TW202201014A - 檢查裝置 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種檢查裝置。檢查裝置(10)具備第1彈性體(100)及第1柱塞(110)。第1彈性體(100)劃設有孔(102)。第1柱塞(110)與第1彈性體(100)重疊。在孔(102)的內壁形成有導電膜(104)。第1柱塞(110)與導電膜(104)電性連接。

Description

檢查裝置
本發明關於一種檢查裝置。
目前正在開發用於對積體電路(IC)等電子裝置的特性進行檢查的多種檢查裝置。如專利文獻1所記載，檢查裝置包括插座和插入插座中的探針。探針具有由彈簧所彈推(施力)的柱塞。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本特開2017-76587號公報
在高頻帶檢查的需求等各種需求中，存在希望縮短探針的自由長度的需求。例如如專利文獻1所記載，在柱塞被彈簧施力的情況下，若探針的自由長度縮短，則存在無法獲得充分長度的行程的情況。
本發明的目的之一在於在獲得充分長度的行程的同時縮短探針的自由長度。本發明的其他目的可由本說明書的記載明確得知。
本發明的一方案為一種檢查裝置，係包括：
第1彈性體，係劃設有孔；以及
柱塞，係與前述第1彈性體重疊；
在前述孔的內壁上形成有導電膜，
前述柱塞與前述導電膜電性連接。
根據本發明的上述方案，能夠在獲得充分長度的行程的同時縮短探針的自由長度。
10:檢查裝置
10A:檢查裝置
10B:檢查裝置
100:第1彈性體
100B:插座
102:孔
102B:孔
104:導電膜
104B:導電膜
106A:第2彈性體
106B:第2彈性體
110:第1柱塞
110B:第1柱塞
112:第1頂端接觸件
112B:第1頂端接觸件
114:第1柱狀部
114B:第1柱狀部
116:第1承托部
116B:第1承托部
120:第2柱塞
120B:第2柱塞
122:第2頂端接觸件
122B:第2頂端接觸件
124:第2柱狀部
124B:第2柱狀部
126:第2承托部
126B:第2承托部
130:第1銷板
130B:第1銷板
132:第1貫通孔
132B:第1貫通孔
140:第2銷板
140B:第2銷板
142:第2貫通孔
142B:第2貫通孔
150:框架
152:開口
510:下模
512:第1凹部
520:上模
522:第2凹部
Z:鉛直方向
圖1是實施型態1的檢查裝置的俯視圖。
圖2是圖1的A-A'剖視圖。
圖3是示出實施型態1的檢查裝置的詳細的立體剖視圖。
圖4是用於說明實施型態1的檢查裝置的製造方法的一例的圖。
圖5是變形例的檢查裝置的立體剖視圖。
圖6是實施型態2的檢查裝置的立體剖視圖。
以下，使用圖式說明本發明的實施型態。需要說明的是，在全部圖式中，對同樣的構成元件標注相同的符號，並適當省略說明。
在本說明書中，只要沒有特別說明，“第1”、“第2”、“第3”等序數詞僅是為了區分名稱相同的構成而標注，並非表示順序、重要度等結構的特定特徵。
(實施型態1)
圖1是實施型態1的檢查裝置10的俯視圖。圖2是圖1的A-A'剖視圖。圖3是示出實施型態1的檢查裝置10的詳細的立體剖視圖。
在圖1中，表示鉛直方向Z的帶黑點的空心圓係表示，從紙面的裡側朝向近前側的方向為鉛直方向Z的向上方向，且從紙面的近前側朝向裡側的方向為鉛直方向Z的向下方向。在圖2及圖3中，以表示鉛直方向Z的箭頭表示的方向為鉛直方向Z的向上方向。另外，以表示鉛直方向Z的箭頭表示的方向的相反方向為鉛直方向Z的向下方向。
如圖1及圖2所示，檢查裝置10包括複數個第1彈性體100及框架150。如圖3所示，檢查裝置10更包括複數個第1柱塞110、複數個第2柱塞120、第1銷板130及第2銷板140。各第1柱塞110具有第1頂端接觸件112、第1柱狀部114及第1承托部116。各第2柱塞120具有第2頂端接觸件122、第2柱狀部124及第2承托部126。第1彈性體100中的後述的孔102的周圍等第1彈性體100的至少一部分、後述的導電膜104、各第1柱塞110、各第2柱塞120作為探針發揮作用。各第1柱塞110和各第2柱塞120係由第1彈性體100的孔102的周圍等至少一部分向鉛直方向Z彈推。需要說明的是，在圖1及圖2中，未圖示圖3中示 出的孔102、導電膜104、第1柱塞110、第2柱塞120、第1銷板130及第2銷板140。
首先，使用圖1及圖2說明複數個第1彈性體100及框架150。
框架150例如由金屬形成。框架150劃設有以格子狀配置的複數個開口152。複數個第1彈性體100分別設置於複數個開口152。藉此，各第1彈性體100由開口152的內緣支承。第1柱塞110位於第1彈性體的鉛直方向Z的下方，能夠朝向鉛直方向Z的下方彈推。在該情況下，例如在檢查裝置10進行檢查時，即使向開口152的深度方向、亦即鉛直方向Z對第1柱塞110施加力，相較於各第1彈性體100未由開口152的內緣支承的情況，也能夠抑制各第1彈性體100在平面方向、亦即與鉛直方向Z垂直的方向上擴張。但是，檢查裝置10也可以不具備框架150。
各第1彈性體100呈片狀。在一例中，第1彈性體100由具有彈性的高分子材料，例如矽酮、聚醯亞胺、苯乙烯丁二烯橡膠(SBR)等高分子材料形成。
如圖2所示，第1彈性體100具有埋入框架150的開口152中的部分(位於開口152內的部分)、從框架150的開口152的上側開放端露出的部分、及從框架150的開口152的下側開口端露出的部分。第1彈性體100中的從開口152的上側開口端露出的部分在圖中的左右方向上的寬度比開口152的上側開口端在圖中的左右方向上的寬度比寬。因此，能夠抑制第1彈性體100中的從開口152的上側開口端露出的部分經由開口152向框架150的下方脫落。第1彈性體100中的從開口152的下側開口 端露出的部分在圖中的左右方向上的寬度比開口152的下側開口端在圖中的左右方向上的寬度寬。因此，能夠抑制第1彈性體100中的從開口152的下側開口端露出的部分經由開口152向框架150的上方脫落。需要說明的是，第1彈性體100也可以不具有從框架150的開口152的上側開放端露出的部分、及從框架150的開口152的下側開口端露出的部分。或者，第1彈性體100也可以僅具有從框架150的開口152的上側開放端露出的部分、及從框架150的開口152的下側開口端露出的部分中的一方。另外，第1彈性體100中的從開口152的開口端露出的部分在圖中的左右方向上的寬度也可以為開口152的開口端在圖中的左右方向上的寬度以下。
接下來，使用圖3具體說明各第1彈性體100。
第1彈性體100劃設有沿著鉛直方向Z貫通第1彈性體100的複數個孔102。
在各孔102的內壁形成有導電膜104。在一例中，導電膜104包含例如從由鎳、銅及金組成的組中選擇的至少1種金屬。例如，導電膜104成為這些金屬的複數層膜。
各孔102為中空。在該情況下，相較於在孔102的內壁形成有導電膜104且孔102為實心的(孔102的內部被填滿的)情況，不需要使孔102成為實心的材料及製程，能夠降低檢查裝置10的製造成本。
第1柱塞110位於第1彈性體100的下方。另外，第1柱塞110與第1彈性體100在鉛直方向Z上重疊。具體來說，第1柱塞110與孔102在鉛直方向Z上重疊。因此，第1柱塞110能夠由第1彈性體100向與第2柱塞120分離的方向、亦即朝向下方彈推。另外，第1柱塞110 與導電膜104電性連接。因此，第1柱塞110能夠經由導電膜104與第2柱塞120電性連接。在第1柱塞110與孔102在鉛直方向Z上不重疊的情況下，為了使第1柱塞110與導電膜104電性連接，需要在導電膜104之外另行設置埋入第1彈性體100中的導電材料等的電性路徑。但是，在第1柱塞110與孔102在鉛直方向Z上重疊的情況下，第1柱塞110無需經由埋入第1彈性體100中的導電材料等的電性路徑而能夠直接與導電膜104連接。因此，相較於設有該電性路徑的情況，不需要用於製造該電性路徑自身的材料及製程，能夠降低檢查裝置10的製造成本。需要說明的是，第1柱塞110也可以在與鉛直方向Z正交的方向上與孔102偏離。在該情況下，第1柱塞110也能夠經由埋入第1彈性體100中的導電材料等的電性路徑與導電膜104連接。
第1頂端接觸件112包含例如從由銠、釕、銥、鎢及鉭組成的組中選擇的至少1種金屬。
第1頂端接觸件112的寬度從第1頂端接觸件112的基端趨向頂端而變窄。第1頂端接觸件112為圓錐、角錐等椎體，從第1頂端接觸件112基端到頂端具有錐形狀。第1頂端接觸件112的頂端具有例如1μm以上且為20μm以下的平坦面。但第1頂端接觸件112的頂端的形狀不限定於本例。
第1柱狀部114包含例如從由銅及鎳組成的組中選擇的至少1種金屬。
第1柱狀部114與第1頂端接觸件112的基端連接。第1頂端接觸件112與第1柱狀部114可以為一體也可以為分體。第1柱狀部114 的高度例如為5μm以上且為300μm以下。第1柱狀部114成為圓柱、角柱等柱體。在第1柱狀部114為圓柱時，第1柱狀部114的直徑為例如20μm以上且為500μm以下。但第1柱狀部114的形狀不限定於本例。
第1承托部116包含例如從由銅及鎳組成的組中選擇的至少1種金屬。
第1承托部116與第1柱狀部114中的位於第1頂端接觸件112的相反側的端部連接。第1柱狀部114與第1承托部116可以為一體也可以為分體。另外，第1承托部116的寬度比第1柱狀部114的寬度寬。第1承托部116的厚度例如為5μm以上且為200μm以下。第1承托部116的上表面平坦。但是，也可以在第1承托部116的上表面形成有至少1個凸部。
第1銷板130例如由聚醯亞胺、液晶聚合物、玻璃基板等形成。
第1銷板130劃設有複數個第1貫通孔132。複數個第1柱塞110分別插入複數個第1貫通孔132中。複數個第1柱塞110能夠以例如10μm以上且為500μm以下的微小間距(窄間距)配置。
第1頂端接觸件112的至少一部分從第1銷板130的第1貫通孔132的下端露出。第1柱狀部114的至少一部分貫穿第1貫通孔132。第1承托部116位於第1銷板130的上表面與第1彈性體100的下表面之間。第1承托部116在圖中的左右方向上的寬度比第1貫通孔132在圖中的左右方向上的寬度寬。因此，第1承托部116鉤掛於第1銷板130的上表面中的第1貫通孔132的開口端的周邊部分。在該情況下，即使第 1柱塞110被第1彈性體100朝向下方彈推，也能夠抑制第1承托部116經由第1貫通孔132向第1銷板130的下方脫落。因此，相較於沒有第1承托部116的情況，即使縮短第1柱塞110的長度(第1柱狀部114的長度)，第1柱塞110也難以向第1銷板130的下方脫落。能夠縮短第1柱塞110的長度，第1柱塞110也能夠應用於1GHz以上且為100GHz以下的高頻帶的檢查。
第2柱塞120位於第1彈性體100的上方。另外，第2柱塞120與第1彈性體100在鉛直方向Z上重疊。具體來說，第2柱塞120與孔102在鉛直方向Z上重疊。因此，第2柱塞120能夠被第1彈性體100向與第1柱塞110分離的方向、亦即朝向上方彈推。另外，第2柱塞120與導電膜104電性連接。因此，第2柱塞120能夠經由導電膜104與第1柱塞110電性連接。在第2柱塞120與孔102在鉛直方向Z上不重疊的情況下，為了使第2柱塞120與導電膜104電性連接，需要在導電膜104之外另行設置埋入第1彈性體100中的導電材料等的電性路徑。但是，在第2柱塞120與孔102在鉛直方向Z上重疊的情況下，第2柱塞120無需經由埋入第1彈性體100中的導電材料等的電性路徑而能夠直接與導電膜104連接。因此，相較於設有該電性路徑的情況，不需要用於製造該電性路徑自身的材料及製程，能夠降低檢查裝置10的製造成本。需要說明的是，第2柱塞120也可以在與鉛直方向Z正交的方向上與孔102偏離。在該情況下，第2柱塞120也能夠經由埋入第1彈性體100中的導電材料等的電性路徑與導電膜104連接。
第2銷板140劃設有複數個第2貫通孔142。與複數個第1 柱塞110及第1銷板130同樣地，複數個第2柱塞120分別插入複數個第2貫通孔142中。
圖4是用於說明實施型態1的檢查裝置10的製造方法的一例的圖。檢查裝置10如下製造。
首先，將框架150設置在下模510上。具體來說，在下模510的上表面形成有第1凹部512。框架150以框架150的開口152的下側開口端與下模510的第1凹部512重疊的方式配置。另外，下模510的第1凹部512在圖中的左右方向上的寬度比框架150的開口152的下側開口端在圖中的左右方向上的寬度寬。因此，第1彈性體100中的由下模510的第1凹部512成型的部分在圖中的左右方向上的寬度比第1彈性體100中的埋入開口152中的部分在圖中的左右方向上的寬度寬。
接下來，在框架150的開口152及下模510的第1凹部512中填充第1彈性體100，第1彈性體100的一部分從框架150的開口152的上端向外突出。
接下來，將上模520設置在第1彈性體100上。具體來說，在上模520的下表面形成有第2凹部522。框架150以框架150的開口152的上側開口端與上模520的第2凹部522重疊的方式配置。另外，上模520的第2凹部522在圖中的左右方向上的寬度比框架150的開口152的上側開口端在圖中的左右方向上的寬度寬。因此，第1彈性體100中的由上模520的第2凹部522成型的部分在圖中的左右方向上的寬度比第1彈性體100中的埋入開口152中的部分在圖中的左右方向上的寬度寬。
接下來，由下模510及上模520將第1彈性體100夾入。 接下來，使第1彈性體100熱固化。藉此，成型出第1彈性體100。
接下來，將第1彈性體100及框架150從下模510及上模520取下。
接下來，在第1彈性體100形成複數個孔102。各孔102例如藉由雷射光加工或機械加工形成。
接下來，在各孔102的內壁上形成導電膜104。導電膜104例如由氣相或液相成膜形成。
接下來，將複數個第1柱塞110及第1銷板130設置在第1彈性體100的下方，將複數個第2柱塞120及第2銷板140設置在第1彈性體100的上方。
按照上述方式，製造出檢查裝置10。
根據本實施型態，相較於使用彈簧對柱塞彈推的情況，第1彈性體100起到彈簧伸縮的作用，導電膜104起到彈簧導通的作用。在使用彈簧對柱塞彈推的情況下，若要對探針的自由長度進行比較，則需要縮短彈簧的自由長度。但是，在該情況下，難以獲得充分的行程。與此相對，在本實施型態中，不需要使用彈簧。因此，相較於使用彈簧對柱塞彈推的情況，能夠在獲得充分長度的行程的同時縮短探針的自然長度。
需要說明的是，在本實施型態中，對第1柱塞110及第2柱塞120在鉛直方向Z上與第1彈性體100重疊的情況進行了說明。但第1彈性體100及第2柱塞120也可以在與鉛直方向Z不同的方向上與第1彈性體100重疊。
(變形例)
圖5是變形例的檢查裝置10A的立體剖視圖。變形例的檢查裝置10A除了以下方面與實施型態1的檢查裝置10相同。
孔102藉由第2彈性體106A而成為實心。因此，不僅能夠由第1彈性體100對第1柱塞110及第2柱塞120彈推，也能夠由第2彈性體106A彈推。藉此，相較於與沒有第2彈性體106A的情況，能夠增大第1柱塞110及第2柱塞120承受的彈性力。此外，相較於孔102為中空的情況，能夠抑制導電膜104的剝離。
形成第2彈性體106A的材料可以與形成第1彈性體100的材料相同，也可以不同。例如，從提高第1柱塞110與第2柱塞120之間的彈性模量的觀點出發，形成第2彈性體106A的材料的彈性模量也可以為較高彈性模量，例如為比形成第1彈性體100的材料的彈性模量高的彈性模量。另外，從抑制導電膜104剝離的觀點出發，形成第2彈性體106A的材料的彈性模量也可以為較低彈性模量，例如為比形成第1彈性體100的材料的彈性模量低的彈性模量。
(實施型態2)
圖6是實施型態2的檢查裝置10B的立體剖視圖。實施型態的檢查裝置10B除了以下方面與實施型態1的檢查裝置10相同。
檢查裝置10B包括插座100B、複數個第1柱塞110B、複數個第2柱塞120B、第1銷板130B及第2銷板140B。各第1柱塞110B具有第1頂端接觸件112B、第1柱狀部114B及第1承托部116B。各第2柱塞120B具有第2頂端接觸件122B、第2柱狀部124B及第2承托部126B。
插座100B例如由玻璃、陶瓷或有機樹脂形成。
插座100B劃設有沿著鉛直方向Z貫穿插座100B的複數個孔102B。
在孔102B的內壁形成有導電膜104B。實施型態2的導電膜104B例如包含與實施型態1的導電膜104中例示的材料相同的材料。
孔102B藉由第2彈性體106B而成為實心。實施型態2的第2彈性體106B例如包含與變形例的第2彈性體106A中例示的材料相同的材料。
第1柱塞110B位於插座100B的下方。另外，第1柱塞110B與孔102B在鉛直方向Z上重疊。因此，第1柱塞110B能夠由第2彈性體106B向與第2柱塞120B分離的方向、亦即朝向下方彈推。另外，第1柱塞110B與導電膜104B電性連接。因此，第1柱塞110B能夠經由導電膜104B與第2柱塞120B電性連接。
第1銷板130B劃設有複數個第1貫通孔132B。與實施型態1中的複數個第1柱塞110及第1銷板130同樣地，複數個第1柱塞110B分別插入複數個第1貫通孔132B中。
第2柱塞120B位於插座100B的上方。另外，第2柱塞120B與孔102B在鉛直方向Z上重疊。因此，第2柱塞120B能夠由第2彈性體106B朝向與第1柱塞110B分離的方向、亦即朝向上方彈推。另外，第2柱塞120B與導電膜104B電性連接。因此，第2柱塞120B能夠經由導電膜104B與第1柱塞110B電性連接。
第2銷板140B劃設有複數個第2貫通孔142B。與實施型 態1中的複數個第2柱塞120及第2銷板140同樣地，複數個第2柱塞120B分別插入複數個第2貫通孔142B中。
需要說明的是，在本實施型態中，第1柱狀部114B比第2柱狀部124B長。但第1柱狀部114B也可以與第2柱狀部124B相等或比第2柱狀部124B短。另外，在本實施型態中，第1銷板130B及第2銷板140B能夠與插座100B分離。但是，檢查裝置10也可以不具備第1銷板130B和第2銷板140B中的至少一方。在檢查裝置10不具備第1銷板130B的情況下，第1承托部116B能夠以與插座100B的孔102B在鉛直方向Z上重疊的方式配置。同樣地，在檢查裝置10不具備第2銷板140B的情況下，第2承托部126B能夠以與插座100B的孔102B在鉛直方向Z上重疊的方式配置。
在實施型態2中，相較於使用彈簧對柱塞彈推的情況，也能夠在獲得充分長度的行程的同時縮短探針的自然長度。
以上，參照圖式對本發明的實施型態進行了說明，但這些為本發明的例示，也能夠採用上述以外的多種構成。
根據本說明書，提供以下的方案。
(方案1-1)
方案1-1為一種檢查裝置，係包括：
第1彈性體，係劃設有孔；以及
柱塞，係與前述第1彈性體重疊；
在前述孔的內壁上形成有導電膜，
前述柱塞與前述導電膜電性連接。
根據方案1-1，相較於使用彈簧對柱塞彈推的情況，第1彈性體起到彈簧伸縮的作用，導電膜起到彈簧導通的作用。第1彈性體的孔的周圍等至少一部分、導電膜、柱塞作為探針發揮功能。在使用彈簧對柱塞彈推的情況下，若要對探針的自由長度進行比較，則需要縮短彈簧的自由長度。但是，在該情況下，難以獲得充分的行程。與此相對，在方案1-1中，不需要使用彈簧。因此，相較於使用彈簧對柱塞彈推的情況，能夠在獲得充分長度的行程的同時縮短探針的自然長度。
(方案1-2)
方案1-2為方案1-1所述的檢查裝置，其中，
前述柱塞與前述孔重疊。
根據方案1-2，柱塞無需經由導電膜之外的埋入第1彈性體中的導電材料等的電性路徑而能夠直接與導電膜連接。因此，相較於設有該電性路徑的情況，不需要製造該電性路徑的材料及製程，能夠降低檢查裝置的製造成本。
(方案1-3)
方案1-3為方案1-1或1-2所述的檢查裝置，其中，
前述孔為中空。
根據方案1-2，相較於在孔的內壁形成有導電膜且孔為實心的情況，不需要使孔為實心的材料及製程，能夠降低檢查裝置的製造成本。
(方案1-4)
方案1-4為方案1-1或1-2所述的檢查裝置，其中，
前述孔藉由第2彈性體而成為實心。
根據方案1-4，不僅能夠由第1彈性體對柱塞彈推，也能夠由第2彈性體彈推。藉此，相較於沒有第2彈性體的情況，能夠增大柱塞承受的彈性力。此外，相較於孔為中空的情況，能夠抑制導電膜的剝離。
(方案1-5)
方案1-5為方案1-1~1-4中任一項所述的檢查裝置，更具備框架，該框架劃設有開口，
前述第1彈性體設置在前述框架的前述開口中。
根據方案1-5，第1彈性體由開口的內緣支承。在該情況下，例如在檢查裝置進行檢查時，即使沿開口的深度方向對第1柱塞施加力，相較於第1彈性體未由開口的內緣支承的情況，也能夠抑制第1彈性體在與開口的深度方向垂直的平面方向上擴張。
(方案1-6)
方案1-6為方案1-5所述的檢查裝置，其中，
前述第1彈性體具有埋入前述框架的前述開口中的部分、及從前述框架的前述開口的開口端露出的部分，
前述第1彈性體中的從前述開口的前述開口端露出的前述部分的寬度比前述開口的前述開口端的寬度寬。
根據方案1-6，能夠抑制第1彈性體中的從開口的開口端露出的部分經由開口向框架的該開口端的相反側脫落。
(方案2-1)
方案2-1為一種接觸器，係包括：
插座，係劃設有孔；以及
柱塞，係與前述插座重疊；
在前述孔的內壁上形成有導電膜，
前述柱塞與前述導電膜電性連接，
前述孔藉由彈性體而成為實心。
根據方案2-1，相較於使用彈簧對柱塞彈推的情況，彈性體起到彈簧伸縮的作用，導電膜起到彈簧導通的作用。導電膜、彈性體、柱塞作為探針發揮功能。在使用彈簧對柱塞彈推的情況下，若要對探針的自由長度進行比較，則需要縮短彈簧的自由長度。但是，在該情況下，難以獲得充分的行程。與此相對，在方案2-1中不需要使用彈簧。因此，相較於使用彈簧對柱塞彈推的情況，能夠在獲得充分長度的行程的同時縮短探針的自然長度。
本申請主張基於2020年6月22日提出的日本申請特願2020-106765號的優先權，並將該日本申請的全部公開內容引用在本申請中。
10:檢查裝置
100:第1彈性體
102:孔
104:導電膜
110:第1柱塞
112:第1頂端接觸件
114:第1柱狀部
116:第1承托部
120:第2柱塞
122:第2頂端接觸件
124:第2柱狀部
126:第2承托部
130:第1銷板
132:第1貫通孔
140:第2銷板
142:第2貫通孔
Z:鉛直方向

Claims (6)

  1. 一種檢查裝置，係包括：
    第1彈性體，係劃設有孔；以及
    柱塞，係與前述第1彈性體重疊；
    在前述孔的內壁上形成有導電膜，
    前述柱塞與前述導電膜電性連接。
  2. 如請求項1所述的檢查裝置，其中，前述柱塞與前述孔重疊。
  3. 如請求項1所述的檢查裝置，其中，前述孔為中空。
  4. 如請求項1所述的檢查裝置，其中，前述孔藉由第2彈性體而成為實心。
  5. 如請求項1至4中任一項所述的檢查裝置，更具備框架，該框架劃設有開口，
    前述第1彈性體設置在前述框架的前述開口中。
  6. 如請求項5所述的檢查裝置，其中，
    前述第1彈性體具有埋入前述框架的前述開口中的部分、及從前述框架的前述開口的開口端露出的部分，
    前述第1彈性體中的從前述開口的前述開口端露出的前述部分的寬度比前述開口的前述開口端的寬度寬。
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