TW282491B - - Google Patents
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- TW282491B TW282491B TW83108469A TW83108469A TW282491B TW 282491 B TW282491 B TW 282491B TW 83108469 A TW83108469 A TW 83108469A TW 83108469 A TW83108469 A TW 83108469A TW 282491 B TW282491 B TW 282491B
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- TW
- Taiwan
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP5260380A JPH0790560A (ja) | 1993-09-27 | 1993-09-27 | 高純度チタニウムスパッタリングターゲット |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW282491B true TW282491B (zh) | 1996-08-01 |
Family
ID=17347122
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW83108469A TW282491B (zh) | 1993-09-27 | 1994-09-14 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0790560A (zh) |
TW (1) | TW282491B (zh) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2901852B2 (ja) * | 1993-09-27 | 1999-06-07 | 株式会社ジャパンエナジー | 高純度チタニウムスパッタリングターゲット |
JP2948073B2 (ja) * | 1993-09-27 | 1999-09-13 | 株式会社ジャパンエナジー | 高純度チタニウムスパッタリングターゲット |
JP2901853B2 (ja) * | 1993-09-27 | 1999-06-07 | 株式会社ジャパンエナジー | 高純度チタニウムスパッタリングターゲット |
JP5069051B2 (ja) * | 2007-07-13 | 2012-11-07 | Jx日鉱日石金属株式会社 | ニッケル合金スパッタリングターゲット |
WO2014136702A1 (ja) | 2013-03-06 | 2014-09-12 | Jx日鉱日石金属株式会社 | スパッタリング用チタンターゲット及びその製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04116161A (ja) * | 1990-09-05 | 1992-04-16 | Hitachi Metals Ltd | チタンターゲット材およびその製造方法 |
JPH05214521A (ja) * | 1992-01-30 | 1993-08-24 | Tosoh Corp | チタンスパッタリングターゲット |
JP3414412B2 (ja) * | 1992-01-30 | 2003-06-09 | 東ソー株式会社 | スパッタリングターゲットの製造方法 |
JP3338476B2 (ja) * | 1992-06-29 | 2002-10-28 | 住友チタニウム株式会社 | スパッタリング用の金属Tiターゲットの製造方法 |
JP2901852B2 (ja) * | 1993-09-27 | 1999-06-07 | 株式会社ジャパンエナジー | 高純度チタニウムスパッタリングターゲット |
JP2948073B2 (ja) * | 1993-09-27 | 1999-09-13 | 株式会社ジャパンエナジー | 高純度チタニウムスパッタリングターゲット |
JP2901853B2 (ja) * | 1993-09-27 | 1999-06-07 | 株式会社ジャパンエナジー | 高純度チタニウムスパッタリングターゲット |
-
1993
- 1993-09-27 JP JP5260380A patent/JPH0790560A/ja active Pending
-
1994
- 1994-09-14 TW TW83108469A patent/TW282491B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0790560A (ja) | 1995-04-04 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
MK4A | Expiration of patent term of an invention patent |