WO2023021953A1

WO2023021953A1 - 熱拡散デバイス及び電子機器

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Publication number: WO2023021953A1
Application number: PCT/JP2022/029072
Authority: WO
Inventors: 剛向井
Original assignee: 株式会社村田製作所
Priority date: 2021-08-19
Filing date: 2022-07-28
Publication date: 2023-02-23

Abstract

熱拡散デバイス（１ａ）は、厚み方向（Ｔ）に対向する第１内壁面（１０ａ）及び第２内壁面（１０ｂ）を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体（１０）と、筐体（１０）の内部空間に封入された作動媒体（２０）と、筐体（１０）の内部空間に設けられたウィック（３０）と、を備え、ウィック（３０）は、厚み方向（Ｔ）からの平面視で筐体（１０）の内部空間の縁端に沿って設けられた縁端ウィック部（３１）を有し、筐体（１０）の内部空間には、第１位置（Ｐ１）と、筐体（１０）の内部空間の厚み方向（Ｔ）の高さが第１位置（Ｐ１）よりも小さい第２位置（Ｐ２）と、が存在し、第１位置（Ｐ１）は、厚み方向（Ｔ）に直交する面方向において、第２位置（Ｐ２）よりも縁端ウィック部（３１）に近接する。

Description

熱拡散デバイス及び電子機器

　本発明は、熱拡散デバイス及び電子機器に関する。

　近年、素子の高集積化及び高性能化により、発熱量が増加している。また、製品の小型化により、発熱密度が増加している。このような状況は、スマートフォン、タブレット等のモバイル端末の分野において特に顕著である。このような事情から、放熱対策を行うことが重要となっている。

　放熱対策用の部材としては、グラファイトシート等が用いられることが多いが、その熱輸送量は充分ではないため、様々な放熱対策用の部材の使用が検討されている。中でも、非常に効果的に熱を拡散させることが可能である熱拡散デバイスとして、面状のヒートパイプであるベーパーチャンバーの使用の検討が進んでいる。

　特許文献１には、外縁が接合された対向する第１シート及び第２シートから構成される筐体と、筐体内に封入された作動液と、第１シートの第２シートに対向する主面に設けられたウィックと、を備えるベーパーチャンバーであって、第１シート及び第２シートは、外縁を接合する封止部を有し、第１シート及び第２シートの少なくとも一方は、第１シートと第２シートの対向する方向に直交する方向から断面視してウィックと封止部の間に溝部を有している、ベーパーチャンバーが開示されている。

国際公開第２０２０／０２６９０７号

　特許文献１に記載のベーパーチャンバーでは、特許文献１の図４等に示されているように、ウィックが、厚み方向からの平面視で筐体の内部空間全体にわたって設けられている。そのため、特許文献１に記載のベーパーチャンバーでは、筐体の内部空間に占める蒸気流路の領域が制限され、結果的に、最大熱輸送量が制限される、という問題が生じる。

　本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、最大熱輸送量を向上可能な熱拡散デバイスを提供することを目的とするものである。また、本発明は、上記熱拡散デバイスを有する電子機器を提供することを目的とするものである。

　本発明の熱拡散デバイスは、厚み方向に対向する第１内壁面及び第２内壁面を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体と、上記筐体の内部空間に封入された作動媒体と、上記筐体の内部空間に設けられたウィックと、を備え、上記ウィックは、上記厚み方向からの平面視で上記筐体の内部空間の縁端に沿って設けられた縁端ウィック部を有し、上記筐体の内部空間には、第１位置と、上記筐体の内部空間の上記厚み方向の高さが上記第１位置よりも小さい第２位置と、が存在し、上記第１位置は、上記厚み方向に直交する面方向において、上記第２位置よりも上記縁端ウィック部に近接する、ことを特徴とする。

　本発明の電子機器は、本発明の熱拡散デバイスと、上記熱拡散デバイスの上記筐体の外壁面に取り付けられた電子部品と、を備える、ことを特徴とする。

　本発明によれば、最大熱輸送量を向上可能な熱拡散デバイスを提供できる。また、本発明によれば、上記熱拡散デバイスを有する電子機器を提供できる。

図１は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの一例を示す斜視模式図である。図２は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図３は、図２に示す熱拡散デバイスの線分Ａ１－Ａ２に沿う断面を示す断面模式図である。図４は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートの作製工程の一例を示す断面模式図である。図５は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第２シートの作製工程の一例を示す断面模式図である。図６は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、ウィックの配置工程の一例を示す断面模式図である。図７は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、筐体の作製工程の一例を示す断面模式図である。図８は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、筐体の作製工程の別の一例を示す断面模式図である。図９は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図１０は、図９に示す熱拡散デバイスの線分Ｂ１－Ｂ２に沿う断面を示す断面模式図である。図１１は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートの作製工程の一例を示す断面模式図である。図１２は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートのエッチング加工工程の一例を示す断面模式図である。図１３は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートの追加エッチング加工工程の一例を示す断面模式図である。図１４は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、ウィックの配置工程の一例を示す断面模式図である。図１５は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、筐体の作製工程の一例を示す断面模式図である。図１６は、本発明の実施形態３の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図１７は、図１６に示す熱拡散デバイスの線分Ｃ１－Ｃ２に沿う断面を示す断面模式図である。図１８は、本発明の実施形態４の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図１９は、図１８に示す熱拡散デバイスの線分Ｄ１－Ｄ２に沿う断面を示す断面模式図である。図２０は、本発明の実施形態５の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２１は、図２０に示す熱拡散デバイスの線分Ｅ１－Ｅ２に沿う断面を示す断面模式図である。図２２は、本発明の実施形態６の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２３は、図２２に示す熱拡散デバイスの線分Ｆ１－Ｆ２に沿う断面を示す断面模式図である。図２４は、本発明の実施形態７の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２５は、図２４に示す熱拡散デバイスの線分Ｇ１－Ｇ２に沿う断面を示す断面模式図である。図２６は、本発明の実施形態８の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２７は、図２６に示す熱拡散デバイスの線分Ｈ１－Ｈ２に沿う断面を示す断面模式図である。図２８は、本発明の実施形態９の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２９は、図２８に示す熱拡散デバイスの線分Ｊ１－Ｊ２に沿う断面を示す断面模式図である。図３０は、本発明の実施形態１０の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図３１は、図３０に示す熱拡散デバイスの線分Ｋ１－Ｋ２に沿う断面を示す断面模式図である。図３２は、本発明の実施形態１１の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図３３は、図３２に示す熱拡散デバイスの線分Ｍ１－Ｍ２に沿う断面を示す断面模式図である。図３４は、本発明の電子機器の一例を示す斜視模式図である。図３５は、図３４に示す電子機器の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一部を示す断面模式図である。

　以下、本発明の熱拡散デバイスと、本発明の電子機器とについて説明する。なお、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更されてもよい。また、以下において記載する個々の好ましい構成を複数組み合わせたものもまた本発明である。

　以下に示す各実施形態は例示であり、異なる実施形態で示す構成の部分的な置換又は組み合わせが可能であることは言うまでもない。実施形態２以降では、実施形態１と共通の事項についての記載は省略し、異なる点を主に説明する。特に、同様の構成による同様の作用効果については、実施形態毎に逐次言及しない。

　以下の説明において、各実施形態を特に区別しない場合、単に「本発明の熱拡散デバイス」及び「本発明の電子機器」と言う。

　以下に示す図面は模式図であり、その寸法、縦横比の縮尺等は実際の製品と異なる場合がある。

［熱拡散デバイス］
　本発明の熱拡散デバイスについて、以下に説明する。

＜実施形態１＞
　本発明の熱拡散デバイスは、厚み方向に対向する第１内壁面及び第２内壁面を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体と、上記筐体の内部空間に封入された作動媒体と、上記筐体の内部空間に設けられたウィックと、を備える。

　図１は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの一例を示す斜視模式図である。

　以下では、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの一例として、ベーパーチャンバーを示す。後述する本発明の他の実施形態の熱拡散デバイスの一例についても同様である。

　図１に示すベーパーチャンバー（熱拡散デバイス）１ａは、筐体１０を有している。

　筐体１０は、気密状態に密閉されており、中空構造を有している。

　筐体１０の外壁面には、発熱素子である熱源ＨＳが取り付けられている。

　熱源ＨＳとしては、例えば、電子部品が挙げられる。

　本明細書中、長さ方向、厚み方向、及び、幅方向を、図１等に示すように、各々、Ｌ、Ｔ、及び、Ｗで定められる方向とする。長さ方向Ｌと厚み方向Ｔと幅方向Ｗとは、互いに直交している。また、厚み方向Ｔに直交する方向であって、長さ方向Ｌ及び幅方向Ｗを包含する方向を、面方向とする。なお、長さ方向Ｌの寸法、厚み方向Ｔの寸法、及び、幅方向Ｗの寸法を、各々、長さ、厚み、及び、幅とも言う。

　ベーパーチャンバー１ａは、全体として面状である。すなわち、筐体１０は、全体として面状である。

　本明細書中、面状とは、板状及びシート状を包含する形状であり、図１に示すベーパーチャンバー１ａ及び筐体１０では、長さ及び幅が、厚みに対して相当に大きい形状、例えば、長さ及び幅が、厚みの１０倍以上、好ましくは１００倍以上である形状を意味する。

　ベーパーチャンバー１ａの長さ、厚み、及び、幅、すなわち、筐体１０の長さ、厚み、及び、幅は、各々、長さ方向Ｌ、厚み方向Ｔ、及び、幅方向Ｗの最大寸法として定められる。

　ベーパーチャンバー１ａの大きさ、すなわち、筐体１０の大きさは、特に限定されない。

　ベーパーチャンバー１ａの長さ及び幅、すなわち、筐体１０の長さ及び幅は、各々、好ましくは５ｍｍ以上、５００ｍｍ以下、より好ましくは２０ｍｍ以上、３００ｍｍ以下、更に好ましくは５０ｍｍ以上、２００ｍｍ以下である。

　ベーパーチャンバー１ａの長さ及び幅、すなわち、筐体１０の長さ及び幅は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ａの厚み、すなわち、筐体１０の厚みは、好ましくは５０μｍ以上、５００μｍ以下である。

　筐体１０は、外縁部同士が接合された第１シート１１及び第２シート１２から構成されることが好ましい。

　第１シート１１及び第２シート１２の構成材料は、ベーパーチャンバーに適した特性、例えば、熱伝導性、強度、柔軟性、可撓性等を有するものであれば、特に限定されない。第１シート１１及び第２シート１２の構成材料は、好ましくは金属、例えば、銅、ニッケル、アルミニウム、マグネシウム、チタン、鉄、これらの金属の少なくとも１種を主成分とする合金等であり、特に好ましくは銅である。

　第１シート１１及び第２シート１２の構成材料は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいが、互いに同じであることが好ましい。

　第１シート１１及び第２シート１２の外縁部同士の接合方法としては、例えば、レーザー溶接、抵抗溶接、拡散接合、ロウ接、ＴＩＧ溶接（タングステン－不活性ガス溶接）、超音波接合、樹脂封止等が挙げられる。中でも、レーザー溶接、抵抗溶接、又は、ロウ接が好ましい。

　第１シート１１及び第２シート１２の厚みは、各々、好ましくは１０μｍ以上、２００μｍ以下、より好ましくは３０μｍ以上、１００μｍ以下、更に好ましくは４０μｍ以上、６０μｍ以下である。

　第１シート１１及び第２シート１２の厚みは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

　第１シート１１及び第２シート１２の厚みは、各々、全体にわたって同じであってもよいし、一部で異なっていてもよい。

　厚み方向Ｔからの平面視での、ベーパーチャンバー１ａの平面形状、すなわち、筐体１０の平面形状としては、例えば、三角形、矩形等の多角形、円形、楕円形、これらを組み合わせた形状等が挙げられる。また、ベーパーチャンバー１ａの平面形状、すなわち、筐体１０の平面形状は、Ｌ字型、Ｃ字型（コの字型）、階段型等であってもよい。また、筐体１０には、厚み方向Ｔに貫通口が設けられていてもよい。ベーパーチャンバー１ａの平面形状、すなわち、筐体１０の平面形状は、ベーパーチャンバーの用途に応じた形状であってもよいし、ベーパーチャンバーの搭載箇所に応じた形状であってもよいし、近傍に存在する他の部品に応じた形状であってもよい。

　図２は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。より具体的には、図２は、図１に示すベーパーチャンバー１ａを第２シート１２側から透視した状態を示している。図３は、図２に示す熱拡散デバイスの線分Ａ１－Ａ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図２及び図３に示すベーパーチャンバー１ａは、筐体１０と、作動媒体２０と、ウィック３０と、を有している。

　筐体１０は、厚み方向Ｔに対向する第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂを有している。

　筐体１０の第１内壁面１０ａは、第１シート１１の内面に該当する。

　筐体１０の第２内壁面１０ｂは、第２シート１２の内面に該当する。

　筐体１０には、内部空間が設けられている。より具体的には、筐体１０には、第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂで囲まれた内部空間が設けられている。

　作動媒体２０は、筐体１０の内部空間に封入されている。

　作動媒体２０は、筐体１０内の環境下において気－液の相変化を生じ得るものであれば、特に限定されない。作動媒体２０としては、例えば、水、アルコール類、代替フロン等が挙げられる。作動媒体２０は、水性化合物であることが好ましく、中でも、水であることが特に好ましい。

　ウィック３０は、筐体１０の内部空間に設けられている。

　本明細書中、ウィックは、毛細管力により作動媒体を移動させることができる毛細管構造を有するものを意味する。

　毛細管構造としては、従来のベーパーチャンバーで用いられる公知の構造であってもよく、例えば、細孔、突起、溝等の凹凸を有する微細構造等が挙げられる。

　ウィック３０は、液相の作動媒体２０を毛細管力により吸い上げて輸送する液輸送部として機能する。

　本発明の熱拡散デバイスにおいて、上記ウィックは、上記厚み方向からの平面視で上記筐体の内部空間の縁端に沿って設けられた縁端ウィック部を有する。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、ウィック３０は、縁端ウィック部３１を有している。図２に示す例では、ウィック３０が、縁端ウィック部３１からなっている。

　縁端ウィック部３１は、厚み方向Ｔからの平面視で、筐体１０の内部空間の縁端に沿って設けられている。図２に示す例では、縁端ウィック部３１が、厚み方向Ｔからの平面視で、筐体１０の内部空間の縁端の全周に沿って設けられている。なお、縁端ウィック部３１は、厚み方向Ｔからの平面視で、筐体１０の内部空間の縁端の一部に沿って設けられていてもよい。

　ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１は、例えば、複数の繊維を線状に束ねた繊維束で構成される。繊維束は、液相の作動媒体２０を毛細管力により吸い上げて保持する液保持部として機能しつつ、吸い上げた液相の作動媒体２０を輸送する液輸送部としても機能する。

　ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１は、繊維束で構成される場合、編み込み状の繊維束で構成されることが好ましい。複数の繊維が編み込まれた編み込み状の繊維束では、表面に凹凸が存在しやすくなるため、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１が編み込み状の繊維束で構成される場合、液相の作動媒体２０が輸送されやすくなる。

　繊維束を構成する繊維としては、例えば、銅、アルミニウム、ステンレス等の金属線、カーボン繊維、ガラス繊維等の非金属線等が挙げられる。中でも、金属線は、熱伝導率が高いことから好ましい。例えば、直径が０．０３ｍｍ程度の銅線を２００本程度束ねることにより、繊維束とすることができる。

　筐体１０の内部空間には、ウィック３０以外の領域に、蒸気流路ＶＰが設けられている。

　ベーパーチャンバー１ａでは、上述したように、ウィック３０が、縁端ウィック部３１として、厚み方向Ｔからの平面視で筐体１０の内部空間の縁端に沿って設けられている。つまり、ベーパーチャンバー１ａでは、ウィック３０が、厚み方向Ｔからの平面視で筐体１０の内部空間全体にわたって設けられていない。そのため、ベーパーチャンバー１ａでは、ウィック３０が設けられていない蒸気流路ＶＰが広く確保される。その結果、ベーパーチャンバー１ａの熱拡散能力が向上し、更には、均熱性能が向上する。

　本発明の熱拡散デバイスでは、上記筐体の内部空間には、第１位置と、上記筐体の内部空間の上記厚み方向の高さが上記第１位置よりも小さい第２位置と、が存在し、上記第１位置は、上記厚み方向に直交する面方向において、上記第２位置よりも上記縁端ウィック部に近接する。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０の内部空間には、図３に示すように、第１位置Ｐ１と、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第１位置Ｐ１よりも小さい第２位置Ｐ２と、が存在している。ここで、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、筐体１０の内部空間における、第１内壁面１０ａと第２内壁面１０ｂとの厚み方向Ｔの距離を指す。そして、ベーパーチャンバー１ａにおいて、第１位置Ｐ１は、図３に示すように、厚み方向Ｔに直交する面方向、ここでは、幅方向Ｗにおいて、第２位置Ｐ２よりも縁端ウィック部３１に近接している。より具体的には、第１位置Ｐ１は、面方向、ここでは、幅方向Ｗにおいて、第２位置Ｐ２よりも縁端ウィック部３１側に存在しつつ、縁端ウィック部３１に接している。したがって、ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、第２位置Ｐ２から、縁端ウィック部３１に接する第１位置Ｐ１に向かって大きくなっている。

　本発明の熱拡散デバイスにおいて、上記筐体の内部空間の上記厚み方向の高さが上記第２位置から上記第１位置に向かって大きくなる態様として、上記筐体の上記第１内壁面及び上記第２内壁面の一方は、上記厚み方向において上記筐体の内部空間側に凸であってもよい。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂの一方は、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であってもよい。図３に示す例では、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っている。つまり、ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０の第１内壁面１０ａは、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜している。

　ベーパーチャンバー１ａでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっていれば、筐体１０の第１内壁面１０ａは、連続的に傾斜していなくてもよく、一部で平坦となっていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ａの作動時には、気相の作動媒体２０が、蒸気流路ＶＰを通って、例えば、厚み方向Ｔからの平面視での筐体１０の内部空間の中央部付近に移動し、そこで冷却されて液相の作動媒体２０に変化する。しかしながら、ベーパーチャンバー１ａでは、上述したように、ウィック３０が厚み方向Ｔからの平面視で筐体１０の内部空間全体にわたって設けられていないために、気相の作動媒体２０が冷却されて液相の作動媒体２０に変化する場所に、ウィック３０が設けられていないことがあり得る。

　これに対して、ベーパーチャンバー１ａでは、上述したように、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっており、図３に示す例では、筐体１０の第１内壁面１０ａが、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜している。そのため、ベーパーチャンバー１ａを、筐体１０の第１内壁面１０ａが、第２内壁面１０ｂよりも鉛直下方になるように設置すると、鉛直下方向に重力が働き、筐体１０の内部空間において、第２位置Ｐ２で発生した液相の作動媒体２０は、筐体１０の第１内壁面１０ａの傾斜に沿って第１位置Ｐ１に移動する。その結果、第１位置Ｐ１に移動した液相の作動媒体２０は、第１位置Ｐ１に接する縁端ウィック部３１に吸い上げられる。このようにして、ベーパーチャンバー１ａでは、筐体１０の内部空間において、気相の作動媒体２０が冷却されることで発生した液相の作動媒体２０が、ウィック３０、より具体的には、縁端ウィック部３１に効率的に回収されやすくなる。このように、ベーパーチャンバー１ａによる作用効果は、特に、厚み方向Ｔに重力が働くときに顕著となる。

　以上により、ベーパーチャンバー１ａでは、蒸発した後に冷却されて戻った液相の作動媒体２０を、ウィック３０、より具体的には、縁端ウィック部３１により効率的に還流させることができる。そのため、ベーパーチャンバー１ａでは、ウィック３０が厚み方向Ｔからの平面視で筐体１０の内部空間全体にわたって設けられていないにもかかわらず、液相の作動媒体２０がウィック３０に回収されずに局所的にたまることが起こりにくい。したがって、ベーパーチャンバー１ａの作動時に、液相の作動媒体２０と気相の作動媒体２０との循環が止まってしまう、いわゆるドライアウトが発生しにくくなる。以上の結果、ベーパーチャンバー１ａでは、ウィック３０が厚み方向Ｔからの平面視で筐体１０の内部空間全体にわたって設けられていないことで蒸気流路ＶＰが広く確保されていることも相まって、最大熱輸送量が向上する。

　図３に示す第２位置Ｐ２は、あくまで一例として示されたものである。第２位置Ｐ２は、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが最大となる位置でなければ、図３に示す位置と異なる位置にあってもよい。第２位置Ｐ２が図３に示す位置と異なる位置にある場合であっても、図３に示す例と同様の作用により、液相の作動媒体２０が縁端ウィック部３１に効率的に回収されやすくなり、結果的に、ベーパーチャンバー１ａの最大熱輸送量が向上する。

　ベーパーチャンバー１ａでは、図３と異なる厚み方向Ｔに沿う断面、例えば、図３と異なる厚み方向Ｔ及び幅方向Ｗに沿う断面、厚み方向Ｔ及び長さ方向Ｌに沿う断面等においても、図３に示す例と同様に、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっていることが好ましい。

　ベーパーチャンバー１ａでは、厚み方向Ｔに沿う断面に、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、縁端ウィック部３１の少なくとも一部に対して、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっている断面が含まれていれば、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっていない断面、例えば、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって同じである断面が含まれていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ａでは、厚み方向Ｔに沿うあらゆる断面において、図３に示す例と同様に、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっていることが特に好ましい。つまり、ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、縁端ウィック部３１の全体に対して、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっていることが特に好ましい。

　ベーパーチャンバー１ａでは、図３に示す例と異なり、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っていてもよい。つまり、ベーパーチャンバー１ａでは、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜していてもよい。この場合、ベーパーチャンバー１ａを、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第１内壁面１０ａよりも鉛直下方になるように設置すると、図３に示す例と同様の作用により、液相の作動媒体２０が縁端ウィック部３１に効率的に回収されやすくなり、結果的に、ベーパーチャンバー１ａの最大熱輸送量が向上する。

　本発明の熱拡散デバイスにおいて、上記筐体は、蒸発部を内部空間に有することが好ましく、上記厚み方向からの平面視で、上記縁端ウィック部は、上記蒸発部に重なることが好ましい。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０は、図２に示すように、蒸発部ＥＰを内部空間に有していることが好ましい。

　蒸発部ＥＰは、液相の作動媒体２０を蒸発させて、気相の作動媒体２０に変化させる部分である。より具体的には、蒸発部ＥＰは、筐体１０の内部空間のうち、図１に示す熱源ＨＳの近傍部分であって、熱源ＨＳによって加熱される部分に該当する。

　蒸発部ＥＰの数は、熱源ＨＳの数に応じて、図２に示すように１つのみであってもよいし、複数であってもよい。

　なお、熱源ＨＳは、特に断らない限り、筐体１０の第１内壁面１０ａと反対側の外壁面、ここでは、第１シート１１の外面に取り付けられていてもよいし、筐体１０の第２内壁面１０ｂと反対側の外壁面、ここでは、第２シート１２の外面に取り付けられていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、図２に示すように、蒸発部ＥＰに重なっていることが好ましい。つまり、厚み方向Ｔからの平面視で、ウィック３０は、蒸発部ＥＰに重なっていることが好ましい。この場合、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１により、液相の作動媒体２０を蒸発部ＥＰに輸送することができる。より具体的には、ベーパーチャンバー１ａの作動時に、蒸発部ＥＰで発生した気相の作動媒体２０が、蒸気流路ＶＰを通って蒸発部ＥＰから離れた場所、例えば、厚み方向Ｔからの平面視での筐体１０の内部空間の中央部付近に移動し、そこで冷却されて液相の作動媒体２０に変化する。そして、蒸発部ＥＰで蒸発した後に冷却されて戻った液相の作動媒体２０は、上述した作用により、縁端ウィック部３１に効率的に回収された後、蒸発部ＥＰに還流する。

　厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、図２に示すように蒸発部ＥＰの一部に重なっていてもよいし、蒸発部ＥＰの全体に重なっていてもよい。

　なお、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、蒸発部ＥＰに重なっていなくてもよい。この場合、ウィック３０のうち、縁端ウィック部３１以外の部分（例えば、後述する非縁端ウィック部）が、厚み方向Ｔからの平面視で蒸発部ＥＰに重なっていてもよい。

　本発明の熱拡散デバイスにおいて、上記厚み方向からの平面視で、上記縁端ウィック部は、上記蒸発部を横断してもよい。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、図２に示すように、蒸発部ＥＰを横断していてもよい。

　図２に示す例では、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１が蒸発部ＥＰを幅方向Ｗに横断しているが、例えば、図２を９０°回転させた状態で見ると、縁端ウィック部３１が蒸発部ＥＰを幅方向Ｗに縦断している、とも言える。このように、本明細書中では、縁端ウィック部が蒸発部を横断する態様に、縁端ウィック部が蒸発部を縦断する態様も含まれる。

　本発明の熱拡散デバイスにおいて、上記厚み方向からの平面視で、上記縁端ウィック部は、上記筐体の内部空間の角部に隣り合う２辺に沿って、かつ、連続して設けられていることが好ましい。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、図２に示すように、筐体１０の内部空間の角部に隣り合う２辺に沿って、かつ、連続して設けられていることが好ましい。この場合、蒸発部ＥＰで発生した気相の作動媒体２０が、筐体１０の内部空間の角部付近に移動し、そこで冷却されて液相の作動媒体２０に変化しても、筐体１０の内部空間の角部付近に存在する液相の作動媒体２０は、縁端ウィック部３１に回収されやすくなる。

　本発明の熱拡散デバイスにおいて、上記厚み方向からの平面視で、上記縁端ウィック部は、上記筐体の内部空間の角部に接することが好ましい。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、図２に示すように、筐体１０の内部空間の角部に接していることが好ましい。この場合、筐体１０の内部空間の角部付近に存在する液相の作動媒体２０は、縁端ウィック部３１に確実に回収される。

　厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、図２に示すように、筐体１０の内部空間のすべての角部に接していることが特に好ましい。

　なお、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１は、図２に示す例と異なり、筐体１０の内部空間の角部に接していなくてもよい。

　ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１は、図３に示すように、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂに接していることが好ましい。この場合、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１は、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂの少なくとも一方に固定されていることが好ましい。

　ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１は、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂの一方に接していてもよい。この場合、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１は、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂのうち、縁端ウィック部３１が接している側の内壁面に固定されていることが好ましい。

　ウィック３０の固定方法、ここでは、縁端ウィック部３１の固定方法としては、例えば、拡散接合、超音波接合、スポット溶接等の接合方法が挙げられる。

　本発明の熱拡散デバイスにおいて、上記筐体の外壁面は、上記厚み方向において上記筐体の内部空間側に凹であってもよい。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０の外壁面は、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凹であってもよい。図３に示す例では、筐体１０の第１内壁面１０ａと反対側の外壁面、ここでは、第１シート１１の外面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凹であるように反っている。

　一方、ベーパーチャンバー１ａでは、上述したように、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っている。

　このように、ベーパーチャンバー１ａでは、筐体１０の第１内壁面１０ａと、筐体１０の第１内壁面１０ａと反対側の外壁面とが、ここでは、第１シート１１の内面と外面とが、同じ方向に反っており、第１シート１１の厚みが、位置によらず一定となっている。

　ベーパーチャンバー１ａにおいて、筐体１０の内部空間には、図２及び図３に示すように、第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂを内側から支持する複数の支柱４０が設けられていてもよい。複数の支柱４０が筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂを内側から支持することにより、筐体１０が外部からの圧力で変形しようとしても、蒸気流路ＶＰが潰れることを防止できる。

　筐体１０の内部空間に複数の支柱４０が設けられている場合、支柱４０間の領域が、蒸気流路ＶＰとなる。

　複数の支柱４０は、各々独立して、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂのうち、図３に示すように両方に接していてもよいし、一方に接していてもよい。

　複数の支柱４０は、各々独立して、筐体１０と一体化していてもよいし、筐体１０に接合されていてもよい。

　複数の支柱４０が筐体１０と一体化している場合、複数の支柱４０は、例えば、第１シート１１又は第２シート１２の内面をエッチング加工すること等により形成される。

　複数の支柱４０が筐体１０と一体化している場合、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂは、各々、支柱４０間に存在する筐体１０の内壁面に該当する。

　複数の支柱４０の構成材料は、例えば、樹脂、金属、セラミックス、これらの複数種以上の混合物等が挙げられる。

　複数の支柱４０の構成材料は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよい。

　複数の支柱４０は、各々独立して、単層からなっていてもよいし、複数層からなっていてもよい。

　複数の支柱４０の長さは、各々、支柱４０における厚み方向Ｔの端部での面方向に沿う断面の円相当径に換算して、例えば、１００μｍ以上、２０００μｍ以下であり、好ましくは３００μｍ以上、１０００μｍ以下である。支柱４０の長さが大きくなると、外部からの圧力による筐体１０の変形がより抑制される。支柱４０の長さが小さくなると、蒸気流路ＶＰがより広く確保される。

　複数の支柱４０の長さは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　複数の支柱４０の幅は、各々、支柱４０における厚み方向Ｔの端部での面方向に沿う断面の円相当径に換算して、例えば、１００μｍ以上、２０００μｍ以下であり、好ましくは３００μｍ以上、１０００μｍ以下である。支柱４０の幅が大きくなると、外部からの圧力による筐体１０の変形がより抑制される。支柱４０の幅が小さくなると、蒸気流路ＶＰがより広く確保される。

　複数の支柱４０の幅は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　厚み方向Ｔからの平面視での、複数の支柱４０の平面形状としては、各々、例えば、三角形、矩形等の多角形、図２に示すような円形、楕円形、これらを組み合わせた形状等が挙げられる。

　複数の支柱４０の平面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　面方向からの断面視での、複数の支柱４０の断面形状としては、各々、例えば、図３に示すような矩形等の多角形等が挙げられる。

　複数の支柱４０の断面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　複数の支柱４０は、筐体１０の内部空間において、図２に示すように支柱４０間の距離が一定となるように均等に配置されていることが好ましい。この場合、複数の支柱４０は、筐体１０の内部空間において、一部の領域で均等に配置されていることが好ましく、全体の領域にわたって均等に配置されていることがより好ましい。複数の支柱４０が均等に配置されている領域では、ベーパーチャンバー１ａの強度が均一に確保される。

　複数の支柱４０の寸法（長さ、幅等）、形状（平面形状、断面形状等）、個数、配置等は、実際の製品において、図２及び図３に示す例と異なっていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ａは、以下のようにして作動する。

　液相の作動媒体２０は、蒸発部ＥＰにおいて、熱源ＨＳからの熱を吸収することで蒸発し、気相の作動媒体２０に変化する。そして、蒸発部ＥＰで発生した気相の作動媒体２０は、蒸気流路ＶＰを通って蒸発部ＥＰから離れた場所、例えば、厚み方向Ｔからの平面視での筐体１０の内部空間の中央部付近に移動し、そこで冷却されて液相の作動媒体２０に変化する。ここで、ウィック３０に到達していない液相の作動媒体２０は、筐体１０の第１内壁面１０ａの傾斜に沿って縁端ウィック部３１に移動する。そして、縁端ウィック部３１に到達した液相の作動媒体２０は、縁端ウィック部３１に吸い上げられた後、縁端ウィック部３１で蒸発部ＥＰに輸送される。

　ベーパーチャンバー１ａでは、以上の過程が繰り返されることにより、作動媒体２０が気－液の相変化を生じつつ循環する。この際、熱源ＨＳからの熱は、蒸発部ＥＰにおいて液相の作動媒体２０を気相の作動媒体２０に変化させる蒸発潜熱として吸収された後、蒸発部ＥＰから離れた場所において気相の作動媒体２０を液相の作動媒体２０に変化させる凝縮潜熱として放出される。このようにして、ベーパーチャンバー１ａは、外部動力を必要とすることなく自立的に作動し、更には、作動媒体２０の蒸発潜熱及び凝縮潜熱を利用することにより、熱源ＨＳからの熱を二次元的に高速で拡散できる。更に、ベーパーチャンバー１ａでは、上述したように、蒸気流路ＶＰが広く確保されており、また、液相の作動媒体２０が縁端ウィック部３１に効率的に回収されやすくなっているため、最大熱輸送量が向上する。

　ベーパーチャンバー１ａは、例えば、以下の方法で製造される。

（第１シートの作製工程）
　図４は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートの作製工程の一例を示す断面模式図である。

　例えば、金属材料を金型でプレス加工することにより、図４に示す第１シート１１を作製する。

（第２シートの作製工程）
　図５は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第２シートの作製工程の一例を示す断面模式図である。

　まず、例えば、金属材料を金型でプレス加工することにより、第２シート１２を作製する。そして、第２シート１２の一方主面をエッチング加工することにより、図５に示すように、第２シート１２と一体化した複数の支柱４０を形成する。

（ウィックの配置工程）
　図６は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、ウィックの配置工程の一例を示す断面模式図である。

　図５に示す第２シート１２に対して、ウィック３０を、例えば、拡散接合することにより、図６に示すように、ウィック３０を縁端ウィック部３１として、第２シート１２の一方主面上の縁端に沿って配置する。これにより、図６に示すウィック３０付き第２シート１２を作製する。

（筐体の作製工程）
　図７は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、筐体の作製工程の一例を示す断面模式図である。

　図４に示す第１シート１１と、図６に示すウィック３０付き第２シート１２とを、第１シート１１と複数の支柱４０とが接するように、作動媒体２０を内部に封入した状態で接合することにより、図７に示す筐体１０を作製する。この際、第１シート１１で複数の支柱４０を厚み方向Ｔに押しつぶすことにより、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸となるようにする。

　筐体１０を作製する際、第１シート１１及び第２シート１２の外縁部同士をロウ接で接合してもよい。

　図８は、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、筐体の作製工程の別の一例を示す断面模式図である。

　図８に示すように、第１シート１１及び第２シート１２の外縁部同士を、ロウ材５０を用いたロウ接で接合することにより、筐体１０を作製してもよい。この際、第２シート１２の外縁部が、複数の支柱４０よりもロウ材５０の厚み分だけ高くなる。そのため、第１シート１１及び第２シート１２の外縁部同士がロウ材５０を介して接合されてなる筐体１０において、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸となりやすくなる。

　以上により、ベーパーチャンバー１ａが製造される。

＜実施形態２＞
　本発明の実施形態２の熱拡散デバイスでは、上記筐体の上記第１内壁面及び上記第２内壁面の一方が、上記厚み方向において上記筐体の内部空間側に凸であるものの、その凸形状が、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、階段状である。

　図９は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図１０は、図９に示す熱拡散デバイスの線分Ｂ１－Ｂ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図９及び図１０に示すベーパーチャンバー１ｂでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなる態様として、筐体１０の第１内壁面１０ａが、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように階段状となっている。

　ベーパーチャンバー１ｂにおいて、筐体１０の第１内壁面１０ａがなす階段の段数、段差等は、特に限定されない。

　ベーパーチャンバー１ｂでは、図１０に示す例と異なり、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように階段状となっていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ｂは、例えば、以下の方法で製造される。

（第１シートの作製工程）
　図１１は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートの作製工程の一例を示す断面模式図である。

　例えば、金属材料を金型でプレス加工することにより、図１１に示す第１シート１１を作製する。

（第１シートのエッチング加工工程）
　図１２は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートのエッチング加工工程の一例を示す断面模式図である。

　図１１に示す第１シート１１の一方主面をエッチング加工することにより、図１２に示すように、第１シート１１の一方主面に複数の突起を形成する。

（第１シートの追加エッチング加工工程）
　図１３は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、第１シートの追加エッチング加工工程の一例を示す断面模式図である。

　図１２に示す第１シート１１の一方主面を選択的にエッチング加工することにより、図１３に示すように、第１シート１１と一体化した複数の支柱４０を形成するとともに、支柱４０間に存在する第１シート１１の一方主面の厚み方向Ｔの高さ位置が縁端に向かって低くなるようにする。

（ウィックの配置工程）
　図１４は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、ウィックの配置工程の一例を示す断面模式図である。

　図１３に示す第１シート１１に対して、ウィック３０を、例えば、拡散接合することにより、図１４に示すように、ウィック３０を縁端ウィック部３１として、第１シート１１の一方主面上の縁端に沿って配置する。これにより、図１４に示すウィック３０付き第１シート１１を作製する。

（筐体の作製工程）
　図１５は、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスの製造方法の一例について、筐体の作製工程の一例を示す断面模式図である。

　図１４に示すウィック３０付き第１シート１１と、別途作製した第２シート１２とを、第２シート１２と複数の支柱４０とが接するように、作動媒体２０を内部に封入した状態で接合することにより、図１５に示す筐体１０を作製する。これにより、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸となる。

　筐体１０を作製する際、図１５に示すように、第１シート１１及び第２シート１２の外縁部同士を、ロウ材５０を用いたロウ接で接合してもよい。

　以上により、ベーパーチャンバー１ｂが製造される。

＜実施形態３＞
　本発明の実施形態３の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、上記筐体の上記第１内壁面及び上記第２内壁面が、各々、上記厚み方向において上記筐体の内部空間側に凸である。

　図１６は、本発明の実施形態３の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図１７は、図１６に示す熱拡散デバイスの線分Ｃ１－Ｃ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図１６及び図１７に示すベーパーチャンバー１ｃでは、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂが、各々、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸である。より具体的には、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂが、各々、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っている。

　ベーパーチャンバー１ｃでは、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂが、各々、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っていることにより、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂのどちらが鉛直下方になるように設置しても、筐体１０の内部空間において、第２位置Ｐ２で発生した液相の作動媒体２０が、筐体１０の第１内壁面１０ａ又は第２内壁面１０ｂの傾斜に沿って第１位置Ｐ１に移動する。したがって、ベーパーチャンバー１ｃでは、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂのどちらが鉛直下方になるように設置しても、液相の作動媒体２０が縁端ウィック部３１に効率的に回収されやすくなる。

　ベーパーチャンバー１ｃでは、第１シート１１及び第２シート１２の厚みを同じとし、更に、厚み方向Ｔに対称的な形状とすることにより、表裏のない構造を実現できる。ベーパーチャンバー１ｃが表裏のない構造となることにより、ベーパーチャンバー１ｃを電子機器に組み込む際の作業効率が向上する。

　ベーパーチャンバー１ｃでは、図１７に示す例と異なり、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂが、各々、厚み方向Ｔにおいて、筐体１０の内部空間側に凸であるように階段状となっていてもよい。

＜実施形態４＞
　本発明の実施形態４の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、上記厚み方向からの平面視で、上記縁端ウィック部が、上記蒸発部を横断しない。

　図１８は、本発明の実施形態４の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図１９は、図１８に示す熱拡散デバイスの線分Ｄ１－Ｄ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図１８及び図１９に示すベーパーチャンバー１ｄでは、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１が、蒸発部ＥＰを横断していない。つまり、ベーパーチャンバー１ｄでは、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１が、蒸発部ＥＰに重なっているものの、蒸発部ＥＰの配置領域で分離されている。

　ベーパーチャンバー１ｄでは、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１が蒸発部ＥＰを横断していないことにより、蒸発部ＥＰのうち、縁端ウィック部３１が横断していない領域において、蒸発熱抵抗が減少しやすくなる。蒸発部ＥＰにおいて、蒸発熱抵抗が減少しやすくなると、液相の作動媒体２０が蒸発しやすくなり、結果的に、ベーパーチャンバー１ｄの最大熱輸送量の向上に寄与できる。

＜実施形態５＞
　本発明の実施形態５の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、上記ウィックが、上記厚み方向からの平面視で上記筐体の内部空間の縁端以外の領域に設けられた非縁端ウィック部を更に有する。更に、本発明の実施形態５の熱拡散デバイスでは、上記筐体が、蒸発部を内部空間に有し、上記厚み方向からの平面視で、上記非縁端ウィック部が、上記蒸発部に重なる。更に、本発明の実施形態５の熱拡散デバイスでは、上記筐体の内部空間には、上記筐体の内部空間の上記厚み方向の高さが上記第２位置よりも大きい第３位置が更に存在し、上記第３位置は、上記面方向において、上記第２位置よりも上記非縁端ウィック部に近接する。

　図２０は、本発明の実施形態５の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２１は、図２０に示す熱拡散デバイスの線分Ｅ１－Ｅ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図２０及び図２１に示すベーパーチャンバー１ｅでは、ウィック３０が、縁端ウィック部３１に加えて、非縁端ウィック部３２を更に有している。

　ベーパーチャンバー１ｅでは、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１が、蒸発部ＥＰを横断していてもよいし、図２０に示すように蒸発部ＥＰを横断していなくてもよい。

　非縁端ウィック部３２は、厚み方向Ｔからの平面視で、筐体１０の内部空間の縁端以外の領域に設けられている。図２０に示す例では、非縁端ウィック部３２が、厚み方向Ｔからの平面視で、縁端ウィック部３１から分岐して筐体１０の内部空間の幅方向Ｗの中央部を通るように、蒸発部ＥＰに向かって長さ方向Ｌに延びている。

　厚み方向Ｔからの平面視で、非縁端ウィック部３２は、蒸発部ＥＰに重なっている。したがって、縁端ウィック部３１に加えて、非縁端ウィック部３２でも、液相の作動媒体２０を蒸発部ＥＰに輸送することができる。つまり、ベーパーチャンバー１ｅでは、液相の作動媒体２０を輸送する液輸送能力が向上する。

　厚み方向Ｔからの平面視で、非縁端ウィック部３２は、蒸発部ＥＰの配置領域において、縁端ウィック部３１に接続されていてもよいし、図２０に示すように縁端ウィック部３１に接続されていなくてもよい。

　非縁端ウィック部３２は、図２１に示すように、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂに接していることが好ましい。この場合、非縁端ウィック部３２は、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂの少なくとも一方に固定されていることが好ましい。

　非縁端ウィック部３２は、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂの一方に接していてもよい。この場合、非縁端ウィック部３２は、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂのうち、非縁端ウィック部３２が接している側の内壁面に固定されていることが好ましい。

　非縁端ウィック部３２の固定方法としては、例えば、拡散接合、超音波接合、スポット溶接等の接合方法が挙げられる。

　非縁端ウィック部３２は、縁端ウィック部３１と同様に、例えば、複数の繊維を線状に束ねた繊維束で構成される。

　ベーパーチャンバー１ｅにおいて、筐体１０の内部空間には、図２１に示すように、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２よりも大きい第３位置Ｐ３が更に存在している。そして、第３位置Ｐ３は、図２１に示すように、面方向、ここでは、幅方向Ｗにおいて、第２位置Ｐ２よりも非縁端ウィック部３２に近接している。より具体的には、第３位置Ｐ３は、面方向、ここでは、幅方向Ｗにおいて、第２位置Ｐ２よりも非縁端ウィック部３２側に存在しつつ、非縁端ウィック部３２に接している。このように、第２位置Ｐ２は、面方向、ここでは、幅方向Ｗにおいて、第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との間に存在している。したがって、ベーパーチャンバー１ｅにおいて、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、第２位置Ｐ２から、非縁端ウィック部３２に接する第３位置Ｐ３に向かって大きくなっている。

　ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって大きくなる態様として、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面が、第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との間で、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っている。つまり、ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の第１内壁面１０ａが、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜している。更に、ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の第１内壁面１０ａが、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜している。

　ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっていれば、筐体１０の第１内壁面１０ａは、連続的に傾斜していなくてもよく、一部で平坦となっていてもよい。更に、ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって大きくなっていれば、筐体１０の第１内壁面１０ａは、連続的に傾斜していなくてもよく、一部で平坦となっていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ｅを、筐体１０の第１内壁面１０ａが、第２内壁面１０ｂよりも鉛直下方になるように設置すると、鉛直下方向に重力が働き、筐体１０の内部空間において、第２位置Ｐ２で発生した液相の作動媒体２０は、筐体１０の第１内壁面１０ａの傾斜に沿って第１位置Ｐ１に移動する。その結果、第１位置Ｐ１に移動した液相の作動媒体２０は、第１位置Ｐ１に接する縁端ウィック部３１に吸い上げられる。更に、筐体１０の内部空間において、第２位置Ｐ２で発生した液相の作動媒体２０は、筐体１０の第１内壁面１０ａの傾斜に沿って第３位置Ｐ３に移動する。その結果、第３位置Ｐ３に移動した液相の作動媒体２０は、第３位置Ｐ３に接する非縁端ウィック部３２に吸い上げられる。このようにして、ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の内部空間において、気相の作動媒体２０が冷却されることで発生した液相の作動媒体２０が、ウィック３０、より具体的には、縁端ウィック部３１及び非縁端ウィック部３２に効率的に回収されやすくなる。このように、ベーパーチャンバー１ｅによる作用効果は、特に、厚み方向Ｔに重力が働くときに顕著となる。

　以上により、ベーパーチャンバー１ｅでは、ウィック３０が厚み方向Ｔからの平面視で筐体１０の内部空間全体にわたって設けられていないことで蒸気流路ＶＰが広く確保されていること、更には、縁端ウィック部３１及び非縁端ウィック部３２により液相の作動媒体２０を蒸発部ＥＰに輸送することで液輸送能力が向上していることも相まって、最大熱輸送量が向上する。

　図２１に示す第２位置Ｐ２は、第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との間において、あくまで一例として示されたものである。第２位置Ｐ２は、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との間で最大となる位置でなければ、図２１に示す位置と異なる位置にあってもよい。第２位置Ｐ２が図２１に示す位置と異なる位置にある場合であっても、図２１に示す例と同様の作用により、液相の作動媒体２０が縁端ウィック部３１及び非縁端ウィック部３２に効率的に回収されやすくなり、結果的に、ベーパーチャンバー１ｅの最大熱輸送量が向上する。

　ベーパーチャンバー１ｅにおいて、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３とで、同じであってもよいし、異なっていてもよい。

　筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３とで異なる場合、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、第１位置Ｐ１において、第３位置Ｐ３よりも大きくてもよいし、第３位置Ｐ３よりも小さくてもよい。

　ベーパーチャンバー１ｅでは、非縁端ウィック部３２を含んで厚み方向Ｔに沿う、図２１と異なる断面においても、図２１に示す例と同様に、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって大きくなっていることが好ましい。

　ベーパーチャンバー１ｅでは、非縁端ウィック部３２を含んで厚み方向Ｔに沿う断面に、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、非縁端ウィック部３２の少なくとも一部に対して、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって大きくなっている断面が含まれていれば、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって大きくなっていない断面、例えば、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって同じである断面が含まれていてもよい。

　ベーパーチャンバー１ｅでは、非縁端ウィック部３２を含んで厚み方向Ｔに沿うあらゆる断面において、図２１に示す例と同様に、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって大きくなっていることが特に好ましい。つまり、ベーパーチャンバー１ｅにおいて、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、非縁端ウィック部３２の全体に対して、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって大きくなっていることが特に好ましい。

　ベーパーチャンバー１ｅでは、図２１に示す例と異なり、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第１位置Ｐ１と第３位置Ｐ３との間で、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っていてもよい。つまり、ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜していてもよい。更に、ベーパーチャンバー１ｅでは、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第２位置Ｐ２から第３位置Ｐ３に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜していてもよい。この場合、ベーパーチャンバー１ｅを、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第１内壁面１０ａよりも鉛直下方になるように設置すると、図２１に示す例と同様の作用により、液相の作動媒体２０が縁端ウィック部３１及び非縁端ウィック部３２に効率的に回収されやすくなり、結果的に、ベーパーチャンバー１ｅの最大熱輸送量が向上する。

＜実施形態６＞
　本発明の実施形態６の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態５の熱拡散デバイスと異なり、上記筐体の内部空間の上記厚み方向の高さが、上記第３位置において、上記第２位置よりも小さい。

　図２２は、本発明の実施形態６の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２３は、図２２に示す熱拡散デバイスの線分Ｆ１－Ｆ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図２２及び図２３に示すベーパーチャンバー１ｆでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、第３位置Ｐ３において、第２位置Ｐ２よりも小さくなっている。したがって、ベーパーチャンバー１ｆでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが、第３位置Ｐ３から第２位置Ｐ２に向かって大きくなっている。ここで、ベーパーチャンバー１ｆでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっていることから、結果的に、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さは、第３位置Ｐ３から第１位置Ｐ１に向かって大きくなっている。

　ベーパーチャンバー１ｆでは、筐体１０の内部空間の厚み方向Ｔの高さが第３位置Ｐ３から第１位置Ｐ１に向かって大きくなる態様として、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っている。つまり、ベーパーチャンバー１ｆでは、筐体１０の第１内壁面１０ａが、第３位置Ｐ３から第１位置Ｐ１に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜している。

　ベーパーチャンバー１ｆを、筐体１０の第１内壁面１０ａが、第２内壁面１０ｂよりも鉛直下方になるように設置すると、鉛直下方向に重力が働き、筐体１０の内部空間において、第２位置Ｐ２で発生した液相の作動媒体２０は、筐体１０の第１内壁面１０ａの傾斜に沿って第１位置Ｐ１に移動する。その結果、第１位置Ｐ１に移動した液相の作動媒体２０は、第１位置Ｐ１に接する縁端ウィック部３１に吸い上げられる。更に、筐体１０の内部空間において、第３位置Ｐ３で発生した液相の作動媒体２０は、第３位置Ｐ３に接する非縁端ウィック部３２に吸い上げられる。また、筐体１０の内部空間において、第３位置Ｐ３で発生した液相の作動媒体２０は、筐体１０の第１内壁面１０ａの傾斜に沿って第１位置Ｐ１に移動した後、第１位置Ｐ１に接する縁端ウィック部３１に吸い上げられる。このようにして、ベーパーチャンバー１ｆでは、筐体１０の内部空間において、気相の作動媒体２０が冷却されることで発生した液相の作動媒体２０が、ウィック３０、より具体的には、縁端ウィック部３１及び非縁端ウィック部３２に効率的に回収されやすくなる。このように、ベーパーチャンバー１ｆによる作用効果は、特に、厚み方向Ｔに重力が働くときに顕著となる。

　以上により、ベーパーチャンバー１ｆでは、ウィック３０が厚み方向Ｔからの平面視で筐体１０の内部空間全体にわたって設けられていないことで蒸気流路ＶＰが広く確保されていること、更には、縁端ウィック部３１及び非縁端ウィック部３２により液相の作動媒体２０を蒸発部ＥＰに輸送することで液輸送能力が向上することも相まって、最大熱輸送量が向上する。

　ベーパーチャンバー１ｆでは、図２３に示す例と異なり、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸であるように反っていてもよい。つまり、ベーパーチャンバー１ｆでは、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第３位置Ｐ３から第１位置Ｐ１に向かって、厚み方向Ｔの高さ位置が低くなるように傾斜していてもよい。この場合、ベーパーチャンバー１ｆを、筐体１０の第２内壁面１０ｂが、第１内壁面１０ａよりも鉛直下方になるように設置すると、図２３に示す例と同様の作用により、液相の作動媒体２０が縁端ウィック部３１及び非縁端ウィック部３２に効率的に回収されやすくなり、結果的に、ベーパーチャンバー１ｆの最大熱輸送量が向上する。

　本発明の実施形態５及び実施形態６の熱拡散デバイスのように、ウィックが縁端ウィック部及び非縁端ウィック部を有する態様は、液輸送の面で好ましい。一方、本発明の他の実施形態の熱拡散デバイスのように、ウィックが縁端ウィック部のみを有する態様は、蒸気流路が最大化されるため、蒸気輸送の面で好ましい。

＜実施形態７＞
　本発明の実施形態７の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、上記厚み方向からの平面視での上記筐体の平面形状が、１８０°よりも大きく、２７０°以下の内角を有する。

　図２４は、本発明の実施形態７の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２５は、図２４に示す熱拡散デバイスの線分Ｇ１－Ｇ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図２４及び図２５に示すベーパーチャンバー１ｇでは、厚み方向Ｔからの平面視での筐体１０の平面形状が、１８０°よりも大きく、２７０°以下の内角を有している。図２４に示す例では、厚み方向Ｔからの平面視での筐体１０の平面形状が、９０°以外に、２７０°の内角を有している。

＜実施形態８＞
　本発明の実施形態８の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、上記厚み方向からの平面視での上記筐体の平面形状が、９０°よりも大きく、１８０°よりも小さい内角を有する。

　図２６は、本発明の実施形態８の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２７は、図２６に示す熱拡散デバイスの線分Ｈ１－Ｈ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図２６及び図２７に示すベーパーチャンバー１ｈでは、厚み方向Ｔからの平面視での筐体１０の平面形状が、９０°よりも大きく、１８０°よりも小さい内角を有している。図２６に示す例では、厚み方向Ｔからの平面視での筐体１０の平面形状が、９０°以外に、１３５°の内角を有している。

＜実施形態９＞
　本発明の実施形態９の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、上記縁端ウィック部が、第１縁端ウィック部と、上記厚み方向からの平面視で上記第１縁端ウィック部よりも太さが小さい第２縁端ウィック部と、を有する。

　図２８は、本発明の実施形態９の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図２９は、図２８に示す熱拡散デバイスの線分Ｊ１－Ｊ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図２８及び図２９に示すベーパーチャンバー１ｊでは、縁端ウィック部３１が、第１縁端ウィック部３１ａと、第２縁端ウィック部３１ｂと、を有している。

　厚み方向Ｔからの平面視で、第２縁端ウィック部３１ｂの太さＳｂは、第１縁端ウィック部３１ａの太さＳａよりも小さい。

　本明細書中、厚み方向からの平面視での太さとは、長さ方向の太さと、幅方向の太さと、を包含する太さを意味する。

　ベーパーチャンバー１ｊでは、第２縁端ウィック部３１ｂの太さＳｂが第１縁端ウィック部３１ａの太さＳａよりも小さいことにより、筐体１０の内部空間において、第２縁端ウィック部３１ｂ側の領域で、第１縁端ウィック部３１ａ側の領域よりも蒸気流路ＶＰが広くなる。そのため、ベーパーチャンバー１ｊでは、筐体１０の内部空間において、第２縁端ウィック部３１ｂ側の領域に、第１縁端ウィック部３１ａ側の領域よりも熱が拡散しやすくなる。このように、ベーパーチャンバー１ｊでは、縁端ウィック部３１の太さを部分的に異ならせることにより、筐体１０の内部空間における熱拡散（熱伝導）の方向及び分布を制御できる。

　図２８に示す例では、筐体１０の内部空間において、第１縁端ウィック部３１ａが左側の領域に設けられ、第２縁端ウィック部３１ｂが右側の領域に設けられている。第１縁端ウィック部３１ａ及び第２縁端ウィック部３１ｂの位置関係は、図２８に示す例以外であってもよい。中でも、第２縁端ウィック部３１ｂは、筐体１０の内部空間において熱をより拡散（伝導）させたい領域に設けられていることが好ましい。

　第１縁端ウィック部３１ａと第２縁端ウィック部３１ｂとは、厚み方向Ｔからの平面視で、図２８に示すように互いに接続されていてもよいし、互いに接続されていなくてもよい。

　厚み方向Ｔからの平面視での、ベーパーチャンバー１ｊの平面形状は、図２８に示す例と異なっていてもよい。

＜実施形態１０＞
　本発明の実施形態１０の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスと異なり、上記ウィックが、２つの部材で構成される。

　図３０は、本発明の実施形態１０の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図３１は、図３０に示す熱拡散デバイスの線分Ｋ１－Ｋ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図３０及び図３１に示すベーパーチャンバー１ｋでは、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１が、２つの部材で構成されている。図３０及び図３１に示す例では、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１が、微細孔を有する薄膜３０ａと、マイクロチャネル３０ｂと、で構成されている。これにより、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１において、微細孔を有する薄膜３０ａが、液相の作動媒体２０を毛細管力により吸い上げて保持する液保持部として機能し、マイクロチャネル３０ｂが、微細孔を有する薄膜３０ａが吸い上げた液相の作動媒体２０を輸送する液輸送部として機能する。つまり、ベーパーチャンバー１ｋでは、ウィック３０、ここでは、縁端ウィック部３１において、液保持部の機能と液輸送部の機能とを独立して制御できる。

　微細孔を有する薄膜３０ａは、ベーパーチャンバー１ｋの作動時に液相の作動媒体２０を毛細管力により吸い上げるために、筐体１０の第１内壁面１０ａ及び第２内壁面１０ｂのうち、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凸である内壁面に接していることが好ましい。図３１に示す例では、微細孔を有する薄膜３０ａが、筐体１０の第１内壁面１０ａ、ここでは、第１シート１１の内面に接している。

　微細孔を有する薄膜３０ａとしては、例えば、エッチング加工又は金属加工で形成される金属多孔質膜、メッシュ、不織布、焼結膜、その他の多孔質膜等が挙げられる。

　メッシュとしては、例えば、金属メッシュ、樹脂メッシュ、表面コートされたこれらのメッシュ等が挙げられる。中でも、銅メッシュ、ステンレス（ＳＵＳ）メッシュ、ポリエステルメッシュが好ましい。

　焼結膜としては、例えば、金属多孔質焼結膜、セラミックス多孔質焼結膜等が挙げられる。中でも、銅又はニッケルの多孔質焼結膜が好ましい。

　その他の多孔質膜としては、例えば、金属多孔質膜、セラミックス多孔質膜、樹脂多孔質膜等が挙げられる。

　マイクロチャネル３０ｂは、筐体１０の第２内壁面１０ｂ、ここでは、第２シート１２の内面に設けられた複数の突起を含んでいる。

　複数の突起は、筐体１０の第２内壁面１０ｂ、ここでは、第２シート１２の内面から厚み方向Ｔに突出している。

　複数の突起は、筐体１０、ここでは、第２シート１２と一体化していてもよいし、第２シート１２に接合されていてもよい。

　複数の突起が第２シート１２と一体化している場合、複数の突起は、例えば、第２シート１２の内面をエッチング加工すること等により形成される。

　複数の突起の構成材料は、筐体１０の構成材料、ここでは、第２シート１２の構成材料と同じであることが好ましい。

　複数の突起の構成材料は、互いに同じであることが好ましいが、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　複数の突起の長さは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　複数の突起の幅は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　厚み方向Ｔからの平面視での、複数の突起の面積は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　複数の突起の厚みは、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　厚み方向Ｔからの平面視での、複数の突起の平面形状としては、例えば、図３０に示すような矩形等の多角形、円形、楕円形、これらを組み合わせた形状等が挙げられる。

　複数の突起の平面形状は、互いに同じであってもよいし、互いに異なっていてもよいし、一部で異なっていてもよい。

　厚み方向Ｔからの平面視で、複数の突起は、複数の突起間の距離が一定となるように均等に配置されていることが好ましい。この場合、複数の突起は、マイクロチャネル３０ｂにおいて、一部の領域で均等に配置されていることが好ましく、全体の領域にわたって均等に配置されていることがより好ましい。

　なお、ベーパーチャンバー１ｋが電子機器に組み込まれた状態では、熱源ＨＳが蒸発部ＥＰに輸送される液相の作動媒体２０に近くなるように、より具体的には、液相の作動媒体２０を輸送するマイクロチャネル３０ｂが微細孔を有する薄膜３０ａよりも熱源ＨＳに近くなるように、熱源ＨＳが筐体１０の外壁面に取り付けられていることが好ましい。つまり、ベーパーチャンバー１ｋに対して、熱源ＨＳは、筐体１０の第２内壁面１０ｂと反対側の外壁面、ここでは、第２シート１２の外面に取り付けられている（後述する図３５参照）ことが好ましい。

＜実施形態１１＞
　本発明の実施形態１１の熱拡散デバイスでは、本発明の実施形態１０の熱拡散デバイスと異なり、上記ウィックを構成する２つの部材の一方として例示されるマイクロチャネルが、上記厚み方向からの平面視で、複数の線状に配置される。

　図３２は、本発明の実施形態１１の熱拡散デバイスの一例の内部構造を示す平面模式図である。図３３は、図３２に示す熱拡散デバイスの線分Ｍ１－Ｍ２に沿う断面を示す断面模式図である。

　図３２及び図３３に示すベーパーチャンバー１ｍでは、ウィック３０を構成するマイクロチャネル３０ｂ、ここでは、縁端ウィック部３１を構成するマイクロチャネル３０ｂが、厚み方向Ｔからの平面視で、複数の線状に配置されている。図３２及び図３３に示す例では、マイクロチャネル３０ｂが、厚み方向Ｔからの平面視で、筐体１０の内部空間の縁端に沿うように、２本の線状に配置されている。

　厚み方向Ｔからの平面視で、複数の線状のマイクロチャネル３０ｂは、複数の線間の距離が一定となるように均等に配置されていることが好ましい。

　なお、ベーパーチャンバー１ｍが電子機器に組み込まれた状態では、ベーパーチャンバー１ｋが電子機器に組み込まれた状態と同様に、熱源ＨＳが蒸発部ＥＰに輸送される液相の作動媒体２０に近くなるように、より具体的には、液相の作動媒体２０を輸送するマイクロチャネル３０ｂが微細孔を有する薄膜３０ａよりも熱源ＨＳに近くなるように、熱源ＨＳが筐体１０の外壁面に取り付けられていることが好ましい。より具体的には、ベーパーチャンバー１ｍに対して、熱源ＨＳは、筐体１０の第２内壁面１０ｂと反対側の外壁面、ここでは、第２シート１２の外面に取り付けられている（後述する図３５参照）ことが好ましい。

　以上では、本発明の実施形態１０の熱拡散デバイス、及び、本発明の実施形態１１の熱拡散デバイスとして、ウィックが２つの部材で構成される態様を示したが、本発明の他の実施形態の熱拡散デバイスにおいても、ウィックが２つの部材で構成されていてもよい。

　以上では、本発明の実施形態２以外の熱拡散デバイスにおいて、筐体の外壁面が厚み方向において筐体の内部空間側に凹である態様、より具体的には、筐体の第１内壁面と反対側の外壁面が厚み方向において筐体の内部空間側に凹である態様を示したが、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスのように、筐体の外壁面が平坦であってもよく、より具体的には、筐体の第１内壁面と反対側の外壁面が平坦であってもよい。

　また、本発明の実施形態２の熱拡散デバイスにおいて、筐体の外壁面が平坦である態様を示したが、本発明の実施形態２以外の熱拡散デバイスのように、筐体の外壁面が厚み方向において筐体の内部空間側に凹であってもよく、より具体的には、筐体の第１内壁面と反対側の外壁面が厚み方向において筐体の内部空間側に凹であってもよい。

［電子機器］
　本発明の電子機器について、以下に説明する。

　本発明の電子機器は、本発明の熱拡散デバイスと、上記熱拡散デバイスの上記筐体の外壁面に取り付けられた電子部品と、を備える。

　図３４は、本発明の電子機器の一例を示す斜視模式図である。図３５は、図３４に示す電子機器の線分ａ１－ａ２に沿う断面の一部を示す断面模式図である。

　以下では、本発明の電子機器の一例として、本発明の実施形態１の熱拡散デバイスを有する電子機器について説明する。本発明の他の実施形態の熱拡散デバイスを有する電子機器についても同様である。

　図３４及び図３５に示す電子機器１００は、ベーパーチャンバー１ａと、電子部品１１０と、を有している。

　電子部品１１０は、ベーパーチャンバー１ａの筐体１０の外壁面に取り付けられている。より具体的には、電子部品１１０は、筐体１０の第２内壁面１０ｂと反対側の外壁面、ここでは、第２シート１２の外面に取り付けられていることが好ましい。

　電子部品１１０は、筐体１０の外壁面に直に取り付けられていてもよいし、熱伝導性の高い粘着剤、シート、テープ等の他の部材を介して取り付けられていてもよい。

　電子部品１１０としては、例えば、中央処理装置（ＣＰＵ）、発光ダイオード（ＬＥＤ）、パワー半導体等の発熱素子が挙げられる。

　電子機器１００としては、例えば、スマートフォン、タブレット端末、ノートパソコン、ゲーム機器、ウェアラブルデバイス等が挙げられる。

　本発明の電子機器において、上記筐体は、蒸発部を内部空間に有し、上記厚み方向からの平面視で、上記電子部品は、上記蒸発部に重なる。

　電子機器１００において、電子部品１１０は、図１に示す熱源ＨＳに該当する。つまり、厚み方向Ｔからの平面視で、電子部品１１０は、筐体１０の蒸発部ＥＰに重なっている。

　本発明の電子機器は、上記熱拡散デバイス及び上記電子部品が内部空間に設けられた機器筐体と、上記筐体と上記機器筐体とを接合する接合部材と、を更に備えることが好ましい。

　電子機器１００は、図３４及び図３５に示すように、機器筐体１２０を更に有していることが好ましい。なお、図３５では、機器筐体１２０の一部のみが示されている。

　機器筐体１２０の内部空間には、ベーパーチャンバー１ａ及び電子部品１１０が設けられている。

　電子機器１００は、図３５に示すように、接合部材１３０を更に有していることが好ましい。

　接合部材１３０は、筐体１０と機器筐体１２０とを接合している。図３５に示す例では、接合部材１３０は、筐体１０の第１内壁面１０ａと反対側の外壁面、ここでは、第１シート１１の外面と、機器筐体１２０の内壁面とを接合している。

　接合部材１３０が筐体１０と機器筐体１２０とを接合していることにより、筐体１０と機器筐体１２０との密着性が向上する。

　本発明の電子機器において、上記接合部材は、熱伝導性部材であることが好ましい。

　電子機器１００において、接合部材１３０は、熱伝導性部材であることが好ましい。

　接合部材１３０が熱伝導性部材であることにより、熱源ＨＳからの熱、ここでは、電子部品１１０からの熱が、筐体１０から機器筐体１２０へ伝導しやすくなる。つまり、筐体１０から機器筐体１２０への経路によっても、熱源ＨＳからの熱、ここでは、電子部品１１０からの熱が拡散しやすくなる。

　熱伝導性部材としては、例えば、熱伝導性テープ、熱伝導性粘着剤等が挙げられる。

　本発明の電子機器において、上記筐体の上記接合部材側の外壁面は、上記厚み方向において上記筐体の内部空間側に凹であってもよい。

　電子機器１００において、筐体１０の接合部材１３０側の外壁面は、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凹であってもよい。図３５に示す例では、筐体１０の接合部材１３０側の外壁面として、筐体１０の第１内壁面１０ａと反対側の外壁面、ここでは、第１シート１１の外面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凹であるように反っている。

　筐体１０の外壁面が厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凹である場合、筐体１０の外壁面を、機器筐体１２０、より具体的には、機器筐体１２０の内壁面に直に取り付けようとすると、筐体１０と機器筐体１２０との間に隙間が生じてしまう。そのため、筐体１０と機器筐体１２０との密着性が低下してしまう。

　これに対して、電子機器１００では、筐体１０の外壁面が、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凹であるものの、筐体１０の外壁面に接合部材１３０を取り付けることにより、筐体１０の外壁面の凹部を接合部材１３０で埋めて、結果的に、接合部材１３０の筐体１０と反対側の外面を平坦にできる。したがって、筐体１０の外壁面が平坦ではないベーパーチャンバー１ａであっても、接合部材１３０を介在させることにより、筐体１０と機器筐体１２０との密着性を向上させることができる。更に、接合部材１３０が熱伝導性部材である場合には、熱源ＨＳからの熱、ここでは、電子部品１１０からの熱を筐体１０から機器筐体１２０へ伝導させやすくすることができる。

　電子機器１００において、筐体１０の接合部材１３０側の外壁面は、厚み方向Ｔにおいて筐体１０の内部空間側に凹ではなく、平坦であってもよい。

　上述したように、ベーパーチャンバー１ａは、外部動力を必要とすることなく自立的に作動し、更には、作動媒体２０の蒸発潜熱及び凝縮潜熱を利用することにより、熱源ＨＳからの熱、ここでは、電子部品１１０からの熱を二次元的に高速で拡散できる。更に、ベーパーチャンバー１ａでは、上述した作用により、液相の作動媒体２０が、ウィック３０、より具体的には、縁端ウィック部３１に効率的に回収されやすくなるため、最大熱輸送量が向上する。以上のことから、ベーパーチャンバー１ａを有する電子機器１００により、電子機器１００の内部の限られたスペースにおいて、放熱を効果的に実現できる。

　以上の各実施形態では、本発明の熱拡散デバイスの一例としてベーパーチャンバーを示したが、本発明の熱拡散デバイスは、ヒートパイプ等の熱拡散デバイスにも適用可能である。

　本発明の熱拡散デバイスは、携帯情報端末等の分野において、広範な用途に使用可能である。本発明の熱拡散デバイスは、例えば、中央処理装置等の熱源の温度を下げ、電子機器の使用時間を延ばすために使用可能であり、スマートフォン、タブレット端末、ノートパソコン、ゲーム機器、ウェアラブルデバイス等に使用可能である。

１ａ、１ｂ、１ｃ、１ｄ、１ｅ、１ｆ、１ｇ、１ｈ、１ｊ、１ｋ、１ｍ　ベーパーチャンバー（熱拡散デバイス）
１０　筐体
１０ａ　第１内壁面
１０ｂ　第２内壁面
１１　第１シート
１２　第２シート
２０　作動媒体
３０　ウィック
３０ａ　微細孔を有する薄膜
３０ｂ　マイクロチャネル
３１　縁端ウィック部
３１ａ　第１縁端ウィック部
３１ｂ　第２縁端ウィック部
３２　非縁端ウィック部
４０　支柱
５０　ロウ材
１００　電子機器
１１０　電子部品
１２０　機器筐体
１３０　接合部材
ＥＰ　蒸発部
ＨＳ　熱源
Ｌ　長さ方向
Ｐ１　第１位置
Ｐ２　第２位置
Ｐ３　第３位置
Ｓａ　第１縁端ウィック部の太さ
Ｓｂ　第２縁端ウィック部の太さ
Ｔ　厚み方向
ＶＰ　蒸気流路
Ｗ　幅方向

Claims

　厚み方向に対向する第１内壁面及び第２内壁面を有し、かつ、内部空間が設けられた筐体と、
　前記筐体の内部空間に封入された作動媒体と、
　前記筐体の内部空間に設けられたウィックと、を備え、
　前記ウィックは、前記厚み方向からの平面視で前記筐体の内部空間の縁端に沿って設けられた縁端ウィック部を有し、
　前記筐体の内部空間には、第１位置と、前記筐体の内部空間の前記厚み方向の高さが前記第１位置よりも小さい第２位置と、が存在し、
　前記第１位置は、前記厚み方向に直交する面方向において、前記第２位置よりも前記縁端ウィック部に近接する、ことを特徴とする熱拡散デバイス。
　前記筐体の前記第１内壁面及び前記第２内壁面の一方は、前記厚み方向において前記筐体の内部空間側に凸である、請求項１に記載の熱拡散デバイス。
　前記筐体の前記第１内壁面及び前記第２内壁面は、各々、前記厚み方向において前記筐体の内部空間側に凸である、請求項１に記載の熱拡散デバイス。
　前記筐体は、蒸発部を内部空間に有し、
　前記厚み方向からの平面視で、前記縁端ウィック部は、前記蒸発部に重なる、請求項１～３のいずれかに記載の熱拡散デバイス。
　前記厚み方向からの平面視で、前記縁端ウィック部は、前記蒸発部を横断する、請求項４に記載の熱拡散デバイス。
　前記厚み方向からの平面視で、前記縁端ウィック部は、前記蒸発部を横断しない、請求項４に記載の熱拡散デバイス。
　前記厚み方向からの平面視で、前記縁端ウィック部は、前記筐体の内部空間の角部に隣り合う２辺に沿って、かつ、連続して設けられている、請求項１～６のいずれかに記載の熱拡散デバイス。
　前記厚み方向からの平面視で、前記縁端ウィック部は、前記筐体の内部空間の角部に接する、請求項７に記載の熱拡散デバイス。
　前記筐体の外壁面は、前記厚み方向において前記筐体の内部空間側に凹である、請求項１～８のいずれかに記載の熱拡散デバイス。
　前記ウィックは、前記厚み方向からの平面視で前記筐体の内部空間の縁端以外の領域に設けられた非縁端ウィック部を更に有する、請求項１～９のいずれかに記載の熱拡散デバイス。
　前記筐体は、蒸発部を内部空間に有し、
　前記厚み方向からの平面視で、前記非縁端ウィック部は、前記蒸発部に重なる、請求項１０に記載の熱拡散デバイス。
　前記筐体の内部空間には、前記筐体の内部空間の前記厚み方向の高さが前記第２位置よりも大きい第３位置が更に存在し、
　前記第３位置は、前記面方向において、前記第２位置よりも前記非縁端ウィック部に近接する、請求項１０又は１１に記載の熱拡散デバイス。
　前記縁端ウィック部は、第１縁端ウィック部と、前記厚み方向からの平面視で前記第１縁端ウィック部よりも太さが小さい第２縁端ウィック部と、を有する、請求項１～１２のいずれかに記載の熱拡散デバイス。
　請求項１～１３のいずれかに記載の熱拡散デバイスと、
　前記熱拡散デバイスの前記筐体の外壁面に取り付けられた電子部品と、を備える、ことを特徴とする電子機器。
　前記筐体は、蒸発部を内部空間に有し、
　前記厚み方向からの平面視で、前記電子部品は、前記蒸発部に重なる、請求項１４に記載の電子機器。
　前記熱拡散デバイス及び前記電子部品が内部空間に設けられた機器筐体と、
　前記筐体と前記機器筐体とを接合する接合部材と、を更に備える、請求項１４又は１５に記載の電子機器。
　前記接合部材は、熱伝導性部材である、請求項１６に記載の電子機器。
　前記筐体の前記接合部材側の外壁面は、前記厚み方向において前記筐体の内部空間側に凹である、請求項１６又は１７に記載の電子機器。