JP2023102218A - 基板処理装置管理システム、基板処理装置管理方法および基板処理装置管理プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】複数の基板処理装置について複数の調査依頼があった場合に、管理者が調査の優先順位を容易かつ適切に短時間で把握することを可能にする。【解決手段】基板処理装置管理システム２においては、複数の基板処理装置１の各々から基板の処理に関連する動作または状態を示す複数の処理情報が収集される。各基板処理装置１について、複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置１から収集される複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置１の異常の度合いが異常スコアとして算出される。管理装置４においては、各基板処理装置１から異常に関する調査依頼が受け付けられる。２以上の調査依頼が受け付けられたときに、それらの調査依頼に対応する基板処理装置の異常スコアが取得される。取得された複数の異常スコアに基づいて、２以上の調査依頼に対して応答すべき優先順位に関する優先順位情報が管理者に提示される。【選択図】図１

Description

本発明は、複数の基板処理装置を管理するために用いられる基板処理装置管理システム、基板処理装置管理方法および基板処理装置管理プログラムに関する。

液晶表示装置または有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等に用いられるＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、半導体基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板または太陽電池用基板等の各種基板に種々の処理を行うために、基板処理装置が用いられている。基板処理装置においては、例えば予め定められた処理手順（レシピ）に従って基板に一連の処理が施される。基板処理装置の異常に起因する基板の処理不良の発生を防止するために、基板処理装置の異常を判定するデータ処理システムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

そのデータ処理システムにおいては、基板の処理中に基板処理装置に関する複数の物理量が測定され、それらの測定結果が時系列に並べられることにより複数の時系列データが生成される。複数の時系列データには、例えばノズルから吐出される処理液の流量、およびチャンバ内の圧力等の物理量のデータが含まれる。各時系列データが予め定められた基準データと比較されることにより、評価値が算出される。算出された評価値に基づいて時系列データに異常があるか否かが判定される。

特開２０２０－４７８４７号公報

複数の基板処理装置は、例えば世界における複数の場所にそれぞれ設置される。各基板処理装置の保守作業は、当該基板処理装置を担当する現地の保守作業者によって行われる。保守作業者は、上記のデータ処理システムによる異常の判定結果に基づいて基板処理装置に異常が発生しているか否かを把握することができる。

保守作業者は、基板処理装置における異常の発生時に、異常の発生原因を特定することができない場合がある。この場合、保守作業者は、複数の基板処理装置を管理する管理者に、自己の担当する基板処理装置について詳細な調査を依頼する。調査依頼を受けた管理者は、調査対象となる基板処理装置について各種調査を行う。また、管理者は、調査を依頼した保守作業者に調査結果に基づく具体的な作業指示を与える。

複数の保守作業者から複数の基板処理装置について複数の調査依頼があると、管理者は複数の基板処理装置の調査を並行して行うことが難しい。この場合、管理者は、複数の基板処理装置について調査の優先順位を決定する。調査の優先順位を適切に決定するためには、調査対象となる複数の基板処理装置の異常の程度を把握する必要がある。複数の基板処理装置の異常の程度を把握するためには、複数の基板処理装置についてそれぞれ一次調査を行わなければならない。この一次調査には、例えば過去の時系列データの分析および保守作業者に対するヒアリング等が含まれる。このように、一次調査は煩雑である。したがって、管理者は、複数の調査依頼があった後、各調査依頼について、実際の調査を開始するまでの間に長時間を要する。

本発明の目的は、複数の基板処理装置について複数の調査依頼があった場合に、管理者が調査の優先順位を容易かつ適切に短時間で把握することを可能にする基板処理装置管理システム、基板処理装置管理方法および基板処理装置管理プログラムを提供することである。

（１）本発明の一局面に従う基板処理装置管理システムは、複数の基板処理装置を管理するために用いられる基板処理装置管理システムであって、各基板処理装置から基板の処理に関連する動作または状態を示す複数の処理情報を収集する情報収集部と、各基板処理装置について、複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置から収集される複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを異常スコアとして算出するスコア算出部と、各基板処理装置から異常に関する調査依頼を受け付ける依頼受付部と、依頼受付部に調査依頼を送信した２以上の基板処理装置についてそれぞれ算出された２以上の異常スコアを取得するスコア取得部と、スコア取得部により取得された２以上の異常スコアに基づいて、２以上の調査依頼に対して応答すべき優先順位に関する優先順位情報を提示する優先順位提示部とを備える。

その基板処理装置管理システムにおいては、複数の基板処理装置の各々について、基板処理装置の異常の度合いが異常スコアとして算出される。２以上の基板処理装置について２以上の調査依頼があった場合に、調査依頼のあった２以上の基板処理装置の異常スコアに基づく優先順位情報が提示される。異常スコアは、複数の処理情報間のインバリアントな関係に基づいて算出される。したがって、複数の基板処理装置の管理者は、調査依頼があった複数の基板処理装置について、調査の優先順位を容易かつ適切に短時間で把握することができる。

（２）優先順位情報は、スコア取得部により取得された２以上の異常スコアを含み、優先順位提示部は、スコア取得部により取得された２以上の異常スコアを２以上の基板処理装置にそれぞれ対応付けて提示してもよい。この場合、複数の基板処理装置の管理者は、提示された異常スコアに基づいて、調査依頼のあった２以上の基板処理装置の異常の度合いを容易に把握することができる。

（３）基板処理装置管理システムは、スコア算出部により算出された異常スコアを当該異常スコアに対応する基板処理装置に送信するスコア送信部をさらに備えてもよい。この場合、各基板処理装置に異常スコアを記憶させることができる。それにより、各基板処理装置において、異常スコアに基づく異常の分析が可能になる。

（４）基板処理装置管理システムは、各基板処理装置について算出された異常スコアが予め定められたしきい値を超えるか否かを判定し、異常スコアがしきい値を超える場合に、当該異常スコアに対応する基板処理装置に警報を送信する警報送信部をさらに備えてもよい。この場合、各基板処理装置において、予め定められた程度を超える異常の発生を容易に把握することができる。

（５）情報収集部は、一定時間が経過するごとに収集される複数の処理情報の積算およびリセットを繰り返し、スコア算出部は、各基板処理装置について、複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置により生成されかつ情報収集部により積算された複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを異常スコアとして算出してもよい。この場合、異常スコアに各処理情報の収集時に発生するノイズ等の影響が及ぶことが低減される。

（６）複数の処理情報について、互いに異なる２つの処理情報の複数の組み合わせが定められ、各組み合わせは、第１の処理情報および第２の処理情報を含み、スコア算出部は、各組み合わせについて、予め定められた条件で収集された第２の処理情報に基づいて、予め定められた条件で予測される第１の処理情報を、第１の予測処理情報として生成し、生成された第１の予測処理情報とデータ収集部により実際に収集された第１の処理情報との乖離の度合いを第１の乖離度として算出し、各組み合わせについて、予め定められた条件で収集された第１の処理情報に基づいて、予め定められた条件で予測される第２の処理情報を、第２の予測処理情報として生成し、生成された第２の予測処理情報とデータ収集部により実際に収集された第２の処理情報との乖離の度合いを第２の乖離度として算出し、複数の組み合わせについてそれぞれ算出された複数の第１の乖離度および複数の第２の乖離度に基づいて異常スコアを算出してもよい。この場合、実際に収集された各処理情報について、他の処理情報との間のインバリアントな関係に基づく異常スコアの算出が可能になる。

（７）スコア算出部は、複数の組み合わせについてそれぞれ算出された複数の第１の乖離度および複数の第２の乖離度の合計を異常スコアとして算出してもよい。この場合、各基板処理装置の異常の度合いを容易に算出することができる。

（８）複数の組み合わせの各々には、当該組み合わせと基板処理装置の複数種類の異常状態との関連性に応じて予め定められた重みが割り当てられ、スコア算出部は、複数の組み合わせと複数の重みとに基づいて複数の第１の乖離度および複数の第２の乖離度を算出してもよい。

この場合、複数の第１の乖離度および複数の第２の乖離度に基づいて算出される異常スコアを参照することにより、各基板処理装置の異常の度合いをより適切に把握することができる。

（９）複数の処理情報は、基板に供給される流体の供給量、基板に供給される流体の温度、基板に供給される処理液の濃度、基板が収容される処理室内の温度、基板が収容される処理室内の圧力、基板が収容される処理室から排出される気体の圧力、およびロボットにより搬送される基板の移動速度のうち少なくとも１つの物理量を含んでもよい。この場合、基板処理装置において取得される１または複数の物理量に基づいて異常スコアが算出される。

（１０）複数の処理情報は、基板を搬送するロボットを駆動する駆動パルス信号、基板を搬送するロボットに設けられる検出器の出力信号、および制御バルブに与えられる開閉信号のうち少なくとも１つに関する情報を含んでもよい。この場合、基板処理装置において用いられる１または複数の信号に基づいて異常スコアが算出される。

（１１）各基板処理装置は、洗浄液を用いて基板を洗浄する基板洗浄装置であり、複数の処理情報は、基板に供給される洗浄液の供給量、基板に供給される洗浄液の温度、基板に供給される洗浄液の濃度のうち少なくとも１つを含んでもよい。この場合、複数の基板洗浄装置について、複数の調査依頼があった場合に、調査の優先順位が適切に決定される。

（１２）本発明の他の局面に従う基板処理装置管理方法は、複数の基板処理装置を管理するために用いられる基板処理装置管理方法であって、各基板処理装置から基板の処理に関連する動作または状態を示す複数の処理情報を収集するステップと、各基板処理装置について、複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置から収集される複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを異常スコアとして算出するステップと、各基板処理装置から異常に関する調査依頼を受け付けるステップと、調査依頼を送信した２以上の基板処理装置についてそれぞれ算出された２以上の異常スコアを取得するステップと、取得するステップにより取得された２以上の異常スコアに基づいて、２以上の調査依頼に対して応答すべき優先順位に関する優先順位情報を提示するステップとを含む。

その基板処理装置管理方法においては、複数の基板処理装置の各々について、基板処理装置の異常の度合いが異常スコアとして算出される。２以上の基板処理装置について２以上の調査依頼があった場合に、調査依頼のあった２以上の基板処理装置の異常スコアに基づく優先順位情報が提示される。異常スコアは、複数の処理情報間のインバリアントな関係に基づいて算出される。したがって、複数の基板処理装置の管理者は、調査依頼があった複数の基板処理装置について、調査の優先順位を容易かつ適切に短時間で把握することができる。

（１３）本発明のさらに他の局面に従う基板処理装置管理プログラムは、情報分析装置を用いて複数の基板処理装置を管理する処理をコンピュータに実行させる基板処理装置管理プログラムであって、情報分析装置は、各基板処理装置から基板の処理に関連する動作または状態を示す複数の処理情報を収集する情報収集部と、各基板処理装置について、複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置から収集される複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを異常スコアとして算出するスコア算出部とを含み、複数の基板処理装置を管理する処理は、各基板処理装置から異常に関する調査依頼を受け付ける処理と、調査依頼を送信した２以上の基板処理装置についてそれぞれ算出された２以上の異常スコアを取得する処理と、取得する処理により取得された２以上の異常スコアに基づいて、２以上の調査依頼に対して応答すべき優先順位に関する優先順位情報を提示する処理とを含む。

その基板処理装置管理プログラムによれば、２以上の基板処理装置について２以上の調査依頼があった場合に、調査依頼のあった２以上の基板処理装置の異常スコアに基づく優先順位情報が提示される。異常スコアは、複数の処理情報間のインバリアントな関係に基づいて算出される。したがって、複数の基板処理装置の管理者は、調査依頼があった複数の基板処理装置について、調査の優先順位を容易かつ適切に短時間で把握することができる。

本発明によれば、複数の基板処理装置について複数の調査依頼があった場合に、管理者は調査の優先順位を容易かつ適切に短時間で把握することができる。

第１の実施の形態に係る基板処理装置管理システムの構成を説明するための図である。 第１の実施の形態に係る基板処理装置管理システムの機能的な構成を説明するためのブロック図である。 乖離度の具体的な算出例を説明するための図である。 異常スコアの具体的な算出例を説明するための図である。 図１の複数の基板処理装置の各々において実行される処理の一例を示すフローチャートである。 図１の情報分析装置において実行される処理の一例を示すフローチャートである。 図１の管理装置において実行される処理の一例を示すフローチャートである。 第２の実施の形態に係る基板処理装置管理システムの機能的な構成を説明するための図である。 図８の重み記憶部に記憶される複数の重みの一例を示す図である。

以下、本発明の一実施の形態に係る基板処理装置管理システム、基板処理装置管理方法および基板処理装置管理プログラムについて図面を用いて説明する。以下の説明において、基板とは、半導体基板、液晶表示装置もしくは有機ＥＬ（Electro Luminescence）表示装置等のＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、光ディスク用基板、磁気ディスク用基板、光磁気ディスク用基板、フォトマスク用基板、セラミック基板または太陽電池用基板等をいう。

１．第１の実施の形態
＜１＞基板処理装置管理システムの構成および動作
（１）全体構成
図１は、第１の実施の形態に係る基板処理装置管理システムの構成を説明するための図である。図１に示すように、本実施の形態に係る基板処理装置管理システム２は、主として情報分析装置３および管理装置４から構成され、複数（本例では５つ）の基板処理装置１を管理するために用いられる。以下の説明では、図１に示される５つの基板処理装置１を区別する場合に、５つの基板処理装置１をそれぞれ基板処理装置１Ａ，１Ｂ，１Ｃ，１Ｄ，１Ｅと呼ぶ。本実施の形態では、基板処理装置１Ａ～１Ｅは同じ構成を有するものとする。

（２）基板処理装置１Ａの一構成例
図１に示すように、基板処理装置１Ａは、いわゆるバッチ式の基板洗浄装置であり、処理槽１１、基板保持部１２、昇降装置１３，洗浄液生成装置１４、濃度計２０、搬送ロボット３０および制御装置４０を含む。なお、基板処理装置１Ａには、上記の複数の構成要素の他、図示しない表示装置、音声出力装置および操作部が設けられる。

基板保持部１２は、複数の基板Ｗを保持可能に構成されている。処理槽１１は、基板保持部１２により保持された複数の基板Ｗを収容可能に構成されている。処理槽１１内には、基板Ｗを洗浄するための洗浄液が貯留される。

昇降装置１３は、基板保持部１２を上下方向に移動可能に支持するとともに、制御装置４０の制御により基板保持部１２を上下方向に移動させる。それにより、昇降装置１３は、基板保持部１２に保持された複数の基板Ｗを処理槽１１に貯留された洗浄液に浸漬させること、および洗浄液に浸漬された複数の基板Ｗを処理槽１１から引き上げることができる。複数の基板Ｗは、洗浄液に浸漬されることにより洗浄される。また、昇降装置１３には、基板保持部１２を上下方向に移動させるための動力源として図示しないモータが設けられている。

洗浄液生成装置１４は、貯留タンク１４ａおよび図示しない攪拌装置（バブリング装置等）を備える。貯留タンク１４ａには、薬液供給管９１、純水供給管９２、追加薬液供給管９３および排液管９４が接続されている。複数の配管（９１～９４）の各々には、バルブが設けられている。各バルブは、制御装置４０の制御により開度を調整可能な制御バルブである。

薬液供給管９１は、当該薬液供給管９１に設けられたバルブが開かれることにより、図示しない薬液供給系から供給される薬液を貯留タンク１４ａに導く。薬液供給管９１を通して貯留タンク１４ａに供給される薬液の流量（単位時間当たりの供給量）は、薬液供給管９１に設けられたバルブの開度に応じて変化する。

純水供給管９２は、当該純水供給管９２に設けられたバルブが開かれることにより、図示しない純水供給系から供給される純水を貯留タンク１４ａに導く。純水供給管９２を通して貯留タンク１４ａに供給される純水の流量（単位時間当たりの供給量）は、純水供給管９２に設けられたバルブの開度に応じて変化する。

このようにして、洗浄液生成装置１４の貯留タンク１４ａ内に、所定量の薬液および純水が貯留される。さらに、貯留タンク１４ａ内では、図示しない攪拌機構により貯留された薬液と純水とが混合され、処理槽１１に貯留されるべき洗浄液が生成される。薬液としては、ＢＨＦ（バッファードフッ酸）、ＤＨＦ（希フッ酸）、フッ酸、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、酢酸、シュウ酸またはアンモニア等が用いられる。

追加薬液供給管９３は、当該薬液供給管９１に設けられたバルブが開かれることにより、図示しない薬液供給系から供給される薬液を貯留タンク１４ａに導く。追加薬液供給管９３を通した貯留タンク１４ａへの薬液の供給については後述する。排液管９４は、当該排液管９４に設けられたバルブが開かれることにより、洗浄液生成装置１４に貯留された洗浄液の一部または全てを基板処理装置１Ａの外部に排出する。

貯留タンク１４ａには、さらに、液供給管１５が接続されている。液供給管１５は、処理槽１１と洗浄液生成装置１４とつなぐように設けられている。また、液供給管１５には、ポンプ１６およびバルブ１７が設けられている。バルブ１７は、制御装置４０の制御により開度を調整可能な制御バルブである。ポンプ１６の作動中にバルブ１７が開かれることにより、貯留タンク１４ａに貯留された洗浄液が処理槽１１内に供給される。貯留タンク１４ａから処理槽１１に供給される洗浄液の流量（単位時間当たりの供給量）は、バルブ１７の開度に応じて変化する。

処理槽１１の底部には、液排出管１８が接続されている。液排出管１８には、バルブ１９が設けられている。バルブ１９は、制御装置４０の制御により開度を調整可能な制御バルブである。バルブ１９が開かれることにより、処理槽１１内に貯留された洗浄液の一部が液排出管１８を通して基板処理装置１Ａから排出される。処理槽１１から排出される洗浄液の流量（単位時間当たりの排出量）は、バルブ１９の開度に応じて変化する。複数の基板Ｗの洗浄処理時には、洗浄液生成装置１４から処理槽１１に洗浄液が供給されるとともに、処理槽１１内部の洗浄液が液排出管１８を通して排出される。

濃度計２０は、制御装置４０からの指令に応答して貯留タンク１４ａに貯留される洗浄液中の薬液濃度を検出し、検出結果を制御装置４０に与える。搬送ロボット３０は、処理槽１１よりも上方の位置で、基板保持部１２により保持される複数の基板Ｗを搬送する。制御装置４０は、例えばＣＰＵ（中央演算処理装置）およびメモリからなり、昇降装置１３の動作、搬送ロボット３０の動作およびバルブ１７，１９の開度等を制御する。制御装置４０のメモリには、後述する第１の管理プログラムが記憶されている。

また、制御装置４０は、濃度計２０から与えられる薬液濃度の検出結果に基づいて、貯留タンク１４ａに貯留される洗浄液の薬液濃度が予め定められた範囲内となるように貯留タンク１４ａに供給される薬液の量をフィードバック制御する。例えば、制御装置４０は、濃度計２０により検出される洗浄液の薬液濃度が予め定められた範囲よりも低い場合、図示しない薬液供給系から追加薬液供給管９３を通して洗浄液生成装置１４に追加の薬液を供給する。

さらに、制御装置４０は、基板処理装置１Ａ内部の所定空間に人が進入したり、基板処理装置１Ａ内に設けられる所定の検出器（例えば、濃度計２０）が機能していない場合に、基板処理装置１Ａの動作を停止させる緊急停止機能を有する。

（３）処理情報
各基板処理装置１には、当該基板処理装置１の異常を管理するための情報として、当該基板処理装置における基板Ｗの処理に関する動作または状態を示す複数の処理情報が定められる。これらの処理情報は、図１に太い実線の矢印で示すように、各基板処理装置１の制御装置４０から基板処理装置管理システム２の情報分析装置３に所定周期で送信される。

図１の吹き出し内に示すように、基板処理装置１Ａから情報分析装置３に送信される処理情報は、「ａ．薬液濃度」、「ｂ．薬液供給量」、「ｃ．濃度検出入力信号」、「ｄ．濃度検出出力信号」、「ｅ．モータ回転数」、「ｆ．モータへの供給電力」、「ｇ．薬液追加量」、「ｈ．薬液供給バルブ開度」および「ｉ．洗浄液排出バルブ開度」を含む。

「ａ．薬液濃度」は、濃度計２０により検出される貯留タンク１４ａ内の洗浄液の薬液濃度を示す。「ｂ．薬液供給量」は、薬液供給管９１から洗浄液生成装置１４の貯留タンクに供給される洗浄液の流量（単位時間当たりの供給量）を示す。「ｂ．薬液供給量」は、例えば薬液供給管９１に流量計を設けることにより検出することができる。

基板処理装置１Ａにおいては、制御装置４０から濃度計２０に濃度検出が指令されることにより洗浄液の薬液濃度が検出される。「ｃ．濃度検出入力信号」は、制御装置４０から濃度計２０に与えられる濃度検出の指令信号である。「ｄ．濃度検出出力信号」は、制御装置４０からの指令に応答して濃度計２０から出力される薬液濃度の検出結果を示す信号である。

「ｅ．モータ回転数」は、昇降装置１３に設けられるモータの回転数であり、例えば回転速度センサを用いてモータの回転速度を検出することにより算出することができる。「ｆ．モータへの供給電力」は、昇降装置１３に設けられるモータに供給される電力量であり、例えば電流計を用いてモータに供給される電流を検出することにより算出することができる。

「ｇ．薬液追加量」は、貯留タンク１４ａに貯留される洗浄液の薬液濃度が予め定められた範囲内となるように、追加薬液供給管９３から当該貯留タンク１４ａに追加で供給される薬液の単位時間当たりの供給量を示す。「ｇ．薬液追加量」は、例えば追加薬液供給管９３に流量計を設けることにより検出することができる。「ｈ．薬液供給バルブ開度」は、薬液供給管９１に設けられるバルブの開度を示す。「ｉ．洗浄液排出バルブ開度」は、排液管９４に設けられるバルブの開度を示す。

（４）情報分析装置３における基本動作
情報分析装置３は、例えばサーバであり、ＣＰＵおよびメモリを含む。情報分析装置３は、各基板処理装置１から送信される複数の処理情報を収集する。情報分析装置３においては、各基板処理装置１から情報分析装置３に送信される複数の処理情報について、互いに異なる２つの処理情報の複数の組み合わせが予め定められている。

ここで、基板処理装置１が予め定められた処理手順（レシピ）に従って理想的に動作している場合を想定する。この場合、各組み合わせを構成する２つの処理情報の間で、予め定められたインバリアント（不変）な関係（以下、インバリアント関係と呼ぶ。）が維持される。

一方、基板処理装置１に異常が発生した状態で基板処理が実行されることにより、意に反した基板処理が実行されている場合を想定する。この場合、複数の組み合わせのうち少なくとも一の組み合わせを構成する２つの処理情報の間の関係がインバリアント関係から乖離する。

そこで、情報分析装置３は、実際に収集された複数の処理情報の複数の組み合わせの関係と、それらの複数の処理情報について予め定められた複数のインバリアント関係との乖離の度合いを複数の乖離度として算出する。また、情報分析装置３は、算出された複数の乖離度に基づいて、当該基板処理装置１の異常の度合いを異常スコアとして算出する。異常スコアの算出方法の具体例は後述する。

また、情報分析装置３は、図１に太い一点鎖線の矢印で示すように、算出した異常スコアを各基板処理装置１に送信する。異常スコアの送信は、情報分析装置３における異常スコアの算出ごとに行われる。このとき、各基板処理装置１においては、情報分析装置３から送信された異常スコアが記憶される。

また、情報分析装置３は、各基板処理装置１について、異常スコアが予め定められた第１のしきい値を超えるか否かを判定する。異常スコアが第１のしきい値を超えている場合、情報分析装置３は、当該異常スコアに対応する基板処理装置１に警報を送信する。図１の例では、情報分析装置３は、波状の点線矢印で示すように、基板処理装置１Ａ～１Ｅのうち基板処理装置１Ｄ，１Ｅに警報を送信している。このとき、警報を受けた基板処理装置１Ｄ，１Ｅにおいては、警報が出力される。

本実施の形態においては、異常スコア（異常の度合い）は、保守作業者による迅速な対応が要求されないものほど低く、保守作業者による迅速な対応が要求されるものほど高い。異常スコアが低い状態としては、複数の処理条件の全てが上記の複数の組み合わせにそれぞれ対応するインバリアント関係から正常と予測される範囲内に収まる状態が挙げられる。

一方、異常スコアが高い状態は、例えば、「ａ．薬液濃度」の時間的変化が「ｂ．薬液供給量」の時間的変化に基づいて予測される時間的変化に比べて著しく大きい状態（以下、第１の異常状態と呼ぶ。）を含む。第１の異常状態の継続は、洗浄液の薬液濃度が調整できないことによる基板Ｗの処理不良、有害ガスの発生および基板処理装置１の構成部品の損傷を引き起こす。

また、異常スコアが高い状態は、例えば、濃度計２０に対する濃度検出の指令時点から濃度計２０からの薬液濃度の出力時点までの時間が著しく大きい状態（以下、第２の異常状態と呼ぶ。）を含む。第２の異常状態の継続は、薬液濃度について適切なフィードバック制御ができないことによる基板Ｗの処理不良、有害ガスの発生および基板処理装置１の構成部品の損傷を引き起こす。

また、異常スコアが高い状態は、例えば、「ｆ．モータへの供給電力」が予測される値に比べて著しく大きい状態（以下、第３の異常状態と呼ぶ。）を含む。第３の異常状態においては、モータに想定外の負荷が作用している可能性が高い。そのため、第３の異常状態の継続は、モータを含む動作部の故障、基板Ｗの搬送不良、基板処理装置１の構成部品の損傷を引き起こす。

また、異常スコアが高い状態は、例えば、「ｇ．薬液追加量」が予測される範囲を超えて変動している状態（以下、第４の異常状態と呼ぶ。）を含む。第４の状態においては、洗浄液の濃度を一定に保つことが難しい。そのため、第４の異常状態の継続は、基板Ｗの処理不良を引き起こす。

さらに、異常スコアが高い状態は、例えば、「ｈ．薬液供給バルブ開度」および「ｉ．洗浄液排出バルブ開度」の時間的変化が、「ａ．薬液濃度」および「ｂ．薬液供給量」から予測される時間的変化に比べて著しく異なる状態（以下、第５の異常状態と呼ぶ。）を含む。基板処理装置１Ａが第５の異常状態にある場合、基板処理装置１Ａは、緊急停止機能による停止状態にあるか、または本体的に停止されるべき状態にあると考えられる。

（５）管理装置４における基本動作
管理装置４は、例えばパーソナルコンピュータであり、ＣＰＵおよびメモリを含む。また、管理装置４は、表示部４ａおよび操作部４ｂを備え、複数の基板処理装置１を管理する管理者により使用される。

複数の基板処理装置１をそれぞれ担当する複数の保守作業者は、情報分析装置３から送信される異常スコアを確認することにより、自己の担当する基板処理装置１の異常の度合いを容易に把握することができる。また、各保守作業者は、自己の担当する基板処理装置１が警報を受信することにより、当該基板処理装置１に重大な異常が発生していることを把握することができる。

しかしながら、各保守作業者は、基板処理装置１の異常の度合いを把握することができても、当該基板処理装置１について異常の発生原因を特定することができない場合がある。この場合、保守作業者は、管理者に基板処理装置１の詳細な調査を依頼する。

それにより、図１に太い二点鎖線の矢印で示すように、例えば複数の基板処理装置１のうち一部（本例では、基板処理装置１Ａ，１Ｃ，１Ｅ）または全ての基板処理装置１から管理装置４に調査依頼が送信される。さらに、図１に太い点線の矢印で示すように、調査依頼を送信した１または複数の基板処理装置１（本例では、基板処理装置１Ａ，１Ｃ，１Ｅ）から管理装置４に、異常スコアが送信される。

これにより、管理装置４においては、例えば同時期に複数の基板処理装置１から調査依頼があった場合でも、調査依頼とともに受信した異常スコアに基づいて調査の優先順位を容易かつ迅速に決定することができる。すなわち、管理者は、調査依頼があった基板処理装置１Ａ，１Ｃ，１Ｅの複数の異常スコアに基づいて調査の優先順位を決定することができる。

なお、管理装置４においては、１または複数の基板処理装置１から受信した調査依頼の各々は、当該調査依頼に対応する基板処理装置１の詳細な調査が行われるごとに、優先順位を決めるための対象から除外される。

＜２＞基板処理装置管理システム２の機能的な構成
図２は、第１の実施の形態に係る基板処理装置管理システム２の機能的な構成を説明するためのブロック図である。図２に示すように、情報分析装置３は、情報収集部３１、スコア算出部３２、スコア送信部３３および警報送信部３４を含む。情報分析装置３のメモリには、複数の基板処理装置１を管理するための第２の管理プログラムが記憶されている。図２の情報分析装置３の構成要素（３１～３４）は、情報分析装置３のＣＰＵがメモリに記憶される第２の管理プログラムを実行することにより実現される。なお、情報分析装置３の構成要素（３１～３４）の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。

また、管理装置４は、依頼受付部４１、スコア取得部４２およびスコア提示部４３を含む。管理装置４のメモリには、複数の基板処理装置１を管理するための第３の管理プログラムが記憶されている。図２の管理装置４の構成要素（４１～４３）は、管理装置４のＣＰＵがメモリに記憶される第３の管理プログラムを実行することにより実現される。なお、管理装置４の構成要素（４１～４３）の一部または全てが電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。

上記のように、複数の基板処理装置１の各々から複数の処理情報が情報分析装置３に所定周期で送信される（図２の太い実線の矢印参照）。情報分析装置３の情報収集部３１は、各基板処理装置１から送信される複数の処理情報を収集し、スコア算出部３２に与える。

情報分析装置３のスコア算出部３２は、各基板処理装置１に対応する複数の処理情報に基づいて当該基板処理装置１の異常スコアを算出し、算出された異常スコアをスコア送信部３３および警報送信部３４に与える。

情報分析装置３のスコア送信部３３は、スコア算出部３２により算出された異常スコアを当該異常スコアに対応する基板処理装置１に送信する（図２の太い一点鎖線の矢印参照）。各基板処理装置１においては、スコア送信部３３から送信される異常スコアが、例えば当該異常スコアの算出時刻、送信時刻または受信時刻等の時間に対応付けられた状態で記憶される。

情報分析装置３の警報送信部３４は、各基板処理装置１について算出された異常スコアが上記の第１のしきい値を超えるか否かを判定する。また、警報送信部３４は、異常スコアが第１のしきい値を超えている場合に、当該異常スコアに対応する基板処理装置１（図２の例では基板処理装置１Ｄ，１Ｅ）に警報を送信する（図２の波状の点線矢印参照）。

各基板処理装置１においては、保守作業者による操作に基づいて、当該基板処理装置１の異常に関する調査依頼が管理装置４に送信される。また、当該基板処理装置１に記憶された異常スコアが管理装置４に送信される。

管理装置４の依頼受付部４１は、１または複数の基板処理装置１（図２の例では基板処理装置１Ａ，１Ｃ，１Ｅ）から送信される調査依頼を受け付ける（図２の太い二点鎖線の矢印参照）。管理装置４のスコア取得部４２は、１または複数の基板処理装置１（図２の例では基板処理装置１Ａ，１Ｃ，１Ｅ）から調査依頼とともに送信される異常スコアを取得する（図２の太い点線の矢印参照）。管理装置４のスコア提示部４３は、スコア取得部４２により取得された１または複数の異常スコアの各々を、当該異常スコアに対応する基板処理装置１にそれぞれ対応付けて表示部４ａに表示させる。

図２の例では、調査依頼があった基板処理装置１Ａ，１Ｃ，１Ｅのそれぞれの異常スコアが、「２６４」、「２１０」および「３２２」となっている。これにより、管理者は、基板処理装置１Ｅ，１Ａ，１Ｃの異常の度合いを容易に把握することができる。また、管理者は、基板処理装置１Ｅ，１Ａ，１Ｃの順に詳細な調査を進めればよいことがわかる。

なお、スコア提示部４３は、調査依頼を送信した未調査の複数の基板処理装置１について複数の異常スコアが算出された場合、それらの異常スコアに基づいて調査の優先順位を決定し、決定した優先順位を表示部４ａに表示させてもよい。

＜３＞異常スコアの算出の具体例
上記のように、基板処理装置管理システム２においては、互いに異なる２つの処理情報の複数の組み合わせが定められている。異常スコアを算出するために、各組み合わせごとに乖離度が算出される。図３は、乖離度の具体的な算出例を説明するための図である。ここでは、図１の「ｅ．モータ回転数」と「ｆ．モータへの供給電力」との組み合わせに対応する乖離度の算出例を説明する。以下の説明では、「ｅ．モータ回転数」のデータを適宜「ｅ」データと呼び、「ｆ．モータへの供給電力」のデータを適宜「ｆ」データと呼ぶ。

乖離度を算出するためには、「ｅ．モータ回転数」と「ｆ．モータへの供給電力」との間のインバリアント関係に基づく基準のデータが必要となる。そこで、情報分析装置３には、各基板処理装置１における実際の基板Ｗの処理前に、当該基板処理装置１がレシピに従って理想的に動作しているときの「ｅ」データおよび「ｆ」データが保持される。

これらの理想的な「ｅ」データおよび「ｆ」データは、例えば実際に各基板処理装置１が正常に動作しているときに当該基板処理装置１から送信される複数の処理情報に基づいて取得される。あるいは、理想的な「ｅ」データおよび「ｆ」データは、シミュレーション等により生成されてもよい。

図３の上段に、理想的な「ｅ」データおよび「ｆ」データの経時変化の一例がグラフにより示される。「ｅ」データのグラフにおいては、横軸は時間を表し、縦軸はモータの回転数を表す。「ｆ」データのグラフにおいては、横軸は時間を表し、縦軸は図１の昇降装置１３に設けられるモータに供給される電力量（供給電力）を表す。「ｅ」データのグラフと「ｆ」データのグラフとの間では、横軸（時間軸）は共通している。

図３の上段の２つのグラフによれば、モータの回転数が大きくなるにつれて、モータへの供給電力も略一定の割合で大きくなることがわかる。これらの関係は、基板処理装置１が理想的に動作するという条件のもとでインバリアントに維持される。そこで、情報分析装置３には、これらの関係（インバリアント関係）が相関情報として予め記憶される。

この状態で、各基板処理装置１において、基板Ｗの処理が行われ、実際の「ｅ」データおよび「ｆ」データが情報分析装置３の情報収集部３１により収集される。図３の中段に、実際に収集された「ｅ」データおよび「ｆ」データの経時変化の一例がグラフにより示される。

実際の「ｅ」データが収集されると、スコア算出部３２は予め記憶された相関情報に基づいて「ｆ」データを予測する。また、実際の「ｆ」データが収集されると、スコア算出部３２は予め記憶された相関情報に基づいて「ｅ」データを予測する。図３の下段に、相関情報に基づいて予測された「ｅ」データおよび「ｆ」データの経時変化の一例がグラフにより示される。なお、図３の下段のグラフにおいては、予測された「ｅ」データおよび「ｆ」データが実線で示され、実際に収集された「ｅ」データおよび「ｆ」データが点線で示される。

基板処理装置１が理想的に動作している場合には、実際の「ｅ」データと予測された「ｅ」データとが一致するかまたはほぼ一致することになる。また、実際の「ｆ」データと予測された「ｆ」データとが一致するかまたはほぼ一致することになる。しかしながら、基板処理装置１に異常が発生している場合には、実際の「ｅ」データと予測された「ｅ」データとが乖離する可能性が高い。また、実際の「ｆ」データと予測された「ｆ」データとが乖離する可能性が高い。この乖離の度合いは、基板処理装置１に発生する異常の程度が大きいほど大きく、基板処理装置１に発生する異常の程度が小さいほど小さいと考えられる。

そこで、本実施の形態では、実際に収集された処理情報のデータと予測された処理情報のデータとの差分値が乖離度として算出される。図３の例では、スコア算出部３２は、ある時点における乖離度の算出時に、実際の「ｅ」データと予測された「ｅ」データとの差分値を乖離度として算出する。また、スコア算出部３２は、実際の「ｆ」データと予測された「ｆ」データとの差分値を乖離度として算出する。

図４は、異常スコアの具体的な算出例を説明するための図である。スコア算出部３２は、複数の処理情報の全ての組み合わせに関して、上記の乖離度を算出する。図４では、複数の処理情報の全ての組み合わせに関して算出された複数の乖離度が示される。スコア算出部３２は、全ての乖離度が算出されると、算出された複数の乖離度の合計を異常スコアとして算出する。

＜４＞複数の基板処理装置１の各々において実行される一連の処理
図５は、図１の複数の基板処理装置１の各々において実行される処理の一例を示すフローチャートである。図５に示される一連の処理は、各基板処理装置１の電源がオンし、制御装置４０のＣＰＵが第１の管理プログラムを実行することにより開始される。

まず、制御装置４０は、基板処理装置１内部で取得される複数の処理情報を所定周期で情報分析装置３に送信する（ステップＳ１０）。ステップＳ１０で開始される複数の処理情報の送信処理は、基板処理装置１の電源がオフされるまで所定周期で繰り返される。複数の処理情報の送信時に、制御装置４０は、送信した複数の処理情報をその送信時刻に対応付けて記憶してもよい。

次に、制御装置４０は、情報分析装置３から異常スコアを受信したか否かを判定する（ステップＳ１１）。制御装置４０は、異常スコアを受信しない場合、後述するステップＳ１３の処理に進む。一方、制御装置４０は、異常スコアを受信した場合、受信した異常スコアをその受信時刻に対応付けて記憶する（ステップＳ１２）。

次に、制御装置４０は、情報分析装置３から警報を受信したか否かを判定する（ステップＳ１３）。制御装置４０は、警報を受信しない場合、後述するステップＳ１５の処理に進む。一方、制御装置４０は、警報を受信した場合、基板処理装置１の表示装置または音声出力装置により警報を出力する（ステップＳ１４）。上記のステップＳ１１，Ｓ１２の処理は、ステップＳ１４の処理後に行われてもよい。

次に、制御装置４０は、管理装置４に対して調査依頼を送信すべき指令を受けたか否かを判定する（ステップＳ１５）。調査依頼を送信すべき指令は、例えば、保守作業者が基板処理装置１の操作部を操作することにより制御装置４０に与えられる。制御装置４０は、調査依頼を送信すべき指令を受けない場合、後述するステップＳ１７の処理に進む。一方、制御装置４０は、調査依頼を送信すべき指令を受けた場合、調査依頼と現時点から最も近い時点で記憶された異常スコアとを管理装置４に送信する（ステップＳ１６）。ステップＳ１６においては、制御装置４０は、現時点から予め定められた時間（例えば数時間）前までに記憶された複数の異常スコアをそれらの受信時刻とともに管理装置４に送信してもよい。

次に、制御装置４０は、管理装置４から基板処理装置１についての特定の作業を行うべき作業指示を受信したか否かを判定する（ステップＳ１７）。制御装置４０は、作業指示を受信しない場合、後述するステップＳ１９の処理に進む。一方、制御装置４０は、作業指示を受信した場合、受信した作業指示を、例えば基板処理装置１が備える表示装置により保守作業者に提示する（ステップＳ１８）。

その後、制御装置４０は、基板処理装置１の動作を停止させる終了指令を受けたか否かを判定する（ステップＳ１９）。制御装置４０は、終了指令を受けない場合、ステップＳ１１の処理に進む。一方、制御装置４０は、終了指令を受けた場合、一連の処理を終了する。

＜５＞情報分析装置３において実行される一連の処理
図６は、図１の情報分析装置３において実行される処理の一例を示すフローチャートである。図６に示される一連の処理は、情報分析装置３の電源がオンし、情報分析装置３のＣＰＵが第２の管理プログラムを実行することにより開始される。

まず、図２の情報収集部３１は、複数の基板処理装置１の各々から送信される複数の処理情報の収集を開始する（ステップＳ２０）。ステップＳ２０で開始される複数の処理情報の収集処理は、情報分析装置３の電源がオフされるまで所定周期で繰り返される。

次に、図２のスコア算出部３２は、ステップＳ２０の処理で複数の処理情報が収集された１または複数の基板処理装置１のうち異常スコアが算出されていない一の基板処理装置１を選択する（ステップＳ２１）。

次に、スコア算出部３２は、選択された一の基板処理装置１について、収集された複数の処理情報から複数の乖離度を算出する（ステップＳ２２）。また、スコア算出部３２は、算出された複数の乖離度に基づいて一の基板処理装置１の異常スコアを算出し、算出された異常スコアを当該一の基板処理装置１に送信する（ステップＳ２３）。

次に、図２の警報送信部３４は、ステップＳ２３で算出された異常スコアが第１のしきい値を超えているか否かを判定する（ステップＳ２４）。警報送信部３４は、異常スコアが第１のしきい値を超えていない場合、後述するステップＳ２６の処理に進む。一方、警報送信部３４は、異常スコアが第１のしきい値を超えている場合、一の基板処理装置１に警報を送信する（ステップＳ２５）。

次に、スコア算出部３２は、複数の処理情報が収集されかつ異常スコアが算出されていない基板処理装置１がないか否かを判定する（ステップＳ２６）。スコア算出部３２は、異常スコアが算出されていない基板処理装置１がある場合、ステップＳ２１の処理に進む。一方、スコア算出部３２は、異常スコアが算出されていない基板処理装置１がない場合、情報分析装置３の動作を停止させる終了指令を受けたか否かを判定する（ステップＳ２７）。スコア算出部３２は、終了指令を受けない場合、ステップＳ２１の処理に進む。一方、スコア算出部３２は、終了指令を受けた場合、一連の処理を終了する。

＜６＞管理装置４において実行される一連の処理
図７は、図１の管理装置４において実行される処理の一例を示すフローチャートである。図７に示される一連の処理は、管理装置４の電源がオンし、管理装置４のＣＰＵが第３の管理プログラムを実行することにより開始される。

まず、図２の依頼受付部４１は、複数の基板処理装置１のうち少なくとも１の基板処理装置１から調査依頼を受信したか否かを判定する（ステップＳ３０）。依頼受付部４１は、調査依頼を受信しない場合、後述するステップＳ３３の処理に進む。一方、依頼受付部４１は、少なくとも１の基板処理装置１から調査依頼を受信した場合、受信した調査依頼を受け付ける（ステップＳ３１）。

上記のように、基板処理装置１から管理装置４への調査依頼の送信時には、基板処理装置１から管理装置４に調査依頼とともに異常スコアが送信される。それにより、図２のスコア取得部４２は、調査依頼とともに送信される異常スコアを受信し、取得する（ステップＳ３２）。このとき取得された調査依頼および異常スコアは、管理装置４のメモリに記憶される。

次に、図２のスコア提示部４３は、基板処理装置１の調査を開始すべき指令を受けたか否かを判定する（ステップＳ３３）。調査を開始すべき指令は、例えば、管理者が管理装置４の操作部４ｂを操作することによりスコア提示部４３に与えられる。スコア提示部４３は、調査を開始すべき指令を受けない場合、ステップＳ３０の処理に進む。一方、スコア提示部４３は、調査を開始すべき指令を受けた場合、調査対象となる基板処理装置１が複数であるか否かを判定する（ステップＳ３４）。

スコア提示部４３は、調査対象となる基板処理装置１が１つである場合、後述するステップＳ３６の処理に進む。一方、スコア提示部４３は、調査対象となる基板処理装置１（未調査の基板処理装置１）が複数である場合、調査対象の各基板処理装置１の異常スコアを当該基板処理装置１に対応付けて表示部４ａに表示させる（ステップＳ３５）。なお、スコア提示部４３は、調査対象となる基板処理装置１が１つである場合に、当該基板処理装置１の異常スコアを表示部４ａに表示させてもよい。また、スコア提示部４３は、調査依頼を受けた未調査の複数の基板処理装置１について複数の異常スコアに基づいて調査の優先順位を決定してもよい。この場合、スコア提示部４３は、決定した優先順位を表示部４ａに表示させてもよい。

その後、管理装置４のＣＰＵは、管理者による操作部４ｂの操作に応答して、調査対象である１または複数の基板処理装置１のうち一の基板処理装置１についての調査処理を行う（ステップＳ３６）。また、管理装置４のＣＰＵは、調査処理の結果に基づいて、保守作業者への作業指示を一の基板処理装置１に送信する（ステップＳ３７）。

次に、管理装置４のＣＰＵは、管理装置４の動作を停止させる終了指令を受けたか否かを判定する（ステップＳ３８）。管理装置４のＣＰＵは、終了指令を受けない場合、ステップＳ３０の処理に進む。一方、管理装置４のＣＰＵは、終了指令を受けた場合、一連の処理を終了する。

なお、ステップＳ３６においては、調査処理が行われた基板処理装置１についての調査依頼および異常スコアは、調査処理の終了とともに管理装置４のメモリから消去される。あるいは、ステップＳ３６においては、調査処理が行われた基板処理装置１は、調査対象の候補から外される。

また、ステップＳ３８においては、調査対象とされた１または複数の基板処理装置１のうち調査されていない基板処理装置１が存在する場合、その調査依頼は管理装置４のメモリに記憶された状態で保持される。あるいは、ステップＳ３８においては、調査対象とされかつ調査処理が行われていない基板処理装置１は、調査対象の候補に残る。

＜７＞第１の実施の形態の効果
上記の管理装置４においては、２以上の基板処理装置１について２以上の調査依頼があった場合に、調査依頼のあった２以上の基板処理装置１の異常の度合いが異常スコアとして表示部４ａに表示される。この場合、管理者は、表示された異常スコアに基づいて、調査依頼のあった２以上の基板処理装置１の異常の度合いを容易に把握することができる。また、異常スコアは、複数の処理情報間のインバリアント関係に基づいて算出される。したがって、管理者は、調査依頼があった複数の基板処理装置１について、調査の優先順位を容易かつ適切に短時間で把握することができる。

また、上記の基板処理装置管理システム２においては、情報分析装置３において算出された異常スコアが、当該異常スコアに対応する基板処理装置１に送信される。各基板処理装置１においては、当該基板処理装置１に対応する異常スコアが時系列で記憶される。これにより、各基板処理装置１を担当する保守作業者は、当該基板処理装置１に記憶された異常スコアの経時変化を容易に確認することができる。

２．第２の実施の形態
上記の複数の処理情報の複数の組み合わせには、基板処理装置１の異常の程度を把握する場合に特に重視すべき組み合わせと、重視する必要がない組み合わせとが存在する。

例えば、第１の異常状態を考慮すると、「ａ．薬液濃度」と「ｂ．薬液供給量」との組み合わせは、第１の異常状態の継続を回避するために、異常スコアを算出する上で関係性が高い組み合わせといえる。また、第２の異常状態を考慮すると、「ｃ．濃度検出入力信号」と「ｄ．濃度検出出力信号」との組み合わせは、第２の異常状態の継続を回避するために、異常スコアを算出する上で関係性が高い組み合わせといえる。一方、第１の異常状態～第５の異常状態を考慮する必要がない処理情報の組み合わせは、異常スコアを算出する上で関係性が低い組み合わせといえる。

第１の実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、乖離度は、実際に収集された処理情報のデータと予測された処理情報のデータとの差分値である。そのため、上記実施の形態で算出される乖離度には、異常スコアを算出する際に本来的に重視されるべき基板処理装置１の複数種類の異常状態について考慮されていない。そこで、第２の実施の形態に係る基板処理装置管理システムは、以下の構成を有する。

第２の実施の形態に係る基板処理装置管理システムが第１の実施の形態に係る図２の基板処理装置管理システム２と異なる点について説明する。図８は、第２の実施の形態に係る基板処理装置管理システムの機能的な構成を説明するための図である。図８に示すように、本実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、情報分析装置３は、機能部として、第１の実施の形態で説明した構成要素（３１～３４）に加えて重み記憶部３９を含む。重み記憶部３９は、第２の実施の形態に係る情報分析装置３のＣＰＵがメモリに記憶される第２の管理プログラムを実行することにより実現される。なお、重み記憶部３９は電子回路等のハードウェアにより実現されてもよい。

重み記憶部３９には、複数の処理情報の複数の組み合わせにそれぞれ対応する複数の重みが記憶される。図９は、図８の重み記憶部３９に記憶される複数の重みの一例を示す図である。本実施の形態では、基板処理装置１に発生し得る複数種類の異常状態について「第１レベル」～「第６レベル」までの６つの異常レベルが設定される。６つの異常レベルは、「第１レベル」、「第２レベル」、「第３レベル」、「第４レベル」、「第５レベル」および「第６レベル」の順に、異常の程度が大きいものとする。また、各異常状態との関連性が高い処理情報の組み合わせに、当該異常状態の異常レベルに対応する大きさの重みが割り当てられる。

具体的には、第５の異常状態に、最も高い「第６レベル」が設定される。その上で、第５の異常状態について関連性が高い「ａ．薬液濃度」、「ｂ．薬液供給量」、「ｈ．薬液供給バルブ開度」および「ｉ．洗浄液排出バルブ開度」の相互間の組み合わせ（８つの組み合わせ）に重み「６」が割り当てられる。

また、第１の異常状態に、２番目に高い「第５レベル」が設定される。その上で、第１の異常状態について関連性が高い「ａ．薬液濃度」および「ｂ．薬液供給量」の相互間の組み合わせ（２つの組み合わせ）に重み「５」が割り当てられる。

また、第３の異常状態に、３番目に高い「第４レベル」が設定される。その上で、第３の異常状態について関連性が高い「ｅ．モータ回転数」および「ｆ．モータへの供給電力」の相互間の組み合わせ（２つの組み合わせ）に重み「４」が割り当てられる。

また、第２の異常状態に、４番目に高い「第３レベル」が設定される。その上で、第２の異常状態について関連性が高い「ｃ．濃度検出入力信号」および「ｄ．濃度検出出力信号」の相互間の組み合わせ（２つの組み合わせ）に重み「３」が割り当てられる。

また、第４の異常状態に、５番目に高い「第２レベル」が設定される。その上で、第４の異常状態について関連性の高い「ａ．薬液濃度」、「ｂ．薬液供給量」および「ｇ．薬液追加量」の相互間の組み合わせ（４つの組み合わせ）に重み「２」が割り当てられる。

さらに、第１～第５の異常状態以外の異常状態に、最も低い「第１レベル」が設定される。その上で、第１～第５の異常状態を含む複数の異常状態について関連性の低い複数の処理情報の相互間の複数の組み合わせに重み「１」が割り当てられる。

図８のスコア算出部３２は、図２のスコア算出部３２と同様に、複数の処理情報の複数の組み合わせの各々について、実際に収集された処理情報のデータと予測された処理情報のデータとの差分値を算出する。また、図８のスコア算出部３２は、重み記憶部３９に記憶された複数の重みに基づいて、複数の処理情報の各組み合わせについて、算出された差分値と当該組み合わせに割り当てられた重みとを掛け合わせた値（乗算値）を乖離度として算出する。さらに、図８のスコア算出部３２は、全ての乖離度が算出されると、算出された複数の乖離度の合計を異常スコアとして算出する。

このように、第２の実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、異常スコアが、異常レベルに応じた重み付け量を含む乖離度に基づいて算出される。それにより、複数の基板処理装置１の管理者は、算出された異常スコアを参照することにより、各基板処理装置１の異常の度合いをより適切に把握することができる。

３．他の実施の形態
（１）上記実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、情報収集部３１は、予め定められた時間が経過するごとに、収集される処理情報の積算およびリセットを繰り返してもよい。また、情報収集部３１は、予め定められた時間が経過するごとに、リセットされる直前まで積算された処理情報をスコア算出部３２に与えてもよい。この場合、スコア算出部３２においては、積算された複数の処理情報に基づいて異常スコアが算出される。この場合、異常スコアに各処理情報の収集時に発生するノイズ等の影響が及ぶことが低減される。

（２）上記実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、情報分析装置３で行われる一連の処理が、管理装置４で行われてもよい。また、情報分析装置３で行われる一連の処理が、複数の基板処理装置１のうちいずれかの基板処理装置１で行われてもよい。この場合、情報分析装置３が不要となる。

（３）上記実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、情報分析装置３が、複数の基板処理装置１からの調査依頼を受信し、受信した調査依頼およびその調査依頼に対応する異常スコアを管理装置４に送信してもよい。

（４）上記実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、情報分析装置３から複数の基板処理装置１に異常スコアが送信されなくてもよい。この場合、複数の基板処理装置１のうちいずれかから調査依頼を受けた管理装置４は、調査依頼を受けた基板処理装置１の異常スコアを情報分析装置３から取得してもよい。

（５）上記実施の形態においては、複数の基板処理装置１Ａ～１Ｅは同じ構成を有するが、本発明はこれに限定されない。複数の基板処理装置１Ａ～１Ｅのうち一部または全てが互いに異なる構成を有してもよい。また、複数の基板処理装置１Ａ～１Ｅのうち少なくとも１つは、バッチ式ではなく枚葉式の基板洗浄装置であってもよいし、洗浄処理以外の処理を行う構成を有してもよい。

（６）複数の処理情報は、上記実施の形態に記載された複数の具体例に加えてまたは複数の具体例に代えて、基板Ｗに供給される流体の温度、基板Ｗが収容される処理室内の温度、基板Ｗが収容される処理室内の圧力、基板Ｗが収容される処理室から排出される気体の圧力、およびロボットにより搬送される基板の移動速度のうち少なくとも１つの物理量を含んでもよい。

また、複数の処理情報は、基板Ｗを搬送するロボットを駆動する駆動パルス信号、および基板Ｗを搬送するロボットに設けられる検出器の出力信号のうち少なくとも１つに関する情報を含んでもよい。

（７）上記実施の形態に係る基板処理装置管理システム２においては、スコア算出部３２は、予め定められた時間が経過するごとに、異常スコアの積算およびリセットを繰り返すことにより異常スコアの積分値をさらに算出してもよい。この場合、警報送信部３４は、異常スコアの積分値が予め定められた第２のしきい値を超えるか否かを判定してもよい。また、警報送信部３４は、異常スコアの積分値が第２のしきい値を超えている場合、当該異常スコアの積分値に対応する基板処理装置１に警報を送信してもよい。この場合、各基板処理装置１の保守作業者は、自己の担当する基板処理装置１における異常の発生をより高い精度で把握することができる。

４．請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各要素との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。請求項の各構成要素として、請求項に記載されている構成または機能を有する他の種々の要素を用いることもできる。

上記実施の形態においては、基板処理装置１，１Ａ～１Ｅが複数の基板処理装置の例であり、基板処理装置管理システム２が基板処理装置管理システムの例であり、情報収集部３１が情報収集部の例であり、スコア算出部３２がスコア算出部の例であり、依頼受付部４１が依頼受付部の例である。

また、スコア取得部４２がスコア取得部の例であり、スコア提示部４３が優先順位提示部の例であり、複数の基板処理装置１の複数の異常スコアおよび調査の優先順位が優先順位情報の例であり、スコア送信部３３がスコア送信部の例であり、警報送信部３４が警報送信部の例であり、情報分析装置３が情報分析装置の例である。

１，１Ａ～１Ｅ…基板処理装置，２…基板処理装置管理システム，３…情報分析装置，４…管理装置，４ａ…表示部，４ｂ…操作部，１１…処理槽，１２…基板保持部，１３…昇降装置，１４…洗浄液生成装置，１４ａ：貯留タンク，１５…液供給管，１６…ポンプ，１７，１９…バルブ，１８…液排出管，２０…濃度計，３０…搬送ロボット，３１…情報収集部，３２…スコア算出部，３３…スコア送信部，３４…警報送信部，３９…重み記憶部，４０…制御装置，４１…依頼受付部，４２…スコア取得部，４３…スコア提示部，９１…薬液供給管，９２…純水供給管，９３…追加薬液供給管，９４…排液管，Ｗ…基板

Claims (13)

1. 複数の基板処理装置を管理するために用いられる基板処理装置管理システムであって、
   各基板処理装置から基板の処理に関連する動作または状態を示す複数の処理情報を収集する情報収集部と、
   各基板処理装置について、前記複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置から収集される複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを異常スコアとして算出するスコア算出部と、
   各基板処理装置から異常に関する調査依頼を受け付ける依頼受付部と、
   前記依頼受付部に調査依頼を送信した２以上の基板処理装置についてそれぞれ算出された２以上の異常スコアを取得するスコア取得部と、
   前記スコア取得部により取得された２以上の異常スコアに基づいて、前記２以上の調査依頼に対して応答すべき優先順位に関する優先順位情報を提示する優先順位提示部とを備える、基板処理装置管理システム。
2. 前記優先順位情報は、前記スコア取得部により取得された２以上の異常スコアを含み、
   前記優先順位提示部は、前記スコア取得部により取得された２以上の異常スコアを前記２以上の基板処理装置にそれぞれ対応付けて提示する、請求項１記載の基板処理装置管理システム。
3. 前記スコア算出部により算出された異常スコアを当該異常スコアに対応する基板処理装置に送信するスコア送信部をさらに備える、請求項１または２記載の基板処理装置管理システム。
4. 各基板処理装置について算出された異常スコアが予め定められたしきい値を超えるか否かを判定し、前記異常スコアが前記しきい値を超える場合に、当該異常スコアに対応する基板処理装置に警報を送信する警報送信部をさらに備える、請求項１～３のいずれか一項に記載の基板処理装置管理システム。
5. 前記情報収集部は、一定時間が経過するごとに収集される複数の処理情報の積算およびリセットを繰り返し、
   前記スコア算出部は、各基板処理装置について、前記複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置により生成されかつ前記情報収集部により積算された複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを前記異常スコアとして算出する、請求項１～４のいずれか一項に記載の基板処理装置管理システム。
6. 前記複数の処理情報について、互いに異なる２つの処理情報の複数の組み合わせが定められ、
   各組み合わせは、第１の処理情報および第２の処理情報を含み、
   前記スコア算出部は、
   各組み合わせについて、予め定められた条件で収集された前記第２の処理情報に基づいて、前記予め定められた条件で予測される前記第１の処理情報を、第１の予測処理情報として生成し、生成された第１の予測処理情報と前記データ収集部により実際に収集された前記第１の処理情報との乖離の度合いを第１の乖離度として算出し、
   各組み合わせについて、前記予め定められた条件で収集された前記第１の処理情報に基づいて、前記予め定められた条件で予測される前記第２の処理情報を、第２の予測処理情報として生成し、生成された第２の予測処理情報と前記データ収集部により実際に収集された前記第２の処理情報との乖離の度合いを第２の乖離度として算出し、
   前記複数の組み合わせについてそれぞれ算出された複数の第１の乖離度および複数の第２の乖離度に基づいて前記異常スコアを算出する、請求項１～５のいずれか一項に記載の基板処理装置管理システム。
7. 前記スコア算出部は、前記複数の組み合わせについてそれぞれ算出された複数の第１の乖離度および複数の第２の乖離度の合計を前記異常スコアとして算出する、請求項６記載の基板処理装置管理システム。
8. 前記複数の組み合わせの各々には、当該組み合わせと基板処理装置の複数種類の異常状態との関連性に応じて予め定められた重みが割り当てられ、
   前記スコア算出部は、前記複数の組み合わせと前記複数の重みとに基づいて前記複数の第１の乖離度および複数の第２の乖離度を算出する、請求項６または７記載の基板処理装置管理システム。
9. 前記複数の処理情報は、基板に供給される流体の供給量、基板に供給される流体の温度、基板に供給される処理液の濃度、基板が収容される処理室内の温度、基板が収容される処理室内の圧力、基板が収容される処理室から排出される気体の圧力、およびロボットにより搬送される基板の移動速度のうち少なくとも１つの物理量を含む、請求項１～８のいずれか一項に記載の基板処理装置管理システム。
10. 前記複数の処理情報は、基板を搬送するロボットを駆動する駆動パルス信号、基板を搬送するロボットに設けられる検出器の出力信号、および制御バルブに与えられる開閉信号のうち少なくとも１つに関する情報を含む、請求項１～９のいずれか一項に記載の基板処理装置管理システム。
11. 各基板処理装置は、洗浄液を用いて基板を洗浄する基板洗浄装置であり、
    前記複数の処理情報は、基板に供給される洗浄液の供給量、基板に供給される洗浄液の温度、基板に供給される洗浄液の濃度のうち少なくとも１つを含む、請求項１～１０のいずれか一項に記載の基板処理装置管理システム。
12. 複数の基板処理装置を管理するために用いられる基板処理装置管理方法であって、
    各基板処理装置から基板の処理に関連する動作または状態を示す複数の処理情報を収集するステップと、
    各基板処理装置について、前記複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置から収集される複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを異常スコアとして算出するステップと、
    各基板処理装置から異常に関する調査依頼を受け付けるステップと、
    調査依頼を送信した２以上の基板処理装置についてそれぞれ算出された２以上の異常スコアを取得するステップと、
    前記取得するステップにより取得された２以上の異常スコアに基づいて、前記２以上の調査依頼に対して応答すべき優先順位に関する優先順位情報を提示するステップとを含む、基板処理装置管理方法。
13. 情報分析装置を用いて複数の基板処理装置を管理する処理をコンピュータに実行させる基板処理装置管理プログラムであって、
    前記情報分析装置は、
    各基板処理装置から基板の処理に関連する動作または状態を示す複数の処理情報を収集する情報収集部と、
    各基板処理装置について、前記複数の処理情報間のインバリアントな関係と当該基板処理装置から収集される複数の処理情報とに基づいて当該基板処理装置の異常の度合いを異常スコアとして算出するスコア算出部とを含み、
    前記複数の基板処理装置を管理する処理は、
    各基板処理装置から異常に関する調査依頼を受け付ける処理と、
    調査依頼を送信した２以上の基板処理装置についてそれぞれ算出された２以上の異常スコアを取得する処理と、
    前記取得する処理により取得された２以上の異常スコアに基づいて、前記２以上の調査依頼に対して応答すべき優先順位に関する優先順位情報を提示する処理とを含む、基板処理装置管理プログラム。

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