KR20240001080A - 습도 측정 장치 - Google Patents

습도 측정 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20240001080A
KR20240001080A KR1020230180455A KR20230180455A KR20240001080A KR 20240001080 A KR20240001080 A KR 20240001080A KR 1020230180455 A KR1020230180455 A KR 1020230180455A KR 20230180455 A KR20230180455 A KR 20230180455A KR 20240001080 A KR20240001080 A KR 20240001080A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
humidity
gas
temperature
unit
measuring device
Prior art date
Application number
KR1020230180455A
Other languages
English (en)
Inventor
도시노리 구라타
Original Assignee
에스엠시 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2022073321A external-priority patent/JP2023002455A/ja
Application filed by 에스엠시 가부시키가이샤 filed Critical 에스엠시 가부시키가이샤
Publication of KR20240001080A publication Critical patent/KR20240001080A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/22—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance
    • G01N27/223—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating capacitance for determining moisture content, e.g. humidity
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F11/00—Control or safety arrangements
    • F24F11/50—Control or safety arrangements characterised by user interfaces or communication
    • F24F11/52—Indication arrangements, e.g. displays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D11/00—Component parts of measuring arrangements not specially adapted for a specific variable
    • G01D11/24—Housings ; Casings for instruments
    • G01D11/245—Housings for sensors
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
    • G01D21/02—Measuring two or more variables by means not covered by a single other subclass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D7/00—Indicating measured values
    • G01D7/002—Indicating measured values giving both analog and numerical indication
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01K—MEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00—Thermometers specially adapted for specific purposes
    • G01K13/02—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow
    • G01K13/024—Thermometers specially adapted for specific purposes for measuring temperature of moving fluids or granular materials capable of flow of moving gases
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/2202—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling
    • G01N1/2205—Devices for withdrawing samples in the gaseous state involving separation of sample components during sampling with filters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
    • G01N1/24—Suction devices
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N19/00—Investigating materials by mechanical methods
    • G01N19/10—Measuring moisture content, e.g. by measuring change in length of hygroscopic filament; Hygrometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/56—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content
    • G01N25/62—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by psychrometric means, e.g. wet-and-dry bulb thermometers
    • G01N25/64—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by psychrometric means, e.g. wet-and-dry bulb thermometers using electric temperature-responsive elements
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N25/00—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means
    • G01N25/56—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content
    • G01N25/66—Investigating or analyzing materials by the use of thermal means by investigating moisture content by investigating dew-point
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G—PHYSICS
    • G08—SIGNALLING
    • G08C—TRANSMISSION SYSTEMS FOR MEASURED VALUES, CONTROL OR SIMILAR SIGNALS
    • G08C17/00—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link
    • G08C17/02—Arrangements for transmitting signals characterised by the use of a wireless electrical link using a radio link
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F2110/00—Control inputs relating to air properties
    • F24F2110/20—Humidity
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
    • G01N33/0062—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the measuring method, e.g. intermittent, or the display, e.g. digital

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Biomedical Technology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Human Computer Interaction (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials Using Thermal Means (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

습도 측정 장치
습도 측정 장치(10)는, 온도를 측정하는 감온 소자 및 습도를 측정하는 감습 소자를 가지는 온도 및 습도 측정부(26)와, 온도 및 습도 측정부가 수용되는 수용부(20)와, 측정 개소의 기체를 수용부에 공급하는 공급배관(22)을 가지는 하우징(12)과, 표시기(54)를 갖고, 하우징에 고정된 표시부(14)를 포함하며, 표시부(14)는, 표시기(54)를 제어하여, 감온 소자가 측정한 기체의 온도와 감습 소자가 측정한 기체의 습도에 근거하여 산출된 기체의 이슬점 온도, 및 감습 소자가 측정한 기체의 습도 중 적어도 하나를 표시하는 표시 제어부(52)를 갖는다.

Description

습도 측정 장치 {HUMIDITY MEASURING DEVICE}
본 발명은 기체의 습도를 측정하는 습도 측정 장치에 관한 것이다.
일본특허공보 제6386589호에는 습도 측정 장치가 개시되어 있다. 습도 측정 장치는 주 공기통로를 흐르는 흡입 공기의 습도를 계측한다. 주 공기통로의 주 공기통로 벽에는 삽입구멍이 설치된다. 습도 측정 장치는 삽입구멍에 삽입된다.
일본특허공보 제6386589호에 개시되어 있는 습도 측정 장치는, 습도 측정 장치가 측정한 기체의 습도를 표시하는 표시기를 가지지 않는다. 유저는 습도 측정 장치가 측정한 기체의 습도를 확인할 수 없다는 과제가 있다.
본 발명은 전술한 과제를 해결하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 태양은, 기체의 습도를 측정하는 습도 측정 장치로서, 해당 습도 측정 장치는, 온도를 측정하는 감온(感溫) 소자 및 습도를 측정하는 감습(感濕) 소자를 가지는 측정부와, 상기 측정부가 수용되는 수용부를 가지는 하우징과, 표시기를 가지고 상기 하우징에 고정되는 표시부를 포함하며, 상기 표시부는, 상기 표시기를 제어하여, 상기 감온 소자가 측정한 상기 기체의 온도와 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도에 근거하여 산출된 상기 기체의 이슬점 온도, 및 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도 중 적어도 하나를, 상기 표시기에 표시하는 표시 제어부를 갖는다.
본 발명에 의해, 유저는 습도 측정 장치가 측정한 이슬점 온도 및 습도 중 적어도 하나를 확인할 수 있다.
상기의 목적, 특징 및 이점은 첨부한 도면을 참조하여 설명되는 이하의 실시형태의 설명으로부터 용이하게 이해될 것이다.
도 1은 습도 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 2는 하우징의 사시도이다.
도 3은 습도 측정 장치의 설치예를 나타내는 도면이다.
도 4는 습도 측정 장치의 설치예를 나타내는 도면이다.
도 5는 습도 측정 장치의 제어 블럭도이다.
도 6은 표시기의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 7a 및 도 7b는 표시기의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 8a 및 도 8b는 표시기의 표시예를 나타내는 도면이다.
도 9a 및 도 9b는 시뮬레이션 결과를 나타내는 도면이다.
도 10a 및 도 10b는 본 발명자가 실험을 실시한 실험 환경을 나타내는 도면이다.
도 11a 및 도 11b는 시뮬레이션 결과를 나타내는 도면이다.
도 12a 및 도 12b는 시뮬레이션 결과를 나타내는 도면이다.
도 13a 및 도 13b는 실험 결과를 나타내는 그래프이다.
도 14는 습도 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 15는 습도 측정 장치의 제어 블럭도이다.
도 16은 습도 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 17은 습도 측정 장치의 제어 블럭도이다.
도 18은 습도 측정 장치의 제어 블럭도이다.
도 19는 습도 측정 장치의 제어 블럭도이다.
도 20은 습도 측정 장치의 제어 블럭도이다.
도 21은 보정 처리의 흐름을 나타내는 플로차트이다.
도 22는 습도 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 23은 습도 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 24는 습도 측정 장치에 관이 접속된 상태를 나타내는 도면이다.
도 25는 시뮬레이션 결과를 나타낸다.
도 26은 시뮬레이션 결과를 나타낸다.
도 27은 시뮬레이션 결과를 나타낸다.
도 28은 습도 측정 장치를 나타내는 도면이다.
도 29는 습도 측정 장치를 나타내는 도면이다.
[제1 실시형태]
도 1은 습도 측정 장치(10)를 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는 하우징(12)과 표시부(14)를 갖는다. 도 1은 하우징(12)을 단면도로 나타낸다. 도 1은 표시부(14)를 모식도로 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는 기체의 상대습도와 기체의 온도를 측정한다. 이하에서는, 상대습도를 습도라고 기재한다.
하우징(12)은 본체부(16)와 접속부(18)를 갖는다. 본체부(16)는 본체부(16)의 내부에 수용부(20)를 갖는다. 이 수용부(20)는 본체부(16) 내에 형성된 공간이다. 본체부(16)는 본체부(16)의 내부에 공급배관(22)을 갖는다. 본체부(16)는 본체부(16)의 내부에 배기배관(24)를 갖는다. 공급배관(22)은 수용부(20)에 접속된다. 배기배관(24)은 수용부(20)에 접속된다. 도 1에 도시된 바와 같이, 수용부(20)에 있어서의 배기배관(24)의 개구부는, 수용부(20)에 있어서의 공급배관(22)의 개구부에 대해서, 공급배관(22)의 개구부의 직경 방향으로 오프셋되는 위치에 배치된다. 공급배관(22)으로부터 수용부(20)에 기체가 공급된다. 수용부(20)에 공급된 기체는 배기배관(24)으로부터 대기 중에 배출된다.
습도 측정 장치(10)는 전자 기판(25)을 갖는다. 전자 기판(25)은 본체부(16)와 표시부(14)와의 사이에 배치된다. 전자 기판(25)에는 온도 및 습도 측정부(26)가 부착된다. 온도 및 습도 측정부(26)는 수용부(20)에 수용된다. 온도 및 습도 측정부(26)는 감온 소자와 감습 소자가 하나의 집적회로 상에 탑재된 전자 부품이다. 감온 소자는 수용부(20) 내의 기체의 온도를 측정한다. 감습 소자는 수용부(20) 내의 기체의 습도를 측정한다. 온도 및 습도 측정부(26)는 본 발명의 측정부에 상당한다. 온도 및 습도 측정부(26)는 측정한 기체의 온도 및 습도를 표시부(14)에 출력한다.
접속부(18)는 본체부(16)에 부착된다. 접속부(18)는 접속부(18)의 내부에 접속배관(28)을 갖는다. 접속배관(28)과 본체부(16)의 공급배관(22)과의 사이에서, 기체가 유동할 수 있다.
접속배관(28)은 오리피스(30)를 갖는다. 접속배관(28)에는 필터(32)가 부착된다. 필터(32)는 금속제이다. 오리피스(30)는, 접속배관(28)에 있어서, 필터(32)가 부착되는 위치보다 본체부(16)에 가까운 위치에 배치된다. 즉, 오리피스(30)는 필터(32)가 부착되는 위치보다 수용부(20)에 가까운 위치에 배치된다. 오리피스(30)는, 오리피스(30)의 구멍의 최소직경 부분의 단면적이 배기배관(24)의 단면적보다 작다. 그 때문에, 수용부(20)에 기체를 공급하는 경로(이하, 공급 경로)의 유로 저항보다, 수용부(20)로부터 기체를 배출하는 경로(이하, 배출 경로)의 유로 저항이 작다. 이것에 의해, 수용부(20) 내의 기체의 압력은 대기압이 된다. 수용부(20)에 수용되는 온도 및 습도 측정부(26)는 기체의 대기압 하의 온도를 측정한다. 수용부(20)에 수용되는 온도 및 습도 측정부(26)는 기체의 대기압 하의 습도를 측정한다.
도 2는 하우징(12)의 사시도이다. 접속부(18)는 접속 핀(34)에 의해 본체부(16)에 고정된다. 유저는 접속 핀(34)을 뽑는 것이 가능하다. 접속 핀(34)이 본체부(16) 및 접속부(18)로부터 뽑힌 상태에서, 유저는 본체부(16)로부터 접속부(18)를 떼어내는 것이 가능하다. 필터(32)가 접속부(18)에 부착된 상태로, 접속부(18)는 본체부(16)로부터 분리된다. 이것에 의해, 유저는 습도 측정 장치(10)의 필터(32)의 교환을 용이하게 행할 수 있다.
도 3은 습도 측정 장치(10)의 설치예를 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는 배관(36)에 설치된다. 배관(36)의 내부에는 압축기체가 유동한다. 압축기체란, 기체의 압력이 대기압보다 큰 기체이다. 이하, 압축기체라도 단지 기체라고 기재하는 경우가 있다.
기체의 온도, 습도 및 이슬점 온도는 기체의 압력에 따라 변화한다. 기체의 압력이 대기압보다 큰 압축기체의 온도, 습도 및 이슬점 온도에 대해, 기체의 압력 하의 온도, 기체의 압력 하의 습도, 및 기체의 압력하 이슬점 온도라고 기재하는 경우가 있다. 기체의 압력이 대기압인 기체의 온도, 습도 및 이슬점 온도에 대해, 기체의 대기압 하의 온도, 기체의 대기압 하의 습도, 및 기체의 대기압하 이슬점 온도라고 기재하는 경우가 있다.
습도 측정 장치(10)는 배관(36)의 내부에서 유동하는 기체의 습도 및 온도를 측정한다. 배관(36)에 설치된 도시하지 않은 삽입구멍에, 습도 측정 장치(10)의 접속부(18)가 삽입된다. 이것에 의해, 배관(36)의 내부에서 유동하는 기체의 일부가, 접속부(18)의 접속배관(28)과 본체부(16)의 공급배관(22)을 통과하여, 수용부(20)에 공급된다. 배관(36)의 내부에서 유동하는 기체는, 다음에 설명하는 제습기(38)에 의해 제습된 기체이다.
도 4는 습도 측정 장치(10)의 설치예를 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는 제습기(38)에 설치될 수도 있다. 제습기(38)는 제습기(38) 내를 통과하는 기체 중의 수분을 제거한다. 습도 측정 장치(10)는 제습기(38)로부터 배출되는 압축기체의 습도 및 온도를 측정한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 표시부(14)는 하우징(12)의 본체부(16)에 고정된다. 도 5는 습도 측정 장치(10)의 제어 블럭도이다. 도 5의 제어 블럭도를 이용하여, 표시부(14)의 구성을 설명한다.
표시부(14)는, 이슬점 온도 산출부(40)와, 설정값 기억부(42)와, 제1 출력부(44)와, 제2 출력부(48)와, 표시 제어부(52)와, 표시기(54)를 갖는다.
이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 습도에 근거하여, 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출한다. 이슬점 온도 산출부(40)는 산출한 이슬점 온도를 제1 출력부(44), 제2 출력부(48), 및 표시 제어부(52)에 출력한다.
이하, "온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 온도"를 "측정 온도"라고 기재하는 경우가 있다. "온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 습도"를 "측정 습도"라고 기재하는 경우가 있다. "이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 이슬점 온도"를 "산출 이슬점 온도"라고 기재하는 경우가 있다.
설정값 기억부(42)는, 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도를 기억한다. 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도는, 후술하는 제1 출력부(44)에 입력된다. 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도는 습도 측정 장치(10)의 유저에 의해 설정된 값일 수도 있다. 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도는, 습도 측정 장치(10)의 출하시에, 습도 측정 장치(10)의 제조자에 의해 설정된 값일 수도 있다.
제1 출력부(44)는 설정 온도와 측정 온도를 비교한다. 제1 출력부(44)는 그 비교결과(이하, 온도 비교결과라고 기재하는 경우가 있다)를 외부 기기(46)에 출력한다. 온도 비교결과란, 설정 온도와 측정 온도와의 차이를 수치로 나타내는 정보일 수도 있다. 온도 비교결과란, 설정 온도에 대한 측정 온도의 고저를 나타내는 정보일 수도 있다.
제1 출력부(44)는 설정 습도와 측정 습도를 비교한다. 제1 출력부(44)는 그 비교결과(이하, 습도 비교결과라고 기재하는 경우가 있다)를 외부 기기(46)에 출력한다. 습도 비교결과란, 설정 습도와 측정 습도와의 차이를 수치로 나타내는 정보일 수도 있다. 습도 비교결과란, 설정 습도에 대한 측정 습도의 고저를 나타내는 정보일 수도 있다.
제1 출력부(44)는 설정 이슬점 온도와 산출 이슬점 온도를 비교한다. 제1 출력부(44)는 그 비교결과(이하, 이슬점 온도 비교결과라고 기재하는 경우가 있다)를 외부 기기(46)에 출력한다. 이슬점 온도 비교결과란, 설정 이슬점 온도와 산출 이슬점 온도와의 차이를 수치로 나타내는 정보일 수도 있다. 이슬점 온도 비교결과란, 설정 이슬점 온도에 대한 산출 이슬점 온도의 고저를 나타내는 정보일 수도 있다.
제2 출력부(48)는 측정 온도를 외부 기기(50)에 출력한다. 제2 출력부(48)는 측정 습도를 외부 기기(50)에 출력한다. 제2 출력부(48)는 산출 이슬점 온도를 외부 기기(50)에 출력한다. 외부 기기(50)는 외부 기기(46)와 동일한 기기일 수도 있다. 외부 기기(50)는 외부 기기(46)와는 다른 기기일 수도 있다.
표시 제어부(52)는, 표시기(54)를 제어하여, 측정 온도에 관한 정보를 표시기(54)에 표시한다. 표시 제어부(52)는, 표시기(54)를 제어하여, 측정 습도에 관한 정보를 표시기(54)에 표시한다. 표시 제어부(52)는, 표시기(54)를 제어하여, 산출 이슬점 온도에 관한 정보를 표시기(54)에 표시한다. 표시 제어부(52)는, 표시기(54)를 제어하여, 측정 온도에 관한 정보, 측정 습도에 관한 정보, 및 산출 이슬점 온도에 관한 정보 중 적어도 하나의 정보를 표시기(54)에 표시할 수도 있다. 또한, 측정 온도, 산출 이슬점 온도, 설정 온도, 및 설정 이슬점 온도의 단위는, 모두 "℃"이다.
도 6은 표시기(54)의 표시예를 나타낸다. 표시기(54)는 습도 표시영역(56)을 갖는다. 습도 표시영역(56)은 측정 습도를 숫자로 표시한다. 표시기(54)는 이슬점 온도 표시영역(58)을 갖는다. 이슬점 온도 표시영역(58)은 산출 이슬점 온도를 숫자로 표시한다. 표시기(54)는 온도 표시영역(60)을 갖는다. 온도 표시영역(60)은 측정 온도를 숫자로 표시한다.
도 7a 및 도 7b는 표시기(54)의 표시예를 나타낸다. 도 7a 및 도 7b의 표시기(54)의 표시예는, 도 6의 표시기(54)의 표시예와는 다른 표시예이다. 표시기(54)는 습도 표시영역(62)을 갖는다. 습도 표시영역(62)은 측정 습도를 숫자로 표시한다. 표시기(54)는 이슬점 온도 표시영역(64)을 갖는다. 도 7a 및 도 7b의 이슬점 온도 표시영역(64)의 중앙부 부근에 나타내는 2개의 슬래쉬 "/"는 산출 이슬점 온도가 0℃인 위치를 나타낸다. 산출 이슬점 온도가 마이너스인 경우에는, 도 7a에 도시된 바와 같이, 슬래쉬 "/"의 우측에만 바(g세그먼트) "-"가 표시된다. 산출 이슬점 온도가 플러스인 경우에는, 도 7b에 도시된 바와 같이, 슬래쉬 "/"의 좌측까지 바(g세그먼트) "-"가 연장되어 표시된다. 이슬점 온도 표시영역(64)에 있어서, 바(g세그먼트) "-"가 좌측으로 연장되는 만큼, 표시기(54)는 산출 이슬점 온도가 높다는 것을 나타낸다.
도 8a 및 도 8b는 표시기(54)의 표시예를 나타낸다. 도 8a 및 도 8b의 표시기(54)의 표시예는, 도 6, 도 7a 및 도 7b의 표시기(54)의 표시예와는 다른 표시예를 나타낸다. 표시기(54)는 습도 표시영역(66)을 갖는다. 습도 표시영역(66)은 측정 습도를 숫자로 표시한다. 표시기(54)는 온도 표시영역(68)을 갖는다. 온도 표시영역(68)은 측정 온도를 숫자로 표시한다. 표시기(54)는 산출 이슬점 온도를 습도 표시영역(66)의 숫자의 색으로 나타낸다. 산출 이슬점 온도가 마이너스인 경우에는, 표시기(54)는 습도 표시영역(66)의 숫자의 색을 청색으로 표시한다. 산출 이슬점 온도가 플러스인 경우에는, 표시기(54)는 습도 표시영역(66)의 숫자의 색을 적색으로 표시한다. 상기의 습도 표시영역(66)의 숫자의 색은 일례이며, 산출 이슬점 온도의 정보를 다른 색으로 나타낼 수도 있다.
표시부(14) 중 표시기(54)를 제외한 각 구성은, 도시하지 않은 마이크로 컨트롤러에 의해 실현된다. 마이크로 컨트롤러에 탑재된 도시하지 않은 연산 처리 장치가, 마이크로 컨트롤러에 탑재된 도시하지 않은 메모리에 기억된 프로그램을 실행하는 것에 의해, 이슬점 온도 산출부(40)와, 제1 출력부(44)와, 제2 출력부(48)와, 표시 제어부(52)의 기능을 실현한다. 또, 설정값 기억부(42)는 메모리의 일부에 각 설정값을 격납하는 격납 영역이 확보되는 것에 의해 실현된다.
또한, 표시부(14) 중 표시기(54)를 제외한 각 구성은, 도시하지 않은 FPGA (Field Programmable Gate Array), ASIC (application specific integrated circuit) 등의 집적회로에 의해 구성되어 있을 수도 있다.
[공급배관과 수용부와의 접속, 및 배기배관과 수용부와의 접속에 대해]
본 실시형태에서는, 도 1에 도시된 바와 같이, 수용부(20)에 있어서의 배기배관(24)의 개구부는, 수용부(20)에 있어서의 공급배관(22)의 개구부에 대해서 오프셋되는 위치에 배치된다. 이것에 의해, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 유입된 기체는, 수용부(20) 내에서 확산된 후에, 배기배관(24)으로부터 배출된다.
본 발명자는, 수용부(20) 내부의 기체의 습도 분포에 대해, 컴퓨터를 이용하여 시뮬레이션을 행하였다. 도 9a 및 도 9b는 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 도 9a는 비교예 1에 있어서의 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 비교예 1에서는, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 기체가 유입하는 방향과, 수용부(20)로부터 배기배관(24)으로 기체가 유출하는 방향이, 서로 일직선 상에 위치한다. 도 9b는 비교예 2에 있어서의 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 비교예 2에서는, 수용부(20)에 있어서의 배기배관(24)의 개구부는, 수용부(20)에 있어서의 공급배관(22)의 개구부에 대해서, 공급배관(22)의 개구부의 직경 방향으로 오프셋되는 위치에 배치된다. 이것에 의해, 비교예 2에서는, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 기체가 유입하는 방향과, 수용부(20)로부터 배기배관(24)으로 기체가 유출하는 방향이, 서로 다른 직선 상에 위치한다.
비교예 1 및 비교예 2의 시뮬레이션에서는, 오리피스(30)의 구멍의 직경이 0.2mm로 설정되었다. 비교예 1 및 비교예 2의 시뮬레이션에서는, 수용부(20)로 유입하는 기체의 습도가 50%로 설정되었다. 비교예 1 및 비교예 2의 시뮬레이션에서는, 수용부(20)로 유입하는 기체의 유량이 1 L/min으로 설정되었다.
비교예 1에서는, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 유입한 기체는, 수용부(20) 내에서 확산되지 않고, 배기배관(24)으로 배출된다. 그 때문에, 비교예 1에 있어서의 시뮬레이션에서는, 도 9a에 도시된 바와 같이, 수용부(20)에 있어서의 기체의 습도의 분포가 균일하지 않다. 한편, 비교예 2에서는, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 유입한 기체는, 수용부(20)의 측면에 충돌하여, 수용부(20) 내에서 확산된 후에, 배기배관(24)으로부터 배출된다. 그 때문에, 비교예 2에 있어서의 시뮬레이션에서는, 도 9b에 도시된 바와 같이, 수용부(20)에 있어서의 기체의 습도의 분포는 대략 균일하게 된다.
이들 시뮬레이션 결과에 의해, 비교예 1에 비해 비교예 2가, 수용부(20)로 유입한 기체가 보다 광범위하게 확산되는 것이 나타났다.
본 발명자는 온도 및 습도 측정부(26)의 기체의 습도의 측정 정밀도에 대해 실험을 행하였다. 도 10a 및 도 10b는 본 발명자가 실험을 행한 실험 환경을 나타낸다. 도 10a는 비교예 3에 있어서의 실험 환경을 나타낸다. 비교예 3에서는, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 기체가 유입하는 방향과, 수용부(20)로부터 배기배관(24)으로 기체가 유출하는 방향이, 서로 일직선 상에 위치한다. 도 10b는 비교예 4에 있어서의 실험 환경을 나타낸다. 비교예 4에서는, 수용부(20)에 있어서의 배기배관(24)의 개구부는, 수용부(20)에 있어서의 공급배관(22)의 개구부에 대해서, 공급배관(22)의 개구부의 직경 방향으로 오프셋되는 위치에 배치된다. 이것에 의해, 비교예 4에서는, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 기체가 유입하는 방향과, 수용부(20)로부터 배기배관(24)으로 기체가 유출하는 방향이, 서로 다른 직선 상에 위치한다. 이들 실험에서는, 상습(常濕) 상태(습도 25.0%)인 수용부(20) 내에, 건조 기체(습도 8.0%)를 유입시켰다.
도 10a에 도시된 비교예 3에 있어서의 실험 환경에서는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 습도는 10.3% 이었다. 수용부(20)에 유입시킨 기체의 습도(8.0%)에 대한 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 습도(10.3%)의 오차는 +2.3% 이었다. 도 10b에 도시된 비교예 4에 있어서의 실험 환경에서는, 온도 및 습도 측정부(26)에 있어서 측정된 습도는 8.3% 이었다. 수용부(20)에 유입시킨 기체의 습도(8.0%)에 대한 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 습도(8.3%)의 오차는 +0.3% 이었다.
이러한 실험 결과에 의해, 온도 및 습도 측정부(26)에 의한 기체의 습도의 측정 정밀도는, 비교예 3에 비해 비교예 4가 향상된 것이 나타났다.
[오리피스에 대해]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 접속배관(28)이 오리피스(30)를 가지기 때문에, 수용부(20)의 기체의 공급 경로의 유로 저항보다, 수용부(20)의 기체의 배출 경로의 유로 저항은 작다. 이것에 의해, 수용부(20) 내의 기체의 압력은 대기압이 된다. 오리피스(30)를 대신하여, 접속배관(28)이 감압 밸브를 가지는 구조가 생각될 수 있다. 감압 밸브는, 접속배관(28)을 통과하는 기체의 일부를 대기 중에 방출함으로써, 수용부(20)에 공급되는 기체의 압력을 대기압으로 조정 가능하다. 감압 밸브의 구조에 비해, 오리피스(30)의 구조는 간소하다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 접속배관(28)이 감압 밸브가 아니라 오리피스(30)를 가지기 때문에, 습도 측정 장치(10)의 구조를 간소하게 할 수 있다.
접속배관(28)에 부착된 필터(32)는, 필터(32)를 통과하는 기체에 대해서 저항으로 된다. 그 때문에, 필터(32)에 의해 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 것이 생각될 수 있다. 통상, 필터(32)를 통과하는 기체 중의 이물을 필터(32)가 제거하면서, 필터(32)를 통과하는 기체에 대해서 저항이 가능한 한 작아지도록, 필터(32)는 설계된다. 오리피스(30)에 의한 유로 저항과 동등한 유로 저항을 필터(32)에 발생시키기 위해서는, 오리피스(30)의 구멍의 축방향 길이에 비해, 꽤 긴 필터(32)가 접속배관(28)에 부착될 필요가 있다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키기 때문에, 습도 측정 장치(10)를 소형으로 할 수 있다.
필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에 비해, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 수용부(20)에 유입하는 기체의 유속이 높아진다. 수용부(20)에 유입하는 기체의 유속이 높아질수록, 기체가 수용부(20)의 측면에 충돌할 때에, 보다 광범위하게 확산된다. 수용부(20)에 유입하는 기체의 유속이 높아질수록, 기체가 수용부(20)에 유입한 후에 수용부(20)의 측면과 충돌할 때까지의 시간이 짧아져, 기체가 보다 빠르게 확산된다.
그 때문에, 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에 비해, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 수용부(20)에 유입한 기체는 수용부(20) 내에서 보다 광범위하게, 또한 보다 빠르게 확산된다. 그 결과, 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에 비해, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 측정 대상의 기체의 온도, 습도 등의 변화에 대한, 온도 및 습도 측정부(26)의 측정 대상의 기체의 측정 결과의 응답 속도가 향상된다.
본 발명자는, 수용부(20)로 유입하는 기체의 유속에 대해, 컴퓨터를 이용하여 시뮬레이션을 행하였다. 도 11a 및 도 11b는 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 도 11a는 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우의 시뮬레이션 결과이다. 도 11b는 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우의 시뮬레이션 결과이다.
이들 시뮬레이션에서는, 공급배관(22)의 내경이 3mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 필터(32)가 설치되는 부분의 배관의 내경이 1mm로 설정되고, 필터(32)의 외경도 1mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 필터(32)의 길이가 4mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 오리피스(30)의 구멍의 내경이 0.2mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 오리피스(30)의 구멍의 축방향 길이가 0.2mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 수용부(20)에 유입하는 기체의 습도가 50%로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 수용부(20)에 유입하는 기체의 유량이 1 L/min으로 설정되었다.
필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우, 도 11a에 도시된 바와 같이, 필터(32)를 통과하는 도중의 기체의 유속은 높기는 하지만, 필터(32)를 통과한 후의 기체의 유속은 저하한다. 이와 같이, 필터(32)를 통과하는 도중의 기체의 유속이 높음에도 불구하고, 필터(32)를 통과한 후의 기체의 유속이 저하하는 이유는, 이하와 같다.
기체가 필터(32)에 유입하는 입구 부분에서는, 공급배관(22)(내경 3mm)으로부터 필터(32)(외경 1mm)에 기체가 유입하기 때문에, 기체의 유속은 높아진다. 필터(32)의 내부에서는, 기체의 유속이 높을수록, 기체에 대한 필터(32)의 유로 저항이 증가한다. 그 때문에, 기체는, 필터(32)를 통과하는 도중에, 필터(32)의 내부의 유로 저항이 높은 곳으로부터 유로 저항이 낮은 곳으로 확산한다(퍼진다). 이것에 의해, 기체가 필터(32)로부터 유출하는 출구 부분에서는, 전술한 입구 부분의 기체의 유속에 관련 없이, 기체의 유속은 대략 일정하게 된다. 기체에 대한 필터(32)의 유로 저항에 의해, 필터(32)를 통과하기 전의 기체의 압력에 비해, 필터(32)를 통과한 후의 기체의 압력은 저하한다. 그러나, 기체는 필터(32)를 통과하는 도중에 필터(32)의 내부에서 확산하기(퍼지기) 때문에, 기체의 유속은 필터(32)의 외형 형상에 의존한 속도로 억제된다. 전술한 출구 부분에서는, 필터(32)(외경 1mm)로부터 공급배관(22)(내경 3mm)에 기체가 유입하기 때문에, 기체의 유속은 더욱 저하한다.
한편, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우, 도 11b에 도시된 바와 같이, 오리피스(30)를 통과한 후의 기체의 유속은 높은 상태를 유지한다. 이와 같이, 오리피스(30)를 통과한 후의 기체의 유속이 유지되는 이유는, 이하와 같다.
기체가 오리피스(30)에 유입하는 입구 부분에서는, 공급배관(22)(내경 3 mm)으로부터 오리피스(30)의 구멍(내경 0.2mm)에 기체가 유입하기 때문에, 기체의 유속은 높아진다. 기체에 대한 오리피스(30)의 유로 저항에 의해, 오리피스(30)를 통과하기 전의 기체의 압력에 비해, 오리피스(30)를 통과한 후의 기체의 압력은 저하한다. 오리피스(30)의 구멍의 축방향 길이는 0.2mm이며, 오리피스(30)의 구멍을 통과하는 도중에 기체의 유속은 크게 증가한다. 한편, 기체가 오리피스(30)로부터 유출하는 출구 부분에서는, 오리피스(30)의 구멍(내경 0.2mm)으로부터 공급배관(22)(내경 3mm)에 기체가 유입하기 때문에, 기체의 유속은 저하한다. 그러나, 기체가 오리피스(30)를 통과하는 도중에, 기체의 유속이 충분히 증가하기 때문에, 공급배관(22) 내에서도 기체의 유속은 높은 상태를 유지할 수 있다.
이들 시뮬레이션 결과에 의해, 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에 비해, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 수용부(20)로 유입하는 기체의 유속이 높다는 것이 나타났다.
본 발명자는, 수용부(20) 내의 기체의 습도의 분포에 대해, 컴퓨터를 이용하여 시뮬레이션을 행하였다. 도 12a 및 도 12b는 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 도 12a는 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우의 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 도 12b는 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우의 시뮬레이션 결과를 나타낸다.
이들 시뮬레이션에서는, 필터(32)의 외경이 1mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 필터(32)의 길이가 4mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 오리피스(30)의 구멍의 직경이 0.2mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 오리피스(30)의 구멍의 길이가 0.2mm로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 수용부(20)에 유입하는 기체의 습도가 50%로 설정되었다. 이들 시뮬레이션에서는, 수용부(20)에 유입하는 기체의 유량이 1 L/min로 설정되었다.
필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 도 12a에 도시된 바와 같이, 수용부(20)에 있어서의 기체의 습도의 분포가 균일하지 않다. 한편, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 도 12b에 도시된 바와 같이, 수용부(20)에 있어서의 기체의 습도의 분포는 대략 균일하게 된다.
도 11a 및 도 11b의 시뮬레이션 결과에 도시된 바와 같이, 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에 비해, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 수용부(20)에 유입하는 기체의 유속이 높다. 수용부(20)에 유입하는 기체의 유속이 높을수록, 기체가 수용부(20)의 측면에 충돌할 때에, 기체는 보다 광범위하게 확산된다.
도 12a 및 도 12b에 나타내는 시뮬레이션 결과에 의해, 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에 비해, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 수용부(20)에 유입한 기체가 수용부(20) 내에서 보다 확산한다는 것이 나타났다.
본 발명자는, 측정 대상의 기체의 습도의 변화에 대한, 온도 및 습도 측정부(26)의 측정 습도의 응답 속도에 대해 실험을 행하였다. 실험에서는, 본 발명자는, 온도 및 습도 측정부(26)에 의해, 오리피스(30)를 통과한 후의 기체의 습도와 필터(32)를 통과한 후의 기체의 습도를 측정하였다. 실험에서는, 오리피스(30)의 구멍의 직경이 0.25mm로 설정되었다. 실험에서는, 필터(32)의 외경이 1.0mm로 설정되었다.
첫 번째의 실험(이하, 실험 1)에서는, 실험 개시 전에 수용부(20)에 습도 5%의 기체를 충전하였다. 실험 개시 후 5초간, 수용부(20)에 습도 5%의 기체를 공급하였다. 실험 개시 후 5초 후에, 수용부(20)에 습도 45%의 기체의 공급을 개시하였다. 두 번째의 실험(이하, 실험 2)에서는, 실험 개시 전에 수용부(20)에 습도 45%의 기체를 충전하였다. 실험 개시 후 5초간, 수용부(20)에 습도 45%의 기체를 공급하였다. 실험 개시 후 5초 후에, 수용부(20)에 습도 5%의 기체의 공급을 개시하였다.
도 13a 및 도 13b는 실험 결과를 나타낸다. 도 13a는, 수용부(20)에 공급되는 기체의 습도가 5%에서 45%로 높아지도록 변화시키는 실험 1의 실험 결과를 나타낸다. 도 13b는, 수용부(20)에 공급되는 기체의 습도가 45%에서 5%로 낮아지도록 변화시키는 실험 2의 실험 결과를 나타낸다. 실험 1에서는, 오리피스(30)를 통과한 후의 기체의 측정 습도는, 필터(32)를 통과한 후의 기체의 측정 습도보다 빠르게 상승한다. 실험 2에서는, 오리피스(30)를 통과한 후의 기체의 측정 습도는, 필터(32)를 통과한 후의 기체의 측정 습도보다 빠르게 저하한다.
이러한 실험 결과로부터, 필터(32)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에 비해, 오리피스(30)가 공급 경로의 유로 저항을 증대시키는 경우에는, 측정 대상의 기체의 습도의 변화에 대한, 온도 및 습도 측정부(26)의 측정 대상의 기체의 측정 습도의 응답 속도가 향상하는 것이 나타났다.
[작용 효과]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는 하우징(12)에 표시부(14)가 고정된다. 표시부(14)는 표시기(54)를 갖는다. 표시기(54)는, 기체의 습도와, 기체의 온도와, 기체의 이슬점 온도를 표시한다. 이것에 의해, 유저는, 습도 측정 장치(10)가 설치된 장소에 있어서, 기체의 습도와, 기체의 온도와, 기체의 이슬점 온도를 확인할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 설정 습도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 습도(측정 습도)와의 비교결과를, 제1 출력부(44)가 외부 기기(46)에 출력한다. 이것에 의해, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는, 설정 습도와 측정 습도와의 비교결과를, 외부 기기(46)에 출력할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 설정 이슬점 온도와, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 이슬점 온도(산출 이슬점 온도)와의 비교결과를, 제1 출력부(44)가 외부 기기(46)에 출력한다. 이것에 의해, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는, 설정 이슬점 온도와 산출 이슬점 온도와의 비교결과를, 외부 기기(46)에 출력할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 습도(측정 습도)를, 제2 출력부(48)가 외부 기기(50)에 출력한다. 이것에 의해, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는 측정 습도를 외부 기기(50)에 출력할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 이슬점 온도(산출 이슬점 온도)를, 제2 출력부(48)가 외부 기기(50)에 출력한다. 이것에 의해, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는 산출 이슬점 온도를 외부 기기(50)에 출력할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 공급배관(22)으로부터 수용부(20)로 기체가 유입하는 방향과, 수용부(20)로부터 배기배관(24)으로 기체가 유출하는 방향이, 서로 다른 직선 상에 위치한다. 이것에 의해, 본 실시형태의 온도 및 습도 측정부(26)는, 기체의 습도의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 접속배관(28)이 오리피스(30)를 갖는다. 오리피스(30)의 구멍의 단면적은 배기배관(24)의 단면적보다 작다. 이것에 의해, 기체의 배출 경로의 유로 저항에 비해, 기체의 공급 경로의 유로 저항이 커진다. 그 때문에, 수용부(20) 내의 기체의 압력을 대기압으로 하는 것이 가능해진다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)에 의해 측정된 기체의 온도와 기체의 습도에 근거하여, 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는 접속배관(28)에 필터(32)가 부착된다. 더욱이, 오리피스(30)는 필터(32)보다 수용부(20) 측에 배치된다. 이것에 의해, 접속배관(28)의 오리피스(30)의 구멍이 이물로 막히는 것이 억제된다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는 필터(32)가 금속제이다. 이것에 의해, 필터(32)에 의한 기체로부터의 흡습을 억제할 수 있다. 그 때문에, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는 기체의 습도의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는, 접속부(18)에 필터(32)가 부착된 상태로, 유저가 접속부(18)를 본체부(16)로부터 분리하는 것이 가능하다. 유저는 습도 측정 장치(10)의 필터(32)의 교환을 용이하게 행할 수 있다.
[제2 실시형태]
도 14는 습도 측정 장치(10)를 나타낸다. 도 14는 하우징(12)을 단면도로 나타낸다. 도 14는 표시부(14)를 모식도로 나타낸다.
제1 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 접속부(18)의 내부에 형성된 접속배관(28)이 오리피스(30)를 갖는다(도 1). 이것에 비해, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 접속부(18)의 내부에 형성된 접속배관(28)은 오리피스를 가지지 않는다(도 14). 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 하우징(12)의 본체부(16)의 내부에 형성된 배기배관(24)이 오리피스(70)를 갖는다. 오리피스(70)는, 오리피스(70)의 구멍의 최소직경 부분의 단면적이 공급배관(22)의 단면적보다 작다. 오리피스(70)는, 오리피스(70)의 구멍의 최소직경 부분의 단면적이 접속배관(28)의 단면적보다 작다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 그 밖의 구성은, 제1 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 구성과 같다.
접속배관(28)이 구멍을 갖지 않고, 배기배관(24)이 오리피스(70)를 가지기 때문에, 수용부(20) 내의 기체의 압력은, 배관(36) 내의 압축기체의 압력, 또는 제습기(38)가 배출하는 압축기체의 압력과 대략 같아진다. 온도 및 습도 측정부(26)는 기체의 압력 하의 온도를 측정한다. 온도 및 습도 측정부(26)는 기체의 압력 하의 습도를 측정한다. 표시부(14)의 이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 압력 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 압력 하의 습도에 근거하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출한다.
[작용 효과]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 배기배관(24)이 오리피스(70)를 갖는다. 오리피스(70)의 구멍의 단면적은 공급배관(22)의 단면적보다 작다. 오리피스(70)는, 오리피스(70)의 구멍의 단면적이 접속배관(28)의 단면적보다 작다. 접속배관(28)이 오리피스를 갖지 않고, 배기배관(24)이 오리피스(70)를 가지기 때문에, 수용부(20) 내의 기체의 압력은, 배관(36) 내의 압축기체의 압력, 또는 제습기(38)가 배출하는 압축기체의 압력과 대략 같아진다. 온도 및 습도 측정부(26)는 기체의 압력 하의 온도를 측정 가능하다. 온도 및 습도 측정부(26)는 기체의 압력 하의 습도를 측정 가능하다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 압력 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 압력 하의 습도에 근거하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출할 수 있다.
[제3 실시형태]
도 15는 습도 측정 장치(10)의 제어 블럭도이다. 도 15의 제어 블럭도를 이용하여, 표시부(14)의 구성을 설명한다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)는, 이슬점 온도 산출부(40)와, 제1 출력부(44)와, 표시 제어부(52)와, 표시기(54)와, 통신부(72)를 갖는다. 이슬점 온도 산출부(40), 표시 제어부(52), 및 표시기(54)는, 제1 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 이슬점 온도 산출부(40), 표시 제어부(52), 및 표시기(54)와 같다.
통신부(72)는 외부 기기(46)와 통신을 행한다. 통신부(72)는, 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도를 외부 기기(46)로부터 수신한다. 통신부(72)는, 통신부(72)가 수신한 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도를 제1 출력부(44)에 출력한다. 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도는, 외부 기기(46)의 유저에 의해 설정된 값일 수도 있다. 설정 온도와, 설정 습도와, 설정 이슬점 온도는, 습도 측정 장치(10)의 출하시에, 외부 기기(46)의 제조자에 의해 설정된 값일 수도 있다.
제1 출력부(44)는, 설정 온도와 측정 온도와의 비교결과를, 통신부(72)에 출력한다. 제1 출력부(44)는, 설정 습도와 측정 습도와의 비교결과를, 통신부(72)에 출력한다. 제1 출력부(44)는, 설정 이슬점 온도와 산출 이슬점 온도와의 비교결과를, 통신부(72)에 출력한다.
통신부(72)는, 설정 온도와 측정 온도와의 비교결과를, 외부 기기(46)에 송신한다. 통신부(72)는, 설정 습도와 측정 습도와의 비교결과를, 외부 기기(46)에 송신한다. 통신부(72)는, 설정 이슬점 온도와 산출 이슬점 온도와의 비교결과를, 외부 기기(46)에 송신한다.
[작용 효과]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 표시부(14)가 통신부(72)를 갖는다. 통신부(72)는 외부 기기(46)와 통신을 행한다. 통신부(72)는 외부 기기(46) 측에서 설정된 각 설정값을 수신 가능하다. 이것에 의해, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 제1 출력부(44)가, 외부 기기(46)에 있어서 설정된 각 설정값과 측정 온도, 측정 습도 및 산출 이슬점 온도의 각각을 비교할 수 있다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 통신부(72)는, 제1 출력부(44)가 비교한 비교결과를, 외부 기기(46)에 송신할 수 있다.
[제4 실시형태]
도 16은 습도 측정 장치(10)를 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는 하우징(74)과 표시부(14)를 갖는다. 도 16은 하우징(74)을 단면도로 나타낸다. 도 16은 표시부(14)를 모식도로 나타낸다.
하우징(74)은 하우징(74)의 내부에 수용부(78)를 갖는다. 하우징(74)은 하우징(74)의 내부에 공급배관(80)을 갖는다. 하우징(74)은 하우징(74)의 내부에 배기배관(82)을 갖는다. 공급배관(80)은 수용부(78)에 접속된다. 배기배관(82)은 수용부(78)에 접속된다. 습도 측정 장치(10)의 측정 대상의 기체가, 공급배관(80)으로부터 수용부(78)에 공급된다. 수용부(78)에 공급된 기체는, 배기배관(82)으로부터 대기 중으로 배출된다. 수용부(78)에 있어서의 배기배관(82)의 개구부는, 수용부(78)에 있어서의 공급배관(80)의 개구부에 대해서, 공급배관(80)의 개구부의 직경 방향으로 오프셋되는 위치에 배치된다.
습도 측정 장치(10)는 전자 기판(84)를 갖는다. 전자 기판(84)은 하우징(74)과 표시부(14)와의 사이에 배치된다. 전자 기판(84)에는 온도 및 습도 측정부(26)가 장착된다. 온도 및 습도 측정부(26)는 수용부(78)에 수용된다.
공급배관(80)은 오리피스(86)를 갖는다. 공급배관(80)에는 필터(88)가 부착된다. 필터(88)는 금속제이다. 오리피스(86)는 필터(88)가 부착되는 위치보다 수용부(78)에 가까운 위치에 배치된다. 오리피스(86)는, 오리피스(86)의 구멍의 최소직경 부분의 단면적이 배기배관(82)의 단면적보다 작다. 그 때문에, 수용부(78)에 기체를 공급하는 경로(이하, 공급 경로)의 유로 저항보다, 수용부(78)로부터 기체를 배출하는 경로(이하, 배출 경로)의 유로 저항이 작다. 이것에 의해, 수용부(78) 내의 기체의 압력은 대기압이 된다. 온도 및 습도 측정부(26)는 수용부(78) 내의 기체의 온도를 측정한다. 온도 및 습도 측정부(26)는 수용부(78) 내의 기체의 습도를 측정한다. 온도 및 습도 측정부(26)는 측정한 기체의 온도 및 습도를 표시부(14)에 출력한다.
하우징(74)은 하우징(74)의 내부에 분기배관(90)을 갖는다. 분기배관(90)은 공급배관(80)과 접속된다. 공급배관(80)에 있어서의 분기배관(90)의 접속 위치는 공급배관(80)의 오리피스(86)와 필터(88)와의 사이이다. 전자 기판(84)에는, 압력 측정부(76)가 부착된다. 분기배관(90)은 오리피스(86)를 통과하기 전의 기체를 압력 측정부(76)에 공급한다. 압력 측정부(76)는 공급된 기체의 압력을 측정한다. 습도 측정 장치(10)가 배관(36)에 설치되는 경우에는, 압력 측정부(76)에 공급되는 기체의 압력은, 배관(36)을 유동하는 압축기체의 압력과 대략 같아진다. 습도 측정 장치(10)가 제습기(38)에 설치되는 경우에는, 압력 측정부(76)에 공급되는 기체의 압력은, 제습기(38)로부터 배출되는 압축기체의 압력과 대략 같아진다. 이것에 의해, 압력 측정부(76)는 측정 개소의 기체의 압력을 측정할 수 있다.
도 17은 습도 측정 장치(10)의 제어 블럭도이다. 도 17의 제어 블럭도를 이용하여 표시부(14)의 구성을 설명한다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)는, 이슬점 온도 산출부(40)와, 표시 제어부(52)와, 표시기(54)를 갖는다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)는, 제1 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)와 같다.
이슬점 온도 산출부(40)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도가 입력된다. 이슬점 온도 산출부(40)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도가 입력된다. 이슬점 온도 산출부(40)에는, 압력 측정부(76)가 측정한 기체의 압력이 입력된다. 습도 측정 장치(10)가 배관(36)에 설치되는 경우에는, 압력 측정부(76)는 배관(36) 내에서 유동하는 압축기체의 압력을 측정한다. 습도 측정 장치(10)가 제습기(38)에 설치되는 경우에는, 압력 측정부(76)는 제습기(38)로부터 배출되는 압축기체의 압력을 측정한다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도에 근거하여, 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출한다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를, 압력 측정부(76)가 측정한 기체의 압력에 따라 보정하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출한다.
[작용 효과]
기체의 절대 습도(기체에 포함되는 수분량)가 같더라도, 기체의 압력이 높을수록 이슬점 온도는 높아진다. 그 때문에, 온도 및 습도 측정부(26)에 접촉하는 기체의 압력이 높을수록, 온도 및 습도 측정부(26)에 물방울이 쉽게 부착된다. 온도 및 습도 측정부(26)에 물방울이 부착될 경우, 온도 및 습도 측정부(26)의 측정 습도가 이상(異常)값이 될 우려가 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는, 습도 측정 장치(10)가 기체의 습도 등을 측정하는 측정 위치에 있어서의 기체의 압력을 측정하는 압력 측정부(76)를 갖는다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도에 근거하여 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출한다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를, 압력 측정부(76)가 측정한 기체의 압력에 따라 보정하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출한다. 이것에 의해, 온도 및 습도 측정부(26)는 고압의 기체와 접촉하지 않기 때문에, 온도 및 습도 측정부(26)에의 물방울의 부착이 억제된다.
[제5 실시형태]
도 18은 습도 측정 장치(10)의 제어 블럭도이다. 도 18의 제어 블럭도를 이용하여 표시부(14)의 구성을 설명한다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)는, 이슬점 온도 산출부(40)와, 표시 제어부(52)와, 표시기(54)를 갖는다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)는, 제1 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)와 같다.
이슬점 온도 산출부(40)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도가 입력된다. 이슬점 온도 산출부(40)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도가 입력된다. 이슬점 온도 산출부(40)에는, 압력 측정부(92)가 측정한 기체의 압력이 입력된다.
압력 측정부(92)는 습도 측정 장치(10)의 외부에 설치된다. 습도 측정 장치(10)가 배관(36)에 설치되는 경우에는, 압력 측정부(92)는 배관(36) 내에서 유동하는 압축기체의 압력을 측정한다. 습도 측정 장치(10)가 제습기(38)에 설치되는 경우에는, 압력 측정부(92)는 제습기(38)로부터 배출되는 압축기체의 압력을 측정한다.
이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도에 근거하여, 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출한다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를, 압력 측정부(92)가 측정한 기체의 압력에 따라 보정하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출한다.
[작용 효과]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도에 근거하여 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출한다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를, 습도 측정 장치(10)의 외부에 설치된 압력 측정부(92)가 측정한 기체의 압력에 따라 보정하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출한다. 이것에 의해, 온도 및 습도 측정부(26)는 고압의 기체와 접촉하지 않기 때문에, 온도 및 습도 측정부(26)에의 물방울의 부착이 억제된다.
[제6 실시형태]
도 19는 습도 측정 장치(10)의 제어 블록도이다. 도 19의 제어 블럭도를 이용하여 표시부(14)의 구성을 설명한다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)는, 이슬점 온도 산출부(40)와, 표시 제어부(52)와, 표시기(54)와, 압력 입력부(94)를 갖는다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)는, 제1 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)와 같다.
압력 입력부(94)는 이슬점 온도 산출부(40)에 기체의 압력을 출력한다. 압력 입력부(94)가 이슬점 온도 산출부(40)에 출력하는 기체의 압력은 유저에 의해 설정된 값일 수도 있다. 압력 입력부(94)가 이슬점 온도 산출부(40)에 출력하는 기체의 압력은, 습도 측정 장치(10)의 출하시에, 습도 측정 장치(10)의 제조자에 의해 설정된 값일 수도 있다. 배관(36)에서 유동하는 압축기체의 압력이 대략 일정한 경우에는, 사전에 설정된 압력이 이슬점 온도 산출부(40)에 입력될 수도 있다. 마찬가지로, 제습기(38)가 배출하는 압축기체의 압력이 대략 일정한 경우에는, 사전에 설정된 압력이 이슬점 온도 산출부(40)에 입력될 수도 있다.
이슬점 온도 산출부(40)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도가 입력된다. 이슬점 온도 산출부(40)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도가 입력된다. 이슬점 온도 산출부(40)에는, 압력 입력부(94)로부터 기체의 압력이 입력된다.
이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도에 근거하여, 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출한다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를, 압력 입력부(94)로부터 입력된 기체의 압력에 따라 보정하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출한다.
[작용 효과]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 이슬점 온도 산출부(40)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 온도와, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 대기압 하의 습도에 근거하여 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를 산출한다. 이슬점 온도 산출부(40)는, 이슬점 온도 산출부(40)가 산출한 기체의 대기압하 이슬점 온도를, 압력 입력부(94)로부터 입력된 기체의 압력에 따라 보정하여, 기체의 압력하 이슬점 온도를 산출한다. 이것에 의해, 온도 및 습도 측정부(26)는 고압의 기체와 접촉하지 않기 때문에, 온도 및 습도 측정부(26)에의 물방울의 부착이 억제된다.
[제7 실시형태]
도 20은 습도 측정 장치(10)의 제어 블럭도이다. 도 20의 제어 블럭도를 이용하여 표시부(14)의 구성을 설명한다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)는, 표시 제어부(52)와, 표시기(54)와, 교환 판정부(96)와, 보정부(100)를 갖는다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)는, 제1 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 표시부(14)의 표시 제어부(52) 및 표시기(54)와 같다.
교환 판정부(96)에는, 제습기(38)가 교환되었을 경우에, 교환 정보 입력부(98)로부터 제습기(38)가 교환된 것을 나타내는 정보가 입력된다. 교환 정보 입력부(98)는 습도 측정 장치(10)의 외부에 설치된다. 교환 정보 입력부(98)는 제습기(38)가 가질 수도 있다. 교환 정보 입력부(98)로부터 제습기(38)가 교환된 것을 나타내는 정보가 교환 판정부(96)에 입력되었을 경우에는, 교환 판정부(96)는 제습기(38)가 교환되었다고 판정한다. 교환 정보 입력부(98)로부터 제습기(38)가 교환된 것을 나타내는 정보가 교환 판정부(96)에 입력되어 있지 않은 경우에는, 교환 판정부(96)는 제습기(38)가 교환되어 있지 않다고 판정한다.
보정부(100)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 습도가 입력된다. 보정부(100)에는, 교환 판정부(96)가 판정한 판정 결과가 입력된다. 보정부(100)는, 입력된 판정 결과에 따라, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 습도를 보정한다.
도 21은 교환 판정부(96) 및 보정부(100)에 있어서 실행되는 보정 처리의 흐름을 나타내는 플로차트이다. 보정 처리는 소정 주기로 반복해서 실행된다.
스텝 S1에 있어서, 교환 판정부(96)는, 이전의 주기에 있어서 스텝 S1의 처리가 실행되고 나서 이번 주기에 있어서 스텝 S1의 처리가 실행될 때까지의 사이에, 제습기(38)가 교환되었는지 아닌지를 판정한다. 교환 판정부(96)는, 교환 정보 입력부(98)로부터 제습기(38)가 교환된 것을 나타내는 정보가 입력되었을 때에, 제습기(38)가 교환되었다고 판정한다. 교환 판정부(96)가 제습기(38)가 교환되었다고 판정한 경우(스텝 S1: YES)에는, 보정 처리는 스텝 S2로 이행한다. 교환 판정부(96)가 제습기(38)가 교환되어 있지 않다고 판정한 경우(스텝 S1: NO)에는, 보정 처리는 스텝 S6으로 이행한다.
스텝 S2에 있어서, 보정부(100)는, 온도 및 습도 측정부(26)가 측정한 기체의 습도(측정 습도)가, 제1 역치(Th1) 이상인지 아닌지를 판정한다. 측정 습도가 제1 역치(Th1) 이상인 경우(스텝 S2: YES)에는, 보정 처리는 스텝 S7로 이행한다. 측정 습도가 제1 역치(Th1) 미만인 경우(스텝 S2: NO)에는, 보정 처리는 스텝 S3으로 이행한다.
스텝 S3에 있어서, 보정부(100)는, 측정 습도가 제2 역치(Th2) 이상인지 아닌지를 판정한다. 측정 습도가 제2 역치(Th2) 이상인 경우(스텝 S3: YES)에는, 보정 처리는 스텝 S4로 이행한다. 측정 습도가 제2 역치(Th2) 미만인 경우(스텝 S3: NO)에는, 보정 처리는 스텝 S6으로 이행한다. 제2 역치(Th2)는 제1 역치(Th1)보다 작은 값이다.
스텝 S4에 있어서, 보정부(100)는 측정 습도를 보정하여 새로운 측정 습도를 구한다. 그 후, 보정 처리는 스텝 S5로 이행한다. 이하에서는, 보정부(100)에 있어서 구해진 새로운 측정 습도를, 보정 습도라고 기재하는 경우가 있다.
스텝 S5에 있어서, 교환 판정부(96)는, 교환 정보 입력부(98)로부터 입력된 제습기(38)가 교환된 것을 나타내는 정보(제습기 교환 정보)를 클리어 한다. 그 후, 보정 처리는 스텝 S6으로 이행한다.
스텝 S6에 있어서, 보정부(100)는 측정 습도를 표시 제어부(52)에 출력한다. 그 후, 보정 처리는 종료한다.
스텝 S2에서 측정 습도가 제1 역치(Th1) 이상이라고 판정된(스텝 S2: YES) 후의 스텝 S7에 있어서, 보정부(100)는 에러 신호를 표시 제어부(52)에 출력한다. 그 후, 보정 처리는 종료한다. 표시 제어부(52)에 에러 신호가 입력된 경우에는, 표시 제어부(52)는 표시기(54)를 제어하여 유저에게 온도 및 습도 측정부(26)의 교환을 재촉하는 표시를 표시기(54)에 표시한다.
[작용 효과]
온도 및 습도 측정부(26)의 감습 소자는 감습막(感濕膜)을 갖는다. 감습막은, 감습막에 포함되는 수분량에 따라, 정전 용량이 변화한다. 감습 소자는 감습막의 정전 용량에 근거하여 기체의 습도를 측정한다.
감습막의 열화에 수반하여, 기체의 습도에 대응하는 감습막의 정전 용량이 변화한다. 그 원인은, 감습막 내로의 수분의 침투, 감습막의 오염 등이다. 그 때문에, 감습막의 열화에 수반하여, 온도 및 습도 측정부(26)의 측정 습도의 정밀도가 저하한다.
제습기(38)가 교환된 직후에 있어서, 제습기(38)에 의해 제습된 후의 기체의 습도는, 제습기(38)의 제습 성능에 따른 소정의 습도로 조정되어 있다고 생각될 수 있다. 온도 및 습도 측정부(26)의 측정 습도가 해당 소정의 습도보다 높은 경우에는, 감습막이 열화되어 있다고 생각될 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 제습기(38)가 교환되었다고 교환 판정부(96)가 판정한 경우이며, 측정 습도가 제2 역치 이상 제1 역치 미만인 경우에는, 보정부(100)는 측정 습도를 보정하여 보정 습도를 구한다. 이것에 의해, 감습막이 열화되어 있는 경우에도, 습도 측정 장치(10)는 기체의 습도의 정밀도를 유지할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 제습기(38)가 교환되었다고 교환 판정부(96)가 판정한 경우이며, 온도 및 습도 측정부(26)의 측정 습도가 제1 역치 이상인 경우에는, 표시 제어부(52)는 표시기(54)를 제어하여 유저에게 온도 및 습도 측정부(26)의 교환을 재촉하는 표시를 표시기(54)에 표시한다. 이것에 의해, 감습막의 열화가 심각한 경우에는, 습도 측정 장치(10)는 유저에게 온도 및 습도 측정부(26)의 교환을 재촉할 수 있다.
[제8 실시형태]
도 22 및 도 23은 습도 측정 장치(10)를 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는, 하우징(102)과, 표시부(14)와, 이음부(106)을 갖는다. 도 22 및 도 23은 하우징(102) 및 이음부(106)를 단면도로 나타낸다. 도 22 및 도 23은 표시부(14)를 모식도로 나타낸다.
하우징(102)은 본체부(108)와 접속부(110)를 갖는다. 본체부(108)는 본체부(108)의 내부에 수용부(112)를 갖는다. 이 수용부(112)는 본체부(108) 내에 형성된 공간이다.
습도 측정 장치(10)는 전자 기판(25)을 갖는다. 전자 기판(25)은 본체부(108)와 표시부(14)와의 사이에 배치된다. 전자 기판(25)에는, 온도 및 습도 측정부(26)가 부착된다. 온도 및 습도 측정부(26)는 수용부(112)에 수용된다. 온도 및 습도 측정부(26)는 감온 소자와 감습 소자가 하나의 집적회로 상에 탑재된 전자 부품이다. 감온 소자는 수용부(112) 내의 기체의 온도를 측정한다. 감습 소자는 수용부(112) 내의 기체의 습도를 측정한다. 온도 및 습도 측정부(26)는 측정한 기체의 온도 및 습도를 표시부(14)에 출력한다.
접속부(110)는 제1 접속배관(118) 및 제2 접속배관(120)을 갖는다. 제1 접속배관(118) 및 제2 접속배관(120)은 수용부(112)에 접속된다. 또, 제1 접속배관(118) 및 제2 접속배관(120)은 후술하는 이음부(106)의 이음배관(122)에 접속된다. 수용부(112)와 이음배관(122)과의 사이에 있어서, 제1 접속배관(118) 및 제2 접속배관(120)을 통하여 기체가 유동한다. 제1 접속배관(118)의 단면적과 제2 접속배관(120)의 단면적은 상이하다. 도 22에 도시된 바와 같이, 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적은, 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적보다 작다. 도 23에 도시된 바와 같이, 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적이, 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적보다 작을 수도 있다.
이음부(106)는, 이음부(106)의 내부에 이음배관(122) 및 관 설치부(124)를 갖는다. 이음배관(122)은 일 방향으로 연장되어 형성된다. 이음배관(122)의 양단 각각에는 관 설치부(124)가 접속된다. 관 설치부(124) 각각은 이음부(106)의 외부로 개구된다. 이음부(106)는 기체가 유동하는 관(126)(도 24)의 도중에 접속된다. 각각의 관 설치부(124)에는, 관(126)이 접속된다. 이음배관(122)은 관(126)과 관(126) 사이를 연결한다. 이것에 의해, 관(126)과 관(126) 사이에서, 이음배관(122)을 통하여, 기체가 유동 가능하게 된다.
이음배관(122)에는, 필터(128)가 부착된다. 필터(128)는, 이음배관(122)에 있어서의 기체의 흐름에 대해서, 상류에 위치하는 관 설치부(124)와 이음배관(122)과의 접속 부분에 배치된다. 이음배관(122)은 오리피스(130)를 갖는다. 오리피스(130)는, 오리피스(130)의 구멍의 최소직경 부분의 단면적이, 이음배관(122)의 다른 개소의 단면적보다 작다. 오리피스(130)는, 이음배관(122)에 있어서의 기체의 흐름에 대해서, 필터(128)보다 하류에 배치된다. 이하에서는, 이음배관(122) 중에서, 오리피스(130)보다 상류에 있어서의 부분을 제1 이음 실(室)(132)로 기재하는 경우가 있다. 또, 이음배관(122) 중에서, 오리피스(130)보다 하류에 있어서의 부분을 제2 이음 실(134)로 기재하는 경우가 있다.
필터(128)는 이음배관(122)의 상류측의 단부에 부착된다. 필터(128)에 의해, 이음배관(122)에 유입되는 기체에 혼입된 이물을 제거하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 이음배관(122) 내에 이물이 침입하는 것을 억제할 수 있다.
제1 이음 실(132)에 있어서, 전술한 제1 접속배관(118)은 이음배관(122)과 접속된다. 다시 말해서, 이음배관(122)에 있어서의 기체의 흐름에 대해서, 오리피스(130)보다 상류이며, 필터(128)와 오리피스(130)와의 사이에 있어서, 제1 접속배관(118)이 이음배관(122)에 접속된다. 제2 이음 실(134)에 있어서, 전술한 제2 접속배관(120)은 이음배관(122)과 접속된다. 다시 말해서, 이음배관(122)에 있어서의 기체의 흐름에 대해서, 오리피스(130)보다 하류에 있어서, 제2 접속배관(120)은 이음배관(122)에 접속된다.
도 24는 습도 측정 장치(10)에 관(126)이 접속된 상태를 나타내는 도면이다. 도 24의 화살표는 기체의 흐름을 나타낸다.
오리피스(130)에 의해, 제1 이음 실(132)의 압력은 제2 이음 실(134)의 압력보다 높아진다. 이것에 의해, 제1 접속배관(118)으로부터 수용부(112) 내에, 이음배관(122)의 기체를 유입시키는 것이 가능해진다. 제1 접속배관(118)의 직경의 단면적에 비해, 제2 접속배관(120)의 직경의 단면적은 작다. 그 때문에, 수용부(112)의 압력을, 제1 이음 실(132)의 압력과 대략 동일하게 하는 것이 가능해진다.
수용부(112)에는, 필터(128)를 통과한 후의 기체가 유입한다. 그 때문에, 수용부(112) 내에 이물이 침입하는 것을 억제할 수 있다.
표시부(14)의 구성은, 제1 실시형태, 제3 실시형태, 제5 실시형태, 제6 실시형태, 또는 제7 실시형태의 표시부(14)의 구성과 같다.
[습도의 측정 정밀도에 대해]
본 발명자는, 제1 이음 실(132), 제2 이음 실(134) 및 수용부(112)의 습도에 대해, 컴퓨터를 이용하여 시뮬레이션을 행하였다. 도 25, 도 26 및 도 27은 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 도 25는, 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적과, 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적이 동일한 경우에 있어서의 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 도 26은, 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적이, 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적보다 작은 경우에 있어서의 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 도 27은, 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적이, 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적보다 작은 경우에 있어서의 시뮬레이션 결과를 나타낸다. 시뮬레이션에서는, 제1 이음 실(132)에 습도 88%의 기체를 유입시켰다.
제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적과, 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적이 동일한 경우, 도 25에 도시된 바와 같이, 수용부(112)의 습도는 제1 이음 실(132)의 습도보다 낮다. 한편, 수용부(112)의 습도는 제2 이음 실(134)의 습도보다 높다. 즉, 수용부(112)의 습도는, 제1 이음 실(132)의 습도, 및 제2 이음 실(134)의 습도의 양쪽 모두와 다르다. 그 때문에, 수용부(112)에 설치된 온도 및 습도 측정부(26)는, 관(126)의 내부에서 유동하는 기체의 습도를 측정할 수 있지만, 그 정밀도는 낮다. 또한, 이 경우, 수용부(112)의 압력은 제1 이음 실(132)의 압력보다 낮다. 한편, 수용부(112)의 압력은 제2 이음 실(134)의 압력보다 높다.
제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적이 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적보다 작은 경우, 도 26에 도시된 바와 같이, 수용부(112)의 습도는 제1 이음 실(132)의 습도와 대략 동일하다. 한편, 수용부(112)의 습도는 제2 이음 실(134)의 습도보다 높다. 그 때문에, 수용부(112)에 설치된 온도 및 습도 측정부(26)는, 오리피스(130)보다 상류에 있어서 관(126)의 내부에서 유동하는 기체의 습도를 높은 정밀도로 계측할 수 있다. 또한, 이 경우, 수용부(112)의 압력은 제1 이음 실(132)의 압력과 대략 동일하다. 한편, 수용부(112)의 압력은 제2 이음 실(134)의 압력보다 높다.
제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적이 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적보다 작은 경우, 도 27에 도시된 바와 같이, 수용부(112)의 습도는 제2 이음 실(134)의 습도와 대략 동일하다. 한편, 수용부(112)의 습도는 제1 이음 실(132)의 습도보다 낮다. 그 때문에, 수용부(112)에 설치된 온도 및 습도 측정부(26)는, 오리피스(130)보다 하류에 있어서 관(126)의 내부에서 유동하는 기체의 습도를 높은 정밀도로 계측할 수 있다. 또한, 이 경우, 수용부(112)의 압력은 제2 이음 실(134)의 압력과 대략 동일하다. 한편, 수용부(112)의 압력은 제1 이음 실(132)의 압력보다 낮다.
[작용 효과]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는 관(126)의 도중에 접속되는 이음부(106)를 갖는다. 이음부(106)의 이음배관(122)과 하우징(102)의 수용부(112)는, 제1 접속배관(118) 및 제2 접속배관(120)에 의해 접속된다. 제1 접속배관(118)은 오리피스(130)의 상류에 있어서 이음배관(122)에 접속된다. 제2 접속배관(120)은 오리피스(130)의 하류에 있어서 이음배관(122)에 접속된다.
이것에 의해, 이음배관(122)에서 유동하는 기체가 분기되어, 제1 접속배관(118)으로부터 수용부(112)로 보내진다. 그 때문에, 온도 및 습도 측정부(26)는, 관(126)과 동일한 압력 하에 있어서, 수용부(112)의 기체의 습도를 측정할 수 있다. 그 결과, 습도 측정 장치(10)는 관(126)에서 유동하는 기체의 습도를 측정할 수 있다. 또, 관(126)에 유동하는 기체에 혼입된 물방울 등이 수용부(112)에 침입하는 것을 억제할 수 있다. 그 결과, 온도 및 습도 측정부(26)가 오염되는 것을 억제할 수 있다.
또, 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 관(126)에서 유동하는 기체가, 이음배관(122)으로부터 제1 접속배관(118)을 통해 수용부(112)에 유입한다. 수용부(112)에 유입한 기체는 제2 접속배관(120)을 통해 이음배관(122)으로 돌아온다. 그 때문에, 관(126)을 유동하는 기체가 외부로 배출되지 않는다. 그 결과, 기체의 감소를 억제할 수 있다.
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)는, 제1 접속배관(118)의 단면적과, 제2 접속배관(120)의 단면적이 다르다. 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적을 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적보다 작게 할 경우, 온도 및 습도 측정부(26)는, 오리피스(130)보다 상류에 있어서 관(126)의 내부에서 유동하는 기체의 습도를 높은 정밀도로 계측할 수 있다. 제1 접속배관(118)의 최소직경 부분의 단면적을 제2 접속배관(120)의 최소직경 부분의 단면적보다 작게 할 경우, 온도 및 습도 측정부(26)는, 오리피스(130)보다 하류에 있어서 관(126)의 내부에서 유동하는 기체의 습도를 높은 정밀도로 계측할 수 있다.
[제9 실시형태]
도 28은 습도 측정 장치(10)를 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는, 하우징(102)과, 표시부(14)와, 이음부(106)를 갖는다. 도 28은 하우징(102) 및 이음부(106)를 단면도로 나타낸다. 도 28은 표시부(14)를 모식도로 나타낸다.
전자 기판(25)에는 플로우 센서(136)가 부착된다. 플로우 센서(136)는 하우징(102)의 수용부(112)에 수용된다. 플로우 센서(136)는 수용부(112)에서 유동하는 기체의 유량을 검출한다. 수용부(112)에서 흐르는 기체의 유량으로부터 관(126)에서 유동하는 기체의 유량을 구할 수 있다. 플로우 센서(136)는, 센서, 서미스터(Thermistor), 백금 등으로부터 구성된다. 센서는, MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)에 의해 구성된다. 본 실시형태의 습도 측정 장치(10)의 그 밖의 구성에 대해서는, 제8 실시형태의 습도 측정 장치(10)와 같다.
[작용 효과]
본 실시형태의 습도 측정 장치(10)에서는, 하우징(102)의 수용부(112)에 플로우 센서(136)가 수용된다. 이것에 의해, 관(126)에서 유동하는 기체의 유량을 구할 수 있다.
[제10 실시형태]
도 29는 습도 측정 장치(10)를 나타낸다. 습도 측정 장치(10)는, 하우징(102)과, 표시부(14)와, 이음부(106)를 갖는다. 도 29는 하우징(102) 및 이음부(106)를 단면도로 나타낸다. 도 29는 표시부(14)를 모식도로 나타낸다.
이음배관(122)에는, 필터(128) 및 필터(138)가 부착된다. 필터(138)는, 오리피스(130)를 사이에 두고, 필터(128)와 반대쪽에 배치된다. 필터(128)는 이음배관(122)과 관 설치부(124)와의 접속 부분에 부착된다. 필터(138)는 이음배관(122)과 관 설치부(124)와의 접속 부분에 부착된다.
필터(128)는 이음배관(122)의 일단부에 부착되고, 필터(138)는 이음배관(122)의 타단부에 부착된다. 이것에 의해, 기체가 유동하는 방향이 전환되는 경우에도, 필터(128) 또는 필터(138)에 의해, 이음배관(122)에 유입하는 기체에 혼입된 이물을 제거하는 것이 가능해진다. 이것에 의해, 이음배관(122) 내에 이물이 침입하는 것을 억제할 수 있다.
또한, 본 발명은, 전술한 실시형태에 한정되지 않으며, 본 발명의 요지를 일탈하는 일 없이, 다양한 구성을 채택할 수 있다.
[실시형태로부터 얻을 수 있는 기술적 사상]
상기 실시형태로부터 파악할 수 있는 기술적 사상에 대해, 이하에 기재한다.
기체의 습도를 측정하는 습도 측정 장치(10)로서, 해당 습도 측정 장치는, 온도를 측정하는 감온 소자 및 습도를 측정하는 감습 소자를 가지는 측정부(26)와, 상기 측정부가 수용되는 수용부(20)를 가지는 하우징(12)과, 표시기(54)를 갖고 상기 하우징에 고정된 표시부(14)를 포함하며, 상기 표시부는, 상기 표시기를 제어하여, 상기 감온 소자가 측정한 상기 기체의 온도와 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도에 근거하여 산출된 상기 기체의 이슬점 온도, 및 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도 중 적어도 하나를 상기 표시기에 표시하는 표시 제어부(52)를 갖는다. 이것에 의해, 유저는, 습도 측정 장치가 설치된 장소에 있어서, 기체의 습도, 기체의 이슬점 온도 중 적어도 하나를 확인할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 표시부는, 상기 기체의 이슬점 온도와 설정 이슬점 온도와의 비교결과, 및 상기 기체의 습도와 설정 습도와의 비교결과 중 적어도 하나를, 상기 습도 측정 장치의 외부의 기기(46)에 출력하는 제1 출력부(44)를 가질 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는, 기체의 이슬점 온도와 설정 이슬점 온도와의 비교결과, 및 기체의 습도와 설정 습도와의 비교결과 중 적어도 하나를, 외부의 기기에 출력할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 표시부는, 상기 기체의 이슬점 온도, 및 상기 기체의 습도 중 적어도 하나를, 상기 습도 측정 장치의 외부의 기기(50)에 출력하는 제2 출력부(48)를 가질 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는, 기체의 이슬점 온도, 및 기체의 습도 중 적어도 하나를, 습도 측정 장치의 외부의 기기에 출력할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 하우징은, 상기 기체의 습도를 측정하는 측정 개소의 상기 기체를 상기 수용부에 공급하는 공급배관(22)과, 상기 수용부의 상기 기체를 대기 중에 배출하는 배기배관(24)을 가지며, 상기 공급배관으로부터 상기 수용부에 상기 기체가 유입하는 방향과, 상기 수용부로부터 상기 배기배관에 상기 기체가 유출하는 방향이 상이한 직선 상에 위치하도록, 상기 공급배관 및 상기 배기배관이 상기 수용부에 접속될 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는 기체의 습도의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 하우징은, 상기 측정 개소와 상기 공급배관과의 사이를 상기 기체가 유동 가능하게 연결하는 접속배관(28)을 가지며, 상기 접속배관에는 필터(32)가 부착되고, 상기 접속배관은 오리피스(30)를 갖고, 상기 오리피스는 상기 필터보다 상기 수용부 측에 배치되고, 상기 오리피스는, 해당 오리피스의 구멍의 단면적이 상기 배기배관의 단면적보다 작게 형성될 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는 수용부 내의 기체의 압력을 대기압으로 할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 표시부는, 상기 측정 개소에 있어서의 상기 기체의 압력을 입력하는 압력 입력부(94)와, 상기 감온 소자가 측정한 상기 기체의 온도와, 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도와, 상기 압력 입력부가 입력한 상기 기체의 압력에 근거하여, 상기 이슬점 온도로서 압력하 이슬점 온도를 산출하는 이슬점 온도 산출부(40)를 가질 수도 있다. 이것에 의해, 측정부가 고압의 기체에 접하지 않게 되기 때문에, 측정부로의 물방울의 부착이 억제된다.
상기의 습도 측정 장치는, 상기 측정 개소에 있어서의 상기 기체의 압력을 측정하는 압력 측정부(76)를 가지며, 상기 표시부는, 상기 감온 소자가 측정한 상기 기체의 온도와, 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도와, 상기 압력 측정부가 측정한 상기 기체의 압력에 근거하여, 상기 이슬점 온도로서 압력하 이슬점 온도를 산출하는 이슬점 온도 산출부를 가질 수도 있다. 이것에 의해, 측정부가 고압의 기체에 접하지 않게 되기 때문에, 측정부로의 물방울의 부착이 억제된다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 하우징은, 상기 측정 개소와 상기 공급배관과의 사이를 상기 기체가 유동 가능하게 연결하는 접속배관을 가지며, 상기 접속배관에는 필터가 부착되고, 상기 배기배관은 오리피스(70)를 갖고, 상기 오리피스는, 해당 오리피스의 구멍의 단면적이 상기 공급배관의 단면적보다 작게 형성될 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는 수용부 내에 압축된 기체를 충전할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 필터는 금속제일 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는 기체의 습도의 측정 정밀도를 향상시킬 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 하우징은, 상기 공급배관을 가지는 본체부(16)와, 상기 접속배관을 가지는 접속부(18)를 포함하며, 상기 접속부에 상기 필터가 부착된 상태에서 상기 접속부를 상기 본체부로부터 분리 가능하게, 상기 접속부는 상기 본체부에 장착될 수도 있다. 이것에 의해, 유저는 습도 측정 장치의 필터의 교환을 용이하게 행할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 기체의 습도를 측정하는 측정 개소에 있어서의 상기 기체는, 상기 기체를 제습하는 제습기(38)로부터 배출된 상기 기체이며, 상기 표시부는, 상기 제습기가 교환되었는지 아닌지를 판정하는 교환 판정부(96)와, 상기 제습기가 교환되었다고 판정된 직후에 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도가 역치보다 높은 경우에는, 그 이후에 있어서, 상기 제습기가 교환되었다고 판정된 직후에 상기 감습 소자에 의해 측정된 상기 기체의 습도와, 교환된 상기 제습기의 제습 능력에 근거하여, 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도를 보정하는 보정부(100)를 가질 수도 있다. 감습막이 열화되어 있는 경우에도, 습도 측정 장치는 기체의 습도의 정밀도를 유지할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 기체의 습도를 측정하는 측정 개소에 있어서의 상기 기체는, 상기 기체를 제습하는 제습기로부터 배출된 상기 기체이며, 상기 표시부는, 상기 제습기가 교환되었는지 아닌지를 판정하는 교환 판정부를 포함하며, 상기 제습기가 교환되었다고 판정된 직후에 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도가 역치보다 높은 경우에는, 상기 표시 제어부는, 상기 표시기를 제어하여, 유저에게 상기 측정부의 교환을 재촉하는 표시를 상기 표시기에 표시할 수도 있다. 이것에 의해, 감습막의 열화가 심각한 경우에는, 습도 측정 장치는 유저에게 측정부의 교환을 재촉할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 기체가 유동하는 관(126)의 도중에 접속되는 이음부(106)를 가지며, 상기 이음부는 상기 관과 상기 관을 연결하여, 상기 관과 상기 관 사이에 있어서 상기 기체를 유동 가능하게 하는 이음배관(122)을 갖고, 상기 이음배관에는 필터(128)가 부착되고, 상기 이음배관은 오리피스(130)를 갖고, 상기 오리피스는, 상기 이음배관에 있어서의 상기 기체의 흐름에 대해서, 상기 필터보다 하류에 배치되고, 상기 하우징은, 상기 이음배관과 상기 수용부를 연결하고, 상기 이음배관과 상기 수용부와의 사이에 있어서 상기 기체를 유동 가능하게 하는 제1 배관(118) 및 제2 배관(120)을 갖고, 상기 제1 배관은, 상기 이음배관에 있어서의 상기 기체의 흐름에 대해서, 상기 오리피스보다 상류이며 상기 필터와 상기 오리피스와의 사이에 있어서 상기 이음배관에 접속되고, 상기 제2 배관은, 상기 이음배관에 있어서의 상기 기체의 흐름에 대해서, 상기 오리피스보다 하류에 있어서 상기 이음배관에 접속될 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는 관에서 유동하는 기체의 습도를 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 제1 배관의 단면적과, 상기 제2 배관의 단면적이 상이할 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는 관에서 유동하는 기체의 습도를 높은 정밀도로 측정할 수 있다.
상기의 습도 측정 장치로서, 상기 기체의 유량을 측정하는 플로우 센서(136)를 가지며, 상기 플로우 센서는 상기 수용부에 수용될 수도 있다. 이것에 의해, 습도 측정 장치는 관에서 유동하는 기체의 유량을 구할 수 있다.

Claims (4)

  1. 기체의 습도를 측정하는 습도 측정 장치로서,
    온도를 측정하는 감온 소자 및 습도를 측정하는 감습 소자를 가지는 측정부와,
    상기 측정부가 수용되는 수용부를 가지는 하우징과,
    표시기를 갖고, 상기 하우징에 고정된 표시부와,
    상기 기체가 유동하는 관의 도중에 접속되고, 상기 관과 상기 관 사이에 있어서 상기 기체를 유동 가능하게 하는 이음배관
    을 포함하며,
    상기 이음배관은 오리피스를 갖고,
    상기 이음배관에는 필터가 부착되고,
    상기 하우징은, 상기 이음배관과 상기 수용부를 연결하고, 상기 이음배관과 상기 수용부와의 사이에 있어서 상기 기체를 유동 가능하게 하는 제1 배관 및 제2 배관을 갖는, 습도 측정 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 배관의 단면적과 상기 제2 배관의 단면적은 상이한, 습도 측정 장치.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 기체의 유량을 측정하는 플로우 센서를 가지며,
    상기 플로우 센서는 상기 수용부에 수용되는, 습도 측정 장치.
  4. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 표시부는, 상기 표시기를 제어하여, 상기 감온 소자가 측정한 상기 기체의 온도와 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도에 근거하여 산출된 상기 기체의 이슬점 온도, 및 상기 감습 소자가 측정한 상기 기체의 습도 중 적어도 하나를, 상기 표시기에 표시하는 표시 제어부를 가지는, 습도 측정 장치.
KR1020230180455A 2021-06-22 2023-12-13 습도 측정 장치 KR20240001080A (ko)

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2021-103308 2021-06-22
JP2021103308 2021-06-22
JP2022073321A JP2023002455A (ja) 2021-06-22 2022-04-27 湿度測定装置
JPJP-P-2022-073321 2022-04-27
KR1020220074678A KR20220170367A (ko) 2021-06-22 2022-06-20 습도 측정 장치

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220074678A Division KR20220170367A (ko) 2021-06-22 2022-06-20 습도 측정 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240001080A true KR20240001080A (ko) 2024-01-03

Family

ID=82608053

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220074678A KR20220170367A (ko) 2021-06-22 2022-06-20 습도 측정 장치
KR1020230180455A KR20240001080A (ko) 2021-06-22 2023-12-13 습도 측정 장치

Family Applications Before (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220074678A KR20220170367A (ko) 2021-06-22 2022-06-20 습도 측정 장치

Country Status (6)

Country Link
US (2) US20220404304A1 (ko)
EP (4) EP4257884A3 (ko)
JP (1) JP2024020429A (ko)
KR (2) KR20220170367A (ko)
CN (2) CN117686662A (ko)
TW (1) TW202307424A (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN116559093B (zh) * 2023-07-10 2023-09-15 广州兰泰仪器有限公司 一种气体水分测定方法及系统

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7736051B2 (en) * 2004-03-30 2010-06-15 Yamatake Corporation Thermoelectric device and mirror surface state detection device
JP2009109089A (ja) * 2007-10-31 2009-05-21 Daikin Ind Ltd 調湿装置
US8107080B2 (en) * 2009-05-11 2012-01-31 Thermo Fisher Scientific Inc. Environmental control of fluid samples, calibration, and detection of concentration levels
US8726721B2 (en) * 2011-08-03 2014-05-20 Charles Mitchell Minges Apparatus and method for monitoring and sampling air quality in an interior space of a wall
US9709294B2 (en) * 2012-09-20 2017-07-18 Consolidated Energy Solutions Inc. Air conditioning system for dehumidifying and cooling air
JP6386589B2 (ja) 2015-01-08 2018-09-05 日立オートモティブシステムズ株式会社 湿度測定装置
AU2017200887B2 (en) * 2016-02-12 2022-03-17 Worth, Brian MR Portable gas detecting and monitoring apparatus
US10816522B2 (en) * 2017-07-07 2020-10-27 Acrulog Pty. Ltd. Continuous gas detection and monitoring apparatus for harsh environments

Also Published As

Publication number Publication date
US20240110862A1 (en) 2024-04-04
EP4109051A3 (en) 2023-02-15
EP4317808A2 (en) 2024-02-07
TW202307424A (zh) 2023-02-16
EP4269883A2 (en) 2023-11-01
JP2024020429A (ja) 2024-02-14
US20220404304A1 (en) 2022-12-22
CN115508504A (zh) 2022-12-23
CN117686662A (zh) 2024-03-12
KR20220170367A (ko) 2022-12-29
EP4257884A3 (en) 2023-11-08
EP4317808A3 (en) 2024-04-10
EP4257884A2 (en) 2023-10-11
EP4109051A2 (en) 2022-12-28
EP4269883A3 (en) 2023-11-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20240001080A (ko) 습도 측정 장치
JP6849284B2 (ja) 液体流制限手段を有する装置
US8336576B2 (en) Compressed air supply device for motor vehicles
CN110720037B (zh) 用于产生医用压缩空气的设置的监测装置
JP5405599B2 (ja) 吸込み式漏れ検出器
MX2011009512A (es) Aparato, sistema y metodo para medir la resistencia de un inhalador.
KR102091991B1 (ko) 압력 센서들에 의한 연료 전지 입구 습기의 검출, 및 가습기 바이패스의 질량 흐름률에 따른 제어
CN109724667B (zh) 容器内液体体积百分比的检测方法和系统以及具有该系统的分配器
KR20080047570A (ko) 필터 장치
WO2019163350A1 (ja) 検出装置
US7340966B2 (en) Sensor with water ingress protection
US10859426B2 (en) Method of inspecting flow rate measuring system
JP2007117859A (ja) 空気浄化装置
JP2023002455A (ja) 湿度測定装置
CN114761776A (zh) 包括干燥室的相对压力传感器
WO2021039305A1 (ja) 元素分析計
JP5100168B2 (ja) ポータブル型脈動計
JP6122890B2 (ja) 試験ガス生成装置
JP2005077310A (ja) 気体測定装置及びその自己診断方法
JP7361607B2 (ja) 気体中に存在する酸素の量を測定するためのデバイス、およびそのような測定デバイスを備える空気分離モジュール
SE535494C2 (sv) Koaxiellt flödesmätarelement och förfarande för att mäta ett flöde
JP2024037351A (ja) 水蒸気検知器付の膜式エアドライヤ
JP6148865B2 (ja) 排ガス浄化フィルタの圧力損失測定装置
JP2018044499A (ja) 漏れ検査装置および漏れ検査方法
SU1024090A1 (ru) Способ проверки герметичности мембранного оксигенатора

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent