TW202345203A - 基板處理裝置管理系統、基板處理裝置管理方法以及基板處理裝置管理程式 - Google Patents

Abstract

在基板處理裝置管理系統中係從複數個基板處理裝置各者收集複數個處理資訊，該複數個處理資訊係顯示與基板的處理關連的動作或者狀態。針對各個基板處理裝置，基於複數個處理資訊間的不變的關係與從該基板處理裝置所收集的複數個處理資訊算出該基板處理裝置的異常的程度作為異常分數。在管理裝置中，從各個基板處理裝置受理與異常相關的調查請求。在受理了兩個以上的調查請求時，取得與這些調查請求對應的基板處理裝置的異常分數。基於所取得的複數個異常分數，對管理者提示與針對兩個以上的調查請求應該回應的優先順位相關的優先順位資訊。

Description

基板處理裝置管理系統、基板處理裝置管理方法以及基板處理裝置管理程式

本發明係有關於一種被使用於管理複數個基板處理裝置之基板處理裝置管理系統、基板處理裝置管理方法以及基板處理裝置管理程式。

為了對被使用於液晶顯示裝置或者有機EL(electroluminescence；電致發光)顯示裝置等之平面顯示器(FPD；flat panel display)用基板、半導體基板、光碟用基板、磁碟用基板、光磁碟用基板、光罩(photomask)用基板、陶瓷基板或者太陽電池用基板等之各種基板進行各種處理，使用基板處理裝置。在基板處理裝置中，例如遵循預先制定的處理順序(處方(recipe))對基板施予一連串的處理。為了防止因為基板處理裝置的異常導致產生基板的處理不良，提出了一種用以判定基板處理裝置的異常之資料處理系統(參照例如專利文獻1)。

在此種資料處理系統中，於基板的處理中測量與基板處理裝置相關的複數個物理量，並藉由以時間序列排列這些測量結果從而生成複數個時間序列資料。於複數個時間序列資料包含有例如從噴嘴噴出的處理液的流量以及腔室(chamber)內的壓力等之物理量的資料。將各個時間序列資料與預先制定的基準資料比較，藉此算出評價值。基於算出的評價值來判定於時間序列資料是否存在異常。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2020-47847號公報。

[發明所欲解決之課題]

複數個基板處理裝置係例如分別設置於世界上的複數個場所。各個基板處理裝置的維護作業係藉由負責該基板處理裝置之當地的維護作業者來進行。維護作業者係能基於該資料處理系統所為的異常的判定結果來掌握是否於基板處理裝置發生異常。

會有維護作業者在基板處理裝置中發生異常時無法特定異常的發生原因之情形。在此種情形中，維護作業者係對管理複數個基板處理裝置之管理者請求詳細調查自己所負責的基板處理裝置。接受調查請求的管理者係針對成為調查對象的基板處理裝置進行各種調查。此外，管理者係對請求調查的維護作業者給予基於調查結果的具體的作業指示。

當存在複數個維護作業者針對複數個基板處理裝置的複數個調查請求時，管理者係難以並行地進行複數個基板處理裝置的調查。在此種情形中，管理者係針對複數個基板處理裝置決定調查的優先順位。為了適當地決定調查的優先順位，需要掌握成為調查對象的複數個基板處理裝置的異常的程度。為了掌握複數個基板處理裝置的異常的程度，必須針對複數個基板處理裝置分別進行一次調查。此種一次調查係包含有例如過去的時間序列資料的分析以及對於維護作業者的聽證(hearing)等。如此，一次調查是繁雜的。因此，管理者係在存在有複數個調查請求後直至針對各個調查請求開始實際的調查為止需要很長的時間。

本發明的目的為提供一種基板處理裝置管理系統、基板處理裝置管理方法以及基板處理裝置管理程式，係在針對複數個基板處理裝置存在複數個調查請求之情形中管理者能夠在短時間內容易且適當地掌握調查的優先順位。 [用以解決課題的手段]

(1)本發明的一個態樣為一種基板處理裝置管理系統，係被使用於管理複數個基板處理裝置，並具備：資訊收集部，係從各個基板處理裝置收集複數個處理資訊，該複數個處理資訊係顯示與基板的處理關連的動作或者狀態；分數(score)算出部，係針對各個基板處理裝置，基於複數個處理資訊間的不變(invariant)的關係與從該基板處理裝置所收集的複數個處理資訊算出該基板處理裝置的異常的程度作為異常分數；請求受理部，係從各個基板處理裝置受理與異常相關的調查請求；分數取得部，係取得針對已對請求受理部發送了調查請求的兩個以上的基板處理裝置分別算出的兩個以上的異常分數；以及優先順位提示部，係基於分數取得部所取得的兩個以上的異常分數，提示與針對兩個以上的調查請求應該回應的優先順位相關的優先順位資訊。

在基板處理裝置管理系統中，針對複數個基板處理裝置各者算出基板處理裝置的異常的程度作為異常分數。在針對兩個以上的基板處理裝置存在兩個以上的調查請求之情形中，提示了基於存在調查請求的兩個以上的基板處理裝置的異常分數之優先順位資訊。異常分數係基於複數個處理資訊間的不變的關係被算出。因此，複數個基板處理裝置的管理者係能針對存在調查請求的複數個基板處理裝置在短時間內容易且適當地掌握調查的優先順位。

(2)亦可為，前述優先順位資訊係包含藉由分數取得部所取得的兩個以上的異常分數；優先順位提示部係對兩個以上的基板處理裝置分別賦予關聯地提示藉由分數取得部所取得的兩個以上的異常分數。在此種情形中，複數個基板處理裝置的管理者係能基於所提示的異常分數容易地掌握存在調查請求的兩個以上的基板處理裝置的異常的程度。

(3) 亦可為，基板處理裝置管理系統係進一步地具備：分數發送部，係將分數算出部所算出的異常分數發送至與該異常分數對應的基板處理裝置。在此種情形中，能使各個基板處理裝置記憶異常分數。藉此，在各個基板處理裝置中能夠進行基於異常分數之異常的分析。

(4) 亦可為，基板處理裝置管理系統係進一步地具備：警報發送部，係判定針對各個基板處理裝置所算出的異常分數是否超過預先制定的臨限值，在異常分數超過臨限值之情形中對與該異常分數對應的基板處理裝置發送警報。在此種情形中，在各個基板處理裝置中能容易地掌握發生超過預先制定的程度之異常。

(5)亦可為，資訊收集部係在每次經過固定時間時重複所收集的複數個處理資訊的累計以及重置(reset)；分數算出部係針對各個基板處理裝置，基於複數個處理資訊間的不變的關係以及藉由該基板處理裝置所生成且藉由資訊收集部所累計的複數個處理資訊算出該基板處理裝置的異常的程度作為異常分數。在此種情形中，降低各個處理資訊的收集時所發生的雜訊等之影響波及異常分數。

(6)亦可為，針對複數個處理資訊制定有相互不同的兩個處理資訊的複數個組合；各個組合係包含第一處理資訊以及第二處理資訊；分數算出部係針對各個組合，基於以預先制定的條件所收集的第二處理資訊生成以預先制定的條件預測的第一處理資訊作為第一預測處理資訊，並算出所生成的第一預測處理資訊與藉由資料收集部實際所收集的第一處理資訊之間的偏差的程度作為第一偏差度；分數算出部係針對各個組合，基於以預先制定的條件所收集的第一處理資訊生成以預先制定的條件預測的第二處理資訊作為第二預測處理資訊，並算出所生成的第二預測處理資訊與藉由資料收集部實際所收集的第二處理資訊之間的偏差的程度作為第二偏差度；分數算出部係基於針對複數個組合分別算出的複數個第一偏差度以及複數個第二偏差度算出異常分數。在此種情形中，能夠針對實際所收集的各個處理資訊算出與其他的處理資訊之間的不變的關係之異常分數。

(7)亦可為，分數算出部係算出針對複數個組合分別算出的複數個第一偏差度以及複數個第二偏差度的合計作為異常分數。在此種情形中，能容易地算出各個基板處理裝置的異常的程度。

(8)對複數個組合各者分配因應該組合與基板處理裝置的複數種類的異常狀態之間的關連性預先制定的權重；分數算出部係基於複數個組合與複數個權重算出複數個第一偏差度以及複數個第二偏差度。

在此種情形中，參照基於複數個第一偏差度以及複數個第二偏差度所算出的異常分數，藉此能更適當地掌握各個基板處理裝置的異常的程度。

(9)亦可為，複數個處理資訊係包含下述中的至少一者的物理量：被供給至基板之流體的供給量、被供給至基板之流體的溫度、被供給至基板之處理液的濃度、收容了基板之處理室內的溫度、收容了基板之處理室內的壓力、從收容了基板之處理室排出的氣體的壓力、以及藉由機器人所搬運之基板的移動速度。在此種情形中，基於在基板處理裝置中所取得的一個或者複數個物理量算出異常分數。

(10)亦可為，複數個處理資訊係包含與下述至少一個相關的資訊：用以驅動用以搬運基板的機器人之驅動脈波訊號、設置於用以搬運基板的機器人之檢測器的輸出訊號、以及被傳輸至控制閥之開閉訊號。在此種情形中，基於在基板處理裝置中被使用的一個或者複數個訊號算出異常分數。

(11)亦可為，各個基板處理裝置為基板洗淨裝置，用以使用洗淨液來洗淨基板；複數個處理資訊係包含下述中的至少一者：被供給至基板之洗淨液的供給量、被供給至基板之洗淨液的溫度、以及被供給至基板之洗淨液的濃度。在此種情形中，在針對複數個基板洗淨裝置存在複數個調查請求之情形中，適當地決定調查的優先順位。

(12)本發明的另一個態樣為一種基板處理裝置管理方法，係被使用於管理複數個基板處理裝置，並具備下述步驟：從各個基板處理裝置收集複數個處理資訊，該複數個處理資訊係顯示與基板的處理關連的動作或者狀態；針對各個基板處理裝置，基於複數個處理資訊間的不變的關係與從該基板處理裝置所收集的複數個處理資訊算出該基板處理裝置的異常的程度作為異常分數；從各個基板處理裝置受理與異常相關的調查請求；取得針對已發送了調查請求的兩個以上的基板處理裝置分別算出的兩個以上的異常分數；以及藉由用以取得兩個以上的異常分數之步驟所取得的兩個以上的異常分數，提示與針對兩個以上的調查請求應該回應的優先順位相關的優先順位資訊。

在基板處理裝置管理方法中，針對複數個基板處理裝置各者算出基板處理裝置的異常的程度作為異常分數。在針對兩個以上的基板處理裝置存在兩個以上的調查請求之情形中，提示了基於存在調查請求的兩個以上的基板處理裝置的異常分數之優先順位資訊。異常分數係基於複數個處理資訊間的不變的關係被算出。因此，複數個基板處理裝置的管理者係能針對存在調查請求的複數個基板處理裝置在短時間內容易且適當地掌握調查的優先順位。

(13)本發明的另一個態樣為一種基板處理裝置管理程式，係使電腦執行使用資訊分析裝置來管理複數個基板處理裝置之處理；資訊分析裝置係包含：資訊收集部，係從各個基板處理裝置收集複數個處理資訊，該複數個處理資訊係顯示與基板的處理關連的動作或者狀態；以及分數算出部，係針對各個基板處理裝置，基於複數個處理資訊間的不變的關係與從該基板處理裝置所收集的複數個處理資訊算出該基板處理裝置的異常的程度作為異常分數；用以管理複數個基板處理裝置之處理係包含下述處理：從各個基板處理裝置受理與異常相關的調查請求；取得針對已發送了調查請求的兩個以上的基板處理裝置分別算出的兩個以上的異常分數；以及藉由用以取得兩個以上的異常分數之處理所取得的兩個以上的異常分數，提示與針對兩個以上的調查請求應該回應的優先順位相關的優先順位資訊。

在基板處理裝置管理程式中，在針對兩個以上的基板處理裝置存在兩個以上的調查請求之情形中，提示了基於存在調查請求的兩個以上的基板處理裝置的異常分數之優先順位資訊。異常分數係基於複數個處理資訊間的不變的關係被算出。因此，複數個基板處理裝置的管理者係能針對存在調查請求的複數個基板處理裝置在短時間內容易且適當地掌握調查的優先順位。 [發明功效]

依據本發明，在針對複數個基板處理裝置存在複數個調查請求之情形中，管理者能夠在短時間內容易且適當地掌握調查的優先順位。

以下，使用圖式說明本發明的一個實施形態的基板處理裝置管理系統、基板處理裝置管理方法以及基板處理裝置管理程式。在以下的說明中，所謂基板係指半導體基板、液晶顯示裝置或者有機EL顯示裝置等平面顯示器用基板、光碟用基板、磁碟用基板、光磁碟用基板、光罩用基板、陶瓷基板或者太陽電池用基板等。

1.第一實施形態 [1]基板處理裝置管理系統的構成以及動作 (1)整體構成 圖1係用以說明第一實施形態的基板處理裝置管理系統的構成之圖。如圖1所示，本實施形態的基板處理裝置管理系統2係主要由資訊分析裝置3以及管理裝置4所構成，被使用於管理複數個(在本例子中為五個)基板處理裝置1。在以下的說明中，在區別圖1所示的五個基板處理裝置1之情形中，將五個基板處理裝置1分別稱為基板處理裝置1A、基板處理裝置1B、基板處理裝置1C、基板處理裝置1D、基板處理裝置1E。在本實施形態中，基板處理裝置1A至基板處理裝置1E係具有相同的構成。

(2)基板處理裝置1A的一個構成例 如圖1所示，基板處理裝置1A為所謂的批次(batch)式的基板洗淨裝置，包含處理槽11、基板保持部12、升降裝置13、洗淨液生成裝置14、濃度計20、搬運機器人30以及控制裝置40。此外，除了於基板處理裝置1A設置有上面所說明的複數個構成要素之外，還設置有未圖示的顯示裝置、聲音輸出裝置以及操作部。

基板保持部12係構成為能夠保持複數個基板W。處理槽11係構成為能夠收容被基板保持部12保持的複數個基板W。於處理槽11內儲留有用以洗淨基板W的洗淨液。

升降裝置13係以能夠於上下方向移動之方式支撐基板保持部12，並藉由控制裝置40的控制使基板保持部12於上下方向移動。藉此，升降裝置13係能使被基板保持部12保持的複數個基板W浸漬於儲留在處理槽11的洗淨液以及能將被浸漬於洗淨液的複數個基板W從處理槽11撈起。複數個基板W係被浸漬於洗淨液從而被洗淨。此外，於升降裝置13設置有未圖示的馬達作為動力源，用以使基板保持部12於上下方向移動。

洗淨液生成裝置14係具備儲留槽14a以及未圖示的攪拌裝置(起泡(bubbling)裝置等)。於儲留槽14a連接有藥液供給管91、純水供給管92、追加藥液供給管93以及排液管94。於複數個配管(藥液供給管91、純水供給管92、追加藥液供給管93以及排液管94)分別設置有閥。各個閥為能夠藉由控制裝置40的控制而調整開放度之控制閥。

藥液供給管91係藉由設置於該藥液供給管91的閥被打開從而將來自未圖示的藥液供給系統所供給的藥液導引至儲留槽14a。通過藥液供給管91被供給至儲留槽14a之藥液的流量(每單位時間的供給量)係因應設置於藥液供給管91的閥的開放度而變化。

純水供給管92係藉由設置於該純水供給管92的閥被打開從而將來自未圖示的純水供給系統所供給的純水導引至儲留槽14a。通過純水供給管92被供給至儲留槽14a之純水的流量(每單位時間的供給量)係因應設置於純水供給管92的閥的開放度而變化。

如此，於洗淨液生成裝置14的儲留槽14a內儲留有預定量的藥液以及純水。再者，在儲留槽14a內藉由未圖示的攪拌機構混合所儲留的藥液以及純水，從而生成應儲留於處理槽11的洗淨液。作為藥液，能使用緩衝氫氟酸(BHF；buffered hydrogen fluoride)、稀釋氫氟酸(DHF；dilute hydrofluoric acid)、氫氟酸(HF；hydrofluoric acid)、鹽酸、硫酸、硝酸、磷酸、醋酸、草酸或者氨等。

追加藥液供給管93係藉由設置於該藥液供給管91的閥被打開從而將來自未圖示的藥液供給系統所供給的藥液導引至儲留槽14a。通過追加藥液供給管93朝儲留槽14a供給藥液之情形係容後述。排液管94係藉由設置於該排液管94被打開從而將儲留於洗淨液生成裝置14的洗淨液的一部分或者全部排出至基板處理裝置1A的外部。

於儲留槽14a進一步地連接有液體供給管15。液體供給管15係設置成與處理槽11以及洗淨液生成裝置14連繫。此外，於液體供給管15設置有泵16以及閥17。閥17為能夠藉由控制裝置40的控制來調整開放度之控制閥。於泵16的作動中閥17被打開，藉此將儲留於儲留槽14a的洗淨液供給至處理槽11內。從儲留槽14a被供給至處理槽11之洗淨液的流量(每單位時間的供給量)係因應閥17的開放度而變化。

於處理槽11的底部連接有液體排出管18。於液體排出管18設置有閥19。閥19為能夠藉由控制裝置40的控制來調整開放度之控制閥。閥19被打開，藉此儲留於處理槽11內的洗淨液的一部分係通過液體排出管18從基板處理裝置1A排出。從處理槽11排出的洗淨液的流量(每單位時間的排出量)係因應閥19的開放度而變化。於複數個基板W的洗淨處理時，從洗淨液生成裝置14對處理槽11供給洗淨液，且處理槽11的內部的洗淨液係通過液體排出管18排出。

濃度計20係響應來自控制裝置40的指令，檢測儲留於儲留槽14a之洗淨液中的藥液濃度，並將檢測結果傳輸至控制裝置40。搬運機器人30係在比處理槽11還上方的位置處搬運被基板保持部12保持的複數個基板W。控制裝置40係例如由CPU(Central Processing Unit；中央處理單元)(中央運算處理裝置)以及記憶體所構成，用以控制升降裝置13的動作、搬運機器人30的動作以及閥17、19的開放度等。於控制裝置40的記憶體記憶有後述的第一管理程式。

此外，控制裝置40係基於從濃度計20所傳輸的藥液濃度的檢測結果，以儲留於儲留槽14a的洗淨液的藥液濃度成為預先制定的範圍內之方式將被供給至儲留槽14a之藥液的量進行回授(feedback)控制。例如，在藉由濃度計20所檢測的洗淨液的藥液濃度比預先制定的範圍還低之情形中，控制裝置40係從未圖示的藥液供給系統將追加的藥液通過追加藥液供給管93供給至洗淨液生裝置14。

再者，控制裝置40係具有：緊急停止功能，係在人員進入至基板處理裝置1A的內部的預定空間之情形或者設置於基板處理裝置1A內的預定的檢測器(例如濃度計20)不發揮功能之情形中，使基板處理裝置1A的動作停止。

(3)處理資訊 於各個基板處理裝置1制定有用以顯示與該基板處理裝置1中的基板W的處理相關的動作或者狀態之複數個處理資訊作為用以管理該基板處理裝置1的異常之資訊。如圖1中的粗的實線的箭頭所示，這些處理資訊係以預定周期從各個基板處理裝置1的控制裝置40被發送至基板處理裝置管理系統2的資訊分析裝置3。

如圖1中的說明框內所示，從基板處理裝置1A被發送至資訊分析裝置3之處理資訊係包含「a.藥液濃度」、「b.藥液供給量」、「c.濃度檢測輸入訊號」、「d.濃度檢測輸出訊號」、「e.馬達轉數」、「f.朝向馬達的供給電力」、「g.藥液追加量」、「h.藥液供給閥開放度」以及「i.洗淨液排出閥開放度」。

「a.藥液濃度」係顯示藉由濃度計20所檢測之儲留槽14a內的洗淨液的藥液濃度。「b.藥液供給量」係顯示從藥液供給管91被供給至洗淨液生成裝置14的儲留槽之洗淨液的流量(每單位時間的供給量)。「b.藥液供給量」係例如能藉由於藥液供給管91設置流量計來進行檢測。

在基板處理裝置1A中，從控制裝置40對濃度計20發出濃度檢測之指令，藉此檢測洗淨液的藥液濃度。「c.濃度檢測輸入訊號」為從控制裝置40被傳輸至濃度計20之濃度檢測的指令訊號。「d.濃度檢測輸出訊號」為用以顯示響應來自控制裝置40的指令從濃度計20輸出的藥液濃度的檢測結果之訊號。

「e.馬達轉數」為設置於升降裝置13之馬達的轉數，例如能藉由使用旋轉速度感測器檢測馬達的旋轉速度而算出。「f.朝向馬達的供給電力」為被供給至設置於升降裝置13的馬達之電力量，例如能藉由使用電流計檢測被供給至馬達的電流而算出。

「g.藥液追加量」係顯示以儲留於儲留槽14a的洗淨液的藥液濃度成為預先制定的範圍內之方式從追加藥液供給管93追加地被供給至該儲留槽14a之藥液的每單位時間的供給量。「g.藥液追加量」係例如能藉由於例如追加藥液供給管93設置流量計來進行檢測。「h.藥液供給閥開放度」係顯示設置於藥液供給管91之閥的開放度。「i.洗淨液排出閥開放度」係顯示設置於排液管94之閥的開放度。

(4)資訊分析裝置3中的基本動作 資訊分析裝置3係例如為伺服器，且包含CPU以及記憶體。資訊分析裝置3係收集從各個基板處理裝置1所發送的複數個處理資訊。在資訊分析裝置3中，針對從各個基板處理裝置1發送至資訊分析裝置3之複數個處理資訊預先制定有彼此不同的兩個處理資訊的複數個組合。

在此，設想遵循基板處理裝置1預先制定的處理順序(處方)理想性地動作之情形。在此種情形中，在用以構成各種組合之兩個處理資訊之間維持預先制定的不變(不會改變)的關係(以下稱為不變關係)。

另一方面，設想因為在基板處理裝置1發生異常的狀態下執行基板處理導致執行非預期的基板處理之情形。在此種情形中，用以構成複數個組合中之至少一個組合之兩個處理資訊間的關係會從不變關係偏差。

因此，資訊分析裝置3係算出實際收集的複數個處理資訊的複數個組合的關係與針對該複數個處理資訊預先制定的複數個不變關係之間的偏差的程度作為複數個偏差度。此外，資訊分析裝置3係基於所算出的複數個偏差度算出該基板處理裝置1的異常的程度作為異常分數。異常分數的算出方法的具體例子係容後述。

此外，如圖1中的粗的一點鏈線的箭頭所示，資訊分析裝置3係將算出的異常分數發送至各個基板處理裝置1。異常分數的發送係針對資訊分析裝置3中的每次的異常分數的算出來進行。此時，在各個基板處理裝置1中記憶了從資訊分析裝置3發送的異常分數。

此外，資訊分析裝置3係針對各個基板處理裝置1判定異常分數是否超過預先制定的第一臨限值。在異常分數超過第一臨限值之情形中，資訊分析裝置3係對與該異常分數對應的基板處理裝置1發送警報。在圖1的例子中，如波狀的虛線箭頭所示，資訊分析裝置3係對基板處理裝置1A至基板處理裝置1E中的基板處理裝置1D以及基板處理裝置1E發送警報。此時，在接收到警報的基板處理裝置1D以及基板處理裝置1E中輸出警報。

在本實施形態中，異常分數(異常的程度)低係表示未要求維護作業者迅速地對應，異常分數(異常的程度)高係表示要求維護作業者迅速地對應。作為異常分數低的狀態，能例舉複數個處理條件的全部的處理條件係侷限於從分別與上面所說明的複數個組合對應的不變關係預測為正常之範圍內的狀態。

另一方面，異常分數高的狀態係例如包含「a.藥液濃度」的時間性變化相較於基於「b.藥液供給量」的時間性變化預測的時間性變化明顯很大之狀態(以下稱為第一異常狀態)。第一異常狀態的持續係導致無法調整洗淨液的藥液濃度所致使的基板W的處理不良、有害氣體的發生以及基板處理裝置1的構成構件的損傷。

另一方面，異常分數高的狀態係例如包含從對於濃度計20之濃度檢測的指令時間點至來自濃度計20之藥液濃度的輸出時間點為止的時間明顯很大之狀態(以下稱為第二異常狀態)。第二異常狀態的持續係導致無法針對藥液濃度適當地回授控制所致使的基板W的處理不良、有害氣體的發生以及基板處理裝置1的構成構件的損傷。

此外，異常分數高的狀態係例如包含「f.朝向馬達的供給電力」相較於預測的值明顯很大之狀態(以下稱為第三異常狀態)。在第三異常狀態中，設想之外的負荷作用於馬達的可能性高。因此，第三異常狀態的持續係導致包含馬達之動作部的故障、基板W的搬運不良以及基板處理裝置1的構成構件的損傷。

此外，異常分數高的狀態係例如包含「g.藥液追加量」超過預測的範圍而變動之狀態(以下稱為第四異常狀態)。在第四異常狀態中難以將洗淨液的濃度保持成固定。因此，第四異常狀態的持續係導致基板W的處理不良。

此外，異常分數高的狀態係例如包含「h.藥液供給閥開放度」以及「i.洗淨液排出閥開放度」的時間性變化相比於從「a.藥液濃度」以及「b.藥液供給量」預測的時間性變化顯著地不同之狀態(以下稱為第五異常狀態)。在基板處理裝置1A處於第五異常狀態之情形中，認為基板處理裝置1A係應該處於緊急停止功能所致使的停止狀態或者應自行停止的狀態。

(5)管理裝置4中的基本動作 管理裝置4係例如為個人電腦，且包含CPU以及記憶體。此外，管理裝置4係具備顯示部4a以及操作部4b，供用以管理複數個基板處理裝置1之管理者所使用。

分別負責複數個基板處理裝置1之複數個維護作業者係能藉由確認從資訊分析裝置3所發送的異常分數從而容易地掌握自己所負責的基板處理裝置1的異常的程度。此外，各個維護作業者係能藉由自己所負責的基板處理裝置1接收警報從而掌握於該基板處理裝置1發生重大的異常。

然而，會有即使各個維護作業者能掌握基板處理裝置1的異常的程度亦無法針對該基板處理裝置1特定異常的發生原因之情形。在此種情形中，維護作業者係對管理者請求基板處理裝置1的詳細的調查。

藉此，如圖1中的粗的二點鏈線的箭頭所示，例如從複數個基板處理裝置1中的一部分(在本例子中為基板處理裝置1A、1C、1E)或者全部的基板處理裝置1對管理裝置4發送調查請求。再者，如圖1中的粗的虛線的箭頭所示，從已發送調查請求的一個或者複數個基板處理裝置1(在本例子中為基板處理裝置1A、1C、1E)對管理裝置4發送異常分數。

藉此，即使在管理裝置4中例如於同時期存在來自於複數個基板處理裝置1的調查請求之情形中，亦能基於與調查請求一起接收的異常分數容易且迅速地決定調查的優先順位。亦即，管理者係能基於存在調查請求的基板處理裝置1A、1C、1E的複數個異常分數來決定調查的優先順位。

此外，在管理裝置4中從一個或者複數個基板處理裝置1所接收的各個調查請求係在每次進行與該調查請求對應的基板處理裝置1的詳細的調查時從用以決定優先順位之對象排除。

[2]基板處理裝置管理系統2的功能性的構成 圖2係用以說明第一實施形態的基板處理裝置管理系統2的功能性的構成之方塊圖。如圖2所示，資訊分析裝置3係包含資訊收集部31、分數算出部32、分數發送部33以及警報發送部34。於資訊分析裝置3的記憶體記憶有用以管理複數個基板處理裝置1之第二管理程式。圖2的資訊分析裝置3的構成要素(資訊收集部31、分數算出部32、分數發送部33以及警報發送部34)係藉由資訊分析裝置3的CPU執行記憶於記憶體的第二管理程式而實現。此外，資訊分析裝置3的構成要素(資訊收集部31、分數算出部32、分數發送部33以及警報發送部34)的一部分或者全部亦可藉由電子電路等硬體而實現。

此外，管理裝置4係包含請求受理部41、分數取得部42以及分數提示部43。於管理裝置4的記憶體記憶有用以管理複數個基板處理裝置1之第三管理程式。圖2的管理裝置4的構成要素(請求受理部41、分數取得部42以及分數提示部43)係藉由管理裝置4的CPU執行記憶於記憶體的第三管理程式而實現。此外，管理裝置4的構成要素(請求受理部41、分數取得部42以及分數提示部43)的一部分或者全部亦可藉由電子電路等硬體而實現。

如上所述，以預定周期從複數個基板基板處理裝置1各者對資訊分析裝置3發送複數個處理資訊(參照圖2中的粗的實線的箭頭)。資訊分析裝置3的資訊收集部31係收集從各個基板處理裝置1發送的複數個處理資訊並傳輸至分數算出部32。

資訊分析裝置3的分數算出部32係基於與各個基板處理裝置1對應的複數個處理資訊算出該基板處理裝置1的異常分數，並將所算出的異常分數傳輸至分數發送部33以及警報發送部34。

資訊分析裝置3的分數發送部33係將藉由分數算出部32所算出的異常分數發送至與該異常分數對應的基板處理裝置1(參照圖2中的粗的一點鏈線的箭頭)。在各個基板處理裝置1中，從分數發送部33發送的異常分數係以例如與該異常分數的算出時刻、發送時刻或者接收時刻等的時間賦予關聯的狀態被記憶。

資訊分析裝置3的警報發送部34係判定針對各個基板處理裝置1所算出的異常分數是否超過上面所說明的第一臨限值。此外，警報發送部34係在異常分數超過第一臨限值之情形中將與該異常分數對應的基板處理裝置1(在圖2的例子中為基板處理裝置1D、1E)發送警報(參照圖2中的波狀的虛線箭頭)。

在各個基板處理裝置1中，基於維護作業者的操作將與該基板處理裝置1的異常相關的調查請求發送至管理裝置4。此外，將記憶於該基板處理裝置1的異常分數發送至管理裝置4。

管理裝置4的請求受理部41係受理從一個或者複數個基板處理裝置1(在圖2的例子中為基板處理裝置1A、1C、1E)所發送的調查請求(參照圖2的粗的二點鏈線的箭頭)。管理裝置4的分數取得部42係從一個或者複數個基板處理裝置1(在圖2的例子中為基板處理裝置1A、1C、1E)取得與調查請求一起被發送的異常分數(參照圖2的粗的虛線的箭頭)。管理裝置4的分數提示部43係使藉由分數取得部42所取得的一個或者複數個異常分數各者分別與和該異常分數對應的基板處理裝置1賦予關聯並顯示於顯示部4a。

在圖2的例子中，存在調查請求的基板處理裝置1A、1C、1E各者的異常分數係成為「264」、「210」以及「322」。藉此，管理者係能容易地掌握基板處理裝置1E、1A、1C的異常的程度。此外，可知管理者只要依照基板處理裝置1E、1A、1C的順序進行詳細的調查即可。

此外，分數提示部43亦可在針對已發送調查請求之未調查的複數個基板處理裝置1算出了複數個異常分數之情形中，基於這些異常分數來決定調查的優先順位，並使所決定的優先順位顯示於顯示部4a。

[3]異常分數的算出的具體例子 如上所述，在基板處理裝置管理系統2中制定有相互不同的兩個處理資訊的複數個組合。為了算出異常分數，針對各個組合算出偏差度。圖3係用以說明偏差度的具體性的算出例子之圖。在此，說明與圖1的「e.馬達轉數」以及「f.朝向馬達的供給電力」的組合對應的偏差度的算出例子。在以下的說明中，將「e.馬達轉數」的資料適當地稱為「e」的資料，將「f.朝向馬達的供給電力」的資料適當地稱為「f」的資料。

為了算出偏差度，需要基於「e.馬達轉數」與「f.朝向馬達的供給電力」之間的不變關係之基準的資料。因此，於資訊分析裝置3保持有在各個基板處理裝置1中的基板W的實際的處理之前該基板處理裝置1遵循處方理想性地動作時的「e」的資料以及「f」的資料。

這些理想性的「e」的資料以及「f」的資料係基於例如實際上各個基板處理裝置1正常地動作時從該基板處理裝置1所發送的複數個處理資訊而取得。或者，理想性的「e」的資料以及「f」的資料亦可藉由模擬等而生成。

於圖3的上段以圖表顯示了理想性的「e」的資料以及「f」的資料的時間性變化的一例。在「e」的資料的圖表中，橫軸係表示時間，縱軸係表示馬達的轉數。在「f」的資料的圖表中，橫軸係表示時間，縱軸係表示被供給至設置於圖1的升降裝置13的馬達之電力量(供給電力)。在「e」的資料的圖表與「f」的資料的圖表之間，橫軸(時間軸)是共通的。

依據圖3的上段的兩個圖表，可知隨著馬達的轉數變大，朝向馬達的供給電力亦會以略固定的比例變大。這些關係是以基板處理裝置1理想性地動作之此種條件維持成不變。因此，於資訊分析裝置3預先記憶有這些關係(不變關係)作為相關資訊。

在此種狀態下，在各個基板處理裝置1中進行基板W的處理，並藉由資訊分析裝置3的資訊收集部31收集實際的「e」的資料以及「f」的資料。於圖3的中段以圖表顯示了實際所收集的「e」的資料以及「f」的資料的時間性變化的一例。

當收集實際的「e」的資料時，分數算出部32係基於預先記憶的相關資訊預測「f」的資料。此外，當收集實際的「f」的資料時，分數算出部32係基於預先記憶的相關資訊預測「e」的資料。於圖3的下段以圖表顯示了基於相關資訊預測的「e」的資料以及「f」的資料的時間性變化的一例。此外，於圖3的下段的圖表中，以實線顯示預測的「e」的資料以及「f」的資料，以虛線顯示實際所收集的「e」的資料以及「f」的資料。

在基板處理裝置1理想性地動作之情形中，實際的「e」的資料與預測的「e」的資料係變成一致或者大致一致。此外，實際的「f」的資料與預測的「f」的資料係變成一致或者大致一致。然而，在基板處理裝置1發生異常之情形中，實際的「e」的資料與預測的「e」的資料偏差的可能性高。此外，實際的「f」的資料與預測的「f」的資料偏差的可能性高。認為此種偏差的程度係基板處理裝置1所發生的異常的程度愈大則愈大，基板處理裝置1所發生的異常的程度愈小則愈小。

因此，在本實施形態中，將實際所收集的處理資訊的資料與預測的處理資訊的資料之間的差分值作為偏差度算出。在圖3的例子中，分數算出部32係在某個時間點中的偏差度的算出時將實際的「e」的資料與預測的「e」的資料之間的差分值作為偏差度算出。此外，分數算出部32係將實際的「f」的資料與預測的「f」的資料之間的差分值作為偏差度算出。

圖4係用以說明異常分數的具體性的算出例子之圖。分數算出部32係針對複數個處理資訊的全部的組合算出上面所說明的偏差度。在圖4中顯示了針對複數個處理資訊的全部的組合所算出的複數個偏差度。當分數算出部32算出全部的偏差度時，將算出的複數個偏差度的合計作為異常分數算出。

[4]在複數個基板處理裝置1的各者中所執行的一連串的處理 圖5係顯示在圖1的複數個基板處理裝置1各者中所執行的處理的一例之流程圖。圖5所示的一連串的處理係藉由將各個基板處理裝置1的電源打開後控制裝置40的CPU執行第一管理程式而開始。

首先，控制裝置40係以預定周期將在基板處理裝置1的內部所取得的複數個處理資訊發送至資訊分析裝置3(步驟S10)。在步驟S10所開始的複數個處理資訊的發送處理係以預定周期重複至基板處理裝置1的電源被關掉為止。在發送複數個處理資訊時，控制裝置40亦可將所發送的複數個處理資訊與發送時刻賦予關聯並予以記憶。

接著，控制裝置40係判定是否已經從資訊分析裝置3接收到異常分數(步驟S11)。控制裝置40係在未接收到異常分數之情形中移行至後述的步驟S13的處理。另一方面，控制裝置40係在接收到異常分數之情形中將所接收到的異常分數與接收時刻賦予關聯並予以記憶(步驟S12)。

接著，控制裝置40係判定是否已經從資訊分析裝置3接收到警報(步驟S13)。控制裝置40係在未接收到警報之情形中移行至後述的步驟S15的處理。另一方面，控制裝置40係在接收到警報之情形中藉由基板處理裝置1的顯示裝置或者聲音輸出裝置輸出警報(步驟S14)。上述步驟S11、S12的處理亦可在步驟S14的處理後再進行。

接著，控制裝置40係判定是否接收到應該對管理裝置4發送調查請求之指令(步驟S15)。應該發送調查請求之指令係例如藉由維護作業者操作基板處理裝置1的操作部從而傳輸至控制裝置40。控制裝置40係在未接收到應該發送調查請求之指令的情形中，移行至後述的步驟S17的處理。另一方面，控制裝置40係在接收到應該發送調查請求之指令的情形中，將調查請求以及在距離當下時間點最近的時間點所記憶的異常分數發送至管理裝置4(步驟S16)。在步驟S16中，控制裝置40亦可將從當下時間點直至預先制定的時間(例如數小時)前為止所記憶的複數個異常分數與這些接收時刻一起發送至管理裝置4。

接著，控制裝置40係判定是否已經從管理裝置4接收到應該進行針對基板處理裝置1的特定的作業之作業指示(步驟S17)。控制裝置40係在未接收到作業指示之情形中移行至後述的步驟S19的處理。另一方面，控制裝置40係在接收到作業指示之情形中，例如藉由基板處理裝置1所具備的顯示裝置將所接收到的作業指示提示給維護作業者(步驟S18)。

之後，控制裝置40係判定是否已經接收到用以使基板處理裝置1的動作停止之終止指令(步驟S19)。控制裝置40係在未接收到結束指令之情形中移行至步驟S11的處理。另一方面，控制裝置40係在接收到結束指令之情形中結束一連串的處理。

[5]在資訊分析裝置3中所執行的一連串的處理 圖6係顯示在圖1的資訊分析裝置3中所執行的處理的一例之流程圖。圖6所示的一連串的處理係藉由將資訊分析裝置3的電源打開後資訊分析裝置3的CPU執行第二管理程式而開始。

首先，圖2的資訊收集部31係開始收集從複數個基板處理裝置1各者發送的複數個處理資訊(步驟S20)。在步驟S20中所開始的複數個處理資訊的收集處理係以預定周期重複，直至資訊分析裝置3的電源被關閉為止。

接著，圖2的分數算出部32係選擇在步驟S20的處理中收集了複數個處理資訊之一個或者複數個基板處理裝置1中之未算出異常分數的一個基板處理裝置1(步驟S21)。

接著，分數算出部32係針對所選擇的一個基板處理裝置1從所收集的複數個處理資訊算出複數個偏差度(步驟S22)。或者，分數算出部32係基於算出的複數個偏差度算出一個基板處理裝置1的異常分數，並將所算出的異常分數發送至該一個基板處理裝置1(步驟S23)。

接著，圖2的警報發送部34係判定在步驟S23中所算出的異常分數是否超過第一臨限值(步驟S24)。警報發送部34係在異常分數未超過第一臨限值之情形中移行至後述的步驟S26的處理。另一方面，警報發送部34係在異常分數超過第一臨限值之情形中對一個基板處理裝置1發送警報(步驟S25)。

接著，分數算出部32係判定是否存在收集了複數個處理資訊且未算出異常分數的基板處理裝置1(步驟S26)。分數算出部32係在存在未算出異常分數的基板處理裝置1之情形中移行至步驟S21的處理。另一方面，分數算出部32係在未存在未算出異常分數的基板處理裝置1之情形中，判定是否已經接收到用以使資訊分析裝置3的動作停止之結束指令(步驟S27)。分數算出部32係在未接收到結束指令之情形中移行至步驟S21的處理。另一方面，分數算出部32係在接收到結束指令之情形中結束一連串的處理。

[6]在管理裝置4中所執行的一連串的處理 圖7係顯示在圖1的管理裝置4中所執行的處理的一例之流程圖。圖7所示的一連串的處理係藉由將管理裝置4的電源打開後管理裝置4的CPU執行第三管理程式而開始。

首先，圖2的請求受理部41係判定是否已經從複數個基板處理裝置1中的至少一個基板處理裝置1接收到調查請求(步驟S30)。請求受理部41係在未接收到調查請求之情形中移行至後述的步驟S33的處理。另一方面，請求受理部41係在從至少一個基板處理裝置1接收到調查請求之情形中受理所接收到的調查請求(步驟S31)。

如上所述，從基板處理裝置1朝管理裝置4發送調查請求時，將調查請求與異常分數一起從基板處理裝置1發送至管理裝置4。藉此，圖2的分數取得部42係接收並取得與調查請求一起被發送的異常分數(步驟S32)。此時所取得的調查請求以及異常分數係被記憶至管理裝置4的記憶體。

接著，圖2的分數提示部43係判定是否已經接收到應該開始調查基板處理裝置1之指令(步驟S33)。應該開始調查之指令係例如藉由管理者操作管理裝置4的操作部4b而被傳輸至分數提示部43。分數提示部43係在未接收到應該開始調查的指令之情形中移行至步驟S30的處理。另一方面，分數提示部43係在接收到應該開始調查的指令之情形中，判定成為調查對象的基板處理裝置1是否為複數個(步驟S34)。

分數提示部43係在成為調查對象的基板處理裝置1為一個之情形中移行至後述的步驟S36的處理。另一方面，分數提示部43係在成為調查對象的基板處理裝置1(未調查的基板處理裝置1)為複數個之情形中，將調查對象的各個基板處理裝置1的異常分數與該基板處理裝置1賦予關聯並顯示於顯示部4a(步驟S35)。此外，分數提示部43亦可在成為調查對象的基板處理裝置1為一個之情形中使該基板處理裝置1的異常分數顯示於顯示部4a。 此外，分數提示部43亦可針對接收到調查請求之未調查的複數個基板處理裝置1基於複數個異常分數來決定調查的優先順位。在此種情形中，分數提示部43亦可使所決定的優先順位顯示於顯示部4a。

之後，管理裝置4的CPU係響應管理者對於操作部4b的操作，進行針對屬於調查對象的一個或者複數個基板處理裝置1中的一個基板處理裝置1的調查處理(步驟S36)。此外，管理裝置4的CPU係基於調查處理的結果將朝向維護作業者的作業指示發送至一個基板處理裝置1(步驟S37)。

接著，管理裝置4的CPU係判定是否已經接收到用以使管理裝置4的動作停止之結束指令(步驟S38)。管理裝置4的CPU係在未接收到結束指令之情形中移行至步驟S30的處理。另一方面，管理裝置4的CPU係在接收到結束指令之情形中結束一連串的處理。

此外，在步驟S36中，針對已進行過調查處理的基板處理裝置1之調查請求以及異常分數係與調查處理的結束一起從管理裝置4的記憶體被消除。或者，在步驟S36中，已進行過調查處理的基板處理裝置1係從調查對象的候補被排除。

此外，在步驟S38中，在作為調查對象的一個或者複數個基板處理裝置1中存在尚未調查的基板處理裝置1之情形中，該調查請求係以記憶於管理裝置4的記憶體之狀態下被保存。或者，在步驟S38中，作為調查對象且尚未進行調查處理的基板處理裝置1係殘留在調查對象的候補。

[7]第一實施形態的功效 在上面所說明的管理裝置4中，在針對兩個以上的基板處理裝置1存在兩個以上的調查請求之情形中，存在調查請求的兩個以上的基板處理裝置1的異常的程度係作為異常分數顯示於顯示部4a。在此種情形中，管理者係能基於已經顯示的異常分數容易地掌握存在調查請求的兩個以上的基板處理裝置1的異常的程度。此外，異常分數係基於複數個處理資訊間的不變關係而被算出。因此，管理者係能針對存在調查請求的複數個基板處理裝置1在短時間內容易且適當地掌握調查的優先順位。

此外，在上面所說明的基板處理裝置管理系統2中，在資訊分析裝置3中所算出的異常分數係被發送至與該異常分數對應的基板處理裝置1。在各個基板處理裝置1中，以時間序列記憶與該基板處理裝置1對應的異常分數。藉此，負責各個基板處理裝置1之維護作業者係能容易地確認記憶於該基板處理裝置1的異常分數的時間性變化。

2.第二實施形態 於上面所說明的複數的處理資訊的複數個組合存在有在掌握基板處理裝置1的異常的程度之情形中應特別重視之組合以及無須重視之組合。

例如當考慮第一異常狀態時，為了避免第一異常狀態的持續，「a.藥液濃度」以及「b.藥液供給量」的組合係可說是在算出異常分數上為關係性很高的組合。此外，當考慮第二異常狀態時，為了避免第二異常狀態的持續，「c.濃度檢測輸入訊號」以及「d.濃度檢測輸出訊號」的組合係可說是在算出異常分數上為關係性很高的組合。另一方面，無需考慮第一異常狀態至第五異常狀態之處理資訊的組合係可說是在算出異常分數上為關係性很低的組合。

在第一實施形態的基板處理裝置管理系統2中，偏差度為實際所收集的處理資訊的資料與預測的處理資訊的資料之間的差分值。因此，於上述實施形態所算出的偏差度不考慮算出異常分數時原本應該重視的基板處理裝置1的複數種類的異常狀態。因此，第二實施形態的基板處理裝置管理系統係具有以下的構成。

說明第二實施形態的基板處理裝置管理系統與第一實施形態的圖2的基板處理裝置管理系統2的差異點。圖8係用以說明第二實施形態的基板處理裝置管理系統的功能性的構成之圖。如圖8所示，在本實施形態的基板處理裝置管理系統2中，資訊分析裝置3係除了包含第一實施形態所說明的構成要素(資訊收集部31、分數算出部32、分數發送部33以及警報發送部34)之外還包含權重記憶部39作為功能部。權重記憶部39係藉由第二實施形態的資訊分析裝置3的CPU執行記憶於記憶體的第二管理程式而實現。此外，權重記憶部39亦可藉由電子電路等硬體而實現。

於權重記憶部39記憶有分別與複數個處理資訊的複數個組合對應的複數個權重。圖9係顯示記憶於圖8的權重記憶部39之複數個權重的一例之圖。在本實施形態中，針對會於基板處理裝置1發生的複數種類的異常狀態設定「第一等級」至「第六等級」這六個異常等級。六個異常等級的異常的程度係依「第一等級」、「第二等級」、「第三等級」、「第四等級」、「第五等級」以及「第六等級」的順序變大。此外，對與各個異常狀態之關聯性高的處理資訊的組合分配有與該異常狀態的異常等級對應的大小的權重。

具體而言，於第五異常狀態設置有最高的「第六等級」。再者，針對與第五異常狀態關聯性高的「a.藥液濃度」、「b.藥液供給量」、「h.藥液供給閥開放度」以及「i.洗淨液排出閥開放度」的相互間的組合(八個組合)分配有權重「6」。

此外，於第一異常狀態設置有第二高的「第五等級」。再者，針對與第一異常狀態關聯性高的「a.藥液濃度」以及「b.藥液供給量」的相互間的組合(兩個組合)分配有權重「5」。

此外，於第三異常狀態設置有第三高的「第四等級」。再者，針對與第三異常狀態關聯性高的「e.馬達轉數」以及「f.朝向馬達的供給電力」的相互間的組合(兩個組合)分配有權重「4」。

此外，於第二異常狀態設置有第四高的「第三等級」。再者，針對與第二異常狀態關聯性高的「c.濃度檢測輸入訊號」以及「d.濃度檢測輸出訊號」的相互間的組合(兩個組合)分配有權重「3」。

此外，於第四異常狀態設置有第五高的「第二等級」。再者，針對與第四異常狀態關聯性高的「a.藥液濃度」、「b.藥液供給量」以及「g.藥液追加量」的相互間的組合(四個組合)分配有權重「2」。

再者，於第一異常狀態至第五異常狀態以外的異常狀態設置有最低的「第一等級」。再者，針對與包含第一異常狀態至第五異常狀態之複數個異常狀態關聯性低的複數個處理資訊的相互間的複數個組合分配有權重「1」。

與圖2的分數算出部32同樣地，圖8的分數算出部32係針對複數個處理資訊的複數個組合算出實際所收集的處理資訊的資料與預測的處理資訊的資料之間的差分值。此外，圖8的分數算出部32係基於記憶於權重記憶部39的複數個權重，針對複數個處理資訊的各個組合將所算出的差分值乘上被分配至該組合的權重而獲得的值(相乘值)作為偏差度來算出。再者，當圖8的分數算出部32算出全部的偏差度時，將所算出的複數個偏差度的合計作為異常分數來算出。

如此，在第二實施形態的基板處理裝置管理系統2中，基於包含與異常等級相應的加權量之偏差度算出異常分數。藉此，複數個基板處理裝置1的管理者係能藉由參照所算出的異常分數而更適當地掌握各個基板處理裝置1的異常的程度。

3.其他的實施形態 (1)在上述實施形態的基板處理裝置管理系統2中，資訊收集部31亦可在每次經過預先制定的時間時重複所收集的處理資訊的累計以及重置。此外，資訊收集部31亦可在每次經過預先制定的時間時將直至即將重置之前為止所累計的處理資訊傳輸至分數算出部32。在此種情形中，在分數算出部32中基於所累計的複數個處理資訊算出異常分數。在此種情形中，降低在收集各個處理資訊時所發生的雜訊等的影響波及到異常分數。

(2)在上述實施形態的基板處理裝置管理系統2中，在資訊分析裝置3所進行之一連串的處理亦可在管理裝置4進行。此外，在資訊分析裝置3所進行之一連串的處理亦可在複數個基板處理裝置1中的任一個基板處理裝置1進行。在此種情形中，無須資訊分析裝置3。

(3)在上述實施形態的基板處理裝置管理系統2中，資訊分析裝置3亦可接收來自複數個基板處理裝置1的調查請求，並將所接收的調查請求以及與調查請求對應的異常分數發送至管理裝置4。

(4)在上述實施形態的基板處理裝置管理系統2中，亦可不從資訊分析裝置3對複數個基板處理裝置1發送異常分數。在此種情形中，已經從複數個基板處理裝置1中的任一個基板處理裝置1接收到調查請求之管理裝置4亦可從資訊分析裝置3取得已經接收到調查請求的基板處理裝置1的異常分數。

(5)在上述實施形態中，雖然複數個基板處理裝置1A至1E具有相同的構成，然而本發明並未限定於此。複數個基板處理裝置1A至1E中的一部分或者全部亦可具有彼此不同的構成。此外，複數個基板處理裝置1A至1E中的至少一個基板處理裝置亦可非為批次式的基板洗淨裝置，而是亦可為葉片式的基板洗淨裝置，且亦可具有用以進行洗淨處理以外的處理之構成。

(6)複數個處理資訊亦可除了上述實施形態所記載的複數個具體例子之外還包含下述中的至少一個物理量，或者亦可包含下述中的至少一個物理量以取代上述實施形態所記載的複數個具體例子；該下述中的至少一個物理量為：被供給至基板W之流體的溫度、收容了基板W之處理室內的溫度、收容了基板W之處理室內的壓力、從收容了基板W之處理室排出的氣體的壓力、以及藉由機器人所搬運之基板的移動速度。

此外，複數個處理資訊亦可包含與驅動脈波訊號以及檢測器的輸出訊號中的至少一者相關的資訊；該驅動脈波訊號係驅動用以搬運基板W的機器人；該檢測器係設置用於用以搬運基板W的機器人。

(7)在上述實施形態的基板處理裝置管理系統2中，分數算出部32亦可在每次經過預先制定的時間時重複異常分數的累計以及重置，藉此進一步地算出異常分數的積分值。在此種情形中，警報發送部34亦可判定異常分數的積分值是否超過預先制定的第二臨限值。此外，警報發送部34亦可在異常分數的積分值超過第二臨限值之情形中對與該異常分數的積分值對應的基板處理裝置1發送警報。在此種情形中，各個基板處理裝置1的維護作業者係能以更高的精度掌握自己負責的基板處理裝置1中的異常的發生。

4.申請專利範圍中的各個構成要素與實施形態的各個要素之間的對應關係 以下說明申請專利範圍的各個構成要素與實施形態的各個要素之間的對應關係的例子，然而本發明並未限定下述例子。作為申請專利範圍的各個構成要素，亦能使用具有申請專利範圍所記載的構成或者功能之其他的各種要素。

在上述實施形態中，基板處理裝置1、1A至1E為複數個基板處理裝置的例子，基板處理裝置管理系統2為基板處理裝置管理系統的例子，資訊收集部31為資訊收集部的例子，分數算出部32為分數算出部的例子，請求受理部41為請求受理部的例子。

此外，分數取得部42為分數取得部的例子，分數提示部43為優先順位提示部的例子，複數個基板處理裝置1的複數個異常分數以及調查的優先順位為優先順位資訊的例子，分數發送部33為分數發送部的例子，警報發送部34為警報發送部的例子，資訊分析裝置3為資訊分析裝置的例子。

1,1A,1B,1C,1D,1E:基板處理裝置 2:基板處理裝置管理系統 3:資訊分析裝置 4:管理裝置 4a:顯示部 4b:操作部 11:處理槽 12:基板保持部 13:升降裝置 14:洗淨液生成裝置 14a:儲留槽 15:液體供給管 16:泵 17,19:閥 18:液體排出管 20:濃度計 30:搬運機器人 31:資訊收集部 32:分數算出部 33:分數發送部 34:警報發送部 39:權重記憶部 40:控制裝置 41:請求受理部 42:分數取得部 43:分數提示部 91:藥液供給管 92:純水供給管 93:追加藥液供給管 94:排液管 S10至S27,S30至S38:步驟 W:基板

[圖1]係用以說明第一實施形態的基板處理裝置管理系統的構成之圖。 [圖2]係用以說明第一實施形態的基板處理裝置管理系統的功能性的構成之方塊圖。 [圖3]係用以說明偏差度的具體性的算出例子之圖。 [圖4]係用以說明異常分數的具體性的算出例子之圖。 [圖5]係顯示在圖1的複數個基板處理裝置各者中所執行的處理的一例之流程圖。 [圖6]係顯示在圖1的資訊分析裝置中所執行的處理的一例之流程圖。 [圖7]係顯示在圖1的管理裝置中所執行的處理的一例之流程圖。 [圖8]係用以說明第二實施形態的基板處理裝置管理系統的功能性的構成之圖。 [圖9]係顯示記憶於圖8的權重記憶部之複數個權重的一例之圖。

1,1A,1B,1C,1D,1E:基板處理裝置

2:基板處理裝置管理系統

3:資訊分析裝置

4:管理裝置

4a:顯示部

4b:操作部

11:處理槽

12:基板保持部

13:升降裝置

14:洗淨液生成裝置

14a:儲留槽

15:液體供給管

16:泵

17,19:閥

18:液體排出管

20:濃度計

30:搬運機器人

40:控制裝置

91:藥液供給管

92:純水供給管

93:追加藥液供給管

94:排液管

W:基板

Claims (13)

1. 一種基板處理裝置管理系統，係被使用於管理複數個基板處理裝置，並具備： 資訊收集部，係從各個基板處理裝置收集複數個處理資訊，複數個前述處理資訊係顯示與基板的處理關連的動作或者狀態； 分數算出部，係針對各個基板處理裝置，基於複數個前述處理資訊間的不變的關係與從前述基板處理裝置所收集的複數個處理資訊算出前述基板處理裝置的異常的程度作為異常分數； 請求受理部，係從各個基板處理裝置受理與異常相關的調查請求； 分數取得部，係取得針對已對前述請求受理部發送了調查請求的兩個以上的基板處理裝置分別算出的兩個以上的異常分數；以及 優先順位提示部，係基於前述分數取得部所取得的兩個以上的異常分數，提示與針對兩個以上的前述調查請求應該回應的優先順位相關的優先順位資訊。
2. 如請求項1所記載之基板處理裝置管理系統，其中前述優先順位資訊係包含藉由前述分數取得部所取得的兩個以上的異常分數； 前述優先順位提示部係對兩個以上的前述基板處理裝置分別賦予關聯地提示藉由前述分數取得部所取得的兩個以上的異常分數。
3. 如請求項1或2所記載之基板處理裝置管理系統，其中進一步地具備：分數發送部，係將前述分數算出部所算出的異常分數發送至與前述異常分數對應的基板處理裝置。
4. 如請求項1或2所記載之基板處理裝置管理系統，其中進一步地具備：警報發送部，係判定針對各個基板處理裝置所算出的異常分數是否超過預先制定的臨限值，在前述異常分數超過前述臨限值之情形中對與前述異常分數對應的基板處理裝置發送警報。
5. 如請求項1或2所記載之基板處理裝置管理系統，其中前述資訊收集部係在每次經過固定時間時重複所收集的複數個處理資訊的累計以及重置； 前述分數算出部係針對各個基板處理裝置，基於複數個前述處理資訊間的不變的關係以及藉由前述基板處理裝置所生成且藉由前述資訊收集部所累計的複數個處理資訊算出前述基板處理裝置的異常的程度作為異常分數。
6. 如請求項1或2所記載之基板處理裝置管理系統，其中針對複數個前述處理資訊制定有相互不同的兩個處理資訊的複數個組合； 各個組合係包含第一處理資訊以及第二處理資訊； 前述分數算出部係針對各個組合，基於以預先制定的條件所收集的前述第二處理資訊生成以前述預先制定的條件預測的前述第一處理資訊作為第一預測處理資訊，並算出所生成的第一預測處理資訊與藉由前述資料收集部實際所收集的前述第一處理資訊之間的偏差的程度作為第一偏差度； 前述分數算出部係針對各個組合，基於以前述預先制定的條件所收集的前述第一處理資訊生成以前述預先制定的條件預測的前述第二處理資訊作為第二預測處理資訊，並算出所生成的第二預測處理資訊與藉由前述資料收集部實際所收集的前述第二處理資訊之間的偏差的程度作為第二偏差度； 前述分數算出部係基於針對複數個前述組合分別算出的複數個第一偏差度以及複數個第二偏差度算出前述異常分數。
7. 如請求項6所記載之基板處理裝置管理系統，其中前述分數算出部係算出針對複數個前述組合分別算出的複數個第一偏差度以及複數個第二偏差度的合計作為前述異常分數。
8. 如請求項6所記載之基板處理裝置管理系統，其中對複數個前述組合各者分配因應前述組合與基板處理裝置的複數種類的異常狀態之間的關連性預先制定的權重； 前述分數算出部係基於複數個前述組合與複數個前述權重算出複數個前述第一偏差度以及複數個前述第二偏差度。
9. 如請求項1或2所記載之基板處理裝置管理系統，其中複數個前述處理資訊係包含下述中的至少一者的物理量：被供給至基板之流體的供給量、被供給至基板之流體的溫度、被供給至基板之處理液的濃度、收容了基板之處理室內的溫度、收容了基板之處理室內的壓力、從收容了基板之處理室排出的氣體的壓力、以及藉由機器人所搬運之基板的移動速度。
10. 如請求項1或2所記載之基板處理裝置管理系統，其中複數個前述處理資訊係包含與下述至少一個相關的資訊：用以驅動用以搬運基板的機器人之驅動脈波訊號、設置於用以搬運基板的機器人之檢測器的輸出訊號、以及被傳輸至控制閥之開閉訊號。
11. 如請求項1或2所記載之基板處理裝置管理系統，其中各個基板處理裝置為基板洗淨裝置，用以使用洗淨液來洗淨基板； 複數個前述處理資訊係包含下述中的至少一者：被供給至基板之洗淨液的供給量、被供給至基板之洗淨液的溫度、以及被供給至基板之洗淨液的濃度。
12. 一種基板處理裝置管理方法，係被使用於管理複數個基板處理裝置，並具備下述步驟： 從各個基板處理裝置收集複數個處理資訊，複數個前述處理資訊係顯示與基板的處理關連的動作或者狀態； 針對各個基板處理裝置，基於複數個前述處理資訊間的不變的關係與從前述基板處理裝置所收集的複數個處理資訊算出前述基板處理裝置的異常的程度作為異常分數； 從各個基板處理裝置受理與異常相關的調查請求； 取得針對已發送了調查請求的兩個以上的基板處理裝置分別算出的兩個以上的異常分數；以及 藉由用以取得兩個以上的前述異常分數之步驟所取得的兩個以上的異常分數，提示與針對兩個以上的前述調查請求應該回應的優先順位相關的優先順位資訊。
13. 一種基板處理裝置管理程式，係使電腦執行使用資訊分析裝置來管理複數個基板處理裝置之處理； 前述資訊分析裝置係包含： 資訊收集部，係從各個基板處理裝置收集複數個處理資訊，複數個前述處理資訊係顯示與基板的處理關連的動作或者狀態；以及 分數算出部，係針對各個基板處理裝置，基於複數個前述處理資訊間的不變的關係與從前述基板處理裝置所收集的複數個處理資訊算出前述基板處理裝置的異常的程度作為異常分數； 用以管理複數個前述基板處理裝置之處理係包含下述處理： 從各個基板處理裝置受理與異常相關的調查請求； 取得針對已發送了調查請求的兩個以上的基板處理裝置分別算出的兩個以上的異常分數；以及 藉由用以取得兩個以上的異常分數之處理所取得的兩個以上的異常分數，提示與針對兩個以上的前述調查請求應該回應的優先順位相關的優先順位資訊。

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