TW202415944A - 濕度測量裝置 - Google Patents

Abstract

濕度測量裝置(10)，是具備：溫度濕度測量部(26)，是具有測量溫度的感溫元件、及測量濕度的感濕元件；及框體(12)，是具有收容有溫度濕度測量部的收容部(20)、及將測量處的氣體供給至收容部的供給配管(22)；及顯示部(14)，是被固定於框體，且具有顯示器(54)。顯示部(14)，是具有顯示控制部(52)，顯示控制部(52)是控制顯示器(54)，使顯示器(54)顯示：依據感溫元件所測量到的氣體的溫度及感濕元件所測量到的氣體的濕度所算出的氣體的露點溫度、及感濕元件所測量到的氣體的濕度的至少一方。

Description

濕度測量裝置

本發明，是有關於測量氣體的濕度用的濕度測量裝置。

日本專利第6386589號公報中，已揭示了濕度測量裝置。濕度測量裝置，是測量流動於主空氣通路內的吸入空氣的濕度。在主空氣通路的主空氣通路壁上，設有插入孔。濕度測量裝置，是被插入於插入孔。

日本專利第6386589號公報所揭示的濕度測量裝置，不具有顯示器，無法顯示濕度測量裝置所測量到的氣體的濕度。其所具有課題，是使用者無法確認濕度測量裝置所測量到的氣體的濕度。

本發明的目的，是解決上述的課題。

本發明的態樣，是一種濕度測量裝置，是用於測量氣體的濕度，該濕度測量裝置，是具備：測量部，是具有：測量溫度的感溫元件、及測量濕度的感濕元件；及框體，是具有收容有前述測量部的收容部；及顯示部，是被固定於前述框體，且具有顯示器，前述顯示部，是具有顯示控制部，前述顯示控制部是控制前述顯示器，將依據前述感溫元件所測量到的前述氣體的溫度和前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度所算出的前述氣體的露點溫度、及前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度的至少一方，顯示於前述顯示器。

依據本發明，使用者，可以確認濕度測量裝置所測量到的露點溫度及濕度的至少一方。

上述的目的、特徵及優點，可從參照隨附的圖面所說明的以下的實施例的說明而容易了解。

[第1實施方式]

圖1，是顯示濕度測量裝置10。濕度測量裝置10，是具有框體12及顯示部14。圖1，是由剖面圖顯示框體12。圖1，是由示意圖顯示顯示部14。濕度測量裝置10，是測量：氣體的相對濕度、及氣體的溫度。以下，將相對濕度記載為濕度。

框體12，是具有本體部16及連接部18。本體部16，是在本體部16的內部具有收容部20。此收容部20，是形成於本體部16內的空間。本體部16，是在本體部16的內部具有供給配管22。本體部16，是在本體部16的內部具有排氣配管24。供給配管22是與收容部20連接。排氣配管24是與收容部20連接。如圖1所示，收容部20中的排氣配管24的開口部，是對於收容部20中的供給配管22的開口部，被配置於朝供給配管22的開口部的徑方向偏移的位置。氣體是從供給配管22朝收容部20被供給。被供給至收容部20的氣體，是從排氣配管24朝大氣中被排出。

濕度測量裝置10，是具有電子基板25。電子基板25，是被配置於本體部16及顯示部14之間。在電子基板25中，安裝有溫度濕度測量部26。溫度濕度測量部26，是被收容於收容部20。溫度濕度測量部26，是將感溫元件及感濕元件搭載於1個積體電路上的電子零件。感溫元件，是測量收容部20內的氣體的溫度。感濕元件，是測量收容部20內的氣體的濕度。溫度濕度測量部26，是相當於本發明的測量部。溫度濕度測量部26，是將所測量到的氣體的溫度及濕度朝顯示部14輸出。

連接部18，是被安裝於本體部16。連接部18，是在連接部18的內部具有連接配管28。氣體可以在連接配管28及本體部16的供給配管22之間流通。

連接配管28，是具有限流孔30。在連接配管28中，安裝有過濾器32。過濾器32，是金屬製。限流孔30，在連接配管28中的位置，是被配置於比安裝過濾器32的位置更接近本體部16的位置。即，限流孔30的位置，是被配置於比安裝過濾器32的位置更接近收容部20的位置。限流孔30，其最小徑部分的剖面積，是比排氣配管24的剖面積更小。因此，從收容部20將氣體排出的路徑(以下，排出路徑)的流路阻力，是比朝收容部20供給氣體的路徑(以下，供給路徑)的流路阻力更小。由此，收容部20內的氣體的壓力是成為大氣壓。被收容於收容部20的溫度濕度測量部26，是測量氣體在大氣壓下的溫度。被收容於收容部20的溫度濕度測量部26，是測量氣體在大氣壓下的濕度。

圖2，是框體12的立體圖。連接部18，是藉由連接銷34被固定於本體部16。使用者，可將連接銷34拔除。在連接銷34從本體部16及連接部18被拔去的狀態下，使用者可從本體部16將連接部18取下。在過濾器32被安裝於連接部18的狀態下，連接部18可從本體部16被取下。由此，使用者可容易進行濕度測量裝置10的過濾器32的交換。

圖3，是顯示濕度測量裝置10的設置例。濕度測量裝置10是被設於配管36。壓縮氣體是流通於配管36的內部。壓縮氣體，是氣體的壓力比大氣壓更大的氣體。以下，壓縮氣體也有只記載為氣體。

氣體的溫度、濕度及露點溫度，是藉由氣體的壓力而變化。對於氣體的壓力比大氣壓更大的壓縮氣體的溫度、濕度及露點溫度，也有記載為在壓力下的氣體的溫度、在壓力下的氣體的濕度、及在壓力下的氣體的露點溫度。對於氣體的壓力是大氣壓的氣體的溫度、濕度及露點溫度，也有記載為在大氣壓下的氣體的溫度、在大氣壓下的氣體的濕度、及在大氣壓下的氣體的露點溫度。

濕度測量裝置10，是測量流通於配管36內部的氣體的濕度及溫度。濕度測量裝置10的連接部18，是被插入被設於配管36中的未圖示的插入孔。由此，流通於配管36內部的氣體的一部分，是通過：連接部18的連接配管28、及本體部16的供給配管22，被供給至收容部20。流通於配管36內部的氣體，是藉由接著敘述的除濕器38而被除濕的氣體。

圖4，是顯示濕度測量裝置10的設置例。濕度測量裝置10，是被設置在除濕器38也可以。除濕器38，是將通過除濕器38內的氣體中的水分除去。濕度測量裝置10，是測量從除濕器38被排出的壓縮氣體的濕度及溫度。

如圖1所示，顯示部14是被固定於框體12的本體部16。圖5，是濕度測量裝置10的控制方塊圖。使用圖5的控制方塊圖，說明顯示部14的構成。

顯示部14，是具有：露點溫度算出部40、及設定值記憶部42、及第1輸出部44、及第2輸出部48、及顯示控制部52、及顯示器54。

露點溫度算出部40，是依據：溫度濕度測量部26所測量到的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的氣體的濕度，來算出在大氣壓下的氣體的露點溫度。露點溫度算出部40，是將所算出的露點溫度，朝第1輸出部44、第2輸出部48及顯示控制部52輸出。

以下，也有將「溫度濕度測量部26所測量到的氣體的溫度」記載為「測量溫度」。也有將「溫度濕度測量部26所測量到的氣體的濕度」記載為「測量濕度」。也有將「露點溫度算出部40所算出的氣體的露點溫度」記載為「算出露點溫度」。

設定值記憶部42，是記憶：設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度。設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度，是被輸入至後述的第1輸出部44。設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度，是由濕度測量裝置10的使用者所設定的值也可以。設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度，是濕度測量裝置10的出貨時，由濕度測量裝置10的製造者所設定的值也可以。

第1輸出部44，是比較設定溫度及測量溫度。第1輸出部44，是將該比較結果(以下，也有記載為溫度比較結果)朝外部機器46輸出。溫度比較結果，是將設定溫度及測量溫度的差由數值顯示的資訊也可以。溫度比較結果，是顯示測量溫度對於設定溫度的高低的資訊也可以。

第1輸出部44，是比較設定濕度及測量濕度。第1輸出部44，是將該比較結果(以下，也有記載為濕度比較結果)朝外部機器46輸出。濕度比較結果，是將設定濕度及測量濕度的差由數值顯示的資訊也可以。濕度比較結果，是顯示測量濕度對於設定濕度的高低的資訊也可以。

第1輸出部44，是比較設定露點溫度及算出露點溫度。第1輸出部44，是將該比較結果(以下，也有記載為露點溫度比較結果)朝外部機器46輸出。露點溫度比較結果，是將設定露點溫度及算出露點溫度的差由數值顯示的資訊也可以。露點溫度比較結果，是顯示算出露點溫度對於設定露點溫度的高低的資訊也可以。

第2輸出部48，是將測量溫度朝外部機器50輸出。第2輸出部48，是將測量濕度朝外部機器50輸出。第2輸出部48，是將算出露點溫度朝外部機器50輸出。外部機器50，是與外部機器46相同的機器也可以。外部機器50，是與外部機器46不同的機器也可以。

顯示控制部52，是控制顯示器54，將有關於測量溫度的資訊顯示於顯示器54。顯示控制部52，是控制顯示器54，將有關於測量濕度的資訊顯示於顯示器54。顯示控制部52，是控制顯示器54，將有關於算出露點溫度的資訊顯示於顯示器54。顯示控制部52，是控制顯示器54，將：有關於測量溫度的資訊、有關於測量濕度的資訊、及有關於算出露點溫度的資訊之中至少1個資訊顯示於顯示器54也可以。又，測量溫度、算出露點溫度、設定溫度、及設定露點溫度的單位，皆是「℃」。

圖6，是顯示顯示器54的顯示例。顯示器54，是具有濕度顯示區域56。濕度顯示區域56，是由數字顯示測量濕度。顯示器54，是具有露點溫度顯示區域58。露點溫度顯示區域58，是由數字顯示算出露點溫度。顯示器54，是具有溫度顯示區域60。溫度顯示區域60，是由數字顯示測量溫度。

圖7A及圖7B，是顯示顯示器54的顯示例。圖7A及圖7B的顯示器54的顯示例，是與圖6的顯示器54的顯示例不同的顯示例。顯示器54，是具有濕度顯示區域62。濕度顯示區域62，是由數字顯示測量濕度。顯示器54，是具有露點溫度顯示區域64。如圖7A及圖7B的露點溫度顯示區域64的中央部附近所示的2條的斜線「//」是顯示算出露點溫度為0℃的位置。在算出露點溫度是負的情況中，圖7A所示如，桿(中線)「-」只有被顯示在斜線「//」的右側。在算出露點溫度是+(正)的情況中，圖7B所示如，桿(中線)「-」是被延伸顯示至斜線「//」的左側為止。在顯示器54的露點溫度顯示區域64中，桿(中線)「-」的顯示愈朝左側延伸，算出露點溫度愈高。

圖8A及圖8B，是顯示顯示器54的顯示例。圖8A及圖8B的顯示器54的顯示例，是顯示與圖6、圖7A及圖7B的顯示器54的顯示例不同的顯示例。顯示器54，是具有濕度顯示區域66。濕度顯示區域66，是將測量濕度由數字顯示。顯示器54，是具有溫度顯示區域68。溫度顯示區域68，是由數字顯示測量溫度。顯示器54，是由濕度顯示區域66的數字的顏色，顯示算出露點溫度。在算出露點溫度是負的情況中，顯示器54，是將濕度顯示區域66的數字的顏色由藍色顯示。在算出露點溫度是+(正)的情況中，顯示器54，是將濕度顯示區域66的數字的顏色由紅色顯示。上述的濕度顯示區域66的數字的顏色只是一例，算出露點溫度的資訊，是由別的顏色被顯示也可以。

顯示部14之中除了顯示器54以外的各構成，是藉由未圖示的微控制器而被實現。被搭載於微控制器的未圖示的運算處理裝置，是藉由實行被記憶在被搭載於微控制器的未圖示的記憶體中的程式，來實現：露點溫度算出部40、及第1輸出部44、及第2輸出部48、及顯示控制部52的功能。且，設定值記憶部42，是藉由將記憶體的一部分確保作為存儲各設定值用的存儲區域而被實現。

又，顯示部14之中除了顯示器54以外的各構成，是由未圖示的FPGA(Field Programmable Gate Array)、ASIC(application specific integrated circuit)等的積體電路所構成也可以。

[對於供給配管及收容部的連接、及排氣配管及收容部的連接] 在本實施方式中，如圖1所示，收容部20中的排氣配管24的開口部，是被配置於對於收容部20中的供給配管22的開口部偏移的位置。由此，從供給配管22朝收容部20流入的氣體，是在收容部20內擴散之後，從排氣配管24被排出。

本發明人等，是使用電腦對於收容部20的內部的氣體的濕度的分布進行了模擬。圖9A及圖9B，是顯示模擬結果。圖9A，是顯示比較例1中的模擬結果。在比較例1中，氣體從供給配管22朝收容部20流入的方向、及氣體從收容部20朝排氣配管24流出的方向，是彼此位於同一直線上。圖9B，是顯示比較例2中的模擬結果。在比較例2中，收容部20中的排氣配管24的開口部，是對於收容部20中的供給配管22的開口部，被配置於朝供給配管22的開口部的徑方向偏移的位置。由此，在比較例2中，氣體從供給配管22朝收容部20流入的方向、及氣體從收容部20朝排氣配管24流出的方向，是彼此位於不同的直線上。

在比較例1及比較例2的模擬中，限流孔30的孔徑是被設定成0.2mm。在比較例1及比較例2的模擬中，流入收容部20內的氣體的濕度是被設定成50%。在比較例1及比較例2的模擬中，流入收容部20的氣體的流量是被設定成1L/min。

在比較例1中，從供給配管22流入收容部20的氣體，在收容部20內不會擴散，而朝排氣配管24被排出。因此，在比較例1中的模擬中，如圖9A所示，收容部20中的氣體的濕度的分布是不均勻。另一方面，在比較例2中，從供給配管22流入收容部20的氣體，是與收容部20的側面衝突，在收容部20內擴散之後，從排氣配管24被排出。因此，在比較例2中的模擬中，圖9B所示如，收容部20中的氣體的濕度的分布是成為大致均勻。

藉由這些的模擬結果，與比較例1相比，比較例2，是顯示流入收容部20的氣體是更廣泛圍地擴散。

本發明人等，是對於溫度濕度測量部26的氣體的濕度的測量精度進行了實驗。圖10A及圖10B，是顯示本發明人等進行實驗的實驗環境。圖10A，是顯示比較例3中的實驗環境。在比較例3中，氣體從供給配管22朝收容部20流入的方向、及氣體從收容部20朝排氣配管24流出的方向，是彼此位於同一直線上。圖10B，是顯示比較例4中的實驗環境。在比較例4中，收容部20中的排氣配管24的開口部，是對於收容部20中的供給配管22的開口部，被配置於朝供給配管22的開口部的徑方向偏移的位置。由此，在比較例4中，氣體從供給配管22朝收容部20流入的方向、及氣體從收容部20朝排氣配管24流出的方向，是彼此位於不同的直線上。在這些的實驗中，將乾燥氣體(濕度8.0%)朝常濕狀態(濕度25.0%)的收容部20內流入。

在圖10A所顯示的比較例3中的實驗環境中，溫度濕度測量部26所測量到的濕度是10.3%。溫度濕度測量部26所測量到的濕度(10.3%)對於流入收容部20的氣體的濕度(8.0%)之間的誤差是+2.3%。在圖10B所顯示的比較例4中的實驗環境中，溫度濕度測量部26所測量到的濕度是8.3%。溫度濕度測量部26所測量到的濕度(8.3%)對於流入收容部20的氣體的濕度(8.0%)之間的誤差是+0.3%。

依據這些的實驗結果，由溫度濕度測量部26所產生的氣體的濕度的測量精度，與比較例3相比，顯示比較例4的測量精度有提高。

[對於限流孔] 在本實施方式的濕度測量裝置10中，連接配管28因為是具有限流孔30，所以收容部20的氣體的排出路徑的流路阻力，是比收容部20的氣體的供給路徑的流路阻力更小。由此，收容部20內的氣體的壓力是成為大氣壓。可取代限流孔30，連接配管28可考慮具有減壓閥的構造。減壓閥，是藉由將通過連接配管28的氣體的一部分朝大氣中放出，就可將被供給至收容部20的氣體的壓力調整成大氣壓。與減壓閥的構造相比，限流孔30的構造較簡潔。在本實施方式的濕度測量裝置10中，因為連接配管28不是具有減壓閥而具有限流孔30，所以濕度測量裝置10的構造可以簡潔。

被安裝於連接配管28的過濾器32，是對於通過過濾器32的氣體成為阻力。因此可考慮，藉由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大。通常，過濾器32的設計是被設計成：將通過過濾器32的氣體中的異物由過濾器32除去，且，對於通過過濾器32的氣體，過濾器32的阻力可儘可能較小。為了在過濾器32中發生與由限流孔30所產生的流路阻力同等的流路阻力，與限流孔30的軸方向的長度相比，有必要將相當長的過濾器32安裝於連接配管28。在本實施方式的濕度測量裝置10中，因為限流孔30會增大供給路徑的流路阻力，所以濕度測量裝置10可以小型化。

與由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時相比，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，朝收容部20流入的氣體的流速會變高。朝收容部20流入的氣體的流速愈高，氣體與收容部20的側面衝突時，會更廣範圍地擴散。朝收容部20流入的氣體的流速愈高，氣體流入收容部20之後至與收容部20的側面衝突為止的時間會縮短，氣體可更快速地擴散。

因此，與由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時相比，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，朝收容部20流入的氣體可在收容部20內更廣泛圍，且，更快速地擴散。其結果，與由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時相比，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，可提高溫度濕度測量部26的測量對象的氣體的測量結果，對於測量對象的氣體的溫度、濕度等的變化的響應速度。

本發明人等，對於流入收容部20的氣體的流速，是使用電腦進行了模擬。圖11A及圖11B，是顯示模擬結果。圖11A，是由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況的模擬結果。圖11B，是由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況的模擬結果。

在這些的模擬中，供給配管22的內徑是被設定成3mm。在這些的模擬中，設有過濾器32的部分的配管的內徑是設定成1mm，過濾器32的外徑也被設定成1mm。在這些的模擬中，過濾器32的長度是被設定成4mm。在這些的模擬中，限流孔30的內徑是被設定成0.2mm。在這些的模擬中，限流孔30的軸方向的長度是被設定成0.2mm。在這些的模擬中，朝收容部20流入的氣體的濕度是被設定成50%。在這些的模擬中，朝收容部20流入的氣體的流量是被設定成1L/min。

由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時，如圖11A所示，通過過濾器32中的氣體的流速雖較高，但是通過了過濾器32之後的氣體的流速會下降。如此，即使通過過濾器32中的氣體的流速較高，通過了過濾器32之後的氣體的流速卻下降的理由，是如以下。

在氣體流入過濾器32的入口部分中，因為氣體是從供給配管22(內徑3mm)朝過濾器32(外徑1mm)流入，所以氣體的流速變高。在過濾器32的內部，氣體的流速愈高，過濾器32對於氣體的流路阻力愈增加。因此，在氣體通過過濾器32時，氣體是從過濾器32的內部的流路阻力較高處朝流路阻力較低處擴散(擴大)。由此，在氣體從過濾器32流出的出口部分中，無關前述的入口部分的氣體的流速，氣體的流速是成為大致固定。過濾器32對於氣體的流路阻力，與通過過濾器32之前的氣體的壓力相比，通過了過濾器32之後的氣體的壓力會下降。但是，氣體在通過過濾器32時因為會在過濾器32的內部擴散(擴大)，所以氣體的流速是依存於過濾器32的外形的形狀而快速地被抑制。在前述的出口部分中，因為氣體是從過濾器32(外徑1mm)朝供給配管22(內徑3mm)流入，所以氣體的流速是進一步下降。

另一方面，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，如圖11B所示，通過限流孔30之後的氣體的流速可被保持在較高的狀態。如此，通過限流孔30之後的氣體的流速可被保持的理由，是如以下。

在氣體流入限流孔30的入口部分中，因為氣體是從供給配管22(內徑3mm)朝限流孔30的孔(內徑0.2mm)流入，所以氣體的流速變高。藉由限流孔30對於氣體的流路阻力，與通過限流孔30之前的氣體的壓力相比，通過限流孔30之後的氣體的壓力可下降。限流孔30的軸方向的長度是0.2mm，在通過限流孔30中，氣體的流速會大幅地增加。另一方面，在氣體從限流孔30流出的出口部分中，因為氣體是從限流孔30(內徑0.2mm)朝供給配管22(內徑3mm)流入，所以氣體的流速會下降。但是，在氣體通過限流孔30中，氣體的流速因為是充分地被增加，所以即使在供給配管22內，也氣體的流速也可以被維持在較高的狀態。

依據這些的模擬結果顯示，與由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時相比，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，朝收容部20流入的氣體的流速較高。

本發明人等，是使用電腦對於收容部20內的氣體的濕度的分布進行了模擬。圖12A及圖12B，是顯示模擬結果。圖12A，是顯示由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況的模擬結果。圖12B，是顯示由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況的模擬結果。

在這些的模擬中，過濾器32的外徑是被設定成1mm。在這些的模擬中，過濾器32的長度是被設定成4mm。在這些的模擬中，限流孔30的孔徑是被設定成0.2mm。在這些的模擬中，限流孔30的孔深是被設定成0.2mm。在這些的模擬中，朝收容部20流入的氣體的濕度是被設定成50%。在這些的模擬中，朝收容部20流入的氣體的流量是被設定成1L/min。

由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時，如圖12A所示，收容部20中的氣體的濕度的分布是不均勻。另一方面，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，如圖12B所示，收容部20中的氣體的濕度的分布是成為大致均勻。

圖11A及圖11B的模擬結果所示如，與由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時相比，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，朝收容部20流入的氣體的流速是較高。朝收容部20流入的氣體的流速愈高，氣體與收容部20的側面衝突時，氣體可更廣泛圍地擴散。

依據圖12A及圖12B所顯示的模擬結果顯示，與由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時相比，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，朝收容部20流入的氣體是在收容部20內更擴散。

本發明人等，是對於溫度濕度測量部26的測量濕度對於測量對象的氣體的濕度的變化的響應速度進行了實驗。在實驗中，本發明人等，是藉由溫度濕度測量部26，測量：通過了限流孔30之後的氣體的濕度、及通過了過濾器32之後的氣體的濕度。在實驗中，限流孔30的孔徑是被設定成0.25mm。在實驗中，過濾器32的外徑是被設定成1.0mm。

在第一個實驗(以下，實驗1)中，在實驗開始之前，在收容部20中充填了濕度5%的氣體。實驗開始後5秒期間，朝收容部20供給濕度5%的氣體。在實驗開始之後5秒之後，開始朝收容部20供給濕度45%的氣體。在第二個實驗(以下，實驗2)中，在實驗開始之前在收容部20中充填了濕度45%的氣體。實驗開始之後5秒期間，朝收容部20供給濕度45%的氣體。在實驗開始之後5秒之後，開始朝收容部20供給濕度5%的氣體。

圖13A及圖13B是顯示實驗結果。圖13A，是顯示被供給至收容部20的氣體的濕度是以從5%朝45%變高的方式變化的實驗1的實驗結果。圖13B，是顯示被供給至收容部20的氣體的濕度是以從45%朝5%降低的方式變化的實驗2的實驗結果。在實驗1中，通過了限流孔30之後的氣體的測量濕度的上昇速度，是比通過了過濾器32之後的氣體的測量濕度更快速。在實驗2中，通過限流孔30之後的氣體的測量濕度的下降速度，是比通過了過濾器32之後的氣體的測量濕度更快速。

從這些的實驗結果顯示，與由過濾器32將供給路徑的流路阻力增大的情況時相比，由限流孔30將供給路徑的流路阻力增大的情況時，溫度濕度測量部26的測量對象的氣體的測量濕度，對於測量對象的氣體的濕度的變化的響應速度，有提高。

[作用效果] 本實施方式的濕度測量裝置10，其顯示部14是被固定於框體12。顯示部14，是具有顯示器54。顯示器54，是顯示：氣體的濕度、及氣體的溫度、及氣體的露點溫度。由此，使用者，可以在濕度測量裝置10被設置的場所中，確認：氣體的濕度、及氣體的溫度、及氣體的露點溫度。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，第1輸出部44，是將設定濕度、及由溫度濕度測量部26所測量到的氣體的濕度(測量濕度)的比較結果，朝外部機器46輸出。由此，本實施方式的濕度測量裝置10，可以將設定濕度及測量濕度的比較結果，朝外部機器46輸出。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，第1輸出部44，是將：設定露點溫度、及由露點溫度算出部40所算出的氣體的露點溫度(算出露點溫度)的比較結果，朝外部機器46輸出。由此，本實施方式的濕度測量裝置10，可以將設定露點溫度及算出露點溫度的比較結果，朝外部機器46輸出。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，第2輸出部48，是將由溫度濕度測量部26所測量到的氣體的濕度(測量濕度)，朝外部機器50輸出。由此，本實施方式的濕度測量裝置10，可以將測量濕度朝外部機器50輸出。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，第2輸出部48，是將由露點溫度算出部40所算出的氣體的露點溫度(算出露點溫度)，朝外部機器50輸出。由此，本實施方式的濕度測量裝置10，可以將算出露點溫度朝外部機器50輸出。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，氣體從供給配管22朝收容部20流入的方向、及氣體從收容部20朝排氣配管24流出的方向，是彼此位於不同的直線上。由此，本實施方式的溫度濕度測量部26，可以提高氣體的濕度的測量精度。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，連接配管28是具有限流孔30。限流孔30的剖面積，是比排氣配管24的剖面積更小。由此，與氣體的排出路徑的流路阻力相比，氣體的供給路徑的流路阻力會變大。因此，收容部20內的氣體的壓力可成為大氣壓。露點溫度算出部40，可以依據由溫度濕度測量部26所測量到的氣體的溫度及氣體的濕度，算出在大氣壓下的氣體的露點溫度。

本實施方式的濕度測量裝置10，是在連接配管28安裝有過濾器32。進一步，限流孔30，是被配置於比過濾器32更靠收容部20側。由此，可抑制異物被阻塞在連接配管28的限流孔30中。

本實施方式的濕度測量裝置10，其過濾器32是金屬製。由此，可抑制過濾器32吸收氣體中的濕氣。因此，本實施方式的濕度測量裝置10，可以提高氣體的濕度的測量精度。

本實施方式的濕度測量裝置10，是在連接部18安裝有過濾器32的狀態下，使用者可將連接部18從本體部16取下。使用者，可以容易地交換濕度測量裝置10的過濾器32。

[第2實施方式] 圖14，是顯示濕度測量裝置10。圖14，是由剖面圖顯示框體12。圖14，是由示意圖顯示顯示部14。

在第1實施方式的濕度測量裝置10中，形成於連接部18內部的連接配管28是具有限流孔30(圖1)。對於此，在本實施方式的濕度測量裝置10中，形成於連接部18內部的連接配管28是不具有限流孔(圖14)。在本實施方式的濕度測量裝置10中，形成於框體12的本體部16內部的排氣配管24是具有限流孔70。限流孔70，其最小徑部分的剖面積是比供給配管22的剖面積更小。限流孔70，其最小徑部分的剖面積是比連接配管28的剖面積更小。本實施方式的濕度測量裝置10的其他的構成，是與第1實施方式的濕度測量裝置10的構成相同。

因為連接配管28不具有限流孔，排氣配管24具有限流孔70，所以收容部20內的氣體的壓力，是成為與配管36內的壓縮氣體的壓力，或是除濕器38所排出的壓縮氣體的壓力大致相同。溫度濕度測量部26，是測量在壓力下的氣體的溫度。溫度濕度測量部26，是測量在壓力下的氣體的濕度。顯示部14的露點溫度算出部40，是依據溫度濕度測量部26所測量到的在壓力下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到在壓力下的氣體的濕度，來算出在壓力下的氣體的露點溫度。

[作用效果] 在本實施方式的濕度測量裝置10中，排氣配管24是具有限流孔70。限流孔70的剖面積，是比供給配管22的剖面積更小。限流孔70，其剖面積，是比連接配管28的剖面積更小。因為連接配管28是不具有限流孔，排氣配管24是具有限流孔70，所以收容部20內的氣體的壓力，是成為與配管36內的壓縮氣體的壓力，或是除濕器38所排出的壓縮氣體的壓力大致相同。溫度濕度測量部26，是可測量在壓力下的氣體的溫度。溫度濕度測量部26，是可測量在壓力下的氣體的濕度。露點溫度算出部40，可以依據溫度濕度測量部26所測量到的在壓力下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的在壓力下的氣體的濕度，來算出在壓力下的氣體的露點溫度。

[第3實施方式] 圖15，是濕度測量裝置10的控制方塊圖。使用圖15的控制方塊圖，說明顯示部14的構成。

本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14，是具有：露點溫度算出部40、及第1輸出部44、及顯示控制部52、及顯示器54、及通訊部72。露點溫度算出部40、及顯示控制部52、及顯示器54，是與第1實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的露點溫度算出部40、及顯示控制部52、及顯示器54相同。

通訊部72，是與外部機器46進行通訊。通訊部72，是從外部機器46收訊：設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度。通訊部72，是將通訊部72所收訊到的設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度，朝第1輸出部44輸出。設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度，是由外部機器46的使用者所設定的值也可以。設定溫度、及設定濕度、及設定露點溫度，是濕度測量裝置10的出貨時，由外部機器46的製造者所設定的值也可以。

第1輸出部44，是將設定溫度及測量溫度的比較結果，朝通訊部72輸出。第1輸出部44，是將設定濕度及測量濕度的比較結果，朝通訊部72輸出。第1輸出部44，是將設定露點溫度及算出露點溫度的比較結果，朝通訊部72輸出。

通訊部72，是將設定溫度及測量溫度的比較結果，朝外部機器46發訊。通訊部72，是將設定濕度及測量濕度的比較結果，朝外部機器46發訊。通訊部72，是將設定露點溫度及算出露點溫度的比較結果，朝外部機器46發訊。

[作用效果] 在本實施方式的濕度測量裝置10中，顯示部14是具有通訊部72。通訊部72，是與外部機器46進行通訊。通訊部72，可收訊由外部機器46側所設定的各設定值。由此，在本實施方式的濕度測量裝置10中，第1輸出部44，可以將在外部機器46中被設定的各設定值，分別與測量溫度、測量濕度及算出露點溫度的各個進行比較。在本實施方式的濕度測量裝置10中，通訊部72，可以將第1輸出部44所比較的比較結果，朝外部機器46發訊。

[第4實施方式] 圖16，是顯示濕度測量裝置10。濕度測量裝置10，是具有：框體74、及顯示部14。圖16，是由剖面圖顯示框體74。圖16，是由示意圖顯示顯示部14。

框體74，是在框體74的內部具有收容部78。框體74，是在框體74的內部具有供給配管80。框體74，是在框體74的內部具有排氣配管82。供給配管80是與收容部78連接。排氣配管82是與收容部78連接。濕度測量裝置10的測量對象的氣體，是從供給配管80被供給至收容部78。被供給至收容部78的氣體，是從排氣配管82朝大氣中被排出。收容部78中的排氣配管82的開口部，是對於收容部78中的供給配管80的開口部，被配置於朝供給配管80的開口部的徑方向偏移的位置。

濕度測量裝置10，是具有電子基板84。電子基板84，是被配置於框體74及顯示部14之間。在電子基板84中，安裝有溫度濕度測量部26。溫度濕度測量部26，是被收容於收容部78。

供給配管80，是具有限流孔86。供給配管80，是安裝有過濾器88。過濾器88，是金屬製。限流孔86，是被配置於比安裝過濾器88的位置更接近收容部78的位置。限流孔86，是限流孔86的最小徑部分的剖面積是比排氣配管82的剖面積更小。因此，從收容部78將氣體排出的路徑(以下，排出路徑)的流路阻力，是比朝收容部78供給氣體的路徑(以下，供給路徑)的流路阻力更小。由此，收容部78內的氣體的壓力是成為大氣壓。溫度濕度測量部26，是測量收容部78內的氣體的溫度。溫度濕度測量部26，是測量收容部78內的氣體的濕度。溫度濕度測量部26，是將所測量到的氣體的溫度及濕度朝顯示部14輸出。

框體74，是在框體74的內部具有分歧配管90。分歧配管90，是與供給配管80連接。供給配管80中的分歧配管90的連接位置，是位於供給配管80的限流孔86及過濾器88之間。在電子基板84中，安裝有壓力測量部76。分歧配管90，是將通過限流孔86之前的氣體供給至壓力測量部76。壓力測量部76，是測量被供給的氣體的壓力。濕度測量裝置10是被設於配管36的情況時，被供給至壓力測量部76的氣體的壓力，是成為與流通於配管36內的壓縮氣體的壓力大致相同。濕度測量裝置10是被設於除濕器38的情況時，被供給至壓力測量部76的氣體的壓力，是成為與從除濕器38被排出的壓縮氣體的壓力大致相同。由此，壓力測量部76，可以對於測量處的氣體的壓力進行測量。

圖17，是濕度測量裝置10的控制方塊圖。使用圖17的控制方塊圖，說明顯示部14的構成。

本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14，是具有：露點溫度算出部40、及顯示控制部52、及顯示器54。本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54，是與第1實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54相同。

溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度是被輸入至露點溫度算出部40中。溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度是被輸入至露點溫度算出部40中。壓力測量部76所測量到的氣體的壓力是被輸入至露點溫度算出部40中。濕度測量裝置10是被設於配管36的情況時，壓力測量部76，是測量流通於配管36內的壓縮氣體的壓力。濕度測量裝置10是被設於除濕器38的情況時，壓力測量部76，是測量從除濕器38被排出的壓縮氣體的壓力。露點溫度算出部40，是依據溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度，來算出在大氣壓下的氣體的露點溫度。露點溫度算出部40，是將露點溫度算出部40所算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度，對應壓力測量部76所測量到的氣體的壓力進行修正，而算出在壓力下的氣體的露點溫度。

[作用效果] 即使氣體的絕對濕度(氣體中所包含的水分量)是相同，氣體的壓力愈高，露點溫度愈高。因此，與溫度濕度測量部26接觸的氣體的壓力愈高，水滴愈容易附著在溫度濕度測量部26。水滴若附著在溫度濕度測量部26的情況時，溫度濕度測量部26的測量濕度有可能成為異常值。

本實施方式的濕度測量裝置10，是具有壓力測量部76，壓力測量部76是測量位於濕度測量裝置10內的氣體的濕度等的測量位置中的氣體的壓力。露點溫度算出部40，是依據溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度，來算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度。露點溫度算出部40，是將露點溫度算出部40所算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度，對應壓力測量部76所測量到的氣體的壓力進行修正，而算出在壓力下的氣體的露點溫度。由此，溫度濕度測量部26因為不會與高壓的氣體接觸，所以可抑制水滴附著於溫度濕度測量部26。

[第5實施方式] 圖18，是濕度測量裝置10的控制方塊圖。使用圖18的控制方塊圖，說明顯示部14的構成。

本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14，是具有：露點溫度算出部40、及顯示控制部52、及顯示器54。本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54，是與第1實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54相同。

溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度是被輸入至露點溫度算出部40中。溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度是被輸入至露點溫度算出部40中。壓力測量部92所測量到的氣體的壓力是被輸入至露點溫度算出部40中。

壓力測量部92，是被設於濕度測量裝置10的外部。濕度測量裝置10是被設於配管36的情況時，壓力測量部92，是測量流通於配管36內的壓縮氣體的壓力。濕度測量裝置10是被設於除濕器38的情況時，壓力測量部92，是測量從除濕器38被排出的壓縮氣體的壓力。

露點溫度算出部40，是依據溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度，來算出在大氣壓下的氣體的露點溫度。露點溫度算出部40，是將露點溫度算出部40所算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度，對應壓力測量部92所測量到的氣體的壓力進行修正，而算出在壓力下的氣體的露點溫度。

[作用效果] 在本實施方式的濕度測量裝置10中，露點溫度算出部40，是依據溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度，來算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度。露點溫度算出部40，是將露點溫度算出部40所算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度，對應被設於濕度測量裝置10外部的壓力測量部92所測量到的氣體的壓力進行修正，而算出在壓力下的氣體的露點溫度。由此，溫度濕度測量部26因為不會與高壓的氣體接觸，所以可抑制水滴附著於溫度濕度測量部26。

[第6實施方式] 圖19，是濕度測量裝置10的控制方塊圖。使用圖19的控制方塊圖，說明顯示部14的構成。

本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14，是具有：露點溫度算出部40、及顯示控制部52、及顯示器54、及壓力輸入部94。本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54，是與第1實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54相同。

壓力輸入部94，是將氣體的壓力朝露點溫度算出部40輸出。壓力輸入部94朝露點溫度算出部40輸出的氣體的壓力，是由使用者所設定的值也可以。壓力輸入部94朝露點溫度算出部40輸出的氣體的壓力，是濕度測量裝置10的出貨時，由濕度測量裝置10的製造者所設定的值也可以。在流通於配管36內的壓縮氣體的壓力是大致固定的情況中，被設定的壓力是事先朝露點溫度算出部40被輸入也可以。同樣地，在除濕器38排出的壓縮氣體的壓力是大致固定的情況中，被設定的壓力是事先朝露點溫度算出部40被輸入也可以。

溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度是被輸入至露點溫度算出部40中。溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度是被輸入至露點溫度算出部40中。從壓力輸入部94至氣體的壓力是被輸入至露點溫度算出部40中。

露點溫度算出部40，是依據溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度，來算出在大氣壓下的氣體的露點溫度。露點溫度算出部40，是將露點溫度算出部40所算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度，對應從壓力輸入部94被輸入的氣體的壓力進行修正，而算出在壓力下的氣體的露點溫度。

[作用效果] 在本實施方式的濕度測量裝置10中，露點溫度算出部40，是依據溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的溫度、及溫度濕度測量部26所測量到的在大氣壓下的氣體的濕度，來算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度。露點溫度算出部40，是將露點溫度算出部40所算出的在大氣壓下的氣體的露點溫度，對應從壓力輸入部94被輸入的氣體的壓力進行修正，而算出在壓力下的氣體的露點溫度。由此，溫度濕度測量部26因為不會與高壓的氣體接觸，所以可抑制水滴附著於溫度濕度測量部26。

[第7實施方式] 圖20，是濕度測量裝置10的控制方塊圖。使用圖20的控制方塊圖，說明顯示部14的構成。

本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14，是具有：顯示控制部52、及顯示器54、及交換判別部96、及修正部100。本實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54，是與第1實施方式的濕度測量裝置10的顯示部14的顯示控制部52及顯示器54相同。

在交換判別部96中，除濕器38被交換的情況時，從交換資訊輸入部98被輸入顯示除濕器38已被交換的資訊。交換資訊輸入部98，是被設於濕度測量裝置10的外部。交換資訊輸入部98，是具有除濕器38也可以。從交換資訊輸入部98朝交換判別部96被輸入顯示除濕器38已被交換的資訊的情況時，交換判別部96是判別為除濕器38已被交換。從交換資訊輸入部98朝交換判別部96未被輸入顯示除濕器38已被交換的資訊的情況時，交換判別部96是判別為除濕器38未被交換。

溫度濕度測量部26所測量到的氣體的濕度是被輸入至修正部100中。交換判別部96所判別的判別結果是被輸入至修正部100中。修正部100，是對應被輸入的判別結果，修正溫度濕度測量部26所測量到的濕度。

圖21，是顯示在交換判別部96及修正部100中被實行的修正處理的流程的流程圖。修正處理，是由規定週期被反覆實行。

在步驟S1中，交換判別部96，是判別：從在前次的週期中步驟S1的處理被實行之後，至在這次的週期中步驟S1的處理被實行為止期間，除濕器38是否已被交換。交換判別部96，是從交換資訊輸入部98被輸入顯示除濕器38已被交換的資訊時，就判別為除濕器38已被交換。交換判別部96是判別為除濕器38已被交換的情況(步驟S1:YES)時，修正處理是朝步驟S2移動。交換判別部96是判別為除濕器38未被交換的情況(步驟S1:NO)時，修正處理是朝步驟S6移動。

在步驟S2中，修正部100，是判別：溫度濕度測量部26所測量到的氣體的濕度(測量濕度)，是否為第1門檻值Th1以上。在測量濕度是第1門檻值Th1以上的情況(步驟S2:YES)時，修正處理是朝步驟S7移動。測量濕度是未滿第1門檻值Th1的情況(步驟S2:NO)時，修正處理是朝步驟S3移動。

在步驟S3中，修正部100，是判別：測量濕度是否為第2門檻值Th2以上。測量濕度是第2門檻值Th2以上的情況(步驟S3:YES)時，修正處理是朝步驟S4移動。測量濕度是未滿第2門檻值Th2的情況(步驟S3:NO)時，修正處理是朝步驟S6移動。第2門檻值Th2，是比第1門檻值Th1更小的值。

在步驟S4中，修正部100，是修正測量濕度而求得新的測量濕度。其後，修正處理是朝步驟S5移動。以下，在修正部100中求得的新的測量濕度，也有記載為修正濕度。

在步驟S5中，交換判別部96，是清除：從交換資訊輸入部98被輸入的顯示除濕器38已被交換的資訊(除濕器交換資訊)。其後，修正處理是朝步驟S6移動。

在步驟S6中，修正部100，是將測量濕度朝顯示控制部52輸出。其後，結束修正處理。

在步驟S2中被判別為測量濕度是第1門檻值Th1以上的話(步驟S2:YES)，在之後的步驟S7中，修正部100，是將錯誤訊號朝顯示控制部52輸出。其後，結束修正處理。錯誤訊號被輸入至顯示控制部52的情況時，顯示控制部52，是控制顯示器54，在顯示器54顯示促進使用者將溫度濕度測量部26交換的顯示。

[作用效果] 溫度濕度測量部26的感濕元件，是具有感濕膜。感濕膜的靜電電容，是對應感濕膜所包含的水分量而變化。感濕元件，是依據感濕膜的靜電電容，來測量氣體的濕度。

對應氣體的濕度而變化的感濕膜的靜電電容，是伴隨感濕膜的劣化而變化。此原因，是水分滲透至感濕膜內，使感濕膜被汚染等。因此，溫度濕度測量部26的測量濕度的精度，會伴隨感濕膜的劣化而下降。

在除濕器38被交換隨後，藉由除濕器38被除濕之後的氣體的濕度，會對應除濕器38的除濕性能而被調整至規定的濕度。溫度濕度測量部26的測量濕度，是比該規定的濕度更高的情況時，感濕膜會劣化。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，交換判別部96是判別為除濕器38已被交換的情況時，在測量濕度是第2門檻值以上未滿第1門檻值的情況中，修正部100，是修正測量濕度而求得修正濕度。由此，即使是感濕膜已劣化的情況，濕度測量裝置10仍可以維持氣體的濕度的測量精度。

在本實施方式的濕度測量裝置10中，交換判別部96是判別為除濕器38已被交換的情況時，在溫度濕度測量部26的測量濕度是第1門檻值以上的情況中，顯示控制部52，是控制顯示器54，在顯示器54顯示促進使用者將溫度濕度測量部26交換的顯示。由此，感濕膜的劣化很嚴重的情況時，濕度測量裝置10，可以促進使用者交換溫度濕度測量部26。

[第8實施方式] 圖22及圖23，是顯示濕度測量裝置10。濕度測量裝置10，是具有：框體102、及顯示部14、及接頭部106。圖22及圖23，是由剖面圖顯示框體102及接頭部106。圖22及圖23，是由示意圖顯示顯示部14。

框體102，是具有本體部108及連接部110。本體部108，是在本體部108的內部具有收容部112。此收容部112，是形成於本體部108內的空間。

濕度測量裝置10，是具有電子基板25。電子基板25，是被配置於本體部108及顯示部14之間。在電子基板25中，安裝有溫度濕度測量部26。溫度濕度測量部26，是被收容於收容部112。溫度濕度測量部26，是將感溫元件及感濕元件搭載於1個積體電路上的電子零件。感溫元件，是測量收容部112內的氣體的溫度。感濕元件，是測量收容部112內的氣體的濕度。溫度濕度測量部26，是將所測量到的氣體的溫度及濕度朝顯示部14輸出。

連接部110，是具有第1連接配管118及第2連接配管120。第1連接配管118及第2連接配管120，是與收容部112連接。且，第1連接配管118及第2連接配管120，是與後述的接頭部106的接頭配管122連接。氣體是透過第1連接配管118及第2連接配管120，而流通於收容部112及接頭配管122之間。第1連接配管118的剖面積及第2連接配管120的剖面積彼此不同。如圖22所示，第2連接配管120的最小徑部分的剖面積，是比第1連接配管118的最小徑部分的剖面積更小。如圖23所示，第1連接配管118的最小徑部分的剖面積，是比第2連接配管120的最小徑部分的剖面積更小也可以。

接頭部106，是在接頭部106的內部具有接頭配管122及管安裝部124。接頭配管122，是朝一方向延伸形成。在接頭配管122的兩端，各連接有管安裝部124。管安裝部124的兩端，是各具有朝接頭部106外部的開口。接頭部106，是連接在氣體流通的管126(圖24)的中途處。在各個的管安裝部124中，連接有管126。接頭配管122，是將管126及管126之間連繋。由此，氣體是成為可透過接頭配管122，而流通於管126及管126之間。

在接頭配管122中，安裝有過濾器128。過濾器128，是對於接頭配管122中的氣體的流動，被配置於位於上游的管安裝部124及接頭配管122的連接部分。接頭配管122，是具有限流孔130。限流孔130，其最小徑部分的剖面積，是比接頭配管122的其他處的剖面積更小。限流孔130，是對於接頭配管122中的氣體的流動，被配置於比過濾器128更下游。以下，接頭配管122之中，比限流孔130更上游的部分，也有被記載為第1接頭室132。且，接頭配管122之中，比限流孔130更下游的部分，也有被記載為第2接頭室134。

過濾器128，是被安裝於接頭配管122的上游側的端部。藉由過濾器128，成為可將混入了流入接頭配管122內的氣體中的異物除去。由此，可以抑制異物侵入接頭配管122內。

在第1接頭室132中，前述的第1連接配管118是與接頭配管122連接。換言之，對於接頭配管122中的氣體的流動，第1連接配管118，是在比限流孔130更上游，且在過濾器128及限流孔130之間，與接頭配管122連接。在第2接頭室134中，前述的第2連接配管120是與接頭配管122連接。換言之，對於接頭配管122中的氣體的流動，第2連接配管120，是在比限流孔130更下游，與接頭配管122連接。

圖24，是顯示管126被連接在濕度測量裝置10的狀態的圖。圖24的箭頭，是顯示氣體的流動。

第1接頭室132的壓力，是藉由限流孔130，而比第2接頭室134的壓力更高。由此，接頭配管122的氣體成為可從第1連接配管118朝收容部112內流入。與第1連接配管118的徑的剖面積相比，第2連接配管120的徑的剖面積是較小。因此，收容部112的壓力，成為可與第1接頭室132的壓力大致相同。

通過過濾器128之後的氣體是流入收容部112內。因此，可以抑制異物侵入收容部112內。

顯示部14的構成，是與第1實施方式、第3實施方式、第5實施方式、第6實施方式或是第7實施方式的顯示部14的構成同樣。

[對於濕度的測量精度] 本發明人等，是使用電腦對於第1接頭室132、第2接頭室134及收容部112的濕度，進行了模擬。圖25、圖26及圖27，是顯示模擬結果。圖25，是顯示第1連接配管118的最小徑部分的剖面積、及第2連接配管120的最小徑部分的剖面積是等同的情況時的模擬結果。圖26，是顯示第2連接配管120的最小徑部分的剖面積，是比第1連接配管118的最小徑部分的剖面積更小的情況時的模擬結果。圖27，是顯示第1連接配管118的最小徑部分的剖面積，是比第2連接配管120的最小徑部分的剖面積更小的情況時的模擬結果。模擬，是將濕度88%的氣體流入第1接頭室132。

第1連接配管118的最小徑部分的剖面積、及第2連接配管120的最小徑部分的剖面積是等同的情況時，如圖25所示，收容部112的濕度，是比第1接頭室132的濕度更低。另一方面，收容部112的濕度，是比第2接頭室134的濕度更高。即，收容部112的濕度，是與第1接頭室132的濕度、及第2接頭室134的濕度的雙方相異。因此，被設於收容部112的溫度濕度測量部26，雖可以測量流通於管126內部的氣體的濕度，但其精度較低。又，此情況，收容部112的壓力，是比第1接頭室132的壓力更低。另一方面，收容部112的壓力，是比第2接頭室134的壓力更高。

第2連接配管120的最小徑部分的剖面積，是比第1連接配管118的最小徑部分的剖面積更小的情況時，如圖26所示，收容部112的濕度，是與第1接頭室132的濕度大致等同。另一方面，收容部112的濕度，是比第2接頭室134的濕度更高。因此，被設於收容部112的溫度濕度測量部26，是可以在比限流孔130更上游高精度地測量流通於管126內部的氣體的濕度。又，此情況，收容部112的壓力，是與第1接頭室132的壓力大致等同。另一方面，收容部112的壓力，是比第2接頭室134的壓力更高。

第1連接配管118的最小徑部分的剖面積，是比第2連接配管120的最小徑部分的剖面積更小的情況時，如圖27所示，收容部112的濕度，是與第2接頭室134的濕度大致等同。另一方面，收容部112的濕度，是比第1接頭室132的濕度更低。因此，被設於收容部112的溫度濕度測量部26，是可以在比限流孔130更下游高精度地測量流通於管126內部的氣體的濕度。又，此情況，收容部112的壓力，是與第2接頭室134的壓力大致等同。另一方面，收容部112的壓力，是比第1接頭室132的壓力更低。

[作用效果] 本實施方式的濕度測量裝置10，是具有與管126的中途處連接的接頭部106。接頭部106的接頭配管122及框體102的收容部112，是藉由第1連接配管118及第2連接配管120而被連接。第1連接配管118，是在限流孔130的上游與接頭配管122連接。第2連接配管120，是在限流孔130的下游與接頭配管122連接。

由此，流通於接頭配管122的氣體被分流，從第1連接配管118朝收容部112被送出。因此，溫度濕度測量部26，是在與管126相同壓力下中，可以測量收容部112內的氣體的濕度。其結果，濕度測量裝置10，可以測量流通於管126內的氣體的濕度。且，可以抑制已混入流通於管126內的氣體的水滴等，進一步侵入收容部112。其結果，可以抑制溫度濕度測量部26被污染。

且在本實施方式的濕度測量裝置10中，流通於管126的氣體，是從接頭配管122通過第1連接配管118朝收容部112流入。已流入收容部112的氣體，是通過第2連接配管120返回至接頭配管122。因此，流通於管126的氣體不會朝外部被排出。其結果，可以抑制氣體減少。

本實施方式的濕度測量裝置10，其第1連接配管118的剖面積、及第2連接配管120的剖面積是不同。第2連接配管120的最小徑部分的剖面積，是比第1連接配管118的最小徑部分的剖面積更小的情況時，溫度濕度測量部26，是可以在比限流孔130更上游高精度地測量流通於管126內部的氣體的濕度。第1連接配管118的最小徑部分的剖面積，是比第2連接配管120的最小徑部分的剖面積更小的情況時，溫度濕度測量部26，是可以在比限流孔130更下游高精度地測量流通於管126內部的氣體的濕度。

[第9實施方式] 圖28，是顯示濕度測量裝置10。濕度測量裝置10，是具有：框體102、及顯示部14、及接頭部106。圖28，是由剖面圖顯示框體102及接頭部106。圖28，是由示意圖顯示顯示部14。

在電子基板25中，安裝有流量感測器136。流量感測器136，是被收容於框體102的收容部112。流量感測器136，是檢出流通於收容部112內的氣體的流量。可以從流動於收容部112內的氣體的流量求得流通於管126內的氣體的流量。流量感測器136，是由感測器、熱敏電阻、白金等所構成。感測器，是由MEMS(微機電系統、Micro Electro Mechanical Systems)所構成。對於本實施方式的濕度測量裝置10的其他的構成，是與第8實施方式的濕度測量裝置10相同。

[作用效果] 在本實施方式的濕度測量裝置10中，在框體102的收容部112，收容有流量感測器136。由此，可以求得流通於管126內的氣體的流量。

[第10實施方式] 圖29，是顯示濕度測量裝置10。濕度測量裝置10，是具有：框體102、及顯示部14、及接頭部106。圖29，是由剖面圖顯示框體102及接頭部106。圖29，是由示意圖顯示顯示部14。

在接頭配管122中，安裝有過濾器128及過濾器138。過濾器138，是隔著限流孔130，被配置於過濾器128的相反側。過濾器128，是被安裝於接頭配管122及管安裝部124的連接部分。過濾器138，是被安裝於接頭配管122及管安裝部124的連接部分。

過濾器128是被安裝於接頭配管122的一端部，過濾器138是被安裝於接頭配管122的另一端部。由此，氣體流通的方向被切換的情況時，也可藉由過濾器128或是過濾器138，將已混入了流入接頭配管122內的氣體中的異物除去。由此，可以抑制異物侵入接頭配管122內。

又，本發明，不限定於上述的實施方式，即使不脫離本發明的實質，也可取得各種構成。

[從實施方式所得到的技術的思想] 對於可從上述實施方式把握的技術的思想，揭示如以下。

一種濕度測量裝置(10)，是測量氣體的濕度，該濕度測量裝置，是具備：測量部(26)，是具有測量溫度的感溫元件、及測量濕度的感濕元件；及框體(12)，是具有收容部(20)，前述收容部(20)可收容前述測量部；及顯示部(14)，是具有顯示器(54)，顯示器(54)是被固定於前述框體；前述顯示部，是具有顯示控制部(52)，前述顯示控制部(52)是將前述顯示器控制，使前述顯示器顯示：依據前述感溫元件所測量到的前述氣體的溫度及前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度所算出的前述氣體的露點溫度、及前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度的至少一方。由此，使用者，可以在設有濕度測量裝置的場所中，確認氣體的濕度、氣體的露點溫度的至少一方。

上述的濕度測量裝置中，前述顯示部，是具有第1輸出部(44)，前述第1輸出部(44)，是將前述氣體的露點溫度及設定露點溫度的比較結果、及前述氣體的濕度及設定濕度的比較結果的至少一方，朝前述濕度測量裝置的外部的機器(46)輸出也可以。由此，濕度測量裝置，可以將氣體的露點溫度及設定露點溫度的比較結果、及氣體的濕度及設定濕度的比較結果的至少一方，朝外部的機器輸出。

上述的濕度測量裝置中，前述顯示部，是具有第2輸出部(48)，前述第2輸出部(48)，是將前述氣體的露點溫度、及前述氣體的濕度的至少一方，朝前述濕度測量裝置的外部的機器(50)輸出也可以。由此，濕度測量裝置，可以將氣體的露點溫度、及氣體的濕度的至少一方，朝濕度測量裝置的外部的機器輸出。

上述的濕度測量裝置中，前述框體，是具有：供給配管(22)，是對於測量前述氣體的濕度的測量處，將位於前述測量處的前述氣體，供給至前述收容部；及排氣配管(24)，是將前述收容部的前述氣體朝大氣中排出；前述供給配管及前述排氣配管各與前述收容部連接的方式，是前述氣體從前述供給配管朝前述收容部流入的方向、及前述氣體從前述收容部朝前述排氣配管流出的方向，位於不同的直線上也可以。由此，濕度測量裝置，可以提高氣體的濕度的測量精度。

上述的濕度測量裝置中，前述框體，是具有連接配管(28)，前述連接配管(28)，是可將前述測量處及前述供給配管之間連接，並使前述氣體可流通於前述測量處及前述供給配管之間，在前述連接配管中安裝有過濾器(32)，前述連接配管是具有限流孔(30)，前述限流孔，是被配置於比前述過濾器更靠前述收容部側，前述限流孔的剖面積，是形成比前述排氣配管的剖面積更小也可以。由此，濕度測量裝置，可以將收容部內的氣體的壓力成為大氣壓。

上述的濕度測量裝置中，前述顯示部，是具有：壓力輸入部(94)，是將前述測量處內的前述氣體的壓力輸入；及露點溫度算出部(40)，是依據前述感溫元件所測量到的前述氣體的溫度、及前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度、及前述壓力輸入部所輸入的前述氣體的壓力，來算出壓力下露點溫度作為前述露點溫度也可以。由此，因為測量部不會接觸高壓的氣體，所以可抑制水滴附著於測量部。

上述的濕度測量裝置中，是具有壓力測量部(76)，其可測量前述測量處內的前述氣體的壓力，前述顯示部，是具有露點溫度算出部，前述露點溫度算出部，是依據前述感溫元件所測量到的前述氣體的溫度、及前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度、及前述壓力測量部所測量到的前述氣體的壓力，來算出壓力下露點溫度作為前述露點溫度也可以。由此，因為測量部不會接觸高壓的氣體，所以可抑制水滴附著於測量部。

上述的濕度測量裝置中，前述框體，是具有連接配管，前述連接配管可將前述測量處及前述供給配管之間連接，並使前述氣體可流通於前述測量處及前述供給配管之間，在前述連接配管中安裝有過濾器，前述排氣配管是具有限流孔(70)，前述限流孔的剖面積是形成比前述供給配管的剖面積更小也可以。由此，濕度測量裝置，可以在收容部內充填被壓縮的氣體。

上述的濕度測量裝置中，前述過濾器是金屬製也可以。由此，濕度測量裝置，可以提高氣體的濕度的測量精度。

上述的濕度測量裝置，前述框體，是具備：設有前述供給配管的本體部(16)、及設有前述連接配管的連接部(18)，前述連接部可被安裝於前述本體部，在前述連接部安裝有前述過濾器的狀態下，可將前述連接部從前述本體部取下也可以。由此，使用者，可以容易地交換濕度測量裝置的過濾器。

上述的濕度測量裝置中，在前述測量處內的前述氣體，是從將前述氣體除濕的除濕器(38)被排出的前述氣體，前述顯示部，是具有：交換判別部(96)，是判別前述除濕器是否已被交換；及修正部(100)，是在被判別為前述除濕器已被交換的隨後若前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度是比門檻值更高的情況時，在其之後，依據被判別為前述除濕器已被交換的隨後藉由前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度、及被交換的前述除濕器的除濕能力，修正前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度也可以。即使是感濕膜已劣化的情況，濕度測量裝置仍可以保持氣體的濕度的精度。

上述的濕度測量裝置中，前述測量處內的前述氣體，是從將前述氣體除濕的除濕器被排出的前述氣體，前述顯示部，是具備交換判別部，交換判別部是判別前述除濕器是否已被交換，被判別為前述除濕器已被交換的隨後，若前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度是比門檻值更高的情況時，前述顯示控制部，是控制前述顯示器，將促進使用者交換前述測量部的資訊，顯示於前述顯示器也可以。由此，感濕膜的劣化很嚴重的情況時，濕度測量裝置，可以促進使用者交換測量部。

上述的濕度測量裝置，具有接頭部(106)，其是連接於前述氣體流通的管(126)的中途處，前述接頭部，是具有接頭配管(122)，接頭配管(122)是將前述管及前述管連繫，讓前述氣體可流通於前述管及前述管之間，在前述接頭配管中安裝有過濾器(128)，前述接頭配管是具有限流孔(130)，前述限流孔，是對於前述接頭配管內的前述氣體的流動，被配置於比前述過濾器比更下游，前述框體，是具有第1配管(118)及第2配管(120)，前述第1配管(118)及第2配管(120)是將前述接頭配管及前述收容部連繫，讓前述氣體可流通於前述接頭配管及前述收容部之間，前述第1配管，是對於前述接頭配管內的前述氣體的流動，在比前述限流孔更上游處，且在前述過濾器及前述限流孔之間，與前述接頭配管連接，前述第2配管，是對於前述接頭配管內的前述氣體的流動，在比前述限流孔更下游處，與前述接頭配管連接也可以。由此，濕度測量裝置，可以高精度地測量流通於管內的氣體的濕度。

上述的濕度測量裝置，前述第1配管的剖面積、及前述第2配管的剖面積是不同也可以。由此，濕度測量裝置，可以高精度地測量流通於管內的氣體的濕度。

上述的濕度測量裝置中，具有流量感測器(136)，其可測量前述氣體的流量，前述流量感測器，是被收容在前述收容部內也可以。由此，濕度測量裝置，可以求得流通於管內的氣體的流量。

10:濕度測量裝置 12:框體 14:顯示部 16:本體部 18:連接部 20:收容部 22:供給配管 24:排氣配管 25:電子基板 26:溫度濕度測量部 28:連接配管 30:限流孔 32:過濾器 34:連接銷 36:配管 38:除濕器 40:露點溫度算出部 42:設定值記憶部 44:第1輸出部 46:外部機器 48:第2輸出部 50:外部機器 52:顯示控制部 54:顯示器 56:濕度顯示區域 58:露點溫度顯示區域 60:溫度顯示區域 62:濕度顯示區域 64:露點溫度顯示區域 66:濕度顯示區域 68:溫度顯示區域 70:限流孔 72:通訊部 74:框體 76:壓力測量部 78:收容部 80:供給配管 82:排氣配管 84:電子基板 86:限流孔 88:過濾器 90:分歧配管 92:壓力測量部 94:壓力輸入部 96:交換判別部 98:交換資訊輸入部 100:修正部 102:框體 106:接頭部 108:本體部 110:連接部 112:收容部 118:第1連接配管 120:第2連接配管 122:接頭配管 124:管安裝部 126:管 128:過濾器 130:限流孔 132:第1接頭室 134:第2接頭室 136:流量感測器 138:過濾器

[圖1]是顯示濕度測量裝置的圖。

[圖2]是框體的立體圖。

[圖3]是顯示濕度測量裝置的設置例的圖。

[圖4]是顯示濕度測量裝置的設置例的圖。

[圖5]是濕度測量裝置的控制方塊圖。

[圖6]是顯示器的顯示例的圖。

[圖7A]及[圖7B]是顯示器的顯示例的圖。

[圖8A]及[圖8B]是顯示器的顯示例的圖。

[圖9A]及[圖9B]是顯示模擬結果的圖。

[圖10A]及[圖10B]是顯示本發明人等進行實驗時的實驗環境的圖。

[圖11A]及[圖11B]是顯示模擬結果的圖。

[圖12A]及[圖12B]是顯示模擬結果的圖。

[圖13A]及[圖13B]是顯示實驗結果的圖表。

[圖14]是顯示濕度測量裝置的圖。

[圖15]是濕度測量裝置的控制方塊圖。

[圖16]是顯示濕度測量裝置的圖。

[圖17]是濕度測量裝置的控制方塊圖。

[圖18]是濕度測量裝置的控制方塊圖。

[圖19]是濕度測量裝置的控制方塊圖。

[圖20]是濕度測量裝置的控制方塊圖。

[圖21]是顯示修正處理的流程的流程圖。

[圖22]是顯示濕度測量裝置的圖。

[圖23]是顯示濕度測量裝置的圖。

[圖24]，是顯示管被連接在濕度測量裝置中的狀態的圖。

[圖25]，是顯示模擬結果。

[圖26]，是顯示模擬結果。

[圖27]，是顯示模擬結果。

[圖28]是顯示濕度測量裝置的圖。

[圖29]是顯示濕度測量裝置的圖。

10:濕度測量裝置

12:框體

14:顯示部

16:本體部

18:連接部

20:收容部

22:供給配管

24:排氣配管

25:電子基板

26:溫度濕度測量部

28:連接配管

30:限流孔

32:過濾器

Claims (4)

1. 一種濕度測量裝置， 是用於測量氣體的濕度，具備： 測量部，是具有測量溫度的感溫元件、及測量濕度的感濕元件；及 框體，是具有收容部，前述收容部可收容前述測量部；及 顯示部，是被固定於前述框體，且具有顯示器；及 接頭配管，是將前述管及前述管連繫，讓前述氣體可流通於前述管及前述管之間； 前述接頭配管，是具有限流孔， 在接接頭配管中，安裝有過濾器， 前述框體，是具有第1配管及第2配管，前述第1配管及第2配管是將前述接頭配管及前述收容部連繫，讓前述氣體可流通於前述接頭配管及前述收容部之間。
2. 如請求項1的濕度測量裝置，其中， 前述第1配管的剖面積、及前述第2配管的剖面積是不同。
3. 如請求項1或2的濕度測量裝置，其中， 具有流量感測器，其可測量前述氣體的流量， 前述流量感測器，是被收容於前述收容部。
4. 如請求項1或2的濕度測量裝置，其中， 前述顯示部，是具有顯示控制部，前述顯示控制部是將前述顯示器控制，使前述顯示器顯示：依據前述感溫元件所測量到的前述氣體的溫度及前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度所算出的前述氣體的露點溫度、及前述感濕元件所測量到的前述氣體的濕度的至少一方。

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