JP2023011535A - インクジェットプリンティング装置、それを用いたインクプリンティング方法および表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インクジェットプリンティング装置、それを用いたインクプリンティング方法および表示装置の製造方法が提供される。【解決手段】インクプリンティング方法は、複数の粒子が分散したインクをインクジェットヘッドから吐出する段階、前記吐出されたインクに互いに異なる波長を有する第１光および第２光を照射して前記インクから出射された第１出射光および第２出射光に対するデータを取得する段階、および前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータから前記インク内の前記粒子の濃度を算出し、前記濃度が基準値からの誤差範囲を超えたか否かを確認する判断段階を含み、前記第１光は波長が５００ｎｍ以下であり、前記第２光は波長が１０００ｎｍ以上である。【選択図】図１

Description

本発明は、インクジェットプリンティング装置、それを用いたインクプリンティング方法および表示装置の製造方法に関する。

表示装置はマルチメディアの発達につれてその重要性が増大している。これに応じて有機発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ，ＯＬＥＤ）、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ，ＬＣＤ）などのような様々な種類の表示装置が用いられている。

表示装置の画像を表示する装置として発光素子を含む自発光表示装置がある。自発光表示装置は、発光素子として有機物を発光物質として用いる有機発光表示装置、または無機物を発光物質として用いる無機発光表示装置などがある。

表示装置に含まれる、有機物層を形成したり無機発光ダイオードを配置したりするために、インクジェットプリンティング装置が用いられる。粒子が分散したインクをプリンティングした後、後処理工程を行って前記粒子を特定領域に配置したり、これらが分散した有機物層を形成したりすることができる。

中国特許出願公開第１０６７６９７２１号明細書

インクジェットプリンティング装置を用いて表示装置を製造する際、表示装置の製品完成度を確保するためにプリンティング工程中に吐出されるインクは単位液滴当たりに含まれた粒子の濃度が均一であることが求められる。

本発明が解決しようとする課題は、インクジェットヘッドから吐出される液滴またはインク内粒子の濃度をリアルタイムで測定できるインクジェットプリンティング装置、それを用いたインクプリンティング方法および表示装置の製造方法を提供することにある。

本発明の課題は、以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の技術的課題は以下の記載から当業者に明確に理解されることができる。

前記課題を解決するための一実施形態によるインクプリンティング方法は、複数の粒子が分散したインクをインクジェットヘッドから吐出する段階、前記吐出されたインクに互いに異なる波長を有する第１光および第２光を照射して前記インクから出射された第１出射光および第２出射光に対するデータを取得する段階、および、前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータから前記インク内の前記粒子の濃度を算出し、前記濃度が基準値からの誤差範囲を超えたか否かを確認する判断段階を含み、前記第１光は波長が５００ｎｍ以下であり、前記第２光は波長が１０００ｎｍ以上である。

前記第１出射光は前記インクに照射された前記第１光が散乱した光であり、前記第２出射光は前記インクに照射された前記第２光が屈折した光であり得る。

前記粒子の濃度を算出する段階は、前記第１出射光に対するデータから前記インク内粒子の個数に対するデータを取得する段階、および前記第２出射光に対するデータから前記インクの体積に対するデータを取得する段階を含み得る。

前記判断段階は、前記第１出射光および前記第２出射光データから前記インク内粒子の濃度変化値を算出する段階を含み得る。

前記判断段階の後に、前記濃度が前記基準値から誤差範囲を超えたと判断されると前記インクジェットヘッドに注入される前記インク内の前記粒子の濃度を制御する段階をさらに含み得る。

前記インクジェットヘッドで前記インクを吐出する段階前に、前記基準値を設定する段階をさらに含み得る。

前記基準値は、互いに異なる粒子濃度を有するインクに前記第１光および前記第２光を照射した際に、前記インクから出射された光の正規化された散乱強度、および、前記正規化された散乱強度の標準偏差値を含み、前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータを取得する段階は、前記第１出射光および前記第２出射光についての正規化された散乱強度、および前記正規化された散乱強度の標準偏差値を取得する段階を含み、前記判断段階は、前記基準値の前記正規化された散乱強度、および前記標準偏差値と、前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータとを比較して、前記インク内粒子の濃度を算出する段階を含み得る。

前記インクは前記インクジェットヘッドから第１方向に吐出され、前記第１光は前記第１方向と垂直な第２方向に照射され、前記第２光は前記第１光が照射された後に照射され得る。

前記第１光が照射されて前記インクから出射された前記第１出射光は、前記インクが吐出される経路に、曲率中心を有し、外面が湾曲した形状を有する反射装置にて反射され得る。

前記インクは、前記インクジェットヘッドから第１方向に吐出され、前記第１光と前記第２光とは互いに異なる方向に照射されて、それぞれ同時に前記インクに照射され得る。

前記課題を解決するための一実施形態によるインクジェットプリンティング装置は、複数の粒子が分散したインクを吐出するインクジェットヘッド、前記吐出されたインクにそれぞれ互いに異なる波長帯の光を照射する第１光照射装置および第２光照射装置、前記第１光照射装置から照射された第１光が前記インクに入射されて散乱した第１散乱光が入射される第１センシング装置、前記第２光照射装置で照射された第２光が前記インクに入射されて散乱した第２散乱光が入射される第２センシング装置、および前記第１センシング装置および前記第２センシング装置に入射された前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータが入力されるプロセッサを含み、前記第１光照射装置から照射される前記第１光は波長が５００ｎｍ以下であり、前記第２光照射装置から照射される前記第２光は波長が１０００ｎｍ以上である。

前記インクは、前記インクジェットヘッドから第１方向に吐出され、前記第１光照射装置は前記第１光を前記第１方向と垂直な第２方向に照射し得る。

前記第２光照射装置は、前記第１光照射装置から前記第１方向に離隔して配置され、前記第２光を前記第２方向に照射し得る。

前記第１光照射装置と前記第２光照射装置は、それぞれ前記インクが吐出される経路のうちの互いに異なる領域に前記第１光および前記第２光を照射し得る。

前記第１センシング装置は前記インクが吐出される経路を基準として前記第１光照射装置と対向するように配置され、前記第２センシング装置は前記インクが吐出される経路を基準として前記第２光照射装置と対向するように配置され得る。

前記第１光照射装置から離隔して配置されて前記インクが吐出される経路に曲率中心を有し、外面が湾曲した形状を有する第１反射装置をさらに含み、前記第１出射光は前記第１反射装置にて反射されて前記第１センシング装置に入射され得る。

前記第１センシング装置は前記インクが吐出される経路を基準として前記第１反射装置が位置した一側の反対側の他側に配置され得る。

前記第２光照射装置から離隔して配置されて前記インクが吐出される経路に曲率中心を有し、外面が湾曲した形状を有する第２反射装置をさらに含み、前記第２出射光は前記第２反射装置にて反射されて前記第２センシング装置に入射され得る。

前記第２光照射装置は、前記第１光照射装置から前記第１方向に離隔して配置され、前記第２光を前記第１方向および前記第２方向の間の方向に照射し、前記第１光照射装置および前記第２光照射装置はそれぞれ前記吐出されたインクに前記第１光および前記第２光を照射し得る。

前記プロセッサは、互いに異なる前記インク内における前記粒子の濃度に応じた前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータが保存され得る。

前記課題を解決するための一実施形態による表示装置の製造方法は、第１領域および第２領域を含む対象基板を準備する段階、前記対象基板の前記第１領域に粒子が分散した第１インクを第１ノズルから吐出する第１インク吐出段階、前記第１ノズルから吐出されたインクに、互いに異なる波長を有する第１光および第２光を照射して、前記第１インクから出射された第１出射光および第２出射光に対するデータを取得する段階、前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータから前記第１インク内における前記粒子の濃度を算出し、前記濃度が基準値からの誤差範囲を超えたか否かを確認する判断段階、および前記第１ノズルと異なる第２ノズルから前記粒子が分散した第２インクを吐出する第２インク吐出段階を含む。

前記第１光は波長が５００ｎｍ以下であり、前記第２光は波長が１０００ｎｍ以上であり得る。

前記粒子は酸化チタン（ＴｉＯ_２）を含み得る。

前記第２インク吐出段階は、前記判断段階にて前記濃度が前記基準値からの誤差範囲を超えたと判断されると、前記第２ノズルから前記第２インクを前記第１領域に吐出し得る。

前記第１領域に吐出された前記第１インクおよび前記第２インクは第１インクパターンを形成し得る。

前記第２インク吐出段階は、前記判断段階にて前記濃度が前記基準値からの誤差範囲を超えていないと判断されると、前記第２ノズルから前記第２インクを前記第２領域に吐出し得る。

前記第１領域に吐出された前記第１インクは第１インクパターンを形成し、前記第２領域に吐出された前記第２インクは前記第１インクパターンと異なる第２インクパターンを形成し得る。

前記第１インク吐出段階にて、前記第１ノズルと異なる第３ノズルから、前記粒子が分散した第３インクが前記第１領域に吐出され得る。

前記第１インク吐出段階にて、前記第１ノズルと異なる第３ノズルから、前記粒子が分散した第３インクが前記第２領域に吐出され得る。

前記第１出射光および第２出射光に対するデータを取得する段階にて、前記第３ノズルで吐出された前記第２インクに前記第１光および前記第２光を照射して、前記第３インクから出射された第３出射光および第４出射光に対するデータを取得し、前記判断段階で、前記第３出射光および前記第４出射光に対するデータから前記第３インク内における前記粒子の濃度を算出し、前記濃度が基準値から誤差範囲を超えたか否かを確認し得る。

その他実施形態の具体的な内容は、詳細な説明および図面に含まれている。

一実施形態によるインクジェットプリンティング装置は、ノズルで吐出されるインクに、互いに異なる波長帯の光をそれぞれ照射して、リアルタイムでインク内の粒子の濃度変化を感知することができる。

一実施形態によるインクプリンティング方法は、前記インクジェットプリンティング装置を用いてインク内の粒子の濃度を感知しながらインクを吐出でき、粒子の濃度変化に対応してインクジェットヘッドに注入されるインクの粒子濃度を制御するか、特定領域に着弾して付着されたインク内の粒子の濃度を制御して、均一な品質の製品を製造することができる。

実施形態による効果は、以上で例示した内容によって制限されず、より一層多様な効果が本明細書内に含まれている。

一実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。 一実施形態によるインク濃度測定装置の構成を示す概略図である。 インク内の分散した粒子が照射された光が散乱することを示す概略図(1)である。 インク内の分散した粒子が照射された光が散乱することを示す概略図(2)である。 一実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。 他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。 他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。 図７のインクジェットプリンティング装置で反射装置によって反射した光が進行することを示す概略図である。 他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。 他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。 他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。 一実施形態によるインクジェットプリンティング装置を用いたインクプリンティング方法を示すフローチャートである。 一実施形態によるインクプリンティング方法を順に示す概略図(1)である。 一実施形態によるインクプリンティング方法を順に示す概略図(2)である。 一実施形態によるインクプリンティング方法を順に示す概略図(3)である。 一実施形態によるインクプリンティング方法を順に示す概略図(4)である。 インクジェットプリンティング装置を用いて測定されたインク内粒子の濃度に応じた出射光データを示すグラフ(1)である。 インクジェットプリンティング装置を用いて測定されたインク内粒子の濃度に応じた出射光データを示すグラフ(2)である。 他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置を用いたインクプリンティング方法を示すフローチャートである。 一実施形態によるインクジェットプリンティング装置のインクジェットヘッドに含まれた複数のノズルの配置を示す図である。 図２０のインクジェットヘッドに含まれた複数のノズルでインクが吐出されることを示す図である。 一実施形態によるインクプリンティング方法の一部段階の順序を示すフローチャートである。 図２２の一段階の順序を示すフローチャートである。 図２３の一段階を示す図である。 一実施形態による表示装置の製造方法を示すフローチャートである。 一実施形態によるインクプリンティング方法を用いた表示装置の製造方法を示す断面図(1)である。 一実施形態によるインクプリンティング方法を用いた表示装置の製造方法を示す断面図(2)である。 一実施形態によるインクプリンティング方法を用いた表示装置の製造方法を示す断面図(3)である。 一実施形態によるインクプリンティング方法を用いた表示装置の製造方法を示す断面図(4)である。 一実施形態による表示装置の一部分を示す断面図である。 他の実施形態による表示装置の製造方法を示すフローチャートである。 図３１の表示装置の製造方法の一段階を示す断面図(1)である。 図３１の表示装置の製造方法の一段階を示す断面図(2)である。

本発明の利点および特徴、並びにこれらを達成する方法は添付する図面と共に詳細に後述している実施形態を参照すると明確になる。しかし、本発明は、以下で開示する実施形態に限定されるものではなく、互いに異なる多様な形態で実現されることができ、本実施形態は、単に本発明の開示を完全にし、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者に発明の範疇を完全に知らせるために提供するものであり、本発明は請求項の範疇によってのみ定義される。

素子（Ｅｌｅｍｅｎｔｓ）または層が、他の素子または層の「上（Ｏｎ）」と称される場合は、他の素子のすぐ上に、または、中間に他の層または他の素子が介在する場合をすべて含む。これと同様に、「下（Ｂｅｌｏｗ）」、「左（Ｌｅｆｔ）」および「右（Ｒｉｇｈｔ）」と称される場合は他の素子とすぐ隣に介在する場合または中間に他の層または他の素材を介在する場合をすべて含む。明細書全体にわたって同一参照符号は同一構成要素を指すものとする。

第１、第２などが多様な構成要素を叙述するために使われるが、これらの構成要素は、これらの用語によって制限されないのはもちろんのことである。これらの用語は単に一つの構成要素を他の構成要素と区別するために使用する。したがって、以下で言及される第１構成要素は本発明の技術的思想内で第２構成要素であり得るのはもちろんである。

以下、添付された図面を参照して実施形態について説明する。

図１は、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。図２は、一実施形態によるインク濃度測定装置の構成を示す概略図である。

図１および図２を参照すると、インクジェットプリンティング装置１０は、インクジェットヘッドＰＡおよびインク濃度測定装置１００を含む。インクジェットヘッドＰＡは、複数の粒子（図３の「ＰＴ」）が分散したインクＤＬを、ノズル（図示せず）を介して吐出する。インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬは、プリンティングの対象物体に噴射され、インクＤＬの材料に応じて、対象物体上に層またはパターンを形成しうる。図面では、インクジェットプリンティング装置１０におけるインクＤＬが吐出されるインクジェットヘッドＰＡと、インク濃度測定装置１００のみが示されているが、インクジェットプリンティング装置１０は、インクジェットヘッドＰＡ以外に他の装置をさらに含み得る。

インク濃度測定装置１００は、光照射装置１１０、センシング装置１３０およびプロセッサ１５０を含む。インク濃度測定装置１００は、光照射装置１１０およびセンシング装置１３０を用いて、測定対象のインクＤＬに対する光データを取得し、前記取得されたデータからインク内粒子の濃度、および濃度変化を感知する。一実施形態によるインク濃度測定装置１００は、測定対象のインクＤＬ内に含まれた粒子（図３の「ＰＴ」）の個数の変化、およびインクの液滴の体積、速度といったデータを取得し得るのであり、これからインクにおける単位液滴当たりの、分散した粒子の濃度の変化を確認することができる。

一実施形態によるインク濃度測定装置１００の測定対象は、複数の粒子ＰＴが分散したインクＤＬとして、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬであり得る。例示的な実施形態で、インクジェットヘッドＰＡは、複数のノズルまたは吐出部を含み、各ノズルからインクＤＬを同時に吐出する。インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬは、溶媒（図３の「ＳＶ」）およびそれに分散した複数の粒子ＰＴを含み得るのであり、吐出されたインクＤＬは、プリンティングの対象、例えば対象基板上に吐出されて、粒子ＰＴを含む層またはパターンを形成する。インクＤＬが形成する層またはパターンが、均一な品質を維持するために、プリンティング工程が繰り返される間に、インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬにおける単位液滴当たりの粒子ＰＴの個数または濃度が均一であることが求められる。特に、液体状態のインクＤＬ内に分散した粒子ＰＴは、工程が繰り返されるに伴ってインクＤＬ内で沈殿し、インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬの単位液滴当たり粒子ＰＴの個数が変わり得る。

一実施形態によるインク濃度測定装置１００は、インクジェットヘッドＰＡを含むインクジェットプリンティング装置１０に内蔵されて、インクジェットヘッドＰＡのプリンティング工程が行われる間、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬにおける単位液滴当たりの粒子ＰＴの個数、またはインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度の変化をリアルタイムで感知する。インク濃度測定装置１００は、感知された粒子ＰＴの濃度変化に基づいてインクジェットヘッドＰＡにフィードバックすることで、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度を均一に維持することができる。

光照射装置１１０は、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬに光を照射する。光照射装置１１０は、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬが通過する経路に設定された照射領域ＳＡに光Ｌを照射しうるのであり、照射領域ＳＡを通過するインクＤＬは光照射装置１１０で照射された光が入射されうる。光照射装置１１０は、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬが通過する経路に光Ｌを照射できる位置に配置されうる。一例として、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬが第１方向ＤＲ１に吐出される場合、光照射装置１１０は第１方向ＤＲ１と異なる方向に光Ｌを照射しうる。例えば、光照射装置１１０は第１方向ＤＲ１に垂直な第２方向ＤＲ２に光Ｌを照射できるようにインクＤＬが吐出される経路から第２方向ＤＲ２に離隔して配置されうる。インクジェットヘッドＰＡではインクＤＬが吐出されるインクジェットヘッドの第１方向ＤＲ１には光照射装置１１０が配置されず、インクジェットヘッドの下部から第２方向ＤＲ２に離隔して配置されうる。ただし、これに制限されず、光照射装置１１０とインクジェットヘッドＰＡのインクジェットヘッドとの配置関係は図面に示されたものと異なってもよい。

センシング装置１３０は、光照射装置１１０からインクＤＬに照射された光ＬがインクＤＬにより反射、屈折または散乱して出射された光（ＳＬ、以下「インクＤＬで出射された光」）が入射されうる。センシング装置１３０は、インクＤＬからの出射光ＳＬの量および強度と散乱強度などを感知しうる。

光照射装置１１０とセンシング装置１３０は、インクＤＬへの光照射や、出射光ＳＬのセンシングに容易な位置に配置されうる。一例として、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬが第１方向ＤＲ１へと吐出される場合、光照射装置１１０は第１方向ＤＲ１と異なる方向に光Ｌを照射し得るのであり、センシング装置１３０は、インクＤＬが吐出される経路を基準として、光照射装置１１０とは反対の側に配置され得る。例えば、光照射装置１１０が、インクＤＬが吐出される経路から第２方向ＤＲ２の一方の側に離隔して配置された場合、センシング装置１３０は、インクＤＬが吐出される経路から、第２方向ＤＲ２の他方の側に離隔して配置されることにより、光照射装置１１０とセンシング装置１３０は互いに対向するのでありうる。図面では、光照射装置１１０とセンシング装置１３０とが、インクＤＬの吐出経路を基準として、互いに逆方向に配置されたことが例示しているが、これに制限されない。いくつかの実施形態で、インク濃度測定装置１００は、インクＤＬから出射光ＳＬを特定方向に反射したり集光したりすることができる装置をさらに含み得るのであり、この場合、センシング装置１３０の配置は変わってもよい。

光照射装置１１０から照射された光Ｌは、インクＤＬを通過しながらインクＤＬに分散した粒子ＰＴによって散乱または屈折しうる。インクＤＬに入射された光Ｌの散乱強度は、インクＤＬ内における分散した粒子ＰＴの量または濃度に応じて変わりうる。光照射装置１１０から一定の強度または波長帯の光Ｌを照射する場合、センシング装置１３０にてセンシングされる出射光ＳＬの強度および散乱強度は、インクＤＬ内に分散した粒子の個数または濃度に応じて変わりうる。

図３および図４は、インク内の分散した粒子が、照射された光を散乱することを示す概略図である。図３と図４は、それぞれ、光照射装置１１０から照射された光ＬがインクＤＬにより散乱することを示している。図３に示されたインクＤＬは、分散した粒子ＰＴの個数が、図４に示されたインクＤＬより小さい場合を例示している。

図３および図４を参照すると、インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬは、溶液またはコロイド（Ｃｏｌｌｏｉｄ）状態であり得る。インクＤＬは、溶媒ＳＶ、および溶媒ＳＶに分散した複数の粒子ＰＴを含み得る。一実施形態で、溶媒ＳＶは、アセトン、水、アルコール、トルエン、プロピレングリコール（Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ，ＰＧ）またはプロピレングリコールメチルアセテート（Ｐｒｏｐｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｍｅｔｈｙｌ ａｃｅｔａｔｅ，ＰＧＭＡ）、トリエチレングリコールモノブチルエーテル（Ｔｒｉｅｔｈｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｍｏｎｏｂｕｔｙｌ ｅｔｈｅｒ，ＴＧＢＥ）、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル（Ｄｉｅｔｈｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｍｏｎｏｐｈｅｎｙｌ ｅｔｈｅｒ，ＤＧＰＥ）、アミド系溶媒、カルボニル系溶媒、ジエチレングリコールジベンゾエート（Ｄｉｅｔｈｙｌｅｎｅ ｇｌｙｃｏｌ ｄｉｂｅｎｚｏａｔｅ）、トリカルボニル系溶媒、トリエチルシトレート（Ｔｒｉｅｔｈｙｌ ｃｉｔｒａｔｅ）、フタレート系溶媒、フタル酸ベンジルブチル（Ｂｅｎｚｙｌ ｂｕｔｙｌ ｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ビス（２－エチルヘキシル）フタレート（Ｂｉｓ（２－ｅｔｈｌｙｈｅｘｙｌ） ｐｈｔｈａｌａｔｅ）、ビス（２－エチルヘキシル）イソフタレート（Ｂｉｓ（２－ｅｔｈｙｌｈｅｘｙｌ） ｉｓｏｐｈｔｈａｌａｔｅ）、エチルフタリルエチルグリコレート（Ｅｔｈｙｌ ｐｈｔｈａｌｙｌ ｅｔｈｙｌ ｇｌｙｃｏｌａｔｅ）などであり得るがこれに制限されない。複数の粒子ＰＴは、無機粒子、または有機粒子として量子ドット、散乱体または無機物半導体粒子であり得る。インクＤＬに分散して吐出される粒子ＰＴの種類は、インクジェットヘッドＰＡを用いて形成しようとする層、またはパターンの種類によって変わる。例示的な実施形態で、インクジェットプリンティング装置１０がインクＤＬに分散させて吐出する粒子ＰＴは、酸化チタン（ＴｉＯ_２）、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ_２）、酸化アルミニウム（Ａｌ_２Ｏ_３）、酸化インジウム（Ｉｎ_２Ｏ_３）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、酸化スズ（ＳｎＯ_２）、アクリル系樹脂またはウレタン系樹脂などといった散乱体、ＩＶ族系ナノ結晶、ＩＩ－ＶＩ族系化合物ナノ結晶、ＩＩＩ－Ｖ族系化合物ナノ結晶、ＩＶ－ＶＩ族系ナノ結晶またはこれらの組み合わせなどといった量子ドット物質であり得る。または、粒子ＰＴが無機物半導体粒子の場合、粒子ＰＴは、マイクロメーターないしナノメーターの大きさを有する無機物発光素子として、ガリウム（Ｇａｌｌｉｕｍ，Ｇａ）を含む無機半導体粒子であり得る。

インクＤＬに分散した粒子ＰＴの種類に関係なく、インクＤＬに入射されて散乱した光ＳＬの強度または量と散乱強度は、粒子ＰＴの個数または濃度に応じて変わりうる。インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が多くなるほど、インクＤＬに入射された光Ｌの散乱強度、および散乱した光ＳＬの強度および散乱強度が増加しうる。インク濃度測定装置１００は、プロセッサ１５０をさらに含むことで、センシング装置１３０にて取得された光データから、インクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度の変化を感知または算出しうる。

プロセッサ１５０は、センシング装置１３０に入射された出射光ＳＬに対するデータが入力される。プロセッサ１５０は、入力された出射光データから、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を感知する。プロセッサ１５０は、センシング装置１３０にて取得された光データから、インクＤＬで出射された光ＳＬに対するデータを選別するアルゴリズム、前記出射された光ＳＬに対するデータからインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を算出するアルゴリズムを含み得る。例えば、センシング装置１３０はインクＤＬで出射された光ＳＬだけでなく、センシング装置１３０と光照射装置１１０の配置によって光照射装置１１０で照射される光Ｌも入射される。プロセッサ１５０は光照射装置１１０で照射される光Ｌの進行経路、強度、散乱強度などのようなデータに基づいてセンシング装置１３０に入射された光データのうちインクＤＬで出射された光ＳＬに対するデータを選別する。インクＤＬで出射された光ＳＬに対するデータに基づいてインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を感知する。

インク濃度測定装置１００を用いて行われる、インクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度の測定は、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬの吐出工程が行われる間、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を感知し、インクジェットヘッドＰＡが吐出するインクＤＬが、単位液滴当たり均一な個数の粒子ＰＴを含むように維持することに目的がある。前記過程にてセンシング装置１３０で取得できるデータは、インクＤＬから出射された光ＳＬの強度および量と散乱強度に対するデータである。インク濃度測定装置１００は、前記取得された光データに基づいて、インクＤＬにおける単位液滴当たりの、粒子ＰＴの個数および濃度に対するデータを抽出または算出するのであり、これから粒子ＰＴの濃度変化が基準値を超えるか否かを判断して、インクジェットヘッドＰＡを制御するアルゴリズムが行われうる。インク濃度測定装置１００で行われる濃度測定方法に係る説明は、他の図面を参照して後述する。

一方、インク濃度測定装置１００が感知しようとするインクＤＬ内の粒子ＰＴの変化のデータは、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬにおける単位液滴当たり粒子ＰＴの個数の変化として、インクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度変化のデータであり得る。インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬにおける粒子ＰＴの濃度変化は、１回で吐出されたインクＤＬの液滴の体積、および、１回で吐出されたインクＤＬ内に含まれた粒子ＰＴの個数に、それぞれ関連しうる。インクジェットヘッドＰＡに含まれた、配管から流れるインクＤＬにおける粒子ＰＴが沈殿すると、１回で吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が変わりうる。また、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬが吐出されるノズルに異物が生じて、１回で吐出されるインクＤＬの体積が変わる場合は、単位時間当たりに吐出された粒子ＰＴの個数も変わりうる。このような変化は、インクジェットヘッドＰＡから１回で吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化をもたらし、これによってインクジェットヘッドＰＡを用いて形成する層またはパターンの品質が均一でない。インク濃度測定装置１００は、インクジェットヘッドＰＡから１回で吐出されるインクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度変化をリアルタイムで感知してインクジェットヘッドＰＡにフィードバックする。

一実施形態によるインク濃度測定装置１００は、複数の光照射装置１１０および複数のセンシング装置１３０を含むことで、これらが、インクＤＬに対する、互いに異なるデータを取得する。インク濃度測定装置１００は、インクジェットヘッドＰＡから１回で吐出されるインクＤＬの体積および速度と、インクＤＬ内に含まれた粒子ＰＴの個数に関係するデータとにより、インクＤＬの単位液滴当たりの粒子ＰＴの濃度変化を感知し、これをインクジェットヘッドＰＡにフィードバックする。

図５は、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。

図５を参照すると、一実施形態によるインク濃度測定装置１００は、互いに異なる光Ｌ１，Ｌ２を照射する複数の光照射装置（１１０；１１１，１１３）と、各光照射装置１１１，１１３から照射された光Ｌ１，Ｌ２がインクＤＬを通り抜けて出射された光ＳＬ１，ＳＬ２をそれぞれセンシングする複数のセンシング装置（１３０；１３１，１３３）とを含み得る。互いに異なる、光照射装置１１０及びセンシング装置１３０の組み合わせは、それぞれ、インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬから、互いに異なるデータを取得する。

一実施形態によれば、光照射装置１１０は、互いに異なる波長帯の光を照射する第１光照射装置１１１および第２光照射装置１１３を含み得る。センシング装置１３０は、第１光照射装置１１１から照射されて、インクＤＬから出射された第１出射光ＳＬ１が入射される第１センシング装置１３１、および、第２光照射装置１１３から照射されて、インクＤＬから出射された第２出射光ＳＬ２が入射される第２センシング装置１３３を含み得る。第１光照射装置１１１と第１センシング装置１３１は、一対をなして、インクＤＬ内に分散した粒子ＰＴの個数に関連するデータを取得し、第２光照射装置１１３と第２センシング装置１３３とは一対をなして１回で吐出されたインクＤＬの体積、および速度と関連するデータを取得しうる。

前述したように、第１光照射装置１１１および第２光照射装置１１３は、それぞれ、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬが吐出される第１方向ＤＲ１と異なる方向に光Ｌ１，Ｌ２を照射できるように配置されうる。例えば、第１光照射装置１１１及び第２光照射装置１１３は、それぞれ、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬが通過する経路から、第２方向ＤＲ２の一方の側に離隔して配置されうる。第１光照射装置１１１及び第２光照射装置１１３は、それぞれ、インクＤＬが吐出される経路に設定された照射領域ＳＡ１，ＳＡ２に、第２方向ＤＲ２へと光Ｌ１，Ｌ２を照射しうる。第１光照射装置１１１及び第２光照射装置１１３は、インクＤＬが吐出される経路から同じ方向の一方の側に配置されて、第１方向ＤＲ１に並んで配置されるが、これに制限されない。第１光照射装置１１１と第２光照射装置１１３は互いに並ばないように配置されたり、いくつかの実施形態で、インクＤＬが吐出される経路を基準として互いに反対側に配置されることもありうる。

図面では、第１光照射装置１１１が、第２光照射装置１１３の第１方向ＤＲ１の一方の側に離隔して配置されることによって、第２光照射装置１１３よりもインクジェットヘッドＰＡに、より隣接して配置されたことが例示されている。インクＤＬが吐出される領域に設定される照射領域ＳＡ１，ＳＡ２のうちの、第１光照射装置１１１の第１光Ｌ１が照射される第１照射領域ＳＡ１は、第２光照射装置１１３の第２光Ｌ２が照射される第２照射領域ＳＡ２よりも、インクジェットヘッドＰＡに、より隣接して位置し得る。ただし、これに制限されず、いくつかの実施形態では、第２光照射装置１１３が第１光照射装置１１１よりもインクジェットヘッドＰＡにより隣接して配置されてもよい。

複数のセンシング装置１３０は、インクＤＬで出射された光ＳＬ１，ＳＬ２が入射され得る位置に配置される。例えば、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬが第１方向ＤＲ１に吐出され、第１光照射装置１１１および第２光照射装置１１３の場合、第２方向ＤＲ２に光Ｌ１，Ｌ２を照射し、センシング装置１３０をインクＤＬが吐出される経路を基準として、光照射装置１１０とは反対の側に配置される。第１センシング装置１３１は、第１光照射装置１１１から第２方向ＤＲ２に離隔して、インクＤＬが吐出される経路の反対側に配置されうるのであり、第２センシング装置１３３は、第２光照射装置１１３から第２方向ＤＲ２に離隔して、インクＤＬが吐出される経路の反対側に配置されうる。第１光照射装置１１１及び第２光照射装置１１３は、それぞれ、第１センシング装置１３１および第２センシング装置１３３と、第２方向ＤＲ２に対向しうる。

一実施形態によれば、第１光照射装置１１１と第２光照射装置１１３とは、互いに異なる波長帯の光を照射しうる。例えば、第１光照射装置１１１は波長が５００ｎｍ以下の短い短波長帯の第１光Ｌ１を照射し、第２光照射装置１１３は波長が１０００ｎｍ以上の長い長波長帯の第２光Ｌ２を照射するのでありうる。インクＤＬに照射される光Ｌ１，Ｌ２は、インクＤＬおよびインクＤＬ内の粒子ＰＴにより、屈折または散乱してセンシング装置１３０に入射されうる。光Ｌ１，Ｌ２の波長が短いほど、粒子ＰＴによって、より多く散乱されうるので、波長が短い短波長帯の第１光Ｌ１は、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数変化を測定するのに有利である。反面、長波長帯の第２光Ｌ２は、吐出されたインクＤＬの大きさ、および体積と速度を測定するのに有利である。いくつかの実施形態で、第１光照射装置１１１が照射する第１光Ｌ１は、インクＤＬに入射される第１入射光であり、第１光Ｌ１がインクＤＬから出射された第１出射光ＳＬ１は、インクＤＬから散乱した光であり得る。第２光照射装置１１３が照射する第２光Ｌ２はインクＤＬに入射される第２入射光であり、第２光Ｌ２がインクＤＬから出射された第２出射光ＳＬ２は、インクＤＬにより屈折した光であり得る。インク濃度測定装置１００は、互いに異なる波長帯の光Ｌ１，Ｌ２を放出する第１光照射装置１１１および第２光照射装置１１３を含むことで、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬの大きさ、体積および速度に関連するデータと、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数に関連するデータとをそれぞれ取得しうる。

第１センシング装置１３１は、第１光照射装置１１１から照射された第１光Ｌ１が、インクＤＬにより散乱した第１出射光ＳＬ１が入射され、これからインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数と関連するデータを取得しうる。第１光Ｌ１に対して第１出射光ＳＬ１の強度および散乱強度が強いほど、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が多く、第１出射光ＳＬ１の強度および散乱強度が小さいほど、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が少ないのでありうる。第２センシング装置１３３は、第２光照射装置１１３から照射された第２光Ｌ２がインクＤＬにより屈折した、第２出射光ＳＬ２が入射され、これからインクＤＬの大きさおよび体積と速度に関連するデータを取得しうる。

インク濃度測定装置１００のプロセッサ１５０は、第１センシング装置１３１および第２センシング装置１３３にて取得された出射光ＳＬ１，ＳＬ２に対するデータに基づいて、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を感知する。第１センシング装置１３１と第２センシング装置１３３にて取得される出射光ＳＬ１，ＳＬ２に対するデータは、光の強さ、散乱強度、および光が入射される方向などに対するデータであり得る。プロセッサ１５０は、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬを吐出する工程が行われる際、各吐出工程ごとに、インクＤＬに光を照射して取得されるデータを処理して、初期値、または既設定値と対比したその差を計算して、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を算出しうる。

例えば、インクジェットヘッドＰＡの最初の吐出工程で吐出されたインクＤＬの大きさ、体積および速度並びに粒子ＰＴの個数と関連するデータとして、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度と関連するデータが設定されると、プロセッサ１５０は、各吐出工程ごとに変わるインクＤＬの大きさ、体積および速度と粒子ＰＴの個数と関連するデータからインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化量に対するデータを算出しうる。またはインクジェットヘッドＰＡのプリンティング工程にて１回で吐出されるインクＤＬに必要な大きさ、体積および速度と粒子ＰＴの個数と関連する数値がプロセッサ１５０に保存された場合、プロセッサ１５０は各吐出工程ごとに取得されたインクＤＬに関するデータを保存されたデータと比較してインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度に対するデータを算出する。これに係る、より詳しい説明は、他の図面を参照して後述する。

一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度をリアルタイムで感知するインク濃度測定装置１００を含むことで、繰り返されるプリンティング工程中のインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を均一に維持しうる。インクジェットプリンティング装置１０を用いて粒子ＰＴを含む層またはパターンを形成する場合、プリンティング工程で形成される製品は、前記層およびパターンの品質を均一に維持できる利点がある。

図６は、他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。

図６を参照すると、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、第２光照射装置１１３および第２センシング装置１３３が、第１光照射装置１１１および第１センシング装置１３１よりも、インクジェットヘッドＰＡに隣接して配置されうる。インクジェットヘッドＰＡの第１方向ＤＲ１にインクＤＬが吐出されて、インクＤＬの吐出経路には、光照射装置１１０が光Ｌ１，Ｌ２を照射する照射領域ＳＡ１，ＳＡ２が位置するが、本実施形態は、第２照射領域ＳＡ２が第１照射領域ＳＡ１よりインクジェットヘッドＰＡに隣接して位置しうる。インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００は、第１光照射装置１１１および第２光照射装置１１３を含むことで、互いに異なる波長帯の光Ｌ１，Ｌ２を照射して、インクＤＬに対する多様なデータを取得できるのであれば、これらの相対的な配置は特に制限しない。本実施形態は、第２光照射装置１１３および第２センシング装置１３３と、第１光照射装置１１１および第１センシング装置１３１との、相対的な配置が異なることを除いては、図５の実施形態と同一である。

インクジェットプリンティング装置１０は、第２光照射装置１１３および第２センシング装置１３３が、インクジェットヘッドＰＡに、より隣接して配置されることにより、インク濃度測定装置１００にて、吐出されたインクＤＬの大きさ、体積および速度と関連するデータをさらに容易に取得できる利点がある。インクＤＬがインクジェットヘッドＰＡから吐出された後に、プリンティングの対象物体または対象基板上に着弾して付着される間、外部の他の要因によってインクＤＬ液滴の物理的特性が変わることもありうる。第１光照射装置１１１および第１センシング装置１３１にて取得できる、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数と関連するデータは、インクＤＬ液滴の物理的特性とは関係なく、インクジェットヘッドＰＡで吐出された後にはほとんど一定でありうる。したがって、インクジェットプリンティング装置１０は、インクジェットヘッドＰＡから吐出された直後に、インクＤＬの大きさ、体積および速度に対するデータの第２出射光ＳＬ２を取得できるように、第２光照射装置１１３および第２センシング装置１３３が、インクジェットヘッドＰＡに、より隣接するように配置されうる。

図７は、他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。図８は、図７のインクジェットプリンティング装置で反射装置によって反射した光が進行することを示す概略図である。

図８および図７を参照すると、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、インク濃度測定装置１００が、光照射装置１１０から照射されてインクＤＬから出射された光ＳＬを特定領域に集光できる反射装置１９０をさらに含み得る。

反射装置１９０は、外面が湾曲した半円形状を有し、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬが通過する吐出経路を囲みうる。インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬは、反射装置１９０の曲率中心を通過するように吐出され、光照射装置１１０から照射された光Ｌは、インクＤＬにて散乱または屈折して出射された光ＳＬとして反射装置１９０に入射される。反射装置１９０は、反射率が高い材料を含んでインクＤＬで出射された光ＳＬを入射された方向の逆方向に反射しうる。

反射装置１９０は、インクＤＬから出射された光ＳＬを反射できる位置に配置される。例えば、光照射装置１１０がインクＤＬの吐出経路から第２方向ＤＲ２に離隔して配置された実施形態で、反射装置１９０は、インクＤＬの吐出経路を基準として、光照射装置１１０の反対側に向かうように湾曲して形成されうる。反射装置１９０は、曲率中心がインクＤＬの吐出経路に置かれるように配置され、インクＤＬの吐出経路を基準として、光照射装置１１０が配置された方向とは逆の方向に膨らんだ形状を有することができる。光照射装置１１０から照射されてインクＤＬから出射された光ＳＬは、反射装置１９０の凹んだ内側に向かうように進行しうる。

また、出射された光ＳＬは、反射装置１９０から光照射装置１１０が配置された方向に向かって反射され得る。図１および図５の実施形態とは異なり、出射された光ＳＬが向かう方向が、光照射装置１１０が配置された側へと向かうので、一実施形態によるセンシング装置１３０は、インクＤＬの吐出経路を基準として光照射装置１１０と同じ側に配置されうる。反射装置１９０は、インクＤＬから出射された光ＳＬを光照射装置１１０が配置された部分に設定された任意の領域、例えば感知領域ＳＳに向かって反射しうるのであり、センシング装置１３０は感知領域ＳＳに入射する光ＳＬをセンシングしうる。光照射装置１１０とセンシング装置１３０とは、第２方向ＤＲ２に互いに対向せず、インクＤＬの吐出経路から見て一方の側に並んで配置されうる。

反射装置１９０は、光照射装置１１０でから照射される光Ｌと、インクＤＬから出射された光ＳＬとを感知領域ＳＳに反射できるため、光の集光効果を誘導することができる。センシング装置１３０は、反射装置１９０により反射した光が向かう感知領域ＳＳに入射される光のみをセンシングして、インクＤＬにより出射された光ＳＬに対するデータを取得する。インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００は、反射装置１９０をさらに含むことで、センシング装置１３０にて取得するデータの正確度および精密性を向上させ得る利点がある。

図９および図１０は、他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。

図９および図１０を参照すると、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、インク濃度測定装置１００が少なくとも一つの反射装置（１９０；１９１，１９３）を含むことで、第１センシング装置１３１および第２センシング装置１３３にて取得するデータの正確度および精密性を向上させることができる。

図９の実施形態は、インク濃度測定装置１００が一つの反射装置１９０を含むことで、第１光照射装置１１１と対向するように配置されうる。第１光照射装置１１１と反射装置１９０とは、互いに第２方向ＤＲ２に対向して向かい合うように配置されるのであり、第１センシング装置１３１は、第１光照射装置１１１と第２方向ＤＲ２にて対向せず、インクＤＬの吐出経路から一方の側に並んで配置される。反面、第２光照射装置１１３と第２センシング装置１３３とは、図６の実施形態と同様に、互いに第２方向ＤＲ２に対向するように配置される。

図１０の実施形態は、インク濃度測定装置１００が第１反射装置１９１および第２反射装置１９３を含み得る。第１反射装置１９１は、第１光照射装置１１１と対向するように配置されるのであり、第２反射装置１９３は、第２光照射装置１１３と対向するように配置される。第１センシング装置１３１は、第１光照射装置１１１と第２方向ＤＲ２にて対向せず、インクＤＬの吐出経路から見て一方の側に並んで配置される。第２センシング装置１３３は、第２光照射装置１１３と第２方向ＤＲ２にて対向せず、インクＤＬの吐出経路から見て一方の側に並んで配置されうる。

図１１は、他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置の動作を示す概略図である。

図１１を参照すると、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、第１光照射装置１１１および第２光照射装置１１３が、それぞれ同じ照射領域ＳＡに、光Ｌ１，Ｌ２を照射する。第１光照射装置１１１と第２光照射装置１１３とが、互いに異なる方向に向かうように光Ｌ１，Ｌ２を照射する場合、これらが同じ照射領域ＳＡに向かって光を照射しても、互いに異なるセンシング装置１３１，１３３は、それぞれ他の出射光ＳＬ１，ＳＬ２をセンシングする。いずれか一つの光照射装置１１０が、他の光照射装置１１０の光進行経路を迂回して光を照射すると、互いに異なる光照射装置１１１，１１３は同じ領域に位置したインクＤＬに同時に光を照射し、互いに異なるセンシング装置１３１，１３３は、出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを個別に取得する。

例えば、インクＤＬがインクジェットヘッドＰＡから吐出されて任意の照射領域ＳＡに位置するとき、第１光照射装置１１１は第２方向ＤＲ２に第１光Ｌ１を照射する。第２方向ＤＲ２に照射された第１光Ｌ１は、インクＤＬにて散乱して反射装置１９０に向かう。第１センシング装置１３１は、反射装置１９０にて反射した第１出射光ＳＬ１が感知領域（図示せず）に入射されると、これらをセンシングする。第１センシング装置１３１は、インクＤＬの吐出経路の一方の側(一側)にて、第１光照射装置１１１と並んで配置される。第１光照射装置１１１で照射された第１光Ｌ１は、短波長のレーザー光であり得るのであり、第１センシング装置１３１にて取得された第１出射光ＳＬ１に対するデータは、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数と関連するデータであり得る。

図５の実施形態とは異なり、インクＤＬが、インクジェットヘッドＰＡから吐出されて任意の照射領域ＳＡに位置する時に、第２光照射装置１１３は、第１方向ＤＲ１と第２方向ＤＲ２との間の方向に第２光Ｌ２を照射し得る。第２光照射装置１１３から照射された第２光Ｌ２は、反射装置１９０に向かわず、第２光照射装置１１３と対向するように配置された第２センシング装置１３３に向かう。

第２光照射装置１１３が第１光照射装置１１１から第１方向ＤＲ１に離隔して配置されており、第１光照射装置１１１の第２方向ＤＲ２に位置した照射領域ＳＡに第２光Ｌ２を照射する場合、第２光Ｌ２は、第１光照射装置１１１の下側（第１方向ＤＲ１の他側）から反射装置１９０の上側（第１方向ＤＲ１の一側）に向かう。第２センシング装置１３３は、照射領域ＳＡを基準として、第２光照射装置１１３と対向するように配置されており、反射装置１９０の上側（第１方向ＤＲ１の一側）に配置される。照射領域ＳＡに向かう第２光Ｌ２は、反射装置１９０に向かわず、第２センシング装置１３３に向かう。第２光照射装置１１３から照射された第２光Ｌ２は、長波長のレーザー光であり得るのであり、第２センシング装置１３３にて取得された第２出射光ＳＬ２に対するデータは、インクＤＬの大きさ、体積および速度と関連するデータであり得る。

第１光照射装置１１１は、反射装置１９０に向かって第１光Ｌ１を照射することにより、第１光照射装置１１１と第１センシング装置１３１とは、インクＤＬの吐出経路の一側にて並んで配置される。反面、第２光照射装置１１３は、反射装置１９０に向かわないように、斜線方向に第２光Ｌ２を照射することにより、第２光照射装置１１３と第２センシング装置１３３はインクＤＬの吐出経路を基準として反対側に配置されて対向する。本実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、互いに異なる光照射装置１１１，１１３が同じ照射領域ＳＡに置かれたインクＤＬに、同時に光Ｌ１，Ｌ２を照射して出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを収得する。光照射装置１１１，１１３とセンシング装置１３１，１３３とは、それに対応した配置を有する。

以下、他の図面をさらに参照してインクジェットプリンティング装置１０を用いたインクプリンティング方法について説明する。

図１２は、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置を用いたインクプリンティング方法を示すフローチャートである。

図１２を参照すると、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０を用いたインクプリンティング方法は、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬを吐出する段階（Ｓ１０）、吐出されたインクＤＬに光Ｌ１，Ｌ２を照射して出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを収得する段階（Ｓ２０）、および、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたか否かを判断（Ｓ３０）する段階を含み得る。インク濃度測定装置１００にて、プロセッサ１５０が、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化、および、濃度を感知し、基準値を超えたか否かに応じて、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬを吐出してプリンティング工程を行うか（Ｓ１０）、インクジェットヘッドＰＡに、濃度変化をフィードバックして、吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を制御（Ｓ４０）する段階を含み得る。

インクジェットプリンティング装置１０は、プリンティングの対象製品、例えば対象基板上に粒子ＰＴを含む層またはパターンを形成する工程にて、インクジェットプリンティング工程を行うのに用いられる。インクジェットプリンティング装置１０は、粒子ＰＴが分散したインクＤＬをインクジェットヘッドＰＡから前記対象基板上に吐出し得るのであり、対象基板上に着弾して付着されたインクＤＬは、後処理工程が行われて、粒子ＰＴを含む層またはパターンを形成する。

一実施形態によるインクプリンティング方法は、粒子ＰＴを含む層またはパターンを形成するためのプリンティング工程のうち、インクＤＬに含まれた粒子ＰＴの濃度変化を感知したりまたは濃度を測定したりする段階を含み得る。上述した実施形態のように、インク濃度測定装置１００を含むインクジェットプリンティング装置１０は、インクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬの液滴および粒子ＰＴの変化を測定して、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を感知し得るのであり、これをインクジェットヘッドＰＡにフィードバックして、吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を均一に維持することができる。以下、他の図面をさらに参照して、インクジェットプリンティング装置１０を活用したインクプリンティング方法について説明する。

図１３ないし図１６は、一実施形態によるインクプリンティング方法を順に示す概略図である。図１３ないし図１６は、図９のインクジェットプリンティング装置１０を用いたインクプリンティング方法を順に示している。

先に、図１３を参照すると、インクジェットプリンティング装置１０のインクジェットヘッドＰＡからインクＤＬを吐出（Ｓ１０）する。前述したようにインクＤＬは、溶媒ＳＶと、溶媒ＳＶに分散した複数の粒子ＰＴとを含み得る。図面に示していないが、インクＤＬは、インクジェットプリンティング装置１０に含まれたインク貯蔵部などに収容され、配管を介してインクジェットヘッドＰＡに注入される。インクＤＬは、インクジェットヘッドＰＡに含まれた複数のノズルを介して吐出され、プリンティングの対象物体である対象基板（図示せず）上に噴射されうる。

インクＤＬは、インクジェットヘッドＰＡから第１方向ＤＲ１に吐出される。インクＤＬは、インクジェットヘッドＰＡから吐出されて、インク濃度測定装置１００における光照射装置（１１０；１１１，１１３）の光が照射される、照射領域ＳＡ１，ＳＡ２を経て対象基板上に噴射されうる。

次に、図１４を参照すると、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬが第１照射領域ＳＡ１を通過する際、第１光照射装置１１１が第１照射領域ＳＡ１に第１光Ｌ１を照射し、第１センシング装置１３１は、インクＤＬにて散乱した第１出射光ＳＬ１に対するデータを収得（Ｓ２０）しうる。インクジェットプリンティング装置１０におけるインク濃度測定装置１００が、第１光照射装置１１１と対向する一つの反射装置１９０を含む実施形態にて、インクＤＬは、反射装置１９０の曲率中心を通過するように吐出され、第１光照射装置１１１は、インクＤＬが第１照射領域ＳＡ１に位置する時に、第１光Ｌ１を照射しうる。

いくつかの実施形態にて、反射装置１９０の曲率中心は、第１照射領域ＳＡ１と重なり、インクＤＬが反射装置１９０の曲率中心に置かれる時に、第１光Ｌ１が照射されうる。第１光照射装置１１１から照射された第１光Ｌ１は、インクＤＬにより散乱して、第１出射光ＳＬ１として反射装置１９０に向かいうる。反射装置１９０は第１出射光ＳＬ１を反射し、第１センシング装置１３１は、反射装置１９０にて反射した第１出射光ＳＬ１をセンシングしうる。

第１センシング装置１３１がセンシングした第１出射光ＳＬ１データは、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数と関連するデータであり得る。インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が多い場合に、第１出射光ＳＬ１の強度および散乱強度が大きくなり、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が少ない場合に、第１出射光ＳＬ１の強度および散乱強度が小さいのでありうる。

次に、図１５を参照すると、インクジェットヘッドＰＡから吐出されたインクＤＬが第２照射領域ＳＡ２を通過する時に、第２光照射装置１１３が第２照射領域ＳＡ２に第２光Ｌ２を照射し、第２センシング装置１３３は、インクＤＬにて屈折した第２出射光ＳＬ２に対するデータを収得（Ｓ２０）しうる。インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００中、第２光照射装置１１３と第２センシング装置１３３とが対向するように配置された実施形態において、第２照射領域ＳＡ２に照射された第２光Ｌ２は、インクＤＬにより屈折して第２出射光ＳＬ２として、第２センシング装置１３３に入射される。第２センシング装置１３３は、第２出射光ＳＬ２をセンシングしてインクＤＬの大きさ、体積および速度に対するデータを取得しうる。

次に、図１６を参照すると、インク濃度測定装置１００のプロセッサ１５０は、センシング装置１３０にて取得された出射光ＳＬ１，ＳＬ２データから、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を感知し、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたか否かを判断（Ｓ３０）する。プロセッサ１５０は、第１センシング装置１３１にて取得された第１出射光ＳＬ１データから、インクＤＬ内における粒子ＰＴの個数の変化量を計算し、第２センシング装置１３３にて取得された第２出射光ＳＬ２データから、インクジェットヘッドＰＡより吐出されたインクＤＬの大きさおよび体積を計算し、これから粒子ＰＴの濃度変化量および濃度を算出しうる。

一実施形態によれば、プロセッサ１５０にて算出した粒子ＰＴの濃度変化量は、センシング装置１３０にて取得された出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを、各プリンティング工程で取得されたデータと比較して算出しうるのであり、粒子ＰＴの濃度は、プリンティング工程の前にプロセッサ１５０に保存された、基準値との比較により算出された値であり得る。プロセッサ１５０には、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が、プリンティング工程に必要な範囲内であるならば、該当インクＤＬに光Ｌ１，Ｌ２が照射された時に現れる出射光ＳＬ１，ＳＬ２のデータが保存される。インクＤＬのプリンティング工程が行われることにより、プロセッサ１５０は、センシング装置１３０から取得される出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを、既に保存された基準値データと同じ形式でフィルタリングし、これを相互に比較する方式により、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が、基準値からの誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３０）しうる。

図１７および図１８は、インクジェットプリンティング装置を用いて測定されたインク内粒子の濃度に応じた出射光データを示すグラフである。

図１７および図１８は、光照射装置１１０から照射された光Ｌ１，Ｌ２が、インクＤＬにて散乱または屈折して、出射光ＳＬ１，ＳＬ２としてセンシング装置１３０に入射される際における、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度に応じた出射光ＳＬ１，ＳＬ２の強度を正規化（Ｎｏｒｍａｌｉｚｅｄ）して示すグラフである。図１７のグラフで、Ｙ軸座標の「Ｎｏｒｍａｌｉｚｅｄ Ｓｃａｔｔｅｒｉｎｇ Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ」(正規化散乱強度)は、短波長光の第１光Ｌ１が照射された際における、第１出射光ＳＬ１の散乱強度を正規化して示している。第１出射光ＳＬ１の正規化された強度が「１．０」に近い数値を示すならば、インクＤＬにより散乱された程度が小さい光であり、第１出射光ＳＬ１の正規化された強度が「１．０」から遠い数値を示すならば、インクＤＬにより散乱された程度が大きい光であることが分かる。

図１８は、図１７の第１出射光ＳＬ１の正規化された強度に対する標準偏差（Ｓｔａｎｄａｒｄ ｄｅｖｉａｔｉｏｎ）値を計算して示している。図１８にて、標準偏差値が大きいということは、インクＤＬによる散乱の強度が大きいことを意味し、標準偏差値が小さいということは、インクＤＬによる散乱の強度が小さいことを意味しうる。

図１７および図１８を参照すると、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が増加するほど、第１出射光ＳＬ１の正規化された強度が「１．０」から遠くなった数値を示す光が、多く検出されるということが分かる。逆に、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が減少するほど、第１出射光ＳＬ１の正規化された強度が「１．０」に近い数値を示す光が、多く検出されるということが分かる。また、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が減少するほど、散乱した光の正規化された強度が有する標準偏差値が小さいのであり、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が増加するほど、散乱光の正規化された強度が有する標準偏差値が大きいことが分かる。

インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００に含まれたプロセッサ１５０には、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度に応じた出射光データが保存される。例えば、インクジェットプリンティング装置１０のインクジェットヘッドＰＡから吐出されるインクＤＬが、４ｗｔ％の粒子ＰＴ濃度である場合が基準値になると、プロセッサ１５０には、図１７および図１８のようなデータとして、インクＤＬの粒子ＰＴ濃度が４ｗｔ％であるデータ値が保存されているのでありうる。

インクのプリンティング工程を行うことにより、第１センシング装置１３１および第２センシング装置１３３にて取得される出射光ＳＬ１，ＳＬ２データは、プロセッサ１５０にて、図１７および図１８のように、散乱光の正規化された強度、およびその標準偏差値を含み得る。第１センシング装置１３１では、短波長光による第１出射光ＳＬ１データとして、粒子ＰＴの個数に対するデータが取得されるのであり、これは第２センシング装置１３３にて長波長光による第２出射光ＳＬ２データのインクＤＬの体積に対するデータでもって補償されうる。単にインクＤＬの体積および大きさを無視して、第１出射光ＳＬ１によるデータだけで基準値データと比較する場合、インクＤＬの単位液滴当たりの体積変化に応じた変化量を考慮しないため、誤差範囲の判断においてエラーが発生し得る。そのため、プロセッサ１５０は、第１センシング装置１３１および第２センシング装置１３３にてそれぞれ取得されたデータを、総合的にフィルタリングして出射光ＳＬ１，ＳＬ２の強度およびその標準偏差値を算出しうる。

次に、プロセッサ１５０は、出射光データから算出された値を、保存された基準値と比較して、誤差範囲を超えたか否かを判断する。ここで、プロセッサ１５０に保存された基準値は、インクジェットプリンティング装置１０を用いるユーザーが設定する値であり得る。ただし、これに制限されず、前記基準値は、インクジェットプリンティング装置１０がプリンティング工程を繰り返して学習する設定値であり得る。

一実施形態によれば、プロセッサ１５０には、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度に対する基準値のデータに加え、誤差範囲に対するデータ値がさらに保存されうる。プロセッサ１５０に保存される基準値データは、インクＤＬによる出射光データとして、散乱光の正規化された強度に対するデータ（図１７）、および、正規化された強度の標準偏差値（図１８）であり得るのであり、プロセッサ１５０には、各データを基準とした誤差範囲が保存されうる。プロセッサ１５０には、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度に応じた出射光の正規化された強度および標準偏差値が、一つ以上のデータとして保存されうる。例えば、プロセッサ１５０は、基準値になる４ｗｔ％濃度のインクＤＬに対するデータに加え、これからの誤差範囲内にあるデータ、および、誤差範囲以外のデータとしての１ｗｔ％、２ｗｔ％、３ｗｔ％、５ｗｔ％、および６ｗｔ％などに対するデータがさらに保存されうる。

図面を参照して例示した場合以外にも、プロセッサ１５０には多数のデータ値が保存されうる。そのため、プロセッサ１５０は、プリンティング工程中に算出された値を、基準値と、誤差範囲のみについて比較する場合よりも、他の濃度範囲のデータ値との比較により、該当工程で吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度をより正確に算出することができる。

プロセッサ１５０が、出射光データから算出された値と、保存された基準値および追加データとを比較した際、算出された値が基準値に対して誤差範囲を超えたと判断されると、プロセッサ１５０は、インクジェットヘッドＰＡに該当結果をフィードバックしてインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を制御（Ｓ４０）しうる。例えば、プロセッサ１５０により出射光データから算出された値が基準値に対して低い粒子ＰＴ濃度を示す場合、プロセッサ１５０は、インクジェットヘッドＰＡに、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を高めるためのフィードバックを与えうる。逆に、プロセッサ１５０により出射光データから算出された値が基準値に対して高い粒子ＰＴ濃度を示す場合、プロセッサ１５０は、インクジェットヘッドＰＡに、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を低くするためのフィードバックを与えうる。または、プロセッサ１５０が出射光データから算出された値が、基準値に対して誤差範囲内であると判断される場合、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を調節せず、プリンティング工程を繰り返しうる。

以上の過程により、インクジェットプリンティング装置１０を活用したインクプリンティング方法を行うことができる。一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、インク濃度測定装置１００を含むことで、プリンティング工程が行われる間に、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化量をリアルタイムで算出および感知することができる。インクジェットプリンティング装置１０は、リアルタイムで感知された変化量をインクジェットヘッドＰＡにフィードバックして、プリンティング工程によって形成される製品の品質を均一に維持できる利点がある。

一方、上述した実施形態は、インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００が、ユーザーが設定した基準値データをプロセッサ１５０に保存する過程を経るのでありうる。ただし、これに制限されず、インクジェットプリンティング装置１０を用いたインクプリンティング方法は、対象製品上にインクＤＬをプリンティングする前に、プロセッサ１５０に、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度に対する初期値を保存する段階をさらに含み得る。

図１９は、他の実施形態によるインクジェットプリンティング装置を用いたインクプリンティング方法を示すフローチャートである。

図１９を参照すると、一実施形態によるインクプリンティング方法は、対象製品上にインクＤＬをプリンティングする段階（Ｓ１０～Ｓ４０）より前に行われる段階として、プロセッサ１５０に、初期値データを保存する段階（Ｓ０）をさらに含み得る。初期値データを保存する段階（Ｓ０）は、インクジェットヘッドＰＡから粒子ＰＴが分散したインクＤＬを吐出する段階（Ｓ１）、吐出されたインクＤＬに光Ｌ１，Ｌ２を照射して出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを収得する段階（Ｓ２）、および、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度初期値を設定する段階（Ｓ３）を含み得る。図面では、初期値データを保存する段階（Ｓ０）が１回行われることとして示されているが、これに制限されない。初期値データを保存する段階（Ｓ０）は、少なくとも１回行われうるのであり、本段階は、インクジェットプリンティング装置１０の製品仕様に応じて、数回繰り返して行われることもありうる。本実施形態は、別途の基準値をプロセッサ１５０に保存せずに、インクジェットプリンティング装置１０の試運転による初期値を保存する段階を含み得る。粒子ＰＴが分散されたインクＤＬを吐出する段階（Ｓ１）と、吐出されたインクＤＬに光Ｌ１，Ｌ２を照射して出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを収得する段階（Ｓ２）とは、実質的に、図１２ないし図１８を参照して上述した内容と同様である。これに係る詳しい説明は省略する。

粒子ＰＴが分散したインクＤＬが製造される場合、これを別途の試料として製作して出射光データ生成のための実験を経ずとも、インクジェットプリンティング装置１０を活用して、プロセッサ１５０に保存される初期値を設定することができる。そのため、該当インクジェットプリンティング装置１０が有する仕様に合う初期値が設定されうるのであり、図１２の実施形態のように、別途の基準値データを保存することより、さらに正確に粒子ＰＴの濃度を感知できるという利点がある。

プロセッサ１５０は、初期値データを保存する段階（Ｓ０）が完了したと判断される場合、図１２の実施形態のように対象製品上にインクＤＬを吐出し、それぞれのプリンティング工程ごとに、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が保存された初期値からの誤差範囲を超えたか否かを判断する。プロセッサ１５０で判断された結果によってインクジェットヘッドＰＡは、インクＤＬの吐出を繰り返すか、インクジェットヘッドＰＡに注入されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を制御する段階（Ｓ４０）が行われうる。

なお、以上の実施形態では、インクジェットヘッドＰＡが一つのノズルからインクＤＬが吐出されることとして例示しているが、これに制限されない。インクジェットヘッドＰＡは、複数のノズル（図２０の「ＮＺ」）を含むことで、複数のインクＤＬを同時に吐出することができる。インクジェットヘッドＰＡの複数のノズルＮＺから吐出されたインクＤＬのうちの一部のインクＤＬは、互いに同じ領域に着弾して付着され得るのであり、互いに異なる複数のノズルＮＺから吐出されたインクＤＬが、一定の領域内で一つの層またはパターンを形成しうる。一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、それぞれのノズルＮＺごとに吐出されるインクＤＬにおける単位液滴当たりの粒子ＰＴの個数または濃度を感知できるだけでなく、複数のノズルＮＺから吐出された複数のインクＤＬに含まれた、粒子ＰＴの全体の個数が変わることや、他のノズルＮＺから吐出されたインクＤＬに含まれた粒子ＰＴとの個数の差も感知することができる。

図２０は、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置のインクジェットヘッドに含まれた複数のノズルの配置を示す図である。図２１は、図２０のインクジェットヘッドに含まれた複数のノズルからインクが吐出されることを示す図である。図２０は、インクジェットヘッドＰＡのうちの複数のノズルＮＺが形成された一面を見た平面図を示している。

図２０および図２１を参照すると、インクジェットプリンティング装置１０のインクジェットヘッドＰＡは、一方向に延びた形状を有し、前記一方向および他方向に配列された複数のノズルＮＺを含み得る。複数のノズルＮＺは、インクジェットヘッドＰＡのベース部の一面に、例えばベース部の下面に配置されうる。複数のノズルＮＺは、インクジェットヘッドＰＡの下面から部分的に突出した形状を有するが、これに制限されない。例えば、複数のノズルＮＺは、インクジェットヘッドＰＡのベース部の下面を貫いて、インクジェットヘッドＰＡの内部に配置された配管（図示せず）と連結される。

複数のノズルＮＺは、インクジェットヘッドＰＡが延びた一方向、および前記一方向に垂直な他方向に配列されうる。複数のノズルＮＺは、前記一方向に配列された列が１列または２以上の列に配列されうる。一つのインクジェットヘッドＰＡでは複数のノズルＮＺから複数のインクＤＬが同時に吐出され、互いに異なるノズルＮＺから吐出されたインクＤＬは、プリンティングの対象となる対象基板ＳＵＢに形成された、互いに異なる領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに、それぞれ着弾して付着される。

例えば、インクジェットヘッドＰＡに配置された複数のノズルＮＺは、対象基板ＳＵＢに形成された複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに、それぞれインクＤＬを吐出する複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに区分されうる。各ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎは、一つ以上のノズルＮＺで構成され、一つ以上のノズルＮＺから同時に吐出されたインクＤＬは、それぞれ対象基板ＳＵＢの一定領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎ内に共に着弾して付着される。

インクジェットヘッドＰＡの第１ノズルグループＮＧ１に属する複数のノズルＮＺは、対象基板ＳＵＢの第１領域ＪＡ１にインクＤＬを吐出しうる。第２ノズルグループＮＧ２に属する複数のノズルＮＺは対象基板ＳＵＢの第２領域ＪＡ２にインクＤＬを吐出し、第３ノズルグループＮＧ３および第ｎノズルグループＮＧｎに属する複数のノズルＮＺは、それぞれ、対象基板ＳＵＢの第３領域ＪＡ３および第ｎ領域ＪＡｎにインクＤＬを吐出しうる。複数のノズルＮＺが、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに区分されたことから、それぞれのノズルＮＺが配置された位置、および、吐出されたインクＤＬが対象基板ＳＵＢ上に着弾して付着された領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎによって区分されうる。ただし、これに制限されず、インクジェットプリンティング装置１０のインクジェットヘッドＰＡにて、既に設定された条件に応じてそれぞれのノズルＮＺが、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに区分されることもありうる。

複数のノズルＮＺが、いずれか一つの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに同時にインクＤＬを吐出する場合、対象基板ＳＵＢ上にインクＤＬが着弾して付着されることで形成される層またはパターンの品質は、それぞれのノズルＮＺごとに吐出されたインクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度を均一に維持して達成できるが、各ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属する複数のノズルＮＺから同時に吐出された複数のインクＤＬに含まれた粒子ＰＴの全体の個数を均一に維持して達成することもできる。例えば、対象基板ＳＵＢの第１領域ＪＡ１に着弾して付着されたインクＤＬが形成する層またはパターンの品質は、第１ノズルグループＮＧ１に属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬに含まれた粒子ＰＴの全体の個数を均一に維持して達成することができる。図面に示していないが、上述した実施形態と同様に、インクジェットヘッドＰＡから吐出された複数のインクＤＬは、インク濃度測定装置１００およびその動作によって、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数または濃度が一定に維持されうる。一実施形態によれば、インクジェットプリンティング装置１０は、インク濃度測定装置１００が各ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されるインクＤＬ全体における粒子ＰＴの濃度変化、または他のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を感知し、これをフィードバックしうる。

図２２は、一実施形態によるインクプリンティング方法の一部段階の順序を示すフローチャートである。図２２は、図１２および図１９のインクプリンティング方法のうち、インクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたか否かを判断する段階（Ｓ３０）にて行われる段階をより詳細に示している。

図２２を参照すると、一実施形態によるインクプリンティング方法は、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたか否かを判断する段階（Ｓ３０）で、複数の出射光データのうちの同じグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬの出射光データを分類（Ｓ３１）する段階、複数の出射光データから各インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を算出（Ｓ３２）し、同じグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴ個数の合算データを算出（Ｓ３３）する段階、および、前記合算データに基づいてインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４）する段階が行われうる。本実施形態はインクＤＬそれぞれの粒子ＰＴ濃度を感知する前記実施形態とは異なり、複数のノズルＮＺを含むノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬの全体における粒子ＰＴの個数の変化を感知する点で、上述した実施形態とは差がある。

複数のノズルＮＺからインクＤＬが吐出されると、インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００は、光照射装置１１０およびセンシング装置１３０により各インクＤＬから出射光データを収得しうる。これは、上述した実施形態を参照して説明した内容と同様である。光照射装置１１０からインクＤＬにそれぞれ光を照射すると、センシング装置１３０は、インクＤＬにて散乱または屈折した光に対するデータを取得する。

次に、インク濃度測定装置１００のプロセッサ１５０は、センシング装置１３０にて取得された、それぞれのインクＤＬに対する複数の出射光データを、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬの出射光データに分類（Ｓ３１）する。例えば、第１ノズルグループＮＧ１に属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬに対するデータは第１ノズルグループＮＧ１の出射光データに分類され、第２ノズルグループＮＧ２に属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬに対するデータは第２ノズルグループＮＧ２の出射光データに分類されうる。他のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬに対するデータも、それぞれ互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎの出射光データに分類される。同じグループに分類された出射光データは、他のノズルＮＺから吐出されたインクＤＬに対するデータと共に、該当ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺから吐出された全体のインクＤＬに対するデータとして考慮されうる。

次に、複数の出射光データのそれぞれからインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を算出（Ｓ３２）し、同じグループに属する出射光データから、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺより吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数の合算データを算出（Ｓ３３）する。本段階では、各ノズルＮＺから吐出されたインクＤＬのそれぞれに対する粒子濃度でなく、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルＮＺから吐出されたインクＤＬの全体に対する粒子濃度についてのデータを算出する。例えば、第１ノズルグループＮＧ１に属する複数のノズルＮＺから吐出されたインクＤＬの粒子ＰＴの濃度に加え、各インクＤＬの粒子ＰＴの濃度を合算して、第１ノズルグループＮＧ１から同時に吐出されたインクＤＬの全体における粒子ＰＴの濃度または個数が算出されうる。第１ノズルグループＮＧ１より吐出されたインクＤＬからの第１合算データが算出され、第２ノズルグループＮＧ２より吐出されたインクＤＬからの第２合算データが算出されうる。他のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに対しても、それぞれ同一に同時に吐出されたインクＤＬの全体における第ｎ合算データが算出されうる。前記第ｎ合算データは、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度の基準データになりうる。

前述したように、最終的に同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬが、対象基板ＳＵＢ上に、粒子ＰＴを含む層またはパターンを形成するので、前記層またはパターンは、一つのインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度よりも、いずれか一つのノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺから吐出されたインクＤＬの全体における粒子ＰＴの濃度に応じて、品質が変わりうる。それぞれのノズルＮＺごとに吐出されたインクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度の変化があっても、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属するノズルＮＺが吐出したインクＤＬの全体における粒子ＰＴの濃度または個数の変化がない場合は、該当ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルＮＺから吐出されたインクＤＬが形成する層またはパターンは、均一な品質を維持することができる。

一実施形態によれば、インクプリンティング装置は、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルＮＺから吐出されたインクＤＬに対する出射光データの合算データに基づいて、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４）しうる。各ノズルＮＺから吐出されたインクＤＬにおける粒子ＰＴの個数または濃度の変化があっても、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに属する他のノズルＮＺにて発生した粒子ＰＴの個数または濃度の変化によって、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬの濃度に変化がないこともありうる。この場合、該当プリンティング工程で吐出されたインクＤＬは、基準値内の範囲で粒子ＰＴが吐出されたものであるから、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数を制御せずに同一の工程が繰り返されうる。

逆に、それぞれのインクＤＬにて発生した粒子ＰＴの個数または濃度の変化が基準値内の範囲に属しても、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎにて吐出されたインクＤＬの全体における粒子ＰＴの個数または濃度の変化が基準値を超えたならば、次の工程ではインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が制御されうる。一実施形態によれば、インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００にて、プロセッサ１５０は、それぞれのインクＤＬの単位液滴当たりの粒子ＰＴの個数または濃度に対する基準値以外に、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬの全体における粒子ＰＴの個数または濃度に対する基準値が、さらに保存されうる。プリンティング工程にて、プロセッサ１５０は、吐出されたインクＤＬのそれぞれに対する粒子ＰＴの濃度変化に加え、同じノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬの全体に対する粒子ＰＴの濃度変化を算出しうる。そのため、一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、プリンティング工程が行われる対象基板ＳＵＢにおけるそれぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎごとに、インクＤＬが吐出される際、複数のノズルＮＺからインクＤＬを同時に吐出して、それぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに形成される層またはパターンの品質を均一に維持することができる。

なお、複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを含む対象基板ＳＵＢは、１回のインクプリンティング工程によって各領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに形成される層またはパターンが、互いに同じ粒子ＰＴの個数を有するが、これに制限されない。例えば、第１ノズルグループＮＧ１および第２ノズルグループＮＧ２から吐出されたインクＤＬが、対象基板ＳＵＢの第１領域ＪＡ１および第２領域ＪＡ２で層またはパターンを形成すると、第１領域ＪＡ１に形成された層と、第２領域ＪＡ２に形成された層とが互いに実質的に同じ個数の粒子ＰＴを含み得るのであり、また、そうでないこともありうる。これは、対象基板ＳＵＢ上に形成される層またはパターンの設計条件によって変わりうる。１回のプリンティング工程で、それぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの位置に関係なく、それぞれ同じ層またはパターンが形成されるべきだとすれば、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬ内における粒子ＰＴの個数または濃度が、互いに均一に維持されなければならない。逆に、１回のプリンティング工程で、それぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの位置によって互いに異なる層またはパターンが形成されるべきだとすれば、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数または濃度は、個別に、均一に維持されなければならない。

一実施形態によるインクプリンティング方法は、インクプリンティング工程が行われる対象基板ＳＵＢに形成される層またはパターンの設計値に応じて、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４）する段階の方式が異なってもよい。

図２３は、図２２の一段階の順序を示すフローチャートである。図２３は、図２２の合算データに基づいて、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４）する段階をより具体的に示している。

図２２に関連して図２３を参照すると、インクプリンティング工程が行われる対象基板ＳＵＢが１回のプリンティング工程でそれぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの位置に関係なくそれぞれ同じ層またはパターンが形成される実施形態で、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４）する段階は、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルＮＺから吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が、互いに同一であるか否かを判断（Ｓ３４１）する段階、および、いずれか一つのノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルＮＺから吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が、基準値から誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４２）する段階を含み得る。

複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのそれぞれから吐出されたインクＤＬが、基準値から誤差範囲を超えたか否かを判断する以前に、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬに対するデータを互いに比較して、どのノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬが、他のデータ値を有するかを判断しうる。１回のプリンティング工程でそれぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの位置に関係なく、それぞれ同じ層またはパターンが形成されなければならないので、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎからインクＤＬが吐出されても、これらのインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数または濃度は、互いに同一であることが求められる。

例えば、第１ノズルグループＮＧ１、第２ノズルグループＮＧ２および第３ノズルグループＮＧ３から吐出されたインクＤＬに対する第１合算データ、第２合算データ、および第３合算データを互いに比較して、これらのうちの互いに異なる合算データを有するノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎを選別しうる。第１ノズルグループＮＧ１が第２ノズルグループＮＧ２および第３ノズルグループＮＧ３と異なるデータ値を有する場合、以後の段階で第１ノズルグループＮＧ１のノズルＮＺから吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が、基準値からの誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４２）する。第１ノズルグループＮＧ１から吐出されたインクＤＬについての第１合算データが、基準値からの誤差範囲を超えた場合、第１ノズルグループＮＧ１のノズルから吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度または個数を制御（Ｓ４０）する。反面、第１ノズルグループＮＧ１から吐出されたインクＤＬについての第１合算データが、基準値からの誤差範囲を超えていない場合、第２ノズルグループＮＧ２、および第３ノズルグループＮＧ３を含めて、第１ノズルグループＮＧ１とは異なる合算データ値を有するノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルから吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度または個数を制御（Ｓ４０）する。

第１ノズルグループＮＧ１、第２ノズルグループＮＧ２および第３ノズルグループＮＧ３から吐出されたインクＤＬに対する合算データを互いに比較した際、これらが実質的に互いに同じである、または誤差範囲内のデータ値を有するとしても、以後の段階でいずれか一つのノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルＮＺから吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数が、基準値からの誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４２）する。第１ノズルグループＮＧ１の吐出されたインクＤＬのデータが基準値からの誤差範囲を超えていない場合、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数を制御せずに、プリンティング工程を繰り返し、前記データが基準値からの誤差範囲を超えた場合、複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎの全体におけるインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数を制御（Ｓ４０）し、プリンティング工程を行いうる。この場合、インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００にて、プロセッサ１５０には、複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに対する基準値が、同じ値で保存されうる。互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎが、同じ粒子ＰＴの個数を吐出しなければならないため、プロセッサ１５０に保存された基準値は、ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに関係なく同一に適用されうる。

反面、インクプリンティング工程が行われる対象基板ＳＵＢが１回のプリンティング工程で各領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの位置に応じて互いに異なる、同じ層またはパターンが形成される実施形態にて、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４）する段階は、各ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのノズルＮＺから吐出されたインクＤＬ内における粒子ＰＴの個数が、互いに異なる基準値からの誤差範囲を超えたか否か判断（Ｓ３４３）しうる。

１回のプリンティング工程にて、それぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの位置に応じて、互いに異なる層またはパターンが形成されなければならないので、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎからインクＤＬが吐出されると、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数または濃度は、それぞれ既に設定された互いに異なる基準値によって制御されることが求められる。

図２４は図２３の一段階を示す図である。

図２２および図２３に関連して図２４を参照すると、対象基板ＳＵＢの互いに異なる領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに、それぞれ吐出されるインク（ＤＬ；ＤＬ１，ＤＬ２，ＤＬ３）は、互いに異なる粒子ＰＴの個数を有することができる。例えば、第１領域ＪＡ１には第１ノズルグループＮＧ１のノズルＮＺが第１インクＤＬ１を吐出し、第２領域ＪＡ２には第２ノズルグループＮＧ２のノズルＮＺが第２インクＤＬ２を吐出する。このように、第３領域ＪＡ３および第ｎ領域ＪＡｎには、それぞれ第３ノズルグループＮＧ３および第ｎノズルグループＮＧｎのノズルＮＺが、第３インクＤＬ３または他のインクＤＬを吐出する。第１インクＤＬ１、第２インクＤＬ２および第３インクＤＬ３は、それぞれ単位液滴当たりの他の個数または濃度の粒子ＰＴを含むように設定される。また、互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されたインクＤＬ全体における粒子ＰＴの個数または濃度は、互いに異なってもよい。

第１ノズルグループＮＧ１、第２ノズルグループＮＧ２および第３ノズルグループＮＧ３から吐出されたインクＤＬに対する合算データが算出されると、これらをそれぞれ互いに異なる基準値と比較して、誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ３４３）する。第１ノズルグループＮＧ１から吐出された第１インクＤＬ１については、合算データが第１基準値に基づいて誤差範囲を超えたか否かを判断し、第２ノズルグループＮＧ２から吐出された第２インクＤＬ２については、合算データが第２基準値に基づいて誤差範囲を超えたか否かを判断する。他のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎの場合にも、それぞれ互いに異なる基準値に基づいて、誤差範囲を超えたか否かを判断する。それぞれのノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのデータに基づいて、基準値と比較した結果、いくつかのノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎのインクＤＬが誤差範囲を超えた場合、該当ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎから吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの個数を制御（Ｓ４０）しうる。

この場合、インクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００にて、プロセッサ１５０には、複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに対する基準値が、それぞれ互いに異なるか、または少なくとも一部は互いに異なる基準値として保存されうる。対象基板ＳＵＢの複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに、それぞれ他の個数の粒子ＰＴを含む層またはパターンが形成される場合、プロセッサ１５０に保存された基準値の個数は、対象基板ＳＵＢの互いに異なる領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの個数と同一であり得る。反面、対象基板（ＳＵＢ）の複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎのいくつかは、互いに同じ個数の粒子ＰＴを含む層またはパターンが形成される場合、プロセッサ１５０に保存される基準値の個数は対象基板ＳＵＢの互いに異なる領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの個数と異なりうる。

一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、インクジェットヘッドＰＡが複数のノズルＮＺを含み、これらが複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに分類される。そのため、インク濃度測定装置１００は、インクＤＬ内の粒子ＰＴの個数または濃度変化を、複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎ単位で感知しうる。

一実施形態によるインクジェットプリンティング装置１０は、それぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎごとに他の層またはパターンを含む表示装置（図２９の「１０００」）を製造するのに活用されうる。表示装置１０００は複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを含み、それぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎごとに、互いに異なる層またはパターンが形成されるか、複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎの一部は互いに同じ層またはパターンが形成され、少なくとも一部は互いに異なる層またはパターンが形成されうる。以下、他の図面を参照して、インクジェットプリンティング装置１０を活用した表示装置１０００の製造方法について説明する。

図２５は、一実施形態による表示装置の製造方法を示すフローチャートである。図２６ないし図２９は、一実施形態によるインクプリンティング方法を用いた表示装置の製造方法を示す断面図である。図２６ないし図２９は、一実施形態による表示装置１０００の製造方法のうちの複数のインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎを形成する工程を順に示す図である。

図２５ないし図２９を参照すると、一実施形態による表示装置１０００の製造方法は、対象基板ＳＵＢを準備する段階（Ｓ１０１）、インクジェットヘッドＰＡから対象基板ＳＵＢの互いに異なる領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎにそれぞれインクＤＬを吐出する段階（Ｓ１０２）、吐出されたインクＤＬに光Ｌ１，Ｌ２を照射して出射光ＳＬ１，ＳＬ２のデータを収得する段階（Ｓ１０３）、および、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたか否かを判断（Ｓ１０４）する段階を含み得る。インク濃度測定装置１００でプロセッサ１５０が、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を感知して、基準値を超えたか否かに応じて、インクジェットヘッドＰＡからインクＤＬを吐出してプリンティング工程を行うか（Ｓ１０２）、インクジェットヘッドＰＡに濃度変化をフィードバックして、吐出されるインクＤＬ内における粒子ＰＴの濃度を制御（Ｓ１０５）する段階を含み得る。表示装置１０００の製造方法において、インクＤＬを吐出（Ｓ１０２）し、出射光データを収得（Ｓ１０３）し、および、これに基づいて基準値からの誤差範囲を超えたか否かを判断（Ｓ１０４）する段階は、図１２ないし図１６を参照して、上述した内容と実質的に同一である。また、インクプリンティング工程が、複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを含む対象基板ＳＵＢに行われて、表示装置１０００を製造することは図２１ないし図２４を参照して、上述した内容と実質的に同一である。以下では重複した内容に係る説明は簡略にし、差異点を中心に説明する。

先に、図２６に示すように、複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを含む、インクプリンティング工程が行われる対象基板ＳＵＢを準備（Ｓ１０１）する。表示装置１０００は、対象基板ＳＵＢおよび対象基板ＳＵＢ上に形成される複数のインクパターン（図２９の「ＪＬ１」、「ＪＬ２」、「ＪＬ３」、「ＪＬｎ」）を含み得る。例示的な実施形態にて、インクジェットプリンティング装置１０を活用して製造される表示装置１０００は、動画や静止映像を表示できるすべての電子装置を指す。例えば、表示装置１０００は、表示画面を提供するテレビ、ノートパソコン、モニター、広告板、モノのインターネット、モバイルフォン、スマートフォン、タブレットＰＣ（Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）、電子時計、スマートウォッチ、ウォッチフォン、ヘッドマウントディスプレイ、移動通信端末機、電子手帳、電子ブック、ＰＭＰ（Ｐｏｒｔａｂｌｅ Ｍｕｌｔｉｍｅｄｉａ Ｐｌａｙｅｒ）、ナビゲーション、ゲーム機、デジタルカメラ、カムコーダなどであり得る。

表示装置１０００は表示画面を提供する表示パネルを含む。表示パネルの例としては、無機発光ダイオード表示パネル、有機発光表示パネル、量子ドット発光表示パネル、プラズマ表示パネル、電界放出表示パネルなどが挙げられる。以下では表示パネルの一例として、無機発光ダイオード表示パネルが適用された場合を例示するが、それに制限されるものではなく、同じ技術的思想を適用できれば他の表示パネルにも適用することができる。

対象基板ＳＵＢは、ベース部１００１、ベース部１００１上に配置された表示層１００３、および表示層１００３上に配置された絶縁層１００４を含み得る。対象基板ＳＵＢは絶縁層１００４上に区画または割り当てられた複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを含み、インクジェットプリンティング装置１０を用いたプリンティング工程が行われて表示装置１０００を形成する。

対象基板ＳＵＢの構造について説明すると、ベース部１００１は透明な材質からなるベース基板、および前記ベース基板上に配置された回路層を含み得る。前記ベース基板は、ガラス、石英、または高分子樹脂などの絶縁物質からなる。また、ベース基板はリジッド（Ｒｉｇｉｄ）基板であり得るが、ベンディング（Ｂｅｎｄｉｎｇ）、フォールディング（Ｆｏｌｄｉｎｇ）、ローリング（Ｒｏｌｌｉｎｇ）などが可能なフレキシブル（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ）基板であることもあり得る。

前記ベース基板上に配置される前記回路層は、複数のスイッチング素子を含み得る。前記スイッチング素子は、それぞれポリシリコンを含む薄膜トランジスタまたは酸化物半導体を含む薄膜トランジスタであり得る。図面に示していないが、対象基板ＳＵＢには前記各スイッチング素子に信号を伝達する複数の信号線（例えば、ゲート線、データ線、電源線など）がさらに配置されてもよい。

表示層１００３はベース部１００１上に配置され、前記回路層に電気的に接続された複数の発光素子を含み得る。例示的な実施形態で、表示層１００３は複数の電極とこれらの間に配置された有機発光層を含み得るのであり、表示装置１０００は、有機物を発光物質として含む有機発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ，ＯＬＥＤ）であり得る。前記複数の電極は、それぞれベース部１００１の回路層と電気的に接続され、前記有機発光層は、前記電極から電気信号の伝達を受けて光を放出する。ただし、これに制限されない。表示装置１０００が有機発光表示装置でない実施形態で、前記表示層は、有機発光層でない他の発光層または発光素子を含み得る。また、図面に詳しく示していないが、対象基板ＳＵＢはベース部１００１および表示層１００３に配置された複数の層またはパターンをさらに含み得る。

絶縁層１００４は表示層１００３上に配置される。絶縁層１００４は、表示層１００３上に直接配置されてこれらを完全に覆う。ただし、これに制限されず絶縁層１００４と表示層１００３との間には他の層がさらに配置されることもありうる。

一実施形態にて、絶縁層１００４は複数の層からなりうるのであり、絶縁層１００４の各層は、無機物絶縁性物質または有機物絶縁性物質を含み得る。例えば、無機物絶縁性物質は、それぞれの層にて、シリコン窒化物、アルミニウム窒化物、ジルコニウム窒化物、チタン窒化物、ハフニウム窒化物、タンタル窒化物、シリコン酸化物、アルミニウム酸化物、チタン酸化物、スズ酸化物、セリウム酸化物、シリコン酸窒化物（ＳｉＯｘＮｙ）、リチウムフルオリドなどのうち少なくともいずれか一つを含み得る。有機物絶縁性物質はアクリル系樹脂、メタクリル系樹脂、ポリイソプレン、ビニル系樹脂、エポキシ系樹脂、ウレタン系樹脂、セルロース系樹脂およびペリレン系樹脂などのうちの少なくともいずれか一つを含み得る。ただし、絶縁層１００４の構造および材料は上述したものに制限されず、その積層構造や材料は多様に変えることができる。

対象基板ＳＵＢは絶縁層１００４上に区画または割り当てられた複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを含み得るのであり、それぞれの領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎには、インクジェットプリンティング装置１０を活用したプリンティング工程により複数のインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎが形成される。各領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに形成されるインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎは、位置に関係なく互いに同一であるか、または位置に応じて互いに異なってもよい。インクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎが位置に関係なく互いに同じである実施形態にて、表示装置１０００の製造方法は、図２３の実施形態の「Ｓ３４１」段階および「Ｓ３４２」段階により製造できる。またはインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎが位置によって互いに異なるが他は同じである実施形態にて、表示装置１０００の製造方法は、図２３の実施形態の「Ｓ３４３」段階により製造できる。以下の図面では、表示装置１０００の製造が、図２３の実施形態の「Ｓ３４１」段階および「Ｓ３４２」段階により行われる場合を例示して説明する。

図２７および図２８を参照すると、インクジェットヘッドＰＡから対象基板ＳＵＢの互いに異なる領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎにそれぞれインクＤＬを吐出（Ｓ１０２）し、吐出されたインクＤＬに光Ｌ１，Ｌ２を照射して、出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを取得（Ｓ１０３）する。

第１ノズルグループＮＧ１は、第１領域ＪＡ１にインクＤＬを吐出し、第２ノズルグループＮＧ２は第２領域ＪＡ２に、第３ノズルグループＮＧ３は第３領域ＪＡ３にインクＤＬを吐出する。対象基板ＳＵＢ上の複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎにそれぞれ同じインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎが形成される実施形態で、第１ノズルグループＮＧ１、第２ノズルグループＮＧ２、第３ノズルグループＮＧ３および第ｎノズルグループＮＧｎではそれぞれ同じ濃度の粒子ＰＴを有するインクＤＬが吐出されるこ。ただし、これとは異なり対象基板ＳＵＢ上の複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに互いに異なるインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎが形成される実施形態で、第１ノズルグループＮＧ１、第２ノズルグループＮＧ２、第３ノズルグループＮＧ３および第ｎノズルグループＮＧｎではそれぞれ互いに異なる濃度の粒子ＰＴを有するインクＤＬが吐出される。

インクＤＬはインクジェットヘッドＰＡで第１方向ＤＲ１に吐出される。インクＤＬはインクジェットヘッドＰＡから吐出されてインク濃度測定装置１００の光照射装置（１１０；１１１，１１３）の光が照射される照射領域ＳＡ１，ＳＡ２を経て対象基板ＳＵＢ上に噴射される。インクジェットヘッドＰＡで吐出されたインクＤＬが第１照射領域ＳＡ１を通過する時、第１光照射装置１１１が第１照射領域ＳＡ１に第１光Ｌ１を照射し、第１センシング装置１３１はインクＤＬで散乱した第１出射光ＳＬ１に対するデータを収得する。インクジェットヘッドＰＡで吐出されたインクＤＬが第２照射領域ＳＡ２を通過する時、第２光照射装置１１３が第２照射領域ＳＡ２に第２光Ｌ２を照射し、第２センシング装置１３３はインクＤＬで屈折した第２出射光ＳＬ２に対するデータを収得する。これに係る説明は上述した内容と同様である。

インク濃度測定装置１００のプロセッサ１５０はセンシング装置１３０で取得された出射光ＳＬ１，ＳＬ２データからインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度変化を感知し得、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたか否かを判断（Ｓ１０４）する。複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎにそれぞれ互いに同じインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎを形成する実施形態で、本段階は図２３の「Ｓ３４１」段階および「Ｓ３４２」段階が行われる。複数の領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎにそれぞれ互いに異なるインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎを形成する実施形態で、本段階は図２３の「Ｓ３４３」段階が行われる。これに係る詳しい説明は上述した内容と同様であるため省略する。各ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎで吐出されたインクＤＬから収得したデータに基づいて、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が制御される必要がある場合はこれを制御（Ｓ１０５）し、そうでないない場合はプリンティング工程を繰り返す。

次に、図２９を参照すると、以上の工程を行って対象基板ＳＵＢ上に複数のインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎを形成して表示装置１０００を製造することができる。

図３０は一実施形態による表示装置の一部分を示す断面図である。

図２９に関連して図３０を参照すると、一実施形態による表示装置１０００は、対象基板ＳＵＢおよび対象基板ＳＵＢ上に配置されてインクジェットプリンティング装置１０を用いて形成された複数の波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵを含み得る。また、表示装置１０００は各波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵが形成される領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを区分するバンク層ＢＫ、およびバンク層ＢＫと波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵを覆うキャッピング層ＣＡＰをさらに含み得る。

バンク層ＢＫは対象基板ＳＵＢ上で波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵが配置される部分を囲む。バンク層ＢＫは対象基板ＳＵＢ上で一定の高さを有するように配置される。例示的な実施形態で、バンク層ＢＫは有機絶縁物質を含んで高さが４μｍ～２０μｍの範囲を有し、幅が４μｍ～２０μｍの範囲を有することができる。ただし、これに制限されない。図面ではバンク層ＢＫの側面が対象基板ＳＵＢの上面に垂直な場合が例示されているが、これに制限されない。いくつかの実施形態で、バンク層ＢＫの側面は傾斜または湾曲した形状を有することができる。一例として、バンク層ＢＫは上面の幅が下面の幅より大きな逆テーパー（Ｔａｐｅｒ）形状を有することができる。

波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵはバンク層ＢＫが囲む領域内に配置される。波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵは対象基板ＳＵＢ上で島状のパターンを形成する。ただし、これに制限されず、波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵはそれぞれ一方向に延びて配置されることによって線状のパターンを形成することもできる。

波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２は第１領域ＪＡ１に配置された第１波長変換層ＷＬＣ１、および第２領域ＪＡ２に配置された第２波長変換層ＷＬＣ２を含み得る。透光層ＬＴＵは第３領域ＪＡ３に配置される。図面では第１波長変換層ＷＬＣ１、第２波長変換層ＷＬＣ２、および透光層ＬＴＵがそれぞれ一つずつ配置された部分が例示しているが、これに制限されない。表示装置１０００は第１波長変換層ＷＬＣ１、第２波長変換層ＷＬＣ２、および透光層ＬＴＵをそれぞれ複数含み得る。

第１波長変換層ＷＬＣ１は第１ベース樹脂ＢＳ１および第１ベース樹脂ＢＳ１内に配置された第１波長変換物質ＷＬＳ１を含み得る。第２波長変換層ＷＬＣ２は第２ベース樹脂ＢＳ２および第２ベース樹脂ＢＳ２内に配置された第２波長変換物質ＷＬＳ２を含み得る。第１波長変換層ＷＬＣ１と第２波長変換層ＷＬＣ２はそれぞれベース樹脂に分散した第１散乱体ＳＣＴ１および第２散乱体ＳＣＴ２をさらに含み得る。

透光層ＬＴＵは第３ベース樹脂ＢＳ３および第３ベース樹脂ＢＳ３内に配置された第３散乱体ＳＣＴ３を含み得る。透光層ＬＴＵは発光素子ＥＤで入射される第３色の青色光の波長を維持した状態で透過させる。透光層ＬＴＵの第３散乱体ＳＣＴ３は透光層ＬＴＵを介して出射される光の出射経路を調節する役割をすることができる。透光層ＬＴＵは波長変換物質を含まなくてもよい。

第１ないし第３散乱体ＳＣＴ１，ＳＣＴ２，ＳＣＴ３はそれぞれ金属酸化物粒子または有機粒子であり得る。これに関する説明は上述した内容と同様である。第１ないし第３ベース樹脂ＢＳ１，ＢＳ２，ＢＳ３は透光性有機物質を含み得る。例えば、第１ないし第３ベース樹脂ＢＳ１，ＢＳ２，ＢＳ３はエポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、カルド系樹脂またはイミド系樹脂などを含んでなる。第１ないし第３ベース樹脂ＢＳ１，ＢＳ２，ＢＳ３はすべて同じ物質からなるが、これに制限されない。

第１波長変換物質ＷＬＳ１は青色光を赤色光に変換し、第２波長変換物質ＷＬＳ２は青色光を緑色光に変換する物質であり得る。第１波長変換物質ＷＬＳ１と第２波長変換物質ＷＬＳ２は量子ドット、量子ロッド、蛍光体などであり得る。前記量子ドットはＩＶ族系ナノ結晶、ＩＩ－ＶＩ族系化合物ナノ結晶、ＩＩＩ－Ｖ族系化合物ナノ結晶、ＩＶ－ＶＩ族系ナノ結晶またはこれらの組み合わせを含み得る。

キャッピング層ＣＡＰは波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵおよびバンク層ＢＫ上に配置される。キャッピング層ＣＡＰは外部から水分または空気などの不純物が浸透して波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵを損傷または汚染させることを防止することができる。キャッピング層ＣＡＰは無機物絶縁性物質からなる。

表示装置１０００の製造工程で、互いに異なる波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵはそれぞれ互いに異なる物質を含み得る。また、互いに異なる波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵはそれぞれ同じ散乱体ＳＣＴ１，ＳＣＴ２，ＳＣＴ３を含んでも、各層に含まれた散乱体ＳＣＴ１，ＳＣＴ２，ＳＣＴ３の濃度は互いに異なってもよい。例えば、第１波長変換層ＷＬＣ１の第１散乱体ＳＣＴ１の濃度は第２波長変換層ＷＬＣ２の第２散乱体ＳＣＴ２の濃度と異なってもよく、これらは透光層ＬＴＵの第３散乱体ＳＣＴ３の濃度と異なってもよい。

一実施形態で、インクジェットプリンティング装置１０を活用した表示装置１０００の製造方法で、互いに異なる波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵがそれぞれ個別のプリンティング工程で行われ得る。この場合、１次プリンティング工程では対象基板ＳＵＢ上に配置された複数の第１波長変換層ＷＬＣ１が形成され、２次および３次のプリンティング工程ではそれぞれ第２波長変換層ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵが形成される。該当実施形態ではインクジェットヘッドＰＡの互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎで吐出されるインクＤＬがそれぞれ同じ波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵを形成するので、図２３の「Ｓ３４１」段階および「Ｓ３４２」段階が行われる。１次プリンティング工程ではインクジェットプリンティング装置１０が表示装置１０００の複数の第１波長変換層ＷＬＣ１を形成するための基準値が設定されてプリンティング工程が行われる。１次プリンティング工程では互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎがそれぞれ第１波長変換層ＷＬＣ１を形成するためにインクＤＬを吐出するため、各ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎで吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度は互いに実質的に均一に維持される。

次に、２次および３次プリンティング工程が行われる時はそれぞれ表示装置１０００の複数の第２波長変換層ＷＬＣ２および複数の透光層ＬＴＵを形成するための基準値が設定されてプリンティング工程が行われる。２次および３次プリンティング工程それぞれで設定された基準値は互いに異なってもよいが、これらは複数のノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎに同様に適用することができる。

ただし、これに制限されない。いくつかの実施形態で、インクジェットプリンティング装置１０は、１次のプリンティング工程で複数の第１波長変換層ＷＬＣ１、複数の第２波長変換層ＷＬＣ２、および複数の透光層ＬＴＵを同時に形成するための工程が行われることもできる。該当実施形態ではインクジェットヘッドＰＡの互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎで吐出されるインクＤＬがそれぞれ互いに異なる波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵを形成するので、図２３の「Ｓ３４３」段階が行われる。プリンティング工程で、インクジェットプリンティング装置１０のインクジェットヘッドＰＡは互いに異なるノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎでそれぞれ表示装置１０００の互いに異なる波長変換層ＷＬＣ１，ＷＬＣ２および透光層ＬＴＵを形成するための基準値が設定されてプリンティング工程が行われる。例えば、第１ノズルグループＮＧ１では第１領域ＪＡ１に第１波長変換層ＷＬＣ１を形成するための第１インクＤＬ１が吐出され、第２ノズルグループＮＧ２では第２領域ＪＡ２に第２波長変換層ＷＬＣ２を形成するための第２インクＤＬ２が吐出され、第３ノズルグループＮＧ３では第３領域ＪＡ３に透光層ＬＴＵを形成するための第３インクＤＬ３が吐出される。各ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎで吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度は互いに異なる値を有してそれぞれ個別に均一に維持されることができる。

なお、以上の実施形態ではインクＤＬのプリンティング工程のうちインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が変わる時、インクジェットヘッドＰＡに流入するインクＤＬの粒子ＰＴ濃度を調節する場合を説明した。ただし、前述したように、最終的に対象基板ＳＵＢ上に形成されるインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎは対象基板ＳＵＢの各領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに吐出されたインクＤＬ全体に対する粒子ＰＴの個数に応じて変わってもよい。一実施形態によれば、インクジェットプリンティング装置１０を用いた表示装置１０００の製造方法は、いずれか一つのノズルＮＺで吐出されたインクＤＬが粒子ＰＴの濃度が低い場合、これを補完するために他のノズルＮＺでインクＤＬを該当領域に吐出する。すなわち、一実施形態による表示装置１０００の製造方法は、互いに異なるインクＤＬが対象基板ＳＵＢの一領域に異なる粒子ＰＴの濃度を有するインクＤＬを吐出することができる。

図３１は、他の実施形態による表示装置の製造方法を示すフローチャートである。図３２および図３３は、図３１の表示装置の製造方法の一段階を示す断面図である。

図３１ないし図３３を参照すると、一実施形態による表示装置１０００の製造方法は、互いに異なる領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎを含む対象基板ＳＵＢを準備する段階（Ｓ１０１）、第１ノズルＮＺ１で対象基板ＳＵＢの一領域にインクを吐出する段階（Ｓ１０２）、吐出されたインクＤＬに光Ｌ１，Ｌ２を照射して出射光ＳＬ１，ＳＬ２データを収得する段階（Ｓ１０３）、インクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたか否かを判断（Ｓ１０４）する段階、および第２ノズルＮＺ２で該当領域にインクＤＬを吐出する段階（Ｓ１０５）を含み得る。本実施形態は実質的にＳ１０５段階が異なる点で図２５の実施形態と差がある。以下、重複した内容は省略して差異点を中心に説明する。

第１ノズルＮＺ１で第１インクＤＬ１を第１領域ＪＡ１に吐出すると、前記インクＤＬの粒子ＰＴ濃度を算出するために第１光Ｌ１および第２光Ｌ２を照射して出射光データを取得する。本段階に係る説明は上述した内容と同様である。

次に、取得された出射光データに基づいて第１領域ＪＡ１に吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度が基準値を超えたと判断される場合、第１ノズルＮＺ１と他の第２ノズルＮＺ２を介して第１領域ＪＡ１に第２インクＤＬ２を吐出する。第１領域ＪＡ１には第１ノズルＮＺ１で吐出された第１インクＤＬ１と第２ノズルＮＺ２で吐出された第２インクＤＬ２が混合される。第１インクＤＬ１の粒子ＰＴ濃度が基準値から外れた値を有している場合、これをインクジェットプリンティング装置１０のインク濃度測定装置１００がセンシングして第１ノズルＮＺ１と異なる第２ノズルＮＺ２で補完する。第２ノズルＮＺ２は第１インクＤＬ１が吐出された第１領域ＪＡ１に第２インクＤＬ２を吐出する。

図面に示していないが、第２ノズルＮＺ２は第１ノズルＮＺ１で第１領域ＪＡ１に第１インクＤＬ１を吐出する間、第１領域ＪＡ１以外の第２領域ＪＡ２に第２インクＤＬ２を吐出する。第２インクＤＬ２が吐出される時、第１インクＤＬ１と同一に第１光Ｌ１および第２光Ｌ２を照射して第２インクＤＬ２に対する出射光データが取得される。第１インクＤＬ１に対する出射光データか、ら第１インクＤＬ１の粒子ＰＴ濃度が低いことがセンシングされると、インク濃度測定装置１００は第１領域ＪＡ１により必要な粒子ＰＴ濃度を有しているインクＤＬを吐出するノズルＮＺを見つける。第２インクＤＬ２が第１ノズルＮＺ１で吐出された第１インクＤＬ１に不足した分の粒子ＰＴ濃度を有している場合、第１インクＤＬ１が吐出された後、第２ノズルＮＺ２を用いて第１領域ＪＡ１にインクをさらに吐出する。第１インクＤＬ１と第２インクＤＬ２は互いに異なる工程で吐出されたが、同じ領域（例えば第１領域ＪＡ１）に吐出されて一つのインクパターンＪＬ１，ＪＬ２，ＪＬ３，…ＪＬｎを形成する。インクジェットプリンティング装置１０は一定領域に吐出されるインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度をリアルタイムでセンシングし、ノズルＮＺを介して吐出されるインクＤＬの粒子ＰＴ濃度を制御できるだけでなく、隣接する他のノズルＮＺを介して該当領域ＪＡ１，ＪＡ２，ＪＡ３，…ＪＡｎに吐出されたインクＤＬ内の粒子ＰＴの濃度を調節または補完することができる。

以上、添付する図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明が属する技術分野における通常の知識を有する者は、本発明のその技術的思想や必須の特徴を変更せず他の具体的な形態で実施できることを理解することができる。したがって、上記一実施形態はすべての面で例示的なものであり、限定的なものではないと理解しなければならない。
好ましい一実施形態によると、下記のとおりである。

まず、本件の背景及び課題は下記(i)～(v)のとおりである。
(i) 有機発光表示装置（OLED）や液晶表示装置(LCD)における発光層、波長変換層、カラーフィルタ層、光散乱層などの機能性パターンを作製するにあたり、画素領域ごとに塗布を行うことができる、インクジェットプリンティングの技術が開発されている。

(ii) 特には、量子ドットまたは顔料と硬化性樹脂材料などを含有するインク粒子が、溶媒中に分散されて、インクジェットプリンティングのインクとして用いられる。

(iii) インクジェットプリンティングのプリンタヘッドであるインクジェットヘッドは、典型的には、ブロック状であってその下面に多数のノズルが配列されており、ブロック中にブロックの一方から他方へと延びる多数のインクチャネルが形成されている。
そして、圧電素子などの作用により、インクチャネル中のインクがノズルから吐出され、インクチャネルには、インク室（インク溜り）からインクが供給される。

例えば、R, G, Bの三原色に対応する機能パターンを形成する場合、一連のインクチャネルには、それぞれR, G, Bに対応するインクが、それぞれのインク室を通じて供給される。
（例えば、「コニカミノルタのインクジェット技術について」
https://www.konicaminolta.jp/inkjet/technology/technology.html）

(iv) 表示パネル製造に用いるインクジェットプリンティングのインクは、工程効率、及び、吐出量の制御精度などの観点から、増粘剤を添加することが望ましくなく、また、分散剤の含量も大きくできない場合が多い。

(v) インク室やインクチャネルの中で、インク粒子の部分的な沈殿などが生じると、インク粒子の濃度が、初期設定値からずれてしまう。この結果、形成される機能性パターンの厚みや機能性粒子の濃度が規定値からずれてしまう可能性がある。

そこで、好ましい一実施形態によると、下記Ａ１～Ａ３、Ａ１～Ａ４またはＡ１～Ａ５のとおりとすることができる。また、Ａ６～Ａ１０の少なくとも一つとすることができる。

Ａ１ ノズルから塗布箇所へと吐出される最中のインク液滴にレーザー光を照射し、インク液滴から出て来る二次レーザー光を観測することで、インク液滴中のインク粒子の濃度と、インク液滴の体積とを、リアルタイムで計測する。必要に応じて、インク液滴の飛翔速度もリアルタイムで計測する。
この計測値に基づき、インク室に供給するインクにおけるインク粒子の濃度、または、インクの吐出量（体積及び飛翔速度の少なくとも一方）を、リアルタイムに調整することで、初期設定値からの許容誤差範囲内となるようにする。

Ａ２ インク液滴中のインク粒子の濃度を計測するには、波長が５００ｎｍ以下のレーザー光、例えば波長が４００～５００ｎｍの青色光、または波長が３００ｎｍ以上または３１５ｎｍ以上で４００ｎｍ未満の近紫外(near ultraviolet rays, UV-A)レーザー光を用いることができる。
この場合、青色または近紫外のレーザー光が液滴中にて散乱される程度について、すなわち散乱光の強度を計測することで、インク粒子の濃度を求めることができる。

Ａ３ インク液滴の体積や、インク液滴の飛翔速度を計測するには、波長が１０００ｎｍ（１.０μｍ）以上の赤外レーザー光、例えば波長が１０００～１４００ｎｍ（１.０～１.４μｍ）の近赤外(Near-infrared, NIR)レーザー光、または波長が１４００ｎｍ（１.４μｍ）より大きく３０００ｎｍ（３.０μｍ）以下の短波長赤外(Short-wavelength infrared, SWIR)レーザー光を用いることができる。
この場合、近赤外や短波長赤外のレーザー光がインク液滴により屈折する程度について、すなわち屈折光の強度を計測することで、各時点でのインク液滴の体積を求めることができる。

Ａ４ インク液滴からの散乱光を集光してセンシング装置に導くための反射鏡を設置する。必要に応じて、インク液滴からの屈折光を集光してセンシング装置に導くための反射鏡をも設置する。

Ａ５ 散乱光に基づきインク粒子の濃度を求めるためには、レーザー光の経路中のインク粒子の個数が大きくなるほど、散乱光の強度の測定値についての標準偏差が大きくなることを利用する。
本願図１７～１８には、インク粒子の濃度が１～５重量％の範囲で、インク粒子の濃度に、ほぼ比例して、散乱光の強度についての標準偏差が増大することが示されている。

Ａ６ 散乱光に基づきインク粒子の濃度を求めるにあたり、赤外レーザー光の屈折により求めたインク液滴の体積のデータ、また、液滴の体積及び移動速度のデータを用いて、適宜の補正を行う。（本願[0113]）

Ａ７ 予め設定された濃度値（例えば４ｗｔ％）から、許容誤差を超えて濃度がずれた場合には、インク室に供給するインクにおけるインク粒子の濃度を、適宜に増減させる。
（本願図１９）

Ａ８ インクジェットヘッドＰＡの複数のノズルＮＺから一つの領域（例えば画素ドットをなす所定領域）へとインク液滴の吐出が行われる場合、これら複数のノズルを一つのノズルグループＮＧ１に属するものとする。そして、ノズルグループＮＧ１，ＮＧ２，ＮＧ３，…ＮＧｎごとに、グループ内のノズルからの合算されたインク粒子の量（個数）に基づいて、インク粒子の濃度などの制御を行う。（本願図２０～２４）

Ａ９ 特定の一つの領域へと、一つまたは一連のノズルから吐出されるインク液滴の測定の結果、インク粒子が、予め設定された値から許容誤差を超えてずれた場合、同一の特定の一つの領域へと他の一つまたは一連のノズルから吐出されるインク液滴におけるインク粒子の量を適宜に増減するように、供給されるインク中のインク粒子の濃度、または吐出量を制御する。

Ａ１０ 具体的な実施形態にて、インクジェットプリンティングにより形成される機能性パターン層は、バンク層ＢＫにより区画される領域ごとに形成される波長変換層のパターン、または散乱層のパターンでありうる（本願図３０）。また、機能性パターン層は、半導体パターンでありうる（本願[0057]）。

１０ インクジェットプリンティング装置
１００ インク濃度測定装置
１１０ 光照射装置
１３０ センシング装置
１５０ プロセッサ
１９０ 反射装置
ＤＬ インク
ＰＴ 粒子
ＰＡ インクジェットヘッド
１０００ 表示装置

Claims (30)

1. 複数の粒子が分散したインクをインクジェットヘッドから吐出する段階、
   前記吐出されたインクに、互いに異なる波長を有する第１光および第２光を照射して前記インクから出射された第１出射光および第２出射光に対するデータを取得する段階、および
   前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータから、前記インク内の前記粒子の濃度を算出し、前記濃度が基準値からの誤差範囲を超えたか否かを確認する判断段階を含み、
   前記第１光は波長が５００ｎｍ以下であり、前記第２光は波長が１０００ｎｍ以上である、インクプリンティング方法。
2. 前記第１出射光は、前記インクに照射された前記第１光が散乱した光であり、
   前記第２出射光は、前記インクに照射された前記第２光が屈折した光である、請求項１に記載のインクプリンティング方法。
3. 前記粒子の濃度を算出する段階は、前記第１出射光に対するデータから前記インク内の粒子の個数に対するデータを取得する段階、および
   前記第２出射光に対するデータから、前記インクの体積に対するデータを取得する段階を含む、請求項２に記載のインクプリンティング方法。
4. 前記判断段階は、前記第１出射光および前記第２出射光データから、前記インク内の粒子の濃度変化値を算出する段階を含む、請求項２に記載のインクプリンティング方法。
5. 前記判断段階の後に、前記濃度が前記基準値からの誤差範囲を超えたと判断されると、前記インクジェットヘッドに注入される前記インク内の前記粒子の濃度を制御する段階をさらに含む、請求項２に記載のインクプリンティング方法。
6. 前記インクジェットヘッドから前記インクを吐出する段階の前に、前記基準値を設定する段階をさらに含む、請求項１に記載のインクプリンティング方法。
7. 前記基準値は、互いに異なる粒子濃度を有するインクに前記第１光および前記第２光を照射した際に、前記インクから出射された光の正規化された散乱強度および前記正規化された散乱強度の標準偏差値を含み、
   前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータを取得する段階は、前記第１出射光および前記第２出射光についての正規化された散乱強度、および前記正規化された散乱強度の標準偏差値を取得する段階を含み、
   前記判断段階は、前記基準値の前記正規化された散乱強度および前記標準偏差値と、前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータとを比較して、前記インク内の粒子の濃度を算出する段階を含む、請求項６に記載のインクプリンティング方法。
8. 前記インクは前記インクジェットヘッドから第１方向に吐出され、
   前記第１光は前記第１方向と垂直な第２方向に照射され、前記第２光は前記第１光が照射された後に照射される、請求項１に記載のインクプリンティング方法。
9. 前記第１光が照射されて前記インクから出射された前記第１出射光は、前記インクが吐出される経路に曲率中心を有し、外面が湾曲した形状を有する反射装置にて反射される、請求項８に記載のインクプリンティング方法。
10. 前記インクは前記インクジェットヘッドから第１方向に吐出され、
    前記第１光と前記第２光とは、互いに異なる方向に照射されて、それぞれ同時に前記インクに照射される、請求項１に記載のインクプリンティング方法。
11. 複数の粒子が分散したインクを吐出するインクジェットヘッド、
    前記吐出されたインクに、それぞれ互いに異なる波長帯の光を照射する第１光照射装置および第２光照射装置、
    前記第１光照射装置から照射された第１光が、前記インクに入射されて散乱した第１散乱光が入射される第１センシング装置、
    前記第２光照射装置で照射された第２光が、前記インクに入射されて散乱した第２散乱光が入射される第２センシング装置、および
    前記第１センシング装置および前記第２センシング装置に入射された前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータが入力されるプロセッサを含み、
    前記第１光照射装置から照射される前記第１光は波長が５００ｎｍ以下であり、
    前記第２光照射装置から照射される前記第２光は波長が１０００ｎｍ以上である、インクジェットプリンティング装置。
12. 前記インクは前記インクジェットヘッドから第１方向に吐出され、
    前記第１光照射装置は、前記第１光を前記第１方向と垂直な第２方向に照射する、請求項１１に記載のインクジェットプリンティング装置。
13. 前記第２光照射装置は、前記第１光照射装置から前記第１方向に離隔して配置され、
    前記第２光を前記第２方向に照射する、請求項１２に記載のインクジェットプリンティング装置。
14. 前記第１光照射装置と前記第２光照射装置は、それぞれ前記インクが吐出される経路のうちの互いに異なる領域に前記第１光および前記第２光を照射する、請求項１３に記載のインクジェットプリンティング装置。
15. 前記第１センシング装置は、前記インクが吐出される経路を基準として、前記第１光照射装置と対向するように配置され、
    前記第２センシング装置は、前記インクが吐出される経路を基準として、前記第２光照射装置と対向するように配置された、請求項１２に記載のインクジェットプリンティング装置。
16. 前記第１光照射装置と離隔して配置されて、前記インクが吐出される経路に曲率中心を有し、外面が湾曲した形状を有する第１反射装置をさらに含み、
    前記第１出射光は、前記第１反射装置にて反射されて前記第１センシング装置に入射される、請求項１２に記載のインクジェットプリンティング装置。
17. 前記第１センシング装置は、前記インクが吐出される経路を基準として、前記第１反射装置が位置した一側の反対側である他側に配置された、請求項１６に記載のインクジェットプリンティング装置。
18. 前記第２光照射装置から離隔して配置されて、前記インクが吐出される経路に曲率中心を有し、外面が湾曲した形状を有する第２反射装置をさらに含み、
    前記第２出射光は、前記第２反射装置にて反射されて前記第２センシング装置に入射される、請求項１６に記載のインクジェットプリンティング装置。
19. 前記第２光照射装置は、前記第１光照射装置から前記第１方向に離隔して配置され、前記第２光を前記第１方向と前記第２方向との間の方向に照射し、
    前記第１光照射装置および前記第２光照射装置は、それぞれ前記吐出されたインクに前記第１光および前記第２光を照射する、請求項１２に記載のインクジェットプリンティング装置。
20. 前記プロセッサは、互いに異なる前記インク内における前記粒子の濃度に応じた前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータが保存された、請求項１１に記載のインクジェットプリンティング装置。
21. 第１領域および第２領域を含む対象基板を準備する段階、
    前記対象基板の前記第１領域に粒子が分散した第１インクを第１ノズルで吐出する第１インク吐出段階、
    前記第１ノズルから吐出されたインクに、互いに異なる波長を有する第１光および第２光を照射して、前記第１インクから出射された第１出射光および第２出射光に対するデータを取得する段階、
    前記第１出射光および前記第２出射光に対するデータから前記第１インク内における前記粒子の濃度を算出し、前記濃度が基準値からの誤差範囲を超えたか否かを確認する判断段階、および
    前記第１ノズルと異なる第２ノズルから、前記粒子が分散した第２インクを吐出する第２インク吐出段階を含む、表示装置の製造方法。
22. 前記第１光は波長が５００ｎｍ以下であり、前記第２光は波長が１０００ｎｍ以上である、請求項２１に記載の表示装置の製造方法。
23. 前記粒子は酸化チタン（ＴｉＯ_２）を含む、請求項２１に記載の表示装置の製造方法。
24. 前記第２インク吐出段階は、前記判断段階にて前記濃度が前記基準値からの誤差範囲を超えたと判断されると、前記第２ノズルから前記第２インクを前記第１領域に吐出する、請求項２１に記載の表示装置の製造方法。
25. 前記第１領域に吐出された前記第１インクおよび前記第２インクは第１インクパターンを形成する、請求項２４に記載の表示装置の製造方法。
26. 前記第２インク吐出段階は、前記判断段階にて前記濃度が前記基準値からの誤差範囲を超えていないと判断されると、前記第２ノズルで前記第２インクを前記第２領域に吐出する、請求項２１に記載の表示装置の製造方法。
27. 前記第１領域に吐出された前記第１インクは第１インクパターンを形成し、前記第２領域に吐出された前記第２インクは、前記第１インクパターンと異なる第２インクパターンを形成する、請求項２６に記載の表示装置の製造方法。
28. 前記第１インク吐出段階にて、前記第１ノズルとは異なる第３ノズルから、前記粒子が分散した第３インクが前記第１領域に吐出される、請求項２１に記載の表示装置の製造方法。
29. 前記第１インク吐出段階にて、前記第１ノズルとは異なる第３ノズルから、前記粒子が分散した第３インクが前記第２領域に吐出される、請求項２１に記載の表示装置の製造方法。
30. 前記第１出射光および第２出射光に対するデータを取得する段階にて、前記第３ノズルで吐出された前記第２インクに前記第１光および前記第２光を照射して、前記第３インクから出射された第３出射光および第４出射光に対するデータを取得し、
    前記判断段階にて、前記第３出射光および前記第４出射光に対するデータから前記第３インク内における前記粒子の濃度を算出し、前記濃度が基準値からの誤差範囲を超えたか否かを確認する、請求項２９に記載の表示装置の製造方法。
    

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