TW202111236A - 油壓驅動系統及閘閥 - Google Patents

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Abstract

本發明之油壓驅動系統係一種在被設為真空環境之腔室內可按壓對象物地進行伸縮之油壓驅動系統。油壓驅動系統具有真空致動器、及油壓驅動部。前述油壓驅動部具備：油壓產生部、驅動前述油壓產生部之驅動部、及對前述驅動部饋電之電源。可藉由自前述油壓驅動部供給至固定部之作動油壓而驅動伸縮桿。於前述驅動部設置逆轉對應部，該逆轉對應部在前述伸縮桿藉由油壓彈推構件之彈推力朝自前述對象物離開之方向移動時，與馬達之逆轉狀態對應。

Description

油壓驅動系統及閘閥
本發明係關於一種油壓驅動系統及閘閥，特別係關於一種使用於可在真空中進行油壓驅動、且具有可回彈之真空致動器之油壓驅動系統、及使用油壓驅動系統之擺動式閘閥之較佳之技術。
於真空裝置等中，設置有用於在被設為真空環境之腔室內按壓對象物之伸縮致動器。作為如此之伸縮致動器，基於防止腔室內之污染等之觀點，已公知一種於真空環境之腔室外配置驅動部，使腔室內之伸縮部驅動之構成。 例如，作為伸縮致動器，有電磁驅動型、壓空驅動型、油壓驅動型等。
對此，本發明人等進行關於如下之擺動式閘閥之申請，該擺動式閘閥具有油壓驅動型之伸縮致動器作為在密閉時將閥體朝閥箱開口按壓之彈推部(專利文獻1)。
此處，關於伸縮致動器之油壓之供給，係由油壓產生部之彈簧等彈推構件、與自電源被饋電之馬達擔負伸縮桿之伸長及退縮之任一者。 將包含如此之伸縮致動器之構成、及伸縮致動器之動作稱為回彈。
作為閘閥，除了大面積下之隔斷動作之高信賴性以外，還追求在電源供給之消失、或壓空等之控制流體驅動壓力之消失等的緊急時刻，能夠進行關閉流路之常閉動作。 所謂該常閉動作，意指在進行閥隔斷動作時在使閥體等驅動之供給電力或壓空等動力源未作用之狀態等下，能夠進行關閉流路之動作、及維持關閉流路之狀態。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利第6358727號公報
[發明所欲解決之課題]
鑒於安全性，為了實現常閉動作，而需要兼顧利用由馬達產生之油壓進行之通常驅動、及由除通常之饋電時外並在非常時即停電時之回彈進行之緊急動作。 然而，當在停電時將回彈設為可能之情形下，若對饋電已消失之油壓產生用之馬達進行由彈簧實施之緊急動作，則存在如下之問題。
首先，在停電時，在回彈下而油壓逆流時，於油壓產生部中，馬達之旋轉軸同時被逆轉。如是，於在饋電消失狀態下逆轉之馬達中，產生回生電力。 此處，於可進行大面積下之隔斷動作之閘閥中，為了使閥體驅動而使用額定電流極大之馬達。因此，由於上述之回生電力變得極大，故有可能將與馬達連接之電子零件破損。因此，存在企圖防止回生電力對電子零件等之破損之要求。
又，於可進行大面積下之隔斷動作之閘閥中，由於閥體之重量較大，為了使該閥體驅動，而需要轉矩較大之馬達。 因此，在採用DC有刷馬達等作為油壓產生用之馬達之情形下，存在因較大之齒槽轉矩而對停電時之由彈簧實施之油壓產生用之馬達之逆轉帶來障礙之情形。 因此，有可能回彈之馬達之逆轉被齒槽轉矩阻礙。
該情形下，有可能閘閥之閥體之閉合動作無法順利進行。 或者是，有時會發生閥體附近之故障等不良狀況。存在如此之防止齒槽轉矩對常閉動作之影響而企圖提高閘閥之常閉之動作確實性之要求。
又，藉由使用伺服馬達等，而可減輕齒槽轉矩對常閉動作之影響，但在該情形下，存在因伺服馬達之電力消耗變高而並非理想之問題。
本發明係鑒於上述事態而完成者，且試圖達成以下之目的。 1.在可進行油壓驅動、且具有回彈機構之油壓驅動系統中，提高緊急時之動作確實性。 2.減輕齒槽轉矩之影響。 3.減輕對緊急時之由回彈所致之馬達之逆轉之影響。 4.防止緊急時之不良狀況發生。 5.降低電力消耗。 6.增長零件之壽命，而降低保養維修等之必要性。 [解決問題之技術手段]
本發明之油壓驅動系統係具有在被設為真空環境之腔室內可按壓對象物地進行伸縮之真空致動器者，且具有：藉由自外部被供給之作動油壓而驅動之前述真空致動器、及對前述真空致動器供給作動油壓之油壓驅動部。 前述油壓驅動部具備：使作動油壓產生之油壓產生部、驅動前述油壓產生部之驅動部、及對前述驅動部饋電之電源，且於前述驅動部設置馬達及油壓彈推構件，能夠以在前述油壓產生部產生彼此逆向之作動油壓之方式驅動前述油壓產生部。 真空致動器具有可向前述對象物伸縮之伸縮桿、及將前述伸縮桿伸縮之固定部，可藉由自前述油壓驅動部供給至前述固定部之作動油壓而驅動前述伸縮桿。 藉由在前述驅動部設置逆轉對應部而解決上述課題，該逆轉對應部在前述伸縮桿藉由前述油壓彈推構件之彈推力朝與前述對象物接近之方向移動時，與前述馬達之逆轉狀態對應。 本發明之油壓驅動系統可於前述逆轉對應部設置勵磁制動器，該勵磁制動器具有在有來自前述電源之饋電之狀態下將前述馬達之旋轉驅動軸停止之制動功能。 在本發明之油壓驅動系統中，較佳的是於前述逆轉對應部設置勵磁離合器，該勵磁離合器具有在無來自前述電源之饋電之狀態下將前述馬達之旋轉驅動軸自前述油壓產生部解除連結之離合器功能。 於本發明之油壓驅動系統中，於前述逆轉對應部設置回生電流處理部。 前述馬達可設為DC無芯無刷馬達。 又，於本發明之油壓驅動系統中，前述馬達亦可被設為DC有刷馬達。 本發明之閘閥係可進行常閉動作之閘閥，具備：中空部；閥箱，其具有以隔著前述中空部而彼此對向之方式設置而成為連通之流路之第1開口部及第2開口部；閥體，其可開放及閉合前述流路；旋轉軸，其在前述中空部內之退避位置與閥開口遮蔽位置之間將前述閥體可旋轉地支持，且具有在流路方向延伸之軸線；旋轉驅動部，其可旋轉驅動前述閥體；可動閥部，其可變更在前述流路方向上之位置地設置於前述閥體；閥箱彈推部，其設置於前述閥箱，將前述閥開口遮蔽位置之前述可動閥部朝前述流路方向移動且關閉；及油壓驅動部，其藉由作動油之給排而驅動前述閥箱彈推部。 前述閥箱彈推部為上述之任一記載之油壓驅動系統之前述真空致動器。 前述油壓驅動部為上述任一記載之油壓驅動系統之前述油壓驅動部。 前述閥體可為上述任一記載之油壓驅動系統之前述對象物。
本發明之油壓驅動系統係具有在被設為真空環境之腔室內可按壓對象物地進行伸縮之真空致動器者，且具有：藉由自外部供給之作動油壓而驅動之前述真空致動器、及對前述真空致動器供給作動油壓之油壓驅動部。 前述油壓驅動部具備：使作動油壓產生之油壓產生部、驅動前述油壓產生部之驅動部、及對前述驅動部饋電之電源；且於前述驅動部設置馬達及油壓彈推構件，能夠以在前述油壓產生部產生彼此逆向之作動油壓之方式驅動前述油壓產生部。 真空致動器具有可向前述對象物伸縮之伸縮桿、及將前述伸縮桿伸縮之固定部，可藉由自前述油壓驅動部供給至前述固定部之作動油壓而驅動前述伸縮桿。 於前述驅動部設置逆轉對應部，該逆轉對應部在前述伸縮桿藉由前述油壓彈推構件之彈推力朝與前述對象物接近之方向移動時，與前述馬達之逆轉狀態對應。 藉此，於油壓驅動系統中，在通常之饋電時，藉由利用由油壓驅動部供給之油壓來驅動真空致動器，使伸縮桿退縮，而解除朝對象物之按壓。又，在油壓驅動系統中，藉由油壓彈推構件之彈推力使伸縮桿伸長而按壓對象物。藉此，可提供具有回彈功能之油壓驅動系統。 又，在油壓驅動系統中，在自電源對驅動部之供給電力消失之斷電時，油壓藉由油壓彈推構件之彈推力朝真空致動器側逆流。此時，在油壓驅動系統中，即便在驅動部之馬達逆轉之情形下，亦可藉由逆轉對應部與在馬達中產生之旋轉軸之逆轉相對應，而防止油壓驅動系統破損、或在真空致動器中產生破損等不良狀況。 具體而言，可抑制由在馬達中產生之回生電力對其他零件之影響，或者是，可在馬達中不產生旋轉軸之逆轉。
本發明之油壓驅動系統於前述逆轉對應部設置勵磁制動器，該勵磁制動器具有在有來自前述電源之饋電之狀態下停止前述馬達之旋轉驅動軸之制動功能。 藉此，於通常之饋電時，可藉由勵磁制動器來防止馬達之旋轉軸不慎進行逆轉。又，在自電源朝驅動部之供給電力消失之斷電時，可停止勵磁制動器之制動功能。藉此，在油壓藉由油壓彈推構件之彈推力朝真空致動器逆流時，迅速使驅動部之馬達逆轉，而可無障礙地呈現常閉功能。
在本發明之油壓驅動系統中，於前述逆轉對應部設置勵磁離合器，該勵磁離合器具有在無來自前述電源之饋電之狀態下將前述馬達之旋轉驅動軸自前述油壓產生部進行連結解除之離合器功能。 藉此，在通常之饋電時，可藉由勵磁離合器將馬達之旋轉驅動力迅速傳遞至油壓產生部而驅動真空致動器。又，在自電源朝驅動部之供給電力消失之斷電時，可將馬達之旋轉驅動軸自前述油壓產生部進行連結解除。藉此，在油壓藉由油壓彈推構件之彈推力朝真空致動器逆流時，防止藉由油壓彈推構件之彈推力而逆轉之油壓產生部之動作被傳遞至馬達，從而可防止馬達逆轉。
於本發明之油壓驅動系統中，於前述逆轉對應部設置有回生電流處理部。前述馬達設為DC無芯無刷馬達。 藉此，可獲得電力消耗少且充分之驅動轉矩，且抑制在馬達之逆轉時產生之回生電力對其他零件帶來之影響。實現回彈之功能、與充分之逆轉對策，而使長壽命之油壓驅動系統在真空環境下運轉。
又，在本發明之油壓驅動系統中，前述馬達設為DC有刷馬達。 藉此，可獲得電力消耗少且充分之驅動轉矩，且抑制在馬達之逆轉時產生之回生電力對其他零件帶來之影響。實現回彈之功能、與充分之逆轉對策，而使長壽命之油壓驅動系統在真空環境下運轉。
本發明之閘閥係可進行常閉動作之閘閥，具備：中空部；閥箱，其具有以隔著前述中空部而彼此對向之方式設置而成為連通之流路之第1開口部及第2開口部；閥體，其可開放及閉合前述流路；旋轉軸，其在前述中空部內之退避位置與閥開口遮蔽位置之間將前述閥體可旋轉地支持，且具有在流路方向延伸之軸線；旋轉驅動部，其可旋轉驅動前述閥體；可動閥部，其可變更在前述流路方向上之位置地設置於前述閥體；閥箱彈推部，其設置於前述閥箱，將前述閥開口遮蔽位置之前述可動閥部朝前述流路方向移動且關閉；及油壓驅動部，其藉由作動油之給排而驅動前述閥箱彈推部。 前述閥箱彈推部為上述之任一記載之油壓驅動系統之前述真空致動器。 前述油壓驅動部為上述任一記載之油壓驅動系統之前述油壓驅動部。 前述閥體為上述任一記載之油壓驅動系統之前述對象物。 藉此，在通常之饋電時，藉由利用油壓驅動部之油壓彈推構件供給之油壓而驅動真空致動器。藉由使伸縮桿伸長，而可使被按壓之閥體關閉，且藉由驅動部之驅動而使伸縮桿退縮，解除對閥體之按壓而設為開閥。藉此，可提供一種具有回彈功能之閘閥。 又，在自電源朝驅動部之供給電力消失之斷電時，在油壓藉由油壓彈推構件之彈推力自油壓產生部朝閥箱彈推部(固定部)逆流時，可考量驅動部之馬達逆轉之情形。即便在此情形下，亦可藉由逆轉對應部與在馬達中產生之旋轉軸之逆轉相對應，而防止油壓驅動系統破損、或在真空致動器中產生破損等不良狀況。 具體而言，可抑制由在馬達中產生之回生電力對其他零件之影響，或者是，可在馬達中不產生旋轉軸之逆轉。 進而，於通常之饋電時，可藉由勵磁制動器來防止馬達之旋轉軸不慎進行逆轉。又，在自電源朝驅動部之供給電力消失之斷電時，可停止勵磁制動器之制動功能。藉此，在油壓藉由油壓彈推構件之彈推力而自油壓產生部朝閥箱彈推部(固定部)逆流時，迅速使驅動部之馬達逆轉，而可無障礙地呈現常閉功能。 或者是，在通常之饋電時，可藉由勵磁離合器將馬達之旋轉驅動力迅速傳遞至油壓產生部而驅動真空致動器。又，在自電源朝驅動部之供給電力消失之斷電時，可將馬達之旋轉驅動軸自前述油壓產生部進行連結解除。藉此，在油壓藉由油壓彈推構件之彈推力自油壓產生部朝閥箱彈推部(固定部)逆流時，防止藉由油壓彈推構件之彈推力而逆轉之油壓產生部之動作被傳遞至馬達，從而可防止馬達逆轉。 [發明之效果]
根據本發明，可提供一種能夠發揮以下之效果之油壓驅動系統及閘閥。 1.在可進行油壓驅動、且具有回彈機構之油壓驅動系統中，提高緊急時之動作確實性。 2.減輕齒槽轉矩之影響。 3.減輕對緊急時之由回彈所致之馬達之逆轉之影響。 4.防止緊急時之不良狀況發生。 5.降低電力消耗。 6.增長零件之壽命，而降低保養維修等之必要性。
以下，對於本發明之第1實施形態之油壓驅動系統基於圖式進行說明。 圖1係顯示本實施形態之油壓驅動系統之示意圖，在圖1中，符號700為油壓驅動部。
本實施形態之油壓驅動系統如圖1所示般具有回彈功能，且具有油壓驅動部700、及真空致動器70。
本實施形態之真空致動器70為可在被設為真空環境之腔室Ch內按壓對象物之伸縮致動器。本實施形態之真空致動器70，由於被油壓控制，而可將其按壓力控制為特定之值。
本實施形態之真空致動器70如圖1所示般，具有：伸縮桿(可動部)72、彈推構件(按壓彈簧)73、及固定部71。
在本實施形態中，真空致動器70之固定部71固定於真空裝置之腔室之壁部、底部、或腔室內之機構等。 在本實施形態中，真空致動器70之可動部(伸縮桿)72可自固定部71向被設為真空環境之腔室Ch內伸縮。
真空致動器70配置為彈推構件(按壓彈簧)73可朝自對象物離開之方向彈推可動部(伸縮桿)72。 於真空致動器70中，如圖1所示般，藉由彈推構件(按壓彈簧)73之彈推力而退縮之可動部(伸縮桿)72自對象物離開而被收納於固定部71。
真空致動器70之驅動藉由自油壓驅動部700被供給之油壓(非壓縮性流體)而進行。
油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700如圖1所示般，具有：油壓產生部701、油壓管702、油壓彈推構件720、及驅動部705。 油壓產生部701使供給至固定部71之油壓產生。 油壓管702連接於油壓產生部701與真空致動器70之固定部71。 油壓驅動部700為可進行常閉動作之構成。
油壓產生部701藉由驅動部705之驅動、或油壓彈推構件720之彈推力而產生動作方向或反方向之油壓。
油壓產生部701在將可動部(伸縮桿)72進行伸長動作時，藉由油壓彈推構件720之彈推力而產生油壓，且將作動油以朝真空致動器70流動之方式供給。 又，油壓產生部701在動作結束時，維持油壓狀態而可維持將可動部(伸縮桿)72伸縮之狀態。又，可適切地控制按壓力等、可動部(伸縮桿)72對於對象物之抵接狀態。
驅動部705具有馬達705m。 馬達705m在將可動部(伸縮桿)72進行退縮動作時，產生大於油壓彈推構件720之彈推力之驅動力，以自真空致動器70將作動油朝油壓產生部701流動之方式驅動油壓產生部701。 馬達705m為DC無芯無刷馬達。 驅動部705具有停止馬達705m之旋轉軸之旋轉之勵磁制動器705b。
驅動部705具有回生電流處理部705c，其處理在馬達705m之旋轉軸相對於驅動方向逆轉時產生之回生電力。 驅動部70與控制部(controller，控制器)706連接而被控制。 驅動部705與電源707連接，而被供給用於對驅動部705進行驅動之電力。
真空致動器70藉由自油壓驅動部700供給之作動油壓而產生大於彈推構件(按壓彈簧)73之彈推力之驅動力，驅動可動部(伸縮桿)72。 真空致動器70可藉由油壓驅動部700而回彈。 所謂回彈，意指油壓產生部701藉由油壓彈推構件720之彈推力，自油壓產生部701朝真空致動器70流動作動油，朝與馬達705m之動作方向反向地驅動可動部(伸縮桿)72。
於驅動部705設置逆轉對應部。逆轉對應部在可動部(伸縮桿)72藉由油壓彈推構件720之彈推力朝與對象物接近之方向移動之回彈時，與馬達705m之逆轉狀態相對應。
勵磁制動器705b與回生電流處理部705c構成逆轉對應部。 勵磁制動器705b具有在有來自電源707之饋電之狀態下停止馬達705m之旋轉驅動軸之制動功能。
勵磁制動器705b在自電源707朝驅動部705被供給電力之狀態、即通常之饋電時，防止馬達705m之旋轉軸不慎逆轉。 勵磁制動器705b在自電源707朝驅動部705之供給電力消失之斷電時，可停止制動功能。
或者是，勵磁制動器705b在通常之饋電時藉由控制部(controller，控制器)706之控制，而可解除對馬達705m之制動功能。 再者，作為勵磁制動器705b，可使用公知之制動器，而不限定其構成。
回生電流處理部705c可為回生電阻，其消耗在藉由回彈而將可動部(伸縮桿)72進行伸長動作時，即，在作動油自油壓產生部701朝真空致動器70逆流時，由旋轉軸進行逆旋轉之馬達705m而產生之回生電力，而抑制對其他驅動部之影響。 或者是，回生電流處理部705c可為如控制由逆旋轉之馬達705m產生之回生電力之電流方向而不流入電源707的二極體等。 再者，作為回生電流處理部705c，可使用公知之電路或裝置等處理部，而不限定其構成。
在本實施形態之油壓驅動系統中，在通常之饋電時，在油壓驅動部700中，以作動油朝被馬達705m引入之方向之方式使油壓產生部701動作。 藉此，在真空致動器70中，藉由內部之彈推構件(按壓彈簧)73之彈推力，而可動部(伸縮桿)72朝固定部71退縮。藉此，解除可動部(伸縮桿)72朝對象物之按壓。
又，在本實施形態之油壓驅動系統中，在油壓驅動部700中，以作動油朝被油壓彈推構件720壓出之方向之方式使油壓產生部701動作。藉此，在真空致動器70中，藉由被供給至固定部71之油壓，而可動部(伸縮桿)72自固定部71伸長。藉此，藉由可動部(伸縮桿)72而按壓對象物。 如此般，油壓產生部701之藉由油壓彈推構件720，使真空致動器70之可動部(伸縮桿)72伸長而按壓對象物之動作成為回彈。
在回彈時，在將可動部(伸縮桿)72進行動作時，藉由油壓彈推構件720之彈推力，而作動油自油壓產生部701朝真空致動器70逆流。 同時，藉由油壓彈推構件720之彈推力，而馬達705m之旋轉軸逆旋。 旋轉軸進行逆旋轉之馬達705m產生回生電力。
此處，在自電源707朝驅動部705被供給電力之狀態下，即，當在通常之饋電時產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，控制部(controller，控制器)706以解除對馬達705m之制動功能之方式控制逆轉對應部之勵磁制動器705b。
此時，控制部(controller，控制器)706可進行下述控制，即：控制自電源707朝驅動部705之供給電力，以使馬達705m之逆轉速度為特定之狀態之方式抑制轉速。藉此，可抑制在馬達705m中產生必要以上之回生電力。 再者，由逆旋轉之馬達705m產生之回生電力被逆轉對應部之回生電流處理部705c或者消耗，或者控制電流方向。藉此，抑制回生電力對其他驅動部帶來影響。
又，在自電源707朝驅動部705之電力供給消失之狀態，即在斷電時產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，電力供給消失之逆轉對應部之勵磁制動器705b解除對馬達705m之制動功能。
此時，馬達705m之逆轉速度較大，而產生較大之回生電力，但由逆旋轉之馬達705m產生之回生電力被逆轉對應部之回生電流處理部705c或者消耗，或者控制電流方向。藉此，抑制回生電力對其他零件帶來影響。
藉此，油壓驅動系統具有回彈功能，且藉由逆轉對應部之勵磁制動器705b與回生電流處理部705c，使逆旋轉之馬達705m空轉，而抑制油壓之逆流產生時之影響。
藉此，即便在產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，藉由逆轉對應部之勵磁制動器705b與回生電流處理部705c，可與油壓產生部701之驅動系之逆轉相對應，可使逆旋轉之馬達705m空轉，而防止油壓驅動系統破損、或在真空致動器70中產生破損等不良狀況。
因此，可抑制在馬達705m中產生之回生電力對其他零件之影響。或者是，在馬達705m中，可設為不產生旋轉軸之逆轉。
藉此，可獲得電力消耗少且充分之驅動轉矩，且抑制在馬達705m之逆轉時產生之回生電力對其他零件帶來之影響。實現回彈之功能、與充分之逆轉對策，而使長壽命之油壓驅動系統在真空環境下運轉。
又，在產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，無須使用電磁閥等遮斷自油壓產生部701朝真空致動器70逆流之油壓。因此，可提高作為油壓驅動系統之動作確實性，且可謀求零件之長壽命。同時，即便減少保養維修之次數，亦可謀求信賴性之提高。
以下，對於本發明之第2實施形態之油壓驅動系統基於圖式進行說明。 圖2係顯示本實施形態之油壓驅動系統之示意圖，在圖2中，符號700為油壓驅動部。
本實施形態之油壓驅動系統如圖2所示般具有回彈功能，且具有油壓驅動部700、及真空致動器70。
本實施形態之真空致動器70為可在被設為真空環境之腔室Ch內按壓對象物之伸縮致動器。本實施形態之真空致動器70，由於被油壓控制，而可將其按壓力控制為特定之值。
本實施形態之真空致動器70如圖2所示般，具有：伸縮桿(可動部)72、凸緣部773、彈推構件(按壓彈簧)73、及固定部71。
在本實施形態中，真空致動器70之固定部71固定於真空裝置之腔室之壁部、底部、或腔室內之機構等。 在本實施形態中，真空致動器70之可動部(伸縮桿)72可自固定部71向被設為真空環境之腔室Ch內伸縮。
真空致動器70配置為彈推構件(按壓彈簧)73可朝自對象物離開之方向彈推可動部(伸縮桿)72。 於真空致動器70中，如圖2所示般，藉由彈推構件(按壓彈簧)73之彈推力而退縮之可動部(伸縮桿)72自對象物離開而被收納於固定部71。
真空致動器70之驅動藉由自油壓驅動部700被供給之油壓(非壓縮性流體)而進行。
油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700如圖2所示般，具有：油壓產生部701、油壓管702、油壓彈推構件720、及驅動部705。 油壓產生部701使供給至固定部71之油壓產生。 油壓管702自油壓產生部701連接於真空致動器70之固定部71。 油壓驅動部700為可進行常閉動作之構成。
油壓產生部701藉由驅動部705之驅動、或油壓彈推構件720之彈推力而產生動作方向或反方向之油壓。
油壓產生部701在將可動部(伸縮桿)72進行伸長動作時，藉由油壓彈推構件720之彈推力而產生油壓，且將作動油以朝真空致動器70流動之方式供給。 又，油壓產生部701在動作結束時，維持油壓狀態而可維持將可動部(伸縮桿)72伸縮之狀態。又，可適切地控制可動部(伸縮桿)72對於對象物之抵接狀態。
驅動部705具有馬達705m。 馬達705m在將可動部(伸縮桿)72進行退縮動作時，產生大於油壓彈推構件720之彈推力之驅動力，以自真空致動器70將作動油朝油壓產生部701流動之方式驅動油壓產生部701。 馬達705m為DC有刷馬達。 驅動部705具有停止馬達705m之旋轉軸之旋轉之勵磁制動器705b。
驅動部705具有勵磁離合器705d，其在馬達705m之旋轉軸相對於驅動方向進行逆轉時，將旋轉軸自油壓產生部701之驅動路徑切離。 驅動部70與控制部(controller，控制器)706連接而被控制。 驅動部705與電源707連接，而被供給用於對驅動部705進行驅動之電力。
真空致動器70藉由自油壓驅動部700供給之作動油壓而產生大於彈推構件(按壓彈簧)73之彈推力之驅動力，驅動可動部(伸縮桿)72。 真空致動器70可藉由油壓驅動部700而回彈。 所謂回彈，意指油壓產生部701藉由油壓彈推構件720之彈推力，自油壓產生部701朝真空致動器70流動作動油，朝與馬達705m之動作方向反向地驅動可動部(伸縮桿)72。
於驅動部705設置逆轉對應部。逆轉對應部在可動部(伸縮桿)72藉由油壓彈推構件720之彈推力朝與對象物接近之方向移動之回彈時，與馬達705m之逆轉狀態相對應。
勵磁制動器705b與勵磁離合器705d構成逆轉對應部。 勵磁制動器705b具有在有來自電源707之饋電之狀態下停止馬達705m之旋轉驅動軸之制動功能。此時，可將馬達705m之齒槽轉矩用作制動器。
勵磁制動器705b在自電源707朝驅動部705被供給電力之狀態、即通常之饋電時，防止馬達705m之旋轉軸不慎逆轉。 勵磁制動器705b在自電源707朝驅動部705之供給電力消失之斷電時，可停止制動功能。
或者是，勵磁制動器705b在通常之饋電時藉由控制部(controller，控制器)706之控制，而可解除對馬達705m之制動功能。 再者，作為勵磁制動器705b，可使用公知之制動器，而不限定其構成。
勵磁離合器705d在藉由回彈將可動部(伸縮桿)72進行伸長動作時，即在作動油自油壓產生部701朝真空致動器70逆流時，將馬達705m自藉由油壓彈推構件720之彈推力逆旋轉之油壓產生部701之驅動系統切離。 即，勵磁離合器705d具有下述離合器功能，即：在作動油藉由油壓彈推構件720之彈推力而逆流時，將馬達705m之旋轉驅動軸705a自油壓產生部701之驅動系統解除連結。
藉此，即便在藉由油壓彈推構件720之彈推力而油壓產生部701之驅動系統進行逆旋轉之情形下，亦可防止該油壓產生部701之驅動系統將逆旋轉傳遞至馬達705m之旋轉軸。 勵磁離合器705d可防止馬達705m之旋轉軸逆轉。
勵磁離合器705d在自電源707朝驅動部705被供給電力之狀態，即在通常之饋電時，在藉由回彈而將可動部(伸縮桿)72進行伸長動作時，維持馬達705m之旋轉軸在油壓產生部701之驅動系統中連接之狀態。
勵磁離合器705d在自電源707朝驅動部705之供給電力消失之斷電時，可將馬達705m自油壓產生部701之驅動系統切離。 再者，作為勵磁離合器705d，可使用公知之離合器，而不限定其構成。
在本實施形態之油壓驅動系統中，在通常之饋電時，在油壓驅動部700，以作動油朝被馬達705m引入之方向之方式使油壓產生部701動作。 藉此，在真空致動器70中，藉由內部之彈推構件(按壓彈簧)73之彈推力，而可動部(伸縮桿)72朝固定部71退縮。藉此，解除可動部(伸縮桿)72朝對象物之按壓。
又，在本實施形態之油壓驅動系統中，在油壓驅動部700中，藉由油壓彈推構件720以作動油朝被壓出之方向使油壓產生部701動作。藉此，在真空致動器70中，藉由被供給至固定部71之油壓，而可動部(伸縮桿)72自固定部71伸長。藉此，藉由可動部(伸縮桿)72而按壓對象物。
如此般，油壓產生部701之藉由油壓彈推構件720，使真空致動器70之可動部(伸縮桿)72伸長而按壓對象物之動作成為回彈。
在藉由回彈而將可動部(伸縮桿)72進行動作時，藉由油壓彈推構件720之彈推力，而作動油壓自油壓產生部701朝真空致動器70逆流。 同時，藉由油壓彈推構件720之彈推力，而油壓產生部701之驅動系統逆旋轉。 逆旋轉之油壓產生部701之驅動系統被原樣朝馬達705m之旋轉軸傳遞，而使回生電力產生。
此處，在自電源707朝驅動部705被供給電力之狀態下，即，當在通常之饋電時產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，控制部(controller，控制器)706以解除對馬達705m之制動功能之方式控制逆轉對應部之勵磁制動器705b。 同時，控制部(controller，控制器)706以維持馬達705m之旋轉軸與油壓產生部701之驅動系統連接之狀態之方式，控制勵磁離合器705d。
此時，控制部(controller，控制器)706可進行下述控制，即：控制自電源707朝驅動部705之供給電力，以使馬達705m之逆轉速度為特定之狀態之方式抑制轉速。藉此，可抑制在馬達705m中產生必要以上之回生電力。
又，在自電源707朝驅動部705之電力供給消失之狀態，即在斷電時產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，電力供給消失之逆轉對應部之勵磁制動器705b解除對馬達705m之制動功能。 同時，電力供給消失之逆轉對應部之勵磁離合器705d，成為馬達705m之旋轉軸與油壓產生部701之驅動系統被切斷之狀態。
此時，油壓產生部701之驅動系統之逆轉速度雖然大，但因勵磁離合器705d被切斷，故馬達705m不逆旋轉。因此，在馬達705m中，不產生回生電力。 藉此，防止回生電力對其他零件帶來影響。
藉此，油壓驅動系統具有回彈功能，且藉由逆轉對應部之勵磁制動器705b與勵磁離合器705d，使油壓產生部701之驅動系統空轉，而不使馬達705m逆旋轉從而可防止因油壓之逆流造成之影響。
藉此，即便在產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，藉由逆轉對應部之勵磁制動器705b與勵磁離合器705d，可與油壓產生部701之驅動系之逆轉相對應，而防止油壓驅動系統破損、或在真空致動器70中產生破損等不良狀況。
因此，於馬達705m中，可不產生旋轉軸之逆轉。或者是，可抑制在馬達705m中產生之回生電力對其他零件之影響。
藉此，可獲得電力消耗少且充分之驅動轉矩，且在由油壓彈推構件720之彈推力所致之油壓產生部701之驅動系統之逆轉時，不產生回生電力，從而抑制對其他零件帶來之影響。實現回彈之功能、與充分之逆轉對策，而使長壽命之油壓驅動系統在真空環境下運轉。
又，在產生由油壓彈推構件720所致之回彈之情形下，無須使用電磁閥、滑軸閥等遮斷自真空致動器70朝油壓產生部701逆流之油壓。因此，可提高作為油壓驅動系統之動作確實性，且可謀求零件之長壽命。同時，即便減少保養維修之次數，亦可謀求信賴性之提高。 又，由於無須具備處理回生電力之構成，故可將油壓驅動系統小型化，從而省空間地構成油壓驅動系統。
藉由將馬達705m設為DC有刷馬達，雖然有時有齒槽轉矩之力之損失之情形，但可防止該情形。又，即便在將馬達705m設為DC有刷馬達之情形下，在為了提高馬達705m之輸出而增大額定之情形下，齒槽轉矩亦與其成比例地變強，但可防止該情形。
又，藉由將馬達705m之齒槽轉矩用作制動器，而可實現簡單之零件構成。 或者是，藉由使用馬達本身之齒槽轉矩為零或儘可能小之馬達而可降低油壓之損失。 藉由根據馬達變更逆轉對應部之構成之組合，而能夠進行廣範圍之馬達之選擇，且可在不伴隨著控制之繁雜化下能夠實現低價且簡潔之構成。
以下，對於本發明之第3實施形態之油壓驅動系統及閘閥基於圖式進行說明。
圖3係顯示本實施形態之閘閥之退避位置(閥開放位置)之沿著流路之示意剖視圖。圖4係顯示本實施形態之閘閥之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)之沿著流路之示意剖視圖。圖5係顯示本實施形態之閘閥之閥閉合位置之沿著流路之示意剖視圖。 在本實施形態中，對與上述之第1或第2實施形態對應之構成賦予相同之符號且省略其說明。在圖3～圖5中，符號100為閘閥。
在本實施形態之油壓驅動系統中，如圖3～圖5所示般，真空致動器70在閘閥100中具備設在閥閉合位置之真空致動器(彈推部、按壓缸體)70。 又，在本實施形態之油壓驅動系統中，如圖3～圖5所示般，油壓驅動部700驅動設在閥閉合位置之真空致動器(彈推部、按壓缸體)70。
本實施形態之閘閥100為可進行常閉動作之擺動型滑閥。本實施形態之閘閥100如圖3～圖5所示般，具備：閥箱10、中空部11、閥體5、旋轉軸20、旋轉驅動部21、及油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700。
閥箱10具有：中空部11；以及第1開口部12a及第2開口部12b，其等以隔著中空部11而彼此對向之方式設置而成為連通之流路H。 流路H自第2開口部12b向第1開口部12a設定。
閥體5配置於閥箱10之中空部11內，可開放及閉合流路H。 旋轉軸20具有在流路H方向延伸之軸線。 旋轉軸20在中空部11內之退避位置(閥開放位置)與閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)之間將閥體5可旋轉地支持。
在退避位置(閥開放位置)，設為閥體5自第1開口部12a退避而可將流路H連通之開放狀態(圖3)。在閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)，設為閥體5遮蔽第1開口部12a之可閉合狀態(圖4)。
閘閥100在退避位置(閥開放位置)與閥閉合位置(圖5)之間動作。 旋轉驅動部21可旋轉驅動旋轉軸20。 旋轉驅動部21可使閥體5往復旋轉動作。
閥體5包含：中立閥部30，其與旋轉軸20連接；閥框部63，其與中立閥部30連接；及可動閥部(可動閥板部)54，其與閥框部63連接。 中立閥部30固定於旋轉軸20。 中立閥部30維持中空部11在流路H方向之中央位置。
閥框部63位於可動閥部(可動閥板部)54之周圍。閥框部63固定於中立閥部30。閥框部63與中立閥部30一起，在退避位置(閥開放位置)與閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)及閥閉合位置，維持中空部11之中央位置。
可動閥部(可動閥板部)54可相對於閥框部63於流路H方向滑動。 可動閥部(可動閥板部)54在閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)與閥閉合位置，可相對於閥框部63變更流路H方向上之位置。
可動閥部(可動閥板部)54在退避位置(閥開放位置)及退避位置(閥開放位置)與閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)之間，維持中空部11之中央位置。 於可動閥部(可動閥板部)54，設置密接於位於第1開口部12a之周圍之閥箱10之內面之閥板密封墊。
彈推部(按壓缸體)70設置為埋入閥箱10。彈推部(按壓缸體)70沿著可動閥部(可動閥板部)54之周向配置複數個。 彈推部(按壓缸體)70為上述之第1實施形態或第2實施形態之真空致動器70。
再者，在上述之第1實施形態或第2實施形態之真空致動器70中，伸縮桿(可動部)72伸長而成為真空側之腔室Ch，對應於與流路H連通之中空部11。
內置於閥箱10之彈推部(按壓缸體)70與設置於大氣側之油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700連接，而被油壓驅動。 油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700對彈推部(按壓缸體)70將非壓縮性流體(液壓油)予以給排、即供給及排出，而同時驅動複數個彈推部(按壓缸體)70。
彈推部(按壓缸體)70，在閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)與閥閉合位置，將可動閥部(可動閥板部)54向流路H方向上之第1開口部12a彈推。彈推部(按壓缸體)70具有可將閥板密封墊密接於位於第1開口部12a之周圍之閥箱10之內面之功能。 彈推部(按壓缸體)70將位於閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)之可動閥部(可動閥板部)54之周圍朝流路H方向按壓。彈推部(按壓缸體)70藉由經移動之可動閥部(可動閥板部)54將流路H關閉(閉合)。
又，本實施形態之閘閥100在閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)與閥閉合位置，可動閥部(可動閥板部)54相對於閥框部63可變更流路H方向上之位置地與其連接。 進而，雖未圖示，但於閥框部63或可動閥部(可動閥板部)54，具備彈推部(中立彈推部)，其將可動閥部(可動閥板部)54相對於閥框部63向流路H方向上之中空部11之中央位置彈推。
藉此，閘閥100具有常閉機構，其在彈推部(按壓缸體)70未動作之情形下，在閥箱10之內部，將可動閥部(可動閥板部)54維持在中空部11之中央位置。藉由彈推部(按壓缸體)70與閥框部63之彈推部(中立彈推部)，可調整閥框部63與可動閥部(可動閥板部)54在流路H方向上之厚度尺寸。
若旋轉軸20朝與流路H之方向交叉之方向旋轉，則隨著該旋轉，固定於旋轉軸20之中立閥部30亦一體地轉動。又，由於可動閥部(可動閥板部)54於中立閥部30僅可於厚度方向滑動，故可動閥部(可動閥板部)54與中立閥部30一體地旋轉。
藉由將中立閥部30旋轉，而可動閥部(可動閥板部)54自未設置流路H之作為中空部11之退避位置(閥開放位置)、朝與第1開口部12a對應之位置之遮蔽流路H之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)以擺動運動而移動。
在本實施形態中，真空致動器(按壓缸體)70之固定部71內置於閥箱10。真空致動器(按壓缸體)70配置為彈推構件(按壓彈簧)73可朝自可動閥部(可動閥板部)54離開之方向彈推可動部(伸縮桿)72。 於真空致動器(按壓缸體)70中，如圖2、圖3所示般，藉由彈推構件(按壓彈簧)73而退縮之可動部(伸縮桿)72自可動閥部(可動閥板部)54離開，而被收納於內置在閥箱10之固定部71。
此處，於真空致動器(按壓缸體)70中，自退縮之收納狀態，油壓產生部701藉由油壓彈推構件720而自油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700被供給油壓，藉由回彈而將可動部(伸縮桿)72伸長。此時，真空致動器(按壓缸體)70藉由可動部(伸縮桿)72使可動閥部(可動閥板部)54向第1開口部12a移動，而使可動閥部(可動閥板部)54與閥箱10之內面接觸。進而，真空致動器(按壓缸體)70將可動閥部(可動閥板部)54朝閥箱10之內面按壓而成為閉合狀態，將流路H閉合(閉閥動作)。
自該可動部(伸縮桿)72之伸長狀態，真空致動器(按壓缸體)70藉由利用驅動部705之馬達705m之驅動解除自油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700供給之油壓，而使可動部(伸縮桿)72之前端部退縮。此時，彈推部(中立彈推部)使可動閥部(可動閥板部)54自第1開口部12a離開。 藉此，將可動閥部(可動閥板部)54自閥箱10之內面拉開而退避。藉由將可動閥部(可動閥板部)54設於流路H方向上之中空部11之中央位置，而將流路H開放(解除動作)。
如此般，藉由真空致動器(按壓缸體)70之機械性之抵接動作與機械性之分離動作，而可進行閉閥動作與解除動作。此處，所謂真空致動器(按壓缸體)70之機械性之抵接動作，係對於閥箱10之內面使可動閥部(可動閥板部)54抵接之動作。所謂真空致動器(按壓缸體)70之機械性之分離動作，係藉由彈推部(中立彈推部)自閥箱10之內面將可動閥部(可動閥板部)54拉開之動作。
在該解除動作之後，若旋轉軸20被旋轉驅動部21旋轉驅動(退避動作)，則隨著該旋轉而中立閥部30及可動閥部(可動閥板部)54亦一體地轉動。 閘閥100藉由該解除動作與退避動作，將可動閥部(可動閥板部)54自閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)退避至退避位置(閥開放位置)而進行成為閥開狀態之閥開動作。旋轉驅動部21設為可進行常閉動作之構成。
真空致動器(按壓缸體)70之驅動藉由自油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700被供給之油壓(非壓縮性流體)而進行。
油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700為上述之第1實施形態或第2實施形態之油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700。
油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700可更具備切換感測器802，該切換感測器802可檢測旋轉軸20之旋轉為閥閉合位置及閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)而切換油壓供給。 油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700設為可進行油壓產生部701之藉由油壓彈推構件720而回彈之常閉動作。
油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700在將可動部(伸縮桿)72進行退縮動作時，藉由驅動部705之馬達705m將作動油自真空致動器(按壓缸體)70朝油壓產生部701移動。 油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700在將可動部(伸縮桿)72進行伸長動作時，使油壓產生部701之由油壓彈推構件720所致之油壓逆流至真空致動器(按壓缸體)70。 油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700在動作結束時可維持將可動部(伸縮桿)72伸縮之油壓狀態。 油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700可適切地控制可動部(伸縮桿)72對於可動閥部(可動閥板部)54之抵接狀態。
油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700具有勵磁制動器705b、及回生電流處理部705c或勵磁離合器705d作為逆轉對應部。 油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700藉由逆轉對應部與逆旋轉之馬達705m對應，而可防止油壓驅動系統破損、或在真空致動器70、可動閥部(可動閥板部)54等中產生破損等不良狀況。
在本實施形態之閘閥100中，如圖3所示般，可動閥部(可動閥板部)54處於退避位置(閥開放位置)，而流路H全開而為可流通之狀態。
又，在可動閥部(可動閥板部)54自圖3所示之退避位置(閥開放位置)至圖4所示之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)進行關閉旋轉動作之期間，流路H局部地被可動閥部(可動閥板部)54覆蓋，而流路H為可一部分流通。
進而，在可動閥部(可動閥板部)54剛到達圖4所示之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)後，流路H被可動閥部(可動閥板部)54遮蔽，但未被密閉，而流路H在可動閥部(可動閥板部)54之周緣部附近可一部分流通。
又，在油壓產生部701藉由油壓彈推構件720而已回彈時，真空致動器(按壓缸體)70之可動部(伸縮桿)72被伸長驅動。藉此，可動閥部(可動閥板部)54進行變更在流路H方向上之位置之密閉動作。藉此，可動閥部(可動閥板部)54自圖4所示之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)滑動至圖5所示之閥閉合位置，而將流路H閉合。
其次，在驅動部705之馬達705m被驅動時，藉由真空致動器(按壓缸體)70之可動部(伸縮桿)72之退縮驅動，可動閥部(可動閥板部)54進行變更在流路H方向上之位置之開放動作。藉此，可動閥部(可動閥板部)54自圖5所示之閥閉合位置滑動至圖4所示之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)。於此時，流路H局部地被可動閥部(可動閥板部)54覆蓋，流路H可一部分流通。
進而，可動閥部(可動閥板部)54在自圖5所示之閥閉合位置剛開始由回彈所致之密閉解除動作(離開動作)後，流路H之密閉被解除，流路H在可動閥部(可動閥板部)54之周緣部附近可一部分流通。同時，流路H雖被可動閥部(可動閥板部)54遮蔽，但是為未被密閉之狀態。
進而，可動閥部(可動閥板部)54在自圖4所示之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)至圖3所示之退避位置(閥開放位置)進行打開旋轉動作之期間，流路H局部地被可動閥部(可動閥板部)54覆蓋，而流路H為可一部分流通。 再者，在可動閥部(可動閥板部)54之旋轉動作過程中，在真空致動器(按壓缸體)70中，維持可動部(伸縮桿)72之退縮狀態，而不進行可動部(伸縮桿)72之伸長驅動。
在本實施形態中，可發揮與第1實施形態或第2實施形態同樣之效果。
以下，對於本發明之第4實施形態之油壓驅動系統及閘閥基於圖式進行說明。 圖6係顯示本實施形態之油壓驅動系統及閘閥之油壓驅動部之加壓狀態之油壓產生部的示意說明圖。圖7係顯示本實施形態之油壓驅動系統及閘閥之油壓驅動部之減壓狀態之油壓產生部的示意說明圖。圖8係顯示本實施形態之油壓驅動系統及閘閥之油壓驅動部之過壓狀態之油壓產生部之示意說明圖。
圖9係用於說明本實施形態之油壓驅動系統及閘閥之真空致動器之軸向剖視圖。圖10係與用於說明本實施形態之油壓驅動系統及閘閥之真空致動器之圖9正交之軸向剖視圖。圖11係顯示用於說明本實施形態之油壓驅動系統及閘閥之真空致動器之伸長狀態之軸向剖視圖。 在本實施形態中，與上述之第1實施形態或第2實施形態不同之點為與油壓產生部及真空致動器相關之點，對於此外之對應之構成部件，賦予相同之符號且省略其說明。
本實施形態之油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700設為與上述之第1實施形態或第2實施形態之油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700相同之構成。
油壓產生部701如圖6～圖8所示般，具備：油壓缸體710、油壓彈推構件720、缸體驅動部730、及外殼750。 油壓缸體710將非壓縮性流體即液壓油加壓並供給至真空致動器(按壓缸體)70。油壓彈推構件720彈推油壓缸體710，且可進行回彈動作。缸體驅動部730可抗著油壓彈推構件720而驅動油壓缸體710。外殼750收納該等油壓缸體710、油壓彈推構件720、及缸體驅動部730。
油壓缸體710具有：有底筒狀之缸體本體711、及在缸體本體711之內部可在軸線方向上相對移動之活塞712。活塞712具有沿著活塞712之軸線貫通內部之油壓流路713，油壓流路713連接於油壓管702。油壓流路713可將非壓縮性流體即液壓油(驅動流體)相對於油壓管702流入或流出。
連接於油壓管702之活塞712之油壓流路713貫通外殼750。活塞712之端部712a被O型環及密封材密封。活塞712之端部712a安裝於外殼750並被固定。 位於與活塞712之端部712a為相反之位置之端部712b，位於缸體本體711之內部。活塞712於缸體本體711位於同軸上。
缸體本體711之端部711a(第1端)被開口。通過缸體本體711之端部711a，於缸體本體711之內部插入有活塞712之端部712b。 缸體本體711可相對於活塞712在軸線方向上相對移動。缸體本體711可相對於外殼750在軸線方向上相對移動。
缸體本體711之端部711b(第2端)閉合缸體本體711之內部空間。在缸體本體711之底面(與端部711b相反之內面)與活塞712之端部712b之端面之間形成油壓空間714。於油壓空間714填充有非壓縮性流體即液壓油(驅動流體)。
在缸體本體711相對於活塞712沿軸線方向相對地移動時，油壓空間714之容積增減。伴隨著該油壓空間714之容積之增減，而填充於油壓空間714之液壓油經由油壓流路713流入油壓管702或流出。 於缸體本體711之端部711a，在外周位置設置有凸緣部711c。凸緣部711c在端部711a處，以朝缸體本體711之徑向外側突出之方式周設。
於外殼750之內部，於朝向缸體本體711之端部711b之面，供構成油壓彈推構件720之內簧721之端部721b及外簧722之端部722b抵接。 在凸緣部711c處，於與端部711a相反側之面上，靠近缸體本體711之外周面而周設周槽711d。
於周槽711d，供構成油壓彈推構件720之內簧721之端部721a抵接。在凸緣部711c處，於周槽711d之外周位置，供外簧722之端部722a抵接。
油壓彈推構件(主彈簧)720具有內簧721及外簧722。內簧721及外簧722為螺旋彈簧。內簧721及外簧722與缸體本體711及活塞712配置於同軸上。內簧721具有較缸體本體711之外周面之徑尺寸略大之內徑尺寸。
外簧722具有較內簧721之外徑尺寸略大之內徑尺寸。外簧722採用較內簧721大之線徑。外簧722具有較內簧721大之彈推力。
內簧721及外簧722可將朝伸縮方向之彈推力傳遞至缸體本體711。內簧721及外簧722任一者皆以將缸體本體711之凸緣部711c朝向活塞712之端部712a按壓之方式彈推。
內簧721之端部721b及外簧722之端部722b抵接於外殼750。藉此，油壓彈推構件720將缸體本體711相對於外殼750彈推。 再者，油壓彈推構件720只要可彈推缸體本體711即可，並不限於該構成。
於缸體本體711之內周面在靠近端部711a之位置，設置有襯套711e、Y形襯墊711f、711g。缸體本體711之內周面與活塞712之外周面係可滑動地密閉。於缸體本體711之端部711b，以位於同軸上之方式連接有缸體驅動部730之驅動軸731之端部731a。
缸體驅動部730具有：驅動軸731，其使缸體本體711可相對於活塞712在軸線方向上相對移動；及驅動傳遞部，其藉由馬達等之驅動部705驅動驅動軸731。
驅動軸731與缸體本體711及活塞712於同軸上配置在外殼750內。驅動軸731可沿軸向移動。驅動軸731相對於活塞712及外殼750可沿軸線方向相對移動。
於驅動軸731之外周面，在靠近端部731a之位置形成有滾珠螺桿731c。驅動軸731之軸向上之滾珠螺桿731c之長度係以在缸體本體711在軸向上移動時，相對於滾珠螺桿731c之全部之範圍(周區域、螺桿形成面)，後述之內側螺面732c可維持螺合狀態之方式進行設定。
於驅動軸731之徑向外側，於滾珠螺桿731c之外周位置，於同軸上配置有螺桿驅動齒輪732。驅動軸731被螺桿驅動齒輪732相對於外殼750支持。
於驅動軸731之與端部731a為相反位置之端部731b，朝徑向突出地設置有後述之止轉部731h。止轉部731h位於設置於外殼750之滑槽757之內部，以在驅動軸731不旋轉下可在軸向上移動之方式規制驅動軸731之移動方向。
螺桿驅動齒輪732採用筒狀。螺桿驅動齒輪732相對於外殼750可旋轉地被支持。於螺桿驅動齒輪732之外周設置有滾珠軸承732f、732g。滾珠軸承732f、732g相對於外殼750位於同軸上，與驅動軸731可旋轉地支持螺桿驅動齒輪732。
再者，螺桿驅動齒輪732相對於外殼750在軸向上不移動。於螺桿驅動齒輪732之內周形成有內側螺面732c。內側螺面732c與驅動軸731之滾珠螺桿731c螺合。
在螺桿驅動齒輪732旋轉時，藉由與內側螺面732c螺合著之滾珠螺桿731c將旋轉力作用於驅動軸731。驅動軸731由止轉部731h及滑槽757規制旋轉。因此，驅動軸731在由滑槽757規制之方向、亦即在驅動軸731之軸向上移動。
於螺桿驅動齒輪732之外周形成外側齒輪732d。外側齒輪732d在螺桿驅動齒輪732之軸向上，形成於夾在滾珠軸承732f及滾珠軸承732g之間之位置。在螺桿驅動齒輪732處，外側齒輪732d位於徑向之最外側。
再者，螺桿驅動齒輪732之形成有內側螺面732c之內螺桿驅動齒輪732a、與形成有外側齒輪732d之外螺桿驅動齒輪732b可一體地連接。
外側齒輪732d與驅動齒輪733d嚙合。驅動齒輪733d具有與驅動軸731之軸線平行之旋轉軸線。驅動齒輪733d旋轉自如地受支持於與驅動軸731之軸線平行之旋轉軸734。旋轉軸734在朝與驅動軸731之徑向上之外側離開之位置受支持於外殼750。驅動齒輪733d和與驅動齒輪733d位於同軸上之驅動齒輪733e一體地形成。驅動齒輪733e具有較驅動齒輪733d更大之徑尺寸。驅動齒輪733e與驅動齒輪733d一體地旋轉。
驅動齒輪733e與驅動齒輪735嚙合。驅動齒輪735具有與驅動軸731之軸線平行之旋轉軸線。驅動齒輪735係旋轉自如地受支持於與驅動軸731之軸線平行之旋轉軸736。旋轉軸736在驅動軸731之徑向上之外側位置，在較旋轉軸734更為離開之位置受支持於外殼750。
驅動齒輪735與驅動齒輪737嚙合。驅動齒輪737具有與驅動軸731之軸線平行之旋轉軸線。驅動齒輪737係固定於與驅動軸731之軸線平行之馬達等之驅動部705之旋轉驅動軸705a。旋轉驅動軸705a在驅動軸731之徑向上之外側位置，配置於較旋轉軸736更為離開之位置。旋轉驅動軸705a以貫通狀態可旋轉地安裝於外殼750。
由螺桿驅動齒輪732、滾珠軸承732f、732g、內側螺面732c、外側齒輪732d、驅動齒輪733d、驅動齒輪733e、旋轉軸734、驅動齒輪735、旋轉軸736、驅動齒輪737構成驅動傳遞部(油壓產生部701之驅動系統)。
外殼750包含：外殼筒751、外殼蓋752、後外殼753、環754、及蓋部758。外殼筒751採用筒狀。外殼蓋752閉合外殼筒751之一端。
後外殼753閉合外殼筒751之另一端。環754設置於外殼筒751與後外殼753之間。蓋部758閉合後外殼753之另一端。
外殼筒751具有與缸體本體711、活塞712、驅動軸731於同軸上延伸之內部形狀。外殼筒751之內部形成收納空間755。 於收納空間755之內部收納有：缸體本體711、活塞712、構成油壓彈推構件720之內簧721及外簧722、以及驅動軸731之端部731a。收納空間755在靠近活塞712之端部位置開口，該開口係由外殼蓋752閉合。
於外殼蓋752連接固定有活塞712。於外殼蓋752貫通有活塞712之端部712a。收納空間755在靠近驅動軸731之端部位置開口，該開口係由後外殼753閉合。於後外殼753貫通有驅動軸731。於收納空間755，在靠近後外殼753之位置設置有環754。
環754與驅動軸731位於同軸上，配置於驅動軸731之周圍。環754之內周與驅動軸731之外周離開。環754具有與凸緣部711c之內周、亦即缸體本體711之外周面之徑尺寸相等之內徑。又，環754具有與凸緣部711c之外徑尺寸相等之外徑。
於環754之與外殼蓋752對向之面上，供構成油壓彈推構件720之內簧721之端部721b及外簧722之端部722b抵接。在環754之與外殼蓋752對向之面上，以與周槽711d對應之方式周設有周槽754d。於周槽754d，供構成油壓彈推構件720之內簧721之端部721b抵接。在位於周槽754d之外周，且為環754之朝向外殼蓋752之面上，供外簧722之端部722b抵接。
於外殼筒751與後外殼753之間，設置有較收納空間755更向驅動軸731之徑向外側延伸之驅動系統支持部751k、753k。驅動系統支持部751k、753k形成為相對於外殼筒751及後外殼753成為周向之一部分之凸緣狀。
驅動系統支持部751k與驅動系統支持部753k係彼此接觸。於驅動系統支持部751k與驅動系統支持部753k之間，夾持有：螺桿驅動齒輪732、滾珠軸承732f、732g、內側螺面732c、外側齒輪732d、驅動齒輪733d、驅動齒輪733e、旋轉軸734、驅動齒輪735、旋轉軸736、及驅動齒輪737。
於驅動系統支持部751k與驅動系統支持部753k之對向之面上，形成有與螺桿驅動齒輪732、滾珠軸承732f、732g、外側齒輪732d、驅動齒輪733d、驅動齒輪733e、旋轉軸734、驅動齒輪735、旋轉軸736、及驅動齒輪737對應之凹凸部。
於驅動系統支持部751k與驅動系統支持部753k彼此對向之面之間，支持有螺桿驅動齒輪732、滾珠軸承732f、732g、驅動齒輪733d、驅動齒輪733e、旋轉軸734、驅動齒輪735、旋轉軸736、及驅動齒輪737。 又，於驅動系統支持部751k，貫通有旋轉驅動軸705a。於驅動系統支持部751k，安裝有具有馬達705m之驅動部705。
於外殼筒751與外螺桿驅動齒輪732b(螺桿驅動齒輪732)之間設置有滾珠軸承732f。滾珠軸承732f相對於外殼筒751可旋轉地支持螺桿驅動齒輪732。於後外殼753與外螺桿驅動齒輪732b(螺桿驅動齒輪732)之間設置有滾珠軸承732g。滾珠軸承732g相對於後外殼753可旋轉地支持螺桿驅動齒輪732。
於後外殼753，形成有在驅動軸731在軸向上移動時，成為驅動軸731之端部731b之退避之後空間756。在成為後空間756與收納空間755之邊界之位置，配置有螺桿驅動齒輪732。即，在成為後空間756與收納空間755之邊界之位置，可在軸向上移動地配置有驅動軸731。
於後空間756，以擴徑之方式形成有滑槽757。滑槽757位於驅動軸731之徑向外側。藉由止轉部731h在滑槽757之內部滑動，而規制驅動軸731之旋轉，且可實現驅動軸731之軸向之移動。後空間756之端部係由蓋部758閉合。
於後空間756靠近蓋部758之位置，設置有可檢測出驅動軸731已接近之檢測開關(檢測機構)760。檢測開關(檢測機構)760與控制部706連接。檢測開關(檢測機構)760可位於滑槽757。
於後空間756之靠近螺桿驅動齒輪732之位置，設置有可檢測驅動軸731與活塞712接近之檢測開關(檢測機構)761。檢測開關(檢測機構)761與控制部706連接。檢測開關(檢測機構)761可位於滑槽757。
檢測開關(檢測機構)760與檢測開關(檢測機構)761檢測驅動軸731之軸向位置。檢測開關(檢測機構)760與檢測開關(檢測機構)761可採用接觸式、或非接觸之磁性開關。 例如，檢測開關(檢測機構)760可採用在抵接有驅動軸731之一部分時可檢測出之限位開關，或者是可檢測出設置於驅動軸731之一部分磁性元件之磁性開關。
檢測開關(檢測機構)760在驅動軸731自收納空間755向後空間756移動之情形下，檢測驅動軸731到達在軸向上由檢測開關(檢測機構)760規定之位置。又，檢測開關(檢測機構)761在驅動軸731自後空間756向收納空間755移動之情形下，檢測驅動軸731到達在軸向上由檢測開關(檢測機構)761規定之位置。
此處，在檢測開關(檢測機構)760將驅動軸731到達軸向上之特定之位置輸出至控制部706之情形下，接收到信號之控制部706輸出停止驅動部705之驅動之信號。藉此，驅動部705停止驅動。因此，藉由經檢測開關(檢測機構)760設置之位置而規制驅動軸731之移動位置。
此處，驅動部705之驅動停止可藉由來自電源707之饋電停止而停止馬達705m之驅動。 又，驅動部705之驅動停止亦可藉由勵磁制動器705b停止馬達705m之旋轉驅動軸705a之旋轉。 或者是，驅動部705之驅動停止還可藉由勵磁離合器705d遮斷馬達705m之旋轉驅動軸705a之旋轉，而設為不傳遞至驅動軸731之狀態。
或者是，在檢測開關(檢測機構)761將驅動軸731到達軸向上之特定之位置輸出至控制部706之情形下，接收到信號之控制部706輸出開始驅動部705之驅動之信號。藉此，驅動部705開始驅動。因此，藉由經檢測開關(檢測機構)761設置之位置而規制驅動軸731之移動位置。
此處，驅動部705之驅動開始可藉由來自電源707之饋電開始而將馬達705m驅動開始。 又，驅動部705之驅動開始亦可解除勵磁制動器705b對馬達705m之旋轉驅動軸705a之旋轉停止。 又，驅動部705之驅動開始亦可為藉由勵磁離合器705d連接馬達705m之旋轉驅動軸705a之旋轉，而設為傳遞至驅動軸731之狀態。
如此般，油壓產生部701可藉由控制部706之信號進行驅動部705之驅動狀態之切換。 當控制部706輸出驅動信號時，驅動部705驅動。藉由驅動部705之驅動而旋轉驅動軸705a旋轉。藉由旋轉驅動軸705a之旋轉，而安裝於旋轉驅動軸705a之驅動齒輪737旋轉。驅動齒輪737之旋轉被傳遞至嚙合於驅動齒輪737之驅動齒輪735。驅動齒輪735之旋轉被傳遞至嚙合於驅動齒輪735之驅動齒輪733e。
驅動齒輪733e之旋轉被傳遞至與驅動齒輪733e一體地形成之驅動齒輪733d。驅動齒輪733d之旋轉被傳遞至嚙合於驅動齒輪733d之外側齒輪732d，而螺桿驅動齒輪732旋轉。外側齒輪732d之旋轉被傳遞至與外側齒輪732d一體地形成之螺桿驅動齒輪732之內側螺面732c。
螺桿驅動齒輪732之內側螺面732c之旋轉被傳遞至嚙合於螺桿驅動齒輪732之驅動軸731之滾珠螺桿731c，而驅動軸731旋轉。螺桿驅動齒輪732係由滾珠軸承732f、732g支持。因此，即便螺桿驅動齒輪732旋轉，但螺桿驅動齒輪732在軸向上不移動。
驅動軸731由內側螺面732c支持，且止轉部731h位於滑槽757之內部，而規制驅動軸731之移動方向。因此，驅動軸731在螺桿驅動齒輪732旋轉時在軸向上移動。如此般，藉由驅動傳遞部，馬達等之驅動部705之旋轉驅動力被傳遞至驅動軸731，而驅動軸731在軸向上移動。
當驅動軸731在軸向上移動時，與驅動軸731一體地連接之缸體本體711亦同樣地在軸向上移動。此時，活塞712因固定於外殼蓋752而不移動。藉此，缸體本體711與活塞712在軸線方向上相對移動。
此處，藉由缸體本體711與活塞712相對移動，而缸體本體711之內部之油壓空間714之容積變化。根據油壓空間714之容積變化，而填充於油壓空間714之非壓縮性流體即液壓油(驅動流體)流入油壓流路713或流出。
於缸體本體711，構成抵接於凸緣部711c之油壓彈推構件720之內簧721及外簧722賦予彈推力。
在本實施形態中，於通常按壓、即驅動部705未驅動時，可將可動部(伸縮桿)72伸長。因此，在油壓缸體710中，油壓彈推構件720之彈推力在內簧721及外簧722伸長之方向上產生。即，自油壓彈推構件720被朝缸體本體711賦予之彈推力，在缸體本體711自螺桿驅動齒輪732離開之方向上產生。 因此，油壓彈推構件720之彈推力以減少缸體本體711之油壓空間714之容積之方式被賦予。
又，在本實施形態中，在通常按壓、即驅動部705被驅動時，可將可動部(伸縮桿)72退縮。因此，在油壓缸體710中，藉由驅動部705之驅動，而驅動軸731所移動之方向為與油壓彈推構件720之彈推力之方向相反。即，藉由驅動部705之驅動，驅動軸731朝自活塞712離開之方向移動。 因此，藉由驅動部705之驅動，而驅動軸731以缸體本體711之油壓空間714之容積增大之方式移動。
油壓產生部701在驅動部705被驅動停止之情形下，如圖6所示般，藉由油壓彈推構件720之彈推力而油壓空間714之容積減少。藉此，將油壓空間714之容積加壓。藉此，非壓縮性流體即液壓油(驅動流體)自油壓空間714經由油壓流路713流入油壓管702。此時，在真空致動器(按壓缸體)70中油壓作用，而可動部(伸縮桿)72之前端部72a伸長。
又，油壓產生部701在對驅動部705進行驅動之情形下，如圖7所示般，藉由驅動部705之驅動力而油壓空間714之容積增大。藉此，將油壓空間714之容積減壓。非壓縮性流體即液壓油(驅動流體)經由油壓流路713自油壓管702流入油壓空間714。此時，在真空致動器(按壓缸體)70中油壓作用，而可動部(伸縮桿)72之前端部72a退縮。
又，在油壓產生部701中，即便在因某種原因，而缸體本體711以靠近外殼蓋752之方式越位之情形下，如圖8所示般，凸緣部711c抵接於外殼蓋752，而停止缸體本體711之移動。藉此，將油壓空間714之減少限制於特定範圍。因此，油壓產生部701可不會使過量之液壓油(驅動流體)流入真空致動器(按壓缸體)70。 再者，於圖8中，省略檢測開關(檢測機構)761之記載。
本實施形態之真空致動器70如圖9～圖11所示般，具有：引導桿771、缸體部772、伸縮桿(可動部)72、凸緣部773、彈推構件(按壓彈簧)73、及外殼774。
真空致動器70如圖9～圖11所示般，構成為較該外殼774為細徑之伸縮桿72可自大致圓柱狀之外殼774之一端伸出及退縮。真空致動器70經由油壓管702與油壓產生部701連接。
油壓產生部701可在將伸縮桿72進行伸縮動作時，將成為正壓或負壓之油壓供給至真空致動器70，且在動作結束時，維持油壓狀態。又，可適切地控制伸縮桿72對於對象物之抵接狀態。
引導桿771如圖9～圖11所示般，設為大致圓柱狀，於軸向具有貫通孔771c，其可自油壓驅動部700向一端面771a供給作動油壓。 引導桿771自外殼774之蓋部774b向外殼774之內部豎立設置。
引導桿771可與蓋部774b為一體化。在本實施形態中，於引導桿771，於朝設置於蓋部774b之凹部774g之中心位置突出之凸部774h，螺合有管狀之外引導桿771g。藉此，進行外引導桿771g相對於蓋部774b之定心。貫通孔771c與蓋部774b、凸部774h及外引導桿771g之內部連續而形成。
缸體部772設為另一端開口之有底圓筒狀。缸體部772與引導桿771配置於同軸上。缸體部772以在引導桿771之一端面771a上可滑動地覆蓋之方式配置。引導桿771之一端面771a與缸體部772之內面在其內部形成驅動空間777。
於驅動空間777，連通有貫通孔771c。於貫通孔771c，如圖10所示般，連接有油壓管702。於驅動空間777，經由油壓管702與油壓產生部701連接。 於驅動空間777，經由油壓管702自油壓產生部701被供給作動油，而將驅動空間777加壓。或者是，於驅動空間777，經由油壓管702朝油壓產生部701返回作動油，而將驅動空間777減壓。
於缸體部772之一端部772a，在圖10之成為上表面之位置設置有伸縮桿72。伸縮桿72為朝缸體部772之軸向之外側延伸之圓柱狀。伸縮桿72與圓筒狀之缸體部772配置於同軸上。伸縮桿72與圓柱狀之引導桿771為同軸上。
伸縮桿72與缸體部772被一體化，可附隨著缸體部772相對於引導桿771之滑動，於軸向上伸縮自如地移動。伸縮桿72之徑尺寸被設定為小於缸體部772之徑尺寸。
伸縮桿72之徑尺寸被設定為小於引導桿771之徑尺寸。伸縮桿72可與缸體部772一體化。本實施形態之伸縮桿72在朝缸體部772之軸中心位置突出之凸部772h螺合有伸縮桿72。藉此，進行伸縮桿72相對於蓋部774b之定心。
於缸體部772之另一端部772b，在外周位置周設有凸緣部773。 凸緣部773於缸體部772之另一端部772b朝徑向外側延伸。凸緣部773具有特定之厚度。
凸緣部773與缸體部772一體地形成。 於凸緣部773，在靠近伸縮桿72之按壓面773a供彈推構件(彈簧)73之另一端抵接。
彈推構件(彈簧)73為螺旋狀，將凸緣部773朝伸縮桿72之退縮方向彈推。 彈推構件(彈簧)73與缸體部772在同軸上，且位於缸體部772之外周。彈推構件(彈簧)73之一端抵接於外殼774。
外殼774具有：圓筒狀之圓筒部774c；蓋部774b，其閉合圓筒部774c之另一端部；及真空側蓋部774a，其閉合設置於圓筒部774c之一端之貫通孔774m。
於蓋部774b之中心位置，引導桿771朝向外殼774之內部豎立設置。真空側蓋部774a在真空側蓋部774a之中央具有貫通伸縮桿72之貫通孔775。貫通孔775面向真空側。圓筒部774c之另一端嵌合於設置在蓋部774b之凹部774g。
於圓筒部774c與蓋部774b及真空側蓋部774a之內部形成緩衝空間776。 於緩衝空間776收納缸體部772與彈推構件(彈簧)73。在緩衝空間776中，缸體部772可往復移動。緩衝空間776為當作動油壓自驅動空間777洩漏時，在作動油壓朝成為真空側之外部(腔室)Ch漏出之前，收容(緩衝)作動油壓之空間。
在成為緩衝空間776之圓筒部774c之內面形成有階差774d。圓筒部774c之內面之靠近蓋部774b之位置與靠近真空側蓋部774a之位置相比經擴徑。 階差774d供凸緣部773之按壓面773a之外緣部分抵接。階差774d為規制缸體部772於移動範圍內伸長時之位置之規制部。
於成為緩衝空間776之圓筒部774c之內面，不與凸緣部773之外周面相接。於設置於蓋部774b之凹部774g，供成為缸體部772另一端部772b之凸緣部773抵接。凹部774g為規制缸體部772於移動範圍內之退縮側之位置之規制部。
圓筒部774c與真空側蓋部774a連接固定。在圓筒部774c之靠近真空側蓋部774a之位置，形成有階差774e。在圓筒部774c之較階差774e更靠近真空側蓋部774a之位置，進一步被縮徑而形成具有與缸體部772之外形尺寸相等之內徑尺寸之大氣側緩衝空間778。 於階差774e，供彈推構件(彈簧)73之一端抵接。
於大氣側緩衝空間778之內周面，可滑動地與缸體部772之外周面(滑動面)772m相接。於大氣側緩衝空間778，如圖10所示般，與外部連通之貫通孔778s形成於圓筒部774c之徑向上。大氣側緩衝空間778藉由貫通孔778s與大氣側連通。
貫通孔775具有小於大氣側緩衝空間778之徑尺寸。貫通孔775被設為與伸縮桿72之外徑大致相等之徑尺寸。 外殼774與引導桿771構成固定部71。
於真空致動器70，設置有密閉構件作為多段之密封構造(密封機構)，以在油壓驅動時，作動流體即油不會漏出至作為真空側之腔室Ch。具體而言，自被供給油壓之缸體部772內部之驅動空間777至伸縮桿72之伸長之真空側之腔室Ch之內部且為外部，設置有四段之密閉構件77a1～77e。
於與缸體部772之內面滑動之引導桿771外周之滑動面771f，設置有二段之密閉構件77a1～77e。 於引導桿771外周之滑動面771f，自驅動空間777向外部可密閉地於同一個槽周設有O型環(密閉構件)77a1、耐磨環(密閉構件)77a2。
耐磨環(密閉構件)77a2周設於O型環(密閉構件)77a1之徑向外側。 耐磨環(密閉構件)77a2與缸體部772之內面相接，與缸體部772之內周之滑動面772f滑動。
進而，於引導桿771外周之滑動面771f，在較耐磨環(密閉構件)77a2自驅動空間777更為離開之位置，以與滑動面771f成為同一面之方式周設有耐磨環(密閉構件)77b。
O型環(密閉構件)77a1、耐磨環(密閉構件)77a2、耐磨環(密閉構件)77b形成第一段之密閉構件。耐磨環(密閉構件)77b為備用環。
進而，於引導桿771外周之滑動面771f，在較耐磨環(密閉構件)77b自驅動空間777更為離開之位置，以與滑動面771f成為同一面之方式於同一槽周設有Y襯墊(密閉構件)77c1、密封件(密閉構件)77c2。
Y襯墊(密閉構件)77c1與密封件(密閉構件)77c2均與缸體部772之內面相接。Y襯墊(密閉構件)77c1及密封件(密閉構件)77c2，與缸體部772之內周之滑動面772f滑動。 密封件(密閉構件)77c2配置於較Y襯墊(密閉構件)77c1自驅動空間777更為離開之位置。
進而，於引導桿771外周之滑動面771f，於較密封件(密閉構件)77c2自驅動空間777更為離開之位置，以與滑動面771f成為同一之方式周設有耐磨環(密閉構件)77d。 Y襯墊(密閉構件)77c1、密封件(密閉構件)77c2、耐磨環(密閉構件)77d構成第二段之密閉構件。耐磨環(密閉構件)77d為備用環。
在設置於外殼774之圓筒部774c之靠近真空側蓋部774a接之位置之貫通孔774m之內周面，周設有Y襯墊(密閉構件)77e。 Y襯墊(密閉構件)77e與成為靠近缸體部772之一端面771a之位置的外周之滑動面772m滑動。Y襯墊(密閉構件)77e為第三段之密閉構件。
於外殼774之真空側蓋部774a之貫通孔775之內周面，周設有O型環(密閉構件)77f。 O型環(密閉構件)77f與伸縮桿72之外周面(滑動面)72m滑動。Y襯墊(密閉構件)77e為第四段之密閉構件。
進而，除了密閉構件77a1～77e以外，在外殼774之凸部774h與外引導桿771g之螺合位置，亦配置有O型環(密閉構件)77p。 在外殼774之圓筒部774c與設置於蓋部774b之凹部774g之間，配置有O型環(密閉構件)77q。 於真空側蓋部774a之貫通孔775之周圍，配置有O型環(密閉構件)77r用於成為真空側之腔室Ch與真空側蓋部774a之間之密封。
在本實施形態之真空致動器70中，作為構成密閉構件77a1～77r之材質，可舉出如下之材質。 耐磨環(密閉構件)77a2包含氟化樹脂。耐磨環(密閉構件)77b包含HNBR(氫化腈橡膠)。Y襯墊(密閉構件)77c1包含HNBR(氫化腈橡膠)。密封件(密閉構件)77c2包含氟化樹脂。耐磨環(密閉構件)77d包含氟化樹脂。Y襯墊(密閉構件)77e包含HNBR(氫化腈橡膠)。O型環(密閉構件)77f包含HNBR(氫化腈橡膠)。O型環(密閉構件)77p、O型環(密閉構件)77q、O型環(密閉構件)77r均包含HNBR(氫化腈橡膠)。
又，伸縮桿72包含不銹鋼。引導桿771包含不銹鋼。缸體部772包含不銹鋼。外殼774之圓筒部774c與蓋部774b及真空側蓋部774a均包含鋁。再者，該等之構成之材質可根據真空致動器70之用途而適當變更。
又，包含不銹鋼之引導桿771之外周之滑動面771f、缸體部772之內周之滑動面772f、位於靠近缸體部772之一端面771a之位置之外周之滑動面772m、伸縮桿72外周之滑動面均被施以硬質鉻鍍等之表面處理。
在本實施形態之真空致動器70中，在通常拉動、即不動作之狀態下，伸縮桿72退縮。在該狀態下，凸緣部773被彈推構件(彈簧)73朝伸縮桿72之退縮方向彈推。
其次，在油壓驅動部700中藉由驅動部705之驅動自油壓產生部701被供給之作動油，經由油壓管702流入驅動空間777。如是，將驅動空間777加壓，而產生大於彈推構件(彈簧)73之彈推力之驅動力，缸體部772向貫通孔775移動。此時，缸體部772在緩衝空間776之內部移動。
凸緣部773之按壓面773a之外緣部分抵接於階差774d，而缸體部772之移動結束。藉此，如圖11所示般，伸縮桿72伸長，伸縮桿72向成為真空側之腔室Ch進出。已伸長之伸縮桿72按壓對象物。在該狀態下，藉由維持自油壓產生部701供給至驅動空間777之油壓，而可維持伸縮桿72伸長之狀態。
為了將伸縮桿72自伸長狀態設為退縮狀態，而將自油壓產生部701供給至驅動空間777之油壓減壓。或者是，經由油壓管702自驅動空間777朝油壓產生部701返回作動油。如是，藉由自彈推構件(彈簧)73作用於凸緣部773之彈推力，而缸體部772向蓋部774b移動。藉此，如圖9、圖10所示般，伸縮桿72為退縮之狀態。
進而，在本實施形態之真空致動器(按壓缸體)70中，當在自驅動空間777經由油壓管702至油壓空間714之間有油洩漏之情形下，可檢測出油之洩漏。具體而言，當在驅動空間777內收容之油量減少時，藉由油壓彈推構件720之彈推力而油壓空間714之容積減少。藉此，軸向上之驅動軸731之往復動作範圍自設想之位置朝靠近活塞712之方向移動。 因此，與設想之位置相比，在驅動軸731之軸向之移動之較早之階段自檢測開關(檢測機構)761輸出有檢測信號。因此，可檢測出在驅動空間777內收容之油量減少。
在本實施形態中，可發揮與上述實施形態相同之效果。
以下，對於本發明之油壓驅動系統之第5實施形態基於圖式進行說明。 圖12係顯示具備本實施形態之油壓驅動系統之真空裝置之示意說明圖。 在本實施形態中與上述之第1至第4實施形態不同之點為與設置有油壓驅動系統之真空裝置相關之點，對於此外之對應之構成部件，賦予相同之符號且省略其說明。
本實施形態之真空裝置200例如為進行側面濺鍍式濺鍍等之真空處理之裝置。 本實施形態之真空裝置(濺鍍裝置)200具備將大致矩形之玻璃基板(被處理基板)G搬入/搬出之裝載/卸載室，於玻璃基板G上藉由濺鍍法形成例如ZnO系或In2 O3 系透明導電膜等之被膜的耐壓之成膜室(腔室)201，及成膜室201與裝載/卸載室之間之搬送室。 再者，於圖12僅顯示成膜室201。
第1實施形態或第2實施形態之腔室Ch在本實施形態中為成膜室201。 在本實施形態之真空裝置(濺鍍裝置)200中，於成膜室(腔室)201之內部，如圖12所示般設置有：背板(陰極電極)206、電源206a、氣體導入裝置207a(氣體導入機構)、及高真空排氣裝置207b(高真空排氣機構)。
背板(陰極電極)206作為供給成膜材料之機構，保持被豎立設置之目標物。電源206a對背板206施加負電位之濺鍍電壓。氣體導入裝置207a對成膜室(腔室)201內導入氣體。高真空排氣裝置207b為將成膜室201之內部抽高真空之渦輪分子泵等。
背板206在成膜室201之內部豎立設置於距離與搬送室連通之搬送口204a最遠之位置。於背板206，在與玻璃基板G大致平行地對面之前面側固定有目標物。 背板(陰極電極)206發揮對目標物施加負電位之濺鍍電壓之電極之作用。
背板206與施加負電位之濺鍍電壓之電源206a連接。於背板(陰極電極)206之背側，設置有用於在目標物上形成特定之磁場之磁控管磁性電路。
成膜室201之內部，如圖12所示般包含：在成膜時為玻璃基板G之表面側之前側空間201a，及為玻璃基板G之背面側之背側空間201b。於成膜室201之前側空間201a，配置固定有目標物之背板(陰極電極)206。於成膜室201之背側空間201b，設置向前側空間201a開口之成膜口204b。於成膜口204b之周圍，設置防著板框202。
於背側空間201b內部，可設置基板保持裝置(保持機構)，其在成膜中以與目標物對向之方式將玻璃基板G在橫方向可擺動地保持。基板保持裝置(保持機構)具有自背面保持玻璃基板G之保持部203。 保持部203可藉由旋轉驅動部對擺動軸之繞軸線之轉動，在為大致水平方向位置之水平載置位置、與豎立於大致鉛直方向位置之鉛直處理位置之間進行旋轉動作。
於作為水平載置位置之保持部203表面之延長位置，位在有搬送口204a，可載置自搬送室被搬送之玻璃基板G。作為鉛直處理位置之保持部203表面，位於大致閉合成膜口204b之位置，玻璃基板G表面與陰極電極206對向而可成膜。
於保持部203，配置有：頂銷，其在玻璃基板G之搬入或搬出時，較被設為水平載置位置之保持部203更朝上方突出，而在較保持部203更上側支持玻璃基板G；及頂銷移動部70，其使該頂銷上下移動。
在本實施形態中，例如，頂銷移動部70為第1實施形態或第2實施形態之真空致動器(頂銷移動部)70。 又，頂銷在伸縮桿72之同軸上，被安裝於伸縮桿72之前端。 再者，在圖12中，將真空致動器(頂銷移動部)70表示為箭頭。
真空致動器(頂銷移動部)70可在維持腔室201之密閉之狀態下進行驅動。藉由該構成，在玻璃基板G之搬入或搬出時，可自如地進行置放於保持部203與搬送裝置之機械手間之玻璃基板G之交接。
在保持部203之鉛直處理位置，具有將玻璃基板G朝遮罩205按壓之按壓部70。 在本實施形態中，例如，按壓部70為第1實施形態或第2實施形態之真空致動器(按壓部)70。
遮罩205在特定次數之成膜處理後被更換，此時，將更換後之遮罩205相對於防著板框202進行對準之對準裝置70(對準機構)設置於成膜口204b之下側位置。 在本實施形態中，例如，對準裝置70為第1實施形態之真空致動器(對準機構)70。藉由該構成，真空致動器(對準機構)70可將伸縮桿72之前端部72a抵接於特定之對象物，使其按壓、移動、或對準。
本實施形態之真空致動器70任一者與其他驅動類型相比均可以較小之容積在真空環境中呈現較大之彈推力(按壓力)。進而，本實施形態之真空致動器70不僅具有作為固定值之按壓力，而且可使按壓力變動。 在本實施形態中，亦可在儘量降低在腔室201內產生漏油之可能性之狀態下，由各個真空致動器70按壓對象物。
在本實施形態中，可發揮與上述實施形態相同之效果。
以下，對於具備本發明之第6實施形態之真空致動器之閘閥基於圖式進行說明。 在本實施形態中與上述之第3及第4實施形態不同之點為與閘閥之擺動閥體相關之點，對於此外之對應之構成部件，賦予相同之符號且省略其說明。
圖13係顯示本實施形態之閘閥之構成之與流路正交之剖視圖。 圖14～圖16係顯示本實施形態之閘閥之構成之沿著流路之剖視圖，係顯示閥體配置於可退避動作位置(FREE，自由)之情形之圖。圖14相當於圖13之線段A-O-C。圖15係顯示沿著圖13之線段A-O之主要部分之放大圖。圖16係顯示沿著圖13之線段B-O-C之主要部分之放大圖。圖17係顯示圖13之閥框彈推部之主要部分之放大圖。
圖18～圖21係顯示本實施形態之閘閥之構成之沿著流路之剖視圖，係與圖14～圖17對應而顯示閥體配置於閥閉位置(正壓或無差壓)之情形之圖。
圖22～圖24係顯示本實施形態之閘閥之構成之沿著流路之剖視圖，係與圖14～圖16對應而顯示閥體配置於逆壓位置之情形之圖。 圖25、圖26係顯示圖14之閥箱中之閥箱彈推部之配置之立體圖。
[擺動型閘閥] 本實施形態之閘閥100如圖13～圖26所示般為擺動型滑閥。
閘閥100插入於露出第1開口部12a之第1空間與露出第2開口部12b之第2空間之間。閘閥100將連接第1開口部12a與第2開口部12b之流路H隔斷，亦即將連接第1空間與第2空間之流路H隔斷(閉合)、及開放該隔斷狀態(連結第1空間與第2空間)。藉此，閘閥100切換隔斷狀態與將該隔斷狀態開放之開放狀態。 閘閥100具備閥箱10、中立閥體5、及旋轉軸20。於閥箱10之內部形成中空部11。閥箱10由具有中空部11之框架構成。於閥箱10，以隔著中空部11彼此對向之方式設置第1開口部12a及第2開口部12b。
第1開口部12a露出於第1空間。第2開口部12b露出於第2空間。自第1開口部12a至第2開口部12b經由中空部11而被連通。自第1開口部12a朝向第2開口部12b設定有流路H。閘閥100插入於第1空間與第2空間之間。再者，將沿著流路H之方向稱為流路H方向。
於閥箱10之中空部11內，配置中立閥體5。中立閥部30與作為位置切換部之旋轉軸20連接。旋轉軸20具有與流路H方向大致平行地延在之軸線。旋轉軸20貫通閥箱10。旋轉軸20能夠利用未圖示之驅動裝置而旋轉。於旋轉軸20之一端，經由連接構件(未圖示)固定有中立閥體5。旋轉軸20作為中立閥體5之位置切換部發揮功能。 或者是，亦可於旋轉軸20不經由連接構件(未圖示)而直接連接有中立閥體5。
中立閥體5可閉合第1開口部12a及/或第2開口部12b。 在本實施形態中，可閉合第1開口部12a。中立閥體5在閥閉合位置與閥開放位置之間動作。在閥閉合位置，中立閥體5相對於第1開口部12a成為閉合狀態(圖18)。在閥開放位置，中立閥體5成為自第1開口部12a退避之開放狀態(圖14)。 中立閥體5由中立閥部30、及可動閥部40構成。
中立閥部30以包含於與相對於旋轉軸20之軸線正交之方向平行之面內之方式配置。中立閥部30如圖13所示般，具有圓形部30a及旋轉部30b。圓形部30a在流路H方向觀察下，以與可動閥部40重疊之方式配置。旋轉部(臂部)30b形成為自旋轉軸20向圓形部30a，兩條臂延伸之臂形狀。旋轉部30b伴隨著旋轉軸20之旋轉使圓形部30a旋轉。該等旋轉軸20、中立閥部30相對於閥箱10而轉動，但在流路H方向上位置不變動。
可動閥部40為大致圓板狀。可動閥部40相對於中立閥部30僅可於厚度方向(流路H方向)滑動地連接。可動閥部40具備2個可動閥框部60(滑閥板)與可動閥板部50(台板)。 可動閥框部60為與圓形部30a大致同心狀之大致圓環狀。可動閥框部60嵌合於圓形部30a。
可動閥框部60可相對於中立閥部30於流路H方向滑動。於可動閥框部60與中立閥部30之間，配置有閥框彈推部90(輔助彈簧)。可動閥框部60藉由閥框彈推部90(輔助彈簧)，可相對於中立閥部30變更流路H方向上之位置地與其連接。
可動閥板部50為具有與圓形部30a大致同心狀之圓形輪廓之板體。可動閥板部50嵌合於可動閥框部60。 可動閥框部60以包圍可動閥板部50之周圍之方式配置。可動閥板部50與可動閥框部60由閥板彈推部80(保持彈簧)連接。
可動閥板部50與動閥框部60可在圖14中以符號B1、B2所示之往復方向上，可彼此相對地滑動。所謂往復方向B1、B2，為與可動閥板部50及可動閥框部60之面垂直之方向。所謂往復方向B1、B2，為與旋轉軸20之軸向平行之流路H方向。 於可動閥板部50，在與閥箱內面10B對向(抵接)之位置，周設有台墊51。
台墊51為包含圓環狀之彈性體即O型環等之密封部。台墊51可與閉閥時成為第2開口部12b之周緣之閥箱內面10B密接。台墊51被可動閥板部50及閥箱內面10B按壓。藉此，第1空間與第2空間成為隔斷狀態。台墊51在可動閥板部50與閥箱內面10B之碰撞時彈性變形，而緩和衝擊。 於可動閥板部50設置排氣孔53。在可動閥板部50與閥箱內面10B碰撞時，由可動閥板部50與閥箱內面10B及台墊51形成密閉空間。排氣孔53自該密閉空間將氣體去除。
於可動閥板部50之外周附近之全區域，形成有內周曲柄部50c。 內周曲柄部50c具有與流路H方向平行之滑動面50b。於可動閥框部60之內周附近之全區域，形成有外周曲柄部60c。外周曲柄部60c具有與流路H方向平行之滑動面60b。
外周曲柄部60c及內周曲柄部50c為嵌合。滑動面50b與滑動面60b可相互滑動且位於對向狀態。 於外周曲柄部60c與內周曲柄部50c之間，配置有包含O型環等之滑動密封墊52。藉由滑動密封墊52，在滑動時維持滑動面50b與滑動面60b之密封狀態。
於可動閥框部60，在與閥箱10之內面對向(抵接)之表面，周設有閥框密封墊61。閥框密封墊61為包含圓環狀之O型環等之密封部。閥框密封墊61在閉閥時與成為第1開口部12a之周緣之閥箱內面10A接觸，且被可動閥框部60及閥箱內面10A按壓。藉此，第1空間與第2空間為隔斷狀態。
閥框密封墊61與滑動密封墊52配置於大致同一圓筒面上。閥框密封墊61與滑動密封墊52以與圖15～圖16所示之線R重疊之方式配置。因此，可獲得約100%之逆壓消除率。
閥框彈推部90配置於中立閥部30之圓形部30a、與在流路H方向觀察下與圓形部30a重疊之可動閥框部60之位置規制部65之間。閥框彈推部90相對於中立閥部30將可動閥框部60向流路H方向之中央位置彈推。閥框彈推部90在圓形部30a之周向上具有等間隔且配置複數個。閥框彈推部90為彈性構件，被設為板簧。閥框彈推部90(板簧)配置為其長度方向沿著圓形部30a之周向。
閥框彈推部90(板簧)之兩端部分如圖17所示般，被固定銷92與固定銷93卡止於中立閥部30之圓形部30a。閥框彈推部90(板簧)之兩端部分各自於厚度方向夾著環狀構件92a、環狀構件92b而卡止於圓形部30a。閥框彈推部90(板簧)之中央部分被印壓銷91卡止於可動閥框部60之位置規制部65。
於閘閥100之開閥狀態(圖14)，流路H方向上之中立閥部30(臂)與可動閥框部60之相隔距離變窄。閥框彈推部90之高度方向(厚度方向)之尺寸縮小。藉此，於閥框彈推部90形成有沿厚度方向褶曲之曲部90A(圖17)。
相對於此，在閘閥100在閉閥狀態(圖18)下，流路H方向上之中立閥部30(臂)與可動閥框部60與之相隔距離變寬。藉此，閥框彈推部90之高度方向(厚度方向)之尺寸伸長。亦即，在閥框彈推部90中，曲部90A消除(圖21)。
閥框彈推部90具有在自閉閥狀態(圖18)朝開閥狀態(圖14)變化時，促進自閥箱10之內面拉開可動閥框部60之機械性分離動作之構造。又，閥框彈推部90亦具備保持相對於中立閥部30(臂)的可動閥框部60之徑向及周向之位置之功能。
閥框彈推部90具有將可動閥框部60相對於中立閥部30可變更流路方向上之位置地與其連接之功能，及將可動閥框部60向流路H方向上之中央位置彈推之功能。
於閥箱10，內置有複數個閥箱彈推部70。閥箱彈推部70為前述之第1～第4實施形態之真空致動器70。真空致動器(閥箱彈推部)70將可動閥框部60向流路H方向上之靠近第1開口部12a之方向彈推。
真空致動器(閥箱彈推部)70構成將可動閥框部60朝面向密封面之方向按壓之升降機構。複數個真空致動器(閥箱彈推部)70配置於可在不使可動閥框部60之姿勢變化下進行彈推之位置。複數個真空致動器(閥箱彈推部)70沿著第2開口部12b之周圍等間隔地分隔而設置。
圖25、圖26顯示作為彼此相隔之閥箱彈推部70之配置而自閥體之中心O觀察，4個閥箱彈推部70以相同之角度位置(90度)相隔之方式配置之構成例。自中心O觀察，真空致動器(閥箱彈推部)70之角度位置以不與閥板彈推部80及閥框彈推部90之角度位置重疊之方式構成。
真空致動器(閥箱彈推部)70具有油壓驅動部(固定部)71、及伸縮桿(可動部)72。油壓驅動部(固定部)71配置為相對於中空部11被埋入較閥箱內面10B更靠外側之框架之內部。伸縮桿(可動部)72沿著流路H方向自固定部71朝靠近第1開口部12a之方向伸長自如地配置。
真空致動器(閥箱彈推部)70與油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700連接，藉由油壓而驅動。油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700為前述之第1～第4實施形態之油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)700。
在自開閥狀態(圖14)被設為閉閥狀態(圖18)之情形下，真空致動器(閥箱彈推部)70藉由油壓使伸縮桿(可動部)72伸長。此時，真空致動器(閥箱彈推部)70彈推前端部72a已抵接之可動閥框部60。藉此，可動閥框部60朝流路H方向向第1開口部12a移動。閥框密封墊61密接於第1開口部12a之周圍之閥箱內面10A。在複數個真空致動器(閥箱彈推部)70中，伸縮桿(可動部)72之伸長動作均可大致同時地動作。
閥板彈推部80(保持彈簧)內置於可動閥部40。閥板彈推部80朝流路H方向上之厚度尺寸變小之方向，將可動閥框部60與可動閥板部50相互彈推。閥板彈推部80朝可動閥框部60之移動之往復方向B1、B2使可動閥板部50連動。
閥板彈推部80在流路H方向觀察下在可動閥框部60與可動閥板部50重疊之區域配置複數個。複數個閥板彈推部80設為在可動閥框部60之周向具有等間隔之配置。設置閥板彈推部80之部位，較佳為3個以上，相互分隔而設置。
閥板彈推部80藉由螺栓狀之引導銷81之長軸部，誘導(規制)可動閥板部50之移動。引導銷81固定於可動閥框部60。構成閥板彈推部80之保持彈簧，例如由彈簧、橡膠等之彈性構件形成。
引導銷81由粗細尺寸為均一之棒狀體構成。引導銷81貫通閥板彈推部80內。引導銷81於流路H方向豎立設置且被固定設置於可動閥框部60。引導銷81嵌合於形成在可動閥板部50之孔部50h。引導銷81誘導可動閥板部50與可動閥框部60之位置規制。
藉由閥板彈推部80，在可動閥板部50與可動閥框部60相互滑動時，將滑動方向(由符號Q表示之軸)維持為往復方向B1、B2。又，即便在可動閥板部50與可動閥框部60滑動時，亦可在可動閥板部50及可動閥框部60之姿勢不變化下，進行平行移動。
以下，對本實施形態之閘閥100之動作詳細地進行說明。
首先，在本實施形態之閘閥100中，考量可動閥部40處於作為未設置有流路H之中空部11之退避位置之狀態。此時，可動閥部40與閥箱內面10A及閥箱內面10B相接。在該狀態下，使旋轉軸20朝以符號R1表示之方向(與流路H之方向交叉之方向)旋轉。如是，中立閥部30及可動閥部40沿著方向R1以擺動運動而進行旋轉移動。藉由該旋轉，可動閥部40自退避位置朝作為與第1開口部12a對向之位置之閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)移動。
於閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)，真空致動器(閥箱彈推部)70朝流路H方向上之靠近第1開口部12a之方向將伸縮桿(可動部)72伸長。伸縮桿(可動部)72抵接於可動閥框部60且將其按壓。可動閥框部60朝靠近第1開口部12a之方向移動。 藉由真空致動器(閥箱彈推部)70，可動閥框部60抵接於閥箱內面10A。此時，閥框密封墊61密接於位於第1開口部12a之周圍之閥箱內面10A。藉此，將流路H閉合(閉閥動作)。
反之，真空致動器(閥箱彈推部)70使伸縮桿(可動部)72退縮。自伸縮桿(可動部)72朝可動閥框部60之彈推力減少。如是，藉由閥框彈推部90之彈推力，自閥箱10之內面將可動閥框部60拉開。解除可動閥框部60與閥箱內面10A之密閉狀態。藉此，將前述流路H開放(解除動作)。 可動閥部40之閉閥動作及解除動作藉由利用閥箱彈推部70實現之機械性之抵接動作及利用閥框彈推部90實現之機械性之分離動作而進行。
在解除動作之後，使旋轉軸20朝以符號R2所示之方向旋轉。如是，可動閥部40自閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)移動至退避位置(退避動作)。 藉由該解除動作與退避動作，進行將可動閥部40設為閥開狀態之閥開動作。 在一系列之動作(閉閥動作、解除動作、退避動作)中，閥板彈推部80使可動閥框部60與可動閥板部50連動。
[閥體處於能夠進行退避動作之位置(自由)之狀態] 圖14～圖16顯示閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)之可動閥部40(可動閥框部60、可動閥板部50)未與閥箱10之任一閥箱內面10A、10B相接之狀態。將該狀態稱為閥體為自由之狀態。在閥體為自由之狀態下，真空致動器(閥箱彈推部)70之伸縮桿(可動部)72不自閥箱內面10B突出，而處於退縮至閥箱10之內側之狀態。即，真空致動器(閥箱彈推部)70不與中立閥體5相接。
其次，自閥體為自由之狀態驅動真空致動器(閥箱彈推部)70。如是，伸縮桿(可動部)72之前端部72a如圖15中以箭頭F1所示般，抵接於可動閥框部60之下表面60sb。藉此，如圖15中以箭頭F2所示般，可動閥框部60向閥箱內面10A移動。
進而，可動閥框部60移動，而閥框密封墊61與閥箱內面10A相接之狀態，為閉閥位置之狀態(閉閥狀態)。此時，可動閥板部50藉由閥板彈推部(保持彈簧)80與可動閥框部60朝相同之方向移動。同時，可動閥板部50與可動閥框部60經由滑動密封墊52維持滑動密封狀態。
在閥體為自由之狀態下，真空致動器(閥箱彈推部)70使可動閥框部60與閥箱10之閥箱內面10A接觸，而閉合流路H(閉閥動作)。
[閥體處於閥閉位置(正壓或無差壓)之狀態] 圖18～圖20顯示藉由上述之閉閥動作而將流路H閉合之狀態。 將該狀態稱為正壓/無差壓之閥閉狀態。所謂正壓/無差壓之閥閉狀態，係指中立閥體5與閥箱10之一個內面相接之狀態，且係與另一個內面不相接之狀態。即，在正壓/無差壓之閥閉狀態下，中立閥體5與第1開口部12a之周圍之閥箱內面10A相接。同時，中立閥體5與位於第2開口部12b之周圍之閥箱內面10B不相接。
在正壓/無差壓之閥閉狀態下，在真空致動器(閥箱彈推部)70中，維持伸縮桿(可動部)72朝面向可動閥框部60之方向延伸之狀態。即，維持使前端部72a抵接於可動閥框部60之下表面60sb之狀態。又，維持閥框密封墊61與閥箱10之第1開口部12a之周圍之閥箱內面10A相接之狀態。
[閥體為逆壓位置之閥閉狀態] 圖22～圖24顯示在逆壓狀態下將流路H閉合之狀態。 將該狀態稱為逆壓之閥閉狀態。所謂逆壓之閥閉狀態，係指中立閥體5與流路H方向之兩個閥箱內面10A、10B相接之狀態。即，在逆壓之閥閉狀態下，保持中立閥體5與第1開口部12a之周圍之閥箱內面10A相接之狀態，且為亦與位於第2開口部12b之周圍之閥箱內面10B相接之狀態。此處，所謂逆壓係自閉閥狀態朝開閥狀態之方向對閥體施加壓力。
在中立閥體5接受到逆壓之情形下，藉由閥板彈推部80，而可動閥板部50相對於可動閥框部60朝往復方向B2(圖22)滑動且移動。可動閥框部60與可動閥板部50之間經由滑動密封墊52維持密封狀態。 藉此，可動閥板部50與第2開口部12b之周圍之閥箱內面10B碰撞。此時，台墊51緩和可動閥板部50之碰撞所致之衝擊。使中立閥體5所接受之力由閥箱10之閥箱內面10B(背側之主體)接受之機構，為逆壓消除機構。
進而，設為正壓/無差壓，在該狀態下，藉由閥框彈推部90將可動閥框部60自閥箱10之內面拉開，而使可動閥框部60退避，藉此將流路H開放(解除動作)。
如此般，在本實施形態之閘閥100中，具有回彈功能而能夠進行常閉動作。可減少閥體之零件數目。可獲得約100%之逆壓消除率。可抑制閥體之驅動力。能夠進行確實之閉合動作。亦可提高動作上之安全性。能夠進行高信賴性之隔斷動作。
再者，在上述各實施形態中，亦可設為使各個構成組合之構成。 [實施例]
以下，對本發明之實施例進行說明。
此處，作為本發明之油壓驅動系統之具體例，對於性能研究進行說明。
＜組合例＞ 首先，對於將馬達705m之種類與針對其所需之逆轉對應部之構成、及此時所需之電力進行組合之構成的壽命進行了研究。
此處，作為馬達705m，對於DC有刷馬達、DC無芯無刷馬達、步進馬達進行了研究。又，對於是否需要該等之馬達之齒槽轉矩對策進行了研究。 作為逆轉對應部之構成，對於用於防止油壓逆流時之驅動系統逆轉之電磁閥、勵磁離合器705d、勵磁制動器705b進行了研究。又，對於是否需要回生電流處理部705c進行了研究。
進而，對於驅動所需之電力、與已組合之構成之壽命進行了研究。 再者，電力係以DC有刷馬達之大小為1而進行了比較。又，對於壽命，亦同樣地以DC有刷馬達之免保養維修之長度(驅動次數)為1進行了比較。 表1顯示該等之研究結果。
[表1]
組合 馬達 電磁閥 勵磁離合器 勵磁制動器 對策 性能
回生 電阻 齒槽 電力 壽命
例1 DC有刷 ○ × × 需要 需要 1 0.8～1
例2 DC無芯無刷 × × ○ 需要 不需要 1.3 4～5
例3 DC無芯無刷 ○ × × 需要 不需要 1.3 4～5
例4 DC有刷 × ○ ○ 不需要 不需要 1 0.8～1
例5 步進 × × × 需要 不需要 3 1.5～2
自表1所示之結果可知，在採用本發明之DC無芯無刷馬達，設置勵磁制動器705b與回生電流處理部705c之情形下，雖然電力為1.3左右，但壽命延長至5倍。 自表1所示之結果可知，在採用本發明之DC有刷馬達，設置勵磁制動器705b與勵磁離合器705d之情形下，雖然壽命為1倍左右，但電力為1倍。 [產業上之可利用性]
作為本發明之活用例，可應用於真空裝置等的進行油壓驅動之機構。特別是，可廣泛地應用於切換隔斷連結真空度、溫度或氣體環境等性質不同之空間之流路之狀態、及開放該隔斷狀態之狀態之用途之閘閥。
5:閥體、中立閥體 10:閥箱 10A:閥箱內面 10B:閥箱內面 11:中空部 12a:第1開口部 12b:第2開口部 20:旋轉軸 21:旋轉驅動部 30:中立閥部 30a:圓形部 30b:旋轉部(臂部) 40:可動閥部 50:可動閥板部(台板) 50b:滑動面 50c:內周曲柄部 51:台墊 52:滑動密封墊 53:排氣孔 54:可動閥部(可動閥板部) 60:可動閥框部(滑閥板) 60b:滑動面 60c:外周曲柄部 60sb:下表面 61:閥框密封墊 63:閥框部 65:位置規制部 70:真空致動器(按壓缸體、彈推部、頂銷移動部、對準機構、按壓部、閥箱彈推部) 71:油壓驅動部(固定部) 72:可動部(伸縮桿) 72a:前端部 72m:外周面(滑動面) 73:彈推構件(按壓彈簧、彈簧) 77a1:O型環(密閉構件) 77a2:耐磨環(密閉構件) 77b:耐磨環(密閉構件) 77c1:Y襯墊(密閉構件) 77c2:密封件(密閉構件) 77d:耐磨環(密閉構件) 77e:Y襯墊(密閉構件) 77f:O型環(密閉構件) 77p:O型環(密閉構件) 77q:O型環(密閉構件) 77r:O型環(密閉構件) 80:閥板彈推部(保持彈簧) 81:引導銷 90:閥框彈推部(輔助彈簧、板簧) 90A:曲部 91:印壓銷 92:固定銷 92a:環狀構件 93:固定銷 100:閘閥 200:真空裝置(濺鍍裝置) 201:成膜室(腔室) 201a:前側空間 201b:背側空間 202:防著板框 203:保持部 204a:搬送口 204b:成膜口 205:遮罩 206:背板(陰極電極) 206a:電源 207a:氣體導入裝置(氣體導入機構) 207b:高真空排氣裝置(高真空排氣機構) 700:油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部) 701:油壓產生部 702:油壓管 705:驅動部 705a:旋轉驅動軸 705b:勵磁制動器 705c:回生電流處理部 705d:勵磁離合器 705m:馬達 706:控制部(控制器) 707:電源 710:油壓缸體 711:缸體本體 711a:端部(第1端) 711b:端部(第2端) 711c:凸緣部 711d:周槽 711e:襯套 711f:Y形襯墊 711g:Y形襯墊 712:活塞 712a:端部 712b:端部 713:油壓流路 714:油壓空間 720:油壓彈推構件(主彈簧) 721:內簧 721a:端部 721b:端部 722:外簧 722a:端部 722b:端部 730:缸體驅動部 731:驅動軸 731a:端部 731b:端部 731c:滾珠螺桿 731h:止轉部 732:螺桿驅動齒輪 732a:內螺桿驅動齒輪 732b:外螺桿驅動齒輪 732c:內側螺面 732d:外側齒輪 732f:滾珠軸承 732g:滾珠軸承 733d:驅動齒輪 733e:驅動齒輪 734:旋轉軸 735:驅動齒輪 736:旋轉軸 737:驅動齒輪 750:外殼 751:外殼筒 751k:驅動系統支持部 752:外殼蓋 753:後外殼 753k:驅動系統支持部 754:環 755:收納空間 754d:周槽 756:後空間 757:滑槽 758:蓋部 760:檢測開關(檢測機構) 761:檢測開關(檢測機構) 771:引導桿 771a:一端面 771c:貫通孔 771f:滑動面 771g:外引導桿 772:缸體部 772a:一端部 772b:另一端部 772f:滑動面 772h:凸部 772m:外周面(滑動面) 773:凸緣部 773a:按壓面 774:外殼 774a:真空側蓋部 774b:蓋部 774c:圓筒部 774d:階差 774e:階差 774g:凹部 774h:凸部 774m:貫通孔 775:貫通孔 776:緩衝空間 777:驅動空間 778:大氣側緩衝空間 778s:貫通孔 802:切換感測器 A-O-C:線段 B1:往復方向 B2:往復方向 Ch:真空側之外部(腔室) F1:箭頭 F2:箭頭 G:玻璃基板(被處理基板) H:流路 O:閥體之中心 Q:軸 R:線 R1:方向 R2:方向
圖1係顯示本發明之第1實施形態之油壓驅動系統之示意圖。 圖2係顯示本發明之第2實施形態之油壓驅動系統之示意圖。 圖3係顯示本發明之第3實施形態之閘閥之沿著流路方向之示意剖視圖，係顯示閥體配置於退避位置(閥開放位置)之情形之圖。 圖4係顯示本發明之第3實施形態之閘閥之沿著流路之示意剖視圖，係顯示閥體配置於閥開口遮蔽位置(滑動準備位置)之情形之圖。 圖5係顯示本發明之第3實施形態之閘閥之沿著流路之示意剖視圖，係顯示閥體配置於閥閉合位置之情形之圖。 圖6係顯示本發明之第4實施形態之油壓驅動系統及閘閥之油壓驅動部之示意說明圖。 圖7係顯示本發明之第4實施形態之油壓驅動系統及閘閥之油壓驅動部之示意說明圖。 圖8係顯示本發明之第4實施形態之油壓驅動系統及閘閥之油壓驅動部之示意說明圖。 圖9係顯示本發明之第4實施形態之油壓驅動系統及閘閥之真空致動器之示意說明圖。 圖10係顯示本發明之第4實施形態之油壓驅動系統及閘閥之真空致動器之示意說明圖。 圖11係顯示本發明之第4實施形態之油壓驅動系統及閘閥之真空致動器之示意說明圖。 圖12係顯示具備本發明之第5實施形態之油壓驅動系統之真空裝置之示意說明圖。 圖13係顯示本發明之第6實施形態之閘閥之構成之與流路正交之剖視圖。 圖14係顯示本發明之第6實施形態之閘閥之構成之沿著流路之剖視圖，係顯示閥體配置於可退避動作位置(FREE，自由)之情形之圖。 圖15係顯示沿著圖13之線段A-O之主要部分之沿著流路之放大剖視圖，係顯示閥體配置於可退避動作位置(FREE，自由)之情形之圖。 圖16係顯示沿著圖13之線段B-O-C之主要部分之沿著流路之放大剖視圖，係顯示閥體配置於可退避動作位置(FREE，自由)之情形之圖。 圖17係顯示圖13之閥框彈推部之主要部分之沿著流路之放大剖視圖，係顯示閥體配置於可退避動作位置(FREE，自由)之情形之圖。 圖18係顯示本發明之第6實施形態之閘閥之構成之沿著流路之剖視圖，係顯示閥體配置於閉閥位置(正壓或無差壓)之情形之圖。 圖19係顯示圖18之主要部分之沿著流路之放大剖視圖。 圖20係顯示圖18之主要部分之沿著流路之放大剖視圖。 圖21係顯示圖18之主要部分之沿著流路之放大剖視圖。 圖22係顯示本發明之第6實施形態之閘閥之構成之沿著流路之剖視圖，係顯示閥體配置於逆壓位置之情形之圖。 圖23係顯示圖23之主要部分之沿著流路之放大剖視圖。 圖24係顯示圖23之主要部分之沿著流路之放大剖視圖。 圖25係顯示本發明之第6實施形態之閘閥中之閥箱內之閥箱彈推部之配置的立體圖。 圖26係顯示本發明之第6實施形態之閘閥中之閥箱內之閥箱彈推部之配置的立體圖。
11:中空部
70:真空致動器(按壓缸體、彈推部、頂銷移動部、對準機構、按壓部、閥箱彈推部)
71:油壓驅動部(固定部)
72:可動部(伸縮桿)
73:彈推構件(按壓彈簧、彈簧)
700:油壓驅動部(非壓縮性流體驅動部)
701:油壓產生部
702:油壓管
705:驅動部
705b:勵磁制動器
705c:回生電流處理部
705m:馬達
706:控制部(控制器)
707:電源
720:油壓彈推構件(主彈簧)
Ch:真空側之外部(腔室)

Claims (6)

  1. 一種油壓驅動系統，其具有在被設為真空環境之腔室內可按壓對象物地進行伸縮之真空致動器，且具有： 前述真空致動器，其藉由自外部供給之作動油壓而驅動；及 油壓驅動部，其對前述真空致動器供給作動油壓；且 前述油壓驅動部具備：使作動油壓產生之油壓產生部、驅動前述油壓產生部之驅動部、及對前述驅動部饋電之電源，且於前述驅動部設置馬達及油壓彈推構件，能夠以在前述油壓產生部產生彼此逆向之作動油壓之方式驅動前述油壓產生部； 真空致動器具有可向前述對象物伸縮之伸縮桿、及將前述伸縮桿伸縮之固定部，可藉由自前述油壓驅動部供給至前述固定部之作動油壓而驅動前述伸縮桿； 於前述驅動部設置逆轉對應部，其在前述伸縮桿藉由前述油壓彈推構件之彈推力朝自前述對象物離開之方向移動時，與前述馬達之逆轉狀態對應。
  2. 如請求項1之油壓驅動系統，其中於前述逆轉對應部設置勵磁制動器，該勵磁制動器具有在有來自前述電源之饋電之狀態下將前述馬達之旋轉驅動軸停止之制動功能。
  3. 如請求項2之油壓驅動系統，其中於前述逆轉對應部設置勵磁離合器，該勵磁離合器具有在無來自前述電源之饋電之狀態下將前述馬達之旋轉驅動軸自前述油壓產生部解除連結之離合器功能。
  4. 如請求項2之油壓驅動系統，其中於前述逆轉對應部設置回生電流處理部， 前述馬達設為DC無芯無刷馬達。
  5. 如請求項3之油壓驅動系統，其中前述馬達設為DC有刷馬達。
  6. 一種閘閥，其可進行常閉動作，且具備： 中空部； 閥箱，其具有以隔著前述中空部而彼此對向之方式設置而成為連通之流路之第1開口部及第2開口部； 閥體，其可開放及閉合前述流路； 旋轉軸，其在前述中空部內之退避位置與閥開口遮蔽位置之間將前述閥體可旋轉地支持，且具有在流路方向延伸之軸線； 旋轉驅動部，其可旋轉驅動前述閥體； 可動閥部，其可變更在前述流路方向上之位置地設置於前述閥體； 閥箱彈推部，其設置於前述閥箱，將前述閥開口遮蔽位置之前述可動閥部朝前述流路方向移動且關閉；及 油壓驅動部，其藉由作動油之給排而驅動前述閥箱彈推部；且 前述閥箱彈推部為請求項1至5中任一項之油壓驅動系統之前述真空致動器； 前述油壓驅動部為請求項1至5中任一項之油壓驅動系統之前述油壓驅動部； 前述閥體為請求項1至5中任一項之油壓驅動系統之前述對象物。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5699820A (en) 1979-12-31 1981-08-11 Kokusan Kinzoku Kogyo Co Ltd Gas cap
US4871143A (en) * 1989-02-15 1989-10-03 Cameron Iron Works Usa, Inc. Gate valve with supplemental actuator
JP4196293B2 (ja) * 2004-08-02 2008-12-17 Ｓｍｃ株式会社 真空調圧用バルブ
JP5005512B2 (ja) * 2007-11-07 2012-08-22 東京エレクトロン株式会社 ゲートバルブ装置および真空処理装置およびゲートバルブ装置における弁体の開放方法。
TW201124655A (en) * 2009-09-03 2011-07-16 Ulvac Inc Gate valve
KR101544530B1 (ko) * 2011-03-10 2015-08-13 가부시키가이샤 아루박 게이트 밸브 및 슬라이드 밸브
EP2551564A1 (de) * 2011-07-28 2013-01-30 VAT Holding AG Ventil zum im Wesentlichen gasdichten Unterbrechen eines Fliesswegs
JP2017053370A (ja) * 2015-09-07 2017-03-16 株式会社東芝 バルブおよび半導体製造装置
TWI666401B (zh) * 2016-10-04 2019-07-21 日商愛發科股份有限公司 閘閥
JP6819304B2 (ja) * 2017-01-12 2021-01-27 株式会社島津製作所 真空バルブ、真空ポンプおよび真空排気システム

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