TW202342267A - 樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法 - Google Patents

Abstract

本發明是在對多個成形模具進行鎖模的樹脂成形裝置中，使多個成形模具的鎖模同步，且吸收各成形模具中的成形對象物的厚度偏差而進行樹脂成形，包括使中間板4的升降聯動於可動台板3的升降的升降聯動機構8，升降聯動機構8包括藉由可動台板3的升降而伸縮的動臂機構81、以及連接動臂機構81的交叉連桿部811及中間板4的連結機構82，連結機構82具有連接於交叉連桿部811的連接構件821、使連接構件821連結於中間板4的連結構件822、以及介隔於連接構件821與連結構件822之間的彈性構件823a、彈性構件823b。

Description

樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法

本發明是有關於一種樹脂成形裝置以及樹脂成形品的製造方法。

以往，如專利文獻1所示，在包括固定的下模、可在下模的上方升降的上模、以及對配置於下模及上模之間的中間模進行支持的框體的合成樹脂製成形體的製造裝置中，考慮利用動臂（pantograph）機構來連結上模、中間模以及下模，以同時進行借助上模以及中間模的成形體的成形、與借助中間模以及下模的成形體的成形。 [現有技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利實開昭63-161708號公報

[發明所欲解決之課題]

然而，所述的製造裝置中，對於利用上模以及中間模進行樹脂成形的成形體、與利用中間模以及下模進行樹脂成形的成形體的厚度偏差未作任何考慮。而且，例如在對基板等成形對象物進行樹脂成形的情況下，會因成形對象物的厚度等的偏差而導致利用各成形模具進行樹脂成形的樹脂成形品的品質等產生偏差。

因此，本發明是為了解決所述問題而完成，其主要課題在於，在對多個成形模具進行鎖模的樹脂成形裝置中，使多個成形模具的鎖模同步，且吸收各成形模具中的成形對象物的厚度等的偏差而進行樹脂成形。 [解決課題之手段]

即，本發明的樹脂成形裝置的特徵在於包括：固定台板；可動台板，能夠藉由驅動機構來升降；中間板，配置於所述固定台板與所述可動台板之間；成形模具，分別設於所述固定台板與所述中間板之間以及所述中間板與所述可動台板之間且包含上模以及下模；一對側壁構件，配置於所述可動台板以及所述中間板的側方兩側；滑動機構，使所述中間板相對於所述一對側壁構件而滑動；以及升降聯動機構(elevating linking mechanism)，使所述中間板的升降聯動於所述可動台板的升降，所述升降聯動機構包括：動臂機構(pantograph mechanism)，藉由所述可動台板的升降而伸縮；以及連結機構，連結所述動臂機構的交叉連桿部以及所述中間板，所述連結機構具有：連接構件，連接於所述交叉連桿部；連結構件，使所述連接構件連結於所述中間板；以及彈性構件，介隔於所述連接構件與所述連結構件之間。 [發明的效果]

根據如此般構成的本發明，在對多個成形模具進行鎖模的樹脂成形裝置中，可使多個成形模具的鎖模同步，且可吸收各成形模具中的成形對象物的厚度等的偏差而進行樹脂成形。

接下來，舉例來進一步詳細說明本發明的技術。但本發明並不受以下的技術限定。

本發明的技術1的樹脂成形裝置的特徵在於包括：固定台板；可動台板，能夠藉由驅動機構來升降；中間板，配置於所述固定台板與所述可動台板之間；成形模具，包括分別設於所述固定台板與所述中間板之間以及所述中間板與所述可動台板之間的上模以及下模；一對側壁構件，配置於所述可動台板以及所述中間板的側方兩側；滑動機構，使所述中間板相對於所述一對側壁構件而滑動；以及升降聯動機構，使所述中間板的升降聯動於所述可動台板的升降，所述升降聯動機構包括：動臂機構，藉由所述可動台板的升降而伸縮；以及連結機構，連結所述動臂機構的交叉連桿部以及所述中間板，所述連結機構具有：連接構件，連接於所述交叉連桿部；連結構件，使所述連接構件連結於所述中間板；以及彈性構件，介隔於所述連接構件與所述連結構件之間。

若為該樹脂成形裝置，則連結動臂機構的交叉連桿部及中間板的連結機構具有連接於交叉連桿部的連接構件、使連接構件連結於中間板的連結構件、以及介隔於連接構件與連結構件之間的彈性構件，因此可使多個成形模具的鎖模同步，且可吸收各成形模具中的成形對象物的厚度等的偏差。 例如，即便設於中間板的其中一側的成形模具中的成形對象物的厚度與設於中間板的另一側的成形模具中的成形對象物的厚度產生偏差，藉由彈性構件發生彈性變形，亦可吸收該些成形對象物的厚度偏差且進行鎖模。其結果，在對多個成形模具進行鎖模的樹脂成形裝置中，可使多個成形模具的鎖模同步，且可吸收各成形模具中的成形對象物的厚度偏差而進行樹脂成形。 而且，由於使用動臂機構來使可動台板的升降與中間板的升降聯動，因此可防止各構件的大型化，並且亦可抑制裝置整體的大型化，亦可不需要高剛性的構件。

本發明的技術2的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述技術1的結構以外，在所述固定台板與所述可動台板之間，沿著上下方向設有多個所述中間板，在多個所述中間板之間分別設有包含上模以及下模的成形模具。 若為該結構，則可增加成形模具的數量，從而可提高樹脂成形品的生產性。而且，多個中間板藉由動臂機構而聯動於可動台板的升降，因此即便設為在多個中間板之間分別設置成形模具的結構，仍可防止各構件的大型化並且亦能抑制裝置整體的大型化，亦可不需要高剛性的構件。

本發明的技術3的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術1或技術2的結構以外，所述動臂機構配置於所述側壁構件的外側，所述連結構件延伸至所述側壁構件的外側，所述彈性構件設於所述側壁構件的外側。 若為該結構，則將動臂機構設於側壁構件的外側，並且將彈性構件設於側壁構件的外側，因此可減少配置於一對側壁構件之間的構件而使結構變得簡單。而且，配置於一對側壁構件的中間板的尺寸可不受動臂機構或彈性構件等限制而增大，從而可加大安裝於中間板的成形模具的尺寸或者增加成形模具的種類。

本發明的技術4的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術1至技術3中的任一結構以外，所述彈性構件具有：下側彈性構件，吸收所述中間板相對於所述連接構件的朝向下方的位移；以及上側彈性構件，吸收所述中間板相對於所述連接構件的朝向上方的位移。 若為該結構，則在中間板的其中一側（上表面側）的成形模具中的成形對象物的厚度大於中間板的另一側（下表面側）的成形模具中的成形對象物的厚度的情況下，下側彈性構件吸收該些厚度的偏差。另一方面，在中間板的另一側（下表面側）的成形模具中的成形對象物的厚度大於中間板的其中一側（上表面側）的成形模具中的成形對象物的厚度的情況下，上側彈性構件吸收該些厚度的偏差。

本發明的技術5的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術1至技術4中的任一結構以外，所述滑動機構具有直線移動軌道與在所述直線移動軌道上滑動的直線移動塊。 若為該結構，則能夠精度良好地維持中間板以及可動台板相對於固定台板的平行度，進而，維持各成形模具的上模以及下模的平行度。

本發明的技術6的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術5的結構以外，在所述中間板的側方兩側連接有側面板，在所述側面板或所述側壁構件的其中一者設有所述直線移動塊，在所述側面板或所述側壁構件的另一者設有所述直線移動軌道。 若為該結構，則在連接於中間板的側面板配置有直線移動塊或直線移動軌道，因此藉由使側面板的上下方向的尺寸大於中間板的上下方向的尺寸（厚度尺寸），從而不論中間板的厚度尺寸如何均可配置直線移動塊或直線移動軌道。

本發明的技術7的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術5或技術6的結構以外，在所述中間板的側方兩側連接有側面板，在所述側面板配置有所述直線移動塊，在所述側壁構件的內表面配置有所述直線移動軌道。 若為該結構，則在連接於中間板的側面板配置有直線移動塊，因此藉由使側面板的上下方向的尺寸大於中間板的上下方向的尺寸（厚度尺寸），從而不論中間板的厚度尺寸如何均可配置直線移動塊。而且，由於在側壁構件的內表面配置有直線移動軌道，因此可將升降台板的直線移動軌道與中間板的直線移動軌道設為共用，從而可使結構變得簡單。

本發明的技術8的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術7的結構以外，在所述側壁構件的內表面配置有兩個所述直線移動軌道，在所述側面板，對應於兩個所述直線移動軌道而配置有兩列所述直線移動塊。 若為該結構，則可精度更好地維持中間板以及可動台板相對於固定台板的平行度，進而維持各成形模具的上模以及下模的平行度。

本發明的技術9的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術6至技術8中的任一結構以外，在具有多個所述中間板的結構中，分別連接於多個所述中間板的側面板是以不會相互干涉的方式沿水平方向偏離地配置。 若為該結構，則在多個中間板升降移動時，各中間板的側面板不會發生干涉，因此可抑制樹脂成形裝置的高度尺寸。再者，在各中間板的側面板未沿水平方向偏離的情況下，側面板必須以不會發生干涉的方式而沿上下方向具備餘裕地配置，從而導致樹脂成形裝置的高度尺寸變大。

本發明的技術10的樹脂成形裝置的特徵在於，除了所述的技術1至技術9中的任一結構以外，更包括：導引機構，介隔於所述連接構件與所述連結構件或所述側壁構件之間而設，所述導引機構具有：直線移動軌道，設於所述連接構件與所述連結構件或所述側壁構件的其中一者；以及直線移動塊，設於所述連接構件與所述連結構件或所述側壁構件的另一者。 若為該結構，則可使連接於動臂機構的交叉連桿部的連接構件穩定地升降移動。

而且，下述樹脂成形品的製造方法亦為本發明的一形態，其是使用所述的技術1至技術10中的任一個樹脂成形裝置來製造樹脂成形品的樹脂成形品的製造方法，包括：樹脂成形步驟，在對所述成形模具供給有成形對象物以及樹脂材料的狀態下，使用所述升降聯動機構來鎖模並進行樹脂成形；以及取出步驟，使用所述升降聯動機構來開模，並自所述成形模具中取出經樹脂成形的所述成形對象物。

＜本發明的第一實施方式＞ 以下，參照附圖說明本發明的樹脂成形裝置的第一實施方式。再者，以下所示的無論哪張圖中，為了便於理解，均適當省略或誇張而示意性地描繪。對於相同的構成元件，標註相同的符號並適當省略說明。

＜樹脂成形裝置的整體結構＞ 第一實施方式的樹脂成形裝置100是藉由使用樹脂材料J的樹脂成形對被固定於作為成形對象物的基板W的電子零件Wx進行樹脂密封而製造樹脂成形品P的裝置。再者，作為基板，例如可列舉金屬製基板、樹脂製基板、玻璃製基板、陶瓷製基板、電路基板、半導體製基板、引線框架、矽晶圓、玻璃晶圓等。而且，樹脂材料J例如可列舉粉粒體狀樹脂（包含顆粒狀樹脂）、液狀樹脂等。而且，作為電子零件Wx，例如可列舉半導體晶片、電阻元件、電容器元件等電子元件或者將該些電子元件的至少一個進行了樹脂密封的形態的電子零件。

該樹脂成形裝置100如圖1所示，分別包括基板供給/收納模組A、兩個樹脂成形模組B以及樹脂材料供給模組C作為構成元件。各構成元件（各模組A～C）相對於各個構成元件可裝卸且可更換。

基板供給/收納模組A具有：基板接納部11，自外部接納成形前基板W；基板收納部12，收納成形完畢基板W（樹脂成形品P）；搬送機構13，搬送成形前基板W以及樹脂成形品P；以及例如搬送機器人等交接機構14，相對於搬送機構13進行成形前基板W以及樹脂成形品P的交接。

搬送機構13將成形前基板W自基板供給/收納模組A搬送至樹脂成形模組B，在樹脂成形模組B中將成形前基板W供給至成形模具5a、成形模具5b。在成形前基板W的樹脂成形後，搬送機構13在樹脂成形模組B中自成形模具5a、成形模具5b接受樹脂成形後的成形完畢基板W即樹脂成形品P，並搬送至基板供給/收納模組A。而且，交接機構14將成形前基板W自基板接納部11交接至搬送機構13，並將樹脂成形品P自搬送機構13交接至基板收納部12。

各樹脂成形模組B具有保持基板W的第一模具即上模51、以及形成有模腔52C的第二模具即下模52，藉由對該些進行鎖模，從而藉由使用樹脂材料J的樹脂成形來對固定於基板W的電子零件Wx進行樹脂密封。再者，樹脂成形模組B的具體結構將後述。

樹脂材料供給模組C具有移動平台15、被載置於移動平台15上的樹脂材料收容部16、計量樹脂材料J並將其投入樹脂材料收容部16的樹脂材料投入機構17、以及搬送樹脂材料收容部16而向下模52的模腔52C供給樹脂材料J的樹脂材料供給機構18。

移動平台15在樹脂材料供給模組C內，在樹脂材料投入機構17的樹脂投入位置與用於將樹脂材料收容部16交接至樹脂材料供給機構18的交接位置之間移動。而且，樹脂材料供給機構18將收容有樹脂材料J的樹脂材料收容部16自樹脂材料供給模組C搬送至樹脂成形模組B，並在樹脂成形模組B中將樹脂材料J供給至成形模具5a、成形模具5b。隨後，樹脂材料供給機構18將供給了樹脂材料J後的樹脂材料收容部16自樹脂成形模組B搬送至樹脂材料供給模組C。

＜樹脂成形模組B的具體結構＞ 樹脂成形模組B如圖2以及圖3所示，包括：固定台板2；可動台板3，可藉由驅動機構10而升降；中間板4，配置於固定台板2與可動台板3之間；第一成形模具5a以及第二成形模具5b分別包括設於固定台板2與中間板4之間以及中間板4與可動台板3之間的上模51及下模52；一對側壁構件61、62，配置於可動台板3以及中間板4的側方兩側（此處為左右兩側）；滑動機構7，使中間板4相對於一對側壁構件61、62而滑動；以及升降聯動機構8，使中間板4的升降聯動於可動台板3的升降。

在固定台板2的下表面，直接或經由其他構件而可裝卸地安裝有第一成形模具5a的上模51。而且，在固定台板2的左右兩側，連接有一對側壁構件61、62。再者，亦可與固定台板2一體形成一對側壁構件61、62。本實施方式的固定台板2在俯視時呈大致矩形狀的平板形狀。

在可動台板3的上表面，直接或經由其他構件而可裝卸地安裝有第二成形模具5b的下模52。而且，可動台板3藉由設於可動台板3下方的驅動機構10進行升降移動。再者，本實施方式的可動台板3在俯視時呈大致矩形狀的平板形狀。而且，在可動台板3連接有固定用構件31，在固定用構件31固定有後述的動臂機構81的下端部（下端連桿部813）。

本實施方式的驅動機構10是使用將伺服馬達等的旋轉轉換為直線移動的滾珠螺桿機構來使可動台板升降的直線移動方式者，但亦可為使用例如曲柄連桿等連桿機構將伺服馬達等的動力源傳遞至可動台板的連桿方式者。

在中間板4的上表面，直接或經由其他構件而可裝卸地安裝有第一成形模具5a的下模52。而且，在中間板4的下表面，直接或經由其他構件而可裝卸地安裝有第二成形模具5b的上模51。再者，本實施方式的中間板4在俯視時呈大致矩形狀的平板形狀。

此處，參照圖4來說明第一成形模具5a、第二成形模具5b。 各成形模具5a、5b的上模51吸附保持基板W的背面。在上模51的下表面形成有抽吸口（未圖示），在上模51的內部形成有連接於抽吸口的抽吸流路（未圖示）。該抽吸流路連接於外部的抽吸裝置（未圖示）。

而且，各成形模具5a、5b的下模52具有模腔52C，所述模腔52C收容被固定於基板W的電子零件Wx以及樹脂材料J。具體而言，下模52具有形成模腔52C的底面的底面構件521、以及包圍所述底面構件521的側面構件522。由該底面構件521的上表面與側面構件522的內周面形成模腔52C。而且，側面構件522相對於底面構件521可相對地上下移動地設置。具體而言，側面構件522相對於下模52的底板523而由盤簧等多個彈性構件524予以支持。進而，為了提高樹脂成形品P的脫模性，本實施方式的下模52由脫模薄膜F予以覆蓋。而且，在側面構件522的上表面（側面構件522與基板W的抵接面），亦可設置排氣道（未圖示）以排出空氣或氣體。除此以外，在上模51以及下模52的周圍，設有密閉結構50（圖2以及圖5中未圖示），所述密閉結構50包含用於在樹脂成形時對成形模具5a、成形模具5b的周圍進行抽真空的側壁部以及O型環等密封部件等。

一對側壁構件61、62如圖2以及圖3所示，將固定台板2相對於底座構件101而固定於規定的高度，並且可滑動地支持中間板4。此處，各側壁構件61、62的上端部連接於固定台板2，側壁構件61、側壁構件62的下端部連接於底座構件101。再者，本實施方式的各側壁構件61、62呈沿上下方向延伸的縱長的平板形狀。

滑動機構7使中間板4相對於一對側壁構件61、62而沿著上下方向直線移動。具體而言，滑動機構7具有呈一直線狀延伸的直線移動軌道71、以及在所述直線移動軌道71上滑動的直線移動塊72。

本實施方式中，在中間板4的左右兩側連接有平板狀的側面板41，在所述側面板41設有直線移動塊72，在側壁構件61、側壁構件62的內表面沿著上下方向（鉛垂方向）而設有直線移動軌道71。

詳細而言，如圖5所示，在各側壁構件61、62的內表面，前後並列地設有兩個直線移動軌道71，在各側面板41，對應於兩個直線移動軌道71而設有前後兩列直線移動塊72。此處，設於各側面板41的直線移動塊72的列包含兩個直線移動塊72（參照圖2）。即，在各側面板41設有共計四個直線移動塊72。

詳細而言，如圖2以及圖5所示，兩個直線移動軌道71被設於各側壁構件61、62的內表面。此處，兩個直線移動軌道71沿上下方向（鉛垂方向）延伸。而且，兩個直線移動軌道71沿前後方向排列配置。另一方面，直線移動塊72被設於各側面板41。此處，直線移動塊72以對應於兩個直線移動軌道71的方式而在各側面板41中沿前後方向排列成並列的兩列。直線移動塊72在各側面板41中，在各列沿上下方向（鉛垂方向）配置有兩個。即，在各側面板41設有共計四個直線移動塊72。

升降聯動機構8如圖2、圖3、圖5～圖7所示，使中間板4的升降聯動於可動台板3的升降而使第一成形模具5a以及第二成形模具5b的鎖模以及開模同步。即，升降聯動機構8可將第一成形模具5a的鎖模速度與第二成形模具5b的鎖模速度設為相同，且可同時進行鎖模。

具體而言，升降聯動機構8包括：動臂機構81，藉由可動台板3的升降而伸縮；以及連結機構82，連結動臂機構81的交叉連桿部811以及中間板4。

動臂機構81如圖2所示，設於一對側壁構件61、62的左右外側。即，可動台板3以及中間板4藉由左右兩個動臂機構81而升降聯動。再者，左右的動臂機構81為彼此相同的結構。

具體而言，各動臂機構81如圖3以及圖6所示，包含一個交叉連桿部811、上端連桿部812以及下端連桿部813。交叉連桿部811使第一連桿81a以及第二連桿81b在該些的中央部彼此交叉，並藉由旋轉軸81c可旋轉地連結該交叉部。而且，上端連桿部812將第三連桿81d以及第四連桿81e各自的下端部藉由旋轉軸81f可旋轉地連結於第一連桿81a以及第二連桿81b各自的上端部，且將第三連桿81d以及第四連桿81e各自的上端部藉由旋轉軸81g彼此可旋轉地連結。進而，下端連桿部813將第五連桿81h以及第六連桿81i各自的上端部藉由旋轉軸81j可旋轉地連結於第一連桿81a以及第二連桿81b各自的下端部，且將第五連桿81h以及第六連桿81i各自的下端部藉由旋轉軸81k彼此可旋轉地連結。

並且，動臂機構81的上端部（上端連桿部812）被固定於側壁構件61、側壁構件62的上端部，動臂機構81的下端部（下端連桿部813）被固定於與可動台板3一同移動的固定用構件31。因此，動臂機構81的下端部（下端連桿部813）經由固定用構件31連接於可動台板3，伴隨可動台板3的移動而移動。本實施方式中，如圖6所示，動臂機構81的交叉連桿部811的旋轉軸81c、上端連桿部812的旋轉軸81g以及下端連桿部813的旋轉軸81k沿上下方向（鉛垂方向）配置，並且以在側視時位於側壁構件61、側壁構件62的寬度方向中央部的方式而配置。

連結機構82如圖2、圖3、圖5以及圖7所示，連結動臂機構81的交叉連桿部811以及中間板4。具體而言，連結機構82具有連接於交叉連桿部811的連接構件821、使連接構件821連結於中間板4的連結構件822、以及介隔於連接構件821與連結構件822之間的彈性構件823a、彈性構件823b。再者，左右的連結機構82為彼此相同的結構。

連接構件821如圖3、圖5以及圖6所示，不會阻礙動臂機構81的伸縮而連接於交叉連桿部811。具體而言，連接構件821為矩形長條狀者，其中央部連接於交叉連桿部811的旋轉軸81c。該連接構件821是沿前後方向（水平方向）延伸而設。

連結構件822使連接構件821連結於中間板4，本實施方式中，分別連接於與中間板4的側方兩側（此處為左右兩側）連接的側面板41（參照圖2）。該連結構件822自側壁構件61、側壁構件62的前後朝外側延伸（參照圖5）。

彈性構件823a、彈性構件823b用於吸收基板W的厚度等的偏差，且介隔於連結構件822與連接構件821之間而設。而且，彈性構件823a、彈性構件823b被設於側壁構件61、側壁構件62的外側。

具體而言，彈性構件823a、彈性構件823b如圖2、圖3、圖5以及圖7所示，具有：上側彈性構件823a，吸收中間板4相對於連接構件821的朝向上方的位移；以及下側彈性構件823b，吸收中間板4相對於連接構件821的朝向下方的位移。該些彈性構件823a、823b如圖7所示，構成設於連結構件822的位移吸收機構83a、位移吸收機構83b。

位移吸收機構83a、位移吸收機構83b在連結構件822中分別設於連接構件821的上側以及下側。上側的位移吸收機構83a具有：上側接觸部831，接觸至連接構件821的上表面；上側彈性構件823a，朝向連接構件821的上表面對所述上側接觸部831給予力（施力）；以及上側支持部832，可朝上方移動地支持上側接觸部831。而且，下側的位移吸收機構83b具有：下側接觸部833，接觸至連接構件821的下表面；下側彈性構件823b，朝向連接構件821的下表面對所述下側接觸部833給予力（施力）；以及下側支持部834，可朝下方移動地支持下側接觸部833。上側支持部832以及下側支持部834相對於連結構件822而固定。

此處，在上側接觸部831，形成有上側擋塊831a，該上側擋塊831a以可接觸至上側支持部832的上表面的方式朝周圍突出而限制朝向下方的移動。在下側接觸部833，形成有下側擋塊833a，該下側擋塊833a以可接觸至下側支持部834的下表面的方式朝周圍突出而限制朝向上方的移動。

而且，連結構件822具有：上側突出部822a，在上側接觸部831的上端面的上側以形成相向的相向面的方式而突出；以及下側突出部822b，在下側接觸部831的下端面的下側以形成相向的相向面的方式而突出。再者，在上側接觸部831的上端面與連結構件822的上側突出部822a的下表面（上側接觸部831的上端面的相向面）之間，設有不會因後述的位移吸收機構83a、位移吸收機構83b的動作而接觸的程度的間隔。而且，在下側接觸部833的下端面與連結構件822的下側突出部822b的上表面（下側接觸部833的下端面的相向面）之間，亦設有不會因位移吸收機構83a、位移吸收機構83b的動作而接觸的程度的間隔。

接下來，對位移吸收機構83a、位移吸收機構83b的基本動作進行說明。 在位移吸收機構83a、位移吸收機構83b的初始狀態（參照圖7）下，彈性構件823a成為上端接觸至連結構件822的上側突出部822a的下表面（上側接觸部831的上端面的相向面），下端接觸至上側接觸部831的上側擋塊831a的上表面而未伸縮的狀態。而且，在位移吸收機構83a、位移吸收機構83b的初始狀態下，彈性構件823b成為上端接觸至下側接觸部833的下側擋塊833a的下表面，下端接觸至連結構件822的下側突出部822b的上表面（下側接觸部833的下端面的相向面）而未伸縮的狀態。

並且，當中間板4相對於連接構件821而相對地朝下方位移時，如圖8的（a）所示，連接於中間板4的連結構件822相對於連接構件821而相對地朝下方位移。於是，在連接構件821以及上側接觸部831靜止的狀態下，上側支持部832以及連結構件822的上側突出部822a亦相對地朝下方位移，因此上側彈性構件823a收縮。換言之，連接構件821以及上側接觸部831相對於連結構件822的上側突出部822a而相對地朝上方移動，上側彈性構件823a收縮。由此，中間板4相對於連接構件821的朝向下方的相對位移被吸收。

另一方面，當中間板4相對於連接構件821而相對地朝上方位移時，如圖8的（b）所示，連接於中間板4的連結構件822相對於連接構件821而相對地朝上方位移。於是，在連接構件821以及下側接觸部833靜止的狀態下，下側支持部834以及連結構件822的下側突出部822b亦相對地朝上方位移，因此下側彈性構件823b收縮。換言之，連接構件821以及下側接觸部833相對於連結構件822的下側突出部822b而相對地朝下方移動，下側彈性構件823b收縮。由此，中間板4相對於連接構件821的朝向上方的相對位移被吸收。

進而，本實施方式的樹脂成形裝置100中，如圖2、圖5以及圖7所示，更包括介隔於連接構件821與連結構件822之間而設的導引機構84。該導引機構84在連接構件821與連結構件822相對移動時導引其移動。

該導引機構84導引連接構件821的上下方向的移動，被設於連接構件821與連結構件822的相向面之間。具體而言，導引機構84具有被設於連接構件821或連結構件822的其中一者的直線移動軌道841、以及被設於連接構件821或連結構件822的另一者的直線移動塊842。本實施方式中，在連結構件822設有直線移動軌道841，在連接構件821設有直線移動塊842。

＜樹脂成形裝置的動作的一例＞ 接下來，參照圖1、圖2、圖4以及圖8的（a）、圖8的（b）來說明樹脂成形裝置100的動作的一例。以下所示的動作例如是藉由設於基板供給/收納模組A的控制部COM控制樹脂成形裝置100的各部而進行。再者，控制部COM是具有中央處理單元（Central Processing Unit，CPU）、內部記憶體、輸入/輸出介面、類比/數位（Analog Digital，AD）轉換器等的專用或通用的電腦。

首先，在藉由升降聯動機構8將各成形模具5a、5b開模的狀態（參照圖2）下，藉由圖1所示的基板供給/收納模組A將基板W搬送並保持於各成形模具5a、5b的上模51。而且，藉由樹脂材料供給模組C將樹脂材料J收容至各成形模具5a、5b的下模52的模腔52C內。如此，成為作為成形對象物的基板W與樹脂材料J被供給至各成形模具5a、5b的狀態。

接下來，藉由驅動機構10來使可動台板3上升。伴隨該可動台板3的上升，動臂機構81收縮，與動臂機構81的交叉連桿部811的旋轉軸81c連接的中間板4上升。此處，伴隨可動台板3的上升，成形模具5a、成形模具5b的周圍由圖5所示的密閉結構50予以密閉，藉由未圖示的真空泵對成形模具5a、成形模具5b的周圍進行抽真空。

並且，各成形模具5a、5b的下模52的上表面（具體而言，為側面構件522的上表面，或者在存在脫模薄膜F的情況下為脫模薄膜F）接觸至被吸附保持於上模51的基板W。此時，在第一成形模具5a以及第二成形模具5b中的下模52接觸至上模51的時機不同的情況下，上側彈性構件823a或下側彈性構件823b先於下模52的彈性構件524而變形。即，上側彈性構件823a以及下側彈性構件823b的彈簧常數小於下模52的彈性構件524的彈簧常數。

例如，當中間板4上的下模52（第一成形模具5a的下模52）先於可動台板3上的下模52（第二成形模具5b的下模52）而接觸至被吸附保持於對應的上模51的基板W時，中間板4相對於連接構件821朝下方位移，並且上側彈性構件823a收縮（參照圖8的（a））。

另一方面，當可動台板3上的下模52（第二成形模具5b的下模52）先於中間板4上的下模52（第一成形模具5a的下模52）而接觸至被吸附保持於對應的上模51的基板W時，中間板4相對於連接構件821而朝上方位移，並且下側彈性構件823b收縮（參照圖7（b））。

藉由該些，消除第一成形模具5a以及第二成形模具5b中的下模52接觸至上模51的時機的差異，且進行鎖模動作。而且，上側彈性構件823a以及下側彈性構件823b所吸收的不僅是基板W的厚度的偏差，還可列舉被收容於模腔52C中的樹脂材料J的量的偏差、被固定於基板W的電子零件Wx的體積的偏差等。

隨後，驅動機構10使可動台板3進一步上升，藉此，第一成形模具5a以及第二成形模具5b的鎖模完成，藉由將該狀態維持規定時間（例如樹脂材料J的固化時間），樹脂成形完成。如此，使用升降聯動機構8對各成形模具5a、5b進行鎖模，並進行樹脂成形。隨後，當驅動機構10使可動台板3下降時，各成形模具5a、5b被開模。繼而，藉由基板供給/收納模組A將樹脂成形品P收納至基板收納部12（參照圖1）。如此，使用升降聯動機構8對各成形模具5a、5b進行開模，將經樹脂成形的成形對象物即基板W（樹脂成形品P）自各成形模具5a、5b取出並收納至基板收納部12，而製造樹脂成形品P。

＜第一實施方式的效果＞ 根據本實施方式的樹脂成形裝置100，連結動臂機構81的交叉連桿部811以及中間板4的連結機構82具有連接於交叉連桿部811的連接構件821、使連接構件821連結於中間板4的連結構件822、以及介隔於連接構件821與連結構件822之間的彈性構件823a、彈性構件823b，因此可吸收各成形模具5a、5b中的基板W的厚度等的偏差。

例如，即便由第一成形模具5a的上模51所保持的基板W的厚度與由第二成形模具5b的上模51所保持的基板W的厚度產生偏差，藉由彈性構件823a、彈性構件823b發生彈性變形，仍可吸收該些基板W的厚度等的偏差且可進行鎖模。其結果，在對多個成形模具5a、5b進行鎖模的樹脂成形裝置100中，可使多個成形模具5a、5b的鎖模同步，且可吸收各成形模具5a、5b中的基板W的厚度等的偏差而進行樹脂成形。

而且，由於使用動臂機構81來使可動台板3的升降與中間板4的升降聯動，因此可防止各構件的大型化，並且亦可抑制裝置整體的大型化，從而亦可不需要高剛性的構件。

＜本發明的第二實施方式＞ 接下來，對本發明的第二實施方式進行說明。再者，以下，對與第一實施方式不同的部分進行說明，對於相同的構件標註相同的符號進行說明。

第二實施方式的樹脂成形裝置100與所述第一實施方式（使用一個中間板4而具有兩組成形模具的結構）不同，為使用多個中間板4而具有多組成形模具的結構。例如，亦可設為如下結構：使用兩個中間板4而具有三組成形模具的結構、使用三個中間板4而具有四組成形模具的結構、使用四個中間板4而具有五組成形模具的結構、以及使用五個以上的中間板4而具有六組以上的成形模具的結構。

具體而言，樹脂成形裝置100如圖9所示，在固定台板2與可動台板3之間沿著上下方向配置有多個中間板4。而且，在多個中間板4之間分別設有包含上模51以及下模52的成形模具5b、成形模具5c。再者，圖8的（a）、圖8的（b）中，圖示了自固定台板2直至三個中間板4為止的結構，較之為下的部分予以省略。

多個中間板4分別與所述第一實施方式同樣，經由連結機構82分別連結於動臂機構81的多個交叉連桿部811。由此，多個中間板4聯動於可動台板3的升降而升降。

此處，動臂機構81如圖10所示，包含與多個中間板4對應的數量的多個交叉連桿部811、上端連桿部812以及下端連桿部813。並且，多個交叉連桿部811串列地連接。具體而言，相鄰的交叉連桿部811中，其中一個交叉連桿部811的第一連桿81a的上端部藉由旋轉軸81l可旋轉地與另一個交叉連桿部811的第二連桿81b的上端部連結，其中一個交叉連桿部811的第二連桿81b的上端部藉由旋轉軸81m可旋轉地與另一個交叉連桿部811的第一連桿81a的上端部連結。再者，上端連桿部812以及下端連桿部813的結構與第一實施方式同樣。

而且，分別連接於多個中間板4的側面板41以不會相互干涉的方式沿水平方向偏離地配置。具體而言，如圖9所示，在上下方向上彼此相鄰的中間板4的側面板41以左右（水平方向）偏離地彼此錯開的方式而配置。

例如配置為，自上起第一個中間板4的側面板41a位於內側，自上起第二個中間板4的側面板41b位於外側。而且配置為，自上起第二個中間板4的側面板41b位於外側，自上起第三個中間板4的側面板41c位於內側。此處，在自上起第二個中間板4的側面板41b，以不會阻礙配置於位於內側的側面板41a、側面板41c（自上起第一個、自上起第三個）的直線移動塊842的移動的方式，遍及所述直線移動塊842的移動範圍而形成有未圖示的貫穿孔或切口部等。

＜第二實施方式的效果＞ 根據本實施方式的樹脂成形裝置100，除了所述第一實施方式的效果以外，還可使用三個以上的成形模具5a～5c來進行樹脂成形，從而可提高樹脂成形品P的生產性。而且，多個中間板4的側面板41以不會相互干涉的方式沿水平方向偏離地配置，因此可抑制樹脂成形裝置100的高度尺寸。

＜其他變形實施方式＞ 再者，本發明並不限於所述實施方式。

例如，所述實施方式中，為連結構件822自側壁構件61、側壁構件62的前後朝外側延伸的結構，但亦可如圖11（a）至圖11（c）所示，設為通過形成於側壁構件61、側壁構件62的貫穿部6H將連結構件822與連接構件821予以連結的結構。

具體而言，在側壁構件61、側壁構件62中，在與交叉連桿部811對應的部分形成貫穿部6H。此處，貫穿部6H是考慮中間板4的移動量，以不會干涉連結構件822的移動的方式而形成。而且，連結構件822連接於中間板4的側面板41，並且通過側壁構件61、側壁構件62的貫穿部6H而延伸至側壁構件61、側壁構件62的外側，在側壁構件61、側壁構件62的外側支持彈性構件823a、彈性構件823b（位移吸收機構83a、位移吸收機構83b）。藉由該彈性構件823a、彈性構件823b（位移吸收機構83a、位移吸收機構83b），連結構件822連結於連接構件821。

而且，在連接構件821與連結構件822之間設有導引機構84。具體而言，導引機構84具有被設於連接構件821或連結構件822的其中一者的直線移動軌道841、以及被設於連接構件821或連結構件822的另一者的直線移動塊842。

所述第一實施方式、第二實施方式中所用的多個成形模具既可為彼此相同的成形模具，亦可為互不相同的成形模具。此處，所謂多個成形模具互不相同，既可為上模互不相同，亦可為下模互不相同。

所述實施方式中，將滑動機構7的直線移動軌道71設於側壁構件61、側壁構件62，將直線移動塊72設於側面板41，但亦可將滑動機構7的直線移動軌道71設於側面板41，將直線移動塊72設於側壁構件61、側壁構件62。

除此以外，本發明並不限於所述實施方式，當然可在不脫離其主旨的範圍內進行各種變形。 [產業上之可利用性]

根據本發明，在對多個成形模具進行鎖模的樹脂成形裝置中，可使多個成形模具的鎖模同步，且可吸收各成形模具中的成形對象物的厚度偏差而進行樹脂成形。

2:固定台板 3:可動台板 4:中間板 5a、5b、5c:成形模具 6H:貫穿部 7:滑動機構 8:升降聯動機構 10:驅動機構 11:基板接納部 12:基板收納部 13:搬送機構 14:交接機構 15:移動平台 16:樹脂材料收容部 17:樹脂材料投入機構 18:樹脂材料供給機構 31:固定用構件 41、41a、41b、41c:側面板 50:密閉結構 51:上模 52:下模 52C:模腔 61、62:一對側壁構件 71:直線移動軌道 72:直線移動塊 81:動臂機構 81a:第一連桿 81b:第二連桿 81c、81f、81g、81j、81k、81m:旋轉軸 81d:第三連桿 81e:第四連桿 81h:第五連桿 81i:第六連桿 82:連結機構 83a、83b:位移吸收機構 84:導引機構 100:樹脂成形裝置 101:底座構件 521:底面構件 522:側面構件 523:底板 524:彈性構件 811:交叉連桿部 812:上端連桿部 813:下端連桿部 821:連接構件 822:連結構件 822a:上側突出部 822b:下側突出部 823a、823b:彈性構件 831:上側接觸部 831a:上側擋塊 832:上側支持部 833:下側接觸部 833a:下側擋塊 834:下側支持部 841:直線移動軌道 842:直線移動塊 A:基板供給/收納模組 B:樹脂成形模組 C:樹脂材料供給模組 COM:控制部 F:脫模薄膜 J:樹脂材料 P:樹脂成形品 W:成形前基板 Wx:電子零件

圖1是示意性地表示本發明的第一實施方式的樹脂成形裝置的結構的圖。 圖2是示意性地表示第一實施方式的樹脂成形裝置的結構的正面圖。 圖3是示意性地表示第一實施方式的樹脂成形裝置的結構的側面圖。 圖4是示意性地表示第一實施方式的成形模具的結構的圖。 圖5是示意性地表示第一實施方式的側壁構件的周邊結構的放大剖面圖。 圖6是示意性地表示第一實施方式的動臂機構的放大圖。 圖7是示意性地表示第一實施方式的彈性構件的周邊結構的放大剖面圖。 圖8的（a）、圖8的（b）是示意性地表示第一實施方式的彈性構件的動作的剖面圖。 圖9是示意性地表示第二實施方式的樹脂成形裝置的結構的正面圖。 圖10是示意性地表示第二實施方式的樹脂成形裝置的結構的側面圖。 圖11（a）至圖11（c）是示意性地表示變形實施方式的彈性構件的周邊結構的側面圖、剖面圖以及正面圖。

2:固定台板

3:可動台板

4:中間板

5a、5b:成形模具

7:滑動機構

8:升降聯動機構

10:驅動機構

31:固定用構件

41:側面板

51:上模

52:下模

61、62:一對側壁構件

71:直線移動軌道

72:直線移動塊

81:動臂機構

82:連結機構

84:導引機構

101:底座構件

821:連接構件

822:連結構件

823a、823b:彈性構件

B:樹脂成形模組

W:成形前基板

Wx:電子零件

Claims (11)

1. 一種樹脂成形裝置，包括： 固定台板； 可動台板，能夠藉由驅動機構來升降； 中間板，配置於所述固定台板與所述可動台板之間； 成形模具，包括分別設於所述固定台板與所述中間板之間以及所述中間板與所述可動台板之間的上模以及下模； 一對側壁構件，配置於所述可動台板以及所述中間板的側方兩側； 滑動機構，使所述中間板相對於所述一對側壁構件而滑動；以及 升降聯動機構，使所述中間板的升降聯動於所述可動台板的升降， 所述升降聯動機構包括： 動臂機構，藉由所述可動台板的升降而伸縮；以及 連結機構，連結所述動臂機構的交叉連桿部以及所述中間板， 所述連結機構具有： 連接構件，連接於所述交叉連桿部； 連結構件，使所述連接構件連結於所述中間板；以及 彈性構件，介隔於所述連接構件與所述連結構件之間。
2. 如請求項1所述的樹脂成形裝置，其中 在所述固定台板與所述可動台板之間，沿著上下方向配置有多個所述中間板， 在多個所述中間板之間分別設有包含上模以及下模的成形模具。
3. 如請求項1或2所述的樹脂成形裝置，其中 所述動臂機構配置於所述側壁構件的外側， 所述連結構件延伸至所述側壁構件的外側， 所述彈性構件設於所述側壁構件的外側。
4. 如請求項1至3中任一項所述的樹脂成形裝置，其中 所述彈性構件具有： 下側彈性構件，吸收所述中間板相對於所述連接構件的朝向下方的位移；以及 上側彈性構件，吸收所述中間板相對於所述連接構件的朝向上方的位移。
5. 如請求項1至4中任一項所述的樹脂成形裝置，其中 所述滑動機構具有直線移動軌道、以及在所述直線移動軌道上滑動的直線移動塊。
6. 如請求項5所述的樹脂成形裝置，其中 在所述中間板的側方兩側連接有側面板，在所述側面板或所述側壁構件的其中一者設有所述直線移動塊，在所述側面板或所述側壁構件的另一者設有所述直線移動軌道。
7. 如請求項5或6所述的樹脂成形裝置，其中 在所述中間板的側方兩側連接有側面板，在所述側面板設有所述直線移動塊，在所述側壁構件的內表面設有所述直線移動軌道。
8. 如請求項7所述的樹脂成形裝置，其中 在所述側壁構件的內表面設有兩個所述直線移動軌道，在所述側面板，對應於兩個所述直線移動軌道而設有兩列所述直線移動塊。
9. 如請求項6至8中任一項所述的樹脂成形裝置，其中 在具有多個所述中間板的結構中，分別連接於多個所述中間板的側面板是以不會相互干涉的方式沿水平方向偏離而設。
10. 如請求項1至9中任一項所述的樹脂成形裝置，更包括： 導引機構，介隔於所述連接構件與所述連結構件之間而設置， 其中所述導引機構具有： 直線移動軌道，設於所述連接構件與所述連結構件的其中一者；以及 直線移動塊，設於所述連接構件與所述連結構件的另一者。
11. 一種樹脂成形品的製造方法，使用如請求項1至10中任一項所述的樹脂成形裝置來製造樹脂成形品，所述樹脂成形品的製造方法包括： 樹脂成形步驟，在對所述成形模具供給有成形對象物以及樹脂材料的狀態下，使用所述升降聯動機構來鎖模並進行樹脂成形；以及 取出步驟，使用所述升降聯動機構來開模，並自所述成形模具中取出經樹脂成形的所述成形對象物。

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