TW202300284A - 研削裝置 - Google Patents

Abstract

[課題]提供新的研削裝置，其可效率佳地研削有可能嚴重翹曲之板狀的被加工物。[解決手段]研削裝置包含控制搬送機構、翹曲量測量器及矯正單元之控制單元，控制單元具有：記憶部，其記憶規定翹曲的量的範圍之第一閾值；以及判定部，其將藉由翹曲量測量器所測量之被加工物的翹曲的量與記憶於記憶部之第一閾值進行比較，並判定是否可將被加工物保持於卡盤台，並且，以翹曲量測量器測量被加工物的翹曲的量後，在判定部判定可將被加工物保持於卡盤台之情形中，以搬送機構將被加工物搬送至卡盤台，在判定部判定無法將被加工物保持於卡盤台之情形中，以矯正單元矯正被加工物。

Description

研削裝置

本發明關於在研削板狀的被加工物之際所使用之研削裝置。

設有以積體電路為代表之元件之半導體的晶片（元件晶片），係在以樹脂密封而成之封裝元件（封裝元件晶片）的態樣下安裝於各種電子設備。例如，若以樹脂密封多個晶片而製造封裝基板，並在相鄰之晶片之間的分割預定線（切割道）切斷此封裝基板，則能得到與各晶片對應之多個封裝元件。

近年來，以封裝元件的更加薄型化、輕量化等為目的，在於分割預定線切斷封裝基板前進行研削（研削加工）之機會正在增加。使用於此研削之研削裝置具代表性的是具備：卡盤台，其可以負壓的作用吸引並保持板狀的被加工物；以及主軸，其裝設包含多個研削磨石之研削輪。

在以研削裝置研削封裝基板之際，例如，在使封裝基板載於卡盤台之狀態下，使負壓從卡盤台作用於封裝基板，而將封裝基板保持於卡盤台。其後，使研削輪與卡盤台互相地旋轉，將研削磨石按壓於封裝基板所露出之面，藉此可研削並薄化此封裝基板（例如，參照專利文獻1）。 [習知技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2002-200545號公報

[發明所欲解決的課題] 另外，因使用於密封晶片之樹脂在硬化之際會收縮，故有時因起因於此樹脂的收縮所導致之應力的影響，而封裝基板會嚴重翹曲。若封裝基板嚴重翹曲，則在封裝基板的外緣部與卡盤台產生間隙，即使負壓從卡盤台作用於封裝基板，負壓亦會從間隙洩漏而變得無法適當地保持封裝基板。

在將被加工物保持於卡盤台之際發生如上述般的不良情況之情形中，研削裝置將其主旨通知操作員。接收到此通知之操作員會回收卡盤台上的被加工物，卡盤台成為可保持下一個被加工物之狀態。然而，若發生此種作業，則無法效率佳地研削被加工物。

本發明為鑒於此問題點所完成者，其目的在於提供新的研削裝置，其可效率佳地研削有可能嚴重翹曲之板狀的被加工物。

[解決課題的技術手段] 根據本發明的一態樣，提供一種研削裝置，其具備：卡盤台，其具有吸引並保持板狀的被加工物之保持面；研削單元，其具有裝設包含多個研削磨石之研削輪之主軸，且以該研削輪研削被保持於該卡盤台之該被加工物；卡匣載置台，其載置可容納多個該被加工物之卡匣；搬送機構，其將容納於該卡匣之該被加工物往該卡盤台搬送；翹曲量測量器，其測量該被加工物的翹曲的量；矯正單元，其矯正有翹曲之該被加工物；以及控制單元，其控制該搬送機構、該翹曲量測量器及該矯正單元，並且，該控制單元具有：記憶部，其記憶規定該翹曲的量的範圍之第一閾值；以及判定部，其將藉由該翹曲量測量器所測量之該被加工物的該翹曲的量與記憶於該記憶部之該第一閾值進行比較，並判定是否可將該被加工物保持於該卡盤台，並且，以該翹曲量測量器測量該被加工物的該翹曲的量後，在該判定部判定可將該被加工物保持於該卡盤台之情形中，以該搬送機構將該被加工物搬送至該卡盤台，在該判定部判定無法將該被加工物保持於該卡盤台之情形中，以該矯正單元矯正該被加工物。

較佳為，該矯正單元具有：載置部，其具有載置該被加工物之載置面；以及推壓部，其配置於該載置部的該載置面側，且從該載置面的相反側對載置於該載置面之該被加工物施力。並且，較佳為，該載置部及該推壓部的其中一者或兩者設有加熱器。

並且，較佳為，該矯正單元進一步具有介入部，該介入部配置於該載置部與該推壓部之間，且包含：載置部側接觸面，其與該載置部側的該被加工物接觸；以及推壓部側接觸面，其與該推壓部側的另外的該被加工物接觸。並且，較佳為，該介入部設有加熱器。

並且，較佳為，進一步具備：暫時容納卡匣載置台，其載置暫時容納卡匣，該暫時容納卡匣可暫時性地容納被判定為無法保持於該卡盤台之多個該被加工物，並且，該控制單元在該判定部判定無法將該被加工物保持於該卡盤台之情形中，以該搬送機構將該被加工物容納於該暫時容納卡匣，其後，以該矯正單元將容納於該暫時容納卡匣之多個該被加工物一次進行矯正。

並且，較佳為，該記憶部進一步記憶第二閾值，該第二閾值規定無法保持於該卡盤台之該翹曲的量的多個區間，該判定部將藉由該翹曲測量器所測量之該被加工物的該翹曲的量與記憶於該記憶部之該第二閾值進行比較，並進一步判定被判定為無法保持於該卡盤台之該被加工物屬於多個區間的何者，並且，該控制單元以該矯正單元將容納於該暫時容納卡匣之多個該被加工物依每個該區間進行矯正。

並且，較佳為，該控制單元在以該矯正單元矯正該被加工物後，以該翹曲量測量器再次測量經矯正之該被加工物的該翹曲的量。

[發明功效] 本發明的一態樣之研削裝置具備：搬送機構，其將容納於卡匣之被加工物往卡盤台搬送；以及翹曲量測量器，其測量被加工物的翹曲的量；矯正單元，其矯正有翹曲之被加工物；以及控制單元。並且，控制單元具有：記憶部，其記憶規定翹曲的量的範圍之第一閾值；以及判定部，其將藉由翹曲量測量器所測量之被加工物的翹曲的量與記憶於記憶部之第一閾值進行比較，並判定是否可將被加工物保持於卡盤台。

而且，控制單元僅在判定部判定可將被加工物保持於卡盤台之情形中，以搬送機構將被加工物搬送至卡盤台。因此，只要使記憶部記憶適當的第一閾值，便不會發生起因於將被加工物保持於卡盤台之際的翹曲所導致之不良情況。亦即，若根據本發明的一態樣之研削裝置，則變得不會有起因於將被加工物保持於卡盤台之際的不良情況所導致之被加工物的研削的效率降低。

並且，控制單元在判定部判定無法將被加工物保持於卡盤台之情形中，以矯正單元矯正被加工物。因此，也變得不需要為了可將此被加工物適當地保持於卡盤台而操作員使用其他裝置等進行用於矯正被加工物的作業。亦即，可減少操作員的作業量，提高被加工物的研削的效率。

如此，根據本發明的一態樣之研削裝置，可效率佳地研削有可能嚴重翹曲之板狀的被加工物。

以下，一邊參照隨附圖式，一邊說明本發明的實施方式。圖1係示意性地表示本實施方式之研削裝置2之立體圖。此外，在圖1中，構成研削裝置2之一部分的要素係以功能方塊表現。並且，以下的說明中所使用之X軸方向（前後方向）、Y軸方向（左右方向）及Z軸方向（垂直方向）係互相垂直。

如圖1所示，研削裝置2具備基台4，所述基台4支撐構成此研削裝置2之各種要素。在基台4的上表面前端側設有上端開口之凹狀的容納部4a，在容納部4a內容納有使用於搬送板狀的被加工物11（參照圖2等）之第一搬送機構6。此第一搬送機構6具代表性的是具有多個關節之機械臂，且不僅可搬送被加工物11，還可使被加工物11的上下反轉。

被加工物11例如為以樹脂密封多個半導體的晶片（元件晶片）而成之圓盤狀的封裝基板。被加工物11係以互相交叉之多條分割預定線（切割道）而被劃分成多個小區域，各小區域配置有晶片。並且，各晶片設有以積體電路（IC）為代表之元件。

此外，本實施方式中，雖將圓盤狀的封裝基板作為被加工物11，但被加工物11的材質、形狀、構造、大小等並無限制。例如，亦可將具有矩形狀的上表面及下表面之封裝基板使用作為被加工物11。同樣地，亦可將由矽等半導體、陶瓷、樹脂、金屬等材料所構成之任意的形狀的基板作為被加工物11。

如圖1所示，在容納部4a的前方設有：卡匣載置台10a，其載置卡匣8a；卡匣載置台10b，其載置卡匣8b；以及卡匣載置台（暫時容納卡匣載置台）10c，其載置卡匣（暫時容納卡匣）8c。卡匣8a、8b、8c皆具有多個棚，且可容納多個被加工物11。例如，卡匣8a容納研削後的被加工物11，卡匣8b容納未研削的被加工物11，卡匣8c如後述般暫時性地容納翹曲嚴重的被加工物11。

在容納部4a的斜後方設有位置調整機構12，所述位置調整機構12用於調整被加工物11的位置。位置調整機構12包含：圓盤狀的位置調整用工作台12a；以及多個銷12b，其等配置於位置調整用工作台12a的周圍。藉由使多個銷12b沿著位置調整用工作台12a的徑向移動，而例如被第一搬送機構6從卡匣8b搬出並載置於位置調整用工作台12a之被加工物11的中心會在X軸方向及Y軸方向對準預定的位置。

在位置調整機構12的旁邊設有可測量被加工物11的翹曲的量之翹曲量測量器14。翹曲量測量器14例如包含：臂14a，其在相對於X軸方向及Y軸方向呈大致平行之面內以基端部為中心進行旋轉；以及雷射距離測量器14b，其固定於臂14a的前端部。雷射距離測量器14b配置在相當於被載置於位置調整用工作台12a之狀態的被加工物11的正上方之區域。

圖2係示意性地表示以翹曲量測量器14測量被加工物11的翹曲的量之狀況之側視圖。此外，在圖2中，為了便於說明，表示被加工物11的剖面。如圖2所示，翹曲量測量器14連續性或斷續性地重複由雷射距離測量器14b所進行之到被加工物11的上表面11a為止的距離的測量以及由臂14a的旋轉所進行之雷射距離測量器14b的位置的變更，藉此取得與被加工物11的上表面11a的高度相關之資訊。

在本實施方式中，如圖2所示，將被加工物11的上表面11a的中央部的高度作為基準之上表面11a的外緣部的高度h係被使用作為被加工物11的翹曲的量a。亦即，在上表面11a的中央部的高度變得小於外緣部的高度，所謂中凹型的翹曲之情形中，翹曲的量a為正，而在上表面11a的中央部的高度變得大於外緣部的高度，所謂中凸型的翹曲之情形中，翹曲的量a為負。

但是，翹曲的量a的正負的關係亦可交換。亦即，將被加工物11的上表面11a的外緣部的高度作為基準之上表面11a的中央部的高度亦可被使用作為被加工物11的翹曲的量a。此外，在被加工物的形狀並非圓盤狀之情形（例如，上表面或下表面為矩形狀之情形）中，有可能因應所測量之外緣部的選擇方法而得到不同值的翹曲的量a。在該種情形中，可以所得到之翹曲的量a的絕對值盡可能地變大之方式選擇所測量之外緣部。

如圖1所示，在位置調整機構12及翹曲量測量器14的側邊設有第二搬送機構16，所述第二搬送機構16保持被加工物11並將其搬送至後方。第二搬送機構16例如包含：臂；以及保持墊，其與臂的前端部連接且可吸引並保持被加工物11的上表面11a側，並且，藉由臂而使保持墊迴旋，藉此將已被位置調整機構12調整位置之被加工物11搬送至後方。

在第二搬送機構16的後方設有旋轉台18。旋轉台18係與馬達等旋轉驅動源（未圖示）連接，且繞著相對於Z軸方向呈大致平行之旋轉軸進行旋轉。在旋轉台18的上表面以大致相等的角度的間隔設有使用於保持被加工物11之三個卡盤台20。此外，設置於旋轉台18上之卡盤台20的數量等並無限制。

旋轉台18例如往以圖1的箭頭所示之方向旋轉，使各卡盤台20依照以下順序移動：與第二搬送機構16相鄰之搬入搬出區域A、搬入搬出區域A的後方的粗研削區域B、粗研削區域B的側邊的精研削區域C。第二搬送機構16將保持於保持墊之被加工物11從位置調整機構12的位置調整用工作台12a往配置於搬入搬出區域A之卡盤台20搬送。

各卡盤台20係與馬達等旋轉驅動源（未圖示）連接，且繞著相對於Z軸方向呈大致平行之旋轉軸進行旋轉。各卡盤台20的上端側的一部分例如係由多孔質材料所構成，且其上表面成為保持被加工物11的下表面11b側之保持面20a。亦即，各卡盤台20在上部具備保持被加工物11之保持面20a。

此保持面20a係透過形成於卡盤台20的內部之吸引路徑（未圖示）等而與真空泵等吸引源（未圖示）連接。被搬入卡盤台20之被加工物11的下表面11b側被作用於保持面20a之吸引源的負壓所吸引。如此，保持面20a藉由吸引被加工物11的下表面11b側而保持被加工物11。

如圖1所示，在粗研削區域B及精研削區域C的後方（旋轉台18的後方）各自設有柱狀的支撐構造22。在各支撐構造22的前表面側設有Z軸移動機構24。各Z軸移動機構24具備與Z軸方向大致平行之一對導軌26，導軌26以可滑動之態樣安裝有移動板28。

在各移動板28的後表面側（背面側）固定有構成滾珠螺桿之螺帽（未圖示），相對於導軌26呈大致平行之螺桿軸30係以可旋轉之態樣連結於此螺帽。螺桿軸30的一端部係與馬達32連接。藉由馬達32而使螺桿軸30旋轉，藉此移動板28沿著導軌26在Z軸方向移動。

各移動板28的前表面（正面）設有固定具34。各固定具34支撐有用於研削（加工）被加工物11的研削單元（加工單元）36。各研削單元36具備固定於固定具34之主軸外殼38。

成為相對於Z軸方向呈大致平行之旋轉軸之主軸40係以可旋轉之態樣被容納於各主軸外殼38。各主軸40的下端部從主軸外殼38的下端面露出。在此主軸40的下端部固定有圓盤狀的安裝件42。

在粗研削區域B側的研削單元36的安裝件42的下表面裝設有粗研削用的第一研削輪44a。第一研削輪44a具備第一輪基台，所述第一輪基台係不鏽鋼或鋁等金屬且被形成為與安裝件42大致相同直徑。在第一輪基台的下表面環狀地配置有多個第一研削磨石，所述多個第一研削磨石係以陶瓷（vitrified）或類樹脂（resinoid）等結合劑將適合粗研削之金剛石等磨粒固定而成。

並且，粗研削區域B側的研削單元36的主軸外殼38容納有與主軸40的上端側連接之馬達等第一旋轉驅動源（未圖示）。藉由第一旋轉驅動源的動力，第一研削輪44a與主軸40一起旋轉。

在第一研削輪44a的旁邊設有液體供給用噴嘴（未圖示），所述液體供給用噴嘴可將純水等液體（研削液）供給至被加工物11與第一研削磨石接觸之部分（加工點）。但是，亦可取代此液體供給用噴嘴，或者與液體供給用噴嘴一起，將使用於供給液體之液體供給口設置於第一研削輪44a等。

在精研削區域C側的研削單元36的安裝件42的下表面裝設有精研削用的第二研削輪44b。第二研削輪44b具備第二輪基台，所述第二輪基台係不鏽鋼或鋁等金屬且被形成為與安裝件42大致相同直徑。在第二輪基台的下表面環狀地配置有多個第二研削磨石，所述多個第二研削磨石係以陶瓷或類樹脂等結合劑將適合精研削之金剛石等磨粒固定而成。

並且，精研削區域C側的研削單元36的主軸外殼38容納有與主軸40的上端側連接之馬達等第二旋轉驅動源（未圖示）。藉由第二旋轉驅動源的動力，第二研削輪44b與主軸40一起旋轉。

在第二研削輪44b的旁邊設有液體供給用噴嘴（未圖示），所述液體供給用噴嘴可將純水等液體（研削液）供給至被加工物11與第二研削磨石接觸之部分（加工點）。但是，亦可取代此液體供給用噴嘴，或者與液體供給用噴嘴一起，將使用於供給液體之液體供給口設置於第二研削輪44b等。

藉由上述之兩組研削單元36，依序研削被保持於各卡盤台20之被加工物11。亦即，以粗研削區域B側的研削單元36研削被保持於粗研削區域B的卡盤台20之被加工物11，以精研削區域C側的研削單元36研削被保持於精研削區域C的卡盤台20之被加工物11。若被加工物11的研削結束，則精研削區域C的卡盤台20再次被定位於搬入搬出區域A。

如圖1所示，在搬入搬出區域A的前方且第二搬送機構16的側邊的位置設有保持研削後的被加工物11並將其往前方搬送之第三搬送機構46。第三搬送機構46包含：保持墊，其吸引並保持被加工物11的上表面11a側；以及臂，其與此保持墊連接，並且，藉由臂而使保持墊迴旋，藉此將研削後的被加工物11從搬入搬出區域A的卡盤台20搬送至前方。

在第三搬送機構46的前方設有清洗單元48，所述清洗單元48清洗被第三搬送機構46搬出之被加工物11。清洗單元48例如包含：旋轉台，其在已保持被加工物11的下表面11b側之狀態下進行旋轉；以及清洗用噴嘴，其將清洗用的流體噴射至被旋轉台保持之被加工物11的上表面11a側。已被此清洗單元48清洗之被加工物11係被第一搬送機構6搬送並例如容納於卡匣8a。

在翹曲量測量器14的旁邊設有矯正單元50，所述矯正單元50用於矯正有翹曲之被加工物11。圖3係示意性地表示矯正單元50的內部的構造之側視圖，圖4係示意性地表示以矯正單元50矯正被加工物11之狀況之側視圖。此外，在圖3及圖4中，為了便於說明，表示被加工物11的剖面。

如圖3及圖4所示，矯正單元50具備矯正用工作台（載置部）52，所述矯正用工作台（載置部）52的尺寸可支撐被加工物11的整體。矯正用工作台52例如具有大致平坦之上表面（載置面）52a，對象的被加工物11載置於此上表面52a。

在矯正用工作台52的上方配置有板狀的推壓構件（推壓部）54，所述板狀的推壓構件（推壓部）54係在對載置於上表面52a之被加工物11等施加向下的力（壓力）時使用。推壓構件54具有大致平坦之下表面（推壓面）54a，且與致動器（未圖示）連結。致動器具代表性的是空氣壓缸或油壓缸等，且使推壓構件54上下移動。

在矯正用工作台52與推壓構件54之間配置有被構成為板狀之多個（在本實施方式中為三個）中間板（介入部）56。各中間板56具有大致平坦之下表面（載置部側接觸面）56a與大致平坦之上表面（推壓部側接觸面）56b，且以可沿Z軸方向移動之方式支撐於滑軌狀的支持構件（未圖示）。

此外，較佳為以彈簧等賦予勢能構件對各中間板56施加向上的力。藉此，在未對各中間板56施加其他力之狀態下，可將矯正用工作台52與中間板56之間的距離以及相鄰之兩個中間板56之間的距離保持在適合搬入被加工物11之距離。

矯正用工作台52、推壓構件54及中間板56各自設有加熱器（heater）52b、加熱器（heater）54b及加熱器（heater）56c。各加熱器52b、54b、56c例如與電源（未圖示）連接，且產生在矯正被加工物11之際所使用之熱。

在以如此構成之矯正單元50矯正被加工物11之際，例如，以第一搬送機構6等將被加工物11搬入矯正用工作台52與中間板56之間、兩個中間板56之間或中間板56與推壓構件54之間。在本實施方式中，如圖3及圖4所示，在矯正用工作台52的上表面52a及多個中間板56的上表面56b各自載置一片被加工物11。亦即，將中間板56的數量加上1之數量（在本實施方式中為四片）的被加工物11搬入矯正單元50。

在搬入被加工物11後，以致動器使推壓構件54下降。其結果，推壓構件54的下表面54a與配置於最上方之被加工物11的上表面11a接觸。若進一步使推壓構件54下降，則最上方的中間板56緩緩下降，此中間板56的下表面56a與配置於其下方之被加工物11的上表面11a接觸。

若進一步使推壓構件54下降，同樣地，其他中間板56緩緩下降，各中間板56的下表面56a與其下方的被加工物11的上表面11a接觸。如此，各中間板56的下表面56a接觸下方（矯正用工作台52側）的被加工物11的上表面11a，各中間板56的上表面56b接觸上方（推壓構件54側）的被加工物11的下表面11b。

若進一步使推壓構件54下降，則如圖4所示，有翹曲之各被加工物11被此推壓構件54（及中間板56）向下壓入，進行變形並成為平坦。在此狀態下，藉由使各加熱器52b、54b、56c運作並對被加工物11施加熱，而可矯正有翹曲之被加工物11，使翹曲的量a接近0。亦即，在本實施方式中，可一次將多個被加工物11一併矯正。此外，在使推壓構件54下降前，亦可預先使各加熱器52b、54b、56c運作。

研削裝置2的各要素係與控制單元58連接。控制單元58例如係由包含處理裝置、記憶裝置及輸入裝置之電腦所構成，且以適當地研削被加工物11之方式控制包含上述之第一搬送機構6、位置調整機構12、翹曲量測量器14、第二搬送機構16、第三搬送機構46及矯正單元50之各要素的動作等。

處理裝置具代表性的是CPU（Central Processing Unit，中央處理單元），且進行為了控制上述之要素所需之各種處理。記憶裝置例如包含DRAM（Dynamic Random Access Memory，動態隨機存取記憶體）等主記憶裝置與硬式磁碟機或快閃記憶體等補助記憶裝置。

輸入裝置例如為觸控面板，且兼為輸出裝置（顯示裝置）。此外，有時亦採用鍵盤或滑鼠等作為輸入裝置。此控制單元58的功能例如藉由遵循記憶於記憶裝置之軟體之處理裝置進行動作而實現。但是，控制單元58的功能亦可僅藉由硬體而實現。

圖5係表示控制單元58的功能性構造的一部分之功能方塊圖。控制單元58包含：搬送機構控制部58a，其控制第一搬送機構6、第二搬送機構16及第三搬送機構46；測量器控制部58b，其控制翹曲量測量器14；以及矯正單元控制部58c，其控制矯正單元50。並且，控制單元58包含：判定部58d，其進行各種的判定處理；以及記憶部，其記憶判定部58d的判定處理所需之資訊。

將以研削裝置2研削被加工物11之際的處理的流程與控制單元58的功能一起進行說明。圖6係表示研削被加工物11之際的處理的流程的一部分之流程圖。在以研削裝置2研削被加工物11之際，首先，搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，例如，將被容納於卡匣8b之未研削的被加工物11往位置調整機構12的位置調整用工作台12a搬送（步驟ST11）。

接著，控制單元58以位置調整機構12調整被加工物11的位置，其後，測量器控制部58b使翹曲量測量器14動作，測量被加工物11的翹曲的量a（步驟ST12）。以翹曲量測量器14所測量之翹曲的量a例如記憶於控制單元58的記憶部58e。

若測量被加工物11的翹曲的量a，則判定部58d基於此翹曲的量a而判定是否可將對象的被加工物11保持於卡盤台20（步驟ST13）。例如，在被加工物11嚴重翹曲之情形中，負壓會從被加工物11與卡盤台20之間隙洩漏，變得無法適當地保持被加工物11。

於是，判定部58d將藉由翹曲量測量器14所測量之被加工物11的翹曲的量a與規定翹曲的量a的容許範圍的邊界之第一閾值b進行比較，而判定被加工物11的翹曲的量a是否落在容許範圍內。第一閾值b例如係以表示正側的邊界（與中凹型的翹曲相關之邊界）之閾值b1與表示負側的邊界（與中凸型的翹曲相關之邊界）之閾值b2所構成，且預先記憶於記憶部58e。

一般而言，相較於被加工物11有中凸型的翹曲之情形，有中凹型的翹曲之情形中被加工物11與卡盤台20的外緣部之間隙更大，且相較於有中凸型的翹曲之情形，有中凹型的翹曲之情形中負壓更容易洩漏。因此，第一閾值b（閾值b1、閾值b2）較佳為被設定成：相較於有中凸型的翹曲之情形中所容許之翹曲的量a的範圍，有中凹型的翹曲之情形中所容許之翹曲的量a的範圍變更窄。

亦即，較佳為以閾值b1的絕對值變得小於閾值b2的絕對值之方式設定第一閾值b，並記憶於記憶部58e。具代表性的是，閾值b1（正側的閾值）被設定成1mm，閾值b2（負側的閾值）被設定成－2mm。但是，此第一閾值b（閾值b1、閾值b2）能因應被加工物11的大小或與卡盤台20連接之吸引源的能力等而適當地變更。

翹曲的量a落在由第一閾值b所規定之範圍內之情形（具代表性的是，滿足b1≥a≥b2之情形），判定部58d判定可將被加工物11保持於卡盤台20。並且，在翹曲的量a未落在由第一閾值b所規定之範圍內之情形（具代表性的是，滿足a＞b1或b2＞a之情形），判定部58d判定無法將被加工物11保持於卡盤台20。

如此，判定部58d基於預先記憶於記憶部58e之第一閾值b與以翹曲量測量器14所測量之翹曲的量a，判定是否可將被加工物11保持於卡盤台20。此外，被判定為無法保持於卡盤台20之被加工物11隨後使用矯正單元50以使翹曲的量a接近0之方式進行矯正。

判定部58d判定可將被加工物11保持於卡盤台20之情形（步驟ST13中為是），搬送機構控制部58a使第二搬送機構16動作，將被保持於位置調整用工作台12a之被加工物11往卡盤台20搬送（步驟ST14）。然後，控制單元58控制各要素的動作，開始此被加工物11的研削。

將被加工物11往卡盤台20搬送後，未研削的另外的被加工物11殘留於卡匣8b之情形（步驟ST15中為是），搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，將被容納於卡匣8b之未研削的另外的被加工物11往位置調整機構12的位置調整用工作台12a搬送（步驟ST16）。然後，控制單元58針對此未研削的另外的被加工物11進行同樣的處理（步驟ST12等）。

未研削的被加工物11未殘留於卡匣8b（步驟ST15中為否），並且，無應矯正之被加工物11（無翹曲的量a未落在容許範圍內之被加工物11）之情形（步驟ST17中為否），控制單元58在進行中的被加工物11的研削完成後，使一連串的處理結束。此外，已完成研削之被加工物11係藉由第一搬送機構6等而被容納於卡匣8a。

有應矯正之被加工物11之情形（步驟ST17中為是），搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，例如，將暫時性地被容納於卡匣8c之應矯正之被加工物11的全部搬入矯正單元50。然後，矯正單元控制部58c使矯正單元50動作，開始被加工物11的矯正（步驟ST18）。

若被加工物11的矯正完成，則搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，將矯正後的被加工物11往位置調整機構12的位置調整用工作台12a搬送（步驟ST19）。然後，控制單元58針對此矯正後的被加工物11進行同樣的處理（步驟ST12等）。此外，在一次將多個被加工物11進行矯正之情形中，可將未往位置調整用工作台12a搬送之其他矯正後的被加工物11容納於卡匣8b等。

圖7係表示研削被加工物11之際的處理的流程的另一部分之流程圖。判定部58d判定無法將被加工物11保持於卡盤台20（步驟ST13中為否）、未研削的另外的被加工物11殘留於卡匣8b（步驟ST21中為是）以及應矯正之被加工物11的數量到達可一次進行矯正之上限的數量之情形（步驟ST22中為是），搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，從位置調整用工作台12a搬出被加工物11（步驟ST23）。

例如，搬送機構控制部58a將被保持於位置調整用工作台12a之被加工物11搬入矯正單元50。但是，搬送機構控制部58a亦可將被加工物11搬入載置於卡匣載置台10c之卡匣8c，其後搬入矯正單元50。可一次進行矯正之上限的數量例如係因應矯正單元50的能力而預先設定，並記憶於記憶部58e。在本實施方式中，例如為四片。

其後，搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，將被容納於卡匣8b之未研削的另外的被加工物11往位置調整機構12的位置調整用工作台12a搬送（步驟ST24）。搬送機構控制部58a將被容納於卡匣8c之被加工物11（在本實施方式中，為三片被加工物11）搬入矯正單元50，矯正單元控制部58c使矯正單元50動作，開始對象的四片被加工物11的矯正（步驟ST25）。

並且，控制單元58針對已往位置調整用工作台12a搬送之未研削的另外的被加工物11進行同樣的處理（步驟ST12等）。此外，在矯正完成後，可將矯正後的被加工物11容納於卡匣8b等。

未研削的另外的被加工物11殘留於卡匣8b（步驟ST21中為是），且應矯正之被加工物11的數量未到達可利用矯正單元50一次進行矯正之上限的數量之情形（步驟ST22中為否），搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，搬出被保持於位置調整用工作台12a之被加工物11，並容納於卡匣8c（步驟ST26）。

此外，在本實施方式中，雖使用可暫時性地容納被判定為無法保持於卡盤台20之被加工物11之卡匣8c，但亦可省略此卡匣8c及卡匣載置台10c。在其情形中，例如可將被判定為無法保持於卡盤台20之被加工物11暫時性地容納於卡匣8b的空架子等。

其後，搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，將被容納於卡匣8b之未研削的另外的被加工物11往位置調整機構12的位置調整用工作台12a搬送（步驟ST27）。然後，控制單元58針對已往位置調整用工作台12a搬送之未研削的另外的被加工物11進行同樣的處理（步驟ST12等）。

判定部58d判定被加工物11無法保持於卡盤台20（步驟ST13中為否）、未研削的另外的被加工物11未殘留於卡匣8b之情形（步驟ST21中為否），搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，將位置調整用工作台12a上的應矯正之被加工物11因應需要而與被容納於卡匣8c之應矯正之被加工物11一起搬入矯正單元50。

然後，矯正單元控制部58c使矯正單元50動作，開始被加工物11的矯正（步驟ST28）。若被加工物11的矯正完成，則搬送機構控制部58a使第一搬送機構6動作，將矯正後的被加工物11往位置調整機構12的位置調整用工作台12a搬送（步驟ST29）。然後，控制單元58針對此矯正後的被加工物11進行同樣的處理（步驟ST12等）。此外，在一次將多個被加工物11進行矯正之情形中，可將未往位置調整用工作台12a搬送之其他矯正後的被加工物11容納於卡匣8b等。

如以上，本實施方式之研削裝置2具備：第一搬送機構6及第二搬送機構16，其等將被容納於卡匣8b之被加工物11往卡盤台20搬送；翹曲量測量器14，其測量被加工物11的翹曲的量a；矯正單元50，其矯正有翹曲之被加工物11；以及控制單元58。並且，控制單元58具有：記憶部58e，其記憶規定翹曲的量a的範圍之第一閾值b；以及判定部58d，其將藉由翹曲量測量器14所測量之被加工物11的翹曲的量a與記憶於記憶部58e之第一閾值b進行比較，而判定是否可將被加工物11保持於卡盤台20。

而且，控制單元58僅在判定部58d判定可將被加工物11保持於卡盤台20之情形中，以第二搬送機構16將被加工物11搬送至卡盤台20。因此，只要使適當的第一閾值b記憶於記憶部58e，便不會發生起因於將被加工物11保持於卡盤台20之際的翹曲所導致之不良情況。亦即，若根據本實施方式的研削裝置2，則不會有起因於將被加工物11保持於卡盤台20之際的不良情況而被加工物11的研削的效率降低之狀況。

並且，控制單元58在判定部58d判定無法將被加工物11保持於卡盤台20之情形中，以矯正單元矯正被加工物11。因此，也變得不需要為了可將此被加工物11適當地保持於卡盤台20而操作員使用其他裝置等進行用於矯正被加工物11的作業。亦即，可減少操作員的作業量，並提高被加工物11的研削的效率。如此，若根據本實施方式的研削裝置2，則可效率佳地研削有可能嚴重翹曲之板狀的被加工物11。

此外，本發明不受限於上述之實施方式的記載，而能進行各種變更並實施。例如，本實施方式的研削裝置2雖具有多個中間板56，且採用可一次將多個被加工物11進行矯正之矯正單元50，但本發明的研削裝置所具備之矯正單元亦可不具有中間板。在此情形中，係一片片地矯正被加工物11。

並且，在本實施方式的矯正單元50中，雖在矯正用工作台52設有加熱器52b，在推壓構件54設有加熱器54b，在中間板56設有加熱器56c，但只要可僅藉由施加力使其變形而矯正被加工物11，便亦可省略加熱器52b、加熱器54b及加熱器56c。

並且，雖在本實施方式中，作為規定翹曲的量a的容許之範圍的邊界之第一閾值b，而將表示正側的邊界之閾值b1及表示負側的邊界之閾值b2記憶於記憶部58e，但只要至少將閾值b1及閾值b2的其中一者作為第一閾值b而記憶於記憶部58e即可。

並且，除了第一閾值b以外，亦可將第二閾值c進一步記憶於記憶部58e，所述第二閾值c規定無法保持於卡盤台20之翹曲的量a的多個區間。具代表性的是，作為此第二閾值c，能設定表示有中凹型的翹曲之情形的翹曲的量a的邊界之閾值c1（c1＞b1）與表示有中凸型的翹曲之情形的翹曲的量a的邊界之閾值c2（b2＞c2）。

例如，翹曲的量a為閾值c1以上，或者，翹曲的量a為閾值c2以下之情形，判定部58d判定對象的被加工物11屬於矯正需要長時間之區間（翹曲嚴重的區間）。另一方面，翹曲的量a大於閾值b1且小於閾值c1，或者，翹曲的量a小於閾值b2且大於閾值c1之情形，判定部58d判定對象的被加工物11屬於矯正不需要長時間之區間（翹曲小之區間）。

而且，控制單元58例如以矯正單元50依每個此區間將被容納於卡匣（暫時容納卡匣）8c之多個被加工物11一併矯正。在此變形例中，因可依因應矯正所需之時間之每個區間矯正被加工物11，故變得能進行效率更佳地矯正。亦即，可效率更佳地研削有可能嚴重翹曲之板狀的被加工物11。

另外，上述之實施方式及變形例之構造、方法等，只要在不背離本發明目的之範圍內，即可進行適當變更並實施。

2:研削裝置 4:基台 4a:容納部 6:第一搬送機構 8a:卡匣 8b:卡匣 8c:卡匣（暫時容納卡匣） 10a:卡匣載置台 10b:卡匣載置台 10c:卡匣載置台（暫時容納卡匣載置台） 12:位置調整機構 12a:位置調整用工作台 12b:銷 14:翹曲量測量器 14a:臂 14b:雷射距離測量器 16:第二搬送機構 18:旋轉台 20:卡盤台 20a:保持面 22:支撐構造 24:Z軸移動機構 26:導軌 28:移動板 30:螺桿軸 32:馬達 34:固定具 36:研削單元 38:主軸外殼 40:主軸 42:安裝件 44a:第一研削輪 44b:第二研削輪 46:第三搬送機構 48:清洗單元 50:矯正單元 52:矯正用工作台（載置部） 52a:上表面（載置面） 52b:加熱器（heater） 54:推壓構件（推壓部） 54a:下表面 54b:加熱器（heater） 56:中間板（介入部） 56a:下表面（載置部側接觸面） 56b:上表面（推壓部側接觸面） 56c:加熱器（heater） 58:控制單元 58a:搬送機構控制部 58b:測量器控制部 58c:矯正單元控制部 58d:判定部 58e:記憶部 11:被加工物 11a:上表面 11b:下表面

圖1係示意性地表示研削裝置之立體圖。 圖2係示意性地表示以翹曲量測量器測量被加工物的翹曲的量之狀況之側視圖。 圖3係示意性地表示矯正單元的內部的構造之側視圖。 圖4係示意性地表示以矯正單元矯正被加工物之狀況之側視圖。 圖5係表示控制單元的功能性構造的一部分之功能方塊圖。 圖6係表示研削被加工物之際的處理的流程的一部分之流程圖。 圖7係表示研削被加工物之際的處理的流程的另一部分之流程圖。

6:第一搬送機構

14:翹曲量測量器

16:第二搬送機構

46:第三搬送機構

50:矯正單元

58:控制單元

58a:搬送機構控制部

58b:測量器控制部

58c:矯正單元控制部

58d:判定部

58e:記憶部

Claims (8)

1. 一種研削裝置，其具備： 卡盤台，其具有吸引並保持板狀的被加工物之保持面； 研削單元，其具有裝設包含多個研削磨石之研削輪之主軸，且以該研削輪研削被保持於該卡盤台之該被加工物； 卡匣載置台，其載置能容納多個該被加工物之卡匣； 搬送機構，其將容納於該卡匣之該被加工物往該卡盤台搬送； 翹曲量測量器，其測量該被加工物的翹曲的量； 矯正單元，其矯正有翹曲之該被加工物；以及 控制單元，其控制該搬送機構、該翹曲量測量器及該矯正單元， 該控制單元具有： 記憶部，其記憶規定該翹曲的量的範圍之第一閾值；以及 判定部，其將藉由該翹曲量測量器所測量之該被加工物的該翹曲的量與記憶於該記憶部之該第一閾值進行比較，並判定是否可將該被加工物保持於該卡盤台， 以該翹曲量測量器測量該被加工物的該翹曲的量後，在該判定部判定可將該被加工物保持於該卡盤台之情形中，以該搬送機構將該被加工物搬送至該卡盤台，在該判定部判定無法將該被加工物保持於該卡盤台之情形中，以該矯正單元矯正該被加工物。
2. 如請求項1之研削裝置，其中，該矯正單元具有： 載置部，其具有載置該被加工物之載置面；以及 推壓部，其配置於該載置部的該載置面側，且從該載置面的相反側對載置於該載置面之該被加工物施力。
3. 如請求項2之研削裝置，其中，該載置部及該推壓部的其中一者或兩者設有加熱器。
4. 如請求項2或3之研削裝置，其中，該矯正單元進一步具有介入部，該介入部配置於該載置部與該推壓部之間，且包含：載置部側接觸面，其與該載置部側的該被加工物接觸；以及推壓部側接觸面，其與該推壓部側的另外的該被加工物接觸。
5. 如請求項4之研削裝置，其中，該介入部設有加熱器。
6. 如請求項4或5之研削裝置，其中，進一步具備：暫時容納卡匣載置台，其載置暫時容納卡匣，該暫時容納卡匣能暫時性地容納被判定為無法保持於該卡盤台之多個該被加工物， 該控制單元在該判定部判定無法將該被加工物保持於該卡盤台之情形中，以該搬送機構將該被加工物容納於該暫時容納卡匣，其後，利用該矯正單元，一次將容納於該暫時容納卡匣之多個該被加工物進行矯正。
7. 如請求項6之研削裝置，其中，該記憶部進一步記憶第二閾值，該第二閾值規定無法保持於該卡盤台之該翹曲的量的多個區間， 該判定部將藉由該翹曲測量器所測量之該被加工物的該翹曲的量與記憶於該記憶部之該第二閾值進行比較，並進一步判定被判定為無法保持於該卡盤台之該被加工物屬於該多個區間的何者， 該控制單元以該矯正單元將容納於該暫時容納卡匣之多個該被加工物依每個該區間進行矯正。
8. 如請求項1至7中任一項之研削裝置，其中，該控制單元在以該矯正單元矯正該被加工物後，以該翹曲量測量器再次測量經矯正之該被加工物的該翹曲的量。

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