TW202318659A - 噴墨印刷裝置、使用其之油墨印刷方法及顯示裝置的製造方法 - Google Patents

噴墨印刷裝置、使用其之油墨印刷方法及顯示裝置的製造方法 Download PDF

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Abstract

一種噴墨印刷裝置、使用其之油墨印刷方法及顯示裝置的製造方法。油墨印刷方法包含：從噴墨頭噴射分散有複數個粒子的油墨；對噴射的油墨照射具有不同波長的第一光及第二光以獲取從油墨發射的第一出射光及第二出射光的資料；以及，確定油墨中的粒子濃度是否超出參考值的誤差範圍，包含根據第一出射光及第二出射光的資料計算油墨中的粒子濃度，其中第一光具有約500奈米或小於500奈米的波長，並且第二光具有約1000奈米或大於1000奈米的波長。

Description

噴墨印刷裝置、使用其之油墨印刷方法及顯示裝置的製造方法
相關申請案之交互參照
本申請主張於2021年7月12日提交的韓國專利申請案號10-2021-0091243的優先權，以及該申請的所有利益，其全部內容透過引用合併於此。
本揭露涉及一種油墨印刷裝置、使用其之油墨印刷方法及顯示裝置的製造方法。
隨著多媒體技術的發展，顯示裝置的重要性也穩定地提高。響應於此，諸如有機發光顯示器(organic light emitting display，OLED)、液晶顯示器(liquid crystal display，LCD)、及其相似物的各種類型的顯示裝置已經被使用。
作為用於顯示顯示裝置的影像的裝置，存在有包含發光元件的自發光顯示裝置。自發光顯示裝置包含使用有機材料作為發光材料的有機發光顯示裝置、使用無機材料作為發光材料的無機發光顯示裝置、或其相似物。
為了形成包含在顯示裝置中的有機材料層或者為了設置無機發光二極體，可以使用噴墨印刷裝置。在印刷分散有粒子的油墨之後，可以進行後處理製程以將粒子佈置在特定區域或者形成其中分散有粒子的有機材料層。
當使用噴墨印刷裝置來製造顯示裝置時，較理想是在印刷過程中所噴射的每單位液滴的油墨所包含的粒子濃度是均勻的，以確保顯示裝置的產品完美性。
本揭露的態樣提供一種能夠即時測量從噴墨頭噴射的液滴或油墨中的粒子濃度的噴墨印刷裝置、使用其之油墨印刷的方法及顯示裝置的製造方法。
然而，本揭露的態樣不限定於本文中所述的態樣。透過參考下文中的本揭露的詳細說明，對於本揭露所屬領域具有通常知識者本揭露的上述及其他態樣變得更加清楚。
根據一個實施例的噴墨印刷裝置可以透過使用不同波長帶的光照射從噴嘴噴射的油墨來即時感測油墨中的粒子濃度的變化。
在根據一個實施例的油墨印刷方法中，可以在使用噴墨印刷裝置感測油墨中的粒子濃度的同時噴射油墨，並且透過對應於粒子濃度的變化來控制注入至噴墨頭中的油墨的粒子濃度，或者控制位於特定區域中的油墨中的粒子濃度，可以製造具有均勻品質的產品。
然而，本揭露的功效不限定於前述功效，並且各種其他功效包含在本說明書中。
根據本揭露的一個實施例，一種油墨印刷的方法包含：一種油墨印刷方法包含：從噴墨頭噴射分散有複數個粒子的油墨；對噴射的油墨照射具有不同波長的第一光及第二光以獲取從油墨發射的第一出射光及第二出射光的資料；以及確定油墨中的粒子濃度是否超出參考值的誤差範圍，包含根據第一出射光及第二出射光的資料計算油墨中的粒子濃度，其中第一光具有約500奈米(nm)或小於500奈米的波長，並且第二光具有約1000奈米(nm)或大於1000奈米的波長。
第一出射光可以為透過散射照射至油墨上的第一光而獲得的光，並且第二出射光可以為透過折射照射至油墨的第二光而獲得的光。
粒子濃度的計算可以包含：從第一出射光的資料獲取油墨中的粒子數量的資料，以及從第二出射光的資料獲取油墨的體積的資料。
確定步驟可以進一步包含：根據第一出射光及第二出射光的資料計算在油墨中的粒子的濃度變化值。
此方法可以進一步包含：在確定步驟後，當確定濃度超出參考值的誤差範圍時，控制注入至噴墨頭中的油墨中的粒子濃度。
此方法可以進一步包含：在從噴墨頭噴射油墨之前，設定參考值。
參考值可以包含從油墨發射的光的正規化散射強度以及當第一光及第二光照射至具有不同粒子濃度的油墨時正規化散射強度的標準偏差值，第一出射光及第二出射光的資料的獲取包含獲取第一出射光及第二出射光的正規化散射強度及正規化散射強度的標準偏差值，並且確定步驟包含透過比較正規化散射強度及參考值的標準偏差值與第一出射光及第二出射光的資料來計算油墨中的粒子濃度。
油墨可以在第一方向上從噴墨頭噴射，第一光可以在垂直於第一方向的第二方向上照射，並且可以在照射第一光後照射第二光。
從油墨發射的第一出射光可以由反射器反射，反射器具有在噴墨路徑中的曲率中心並且具有彎曲的外表面。
油墨可以在第一方向上從噴墨頭噴射，並且第一光及第二光可以分別向不同方向照射並且同時照射至油墨。
根據本揭露的實施例，一種噴墨印刷裝置，包含：噴墨頭，其噴射分散有複數個粒子的油墨；第一光照射裝置及第二光照射裝置，其分別向噴射的油墨照射不同波長帶的光；第一感測裝置，第一出射光係入射至第一感測裝置，其中第一出射光為透過散射從第一光照射裝置照射並入射至油墨上的第一光而獲得的；第二感測裝置，第二出射光係入射至第二感測裝置，其中第二出射光為透過散射從第二光照射裝置照射並入射至油墨上的第二光而獲得的；以及處理器，分別入射至第一感測裝置及第二感測裝置上的第一出射光及第二出射光的資料係輸入至其中，其中從第一光照射裝置照射的第一光具有約500奈米或更小的波長，並且從第二光照射裝置照射的第二光具有約1000奈米或更大的波長。
油墨可以在第一方向上從噴墨頭噴射，並且第一光照射裝置可以在垂直於第一方向的第二方向上照射第一光。
第二光照射裝置可以設置為在第一方向上與第一光照射裝置分隔開，並且在第二方向上照射第二光。
第一光照射裝置及第二光照射裝置可以分別照射第一光及第二光照射至噴墨路徑中的不同區域。
第一感測裝置可以設置為相對於噴墨路徑而面對且面向第一光照射裝置，並且第二感測裝置可以設置為相對於噴墨路徑而面對且面向第二光照射裝置。
噴墨印刷裝置可以進一步包含設置為與第一光照射裝置分隔開的第一反射器，且第一反射器可以具有在噴墨路徑中的曲率中心並且具有彎曲的外表面，其中第一出射光可以從第一反射器反射，並且入射至第一感測裝置。
第一感測裝置可以相對於噴墨路徑設置在與第一反射器所在的第二側相對的第一側。
噴墨印刷裝置可以進一步包含設置為與第二光照射裝置分隔開的第二反射器，且第二反射器可以具有在噴墨路徑中的曲率中心並且具有彎曲的外表面，其中第二出射光可以從第二反射器反射，並且入射至第二感測裝置。
第二光照射裝置可以設置為在第一方向上與第一光照射裝置分隔開，並且在第一方向與第二方向之間的方向上照射第二光，並且第一光照射裝置及第二光照射裝置可以分別對噴射的油墨照射第一光及第二光。
處理器可以根據油墨中的不同的粒子濃度來儲存第一出射光及第二出射光的資料。
根據本揭露的實施例，一種顯示裝置的製造方法包含：準備包含第一區域及第二區域的目標基板；從第一噴嘴噴射分散有複數個粒子的第一油墨至目標基板的第一區域；照射具有不同波長的第一光及第二光至從第一噴嘴噴射的第一油墨，以獲取從第一油墨發射的第一出射光及第二出射光的資料；確定第一油墨中的粒子濃度是否大於參考值的誤差範圍，包含根據第一出射光及第二出射光的資料計算第一油墨中的粒子濃度；以及從不同於第一噴嘴的第二噴嘴噴射分散有複數個粒子的第二油墨。
第一光可以具有約500奈米或小於500奈米的波長，並且第二光可以具有約1000奈米或大於1000奈米的波長。
粒子可以包含二氧化鈦(TiO2)。
第二油墨的噴射可以包含當在確定步驟中確定濃度超出參考值的誤差範圍時，從第二噴嘴噴射第二油墨至第一區域。
噴射至第一區域的第一油墨及第二油墨可以形成一第一油墨圖案。
第二油墨的噴射可以包含當在確定步驟中確定濃度未超出參考值的誤差範圍時，從第二噴嘴噴射第二油墨至第二區域。
噴射至第一區域的第一油墨可以形成第一油墨圖案，並且噴射至第二區域的第二油墨可以形成與第一油墨圖案不同的第二油墨圖案。
顯示裝置的製造方法可以進一步包含：從與第一噴嘴不同的第三噴嘴噴射分散有複數個粒子的第三油墨至第一區域。
顯示裝置的製造方法可以進一步包含：從與第一噴嘴不同的第三噴嘴噴射分散有複數個粒子的第三油墨至第二區域。
第一出射光及第二出射光的資料的獲取可以包含：照射第一光及第二光至從第三噴嘴噴射的第二油墨，以獲取從第三油墨發射的第三出射光及第四出射光的資料，並且確定步驟可以包含根據第三出射光及第四出射光的資料來計算第三油墨中的粒子濃度，並且確定濃度是否超出參考值的誤差範圍。
將在下文中將參照示出本揭露的實施例的附圖以更完整地說明本揭露。然而，本揭露可以以不同的形式實現並且不應被解釋為限定於本文中所闡述的實施例。相反地，提供這些實施例是為了使得本揭露更加透徹且完整，並將本揭露的範圍完整地傳達給本領域具有通常知識者。
可以理解的是，當一個層被稱作在另一層或基板「上(on)」時，其可以直接在另一層或基板上，或者可以存在中間層。在整個說明書中，相同的元件符號表示相同的元件。
可以理解的是，儘管在本文中可以使用術語「第一」、「第二」等來說明各種組件，但這些組件不應受到這些術語的限定。這些術語用於將一個元件與另一個元件區分開。舉例來說，在不脫離本揭露的教示的情況下，在下文中所討論的第一元件可以稱作第二元件。同樣地，第二元件也可以稱作第一元件。
在本文中使用的術語僅用於說明特定實施例的目的，並非旨在限制。如本文中使用的，「一(a)」、「一(an)」、「該(the)」及「至少一個(at least one)」不表示數量上的限制，並且意圖包含單數及複數，除非上下文明確地另外指出。例如，「一元件(an element)」具有與「至少一個元件(at least one element)」相同的含義，除非上下文明確地另外指出。「至少一個(at least one)」不應解釋為限制於「一個(a)」或「一個(an)」。如本文中使用的，術語「及/或(and/or)」包含一個或多個相關的所列項目的任意及所有組合。可以進一步理解的是，當在本說明書中使用術語「包含(comprises)」、「包含(comprising)」、「包含(includes)」及/或「包含(including)」時，指定所陳述的特徵、區域、整體、步驟、操作、元件及/或組件存在，但不排除一個或多個其他特徵、區域、整體、步驟、操作、元件及/或組件的存在或添加。如本文中使用的，「約(about)」或「大約(approximately」包含所述值，並且表示在由本領域具有通常知識者所確定的特定值的可接受偏差範圍內，其考量到相關的測量以及與特定量的測量相關的誤差(即，測量系統的限制)。例如，「約(about)」可以表示在一個或多個標準差內，或在所述值的±30%、20%、10%、5%內。在下文中，將參照附圖來說明實施例。
第1圖為根據一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖。第2圖為根據一個實施例的油墨濃度測量裝置的配置示意圖。
參照第1圖及第2圖，噴墨印刷裝置10包含噴墨頭PA及油墨濃度測量裝置100。噴墨頭PA可以透過噴嘴(未示出)噴射其中分散有複數個粒子(第3圖中的「PT」)的油墨DL。從噴墨頭PA噴射的油墨DL可以噴塗至印刷目標物件上，並且可以根據油墨DL的材料種類在目標物件上形成層或圖案。在圖式中，在噴墨印刷裝置10中僅示出了噴射油墨DL的噴墨頭PA及油墨濃度測量裝置100，但噴墨印刷裝置10可以進一步包含噴墨頭PA以外的裝置。
油墨濃度測量裝置100包含光照射裝置110、感測裝置130及處理器150。油墨濃度測量裝置100可以透過使用光照射裝置110及感測裝置130來獲取作為測量目標的油墨DL光學資料，並且可以從所獲取的資料感測油墨DL中的粒子濃度及濃度變化。根據一個實施例的油墨濃度測量裝置100可以獲取諸如包含在作為測量目標的油墨DL中的粒子數量(第3圖中的「PT」)的變化、以及油墨的液滴體積及速度，並且可以從資料來確定油墨的每單位液滴的分散粒子的濃度變化。
根據一個實施例的油墨濃度測量裝置100的測量目標可以為分散有複數個粒子PT的油墨DL，也可以為從噴墨頭PA噴射的油墨DL。在實施例中，噴墨頭PA可以包含複數個噴嘴或噴射單元以同時從各噴嘴噴射油墨DL。從噴墨頭PA噴射的油墨DL可以包含溶劑(第3圖中的「SV」)以及分散在其中的複數個粒子PT，並且噴射的油墨DL可以噴射至印刷物件上，例如目標基板，以形成包含粒子PT的層或圖案。為了維持由油墨DL形成的層或圖案的均勻品質，當重複印刷製程時，期望從噴墨頭PA噴射的油墨DL的每單位液滴的粒子PT的數量或濃度為均勻的。具體而言，隨著此製程的重複，分散在液體狀態的油墨DL中的粒子PT可能在油墨DL中沉澱，並且從噴墨頭PA噴射的油墨DL的每單位液滴的粒子PT的數量可能發生變化。
根據一個實施例的油墨濃度測量裝置100可以嵌入至包含噴墨頭PA的噴墨印刷裝置10中，並且可以在噴墨頭PA的印刷製程中即時地感測從噴墨頭PA噴射的油墨DL的每單位液滴的粒子PT的數量或者油墨DL中的粒子PT的濃度變化。油墨濃度測量裝置100可以基於感測到的粒子PT的濃度變化向噴墨頭PA提供回饋，以維持從噴墨頭PA噴射的油墨DL中的粒子PT的均勻濃度。
光照射裝置110可以使用光來照射從噴墨頭PA噴射的油墨DL。光照射裝置110可以照射光L至照射區域SA，其設置在從噴墨頭PA噴射的油墨DL通過的路徑中，並且從光照射裝置110照射的光L可以穿透過照射區域SA入射至油墨DL上。光照射裝置110可以設置在能夠將光L照射至從噴墨頭PA噴射的油墨DL所通過的路徑上的位置。例如，當油墨DL在第一方向DR1上從噴墨頭PA噴射時，光照射裝置110可以在與第一方向DR1不同的方向上照射光L。例如，光照射裝置110可以在與第一方向DR1垂直的第二方向DR2上照射光L，並且設置為與油墨DL的噴射路徑分隔開。光照射裝置110可以不設置在從噴墨頭PA噴射油墨DL的第一方向DR1上，並且可以設置為在第二方向DR2上與噴墨頭PA的下部分隔開。然而，本揭露不限定於此，光照射裝置110與噴墨頭PA的配置關係可以與圖式中所示的不同。
從光照射裝置110照射至油墨DL的光L可以被油墨DL反射、折射或散射，並且出射光SL(在下文中稱作「來自油墨DL的出射光」)可以入射至感測裝置130上。感測裝置130可以感測來自油墨DL的出射光SL的量、強度、散射強度等。
光照射裝置110及感測裝置130可以設置在易於使用光來照射油墨DL或者感測出射光SL的位置。例如，當油墨DL在第一方向DR1上從噴墨頭PA噴射時，光照射裝置110可以在與第一方向DR1不同的方向上照射光L，並且感測裝置130可以設置為相對於油墨DL的噴射路徑而面對光照射裝置110。例如，當光照射裝置110設置為與在第二方向DR2的一側噴射油墨DL所通過的路徑分隔開時，感測裝置130設置為與在第二方向DR2的另一側噴射油墨DL所通過的路徑分隔開，使得光照射裝置110及感測裝置130可以彼此面對。雖然圖式示出了光照射裝置110及感測裝置130相對於油墨DL的噴射路徑設置在相反的方向上，但本揭露不限定於此。在一些實施例中，油墨濃度測量裝置100可以進一步包含能夠在特定方向上反射或匯聚來自油墨DL的出射光SL的裝置，並且在此情況下，可以變更感測裝置130的佈置。
從光照射裝置110照射的光L在穿透過油墨DL時可以被分散在油墨DL中的粒子PT所散射或折射。入射至油墨DL上的光L的散射強度可以根據分散在油墨DL中的粒子PT的量或濃度而變化。當光照射裝置110照射預定強度範圍或波長帶中的光L時，由感測裝置130感測的出射光SL的強度及散射強度可以根據分散在油墨DL中的粒子的數量或濃度而變化。
第3圖及第4圖為照射在分散於油墨中的粒子上的光發生散射的示意圖。第3圖及第4圖分別示出了從光照射裝置110照射的光L被油墨DL散射。第3圖例示了在油墨DL中的分散粒子PT的數量少於第4圖所示的油墨DL的情況。
參照第3圖及第4圖，從噴墨頭PA噴射的油墨DL可以處於溶液或膠體狀態。油墨DL可以包含溶劑SV以及分散在溶劑SV中的複數個粒子PT。在一個實施例中，溶劑SV可以是丙酮、水、醇類、甲苯、丙二醇(propylene glycol，PG)或丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl acetate，PGMA)、三乙二醇單丁醚(triethylene glycol monobutyl ether，TGBE)、二乙二醇單苯醚(diethylene glycol monophenyl ether，DGPE)、醯胺溶劑、二羰基溶劑、二甘醇二苯甲酸酯(diethylene glycol dibenzoate)、三羰基溶劑、檸檬酸三乙酯、苯二甲酸酯溶劑(phthalate solvents)、鄰苯二甲酸丁苄酯(benzyl butyl phthalate)、鄰苯二甲酸二(2-乙基己基)酯(bis(2-ethylhexyl) phthalate, bis(2-ethylhexyl) isophthalate)、間苯二甲酸二(2-乙基己基)酯(bis(2-ethylhexyl) isophthalate)、鄰苯二甲酸單乙二醇酯(ethyl phthalyl ethyl glycolate)、或其相似物，但不限定於此。複數個粒子PT可以為無機粒子或有機粒子，例如量子點、散射體或無機半導體粒子。分散及噴射於油墨DL中的粒子PT的類型可以根據將使用噴墨頭PA來形成的層或圖案的類型而變更。在實施例中，由噴墨印刷裝置10在油墨DL中分散及噴射的粒子PT可以為量子點材料，例如氧化鈦(TiO 2)、氧化鋯(ZrO 2)、氧化鋁(Al 2O 3)、氧化銦(In 2O 3)、氧化鋅(ZnO)、氧化錫(SnO 2)，可以為分散體，例如丙烯酸樹脂或聚氨酯樹脂、IV族奈米晶體、II-VI族化合物奈米晶體、III-V族化合物奈米晶體、IV-VI族奈米晶體、或其組合。或者，當粒子PT為無機半導體粒子時，粒子PT可以為包含鎵(Ga)以作為具有微米至奈米尺寸的無機發光元件的無機半導體粒子。
與分散在油墨DL中的粒子PT的種類無關，入射至油墨DL的散射光(出射光SL)的強度或量、以及散射強度將根據粒子PT的數量或濃度而不同。隨著油墨DL中的粒子PT的數量增加，入射至油墨DL上的光L的散射強度以及散射光(出射光SL)的強度及散射強度可以增加。油墨濃度測量裝置100可以進一步包含處理器150，以根據從感測裝置130獲得的光學資料來感測或計算油墨DL中的粒子PT的濃度變化。
處理器150可以接收關於入射至感測裝置130上的出射光SL的資料。處理器150可以根據已輸入的出射光資料來感測油墨DL中的粒子PT的濃度變化。處理器150可以包含從由感測裝置130獲取的光學資料中選擇來自油墨DL的出射光SL的資料的演算法，以及從出射光SL的資料計算油墨DL中的粒子PT的濃度變化的演算法。例如，不僅來自油墨DL的出射光SL，並且根據感測裝置130及光照射裝置110的佈置而從光照射裝置110照射的光L也可以入射至感測裝置130上。處理器150可以基於諸如從光照射裝置110照射的光L的行進路徑、強度及散射強度等資料，從入射至感測裝置130上的光的資料中選擇來自油墨DL的出射光SL的資料。可以基於來自油墨DL的出射光SL的資料來感測油墨DL中的粒子PT的濃度變化。
透過使用油墨濃度測量裝置100來執行的油墨DL中的粒子PT的濃度測量是為了在噴墨頭PA中的油墨DL的噴射製程進行的同時感測油墨DL中的粒子PT的濃度變化，並且維持由噴墨頭PA噴射的油墨DL包含每單位液滴均勻數量的粒子PT。在上述製程中，可以由感測裝置130獲取的資料為關於來自油墨DL的出射光SL的強度及量以及散射強度的資料。油墨濃度測量裝置100可以基於所獲取的光學資料提取或計算油墨DL的每單位液滴的粒子PT的數量及濃度的資料，並且從資料中確定粒子PT的濃度變化是否超出參考值，從而可以執行控制噴墨頭PA的演算法。在下文中將參照其他圖式來說明由油墨濃度測量裝置100執行的濃度測量方法。
另一方面，由油墨濃度測量裝置100感測的油墨DL中的粒子PT的變化資料為從噴墨頭PA噴射的每單位墨滴的油墨DL的粒子PT的數量變化，並且可以為油墨DL中的粒子PT的濃度變化資料。從噴墨頭PA噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度的變化可以分別與單次噴射的油墨DL的液滴體積以及包含在單次噴射的油墨DL中的粒子PT的數量相關聯。當粒子PT沉澱在從包含在噴墨頭PA中的管道流出的油墨DL中時，單次噴射的油墨DL中的粒子PT的數量可能發生變化。此外，當在噴墨頭PA中噴射油墨DL的噴嘴中形成有異物而改變單次噴射的油墨DL的量時，每單位時間噴射的粒子PT的數量也可能發生變化。這些變化可能導致從噴墨頭PA單次噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度發生變化，使得使用噴墨頭PA形成的層或圖案的品質可能不均勻。油墨濃度測量裝置100可以即時感測從噴墨頭PA單次噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度變化，並提供回饋至噴墨頭PA。
根據一個實施例的油墨濃度測量裝置100可以包含複數個光照射裝置110及複數個感測裝置130，使得這些裝置可以獲取關於油墨DL的不同的資料。油墨濃度測量裝置100可以透過從噴墨頭PA單次噴射的油墨DL的體積及速度以及與包含在油墨DL中的粒子PT的數量相關聯的資料來感測油墨DL的每單位液滴的粒子PT的濃度變化，並且可以將此變化回饋至噴墨頭PA。
第5圖為根據一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖。
參照第5圖，根據一個實施例的油墨濃度測量裝置100可以包含複數個照射不同的光L1及光L2的光照射裝置110(第一光照射裝置111及第二光照射裝置113)，以及分別透過從光照射裝置111及113照射的光L1及L2來感測來自油墨DL的出射光SL1及SL2的複數個感測裝置130(第一感測裝置131及第二感測裝置133)。彼此不同的光照射裝置110及感測裝置130可以分別從由噴墨頭PA噴射的油墨DL來獲取彼此不同的資料。
根據一個實施例，光照射裝置110可以包含照射不同波長帶的光的第一光照射裝置111及第二光照射裝置113。感測裝置130可以包含第一感測裝置131及第二感測裝置133，其中從第一光照射裝置111照射並從油墨DL發射的第一出射光SL1入射至第一感測裝置131上，並且從第二光照射裝置113照射並從油墨DL發射的第二出射光SL2入射至第二感測裝置133上。第一光照射裝置111及第一感測裝置131可以成對地來獲取與分散在油墨DL中的粒子PT的數量相關聯的資料，並且第二光照射裝置113及第二感測裝置133可以成對地來獲取與單次噴射的油墨DL的體積及速度相關聯的資料。
如上所述，第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以分別設置為在與從噴墨頭PA噴射油墨DL的第一方向DR1不同的方向上照射光L1及L2。例如，第一光照射裝置111及第二光照射裝置113中的每一個可以設置為在第二方向DR2的一側上與從噴墨頭PA噴射的油墨DL所通過的路徑分隔開。第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以使用光L1及L2在第二方向DR2上分別照射設置在油墨DL的噴射路徑中的第一照射區域SA1及第二照射區域SA2。第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以設置在與油墨DL的噴射路徑相同的方向上的一側，並且可以彼此平行地設置在第一方向DR1上，但是本揭露不限定於此。在一些實施例中，第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以不彼此平行設置，或者可以相對於油墨DL的噴射路徑彼此相對設置。
圖式例示了第一光照射裝置111設置為在第一方向DR1上與第二光照射裝置113的一側分隔開，因此設置為相較於第二光照射裝置113而更靠近噴墨頭PA。在設置於噴射油墨DL的區域中的第一照射區域SA1及第二照射區域SA2中，相較於使用第二光照射裝置113的第二光L2照射的第二照射區域SA2，使用第一光照射裝置111的第一光L1照射的第一照射區域SA1可以定位為較靠近噴墨頭PA。然而，本揭露不限定於此，並且在一些實施例中，相較於第一光照射裝置111，第二光照射裝置113可以設置為較靠近噴墨頭PA。
複數個感測裝置130可以設置在來自油墨DL的出射光SL1及SL2可以入射的位置。例如，油墨DL可以在第一方向DR1上從噴墨頭PA噴射，第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以沿第二方向DR2照射光L1及L2，並且感測裝置130可以相對於油墨DL的噴射路徑與光照射裝置110相對設置。第一感測裝置131可以在第二方向DR2上與第一光照射裝置111分隔開，以設置在油墨DL的噴射路徑的相反側，並且第二感測裝置133可以在第二方向DR2上與第二光照射裝置113分隔開，以設置在油墨DL的噴射路徑的相反側。第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以分別在第二方向DR2上面對第一感測裝置131及第二感測裝置133。
根據一個實施例，第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以照射不同波長帶的光。例如，第一光照射裝置111可以照射500奈米(nm)以下的短波長帶的第一光L1，並且第二光照射裝置113可以照射波長較長的長波長帶的第二光L2，其波長約為1000nm或更大。照射至油墨DL的光L1及L2可以被油墨DL及油墨DL中的粒子PT折射或散射以入射至感測裝置130上。由於光L1及L2的波長越短，其可能被粒子PT散射的越多，因此相較於長波長帶的第二光L2，波長較短的短波長帶的第一光L1可以有利於測量油墨DL中的粒子PT的數量變化。另一方面，長波長帶的第二光L2可以有利於測量噴射油墨DL的尺寸、體積及速度。在一些實施例中，由第一光照射裝置111照射的第一光L1可以為入射至油墨DL上的第一入射光，並且從油墨DL發射的來自第一光L1的第一出射光SL1可以為被油墨DL散射的光。由第二光照射裝置113照射的第二光L2可以為入射至油墨DL上的第二入射光，並且從油墨DL發射的來自第二光L2的第二出射光SL2可以為被油墨DL折射的光。油墨濃度測量裝置100可以包含分別發射不同波長帶的光L1及L2的第一光照射裝置111及第二光照射裝置113，並且可以分別獲取與從噴墨頭PA噴射的油墨DL的尺寸、體積及速度相關聯的資料、以及與油墨DL中的粒子PT數量相關聯的資料。
由從第一光照射裝置111照射的第一光L1產生的第一出射光SL1被油墨DL散射，其可以入射至第一感測裝置131上，並且可以從中獲取與油墨DL中的粒子PT數量相關聯的資料。相較於第一光L1，第一出射光SL1的強度及散射強度越強，則油墨DL中的粒子PT的數量可能越多。第一出射光SL1的強度及散射強度越小，油墨DL中的粒子PT的數量可能越少。由從第二光照射裝置113照射的第二光L2產生的第二出射光SL2被油墨DL散射，其可以入射至第二感測裝置133上，並且可以從中獲取油墨DL中與尺寸、體積及速度相關聯的資料。
油墨濃度測量裝置100的處理器150可以基於從第一感測裝置131及第二感測裝置133獲取的第一出射光SL1及第二出射光SL2的資料來感測油墨DL中的粒子PT的濃度變化。由第一感測裝置131及第二感測裝置133分別獲取的第一出射光SL1及第二出射光SL2的資料可以為關於光的強度、散射強度、光的入射方向等的資料。當執行從噴墨頭PA噴射油墨DL的製程時，處理器150可以處理透過在各噴射製程中使用光來照射油墨DL而獲取的資料，可以計算相較於初始值或預設值的差異，並且可以計算油墨DL中的粒子PT的濃度。
例如，當使用與在噴墨頭PA的初始噴射製程中噴射的油墨DL的粒子PT的尺寸、體積及速度、及數量相關聯的資料來設定與油墨DL中的粒子PT的濃度相關聯的資料時，處理器150可以根據在各噴射製程中發生變化的與油墨DL的粒子PT的尺寸、體積及速度、以及數量相關聯的資料來計算與油墨DL中的粒子PT的濃度變化量相關聯的資料。或者，當在處理器150中儲存有與在噴墨頭PA的印刷製程中單次噴射的油墨DL的粒子PT的尺寸、體積及速度相關聯的數值時，處理器150可以透過將從各噴射製程獲取的與油墨DL相關聯的資料與儲存的資料進行比較，來計算與油墨DL中的粒子PT濃度相關聯的資料。在下文中，將參照其他附圖對其進行更詳細的說明。
根據一個實施例的噴墨印刷裝置10可以包含油墨濃度測量裝置100，其即時感測從噴墨頭PA噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度，從而在重複的印刷製程中均勻地維持油墨DL中的粒子PT的濃度。當透過使用噴墨印刷裝置10來形成包含粒子PT的層或圖案時，透過印刷製程所形成的產品具有可以均勻地維持層及圖案的品質的優點。
第6圖為根據另一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖。
參照第6圖，在根據一個實施例的噴墨印刷裝置10中，第二光照射裝置113及第二感測裝置133可以設置為相較於第一光照射裝置111及第一感測裝置131更靠近噴墨頭PA。油墨DL在噴墨頭PA的第一方向DR1上噴射，光照射裝置110分別使用光L1及L2照射的第一照射區域SA1及第二照射區域SA2位於噴墨頭PA的油墨DL的噴射路徑中。在本實施例中，第二照射區域SA2可以相較於第一照射區域SA1更靠近噴墨頭PA。只要噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100包含第一光照射裝置111及第二光照射裝置113，並且能夠透過照射不同波長帶的光L1及L2來獲取油墨DL的各種資料，其相對配置可以不受特別的限制。除了第二光照射裝置113與第二感測裝置133、以及第一光照射裝置111與第一感測裝置131的相對配置不同之外，本實施例與第5圖的實施例相同。
由於第二光照射裝置113及第二感測裝置133設置為更靠近噴墨頭PA，因此噴墨印刷裝置10具有能夠更容易地獲取與從油墨濃度測量裝置100噴射的油墨DL的尺寸、體積及速度相關聯的資料的優點。在油墨DL從噴墨頭PA噴射後，油墨DL的液滴的物理性質可能由於設置在目標基板上的印刷目標物件或其他外部因素而改變。可以從第一光照射裝置111及第一感測裝置131獲取的與油墨DL中的粒子PT的數量相關聯的資料可以幾乎為恆定的，其與從噴墨頭PA噴射後的油墨DL的液滴的物理特性不相關。因此，在噴墨印刷裝置10中，第二光照射裝置113及第二感測裝置133可以設置為更靠近噴墨頭PA的位置，以獲取第二出射光SL2，其為與油墨DL從噴墨頭PA噴射後立即的尺寸、體積及速度相關聯的資料。
第7圖為根據又另一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖。第8圖為透過在第7圖的噴墨印刷裝置中的反射器而反射的光的傳播的示意圖。
參照第7圖及第8圖，在根據一個實施例的噴墨印刷裝置10中，油墨濃度測量裝置100可以進一步包含反射器190，其能夠將透過第一光照射裝置110照射而來自油墨DL的出射光SL匯聚至特定的區域。
反射器190可以具有具彎曲外表面的半圓形形狀，並且可以圍繞從噴墨頭PA噴射的油墨DL所通過的噴射路徑。從噴墨頭PA噴射的油墨DL可以被噴射以通過反射器190的曲率中心，並且從光照射裝置110照射的光L可以在油墨DL中散射或折射以作為出射光SL入射至反射器190上。反射器190可以包含具有高反射率的材料以將來自油墨DL的出射光SL反射至與光L的入射方向相反的方向上。
反射器190可以設置在能夠反射來自油墨DL的出射光SL的位置。例如，在光照射裝置110設置為在第二方向DR2上與油墨DL的噴射路徑分隔開的實施例中，反射器190可以形成為相對於油墨DL的噴射路徑朝向光照射裝置110的相反側彎曲。反射器190可以設置為使得曲率中心位於油墨DL的噴射路徑上，並且可以在與相對於油墨DL的噴射路徑設置的第一光照射裝置110的方向相反的方向上具有凸出的形狀。從第一光照射裝置110照射的來自油墨DL的出射光SL可以朝向反射器190的凹部內側行進。
此外，出射光SL可以在設置有光照射裝置110的方向上從反射器190反射。與第1圖及第5圖的實施例不同的是，出射光SL所指向的方向為光照射裝置110的設置方向，因此根據一個實施例的感測裝置130可以設置在同一方向以作為相對於油墨DL的噴射路徑的光照射裝置110。反射器190可以將來自油墨DL的出射光SL反射至設置於設有光照射裝置110的部分中的任意區域，例如感測區域SS，並且感測裝置130可以感測入射至感測區域SS上的出射光SL，光照射裝置110及感測裝置130可以不在第二方向DR2上彼此面對，而是可以平行地設置在油墨DL的噴射路徑的一側。
反射器190可以將從光照射裝置110照射的光L及來自油墨DL的出射光SL反射朝向感測區域SS，從而可以引起光的匯聚效應(condensing effect)。感測裝置130可以透過僅感測入射至由反射器190反射的光所指向的感測區域SS的光，來獲取關於來自油墨DL的出射光SL的資料。噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100進一步包含反射器190，並且具有能夠提高感測裝置130獲取的資料的準確度及精確度的優點。
第9圖及第10圖為根據另一實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖。
參照第9圖及第10圖，在根據一個實施例的噴墨印刷裝置10中，油墨濃度測量裝置100可以包含至少一個反射器190(第一反射器191及第二反射器193)，以提高透過第一感測裝置131及第二感測裝置133獲取的資料的準確度(accuracy)及精確度(precision)。
在第9圖的實施例中，油墨濃度測量裝置100可以包含一個反射器190並且可以設置為面對第一光照射裝置111。第一光照射裝置111及反射器190可以設置為在第二方向DR2上彼此面對，並且第一感測裝置131可以與第一光照射裝置111平行地設置在油墨DL的噴射路徑的一側，而不在第二方向DR2上彼此面對。另一方面，如在第6圖的實施例中，第二光照射裝置113及第二感測裝置133可以設置為在第二方向DR2上彼此面對。
在第10圖的實施例中，油墨濃度測量裝置100可以包含第一反射器191及第二反射器193。第一反射器191可以設置為面對第一光照射裝置111，並且第二反射器193可以設置為面對第二光照射裝置113。第一感測裝置131及第一光照射裝置111可以平行地設置在油墨DL的噴射路徑的一側，而不在第二方向DR2上彼此面對。第二感測裝置133及第二光照射裝置113可以平行地設置在油墨DL的噴射路徑的一側，而不在第二方向DR2上彼此面對。
第11圖為根據另一實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖。
參照第11圖，在根據一個實施例的噴墨印刷裝置10中，第一光照射裝置111及第二光照射裝置113可以分別使用光L1及L2照射相同的照射區域SA。當第一光照射裝置111及第二光照射裝置113分別照射光L1及L2以指向不同方向時，儘管第一光照射裝置111及第二光照射裝置113使用光來照射相同的照射區域SA，但不同的感測裝置(第一感測裝置131及第二感測裝置133)可以分別感測到不同的出射光SL1及SL2。當一個光照射裝置111繞過另一光照射裝置113的光傳播路徑來使用光照射油墨DL時，不同的光照射裝置111及113可以同時地使用光來照射位於相同區域的油墨DL，並且不同的感測裝置131及133可以個別地獲取出射光SL1及SL2的資料。
例如，當油墨DL從噴墨頭PA噴射並且位於任意的照射區域SA時，第一光照射裝置111可以在第二方向DR2上照射第一光L1。在第二方向DR2上照射的第一光L1可以從油墨DL散射，並且可以被導向反射器190。當從反射器190反射的第一出射光SL1入射至感測區域(未示出)上時，第一感測裝置131可以感測第一出射光SL1。第一感測裝置131可以與第一光照射裝置111平行地設置在油墨DL的噴射路徑的一側。從第一光照射裝置111照射的第一光L1可以為具有短波長的雷射，並且從第一感測裝置131獲取的關於第一出射光SL1的資料可以為與油墨DL中的粒子PT的數量相關聯的資料。
與第5圖的實施例不同的是，當油墨DL從噴墨頭PA噴射並且位於任意的照射區域SA中時，第二光照射裝置113可以在第一方向DR1與第二方向DR2之間的方向上照射第二光L2。從第二光照射裝置113照射的第二光L2可以不朝向反射器190，而是可以朝向設置為面對第二光照射裝置113的第二感測裝置133。
當第二光照射裝置113設置為在第一方向DR1上與第一光照射裝置111分隔開，並且使用第二光L2照射位於第一光照射裝置111的第二方向DR2上的照射區域SA時，第二光L2可以從第一光照射裝置111的下側(例如，在第一方向DR1上的另一側)被導向至反射器190的上側(例如，在第一方向DR1上的一側)。第二感測裝置133可以設置為相對於照射區域SA面向第二光照射裝置113，並且可以設置在反射器190的上側(在第一方向DR1上的一側)。導向照射區域SA的第二光L2可以不導向反射器190，而是可以導向第二感測裝置133。從第二光照射裝置113照射的第二光L2可以為具有長波長的雷射，並且從第二感測裝置133獲取的第二出射光SL2的資料可以為與油墨DL的尺寸、體積及速度相關聯的資料。
當第一光照射裝置111使用第一光L1照射反射器190時，第一光照射裝置111及第一感測裝置131可以平行地設置在油墨DL的噴射路徑的一側。另一方面，由於第二光照射裝置113沿傾斜方向照射第二光L2，使其不被導向至反射器190，因此第二光照射裝置113及第二感測裝置133可以相對於油墨DL的噴射路徑彼此相對設置，並且可以彼此面對。在根據實施例的噴墨印刷裝置10中，不同的光照射裝置111及113可以同時使用光L1及L2來照射放置在相同照射區域SA中的油墨DL，並且可以獲取出射光SL1及SL2的資料。光照射裝置111及113以及感測裝置131及133可以具有對應的配置。
在下文中，將進一步參照其他附圖來說明使用噴墨印刷裝置10的油墨印刷方法。
第12圖為根據一個實施例的使用噴墨印刷裝置的油墨印刷方法的流程圖。
參照第12圖，使用根據一個實施例的噴墨印刷裝置10的油墨印刷方法包含從噴墨頭PA噴射油墨DL(步驟S10)，使用光L1及L2照射噴射的油墨DL以獲取出射光SL1及SL2的資料(步驟S20)，以及確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否偏離參考值(步驟S30)。在油墨濃度測量裝置100中，處理器150感測油墨DL中的粒子PT的濃度及濃度變化，並且根據感測到的濃度值是否偏離參考值，印刷製程可以繼續進行並且從噴墨頭PA噴射油墨DL(步驟S10)，或者可以包含透過將當前濃度回饋至噴墨頭PA來控制將噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度(步驟S40)。
噴墨印刷裝置10可以用於在印刷目標產品，例如目標基板，上形成包含粒子PT的層或圖案的製程中執行噴墨印刷製程。噴墨印刷裝置10可以將其中分散有粒子PT的油墨DL從噴墨頭PA噴射至目標基板上，並且可以對放置在目標基板上的油墨DL執行後處理製程以形成包含粒子PT的層或圖案。
根據一個實施例的油墨印刷方法可以包含感測包含在油墨DL中的粒子PT的濃度變化，或者在形成包含粒子PT的層或圖案的印刷製程期間測量濃度。如在上述實施例中所述，包含油墨濃度測量裝置100的噴墨印刷裝置10可以透過測量從噴墨頭PA噴射的油墨DL的液滴及粒子PT的變化來感測油墨DL中的粒子PT的濃度，並且可以透過將濃度回饋至噴墨頭PA來維持將噴射的油墨DL中的粒子PT的均勻濃度。在下文中，將進一步參照其他附圖來說明利用噴墨印刷裝置10的油墨印刷方法。
第13圖至第16圖為依序示出根據一個實施例的油墨印刷方法的示意圖。第13圖至第16圖依序示出了使用第9圖的噴墨印刷裝置10的油墨印刷方法。
首先，參照第13圖，從噴墨印刷裝置10的噴墨頭PA噴射油墨DL(步驟S10)。如上所述，油墨DL可以包含溶劑SV以及分散在溶劑SV中的複數個粒子PT。儘管在圖中未示出，油墨DL可以容置於包含在噴墨印刷裝置10中的油墨儲存單元中，並且可以接續透過管道注入至噴墨頭PA中。油墨DL可以透過包含在噴墨頭PA中的複數個噴嘴來噴射，並且可以噴塗至作為印刷目標物件的目標基板(未示出)上。
油墨DL可以在第一方向DR1上從噴墨頭PA噴射。油墨DL可以從噴墨頭PA噴射，且通過由油墨濃度測量裝置100的光照射裝置110(第一光照射裝置111及第二光照射裝置113)的光照射的第一照射區域SA1及第二照射區域SA2，並且噴射至目標基板上。
接下來，參照第14圖，當從噴墨頭PA噴射的油墨DL通過第一照射區域SA1時，第一光照射裝置111可以使用第一光L1照射第一照射區域SA1，並且第一感測裝置131可以獲取關於從油墨DL散射的第一出射光SL1的資料(步驟S20)。在噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100包含面向第一光照射裝置111的一個反射器190的實施例中，油墨DL被噴射以通過反射器190的曲率中心，並且當油墨DL位於第一照射區域SA1中時，第一光照射裝置111可以照射第一光L1。
在一些實施例中，反射器190的曲率中心可以與第一照射區域SA1重疊，並且當油墨DL放置在反射器190的曲率中心時，可以照射第一光L1。從第一光照射裝置111照射的第一光L1可以被油墨DL散射並且可以作為第一出射光SL1來導向至反射器190。反射器190可以反射第一出射光SL1，並且第一感測裝置131可以感測從反射器190反射的第一出射光SL1。
由第一感測裝置131感測的第一出射光SL1的資料可以為與油墨DL中的粒子PT的數量相關聯的資料。當油墨DL中的粒子PT的數量較多時，第一出射光SL1的強度及散射強度可能較大，而當油墨DL中的粒子PT的數量較少時，第一出射光SL1的強度及散射強度可能較小。
接下來，參照第15圖，當從噴墨頭PA噴射的油墨DL通過第二照射區域SA2時，第二光照射裝置113可以使用第二光L2來照射第二照射區域SA2，並且第二感測裝置133可以獲取從油墨DL折射的第二出射光SL2的資料(步驟S20)。在噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100設置為使得第二光照射裝置113及第二感測裝置133彼此面對的實施例中，照射至第二照射區域SA2的第二光L2可以為油墨DL折射以作為第二出射光SL2入射至第二感測裝置133上。第二感測裝置133可以感測第二出射光SL2以獲取關於油墨DL的尺寸、體積及速度的資料。
接下來，參照第16圖，油墨濃度測量裝置100的處理器150可以從感測裝置130獲取的出射光SL1及SL2的資料中感測油墨DL中的粒子PT的濃度，並且可以確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否偏離參考值(步驟S30)。處理器150可以根據由第一感測裝置131獲取的第一出射光SL1的資料來計算油墨DL中的粒子PT的數量的變化量，且可以根據由第二感測裝置133獲取的第二出射光SL2的資料來計算出從噴墨頭PA噴射的油墨DL的尺寸及體積，並且可以根據計算值來計算粒子PT的濃度及濃度的變化量。
根據一個實施例，由處理器150計算出的粒子PT的濃度變化量可以透過將由感測裝置130獲取的出射光SL1及SL2的資料與在各印刷製程中獲取的資料進行比較來計算，並且粒子PT的濃度可以為透過與在印刷製程之前儲存於處理器150中的參考值進行比較而計算出的值。在處理器150中，當油墨DL中的粒子PT的濃度達到印刷製程所需的範圍時，使用光L1及L2照射相應的油墨DL時所出現的出射光SL1及SL2的資料可以被儲存。隨著油墨DL的印刷製程的進行，處理器150可以以與先前儲存的參考值資料相同的格式來過濾從感測裝置130獲取的出射光SL1及SL2的資料，並且可以透過相互比對(mutual comparison)的方法來確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否超出參考值的誤差範圍(步驟S30)。
第17圖及第18圖為根據使用噴墨印刷裝置測量的油墨中的粒子濃度的出射光資料的圖表。
第17圖及第18圖為示出當從光照射裝置110照射的光L1及L2被油墨散射或折射並且作為出射光SL1及SL2入射至感測裝置130上時，根據油墨DL中的粒子PT濃度的出射光SL1及SL2的正規化強度(normalized intensity)的圖表。在第17圖的圖表中，作為Y軸坐標的「正規化散射強度(Normalized Scattering Intensity)」透過對當第一光L1(短波長光)照射時的第一出射光SL1的散射強度進行正規化來表示。可以看出的是，當第一出射光SL1的正規化強度具有接近「1.0」的值時，光線小程度被油墨DL散射，並且當第一出射光SL1的正規化強度指示的值遠離「1.0」時，光線大程度被油墨DL散射。
第18圖示出了相對於第17圖的第一出射光SL1的正規化強度的標準偏差值的計算。在第18圖中，較大的標準偏差值可以表示著較大的油墨DL散射強度，較小的標準偏差值可以表示較小的油墨DL散射強度。
參照第17圖及第18圖，可以看出的是，隨著油墨DL中的粒子PT濃度增加，檢測到了更多的表示第一出射光SL1的正規化強度具有遠離「1.0」的值的光。相反地，可以看出的是，隨著油墨DL中的粒子PT的濃度降低，檢測到了更多的表示第一出射光SL1的正規化強度具有接近「1.0」的值的光。此外，可以看出的是，隨著油墨DL中的粒子PT濃度降低，散射光的正規化強度的標準偏差值變小，並且隨著油墨DL中的粒子PT濃度增加，散射光的正規化強度的標準偏差值變大。
在包含在噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100中的處理器150中，可以儲存有根據油墨DL中的粒子PT的濃度的出射光資料。例如，在將從噴墨印刷裝置10的噴墨頭PA噴射的油墨DL具有4重量百分比(wt%)的粒子PT濃度設置為參考值的情況下，可以將油墨DL的粒子PT濃度為4wt%的資料值作為資料儲存在處理器150中，如第17圖及第18圖所示。
在執行油墨的印刷製程時從第一感測裝置131及第二感測裝置133獲取的出射光SL1及SL2的資料可以包含在處理器150中以作為散射光的正規化強度及正規化強度的標準偏差值，如第17圖及第18圖所示。在第一感測裝置131中，粒子PT的數量資料是作為短波長光的第一出射光SL1的資料來獲取的，其可以透過由第二感測裝置133處的長波長光所產生的第二出射光SL2的油墨DL的體積資料來進行補償。當油墨DL的體積及大小被簡單地忽略並且參考值資料僅與第一出射光SL1的資料進行比較時，不考慮根據油墨DL的每單位液滴的體積變化的變化量，且因此在誤差範圍確定方面可能存在有誤差。因此，處理器150可以綜合地過濾從第一感測裝置131及第二感測裝置133中的每一個獲取的資料，以計算出射光SL1及SL2的強度以及強度的標準偏差值。
接下來，處理器150將從出射光資料計算出的值與儲存的參考值進行比較，以確定這些值是否超出誤差範圍。在此，處理器150中儲存的參考值可以為使用噴墨印刷裝置10的使用者所設定的值。然而，本揭露不限定於此，參考值可以為噴墨印刷裝置10在重複進行印刷製程時所學習的設定值。
根據一實施例，處理器150除了儲存油墨DL中的粒子PT濃度的參考值資料之外，可以進一步儲存誤差範圍的資料值。可以儲存在處理器150中的參考值資料可以為關於作為油墨DL的出射光資料的散射光的正規化強度(第17圖)及正規化強度的標準偏差值(第18圖)的資料，並且處理器150可以儲存基於各資料的誤差範圍。處理器150可以根據油墨DL中的粒子PT的濃度將出射光的正規化強度及標準偏差值儲存為一個或複數個資料。例如，除了用作參考值的4wt%濃度的油墨DL的資料之外，處理器150可以進一步儲存1wt%、2wt%、3wt%、5wt%、6wt%等資料以作為參考值的誤差範圍內的資料，以及誤差範圍外的資料。
除了參考圖式所說明的情況之外，大量的資料值可以儲存在處理器150中。因此，相較於在印刷製程中計算的值僅與誤差範圍內的參考值進行比較的情況，處理器150透過與不同濃度範圍的資料值進行比較，而可以更準確地計算在製程中噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度。
當處理器150將根據出射光資料計算的值與儲存的參考值及附加資料進行比較，且處理器150確定計算值相較於參考值超出誤差範圍值時，處理器150可以透過將相應的結果回饋至噴墨頭PA來控制油墨DL中的粒子PT的濃度(步驟S40)。例如，當處理器150根據出射光資料計算的值指示粒子PT的濃度低於參考值時，處理器150可以提供回饋至噴墨頭PA以增加油墨DL中的粒子PT的濃度。相反地，當處理器150根據出射光資料計算的值指示粒子PT的濃度高於參考值時，處理器150可以提供回饋至噴墨頭PA以降低油墨DL中的粒子PT的濃度。或者，當確定處理器150根據出射光資料計算的值相較於參考值在誤差範圍內時，可以重複印刷製程而不調整油墨DL中的粒子PT的濃度。
透過上述製程，可以執行利用噴墨印刷裝置10的油墨印刷方法。根據一個實施例的噴墨印刷裝置10可以包含油墨濃度測量裝置100，以在執行印刷製程時即時計算且感測油墨DL中的粒子PT濃度的變化量。噴墨印刷裝置10具有以下優點，透過將即時感測的變化量回饋至噴墨頭PA，可以均勻地維持由印刷製程形成的產品的品質。
在上述實施例中，噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100可以經過將使用者所設定的參考值資料儲存在處理器150中的製程。然而，本揭露不限定於此，並且，使用噴墨印刷裝置10油墨印刷方法可以進一步包含在將油墨DL印刷在目標產品上之前，將與油墨DL中的粒子PT的濃度相關的初始值儲存在處理器150中。
第19圖為根據另一實施例的使用噴墨印刷裝置的油墨印刷方法的流程圖。
參照第19圖，根據一個實施例的油墨印刷方法可以進一步包含在處理器150中儲存初始值資料(步驟S0)，其作為在第12圖的實施例中在印刷油墨DL於目標產品上的步驟S10至步驟S40之前執行的步驟。儲存初始值資料的步驟S0可以包含從噴墨頭PA噴射其中分散有粒子PT的油墨DL(步驟S1)，使用光L1及L2照射噴射的油墨DL以獲得出射光SL1及SL2的資料(步驟S2)，以及設定油墨DL中的粒子PT濃度的初始值(步驟S3)。雖然圖式示出儲存初始值資料的步驟S0執行了一次，但本揭露不限定於此。儲存初始值資料的步驟S0可以至少執行一次，此步驟可以根據噴墨印刷裝置10的產品規格而重複執行多次。本實施例可以包含透過噴墨印刷裝置10的試運轉來儲存初始值，而無需在處理器150中儲存個別的參考值。噴射其中分散有粒子PT的油墨DL的步驟S1以及使用光L1及L2照射噴射的油墨DL以獲得出射光SL1及SL2的資料的步驟S2與上述參照第12圖至第18圖所說明的實質上相同。將省略其詳細說明。
當製造其中分散有粒子PT的油墨DL時，可以利用噴墨印刷裝置10將初始值儲存在處理器150中，而無需經過從作為個別樣品製造的油墨DL產生出射光資料的實驗。因此，相較於在第12圖的實施例中的儲存單獨的參考值資料，本實施的優點在於可以設置滿足對應的噴墨印刷裝置10的規格的初始值並且可以更準確地感測粒子PT的濃度。
當確定完成儲存初始值資料的步驟S0時，處理器150將油墨DL噴射至目標產品上，如在第12圖中的實施例所示，並且根據所儲存的初始值針對各印刷製程確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否超出誤差範圍。根據處理器150所確定的結果，噴墨頭PA可以重複油墨DL的噴射，或執行步驟S40來控制注入至噴墨頭PA的油墨DL中粒子PT的濃度。
在上述實施例中，以從一個噴嘴噴射油墨DL為示例來說明噴墨頭PA，但本揭露不限定於此。在另一個實施例中，噴墨頭PA可以包含同時噴射多種油墨DL的複數個噴嘴(圖20中的「NZ」)。從噴墨頭PA的複數個噴嘴NZ噴射的油墨DL中的一部分可以位於相同區域中，並且從複數個不同噴嘴NZ噴射的油墨DL可以在預定區域內形成一個層或圖案。根據一個實施例的噴墨印刷裝置10不僅可以感測針對各噴嘴NZ噴射的每單位液滴的油墨DL的粒子PT的數量或濃度，而且可以感測包含在從複數個噴嘴NZ中噴射的複數個油墨DL中的粒子PT的總數量的變化，或者包含在從噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子的數量差異。
第20圖為包含在根據一個實施例的噴墨印刷裝置的噴墨頭中的複數個噴嘴的佈置的示意圖。第21圖為從包含在第20圖的噴墨頭中的複數個噴嘴的油墨噴射的示意圖。第20圖為從設置有複數個噴嘴NZ的一側的表面觀看的噴墨頭PA的平面圖。
參照第20圖及第21圖，噴墨印刷裝置10的噴墨頭PA可以具有在一個方向上延伸的形狀並且包含在一個方向及另一個方向上佈置的複數個噴嘴NZ。複數個噴嘴NZ可以設置在噴墨頭PA的基部的一個表面上，例如，設置在基部的底面上。複數個噴嘴NZ可以具有從噴墨頭PA的底面部分地凸出的形狀，但不限定於此。例如，複數個噴嘴NZ可以穿透噴墨頭PA的基部的底面並且連接至佈置於噴墨頭PA內部的管道(未示出)。
複數個噴嘴NZ可以佈置在噴墨頭PA延伸的一個方向及垂直於此方向的另一方向上。複數個噴嘴NZ可以在一個方向上佈置為一列、兩列或更多列。在一個噴墨頭PA中，複數種油墨DL可以同時從複數個噴嘴NZ噴射出，並且從不同噴嘴NZ噴射的油墨DL可以位於形成在目標基板SUB上的分別用作印刷目標的不同區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中。
例如，設置在噴墨頭PA中的複數個噴嘴NZ可以被劃分為複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn，其分別將油墨DL噴射至形成在目標基板SUB上的複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn。各噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn可以由一個或複數個噴嘴NZ構成，並且從一個或複數個噴嘴NZ同時噴射的油墨DL可以分別地共同位於目標基板SUB的預定區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中。
屬於噴墨頭PA的第一噴嘴組NG1的複數個噴嘴NZ可以將油墨DL噴射至目標基板SUB的第一區域JA1。屬於第二噴嘴組NG2的複數個噴嘴NZ可以將油墨DL噴射至目標基板SUB的第二區域JA2，並且屬於第三噴嘴組NG3及第n噴嘴組NGn的複數個噴嘴NZ可以將油墨DL分別噴射至目標基板SUB的第三區域JA3及第n區域JAn。可以根據各噴嘴NZ的設置位置及噴射的油墨DL所位於的目標基板SUB的區域JA1、JA2、JA3、…、JAn，以將複數個噴嘴NZ劃分為不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn。然而，本揭露不限定於此，各噴嘴NZ可以根據噴墨印刷裝置10的噴墨頭PA中的預設條件來劃分為不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn。
當複數個噴嘴NZ同時將油墨DL噴射至任意一個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn時，透過均勻地維持各噴嘴NZ的噴射油墨DL中的粒子PT濃度，可以實現透過將油墨DL放置在目標基板SUB上而形成的層或圖案的品質，也可以透過使得從屬於各噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的複數個噴嘴NZ同時噴射的複數個油墨DL中包含的粒子PT的總數量維持一致來實現。例如，由位於目標基板SUB的第一區域JA1中的油墨DL形成的層或圖案的品質，可以透過均勻地維持從屬於第一噴嘴組NG1的噴嘴NZ噴射的油墨DL中包含的粒子PT的總數量來實現。雖然未示出，但與上述實施例相似的，從噴墨頭PA噴射的複數種油墨DL可以透過油墨濃度測量裝置100及其操作來使得油墨DL中的粒子PT的數量或濃度維持恆定。根據一個實施例，在噴墨印刷裝置10中，油墨濃度測量裝置100可以感測從各噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的全部油墨DL中的粒子PT的濃度變化，或者從其他噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度變化，並且可以將此變化回饋至噴墨印刷裝置10。
第22圖為根據一個實施例的油墨印刷方法的部分步驟的順序的流程圖。第22圖更詳細地說明了在步驟S30中執行的確定油墨DL中的粒子PT濃度是否偏離第12圖及第19圖的油墨印刷方法中的參考值的步驟。
參照第22圖，在根據一個實施例的油墨印刷方法中，確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否偏離參考值的步驟S30可以包含在複數個出射光資料中對從屬於相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL的出射光資料進行分類(步驟S31)，根據複數個出射光資料計算各油墨DL中的粒子PT的濃度(步驟S32)，計算從屬於相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子PT數量的彙合資料(summed data)(步驟S33)，並且基於彙合資料來確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否超出誤差範圍(步驟S34)。本實施例與感測各油墨DL的粒子PT的濃度的上述實施例的不同之處在於，在檢測各油墨DL的粒子PT濃度的情況下，感測了從包含複數個噴嘴NZ的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的全部油墨DL的粒子PT數量的變化。
當油墨DL從複數個噴嘴NZ噴射時，在噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100中，光照射裝置110及感測裝置130可以允許獲取來自各油墨DL的出射光資料。這與參照上述實施例所說明的相同。當光照射裝置110使用光照射各油墨DL時，感測裝置130可以獲取關於來自油墨DL的散射或折射光的資料。
接下來，油墨濃度測量裝置100的處理器150將由感測裝置130獲取的各油墨DL的複數個出射光資料分類為從屬於相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL的出射光資料(步驟S31)。例如，從屬於第一噴嘴組NG1的噴嘴NZ噴射的油墨DL的資料可以分類為第一噴嘴組NG1的出射光資料，從屬於第二噴嘴組NG1的噴嘴NZ噴射的油墨DL的資料可以分類為第二噴嘴組NG2的出射光資料。從屬於不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL的資料也可以分別分類為不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的出射光資料。分類為相同的噴嘴組的出射光資料與從其他噴嘴NZ噴射的油墨DL的資料可以共同地視為從屬於對應噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的全部油墨DL的資料。
接下來，根據複數個出射光資料中的每一個來計算油墨DL中的粒子PT的濃度(步驟S32)，並且從屬於相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子PT的彙合資料及數量是由屬於相同組別的出射光資料來計算的(步驟S33)。在此步驟中，計算從相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的全部油墨DL的粒子濃度的資料，而非從各噴嘴NZ噴射的各油墨DL的粒子濃度。例如，除了從屬於第一噴嘴組NG1的複數個噴嘴NZ噴射的油墨DL的粒子PT濃度之外，可以透過將各油墨DL的粒子PT的濃度相加來計算從第一噴嘴組NG1同時噴射的所有油墨DL中的粒子PT的濃度或數量。可以根據從第一噴嘴組NG1噴射的油墨DL來計算第一彙合資料，並且可以根據從第二噴嘴組NG2噴射的油墨DL來計算第二彙合資料。對於其他噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn中的每一個，相似地，可以根據同時噴射的所有油墨DL來計算第n彙合資料。第n彙合資料可以為油墨DL中的粒子PT的濃度的參考資料。
如上所述，由於從屬於相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL最終在目標基板SUB上形成包含粒子PT的層或圖案，因此層或圖案的品質可以根據從屬於任意一個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn中的噴嘴NZ所噴射的全部油墨DL中的粒子PT的濃度而變化，而非根據單一油墨DL中的粒子PT的濃度而變化。儘管各噴嘴NZ所噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度具有變化，但是當從屬於相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的全部油墨DL中的粒子PT的濃度或數量沒有變化時，由從相應噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL所形成的層或圖案可以維持均勻的品質。
根據一個實施例，油墨印刷裝置可以基於從相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL的出射光資料的彙合資料來確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否超出誤差範圍(步驟S34)。雖然從各噴嘴NZ噴設的油墨DL中的粒子PT的數量或濃度具有變化，但是由於從屬於相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的其他噴嘴NZ所產生的粒子PT的數量或濃度的變化，從相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴設的油墨DL的濃度可以不具變化。在此情況下，在對應的印刷製程中噴射的油墨DL中，其噴射的粒子PT在參考值的範圍內，因此可以不控制油墨DL中的粒子PT的數量而重復相同的製程。
相反地，雖然在各油墨DL中產生的粒子PT的數量或濃度的變化落入參考值的範圍內，但是當從相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的所有油墨DL中的粒子PT的數量或濃度的變化偏離參考值時，則可以在下一個製程中控制油墨DL中的粒子PT的濃度。根據一個實施例，在噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100中，除了各油墨DL的每單位液滴中的粒子PT的數量或濃度的參考值之外，處理器150可以進一步儲存從相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的全部油墨DL中的粒子PT的數量或濃度的參考值。在印刷製程中，除了對各噴射的油墨DL的粒子PT濃度的變化進行計算之外，處理器150可以進一步計算從相同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的全部油墨DL的粒子PT的濃度變化。因此，在根據一個實施例的噴墨印刷裝置10中，當向在其上執行印刷製程的目標基板SUB中的各區域JA1、JA2、JA3、…、JAn噴射油墨DL時，透過從複數個噴嘴NZ同時地噴射油墨DL，可以均勻地維持形成於各區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的層或圖案的品質。
另一方面，包含複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的目標基板SUB可以具有透過一種油墨印刷製程形成在各區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的具有相同數量的粒子PT的層或圖案，但本揭露不限定於此。在另一實施例中，例如當從第一噴嘴組NG1及第二噴嘴組NG2噴射的油墨DL在目標基板SUB的第一區域JA1及第二區域JA2中形成層或圖案時，形成在第一區域JA1中的層以及形成在第二區域JA2中的層可以包含實質上相同數量的粒子PT，或者可以不包含實質上相同數量的粒子PT。這可以根據形成在目標基板SUB上的層或圖案的設計條件而變化。當在單次印刷製程中無論區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個的位置為何，各區域JA1、JA2、JA3、…、JAn皆應形成有相同的層或圖案時，從不同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL中的粒子PT的數量或濃度應維持彼此一致。相反地，當在單次印刷製程中需要根據區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個的位置來形成不同的層或圖案時，從不同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL中的粒子PT的數量或濃度應個別地維持一致。
在根據一個實施例的油墨印刷方法中，確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否超出誤差範圍的方法(步驟S34)可以根據在執行油墨印刷製程的目標基板SUB上形成的層或圖案的設計值而不同。
第23圖為第22圖的一個步驟的順序的流程圖。第23圖更詳細地示出了基於第22圖的彙合資料來確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否超出誤差範圍的步驟S34。
結合第22圖並參照第23圖，在一個實施例中，無論區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個的位置為何，都在單次印刷製程中在執行了油墨印刷製程的目標基板SUB上形成相同的層或圖案，確定油墨DL中的粒子PT濃度是否超出誤差範圍的步驟S34可以包含確定從不同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子PT的數量是否彼此相同(步驟S341)，並且確定從噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn中的任意一組的噴嘴NZ所噴射的油墨DL中的粒子PT數量是否超出參考值的誤差範圍(步驟S342)。
在確定從複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn中的每一個噴射的油墨DL是否超出參考值的誤差範圍之前，透過比較從不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL的資料，可以確定從哪個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL是某具有不同的資料值。
由於在單次印刷製程中無論區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個的位置為何，皆應形成相同的層或圖案，因此即使油墨DL從不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射，仍期望油墨DL中的粒子PT的數量或濃度相同。
例如，將從第一噴嘴組NG1、第二噴嘴組NG2及第三噴嘴組NG3噴射的油墨DL的第一彙合資料、第二彙合資料及第三彙合資料相互比較，從而可以從彙合資料中選擇具有不同的彙合資料的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn。當第一噴嘴組NG1的資料值不同於第二噴嘴組NG2及第三噴嘴組NG3的資料值時，在後續步驟中，確定從第一噴嘴組NG1的噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子PT的數量是否超出參考值的誤差範圍(步驟S342)。當從第一噴嘴組NG1噴射的油墨DL的第一彙合資料超出參考值的誤差範圍時，控制從第一噴嘴組NG1的噴嘴噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度或數量(步驟S40)。另一方面，當從第一噴嘴組NG1噴射的油墨DL的第一彙合資料未超出參考值的誤差範圍時，控制從包含第二噴嘴組NG2及第三噴嘴組NG3的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴所噴射的具有與第一噴嘴組NG1不同的彙合資料值的油墨DL中的粒子PT的濃度或數量(步驟S40)。
雖然將從第一噴嘴組NG1、第二噴嘴組NG2及第三噴嘴組NG3噴射的油墨DL的彙合資料相互比較，但這些資料實質上彼此相同或者具有在誤差範圍內的資料值，在後續的步驟中，確定從任意一個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子PT數量是否超出參考值的誤差範圍(步驟S342)。當第一噴嘴組NG1的噴射油墨DL的資料未超出參考值的誤差範圍時，不控制油墨DL中的粒子PT的數量而重複印刷製程，並且當資料超出參考值的誤差範圍時，可以控制複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn中的每一個的油墨DL中的粒子PT的數量(步驟S40)，並且可以執行印刷製程。在此情況下，在噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100中，處理器150可以將複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的參考值儲存為相同的值。由於不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn應該噴射相同數量的粒子PT，所以可以同等地應用儲存在處理器150中的參考值，而獨立於噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn。
另一方面，在根據區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的位置的不同的層或圖案於單次印刷製程中形成在其上執行有油墨印刷製程的目標基板SUB上的實施例中，確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否超出誤差範圍的步驟S34可以包含確定從各噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子PT的數量是否超出不同的參考值的誤差範圍(步驟S343)。
由於在單次印刷製程中應該根據區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的位置來形成不同的層或圖案，因此當油墨DL從不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射時，各油墨DL中的粒子PT或濃度PT最好根據不同的預設參考值來控制。
第24圖為第23圖的一個步驟的示意圖。
結合第22圖及第23圖並參照圖24，分別噴射至目標基板SUB的不同區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的油墨DL(DL1、DL2及DL3)可以具有不同數量的粒子PT。例如，在第一區域JA1中，第一噴嘴組NG1的噴嘴NZ可以噴射第一油墨DL1，並且在第二區域JA2中，第二噴嘴組NG2的噴嘴NZ可以噴射第二油墨DL2。如上所述，在第三區域JA3及第n區域JAn中，第三噴嘴組NG3及第n噴嘴組NGn的噴嘴NZ可以分別噴射第三油墨DL3或其他油墨DL。第一油墨DL1、第二油墨DL2及第三油墨DL3中的每一個可以設置為每單位液滴包含不同數量或濃度的粒子PT。此外，在從不同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的所有油墨DL中，粒子PT的數量或濃度可以不相同。
當計算從第一噴嘴組NG1、第二噴嘴組NG2及第三噴嘴組NG3噴射的油墨DL的彙合資料時，將各彙合資料與不同的參考值進行比較以確定彙合資料是否超出誤差範圍(步驟S343)。對於從第一噴嘴組NG1噴射的第一油墨DL1，基於第一參考值來確定彙合資料是否超出誤差範圍，並且對於從第二噴嘴組NG2噴射的第二油墨DL2，基於第二參考值來確定彙合資料是否超出誤差範圍。即使在其他噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的情況下，也基於不同的參考值來確定各噴嘴組是否超出誤差範圍。作為與基於各噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的資料的參考值進行比較的結果是，當一部分噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的油墨DL超出誤差範圍時，可以控制從對應的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL中的粒子PT的數量(步驟S40)。
在此情況下，在噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100中，處理器150可以儲存彼此不同的參考值，或者至少有一些為彼此不同複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn的參考值。當在目標基板SUB的複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個中形成包含不同數量的粒子PT的層或圖案時，儲存在處理器150中的參考值的數量可以與目標基板SUB的不同區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的數量相同。另一方面，當在目標基板SUB的複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的一些區域中形成包含相同數量的粒子PT的層或圖案時，處理器150中儲存的參考值的數量可以與目標基板SUB的不同區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的數量不同。
在根據一個實施例的噴墨印刷裝置10中，噴墨頭PA包含複數個噴嘴NZ，複數個噴嘴NZ可以分類至複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn中。因此，油墨濃度測量裝置100可以以複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn為單位來感測油墨DL中的粒子PT的濃度的數量或變化。
根據一個實施例的噴墨印刷裝置10可以用於製造顯示裝置(第29圖中的「1000」)，其包含用於各區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的不同的層或圖案。顯示裝置1000可以包含複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn，並且不同的層或圖案可以形成在各區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中，或者相同的層或圖案可以形成在複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的一些區域中，並且不同的層或圖案可以形成在複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的至少一些區域中。在下文中，將參照其他附圖來說明利用噴墨印刷裝置10的顯示裝置1000的製造方法。
第25圖為根據一個實施例的顯示裝置的製造方法的流程圖。第26圖至第29圖為根據一個實施例的使用油墨印刷方法的顯示裝置的製造方法的剖面圖。第26圖至第29圖為依序示出在根據一個實施例的顯示裝置1000的製造方法中形成複數個油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn的製程的視圖。
參照第25圖至第29圖，根據一個實施例的顯示裝置1000的製造方法可以包含準備目標基板SUB(步驟S101)，從噴墨頭PA噴射油墨DL至目標基板SUB的不同區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個(步驟S102)，透過使用光L1及L2照射噴射的油墨DL以獲取出射光SL1及SL2的資料(步驟S103)，以及確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否偏離參考值(步驟S104)。在油墨濃度測量裝置100中，處理器150感測油墨DL中粒子PT的濃度變化，並且根據感測值是否偏離參考值，可以繼續執行印刷製程以從噴墨頭PA噴射油墨DL(步驟S102)，或者可以包含透過將濃度變化回饋至噴墨頭PA來控制將噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度(步驟S105)。在顯示裝置1000的製造方法中，噴射油墨DL的步驟(步驟S102)、獲取出射光資料的步驟(步驟S103)、以及根據資料來確定是否超出參考值的誤差範圍的步驟(步驟S104)與上文中參照第12圖至第16圖所說明的實質上相同。此外，透過在包含複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的目標基板SUB上執行油墨印刷製程來製造顯示裝置1000與上文中參照第21圖至第24圖所說明的實質上相同。在下文中，將簡化重複內容的說明，並且將主要針對不同之處進行說明。
首先，如第26圖所示，準備執行了油墨印刷製程並且包含複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的目標基板SUB(步驟S101)。顯示裝置1000可以包含目標基板SUB以及形成在目標基板SUB上的第29圖的複數個油墨圖案JL1、JL2、JL3及JLn。在一個實施例中，利用噴墨印刷裝置10製造的顯示裝置1000可以表示能夠顯示動態影像或靜止影像的任意電子裝置。顯示裝置1000的示例可以包含電視、筆記型電腦、監視器、告示牌、物聯網裝置、行動電話、智慧型手機、平板個人電腦(「PC」)、電子錶、智慧手錶、電話手錶、頭戴式顯示器、移動通訊終端、電子筆記本、電子書、可攜式多媒體播放器(「PMP」)、導航裝置、遊戲機、數位相機、設置有顯示螢幕的攝影機、及其相似物。
顯示裝置1000包含設置有顯示螢幕的顯示面板。顯示面板的示例可以包含無機發光二極體顯示面板、有機發光顯示面板、量子點發光顯示面板、電漿顯示面板及場發射顯示面板。在以下說明中，將以無機發光二極體顯示面板作為顯示面板的情況為示例進行說明，但本揭露不限定於此，在相同的技術精神的範圍內可以應用其他顯示面板。
目標基板SUB可以包含基部1001、設置在基部1001上的顯示層1003、以及設置在顯示層1003上的絕緣層1004。目標基板SUB可以包含定義在絕緣層1004上的複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn，並且使用噴墨印刷裝置10執行印刷製程以形成顯示裝置1000。
參考目標基板SUB的結構，基部1001可以包含由透明材料製成的基底基板以及設置在基底基板上的電路層。基底基板可以由諸如玻璃、石英或聚合物樹脂的絕緣材料製成。此外，基底基板可以為剛性基板，也可以為能夠彎曲、折疊或捲曲的撓性基板。
設置在基底基板上的電路層可以包含複數個開關元件。各開關元件可以為包含多晶矽的薄膜電晶體或者包含氧化物半導體的薄膜電晶體。雖然圖式中未示出，但是可以進一步在目標基板SUB上設置將訊號傳輸至各開關元件的複數條訊號線(例如，閘極線、資料線、電源線等)。
顯示層1003可以設置在基部1001上並且包含電性連接至電路層的複數個發光元件。在實施例中，顯示層1003可以包含複數個電極及設置在複數個電極之間的有機發光層，並且顯示裝置1000可以為有機發光顯示器(OLED)裝置，其包含有機材料以作為發光材料。複數個電極中的每一個可以電性連接至基部1001的電路層，並且有機發光層可以接收來自電極的電訊號以發出光。然而，本揭露不限定於此。在顯示裝置1000並非有機發光顯示裝置的實施例中，顯示層可以包含發光層或除了有機發光層之外的發光元件。此外，雖然在圖式中未詳細示出，目標基板SUB可以進一步包含設置在基部1001及顯示層1003上的複數個層或圖案。
絕緣層1004可以設置在顯示層1003上。絕緣層1004可以直接設置在顯示層1003上以完全覆蓋顯示層1003。然而，本揭露不限定於此，可以進一步在絕緣層1004與顯示層1003之間設置其他的層。
在一個實施例中，絕緣層1004可以由複數個層構成，並且絕緣層1004的每一層可以包含無機絕緣材料或有機絕緣材料。例如，無機絕緣材料可以包含氮化矽、氮化鋁、氮化鋯、氮化鈦、氮化鉿、氮化鉭、氧化矽、氧化鋁、氧化鈦、氧化錫、氧化鈰、氧氮化矽(SiOxNy)、或氟化鋰中的至少一種。有機絕緣材料可以包含丙烯酸樹脂、甲基丙烯酸樹脂、聚異戊二烯、乙烯基樹脂、環氧樹脂、乙酯樹脂、纖維素樹脂或苝樹脂(perylene resin)中的至少一種。然而，絕緣層1004的結構及材料不限定於上述說明，並且可以對堆疊結構或材料進行各種變更。
目標基板SUB可以包含限定在絕緣層1004上的複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn，並且複數個油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn可以分別根據使用噴墨印刷裝置10的印刷製程來形成在複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn上。無論其位置為何，分別形成在區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn可以為相同的，也可以根據位置而彼此不同。在無論位置為何油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn皆相同的實施例中，顯示裝置1000的製造方法可以透過第23圖的實施例中的步驟S341及步驟S342來製造。或者，在油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn根據位置而不同的相同實施例中，可以透過第23圖的實施例中的步驟S343來製造顯示裝置1000的製造方法。在以下的圖式中，以透過第23圖的實施例中的步驟S341及步驟S342來製造顯示裝置1000的製造方法的情況為示例進行說明。
參照第27圖及第28圖，噴墨頭PA將油墨DL噴射至目標基板SUB的不同區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個(步驟S102)，並且出射光SL1及SL2的資料為透過使用光L1及L2照射噴射的油墨DL而獲取的(步驟S103)。
第一噴嘴組NG1可以將油墨DL噴射至第一區域JA1，第二噴嘴組NG2可以將油墨DL噴射至第二區域JA2，並且第三噴嘴組NG3可以將油墨DL噴射至第三區域JA3。在目標基板SUB上的複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的每一個中形成有相同的油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn的實施例中，可以從第一噴嘴組NG1、第二噴嘴組NG2、第三噴嘴組NG3及第n噴嘴組NGn中的每一個噴射具有相同粒子PT濃度的油墨DL。然而，或者，在目標基板SUB上的複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中形成有不同的油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn的實施例中，可以從第一噴嘴組NG1、第二噴嘴組NG2、第三噴嘴組NG3及第n噴嘴組NGn中的每一個噴射具有不同粒子PT濃度的油墨DL。
油墨DL可以在第一方向DR1上從噴墨頭PA噴射。油墨DL可以從噴墨頭PA噴射，通過油墨濃度測量裝置100的光照射裝置110(第一光照射裝置111及第二光照射裝置113)的光所照射的第一照射區域SA1及第二照射區域SA2，並且噴塗至目標基板SUB上。當從噴墨頭PA噴射的油墨DL通過第一照射區域SA1時，第一光照射裝置111可以使用第一光L1來照射第一照射區域SA1，並且第一感測裝置131可以獲取從油墨DL散射的第一出射光SL1的資料。當從噴墨頭PA噴射的油墨DL通過第二照射區域SA2時，第二光照射裝置113可以使用第二光L2來照射第二照射區域SA2，並且第二感測裝置133可以獲取從油墨DL折射的第二出射光SL2的資料。其相關說明如上所述。
油墨濃度測量裝置100的處理器150可以根據感測裝置130獲取的出射光SL1及SL2的資料來感測油墨DL中的粒子PT濃度的變化，並且可以確定油墨DL中的粒子PT的濃度是否偏離參考值(步驟S104)。在複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的每一個中形成有相同的油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn的實施例中，在此步驟中，可以執行第23圖中的步驟S341及步驟S342。在不同油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn分別形成在複數個區域JA1、JA2、JA3、…、JAn中的實施例中，在此步驟中，可以執行第23圖的步驟S343。其詳細說明如上所述，因此將省略其相關說明。根據從各噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL的資料，在需要控制油墨DL中的粒子PT的濃度的情況下，進行濃度控制(步驟S105)，否則重複印刷製程。
接下來，參照第29圖，可以透過執行上述製程在目標基板SUB上形成複數個油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn來製造顯示裝置1000。
第30圖為根據一個實施例的顯示裝置的一部分的剖面圖。
結合第29圖並參照圖30，根據一個實施例的顯示裝置1000可以包含目標基板SUB、複數個波長轉換層WLC1及WLC2、以及使用噴墨印刷裝置10來形成並且設置在目標基板SUB上的透光層LTU。此外，顯示裝置1000可以進一步包含劃分了形成有波長轉換層WLC1及WLC2及透光層LTU的區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的擋牆層BK，以及覆蓋擋牆層BK、波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU的覆蓋層CAP。
擋牆層BK可以圍繞其中目標基板SUB上設置有波長轉換層WLC1和WLC2以及透光層LTU的部分。擋牆層BK可以設置為在目標基板SUB上具有預定高度。在實施例中，擋牆層BK可以包含有機絕緣材料並且可以具有4微米(μm)至20μm範圍內的高度以及4μm至20μm範圍內的寬度。然而，本揭露不限定於此。在圖式中例示了擋牆層BK的側面與目標基板SUB的上表面垂直的情況，但本揭露不限定於此。在一些實施例中，擋牆層BK的側表面可以為傾斜的或彎曲的形狀。在一個示例中，擋牆層BK可以具有倒錐形形狀，其中頂面的寬度大於底面的寬度。
波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU可以設置在由擋牆層BK圍繞的區域中。波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU可以在目標基板SUB上形成島狀圖案。然而，本揭露不限定於此，波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU中的每一個可以設置為在一個方向上延伸以形成線性圖案。
波長轉換層WLC1及WLC2可以包含設置在第一區域JA1中的第一波長轉換層WLC1以及設置在第二區域JA2中的第二波長轉換層WLC2。透光層LTU可以設置在第三區域JA3中。在圖式中，示出了以第一波長轉換層WLC1、第二波長轉換層WLC2及透光層LTU依序設置的部分，但本揭露不限定於此。顯示裝置1000可以包含設置有複數個的第一波長轉換層WLC1、第二波長轉換層WLC2及透光層LTU中的每一個。
第一波長轉換層WLC1可以包含第一基本樹脂BS1以及設置在第一基本樹脂BS1中的第一波長轉換材料WLS1。第二波長轉換層WLC2可以包含第二基本樹脂BS2以及設置在第二基本樹脂BS2中的第二波長轉換材料WLS2。第一波長轉換層WLC1及第二波長轉換層WLC2可以進一步包含分別分散在基本樹脂中的第一散射體SCT1及第二散射體SCT2。
透光層LTU可以包含第三基本樹脂BS3以及包含在第三基本樹脂BS3中的第三散射體SCT3。透光層LTU透射從發光元件入射的第三顏色的藍光，同時維持其波長。透光層LTU的第三散射體SCT3可以用於調整通過透光層LTU發射的光的發射路徑。透光層LTU可以不包含波長轉換材料。
第一散射體SCT1、第二散射體SCT2及第三散射體SCT3可以為金屬氧化物粒子或有機粒子。其相關說明如上所述。第一基本樹脂BS1、第二基本樹脂BS2及第三基本樹脂BS3可以包含透光有機材料。例如，第一基本樹脂BS1、第二基本樹脂BS2及第三基本樹脂BS3可以包含環氧樹脂、丙烯酸樹脂、卡多樹脂(cardo resin)、醯亞胺樹脂(imide resin)。第一基本樹脂BS1、第二基本樹脂BS2及第三基本樹脂BS3可以由相同的材料形成，但本揭露不限定於此。
第一波長轉換材料WLS1可以將藍光轉換為紅光，並且第二波長轉換材料WLS2可以將藍光轉換為綠光。第一波長轉換材料WLS1及第二波長轉換材料WLS2可以為量子點、量子棒、磷光體、或其相似物。量子點的示例可以包含IV族奈米晶體、II-VI族化合物奈米晶體、III-V族化合物奈米晶體、IV-VI族奈米晶體、及其組合。
覆蓋層CAP可以設置在波長轉換層WLC1及WLC2、透光層LTU及擋牆層BK上。覆蓋層CAP可以防止諸如濕氣或空氣的雜質從外部滲透而損壞或污染波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU。覆蓋層CAP可以由無機絕緣材料形成。
在顯示裝置1000的製造製程中，不同的波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU可以包含不同的材料。此外，雖然不同的波長轉換層WLC1、WLC2及透光層LTU分別具有相同的散射體SCT1、SCT2、SCT3，但是各層所包含的散射體SCT1、SCT2、SCT3的濃度也可以彼此不同。例如，第一波長轉換層WLC1的第一散射體SCT1的濃度可以與第二波長轉換層WLC2的第二散射體SCT2的濃度不相同，並且此濃度可以與透光層LTU地第三散射體SCT3的濃度不相同。
在一個實施例中，在利用噴墨印刷裝置10的顯示裝置1000的製造方法中，不同波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU中的每一個可以透過個別地執行印刷製程來形成。在此情況下，在第一印刷製程中，可以形成設置在目標基板SUB上的複數個第一波長轉換層WLC1，並且在第二印刷製程及第三印刷製程中，可以分別形成第二波長轉換層WLC2及透光層LTU。在本實施例中，由於從噴墨頭PA的不同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的各油墨DL形成相同的波長轉換層WLC1、WLC2以及透光層LTU，因此可以執行步驟S341與步驟S342。在第一印刷製程中，可以設定用於使得噴墨印刷裝置10形成顯示裝置1000的複數個第一波長轉換層WLC1的參考值，並且可以執行印刷製程。在第一印刷製程中，不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn分別噴射油墨DL以形成第一波長轉換層WLC1，因此從噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度可以實質上維持彼此一致。
接下來，當執行第二印刷製程及第三印刷製程中的每一個時，可以設定用於形成顯示裝置1000的複數個第二波長轉換層WLC2及複數個透光層LTU的參考值，並且可以執行印刷製程。在第二印刷製程及第三印刷製程的每一個中所設置的參考值可以不同，但可以同樣地應用於複數個噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn。
然而，本揭露不限定於此。在一些實施例中，在第一印刷製程中，噴墨印刷裝置10可以執行同時形成複數個第一波長轉換層WLC1、複數個第二波長轉換層WLC2及複數個透光層LTU的製程。在本實施例中，由於從噴墨頭PA的不同噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL形成不同的波長轉換層WLC1、WLC2及透光層LTU，因此可以執行第23圖的步驟S343。在印刷製程中，可以以參考值來設定噴墨印刷裝置10的噴墨頭PA，以在不同的噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn形成顯示裝置1000的不同的波長轉換層WLC1及WLC2以及透光層LTU，並且可以執行印刷製程。例如，可以從第一噴嘴組NG1噴射用於在第一區域JA1中形成第一波長轉換層WLC1的第一油墨DL1，可以從第二噴嘴組NG2噴射用於在第二區域JA2中形成第二波長轉換層WLC2的第二油墨DL2，並且可以從第三噴嘴組NG3噴射用於在第三區域JA3中形成透光層LTU的第三油墨DL3。從噴嘴組NG1、NG2、NG3、…、NGn噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度可以具有不同的值，並且可以個別地維持均勻。
在上述實施例中，說明了在油墨DL的印刷製程中變更油墨DL中的粒子PT的濃度時，調整注入至噴墨頭PA的油墨DL的粒子PT濃度的情況。然而，如上所述，最終形成在目標基板SUB上的油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn可以根據相對於噴射至目標基板SUB的各區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的全部油墨DL2的粒子PT的數量而變化。根據一個實施例，在使用噴墨印刷裝置10的顯示裝置1000的製造方法中，當從任意一個噴嘴NZ噴射的油墨DL中的粒子PT的濃度為低時，為了對此進行補償，油墨DL可以從另一個噴嘴NZ噴射至對應的區域。也就是說，在根據一個實施例的顯示裝置1000的製造方法中，可以在目標基板SUB的一個區域上噴射不同油墨DL，其為具有不同粒子PT濃度的油墨DL。
第31圖為根據另一實施例的顯示裝置的製造方法的流程圖。第32圖及第33圖為第31圖的顯示裝置的製造方法的一個步驟的剖面圖。
參照第31圖至第33圖，根據一個實施例的顯示裝置1000的製造方法可以包含準備包含不同區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的目標基板SUB(步驟S101)，從第一噴嘴NZ1噴射油墨至目標基板SUB的一個區域(步驟S102)，透過使用光L1及L2照射噴射的油墨DL以獲取出射光SL1及SL2的資料(步驟S103)，確定油墨DL中的粒子PT濃度是否偏離參考值(步驟S104)，以及從第二噴嘴NZ2噴射油墨DL至對應的區域(步驟S105)。此實施例與第25圖的實施例的不同之處在於，步驟S105有實質上的不同。在下文的說明中，將省略多餘的描述，且同時著重於不同之處。
當第一油墨DL1從第一噴嘴NZ1噴射至第一區域JA1時，透過照射第一光L1及第二光L2來獲取出射光資料以計算油墨DL的粒子PT的濃度。此步驟的說明如上所述。
接下來，當基於所獲取的出射光資料確定噴射至第一區域JA1的油墨DL中的粒子PT的濃度偏離參考值時，第二油墨DL2透過不同於第一噴嘴NZ1的第二噴嘴NZ2噴射至第一區域JA1。在第一區域JA1中，從第一噴嘴NZ1噴射的第一油墨DL1以及從第二噴嘴NZ2噴射的第二油墨DL2可以混合。當第一油墨DL1的粒子PT的濃度值偏離參考值時，噴墨印刷裝置10的油墨濃度測量裝置100可以感測到此偏差，此偏差可以透過不同於第一噴嘴NZ1的第二噴嘴NZ2來進行補償。第二噴嘴NZ2可以將第二油墨DL2噴射至已經噴射有第一油墨DL1的第一區域JA1。
雖然圖中未示出，但是當第一油墨DL1從第一噴嘴NZ1噴射至第一區域JA1時，第二噴嘴NZ2可以將第二油墨DL2噴射至第一區域JA1以外的第二區域JA2。當噴射第二油墨DL2時，可以透過以與第一油墨DL1相同的方式照射第一光L1及第二光L2來獲取第二油墨DL2的出射光資料。當從第一油墨DL1的出射光資料感測到第一油墨DL1的粒子PT的濃度為低時，油墨濃度測量裝置100可以找到噴嘴NZ，其噴射的油墨DL在第一區域JA1中具有更為理想的粒子PT濃度。當第二油墨DL2具有的粒子PT濃度足以補償從第一噴嘴NZ1噴射的第一油墨DL1的不足濃度時，在噴射第一油墨DL1之後，可以進一步使用第二噴嘴NZ2來噴射油墨至第一區域JA1。第一油墨DL1及第二油墨DL2在不同的製程中噴射，但可以噴射至相同區域(例如，第一區域JA1)以形成一個油墨圖案JL1、JL2、JL3、…、JLn。透過即時感測噴射至預定區域的油墨DL中的粒子PT的濃度，噴墨印刷裝置10不僅可以控制透過噴嘴NZ噴射的油墨DL的粒子PT的濃度，更可以調整或者補償透過其他相鄰的噴嘴NZ噴射至相應區域JA1、JA2、JA3、…、JAn的油墨DL中的粒子PT的濃度。
在結束詳細說明時，本領域具有通常知識者將理解的是，可以對較佳實施例進行諸多變更及修改，而不會實質上背離本發明的原理。因此，所揭露的本發明的較佳實施例僅用於一般性及說明性的意義，而非用於限制的目的。
10:噴墨印刷裝置 100:油墨濃度測量裝置 110,111,113:光照射裝置 130,131,133:感測裝置 150:處理器 190,191,193:反射器 1000:顯示裝置 1001:基部 1003:顯示層 1004:絕緣層 PA:噴墨頭 SA,SA1,SA2:照射區域 DL,DL1,DL2,DL3:油墨 SV:溶劑 PT:粒子 L,L1,L2:光 SL,SL1,SL2:出射光 SS:感測區域 NZ,NZ1,NZ2:噴嘴 NG1,NG2,NG3,NGn:噴嘴組 SUB:目標基板 JA1,JA2,JA3,JAn:區域 JL1,JL2,JL3,JLn:油墨圖案 WLC1,WLC2:波長轉換層 LTU:透光層 BS1,BS2,BS3:基本樹脂 WLS1,WLS2:波長轉換材料 SCT1,SCT2,SCT3:散射體 CAP:覆蓋層 BK:擋牆層 S0,S1,S2,S3,S10,S20,S30,S31,S32,S33,S34,S341,S342,S343,S40,S101,S102,S103,S104,S105:步驟 DR1:第一方向 DR2:第二方向
透過參照附圖對實施例的詳細說明，本揭露的上述及其他態樣及特徵將變得更加清楚，其中： 第1圖為根據一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖； 第2圖為根據一個實施例的油墨濃度測量裝置的配置示意圖； 第3圖及第4圖為照射在分散於油墨中的粒子上的光發生散射的示意圖； 第5圖為根據一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖； 第6圖為根據另一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖； 第7圖為根據又另一個實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖； 第8圖為透過在第7圖的噴墨印刷裝置中的反射器而反射的光的傳播的示意圖； 第9圖及第10圖為根據另一實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖； 第11圖為根據另一實施例的噴墨印刷裝置的操作示意圖； 第12圖為根據一個實施例的使用噴墨印刷裝置的油墨印刷方法的流程圖； 第13圖至第16圖為依序示出根據一個實施例的油墨印刷方法的示意圖； 第17圖及第18圖為根據使用噴墨印刷裝置測量的油墨中的粒子濃度的出射光資料的圖表； 第19圖為根據另一實施例的使用噴墨印刷裝置的油墨印刷方法的流程圖； 第20圖為包含在根據一個實施例的噴墨印刷裝置的噴墨頭中的複數個噴嘴的佈置的示意圖； 第21圖為從包含在第20圖的噴墨頭中的複數個噴嘴的油墨噴射的示意圖； 第22圖為根據一個實施例的油墨印刷方法的部分步驟的順序的流程圖； 第23圖為第22圖的一個步驟的順序的流程圖； 第24圖為第23圖的一個步驟的示意圖； 第25圖為根據一個實施例的顯示裝置的製造方法的流程圖； 第26圖至第29圖為根據一個實施例的使用油墨印刷方法的顯示裝置的製造方法的剖面圖； 第30圖為根據一個實施例的顯示裝置的一部分的剖面圖； 第31圖為根據另一實施例的顯示裝置的製造方法的流程圖；以及 第32圖及第33圖為第31圖的顯示裝置的製造方法的一個步驟的剖面圖。
10:噴墨印刷裝置
110:光照射裝置
130:感測裝置
150:處理器
PA:噴墨頭
SA:照射區域
DL:油墨
L:光
SL:出射光
DR1:第一方向
DR2:第二方向

Claims (30)

  1. 一種油墨印刷方法，包含： 從一噴墨頭噴射分散有複數個粒子的油墨； 對噴射的該油墨照射具有不同波長的一第一光及一第二光以獲取從該油墨發射的一第一出射光及一第二出射光的資料；以及 確定該油墨中的粒子濃度是否超出一參考值的誤差範圍，包含根據該第一出射光及該第二出射光的資料計算該油墨中的粒子濃度， 其中，該第一光具有約500奈米(nm)或小於500奈米的波長，並且該第二光具有約1000奈米(nm)或大於1000奈米的波長。
  2. 如請求項1所述之方法，其中該第一出射光為透過散射照射至該油墨上的該第一光而獲得的光，並且 該第二出射光為透過折射照射至該油墨的該第二光而獲得的光。
  3. 如請求項2所述之方法，其中粒子濃度的計算包含： 從該第一出射光的資料獲取該油墨中的粒子數量的資料；以及 從該第二出射光的資料獲取該油墨的體積的資料。
  4. 如請求項2所述之方法，其中該確定步驟進一步包含：根據該第一出射光及該第二出射光的資料計算在該油墨中的粒子的濃度變化值。
  5. 如請求項2所述之方法，其進一步包含：在該確定步驟後，當確定濃度超出該參考值的誤差範圍時，控制注入至該噴墨頭中的該油墨中的粒子濃度。
  6. 如請求項1所述之方法，其進一步包含：在從該噴墨頭噴射該油墨之前，設定該參考值。
  7. 如請求項6所述之方法，其中該參考值包含從該油墨發射的光的正規化散射強度以及當該第一光及該第二光照射至具有不同粒子濃度的該油墨時該正規化散射強度的標準偏差值， 該第一出射光及該第二出射光的資料的獲取包含獲取該第一出射光及該第二出射光的該正規化散射強度及該正規化散射強度的標準偏差值，並且 該確定步驟包含透過比較該正規化散射強度及該參考值的標準偏差值與該第一出射光及該第二出射光的資料來計算該油墨中的粒子濃度。
  8. 如請求項1所述之方法，其中該油墨在一第一方向上從該噴墨頭噴射， 該第一光在垂直於該第一方向的一第二方向上照射，並且 在照射該第一光後照射該第二光。
  9. 如請求項8所述之方法，其中從該油墨發射的該第一出射光由一反射器反射，該反射器具有在噴墨路徑中的曲率中心並且具有彎曲的外表面。
  10. 如請求項1所述之方法，其中該油墨在一第一方向上從該噴墨頭噴射，並且 該第一光及該第二光分別向不同方向照射並且同時照射至該油墨。
  11. 一種噴墨印刷裝置，包含： 一噴墨頭，係噴射分散有複數個粒子的油墨； 一第一光照射裝置及一第二光照射裝置，係分別向噴射的該油墨照射不同波長帶的光； 一第一感測裝置，一第一出射光係入射至該第一感測裝置，其中該第一出射光為透過散射從該第一光照射裝置照射並入射至該油墨上的一第一光而獲得的； 一第二感測裝置，一第二出射光係入射至該第二感測裝置，其中該第二出射光為透過散射從該第二光照射裝置照射並入射至該油墨上的一第二光而獲得的；以及 一處理器，分別入射至該第一感測裝置及該第二感測裝置上的該第一出射光及該第二出射光的資料係輸入至其中， 其中，從該第一光照射裝置照射的該第一光具有約500奈米或更小的波長，並且從該第二光照射裝置照射的該第二光具有約1000奈米或更大的波長。
  12. 如請求項11所述之噴墨印刷裝置，其中該油墨在一第一方向上從該噴墨頭噴射，並且 該第一光照射裝置在垂直於該第一方向的一第二方向上照射該第一光。
  13. 如請求項12所述之噴墨印刷裝置，其中該第二光照射裝置設置為在該第一方向上與該第一光照射裝置分隔開，並且在該第二方向上照射該第二光。
  14. 如請求項13所述之噴墨印刷裝置，其中該第一光照射裝置及該第二光照射裝置分別照射該第一光及該第二光至噴墨路徑中的不同區域。
  15. 如請求項12所述之噴墨印刷裝置，其中該第一感測裝置設置為相對於噴墨路徑而面對且面向該第一光照射裝置，並且 該第二感測裝置設置為相對於噴墨路徑而面對且面向該第二光照射裝置。
  16. 如請求項12所述之噴墨印刷裝置，其進一步包含設置為與該第一光照射裝置分隔開的一第一反射器， 其中，該第一反射器具有在噴墨路徑中的曲率中心並且具有彎曲的外表面， 其中，該第一出射光從該第一反射器反射，並且入射至該第一感測裝置。
  17. 如請求項16所述之噴墨印刷裝置，其中該第一感測裝置相對於噴墨路徑設置在與該第一反射器所在的第二側相對的第一側。
  18. 如請求項16所述之噴墨印刷裝置，其進一步包含設置為與該第二光照射裝置分隔開的一第二反射器， 其中，該第二反射器具有在噴墨路徑中的曲率中心並且具有彎曲的外表面， 其中，該第二出射光從該第二反射器反射，並且入射至該第二感測裝置。
  19. 如請求項12所述之噴墨印刷裝置，其中該第二光照射裝置設置為在該第一方向上與該第一光照射裝置分隔開，並且在該第一方向與該第二方向之間的方向上照射該第二光，並且 該第一光照射裝置及該第二光照射裝置分別對噴射的該油墨照射該第一光及該第二光。
  20. 如請求項11所述之噴墨印刷裝置，其中該處理器根據該油墨中的不同的粒子濃度來儲存該第一出射光及該第二出射光的資料。
  21. 一種顯示裝置的製造方法，包含： 準備包含一第一區域及一第二區域的一目標基板； 從一第一噴嘴噴射分散有複數個粒子的一第一油墨至該目標基板的該第一區域； 照射具有不同波長的一第一光及一第二光至從該第一噴嘴噴射的該第一油墨，以獲取從該第一油墨發射的一第一出射光及一第二出射光的資料； 確定該第一油墨中的粒子濃度是否大於一參考值的誤差範圍，包含根據該第一出射光及該第二出射光的資料計算該第一油墨中的粒子濃度；以及 從不同於該第一噴嘴的一第二噴嘴噴射分散有複數個粒子的一第二油墨。
  22. 如請求項21所述之方法，其中該第一光具有約500奈米或小於500奈米的波長，並且該第二光具有約1000奈米或大於1000奈米的波長。
  23. 如請求項21所述之方法，其中該複數個粒子包含二氧化鈦(TiO 2)。
  24. 如請求項21所述之方法，其中該第二油墨的噴射包含當在該確定步驟中確定濃度超出該參考值的誤差範圍時，從該第二噴嘴噴射該第二油墨至該第一區域。
  25. 如請求項21所述之方法，其中噴射至該第一區域的該第一油墨及該第二油墨形成一第一油墨圖案。
  26. 如請求項21所述之方法，其中該第二油墨的噴射包含當在該確定步驟中確定濃度未超出該參考值的誤差範圍時，從該第二噴嘴噴射該第二油墨至該第二區域。
  27. 如請求項26所述之方法，其中噴射至該第一區域的該第一油墨形成一第一油墨圖案，並且 噴射至該第二區域的該第二油墨形成與該第一油墨圖案不同的一第二油墨圖案。
  28. 如請求項21所述之方法，其進一步包含：從與該第一噴嘴不同的一第三噴嘴噴射分散有複數個粒子的一第三油墨至該第一區域。
  29. 如請求項21所述之方法，其進一步包含：從與該第一噴嘴不同的一第三噴嘴噴射分散有複數個粒子的一第三油墨至該第二區域。
  30. 如請求項29所述之方法，其中該第一出射光及該第二出射光的資料的獲取包含照射該第一光及該第二光至從該第三噴嘴噴射的該第二油墨，以獲取從該第三油墨發射的一第三出射光及一第四出射光的資料，並且 該確定步驟包含根據該第三出射光及該第四出射光的資料來計算該第三油墨中的粒子濃度，並且確定濃度是否超出一參考值的誤差範圍。
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