TW202245291A - 發光元件、包含發光元件之發光單元以及顯示裝置 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種發光元件,包含:在一方向上延伸的發光元件核心,其包含第一半導體層、設置於第一半導體層上的第二半導體層以及設置於第一半導體層與第二半導體層之間的裝置主動層;裝置絕緣膜,其圍繞發光元件核心的側表面;以及反射膜,其設置於裝置絕緣膜的外側表面上,並且至少圍繞裝置主動層的側表面。
Description
本揭露涉及發光元件、包含發光元件的發光元件單元以及顯示裝置。
隨著多媒體技術的發展,顯示裝置變得越來越重要。因此,諸如有機發光二極體(Organic Light-Emitting Diode,OLED)顯示裝置、液晶顯示(Liquid Crystal Display,LCD)裝置等的各種顯示裝置已經被使用。
顯示裝置,也就是用於顯示影像的裝置,其包含諸如有機發光二極體顯示面板或液晶顯示面板的顯示面板。顯示面板可以包含諸如發光二極體(Light-Emitting Diodes,LEDs)的發光元件,並且發光二極體可以分類為使用有機材料作為發光材料的有機發光二極體以及使用無機材料作為發光材料的無機發光二極體(Inorganic LEDs,ILEDs)。
本揭露的實施例提供一種發光元件,其兩個端面的發光量有所改善。
本揭露的實施例也提供一種發光元件單元,其包含兩個端面的發光量有所改善的複數個發光元件。
本揭露的實施例也提供一種顯示裝置,其具有改善的發光效率。
然而,本揭露的實施例不限定於本文中所述的這些實施例。透過參照下文中所提供的本揭露的詳細說明,本揭露的上述及其他的實施例對於本領域具有通常知識者將變得更為清楚。
根據本揭露的一實施例,發光元件可以包含:發光元件核心,其在一方向上延伸,發光元件核心包含第一半導體層、設置於第一半導體層上的第二半導體層以及設置於第一半導體層與第二半導體層之間的裝置主動層;裝置絕緣膜,其圍繞發光元件核心的側表面;以及反射膜,其設置於裝置絕緣膜的外側表面上,並且至少圍繞裝置主動層的側表面。
反射膜可以與裝置主動層的側表面完全重疊。
反射膜可以暴露出一部分的裝置絕緣膜的外側表面。
第一半導體層、裝置主動層及第二半導體層可以在此方向上依序設置,並且反射膜在此方向上的長度可以短於發光元件核心在此方向上的長度。
反射膜在此方向上的長度可以大於裝置主動層在此方向上的厚度。
反射膜可以在裝置主動層的側表面上沿此方向延伸,並且可以設置於第一半導體層的側表面或第二半導體層的側表面上。
第一半導體層在此方向上的厚度可以大於第二半導體層在此方向上的厚度,第一半導體層的側表面可以包含:被反射膜圍繞的第一區域;以及未被反射膜圍繞的第二區域。第一區域在此方向上的長度可以短於第二區域在此方向上的長度。
裝置主動層可以包含:面對發光元件核心的第一端面的第一表面;以及面對發光元件核心的第二端面的第二表面。發光元件核心的第一端面可以為發光元件核心在此方向上的一側的面,發光元件核心的第二端面可以為發光元件核心在此方向上的另一側的面,並且發光元件核心的第一端面與裝置主動層的第一表面之間的距離小於發光元件核心的第二端面與裝置主動層的第二表面之間的距離。
根據本揭露的另一實施例,發光元件單元可以包含:複數個發光元件,其在第一方向上延伸,複數個發光元件在垂直於第一方向的一第二方向上彼此對齊並間隔開;以及黏合劑,其圍繞複數個發光元件並固定複數個發光元件。複數個發光元件中的每一個可以包含:發光元件核心,其包含第一半導體層、設置於第一半導體層上的第二半導體層以及設置於第一半導體層與第二半導體層之間的裝置主動層;裝置絕緣膜,其圍繞發光元件核心的側表面;以及反射膜,其設置於裝置絕緣膜的外側表面上,並且至少圍繞發光元件核心的側表面。
反射膜可以與裝置主動層的側表面完全重疊。
第一半導體層、裝置主動層及第二半導體層可以在第一方向上依序設置,並且反射膜在第一方向上的長度可以短於發光元件核心在第一方向上的長度。
反射膜在第一方向上的長度可以大於裝置主動層在第一方向上的厚度。
黏合劑在第一方向上的厚度可以小於發光元件核心在第一方向上的長度。
裝置絕緣膜可以包含:被反射膜圍繞的第一區域;以及未被反射膜圍繞的第二區域。黏合劑可以設置於裝置絕緣膜的第二區域上,並且不設置於裝置絕緣膜的第一區域上。
黏合劑可以圍繞第一半導體層並且可以不圍繞第二半導體層或裝置主動層。
反射膜可以接觸黏合劑面向裝置主動層的表面。
黏合劑可以暴露出發光元件核心的端部,並且反射膜可以設置於發光元件核心的一個端部上,但可以不設置於發光元件核心的另一個端部上。
根據本揭露的另一實施例,顯示裝置可以包含:第一電極及一第二電極,其設置於基板上以在第一方向上彼此分隔開;以及複數個發光元件,其設置於第一電極與第二電極之間,複數個發光元件在第一方向上延伸。複數個發光元件中的每一個可以包含:發光元件核心,其在第一方向上延伸,並且包含第一半導體層、設置於第一半導體層上的第二半導體層以及設置於第一半導體層與第二半導體層之間的裝置主動層;裝置絕緣膜,其圍繞發光元件核心的側表面;以及反射膜,其設置於裝置絕緣膜的外側表面,並且至少圍繞發光元件核心的側表面上。
反射膜可以與裝置主動層的側表面完全重疊。
第一半導體層、裝置主動層及第二半導體層可以在第一方向上依序設置,並且反射膜在第一方向上的長度可以短於發光元件核心在第一方向上的長度。
第一電極可以電性連接至複數個發光元件中的每一個的第一端部,並且第二電極可以電性連接至複數個發光元件中的每一個的第二端部。
第一方向可以平行於基板的表面。
顯示裝置可以進一步包含絕緣層,其設置於複數個發光元件上,並且暴露出複數個發光元件中的每一個的端部。
第一方向可以平行於基板的厚度方向。
顯示裝置可以進一步包含圍繞複數個發光元件的黏合劑,黏合劑固定複數個發光元件。
黏合劑在垂直於第一方向的第二方向上可以不與反射膜重疊。
複數個發光元件可以設置於第一電極上,並且第二電極可以設置於複數個發光元件上。
根據本揭露的上述及其他實施例,由於各發光元件包含具有裝置主動層的發光元件核心以及圍繞發光元件核心的側表面的反射膜,因此由裝置主動層所產生並通過發光元件核心的外表面發射的光可以被導引向發光元件核心的兩個端部。從而,能夠減少從基板上的各發光元件發射的沿向下方向行進的光量,且因此,能夠提高各發光元件的發光效率。
此外,由於發光元件單元包含複數個發光元件以及圍繞並固定各發光元件的外表面的黏合劑,因此可以排佈發光元件使得發光元件形成有反射膜的第一端部能夠面對顯示裝置的顯示方向。因此,可以增加通過發光元件的發光元件核心的頂面的光量,並且可以改善顯示裝置的發光效率。此外,由於發光元件可以被黏合劑固定,因此可以簡化第一電極與第二電極之間的發光元件的對齊,而不需要施加電場的額外製程。
透過下文中的詳細說明、附圖及申請專利範圍,其他特徵及實施例將更加清楚。
現在將在下文中參照繪示出本揭露的實施例的附圖以更完整地說明本揭露。然而,本揭露可以以不同的形式實現並且不應被解釋為限定於本文中所闡述的實施例。相反地,提供這些實施例是為了使得本揭露更加透徹且完整,並將本揭露的範圍傳達給本領域具有通常知識者。
可以理解的是,當一個層被稱作在另一層或基板「上(on)」時,其可以直接在另一層或基板上,或者可以存在中間層。在整個說明書中,相同的元件符號表示相同的元件。
可以理解的是,儘管在本文中可以使用術語「第一」、「第二」等來說明各種組件,但這些組件不應受到這些術語的限定。這些術語用於將一個元件與另一個元件區分開。舉例來說,在不脫離本揭露的教示的情況下,在下文中所討論的第一元件可以稱作第二元件。同樣地,第二元件也可以稱作第一元件。
用語「中的至少一個(at least one of)」旨在包含「選自於此群組中的至少一個(at least one selected from the group of)」。例如,「A及B中的至少一個(at least one of A and B)」可以理解為表示「A、B或A及B」。
除非另有定義,否則本文中所使用的所有術語(包含技術術語及科學術語)具有與本揭露所屬領域具有通常知識者所理解的相同的涵義。可以進一步理解的是,除非另有明確的定義,術語,例如在常用字典中所定義的術語,應解釋為具有在其相關領域及本揭露的上下文中的含義一致的含義,並且除非在本文中有明確的定義,否則不應理想化或過於正式的解釋。
在下文中,將參照附圖說明本揭露的實施例。
第1圖為根據一實施例的顯示裝置的示意平面圖。
參照第1圖,顯示裝置10顯示一個動態或靜止圖像。顯示裝置10可以表示設置有顯示螢幕的所有類型的電子裝置。顯示裝置10的示例可以包含電視(Television,TV)、筆記型電腦、監視器、告示牌、物聯網(Internet-of-Things,IoT)裝置、行動電話、智慧型手機、平板個人電腦(Tablet Personal Computer,PC)、電子手錶、智慧型手錶、手錶電話(watchphone)、頭戴式顯示器、行動通信終端機、電子記事本、電子書、攜帶式多媒體播放器(Portable Multimedia Player,PMP)、導航裝置、遊戲主機、數位相機及攝錄影機。
顯示裝置10可以包含設置有顯示螢幕的顯示面板。顯示面板的示例可以包含無機發光二極體(Inorganic Light-Emitting Diode,ILED)顯示面板、有機發光二極體(Organic Light-Emitting Diode,OLED)顯示面板、量子點發光二極體(Quantum-dot Light-Emitting Diode,QLED)顯示面板、電漿顯示面板(Plasma Display Panel,PDP)及場發射顯示(Field Emission Display,FED)面板。在下文中將顯示裝置10的顯示面板說明為無機發光二極體顯示面板,但本揭露不限定於此。
如附圖中所繪示的定義第一方向DR1、第二方向DR2及第三方向DR3。具體地,第一方向DR1及第二方向DR2可以為在同一平面內相互垂直的方向。第三方向DR3可以為垂直於由第一方向DR1及第二方向DR2所定義的平面的方向。第三方向DR3可以垂直於第一方向DR1及第二方向DR2中的每一個。第三方向DR3表示顯示裝置10的厚度方向(或顯示方向)。
顯示裝置10可以具有在平面圖中的矩形形狀,其具有在第一方向DR1上較在第二方向DR2上長的長邊以及短邊。顯示裝置10的長邊與短邊相交的角可以為直角,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,顯示裝置10的長邊與短邊相交的角可以為圓的。不特別限定顯示裝置10的平面形狀,並且可以變化。顯示裝置10可以具有除了矩形之外的各種形狀,例如正方形、具有圓角的矩形、非四邊形多邊形或圓形。
顯示裝置10的顯示面可以設置於顯示裝置10在第三方向DR3(或厚度方向)上的一側。除非另有說明,在本文中所使用的術語「上方(above)」及「頂部(top)」表示第三方向DR3(或顯示裝置10的顯示方向),並且在本文中所使用的術語「頂面(top surface)」表示朝向第三方向DR3的一側的表面。除非另有說明,在本文中所使用的術語「下方(below)」及「底部(bottom)」表示與第三方向DR3相反的方向(或與顯示裝置10的顯示方向相反的方向),並且在本文中所使用的術語「底面(bottom surface)」表示朝向與第三方向DR3的相反方向的一側的表面。除非另有說明,在本文中所使用的術語「左(left)」、「右(right)」、「上(upper)」及「下(lower)」表示從顯示裝置10上方觀看的其各自的方向。例如,術語「右(right)」表示第一方向DR1,並且術語「左(left)」表示與第一方向DR1相反的方向,術語「上(upper)」表示第二方向DR2,並且術語「下(lower)」表示與第二方向DR2相反的方向。
顯示裝置10可以包含顯示區域DPA及非顯示區域NDA。顯示區域DPA為顯示圖像的區域,並且非顯示區域NDA為不顯示圖像的區域。
顯示區域DPA的形狀可以符合顯示裝置10的形狀。在一個實施例中,顯示區域DPA可以具有在平面圖中與顯示裝置10相似的形狀,例如矩形形狀。顯示區域DPA通常可以佔用顯示裝置10的中間部分。
顯示區域DPA可以包含多個像素PX。多個像素PX可以排佈在行方向及列方向上。多個像素PX在平面圖中可以具有矩形或正方形形狀。在一個實施例中,各像素PX可以包含由無機粒子所形成的發光元件。
非顯示區域NDA可以設置於顯示區域DPA周圍。非顯示區域NDA可以圍繞整個顯示區域DPA或者一部分的顯示區域DPA。非顯示區域NDA可以形成顯示裝置10的邊框。
第2圖為第1圖的顯示裝置的像素的示意平面圖。
參照第2圖,顯示裝置10的像素PX可以包含發射區域EMA及非發射區域。發射區域EMA可以定義為輸出發光元件ED發出的光的區域,非發射區域可以定義為發光元件ED發出的光未到達且因此不輸出光的區域。
發射區域EMA可以包含設置有發光元件ED的區域及設置有發光元件ED的區域周圍的區域。此外,發射區域EMA可以進一步包含輸出由發光元件ED發射並接著被其他元件反射或折射的光的區域。
像素PX可以包含設置於非發射區域中的子區域SA。發光元件ED可以不設置於子區域SA中。子區域SA可以設置於像素PX中的發射區域EMA上方(或在第二方向DR2上的發射區域EMA的第一側上)。在像素PX中,子區域SA可以設置於發射區域EMA與在第二方向DR2上與像素PX鄰近的相鄰像素PX的另一個發射區域EMA之間。
子區域SA可以包含分離部ROP。子區域SA的分離部ROP可以為第一電極210及第二電極220與相鄰像素PX的第一電極210及第二電極220分隔開的區域。因此,一部分的像素PX的第一電極210及第二電極220以及一部分的相鄰像素PX的第一電極210及第二電極220可以設置於子區域SA中。
像素PX可以包含電極210、220、第一擋牆600、接觸電極710、720及發光元件ED。在下文中,將說明像素PX中的電極210、220、接觸電極710、720、發光元件ED及第一擋牆600的佈置。
第一擋牆600可以包含在平面圖中沿第一方向DR1延伸的部分及沿第二方向DR2延伸的部分,並且可以以晶格圖案(lattice pattern)設置於顯示區域DPA的整個表面上。第一擋牆600可以沿著像素PX的邊界設置,以將像素PX與其他像素PX分開。第一擋牆600可以設置於像素PX中以圍繞像素PX的發射區域EMA及子區域SA。例如,像素PX的發射區域EMA及子區域SA可以透過第一擋牆600定義。
電極210、220可以包含彼此間隔開的第一電極210及第二電極220。
在平面圖中,第一電極210可以設置於像素PX的左側。在平面圖中,第一電極210可以在第二方向DR2上延伸。第一電極210可以設置於發射區域EMA及子區域SA中並且橫跨發射區域EMA及子區域SA。在平面圖中,第一電極210可以在第二方向DR2上延伸,並且可以在分離部ROP中與相鄰像素PX的第一電極210隔離。
第二電極220可以設置為在第一方向DR1上與第一電極210間隔開。在平面圖中,第二電極220可以設置於像素PX的右側。在平面圖中,第二電極220可以在第二方向DR2上延伸。第二電極220可以設置於發射區域EMA及子區域SA中並且橫跨發射區域EMA及子區域SA。第二電極220可以在平面圖中沿第二方向DR2延伸,並且可以在分離部ROP中與相鄰像素PX的第二電極220隔離。
發光元件ED可以設置於第一電極210與第二電極220之間。發光元件ED可以在一方向上延伸,並且各發光元件ED在發光元件ED延伸的方向上的兩個端部可以放置在第一電極210及第二電極220上。在一個實施例中,發光元件ED的第一端部可以放置在第一電極210上,並且發光元件ED的第二端部可以放置在第二電極220上。
發光元件ED延伸的方向可以實質上垂直於第一電極210及第二電極220延伸的方向,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,一些(一部分)的發光元件ED可以實質上垂直於第一電極210及第二電極220延伸的方向設置,並且一些發光元件ED可以相對於第一電極210及第二電極220延伸的方向對角地設置。
發光元件ED包含發光元件核心30及反射膜39,反射膜39設置為圍繞一部分的發光元件核心30的側表面。
發光元件核心30的形狀可以實質上與發光元件ED的形狀相似。具體地,發光元件核心30可以在發光元件ED延伸的方向上延伸。發光元件核心30的第一端部可以放置在第一電極210上,並且發光元件核心30的第二端部可以放置在第二電極220上。
反射膜39可以設置於發光元件核心30的側表面上。反射膜39可以設置為圍繞發光元件核心30的側表面的部分。反射膜39可以設置為圍繞發光元件核心30的第一端部的側表面,但可以不設置於發光元件核心30的第二端部的側表面上。
接觸電極710、720可以包含彼此間隔開的第一接觸電極710及第二接觸電極720。
第一接觸電極710可以設置於第一電極210上。第一接觸電極710可以在第二方向DR2上延伸。第一接觸電極710可以接觸(或電性接觸)第一電極210及發光元件ED的第一端部。第一接觸電極710可以在子區域SA中接觸由第一開口OP1暴露出的一部分的第一電極210,並且在發射區域EMA中接觸發光元件ED的第一端部。當第一接觸電極710接觸第一電極210及發光元件ED的第一端部時,施加至第一電極210的電訊號可以透過第一接觸電極710傳輸至發光元件ED的第一端部。
第二接觸電極720可以設置於第二電極220上。第二接觸電極720可以在第二方向DR2上延伸。第二接觸電極720可以接觸(或電性接觸)第二電極220及發光元件ED的第二端部。第二接觸電極720可以在子區域SA中接觸由第二開口OP2暴露出的一部分的第二電極220,並且在發射區域EMA中接觸發光元件ED的第二端部。當第二接觸電極720接觸第二電極220及發光元件ED的第二端部時,施加至第二電極220的電訊號可以透過第二接觸電極720傳輸至發光元件ED的第二端部。
第3圖為沿第2圖的線I-I’截取的示意剖面圖。第4圖為沿第2圖的線II-II’截取的示意剖面圖。
參照第3圖,顯示裝置10可以包含基板SUB、設置於基板SUB上的電路元件層CCL以及設置於電路元件層CCL上的顯示元件層,並且顯示元件層可以包含第一電極210、第二電極220、第二擋牆400、第一接觸電極710、第二接觸電極720、發光元件ED、第一擋牆600、第一絕緣層510及第二絕緣層520。
基板SUB可以為絕緣基板。基板SUB可以由諸如玻璃、石英或高分子樹脂的絕緣材料形成。基板SUB可以為剛性基板或者可彎曲、可折疊或可捲曲的撓性基板。
電路元件層CCL可以設置於基板SUB上。電路元件層CCL可以包含下金屬層110、半導體層120、第一導電層130、第二導電層140及絕緣膜。
下金屬層110可以設置於基板SUB上。下金屬層110可以包含光阻擋層BML、第一電壓線VL1及第二電壓線VL2。
第一電壓線VL1可以在基板SUB的厚度方向上與電晶體TR的至少一部分的第一電極SD1重疊。要提供至電晶體TR的高電位電壓(或第一電源供應電壓)可以施加至第一電壓線VL1。
第二電壓線VL2可以在基板SUB的厚度方向上與第二導電圖案CDP2重疊。低於高電位電壓的低電位電壓(或第二電源供應電壓)可以施加至第二電壓線VL2。第二電源供應電壓可以施加至第二電極220。在顯示裝置10的製造期間,可以將用於對齊發光元件的調正訊號(alignment signal)施加至第二電壓線VL2。
光阻擋層BML可以設置為從電晶體TR的下方至少覆蓋(或重疊)電晶體TR的整個通道區域,甚至電晶體TR的整個主動層ACT,但本揭露不限定於此。可以不設置光阻擋層BML。
下金屬層110可以包含能夠阻擋光的材料。在一個實施例中,下金屬層110可以由能夠阻擋光的透射的不透明金屬材料形成。
緩衝層161可以設置於下金屬層110上。緩衝層161可以設置為覆蓋(或重疊)設置有下金屬層110的基板SUB的整個表面。由於基板SUB易受濕氣影響,緩衝層161可以保護電晶體TR的基板SUB不受可能滲入的濕氣的影響。
半導體層120可以設置於緩衝層161上。半導體層120可以包含電晶體TR的主動層ACT。如上所述,電晶體TR的主動層ACT可以設置為與下金屬層110的光阻擋層BML重疊。
半導體層120可以包含多晶矽、單晶矽或氧化半導體。在此,多晶矽可以透過使非晶矽結晶以形成。在半導體層120包含多晶矽的情況下,電晶體TR的主動層ACT可以包含摻雜有雜質的摻雜區域以及摻雜區域之間的通道區域。在一個實施例中,半導體層120可以包含氧化半導體,氧化半導體可以為,例如氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)、氧化銦鎵(IGO)、氧化銦鋅錫(IZTO)、氧化銦鎵鋅(IGZO)、氧化銦鎵錫(IGTO)或氧化銦鎵鋅錫(IGZTO)。
閘極絕緣膜162可以設置於半導體層120上。閘極絕緣膜162可以用作電晶體TR的閘極絕緣膜。閘極絕緣膜162可以形成為多層,其中無機層包含例如氧化矽(SiOx)、氮化矽(SiNx)及氮氧化矽(SiOxNy)中的至少一種,且其交替地堆疊。
第一導電層130可以設置於閘極絕緣膜162上。第一導電層130可以包含電晶體TR的閘電極GE。電晶體TR的閘電極GE可以設置為在作為基板SUB的厚度方向的第三方向DR3上與電晶體TR的主動層ACT的通道區域重疊。
層間絕緣膜163可以設置於第一導電層130上。層間絕緣膜163可以設置為覆蓋(或重疊)閘電極GE。層間絕緣膜163可以作為第一導電層130與設置於第一導電層130上的其他層之間的絕緣膜,並且可以保護第一導電層130。
第二導電層140可以設置於層間絕緣膜163上。第二導電層140可以包含電晶體TR的第一電極SD1、第二電極SD2、第一導電圖案CDP1及第二導電圖案CDP2。
電晶體TR的第一電極SD1及第二電極SD2可以透過穿透過層間絕緣膜163及閘極絕緣膜162的接觸孔電性連接至電晶體TR的主動層ACT的兩個端部。第一電極SD1可以透過穿透過層間絕緣膜163、閘極絕緣膜162及緩衝層161的接觸孔電性連接至下金屬層110的第一電壓線VL1。
第一導電圖案CDP1可以電性連接至電晶體TR的第二電極SD2。第一導電圖案CDP1可以透過穿透過通孔層(via layer)165的第一電極接觸孔CTD電性連接至第一電極210。電晶體TR可以透過第一導電圖案CDP1將從第一電壓線VL1施加的第一電源電壓傳輸至第一電極210。
第二導電圖案CDP2可以電性連接至第二電壓線VL2。第二導電圖案CDP2可以透過穿透過層間絕緣膜163、閘極絕緣膜162及緩衝層161的接觸孔電性連接至第二電壓線VL2。第二導電圖案CDP2可以透過第二電極接觸孔CTS電性連接至第二電極220。第二導電圖案CDP2可以將施加至第二電壓線VL2的第二電源電壓傳輸至第二電極220。
第3圖繪示出第一導電圖案CDP1及第二導電圖案CDP2形成於同一層中,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,第二導電圖案CDP2可以形成在與第一導電圖案CDP1不同的導電層中,例如在設置於第二導電層140上的第三導電層中,且其之間插置有複數個絕緣層。在此情況下,第一電壓線VL1及第二電壓線VL2可以形成於第三導電層中,而非形成於下金屬層110中,並且第一電壓線VL1可以透過另一個導電圖案電性連接至電晶體TR的第一電極SD1。
鈍化層164可以設置於第二導電層140上。鈍化層164可以設置於設置有第二導電層140的層間絕緣膜163上。鈍化層164可以保護其下方的導電層。
通孔層165可以設置於鈍化層164上。通孔層165可以包含諸如聚醯亞胺(polyimide,PI)的有機絕緣材料。通孔層165可以執行表面平坦化功能。
緩衝層161、閘極絕緣膜162、層間絕緣膜163及鈍化層164中的每一個可以包含交替堆疊的無機層。例如,緩衝層161、閘極絕緣膜162、層間絕緣膜163及鈍化層164中的每一個可以形成為雙層或多層,其中無機層包含交替堆疊的氧化矽(SiOx)、氮化矽(SiNx)及氮氧化矽(SiOxNy)中的至少一種,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,緩衝層161、閘極絕緣膜162、層間絕緣膜163及鈍化層164中的每一個可以形成為包含氧化矽(SiOx)、氮化矽(SiNx)及氮氧化矽(SiOxNy)的單個無機層。
在下文中將參照第2圖至第4圖以說明顯示元件層的結構。顯示元件層可以設置於通孔層165上。顯示元件層可以包含第一電極210、第二電極220、第二擋牆400、第一擋牆600、發光元件ED、第一接觸電極710、第二接觸電極720、第一絕緣層510及第二絕緣層520。
第二擋牆400可以設置於通孔層165上。第二擋牆400可以直接設置於通孔層165上。第二擋牆400可以設置於發射區域EMA中。
第二擋牆400可以包含彼此間隔開的第一子擋牆410及第二子擋牆420。第一子擋牆410及第二子擋牆420在發射區域EMA中沿第一方向DR1彼此間隔開。發光元件ED可以設置於彼此間隔開的第一子擋牆410與第二子擋牆420之間。
第二擋牆400可以包含傾斜側面並且可以將由發光元件ED發射的光的行進方向從朝向第二擋牆400行進改變為向上的方向(例如,顯示方向)。例如,第二擋牆400可以提供用以設置發光元件ED的空間,並且可以作為將從發光元件ED發射的光的行進方向改變為顯示方向的反射屏障。
第3圖繪示出第二擋牆400的側表面為線性傾斜的,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,第二擋牆400的側表面(或外表面可以具有)彎曲的半圓形或者半橢圓形的形狀。在一個實施例中,第二擋牆400可以包含諸如聚醯亞胺的有機絕緣材料,但本揭露不限定於此。
第一電極210及第二電極220可以設置於第二擋牆400上以及由第二擋牆400暴露出的一部分的通孔層165上。
具體地,在發射區域EMA中第一電極210可以設置於第一子擋牆410上,並且在非發射區域中第一電極210可以設置於通孔層165上。第一電極210可以設置為覆蓋(或重疊)第一子擋牆410的外表面。第一電極210可以至少設置於在發射區域EMA中面對第二子擋牆420的第一子擋牆410的傾斜側面上,並且可以反射由發光元件ED發射的光。
第一電極210可以透過穿透過通孔層165的第一電極接觸孔CTD電性連接至第一導電圖案CDP1。第一電極210可以接觸由第一電極接觸孔CTD暴露出的一部分的第一導電圖案CDP1的頂面。第一電極210可以透過第一導電圖案CDP1電性連接至電晶體TR。第3圖繪示出第一電極接觸孔CTD設置為在第三方向DR3上與第一擋牆600重疊,但第一電極接觸孔CTD的位置沒有特別的限制。
在發射區域EMA中第二電極220可以設置於第二子擋牆420上,並且在非發射區域中第二電極220可以設置於通孔層165上。第二電極220可以設置為覆蓋(或重疊)第二子擋牆420的外表面。第二電極220可以至少設置於在發射區域EMA中面對第一子擋牆410的第二子擋牆420的傾斜側面上,並且可以反射由發光元件ED發射的光。
第二電極220可以透過穿透過通孔層165的第二電極接觸孔CTS電性連接至第二導電圖案CDP2。第二電極220可以接觸由第二電極接觸孔CTS暴露出的一部分的第二導電圖案CDP2的頂面。第二電極220可以透過第二導電圖案CDP2電性連接至第二電壓線VL2。第3圖繪示出第二電極接觸孔CTS設置為在第三方向DR3上與第一擋牆600重疊,但第二電極接觸孔CTS的位置沒有特別的限制。
在子區域SA的分離部ROP中,像素PX的第一電極210及第二電極220可以在平面圖中沿第二方向DR2延伸,並且可以與相鄰像素PX的第一電極210及第二電極220隔離開。在子區域SA的分離部ROP中,像素PX的第一電極210及第二電極220及相鄰像素PX的第一電極210及第二電極220可以透過在分離部ROP中切割用於對齊發光元件ED的電極線以獲得。具體地,可以使用在第二方向DR2上延伸的電極線以對齊發光元件ED,並且可以在子區域SA的分離部ROP中切割電極線,從而獲得像素PX的第一電極210及第二電極220以及相鄰像素PX的第一電極210及第二電極220。電極線可以用於在像素PX中產生電場以對齊發光元件ED。
第一電極210及第二電極220可以電性連接至發光元件ED。第一電極210及第二電極220可以透過第一接觸電極710及第二接觸電極720電性連接至各發光元件ED的兩個端部。
第一電極210及第二電極220可以包含具有高反射率的導電材料。例如,第一電極210及第二電極220可以包含具有高反射率的金屬,例如銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)、鉬(Mo)、鈦(Ti)、或者鋁(Al)、鎳(Ni)或鑭(La)的合金。第一電極210及第二電極220可以沿像素PX的向上方向朝向第二擋牆400的側表面反射由發光元件ED發射的光。然而,本揭露不限定於此。第一電極210及第二電極220可以進一步包含透明導電材料。例如,第一電極210及第二電極220可以包含諸如氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)或氧化銦錫鋅(ITZO)。在一些實施例中,第一電極210及第二電極220可以形成為堆疊有至少一透明導電材料及至少一高反射率金屬層的多層結構,或者形成為包含至少一透明導電材料及至少一高反射率金屬層的單層。第一電極210及第二電極220可以具有ITO/Ag/ITO/、ITO/Ag/IZO或ITO/Ag/ITZO/IZO的疊層。
第一絕緣層510可以設置於第一電極210及第二電極220上。第一絕緣層510可以設置為在發射區域EMA中覆蓋(或重疊)通孔層165、第二擋牆400、第一電極210及第二電極220。第一絕緣層510可以設置於子區域SA中的第一電極210、第二電極220以及通孔層165上,但可以不設置於子區域SA的分離部ROP中。
第一絕緣層510可以包含暴露出至少一部分的第一電極210及第二電極220的接觸孔。接觸孔可以包含穿透過第一絕緣層510的第一開口OP1及第二開口OP2。接觸孔可以設置於子區域SA中。
第一絕緣層510可以保護第一電極210及第二電極220,並且可以使第一電極210及第二電極220彼此絕緣。此外,第一絕緣層510可以防止設置於第一絕緣層510上的發光元件ED因直接接觸下方的元件而損壞。第一絕緣層510可以包含無機絕緣材料。
第一擋牆600可以設置於第一絕緣層510上。第一擋牆600在平面圖中可以包含在第一方向DR1上延伸的部分及在第二方向DR2上延伸的部分,並且可以以晶格圖案進行排佈。
第一擋牆600可以沿像素PX的邊界設置以分隔像素PX及其他像素PX,並且定義出像素PX的發射區域EMA及子區域SA。此外,在顯示裝置10的製造過程中,由於第一擋牆600形成為相較於第二擋牆400具有更大的高度,並且定義像素PX的發射區域EMA及子區域SA,因此可以將具有發光元件ED分散在其中的墨水噴灑至像素PX的發射區域EMA中,並且在用於對齊發光元件ED的噴墨製程中不會滲入至相鄰像素PX。第一擋牆600可以包含諸如聚醯亞胺的有機絕緣材料,但是本揭露不限定於此。
在發射區域EMA中,發光元件ED可以設置於第一絕緣層510上。發光元件ED可以設置於第一子擋牆410與第二子擋牆420之間。發光元件ED可以設置於第一絕緣層510上,使得各發光元件ED的兩個端部可以放置在第一子擋牆410與第二子擋牆420之間的第一電極210及第二電極220上。
發光元件ED可以設置為在第一電極210及第二電極220延伸的方向上,例如在第二方向DR2上,彼此間隔開,並且可以實質上彼此平行地對齊。發光元件ED可以在一方向上延伸,並且發光元件ED的長度可以大於在第一方向DR1上彼此間隔開的第一電極210與第二電極220之間的最小距離。各發光元件ED的至少一個端部可以放置在第一電極210及第二電極220中的一個上,或者各發光元件ED的兩個端部可以放置在第一電極210及第二電極220上。
第二絕緣層520可以設置於發光元件ED上。第二絕緣層520可以設置為圍繞各發光元件ED的一部分的外表面,但不覆蓋(或重疊)各發光元件ED的兩個端部。因此,第二絕緣層520在第一方向DR1上的寬度可以小於發光元件ED在第一方向DR1上的長度。由於設置在發光元件ED上的一部分的第二絕緣層520在平面圖中在第一絕緣層510上方沿第二方向DR2延伸,因此可以在像素PX中形成線狀或島狀圖案。在顯示裝置10的製造過程中第二絕緣層520可以保護及固定發光元件ED。
第一接觸電極710可以設置於第一電極210上。第一接觸電極710可以在第二方向DR2上延伸。第一接觸電極710可以接觸第一電極210及發光元件ED的第一端部。在發射區域EMA中,第一接觸電極710可以接觸由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的第一端部。此外,在子區域SA中,第一接觸電極710可以接觸由穿透過第一絕緣層510的第一開口OP1暴露出的一部分的第一電極210。如上所述,當第一接觸電極710接觸由第一開口OP1暴露出的一部分的第一電極210以及由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的第一端部時,施加至第一電極210的電訊號可以透過第一接觸電極710傳輸至發光元件ED的第一端部。
第二接觸電極720可以設置於第二電極220上。第二接觸電極720可以在第二方向DR2上延伸。第二接觸電極720可以接觸第二電極220以及發光元件ED的第二端部。具體地,在發射區域EMA中,第二接觸電極720可以接觸由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的第二端部。此外,在子區域SA中,第二接觸電極720可以接觸由穿透過第一絕緣層510的第二開口OP2暴露出的一部分的第二電極220。如上所述,當第二接觸電極720接觸由第二開口OP2暴露出的一部分的第二電極220以及由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的第二端部時,施加至第二電極220的電訊號可以透過第二接觸電極720傳輸至發光元件ED的第二端部。
在發射區域EMA中,第一接觸電極710及第二接觸電極720可以設置為彼此間隔開,且第二絕緣層520插置於第一接觸電極710及第二接觸電極720之間。第一接觸電極710及第二接觸電極720中的至少一個可以至少部分地設置於第二絕緣層520的一側上。第一接觸電極710及第二接觸電極720可以透過第二絕緣層520彼此間隔開並且彼此絕緣。
第3圖繪示出第一接觸電極710及第二接觸電極720設置於同一層中,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,第一接觸電極710及第二接觸電極720可以設置於不同的層,並且第一接觸電極710與第二接觸電極720之間可以存在有絕緣層。
第一接觸電極710及第二接觸電極720可以包含導電材料。在一個實施例中,第一接觸電極710及第二接觸電極720可以包含氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)、氧化銦錫鋅(ITZO)或鋁(Al)。例如,第一接觸電極710及第二接觸電極720可以包含透明導電材料,並且由發光元件ED發射的光可以通過第一接觸電極710及第二接觸電極720朝向第一電極210及第二電極220行進,並且可以接著由第一接觸電極710及第二接觸電極720中的每一個的外表面反射。
雖然未具體繪示出,絕緣層可以進一步設置於第二絕緣層520、第一接觸電極710及第二接觸電極720上。絕緣層可以保護設置於基板SUB上的元件免受外部環境的影響。
第5圖為根據一實施例的發光元件的示意透視圖。第6圖為第5圖的發光元件的示意剖面圖。
作為顆粒元件(particulate element)的發光元件ED可以具有具預定縱橫比的桿狀或圓柱狀。發光元件ED可以在方向X上延伸,發光元件ED在方向X(或延伸的方向,又或長度方向)上的長度h1可以大於發光元件ED的直徑,並且發光元件ED的縱橫比可以為大約6:5至大約100:1。然而,本揭露不限定於此。方向X、發光元件ED的延伸方向及發光元件ED的長度方向可以互換使用。
發光元件ED可具有大約1nm至大約1µm的奈米級尺寸或者大約1µm至大約1mm的微米級尺寸。在一個實施例中,發光元件ED的直徑及長度h1可以為奈米級或微米級。在另一個示例中,發光元件ED的直徑可以為奈米級,但是發光元件ED的長度h1可以為微米級。在另一個示例中,在具有複數個發光元件ED的情況下,一些發光元件ED可以具有奈米級的直徑及/或長度h1,並且一些發光元件ED可以具有微米級的直徑及/或長度h1。
在一個實施例中,發光元件ED可以為無機發光二極體。無機發光二極體可以包含半導體層。在一個示例中,無機發光二極體可以包含第一導電類型(例如,n型)的半導體層、第二導電類型(例如,p型)的半導體層以及插置於第一導電類型的半導體層與第二導電類型的半導體層之間的主動半導體層。主動半導體層可以分別從第一導電類型的半導體層及第二導電類型的半導體層接收電洞及電子,並且電洞及電子可以在主動半導體層中結合在一起。因此,發光元件ED可以發光。
參照第5圖及第6圖,發光元件ED可以包含發光元件核心30及反射膜39。發光元件ED可以進一步包含裝置絕緣膜38。
發光元件核心30可以在方向X上延伸。發光元件核心30可以具有桿狀或圓柱狀,但本揭露不限定於此。在另一個示例中,發光元件核心30可以具有諸如正六面體、長方體、六角柱等多角柱形狀,或者可以其一部分的外表面傾斜地在方向X上延伸。
發光元件核心30可以具有第一表面30US、第二表面30BS及側表面30SS。第一表面30US可以為發光元件核心30在方向X上的一側的發光元件核心30的表面,第二表面30BS可以為發光元件核心30在方向X上的另一側的發光元件核心30的另一表面。例如,在第5圖及第6圖的示例中,第一表面30US可以為發光元件核心30的頂面,第二表面30BS可以為發光元件核心30的底面。
在一個實施例中,發光元件ED的半導體層可以在發光元件核心30的長度方向,例如方向X,上依序堆疊。如第5圖及第6圖所繪示的,發光元件核心30可以包含在方向X上依序堆疊的第一半導體層31、裝置主動層33及第二半導體層32。第一半導體層31、裝置主動層33及第二半導體層32可以分別為第一導電類型的半導體層、主動半導體層及第二導電類型的半導體層。
第一半導體層31可以摻雜有第一導電類型的摻雜劑。第一導電類型的摻雜劑可以為矽(Si)、鍺(Ge)或錫(Sn)。在一個實施例中,第一半導體層31可以為摻雜有諸如矽的n型摻雜劑的n型氮化鎵(n-GaN)。
第二半導體層32可以透過裝置主動層33與第一半導體層31間隔開。第二半導體層32可以摻雜有第二導電類型的摻雜劑,例如鎂(Mg)、鋅(Zn)、鈣(Ca)、硒(Se)或鋇(Ba)。在一個實施例中,第二半導體層32可以為摻雜有諸如鎂的p型摻雜劑的p型氮化鎵(p-GaN)。
裝置主動層33可以包含具有單量子井或多量子井結構的材料。如上所述,當透過第一半導體層31及第二半導體層32施加電訊號時,裝置主動層33可以透過電子-電洞對的結合而發光。
在一些實施例中,裝置主動層33可以具有具大帶隙能量的半導體材料及具小帶隙能量的半導體材料依序堆疊的結構,並且可以根據所要發出的光的波長包含不同的III族至V族半導體材料。
由裝置主動層33產生的光不只可以在方向X上(例如,長度方向)通過發光元件核心30的兩個端面,更可以通過發光元件核心30的側表面30SS。在一個實施例中,由裝置主動層33產生的光可以通過發光元件核心30的第一表面30US、第二表面30BS及側表面30SS發射至發光元件核心30的外側。從發光元件核心30,具體地從裝置主動層33,發射的光的方向沒有特別的限制。
發光元件核心30可以進一步包含裝置電極層37,其設置於第二半導體層32上。第二半導體層32可以設置於裝置電極層37與裝置主動層33之間。例如,第一半導體層31、裝置主動層33、第二半導體層32及裝置電極層37可以在方向X上依序設置。裝置電極層37可以接觸第二半導體層32。裝置電極層37可以為歐姆接觸電極,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,裝置電極層37可以為肖特基接觸電極。
在發光元件ED的兩個端部及電極電性連接以施加電訊號至第一半導體層31及第二半導體層32的情況下,裝置電極層37可以設置於第二半導體層32與電極之間,並且可以降低電阻。裝置電極層37可以包含鋁、錫、銦(In)、金、銀、氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)及氧化銦錫鋅(ITZO)中的至少一種。裝置電極層37可以包含摻雜有n型或p型摻雜劑的半導體材料。
發光元件核心30的側表面30SS可以包含第一半導體層31的側表面31SS、裝置主動層33的側表面33SS及第二半導體層32的側表面32SS。發光元件核心30的側表面30SS可以進一步包含裝置電極層37的側表面37SS。形成發光元件核心30的側表面30SS的第一半導體層31、裝置主動層33及第二半導體層32的側表面31SS、33SS、32SS可以彼此對齊。第6圖繪示出裝置電極層37的側表面37SS對齊第二半導體層32的側表面32SS,但本揭露不限定於此。在一個實施例中,裝置電極層37的側表面37SS可以向外突出而超過第二半導體層32的側表面32SS。
裝置絕緣膜38可以設置為圍繞發光元件核心30的側表面30SS。裝置絕緣膜38可以設置為至少圍繞裝置主動層33的側表面33SS,並且可以在發光元件核心30延伸的方向,例如方向X,上延伸。裝置絕緣膜38可以保護第一半導體層31、第二半導體層32及裝置主動層33。由於裝置絕緣膜38包含具有絕緣特性的材料,因此裝置絕緣膜38可以防止在裝置主動層33與施加電訊號至發光元件ED的電極直接接觸的情況下可能發生的短路。此外,由於裝置絕緣膜38設置於反射膜39與發光元件核心30的第一半導體層31、第二半導體層32及裝置主動層33之間,因此裝置絕緣膜38可以防止在反射膜39設置為與第一半導體層31、第二半導體層32及裝置主動層33直接接觸的情況下可能發生的短路。此外,由於裝置絕緣膜38保護包覆了裝置主動層33的第一半導體層31及第二半導體層32的側表面31SS、32SS,因此裝置絕緣膜38可以防止發光效率的降低。
第6圖繪示出在發光元件核心30的側表面30SS上沿方向X延伸以完全地覆蓋(或重疊)第一半導體層31、裝置主動層33、第二半導體層32及裝置電極層37的側表面31SS、33SS、32SS、37SS的裝置絕緣膜38,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,裝置絕緣膜38可以覆蓋裝置主動層33以及僅一部分的發光元件核心30的半導體層的側表面,或者覆蓋一部分的裝置電極層37的側表面37SS,但暴露出裝置電極層37的一部分的側表面37SS,即使在此情況下,裝置絕緣膜38可以至少插置於發光元件核心30與反射膜39之間。第6圖繪示出裝置絕緣膜38形成為單層,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,裝置絕緣膜38可以具有包含絕緣材料的多個絕緣膜的疊層。
裝置絕緣膜38可以具有內周面(或內側表面)及外周面(或外側表面)。裝置絕緣膜38的內周面(或內側表面)可以為面對發光元件核心30的側表面30SS的裝置絕緣膜38的側表面。此外,裝置絕緣膜38的外周面(或外側表面)可以為與裝置絕緣膜38的內周面(或內側表面)相對的裝置絕緣膜38的側表面。
反射膜39可以設置於發光元件核心30的側表面30SS上。反射膜39可以設置為圍繞發光元件核心30的一部分的側表面30SS。反射膜39可以設置為圍繞發光元件核心30的側表面30SS,但暴露出發光元件核心30的至少一部分的側表面30SS。反射膜39可以至少不設置於各發光元件核心30的兩個端部(或第一端部及第二端部)之一的側表面上。例如,反射膜39可以設置於發光元件核心30設置有第二半導體層32的第一端部的側表面,但不設置於發光元件核心30設置有第一半導體層31的第二端部的側表面,並且裝置主動層33位於第一半導體層31與第二半導體層32之間。
反射膜39可以至少設置於裝置主動層33的側表面33SS上以圍繞裝置主動層33的側表面33SS。反射膜39可以設置於裝置主動層33的側表面33SS上以完全地覆蓋(或重疊)裝置主動層33的側表面33SS。反射膜39可以在裝置主動層33的側表面33SS上沿方向X延伸,並且可以設置於一部分的第一半導體層31的側表面31SS以及第二半導體層32的側表面32SS上。
反射膜39可以設置於裝置絕緣膜38的外側表面上。反射膜39可以設置為圍繞裝置絕緣膜38的外側表面,其至少圍繞裝置主動層33的側表面33SS。反射膜39可以在圍繞裝置主動層33的側表面33SS的裝置絕緣膜38的外側表面上沿方向X延伸。
反射膜39可以反射由裝置主動層33產生並通過發光元件核心30的側表面30SS發射的光。由於反射膜39設置於裝置絕緣膜38的外側表面上,因此反射膜39可以改變朝向裝置絕緣膜38的外側表面前進的光的行進方向。例如,由於反射膜39設置於發光元件核心30的一部分的側表面30SS上,因此可以減少在由裝置主動層33產生的光束中通過發光元件ED的側表面發射的光量,並且可以增加在由裝置主動層33產生的光束中通過發光元件ED的兩個端面發射的光量。在下文中將說明由裝置主動層33發射的光的行進方向。
反射膜39可以包含反射材料。例如,反射膜39可以由諸如鋁、鎳、銀或鑭的具有高反射率的金屬材料形成,或者可以包含諸如硫酸鋇(BaSOx)的具有高反射率的材料,但本揭露不限定於此。
為了最大化從發光元件ED的兩個端面發射的光量,可以在發光元件ED中適當地配置裝置主動層33及反射膜39。在下文中,將詳細說明相對於反射膜39的位置及長度(或在方向X上的長度)的發光元件核心30的元件的位置及厚度(或在方向X上的長度)。
由發光元件核心30的裝置主動層33產生的光可以通過裝置主動的頂面33US、底面33BS及側表面33SS發射至發光元件核心30的外部。因此,由於反射膜39設置為完全地圍繞裝置主動層33的側表面33SS,因此從裝置主動層33發射且通過發光元件核心30的側表面30SS的光可以被導引至通過發光元件核心30的兩個端面發射。
在反射膜39方向X上的長度h2可以小於在發光元件核心30方向X上的長度h1。由於反射膜39在方向X上的長度h2小於發光元件核心30在方向X上的長度h1,因此即使在電極直接接觸各發光元件ED的兩個端部的情況下,也可以防止向發光元件ED施加電訊號的電極發生短路。
反射膜39在方向X上的長度h2可以大於裝置主動層33在方向X上的厚度h3。由於反射膜39在方向X上的長度h2大於裝置主動層33在方向X上的厚度h3,因此可以提高通過裝置主動層33的側表面33SS向發光元件核心30的側表面30SS行進的光的反射效率。具體地,由於裝置主動層33在發光元件核心30中產生光,因此通過裝置主動層33的側表面33SS發出的光可以佔了大部分的從發光元件核心30的整個側表面30SS發出的光的。因此,由於反射膜39設置為完全地圍繞裝置主動層33的側表面33SS,所以透過反射通過裝置主動層33的側表面33SS朝向發光元件核心30的側表面30SS行進的光,而能夠增加通過發光元件核心30的兩個端面發射的光量。
裝置主動層33可以設置為從發光元件核心30在方向X上的中間靠近發光元件核心30的一側。第一半導體層31可以形成為佔發光元件ED的大部分。
具體地,第一半導體層31在方向X上的長度可以大於第二半導體層32及裝置電極層37在方向X上的長度。此外,第一半導體層31在方向X上的長度可以大於第二半導體層32及裝置電極層37在方向X上的長度之和。
裝置主動層33可以設置為從發光元件核心30在方向X上的中間靠近發光元件ED的一側,例如設置有第二半導體層32的一側。例如,發光元件核心30的第一表面30US與裝置主動層33的頂面33US之間的距離d2可以小於發光元件核心30的第二表面30BS與裝置主動層33的底面33BS之間的距離d1。由於裝置主動層33設置為在長度方向上靠近發光元件ED的一側,因此通過裝置主動層33的兩個端部發射的光的強度可以在發光元件核心30的第一端部大於在第二端部。換句話說,由於產生光的裝置主動層33設置為靠近發光元件核心30的一側,因此從發光元件核心30發射的光的強度在平面圖中可以是不對稱的。
因此,透過形成在發光元件核心30的第一端部的反射膜39,可以最大化通過發光元件ED的兩個端面發射的光量,其中從發光元件核心30發射的光的強度較大的裝置主動層33被設置為鄰近發光元件ED的一側。
第7圖為繪示出從第5圖的發光元件發射的光的行進方向的示意剖面圖。
參照第6圖及第7圖,在由裝置主動層33產生的光束中,光線L1可以通過設置有裝置電極層37的發光元件核心30的第一表面30US發射至發光元件ED的外側,並且光線L2可以通過設置有第一半導體層31的發光元件核心30的第二表面30BS發射至發光元件ED的外側。在由裝置主動層33產生並通過發光元件核心30的側表面30SS的光束中,朝向被反射膜39圍繞的裝置絕緣膜38的第一區域38B的光線L3可以從反射膜39的內側表面反射並通過裝置絕緣膜38,以朝向發光元件核心30的內側行進。一些光線L3,例如光線L3a,可以通過發光元件核心30的第一表面30US發射至發光元件ED的外側,並且一些光線L3,例如光線L3b,可以通過未被反射膜39圍繞的裝置絕緣膜38的第二區域38A發射至發光元件ED的外側。在由裝置主動層33產生並發射通過發光元件核心30的側表面30SS的光束中,朝向裝置絕緣膜38的第二區域38A行進的光線L4可以通過裝置絕緣膜38的第二區域38A發射至發光元件ED的外側。
由於從發光元件核心30發射的光強度大,並且反射膜39形成為圍繞產生光的裝置主動層33的側面33SS,因此可以最大化通過發光元件ED的兩個端面發射的光量。
第8圖至第19圖為繪示出根據一實施例的發光元件的製造方法的示意剖面圖。
在第8圖至第19圖中定義了第四方向DR4及第五方向DR5。第四方向DR4及第五方向DR5可以彼此垂直。第五方向DR5可以平行於形成在基底基板1100上的發光元件ED延伸的方向,例如方向X。除非另有明確說明,在本文中使用的術語「上(on)」、「上(above)」及「上(upper)」表示相對於基底基板1100的表面(或頂面),半導體層堆疊於各發光元件ED中的方向,在本文中使用的術語「頂面(top surface)」表示面向第五方向的表面,在本文中使用的術語「下(below)」及「下(lower)」表示第五方向DR5的相反方向,並且在本文中使用的術語「底面(bottom surface)」表示面向第五方向的相反方向的表面。
參照第8圖,準備了下基板1000。
具體地,下基板1000可以包含基底基板1100及設置於基底基板1100上的緩衝材料層1200。
基底基板1100可以為透明基板,例如藍寶石(AlxOy)基板或玻璃基板。在一個實施例中,基底基板1100可以為藍寶石基板。
緩衝材料層1200可以設置於基底基板1100的表面(或頂面)上。緩衝材料層1200可以減少基底基板1100與第一半導體材料層3100之間的晶格常數的差異(參照第9圖)。緩衝材料層1200可以包含未摻雜的半導體。緩衝材料層1200及第一半導體材料層3100可以包含相同的材料,並且緩衝材料層1200可以包含未摻雜有第一導電類型摻雜劑或第二導電類型摻雜劑,例如n型或p型摻雜劑,的材料。第8圖繪示出了緩衝材料層1200形成為單層,但緩衝材料層1200可以形成為多層。
緩衝材料層1200可以不依據基底基板1100的種類設置。
接下來,參照第9圖,第一堆疊結構3000形成在下基板1000上。
具體地,在緩衝材料層1200形成於基底基板1100上的實施例中,第一半導體材料層3100、裝置主動材料層3300、第二半導體材料層3200及電極材料層3700依序堆疊的第一堆疊結構3000形成在緩衝材料層1200上。包含在第一堆疊結構3000中的材料層可以透過典型製程以形成。
包含在第一堆疊結構3000中的材料層可以對應於包含在將形成的各發光元件核心30中的層。具體地,第一堆疊結構3000的第一半導體材料層3100、裝置主動材料層3300、第二半導體材料層3200及電極材料層3700可以分別對應於將形成的發光元件核心30的第一半導體層31、裝置主動層33、第二半導體層32及裝置電極層37,並且包含與上述各層相同的材料。
接下來,參照第9圖及第10圖,透過蝕刻第一堆疊結構3000以在下基板1000上形成彼此間隔開的發光元件核心30。
具體地,透過在垂直於基底基板1100的表面的方向上,例如在第五方向DR5上,蝕刻第一堆疊結構3000,以形成彼此間隔開的發光元件核心30。
可以透過典型的方法執行第一堆疊結構3000的蝕刻以形成發光元件核心30。在一個實施例中,可以透過在第一堆疊結構3000上形成蝕刻遮罩層並且在垂直於基底基板1100的表面的方向上,例如在第五方向DR5上,沿著蝕刻遮罩層蝕刻第一堆疊結構3000以形成發光元件核心30。
在一個實施例中,可以透過乾式蝕刻、濕式蝕刻、反應離子蝕刻(Reactive Ion Etching,RIE)或電感耦合電漿反應離子蝕刻(Inductively Coupled Plasma-Reactive Ion Etching,ICP-RIE)以執行第一堆疊結構3000的蝕刻,進而形成發光元件核心30。在一個實施例中,可以透過乾式蝕刻及濕式蝕刻以執行用於形成發光元件核心30並使得發光元件核心30的側表面可以垂直於基底基板1100的表面的蝕刻製程。具體地,可以透過乾式蝕刻,即異向性蝕刻(anisotropic etching),以在第五方向DR5上蝕刻第一堆疊結構3000,並且可以透過濕式蝕刻,即同向性蝕刻(isotropic etching),進行蝕刻,使得被蝕刻的第一堆疊結構3000的側面可以落在垂直於基底基板1100的表面的平面上。因此,包含在各發光元件核心30中的第一半導體層31、裝置主動層33及第二半導體層32的側表面皆可以彼此對準。
發光元件核心30可以在緩衝材料層1200上彼此間隔開。各發光元件核心30可以包含第一半導體層31、裝置主動層33、第二半導體層32及裝置電極層37,其沿向上方向(即,在第五方向DR5上)依序堆疊於緩衝材料層1200上。
接下來,參照第11圖,絕緣材料層3800形成在發光元件核心30上。
具體地,絕緣材料層3800形成在各發光元件核心30的外表面上。絕緣材料層3800可以形成在基底基板1100的整個表面上,例如,不僅在各發光元件核心30的外表面上,而且在由發光元件核心30暴露出的緩衝材料層1200的一部分的頂面上。各發光元件核心30的外表面可以包含各發光元件核心30的側表面及頂面。絕緣材料層3800可以對應於將形成的發光元件ED的裝置絕緣膜38,並且包含與裝置絕緣膜38相同的材料。
接下來,參照第11圖及第12圖,透過執行第一蝕刻製程以移除部分的絕緣材料層3800進而形成裝置桿ROD。
可以執行移除一部分的絕緣材料層3800的第一蝕刻製程以暴露出發光元件核心30的頂面並圍繞發光元件核心30的側表面。具體地,可以移除一部分的絕緣材料層3800,使得發光元件核心30的裝置電極層37的頂面可以暴露出。一部分的絕緣材料層3800的移除可以透過乾式蝕刻或回蝕刻(etch-back)以執行,其為異向性蝕刻。在第一蝕刻製程期間,也可以移除設置於發光元件核心30之間的緩衝材料層1200的暴露部分上的一部分的絕緣材料層3800。裝置桿ROD可以包含發光元件核心30及圍繞發光元件核心30的側表面的裝置絕緣膜38。
接下來,參照第13圖,圍繞各裝置桿ROD的外表面的第一黏合劑材料層4000形成在下基板1000上。
具體地,第一黏合劑材料層4000可以形成為圍繞裝置桿ROD。第一黏合劑材料層4000可以設置為覆蓋(或重疊)裝置桿ROD的頂面。例如,可以形成第一黏合劑材料層4000,使得裝置桿ROD可以設置於第一黏合劑材料層4000中。
第一黏合劑材料層4000的頂面可以為實質上平坦的,因此可以與下基板1000形成平行平面。第一黏合劑材料層4000的底面可以形成為接觸下基板1000的緩衝材料層1200的頂面。此外,第一黏合劑材料層4000可以設置為完全地覆蓋(或重疊)下基板1000的側表面,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,第一黏合劑材料層4000可以僅設置於緩衝材料層1200的頂面上。
可以形成第一黏合劑材料層4000以完全地填充形成在下基板1000上的裝置桿ROD之間的空間。可以形成第一黏合劑材料層4000以完全地填充裝置桿ROD之間的空間,從而固定裝置桿ROD。
可以透過將第一黏合劑材料層4000的材料施加或噴塗在裝置桿ROD上以形成第一黏合劑材料層4000。在一個實施例中,第一黏合劑材料層4000可以透過噴墨印刷、旋轉塗佈(spin coating)、模槽塗佈(die-slot coatin)或狹縫塗佈(slit coating)以形成,但本揭露不限定於此。
第一黏合劑材料層4000可以包含絕緣材料。絕緣材料可以為無機絕緣材料或有機絕緣材料。無機絕緣材料的示例可以包含聚合物及氮化物基無機材料,例如氮化矽(SiNx)或氮化鋁(AlN)。聚合物可為光敏聚合物,例如聚甲基丙烯酸甲酯(poly(methyl methacrylate),PMMA)或聚甲基戊二醯亞胺(poly(methyl glutarimide),PMGI),但本揭露不限定於此。有機絕緣材料的示例可以包含聚醯亞胺,但本揭露不限定於此。
接下來,參照第14圖,第一黏合劑材料層4000及透過設置於第一黏合劑材料層4000中而固定的裝置桿ROD可以與下基板1000分離。
具體地,分離第一黏合劑材料層4000及裝置桿ROD的方法沒有特別的限制。在一個實施例中,第一黏合劑材料層4000及裝置桿ROD與下基板1000的分離可以通過物理或化學分離方法以執行。作為物理或化學分離方法的結果,由第一黏合劑材料層4000固定的裝置桿ROD可以與第一黏合劑材料層4000共同從下基板1000分離。
由於第一黏合劑材料層4000形成為圍繞各裝置桿ROD的外表面,因此第一黏合劑材料層4000可以保護並固定裝置桿ROD,從而可以允許裝置桿ROD連同第一黏合劑材料層4000從下基板1000分離。因此,可以將第一黏合劑材料層4000劃分為圍繞各裝置桿ROD的整個外表面第一區域4100以及設置於下基板1000的側邊上的第二區域4200。
由於裝置桿ROD不是單獨分離而是與第一黏合劑材料層4000共同分離,因此可以透過第一黏合劑材料層4000以防止對發光元件核心30的第一半導體層31的損壞。
接下來,參照第15圖及第16圖,透過執行移除一部分的第一區域4100的第二蝕刻製程以暴露出一部分的裝置桿ROD。
具體地,如第15圖所繪示,執行移除設置有裝置活性材料層3300的一部分的第一區域4100的第二蝕刻製程,從而形成暴露出一部分的裝置桿ROD的第二黏合劑材料層4100',如第16圖所繪示。第二蝕刻製程可以從設置有裝置電極層37的第一區域4100上方沿發光元件核心30延伸的方向(例如,第五方向DR5)蝕刻第一區域4100。透過第二蝕刻製程獲得的第二黏合劑材料層4100'可以暴露出發光元件核心30的裝置主動層33、第二半導體層32及裝置電極層37。此外,第二黏合劑材料層4100'可以暴露出圍繞裝置主動層33的側表面、第二半導體層32的側表面及裝置電極層37的側表面的一部分的裝置絕緣膜38。透過第二蝕刻製程獲得的裝置絕緣膜38可以包含由第二黏合劑材料層4100'圍繞的部分以及由第二黏合劑材料層4100'暴露出的部分。由第二黏合劑材料層4100'圍繞的一部分的裝置絕緣膜38可以圍繞第一半導體層31的側表面,並且由第二黏合劑材料層4100'暴露出的一部分的裝置絕緣膜38可以圍繞裝置主動層33的側表面、第二半導體層32的側表面及裝置電極層37的側表面。由第二黏合劑材料層4100'暴露出的一部分的裝置絕緣膜38可以進一步包含圍繞第一半導體層31的側表面的部分。因此,第二黏合劑材料層4100'在第五方向DR5上的厚度可以小於發光元件核心30在第五方向DR5上的長度。
接下來,參照第17圖,反射材料層3900形成在第二黏合劑材料層4100'及裝置桿ROD上。
具體地,反射材料層3900形成在第二黏合劑材料層4100'及由第二黏合劑材料層4100'暴露出的一部分的裝置桿ROD上。反射材料層3900形成在第二黏合劑材料層4100'的整個表面上,例如,不僅形成在各裝置桿ROD的外表面上,而且形成在圍繞各裝置桿ROD的第二黏合劑材料層4100’的頂面4100'US上。
由第二黏合劑材料層4100'暴露出的各裝置桿ROD的一部分的外表面可以包含由第二黏合劑材料層4100'暴露出的裝置桿ROD的一部分的側面以及裝置桿ROD的頂面。具體地,反射材料層3900可以形成為不僅完全地覆蓋(或重疊)由第二黏合劑材料層4100'暴露出的裝置桿ROD的裝置絕緣膜38的一部分的外側表面,而且完全地覆蓋(或重疊)發光元件核心30的頂表面。反射材料層3900可以形成為完全地覆蓋包圍發光元件核心30的裝置主動層33、第二半導體層32及裝置電極層37的一部分的裝置絕緣膜38。反射材料層3900可以對應於將形成的發光元件ED的反射膜39,並且包含與反射膜39相同的材料。例如,反射材料層3900可以形成為完全地覆蓋裝置電極層37的頂面、裝置電極層37的側表面、第二半導體層32的側表面及裝置主動層33的側表面。
接下來,參照第17圖及第18圖,通過執行移除部分反射材料層3900的第三蝕刻製程以形成反射膜39。
具體地,第三蝕刻製程可以從反射材料層3900上方沿第五方向DR5蝕刻反射材料層3900。第三蝕刻製程可以在第二黏合劑材料層4100'的整個表面上執行。因此,形成於發光元件核心30的頂面及裝置絕緣膜38的頂面上的一部分的反射材料層3900可以透過第三蝕刻製程以移除。此外,可以透過第三蝕刻製程以移除形成在裝置桿ROD之間的第二黏合劑材料層4100'的頂面4100'US上的一部分的反射材料層3900。由於透過第三蝕刻製程以移除一部分的反射材料層3900,因此可以形成圍繞裝置絕緣膜38的外側表面的反射膜39。反射膜39的底面可以鄰接並接觸第二黏合劑材料層4100'的頂面4100'US。反射膜39在第五方向DR5上的長度可以與由第二黏合劑材料層4100'暴露出的一部分的發光元件核心30的長度相同。
接下來,參照第19圖,透過移除第二黏合劑材料層4100'以形成發光元件ED。第二黏合劑材料層4100'的移除可以包含蝕刻第二黏合劑材料層4100'。
第20圖為第3圖的A區域的示意放大剖面圖。
參照第20圖,發光元件ED可以設置在第一電極210與第二電極220之間,使得發光元件ED延伸的方向可以平行於基板SUB(或通孔層165)的表面。因此,包含在發光元件ED的發光元件核心30中的半導體層可以在平行於基板SUB的頂面的方向上依序設置。在一個示例中,發光元件ED的第一半導體層31、裝置主動層33及第二半導體層32的堆疊方向可以平行於基板SUB的頂面。
具體地,發光元件ED的第一半導體層31、裝置主動層33、第二半導體層32及裝置電極層37可以在平行於基板SUB的頂面的方向上依序形成。
發光元件ED可以設置在第一電極210與第二電極220之間,使得分別設置有第一半導體層31及第二半導體層32的發光元件ED的第一端部及第二端部可以分別放置在第一電極210及第二電極220上。反射膜39可以設置在第一電極210上,但不設置在第二電極220上。由於發光元件ED的第一端部及第二端部設置在第一電極210及第二電極220上,因此發光元件ED的第一端面及第二端面可以分別面對第一子擋牆410及第二子擋牆420的側面。因此,發光元件ED的第一端面可以面對設置在第一子擋牆410的側面上的一部分的第一電極210,並且發光元件ED的第二端面可以面對設置在第二子擋牆420的側面上的一部分的第二電極220。發光元件ED的側表面通常可以設置在第一電極210語第二電極220之間的區域中。
第二絕緣層520可以設置在發光元件ED上以暴露出發光元件ED的兩個端部。第二絕緣層520可以設置為圍繞發光元件ED的外表面。例如,第二絕緣層520可以設置為圍繞反射膜39的側表面以及由反射膜39暴露出的裝置絕緣膜38的一部分的外側表面。
反射膜39可以不設置在由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的至少一個端部上。由於反射膜39不設置在由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的至少一個端部上,即使第一接觸電極710及第二接觸電極720分別接觸由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的第一端部及第二端部,也可以防止第一接觸電極710及第二接觸電極720發生短路。
第二絕緣層520可以設置為覆蓋(或重疊)反射膜39的至少一個端部。由於第二絕緣層520設置為覆蓋面向第一半導體層31的反射膜39的至少一個端部,反射膜39可以設置在由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的第一端部上,但不設置在由第二絕緣層520暴露出的發光元件ED的第二端部上。例如,發光元件ED的第一端部的外側表面可以為反射膜39,發光元件ED的第二端部的外側表面可以為裝置絕緣膜38。
第一接觸電極710可以設置在第一電極210及發光元件ED的第一端部上。第一接觸電極710可以接觸發光元件ED的第一端部。具體地,第一接觸電極710可以接觸裝置電極層37及反射膜39的外側表面。
第二接觸電極720可以設置在第二電極220及發光元件ED的第二端部上。第二接觸電極720可以接觸發光元件ED的第二端部。具體地,第二接觸電極720可以接觸第一半導體層31及裝置絕緣膜38的外側表面。第二接觸電極720可以不接觸反射膜39。
第一接觸電極710及第二接觸電極720可以透過第二絕緣層520彼此間隔開。第一接觸電極710可以接觸反射膜39,並且第二接觸電極720可以透過第二絕緣層520與第一接觸電極710間隔開。因此,第一接觸電極710與第二接觸電極720可以彼此絕緣。
第21圖為從第20圖的發光元件發射的光的行進方向的示意放大剖面圖。
參照第21圖,由裝置主動層33產生的光可以在沒有任何特定方向性的隨機方向上行進。例如,在由裝置主動層33產生的光束中,光線LL1可以通過發光元件核心30的第一端面,即第一表面30US,發射。然後,光線LL1可以被在第一子擋牆410的側面上的第一電極210的頂面反射,且因此可以在顯示裝置10的顯示方向上行進。在由裝置主動層33產生的光束中,光線LL2可以通過發光元件核心30的第二端面,即第二表面30BS,發射。然後,光線LL2可以被在第二子擋牆420的側面上的第二電極220的頂面反射,且因此可以在顯示裝置10的顯示方向上行進。在通過發光元件核心30的側表面發射的光束中,光線LL3及光線LL4可以通過裝置絕緣膜38朝向反射膜39的內側表面行進。向上朝向反射膜39行進的光線LL3以及向下朝向反射膜39行進的光線LL4可以被反射膜39的內側表面反射,以朝向發光元件核心30的內側行進,然後可以通過發光元件核心30的第一表面30US發射。在從發光元件核心30的側表面發射的光中,光線LL5可以從裝置絕緣膜38未形成有反射膜39的一部分發射。
根據第20圖及第21圖的實施例,發光元件ED包含發光元件核心30及圍繞發光元件核心30的側表面的反射膜39,由發光元件核心30的裝置主動層33產生的光可以被導引以通過發光元件核心30的兩個端面發射。因此,由發光元件ED發射的光可以被導引以朝向包含反射材料的第一電極210及第二電極220行進。因此,可以提高顯示裝置10的發光效率。
第22圖為第3圖的A區域的示意放大剖面圖。
第22圖的實施例與第20圖的實施例的不同之處至少在於,顯示裝置10進一步包含第三絕緣層530。
參照第22圖,第三絕緣層530可以設置在第一接觸電極710及第二絕緣層520上。第三絕緣層530可以設置在第一接觸電極710上,且因此可以覆蓋(或重疊)第一接觸電極710。第三絕緣層530可以設置在第二絕緣層520上,但可以暴露發光元件ED的第二端部。第二絕緣層520及第三絕緣層530的側面可以彼此對齊。
第二接觸電極720_1可以設置在第三絕緣層530上。第一接觸電極710及第二接觸電極720_1可以透過第三絕緣層530彼此絕緣。例如,第三絕緣層530可以插置於第一接觸電極710與第二接觸電極720_1之間,以使第一接觸電極710及第二接觸電極720_1彼此絕緣。
第23圖為第3圖的A區域的示意放大剖面圖。第24圖為第23圖的B區域的示意放大剖面圖。
第23圖及第24圖的實施例與第20圖的實施例的不同之處至少在於,第二絕緣層520_1在第三方向DR3上不與發光元件ED的反射膜39重疊。
參照第23圖及第24圖,第二絕緣層520_1可以形成在發光元件ED上而不與發光元件ED的反射膜39重疊。因此,第二絕緣層520_1可以設置在未被反射膜39圍繞的一部分的裝置絕緣膜38的外側表面上,但不設置在反射膜39的外側表面上。因此,在第二絕緣層520_1與反射膜39之間的間隙中的裝置絕緣膜38的暴露部分可以接觸第一接觸電極710_1。
第25圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖。
圖25的發光元件ED_1與圖6的發光元件ED的不同之處至少在於,反射膜39_1不設置在圍繞裝置電極層37的裝置絕緣膜38上。
具體地,反射膜39_1可以不設置在裝置電極層37的側表面上。因此,反射膜39_1可以暴露出設置在發光元件ED_1的第一端部上的一部分的裝置絕緣膜38。例如,反射膜39_1可以設置為暴露出發光元件核心30的兩個端部。
發光元件ED_1可以在對反射材料層3900(參照第17圖)進行蝕刻以形成反射膜39_1的製程中形成。具體地,在反射膜39_1的形成過程中,可以過度蝕刻反射材料層3900,而可以獲得暴露出設置在發光元件ED_1的第一端部上的一部分的裝置絕緣膜38的反射膜39_1。
即使反射膜39_1設置在裝置絕緣膜38上以暴露出發光元件核心30的兩個端部,反射膜39_1也可以形成為圍繞裝置主動層33的側表面。從而,由裝置主動層33產生並通過裝置主動層33的側表面發射的光可以被反射膜39_1反射,並且可以被導引以通過發光元件核心30的兩個端面發射。因此,可以增加通過發光元件ED_1的兩個端面發射的光量。
第26圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖。
第26圖的發光元件ED_2與第6圖的發光元件ED的不同之處至少在於,反射膜39_2的頂面為彎曲的。
參照第26圖,圍繞裝置電極層37的反射膜39_2的一部分的外側表面可以為彎曲的。反射膜39_2的頂面可以部分傾斜。可以透過蝕刻反射材料層3900(參照第17圖)以形成反射膜39_2。例如,不僅可以移除反射材料層3900的頂面,而且可以移除反射材料層3900側面,因此可以獲得包含具有部分彎曲頂面的反射膜39_2的發光元件ED_2。
第27圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖。
第27圖的發光元件ED_3與第6圖的發光元件ED的不同之處至少在於,裝置絕緣膜38_3暴露出裝置電極層37的一部分的側表面,並且反射膜39_3接觸裝置電極層37的側表面的暴露部分。
參照第27圖,裝置絕緣膜38_3可以暴露出裝置電極層37的一部分的側面。在裝置絕緣膜38_3的形成過程中,可以過度蝕刻裝置絕緣材料層3800(參照圖11),使得裝置絕緣膜38_3可以暴露出裝置電極層37的一部分的側表面。因此,形成在發光元件核心30及裝置絕緣膜38_3上的反射膜39_3可以接觸裝置電極層37的側表面的暴露部分。
第28圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖。
第28圖的發光元件ED_4與第6圖的發光元件ED的不同之處至少在於,裝置絕緣膜38_4暴露出裝置電極層37的一部分的側表面,並且反射膜39_4的側面不與裝置電極層37的暴露部分的側面對齊。
參照第28圖,反射膜39_4可以不設置在裝置電極層37的側表面上。裝置絕緣膜38_4及反射膜39_4可以不設置在裝置電極層37的側表面上。因此,可以暴露出裝置電極層37。
第29圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖。
第29圖的發光元件ED_5與第6圖的發光元件ED的不同之處至少在於,表面不整(surface unevenness)形成於裝置電極層37_5的頂面上。
參照第29圖,由於在用於形成裝置絕緣膜38及反射膜39的全表面蝕刻製程期間裝置電極層37_5的頂面暴露於蝕刻劑中,因此可以在裝置電極層37_5的頂面上形成表面不整。
第30圖為根據本揭露一實施例的發光元件單元的示意剖面圖。
參照第30圖,發光元件單元LU包含發光元件ED及黏合劑40。發光元件ED可以在方向X上延伸,黏合劑40可以形成為圍繞並固定一部分的發光元件ED。
發光元件ED的形狀及結構可以實質上與上述的相同或相似,因此在此將省略其詳細說明。
發光元件ED可以排佈為彼此分開預定距離。發光元件ED可以在垂直於發光元件ED的長度方向的方向上,即在垂直於方向X的方向上,彼此間隔開。發光元件ED可以彼此間隔開並且彼此面對,黏合劑40插置於發光元件ED之間。各對相鄰的發光元件ED的側表面可以彼此間隔開並且彼此面對。發光元件ED可以以矩陣進行排佈,但本揭露不限定於此。
包含在各發光元件ED中的半導體層的堆疊方向可以彼此相同。例如,發光元件可以佈置為使得第一半導體層31可以設置於裝置主動層33下方,並且第二半導體層32可以設置於裝置主動層33上方。
黏合劑40可以形成為使得發光元件ED可以位於黏合劑40中。發光元件ED可以在方向X上穿透過黏合劑40。
黏合劑40可以形成為圍繞發光元件ED的一部分的側表面。黏合劑40可以形成為暴露出各發光元件ED的兩個端部。例如,發光元件ED可以沿方向X穿透過黏合劑40,使得各發光元件ED的兩個端部,即各發光元件ED的上端部及下端部,可以在方向X上從黏合劑40突出。
黏合劑40可以設置為圍繞發光元件ED的裝置絕緣膜38的一部分的外側表面。黏合劑40可以在方向X上與發光元件ED的反射膜39重疊,但可以不與發光元件ED的發光元件核心30及裝置絕緣層38重疊。
如上所述,裝置絕緣膜38可以包含被反射膜39圍繞的第一區域38B及未被反射膜39圍繞的第二區域38A,並且黏合劑40可以設置為圍繞裝置絕緣膜38的的第二區域38A。黏合劑40可以設置在裝置絕緣膜38的一部分的第二區域38A上以暴露出發光元件ED的端部。在與方向X垂直的方向上,黏合劑40可以不與裝置絕緣膜38的第一區域38B重疊。因此,黏合劑40可以在方向X上與反射膜39重疊,但在與方向X垂直的方向上不與反射膜39重疊。
由於黏合劑40形成為在與方向X垂直的方向上不與反射膜39重疊,因此黏合劑40可以設置在第一半導體層31的側表面上,但不設置在第二半導體層32及裝置主動層33的側表面上。因此,黏合劑40可以圍繞第一半導體層31的一部分的側表面,但可以不圍繞第二半導體層32及裝置主動層33。
黏合劑40可以包含第一表面40US及第二表面40BS。第一表面40US可以為黏合劑40的上表面,第二表面40BS可以為黏合劑40的下表面。第一表面40US可以為黏合劑40面向裝置主動層33的表面,並且第二表面40BS可以為黏合劑40面向第一半導體層31的表面。
反射膜39可以設置在黏合劑40上方以圍繞裝置絕緣膜38的外側面的由黏合劑40暴露出的部分。相對於黏合劑40,反射膜39可以設置在發光元件核心30的第一端部,但不設置在發光元件核心30的第二端部。設置有反射膜39的發光元件核心30的第一端部可以為設置有裝置主動層33及第二半導體層32的發光元件核心30的端部。反射膜39可以設置在黏合劑40的頂面(第一表面40US)上。反射膜39的底面可以接觸黏合劑40的頂面(第一表面40US)。反射膜39及黏合劑40的位置以及其之間的接觸關係可以透過發光元件單元LU的製造製程以確定。
由於發光元件ED透過黏合劑40以固定,因此在顯示裝置的製造期間,可以從設置發光元件ED於基板SUB的製程中省略用於將發光元件ED對齊以沿特定方向取向的場施加製程以及噴墨印刷製程。由於可以透過調整黏合劑40的形狀及面積以控制包含在發光元件單元LU中的發光元件ED的數量,所以可以提高顯示裝置10的各像素PX的亮度的均勻性。因此,可以提高顯示裝置10的顯示品質。
第31圖為繪示出根據本揭露一實施例的發光元件單元的製造方法的示意剖面圖。第31圖可以為繪示出如何在第18圖所繪示的製程後製造發光元件單元LU的示意剖面圖。
參照第18圖及第31圖,透過執行移除一部分的第二黏合劑材料層4100'的第四蝕刻製程以形成發光元件單元LU。
具體地,第四蝕刻製程可以在第五方向DR5上從第二黏合劑材料層4100'的下方蝕刻第二黏合劑材料層4100'。第四蝕刻製程可以在第二黏合劑材料層4100'的整個表面上執行。作為第四蝕刻製程的結果,可以暴露出發光元件核心30的第二端部,並且可以獲得第30圖的發光元件單元LU。
第32圖為根據本揭露另一實施例的顯示裝置的像素的示意平面圖。第33圖為沿第32圖的線III-III’截取的示意剖面圖。第34圖為第33圖的C區域的示意放大剖面圖。
參照第32圖至第34圖,像素PX可以包含第一電極210_1、第二電極220_1及發光元件單元LU。第32圖繪示出像素PX包含兩個發光元件單元LU,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,依據像素PX的尺寸及發光元件單元LU的尺寸,可以在像素PX中僅設置有一個發光元件單元LU或者可以設置有三個或更多個發光元件單元LU。
第一電極210_1可以被圖案化並且可以設置在像素PX中。在平面圖中,第一電極210_1可以具有包含分別沿第一方向DR1及第二方向DR2延伸的第一邊及第二邊的矩形形狀。第一電極210_1可以排佈為島狀圖案。第一電極210_1可以為表面電極。
第一電極210_1可以設置於電路元件層CCL上。具體地,第一電極210_1可以直接設置於電路元件層CCL的通孔層165上。第一電極210_1可以從發光元件單元LU下方完全地覆蓋(或重疊)發光元件單元LU。
第一電極210_1可以透過穿透過通孔層165及鈍化層164的第一電極接觸孔CTD電性連接至設置在第一電極210_1下方的第一導電圖案CDP1。具體地,第一電極210_1可以接觸由第一電極接觸孔CTD暴露出的一部分的第一導電圖案CDP1。第一電極210_1可以透過第一導電圖案CDP1接收經由第一電壓線VL1施加的第一電源電壓。
第二電極220_1可以設置於第一電極210_1上以對應於像素PX。在一個實施例中,第二電極220_1可以被圖案化並且可以設置在像素PX中。在平面圖中,第二電極220_1可以具有包含分別沿第一方向DR1及第二方向DR2延伸的第一邊及第二邊的矩形形狀。與第一電極210_1相似,第二電極220_1可以以島狀圖案排佈於顯示裝置10的整個表面上,但本揭露不限定於此。作為另一個示例,第二電極220_1可以設置在兩個或更多個像素PX中並且橫跨兩個或更多個像素PX,以在顯示區域DPA的整個表面上形成單個平面。
第二電極220_1可以在第三方向DR3上與第一電極210_1重疊。至少一部分的第二電極220_1可以在第三方向DR3上與第一電極210_1重疊。第一電極210_1及第二電極220_1可以具有不同的寬度或面積。在一個實施例中,第二電極220_1可以形成為具有相較於第一電極210_1更大的面積。
第二電極220_1可以通過穿透過第四絕緣層550、通孔層165及鈍化層164的第二電極接觸孔CTS以電性連接至設置在第二電極220_1下方的第二導電圖案CDP2。具體地,第二電極220_1可以接觸由第二電極接觸孔CTS暴露出的一部分的第二導電圖案CDP2。第二電極220_1可以透過第二導電圖案CDP2以接收經由第二電壓線VL2施加的第二電源電壓。
發光元件單元LU可以設置在第一電極210_1與第二電極220_1之間。發光元件單元LU可以設置在第一電極210_1與第二電極220_1之間以在第三方向DR3上與第一電極210_1及第二電極220_1重疊。發光元件單元LU可以設置在第一電極210_1上。發光元件單元LU可以佈置為使得發光元件ED延伸的方向可以垂直於基板SUB的表面。例如,發光元件單元LU可以設置在第一電極210_1與第二電極220_1之間,使得發光元件ED延伸的方向可以對應於第三方向DR3。
包含在各發光元件單元LU中的發光元件ED的第一端部可以朝下,並且發光元件ED的第二端部可以朝上。發光元件ED的第一端部可以為設置有第一半導體層31的發光元件ED的端部,發光元件ED的第二端部可以為設置有第二半導體層32的發光元件ED的端部。例如,發光元件ED的第一端部可以為未被反射膜39包圍的發光元件ED的端部,發光元件ED的第二端部可以為被反射膜39包圍的發光元件ED的端部。發光元件ED的第一端部也可以稱作下端部,發光元件ED的第二端部也可以稱作上端部。
發光元件ED的下端部可以接觸第一電極210_1的頂面。由於發光元件ED的下端部接觸第一電極210_1的頂面,因此發光元件ED與第一電極210_1可以電性連接。
第四絕緣層550可以設置在第一電極210_1及發光元件單元LU上以覆蓋(或重疊)第一電極210_1上的發光元件單元LU。第四絕緣層550可以從電路元件層形成為低於發光元件ED的頂面,使得可以暴露出發光元件ED的上端部。第四絕緣層550可以完全地覆蓋發光元件ED的下端部並且可以暴露出發光元件ED的上端部。因此,發光元件ED的上端部可以突出超過第四絕緣層550的頂面,使得發光元件ED的各上端部的外表面可以直接接觸第四絕緣層550。發光元件ED的各突出端部的外表面可以接觸設置在第四絕緣層550上的第二電極220_1。例如,第四絕緣層550的厚度可以小於第一電極210_1的厚度與發光元件核心30的長度之和。第四絕緣層550可以包含無機絕緣材料或有機絕緣材料。
第二電極220_1可以設置在第四絕緣層550上並且可以接觸突出超過第四絕緣層550的頂面的發光元件ED的上端部。第二電極220_1可以設置為圍繞發光元件ED的上端部。具體地,第二電極220_1可以接觸發光元件核心30的裝置電極層37的頂面及反射膜39的側表面。第一電極210_1可以接觸發光元件ED的下端部,並且第二電極220_1可以接觸發光元件ED的上端部。
在一個實施例中,第一電極210_1可以為各個單獨像素PX分開的像素電極,第二電極220_1可以為與所有像素PX電性連接的共用電極。然而,本揭露不限定於此。在另一個示例中,第一電極210_1可以為與所有像素PX電性連接的共用電極,並且第二電極220_1可以為各個單獨像素PX分開的像素電極。
第一電極210_1可以包含具有高反射率的導電材料,第二電極220_1可以包含透明導電材料。如上所述,發光元件ED沿其兩個端部的方向發射光,具體地,沿第一電極210_1的頂面所面向的第三方向DR3發射光。在一些實施例中,由於第一電極210_1包含具有高反射率的導電材料,因此從發光元件ED發射以朝向第一電極210_1的頂面行進的光可以被第一電極210_1反射。從發光元件ED發射的一些光可以通過第二電極220_1在顯示裝置10的顯示方向上發射,而從發光元件ED發射的另一部分的光可以從包含具有高反射率的材料的第一電極210_1的頂面反射,並且可以在顯示裝置10的顯示方向上發射。在一個實施例中,第一電極210_1可以包含諸如銀、銅或鋁的具有高反射率的金屬,並且第二電極220_1可以包含諸如氧化銦錫(ITO)、氧化銦鋅(IZO)或氧化銦錫鋅(ITZO)的透明導電材料。
參照第34圖,在通過裝置主動層33的頂面發射的光束中,光線LL1可以通過發光元件ED的頂面在顯示裝置10的顯示方向上發射,且因此可以通過第二電極220_1。在通過裝置主動層33的底面發射的光束中,光線LL2可以通過發光元件ED的底面發射並從第一電極210_1的頂面反射。光線LL2可以在顯示裝置10的顯示方向上發射,且因此可以穿過第二電極220_1。在通過裝置主動層33的側表面發射的光束中,光線LL3可以穿過被反射膜39包圍的一部分的裝置絕緣膜38,且因此可以從反射膜39的內側表面反射。光線LL3可以通過發光元件ED的頂面在顯示裝置10的顯示方向上發射,且因此可以通過第二電極220_1。在通過裝置主動層33的側表面發射的光束中,光線LL4可以穿過未被反射膜39包圍的一部分的裝置絕緣膜38並且可以朝向黏合劑40行進。然後,光線LL4可以從第一電極210_1的頂面反射,且可以在顯示裝置10的顯示方向上發射,且因此可以穿過第二電極220_1。
在完成詳細說明時,本領域具有通常知識者將理解的是,可以對實施例進行諸多的變化及修改,而不會實質上脫離本揭露的原理。因此,本揭露的所揭示的實施例僅用於一般及說明性的意義,而非用於限制的目的。
10:顯示裝置
30:發光元件核心
31:第一半導體層
32:第二半導體層
33:裝置主動層
37,37_5:裝置電極層
38,38_3,38_4:裝置絕緣膜
38A:第二區域
38B:第一區域
39,39_1,39_2,39_3,39_4:反射膜
40:黏合劑
30SS,31SS,32SS,33SS,37SS:側表面
30US,40US:第一表面
30BS,40BS:第二表面
33US:頂面
33BS:底面
110:下金屬層
120:半導體層
130:第一導電層
140:第二導電層
161:緩衝層
162:閘極絕緣膜
163:層間絕緣膜
164:鈍化層
165:通孔層
210,210_1:第一電極
220,220_1:第二電極
400:第二擋牆
410:第一子擋牆
420:第二子擋牆
510:第一絕緣層
520,520_1:第二絕緣層
530:第三絕緣層
550:第四絕緣層
600:第一擋牆
710,710_1:第一接觸電極
720,720_1:第二接觸電極
1000:下基板
1100:基底基板
1200:緩衝材料層
3000:第一堆疊結構
3100:第一半導體材料層
3200:第二半導體材料層
3300:裝置主動材料層
3700:電極材料層
3800:絕緣材料層
3900:反射材料層
4000:第一黏合劑材料層
4100:第一區域
4200:第二區域
4100’:第二黏合劑材料層
4100’US:頂面
LU:發光元件單元
ED,ED_1,ED_2,ED_3,ED_4,ED_5:發光元件
PX:像素
DPA:顯示區域
NDA:非顯示區域
SUB:基板
EMA:發射區域
TR:電晶體
CTD:第一電極接觸孔
CTS:第二電極接觸孔
CCL:電路元件層
OP1:第一開口
OP2:第二開口
ROD:裝置桿
SA:子區域
ROP:分離部
SD1:第一電極
SD2:第二電極
CDP1:第一導電圖案
CDP2:第二導電圖案
VL1:第一電壓線
VL2:第二電壓線
GE:閘電極
ACT:主動層
BML:光阻擋層
L1,L2,L3,L3a,L3b,L4,LL1,LL2,LL3,LL4,LL5:光線
h1,h2:長度
h3:厚度
d1,d2:距離
DR1:第一方向
DR2:第二方向
DR3:第三方向
DR4:第四方向
DR5:第五方向
X:方向
透過參考所附圖式對實施例的詳細說明,本揭露上述及其他實施例及特徵將變得更加清楚,其中:
第1圖為根據本揭露一實施例的顯示裝置的示意平面圖;
第2圖為第1圖的顯示裝置的像素的示意平面圖;
第3圖為沿第2圖的線I-I’截取的示意剖面圖;
第4圖為沿第2圖的線II-II’截取的示意剖面圖;
第5圖為根據本揭露一實施例的發光元件的示意透視圖;
第6圖為第5圖的發光元件的示意剖面圖;
第7圖為繪示出從第5圖的發光元件發射的光的行進方向的示意剖面圖;
第8圖至第19圖為繪示出根據本揭露一實施例的發光元件的製造方法的示意剖面圖;
第20圖為第3圖的A區域的示意放大剖面圖;
第21圖為從第20圖的發光元件發射的光的行進方向的示意放大剖面圖;
第22圖為第3圖的A區域的示意放大剖面圖;
第23圖為第3圖的A區域的示意放大剖面圖;
第24圖為第23圖的B區域的示意放大剖面圖;
第25圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖;
第26圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖;
第27圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖;
第28圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖;
第29圖為根據本揭露另一實施例的發光元件的示意剖面圖;
第30圖為根據本揭露一實施例的發光元件單元的示意剖面圖;
第31圖為繪示出根據本揭露一實施例的發光元件單元的製造方法的示意剖面圖;
第32圖為根據本揭露另一實施例的顯示裝置的像素的示意平面圖;
第33圖為沿第32圖的線III-III’截取的示意剖面圖;
第34圖為第33圖的C區域的示意放大剖面圖。
30:發光元件核心
31:第一半導體層
32:第二半導體層
33:裝置主動層
37:裝置電極層
38:裝置絕緣膜
39:反射膜
ED:發光元件
h1,h2:長度
h3:厚度
Claims (27)
- 一種發光元件,其包含: 一發光元件核心,係在一方向上延伸,該發光元件核心包含: 一第一半導體層; 一第二半導體層,係設置於該第一半導體層上;以及 一裝置主動層,係設置於該第一半導體層與該第二半導體層之間; 一裝置絕緣膜,係圍繞該發光元件核心的側表面;以及 一反射膜,係設置於該裝置絕緣膜的外側表面上,並且至少圍繞該裝置主動層的側表面。
- 如請求項1所述之發光元件,其中該反射膜與該裝置主動層的側表面完全重疊。
- 如請求項2所述之發光元件,其中該反射膜暴露出一部分的該裝置絕緣膜的外側表面。
- 如請求項2所述之發光元件,其中 該第一半導體層、該裝置主動層及該第二半導體層在該方向上依序設置,並且 該反射膜在該方向上的長度短於該發光元件核心在該方向上的長度。
- 如請求項4所述之發光元件,其中該反射膜在該方向上的長度大於該裝置主動層在該方向上的厚度。
- 如請求項5所述之發光元件,其中該反射膜在該裝置主動層的側表面上沿該方向延伸,並且設置於該第一半導體層的側表面或該第二半導體層的側表面上。
- 如請求項6所述之發光元件,其中 該第一半導體層在該方向上的厚度大於該第二半導體層在該方向上的厚度, 該第一半導體層的側表面包含: 一第一區域,係被該反射膜圍繞;以及 一第二區域,係未被該反射膜圍繞;並且 該第一區域在該方向上的長度短於該第二區域在該方向上的長度。
- 如請求項4所述之發光元件,其中 該裝置主動層包含: 一第一表面,係面對該發光元件核心的一第一端面;以及 一第二表面,係面對該發光元件核心的一第二端面, 該發光元件核心的該第一端面為該發光元件核心在該方向上的一側的面, 該發光元件核心的該第二端面為該發光元件核心在該方向上的另一側的面,並且 該發光元件核心的該第一端面與該裝置主動層的該第一表面之間的距離小於該發光元件核心的該第二端面與該裝置主動層的該第二表面之間的距離。
- 一種發光元件單元,其包含: 複數個發光元件,係在一第一方向上延伸,該複數個發光元件在垂直於該第一方向的一第二方向上彼此對齊並間隔開;以及 一黏合劑,係圍繞該複數個發光元件並固定該複數個發光元件, 其中該複數個發光元件中的每一個包含: 一發光元件核心,其包含: 一第一半導體層; 一第二半導體層,係設置於該第一半導體層上;以及 一裝置主動層,係設置於該第一半導體層與該第二半導體層之間; 一裝置絕緣膜,係圍繞該發光元件核心的側表面;以及 一反射膜,係設置於該裝置絕緣膜的外側表面上,並且至少圍繞該發光元件核心的側表面。
- 如請求項9所述之發光元件單元,其中該反射膜與該裝置主動層的側表面完全重疊。
- 如請求項10所述之發光元件單元,其中 該第一半導體層、該裝置主動層及該第二半導體層在該第一方向上依序設置,並且 該反射膜在該第一方向上的長度短於該發光元件核心在該第一方向上的長度。
- 如請求項11所述之發光元件單元,其中該反射膜在該第一方向上的長度大於該裝置主動層在該第一方向上的厚度。
- 如請求項11所述之發光元件單元,其中該黏合劑在該第一方向上的厚度小於該發光元件核心在該第一方向上的長度。
- 如請求項9所述之發光元件單元,其中 該裝置絕緣膜包含: 一第一區域,係被該反射膜圍繞;以及 一第二區域,係未被該反射膜圍繞;並且 該黏合劑係設置於該裝置絕緣膜的該第二區域上,並且不設置於該裝置絕緣膜的該第一區域上。
- 如請求項14所述之發光元件單元,其中該黏合劑圍繞該第一半導體層並且不圍繞該第二半導體層或該裝置主動層。
- 如請求項15所述之發光元件單元,其中該反射膜接觸該黏合劑面向該裝置主動層的表面。
- 如請求項9所述之發光元件單元,其中 該黏合劑暴露出該發光元件核心的端部,並且 該反射膜設置於該發光元件核心的一個端部上,但不設置於該發光元件核心的另一個端部上。
- 一種顯示裝置,其包含: 一第一電極及一第二電極,係設置於一基板上以在一第一方向上彼此分隔開;以及 複數個發光元件,係設置於該第一電極與該第二電極之間,該複數個發光元件在該第一方向上延伸, 其中該複數個發光元件中的每一個包含: 一發光元件核心,係在該第一方向上延伸,並且包含:一第一半導體層;一第二半導體層,係設置於該第一半導體層上;以及一裝置主動層,係設置於該第一半導體層與該第二半導體層之間; 一裝置絕緣膜,係圍繞該發光元件核心的側表面;以及 一反射膜,係設置於該裝置絕緣膜的外側表面,並且至少圍繞該發光元件核心的側表面上。
- 如請求項18所述之顯示裝置,其中該反射膜與該裝置主動層的側表面完全重疊。
- 如請求項19所述之顯示裝置,其中 該第一半導體層、該裝置主動層及該第二半導體層在該第一方向上依序設置,並且 該反射膜在該第一方向上的長度短於該發光元件核心在該第一方向上的長度。
- 如請求項20所述之顯示裝置,其中 該第一電極係電性連接至該複數個發光元件中的每一個的一第一端部,並且 該第二電極係電性連接至該複數個發光元件中的每一個的一第二端部。
- 如請求項21所述之顯示裝置,其中該第一方向係平行於該基板的表面。
- 如請求項22所述之顯示裝置,其進一步包含: 一絕緣層,係設置於該複數個發光元件上,並且暴露出該複數個發光元件中的每一個的端部。
- 如請求項21所述之顯示裝置,其中該第一方向係平行於該基板的厚度方向。
- 如請求項24所述之顯示裝置,其進一步包含: 一黏合劑,係圍繞該複數個發光元件,該黏合劑固定該複數個發光元件。
- 如請求項25所述之顯示裝置,其中該黏合劑在垂直於該第一方向的一第二方向上不與該反射膜重疊。
- 如請求項25所述之顯示裝置,其中 該複數個發光元件係設置於該第一電極上,並且 該第二電極係設置於該複數個發光元件上。
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