TW202548407A - 光罩基底用基板、附多層反射膜之基板、反射型光罩基底、反射型光罩、透過型光罩基底及透過型光罩、以及半導體裝置之製造方法 - Google Patents

光罩基底用基板、附多層反射膜之基板、反射型光罩基底、反射型光罩、透過型光罩基底及透過型光罩、以及半導體裝置之製造方法

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