TW202137277A - 氣體供應系統及其氣體輸送方法、電漿處理裝置 - Google Patents

Abstract

本發明實施例公開了一種氣體供應系統，包含複數個氣體輸入管路和氣體輸出管路，氣體輸入管路包含並聯的第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路，氣體輸出管路包含第一氣體輸出管路和第二氣體輸出管路，第一氣體輸出管路的輸出端與第二氣體輸出管路的輸入端相連，第二氣體輸出管路的輸出端用於向電漿處理設備的腔室輸送氣體，第一氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通，第二氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通，從而在複數個氣體輸入管路中輸出不同流量需求的第一氣體和第二氣體，以解決小流量需求的第二氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

Description

氣體供應系統及其氣體輸送方法、電漿處理裝置

本發明關於電漿處理技術領域，尤其關於一種氣體供應系統及其氣體輸送方法、電漿處理裝置。

微電子裝置等半導體裝置的製造包含數個不同階段，每一階段包含多種製程。在利用電漿處理設備對半導體裝置進行處理時，可能同一階段需要通入多種氣體，例如在大流量的製程氣體中混入小流量的調節氣體，以改善對半導體裝置進行電漿處理的製程。具體工作時，該多種氣體透過各自的氣體輸入管路輸送到同一氣體輸出管路中，經該氣體輸出管路輸送到電漿處理設備的腔室內，被電離成電漿對待處理半導體裝置進行處理。但是，現有電漿處理設備在對待處理半導體裝置進行處理時，其調節氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限。

為解決上述技術問題，本發明實施例提供了一種氣體供應系統，以解決調節氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

為解決上述問題，本發明實施例提供了如下技術方案：

一種氣體供應系統，用於向電漿處理設備的腔室輸送氣體，該氣體供應系統包含：複數個氣體輸入管路，氣體輸入管路包含並聯的第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路；氣體輸出管路，氣體輸出管路包含第一氣體輸出管路和第二氣體輸出管路，第一氣體輸出管路的輸出端與第二氣體輸出管路的輸入端相連，第二氣體輸出管路的輸出端用於向電漿處理設備的腔室輸送氣體；與氣體輸入管路一一對應的控制元件，控制元件包含控制第一氣體輸出支路通斷的第一控制元件以及控制第二氣體輸出支路通斷的第二控制元件；其中，第一氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通，第二氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通；複數個氣體輸入管路包含第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路，第一氣體輸入管路中輸出第一氣體，第二氣體輸入管路中輸出第二氣體，第一氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求，第一氣體透過第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出至氣體輸出管路。

較佳地，複數個氣體輸入管路包含第一組氣體輸入管路和第二組氣體輸入管路，其中，第一組氣體輸入管路包含至少一個沿第一方向排列設置的氣體輸入管路，第二組氣體輸入管路包含至少一個沿第一方向排列設置的氣體輸入管路，第一組氣體輸入管路和第二組氣體輸入管路沿第二方向排列設置，第二方向垂直於第一方向。

較佳地，沿第二方向上，氣體輸出管路位於第一組氣體輸入管路和第二組氣體輸入管路之間。

本發明再提供一種氣體輸送方法，應用於上述任一項的氣體供應系統，該氣體輸送方法包含：獲取複數個氣體輸入管路中輸出的氣體流量需求，複數個氣體輸入管路包含第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路，第一氣體輸入管路中輸出第一氣體，第二氣體輸出管路中輸出第二氣體，第一氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求；控制第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路打開，第一氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路關閉，利用第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出第一氣體至氣體輸出管路中。

較佳地，利用第二氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第二氣體至氣體輸出管路中。

較佳地，複數個氣體輸入管路包含第三氣體輸入管路，第三氣體輸入管路輸出第三氣體，第三氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求且小於第一氣體的流量需求，該氣體輸送方法還包含：利用第三氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第三氣體至氣體輸出管路中。

較佳地，如果第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路的相對位置滿足第一條件，利用第二氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸出第二氣體至氣體輸出管路中；如果第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路的相對位置不滿足第一條件，利用第二氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第二氣體至氣體輸出管路中；其中，第一條件包含：沿第三方向上，流量需求大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離大於流量需求小的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體管路輸出管的連接端到預設位置之間的距離，預設位置為氣體輸出管路輸出至電漿處理設備的腔室的一端，第三方向為氣體輸出管路中的氣體流動方向。

較佳地，複數個氣體輸入管路包含第三氣體輸入管路，第三氣體輸入管路輸出第三氣體，第三氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求且小於第一氣體的流量需求。

較佳地，該氣體輸送方法還包含：如果第三氣體輸入管路和第一氣體輸入管路不滿足第一條件，利用第三氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第三氣體至氣體輸出管路中。

較佳地，該氣體輸送方法還包含：如果第三氣體輸入管路和第一氣體輸入管路滿足第一條件，利用第三氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸出第三氣體至氣體輸出管路中。

本發明進一步提供一種電漿處理裝置，包含真空反應腔以及上述的氣體供應系統，氣體供應系統用於向真空反應腔輸送製程氣體。

與現有技術相比，上述技術方案具有以下優點：

本發明實施例所提供的氣體供應系統包含複數個氣體輸入管路和氣體輸出管路，其中，氣體輸入管路包含並聯的第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路，氣體輸出管路包含第一氣體輸出管路和第二氣體輸出管路，第一氣體輸出管路的輸出端與第二氣體輸出管路的輸入端相連，第二氣體輸出管路的輸出端用於向電漿處理設備的腔室輸送氣體，第一氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通，第二氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通，從而在複數個氣體輸入管路中輸出不同流量需求的第一氣體和第二氣體時，可以將大流量需求的第一氣體輸入到第一氣體輸出管路中，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的第一氣體和小流量需求的第二氣體輸出至氣體輸出管路中後，大流量需求的第一氣體將小流量需求的第二氣體堵塞在氣體輸出管路中，導致小流量需求的第二氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

下面將結合本發明實施例中的附圖，對本發明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。基於本發明中的實施例，本領域之具備通常知識者在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。

在下面的描述中闡述了很多具體細節以便於充分理解本發明，但是本發明還可以採用其他不同於在此描述的其它方式來實施，本領域之具備通常知識者可以在不違背本發明內涵的情況下做類似推衍，因此本發明不受下面公開的具體實施例的限制。

正如先前技術部分所述，現有電漿處理設備在對待處理半導體裝置進行處理時，其調節氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限。

如圖1所示，圖1示出了現有技術中的氣體供應裝置的結構示意圖，氣體供應裝置輸入的多種氣體透過各自的氣體輸入管路輸送到同一氣體輸出管路10中，經該氣體輸出管路10輸送到電漿處理設備的腔室內，如果用於輸送大流量需求的第一氣體（如氣體流量為100sccm的CF₄ 氣體）的氣體輸入管路GS6位於靠近共用的氣體輸出管路10的輸出端，而用於輸送小流量需求的第二氣體（如氣體流量為4sccm的O₂ ）的氣體輸入管路GS1位於遠離共用的氣體輸出管路10的輸出端時，那麼在大流量需求的第一氣體和小流量需求的第二氣體輸出至氣體輸出管路10中後，大流量需求的第一氣體將小流量需求的第二氣體堵塞在氣體輸出管路10中，使得大部分小流量需求的第二氣體被限制在其自身的氣體輸入管路GS1而無法出來，從而導致小流量需求的第二氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

而在實際應用過程中，不同製程中，不同氣體的流量需求不同，因此，根據各氣體的流量需求控制各氣體輸入的氣體輸入管路的可操作性十分困難。

有鑑於此，如圖2所示，本發明實施例提供了一種氣體供應系統，用於向電漿處理設備的腔室輸送氣體，該氣體供應系統包含：複數個氣體輸入管路（即Gas Stick，簡稱GS），氣體輸入管路GS包含並聯的第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路；氣體輸出管路100，氣體輸出管路100包含第一氣體輸出管路101和第二氣體輸出管路102，第一氣體輸出管路101的輸出端與第二氣體輸出管路102的輸入端相連，第二氣體輸出管路102的輸出端用於向電漿處理設備的腔室輸送氣體；與氣體輸入管路GS一一對應的控制元件，控制元件包含控制第一氣體輸出支路通斷的第一控制元件以及控制第二氣體輸出支路通斷的第二控制元件；其中，第一氣體輸出管路101與複數個氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通，第二氣體輸出管路102與複數個氣體輸入管路GS中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通；複數個氣體輸入管路GS包含第一氣體輸入管路GS1和第二氣體輸入管路GS2，第一氣體輸入管路GS1中輸出第一氣體，第二氣體輸入管路GS2中輸出第二氣體，第一氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求，第一氣體透過第一氣體輸入管路GS1中的第一氣體輸出支路GS11輸出至氣體輸出管路。

需要說明的是，在本發明的一個實施例中，第一控制元件為第一氣動閥（即First Valve，簡稱FV），第二控制元件為第二氣動閥（即Second Valve，簡稱SV），本發明對此不做限定，在本發明其他實施例中，第一控制元件和第二控制元件還可以為其他類型的控制元件，具體視情況而定。

具體的，繼續如圖2所示，第一氣體輸入管路GS1中的第一氣體輸出支路GS11對應第一控制元件FV1，第一氣體輸入管路GS1中的第二氣體輸出支路GS12對應第二控制元件SV1，第二氣體輸入管路GS2中的第一氣體輸出支路GS21對應第一控制元件FV2，第二氣體輸入管路GS2中的第二氣體輸出支路GS22對應第二控制元件SV2。

本發明實施例所提供的氣體供應系統包含複數個氣體輸入管路和氣體輸出管路，其中，氣體輸入管路包含並聯的第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路，氣體輸出管路包含第一氣體輸出管路和第二氣體輸出管路，第一氣體輸出管路的輸出端與第二氣體輸出管路的輸入端相連，第二氣體輸出管路的輸出端用於向電漿處理設備的腔室輸送氣體，第一氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通，第二氣體輸出管路與複數個氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通，從而在複數個氣體輸入管路中輸出不同流量需求的第一氣體和第二氣體時，可以將大流量需求的第一氣體輸入到第一氣體輸出管路中，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的第一氣體輸出至氣體輸出管路中後，將大部分的小流量需求的第二氣體堵塞在其自身的氣體輸入管路中，導致小流量需求的第二氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，如果第一氣體輸入管路GS1和第二氣體輸入管路GS2的相對位置滿足第一條件，第二氣體透過第二氣體輸入管路GS2中的第一氣體輸出支路GS21輸出至氣體輸出管路100中，其中，第一條件包含：沿第三方向Z上，流量需求大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離大於流量需求小的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路100的連接端到預設位置之間的距離，即如圖3所示，第一氣體輸入管路GS1中的第一氣體輸出支路GS11與氣體輸出管路100的連接端B到預設位置C之間的距離大於第二氣體輸入管路GS2中的第一氣體輸出支路GS21與氣體輸出管路100的連接端A到預設位置C之間的距離。其中，預設位置C為氣體輸出管路100輸出至電漿處理設備的腔室的一端，第三方向Z為氣體輸出管路100中的氣體流動方向，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

在本發明的另一個實施例中，繼續如圖3所示，如果第一氣體輸入管路GS1和第二氣體輸入管路GS2的相對位置滿足第一條件，第二氣體也可以透過第二氣體輸入管路GS2中的第二氣體輸出支路GS22輸出至氣體輸出管路中，以使得第二氣體輸出至第二氣體輸出管路102中，第一氣體輸出至第一氣體輸出管路101中，從而使得第二氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置更靠近氣體輸出管路100向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動的同時，還可縮短第二氣體的輸送路徑，以快速將第二氣體輸送到電漿處理設備的腔室中。本發明對此並不做限定，具體視情況而定。

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，如果第一氣體輸入管路GS1和第二氣體輸入管路GS2的相對位置不滿足第一條件，如圖2和圖4所示，即第一氣體輸入管路GS1中第一氣體輸出支路GS11與氣體輸出管路100的連接端B到預設位置C之間的距離小於（或等於）第二氣體輸入管路GS2中的第一氣體輸出支路GS21與氣體輸出管路100的連接端A到預設位置C之間的距離，則第二氣體透過第二氣體輸入管路GS2中的第二氣體輸出支路GS22輸出至氣體輸出管路100中，以使得第二氣體輸出至第二氣體輸出管路102中，第一氣體輸出至第一氣體輸出管路101中，從而使得第二氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置更靠近氣體輸出管路100向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動的同時，還可縮短第二氣體的輸送路徑，以快速將第二氣體輸送到電漿處理設備的腔室中。

需要說明的是，在本發明的其他實施例中，也可以不考慮第一氣體輸入管路GS1中的第一氣體輸出支路GS11與氣體輸出管路100的連接端B到預設位置C之間的距離和第二氣體輸入管路GS2的第一氣體輸出支路GS21與氣體輸出管路100的連接端A到預設位置C之間的距離的關係，第二氣體始終透過第二氣體輸入管路GS2中的第二氣體輸出支路輸出至氣體輸出管路100中，以使得第二氣體輸出至第二氣體輸出管路102中，第一氣體輸出至第一氣體輸出管路101中，從而使得第二氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置更靠近氣體輸出管路100向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動的同時，還可縮短第二氣體的輸送路徑，以快速將第二氣體輸送到電漿處理設備的腔室中。本發明對此並不做限定，具體視情況而定。

如圖4至圖5所示，其中，圖4示出了本發明實施例中提供的一種氣體供應系統的結構簡化圖，圖5示出了本發明實施例中提供的一種氣體供應系統的結構示意圖。

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，複數個氣體輸入管路還包含第三氣體輸入管路GS3，第三氣體輸入管路GS3中輸出第三氣體，第三氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求且小於第一氣體的流量需求。

在上述實施例的為基礎上，在本發明的一個實施例中，第三氣體始終透過第三氣體輸入管路GS3中的第二氣體輸出支路輸出至氣體輸出管路100中，以使得第三氣體和第二氣體輸出至第二氣體輸出管路102中，第一氣體輸出至第一氣體輸出管路101中，從而使得第三氣體和第二氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置更靠近氣體輸出管路100向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體和第三氣體向電漿處理設備的腔室方向流動的同時，還可縮短第三氣體的輸送路徑，以快速將第二氣體輸送到電漿處理設備的腔室中。

在上述實施例的基礎上，在本發明的另一個實施例中，如果第三氣體輸入管路GS3和第一氣體輸入管路GS1滿足第一條件，第三氣體透過第三氣體輸入管路GS3中的第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸出至氣體輸出管路100中，從而使得第三氣體和第二氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置更靠近氣體輸出管路向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體和第三氣體向電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的第一氣體輸出至氣體輸出管路中後，將大部分的小流量需求的第二氣體和第三氣體堵塞在其自身的氣體輸入管路中，導致小流量需求的第二氣體和第三氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，如果第三氣體輸入管路GS3和第一氣體輸入管路GS1不滿足第一條件，第三氣體只能透過第三氣體輸入管路GS3中的第二氣體輸出支路輸出至氣體輸出管路100中，以利用第一氣體輸出管路和第二氣體輸出管路的相對位置關係，使得第三氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路100中的位置更靠近氣體輸出管路100向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，從而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第三氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

繼續如圖4至圖5所示，在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，複數個氣體輸入管路GS還可以包含第四氣體輸入管路GS4、第五氣體輸入管路GS5和第六氣體輸入管路GS6等更多個氣體輸入管路，本發明對此並不做限定，具體視情況而定。其中，第四氣體輸入管路GS4中輸出第四氣體，第五氣體輸入管路GS5中輸出第五氣體，第六氣體輸入管路中輸出第六氣體。

需要說明的是，當複數個氣體輸入管路GS包含至少四個氣體輸入管路GS時，不同氣體輸入管路GS中輸出的氣體流量需求不完全相同。具體的，如果第一氣體為複數個氣體輸入管路GS中輸出的氣體中流量需求最大的氣體，則在本發明的一個實施例中，第一氣體透過第一氣體輸入管路GS1中第一氣體輸出支路GS11輸入到氣體輸出管路100中，其餘氣體透過各自的氣體輸入管路GS中的第二氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路100；如果第一氣體不是複數個氣體輸入管路GS中輸出的氣體中流量需求最大的氣體，則將複數個氣體輸入管路GS輸出的氣體中流量需求最大的氣體透過其對應的氣體輸入管路GS中第一氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路100中，其餘氣體透過各自的氣體輸入管路GS中的第二氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路100中，以利用最大流量需求的氣體推動其他流量需求的氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

在本發明的另一個實施例中，流量需求最大的氣體透過其對應的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路輸出至氣體輸出管路100中，至於其餘氣體，可根據其餘氣體對應的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路100的連接端到預設位置之間的距離和流量需求最大的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路與氣體管路輸出管100的連接端到預設位置之間的距離的關係，確定該氣體是透過其對應的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路100中，還是透過其對應的氣體輸入管路GS中的第二氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路100中。

具體的，如果該氣體對應的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路100的連接端到預設位置之間的距離和流量需求最大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體管路輸出管100的連接端到預設位置之間的距離滿足第一條件，則該氣體可以透過其對應的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路100中；如果該氣體對應的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路100的連接端到預設位置之間的距離與流量需求最大的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路到氣體輸出管路100的連接端與預設位置之間的距離不滿足第一條件，則該氣體可以只能透過其對應的氣體輸入管路GS中的第二氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路100中，以保證該氣體始終位於流量需求最大氣體的傳輸路徑上，使得流量需求最大氣體可以推著該氣體往電漿處理設備的腔室方向流動。

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，複數個氣體輸入管路GS沿預設方向並排設置，需要說明的是，本發明中氣體供應系統包含複數個氣體輸入管路GS，如果複數個氣體輸入管路GS按照預設方向並排設置，會使氣體供應系統在預設方向上佔用空間較大。

有鑒於此，在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，繼續如圖4至圖5所示，複數個氣體輸入管路GS包含第一組氣體輸入管路201和第二組氣體輸入管路202，其中，第一組氣體輸入管路201包含至少一個沿第一方向X排列設置的氣體輸入管路GS，第二組氣體輸入管路202包含至少一個沿第一方向X排列設置的氣體輸入管路GS，第一組氣體輸入管路201和第二組氣體輸入管路202沿第二方向Y排列設置，第二方向Y垂直於第一方向X，以使得整個氣體供應系統的結構緊湊，減小複數個氣體輸入管路GS在第一方向上佔用的空間。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，繼續如圖4至圖5所示，沿第二方向Y上，氣體輸出管路GS位於第一組氣體輸入管路201和第二組氣體輸入管路202之間，以在保證氣體輸入管路GS的輸出端與氣體輸出管路相連通的基礎上，縮短氣體輸入管路GS的長度。

需要說明的是，在本發明實施例中，氣體供應系統還包含手動閥（manual valve，簡稱MV），手動閥MV位於氣體輸入管路GS的輸入端，用於控制氣體輸入管路GS的通斷，具體在使用過程中，手動閥MV處於常開狀態以使相應的氣體輸入到氣體輸入管路GS中。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體供應系統還包含質量流量控制計（即，Mass Flow Controller，簡稱MFC），質量流量控制計MFC位於第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路的公共端與手動閥MV之間，用於向第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路提供其所需的穩定的氣體流量。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體供應系統還包含第三氣動閥（即Third Valve，簡稱TV），第三氣動閥TV位於質量流量控制計MFC和手動閥MV之間，用於與質量流量控制計MFC連動控制氣體輸入管路輸入到氣體輸出管路中的氣體流量。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體供應系統還包含沿氣體輸入管路GS的氣體輸送路徑的方向，位於手動閥MV和第三氣動閥TV之間的壓力調節器（即Regulator，簡稱RG）、壓力計（即Pressure Gauge，簡稱PG）和過濾器（即Filter，簡稱F），其中，壓力調節器RG用於將氣體輸入管路GS輸入端輸入的氣體的壓力調節到質量流量控制計MFC適用的範圍內，且還可將該輸入的氣體的壓力穩壓到質量流量控制計MFC所需的範圍，以使得氣體輸入管路提供穩定的輸入氣體；壓力計PG用於測量該輸入氣體的壓力，以便於讀取該輸入氣體的壓力；過濾器F用於對該輸入氣體進行過濾，以便於獲取純淨的輸入氣體。

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，所提供的氣體供應系統還包含：封裝複數個氣體輸入管路GS、氣體輸出管路100與控制元件等裝置的箱體。需要說明的是，由於氣體供應系統中包含需要經常維護的裝置（例如質量流量控制計MFC），因此，在本發明的一個可選實施例中，質量流量控制計MFC等經常維護的裝置設置在箱體的門的附近，使得維修人員一打開門就可以看到，便於維護。

由上可知，本發明實施例所提供的氣體供應系統，能夠使小流量的氣體始終位於流量需求最大氣體的傳輸路徑上，使得流量需求最大氣體可以推著小流量的氣體往電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的氣體輸出至氣體輸出管路中後，將大部分的小流量需求的氣體堵塞在其自身的氣體輸入管路中，導致小流量需求的氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

相應的，本發明實施例中還提供了一種氣體輸送方法，應用於上述任一實施例中的氣體供應系統，如圖6所示，該氣體輸送方法包含：獲取複數個氣體輸入管路中輸出的氣體流量需求，複數個氣體輸入管路包含第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路，第一氣體輸入管路中輸出第一氣體，第二氣體輸出管路中輸出第二氣體，第一氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求；控制第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路打開，第一氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路關閉，利用第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出第一氣體至氣體輸出管路中。

本發明實施例所提供的氣體輸送方法，透過獲取複數個氣體輸入管路中輸出的氣體流量需求，複數個氣體輸入管路包含第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路，第一氣體輸入管路中輸出第一氣體，第二氣體輸出管路中輸出第二氣體，第一氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求，控制第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路打開，第一氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路關閉，並利用第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出第一氣體至氣體輸出管路中，從而在複數個氣體輸入管路中輸出不同流量需求的第一氣體和第二氣體時，可以將大流量需求的第一氣體輸入到第一氣體輸出管路中，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的第一氣體輸出至氣體輸出管路中後，將大部分的小流量需求的第二氣體堵塞在其自身的氣體輸入管路中，導致小流量需求的第二氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

下面結合具體實施例對本發明實施例所提供的氣體輸送方法進行描述。

實施例一：

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體輸送方法包含：利用第二氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第二氣體至氣體輸出管路中，以使得第二氣體輸出至第二氣體輸出管路中，且第一氣體輸出至第一氣體輸出管路中，從而使得第二氣體輸出至氣體輸出管路中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路中的位置更靠近氣體輸出管路向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，複數個氣體輸入管路包含第三氣體輸入管路，第三氣體輸入管路輸出第三氣體，第三氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求且小於第一氣體的流量需求，在本發明實施例中該氣體輸送方法還包含：利用第三氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第三氣體至氣體輸出管路中，以使得第三氣體和第二氣體輸出至第二氣體輸出管路中，第一氣體輸出至第一氣體輸出管路中，從而使得第二氣體和第三氣體輸出至氣體輸出管路中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路中的位置更靠近氣體輸出管路向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體和第三氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，複數個氣體輸入管路還包含第四氣體輸入管路、第五氣體輸入管路和第六氣體輸入管路等更多個氣體輸入管路，本發明對此並不做限定，具體視情況而定。其中，第四氣體輸入管路中輸出第四氣體，第五氣體輸入管路中輸出第五氣體，且第六氣體輸入管路中輸出第六氣體。

需要說明的是，當複數個氣體輸入管路包含至少四個氣體輸入管路時，不同氣體輸入管路中輸出的氣體流量需求不完全相同。具體的，如果第一氣體為複數個氣體輸入管路中輸出的氣體中流量需求最大的氣體，則在本發明的一個實施例中，該方法利用第一氣體輸入管路中第一氣體輸出支路輸出第一氣體至氣體輸出管路中，利用其餘氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出其餘氣體至氣體輸出管路；如果第一氣體不是複數個氣體輸入管路中輸出的氣體中流量需求最大的氣體，則利用複數個氣體輸入管路中的流量需求最大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出流量需求最大的氣體至氣體輸出管路中，利用其餘的氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出其餘氣體至氣體輸出管路中，以利用最大流量需求的氣體推動其他流量需求的氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

由上可知，本發明實施例所提供的氣體供應系統，能夠使小流量的氣體始終位於流量需求最大氣體的傳輸路徑上，使得流量需求最大氣體可以推著小流量的氣體往電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的氣體輸出至氣體輸出管路中後，將大部分的小流量需求的氣體堵塞在其自身的氣體輸入管路中，導致小流量需求的氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

實施例二：

具體的，在本發明的一個實施例中，如果第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路的相對位置滿足第一條件，該方法還包含：利用第二氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出第二氣體至氣體輸出管路中，其中，第一條件包含：沿第三方向上，流量需求大的氣體輸入管路中第一氣體輸出支路與氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離大於流量需求小的氣體輸入管路中第一氣體輸出支路與氣體管路輸出管的連接端到預設位置之間的距離，預設位置為氣體輸出管路輸出至電漿處理設備的腔室的一端，第三方向為氣體輸出管路中的氣體流動方向，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

在本發明的另一個實施例中，如果第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路的相對位置滿足第一條件，該方法還包含：利用第二氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第二氣體至氣體輸出管路中，以使得第二氣體輸出至第二氣體輸出管路中，第一氣體輸出至第一氣體輸出管路中，從而使得第二氣體輸出至氣體輸出管路中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路中的位置更靠近氣體輸出管路向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動的同時，還可縮短第二氣體的輸送路徑，以快速將第二氣體輸送到電漿處理設備的腔室中。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，如果第一氣體輸入管路和第二氣體輸入管路的相對位置不滿足第一條件，該方法還包含：利用第二氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第二氣體至氣體輸出管路中，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體向電漿處理設備的腔室方向流動；

在上述任一實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，複數個氣體輸入管路包含第三氣體輸入管路，第三氣體輸入管路輸出第三氣體，第三氣體的流量需求大於第二氣體的流量需求且小於第一氣體的流量需求。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，該氣體輸送方法還包含：如果第三氣體輸入管路和第一氣體輸入管路不滿足第一條件，利用第三氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出第三氣體至氣體輸出管路中，以使得第三氣體和第二氣體輸出至第二氣體輸出管路中，第一氣體輸出至第一氣體輸出管路中，從而使得第二氣體和第三氣體輸出至氣體輸出管路中的位置相較於第一氣體輸出至氣體輸出管路中的位置更靠近氣體輸出管路向電漿處理設備腔室輸送氣體的輸出端，進而利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第二氣體和第三氣體向電漿處理設備的腔室方向流動的同時，還可縮短第三氣體的輸送路徑，以快速將第二氣體和第三氣體輸送到電漿處理設備的腔室中。

在本發明的另一個實施例中，該氣體輸送方法還包含：如果第三氣體輸入管路和第一氣體輸入管路滿足第一條件，利用第三氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸出第三氣體至氣體輸出管路中，以利用大流量需求的第一氣體推動小流量需求的第三氣體向電漿處理設備的腔室方向流動。

需要說明的是，當複數個氣體輸入管路包含至少四個氣體輸入管路時，不同氣體輸入管路中輸出的氣體流量需求不完全相同。具體的，如果第一氣體為複數個氣體輸入管路中輸出的氣體中流量需求最大的氣體，則在本發明的一個實施例中，該該方法包含：利用第一氣體輸入管路中第一氣體輸出支路輸出第一氣體至氣體輸出管路中，至於其餘氣體，可根據其餘氣體對應的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離和第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體管路輸出管的連接端到預設位置之間的距離的關係，確定該氣體是透過其對應的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路中，還是透過其對應的氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路中。

如果第一氣體不是複數個氣體輸入管路中輸出的氣體中流量需求最大的氣體，則該方法包含：利用複數個氣體輸入管路中的流量需求最大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出流量需求最大的氣體至氣體輸出管路中，至於其餘氣體，可根據其餘氣體對應的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離和流量需求最大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體管路輸出管的連接端到預設位置之間的距離的關係，確定該氣體是透過其對應的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路中，還是透過其對應的氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸入到氣體輸出管路中。

具體的，如果該氣體對應的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離和流量需求最大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體管路輸出管的連接端到預設位置之間的距離滿足第一條件，則利用該氣體對應的氣體輸入管路GS中的第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸出該氣體至氣體輸出管路中；如果該氣體對應的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離與流量需求最大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路到氣體輸出管路的連接端與預設位置之間的距離不滿足第一條件，則利用該氣體對應的氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出該氣體至氣體輸出管路中，以保證該氣體始終位於流量需求最大氣體的傳輸路徑上，使得流量需求最大氣體可以推著該氣體往電漿處理設備的腔室方向流動。

由上可知，本發明實施例所提供的氣體輸送方法，能夠使小流量的氣體始終位於流量需求最大氣體的傳輸路徑上，使得流量需求最大氣體可以推著小流量的氣體往電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的氣體輸出至氣體輸出管路中後，將大部分的小流量需求的氣體堵塞在其自身的氣體輸入管路中，導致小流量需求的氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體供應系統還包含手動閥（manual valve，簡稱MV），手動閥MV位於氣體輸入管路的輸入端，相應的，該氣體輸送方法還包含：利用手動閥MV控制氣體輸入管路的通斷，具體在使用過程中，手動閥MV處於常開狀態以使相應的氣體輸入到氣體輸入管路中。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體供應系統還包含質量流量控制計（即，Mass Flow Controller，簡稱MFC），質量流量控制計MFC位於第一氣體輸出支路和第二氣體輸出支路的公共端與手動閥MV之間，相應的，該氣體輸送方法還包含：利用質量流量控制計MFC控制氣體輸入管路輸出至氣體輸出管路中的氣體流量，向第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路提供其所需的穩定的流量。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體供應系統還包含第三氣動閥（即Third Valve，簡稱TV），第三氣動閥TV位於質量流量控制計MFC和手動閥MV之間，相應的，該氣體輸送方法還包含：利用第三氣動閥TV與質量流量控制計MFC連動控制氣體輸入管路輸入到氣體輸出管路中的氣體流量。

在上述實施例的基礎上，在本發明的一個實施例中，氣體供應系統還包含沿氣體輸入管路的氣體輸送路徑的方向，位於手動閥和氣動閥之間的壓力調節器（即Regulator，簡稱RG）、壓力計（即Pressure Gauge，簡稱PG）和過濾器（即Filter，簡稱F），相應的，該氣體輸送方法還包含：利用壓力調節器RG將氣體輸入管路輸入端輸入的氣體的壓力調節到質量流量控制計MFC可適用的範圍內，且還可將該輸入的氣體的壓力穩壓到質量流量控制計MFC所需求的範圍，以提供穩定的輸入氣體；利用壓力計PG檢測該輸入氣體的壓力，以便於獲取該輸入氣體的壓力；利用過濾器對該輸入氣體進行過濾，以便於獲取純淨的輸入氣體。

相應的，本發明實施例中還提供了一種電漿處理裝置，如圖7所示，該電漿處理裝置包含：真空反應腔1；氣體供應系統2，氣體供應系統2為上述任一實施例中所提供的氣體供應系統，氣體供應系統2用於向真空反應腔1輸送製程氣體。

綜上，本發明實施例所提供的氣體供應系統及其氣體輸送方法、電漿處理裝置，能夠使小流量的氣體始終位於流量需求最大氣體的傳輸路徑上，使得流量需求最大氣體可以推著小流量的氣體往電漿處理設備的腔室方向流動，避免大流量需求的氣體輸出至氣體輸出管路中後，將大部分的小流量需求的氣體堵塞在其自身的氣體輸入管路中，導致小流量需求的氣體對電漿處理製程的改善效果較為有限的問題。

本說明書中各個部分採用並列和遞進的方式描述，每個部分重點說明的都是與其他部分的不同之處，各個部分之間相同相似部分互相參照即可。

對所揭露的實施例的上述說明，使本領域具備通常知識者能夠實現或使用本發明。對這些實施例的多種修改對本領域具備通常知識者來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發明的精神或範圍的情況下，在其它實施例中實現。因此，本發明將不會被限制於本文所示的實施例，而是要符合與本文所揭露的原理和新穎特點相一致的最寬的範圍。

1:真空反應腔 2:氣體供應系統 10,100:氣體輸出管路 101:第一氣體輸出管路 102:第二氣體輸出管路 201:第一組氣體輸入管路 202:第二組氣體輸入管路 A,B:連接端 C:預設位置 GS1~GS6:氣體輸入管路 GS11,GS21:第一氣體輸出支路 GS12,GS22:第二氣體輸出支路 MV,MV1~MV6:手動閥 RG1~RG6:壓力調節器 PG,PG1~PG6:壓力計 F,F1~F6:過濾器 FV1~FV6:第一氣動閥 MFC,MFC1~MFC6:質量流量控制計 SV1~SV6:第二氣動閥 TV,TV1~TV6:第三氣動閥 X:第一方向 Y:第二方向 Z:第三方向 S10,S20:步驟

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對於本領域之具備通常知識者而言，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。 圖1為現有技術中提供的一種氣體供應裝置的結構示意圖； 圖2為本發明實施例中提供的一種氣體供應系統的結構簡化圖； 圖3為本發明實施例中提供的另一種氣體供應系統的結構簡化圖； 圖4為本發明實施例中提供的又一種氣體供應系統的結構簡化圖； 圖5為本發明實施例中提供的一種氣體供應系統的結構示意圖； 圖6為本發明實施例中提供的一種氣體輸送方法流程示意圖； 圖7為本發明實施例中提供的一種電漿處理裝置的示意圖。

100:氣體輸出管路

101:第一氣體輸出管路

102:第二氣體輸出管路

A,B:連接端

C:預設位置

GS1,GS2:氣體輸入管路

GS11,GS21:第一氣體輸出支路

GS12,GS22:第二氣體輸出支路

FV1,FV2:第一氣動閥

SV1,SV2:第二氣動閥

Z:第三方向

Claims (11)

1. 一種氣體供應系統，用於向一電漿處理設備的一腔室輸送氣體，其中，該氣體供應系統包含： 複數個氣體輸入管路，該氣體輸入管路包含並聯的一第一氣體輸出支路和一第二氣體輸出支路； 一氣體輸出管路，該氣體輸出管路包含一第一氣體輸出管路和一第二氣體輸出管路，該第一氣體輸出管路的輸出端與該第二氣體輸出管路的輸入端相連，該第二氣體輸出管路的輸出端用於向該電漿處理設備的腔室輸送氣體； 與該氣體輸入管路一一對應的一控制元件，該控制元件包含控制第一氣體輸出支路通斷的一第一控制元件以及控制第二氣體輸出支路通斷的一第二控制元件； 其中，該第一氣體輸出管路與該複數個氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路的輸出端相連通，該第二氣體輸出管路與該複數個氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路的輸出端相連通； 該複數個氣體輸入管路包含一第一氣體輸入管路和一第二氣體輸入管路，該第一氣體輸入管路中輸出一第一氣體，該第二氣體輸入管路中輸出一第二氣體，該第一氣體的流量需求大於該第二氣體的流量需求，該第一氣體透過該第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出至該氣體輸出管路。
2. 如請求項1所述的氣體供應系統，其中，該複數個氣體輸入管路包含一第一組氣體輸入管路和一第二組氣體輸入管路，其中，該第一組氣體輸入管路包含至少一個沿第一方向排列設置的氣體輸入管路，該第二組氣體輸入管路包含至少一個沿該第一方向排列設置的氣體輸入管路，該第一組氣體輸入管路和該第二組氣體輸入管路沿第二方向排列設置，該第二方向垂直於該第一方向。
3. 如請求項2所述的氣體供應系統，其中，沿該第二方向上，該氣體輸出管路位於該第一組氣體輸入管路和該第二組氣體輸入管路之間。
4. 一種氣體輸送方法，其中，應用於請求項1至請求項3中的任一項所述的氣體供應系統，該氣體輸送方法包含： 獲取複數個氣體輸入管路中輸出的氣體流量需求，該複數個氣體輸入管路包含一第一氣體輸入管路和一第二氣體輸入管路，該第一氣體輸入管路中輸出一第一氣體，該第二氣體輸出管路中輸出一第二氣體，該第一氣體的流量需求大於該第二氣體的流量需求； 控制該第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路打開，該第一氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路關閉，利用該第一氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路輸出該第一氣體至該氣體輸出管路中。
5. 如請求項4所述的氣體輸送方法，其中，利用該第二氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出該第二氣體至該氣體輸出管路中。
6. 如請求項5所述的氣體輸送方法，其中，該複數個氣體輸入管路包含一第三氣體輸入管路，該第三氣體輸入管路中輸出一第三氣體，該第三氣體的流量需求大於該第二氣體的流量需求且小於該第一氣體的流量需求，該氣體輸送方法還包含： 利用該第三氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出該第三氣體至該氣體輸出管路中。
7. 如請求項4所述的氣體輸送方法，其中，如果該第一氣體輸入管路和該第二氣體輸入管路的相對位置滿足第一條件，利用該第二氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸出該第二氣體至該氣體輸出管路中； 如果該第一氣體輸入管路和該第二氣體輸入管路的相對位置不滿足第一條件，利用該第二氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出該第二氣體至該氣體輸出管路中； 其中，該第一條件包含：沿第三方向上，流量需求大的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與該氣體輸出管路的連接端到預設位置之間的距離大於流量需求小的氣體輸入管路中的第一氣體輸出支路與該氣體輸出管路的連接端到該預設位置之間的距離，該預設位置為該氣體輸出管路輸出至該電漿處理設備的腔室的一端，該第三方向為該氣體輸出管路中的氣體流動方向。
8. 如請求項7所述的氣體輸送方法，其中，該複數個氣體輸入管路包含一第三氣體輸入管路，該第三氣體輸入管路輸出一第三氣體，該第三氣體的流量需求大於該第二氣體的流量需求且小於該第一氣體的流量需求。
9. 如請求項8所述的氣體輸送方法，其中，該氣體輸送方法還包含： 如果該第三氣體輸入管路和該第一氣體輸入管路不滿足該第一條件，利用該第三氣體輸入管路中的第二氣體輸出支路輸出該第三氣體至該氣體輸出管路中。
10. 如請求項8所述的氣體輸送方法，其中，該氣體輸送方法還包含： 如果該第三氣體輸入管路和該第一氣體輸入管路滿足該第一條件，利用該第三氣體輸入管路中的該第一氣體輸出支路或第二氣體輸出支路輸出該第三氣體至該氣體輸出管路中。
11. 一種電漿處理裝置，其中，包含：真空反應腔和請求項1至請求項3中的任一項所述的氣體供應系統，該氣體供應系統用於向該真空反應腔輸送製程氣體。

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