JP7012255B2 - 電極、放電装置、電極の製造方法、及び電極の検査方法 - Google Patents
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Description
本開示の一態様の電極は、放電装置用の電極である。前記電極は、前記電極の外観検査を行う場合の観察方向から見た前記電極の表面のうち、前記電極の少なくとも一部の輪郭部分を含む対象領域に、前記輪郭部分と周辺部分とのコントラストを強調するための強調部を有する。前記強調部の表面の性状が、前記電極の表面において前記強調部と隣接する隣接領域の表面の性状と異なる。
本開示の一態様の電極は、放電装置用の電極である。前記電極は、前記電極の外観検査を行う場合の観察方向から見た前記電極の表面のうち、前記電極の少なくとも一部の輪郭部分を含む対象領域に、前記輪郭部分と周辺部分とのコントラストを強調するための強調部を有する。前記強調部の材料が、前記電極において前記強調部と隣接する隣接領域の材料と異なる。
(1)概要
本実施形態に係る電極20及び電極20を備えた放電装置1について、図1~図5を参照して説明する。
(2.1)構成
以下、実施形態に係る電極20及び放電装置1について図1~図4を参照して詳しく説明する。
本実施形態の放電装置1では、制御回路50が、液体供給部40の動作を制御することによって、放電電極10に対して液体70を供給する。また、制御回路50が、電圧印加回路30を制御して、放電電極10と電極20との間に電圧を印加させることによって、放電電極10に保持されている液体70は、電界による力を受けてテイラーコーン(Taylor cone)と呼ばれる円錐状の形状を成す。そして、テイラーコーンの先端部(頂点部)に電界が集中することで、放電が発生する。
本実施形態の電極20の製造方法は、電極20の外観検査を行う場合の観察方向D1から見た電極20の表面20Aのうち、電極20の少なくとも一部の輪郭部分22を含む対象領域21に強調部23を形成する工程を含む。
本実施形態において、ボディ60に放電電極10と電極20とが保持された状態で電極20の外観検査を行う場合、例えば、図1に示すように、放電装置1の上側にカメラ80と検査用照明90とが配置される。
上記実施形態は、本開示の様々な実施形態の一つに過ぎない。上記実施形態は、本開示の目的を達成できれば、設計などに応じて種々の変更が可能である。以下、上記実施形態の変形例を列挙する。以下に説明する変形例は、適宜組み合わせて適用可能である。
上記実施形態では、電極20の表面20Aのうち対象領域21に設けられた強調部23が、対象領域21の輪郭部分22に形成された傾斜面211であったが、強調部23は傾斜面211に限定されない。
変形例2の電極20では、図8に示すように、対象領域21が有する強調部23の材料が、電極20において強調部23と隣接する隣接領域24の材料と異なる点で、上記実施形態と相違する。
放電装置1が採用する放電形態は、上記の実施形態で説明した形態に限らない。例えば、放電装置1は、コロナ放電から進展して全路破壊に至る、という現象が間欠的に繰り返される形態の放電、つまり「全路破壊放電」を採用してもよい。この場合、放電装置1においては、コロナ放電から進展して全路破壊に至ると比較的大きな放電電流が瞬間的に流れ、その直後に印加電圧が低下して放電電流が遮断され、また印加電圧が上昇して全路破壊に至る、という現象が繰り返される。
以上説明したように、第1の態様に係る電極(20)は、放電装置用の電極である。電極(20)は、電極(20)の外観検査を行う場合の観察方向(D1)から見た電極(20)の表面(20A)のうち、電極(20)の少なくとも一部の輪郭部分(22)を含む対象領域(21)に強調部(23)を有する。強調部(23)は、輪郭部分(22)と周辺部分(300)とのコントラストを強調する。
10 放電電極
20 電極
20A 表面
21 対象領域
22 輪郭部分
23 強調部
24 隣接領域
30 電圧印加回路
90 検査用照明
211 傾斜面
300 周辺部分
D1 観察方向
Claims (11)
- 放電電極と隙間を介して配置される放電装置用の電極であって、
前記電極の外観検査を行う場合の観察方向から見た前記電極の表面のうち、前記電極の少なくとも一部の輪郭部分を含む対象領域に、前記輪郭部分と周辺部分とのコントラストを強調するための強調部を有し、
前記強調部が、前記電極における前記放電電極と反対側の面にある、
電極。 - 放電装置用の電極であって、
前記電極の外観検査を行う場合の観察方向から見た前記電極の表面のうち、前記電極の少なくとも一部の輪郭部分を含む対象領域に、前記輪郭部分と周辺部分とのコントラストを強調するための強調部を有し、
前記強調部の表面の性状が、前記電極の表面において前記強調部と隣接する隣接領域の表面の性状と異なる、
電極。 - 放電装置用の電極であって、
前記電極の外観検査を行う場合の観察方向から見た前記電極の表面のうち、前記電極の少なくとも一部の輪郭部分を含む対象領域に、前記輪郭部分と周辺部分とのコントラストを強調するための強調部を有し、
前記強調部の材料が、前記電極において前記強調部と隣接する隣接領域の材料と異なる、
電極。 - 前記対象領域は、前記電極において放電を生じる放電部位とは異なる領域である、
請求項1~3のいずれか1項に記載の電極。 - 前記強調部は、前記外観検査において検査用照明からの光が前記電極に照射された状態で、前記強調部によって前記観察方向に反射される光の単位面積あたりの光量を、前記電極の表面のうち前記強調部以外の部位によって前記観察方向に反射される光の単位面積あたりの光量に比べて増加又は減少させる、
請求項1~4のいずれか1項に記載の電極。 - 前記強調部は、前記電極の表面において前記強調部と隣接する隣接領域に対して傾斜する傾斜面を含む、
請求項1~5のいずれか1項に記載の電極。 - 前記傾斜面が平面を含む、
請求項6に記載の電極。 - 前記傾斜面が曲面を含む、
請求項6又は7に記載の電極。 - 請求項1~8のいずれか1項に記載の電極と、
前記電極と隙間を介して対向する放電電極と、
前記電極と前記放電電極との間に電圧を印加する電圧印加回路と、を備える、
放電装置。 - 請求項1~8のいずれか1項に記載の電極の製造方法であって、
前記電極の外観検査を行う場合の観察方向から見た前記電極の表面のうち、前記電極の少なくとも一部の輪郭部分を含む対象領域に、前記輪郭部分と周辺部分とのコントラストを強調するための強調部を形成する工程を含む、
電極の製造方法。 - 請求項1~8のいずれか1項に記載の電極の検査方法であって、
前記電極に検査用照明からの光を照射した状態で、観察方向から前記電極の表面を観察した画像を用いて、前記電極の前記外観検査を行う、
電極の検査方法。
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