TW212833B - - Google Patents

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212853 五、發明説明ί1 ) 本發明傜有關一種正向 含一棰不溶於水但可於ft性 之樹脂性結合劑，及一種作 基六羥基二苯基甲烷之鄰萘 物傺供製造光敏威材料，例 上述型態之光敏感化合 -A4，4 0 7 , 9 2 6 )中己知者，這 二畳氮-4-磺酸或1 , 2-萘酯-2 二醯基六羥基二笨基甲烷。 有適於實際操作之光敏感度 用於拷貝工作期間及印刷機 =具-有改良之抗性。 - 此等化合物之缺點為其 所使用之有機溶劑如，例如 單甲醚，-單乙醚或-單丙隧 乙酸丁酯，_類如：甲基乙 芳香烴如：甲苯或二甲苯中 不適當。另一個缺點為該含 份之光阻層接受曝光時，僅 迅速顯影。此類光阻層在適 生態理由而較常採用之弱鹼 影。 本从尺度边用中® S家標準（CNS)*H規格（2]0x297公龙） Λ 6 η 6 經濟部屮央榣準而只工消费合作社印製 操作之光敏感混合物，偽包 水溶液中溶解或至少可膨脹 為光敏感混合物之一種二醯 醌二叠氮一磺酸酯，該混合 如：平販印刷板及光阻劑。 物偽自 ΕΡ-Β 0,052 ,788〇US 些化合物為經過1,2 -萘醌- 2--二叠氮-5-磺酸完全酯化之 由此等化合物製成之印刷板具 ，且對鹼性顯影劑及彼等常 之印刷過程期間之有機溶劑 在塗佈金屬基層或塑膠基質 :乙二醇單醚類，如：二酵 ，羧酸酯類如：乙酸乙酯或 基_,環戊_或環己酮，及 之溶解度對某些目的而言並 有此等化合物作為光敏威成 可利用相當強之鹼性水溶液 當操作下，無法利用目前因 性水性顯影劑依適當速度顯 (請先閲請背而之注意事項#填窍木頁) 81. 4. 10,000¾ (H) 212833 Λ 6 Η 6 經濟部中央標準局Μ工消伢合作社印5i 五、發明説明（2) 自 DE-C 938,233 (-GB-A 739, 654)與 US-A3 ,802,885 中已知之光敏感化合物為經過鄰萘醌二疊氮磺酸部份或 完全酯化之二-或三-羥基萘酮類。 此等化合物容易溶於塗佈金屬質或并金屬霣基質材 料的常用之溶劑中，且具有相當高之光敏威性。此等化 合物之已曝光光阻層連同可溶於鹸性水溶液介質中之結 合剤亦可利用弱齡水溶液顯影。然而，光阻層之未曝光 層結構對顯影劑通常出現不適當之抗性。此外，印刷過 程中若使用含醇之墨水溶液時，這些塗層會受到程度不 等之侵蝕。因此這類塗層之抗醇性在許多情況下並不適用。 - =〜一其他鄰萘醌二疊氮磺酸之酯類及芳香条多羥基化合 物係自0[0 1,118,606( = 084 935,250)中得知者。其中 特別述及二苯基甲烷之衍生物為酚条成份。然而，多羥 基二苯基甲烷衍生物未完全酯化，因此仍舊含有至少一 傾游離羥基。對某些目的而言，此類化合物於塗佈基質 材料時常用溶_中之溶解度運不夠。其光敏感度通常適用 於操作，但是由此類化合物製成之光敏感光阻層則不具抗 醇性。因此可能駸重限制了此等化合物之工業用途。 EP-A 0,440,238曾掲示一種光阻劑混合物，其中除 了一種可溶於龄性水溶液中之聚合物外，尚包含經過 1,2 -萘醌-2 -二叠氮-4-磺酸或-5-磺酸部份酯化之芳香 (請先閲誚背而之注意事項洱填寫本頁) 裝· 訂 線· 本紙5艮尺度逡用中國困家標準（CNS)〒4規格（210x297公没） 83. 4. 10,000¾ (H)

212B3S 五、發明説明（3 ~) 条多羥基化合物-混合物中亦可包含至高3 Ο重量％之完 全酯化多羥基化合物。該芳香条多羥基化合物僅能經由 複雜反應程序製得。相反地，前述本發明之最初重點之 酚条齡化合物則當已知化合物且容易取得。 本發明之目的為提出一種光敏戲-正向操作混合物 ，其中含有一種鄰萘醌二叠氮磺醯酯作為光敏感化合物， 且其拷貝性質與印刷性質至少可比擬迄今已知之此類最 佳化合物。由混合物製成之塗層之所有性質中，就印刷 方面之相關光敏威度，對弱驗水溶液之可顯影程度，及 未曝光之塗層結構之抗醇性等而言均慶於迄今已知之混合物 。就其光敏感度而言，利用純四甲基氫氣化銨溶液顙影 =未皆下殘質，且加強已顯影之光阻層結構之熱安定性等 性質，由此等混合物製成之光阻層應待別優於工業上所 採用之光阻剤混合物。 該目的係由一種光敏感混合物達成，該混合物中含 有一種1,2-萘醌-2-二叠氮-磺酸酯作為光敏感化合物， 脹 膨 可 少 至 或 解 溶 中 液 溶 水 性 0 於 〇 可劑 但 合 水结 於為 溶作 不物 種合 1 聚 及之 (請先閲讀背而之注意事項#璜莴本頁) 裝- 訂_ 經濟部屮央標準局员工消货合作社印製 醌 萘 為 作 物 合 化 I 式 S—一 種 I 有 含 物 合 混 之 明 發 本 據 根 酯 酸 磺 氮 曼 本fcUfc尺度边用中S S家樣毕規格(210x297公址） 81. 4. 10,000張（Η) Λ 6 B 6 五、發明説明（4 )

Η

R R

I

81R

8iR 或或 氫氫-2 為為醚 中 式 RR1.. 氮 «二 且 基 由 自 V 或 基-2基 芳醌醯 或萘磺 基 2 5 烷1’ - e@ 氮« 基 氣 甲 (請先閲讀背而之注&事項再墙舄木頁) 基 酸 磺 醌 萘 萘二 裝- 基 0 自 基 醯 磺 由 自 基 醯 磺 I 氮«二- 醌 萘 異 相 或 同 相 之 S 義 定 4 1 I R 氫如 *中 ; 子 一 分 尚化 中 I 其式 , 之 物化 合酯 混全 0 完 敏酸 光磺 之 I 態氮 型叠 述二 上醌 。如萘 5 關鄰 至有經 1 亦種 為明一 目發少 數本至 之 含 基 包 物 合 經濟部屮央桴準局只工消作合作社印製 氣 烷 或 子 原 鹵 經 可 且 支 分 或 鏈 直 為 可 R 基 由 自 基 烷 為 好 最 R 基 由 〇 自代 基取 芳子 〇 原 子鹵 原或 碩基 個氣 20烷 至或 1 基 有烷 含經 且可 , 且 代心 取核 基單 苯 或 基 甲 或 子 原 氫 為 R 中 式 等 彼 。 以佳 , 較 中物 物合 合化 化之 I 基 式由 自 基 本紙张尺度边用中8 S家標毕（CNS) Ή規格（210x297公放） 81. 4. 10,000¾ (Η) 21283^ Λ 6 _l]_6_ 五、發明説明（5) (請先閱讀背而之注意事項#碣寫木頁) 酯化作用之化學計量程度低於100%,最好在40至 95%之間，特別佳者為45至65¾之間。若R為甲基自由 基且fU為1,2-萘醌-2-二疊氮-5-磺醯基自由基時，酯化 作用之化學計董程度最好在50至65%之間，若R為苯基 自由基羲且1為1,2-萘醌-2-二叠氮-5-磺醯基自由基時 ，酸化作用之化學計量程度最好為45至60%。若R為甲 基自由基且I為7 -甲氣基-1,2 -萘醌-2-二β氮-4-磺醛 基自由基時，酯化作用之化學計量程度最好在70至95% 之範圍内。 根據本發明混合物之待性為光敏戚度高，對顯影劑 抗性佳，且對金羼質或非金屬質基質之粘附性佳。含此 =光敏感混合物之材料之其他待性為接受弱_水溶液顯 影之速度很快，且對印刷製版上所揉用之.含醇墨水溶液 之抗性極高。由根據本發明光敏感混合物製造，供撤石 版印刷術使用之光阻劑之特性尤其表現在其高度之光敏 感度，及利用纯四甲基氫氣化銨溶液顯影時，不會留下 殘質，且已顯影之光阻層結構具有高度熱安定性。 經濟部屮央榀準/0A工消作合作社印製 製備式I化合物時，可使1莫耳5,5’-二醯基-2, 3,4,2’ -3’，4’-六羥基二苯基甲烷與6某耳以下之一種活化鄰萘 醌二叠氮-磺酸衍生物，例如：一種鄰萘醌二叠氮-磺酸 氯化物反應。因此，例如：1莫耳5, 5’-二醯基-2, 3, 4, 2’ ,3’，4’-六羥基二苯基甲烷與5莫耳鄰萘醌二疊氮-磺酸 81. 4. ]0,000張（H) 本紙張尺度逍用中國國家榀準（CNS)^M規格（210x297公:《；) 2128^3 Λ 6 Η 6 五、發明説明（6) 氮化物反應所得産物之酯化作用化學計量程度為83. 3% Ο 亦可使用不同鄰萘醌二疊氮-磺酸氯化物之'混合 物0酯化作用過程係於一種酸受體之存在下，在一種有 機或有機水性溶爾中進行。 適當溶劑實例為丙酮，乙腈，二氣陸圃，四氫呋喃 ,Ν -甲基毗咯烷酮，二氡甲烷，等等。 該酸受塍可為無機物，如：磺酸納或硪酸氫銷，或 有機物，有機酸受體中，待別適合者為弱有機酸類之納 鹽，如：乙酸銷，三级胺類如：三乙胺，三乙醇胺，Ν-甲基嗎啉，1,3-重氮-雙環[2.2.2]辛烷（^1)31)〇〇)或吡啶 =或-毗啶衍生物C! - - 一些如式I之根據本發明鄰萘醌二叠氮磺酸酯頬示 於下表1。. (請先閲讀背而之注意事項再塡寫本頁) 裝· 訂 線_ 經濟部中央標準灼A工消作合作杜印31 8 81. 4.丨0,000張（Η) 本紙張尺度边用中S困家楳準（CNS) Ϊ4規格（210X297公龙） Λ 6Π 6 五、發明説明（7) 表1 經濟部屮央榀準灼Α工消"合作杜印奴

No. R Ri 酯化作用、 莫耳％ 1 Η 66.6 2 ch3 45.0 3 ch3 ' D2 50.0 4 ch3 〇i 56.6 5 ch3 〇i 58.3 6 ch3 D： 60.0 7 ch3 66.6 8 ch3 D： 83.3 9 ch3 . 〇! 95.0 10 ch3 d2 45.0 11 ch3 d2 53.3 12 ch3 d2 75.5 13 ch3 d2 83.3 14 ch3 d3 55.0 15 ch3 d3 66.6 16 ch3 d3 83.3 17 ch3 d3 91.6 18,. .... c2h5 〇i - -66.6 19 (CH丄CH3 66.6 20 (CH2)iCH3 〇a 83.3 - 21 (CH2)1SCH3 · 58·3 22 c6h5 D! 45 · 0 23 c6h5 Da 50.0 24 c6h5 〇i 53.3 25 C6H5 60.0 26 c6h5 〇i 83.3 2 7 c6h5 95.0 28 c6h5 d2 50.0 29 C6Hs d2 83.3 30 CfiHs d2 95.0 31 C6Hs d3 45.0 32 CeHs- 〇3 50.0 33 C6H5 d3 66.6 34 CeH5 d3 83.3 35 C€Us d3 95.0 D : 1,2-萘醌-2-二叠氪-5-磺醛基 D : 1 , 2 -萘醌-2 -二β氮-4 -磺醛基 D : 7 -甲氣基-1 , 2 -萘醌-2 -二叠氮-4 -磺醯基 1)酯化作用之化學計量程度，傑相對於酚条基本化合物 分子中羥基數（6)計算。 -9 - 本紙张尺度边用中as家樣準（CNS)nM規格（210x297公龙） 81. 4. 10,000張（H) (請先閲誚背而之注-事項再填寫本頁) 裝- 訂_ Λ 6 Η 6 2i2B3<3 五、發明説明（8 ) 依£?-8 0,052,788( = 1]3-/^4,407,926)所述之製得 ，使相應之4 -酵基連苯三酚舆福馬林水溶液（38重%) 於80-1001下，於酸性觸媒如：鹽酸或對甲苯磺酸之存 在下反應，可得到收率良好之該起始物質5,5’-二醯基-2 ,3,4,2’，3’，4、六羥基二苯基甲烷，若以需溶解4 -醯 基連苯三酚時，則添加一種有機溶劑，例如，脂糸短鏈 醇類或二醇半酯類。 該4 -醛基連苯三酚偽自文獻中已知者，且可根據或 類似其中所述之製程製備，一些此等化合物C6H2(〇H)&-C0-R示於下表2中。 (請先閲請背而之注意节项再碣寫木頁) 裝· ，，R in · p . ( ° C ) Η 159-161 淺黃色H狀物\ ch3 C2H5 126-128 167-169 無色針狀物： (ch2)2ch3 100-102 (CH2)4CH3 86- 87 (CH2)6CH3 73-74 (CH2)bCH3 ΊΊ 一 7 9 (CH2)16CH3 91- 93 淺黃色針狀物i CeH5 139-141

訂 1) H. Gross, A. Rieche, G . M a 11 h e y , Cheb . B e r . 9 6 , 3 0 8 ( 1 9 6 3 ). 經濟郝屮央標準扃只工消作合作杜印製 \1/ \ly 2 3 4 a Γ 4 e

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ο 1X 本紙尺度边用中a國家楳準（CNS) ^規格（210X297公龙) 81. 4. 10,000¾ (Η) Λ 6 Β6 212883 五、發明説明（9 ) 2708 (1951). (請先閲請背而之注意事項洱塡寫木頁) 5) R . D . Haworth, D . Woodcock, J . C h e m , S o c . 1 9 4 6, I I , 9 9 9. 6) ·來自德國Riedel de Haen公司之商品。 _ 一些5 , 5 ’ -二醯基-2 , 3 , 4 , 2 ’，3 ’，4 ’ -六羥基二苯基 甲烷列於下表之中。 丟： R m.p. (°C) 收率 % Η > 250 (tec .) 無色粉末 65 ch3 246-248 淺黃色粉末 94 g^h5 234-236 無色粉末 ’ 68 (CH2)2CH3 180-182 65 (CH2)4CH3 169-171 62 (CH2)6CH3 157-159 61 (CH2)bCH3 147-148 67 (CH2)16CH3 137-139 65 C6H5 227-228 淺黃色針狀物 83 光敏感混合物或光敏威層中根據本發明式A之鄰萘 醌二蠱氮-磺酸酯之濃度可在相當大範圍内變化。通常 其相對於非揮發性成份之含量為3至50 %,最好7至30%。 經濟部屮央櫺準而员工消"合作社印 如本文初所述，根據本發明光敏_混合物含有一種 聚合性，水不溶性樹脂结合劑，該結合劑可溶解於根據 本發明混合物所使用之溶劑中，且亦可於鹼水溶液中溶 · 解或至少可膨脹。 -1 1 - 81. 4. 10,000張（H) 本紙張尺度边用中S fi家標準（CNS)規格（2】[)χ297公龙） 2'128〇3 Λ 6 Η 6 五、發明説明i( 1 氟有 «且 二’於 醌用 萘適 以別 之待 賁實 證證 遇經 經亦 中脂 料樹 材合 阻缩 光漆 向淸 正醛 種酚 多之 許主 於為 物 化 已其 間尤 期 . 影度 顯異 強差 D S 力 9 物鮮 合之 化間 等之 該份 。部 物層 合塗 混之 之區 明光 發曝 本未 據及 根區 於光 利曝 合好 缩最 度物 高合 更混 之感 酚敏 苯光 甲該 二此 與因 齡 0 甲時 : 合 如縮 抓行 酚進 苯同 之共 代醛 取甲 經與 含脂 當 樹 聚於 之可 。代他 劑取其 合經 。 結 ，> 性烯酷 溶乙酸 可苯烯 Φ 基丙 為羥基 作聚甲 漆：酚 清下二 醛如苯 酚者鄰 脂劑 ί 樹合聚 系結及 酚為烯 種用乙 一 適苯 有 基 含 羥 (請先閲請背而之注意节項#填寫木頁)

膠或 蟲物 : 聚 如共 ,之 脂酐 樹酸 然來 天馬 及與 述烯 應乙 剤苯 合 ， 結如 之脂 脹樹 膨成. 可合 或及. 解 ， 溶香 中松 0 與V 裝- 酯脂 酸樹 烯之 丙基 基胺 甲醛 或磺 酯或 姻基 烯胺 丙亞 與酵 其珀 尤琥 , 含 酸用 烯使 丙可 基亦 甲 Ο 或物 酸聚 p 共 ie之 訂_ 線· 固 總 異 而 法 用 使 依 可 量 用 與 質 性 之 脂 樹 性 溶 可 0 外基 此烯 0 乙 佳與 別物 待化 ο 氣 -7環 3 D 9 為 以好 , 最 佳 ， 較脂 間樹 之他 50其 至種 9 多 為許 例用 比使 量可 含尚 體 ， 經濟部屮央楛準局A工消设合作社印製 , 共 醛之 縮體 烯單 乙之 聚物 , 合 酯聚 酸等 烯該 丙及 聚酮 ，烷 酯咯 烯吡 乙烯 酸乙 乙聚 聚 ， : 類 如醚 物烯 合乙 聚聚 顯之二 對量聚 及重： 件脂如 條樹質 術性物 技溶他 之可其 用鹼量 應過少 依超含 例未包 比常可 利通亦 有且中 最 ，物 之定合 脂而混 樹，锻 0 等影敏 此之光 。件 〇 物條% 聚影20 本紙張尺度逍用中S Η家標準（CNS) Ή規枋（210x297公tf) 8]. 4. ]0,000張（Η) 212BB3 Λ 6 _Π6_ 五、發明説明（11) 醇類，雄維素衍生物如：乙基纖維素，漉化劑，染料， 膠粘加強剤，交鐽劑與最後分散之色素，及若需要時之 υν吸收劑，以應待別需求，如：撓性，藤粘性與光澤， 色澪與色彩變化，等等。 塗佈一種適當基質時，通常使混|:物溶於一棰溶劑中 。溶劑之選擇必須配合塗佈方法，塗層厚度及乾燥條件 。適用於根據本發明混合物之溶劑為酮類如：甲基乙基 酮，環戊酮及環己酮，氛化烴類如·· 1,1, 2 -三氣乙烷及 1.1,1-三氯乙烷，醇類如：正丙醇，醚類如：四氫呋喃 ,二醇半醚類如，乙二醇單乙醚及丙二醇單甲醚，醇08 — 乙酸酯類；如：丙二醇甲基醚一乙酸酯，及酯類如：乙 =酸-乙醋舆乙酸丁酯，及芳香烴類如甲苯與二甲苯。亦 (請先閱讀背而之注意事項#填寫本頁) 裝- 訂- 經濟部屮央棋準/0员工消货合作社印奴 或産醚酸 溶 質敏 園份半乙 或。基光 陸成酵 I 劑¾種種 氧層二 _ 溶置一 一 二 塗為醇 於重由之 ,舆者二 溶40係成 膜會用及 使至 ，組 乙不適醚 能15料物 : 要別甲 好達材合 如只特單。 量阻混 劑上。醇酯 含光之 溶則用二.酸^總感項 之原使丙乙溶份敏 1 途 。可舆 I 佈成光第 用物均 K3S 塗性種圍 殊合劑甲甲之發一範 ·#混溶單單用揮闋利 供之之醇醇劑非有專 含胺應二 二阻之亦請 包醯反乙丙光中明申 。 尚甲逆指：造物發據成 用基可尤如製合本根組 使甲不 ，類 混 由層 可二 生類酯 劑 及感 線· 8]. 4· 10,000張（H) 本紙張尺度边用中团國家《準（CNS)nM規格（2K1X297公诞） 經濟部中央楳準局β工消汾合作社印31 2128^3 A 6 _Π6_ 五、發明説明（1 2) 大多數情況下，塗層厚度在約10 la以下時'使用金 靨作為基質。製诰平版印販時，尤其是亮滾式（bright rolled)印刷板則採用經過機械式或由化學式粗粒化且 若適當時尚經電鍍之鋁板，該鋁板尚可經化學前處理， 例如：使用聚乙烯膦酸，矽酸酯，磷酸酯，六氟矽酸酯 ,或水解之四乙基原矽酸酯處理。此外可使用多重金屬 板，如：由Al/Cu/Cr或由黃銅/鉻組成之薄板，製造活 販印刷板時，根據本發明混合物可塗佈在鋅板或鎂板 或市售供無粉末式蝕刻製販用之其微晶合金板商品上， 或可塗佈在可蝕刻之塑瞟板上如：聚氣次甲基化合物。 声凹版印刷版或網版印刷版而言，適於使用根據本發明 =化^合物，因為其於銅表面及錁表面上之驂粘性佳且抗蝕 刻性佳。同樣地，根據本發明混合物可作為製造印刷電 路板及化學研磨用之光阻劑。撤石版印刷術之乾膠片所 使用之光阻_之適當基質為例如：矽，矽石，經塗佈處 理之矽石（doped silica),四氮化三矽，聚矽，鋁，鋁 合金，銅，鉅或聚合樹脂。 其他應用法亦可考廉使用其他基質如：木料，紙質 ，陶質，纺織材料，及其他金颶。 塗層厚度超過10 In時，較佳基質為塑膠膜，該塑膠 膜則作為暫時載體來轉移塗層。為了此目的，及供色彩 測試泊片用，取好使用聚酯膜，例如：聚對酞酸乙烯酯 -14 - 本紙張尺度边用中國國家榀準（CNS)*H規格（210x297公龙） 81. 4. 10,000張（Η) (請先閲請背而之注意事項#填寫本頁) 裝- -?τ_ 2l'^b^3 Λ 6 __ 五、發明説明（1 3) 之聚酯膜。然而，聚烯烴膜如：聚丙烯亦適用。 基質之塗佈過程係依已知方式進行，利用渦轉塗佈 ，噴洒，浸泡，滾轉，利用長眼塑模 （slot dies),刀 片或簾幕式塗佈（curtain coating)。最後，亦可由一 種暫時基質轉移塗層，塗佈在印刷電路板，玻璃，陶瓷 及矽膠Η上。 曝光遇程係利用工業上常用之光源進行，霣子光束 或雷射光束則為另一種可行方式。 顯影時所採用水溶液之鹼總含量為約1契耳/升， 但最好0.2至0.7莫耳/升之間。 顯影劑中亦可包含少量有機溶劑或濕化劑，曝光後 (請先閱讀背而之注意事項#塡寫木頁) 裝. 經濟部屮央橾準局κχ工消合作社印3i 。式 ，區 尤刷所 具材 像像影之 即印之 上等 影影顯應 ，目用 作該 面受及反 販網路 操 ， 正接.光 刷舆電. 在性 之貝光受 印販刷 料抗 物拷曝間 造刷印 材佳 原之均期 製印造 錄極 -Ϊ浮域光。為版製 記有 S-潛區曝像途凹供 之具 而使痼次影用e)及 産劑 ,-整二面佳on, 生 / 除中後第負較ft層 物影 脱”然上之之al阻 合顯 層版。域物物(h光 混性 感製理區原合版之 明鹾 敏轉處儲到混網中 發對 光反熱整得明 ，刷 。本且 之像行.除式發販印層.據度 應影進脱方本刷版阻根威 反 ” 劑此據印石光用敏 光譖後影依根販微燥使光 受所光顯。 平，乾 高 ,在曝由域 指版謂 有 81. 4. 10,000¾ (H) 本紙5fc尺度边用中SH家標毕(哪）例規格(2丨0X297公;《；) 經濟部屮央榣準而貝工消f合作社印製 212883 * Λ 6 ___I? 6 ,_ 五、發明説明i(4 ) 料亦可迅速顯影，不會因弱驗水溶液而發生間題。但是 利用未含有任何其他促進顯影之添加物之四甲基氫氣化 銨水溶液顯影時，效果亦極佳，且不會留下殘質。 由此等光敏烕混合物製造之印刷販對含醇之墨水溶 液如：目前印刷製版期間常用者，具有高度抗性。 由此等光敏威混合物製造，用於微石販印刷術之光 阻劑之特擻為光敏感度高，且已顯影之光阻結構熱安定 性高。 較佳化合物本身之特性為於塗佈基質常用之溶劑中 具有良好溶解度，此外，並具有顯著之親油性質。該等 化合物亦與光敏感層之其他成份高度相容。 总 .-一， _ 本發明參考下列實例專詳細解釋，其中重量份數 (P. b. w.)與體積份數（P. b. v.)係與克及毫升之關偽 相同。除非另外說明，否則百分比為重量百分比。 会成奮例 式A化合物之製法更詳述於下文中。 使 3.48 克（0.01 莫耳）5,5’-二乙醯基-2, 3,4, 2’， 3’，4’-六羥基二苯基甲烷及13. 43克（0.05莫耳）1,2-萘醌-2-二II氮-5-磺醯氯溶於20-24C下，含150毫升丙 酮與70毫升Η -甲基-2-Btt咯烷酮之混合溶劑中，並滴加 10.1克（0.1莫耳）N -甲基嗎啉至該黃色溶液中，反應 混合物之溫度上升至29-311。為了使反應完全.，繼缠 —16 _

本紙張尺度边用中a B家ts準（CNS) 規彷（2】0x2[)7公：¢) 81. 4. 10,000張（H) 2128 Γ> 3 Λ 6 Β 6 經濟部屮央榡準局A工消作合作社印¾ 五、發明説明（15) 攪拌35分鐘。當1,2-萘醌-2-二叠® -5-磺酵氯不再檢測 得到時，反應邸達到终點（由薄層層析法[TLC]檢測） 。然後以40_45分鐘時間，撖烈攪拌滴加該褐色溶液至 1.5升水與15毫升37%邇酸之混合物中。抽吸過濾淺黃 色不定形沈澱物，於抽吸濾器上，以500¾升水洗滌， 並於30-401/250毫米（汞柱）之真空乾燥箱中乾燥48 小時至恒重為止。 收量：14. 75克（理論值之97.6%);酯化作用之化學 計量程度：83.3% (表A之化合物8) ; 5,5’-二乙酵 基-2, 3,4, 2’，3’，4’-六羥基二苯基甲烷六酯之含量： 70.14% (由高壓液相層析法[HPLC]決定）。 / __依相同製程，但改以4.72克（_0. 01某耳）5,5’-二 苯甲醛基_2,3,4, 2’，3’，4’-六羥*二苯基甲烷取代5,5’ -，二乙醛基-2,3 ,4,2’，3’，4’-六羥基二苯基甲烷，並使 用8.06克（0.03某耳）1,2-萘醌-2-二叠氮-5-磺醯邁及 3.6克（0.0032莫耳）1，4-重氮雙環[2.2.2]辛烷（031)1：〇) 作為HC1受體，得到表A化合物No. 23。 收量：10. 78克二理論值之92.3% ;酯化作用之化 學計量程度：50% ; 5,5 -二苯甲酵基- 2,3,4,2’，3’，4 Α 羥基二 苯基甲 烷含量 31.0% (HPLC)。 依類似製法製備表Α所列化合物，使用化學計量之 相應 5, 5’-二醯基-2, 3, 4, 2 ’，3 ’，4’-六羥基二苯基甲烷 -17 (請先間讀背而之注意事項#填寫本頁) 裝. 訂 線· 本紙5良尺度边用中國S家標準(CNS)TM規格(2丨0X297公釐) 81. 4. ]0,000張（H) 212ΒΓ>3 A 6 II 6 五、發明説明（1 6) (表3)及該鄰萘醌二叠氮磺醯氛，以得到所需之酯化 作用程度。 * 若使用三乙胺或三乙酵胺作為酸受體時，則得到酯 分佈程度類似旦六酯含量相當之化合物。 過去相闋技e ΐ ,表A之0 1 - 0 3 ,酯化作用化學計 量程度10 0%之鄰萘醌二叠氮-磺酸酯之合成法為使5,5’ -二乙醛基-2, 3,4,2’，3’，4’-六羥基二苯基甲烷或5,5’-二苯甲醯基-2, 3,4, 2 ’，3’，4’-六羥基二苯基甲烷分別與 6莫耳1,2-萘醌-2-二叠氮-5-磺酸氯化物（化合物01與 02)進行酯化作月，或類似根據本發明化合物所採用之 製程，使2, 3,4-三羥基-苯酮與3莫耳7-甲氣基-1,2-萘 =醒>2 -二叠氮-4 -磺酸氯化物（化合_物0 3 )進行酯化作用 。已知化合物04像依相同方式，由2, 3 ,4 -三羥基苯酮與 1.4莫耳1,2-萘醌-2 -二疊氮-5-磺酸氛化物進行部份酯 作用而製得。 (請先閲讀背而之注惡事項种填寫本頁) 裝- 訂 經濟部屮央標準，^Α工消贤合作社印51

R OR 1

'1 R

OR

A Αι Ri'為1,2-萘醌-2-二β氮-5-磺醯基（D,), 1,2-萘醌-2 二叠氮-4-磺醯基d)或7 -甲氣基-1,2-萘醌-2-二叠氮 一 18 本紙張尺度边用中S B家楳準(CNS) 規格(210X2974;«：) 81. 4. 10,000張（Η) 212833 Λ 6 Π 6 五、發明説明（1 7) 4-磺醯基（D>) No. R 酯化作i之莫耳％ 化學式 1 66.6 A 2 ch3 D： 40.0 .A 4 ch3 A 56.6 A 8 〜ch3 Da 83.3 A 11 ch3 d2 53.3 A 13 ch3 d2 83.3 A 16 ch3 d3 83.3 A 17 ch3 〇3 91.6 A 18 c2h5 Da 66.6 A 22 c6H5 - Da 40.0 A 23 c6h5 〇i 50.0 A 26 c6h5 D, 83.3 A 28 C6H5 d2 50.0 A 29 C6Hs 〇2 83.3 A 01 ch3 100.0 A 02 c6h5 Da 100.0 A 03 c6h5 d3 100.0 A, -04 CeH5. D, 40.0 1 )酯化作用之·化學計量程度 下列實例證實，表A4,根據本發明化合物1 , 4 , 8 , 1 1 , 1 3 , 1 6， 17, 18, 23, 26, 28與29與已知化合物01-04及表A化合.物2 舆22比較時，與表1中相應化合物一樣，具有更優越之 性質。 (請先閱讀背而之注虑事項#填寫本頁) 經濟部屮央標準工消贽合作杜印虹 -19- 本紙張尺度通用中SS家榀準（εΝ5)Ή規格（210x2974:11:) 81. 4. 10,000¾ (H) Λ 6 II 6 2l2B〇3 五、發明説明（j 窨例1 使厚0.3毫米之鋁箔於鹽酸中電解粗粒化（根據DIN 4768之Rz值：5.0 1),中段浸泡在硫酸中，並於硫酸中 陽極氣化處理（氣化物重4.0克/公尺>)。根據DE-A 1,6 2 1 /4 7 8經聚乙烯基瞵酸處理賦與親水性，然後於旋 轉機上，以下列光阻劑溶液塗佈： 5. 00重量％ 甲酚/甲醛酚醛清漆樹脂，根據DIH 53 7 83 /53240之羥基數為420, GPC測定之平均重 量為10，〇〇〇 (以聚苯乙烯為標準）， ……重量％ 根據表A/1(M)之萘醌二叠氮化合物， 0.15重量％ 1 , 2-萘醌-2-二叠氮-4-磺醯氣， 'ΟΤΧΓ 5 重量 ％ 雒多利亞純藍（Vicftrria pure blue) (C. I . 4 4 , 0 4 5 )& 加至100重量％甲基乙基酮與丙二醇單甲醚之40/60混合 溶劑， (請先閲讀背而之注意卞項典填窍本頁)

為 量 I S 膜 0 鐘 分 TX 燥 乾 下 V \ 克 經濟部屮央標準^β工消费合作社印製 列 下 廉 根 偽 間 期 程 過 版 製 Λ3 續 接 之 板 刷 12印 於面 膜平 阻得 光製 該X ο所 尺 公 估 U 評：以 行E).在 進(L板11 準度平離 標威使距 試敏 受 測光 接 之 分 公 下光 物曝 原燈 為汽 82蒸 19汞 形之 楔物 試化 測齒 刷屬 印金 版含 平kw 本紙張尺度边用中困Η家標毕（CNS) 規怙（210x29/公龙） 8】.4.】0,000張（Η) 212BB3 Λ 6 Π 6 五、發明説明（i $ 秒，然後浸入下列顯影像劑中30秒： 矽酸鉀 2. 7重量％ 二矽酸鉀 1 . 〇重量％ 磷酸三鉀 〇 . 5重量％ 三乙二醇 0 . 1重量％ 水 9 7 . 7重量％ 鹼之總量為0.53奠耳/升。 決定該測試楔形之開放半調階，意即利用生青色濾Η (c y a n f i 11 e r )測定光密度，首先測得小於或等於0 . 0 1 時之階段。 對顔蕺剷夕抗袢（RR): 決定半高調階之數目，若在相同條件下將顯影時間 延長4分鐘，捭該楔形再現時將需更大開口。 =卷厂童丙鹾：> 抗忡（ϊΐη : ~ ' 使未曝光平板接受下列測試溶液處理1分鐘： 異丙醇 4 9重量％ 磷酸 2重量％ 水 4 9重量％ 測定測試溶液所脱除之塗層百分比。 表Α/1中之縮寫定義如下： 1 , 2-萘醌-2 叠氮-5-磺醛基自由基之數目， 經潦部屮央榀準/0cx工消贽合作社印製 V G 酯化作用之化學計量程度 Μ 重氮基數量，於一糸列濃度中測定，以達到L S試驗 (見上文）中之開放階段5。 1)相應於D Ε - C 9 3 8 , 2 3 3之對照。 2 1 - 81. 4. 10,000¾ (H) (請先閲讀背而之注意事項洱塡寫本頁) 本紙張尺度边用中困Η家樣準（CNS) 規格（210x29/公；«：) Λ 6 Π 6 212833 五、發明説明（2()) 2)相應於ΕΡ-Β 052, 788之對照。 弃 Α/1 :實例' 化合物 HU . J '式 R VG % Μ ER IR 1-1 04 考基 1.2 40 1.30 2.5 82 1) 1-2 02 A1 6.0 100 0.45 4.0 92 2) 1-3 23 ' A II 3.0 50 1.15 2.5 20 (請先閲讀背而之注意事_項冉場寫木頁} 根據表Α/1之結果顯示，以根據本發明之萘醌二叠 氮化物23製造之正向光阻膜改菩了對異丙醇之抗性，可 以利用弱_顯影液製版，同時保持光敏感性。 審例2 使厚0.3毫米之鋁箔於鹽酸中電解粗粒化（根據DIN 41飞8之Rz值：2.8微米），並於硫酸中陽極氣化處理（氣 化物重3.0克/公尺 >)。根據DE-A 1,6 2 1,4 7 8經聚乙烯 基膦酸處理賦與親水性，然後於旋轉機上，以下列光 阻劑溶液塗佈： 5. 00重量％ 甲酚/甲醛酚醛清漆樹脂，根據DIN 53783 /53240之羥基數為420，GPC測定之平均重 量為10, 000 (以聚苯乙烯為標準）， 經濟部屮央標準而员工消赀合作社印31 ……重量％ 根據表A/2(M)之萘醌二β氮化合物， 0.15重置％ 1,2-萘醌-2-二叠氪-4-磺醛氯， 0.08重量％ 維多利亞純藍（Vicforia pure blue) (C . I . 4 4,0 4 5 )¾ -2 2 - 8】.4.〗0,000張（H) 本紙?fc尺度边用中困圉家樣準([旧）<)^規格（210父2[)7公;!1：) 3 rtt 8 2 66 ΛΠ 五、發明説明（2 1 ) 加至10 0重量％四氳呋喃與丙二酵單甲醚之55/45混合溶 劑， 該光阻膜於125T：下乾燥1分鐘。膜重量為2.2克/ V 公尺。 所製得平面版刷板之接鑲製版過程期間偽根據實例 1之相同測試標準進行評估。 表A/2中採用下列縮寫 Rt 1,2 -萘醌-2-二叠氮-5-磺酵基自由基數目， VG 酯化作用之化學計蛋程度 Μ 重氮基數量，像於一糸列濃度中測定，以達到LE試 c 驗（見上文）中之開放階段5, =1丁'相應於D E - C 9 3 8 , 2 3 3 (式A )之對照韦 κη. (請先閲讀背而之注意事項#蜞寫本H) 裝_ 訂 經濟部中央標準局EX工消赀合作社印¾. 實例 化合物N 〇. 式 R Ri \IG% Μ ER IR 2*1 04 A 苯基 1.2 40 1.30 2.5 82 1) 2-2 1 A 氫 4.0 66.6 1.20 3.5 7 2-3 4 A 甲基 3.4 56.6 1.60 3.0 2 2-4 18 A 乙基 4.0 66.6 1. 10 2.5 25 根據本發明，使用.表Α/2萘醌二叠氮化物1,4與18之 -2 3 - 本紙5民尺度边用中a國家標準（CNS)甲4規怙（210x297公龙） 81. 4. 10,000張（H) Λ 6 Π 6 2128 Γ» 3 五、發明説明（2 2) 结果證實了實例1改良對異丙酵抗性之結果。 奮例3 使厚0.3毫米之鋁箔於鹽酸中電解粗粒化（根據DIN 4768之Rz值：4. 21m),中段浸泡在硫酸中，並於硫酸中 陽極氣化處理（氣化物重3.0克/公尺 >)。根據DE-A 1,6 2 1,4 7 8經聚乙烯基鹈酸處理賦與親水性，然後於旋 轉機上，以下列光阻劑溶液塗佈： 4.8重置％ 甲酚/甲醛酚醛淸漆樹脂，根據DIN 5 3 7 8 3 / 5 3 2 4 0之羥基數為4 2 0, GPC測定之平均重 量為10,000(以聚苯乙烯為標準）， ……重量％ 根據表A/3 (M)之1 , 2-萘醌-2-二疊氮-4-磺 =醛基化合物， — 〇.〇5重量％ 2-(4-苯乙烯苯基）-4,6-雙-三氯甲基-5- (請先間讀背而之注悉事項孙填寫本頁)

紫 晶 結¾ 量 n S 及 之 甲 單 醇 二 丙 與 喃 呋 £ 四¾ 董 If 1 3 ο ο 1* 至 加 溶 合 混 經濟部中央標準局Μ工消许合作杜印製 0 於 膜 阻 光 該

\ 克 8 IX 為 量 i S 膜 ο 鐘 分 1X 燥 乾 下 V 尺 公 反 行 進 物 化 m〇 β性 二 合 醌適 萘之 明也 發轉 本向 據負 根 -試向 測正 ,即 中意 例 ， 實版 本製 式 轉 81. 4. ]0,000張⑻ 本紙張尺度边用中SS家標準（CNS)I^規格（210X297公釐） Λ 6 η 6 五、發明説明（2 9 因此，使平板依實例1進行曝光，然後於1351之 烘箱内加熱處理2分鐘，冷卻後未使用原物下完全曝光 ，並於實例1之顯影劑中顯影30秒。使用所製成之平販 印刷板，於平版印刷機 （sheet-fed offset'printing press)上，使用異丙醇含童佔墨水溶液25%之醇墨水器 組件。進行印刷蓮轉試驗。 其結果示於表A / 3。 表A / 3·中採用下列縮寫：

Ri 1,2-萘醌-2-二叠氮-4-磺醯基自由基之數目， V G 酯化作用之化學計量程度， Μ .所使用之重氪基數量， :光敏感度，即U G R Α平版印刷測試楔形之完全遮蔽階 段。 DRA醇墨水器组件之印刷蓮轉之長度。 1)根據DE-C 938,233 (式A )之對照。 m a/3 (請先閲誚背而之注意事項孙蜞窍本頁} 裝- 訂 經濟部屮央榀準而C5工消合作社印¾. 實例 化合物No. 式 R Ri VG96 Μ LE DRA 3-1 04 A 苯基 1.2 40 1.30 2 70000 1) 3-2 11 A 甲基 3.2 53.3 1.20 2 80000 3-2 28〆 A 苯基 3.0 50 1.2 2 80000 -25- 81. 4. 10,000張（Η) 本紙5fc尺度边用中as家楳準(CNS) Ή規格(210x29/公货） Λ 6 Π 6 經濟部屮央梂準局β工消赀合作杜印5i 五、發明説明（2 4) . 表A/3结果顯示，亦可能使用根據本發明萘醌二疊 氮化合物11輿28進行反轉式製版，且醇墨水器組件中之 印刷蓮轉表現優於使用已知之萘醌二疊氮化合物04所生 産之平販印刷板。 奮例4· - 溶解度 根據本發明光活性化合物之溶解度像於25%甲酚/ 二甲酚酚醛淸漆之乙酸1-甲氧基-2-丙酯（PGMEA)溶液中 测定，因為所得溶液比根據本發明化合物於純P G Μ E A中 之溶液更接近實際之光阻剤混合物。 製備此>等化合物之飽和溶液時，係添加過量光活性 =化-合物至所指定之酚β淸漆溶液中。此等溶液於入Bax 之UV吸收值及該飽和溶液之濃度偽根據由相應化合物之 稀釋溶液所得到之I) V校正直線對照而得。 依此方式，發現化合物8之溶解度為28% (相對於 溶液之固體含量），化合物13之溶解度為4 6%,化合物 17之溶解度為45%,且化合物29溶解度為39%,而對照 化合物Q 1之溶解度則僅2 2 %。 由於高解析度光阻劑配方希望儘可能含最高量光活 性化合物，因此此成份之溶解度即為鼷鍵所在。 -26- 本紙張尺度边用中a®家樣準（〔Ν5)Ή規格（2]0χ297公龙） 81. 4. ]0,000張（H) (請先IU]請背而之注意事項再碭寫木頁) 絲· 經濟部屮央榀準局ex工消赀合作社印51 2l28a〇 Λ 6 ___· Η 6_ 五、發明説明) 窨例5 光敏咦麽 添加33. 3重量％ (相對於酚醛淸漆之固體含量）表 A光活性化合物16, 17舆03並溶於濃度21%之甲酚/二 甲酚酚醛清漆之乙酸1-甲氣基-2-丙酯（PGMEA)溶液中。 利用旋轉塗佈機，將這些光阻劑溶液塗佈在矽乾膠 片上，所得塗層於lOQCi加熱板上乾燥45秒。塗《厚 度為1 . 25微米。 然後使乾膠Η上之光阻層接受工業上常用之曝光設 備（g線分段機（g line stepper))之汞高壓燈之g線燈 光p行不同劑量曝光。 然後使已曝光之乾醪片於 12〇υ下加熱處理45秒後 ，於四甲基氫氧化銨水溶液（Ν=0. 27莫耳/升）中顯影 3 0秒。已曝光之區域於相應其曝光剤量之不同速率下顯 影。比較曝光區怡好完全顯影時，即所謂之”金開點 (opening point)”時，所需能量劑量。 達到全開點時，含化合物17之光阻層需要42毫焦耳 /公分V，含化合物16之光阻層需要58毫焦耳/公分 而含對照化合物03之光阻層刖需要92毫焦耳/公分V。 換算成光敏感度之提高量時（定義為能量需求量之倒數） .化合物17為119%,化合物16為59%。 在類似條件下（除了顯影時間延長為5 0秒外），比 —2 7 - 本紙張尺度逍用中KS家樣準（CNSi^tM規格（210x297公；«：) 8]. 4. 10,000張（H) (請先閲讀背而之注意事項#塥寫本頁) 裝-

A 6 Η 6 經濟部屮央楳準而贫工消"合作社印奴 五、發明説明（ 較一条列其他光敏威溶液，使用工業上常用之曝光設備 (i -線分段機）之汞高壓燈i读燈光，使光阻層進行曝 光。逹到全開點時，含化合物13之光阻層需要30毫焦耳 /公分y,含化合物13之光阻層需40毫焦耳/公分>，含 化合物2 9之光阻層需要5 8毫焦耳/公分>，而含對照化 合物03之光阻層需要69毫焦耳/公分V。換算成光敏慼 度提高量（能量需求量之倒數）時，化合物16為提高73 %，而化合物2 9則提高1 9 %。 審俐R 執右宙株 利用旋轉塗佈機，以實例5之光阻劑溶液塗佈矽乾 =膠~片，所得塗層於加熱至9 0 加熱板上乾燥45秒，塗層 厚度為1.25徹米。使用工業上常用之曝光設備，透過含 有不同尺寸結構之晒相型板，以波長= 436ηΒι之光線曝 光後，乾膠Η再度於加熱至1Q0XT之加熱板上加熱處理 4 5秒。 接箸使用四甲基氫氣化銨水溶液（N=0.24莫耳/升） 脱除舆光反應之塗層區（顯影時間30秒），因此未曝光 區仍留在矽Η上。 測試結構之熱安定性時，使依此方式製販之乾謬Η 分別接受1201C, 12510, 130¾及135ΊΟ之溫度處理SO秒 後，於掃描式電子顯徹鏡下進行評估。 -2 8 - (請先閱誚背而之注意事項科填寫本頁) 本紙張尺度边用中a S宋樣準規格（210x207公釐） 81. ]0,000張（H) 經濟部屮央#準扃只工消t合作杜印製 Λ 6 ___Π_6_ 五、發明説明<2 7) 比較檢視結果顯示，含根據本發明光活性化合物之 光阻劑溶液在至高 13010之溫度下仍可逹到結構安定之 2撤米線，而若使用含對照化合物〇3之光阻劑溶液時， 結構安定之2微米線僅可保持至1201之溫度。 '奮際7 使厚0.3毫米之鋁箔於鹽酸中電解粗粒化（根據DIN 4768之Rz值：2.8微米），並於硫酸中陽極氧化處理（ 氣化物重3.0克/公尺^)。根據DE-A 1 , 6 2 1,4 7 8經聚乙 烯基瞵酸處理賦與親水性，然後於旋轉機上，以下列光 阻劑溶液塗佈：ί. 00重量％ 甲酚/甲醛酚醛清漆樹脂，根據DIH 53783 / 5 3 2 4 0之羥基數為4 20, GPC测定之平均重 量為10,〇〇〇 (以聚苯乙烯為標準）， ......重量％ 根據表Α/4(Μ)之萘醌二ft氮化合物， 0.15重量％ 1，2 -萘醌-2-二叠氮-4-磺醯氯， 0.08重量％ 維多利亞純藍（Vicforia pure blue) (C. I. 44,045)及 加至100重量％四氫呋喃與丙二醇單甲醚之55/45混合溶 劑，該光阻.膜於1251下乾燥1分鐘。膜重量為2.2克/ V公尺。 所製得之平版印刷板之接缠製販過程中，侬實例1 -2 9 - (請先閲讀背而之注意事項#塡寫本頁) 裝. 訂_ 線. 本紙張尺度逍用中困S家樣準（CNS) T4規格（210X297公龙） 81. 4. 10,000張（H) Λ 6 η 6 五、發明説明 之相同測試標準進行評估。 表中採用下列縮寫： Ri 1,2-萘醌-2-二叠氮-5-磺醯基自由基數目， V G 醏化作用之化學計量程度， Μ 所使用之重氮基數量 實例 化合物No. 式 R Ri VG% Μ LE ER IR 7-1 2 A 甲基 2.7 40 1.30 5 >8 30 7-2 22 A 苯基 2.7 40 1.30 5 >8 29 · 實例7顯示，由萘醌二叠氮化物2與22所製造之光 阻層對顯影劑及對異丙醇之抗性並不適當。 (請先閲讀背而之注念事項孙填¾本頁) r· 經濟部屮央標準局员工消赀合作社印51 -3 0 Κ紙尺度边用中SS家標毕（CNS)nM規格（210X297公址） 81. 4. 10,000¾ (H)

Claims (1)

1. A7 B7 C7 D7 公告本 六、申請專利範圍 專利申請案第81 107643號 ROC Patent Appln. No.81 107643 修正之申請專利範圍〒文本一附件㈠ Amended Claias in Chinese " Enel. (I). (民國82年7月、^日送呈） (Subeitted on July >y* 1993 ) 鹺及 於 ， 可剤 但合 水结 於性 溶合 不聚 種之 1 脹 含膨 包可 偽少 - 至 物或 合解 混 溶 0Φ 敏液 光溶 種水 _ 性 該 中 其 酯 酸 磺 - I 氮式 «如 二 偽 醌酯 萘酸 種眾 I 叠 二 - 2 I sg 萘 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁)

   CH

   TX 1 R R I 裝. ο c——R 〇 c——R 訂. 中 式 或或 ， S氳sg 為為萘 RRI 且 基 由 二 0 | 基 7 芳醒 或萘 基2-烷1’ 値値 昼 基 磺 rv 基 氣 甲 I 7 或S 二 自 磺 _ 基 7S 氮磺 «4- HU 萘 烴濟部中央標準局βκ工消費合作社印製 基 0 磺二 - 萘 異 目 f. 或 同 目 丰 之 義 定為 ill目 如数 中基 子由 分 自 至 其特猷係在於鄰莆醌二叠氮-磺酸酯係為部分酯化者，且酷 化作用之化學計量程度係為40-95¾。- 31. - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4规格（210 X 297公釐） 烴滴部中央標準局員工消費合作社印*'1衣 _ .....„ . 跟ra:TO™ B7 C7 _ D7_ 六、申請專利範園 2. 根據申請專利範圍第 1 項之光敏感混合物.其 中尚包含至少一種如式I之郯萘盟-二*笫磺劻酯 ,式中所有叮基團均為蒂錕二fi氮自由基。 3. 根據申請專利範圍第 1.或2項之光敏感混合物 .其中該式I之郯苯醌二S眾-磺酸酯之裂法為使 5,5’-二趦基-2, 3 ,4, 2 ’，3 ’，4’-六羥基二苯基甲烷 與6當S以下之活化郯赛醚二昼坑磺酸衍生物反蘸 .且該酯化作用之化學計毋程度係為40 — 9° ---------- --------- . ----* - —----* 4 .根據申諳專利範圍第 1项之 光敏既混合物，其 中R為甲基或苯基自由基。 5.根據申請專利範圍第 1或 2項之光敏烕混合物 ，其中R為甲基自由基，1為1,2 -萘醒-2-二昼氮-5 -磺趦基自由基旦该酯化作用之化學計量程度為50 至6 5%之間。 6 ·根據申諸專利範圍第 1或2項之光敏威混合物 ，其中R為苯基自由基，1為1,2-萘盟-2-二《眾- 5 -磺匿基自由基且該酯化作用化學計贵程度為45至 6 0 %之間。 - 32. - 本紙張又度迺用中國國家標準（CNS) f 4規格（210 X 297.公釐） ----------------^---.---r^lj----訂-----、砵 (請先閲讀背面之注意事項再項寫本I-) A7 B7 C7 D7 六、申請專利範固 7. 根據申請專利範圍第1或2項之光敏感混合物*其中R為甲基 自由基，R：«為7-甲氣基-1,2-荼醌-2-二β氮-4-磺醢基自由 基且該酯化作用化學計量程度為70至95¾之間。 8. 根據申請專利範國第1或2項之光敏感混合物，其中該聚合性 结合劑為一種酚条樹脂酚醛淸漆。 9. 根據申請專利範園第1或2項之光敏感混合物，其中式Π,2-桊醌-2-二叠氮-磺酸酯之含量比例佔非揮發性成份總重量之 3至50重量X。 m根據申請專利範围第1或2項之，其係做為光阻材 料中之光敏感層使用。！ (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 1) I 袈. 烴濟部中央標準局S工消費合作钍印5衣 33 衣纸張八及適用中國國家標準（CNS)甲4規格(MO X 297 ).