降低。 另一個較佳具體霣施例具有铸繼為駔生於衾水飙囑中的 霣射加热。這也窠富泰_戚導霉度购壤參。 尚在討論中的該類效靡是相锴顯蕃的並造成好幾百倍的 改良，該改良是穩定的且再加熱至高溫不會不利地影響導 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 、1Τ 本紙張尺度逋用中國國家橾隼（CNS > Λ4規格（21〇Χ2β公釐） A 7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印装 五、發明説明（4 霄度。 該方法可用Μ施加薄_ (也稱為塗曆）於險極射鐮管的元 件上，然而，上述提及的先前技藝缺點Μ及本發明益處也 逋用於塗層在其他基板上的懕用，諸如在LCD(液晶顧示器 )之内和之上或者在合成樹脂上 , 本發明進一步係闞於热化在表面，例如陰極射線管之視 窗，上之薄膜的裝置。 本發明的埴些和其他方面將鶊由實例式具艚實施例並參 考附園更加詳细地加K解釋，其中 圓1是一個陰極射線管。 圈2是根據本發明之方法的具艚實腌例。 圖3是根據本發明之方法的另一届具髓實豳例。 該類圔形是概要式的且未依比例描鴆’類似的參考數字 一般表示類似的部分。 圖1是陰極射線管的横断面視圏，在埴儷實例中，彩色 陰極射線管包含具有幾乎完全長方形之顧示視窗2 ，封合 部分3和頸管4的已抽輿空套管1 。頚管中提供《槿系統 5 Μ產生，在本貢例中，三種躧子束6 ' 7和8。在本實例 中，電子束產生於一個平面中（在本例中為肜的平面）並 射向提供於顯示視窗内側上且其包含由很多發紅光、籃光 及綠光之螢光粉元件所姐成之螢光粉鼸案的爾塌發光顬示 螢幂9 。螢光粉元件可Κ是，例如’點狀或線狀型式。在 它們到達顯示螢幕9的途中，雷子束6 、7或8箱由偏折 單元10加Μ偏折掃過顯示酱幕9並穿遇包含具有空孔12之 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210'x 297公釐）_ 7- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂 310443 Λ 7 87 五、發明説明（5 ) 經濟部中央標隼局員工消费合作社印装 薄板且排列於顯示螢幕9之前的色彩選揮電橱11。三霄子 束6 、7和8 Μ小角度穿過色彩璣揮電極11的空孔12且， 因此，每一電子束入射於只由--種色彩姐成的螢光粉元件 。色彩選揮電極11糖由懸置元件13懸置於顥示螢幕之前。 顧示視窗的一儸表面，在本實例中為外_表掘1%，繅供鸾 /一薄鎮。這棰薄膜可用作為反反射或抗靜霣膜。根據已知 的方法，這樣的薄膜提供、乾烯然後加Μ熟化。薄膜習慣 性在爐中加Μ热化。如上所述*這樣的方法較不遍用於大 董生產，因為將薄膜加Μ热化的該製程步驟通常不能「埋 線J地實施。此外，如果將薄膜提供於已經抽興空的顯示 管上，則有顯示管將破裂之相當大的風險。本發明的一個 目標是提供一棰可將上述問題加Μ降低的方法。 根據本發明之方法的一個籣單具髑實豳例敘述於_2中 。將陰極射線管21或者一種基板（玻瑰、陶瓷材料或者諸 如鈣玻璃、硼矽酸鹽玻璃、電視玻璃、石英或鋦的另一種 材料）的視_安排於滑板22上並通遢播描中（例如來回地移 動）的霍射柬2¾下方。雷射柬縐禱描働作可*由臃子憲缴 。在霤射束位置處，親幽供應藝Μ鑛應靡戚氣覼(一種包 含氮和氳的含氫氣賭）U雷射柬之後’可能有冷卻區域A ，具有或不具有藉由空氣的強迫冷卻。接蕃•可供應雜如 水液性氣箱腰的含水氛《，較錚*至葡域8，於其後較好 在匾域C藉由乾空氣（或另一種氣體，諸如撖）_靥加Μ乾 嫌。Μ這種方式，將施加至螢幕之諸如凝滕塗曆的層加以 热化。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（2丨0Χ 297公釐）_3 {請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝· 訂 A7 B7五、發明説明（6 ) 經濟部中央標準局貝工消費合作社印策 第二具臁實施例敘述於麵3中。在逭偁具體實施例中， 雷射處理在形成氣體的氛園中進行，不綸是否與空氣混合 ，其氛圃以水溶性氣溶勝使其鉋和。該氣溶繆的微細度可 由調整霧化器加Μ改麥。圖3顯示導管36，其包含雷射束 33用的視留35且更包含供應含Μ氣艘（供應管37)、空氣或 另一種產生水溶性氣溶膠之氣艚（供應管38)及水（供應管 39)用的供應管37、38和39。 装置更包含將水排出的排放 管40。在圈形中，氣溶膠概略地Μ黏41代表》 在具艚實施例中*溶繭或者試蜊可溶於水溶性氣溶膠中 。另外也可能靜電充電水溶性氣溶膠顆粒。水顆粒的靜電 充锺使氣溶膠的較佳使用（較低損失）成為可能。 薄膜本身較好吸收少畺或不吸收笛射光。雷射的能量釋 出於膜正下方的薄層（約略10微米或更少）。雷射光由材料 吸收通常根據e的次方進行，於其中do是常數且 d是到該層表面的距離。較好•薄膜的d0值缠超邊薄_的 厚度d(d/d0<l)且基板的d0/小於10微米。結果，薄臟吸收 少董的雷射光且雷射的能量釋出於薄膜正下方的薄靨中。 與其中相當部分之雷射能量釋出於薄膜中的情況相比較， 較佳方法更令人喜愛，因為薄_中的溫度較為均均且使薄 膜燒蝕的風險降低。薄膜自下方加熱且热化。埴較有利， 因為在多孔層之緻密化期間所形成的反應產物可通通仍為 多孔狀的上層逸離。如果薄膜本身吸收，如此則能毚主要 釋出薄膜本身之中，最高溫發生薄膜的最上靥部分，該部 分在熱化期間首先緻密化並形成反應產物的陣壁。也有可 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝·

、1T 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) Α4规格（210x:297公釐）-9- 310443 Α7 Β7 五、發明説明（7 ) 經濟部中央橾準局貝工消費合作社印製 能薄鎮上雇中的溫度增加太多Μ致於薄膜的燒蝕發生。 Κ ，顯示視窗整艚的溫度不會增加或者增加很少。驊蕃 h 笛射束相對於表面的移動，热量很難透人顯示視留之中， 如果有的話。換句話說*將非常大霣的熱供懕至薄腰，每 質量單位的薄膜，且在較佳具驩實施例中在»膜的正下方 ,產生，如此薄膜的溫度在非常短的時間（幾秒鐘之内）之内 增加至非常高的數值（攝氏好幾吞度）·因此造成薄臢熟化 。然而，到達顧示視窗的热供應 > 每質量單位的顬示視窗 δ勺 ,萣小的，如此沒有或少數Λ熱應力發生於顯示視窗中。 頃發現，如果雷射處理在含篚氛圍中霣施，則雇的锺等 會有利地受到影響。 陰極射線管要符合的-儷要求是·陰極射線管所發出之 雜散場的場強度在距陰極射線管的某些距雛處要低於一儷 最小值。迨也稱之為「罨磁遮蔽（ε μ s )」〇 為達此目的， 所提供的導《性層必須擁有相凿低的®氣胆抗。頃發琨， 如果該類曆以退火加Μ热化*則導《性曆的導罨度在空氣 的影響下增加*因此EMS降低。 如果埴些曆*例如由ίΤΟ(包含Sn〇2/In2〇3的靥）姐成的 凝膠塗層藉由在含氳氛圃中的霤射加Μ熟化，則阻抗以穩 定降低的方式降低》 另一個較佳具體實施例具有特微為雷射加熱裸作發生於 含水氛圃中。這也造成穩定的辱罨度改良。 尚在討論中的該類效應是相當顧著的並造成好嫌百倍的 改良，該改良是穩定的旦再加熱至高溫不會不利地影響導 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂· 本紙張尺度逋用中國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X 297公釐）-10- 五、發明説明（8 ) A 7 87 電度。 該方法可用K施加薄膜（也稱為塗層）於陰極射嫌管的元 件上，然而，上述提及的先前技藝缺點以及本發明益處也 迪用於在其他基板上的塗曆製備*諸如在LCD (癘基顯示器 )之内和之上或者在合成樹脂上、 本發明也可用於施加反反射曆於顯示視窗的内或外表面 上。為達此目的，將例如四乙基矽酸腹（tetraethyl orthosilicate, F文籣稱TEOS )或四乙基鈦酸Μ (tetraethyl ortyhotitanate * 下文簡稱 ΤΕ0ΤΙ)的酒精溶 液撒佈或旋塗於表面之上，接蕃根據本發明方法加Μ熟化 。因而形成的膜是Si〇2或是Ti〇2膜。在本發明的__之内 ，很多的變化對熟諸此技蘑者是坷能的將是騮而易見的。 n (ϋ n^i Id nn m In In I n I— i m *'J • * M u?-$ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作杜印製 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) A4规格（2!〇>: 297公嫠）-11-

Claims (1)

1. .¾ s SC 8 ABCD 六、申請專利範圍 ' VI. 一種熟化在基板表面上之薄膜的方法*其特徽為*薄膜 藉由入射於薄膜之有限面積上且掃描表面的II射束加 熟化。 v/2. 根據申請專利範圍第1項之方法，其特徵為，薄顏吸收 少里的嚣射光且能量的釋出集中於薄瞋下方的面積中達 小於1 0徽米的深度， v 3 . 根據申請專利範圍第1或2項之方法•其特遨為，導電 性膜在含氫氛圍中以雷射束加Μ熟化 ,y4 . 根據申請專利範圍第1或2項之方法•其特徽為，導電 性膜在含水氛圍中以雷射束加Μ热化或者立即在熟化操 作之後供應含水氛圍： •J5. 根據申請專利範圍第1或2項之方法·其特徵為，薄膜 是由ΙΤΟ姐成的凝膠塗層。 ^6. 根據申請專利範圍第1或2項之方法，其特徵為 > 基板 是用於陰極射線管或陰極射線菅的顯示視a， …7. 一種利用申請專利範園第1項之方法熟化基板上之薄膜 \ ' ..................... , M "" 的装置，包含基板固定座·投射雷射束於基板上的装置 ，Μ雷射束掃描基板的裝置及供應含氫氣體至雷射束入 射於基板上之點的装置， (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁 」—裝-- --訂 線 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）