A6 B6 S〇3〇^i 五、發明説明（3) 〔産業方面之利用領域〕 本發明係與將雷射光束加以集光，對被加工物照射， 同時噴射加工氣體，以進行雷射加工之雷射加工頭有關者 Ο 〔以往之技術〕 圖5傜表示在例如日本特開昭63-273588號公報之以 往雷射加工頭之截面圖。圖中，1像雷射光束、2係將雷 射光束加以光學集光之加工透鏡、而3則係將加工透鏡2 加以固定，同時，以可向雷射光束1之軸方向往復移動狀 態内插於外筒4之移動固定器，在其側面尚形成有與後述 之蝸桿6相嚙合之齒形3a。5係馬達、6則係蝸桿；移動 固定器3即由馬達5中介蝸桿6及與蝸桿6嚙合之齒形3a 構成之蝸捍齒輪所驅動而移動，由該馬逹5,蝸捍齒輪構 成驅動移動固定器之驅動機構之驅動部。7係密封材料， 兼具後述之加工氣體9之密封及移動固定器3之導件之作 用者。8偽噴嘴，具備有將加工透鏡2所集光之雷射光束 1照射在被加工物10之噴嘴端8a,同時，亦具備有對噴嘴 端8a供應針對被加工物10噴射之加工氣體之加工氣體供應 口 8b。另外，2a、2b表示加工透鏡2可移動範圍内之位置 ,而相對應之雷射光束1其焦點位置則以1 1 a、1 1 b表示之 〇 其次就其動作說明之。雷射光束1偽由加工透鏡2進 行光學的集光後照射在被加工物10。至於，加工氣體9 , 以切割鋁片之情形而言，一般均使用乾燥空氣，係與噴嘴 本紙張又度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公坌） -------------------------裝------，玎------線 (請先閱讀背面之注念事項再塡寫本頁) 經.濟部中央標準局員工消費合作社印製 2〇3〇这 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（4 ) 8之前端8a所集光之雷射光束1共同在同軸上噴射於被加 工物10。 其次，就每一加工順序之動作説明之。加工透鏡2位 於位置2 a上，而其焦點位置1 1 a則位於被加工物1 0其表面 之位置，在加工開始點首先開始穿孔（P i e r c i n g )動作。一 旦穿孔完成，則無圖示之數值控制裝置即發出控制訊號以 驅動馬逹5,再由馬達5中介蝸桿齒輪驅動移動固定器3, 移動向被加工物側。而加工透鏡2則移動至位置2b,其焦 點位置11 b則處在被加工物1 0其下面側。 而以穿孔為基點之雷射加工即在該焦點位置1 1 b進行 。此時，加工氣體壓力必須具有可將雷射能所溶融之金屬 吹散至被加工物10之下面之力，因此，噴嘴8之内部氣體 壓力即選定於極高壓力，諸如5kgG/cm2〜9kgG/cra2之值。 因此，圖中附有X符號之A部即遭受高壓之加工氣體 壓力。例如，以加工透鏡徑50mm,加工8kgG/cm2之加工氣 體壓力時而言，由於保持加工透鏡2之移動固定器3之外 徑約為70mm，故因上述加工氣體壓力而移動固定器3被壓 向雷射光束1其入射側（圖面上之上側）之推力即有約 300kgf。因此，構成驅動部之組件，亦即，驅動移動固定 器3移動之馬達5或蝸桿6等即必須為可發生超過此力以 上之推力.，且能抗拒此力之零組件。 因此，馬逹5勢必具有較大容量，而由馬達5或蝸桿 6等構成之驅動部亦隨之大型化，價格昂貴。 〔發明要解決之問題〕 ------------------------裝------ΤΓ------線 (請先閱讀背面之注意事項再塡寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS〉甲4规格（210 X 297公釐） 4 2030S1 Λ 6 Η 6 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 側受加述所 驅 雷固之述體上有塞噴 加嘴部，分 嘴備之上等 供 持動動上氣；具活述 射噴端積部 噴,-'即射動桿 提 保移移之工部 ，狀上 雷與之面一 述部噴驅蝸 於 、之復光加溝端環向 之有器壓出 上端物令或 在 筒筒往集之之 一述其 明具定受分 故器 工生達 的 外外向被應狀之上將 發偽固體， ，定加産馬 目 ：述方將供環側.，力 項塞動氣中 成固被致由 其 有上束 ，被有射塞壓 1 活移動體 構動述以 ，。， 備於光端將具入活之 第狀之驅氣 述移上 ，動題者 具插射一亦側束狀體 即環鏡之工 上之向大移問作 。 偽内雷筒 ，内光環氣 亦之透大加 有鏡嘴較復之所者 ，，述外時其射之動 ，器工等之 具透噴比往等題頭 頭時上述同在雷部驅 .頭定加略嘴 頭工 自力向型問工 Η 同向上 -筒述溝之 工 固述約噴 工加 ，壓方大述加 加 ，器於物外上狀部 加動上積於 加述應推束較上射 射鏡定設 Η 述於環溝 .射移持面應 射上供該光比決雷 D 雷透固配加上成之狀 雷於保壓供 雷持所且射得解之段之工動 ，被.，形筒環 之成及受自 於保口 ，雷變為型手明加移及在嘴偽外述 明形鏡體係 卩由及應壓向構偽小之發用述以射噴器述上 。發 ，透氣則 鏡供推器機明較題項光上 、照之定上予者項中 工工體 ξ 往透體之定動發比問 1 集令構束射固於應壓 2 其加加氣 έ 以 Η 氣體固驅本構決第束 、機光噴動入供推第 ，由之動 ^ 加工氣動成 機解 光器動射以移插由側 頭之成驅 ^ 之加 工移構 動 t 射定驅雷加述可則嘴 工側構而 (請先閲請背面之注意事項再蜞寫木頁) 本紙張尺度逍用中國Η家標準(CNS)甲4規格(210x297公龙） 5 ,030^ 五、發明説明（ Λ 6 Η 6 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 ..........................^.....^·· · · λ.......................... (諳先閲讀背面之注意事項再填寫木頁) 射之具其 雷上外之在嘴述 射噴部體 。射缸亦體 雷塞亦體 持向述動射噴上 雷與端氣者雷體中氣 之活中氣 保可上移照之將 之傺器動應之氣管動 明狀管動； ，於復束射 ， 。明和定驅供明為配驅 發環配驅 筒筒設往光噴應者發總固 ，而發充之述 項為之述 外外配向射以供缸項之動時分項 ，嘴上 。 1 充嘴上 。：述；方雷加之體 4 積移同部 4 分噴較者 第*·噴較者有上 器束述體體氣第面之 ，一第部至至閥 如分至至閥備於定光上氣氣之如壓鏡小出如一 ，低之 卽部 ，低之具插固射令工動壓即受透大分即出後降壓 亦一後降壓俱内動雷 ，加驅推亦體工同 ，亦分技力差 ，出技力差 ，，移述端之由以 ，氣加相中 ，體分壓予 頭分分 E 予頭時之上一應藉加頭動述致體頭氣，體賦 工體 ，體賦 工同動向筒供 -向 Η 驅上大氣工工管氣便 加氣管氣便加 ，移器外所筒方加之持積 Η 加加配工以 射 工配工以射鏡復定述將外嘴射缸保面加射將之加 ， 雷加之加 ，雷透往固上亦述噴雷體及壓之雷可應之值 之有應之值之工向動於 ，上述之氣鏡受嘴之有供嘴之 明備供嘴之明加方移設時於上明 ，透體噴明備以噴低 發具以噴低發用之述配同設向發中 Η 氣於發具予予為 。項僳予予為項光束上； ，配器項其加工應項偽體應力 者 3 , 體應力 4 集光令構物 -定 5 ,由加供 6 , 氣供壓 應第頭氣供壓第束射可機工及固第頭.之之.自第頭動令髏 供工動令體 光雷 ，動加以動 工側成係 工驅有氣 以加驅有氣 射述筒驅被.，移 加嘴構則 加之具其 本紙張尺度逍用中Η Β家標準（CNS)甲4規格(210x297公;¢) 6 Λ 6 Η 6 五、發明説明（乃 〔作用〕 經濟部中央標準局ΗΧ工消费合作社印製 ，復射 工端應 。由所上致側 。充至較 ，移在物 ， 鏡往照加末供壓偽體持大嘴者 ，後至 鏡復射工應 透向束被側由推塞氣保積噴衡分技節。透往照加供 工 方光在射則側活動及面對平部分調者工向束被之 加束射射入塞嘴狀驅鏡壓體得一於力壓加方之在體 持光雷噴束活噴環之透受氣取出入壓差持束射射氣 保射.述體光狀述之應工體工致分插體予保光雷噴動 。 以雷前氣射環上器供加氣加大體 ，氣賦以射述饈驅者 用向將 工雷之向定而由工與力氣途 Η 以用雷前氣由壓 令器偽加述部其固分之加能壓 工中加 -令向將 Η 藉推 傜定嘴之上 溝將動部側之 乃推加管之值像器像加僳向 構固噴應之狀力移一嘴成力之將配嘴之構定嘴之則方 機動之供器環壓於出噴構壓部於之噴低機固噴應缸嘴 動移端所定之體成分與端推端俗應予更動動之供體噴 驅之一將固筒氣形體積器來器閥供應力驅移端所氣述 : 筒筒亦動外動：氣面定帶定：體供壓：之一將之上 中外外 ，移述驅中 工壓固體固中氣將體中筒筒亦筒向 明於述時述上之明加受動氣動明動 ，氣明外外 ，外器 發插上同上在部發之體移動移發驅中之發於述時述定 項内於 ，於成溝項嘴氣之驅及項其管體項插上 同上固 1 傜設物成形狀 2 噴動鏡述鏡 3 塞配氣 4 内於 ，在動 第亦配工 形於環第予驅透上透第活之動第亦設物設.移 於 ，；加而入述於應 ，工 ，工於狀間驅於 ，配 工配述 時動被.，插上 供壓加等加 環嘴述 時.，加而上 同移在物 ，予 自推述同之 為噴上 同動被.，將 (請先閲讀背面之注意事項再填寫木頁) 本紙張尺度边用中Β Η家樣準（CNS)甲4規格（210x297公龙) 7 Λ 6 Π 6_ 五、發明説明（8) 於第5項發明中：氣體缸偽由自供應於噴嘴之加.工氣 面定 壓固 受動 體移 氣之 動鏡 驅透 ,Η 壓加 Αε ,ΛΛ» 推述 所上 捿 時 Mflo ·-*-: 氣保 動及 驅鏡 之透 應工 供加 而由 分之 部側 1 嘴 出噴 分與 體積 帶定 體固 氣動 β 移 驅及 述鏡 上透,Η 等加 同之 致側 大嘴 積噴 面對 壓體 受氣 體 Η 氣加 工與 加能 之乃 成力 構壓 端推 器來 充 分 部1 出 分 體 氣 Η 。加 者 自 衡於 平偽 得閥 取 ： 致中 大明 力發 壓項 推 6 之第 部於 端 器 噴上 至較 後至 技節 分調 。 於力者 入壓壓 插體差 , 氣予 途工賦 中加以 管之 ， 配嘴值 之噴之 應予低 供應更 體供壓 氣將體 動 ，氣 驅中之 其管體 缸配氣 體之動 氣間驅 為嘴述 例 施例 實旃 C 奮 同 〇 件 例組 施該 實之 一 中 之例 明往 發以 項與 1 係 第乃 明者 說示 1 表 圖號 依符 , 同 〇 下例件 以往組 以之 與等 中 圖 同 或 像向 3 I 1 可 ，以 中 ， 圖時 〇 同 圖 ， 面 2 截鏡 之透 成工 構加 其用 頭光 工集 加之 射 1 雷 束 示光 表射 傺 雷 1持 圖.保 以 用 (請先間讀背面之注意事項#璜寫木頁) 裝· 線· 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 mm 移移 下於 上成 向形 可傜 係3a 中1 圖 ; 器 在Μ ί 定 動固 移 動 復.移 往之 1 4 向 1 方筒 軸 外 之述 1 後 束於 光插 射内 雷 態 而筒 夕 齒偽 之14 合 〇 嚙塞 相活 6 狀 桿琛 蝸之 與端 • 1 面13 側器 13定 器固 定動 筒 器.3外 之 定 J於 固13成 動塞形 移活於 有狀插 插環内 内其態 3 尺 , 1 狀 〇〇 器動 嘴定滑 噴固可 溝 狀 環 之 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS)甲4規格(210x297公龙) 狀 固 移 於 成 形 係 則 有 定 固 端 1 其 在 動 移 • tm 插 内13 有塞 成活a, 形狀14 亦環溝 ,ο 狀 時4a環 同：：之 以 傜 型 ο 由 並 8 .rl CQ ο 3 ο 2 6 6 Λ Π 部 ,·-'外 由 體 氣 驅 之 b 3 1X 塞 活 狀 環 〇 動 者驅 封以 } 密用 (9以為 明加充 説17係 明 5 發 、1 、16 五環 等 氣 空 廠Η 如 例
2 鏡 透Η 加 示 表 部 體 A 氣之 之號 應符 供 X 肋 • lit 中移 圖之 ο 2 者鏡 力透 壓工 其加 制該 控持 可保 , 及 面 壓 受 體 氣 Η13 加塞 之活 面狀 端環 側示 〇〇 表 嘴偽 噴則 之部 3 nD 器之 定號 固符 X 中 圖 而 體 氣 iM 驅 來 輸 部 外 受 之 之工 往加 以 ， 與時 於工 由加 則 射 法雷 方行 工進 加 ， 射 中 雷 1 於圖 關於 0 0 作略 。動省 面明予 壓說故 受 ， ， 之下同 力以相 壓 法 5 -1 方 5 之 在 2 定鏡 選透 即 工 力加 壓該 體持 氣保 之及 内 2 8 鏡 嘴透 噴工 . 加 内在 8 , 嘴此 噴因 入 Ο 進2® EP/C G 9 S 體9k 氣 ~ 壓 受 之 力13 壓塞 9 活 體狀 氣環 工將 加生 受産 上即 面部 端 A 側之 8 號 嘴符 噴 X 之中 3 Ϊ 1 圖 器 ， 定即 固亦 動 ， 移面 圖 向 (請先閲讀背面之注意事項再填寫木I) 裝· 時 同 之 ο 9 力體 推氣 之工 壓加 推加13 側外塞 上與活 上 狀 面 環 溝 狀 環 其 4 11 筒 外 由 Μ a 體 氣 部 外 之 5 髏 氣 sB,Ttt 35 驅 有 加 外 亦 室 小 之 成 構 線. 經濟部中央標準局貝工消f合作社印製 氣面 空壓 廠受 工之 如15 例體 塞 活 狀 環 此 因 X 中 圖 即 氣氣 驅驅 之該 來於 部 由 外即 受部 承 B b - 3 之 1L 號 符 等 抗 13阻 塞 、 活擦 狀摩 環之 將部 可動 生驅 産鏡 而透 加工 rr nu 夕 力 之於 15視 體無 果 如 〇 力 丨1£ 推 之 壓 下 向 有 即 上 部 肋 驅 則 與 )-ί右 力 ， 壓即 體亦 氣 〇 工上 加加 /IV 力 壓 積之力 ®Λ)βΗ 加 力 壓 體 (Α氣 部 外 積 面 之 部
X } 較 X 積比 丨面相 之形 部情 之 ? 往 B 將 A ___. 之 部 ^^ ik 驅 在 加 力 丨·"·* 推 X 之
A /«V 本紙張尺度逍用中Η Η家標準（CNS)甲4規格（210x297公龙） 9 2030S1 Λ 6 Η 6 五、發明説明α 〇 )時，該推力即可由（Β部之面積）Χ(外部氣體壓力）之推力 些推 大生 得産 計所 設 9 能體 不氣 積工 面加 部使 B 力 之壓 號之 符15 X 體 ，氣 因動 原驅 上整 造調 構可 。於亦 低由則 減 ， 所 時 射 雷 其 2 鏡 透 Η 〇 加 零在 為頭 成 Η 差.加 之射 力 雷 推之 生 示 産所 所 1 5 J 1 圖 體 ， 氣述 動上 驅如 與 力 之 動 Κ 與 Ϊ 趴可* 環b"性 由13槭 有塞機 備活行 具該進 側成部 射設動 入 ，驅 束室其 光小13 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 (請先閲讀背面之注意事項再填寫木頁) 5 I 成 f定 固 13動 塞移 活 ， 之 即 狀亦 環 ， 與鏡 4a透 之 nu, 動 器 驅 構 h 上 国 加 室 小 述 前 對 部 外 自 Γ 溝 Η 加 b 2 13鏡 塞透 活工 狀加 環於 在生 , 産 此 ， 因來 , 帶 成所 構力 之壓 壓體 體氣 氣工 力 之 力 壓 之 用 所 敷 足 可 即 者 小 為 例 往 側以例 0〇 較旃 嘴遠窨 加噴成 消< 抵 可 生 産 即 上 側 物 Η 加 被 其 設 力 丨|… 推 生 發 之 部 動 0 述 上 將 而 圖體 。氣 例 Η 施加 實 ， 一 中 之圖 明 〇 發圖 2 面 第截 明之 說頭 2 工 圖加 依射 , 雷 下之 以例 施 實 2 9 2 嗔 第對 係偽 8 塞 活 嘴狀 時 同 應 供 筒 外 與 環設 由配 予 僳 應則 i、 oo » ο 技室 分 小 以之 D 力成 體 氣 ΤΠΒΠ 驅 為 充 亦 溝 狀 環 其 構 a 時 較 比 相 者 示 所 1X 〇 圖 閥與 之頭 中 土 管加 配 射 之 雷 8 之 嘴示 噴所 至中 後 2 技圖 分將 自 於 圖 與 3 J 1 均 塞造 活構 狀他 環其 由 ， 予外 體管 氣配 動之 驅室 應小 供之 除成 奪 梢 B 4 iA 溝 狀 環 其 4 1i 筒 LT 夕 Μ 狀 環 但 ο 同 相 者 鏡 透 Η 加 與 積 面 壓 受 體 氣 mn 驅側 之 8 3b嘴 1噴 塞 { 活側 面 物 Η 被 之 2 器 定 固 移 及 面 鏡 透 Η 加 之 受 鐙 0QB 氣 Η 加 之 本紙張尺度边用中國Η家標準（CNS)甲4規格（210x297公龙） ο 1Χ 五、發明説明d l) 壓面積之和則將其設成大致相同者。 態 狀 開 全 013持 作塞保 動活18 ΠΕΙΙ 9yt 1J 之狀閥 2 環之 圖由中 明予管 說應配 , 供 ， 次 ,者 其技室 分小 以之 體 氣 工 加 將 僳 例 施 實 該 筒 外 與 溝 狀 環 構 a 加成 P 入 出 其 在 生 發 之 部 ·='·Β1Τ> ΠΒΠ 驅 鏡 透 Η 加 成 構 在 加 5 〇 逹 度馬 程之 之部 視動 無驅 可之 在13 失器 損定 力固 壓動 之移 果 如 力 LS·* 推 之 等 6 桿 蝸 壓 體 氣 Η 加 /[\ , X 積 )}面 積部 •.面 A 為之之 則部號 抗 β 符 阻 X 擦)-中 摩積式 之面述 構之前 έΰ 機部 , 動 此 驅 { 因 視 無 8 嘴 噴 在 即 亦 之積 面 面 端之 13部 器 B 定之 固號 動符 移 X 之 ， 2 及 鏡以 透 ， 工和 加之 持積 保面 與壓 2 受 鏡之 透 9 Η 體 加氣 之工 側加 體 氣 Η 加 與 13以 塞藉 活可 狀即 環 ， , 時 即積 亦面 , 同 相 約 大 成 設 其 將 者 兩 積 面 壓 受 之 使 關 無 肋 變 之 力 壓 之 (請先閲讀背面之注意事項孙填寫本页) 裝. 器述 定上 固如 g,^^ 33 移 受 之 ο b 零13 為塞 成活 約狀 大環 力將 推偽 之頭 側 工 上加 之射 上 雷 面示 圖所 對 2 其圖 線. 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 ^ 9 成 側體設 面氣則 物工髏 工加氣 加之動 被物驅 之造且 2 構 ， 鏡之者 透持同 工支相 加所為 與其成 積及 _ 面面大 壓鏡成 嘴 噴 側 壓工 受加 之 自 透設技 Η 和分 加之中 之積體 —面氣 工抵 加被 之乃 加荷 外負 與之 即部 I 動 時驅 工其 加鏡 於透 , Η 此加 因對 > t 者關 成無 構 動 之變 應力 供壓 分之 部體 1 氣 以體 較氣 遠之 成來 設輸 力部 推外 生替 發代 之亦 部體 動氣 驅動 述驅 上 ， 將時 而同 » ο 零可 為即 成小 約為 大者 ，例 消往 等 管 配 體 氣 置 設 外 另 必 不 故 髏 氣 Η 加 用 使例 而摘 , 奮 本紙張尺度逍用中國國家標準（CNS)甲4規格（210x297公龙) 11 ii
2030SX Λ 6 _Β_6_ 五、發明説明（1^ 以下，再依圖2說明第3項發明之一實施例。於實施 例2中，像例示將環狀活塞13b之驅動氣體受壓面積與加 工透鏡2其被加工物面側（噴嘴8側）之加.工透鏡面及移動 固定器13其加工氣髏受壓面積之和設成大約相同之構造者 ,然欲令驅動氣體受壓面積與加工氣體受壓面積相等，此 在構造上不易辦到，於驅動氣體受壓面積比較加工氣髏受 壓面積為小時，於圖2中，藉由將閥1 8自全開適當調小， 則亦可大約與實施例2時同樣，與加工時外加之加工氣體 之壓力變動無關，抵消對於加工透鏡之驅動部所加之負荷 ,可將上述驅動部所産生之推力減抵。 經濟部中央標準局员工消費合作社印製 亦即，對噴嘴8供應有多量之加工氣體，由於將閥18 縮小，故閥18之出入口間即産生壓力差，抵要選擇適當種 類者充為閥18使用，則在閥18之出口側，既使入口側之氣 體壓産生變動，亦可獲得大約與該變動之氣體壓成正比。 且比較入側口之氣體壓為低之氣體壓。因此，將閥18適當 加以縮小，藉以獲得與驅動氣體受壓面積比較加工氣髏受 壓面積為小之差額即兩受壓面積比成反比之高驅動氣體壓 ,即可與加工時外加之加工氣體之壓力變動無關，將上述 驅動部所産生之推力減低。 啻旃例4 以下依圖3說明第4項發明之一實施例。圖3像實施 例4之雷射加工頭其截面圖。圖中，23係安裝有加工透鏡 2之移動固定器，而24則為外筒。25傜氣匾缸，亦卽是空 氣缸，同一容量者有2具固定於外筒24,各空氣缸25其活 本紙張尺度边用中B 8家標準（CNS)肀4規格(210x297公；《：) (請先閲讀背面之注意事項再蜞寫木頁) Ϊ2 ' A6 B6 *^〇3〇^- 五、發明説明X3 ) 塞部（不予圖示）僳與固定器23相連结者，其壓力則由外部 供應之驅»氣體15所控制。 圖3所示之雷射加工頭，除取代設置於圖1所示，由 移動固定器13其環狀活塞13b與外茼14其環狀溝14a構成之 小室，設置有空氣缸25,由其及與該空氣缸25其活塞部相 連結之移動固定器23所構成此點外，其他均與圖1所示者 相同。 以下，說明圖3之動作。其動作與圖1所示實施例1 之情形大約相同。亦即，於雷射加工時，加工氣體進入噴 嘴8内，而噴嘴8内之氣體壓力選定在5〜9 k g G / c m 2。因 此，在加工透鏡2及保持加工透鏡2之移動固定器23其噴 嘴8側端面之加工氣體9受壓面上即發生將移動固定器23 向圖面上之上側壓上之推力。另一方面，空氣缸25亦由外 部供應有驅動氣體15,因該驅動氣體15之壓力，遂發生將 連結於空氣缸25其活塞部之移動固定器23向下側壓下之推 力。 對空氣缸25自外部供應驅動氣體15,並將該氣體壓力 適切加以控制，以取得上述之將移動固定器23向圖面上側 推上之推力與利用空氣缸25將移動固定器23向下側壓下之 推力間之平衡，即可藉以令加工氣體9所産生之推力與驅 動氣體15所産生之推力兩者之差成為零。 如上述，圖3所示之雷射加工頭傺設置有空氣缸25, 利用其推力，與加工透鏡之驅動部，亦即，移動固定器23 其驅動部進行機械性連動者。空氣缸25可利用一般坊間出 本紙張尺度適用中國國家標準（C1S\S)甲4規格（210 X 297公釐） 13 ------------------------裝------.玎------線 (諳先閱讀背而之注意事項再塡寫本頁) 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 ^030¾^ A 6 B6 經.濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明（1 4 ) 售産品即可減低製造成本，且可獲得與實施11者同樣之效 果。與圖1所示之雷射加工頭相比較時，毋需在頭内設置 環狀活塞及環狀溝等，可增加設計之自由·度。 窖旆例5 以下，依圖4說明第5項發明之一實施例。圖4俗實 施例5之雷射加工頭其截面圖。圖中，加工氣體9傜供應 予噴嘴8,同時，亦加以分技供應予空氣缸25充為驅動氣 體者。 將圖4所示之雷射加工頭與圖3所示者相比較時，除 對空氣缸25供應驅動氣體之配管外，其他構造均與圖3相 同。但，2具空氣缸25其活塞部（不予圖示）之驅動氣體受 壓面積總和與加工透鏡2其被加工物面側（噴嘴8側）之加 工透鏡面及移動固定器23其加工氣體受壓面積總和兩者則 將其設成大約相同之構成者。 其次，說明圖4之動作。本實施例傜將加工氣體9加 以分技，供應予固定於外筒24之2具空氣缸25其活塞部， 而於此際，配管中之閥18全開，在閥之出入口産生之壓力 損失則在可無視之程度。加在構成加工透鏡驅動部之移動 固定器23之驅動部之馬達5、蝸桿6等之推力，如果，無 視驅動機構之摩擦阻抗等時，則由於將噴嘴8側之加工透 鏡2及保持加工透鏡2之移動固定器23端面之加工氣體9 之受壓面積總和與空氣缸25之活塞部（不予圖示）之受壓面 積總和設計成大約相等，故可與加工氣體9之壓力變動無 關，令移動固定器23之指向圖面上上側之推力大約略成為 本紙張尺度適用中國國家標準（CN\S)甲4規格（210 X 297公釐） -----------------------裝------訂------線 (請先問讀背面之注意事項再塡寫本頁) ^030Si A6 B6 五、發明説明（li 零 持 保 及 2 鏡 透Η 之 倒 8 嘴 噴 將 係 例 施 實 本 述 上 如 面設 壓和 受總 其積 9 面 體壓 氣受 工其 加 之 面 端 端 23部 器塞 定活 固其 動 2 移缸 之氣 2 空 鏡與 透和 Η 總 加積 示 圖 予 不 驅者般有 5 之者將設加 為 2 一具 例側兩 ，者較 充例用度 施 8 和樣兩比 分施使由 實嘴之同積積 部實可自 於噴積 形面面 一與 ，之 。與面情壓壓 技即樣計 例積壓之受受 分作同設 施面受 2 體體 以動者高 實壓體例氣氣 加其 3 提 一受氣施工動 體，例及 明髏工 實加驅 氣此施， 發氣加與與而 工因、實本 6 動之欲積到 加 ，與成 第驅23, 面不 將者亦造 明之器而壓辦 亦2525製 說25定然受上 且缸缸低 4 缸固 -體造 , 氣氣減 圖氣動者氣構 值空空對 依空移等動在 之予 ，， 再將及相驅此 等應外者 ，示面約之 ， 相供另售 1 下例鏡大25等 約體 ，出 。例以偽透成缸相 大氣同間果施 ，Η 計氣成 成動相坊效 t 中加設空計 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝. 訂- 線- 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 縮加 切之 適加 8 卜 1 夕 閥時 將工 ，加 下與 形 - 情 樣 之同 4 約 圖大 於形 , 情 時之 小 3 為例 積施 面實 壓與 受可 體 則 氣 ， 工小 負 之 部 驅 ΒΜΏ 其 鏡 透 工 C 加力 於推 對之 消生 抵産 , 所 關 部 無 0 δ 驅 變述 力上 壓低 其減 體而 氣 ， 工荷 6 中 明 說 者 造 構 之 合 組 1-輪 例齒 施桿 實蝸 於與 逹 馬 將 用 應 統 糸 動 驅 之 鏡 透Η 加 就 係 造 構 此 代 取 而 然 可 亦 者 構 機 等 構機， 體， 旋 螺 與 達 馬 或 絲 螺 〇 狀果 球效 與之 逹樣 馬 同 裝得 安獲 本紙張尺度逍用中國國家樣準(CNS)甲4規格(210X297公釐) 81. 5. 20,000(fl) 2〇3〇n A 6 B6 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 五、發明説明（^ 〔發明之效果〕 如上述，應用第1項發明時，由於在外筒具備有環狀 之溝部及驅動氣體供應口，在移動固定器其雷射光束入射 側亦具備有環狀活塞，插入於上述外筒其環狀溝，並藉由 自上述驅動氣體供應口供應之驅動氣體之壓力，將上述環 狀活塞向上述噴嘴側推壓者，故可減低藉由噴嘴内之加工 氣體推壓上述噴嘴側之加工透鏡及保持上述加工透鏡之移 動固定器端部之推壓力。因此，具有可提供驅動上述移動 固定器向雷射光束方向往復移動之組件之驅動機構比較小 型化者之效果。 應用第2項發明時，由於形成於移動固定器之環狀活 塞之驅動氣體受壓面積與噴嘴側由加工透鏡及保持上述加 工透鏡之移動固定器端部構成加工氣體受壓面積設計成大 約相等，且，亦將供應予噴嘴之加工氣體加以分技一部分 ,充為驅動氣體以供應，故可與加工氣體其氣體壓之變動 無關，令上述環狀活塞之推壓力與噴嘴側之加工透鏡及移 動固定器端部之推壓力約略呈平衡狀態。因此，具有可提 供驅動上述移動固定器向雷射光束方向往復移動之組件之 驅動機構比較小型化者之效果。 醮用第3項發明時，由於以配管將加工氣腥分技一部 分，充為驅動氣體供應予環狀活塞，並在該配管中，分技 後至噴嘴之部分，亦具備有令供應予上述噴嘴之加工氣體 壓降低至比較上述驅動氣體之氣體壓為低之值，以便賦予 差壓之閥，故於上述環狀活塞其驅動氣體受壓面積比較噴 本紙張尺度遑用中B B家樣準(CHS)甲4規格(210x297公货) ： 81. 5. 20,000(H) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝- 訂< 五、發明説明1(7 ) A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 構變透此移 應由述提之 噴由加之可力持束低 部後 部其 工因復 供藉上可件 向側之嘴故壓保光格 一技 端力加 ，往 之消持有組 器嘴成噴 ，推約射價 技分 器壓之衡向 體抵保具之。定噴構予缸之大雷， 分， 定體側平方 氣可及 ，動果固與部應氣缸力向且 體中 固氣嘴持束 動故鏡此移效動和端供空體壓器 ， 氣管 動工.噴保光 。驅 ，透因復之移總器將予氣推定化 工配 移加與約射果由壓工 。往者壓積定亦應述之固型 加該 之與力大雷效藉推加力向·單推面固 ，供上部動小 將在 鏡可壓者往之有缸 ，壓方簡以壓動且體令端移較 管並 透亦推兩器者備氣，側推束亦用受移 ，氣 ，器述比 配 ♦ Η ，其力定化具空嘴之光造將體之等動關定上構 以缸 加時塞壓固型於之噴部射構於氣鏡相驅無固.動機 於氣 述小活推動小由向述端雷 ，由動透約為動動驅動 由空 上為狀之移較 ，方上之向且 ，驅工大充變移供驅 ，予 持積環部述比時嘴壓器器 ，時之加成 ，之 及提之 時應 保面述端上構明噴推定定化明缸述計分壓鏡可件 明供 及壓上其動機發向體固固型發氣上設部體透有組 發體 鏡受令器驅動項器氣動動小項空持積一氣 工具之 項氣 透體於定供驅 4 定工移移較 5 之保面技之加 ，動 。6 動 工氣易固提之第固加之述比第動及壓分體之此移果第驅 加工 ，動可件用動之鏡上構用移鏡受體氣側因復效用為 由加關移有組應移内透動機應向透體氣 Η 嘴 。往之應充 側之無及具之 將嘴 工驅動 方 Η 氣工 加噴衡向者 ， 嘴成動鏡 ，動 ，噴加供驅 嘴加工加與與平方廉 分 ------------------------裝------訂------線 (請先閲^背面之注意事項再堉寫本頁) 各紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 1 7 A6 B6 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 五、發明説明ΐ(δ ) 至噴嘴之部分，亦具備有令供應予上述噴嘴之加工氣體壓 降低至比較上述驅動氣體之氣體壓為低之值，以便賦予差 壓之閥，故於上述空氣缸之驅動氣體受壓面積比較噴嘴侧 由加工透鏡及保持上述加工透鏡之移動固定器端部構成之 加工氣體受壓面積為小時，亦可與加工氣體壓其變動無闢 ,易於使上述空氣缸其推力與噴嘴側之加工透鏡及移動固 定器端部推壓力兩者大約保持平衡。因此，具有可獲得驅 動上述移動固定器往雷射光束方向往復移動之組件之驅動 機構比較小型化者之效果。 〔圔面之簡單說明〕 (圖1)偽應用第1項發明之一實施例之雷射加工頭其 截面圖。 (圖2)係應用第2項發明之一實施例之雷射加工頭其 截面圖。 (圖3)偽應用第3項發明之一實施例之雷射加工頭其 截面翳。 (圖4)偽應用第4項發明之一實施例之雷射加工頭其 截面圖。 (圖5)偽以往之雷射加I頭之截面圖。 〔符號之説明〕 1 雷射光束 2 加工透鏡 5 馬達 6 蝸捍 8 噴嘴 9 加工氣體 10 被加工物 (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁) 丨裝. *ΤΓ. .線. 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐） 18 A6 B6 五、發明説明！(9 、 1 23 移 動 固 定器 13b 環 狀 活 塞 /314, 24 外 筒 14a 外 筒 環 狀溝 15 驅 動 氣 體 18 閥 25 空 氣 缸 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)甲4規格（210 X 297公釐）