305806 A7 B7 經濟部中央橾準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（ 1 ) 1 1 [產業上之利用領域] 1 1 本 發 明 為 一 種 記 錄 裝 置 9 其 係 Μ 發 熱 電 阻 體 發 熱 所 產 1 1 | 生 的 氣 泡 之 壓 力 » 使 墨 水 滴 從 嗔 嘴 噴 射 Μ 執 行 記 錄 者 « /<-N 請 1 I 尤 指 關 於 具 有 可 噴 射 不 同 顔 色 或 不 同 m 度 墨 水 的 噴 嘴 先 閱 1 I 讀 1 | 之 噴 墨 記 錄 裝 置 〇 背 1 1 之 1 [習知之技術] 1 1 噴 墨 記 錄 方 式 是 由 於 可 高 速 記 錄 、 於 記 錄 之 際 幾 乎 無 事 項 1 | 再 1 1 噪 音 Λ 可 直 接 印 字 於 普 通 紙 » 及 不 必 定 影 處 理 時 « 具 有 填 寫 本 可 使 裝 置 小 型 化 之 優 點 » 而 向 商 品 化 進 展 〇 頁 1 噴 墨 記 錄 方 式 中 » 使墨水滴從喷嘴喷射的手段係有 ： 1 1 使 用 電 氣 • 機 械 轉 換 元 件 t 由 輸 入 信 號 使 其 機 械 上 的 變 1 I 形 所 產 生 的 運 動 Μ 噴 射 墨 水 之 方 式 t 或 使 用 電 氣 • 熱 轉 1 1 換 元 件 y 由 外 加 電 壓 脈 衝 使 其 發 熱 電 阻 體 發 熱 ， 在 發 熱 1 丁 1 的 發 熱 電 阻 體 上 所 產 生 的 氣 泡 壓 力 噴 射 墨 水 滴 之 所 謂 1 I 熱 噴 墨 方 式 0 1 1 第 1 4圖為 K 往 的 熱 嗔 墨 頭 之 一 例 t 圖 (A) 為 從 其 溝 道 1 1 的 袖 方 向 剖 開 之 斷 面 圖 > 圖 (B ) 為 從 圖 (A) B-B， 剖 開 之 吹 平 面 圖 > 圖 (C) 為從噴嘴側觀看 之 正 面 圖 〇 圖 中 > 1 為 1 1 溝 道 基 板 > 2 為 發 熱 電 阻 體 基 板 $ 3 為 溝 道 f 4 為 共 同 1 I 液 室 ♦ 5 為 噴 嘴 » 6 為 未 蝕 刻 部 位 > 7 為 發 熱 電 阻 體 f 1 I 8 為 絕 緣 層 » 9 為 厚 膜 絕 緣 層 » 10為第 1 凹 部 9 11為 第 1 1 2 凹 部 » 12為隔牆 1 1 3為墨 水 滴 • 1 4為 供 應 P 〇 第 1 4圖 1 I 是 以 特 開 平 5- 1 5 50 2 0 號 公 報 所 記 載 的 熱 噴 墨 頭 為 例 示 者。 1 1 在 溝 道 基 板 1 上 » 是 各 向 異 性 蝕 刻 形 成 溝 道 3 和 共 1 P 1 -3 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 305806 A7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 B7五、發明説明（2 ) 同液室4 ,溝道3的開口部位成為嗔嘴5 。各溝道3 Μ 間距Ρη的間隔設置，由隔牆12所隔開。又各溝道3與共 同液室4之間有未蝕刻部位6之存在。共同液室4形成 為將基板1貫通的樣子.其貫通孔成為墨水供應口 14。 在發熱電阻體基板2上，形成有發熱電阻體7 ,並形 成可將驅動信號供應與發熱電阻體7的圖未示之電極、 保護膜等。又，發熱電阻體基板2上也形成絕緣層8 、 厚膜絕緣層9 。發熱電阻體7上的絕緣層8及厚膜絕緣 層9被去除，而形成為第1凹部10。又，為使溝道3與 共同液室4連通，而在厚膜絕緣層9形成第2凹部11。 將該2片基板，即溝道基板1和發索霞阻體基板2黏合後，經 切斷、分離成為各個噴墨頭單片.製成熱噴墨頭。 從墨水供應口 14供應到共同液室4之墨水，乃經由形 成在厚膜涵緣層9之第2凹部11,被引導到墨水流路之 溝道3 ,由於發熱電胆體7的發熱而在第1凹部10所產 生的氣泡之壓力，使其從噴嘴5成為墨水滴13飛翔到被 記錄媒體。 第15圖是Μ往的噴墨記錄頭一例中之發熱電阻體周邊 詳细斷面圖。第16圖是同為其平面圖。圖中，與第14圖 相同部份附與同一符號，從略其說明。21為共同電極， 22為個別電極，23為Ta (钽）層，24為Si3N4 (四氮化三 矽）層，25為發熱區域，26為低電阻部，27為第1玻璃 層，28為第2玻璃層.29為Si02 (二氧化矽）層，30為 S i (矽）基板，31 , 32為通孔。 -4- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)
,tT "! 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印策 五、發明説明（ 3 ) 1 1 在 矽 基 板 30上 將 蓄 熱 層 的 二 氧 化 矽 層 29 層 II 後 參 再 層 丨 II 發 熱 電 胆 體 之 多 結 晶 矽 層 〇 多 结 晶 矽 層 的 電 阻 值 很 高 ! 1 f 必 須 將 其 減 低 到 適 合 於 當 作 發 熱 電 阻 體 之 電 阻 值 〇 而 /--ν 請 1 | 且 為 了 使 其 衹 要 在 產 生 氣 泡 的 所 定 場 所 發 熱 9 必 須 將 先 閱 1 I 讀 1 I 構 成 為 發 熱 區 域 25的 多 結 晶 矽 層 Μ 外 之 區 域 9 即 共 同 電 背 1 | 之 1 極 21 及 直 到 個 別 電 極 22的 構 成 為 電 極 之 多 结 晶 矽 層 部 分 意 1 I 之 電 阻 值 滅 低 9 Μ 形 成 低 電 阻 部 26 〇 減 低 電 阻 值 所 用 的 事 項 1 I 再 1 I 方 法 有 將 雜 質 離 子 (磷或砷） 打 入 (注入） 方 法 等 〇 4 寫 1 在 第 16 圖 中 > 將 多 結 晶 矽 層 叠 後 形 成 圖 案 > Μ 形 成 多 本 頁 -〆 1 結 晶 矽 層 Ο 然 後 注 入 法 將 電 阻 值 減 低 到 適 當 值 Μ 形 成 1 1 發 熱 區 域 25 » 而 為 了 要 連 接 發 熱 Iw 域 25和 共 同 電 極 2 1 及 1 1 個 別 電 極 22 » 再 度 用 注 入 法 使 電 阻 值 更 減 低 » 形 成 低 電 1 1 訂 阻 部 26 〇 1 接 著 » 形 成 層 間 絕 緣 膜 之 第 1 玻 璃 層 27 〇 在 該 第 1 玻 1 I 璃 層 27形 成 可 在 電 路 上 連 接 低 電 阻 部 26與 共 同 電 極 2 1 及 1 1 個 別 電 極 22所 用 之 通 孔 3 1 32 〇 m 後 t 在 發 熱 區 域 25上 1 1 形 成 絕 緣 層 之 四 氮 化 三 矽 層 24及 金 鼷 保 護 層 之 钽 層 23 0 線 又 為 了 通 電 於 發 熱 區 域 25 • Μ 由 A 1 (鋁） 層 Μ 圖 案 形 成 共 1 1 同 電 極 2 1 及 個 別 電 極 22 0 這 時 > 共 同 電 極 2 1 個 別 電 極 1 1 22可 經 由 形 成 在 第 1 玻 璃 層 27的 通 孔 3 1 \ 32連 接 於 多 结 1 1 晶 矽 層 的 低 電 阻 部 26 〇 而 後 9 依 序 形 成 第 2 玻 璃 層 28 1 1 絕 緣 層 8 厚 膜 絕 緣 層 9 〇 1 I 如 此 製 成 的 熱 噴 墨 頭 中 » 從 其 噴 嘴 噴 射 的 墨 水 滴 之 大 1 | 小 » 是 由 墨 水 的 物 性 和 發 熱 電 阻 體 的 大 小 Λ 位 置 ， 流 路 1 -5 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 305806 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 4 ) 1 1 的 長 短 或 寬 度 等 之 所 謂 流 路 參 數 所 決 定 0 因 此 9 在 於 使 1 1 用 可 嗔 射 不 同 顏 色 墨 水 的 多 數 噴 墨 頭 Μ 記 錄 彩 色 圖 像 之 1 I 噴 墨 記 錄 裝 置 > 或 使 用 可 噴 射 不 同 濃 度 墨 水 的 多 數 噴 墨 /1-Ν 請 1 I 頭 再 現 濃 淡 度 之 噴 墨 裝 置 中 > 要 使 其 噴 射 適 量 的 墨 水 先 閲 讀 1 1 時 » 必 須 改 變 熱 嗔 墨 頭 的 流 路 參 數 〇 背 1 1 在 特 開 昭 57 -87860號公報 中 記 載 著 > 在 於 立 式 嗔 墨 頭 Ϊ 1 1 | 中 » 要 修 正 由 於 每 一 噴 嘴 所 受 墨 水 壓 力 的 不 同 所 引 起 的 事 項 再 1 1 I 噴 射 墨 水 滴 量 之 差 異 時 • 可 將 發 熱 電 阻 體 的 大 小 予 改 寫 1 變 〇 如 此 要 改 變 墨 水 滴 的 大 小 時 t 在 流 路 參 数 中 9 以 本 頁 1 | 改 變 發 熱 電 阻 體 的 大 小 最 為 有 效 0 1 1 m 而 > 發 熱 電 阻 體 的 大 小 不 相 同 時 f 要 使 其 在 發 熱 電 1 I 阻 體 上 產 生 氣 泡 所 需 之 能 星 也 不 相 同 ♦ 因 而 噴 墨 頭 驅 動 1 用 的 電 壓 脈 衡 之 電 壓 值 或 脈 衝 幅 度 也 要 改 變 〇 因 此 » 必 訂 1 需 設 置 分 刖 對 應 於 各 噴 嘴 (發熱電阻體）或噴墨頭之高速 1 I 控 制 電 壓 回 路 或 準 備 可 獲 得 多 種 電 壓 之 多 數 電 源 費 導 致 1 1 f 噴 墨 記 錄 裝 置 成 本 之 升 高 〇 1 1 也 可 考 廉 使 用 同 樣 電 壓 » 而 改 變 電 壓 脈 衝 的 脈 衝 幅 度 坡 之 方 法 〇 第 5 圖 是 改 變 外 加 脈 衝 幅 度 時 之 加 上 於 發 熱 電 1 1 阻 體 之 電 壓 與 噴 射 墨 水 量 之 闞 係 圖 0 圖 中， 41是其平 1 1 坦 區 域 〇 曲 線 a广 - d分 別 是 脈 衝 幅 度 為 2 . 5 / i S Λ 3 1 S Λ 1 I 3 . 5 1 S \ 4 1 S 時 之 情 形 0 1 1 如 曲 線 a 及 曲 線 b 所 示 t 如 Η 較 短 的 脈 衝 幅 度 之 外 加 I 電 壓 時 其 噴 射 墨 水 滴 量 持 有 不 依 存 於 外 加 電 壓 之 平 坦 1 | 區 域 41 〇 為 了 使 噴 射 墨 水 量 不 容 易 受 到 電 源 電 壓 變 動 之 1 1 -6 _ I 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 305806 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 5 ) 1 1 影 m 9 嗔 墨 記 錄 裝 置 的 驅 動 電 壓 9 最 好 設 定 在 該 平 坦 區 1 1 域 41 〇 然 而 脈 衝 幅 度 延 長 時 會 如 曲 線 C 或 曲 線 D 所 示 * 1 1 噴 射 墨 水 滴 的 大 小 並 不 具 不 受 電 壓 變 動 之 平 坦 區 域 41 » /--V 請 1 1 因 而 電 源 電 壓 如 由 於 環 境 條 件 等 而 變 動 時 所 唄 射 墨 水 先 閱 讀 1 1 1 滴 的 大 小 會 有 大 大 變 化 之 可 能 性 〇 背 面 1 1 相 反 的 t 脈 衝 幅 度 太 短 時 » 則 不 能 產 生 氣 泡 〇 即 » 形 意 1 1 I 成 在 發 熱 電 阻 體 上 的 層 是 為 了 保 護 發 熱 電 阻 體 在 於 氣 泡 事 項 1 I 再 1 I 消 滅 時 之 空 化 損 傷 1 而 由 多 數 之 層 所 形 成 » 具 某 程 度 之 填 寫 1 V 厚 度 〇 由 於 該 層 的 熱 容 量 » 使 其 與 墨 水 接 觸 面 的 溫 度 變 本 頁 f 化 不 能 即 時 反 應 於 電 壓 脈 衝 t 無 法 達 到 產 生 氣 泡 所 需 之 1 1 溫 度 不 能 產 生 氣 泡 » 無 法 噴 射 墨 水 滴 〇 由 此 * 要 使 墨 1 I 水 滴 得 安 定 的 噴 射 要 以 最 適 當 的 脈 衝 幅 度 來 驅 動 » 1 1 訂 1 而 要 對 於 各 個 嗔 墨 頭 分 別 改 變 其 脈 衝 幅 度 一 事 y 並 不 理 想 〇 又 * 也 會 有 由 於 要 變 更 脈 衝 幅 度 而 使 驅 動 回 路 成 為 1 I 複 雜 之 問 題 〇 1 1 再 者 * 要 減 少 噴 墨 記 錄 裝 置 中 的 噴 墨 頭 數 量 時 可 考 1 1 慮 將 1 個 噴 墨 頭 分 割 > 分 派 給 多 種 墨 水 〇 Μ 這 種 情 形 時 緣 * 要 將 不 同 大 小 1 幅 度 之 電 壓 脈 衝 供 應 於 1 個 噴 墨 頭 内 1 1 的 相 當 於 不 同 顔 色 墨 水 數 量 之 發 熱 電 m 體 » 則 在 於 配 線 1 1 數 之 增 加 及 驅 動 回 路 之 構 成 上 • 更 不 理 想 0 1 I 將 其 所 需 能 量 不 相 同 的 發 熱 電 阻 體 » Μ 相 同 電 壓 脈 衝 1 1 (電壓值， 脈衝幅度）驅動時 > 會 產 生 如 下 之 問 題 〇 即 t · 1 1 將 脈 衝 條 件 設 定 在 可 充 分 供 懕 於 需 要 高 能 量 的 發 熱 電 阻 1 1 體 時 9 在 只 要 低 能 量 的 發 熱 電 阻 體 成 為 能 量 過 剰 9 Μ 致 I 1 -7 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 6 ) 1 1 於 發 热 電 阻 體 的 壽 命 減 短 » 或 唄 射 時 墨 水 的 燒 焦 » 而 加 1 速 其 特 性 變 化 〇 又 如 將 脈 m 條 件 設 定 在 適 合 於 只 需 低 能 I | 量 的 發 熱 電 m 體 時 » 則 需 要 高 能 量 的 發 熱 電 阻 體 的 噴 射 /·-V 請 1 I 墨 水 滴 量 等 會 容 易 受 到 電 壓 變 動 的 影 響 • 或 由 於 長 期 噴 先 閱 讀 1 1 I 射 而 在 發 熱 電 阻 體 上 附 著 燒 焦 物 等 會 有 不 能 噴 出 墨 水 之 背 1 I 可 能 性 0 意 1 1 | 一 方 面 f 在 特 開 平 3- 224743號 公 報 中 記 載 著 f 使 氣 泡 事 項 再 1 1 I 產 生 區 域 小 於 發 熱 區 域 之 構 成 者 〇 正 如 後 述 9 這 種 將 氣 4 % 1 泡 產 生 區 域 縮 小 ， 就 有 可 能 減 少 墨 水 滴 量 9 但 在 該 文 獻 本 頁 S， Γ I 中 衹 是 為 了 要 消 除 空 化 損 傷 而 採 取 這 種 構 成 者 Ο 如 上 述 1 1 之 要 在 於 多 數 顔 色 或 多 數 濃 度 的 墨 水 上 9 獲 得 適 當 的 墨 1 I 水 滴 量 一 事 > 至 今 尚 無 任 何 記 載 » 也 未 有 暗 示 〇 1 [發明欲解決之問題] 訂 1 本 發 明 有 鑑 上 述 實 情 » 巨 的 在 於 噴 射 不 同 顔 色 或 不 同 1 I 濃 度 的 墨 水 滴 之 噴 墨 記 錄 裝 置 中 > 提 供 一 種 使 其 噴 嘴 的 1 1 1 電 氣 驅 動 條 件 相 同 t 同 時 其 所 噴 射 的 墨 水 滴 量 在 於 適 當 1 1 值 t 而 可 提 升 畫 質 之 噴 墨 記 錄 裝 置 者 〇 攻 [發明之解決手段] 1 1 本 案 的 第 1 發 明 是 在 於 依 多 種 顔 色 的 每 一 顔 色 或 多 種 1 1 濃 度 的 每 一 濃 度 分 別 設 有 1 支 Μ 上 的 噴 嘴 » 而 由 發 熱 電 1 I 阻 體 的 發 熱 使 墨 水 ."zCc 滴 從 上 述 噴 嘴 嗔 射 Μ 執 行 印 字 之 噴 墨 1 1 記 錄 裝 置 中 » 其 特 徵 為 依 昭 各 顔 色 或 各 濃 度 > 設 定 上 1 | 述 發 熱 電 阻 體 的 發 泡 面 積 者 • 如 由 於 墨 水 的 物 性 等 需 要 1 | 改 變 所 嗔 射 的 墨 水 滴 量 時 > 變 更 設 定 其 發 泡 面 積 就 可 變 1 1 -8 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 305806 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 7 ) 1 1 更 所 嗔 射 的 墨 水 滴 量 〇 1 其 次 t 本 案 的 第 2 發 明 是 在 於 依 多 種 顔 色 的 每 一 顔 色 | 或 多 種 濃 度 的 每 一 m 度 分 別 設 有 1 支 以 上 的 噴 嘴 f 而 由 -V 請 1 | 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 使 墨 水 滴 從 上 述 噴 嘴 噴 射 Μ 執 行 印 字 先 閲 讀 1 1 I 之 噴 墨 記 錄 裝 置 中 • 其 特 徵 為 ： 上 述 發 熱 電 阻 體 係 具 對 背 ιέ 1 1 應 於 各 顔 色 或 濃 度 之 發 熱 面 積 1 該 發 熱 面 積 愈 小 • 則 使 意 1 1 I 上 述 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 區 域 之 電 阻 值 為 愈 大 者 〇 事 項 再 1 1 I 由 此 > 依 各 多 種 顔 色 或 多 種 濃 度 分 別 設 定 其 發 熱 電 阻 1 體之發熱面積 9 就 可 依 墨 水 的 物 性 變 更 噴 射 墨 水 滴 量 而 本 頁 ^ Γ 1 發 熱 面 積 愈 小 » 使 其 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 區 域 之 電 阻 愈 大 1 1 » 就 可 使 投 入 於 單 位 面 積 的 能 量 為 相 等 〇 1 I 又 t 本 案 的 第 3 發 明 同 樣 是 在 於 依 多 種 顔 色 的 每 一 顔 1 色 或 多 種 濃 度 的 每 一 m 度 分 別 設 有 1 支 K 上 的 噴 嘴 而 訂 1 由 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 使 墨 水 滴 從 上 述 噴 嘴 噴 射 Η 執 行 印 1 I 字 之 噴 墨 記 錄 裝 置 中 9 其 特 激 為 上 述 發 熱 電 阻 體 係 具 1 1 對 應 於 各 顔 色 或 濃 度 之 發 熱 面 積 t 而 上 述 發 熱 電 阻 體 的 1 1 發 熱 區 域 之 流 路 方 向 長 度 為 L » 排 列 方 向 的 寬 度 為 V 時 吹 * 上 述 發 熱 面 積 愈 小 t 則 使 上 述 發 熱 區 域 的 縱 横 比 AR = 1 1 L/W 為 愈 大 者 〇 如 此 t 發 熱 面 積 愈 小 使 其 發 熱 區 域 的 縱 1 1 横 比 愈 大 » 就 可 使 投 入 於 單 位 面 積 的 能 量 為 相 等 0 1 I [作用] 1 1 依 昭 這 些 發 明 時 » 依 昭 /KW 各 多 種 顔 色 或 各 多 種 濃 度 分 別 1 I 設 定 發 熱 面 積 t 因 而 如 需 依 墨 水 的 物 性 而 變 更 噴 射 墨 水 1 | 滴 量 時 t 由 發 熱 面 積 的 設 定 就 可 改 變 所 噴 射 之 墨 水 滴 量 1 1 -9 一 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（8 ) 1 1 〇 瑄 時 使 其 發 熱 面 横 愈 小 時 之 發 熱 電 阻 體 發 熱 區 域 之 1 1 電 阻 值 為 愈 大 V 可 使 投 入 於 單 位 面 積 的 能 量 相 等 9 由 此 | 9 衹 要 設 置 Μ 大 致 同 樣 的 電 氣 條 件 驅 動 之 驅 動 手 段 • 更 請 1 I 進 一 步 的 9 上 述 驅 動 手 段 祇 要 大 致 同 樣 的 電 壓 及 脈 衝 先 閲 讀 1 1 幅 度 來 驅 動 上 述 嗔 嘴 t 如 此 就 可 對 於 噴 射 不 同 墨 水 滴 量 背 1 I 的 發 熱 電 阻 體 Μ 大 到 同 樣 的 電 氣 條 件 • 尤 其 Μ 大 致 同 樣 之 注 意 1 1 | 的 電 m 及 脈 衝 幅 度 驅 動 其 噴 嘴 〇 事 項 再 1 1 I 這 種 依 昭 顔 色 或 濃 度 設 定 發 泡 面 積 之 構 成 t 可 適 用 於 填 % 1 例 如 將 多 種 顔 色 或 多 種 濃 度 的 噴 嘴 配 置 在 多 數 的 噴 墨 記 本 頁 1 I 錄 頭 之 噴 墨 記 錄 裝 置 上 0 1 1 或 亦 可 適 用 於 將 多 種 顔 色 或 多 種 濃 度 的 噴 嘴 配 置 在 1 1 I 個 噴 墨 記 錄 頭 内 所 構 成 之 噴 墨 記 錄 裝 置 上 〇 1 [實施例] 訂 1 第 1 圖 為 本 發 明 噴 墨 記 錄 裝 置 第 1 實 施 例 之 噴 墨 記 錄 1 I 裝 置 一 例 正 面 圖 > 第 2 圖 為 同 上 之 發 熱 電 阻 體 附 近 —* 例 1 1 斷 面 圖 • 第 3 圖 為 同 上 之 發 熱 電 阻 體 附 近 一 例 概 略 平 面 1 1 圖 〇 圖 中 與 第 1 4圖 至 第 1 6圖 相 同 部 分 附 與 同 一 符 號 9 從 略 其 說 明 Ο 4 c 4 m 4y 4k分 別 是 青 綠 品 紅 > 黃 色 1 1 % 黑 色 用 之 共 同 液 室 5 c 5 m 5 y 5k分 別 是 青 綠 Λ 品 1 1 紅 Λ 黃 色 黑 色 用 之 噴 嘴 t 1 5 a 、15b是顔 色 間 的 隔 離 板 1 I » 33是氣泡 產 生 區 域 0 1 1 本 實 腌 例 所 要 說 明 的 噴 墨 記 錄 裝 置 是 具 有 2 個 噴 墨 頭 1 | 者 > 一 個 是 噴 射 黒 墨 水 之 噴 墨 頭 A • 其 係 如 第 1 圖 (Α) 1 1 所 示 9 排 列 在 該 噴 墨 頭 A 的 嗔嘴5k都是 噴 射 黒 色 墨 水 之 1 1 -1 0- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 五、發明説明（9 ) Μ 如 例 ο 用 A7 B7 於 〇 對之 嘴成 唄構 個列 tt 6 0 5 \/ 距 間 之 度 像 析 的 之成内 水分色 墨色顔 色顔各 3 依 , 綠 Β 時 青頭這 、 墨 。 紅噴嘴 品該噴 、 〇 個 色丨84 黃U配 射圖分 噴 1 各 是第色 Β 如顔 頭成一 墨構每 噴其如 個 ，例 一 頭 ， 另墨分 噴 3 於板 應離 對隔 如的 例間 的色 樣顔 同有 A 設 頭間 墨色 噴顔 和各 可又 也。 距距 間間 嘴之 噴度 的像 析5b •1 相頭 止墨 防噴 M的 ，型 嘴tip 噴 一 &二 ϋ乡Μ 出種等 吐這號 不。67 設等12 或色 7 ，混 嘴之 噴水 設墨 不的 分色 β R δ 0 該接 ο 鄰 平 願 特 如 例 於 在 係 、 品 黃、 、 黃 黑用 ，衹 即 〇 ，錄 色記 顔色 種彩 4 為 射成 噴做 Β 可 及就 A , 頭水 墨墨 噴的 個綠 2 青 該、 由紅 品 , 低色 A 降黑 頭會有 墨性祇 噴色上 用顯際 使的實 不色在 而黑及 因 ， ， ，時性 色形色 黑情顯 出種的 印這色 可以黑 也。高 水錄提 墨記了 的色為 綠彩 ， 青做此 、 可在 紅也。 噴當之 個 。司 1 成不 將構度 可之澹 也中用 又頭使 。 墨可 A 噴也 頭 一 ， 墨在擇 噴含選 有包意 設也任 而色可 因黑色 ，將顔 多 ，水 較分墨 形 4 的 情成用 的分使 字頭所 印墨然 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 峡！ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 和 如 例 係 面 斷 之 開 剖 向 軸 的 道 溝 於 直 一ffl 中 嘴 。 噴 水各 墨 頭 墨 平噴 M的 特往 和 Μ 如之 例等 用頭 以錄 可記 ，墨 同噴 相的 成載 構記 之所 示報 所公 圖號 4 ο 1 2 5 ο 第 5 述15 上5- 之 造 製 術 技 造 製 的 樣 同 平 開 特 有 具 如 例 用 Μ 可 係 水 墨 的 用 所 頭 墨 噴 個 各 在 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4現格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 1C ) 1 1 4- 325574號 公 報 或 特 開 平 5 - 1 40496號 公 報 f 特 願 平 1 6- 58356號所公佈之組成者c 在- -般上， 各顔色的墨水 1 I 由 於 其 物 性 等 之 闞 係 * 有 其 洽 當 的 墨 水 滴 量 之 存 在 〇 例 —V 請 1 | 如 黏 性 太 高 而 無 法 吐 出 充 分 的 墨 水 滴 量 f 或 顔 色 性 比 其 閱 讀 I 1 他 顔 色 高 » 而 產 生 彩 色 平 衡 走 樣 的 情 形 〇 如 像 以 往 一 樣 背 1 I 之 1 在 不 同 墨 水 之 間 用 同 樣 條 件 使 墨 水 噴 射 時 9 各 顔 色 的 墨 注 意 1 I 水 滴 量 不 成 為 洽 當 值 • 不 能 期 望 提 升 其 晝 質 〇 雖 然 可 由 事 項 1 I 再 1 I 改 變 驅 動 脈 衝 的 電 氣 上 之 條 件 以 變 更 墨 水 滴 量 » 但 如 上 1 本 述 » 並 不 臻 理 想 〇 頁 1 不 改 變 驅 動 脈 銜 的 條 件 > 而 變 更 墨 水 滴 量 的 方 法 之 一 1 1 是 將 其 構 成 為 在 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 域 25所 產 生 的 熱 1 1 量 中 的 部 分 不 作 為 產 生 氣 泡 之 用 〇 即 如 第 2 圖 及 第 3 圖 1 訂 1 所 示 > 在 本 實 拖 例 中 是 Μ 絕 緣 層 8 \ 厚 膜 絕 緣 層 9 » 使 發 熱 區 域 25上 的 第 1 凹 部 10 比 發 熱 區 域 25為 小 〇 於 是 就 1 I 在 發 熱 區 域 25所 產 生 的 熱 之 中 ， 只 有 對 應 於 第 1 凹 部 10 1 1 大 小 的 氣 泡 產 生 區 域 33部 分 的 熱 有 用 於 氣 泡 之 產 生 〇 因 1 1 此 t 調 整 該 氣 泡 產 生 區 域 33的 大 小 9 就 可 調 節 墨 水 滴 量0 々舍 第 4 圖 為 本 發 明 噴 墨 記 錄 裝 置 第 1 實 施 例 中 9 噴 墨 記 1 1 錄 頭 的 發 熱 電 阻 體 附 近 之 另 一 例 斷 面 圖 〇 圖 中 的 符 號 與 1 1 第 2 圖 相 同 〇 第 2 圖 所 示 的 例 子 是 VX 絕 緣 層 8 及 厚 膜 絕 1 I 緣 層 9 兩 者 以 限 定 氣 泡 產 生 區 域 33 之 大 小 為 例 者 ， 而 限 1 1 定 氣 泡 產 生 區 域 33的 大 小 並 不 限 於 此 〇 例 如 第 4 圖 所 示 1 | » 衹 以 絕 緣 層 8 來 限 定 氣 泡 產 生 區 域 33的 大 小 之 構 成 亦 1 I 可 Ο 或 另 形 成 低 熱 傳 導 性 膜 » 以 形 成 圖 案 » 而 限 定 氣 泡 1 1 -1 2- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 305806 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（11 ) 1 1 產生區域33的大小也可 〇 [ 1 Μ 下 » Μ 具 體 例 說 明 之 〇 第 6 _ 是 所 使 用 的 墨 水 物 性 1 質 和 所 需 墨 水 滴 量 之 具 體 例 說 明 rgd 圊 〇 第 6 fBl 圈 中 列 示 黑 /--V. 請 1 1 黃 \ 品 紅 青 綠 4 顔 色 各顔色墨水在25它 時 之 黏 度 Λ 表 先 閱 讀 I 1 面 張 力 % 和 適 當 墨 水 滴 量 之 一 例 〇 黑 色 的 適 當 墨 水 滴 量 背 & 1 1 較 多 的 原 因 是 要 提 高 其 濃 度 和 黑 色 被 單 獨 使 用 的 機 會 較 意 1 1 I 多 之 故 〇 其 他 的 黃 色 Λ 品 紅 青 綠 是 由 於 將 其 混 合 Μ 再 事 項 再 1 1 | 現 多 數 顔 色 的 機 會 較 多 * 因 而 比 起 黑 色 » 將 其 適 當 墨 水 填 寫 1 滴 量 減 少 〇 又 在 3 色 之 間 其 適 當 墨 水 滴 量 有 所 相 異 t 乃 本 頁 、' Γ 1 由 於 墨 水 的 物 性 9 和 要 由 黃 品 紅 青 綠 形 成 為 黒 色 之 1 1 所 謂 合 成 黑 色 » 而 將 各 色 的 墨 水 滴 量 調 整 在 最 適 當 之 值 1 | 者 〇 再 者 9 各 顔 色 的 墨 水 滴 量 是 設 定 在 可 獲 得 作 出 次 色 1 之 最 洽 當 之 比 率 〇 又 f 也 可 依 照 墨 水 的 滲 透 速 度 或 表 面 訂 1 張 力 黏 性 等 > 而 變 更 各 顔 色 之 墨 水 滴 量 〇 1 1 第 7 圖 是 以 往 的 噴 墨 頭 之 噴 射 墨 水 滴 量 具 體 例 說 明 圖 1 1 I 〇 和 Μ 往 的 一 樣 » 將 嗔 墨 頭 A 和 B 所 有 的 發 熱 電 阻 體 之 1 1 發 熱 域 大 小 及 氣 泡 產 生 區 域 的 大 小 構 成 如 第 7 圖 所 示 攻 之 都 是 相 同 值 〇 其 中 9 只 有 黑 墨 水 部 分 由 於 其 適 當 墨 水 1 1 滴 量 比 其 他 顔 色 要 多 t 因 而 將 i翁 m 道 3 的 寬 度 • 即 三 角 形 1 1 狀 的 噴 嘴 底 邊 的 長 度 予 以 變 更 〇 在 該 噴 墨 頭 A 及 B 加 上 1 I 電 壓 3 . 7 V • 脈 衡 幅 度 3 u s 的 驅 動 脈 衝 使 其 噴 射 • 结 果 » 1 1 其 實 際 所 噴 射 的 墨 水 滴 量 和 噴 射 時 之 墨 水 速 度 係 如 第 7 1 I 圖 所 示 0 1 1 黑 色 墨 水 是 由 於 其 溝 寬 度 較 寬 » 因 而 如 第 7 圖 所 示 * 1 1 -1 3- 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標隼（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 12 ) 1 1 可 獲 得 適 當 之 墨 水 滴 量 〇 但 » 其 他 墨 水 的 墨 水 滴 量 卻 大 1 1 致 相 同 • 並 沒 有 嗔 出 如 第 6 圖 所 示 之 適 當 墨 水 滴 量 〇 I 黑 色 Μ 外 的 墨 水 » 如 再 調 整 其 溝 道 寬 度 也 可 使 其 接 近 y-S. 請 1 I 於 理 想 的 墨 水 滴 最 〇 但 Μ 這 種 情 形 時 参 有 如 下 之 不 理 想 先 閱 1 1 之 點 〇 即 如 將 溝 道 寬 度 過 於 縮 小 時 參 在 第 14圖 中 的 隔 牆 背 面 1 I 12部分 加 大 » 要 黏 合 2 片 基 板 時 的 黏 合 區 域 加 大 » 當 將 意 1 1 I 溝 道 基 板 與 發 熱 電 阻 體 基 板 加 壓 黏 合 時 黏 合 劑 的 被 擠 事 項 再 1 1 1 出 於 溝 道 内 之 量 增 多 * 會 引 起 噴 射 方 向 性 之 惡 化 〇 填 寫 1 又 » 如 發 埶 電 阻 體 的 大 小 相 同 » 所 產 生 的 氣 泡 大 小 \ 本 頁 *—， 1 1 壓 力 相 同 時 • 從 噴 嘴 噴 射 的 墨 水 滴 速 度 雖 然 也 會 受 到 墨 1 1 水 的 物 性 或 組 成 之 影 響 » 但 溝 道 寬 度 即 噴 嘴 寬 度 愈 小 其 1 1 速 度 愈 快 〇 如 第 7 圖 所 示 » 溝 道 寬 度 較 小 的 黒 色 Μ 外 的 1 其 他 顔 色 墨 水 之 墨 水 滴 速 度 都 比 黑 色 墨 水 為 快 〇 在 各 顔 訂 1 色 間 9 其 噴 射 墨 水 滴 速 度 如 不 相 同 9 在 於 Μ 滑 架 往 返 印 1 I 字 時 > 墨 水 滴 在 於 滑 架 的 掃 描 方 向 之 彈 著 位 置 會 有 所 差 1 1 I 異 〇 因 此 * 過 於 縮 小 溝 道 寬 度 會 使 注 返 印 字 時 之 畫 質 劣 1 [ 化 〇 由 此 可 知 1 要 減 少 噴 射 墨 水 滴 量 而 將 其 噴 嘴 寬 度 縮 小 1 1 > 並 不 理 想 〇 因 此 » 如 上 述 例 如 使 氣 泡 產 生 區域33小 1 1 於 發 熱 區 域 » 就 可 減 少 噴 射 墨 水 滴 量 〇 第 8 圖 是 變 化 氣 1 I 泡 產 生 區 域 之 具 體 例 說 明 圖 〇 如 第 7 圖 所 示 > 氣 泡 產 生 1 1 區 域 等 於 發 熱 區 域 時 > 例 如 黃 色 與 品 紅 的 嗔 射 墨 水 滴 量 1 I 是 多 於 第 6 圖 所 示 之 適 當 墨 水 滴 量 0 且 其 噴 射 墨 水 速 度 1 I 也 比 黑 色 為 快 〇 因 此 ， 將 溝 道 寬 度 加 寬 使 噴 射 墨 水 速 度 1 1 -1 4- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（I3 ) 1 1 對 齊 9 Μ 提 升 耋 質 〇 溝 道 寬 度 加 寬 後 可 再 增 加 噴 射 墨 水 \ 1 滴 量 t 但 也 要 考 慮 其 加 寬 部 分 而 設 定 氣 泡 產 生 區 域 之 面 i I 積 〇 又 在 第 7 圖 中 青 綠 的 噴 射 墨 水 滴 量 也 比 逋 當 的 墨 水 /--V 請 1 I 滴 量 為 少 但 其 噴 射 墨 水 速 度 是 比 黑 色 為 快 > 因 而 » 加 先 閱 1 I 讀 1 1 寬 溝 道 寬 度 » 也 考 慮 因 其 而 所 增 加 的 墨 水 滴 量 9 K 設 定 背 1 ί 之 1 氣 泡 產 生 區 域 之 面 積 0 在 第 8 回 圖 中 9 使 氣 泡 產 生 區 域 的 注 意 I I 寬 度 小 於 發 熱 {m 域 的 寬 度 » 使 氣 泡 產 生 區 域 小 於 發 熱 事 項 1 I 再 1 I 區 域 0 在 此 » 氣 泡 產 生 區 域 是 由 絕 緣 層 8 及 厚 膜 絕 緣 層 寫 1 本 - 9 所 形 成 的 第 1 凹 部1 0之 大 小 來 設 定 0 頁 '〆 1 I 第 9 圖 是 氣 泡 產 生 區 域 設 定 後 之 實 際 墨 水 滴 量 具 體 例 1 1 說 明 圖 〇 將 氣 泡 產 生 區 域 及 溝 道 寬 度 設 定 如 第 8 圖 贵 就 1 1 可 得 如 第 9 圖 所 示 各 色 墨 水 都 可 噴 射 適 當 的 墨 水 滴 量 1 1 訂 » 且 其 所 噴 射 的 墨 水 速 度 大 致 相 等 〇 1 這 時 t 其 發 熱 區 域 的 大 小 為 相 等 ♦ 因 而 如 果 驅 動 發 熱 1 1 電 m 體 的 脈 衝 電 壓 與 幅 TW 度 相 同 時 * 單 位 面 積 的 能 量 相 等 1 1 ， 電 氣 上 的 條 件 相 同 0 即 不 必 對 各 顔 色 分 別 變 更 電 氣 上 1 1 的 條 件 » 而 使 各 顔 色 獲 得 適 當 之 墨 水 滴 量 〇 唆 對 於 不 變 更 驅 動 脈 衝 的 條 件 而 變 化 墨 水 滴 量 之 另 — 方 1 1 法 加 以 說 明 〇 設 投 入 於 發 熱 電 阻 體 的 全 能 量 為 E t 發 熱 1 1 區 域 面 積 為 S » 驅 動 脈 衝 電 壓 值 為 V » 脈 衝 幅 度 為 t t 1 1 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 域 之 薄 片 電 阻 為 Rs 9 發 熱 區 域 的 電 1 1 流 方 向 長 度 為 Si » 發 熱 區 域 的 與 電 流 垂 直 方 向 之 寬 度 為 1 | U 時 » 發 熱 電 阻 體 單 位 面 積 之 能 量 △ E成為： 1 1 -1 5- 1 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（14 ) V2 --t V2 £ --t —— E R R. * w V2 · t △ E =----—--- S w · i w · l R» ' az · · (1) 即，發熱區域的單位面積之能量ΔΕ,係除電壓脈衝 的條件之驅動脈衝電壓值V與脈衝幅度t之外，也和發 熱區域的長度A及發熱電阻體所用的多结晶矽層之在於 發熱區域之薄片電阻值Rs有闞。如上述，例如單位面積 的能量ΛΕ太多時，發熱電阻體的劣化會很厲害，相反 的，單位面積的能量ΛΕ太少時，影響到氣泡之產生。 因此，最理想的是單位面積的能量ΛΕ要大致相同。 由上式⑴可知，在不同面積的發熱電阻體加上電壓值 V和脈衝幅度t相同之驅動脈衝，而要使其單位面積的 能量ΛΕ為相同時，如其發熱電阻體的薄片電阻值，相 同則使其發熱區域流路方向的長度為相同即可。再者， 變更長度A和薄片電阻Rs兩者，也可使單位面積的能量 △ E為一定值。 首先，說明發熱電阻體的薄片電阻值為相同時之情形 。這種情形時，要使單位面積的能量ΛΕ為相等，則， 使發熱區域的長度保持在相同之狀況下，變化發熱區域 的面積就可。也即，變化發熱區域的寬度就可。在此， 發熱區域的流路方向長度為L ,流路在排列方向的寬度 為W時，KL/W所規定的值稱之為縱横比。變化發熱區 域的寬度，可使縱横比變化。使發熱區域的面積愈小， -16- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 、v5 305806 A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 15) 1 1 發 熱 區 域 的 寬 度 V 變 的 愈 小 » 其 縱 横 比 會 愈 大 〇 1 1 將 發 熱 區 域 縮 小 * 加 大 縱 横 比 時 t 由 於 單 位 面 積 的 能 1 | 量 △ E是使其大致為- 定， 因而在發熱區域整體的發熱 /--V 請 1 1 量 減 少 〇 因 此 • 其 所 噴 射 的 墨 水 滴 量 也 減 少 0 先 閲 1 1 讀 1 I 第 10 圖 是 改 變 發 熱 區 域 的 面 積 及 縱 横 比 之 具 體 例 說 明 背 1 I 之 1 圖 0 此 中 黑 色 外 的 顔 色 和 第 7 圖 所 示 之 Μ 往 的 情 形 比 注 意 1 1 較 » 係 將 其 發 熱 域 的 寬 度 縮 小 Η 縮 小 面 積 t 而 加 大 其 事 項 1 I 再 1 I 縱 横 比 〇 由 此 Μ 減 少 其 墨 水 滴 量 〇 第 1 0 圖 中 t 發 熱 面 積 填 寫 1 本 和 氣 泡 產 生 面 積 相 同 〇 頁 —^ 1 實 m 上 * 由 於 發 熱 電 阻 體 的 形 狀 會 使 在 發 熱 區 域 内 的 1 1 熱 分 佈 或 平 面 方 向 的 熱 擴 散 條 件 甚 至 於 延 伸 到 共 同 電 1 I 極 及 個 別 電 極 的 多 结 晶 矽 層 所 形 成 的 低 電 阻 部 之 電 胆 值 1 1 會 有 所 不 同 » 因 而 » 發 熱 區 域 的 長 度 不 能 完 全 相 同 0 又 吾丁 1 • 如 上 述 之 要 將 噴 水 滴 噴 射 的 速 度 等 墨 水 滴 量 以 外 的 特 1 I 性 在 於 各 個 顔 色 之 間 對 齊 ， 有 時 也 要 再 將 發 熱 區 域 外 1 1 的 流 路 參 數 予 Κ 改 變 〇 決 定 發 熱 區 域 的 大 小 « 形 狀 時 t 1 1 也 要 將 這 些 影 響 加 進 去 〇 第 1 0 圖 是 考 處 Μ 上 之 各 條 件 所 唤 決 定 的 對 應 於 各 墨 水 之 發 熱 區 域 面 積 和 縱 横 比 及 溝 道 寬 1 1 度 〇 又 第 1 0 圖 中 單 位 面 積 的 能 量 是 以 黑 墨 水 為 1 時 之 1 1 相 對 值 〇 1 I 將 對 懕 各 種 墨 水 的 發 熱 區 域 面 積 和 縱 横 比 及 溝 道 寬 度 1 1 設 定 如 第 1 0 圖 所 示 > 而 獲 得 如 第 9 圖 所 示 之 噴 射 墨 水 滴 1 I 量 及 噴 射 墨 水 速 度 〇 如 此 » 由 第 10 圖 所 示 之 例 子 就 可 使 1 I 嗔 射 墨 水 滴 量 在 於 適 當 之 值 » 且 在 各 墨 水 間 的 墨 水 滴 噴 1 1 -1 7- 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210 X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 16 ) 1 1 射 速 度 也 大 致 相 同 〇 1 發 熱 區 域 的 設 定 9 其 長 方 向 可 在 於 多 結 晶 矽 層 形 成 低 | 電 阻 部 時 之 注 入 工 程 中 » 變 更 其 遮 蔽 的 區 域 1 而 寬 方 向 請 1 I 可 變 更 多 结 晶 矽 層 的 寬 度 Μ 實 現 之 〇 先 閱 1 I 讀 1 1 其 次 » 對 外 加 驅 動 脈 衝 的 條 件 相 同 » 而 變 更 發 熱 電 阻 背 1 I 之 1 體 的 長 度 A 和 薄 Η 電 阻 Rs 兩 者 之 情 形 說 明 之 Ο 薄 片 電 阻 意 1 1 R s 不 相 同 的 發 熱 電 阻 體 在 於 製 作 過 程 上 » 要 在 同 一 矽 晶 事 項 1 I 再 1 | 片 上 製 作 是 有 ΓΠ 困 難 Ο 因 而 ， 如第1(B)圖 所 示 < 在 1 個 噴 墨 填 寫 1 本 頭 上 要 噴 射 3 種 不 同 顔 色 的 墨 水 t 並 為 了 要 改 變 噴 射 墨 頁 1 水 滴 量 而 分 別 變 更 各 個 之 發 熱 面 積 時 > 在 應 用 上 有 所 困 1 1 難 9 因 此 r 在 下 之 第 2 實 施 例 說 明 〇 1 I 第 11 圖 是 本 發 明 嗔 墨 記 錄 裝 置 第 2 實 施 例 之 噴 墨 頭 一 1 訂 例 正 面 圖 0 圖 中 和 第 1 圖 相 同 部 分 附 與 同 —. 符 號 從 略 其 1 說 明 〇 4k 1 4k 2 為 共 同 液 室 5k 1 Λ 5k 2 為 噴 嘴 Ο 本 1 I 實 施 例 中 * 噴 墨 頭 A 是 噴 射 湄 度 較 m 的 黑 墨 水 k ] L之噴 1 1 頭 噴 墨 頭 C 是 噴 射 濃 度 較 淡 的 黑 墨 水 k 2之噴頭 )由 1 1 於 使 用 m 度 不 同 的 墨 水 » 可 使 深 淡 層 次 的 再 現 性 擴 大 〇 坡 該 2 種 墨 水 分 別 由 噴 墨 頭 A C 噴 射 0 各 噴 墨 頭 A 及 C 1 1 將 各 所 觴 墨 水 用 所 有 的 噴 嘴 嗔 射 之 〇 1 1 如 此 » 各 墨 水 分 別 由 各 噴 墨 頭 噴 射 之 構 成 中 » 也 可 如 1 I 上 述 > 改 變 其 氣 泡 產 生 區 域 » 或 改 變 發 熱 區 域 的 面 積 及 1 1 縱 横 比 > 而 獲 得 適 當 的 墨 水 滴 量 〇 這 些 事 情 和 第 1 實 施 1 I 例 相 同 > 因 而 在 此 將 其 說 明 從 略 〇 1 1 對 於 改 變 發 熱 電 姐 體 的 長 度 Si 及 發 熱 電 阻 體 的 薄 片 電 1 1 -1 8 - 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210/29*/公釐） 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明（17 ) 阻Rs, Μ使單位面積的能量為相等.又要獲得適當墨水 滴量的情形，用具體例說明之。在此所謂適當墨水滴量 是指濃黑墨水ki為如第6圖中的90ρ1，而對淡黑墨水 k2所要求的適當墨水滴量是60ρ1。 第12圖是發熱電阻體的發熱區域和薄Η電阻之具體例 說明圖。在此，為了易Κ比較，將其發熱區域的縱横比 保持一定，而使發熱區域的長度為不相同者。這褢是 使淡黑墨水k2的發熱區域長度比濃黑墨水ki的發熱區 域長度為短。 又使單位面積的能量為一定之條件下，決定其薄片電 阻之大小。這時候發熱區域較大的濃黑墨水ki之多结 晶矽層薄片電阻設定為4 5 Ω /□,發熱電阻體面積較小 的淡黒墨水k2之薄片電阻設定為51Ω/□。該電阻的大 小可由控制注入於多结晶矽層的雜質之離子量而實現之 。本例中，雜質是用正離子，薄片電阻45/□時1平方 公厘注入6.75X 10 15個；薄片電阻51 Ω / □時注人6. 19 X10 15個之正離子。又，連接到共同電極及個別電極之 低電阻計，再以砷離子注入4 . 3 X 1 0 15個，使其薄片電 阻值分別成為3 2 . 2 Ω/口、34. 2Ω/□。如此調整其薄片 電阻，可由上述式⑴得和以同一電壓脈衝可使單位面積 的能量為相等。 將噴墨頭A和C的薄片電胆值及發熱區域的長度設定 如第12圖，而獲得適當的墨水滴量，這時，2個噴墨頭 都可用相同的驅動脈衝電壓及脈衝幅度，其電源或驅動 -19- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 ，線！ A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印敢
五、發明説明（I8 ) 1 1 回 路 等 得 共 同 化 〇 第 12圖 的 例 子 中 t 為 使 噴 射 墨 水 的 1 速 度 為 大 致 相 等 » 多 少 變 更 其 溝 道 寬 度 9 該 部 分 也 經 考 1 I 慮 墨 水 滴 量 的 增 減 〇 請 1 I 要 有 不 同 的 薄 片 電 胆 r 因 而 對 於 噴 墨 頭 A 和 C 所 注 入 先 閱 I 1 的 雜 質 離 子 量 必 須 有 所 變 更 9 因 而 非 將 其 製 造 過 程 分 開 背 1 | 不 可 • 但 » 只 要 將 噴 墨 頭 A 和 C 的 發 熱 電 阻 體 基 板 » 分 意 1 1 1 別 製 造 在 各 別 的 矽 晶 片 上 t 將 其 製 造 程 序 分 開 即 可 〇 事 項 再 1 1 | 上 述 例 子 是 控 制 離 子 注 入 量 Η 改 變 薄 片 電 胆 ， 唯 也 可 填 寫 1 由 改 變 構 成 發 熱 電 阻 體 的 多 结 晶 矽 層 之 膜 厚 Μ 改 變 薄 片 本 頁 S_^ 1 電 阻 〇 這 時 » 例 如 將 正 離 子 的 注 入 量 維 持 在 6 . 75 X 10 15 1 1 ’ 而 使 第 1 2圖 的 發 熱 電 阻 體 5 之 多 結 晶 矽 層 厚 度 為 發 熱 1 I 電 阻 體 1 的 膜 厚 之 約 88¾ ， 就 可 得 預 期 之 薄 片 電 阻 值 〇 1 在 具 體 上 發 熱 電 阻 體 1 的 膜 厚 為 1 . 20 U 發熱電胆體5 訂 1 的 厚 度 為 1 . 06 U m即可、 >然而這種變更膜厚的製作方法， 1 I 比 起 上 述 的 變 更 離 子 注 入 量 的 方 法 t 多 少 會 增 加 製 造 過 1 1 I 程 上 的 負 擔 〇 1 1 上 述 第 2 實施例是對於2 種 不 同 濃 度 的 墨 水 分 別 用 個 線 別 的 噴 墨 頭 之 例 子 * 而 如 有 3 種 Μ 上 的 墨 水 時 » 也 可 用 i 各 白 之 噴 墨 頭 〇 又 » 如 上 述 第 1 實 施 例 使 用 各 種 顔 色 之 1 1 墨 水 時 * 各 顔 色 也 可 用 各 白 之 噴 墨 頭 〇 例 如 使 用 黃 色 1 I 品 紅 青 綠 3 顔 色 時 * 則 用 3 個 加 上 黑 色 為 4 個 > 再 加 1 1 上 m 度 不 同 的 墨 水 成 為 5 個 Μ 上 的 噴 墨 頭 之 構 成 〇 當 然 1 I 在 第 1 及 第 2 實 施 例 中 ， 也 可 使 用 任 意 顔 色 及 濃 度 之 墨 1 I 水 • 並 不 限 定 於 實 施 例 所 列 舉 者 〇 1 1 - 2 0 _ 1 1 I 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Μ規格（2丨OX 297公釐） 305806 :77 經濟部中央標準局員工消費合作社印裝 五、發明説明（19 ) 1 1 第 13 圖 是 多 數 嗔 墨 頭 之 配 置 例 說 明 圖 〇 圖 中 51 是 噴 墨 1 1 頭 9 52是 滑 架 Ο 要 將 多 數 噴 墨 頭 51 例 如 將 其 組 合 於 滑 架 1 | 52時 > 視 噴 墨 記 錄 裝 置 的 印 字 方 法 配 置 如 第 13 面 國 (A) 或 /·-V 請 1 | (B ) 〇 第 13 _ (A) 的 例 子 是 例 如 在 特 開 平 5- 1 8 5 6 0 8 公 報 先 閱 1 I 讀 1 I 等 中 所 記 載 者 » 其 係 在 噴 墨 頭 的 噴 嘴 之 排 列 方 向 9 排 列 背 面 1 I 之 1 多 數 之 噴 墨 頭 5 1 〇 又 » 該 構 成 Μ 1 個 噴 墨 頭 來 實 琨 者 係 注 意 1 1 例 如 第 1 圖 (B ) 的 多 數 色 一 體 MU 型 之 噴 墨 頭 Ο 事 項 1 I 再 1 1 又 1 如 第 1 3 圖 (Β ) 的 將 多 數 噴 墨 頭 5 1 排 列 成 和 噴 墨 頭 填 寫 1 的 噴 嘴 成 正 交 方 向 之 構 成 也 被 用 到 〇 例 如 可 將 第 1 圖 (A) 頁 1 的 噴 墨 頭 A 和 第 1 圖 (Β ) 的 噴 墨 頭 Β 配 置 為 如 第 1 3 圖 (B) 1 1 所 示 者 〇 1 I 如 上 述 第 1 及 第 2 實 施 例 之 說 明 t 對 於 各 種 顔 色 或 濃 1 1 度 之 墨 水 * 為 了 要 同 樣 的 驅 動 脈 衝 獲 得 適 當 的 墨 水 滴 η 1 量 9 而 對 各 顔 色 各 濃 度 分 別 變 更 其 氣 泡 產 生 區 域 的 大 小 1 I t 改 變 發 熱 面 積 和 縱 横 比 > 或 改 變 發 埶 區 域 的 長 度 和 薄 1 1 Η 電 阻 〇 而 如 上 述 * 這 些 方 法 各 個 都 有 助 於 適 當 墨 水 量 1 1 之 設 定 唯 * 也 可 將 這 些 方 法 組 合 構 成 為 可 獲 得 適 當 線 之 墨 水 滴 量 者 Ο 例 如 在 上 述 第 1 實 施 例 的 噴 墨 頭 B 中 f 1 1 調 整 發 熱 區 域 面 積 和 調 縱 横 比 之 同 時 » 可 由 調 整 氣 泡 產 1 1 生 域 的 大 小 » 而 獲 得 對 應 於 所 使 用 墨 水 的 物 性 之 適 當 1 I 墨 水 滴 量 〇 又 如 第 2 實 胞 例 的 嗔 墨 頭 A 和 C > 或 第 1 實 1 1 施 例 的 噴 墨 頭 A 和 Β 之 不 同 噴 墨 頭 f 可 再 調 整 其 發 熱 區 1 | 域 的 長 度 和 薄 Η 電 阻 值 » Μ 構 成 為 可 獲 得 適 當 墨 水 滴 量 1 1 者 Ο 要 設 定 這 些 之 條 件 時 • 如 上 述 也 將 墨 水 滴 嗔 射 速 度 1 1 -2 1 - 1 I 1 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐) A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（2〇 ) 1 1 等 之 墨 水 滴 量 Μ 外 的 特 性 考 慮 進 去 9 經 如 此 之 設 定 後 可 1 1 更 加 提 升 其 畫 質 〇 1 1 [| 莲明之效果] /·—S 請 1 先 1 如 以 上 說 明 可 知 » 依 昭 本 發 明 時 t 在 於 噴 射 多 種 顔 色 閲 iji 1 或 多 種 濃 度 的 墨 水 滴 之 嗔 墨 頭 中 » 按 照 各 顔 色 或 各 濃 度 背 1 之 1 變 更 其 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 面 積 » 因 而 可 將 所 嗔 射 的 墨 水 注 意 1 I 滴 量 設 定 在 適 合 於 各 顔 色 或 各 濃 度 之 值 9 而 提 升 了 其 晝 事 項 1 I 再 1 I 質 〇 這 時 » 發 熱 面 積 愈 小 » 愈 提 高 其 發 熱 區 域 的 薄 片 電 4 寫 1 本 胆 Μ 提 高 電 m 值 t 因 而 ， 使 得 發 熱 區 域 的 單 位 面 積 之 能 頁 '—-- 1 I 量 為 大 致 相 等 〇 因 此 ， 在 於 噴 射 墨 水 滴 量 有 所 不 同 時 * 1 1 也 可 用 共 同 的 電 壓 脈 衝 驅 動 » 不 必 使 用 多 種 電 源 t 驅 動 1 I 回 路 得 Μ 簡 化 » 具 有 可 防 止 記 錄 裝 置 之 大 型 化 及 成 本 之 1 訂 增 加 〇 1 [附圖簡單說明] 1 | 第 1 圖 本 發 明 噴 墨 記 錄 裝 置 第 1 實 施 例 之 噴 墨 記 錄 1 1 頭 一 例 正 面 圖 〇 1 1 第 2 圖 * 本 發 明 噴 墨 記 錄 裝 置 第 1 實 胞 例 之 發 熱 電 阻 線 體 附 近 一 例 斷 面 圖 〇 1 第 3 圖 * 本 發 明 噴 墨 記 錄 裝 置 第 1 實 胞 例 之 發 熱 電 阻 1 1 體 附 近 一 例 概 略 平 面 圖 〇 1 I 第 4 圖 ： 本 發 明 噴 墨 記 錄 裝 置 第 1 實 施 例 之 噴 墨 記 錄 1 1 頭 發 熱 電 阻 體 附 近 另 一 例 斷 面 圖 〇 1 1 第 5 圖 改 變 外 加 脈 衝 時 t 加 上 於 發 熱 電 阻 體 的 電 壓 1 I 與 噴 射 墨 水 滴 量 之 闞 係 圖 〇 1 1 -22- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） A7 B7 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明 ( >\ ) 1 1 第 6 麵 ： 所 用 墨 水 的 物 性 質 和 所 需 墨 水 滴 量 之 具 體 例 1 1 說 明 圖 0 1 | 第 7 圆 ： 使 用 以 往 的 噴 墨 頭 所 噴 射 墨 水 滴 量 之 具 體 例 /··~·\ 請 1 | 説 明 BSI 圈 〇 先 閱 1 I 讀 1 i 第 8 圖 ： 變 化 氣 泡 産 生 區 域 面 積 之 具 體 例 說 明 画 0 背 1 I 之 1 第 9 面 圖 : 氣 泡 産 生 區 域 設 定 後 之 實 際 噴 射 墨 水 滴 量 具 注 意 1 I 體 例 説 明 圖 〇 事 項 1 I 1 I 第 10 圔 變 化 發 熱 區 域 面 積 及 縱 播 比 之 具 體 例 說 明 圖。 填 寫 1 士 第 11 圖 ： 噴 墨 記 錄 裝 置 第 2 實 施 例 之 噴 墨 頭 一 例 正 面 本 頁 1 圖 〇 1 1 第 1 2 圖 發 熱 電 阻 體 的 發 熱 區 域 和 薄 片 電 阻 之 具 體 例 1 I 說 明 圖 〇 1 1 訂 1 第 1 3 圖 ： 多 數 噴 墨 頭 之 配 置 例 說 明 圖 0 第 1 4 圖 ： 本 發 明 以 往 的 熱 噴 墨 頭 之 一 例 > (A) 圖 是 垂 1 I 直 於 溝 道 的 軸 方 向 剖 斷 之 斷 面 圖 (B ) 圖 是 在 (A) 圖 的 1 1 B - B 剖 面 之 平 面 圖 9 (C ) 圖 是 從 噴 嘴 側 觀 看 之 正 面 圖 〇 1 1 第 1 5 圖 ： 以 往 的 噴 墨 記 錄 頭 一 例 之 發 熱 電 阻 體 周 邊 詳 線 細 斷 面 圖 〇 1 第 1 6 圖 : 以 往 的 噴 墨 記 錄 頭 一 例 之 發 熱 電 阻 體 周 邊 平 1 | 面 圖 0 1 | [符號說明] 1 1 1 : 溝 道 基 板 9 2 :發熱電阻髏基板， I 3 : 溝 道 9 4 、 4 c 4 m 、 4y 4 k :共同液室， 1 5、 5 C . 5 磁、 5 y、 5k: 噴 嘴 » 6 : 未 蝕 刻 部 位 » 1 1 -2 3- 1 1 1 1 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 305306 A7 B7 五、發明説明（22 ) 7 :發熱電阻體， 9 :厚膜絕緣層. 1 1 :第2凹部， 1 3 :墨水滴， 8 :絕緣層， 10 :第1凹部， 12 :隔牆， 14 :墨水供應口， 15a、15b:顔色間之分隔牆， 2 1 :共同電極， 2 2 :個別電極， 24:四氮化三矽層 2 6 :低電阻部， 28 :第2玻璃層， 30 :矽基板. 33:氣泡產生區域 5 1 :噴墨頭， 23 :鉅層， 25 :發熱區域， 27 :第1玻璃層， 2 9 ··二氧化矽層， 3 1、32 :通孔， 41 :平坦區域， 52 :滑架。 I--------J4-·------1T------A (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 24- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉A4規格（210X 297公釐）