TW202348947A - 熱擴散裝置及電子機器 - Google Patents

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福田浩士
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日商村田製作所股份有限公司
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Abstract

本發明之目的在於提供一種可提高導熱率及最大熱輸送量之熱擴散裝置。 本發明之熱擴散裝置1A具備:殼體10,其具有與厚度方向T對向之第1內表面10a及第2內表面10b,且設置有內部空間;作動媒體20,其封入殼體10之內部空間;隔離壁30,其與自厚度方向T觀察時之殼體10之內緣15空出間隔,沿內緣15之至少一部分設置於殼體10之第1內表面10a;及毛細結構芯40,其一部分設置於殼體10之第2內表面10b與隔離壁30之間,且沿隔離壁30之至少一部分設置;且於觀察沿與厚度方向T正交之第1方向之同一剖面時,殼體10之內緣15包含與第1方向對向之第1內緣部15a、及第2內緣部15b;隔離壁30包含:第1隔離壁部30a,其設置於第1內緣部15a側;及第2隔離壁部30b,其設置於第2內緣部15b側;毛細結構芯40包含:第1毛細結構芯部40a,其設置於殼體10之第2內表面10b與第1隔離壁部30a之間;及第2毛細結構芯部40b,其設置於殼體10之第2內表面10b與第2隔離壁部30b之間;且於將第1毛細結構芯部40a中之第2內緣部15b側之端部40ap、與第2毛細結構芯部40b中之第1內緣部15a側之端部40bp之間於第1方向之最小距離定義為A,將第1隔離壁部30a中位於殼體10之第2內表面10b側且第2內緣部15b側之端部30ap、與第2隔離壁部30b中位於殼體10之第2內表面10b側且第1內緣部15a側之端部30bp之間於第1方向之距離定義為B時,滿足A<B之關係。

Description

熱擴散裝置及電子機器
本發明係關於一種熱擴散裝置及電子機器。
近年,藉由元件之高積體化及高性能化,發熱量增加。又,藉由製品之小型化,發熱密度增加。此種狀況於智慧型手機、平板等移動終端之領域中特別顯著。自此種事情而言,進行散熱對策較為重要。
作為散熱對策用之構件,大多使用石墨片材等,但因其熱輸送量不充分,故研討可使熱擴散之各種熱擴散裝置之使用。
於專利文獻1中,揭示有一種熱擴散板,其特徵在於,於薄板狀之本體部之一部分設置自外部傳遞熱之加熱部,於使傳遞至加熱部之熱自加熱部擴散至本體部之其他部分之熱擴散板中,複數條中空路以通過加熱部之方式形成於本體部之內部,且各中空路於加熱部相互連通,對中空路之內部,封入加熱蒸發且散熱冷凝之作動流體,於各中空路之內部,藉由浸透液相之作動流體而產生毛細管力之毛細結構芯,以於各中空路之內部打開作動流體之蒸汽流動之蒸汽流路之狀態配置,各毛細結構芯之一部分位於加熱部,且形成於各中空路之內部之各蒸汽流路於加熱部相互連通。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2016-223673號公報
[發明所欲解決之問題]
於專利文獻1所記載之熱擴散板中,如專利文獻1之圖1或圖4所示,多數毛細結構芯(以下,稱為毛細結構芯)設置於本體部之內部。因此,於專利文獻1所記載之熱擴散板般之熱擴散裝置中,因佔據本體部之內部之蒸汽流路之區域受限制,故除均熱區域減少外,亦產生導熱率本身降低之問題。
本發明係為解決上述問題而完成者,其目的在於提供一種可提高導熱率及最大熱輸送量之熱擴散裝置。又,本發明之目的在於提供一種具有上述熱擴散裝置之電子機器。 [解決問題之技術手段]
本發明之熱擴散裝置之特徵在於具備:殼體,其具有與厚度方向對向之第1內表面及第2內表面,且設置有內部空間;作動媒體,其被封入上述殼體之上述內部空間;隔離壁,其與自上述厚度方向觀察時之上述殼體之內緣空出間隔,沿上述內緣之至少一部分設置於上述殼體之上述第1內表面;及毛細結構芯,其一部分設置於上述殼體之上述第2內表面與上述隔離壁之間,且沿上述隔離壁之至少一部分設置;且於觀察沿與上述厚度方向正交之第1方向之同一剖面時,上述殼體之上述內緣包含與上述第1方向對向之第1內緣部、與第2內緣部;上述隔離壁包含:第1隔離壁部,其設置於上述第1內緣部側;及第2隔離壁部,其設置於上述第2內緣部側;上述毛細結構芯包含:第1毛細結構芯部,其設置於上述殼體之上述第2內表面與上述第1隔離壁部之間;及第2毛細結構芯部,其設置於上述殼體之上述第2內表面與上述第2隔離壁部之間;於將上述第1毛細結構芯部中之上述第2內緣部側之端部、與上述第2毛細結構芯部中之上述第1內緣部側之端部之間於上述第1方向之最小距離定義為A,將上述第1隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第2內緣部側之端部、與上述第2隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第1內緣部側之端部之間於上述第1方向之距離定義為B時,滿足A<B之關係。
本發明之電子機器之特徵在於具備:本發明之熱擴散裝置;及電子零件,其設置於上述熱擴散裝置之上述殼體之外表面。 [發明之效果]
根據本發明,可提供一種可提高導熱率及最大熱輸送量之熱擴散裝置。又,根據本發明,可提供一種具有上述熱擴散裝置之電子機器。
以下,就本發明之熱擴散裝置、及本發明之電子機器進行說明。另,本發明並非限定於以下之構成者,亦可於不脫離本發明之主旨之範圍內適當變更。又,本發明亦為將以下所記載之各個較佳之構成組合複數個者。
以下所示之各實施形態為例示,當然可進行不同之實施形態所示之構成之部分之置換或組合。於實施形態2之後,省略對與實施形態1共通之事項之記載,主要說明不同之點。尤其,不於每實施形態逐次言及同樣之構成之同樣之作用效果。
於以下之說明中,不特別區分各實施形態之情形時,僅稱為「本發明之熱擴散裝置」及「本發明之電子機器」。
於以下之各實施形態中,作為本發明之熱擴散裝置之一例,顯示蒸汽腔室。本發明之熱擴散裝置亦可應用於熱管等之熱擴散裝置。
以下所示之圖式係模式圖,有其尺寸、縱橫比之比例尺等與實際製品不同之情形。
[熱擴散裝置] 本發明之熱擴散裝置之特徵在於具備:殼體,其具有與厚度方向對向之第1內表面及第2內表面,且設置有內部空間;作動媒體,其被封入殼體之內部空間;隔離壁,其與自厚度方向觀察時之殼體之內緣空出間隔,沿內緣之至少一部分設置於殼體之第1內表面;及毛細結構芯,其一部分設置於殼體之第2內表面與隔離壁之間,且沿隔離壁之至少一部分設置;且於觀察沿與厚度方向正交之第1方向之同一剖面時,殼體之內緣包含與第1方向對向之第1內緣部、與第2內緣部;隔離壁包含:第1隔離壁部,其設置於第1內緣部側;及第2隔離壁部,其設置於第2內緣部側;毛細結構芯包含:第1毛細結構芯部,其設置於殼體之第2內表面與第1隔離壁部之間;及第2毛細結構芯部,其設置於殼體之第2內表面與第2隔離壁部之間;於將第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離定義為A,將第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部之間於第1方向之距離定義為B時,滿足A<B之關係。
<實施形態1> 以下作為本發明之實施形態1之熱擴散裝置,說明本發明之熱擴散裝置之一例。
圖1係顯示本發明之實施形態1之熱擴散裝置之一例之立體模式圖。
圖1所示之蒸汽腔室(熱擴散裝置)1A具有殼體10。
殼體10被密封為氣密狀態,具有中空構造。
於殼體10之外表面,設置有發熱元件即熱源HS。
作為熱源HS,列舉例如電子零件等。
本說明書中,如圖1等所示,將長度方向、厚度方向、及寬度方向分別設為由L、T、及W規定之方向。長度方向L與厚度方向T與寬度方向W相互正交。又,將與厚度方向T正交之方向,即包含長度方向L及寬度方向W之方向設為面方向。
蒸汽腔室1A作為整體較佳為面狀。即,殼體10作為整體較佳為面狀。
本說明書中,面狀係包含板狀及片材狀之形狀,意指長邊方向之尺寸及寬度方向之尺寸相對於厚度方向之尺寸相當大之形狀,例如長度方向之尺寸及寬度方向之尺寸為厚度方向之尺寸之10倍以上,較佳為100倍以上之形狀。
蒸汽腔室1A之大小不特別限定。
蒸汽腔室1A之長度方向L之尺寸及寬度方向W之尺寸分別較佳為5 mm以上且500 mm以下,更佳為20 mm以上且300 mm以下,進而較佳為50 mm以上且200 mm以下。
蒸汽腔室1A之長度方向L之尺寸及寬度方向W之尺寸可相互相同,亦可相互不同。
蒸汽腔室1A之厚度方向T之尺寸較佳為50 μm以上且500 μm以下。
蒸汽腔室1A之長度方向L之尺寸、厚度方向T之尺寸、及寬度方向W之尺寸分別作為長度方向L、厚度方向T、及寬度方向W之最大尺寸規定。
殼體10較佳由接合有外緣部彼此之第1片材11及第2片材12構成。於該情形時,第1片材11與第2片材12可以端部彼此一致之方式重疊,亦可端部彼此偏移重疊。
作為第1片材11及第2片材12之外緣部彼此之接合方法,列舉例如雷射熔接、電阻熔接、擴散接合、焊接、TIG熔接(鎢-惰性氣體熔接)、超音波接合、樹脂密封等。其中,較佳為雷射熔接、電阻熔接、或焊接。
第1片材11及第2片材12之構成材料若為具有適合蒸汽腔室之特性,例如導熱性、強度、柔軟性、可撓性等者,則不特別限定。第1片材11及第2片材12之構成材料較佳為金屬,例如銅、鎳、鋁、鎂、鈦、鐵、及將該等金屬中之至少1種設為主成分之合金等,尤其較佳為銅。
第1片材11及第2片材12之構成材料可相互相同,亦可相互不同。
於第1片材11及第2片材12之構成材料相互不同之情形時,可使第1片材11及第2片材12發揮不同之功能。作為此種功能,不特別限定,但列舉例如導熱功能、電磁波屏蔽功能等。
第1片材11及第2片材12之形狀不特別限定。例如,第1片材11可為厚度方向T之尺寸固定之平板狀,第2片材12為外緣部之厚度方向T之尺寸大於外緣部以外之部分之形狀。或,第1片材11亦可為厚度方向T之尺寸固定之平板狀,第2片材12為厚度方向T之尺寸固定,且相對於外緣部,外緣部以外之部分為向外側凸之形狀。於該情形時,於殼體10之外緣部設置凹陷。此種殼體10之外緣部之凹陷可於搭載蒸汽腔室1A時利用。又,可於殼體10之外緣部之凹陷,配置其他零件。
第1片材11及第2片材12之厚度方向T之尺寸分別較佳為10 μm以上且200 μm以下,更佳為30 μm以上且100 μm以下,進而較佳為40 μm以上且60 μm以下。
第1片材11及第2片材12之厚度方向T之尺寸可相互相同,亦可相互不同。
第1片材11及第2片材12之厚度方向T之尺寸可分別跨及整體相同,亦可一部分不同。
作為自厚度方向T俯視時之殼體10之平面形狀,列舉例如三角形、矩形等多邊形、圓形、橢圓形、將該等組合之形狀等。又,殼體10之平面形狀可為L字型、C字型(コ字型)、階梯型等。又,可於殼體10,於厚度方向T設置貫通口。殼體10之平面形狀可為與蒸汽腔室1A之用途對應之形狀,亦可為與蒸汽腔室1A之搭載部位對應之形狀,又可為與存在於附近之其他零件對應之形狀。
殼體10之大小不特別限定。
殼體10之長度方向L之尺寸及寬度方向W之尺寸分別較佳為5 mm以上且500 mm以下,更佳為20 mm以上且300 mm以下,進而較佳為50 mm以上且200 mm以下。
殼體10之長度方向L之尺寸及寬度方向W之尺寸可相互相同,亦可相互不同。
殼體10之厚度方向T之尺寸較佳為50 μm以上且500 μm以下。
殼體10之長度方向L之尺寸、厚度方向T之尺寸、及寬度方向W之尺寸分別作為長度方向L、厚度方向T、及寬度方向W之最大尺寸規定。
圖1中,例示殼體10由第1片材11及第2片材12之2個片材構成之態樣,但殼體10可由1個片材構成,亦可由3個以上之片材構成。
圖2係顯示分解本發明之實施形態1之熱擴散裝置後之狀態一例之立體模式圖。圖3係顯示本發明之實施形態1之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。圖4係顯示圖3所示之熱擴散裝置之沿線段a1-a2之剖面之一例之剖視模式圖。
圖2、圖3、及圖4所示之蒸汽腔室1A具有殼體10、作動媒體20、隔離壁30、毛細結構芯40。
如圖4所示,殼體10具有與厚度方向T對向之第1內表面10a及第2內表面10b。於圖4所示之例中,殼體10由第1片材11及第2片材12構成,第1片材11之內表面相當於殼體10之第1內表面10a,第2片材12之內表面相當於殼體10之第2內表面10b。
於殼體10,設置有內部空間。更具體而言,於殼體10,設置有由第1內表面10a及第2內表面10b包圍之內部空間。
如圖3所示,殼體10較佳於內部空間具有蒸發部EP。
蒸發部EP為使稍後敘述之液相之作動媒體20蒸發,變化為汽相之作動媒體20之部分。更具體而言,蒸發部EP為殼體10之內部空間中圖1所示之熱源HS之附近部分,且相當於藉由熱源HS加熱之部分。
蒸發部EP之數量根據熱源HS之數量,如圖3所示可僅為1個,亦可為複數個。即,於殼體10之外表面,熱源HS可僅設置1個,亦可設置複數個。
另,熱源HS可設置於與殼體10之第1內表面10a成相反側之外表面,此處為第1片材11之外表面,亦可設置於與殼體10之第2內表面10b成相反側之外表面,此處為第2片材12之外表面。
如圖3及圖4所示,作動媒體20被封入殼體10之內部空間。
作動媒體20若為於殼體10內之環境下可產生汽-液之相變化者,則不特別限定。作為作動媒體20,列舉例如水、乙醇類、氫氟氯碳化物等。作動媒體20較佳為水性化合物,其中,尤其較佳為水。
如圖2、圖3、及圖4所示,隔離壁30與自厚度方向T觀察時之殼體10之內緣15空出間隔,沿內緣15之至少一部分設置於殼體10之第1內表面10a。於圖2及圖3所示之例中,隔離壁30於自厚度方向T觀察時,沿殼體10之內緣15之整周設置。
如圖4所示,隔離壁30亦可以於殼體10之內部空間,自第1內表面10a向第2內表面10b向厚度方向T突出之方式設置。隔離壁30自殼體10之第1內表面10a突出之方向無需與厚度方向T嚴格平行。
如圖4所示,隔離壁30亦可與殼體10之第1內表面10a一體化。於該情形時,隔離壁30藉由例如蝕刻加工殼體10之第1內表面10a,此處為第1片材11之內表面等形成。
隔離壁30亦可接合於殼體10之第1內表面10a。於該情形時,隔離壁30藉由例如擴散接合等之接合方法,接合於殼體10之第1內表面10a,此處為第1片材11之內表面。
作為隔離壁30之構成材料,列舉例如樹脂、金屬、陶瓷、該等複數種以上之混合物或積層物等。
毛細結構芯40具有可藉由毛細管力使作動媒體20移動之毛細管構造。
作為毛細結構芯40之毛細管構造,亦可為先前以來之熱擴散裝置(蒸汽腔室等)所使用之周知之構造。作為此種毛細管構造,列舉具有細孔、溝槽、突起等凹凸之細微構造,例如多孔構造、纖維構造、溝槽構造、網格構造等。
毛細結構芯40作為藉由毛細管力吸取液相之作動媒體20並輸送之液輸送部發揮功能。
如圖2、圖3、及圖4所示,毛細結構芯40之一部分設置於殼體10之第2內表面10b與隔離壁30之間,且沿隔離壁30之至少一部分設置。於圖2及圖3所示之例中,毛細結構芯40於自厚度方向T觀察時,沿隔離壁30之整周設置。
如圖4所示,毛細結構芯40較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b相接。
如圖4所示,毛細結構芯40較佳於厚度方向T與隔離壁30相接。於該情形時,毛細結構芯40藉由隔離壁30支持。因此,即使毛細結構芯40因來自外部之壓力欲變形,稍後敘述之液體流路50亦不易壓潰。其結果,藉由液體流路50確保液相之作動媒體20之透過率。
如以上,毛細結構芯40較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b與隔離壁30中之至少一者相接。其中,如圖4所示,毛細結構芯40尤其較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b與隔離壁30之兩者相接。
毛細結構芯40較佳固定於殼體10之第2內表面10b。例如,毛細結構芯40較佳接合於殼體10之第2內表面10b。作為毛細結構芯40與殼體10之第2內表面10b之接合方法,列舉例如擴散接合、超音波接合、點熔接等。
毛細結構芯40較佳固定於隔離壁30。例如,毛細結構芯40較佳接合於隔離壁30。作為毛細結構芯40與隔離壁30之接合方法,列舉例如擴散接合、超音波接合、點熔接等。
如圖4所示,毛細結構芯40較佳與殼體10之第1內表面10a分離。例如,若毛細結構芯40以與殼體10之第1內表面10a相接之方式彎曲,則其彎曲之部位容易成為物理破損之起點。又,若毛細結構芯40以與殼體10之第1內表面10a相接之方式彎曲,則自確保稍後敘述之作動媒體20之蒸汽流路60較寬之觀點而言,毛細結構芯40之彎曲之部分無用。
毛細結構芯40較佳由多孔體構成。
作為多孔體,列舉例如燒結體、不織布、網眼、蝕刻多孔板、纖維束等。
作為燒結體,列舉例如金屬多孔燒結體、陶瓷多孔燒結體等。其中,較佳為金屬多孔燒結體,更佳為銅或鎳之多孔燒結體。
作為不織布,列舉例如金屬不織布等。於毛細結構芯40由不織布構成之情形時,可低價製作。
作為網眼,列舉例如金屬網眼、樹脂網眼、表面塗層之該等網眼等。其中,較佳為銅網眼、不鏽鋼(SUS:Stainless Steel)網眼、或聚酯網眼。於毛細結構芯40由網眼構成之情形時,可低價製作。
蝕刻多孔板藉由例如蝕刻加工平板狀之金屬板製作。於毛細結構芯40由如此製作之蝕刻多孔板構成之情形時,成為平坦性優異者。
纖維束藉由例如將複數個纖維線狀捆扎製作。纖維束作為藉由毛細管力吸取並保持液相之作動媒體20之液保持部發揮功能,且亦作為輸送吸取後之液相之作動媒體20之液輸送部發揮功能。
於毛細結構芯40由纖維束構成之情形時,較佳由編織狀之纖維束構成。於編織複數個纖維後之編織狀之纖維束中,因於表面容易存在凹凸,故於毛細結構芯40由編織狀之纖維束構成之情形時,容易輸送液相之作動媒體20。
作為構成纖維束之纖維,列舉例如銅、鋁、不鏽鋼等金屬線、碳纖維、玻璃纖維等非金屬線等。其中,因金屬線導熱率較高故較佳。例如,藉由捆扎200根左右直徑0.03 mm左右之銅線,而可設為纖維束。
毛細結構芯40之厚度方向T之尺寸較佳為2 μm以上且200 μm以下,更佳為5 μm以上且100 μm以下,進而較佳為10 μm以上且40 μm以下。
毛細結構芯40之厚度方向T之尺寸可跨及整體相同,亦可一部分不同。
如圖3及圖4所示,殼體10之內部空間具有液相之作動媒體20之液相流路50、與汽相之作動媒體20之蒸汽流路60。
如上所述,隔離壁30自殼體10之內緣15空出間隔,沿內緣15之至少一部分設置於殼體10之第1內表面10a。又,毛細結構芯40之一部分設置於殼體10之第2內表面10b與隔離壁30之間,且,沿隔離壁30之至少一部分設置。藉由此種隔離壁30及毛細結構芯40之配置,液體流路50於殼體10之內部空間中,於由殼體10之一部分與隔離壁30之一部分與毛細結構芯40之一部分包圍之區域,沿殼體10之內緣15之至少一部分設置。
即,於本發明之實施形態1之熱擴散裝置中,殼體之內部空間具有於由殼體之一部分、隔離壁之部分、與毛細結構芯之一部分包圍之區域,沿殼體之內緣之至少一部分設置之液相之作動媒體之液體流路。
於蒸汽腔室1A中,如上所述設置液體流路50,藉此毛細結構芯40之毛細管力對存在於液體流路50之液相之作動媒體20起作用。再者,於蒸汽腔室1A中,因液體流路50作為未設置毛細結構芯40等之空洞構成,故液相之作動媒體20可順暢移動於液體流路50內。藉由以上,於蒸汽腔室1A中,液相之作動媒體20之透過率提高,其結果,液輸送能力提高。
蒸汽流路60設置於殼體10之內部空間中液體流路50以外之區域。
即,於本發明之實施形態1之熱擴散裝置中,殼體之內部空間具有設置於液體流路以外之區域之汽相之作動媒體之蒸汽流路。
如上所述,因液體流路50沿殼體10之內緣15之至少一部分設置,故蒸汽流路60於殼體10之內部空間中,相對於液體流路50設置於面方向。藉此,蒸汽腔室1A中,於殼體10之內部空間,確保蒸汽流路60於面方向較寬。其結果,於蒸汽腔室1A中,確保均熱區域較寬,導熱率提高。
於蒸汽腔室1A中,即使殼體10之內部空間於厚度方向T較薄,亦確保蒸汽流路60於面方向較寬。例如,於蒸汽腔室1A中,即使厚度方向T之殼體10之內部空間之尺寸小至100 μm以上且200 μm以下,亦確保蒸汽流路60於面方向較寬。另,規定厚度方向T之殼體10之內部空間之尺寸為最大尺寸。如此,於蒸汽腔室1A中,因即使殼體10之內部空間於厚度方向T較薄亦確保蒸汽流路60於面方向較寬,故確保均熱區域較寬,導熱率提高。
於蒸汽腔室1A中,如上所述藉由確保蒸汽流路60於面方向較寬而導熱率提高,且於觀察沿與厚度方向T正交之第1方向之同一剖面時,藉由隔離壁30及毛細結構芯40之位置關係滿足以下之條件而使最大熱輸送量提高。以下,參照圖4就此種隔離壁30及毛細結構芯40之位置關係進行說明。另,於圖4中,顯示圖3所示之蒸汽腔室1A之沿線段a1-a2之剖面之一例,但以下,顯示沿圖3所示之線段a1-a2之剖面作為沿與厚度方向T正交之第1方向之剖面之一例。
如圖4所示,殼體10之內緣15包含第1內緣部15a、與第2內緣部15b。於內緣15中,第1內緣部15a及第2內緣部15b與第1方向(此處,為圖3所示之線段a1-a2延伸之方向)對向。
如圖4所示,隔離壁30包含第1隔離壁部30a、與第2隔離壁部30b。於隔離壁30中,第1隔離壁部30a設置於第1內緣部15a側,第2隔離壁部30b設置於第2內緣部15b側。
如圖4所示,毛細結構芯40包含第1毛細結構芯部40a、與第2毛細結構芯部40b。於毛細結構芯40中,第1毛細結構芯部40a設置於殼體10之第2內表面10b與第1隔離壁部30a之間,第2毛細結構芯部40b設置於殼體10之第2內表面10b與第2隔離壁部30b之間。
如圖4所示,第1毛細結構芯部40a較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b相接。
如圖4所示,第1毛細結構芯部40a較佳於厚度方向T與第1隔離壁部30a相接。
如以上,第1毛細結構芯部40a較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b與第1隔離壁部30a中之至少一者相接。其中,如圖4所示,第1毛細結構芯部40a尤其較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b與第1隔離壁部30a之兩者相接。
第1毛細結構芯部40a較佳固定於殼體10之第2內表面10b。例如,第1毛細結構芯部40a較佳接合於殼體10之第2內表面10b。
第1毛細結構芯部40a較佳固定於第1隔離壁部30a。例如,第1毛細結構芯部40a較佳接合於第1隔離壁部30a。
如圖4所示,第1毛細結構芯部40a較佳與殼體10之第1內表面10a分離。
如圖4所示,第2毛細結構芯部40b較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b相接。
如圖4所示,第2毛細結構芯部40b較佳於厚度方向T與第2隔離壁部30b相接。
如以上,第2毛細結構芯部40b較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b與第2隔離壁部30b中之至少一者相接。其中,如圖4所示,第2毛細結構芯部40b尤其較佳於厚度方向T與殼體10之第2內表面10b與第2隔離壁部30b之兩者相接。
第2毛細結構芯部40b較佳固定於殼體10之第2內表面10b。例如,第2毛細結構芯部40b較佳接合於殼體10之第2內表面10b。
第2毛細結構芯部40b較佳固定於第2隔離壁部30b。例如,第2毛細結構芯部40b較佳接合於第2隔離壁部30b。
如圖4所示,第2毛細結構芯部40b較佳與殼體10之第1內表面10a分離。
如圖4所示,將第1毛細結構芯部40a中之第2內緣部15b側之端部40ap、與第2毛細結構芯部40b中之第1內緣部15a側之端部40bp之間於第1方向之最小距離定義為A。又,如圖4所示,將第1隔離壁部30a中位於殼體10之第2內表面10b側且第2內緣部15b側之端部30ap、與第2隔離壁部30b中位於殼體10之第2內表面10b側且第1內緣部15a側之端部30bp之間於第1方向之距離定義為B。此時,於蒸汽腔室1A中,如圖4所示,滿足A<B之關係。
於蒸汽腔室1A中,藉由滿足A<B之關係,因第1毛細結構芯部40a及第2毛細結構芯部40b中之至少一者露出於蒸汽流路60之表面積變大,故毛細結構芯40之汽液交換面變大。其結果,蒸汽腔室1A之最大熱輸送量提高。
再者,於製造蒸汽腔室1A時,因只要以滿足A<B之關係之方式配置隔離壁30及毛細結構芯40即可,故例如與以滿足A=B之關係之方式配置之情形比較,隔離壁30與毛細結構芯40之間之位置偏移之容許範圍變大。因此,蒸汽腔室1A之製造效率提高。
於圖4中,作為蒸汽腔室1A之沿滿足A<B之關係之第1方向之剖面之一例,顯示沿圖3所示之線段a1-a2之剖面,但若包含第1隔離壁部30a、第2隔離壁部30b、第1毛細結構芯部40a、及第2毛細結構芯部40b,則不限定於沿圖3所示之線段a1-a2之剖面。例如,於蒸汽腔室1A中,除沿圖3所示之線段a1-a2之剖面以外,亦可於沿與厚度方向T正交之方向之其他剖面中,滿足A<B之關係。或,於蒸汽腔室1A中,可僅於沿圖3所示之線段a1-a2之剖面中,滿足A<B之關係。或,於蒸汽腔室1A中,亦可於沿與厚度方向T正交之方向之其他剖面而非沿圖3所示之線段a1-a2之剖面中,滿足A<B之關係。如此,於蒸汽腔室1A中,只要於沿與厚度方向T正交之方向之至少1個剖面中,滿足A<B之關係即可。即,於蒸汽腔室1A中,只要存在至少1個沿滿足A<B之關係之第1方向之剖面即可。
如以上,根據蒸汽腔室1A,可實現能夠提高導熱率及最大熱輸送量之熱擴散裝置。蒸汽腔室1A之導熱率及最大熱輸送量之提高效果,尤其於將蒸汽腔室1A薄型化之情形,更具體而言,使殼體10之內部空間於厚度方向T較薄之情形時可顯著獲得。
以下,參照圖4,就蒸汽腔室1A之隔離壁30及毛細結構芯40之較佳之位置進行說明。
於本發明之熱擴散裝置中,於將第1內緣部與第2內緣部之間於第1方向之最小距離定義為C,將第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最大距離定義為D時,較佳滿足B-A>C-D≧0之關係。
如圖4所示,將第1內緣部15a與第2內緣部15b之間於第1方向之最小距離定義為C。又,如圖4所示,將第1毛細結構芯部40a中之第1內緣部15a側之端部40aq、與第2毛細結構芯部40b中之第2內緣部15b側之端部40bq之間於第1方向之最大距離定義為D。此時,於蒸汽腔室1A中,如圖4所示,較佳滿足B-A>C-D≧0之關係。
於蒸汽腔室1A中,藉由滿足B-A>C-D≧0之關係,獲得以下之效果。
首先,於蒸汽腔室1A中,因為滿足B-A>0之關係,即A<B之關係,如上所述蒸汽腔室1A之最大熱輸送量提高。
接著,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足C-D≧0之關係,即C≧D之關係,於製造蒸汽腔室1A時,容易將毛細結構芯40配置於殼體10之內部空間。
再者,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足B-A>C-D之關係,即使自圖4所示之蒸汽腔室1A之狀態,將毛細結構芯40以於第1方向與內緣15相接之方式偏移設置,亦藉由隔離壁30確實地支持毛細結構芯40。於蒸汽腔室1A中,毛細結構芯40由隔離壁30確實地支持,藉此即使毛細結構芯40因來自外部之壓力欲變形,亦因液體流路50確保液相之作動媒體20之透過率,故最大熱輸送量容易提高。
因此,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足B-A>C-D≧0之關係,最大熱輸送量提高,且製造效率亦提高。
於本發明之熱擴散裝置中,於將第1內緣部與第2內緣部之間於第1方向之最小距離定義為C,將第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最大距離定義為D時,較佳滿足C>D之關係。
於蒸汽腔室1A中,如圖4所示,較佳滿足C>D之關係。
於蒸汽腔室1A中,藉由滿足C>D之關係,與滿足C=D之關係之情形比較,於製造蒸汽腔室1A時,容易將毛細結構芯40配置於殼體10之內部空間。再者,於製造蒸汽腔室1A時,因只要以滿足C>D之關係之方式配置毛細結構芯40即可,故例如與以滿足C=D之關係之方式配置之情形比較,毛細結構芯40相對於內緣15之位置偏移之容許範圍變大。因此,蒸汽腔室1A之製造效率提高。
另,於蒸汽腔室1A中,可滿足C=D之關係,亦可滿足C>D之關係。
於本發明之熱擴散裝置中,滿足C>D之關係之情形時,於將第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部與第1內緣部之間於第1方向之最小距離定義為E1時,較佳滿足E1>0之關係。
如圖4所示,將第1毛細結構芯部40a中之第1內緣部15a側之端部40aq與第1內緣部15a之間於第1方向之最小距離定義為E1。此時,於蒸汽腔室1A中,於滿足C>D之關係之情形時,如圖4所示較佳滿足E1>0之關係。換言之,於蒸汽腔室1A中,第1毛細結構芯部40a較佳與第1內緣部15a分離。
於蒸汽腔室1A中,藉由滿足E1>0之關係,與滿足E1=0之關係之情形比較,因於第1毛細結構芯部40a中之第1內緣部15a側之端部40aq與第1內緣部15a之間亦確保液體流路50,故藉由液體流路50提高液相之作動媒體20之透過率,其結果,液輸送能力提高。
E1較佳為1 mm以下。即,E1較佳大於0 mm,且為1 mm以下。
於本發明之熱擴散裝置中,滿足C>D之關係之情形時,於將第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部與第2內緣部之間於第1方向之最小距離定義為E2時,較佳滿足E2>0之關係。
如圖4所示,將第2毛細結構芯部40b中之第2內緣部15b側之端部40bq與第2內緣部15b之間於第1方向之最小距離定義為E2。此時,於蒸汽腔室1A中,於滿足C>D之關係之情形時,如圖4所示較佳滿足E2>0之關係。換言之,於蒸汽腔室1A中,第2毛細結構芯部40b較佳與第2內緣部15b分離。
於蒸汽腔室1A中,藉由滿足E2>0之關係,與滿足E2=0之關係之情形比較,因於第2毛細結構芯部40b中之第2內緣部15b側之端部40bq與第2內緣部15b之間亦確保液體流路50,故藉由液體流路50提高液相之作動媒體20之透過率,其結果,液輸送能力提高。
E2較佳為1 mm以下。即,E2較佳大於0 mm,且為1 mm以下。
如以上,於蒸汽腔室1A中,滿足C>D之關係之情形時,如圖4所示,較佳滿足E1>0且E2>0之關係。
於蒸汽腔室1A中,可滿足E1=0之關係。又,於蒸汽腔室1A中,亦可滿足E2=0之關係。
於蒸汽腔室1A中,E1及E2可相互相同,亦可相互不同。
於本發明之熱擴散裝置中,於將第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部、與第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離定義為F1,將第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離定義為G1時,較佳滿足G1>F1>0之關係。
如圖4所示,將第1隔離壁部30a中位於殼體10之第2內表面10b側且第1內緣部15a側之端部30ar、與第1毛細結構芯部40a中之第1內緣部15a側之端部40aq之間於第1方向之最小距離定義為F1。又,如圖4所示,將第1隔離壁部30a中位於殼體10之第2內表面10b側且第2內緣部15b側之端部30ap、與第1毛細結構芯部40a中之第2內緣部15b側之端部40ap之間於第1方向之最小距離定義為G1。此時,於蒸汽腔室1A中,如圖4所示,較佳滿足G1>F1>0之關係。
於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G1>F1>0之關係,獲得以下之效果。
首先,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足F1>0之關係,與滿足F1=0之關係之情形比較,因露出於液體流路50之第1毛細結構芯部40a之表面積變大,故毛細結構芯40之毛細管力容易波及液體流路50。其結果,蒸汽腔室1A之最大熱輸送量容易提高。
如此,於蒸汽腔室1A中,較佳滿足F1>0之關係。換言之,於蒸汽腔室1A中,第1毛細結構芯部40a中之第1內緣部15a側之端部40aq較佳於第1方向,位於較第1隔離壁部30a更靠第1內緣部15a側。
接著,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G1>0之關係,與滿足G1=0之關係之情形比較,因露出於蒸汽流路60之第1毛細結構芯部40a之表面積變大,故毛細結構芯40之汽液交換面變大。其結果,蒸汽腔室1A之最大熱輸送量提高。
如此,於蒸汽腔室1A中,較佳滿足G1>0之關係。換言之,於蒸汽腔室1A中,第1毛細結構芯部40a中之第2內緣部15b側之端部40ap較佳於第1方向,位於較第1隔離壁部30a更靠第2內緣部15b側。
再者,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G1>F1之關係,獲得以下之效果。
針對圖3所示之蒸汽腔室1A之隔離壁30及毛細結構芯40,於圖4中顯示蒸發部EP附近之區域之剖面構造之一例,但於蒸發部EP附近之區域(例如,於寛度方向W與蒸發部EP重疊之區域)中,以毛細管力自液體流路50向毛細結構芯40吸取之液相之作動媒體20吸收來自熱源HS(參照圖1)之熱,藉此自毛細結構芯40蒸發變化為汽相之作動媒體20,並移動至蒸汽流路60。因此,於蒸汽腔室1A中,因藉由於蒸發部EP附近之區域滿足G1>F1之關係,露出於蒸汽流路60之第1毛細結構芯部40a之表面積變大,故來自毛細結構芯40之液相之作動媒體20之蒸發效率提高。
另一方面,針對蒸汽腔室1A之隔離壁30及毛細結構芯40,較佳為與蒸發部EP分離之區域(例如,於寛度方向W不與蒸發部EP重疊之區域)之剖面構造亦與圖4同樣。於該情形時,於蒸汽腔室1A中,若於蒸發部EP產生之汽相之作動媒體20通過蒸汽流路60之後,於與蒸發部EP分離之區域冷卻並變化為液相之作動媒體20,則滿足G1>0之關係,藉此可由露出於蒸汽流路60之第1毛細結構芯部40a回收該液相之作動媒體20。因此,於蒸汽腔室1A中,藉由與蒸發部EP分離之區域滿足G1>F1之關係,毛細結構芯40之液相之作動媒體20之回收效率提高。
如以上,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G1>F1之關係,於蒸發部EP附近之區域中,來自毛細結構芯40之液相之作動媒體20之蒸發效率提高,與蒸發部EP分離之區域中,毛細結構芯40之液相之作動媒體20之回收效率提高。其結果,蒸汽腔室1A之最大熱輸送量提高。
於蒸汽腔室1A中,G1於蒸發部EP附近之區域、及與蒸發部EP分離之區域中,可相互相同,亦可相互不同。例如,自液相之作動媒體20之蒸發效率之觀點而言,蒸發部EP附近之區域中之G1可較與蒸發部EP分離之區域中之G1更大,自液相之作動媒體20之回收效率之觀點而言,與蒸發部EP分離之區域中之G1亦可較蒸發部EP附近之區域中之G1更大。
因此,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G1>F1>0之關係,最大熱輸送量提高。
於本發明之熱擴散裝置中,於將第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離定義為F2,將第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離定義為G2時,較佳滿足G2>F2>0之關係。
如圖4所示,將第2隔離壁部30b中位於殼體10之第2內表面10b側且第2內緣部15b側之端部30br、與第2毛細結構芯部40b中之第2內緣部15b側之端部40bq之間於第1方向之最小距離定義為F2。又,如圖4所示,將第2隔離壁部30b中位於殼體10之第2內表面10b側且第1內緣部15a側之端部30bp、與第2毛細結構芯部40b中之第1內緣部15a側之端部40bp之間於第1方向之最小距離定義為G2。此時,於蒸汽腔室1A中,如圖4所示,較佳滿足G2>F2>0之關係。
於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G2>F2>0之關係,獲得以下之效果。
首先,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足F2>0之關係,與滿足F2=0之關係之情形比較,因露出於液體流路50之第2毛細結構芯部40b之表面積變大,故毛細結構芯40之毛細管力容易波及至液體流路50。其結果,蒸汽腔室1A之最大熱輸送量容易提高。
如此,於蒸汽腔室1A中,較佳滿足F2>0之關係。換言之,於蒸汽腔室1A中,第2毛細結構芯部40b中之第2內緣部15b側之端部40bq較佳於第1方向,位於較第2隔離壁部30b更靠第2內緣部15b側。
接著,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G2>0之關係,與滿足G2=0之關係之情形比較,因露出於蒸汽流路60之第2毛細結構芯部40b之表面積變大,故毛細結構芯40之汽液交換面變大。其結果,蒸汽腔室1A之最大熱輸送量提高。
如此,於蒸汽腔室1A中,較佳滿足G2>0之關係。換言之,於蒸汽腔室1A中,第2毛細結構芯部40b中之第1內緣部15a側之端部40bp較佳於第1方向,位於較第2隔離壁部30b更靠第1內緣部15a側。
再者,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G2>F2之關係,與滿足G1>F1之關係之情形同樣,於蒸發部EP附近之區域中,來自毛細結構芯40之液相之作動媒體20之蒸發效率提高,與蒸發部EP分離之區域中,毛細結構芯40之液相之作動媒體20之回收效率提高。其結果,蒸汽腔室1A之最大熱輸送量提高。
於蒸汽腔室1A中,G2於蒸發部EP附近之區域及與蒸發部EP分離之區域中,可相互相同,亦可相互不同。例如,自液相之作動媒體20之蒸發效率之觀點而言,蒸發部EP附近之區域中之G2可較與蒸發部EP分離之區域中之G2更大,自液相之作動媒體20之回收效率之觀點而言,與蒸發部EP分離之區域中之G2亦可較蒸發部EP附近之區域中之G2更大。
因此,於蒸汽腔室1A中,藉由滿足G2>F2>0之關係,最大熱輸送量提高。
如以上,於蒸汽腔室1A中,如圖4所示,較佳滿足G1>F1>0且G2>F2>0之關係。
於蒸汽腔室1A中,較佳滿足F1>0且F2>0之關係。
於蒸汽腔室1A中,可滿足F1=0之關係。又,於蒸汽腔室1A中,亦可滿足F2=0之關係。
於蒸汽腔室1A中,F1及F2可相互相同,亦可相互不同。
於蒸汽腔室1A中,因如上所述滿足A<B之關係,故滿足G1>0及G2>0中之至少一者之關係。其中,於蒸汽腔室1A中,較佳滿足G1>0且G2>0之關係。
於蒸汽腔室1A中,亦可滿足G1=0及G2=0中之一者之關係。
於蒸汽腔室1A中,G1及G2可相互相同,亦可相互不同。
於蒸汽腔室1A中,較佳滿足G1+G2>E1+E2+F1+F2之關係。
於蒸汽腔室1A中,較佳滿足G1>E1+F1之關係。
於蒸汽腔室1A中,較佳滿足G2>E2+F2之關係。
如圖2、圖3、及圖4所示,蒸汽腔室1A較佳於蒸汽流路60中,進而具有複數個支柱70。於該情形時,藉由複數個支柱70,可支持殼體10及毛細結構芯40中之至少一者。
於圖4所示之例中,於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域中,複數個支柱70於厚度方向T與殼體10之第1內表面10a及毛細結構芯40相接。藉此,因由複數個支柱70自蒸汽流路60側支持毛細結構芯40,故即使毛細結構芯40因來自外部之壓力欲變形,蒸汽流路60亦不易壓潰。其結果,藉由蒸汽流路60確保汽相之作動媒體20之透過率。
複數個支柱70可如圖4所示與毛細結構芯40相接,亦可不與毛細結構芯40相接。
於圖4所示之例中,於蒸汽流路60中之厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域中,複數個支柱70於厚度方向T與殼體10之第1內表面10a及第2內表面10b相接。藉此,因由複數個支柱70自蒸汽流路60側支持殼體10,故即使殼體10因來自外部之壓力欲變形,蒸汽流路60亦不易壓潰。其結果,藉由蒸汽流路60確保汽相之作動媒體20之透過率。
複數個支柱70可如圖4所示與殼體10之第1內表面10a及第2內表面10b中之至少一者相接,亦可不與殼體10之第1內表面10a及第2內表面10b相接。
如圖2及圖3所示,複數個支柱70較佳設置於蒸汽流路60之整體。於圖4所示之例中,複數個支柱70設置於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域、與厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域之兩者。
複數個支柱70可設置於蒸汽流路60之一部分區域。換言之,複數個支柱70可不設置於蒸汽流路60之一部分區域。例如,複數個支柱70亦可僅設置於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域、與厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域中之一者。
如圖2及圖3所示,複數個支柱70較佳於蒸汽流路60中,以支柱70間之距離成為固定之方式均等設置。於該情形時,複數個支柱70較佳於蒸汽流路60之一部分區域均等設置,更佳跨及整體之區域均等設置。於均等設置複數個支柱70之區域中,確保蒸汽腔室1A之強度均一。
複數個支柱70亦可與殼體10之第1內表面10a一體化。於該情形時,複數個支柱70藉由例如蝕刻加工殼體10之第1內表面10a,此處為第1片材11之內表面等形成。
複數個支柱70亦可接合於殼體10之第1內表面10a。於該情形時,複數個支柱70藉由例如擴散接合等接合方法,接合於殼體10之第1內表面10a,此處為第1片材11之內表面。
複數個支柱70亦可與殼體10之第2內表面10b一體化。於該情形時,複數個支柱70藉由例如蝕刻加工殼體10之第2內表面10b,此處為第2片材12之內表面等形成。
複數個支柱70亦可接合於殼體10之第2內表面10b。於該情形時,複數個支柱70藉由例如擴散接合等接合方法,接合於殼體10之第2內表面10b,此處為第2片材12之內表面。
複數個支柱70亦可相互連接構成1個支持體。於圖4所示之例中,於蒸汽流路60中之厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域中,2個支柱70連接於厚度方向T構成1個支持體,該支持體設置有複數個。
作為複數個支柱70之構成材料,列舉例如樹脂、金屬、陶瓷、該等複數種以上之混合物或積層物等。
複數個支柱70之構成材料可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。例如,複數個支柱70之構成材料於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域、與厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域之間,可相同,亦可不同。
複數個支柱70可分別獨立,可包含單層,亦可包含複數層。
作為自厚度方向T俯視時之複數個支柱70之平面形狀,分別列舉例如三角形、矩形等多邊形、圓形、橢圓形、組合該等之形狀等。
複數個支柱70之平面形狀可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。例如,複數個支柱70之平面形狀於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域、與厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域之間,可相同,亦可不同。
作為自面方向剖視時之複數個支柱70之剖面形狀,分別列舉例如矩形等多邊形等。複數個支柱70之剖面形狀可分別為圖4所示之錐狀,亦可為與圖4不同之錐狀。
複數個支柱70之剖面形狀可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。例如,複數個支柱70之剖面形狀於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域、與厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域之間,可相同,亦可不同。
複數個支柱70之面方向之尺寸(例如,於圖4中,為寬度方向W之尺寸)分別換算為支柱70於厚度方向T之端部之沿面方向之剖面之圓近似徑,例如為100 μm以上且2000 μm以下,較佳為300 μm以上且1000 μm以下。若支柱70之面方向之尺寸變大,則更抑制因來自外部之壓力,殼體10之變形及毛細結構芯40之變形。若支柱70之面方向之尺寸變小,則確保蒸汽流路60更寬。
複數個支柱70之面方向之尺寸可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。例如,複數個支柱70之面方向之尺寸於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域、與厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域之間,可相同,亦可不同。
複數個支柱70之厚度方向T之尺寸可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。例如,複數個支柱70之厚度方向T之尺寸於蒸汽流路60中之厚度方向T上與毛細結構芯40重疊之區域、與厚度方向T上不與毛細結構芯40重疊之區域之間,可相同,亦可不同。
複數個支柱70之尺寸、形狀、個數、配置等於實際之製品中,亦可與圖2、圖3、及圖4所示之例不同。
蒸汽腔室1A如以下般作動。
於蒸汽腔室1A中,液相之作動媒體20於存在於蒸發部EP附近之區域之毛細結構芯40及液體流路50中,吸收來自熱源HS之熱藉此蒸發,變化為汽相之作動媒體20。且,由蒸發部EP產生之汽相之作動媒體20通過蒸汽流路60,移動至與蒸發部EP分離之區域,例如蒸汽流路60於長度方向L之與蒸發部EP成相反側之端部周邊,於此處冷卻變化為液相之作動媒體20。且,液相之作動媒體20於回收至毛細結構芯40及液體流路50之後,輸送至蒸發部EP。
於蒸汽腔室1A中,藉由重複以上過程,作動媒體20產生且循環汽-液之相變化。此時,來自熱源HS之熱於蒸發部EP中作為使液相之作動媒體20變化為汽相之作動媒體20之蒸發潛熱吸收之後,與蒸發部EP分離之區域中作為使汽相之作動媒體20變化為液相之作動媒體20之凝縮潛熱釋放。如此,蒸汽腔室1A無需外部動力自主作動,進而藉由利用作動媒體20之蒸發潛熱及凝縮潛熱,可二維且高速擴散來自熱源HS之熱。再者,於蒸汽腔室1A中,如上所述,確保蒸汽流路60較寬,又,因毛細結構芯40之汽液交換面較大,故導熱率及最大熱輸送量提高。
<實施形態2> 本發明之熱擴散裝置較佳為進而具備於液相之作動媒體之液體流路中,支持毛細結構芯之複數個支柱。以下說明該點與本發明之實施形態1之熱擴裝置不同之態樣之熱擴散裝置,來作為本發明之實施形態2之熱擴散裝置。
圖5係顯示分解本發明之實施形態2之熱擴散裝置後之狀態一例之立體模式圖。圖6係顯示本發明之實施形態2之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。圖7係顯示圖6所示之熱擴散裝置之沿線段b1-b2之剖面之一例之剖視模式圖。
圖5、圖6、及圖7所示之蒸汽腔室1B於液體流路50中,具有支持毛細結構芯40之複數個支柱71。於圖7所示之例中,於液體流路50,複數個支柱71於厚度方向T上與殼體10之第1內表面10a、與毛細結構芯40相接。如此,於液體流路50中,藉由複數個支柱71支持毛細結構芯40,即使毛細結構芯40因來自外部之壓力欲變形,液體流路50亦不易壓潰。其結果,藉由液體流路50確保液相之作動媒體20之透過率。
複數個支柱71可如圖7所示與殼體10之第1內表面10a相接,亦可不與殼體10之第1內表面10a相接。
如圖5及圖6所示,複數個支柱71較佳設置於液體流路50之整體。
複數個支柱71可設置於液體流路50之一部分區域。換言之,複數個支柱71亦可不設置於液體流路50之一部分區域。
如圖5及圖6所示,複數個支柱71較佳於液體流路50中,以支柱71間之距離成為固定之方式均等設置。於該情形時,複數個支柱71較佳於液體流路50之一部分區域均等設置,更佳跨及整體之區域均等設置。於均等設置複數個支柱71之區域中,確保蒸汽腔室1B之強度均一。
複數個支柱71間之距離可與複數個支柱70間之距離相同,亦可不同。
複數個支柱71亦可與殼體10之第1內表面10a一體化。於該情形時,複數個支柱71藉由例如蝕刻加工殼體10之第1內表面10a,此處為第1片材11之內表面等形成。
複數個支柱71亦可接合於殼體10之第1內表面10a。於該情形時,複數個支柱71藉由例如擴散接合等接合方法,接合於殼體10之第1內表面10a,此處為第1片材11之內表面。
作為複數個支柱71之構成材料,列舉例如樹脂、金屬、陶瓷、該等複數種以上之混合物或積層物等。
複數個支柱71之構成材料可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。
複數個支柱71之構成材料與複數個支柱70之構成材料可相同,亦可不同。
複數個支柱71可分別獨立,可包含單層,亦可包含複數層。
作為自厚度方向T俯視時之複數個支柱71之平面形狀,分別列舉例如三角形、矩形等多邊形、圓形、橢圓形、組合該等之形狀等。
複數個支柱71之平面形狀可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。
複數個支柱71之平面形狀與複數個支柱70之平面形狀可相同,亦可不同。
作為自面方向剖視時之複數個支柱71之剖面形狀,分別列舉例如矩形等多邊形等。複數個支柱71之剖面形狀可分別為圖7所示之錐狀,亦可為與圖7不同之錐狀。
複數個支柱71之剖面形狀可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。
複數個支柱71之剖面形狀可與複數個支柱70之剖面形狀相同,亦可不同。
複數個支柱71之面方向之尺寸(例如,於圖7中,為寬度方向W之尺寸)分別換算為支柱71於厚度方向T之端部之沿面方向之剖面之圓近似徑,例如為100 μm以上且2000 μm以下,較佳為300 μm以上且1000 μm以下。若支柱71之面方向之尺寸變大,則更抑制來自外部之壓力所致之毛細結構芯40之變形。若支柱71之面方向之尺寸變小,則確保液體流路50更寬。
複數個支柱71之面方向之尺寸可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。
複數個支柱71之面方向之尺寸與複數個支柱70之面方向之尺寸可相同,亦可不同。
複數個支柱71之厚度方向T之尺寸可相互相同,亦可相互不同,又可一部分不同。
複數個支柱71之厚度方向T之尺寸與複數個支柱70之厚度方向T之尺寸可相同,亦可不同。
複數個支柱71之尺寸、形狀、個數、配置等於實際之製品中,亦可與圖5、圖6、及圖7所示之例不同。
於本發明之實施形態2之熱擴散裝置中,雖顯示相對於本發明之實施形態1之熱擴散裝置,將複數個支柱設置於液體流路之態樣之一例,但相對於本發明之其他實施形態之熱擴散裝置,亦可將複數個支柱設置於液體流路。
<實施形態3> 於本發明之熱擴散裝置中,隔離壁及毛細結構芯亦可分別於自厚度方向觀察時,未沿殼體之內緣之整周設置。以下,說明該點與本發明之實施形態1之熱擴散裝置不同之態樣之熱擴散裝置,來作為本發明之實施形態3之熱擴散裝置。
圖8係顯示本發明之實施形態3之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。
於圖8所示之蒸汽腔室1C中,隔離壁30及毛細結構芯40亦可分別於自厚度方向T觀察時,未沿殼體10之內緣15之整周設置。於圖8所示之例中,隔離壁30及毛細結構芯40分別自厚度方向T觀察時設置為U字狀。
於蒸汽腔室1C中,殼體10之沿內緣15之區域中之未設置有隔離壁30及毛細結構芯40之區域可為圖8所示之區域,亦可為與圖8不同之區域。
於蒸汽腔室1C中,亦與蒸汽腔室1A同樣,只要存在至少1個滿足A<B之關係之沿第1方向之剖面即可。於蒸汽腔室1C中,例如於沿圖8所示之線段c1-c2之剖面中,滿足A<B之關係。
<實施形態4> 於本發明之熱擴散裝置中,殼體可於內部空間具有蒸發部,於自厚度方向觀察時,蒸發部亦可與液相之作動媒體之液體流路重疊。於該情形時,於本發明之熱擴散裝置中,自厚度方向觀察時,蒸發部亦可與殼體之內緣重疊。以下,說明該點與本發明之實施形態1之熱擴散裝置不同之態樣之熱擴散裝置,來作為本發明之實施形態4之熱擴散裝置。
圖9係顯示本發明之實施形態4之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。
於圖9所示之蒸汽腔室1D中,自厚度方向T觀察時,蒸發部EP與液體流路50重疊。因此,於蒸汽腔室1D中,於自厚度方向T觀察時,蒸發部EP與殼體10之內緣15重疊。
於蒸汽腔室1D中,亦與蒸汽腔室1A同樣,只要存在至少1個滿足A<B之關係之沿第1方向之剖面即可。於蒸汽腔室1D中,例如於沿圖9所示之線段d1-d2之剖面中,滿足A<B之關係。
於以下之實施形態中,顯示針對本發明之熱擴散裝置,於自厚度方向觀察時蒸發部與液體流路重疊之態樣之其他例。
<實施形態5> 於本發明之熱擴散裝置中,液體流路可設置於殼體之內緣以外之區域,於自厚度方向觀察時,蒸發部亦可不與殼體之內緣重疊。以下,說明該點與本發明之實施形態1之熱擴散裝置不同之態樣之熱擴散裝置,來作為本發明之實施形態5之熱擴散裝置。
圖10係顯示本發明之實施形態5之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。
於圖10所示之蒸汽腔室1E中,液體流路50亦設置於殼體10之內緣15以外之區域。另一方面,於蒸汽腔室1E中,自厚度方向T觀察時,蒸發部EP未與殼體10之內緣15重疊。因此,於蒸汽腔室1E中,自厚度方向T觀察時,蒸發部EP與液體流路50重疊。
於蒸汽腔室1E中,自厚度方向T俯視時之殼體10之平面形狀可為圖10所示之L字型,亦可為與圖10不同之形狀。
於蒸汽腔室1E中,亦與蒸汽腔室1A同樣,只要存在至少1個滿足A<B之關係之沿第1方向之剖面即可。於蒸汽腔室1E中,例如於沿圖10所示之線段e1-e2之剖面中,滿足A<B之關係。
<實施形態6> 於本發明之熱擴散裝置中,於自厚度方向觀察時,液體流路亦可以通過蒸發部之內部之方式設置。以下,說明該點與本發明之實施形態1之熱擴散裝置不同之態樣之熱擴散裝置,來作為本發明之實施形態6之熱擴散裝置。
圖11係顯示本發明之實施形態6之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。
於圖11所示之蒸汽腔室1F中,自厚度方向T觀察時,液體流路50以通過蒸發部EP之內部之方式設置。
另,於圖10所示之蒸汽腔室1E中,自厚度方向T觀察時,液體流路50以通過蒸發部EP之內部之方式設置。
於蒸汽腔室1F中,亦與蒸汽腔室1A同樣,只要存在至少1個滿足A<B之關係之沿第1方向之剖面即可。於蒸汽腔室1F中,例如於沿圖11所示之線段f1-f2之剖面中,滿足A<B之關係。
<實施形態7> 於本發明之熱擴散裝置中,於自厚度方向觀察時,液體流路亦可沿蒸發部之外周設置。以下,說明該點與本發明之實施形態1之熱擴散裝置不同之態樣之熱擴散裝置,來作為本發明之實施形態7之熱擴散裝置。
圖12係顯示本發明之實施形態7之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。
於圖12所示之蒸汽腔室1G中,自厚度方向T觀察時,液體流路50沿蒸發部EP之外周設置。
於圖11所示之蒸汽腔室1F中,與圖12所示之蒸汽腔室1G比較,確保蒸汽流路60之寬度佔據殼體10之內部空間之比例較大。另一方面,於圖12所示之蒸汽腔室1G中,與圖11所示之蒸汽腔室1F比較,於蒸發部EP中,來自熱源HS(參照圖1)之熱容易傳遞至作動媒體20。
於蒸汽腔室1F及蒸汽腔室1G中,自厚度方向T觀察時,蒸發部EP可如圖11及圖12所示設置於殼體10之中央部附近,亦可設置於與圖11及圖12不同之位置。如此,於本發明之熱擴散裝置中,自厚度方向觀察時,蒸發部亦可設置於殼體之中央部或其周邊。
於蒸汽腔室1G中,亦與蒸汽腔室1A同樣,只要存在至少1個滿足A<B之關係之沿第1方向之剖面即可。於蒸汽腔室1G中,例如於沿圖12所示之線段g1-g2之剖面中,滿足A<B之關係。
[電子機器] 本發明之電子機器之特徵在於具備:本發明之熱擴散裝置;及電子零件,其設置於熱擴散裝置之殼體之外表面。
以下,作為本發明之電子機器之一例,就具有本發明之實施形態1之熱擴散裝置之電子機器進行說明。針對具有本發明之其他實施形態之熱擴散裝置之電子機器亦同樣。
圖13係顯示本發明之電子機器之一例之立體模式圖。
圖13所示之電子機器100具有蒸汽腔室1A、與電子零件110。
電子零件110相當於圖1所示之熱源HS。
電子零件110設置於蒸汽腔室1A之殼體10之外表面。更具體而言,電子零件110可相對於圖4所示之蒸汽腔室1A之殼體10,設置於殼體10之第1內表面10a之相反側之外表面,此處為第1片材11之外表面,亦可設置於殼體10之第2內表面10b之相反側之外表面,此處為第2片材12之外表面。
電子零件110可直接設置於殼體10之外表面,亦可介隔導熱性較高之黏著劑、片材、膠帶等其他構件設置。
電子零件110於設置於圖3所示之殼體10之外表面時,自厚度方向T觀察與蒸發部EP重疊。
作為電子零件110,列舉例如中央處理裝置(CPU:Central Processing Unit)、發光二極體(LED:Light Emitting Diode)、功率半導體等發熱元件。
作為電子機器100,列舉例如智慧型手機、平板終端、個人電腦、遊戲機器、可穿戴裝置等。
如圖13所示,電子機器100較佳進而具有機器殼體120。於圖13所示之例中,蒸汽腔室1A及電子零件110設置於機器殼體120之內部空間。
殼體10與機器殼體120較佳經由接合構件接合。更具體而言,殼體10之外表面與機器殼體120之內表面較佳經由接合構件接合。於該情形時,殼體10與機器殼體120之密接性提高。
接合殼體10與機器殼體120之接合構件較佳為導熱性構件。於該情形時,來自熱源HS之熱,此處為來自電子零件110之熱容易自殼體10向機器殼體120傳導。即,藉由自殼體10向機器殼體120之路徑,來自熱源HS之熱,此處為來自電子零件110之熱容易擴散。
作為導熱性構件,列舉例如導熱性膠帶、導熱性黏著劑等。
如上所述,蒸汽腔室1A無需外部動力而自主作動,進而利用作動媒體20之蒸發潛熱及凝縮潛熱,藉此可二維且高速擴散來自熱源HS之熱,此處為來自電子零件110之熱。進而,於蒸汽腔室1A中,如上所述,因確保蒸汽流路60較寬,又,毛細結構芯40之汽液交換面較大,故導熱率及最大熱輸送量提高。根據以上,藉由具有蒸汽腔室1A之電子機器100,可於電子機器100之內部之有限空間,有效地實現散熱。 [產業上之可利用性]
本發明之熱擴散裝置於攜帶資訊終端等之領域中,可使用於廣泛之用途。本發明之熱擴散裝置可用作例如降低中央處理裝置等之熱源之溫度,延長電子機器之使用時間,且可使用於智慧型手機、平板終端、個人電腦、遊戲機器、可穿戴裝置等。
1A~1G:蒸汽腔室(熱擴散裝置) 10:殼體 10a:第1內表面 10b:第2內表面 11:第1片材 12:第2片材 15:內緣 15a:第1內緣部 15b:第2內緣部 20:作動媒體 30:隔離壁 30a:第1隔離壁部 30ap:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部 30ar:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部 30b:第2隔離壁部 30bp:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部 30br:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部 40:毛細結構芯 40a:第1毛細結構芯部 40ap:第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部 40aq:第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部 40b:第2毛細結構芯部 40bp:第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部 40bq:第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部 50:液體流路 60:蒸汽流路 70:支柱 71:支柱 100:電子機器 110:電子零件 120:機器殼體 A:第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離 a1-a2:線段 B:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部之間於第1方向之距離 b1-b2:線段 C:第1內緣部與第2內緣部之間於第1方向之最小距離 c1-c2:線段 D:第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最大距離 d1-d2:線段 E1:第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部與第1內緣部之間於第1方向之最小距離 E2:第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部與第2內緣部之間於第1方向之最小距離 e1-e2:線段 EP:蒸發部 F1:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部、與第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離 F2:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離 f1-f2:線段 G1:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離 G2:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離 g1-g2:線段 L:長度方向 HS:熱源 T:厚度方向 W:寬度方向
圖1係顯示本發明之實施形態1之熱擴散裝置之一例之立體模式圖。 圖2係顯示分解本發明之實施形態1之熱擴散裝置後之狀態一例之立體模式圖。 圖3係顯示本發明之實施形態1之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。 圖4係顯示圖3所示之熱擴散裝置之沿線段a1-a2之剖面之一例之剖視模式圖。 圖5係顯示分解本發明之實施形態2之熱擴散裝置後之狀態一例之立體模式圖。 圖6係顯示本發明之實施形態2之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。 圖7係顯示圖6所示之熱擴散裝置之沿線段b1-b2之剖面之一例之剖視模式圖。 圖8係顯示本發明之實施形態3之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。 圖9係顯示本發明之實施形態4之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。 圖10係顯示本發明之實施形態5之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。 圖11係顯示本發明之實施形態6之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。 圖12係顯示本發明之實施形態7之熱擴散裝置之內部構造之一例之俯視模式圖。 圖13係顯示本發明之電子機器之一例之立體模式圖。
1A:蒸汽腔室(熱擴散裝置)
10:殼體
10a:第1內表面
10b:第2內表面
11:第1片材
12:第2片材
15:內緣
15a:第1內緣部
15b:第2內緣部
20:作動媒體
30:隔離壁
30a:第1隔離壁部
30ap:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部
30ar:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部
30b:第2隔離壁部
30bp:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部
30br:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部
40:毛細結構芯
40a:第1毛細結構芯部
40ap:第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部
40aq:第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部
40b:第2毛細結構芯部
40bp:第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部
40bq:第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部
50:液體流路
60:蒸汽流路
70:支柱
A:第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離
a1-a2:線段
B:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部之間於第1方向之距離
C:第1內緣部與第2內緣部之間於第1方向之最小距離
D:第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最大距離
E1:第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部與第1內緣部之間於第1方向之最小距離
E2:第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部與第2內緣部之間於第1方向之最小距離
F1:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部、與第1毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離
F2:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、 與第2毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離
G1:第1隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第2內緣部側之端部、與第1毛細結構芯部中之第2內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離
G2:第2隔離壁部中位於殼體之第2內表面側且第1內緣部側之端部、與第2毛細結構芯部中之第1內緣部側之端部之間於第1方向之最小距離

Claims (14)

  1. 一種熱擴散裝置,其特徵在於包含: 殼體,其具有與厚度方向對向之第1內表面及第2內表面,且設置有內部空間; 作動媒體,其被封入上述殼體之上述內部空間; 隔離壁,其與自上述厚度方向觀察時之上述殼體之內緣空出間隔,沿上述內緣之至少一部分設置於上述殼體之上述第1內表面;及 毛細結構芯,其一部分設置於上述殼體之上述第2內表面與上述隔離壁之間,且沿上述隔離壁之至少一部分設置;且 於觀察沿與上述厚度方向正交之第1方向之同一剖面時, 上述殼體之上述內緣包含與上述第1方向對向之第1內緣部、及第2內緣部; 上述隔離壁包含:第1隔離壁部,其設置於上述第1內緣部側;及第2隔離壁部,其設置於上述第2內緣部側; 上述毛細結構芯包含:第1毛細結構芯部,其設置於上述殼體之上述第2內表面與上述第1隔離壁部之間;及第2毛細結構芯部,其設置於上述殼體之上述第2內表面與上述第2隔離壁部之間;且 於將上述第1毛細結構芯部中之上述第2內緣部側之端部、與上述第2毛細結構芯部中之上述第1內緣部側之端部之間於上述第1方向之最小距離定義為A,將上述第1隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第2內緣部側之端部、與上述第2隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第1內緣部側之端部之間於上述第1方向之距離定義為B時,滿足A<B之關係。
  2. 如請求項1之熱擴散裝置,其中於將上述第1內緣部與上述第2內緣部之間於上述第1方向之最小距離定義為C,將上述第1毛細結構芯部中之上述第1內緣部側之端部、與上述第2毛細結構芯部中之上述第2內緣部側之端部之間於上述第1方向之最大距離定義為D時,滿足B-A>C-D≧0之關係。
  3. 如請求項1或2之熱擴散裝置,其中於將上述第1內緣部與上述第2內緣部之間於上述第1方向之最小距離定義為C,將上述第1毛細結構芯部中之上述第1內緣部側之端部、與上述第2毛細結構芯部中之上述第2內緣部側之端部之間於上述第1方向之最大距離定義為D時,滿足C>D之關係。
  4. 如請求項3之熱擴散裝置,其中於將上述第1毛細結構芯部中之上述第1內緣部側之端部、與上述第1內緣部之間於上述第1方向之最小距離定義為E1時,滿足E1>0之關係。
  5. 如請求項4之熱擴散裝置,其中於將上述第2毛細結構芯部中之上述第2內緣部側之端部、與上述第2內緣部之間於上述第1方向之最小距離定義為E2時,滿足E2>0之關係。
  6. 如請求項1或2之熱擴散裝置,其中於將上述第1隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第1內緣部側之端部、與上述第1毛細結構芯部中之上述第1內緣部側之端部之間於上述第1方向之最小距離定義為F1,將上述第1隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第2內緣部側之端部、與上述第1毛細結構芯部中之上述第2內緣部側之端部之間於上述第1方向之最小距離定義為G1時,滿足G1>F1>0之關係。
  7. 如請求項6之熱擴散裝置,其中於將上述第2隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第2內緣部側之端部、與上述第2毛細結構芯部中之上述第2內緣部側之端部之間於上述第1方向之最小距離定義為F2,將上述第2隔離壁部中位於上述殼體之上述第2內表面側且上述第1內緣部側之端部、與上述第2毛細結構芯部中之上述第1內緣部側之端部之間於上述第1方向之最小距離定義為G2時,滿足G2>F2>0之關係。
  8. 如請求項6之熱擴散裝置,其進而包含於液相之上述作動媒體之液體流路中,支持上述毛細結構芯之複數個支柱。
  9. 如請求項1或2之熱擴散裝置,其中上述殼體於上述內部空間包含蒸發部; 於自上述厚度方向觀察時,上述蒸發部與液相之上述作動媒體之液體流路重疊。
  10. 如請求項9之熱擴散裝置,其中於自上述厚度方向觀察時,上述蒸發部與上述殼體之上述內緣重疊。
  11. 如請求項9之熱擴散裝置,其中上述液體流路亦設置於上述殼體之上述內緣以外之區域; 於自上述厚度方向觀察時,上述蒸發部未與上述殼體之上述內緣重疊。
  12. 如請求項9之熱擴散裝置,其中於自上述厚度方向觀察時,上述液體流路以通過上述蒸發部之內部之方式設置。
  13. 如請求項9之熱擴散裝置,其中於自上述厚度方向觀察時,上述液體流路沿上述蒸發部之外周設置。
  14. 一種電子機器,其特徵在於包含:如請求項1至13中任一項之熱擴散裝置;及 電子零件,其設置於上述熱擴散裝置之上述殼體之外表面。
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