TW202032876A - 電極、放電裝置、電極的製造方法、及電極的檢查方法 - Google Patents

Abstract

電極是使用於放電裝置。電極具有強調部，前述強調部是在從進行電極的外觀檢查時的觀察方向觀看到的電極的表面當中，於包含電極的至少一部分的輪廓部分之對象區域中，用於強調輪廓部分與周邊部分之對比。像這樣，藉由在對象區域具有強調部，變得易於檢測電極的輪廓部分，對於確保對使用於放電裝置來說變得重要的尺寸精度很有用。

Description

電極、放電裝置、電極的製造方法、及電極的檢查方法

發明領域 本揭示是有關於一種電極、放電裝置、電極的製造方法、及電極的檢查方法。更詳細地說，本揭示是有關於一種在放電所使用之電極、放電裝置、電極的製造方法、及電極的檢查方法。

發明背景 以往，如日本專利特開2018-022574號公報所示，提供有一種具備有放電電極、對向電極(電極)及電壓施加電路的放電裝置。

此種放電裝置是藉由電壓施加電路而在放電電極與對向電極之間施加電壓，使其產生放電。並且，在對放電電極供給有液體的情況下，可能在放電時該液體進行靜電霧化，而生成包含作為有效成分之自由基的帶電微粒子液。

發明概要 在上述構成的放電裝置中，為了實現所期望的放電，重要的是放電電極與對向電極之間的尺寸精度。作為測定並管理放電電極與對向電極之間的尺寸之手法的一種，有例如使用相機的圖像檢查。為了藉圖像檢查來測量放電電極與對向電極之間的尺寸，必須檢測放電電極及對向電極的放電點附近的輪廓，但會有因放電電極的形狀及對放電電極之光的照射方式等而難以檢測輪廓之情況。

本揭示是提供一種容易檢測輪廓部分的電極、放電裝置、電極的製造方法、及電極的檢查方法。

本揭示之一態樣的電極是使用於放電裝置的電極。電極具有強調部，前述強調部是在從進行電極的外觀檢查時的觀察方向觀看到的電極的表面當中，於包含電極的至少一部分的輪廓部分之對象區域中，用於強調輪廓部分與周邊部分之對比。

本揭示之一態樣的放電裝置具備電極、和電極隔著間隙而對向的放電電極、及在電極與放電電極之間施加電壓的電壓施加電路。

本揭示之一態樣的電極的製造方法包含形成強調部之步驟，前述強調部是在從進行電極的外觀檢查時的觀察方向觀看到的電極的表面當中，於包含電極的至少一部分的輪廓部分之對象區域中，用於強調輪廓部分與周邊部分之對比。

本揭示之一態樣的電極檢查方法是在已將來自檢查用照明之光照射於電極的狀態下，使用從觀察方向觀察電極的表面之圖像，來進行電極的外觀檢查。

依據本揭示，可以提供一種容易檢測輪廓部分的電極、放電裝置、電極的製造方法、及電極的檢查方法。

用以實施發明之形態 (實施形態) (1)概要 參照圖1~圖5來說明本實施形態之電極20以及具備有電極20的放電裝置1。

如圖1及圖2A所示，本實施形態之電極20是在放電裝置1所使用的電極。電極20在從觀察方向D1(參照圖1)觀看到的電極20的表面20A當中，於在圖2B中以半圓形表示的對象區域21(參照圖2B及圖3)中，具有在圖2B中為以圓弧表示的強調部23。圖1所示的觀察方向D1是進行電極20的外觀檢查時的方向。對象區域21是包含電極20之至少一部分的輪廓部分22。強調部23是強調輪廓部分22與周邊部分300(參照圖2A)之對比。

在此，外觀檢查是指以下之圖像檢查：如例如圖1所示，以配置在電極20的上方之相機80拍攝電極20，並依據相機80的圖像來檢查電極20的尺寸及安裝位置等。再者，外觀檢查亦可是檢查者使用放大鏡及顯微鏡等的光學機器，用肉眼觀察電極20之目視檢查。在目視檢查時，檢查者是用放大鏡及顯微鏡等光學機器，以目視方式來識別電極20的輪廓部分，並藉由與作為尺寸之基準的尺規等比較，來檢查電極20的位置及安裝位置等。亦即，電極20的表面20A的「觀察」並不限定於藉由對以相機80所拍攝之電極20的圖像進行圖像處理而進行的觀察，亦可為檢查者使用肉眼或光學機器，而以目視方式進行的觀察。從而，進行外觀檢查時的觀察方向亦可是以相機80拍攝電極20的方向，亦可是檢查者用肉眼或光學裝置觀看電極20的方向。在圖1之例中，觀察方向D1是從位於上側的相機80往下看位於下側的放電裝置1之方向。

再者，圖1及圖3是示意圖，電極20、相機80及檢查用照明90的大小、電極20、相機80及檢查用照明90的位置關係和實際是有差異的。在圖3中是以箭頭來圖示從檢查用照明90所照射之光。又，周邊部分300是指在從觀察方向觀看電極20時，存在於強調部23之周圍的部分。周邊部分300包含看起來相鄰於強調部23而存在之電極20以外的構件，並且包含位在電極20的前側或後側，且從觀察方向D1觀看時看起來相鄰於強調部23的構件。此外，周邊部分300也包含在電極20的表面20A中相鄰於強調部23的相鄰區域24(參照圖2B)。

強調部23是強調包含於對象區域21之輪廓部分22與周邊部分300的對比，且將例如明暗及色彩的至少一部分之差變大。例如，強調部23是藉由在外觀檢查中在已將來自檢查用照明90之光照射於電極20的情況下，在強調部23與周邊部分300將明暗之差變大，而強調強調部23與周邊部分300的對比。亦即，強調部23是藉由在例如電極20的表面20A當中在強調部23與強調部23以外的部位，使表面20A的形狀、表面20A的性質與狀態即性狀、以及材料當中至少1種不同，來強調和周邊部分300的對比。在此，使表面20A的性狀不同，意指使例如在表面之光的反射率、在表面之光的反射方向、以及表面的顏色當中至少1種不同。再者，強調部23亦可為僅設在包含於對象區域21之輪廓部分22，亦可在對象區域21中設在包含輪廓部分22的一部分，亦可設在對象區域21的整體。

又，本實施形態之放電裝置1具備電極20、放電電極10、及電壓施加電路30(參照圖4及圖5)。

放電電極10是如圖1及圖2A所示，和電極20隔著間隙(空間)而對向。

電壓施加電路30是在電極20與放電電極10之間施加電壓。電壓施加電路30是例如將放電電極10設為負極(接地(ground))，將電極20設為正極(正(plus))，而在放電電極10與電極20之間施加高電壓。

又，本實施形態之放電裝置1是如圖4所示，更具備有液體供給部40。液體供給部40具有對放電電極10供給液體70(參照圖4)的功能。但是，放電裝置1只要包含電壓施加電路30、放電電極10及電極20來作為最低限度的構成要件即可，液體供給部40亦可不包含在放電裝置1的構成要件中。

本實施形態之放電裝置1是在例如藉由於放電電極10的表面附著液體70並將液體70保持在放電電極10的狀態下，使電壓施加電路30在放電電極10與電極20之間施加電壓。藉此，至少在放電電極10上產生放電，並將已保持在放電電極10的液體70藉由放電而靜電霧化。亦即，本實施形態之放電裝置1是構成所謂的靜電霧化裝置。在本揭示中，亦將保持在放電電極10的液體70，即成為靜電霧化的對象之液體70簡稱為「液體70」。

如上述，本實施形態之電極20由於在對象區域21具有強調部23，因此在從觀察方向觀看電極20的情況下，形成為可強調輪廓部分22與周邊部分300(參照圖2A、圖2B)之對比，而具有容易檢測輪廓部分22的優點。從而，也具有以下之優點：變得較容易量測電極20與放電電極10之間的尺寸W1(參照圖2A)，而可以精度良好地管理電極20與放電電極10之間的尺寸W1。 (2)詳細內容 (2.1)構成

以下，參照圖1~圖4來詳細地說明本實施形態之電極20以及放電裝置1。

如圖1、圖2A、圖2B、圖4及圖5所示，本實施形態之放電裝置1具備放電電極10、對向於放電電極10的對向電極即電極20、及電壓施加電路30。再者，在圖4及圖5中示意地圖示有放電電極10及電極20的形狀。

又，本實施形態之放電裝置1更具備有液體供給部40、控制電路50、保持放電電極10及電極20的主體60(參照圖1及圖2A)。但是，放電裝置1只要包含放電電極10、電極20、及電壓施加電路30作為最低限度的構成要件即可，液體供給部40亦可不包含在放電裝置1的構成要件中。

放電電極10是棒狀的電極。如圖1所示，放電電極10在沿著放電電極10之長軸的一端部具有前端部101，在沿著放電電極10之長軸的另一端部(和前端部101相反側的端部)具有基端部102。放電電極10是至少將前端部101形成為頭細形狀的針電極。在此所謂的「頭細形狀」並不受限於前端為銳利地削尖的形狀，而是包含如圖1所示，前端帶有圓角的形狀。

對向電極即電極20具備有例如板狀的支撐部200及4個突出部201。支撐部200是平板狀，並且形成有開口成圓形狀的開口部202。4個突出部201在開口部202的圓周方向上以等間隔的方式來配置。各突出部201是從支撐部200中的開口部202的內周緣朝向開口部202的中心突出。各突出部201的長度方向的前端部(開口部202之中心側的端部)是形成為半圓形。各突出部201的突出量是例如2mm以下，但是各突出部201的尺寸及形狀是可適當變更的。再者，電極20雖然具備有4個突出部201，但是突出部201的數量並不限定為4個，亦可為1個、2個或3個，亦可為5個以上。

在此，從觀察方向D1(參照圖1)觀看到的電極20的表面20A當中，在包含各突出部201的前端側的輪廓部分22之對象區域21(參照圖2B及圖3)中設有強調部23。在圖2B中，為半圓形的對象區域21是與在電極20中產生放電的放電部位不同的區域。電極20的放電部位是在電極20中最接近於放電電極10的部位，在本實施形態中，是在電極20的各突出部201中放電電極10側之面(在圖1中是下表面)的前端部。從而，在本實施形態中，在電極20的各突出部201中，將和放電電極10為相反側之面(上表面)的前端部分作為對象區域21，可以減低位於對象區域21的強調部23影響到在放電部位的放電之可能性。

強調部23是在將外觀檢查中來自檢查用照明90之光照射於電極20的狀態下，將藉由強調部23而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積之光量設為第1光量，且將藉由電極20的表面20A當中強調部23以外的部位而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量設為第2光量的情況下，使第2光量比第1光量增加或減少。在本實施形態中，是使第2光量比第1光量例如減少。像這樣，強調部23是將藉由強調部23朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，與將藉由電極20的表面20A當中強調部23以外的部位朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量之差變得較大。藉此，強調部23強調出強調部23與周邊部分300之對比，而易於檢測輪廓部分22。

本實施形態的強調部23包含例如在各突出部201的對象區域21中，形成在各突出部201的上表面與側面之間的角部的傾斜面211。換言之，強調部23包含傾斜面211，前述傾斜面211是在電極20的表面20A中相對於和強調部23相鄰的相鄰區域24而傾斜。像這樣，由於強調部23包含有傾斜面211，因此可以讓在傾斜面211上反射光之方向、與在相鄰區域24上反射光之方向互相不同。又，傾斜面211由於對位於突出部201的後方之蓋件63的表面也是傾斜的，因此可以讓在傾斜面211上反射光之方向與在蓋件63上反射光之方向互相不同。從而，在已將來自檢查用照明90之光照射於電極20的狀態下，傾斜面211之亮度與周邊部分300(相鄰區域24及蓋件63的表面)之亮度的明暗之差即變大，而讓相機80變得易於檢測各突出部201的輪廓部分22。

傾斜面211是例如在各突出部201的對象區域21所包含的輪廓部分22中，藉由在各突出部201的上表面與側面之間的角部施行倒角加工(例如切割、研磨或壓擠加工等之加工)而形成。藉由倒角加工而形成的傾斜面211是例如寬度為0.2mm以上的平面。亦即，傾斜面211包含有平面。再者，傾斜面211亦可包含有曲面，亦可為例如曲率半徑為0.2mm以上的曲面。再者，傾斜面211的尺寸及角度可因應於電極20的尺寸等而適當變更。又，亦可在複數個突出部201當中於一部分的突出部201設置有平面狀的傾斜面211，在剩下的突出部201設置有曲面狀的傾斜面211。

在此，將電極20與放電電極10的位置關係決定成：使支撐部200的厚度方向與放電電極10的長軸平行，且放電電極10的前端部101位於開口部202的中心附近。再者，支撐部200的厚度方向與放電電極10的長軸平行並不限定於使支撐部200的厚度方向與放電電極10的長軸在同一平面內為不交叉的狀態。支撐部200的厚度方向與放電電極10的長軸只要是以人眼觀可視為幾乎平行的狀態即可，亦可從平行的狀態稍微(數度左右)偏移。

在本實施形態中，是至少藉由電極20的開口部202而在電極20與放電電極10之間確保間隙(空間)。換言之，電極20是配置成隔著間隙對放電電極10對向，而和放電電極10是電絕緣。在此，依電極20的各前端部分即各突出部201的前端部分與放電電極10之間的尺寸W1(參照圖2A)，而使在電極20與放電電極10之間產生的放電的狀態改變。在本實施形態的電極20中，由於藉由設置強調部23，而易於檢測電極20的輪廓部分22，因此變得較容易量測電極20與放電電極10之間的尺寸W1。據此，變得可更正確地管理電極20與放電電極10之間的尺寸W1，而變得較容易在電極20與放電電極10之間產生所期望的放電。

電壓施加電路30是在電極20與放電電極10之間施加電壓。具體來說，電壓施加電路30是在電極20與放電電極10之間藉由施加例如4kV左右的高電壓，而在電極20與放電電極10之間產生放電。

液體供給部40是對放電電極10供給靜電霧化用的液體70(參照圖4)。作為一例，液體供給部40是使用冷卻裝置41(參照圖1)來實現，前述冷卻裝置41是將放電電極10冷卻而於放電電極10產生結露水。

具體來說，冷卻裝置41是作為一例而具備有一對帕耳帖元件411以及一對散熱板412。一對帕耳帖元件411是被一對散熱板412所保持。一對帕耳帖元件411是藉由例如焊料而以機械性且電性的方式來對放電電極10的基端部102連接。一對帕耳帖元件411是藉由例如焊料而以機械性且電性的方式來對一對散熱板412連接。對一對帕耳帖元件411之通電是透過一對散熱板412以及放電電極10來進行。從而，構成液體供給部40的冷卻裝置41是藉由對一對帕耳帖元件411的通電，而通過基端部102將放電電極10的整體冷卻。藉此，空氣中的水分凝結而在放電電極10的表面附著結露水。亦即，液體供給部40是構成為將放電電極10冷卻而在放電電極10的表面生成作為液體的結露水。在此構成中，因為液體供給部40可以利用空氣中的水分來對放電電極10供給液體(結露水)70，所以變得毋須進行對放電裝置1之液體的供給及補給。

如圖4所示，控制電路50是控制電壓施加電路30及液體供給部40的動作。控制電路50是例如以具有1個以上的處理器及1個以上的記憶體之微控制器作為主要構成。可藉由微控制器的處理器執行已記錄在微控制器的記憶體之程式，而實現控制電路50的各個功能。程式可記錄在記憶體中，亦可通過網際網路等電信線路而提供，亦可記錄在記憶卡等非暫時性的記錄媒體來提供。

主體60是藉由具有電絕緣性的合成樹脂，而形成為於上表面設置有開口部61的箱形。主體60是用以保持放電電極10、電極20及冷卻裝置41。

具體來說，是藉由將一對散熱板412的一部分埋入主體60，而將一對散熱板412保持在主體60。在此，在一對散熱板412當中，至少保持帕耳帖元件411的部位是從主體60露出。由於在一對帕耳帖元件411上固定有放電電極10的基端部102，因此可藉由主體60保持一對散熱板412，而將放電電極10保持於主體60。放電電極10是將基端部102配置在主體60的底壁附近，並將前端部101設成朝向主體60的開口部61側來保持於主體60。在本實施形態中，在主體60上安裝有覆蓋帕耳帖元件411之圓板狀的蓋件63。在蓋件63的中央設有圓孔狀的貫通孔64。放電電極10是通過蓋件63的貫通孔64而突出至蓋件63的上側。

又，在主體60的開口部61附近，安裝有具有複數個(例如4個)突出部201的電極20。在此，將放電電極10與電極20在主體60保持成：在從進行電極20的外觀檢查時的觀察方向D1觀看到主體60的情況下，放電電極10位於開口部202的中央。電極20所具備的4個突出部201是在開口部202的圓周方向上等間隔地配置，並從開口部202的內周緣朝向開口部202的中心突出。各突出部201的前端部由於從上側觀看到的形狀是形成為半圓形，因此各突出部201是越前端部側，各突出部201與放電電極10之間的尺寸W1變得越小。藉此，變得容易在各突出部201的前端部產生電場集中，其結果，變得容易在各突出部201的前端部與放電電極10的前端部101之間安定地產生放電。 (2.2)動作

在本實施形態的放電裝置1中，控制電路50藉由控制液體供給部40的動作，而對放電電極10供給液體70。又，藉由控制電路50控制電壓施加電路30而在放電電極10與電極20之間施加電壓，使已保持在放電電極10的液體70承受電場之力而構成稱為泰勒錐(Taylor cone)之圓錐狀的形狀。並且，藉由電場集中在泰勒錐的前端部(頂點部)而產生放電。

但是，在本實施形態的放電裝置1中，電壓施加電路30是藉由在配置成互相隔著間隙而對向的放電電極10及電極20之間施加電壓而產生放電。放電裝置1是在產生放電時，在放電電極10與對向電極即電極20之間形成部分地受到絕緣破壞的放電路徑。放電路徑L1包含第1絕緣破壞區域R1及第2絕緣破壞區域R2(參照圖5)。第1絕緣破壞區域R1是在放電電極10的周圍生成。第2絕緣破壞區域R2是在對向電極即電極20的周圍生成。再者，在圖5中是示意地圖示放電電極10及電極20，而省略保持在放電電極10之液體70的圖示。

像這樣，在放電電極10與電極20之間可形成並非整體而是部分(局部)地受到絕緣破壞的放電路徑L1。本揭示所述的「絕緣破壞」意指破壞在導體間隔離的絕緣體(包含氣體)的電絕緣性，而變得無法保持絕緣狀態之情形。氣體的絕緣破壞是因為例如將已離子化的分子藉由電場來加速而衝撞於其他的氣體分子並離子化，使離子濃度急遽增加來引發氣體放電而產生。總而言之，在由本實施形態之放電裝置1所進行的放電的產生時，是形成為如下之情形：存在於連結放電電極10與電極20的路徑上的氣體(空氣)中，部分地(即僅有一部分)產生絕緣破壞。像這樣，形成在放電電極10與電極20之間的放電路徑L1是尚未到全路絕緣破壞，而是部分地受到絕緣破壞之路徑。

並且，放電路徑L1包含有在放電電極10之周圍所生成的第1絕緣破壞區域R1、以及在電極20之周圍所生成的第2絕緣破壞區域R2。亦即，第1絕緣破壞區域R1是放電電極10之周圍的經破壞絕緣的區域，第2絕緣破壞區域R2是電極20之周圍的經破壞絕緣的區域。這些第1絕緣破壞區域R1及第2絕緣破壞區域R2是分開成互相不接觸而存在。因此，放電路徑L1是至少在第1絕緣破壞區域R1與第2絕緣破壞區域R2之間，包含有未受到絕緣破壞的區域(絕緣區域)。據此，放電電極10與電極20之間的放電路徑L1是以在至少一部分殘留絕緣區域並且部分地產生絕緣破壞的方式來成為電絕緣性降低的狀態。

根據如以上所說明的放電裝置1，在放電電極10與電極20之間，形成有並非整體而是部分地受到絕緣破壞的放電路徑L1。像這樣，即使是產生有部分的絕緣破壞的放電路徑L1，換言之，即一部分並未受到絕緣破壞的放電路徑L1，在放電電極10與電極20之間仍然可通過放電路徑L1而讓電流流動，並產生放電。像這樣，在以下是將形成部分地受到絕緣破壞的放電路徑L1之形態的放電稱為「部分破壞放電」。

在像這樣的部分破壞放電中，是以和電暈放電相比較較大的能量來生成自由基，且和電暈放電相比較可生成2~10倍左右之大量的自由基。如此進行而生成的自由基是成為以下之基礎：不限於除菌、脫臭、保濕、保鮮、病毒的滅能作用，在各種場合下都可發揮有用的效果。在此，藉由部分破壞放電而生成自由基時，也產生臭氧。但是，在部分破壞放電中，是相對於和電暈放電相比較可生成2~10倍左右的自由基，而將臭氧的產生量抑制在和電暈放電之情況相同的程度。

又，與部分破壞放電不同而有以下之形態的放電：間歇地重複從電暈放電發展到絕緣破壞(全路絕緣破壞)之現象。在以下將這種形態的放電稱為「全路絕緣破壞放電」。在全路絕緣破壞放電中，是重複以下之現象：當從電暈放電發展到絕緣破壞(全路絕緣破壞)時，即瞬間流動比較大的放電電流，並於之後緊接著讓施加電壓降低而遮斷放電電流，再讓施加電壓上升並到達絕緣破壞。在全路絕緣破壞放電中，是和部分破壞放電同樣，以和電暈放電相比較而較大的能量來生成自由基，且和電暈放電相比較可生成2~10倍左右之大量的自由基。但是，全路絕緣破壞放電的能量比起部分破壞放電的能量更大。因此，藉由在能量等級為「中」的狀態下，臭氧消失而自由基增加，即使已大量地產生自由基，仍然會由於在之後的反應路徑中能量等級成為「高」，而有使一部分的自由基消失的可能性。

換言之，在全路絕緣破壞放電中，因為其放電之能量過高，而有以下的可能性：所生成之自由基等的有效成分(空氣離子、自由基及包含其之帶電微粒子液等)的一部分消失，導致有效成分之生成效率降低。結果，根據採用了部分破壞放電之本實施形態的放電裝置1，即使和全路絕緣破壞放電相比較，仍然可以謀求有效成分之生成效率的提升。從而，在本實施形態之放電裝置1中，即使和電暈放電及全路絕緣破壞放電之任一種放電形態相比較，仍然具有以下之優點：可以謀求自由基等的有效成分的生成效率之提升。 (2.3)電極的製造方法

本實施形態之電極20的製造方法包含形成強調部23之步驟，前述強調部是在從進行電極20的外觀檢查時的觀察方向D1(參照圖1)觀看到的電極20的表面20A當中，於包含電極20的至少一部分的輪廓部分22之對象區域21中形成。

在本實施形態中，是藉由對金屬(例如鈦合金等)的板金施行壓製加工，而在開口部202的內周緣形成具有複數個突出部201的電極20。並且，藉由在電極20的表面20A(圖1的上表面)當中，對包含於各突出部201的對象區域21之輪廓部分22施行倒角加工(例如切割、研磨、或壓擠加工等之加工)，而形成作為強調部23的傾斜面211。

在此，在本實施形態中，雖然是在各突出部201的對象區域21形成讓在外觀檢查時的觀察方向D1與傾斜面211的法線方向以小於90度的角度交叉之形式的平面狀的傾斜面211，但是傾斜面211並非限定為平面。例如，強調部23的傾斜面211亦可為設在各突出部201的上表面與側面之間的角部之預定的曲率半徑的曲面。 (2.4)電極的外觀檢查

在本實施形態中，在主體60保持有放電電極10及電極20的狀態下進行電極20的外觀檢查時，可如例如圖1所示，在放電裝置1的上側配置相機80及檢查用照明90。

檢查用照明90是在相機80的全周配置有例如發光二極體等光源的環狀照明，並從相機80的全周對放電裝置1照射光。

電極20的外觀檢查是在已使來自檢查用照明90之光從觀察方向D1照射於放電裝置1的狀態下，用相機80拍攝放電裝置1。相機80是對放電裝置1中至少包含配置有放電電極10及電極20的區域之拍攝區域進行拍攝。並且，可以藉由將相機80的影像例如進行圖像處理，而量測放電電極10與電極20之間的尺寸W1。亦即，在本實施形態之電極20的檢查方法中，是在已將來自檢查用照明90之光照射於電極20的狀態下，使用從觀察方向D1觀察電極20的表面之圖像，來進行電極20的外觀檢查。

在本實施形態中，在電極20的表面20A當中，於包含電極20的至少一部分(例如各突出部201的前端部分)之輪廓部分22的對象區域21，設有包含傾斜面211的強調部23。在這樣的電極20上，在照射來自檢查用照明90之光的情況下，如圖3所示，在傾斜面211(強調部22)以外的區域上反射之光的大多數雖然是入射到相機80，但是傾斜面211上反射之光的大多數是反射到和相機80不同的方向上。又，來自檢查用照明90之光當中，通過電極20的開口部202而照射至放電裝置1的內部之光，是在位於放電裝置1的內部的構件(例如放電電極10及蓋件63等)反射而入射到相機80。從而，在傾斜面211(強調部23)上反射而入射到相機80之光的每單位面積的光量，變得比在強調部23的周邊部分300反射而入射到相機80之光的每單位面積的光量少。

圖6A是顯示進行電極20的外觀檢查的情況下以相機80所拍攝到的圖像G1之一例。圖像G1是例如黑白的濃淡圖像。電極20的表面20A當中，在各突出部201的對象區域21由於形成有傾斜面211來作為強調部23，因此傾斜面211是照得比周邊部分300(電極20的相鄰區域24及放電裝置1的內部的區域)暗。從而，在本實施形態的電極20中，具有變得較容易依據相機80的圖像G1來檢測電極20的輪廓部分22之優點。

在此，在包含各突出部201的輪廓部分22之對象區域21中未設置有強調部23的情況下，用相機80所拍攝到的圖像是如圖6B所示的圖像G2。在電極20不具備有強調部23的情況下，對象區域21的亮度與對象區域21的周邊部分的亮度之差變小，導致各突出部201的輪廓部分22模糊地照出。像這樣，在圖6B所示的圖像G2中，因為強調部23不存在，所以在各突出部201的前端部與周邊部分300的亮度之差變小，而變得難以檢測各突出部201的前端部的位置(即各突出部201的輪廓部分22)。

對此，在本實施形態的電極20中，由於在各突出部201的對象區域21中設有強調部23，因此可以在圖6A所示的圖像G1中，使強調部23的亮度與周邊部分300的亮度之差變大。從而，變得較容易依據相機80的圖像G1來檢測電極20的各突出部201的前端部(即輪廓部分22)的位置。據此，變得較容易量測從外觀檢查中的觀察方向D1觀看到的電極20的表面20A當中，各突出部201的前端部與放電電極10之間的尺寸W1，而可以將放電電極10與對向電極即電極20之間的尺寸W1管理在適當的範圍。

另外，如圖7所示，亦可將檢查用照明90A配置成從與相機80的觀察方向D1不同的方向來將光照射於電極20。在此情況下，使藉由強調部23而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，比電極20的表面20A當中藉由強調部23以外的部位而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量增加。又，藉由強調部23而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，比藉由位於放電裝置1的內部之構件而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量增加。從而，在相機80的圖像中，可以將設置在電極20的對象區域21的強調部23與周邊部分300之對比變大，而變得較容易檢測電極20的強調部23(即電極20的輪廓部分)。 (3)變形例

上述實施形態都只不過是本揭示的各種實施形態的一種。上述實施形態只要可以提供容易檢測輪廓部分的電極、放電裝置、電極的製造方法、及電極的檢查方法，均可因應於設計等而進行各種變更。以下，列舉上述實施形態的變形例。以下說明之變形例可適當組合來適用。 (3.1)第1變形例

在上述實施形態中，雖然在電極20的表面20A當中設置在對象區域21的強調部23為形成在對象區域21的輪廓部分22的傾斜面211，但是強調部23並非限定為傾斜面211。

在第1變形例的電極20中，強調部23的表面的性狀，與電極20的表面20A中和強調部23相鄰的相鄰區域24的表面的性狀不同，在這點上，第1變形例的電極20是與上述實施形態相異。

在此，強調部23及相鄰區域24的表面的性狀是指表面的凹凸、表面粗糙度、在表面之光的反射率、表面的顏色等當中的至少1種。

例如，在第1變形例的電極20中，是藉由在對象區域21的表面施行例如滾花加工而形成有微小的凹凸形狀，且將形成有凹凸形狀的部位設為強調部23。另一方面，在電極20的表面20A中相鄰於強調部23的相鄰區域24的表面並未形成有凹凸形狀，而將相鄰區域24的表面形成得比強調部23平坦。藉此，在強調部23的表面朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，變得比在相鄰區域24的表面朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量更少。從而，在相機80的圖像中，可以將設置在電極20的對象區域21的強調部23與相鄰區域24之對比變大，而變得較容易檢測電極20的強調部23(即電極20的輪廓部分)。

再者，強調部23及相鄰區域24的表面的性狀並非限定於表面的凹凸形狀。亦可對強調部23的表面與相鄰區域24的表面之至少任一者施行鍍敷處理，以使在強調部23的反射率變得比在相鄰區域24的反射率低。例如，藉由在電極20的表面20A中對強調部23的表面施行防眩光鍍敷，而使在強調部23的表面的反射率比在相鄰區域24的表面的反射率更降低。另一方面，為了將在相鄰區域24的表面的反射率形成得比在強調部23的表面的反射率更高，而在相鄰區域24的表面形成鏡面反射鍍敷或不施行防眩光鍍敷。藉此，在強調部23的反射率變得比相鄰區域24的反射率更低。從而，在已使檢查用照明90之光照射於電極20的狀態下，藉由強調部23而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，比藉由相鄰區域24而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量減少。據此，在相機80的圖像中，可強調對象區域21與相鄰區域24的對比，而變得較容易依據相機80的圖像來檢測電極20的對象區域21(即包含在對象區域21的輪廓部分22)。

又，亦可讓強調部23的表面的表面粗糙度與相鄰區域24的表面的表面粗糙度互相不同，以將在強調部23的反射率變得比在相鄰區域24的反射率更低。例如，亦可對強調部23與相鄰區域24的至少一者施行切割或研磨等的表面處理，以使強調部23的表面變得比相鄰區域24的表面更粗糙。藉由將強調部23的表面形成得比相鄰區域24的表面更粗糙，而讓在強調部23的反射率變得比在相鄰區域24的反射率低。藉此，在已使檢查用照明90之光照射於電極20的狀態下，藉由強調部23而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，比藉由相鄰區域24而朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量減少。從而，由於可在相機80的圖像中強調對象區域21與相鄰區域24的對比，因此變得較容易依據相機80的圖像來檢測電極20的對象區域21。

又，亦可將強調部23的表面與相鄰區域24的表面之至少一者以例如塗裝或雷射著色等方法來著色成互相不同的顏色，以強調對象區域21與相鄰區域24之色彩的對比。此時，相機80宜為輸出彩色圖像的相機。由於可強調在對象區域21與相鄰區域24之色彩的對比，因此變得較容易依據相機80的圖像來檢測包含於電極20的對象區域21的輪廓部分22。

再者，亦可使強調部23與相鄰區域24的表面的性狀互相不同，以使在強調部23朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，比在相鄰區域24朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量增加。在此情況下，也是由於可在相機80的圖像中在強調部23與相鄰區域24強調對比，因此可以容易檢測包含於電極20的對象區域21的輪廓部分22。 (3.2)第2變形例

在第2變形例的電極20中，是在以下之點與上述實施形態不同：如圖8所示，對象區域21所具有的強調部23的材料與在電極20中和強調部23相鄰的相鄰區域24的材料不同。

在此，強調部23的材料與相鄰區域24的材料不同，並非限定於強調部23之整體的材料與相鄰區域24之整體的材料不同之情形。只要例如構成強調部23的表面之構件的材料與構成相鄰區域24的表面之構件的材料互相不同即可。亦可例如利用在電極20的對象區域21的表面以積層的方式固著之和相鄰區域24不同的金屬來構成強調部23。

像這樣，藉由將強調部23的材料設成和相鄰區域24的材料不同的材料，而在強調部23的表面與相鄰區域24的表面於光的反射率與反射方向之至少一者產生差異。例如，若在已使檢查用照明90之光照射於電極20的狀態下，比較在強調部23朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，而比在相鄰區域24朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量減少時，即可在相機80的圖像中強調對象區域21與相鄰區域24的對比。據此，變得較容易依據相機80的圖像來檢測電極20的對象區域21。

再者，在第2變形例中，亦可在強調部23與相鄰區域24中讓材料互相不同，以使在強調部23朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量，比在相鄰區域24朝觀察方向D1反射之光的每單位面積的光量增加。在此情況下，也是由於可在強調部23與相鄰區域24強調對比，因此可以容易檢測電極20的對象區域21。 (3.3)其他的變形例

放電裝置1採用的放電形態並不受限於上述之實施形態所說明的形態。例如，放電裝置1亦可採用間歇地重複所謂的從電暈放電發展到全路絕緣破壞之現象的形態之放電，亦即｢全路絕緣破壞放電｣。在此情況下，在放電裝置1中，是形成為重複以下之現象：當從電暈放電發展到全路絕緣破壞時，即瞬間流動比較大的放電電流，並於之後緊接著讓施加電壓降低而遮斷放電電流，再讓施加電壓上升到全路絕緣破壞。

放電裝置1亦可省略用於生成帶電微粒子液的液體供給部40。在此情況下，放電裝置1是藉由在放電電極10與電極20之間產生的放電，而生成作為有效成分的空氣離子。

又，電壓施加電路30亦可構成為將放電電極10設為正極(正(plus))、將電極20設為負極(接地(ground))，而在放電電極10與電極20之間施加高電壓。此外，由於只要在放電電極10與電極20之間產生電位差(電壓)即可，因此亦可藉由電壓施加電路30將高電位側的電極(正極)設為接地，並將低電位側的電極(負極)設為負電位，而在放電電極10與電極20之間施加負的電壓。亦即，電壓施加電路30亦可將放電電極10設為接地，並將電極20設為負電位，或者將放電電極10設為負電位，並將電極20設為接地。 (總結)

如以上所說明，第1態樣之電極(20)是放電裝置用的電極。電極(20)在從進行電極(20)的外觀檢查時的觀察方向(D1)觀看到的電極(20)的表面(20A)當中，於包含電極(20)的至少一部分的輪廓部分(22)的對象區域(21)中具有強調部(23)。強調部(23)是強調輪廓部分(22)與周邊部分(300)的對比。

根據此態樣，有容易檢測電極(20)的輪廓部分(22)之優點。

在第2態樣之電極(20)中，亦可在第1態樣中，讓對象區域(21)與在電極(20)中產生放電的放電部位為不同的區域。

根據此態樣，可以將因設置強調部(23)而使在放電部位之放電受到妨礙的可能性減低。

在第3態樣之電極(20)中，亦可為在第1或第2的任一個態樣中，強調部(23)是在外觀檢查中已將來自檢查用照明(90)之光照射於電極(20)的狀態下，讓第1光量比第2光量增加或減少。第1光量是指藉由強調部(23)而朝觀察方向(D1)反射之光的每單位面積的光量。第2光量是指藉由電極(20)的表面(20A)當中強調部(23)以外的部位而朝觀察方向(D1)反射之光的每單位面積的光量。

根據此態樣，有以下之優點：藉由強調在輪廓部分(22)與周邊部分(300)的明暗，而變得較容易檢測電極(20)的輪廓部分(22)。

在第4態樣之電極(20)中，亦可為在第1至第3中的任一個態樣中，強調部(23)包含傾斜面(211)，前述傾斜面(211)是在電極(20)的表面(20A)中相對於和強調部(23)相鄰的相鄰區域(24)而傾斜。

根據此態樣，可以藉由使在傾斜面(211)上反射之光的方向與在相鄰區域(24)上反射之光的方向互相不同，而讓在傾斜面(211)與相鄰區域(24)朝觀察方向(D1)反射之光的光量不同。

在第5態樣之電極(20)中，亦可為在第4態樣中，傾斜面(211)包含平面。

根據此態樣，可以藉由使在傾斜面(211)上反射之光的方向與在相鄰區域(24)上反射之光的方向互相不同，而讓在傾斜面(211)與相鄰區域(24)朝觀察方向(D1)反射之光的光量不同。

在第6態樣之電極(20)中，亦可為在第4或第5的任一個態樣中，傾斜面(211)包含曲面。

根據此態樣，可以藉由使在傾斜面(211)上反射之光的方向與在相鄰區域(24)上反射之光的方向互相不同，而讓在傾斜面(211)與相鄰區域(24)朝觀察方向(D1)反射之光的光量不同。

在第7態樣之電極(20)中，亦可為在第1至第6中的任一個態樣中，讓強調部(23)的表面的性狀與在電極(20)的表面(20A)中和強調部(23)相鄰的相鄰區域(24)的表面的性狀不同。

根據此態樣，可以藉由使強調部(23)的表面的性狀與相鄰區域(24)的表面的性狀不同，而在強調部(23)與相鄰區域(24)使光的反射率及反射方向的至少一者不同。從而，根據此態樣，可以使在傾斜面(211)與相鄰區域(24)朝觀察方向(D1)反射之光的光量不同。

在第8態樣之電極(20)中，亦可為在第1至第7中的任一個態樣中，讓強調部(23)的材料與電極(20)中和強調部(23)相鄰的相鄰區域(24)的材料不同。

根據此態樣，可以藉由使強調部(23)的材料與相鄰區域(24)的材料不同，而在強調部(23)與相鄰區域(24)使光的反射率與反射方向的至少一者不同。從而，根據此態樣，可以使在傾斜面(211)與相鄰區域(24)朝觀察方向(D1)反射之光的光量不同。

第9態樣之放電裝置(1)具備第1至第8中的任一個態樣的電極(20)、和電極(20)隔著間隙而對向的放電電極(10)、及在電極(20)與放電電極(10)之間施加電壓的電壓施加電路(30)。

根據此態樣，可以提供具備有容易檢測輪廓部分(22)之電極(20)的放電裝置(1)。

第10態樣之電極的製造方法是第1至第8中任一個態樣之電極(20)的製造方法。此製造方法包含形成強調部23之步驟，前述強調部在從進行電極(20)的外觀檢查時的觀察方向(D1)觀看到的電極(20)的表面(20A)當中，於包含電極(20)的至少一部分的輪廓部分(22)之對象區域(21)中形成。

根據此態樣，可以提供容易檢測輪廓部分(22)之電極(20)的製造方法。

第11態樣之電極的檢查方法是第1至第8中任一個態樣之電極(20)的檢查方法。此檢查方法是在已將來自檢查用照明(90)之光照射於電極(20)的狀態下，使用從觀察方向(D1)觀察電極(20)的表面(20A)之圖像(G1)，來進行電極(20)的外觀檢查。

根據此態樣，可以進行容易檢測輪廓部分(22)的電極(20)的外觀檢查。

關於第2至第8態樣之構成，並非在電極(20)上所必要的構成，且可適當省略。

電極及放電裝置可以適用在乾燥機、美顏器、加濕器、空氣清淨機、空氣調節機、電風扇、冰箱、洗衣機、汽車等多樣的用途。

1:放電裝置 10:放電電極 20:電極 20A:表面 21:對象區域 22:輪廓部分 23:強調部 24:相鄰區域 30:電壓施加電路 40:液體供給部 41:冷卻裝置 50:控制電路 60:主體 61:開口部 63:蓋件 64:貫通孔 70:液體 80:相機 90、90A:檢查用照明 101:前端部 102:基端部 200:支撐部 201:突出部 202:開口部 211:傾斜面 300:周邊部分 411:帕耳帖元件 412:散熱板 D1:觀察方向 G1、G2:圖像 L1:放電路徑 R1:第1絕緣破壞區域 R2:第2絕緣破壞區域 W1:放電電極與電極之間的尺寸

圖1是具備本揭示之一實施形態之電極的放電裝置的概略截面圖。

圖2A是本揭示之一實施形態之放電裝置的概略俯視圖。

圖2B是圖2A中的A1部分放大圖。

圖3是說明在本揭示之一實施形態之電極上的光的反射的示意圖。

圖4是本揭示之一實施形態之放電裝置的方塊圖。

圖5是顯示在本揭示之一實施形態的放電裝置中，產生有放電的狀態的示意圖。

圖6A是顯示在本揭示之一實施形態的放電裝置的外觀檢查中所取得的圖像之一例的說明圖。

圖6B是顯示在具有未設置有強調部之電極的放電裝置的外觀檢查中所取得的圖像之一例的說明圖。

圖7是說明在本揭示之一實施形態之電極上的光的反射的示意圖。

圖8是說明在本揭示之一實施形態的第2變形例之電極上的光的反射的示意圖。

20:電極

20A:表面

21:對象區域

22:輪廓部分

23:強調部

24:相鄰區域

200:支撐部

201:突出部

202:開口部

211:傾斜面

300:周邊部分

Claims (11)

1. 一種電極，是放電裝置用的電極，且具有強調部，前述強調部是在從進行前述電極的外觀檢查時的觀察方向觀看到的前述電極表面當中，於包含前述電極的至少一部分的輪廓部分之對象區域中，用於強調前述輪廓部分與周邊部分之對比。
2. 如請求項1之電極，其中前述對象區域是與在前述電極中產生放電的放電部位不同區域。
3. 如請求項1之電極，其中前述強調部是在已將前述外觀檢查中來自檢查用照明之光照射於前述電極的狀態下，讓藉由前述強調部而朝前述觀察方向反射之光的每單位面積之光量，比藉由前述電極的表面當中前述強調部以外的部位而朝前述觀察方向反射之光的每單位面積的光量增加或減少。
4. 如請求項1之電極，其中前述強調部包含傾斜面，前述傾斜面是在前述電極的表面中相對於和前述強調部相鄰的相鄰區域而傾斜。
5. 如請求項4之電極，其中前述傾斜面包含平面。
6. 如請求項4之電極，其中前述傾斜面包含曲面。
7. 如請求項1之電極，其中前述強調部的表面的性狀與在前述電極的表面中和前述強調部相鄰的相鄰區域的表面的性狀不同。
8. 如請求項1之電極，其中前述強調部的材料與在前述電極中和前述強調部相鄰的相鄰區域的材料不同。
9. 一種放電裝置，具備： 如請求項1至8中任一項之電極； 和前述電極隔著間隙而對向的放電電極；及 在前述電極與前述放電電極之間施加電壓的電壓施加電路。
10. 一種電極的製造方法，是請求項1至8中任一項之電極的製造方法，並包含形成強調部之步驟， 前述強調部是在從進行前述電極的外觀檢查時的觀察方向觀看到的前述電極表面當中，於包含前述電極的至少一部分的輪廓部分之對象區域中，用於強調前述輪廓部分與周邊部分之對比。
11. 一種電極的檢查方法，是請求項1至8中任一項之電極的檢查方法，且是在已將來自檢查用照明之光照射於前述電極的狀態下，使用從觀察方向觀察前述電極的表面之圖像，來進行前述電極的前述外觀檢查。

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