TW202021725A - 日誌資料作成裝置 - Google Patents

日誌資料作成裝置 Download PDF

Info

Publication number
TW202021725A
TW202021725A TW108145080A TW108145080A TW202021725A TW 202021725 A TW202021725 A TW 202021725A TW 108145080 A TW108145080 A TW 108145080A TW 108145080 A TW108145080 A TW 108145080A TW 202021725 A TW202021725 A TW 202021725A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
log data
processing device
operator
working state
camera
Prior art date
Application number
TW108145080A
Other languages
English (en)
Inventor
古澤博輝
山中輔
王妍蓉
根岸克治
Original Assignee
日商迪思科股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商迪思科股份有限公司 filed Critical 日商迪思科股份有限公司
Publication of TW202021725A publication Critical patent/TW202021725A/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/22—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by cutting, e.g. incising
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
    • H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
    • H04N23/80—Camera processing pipelines; Components thereof
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00—Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups
    • B28D7/005—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/42—Recording and playback systems, i.e. in which the programme is recorded from a cycle of operations, e.g. the cycle of operations being manually controlled, after which this record is played back on the same machine
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F16/00—Information retrieval; Database structures therefor; File system structures therefor
    • G06F16/10—File systems; File servers
    • G06F16/18—File system types
    • G06F16/1805—Append-only file systems, e.g. using logs or journals to store data
    • G06F16/1815—Journaling file systems
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/2409—Arrangements for indirect observation of the working space using image recording means, e.g. a camera
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q17/00—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools
    • B23Q17/24—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves
    • B23Q17/248—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods
    • B23Q17/249—Arrangements for observing, indicating or measuring on machine tools using optics or electromagnetic waves using special electromagnetic means or methods using image analysis, e.g. for radar, infrared or array camera images
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Mining & Mineral Resources (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Databases & Information Systems (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
  • Data Mining & Analysis (AREA)
  • Dicing (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Remote Sensing (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
  • Numerical Control (AREA)
  • General Factory Administration (AREA)

Abstract

[課題] 更輕易地掌握加工結果所發生之問題的原因。 [解決手段] 在加工裝置(1)的預定部位安裝有複數個攝影機(41~44)。控制部(14)，係在工作狀態的發生時，作成「使工作狀態與工作狀態之發生時刻與藉由攝影機在工作狀態的發生時刻所拍攝到之圖像彼此相關聯」的日誌資料。藉此，操作員，係可藉由參閱日誌資料的方式，確認各工作狀態的發生時之加工裝置(1)的圖像。因此，操作員，係可在加工結果發生了問題時，將該問題的發生原因添加至日誌資料所記錄之工作狀態的內容，且使用加工裝置(1)的圖像進行查明。因此，操作員，係可更輕易地掌握問題的原因。

Description

日誌資料作成裝置
本發明，係關於日誌資料作成裝置。
在加工裝置，係具有將本身之工作狀態與時間記錄為日誌資料者(參閱專利文獻1)。加工裝置之工作狀態，係例如包含有操作員按下開始鍵等、驅動軸之移動後的位置、來自檢測到驅動軸的移動之感測器的輸出信號、加工水之流量計的值、全自動程式之進行中的步驟及錯誤的發生。
有時為了特定加工結果所發生之問題的原因，可利用日誌資料。例如，在加工結果發生了問題的情況下，可從日誌資料來擷取對被加工物進行了加工時之加工裝置的工作狀態，且基於擷取到之工作狀態，確認加工裝置是否發生了錯誤。又，即便在未發生錯誤的情況下，亦可基於日誌資料來確認表示工作狀態之數值(例如，主軸之負載電流值)是否未表示接近閾值的值。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開平10-328976號公報
[本發明所欲解決之課題]
但是，在日誌資料，係記錄有藉由加工裝置所識別到的工作狀態。因此，在即便加工裝置實際上為異常狀態而感測器仍識別為正常等、將本身之異常的工作狀態錯誤識別為正常的情況下，係造成異常不會被記錄於日誌資料中。在該情況下，即便參閱日誌資料，亦難以掌握加工結果所發生之問題的原因。
本發明之目的，係在於可更輕易地掌握加工結果所發生之問題的原因。 [用以解決課題之手段]
本發明之日誌資料作成裝置，係作成與對被加工物進行加工之加工裝置的工作狀態有關之日誌資料，該日誌資料作成裝置，其特徵係，具備有：攝影機，拍攝該加工裝置的預定部位；及日誌資料作成部，作成「使該加工裝置之工作狀態與該工作狀態之發生時刻與藉由該攝影機在該發生時刻所拍攝到之圖像彼此相關聯」的日誌資料。 [發明之效果]
在本發明之日誌資料作成裝置中，係工作狀態發生時之加工裝置的預定部位(加工裝置及/或其周邊)之圖像與工作狀態及其發生時刻相關聯地被記錄於日誌資料。藉此，操作員，係可藉由參閱日誌資料的方式，確認各工作狀態發生時所拍攝到的圖像。因此，操作員，係可在加工結果發生了問題時，將該問題的發生原因添加至日誌資料所記錄之工作狀態的內容，且使用圖像進行查明。
因此，例如即便在工作狀態之內容因加工裝置中發生感測器錯誤等而被錯誤識別且記錄於日誌資料的情況下，操作員，係亦可基於日誌資料之圖像來試著掌握問題的發生原因。因此，由於操作員，係可更輕易地掌握問題的發生原因，故可更迅速地解決問題。
如圖1所示般，本實施形態之加工裝置1，係對被加工物即晶圓W進行加工。 晶圓W，係具有大致圓形之形狀，並在表面形成有格子狀的分割預定線L。在藉由分割預定線L所區隔的各區域中，係形成有各種元件(未圖示)。
在晶圓W之背面，係貼附有切割帶T。在切割帶T之外周，係貼附有環狀框架F。如此一來，晶圓W，係在經由切割帶T被支撐於環狀框架F之工件組W1的狀態下，在加工裝置1被予以加工。又，工件組W1，係被收容於未圖示的匣盒且搬入至加工裝置1。
加工裝置1，係具有：支撐台10；長方體狀之殼體12，被豎立設置於支撐台10；切割機構(未圖示)，對晶圓W進行切割加工；及控制部14，被內建於殼體12，控制加工裝置1的各構件。 切割機構，係被設置於殼體12內的加工空間(未圖示)。切割機構，係例如藉由一對切割刀，沿著分割預定線L，對夾頭座20上的晶圓W進行切割加工。
在支撐台10之一端側，係設置有匣盒平台16，該匣盒平台16，係載置有保持複數個工件組W1的匣盒(未圖示)。
在匣盒平台16與夾頭座20之間，係設置有搬送工件組W1的推拉裝置17。推拉裝置17，係具備有：推拉臂171，使晶圓W從匣盒進出；及推拉臂移動機構172，使推拉臂171沿Y軸方向往復移動。
又，在夾頭座20之殼體12側，係設置有暫時放置工件組W1的暫時放置裝置18。推拉裝置17，係將加工前之工件組W1從匣盒平台16上的匣盒搬送及載置於暫時放置裝置18。暫時放置裝置18，係實施工件組W1之X軸方向的定位。
在夾頭座20的上部之殼體12的前面，係設置有搬送裝置30。 搬送裝置30，係具備有：搬送墊31，保持工件組W1；搬送墊移動機構33，使搬送墊31沿Y軸方向移動；及搬送墊升降機構35，使搬送墊31沿Z軸方向升降。 搬送裝置30，係保持暫時放置裝置18上之工件組W1，並搬送及載置於夾頭座20。
夾頭座20，係被固定於移動板21上。移動板21，係與蛇腹狀之防水蓋C一起覆蓋支撐台10之上面中央的開口。在移動板21及防水蓋C之下方，係設置有使移動板21及夾頭座20沿X軸方向移動之例如滾珠螺桿式的切割進給機構(未圖示)。
夾頭座20，係具有由多孔陶瓷材所構成的保持面23。藉由產生於該保持面23的負壓，吸引保持工件組W1的晶圓W。在夾頭座20之周圍，係設置有4個夾具22。藉由各夾具22，工件組W1之環狀框架F從四方被夾持固定。
夾頭座20，係在保持了晶圓W的狀態下，藉由切割進給機構，與移動板21一起從支撐台10上被運送至殼體12之內部的加工空間。在加工空間中，晶圓W，係沿著分割預定線L被切割加工。
在晶圓W被切割加工後，夾頭座20及移動板21，係藉由切割進給機構返回到支撐台10上。而且，工件組W1，係藉由搬送裝置30，從夾頭座20被送至夾頭座20之後側的旋轉洗淨單元24。旋轉洗淨單元24，係在朝向經高速旋轉之工件組W1噴射洗淨水且洗淨工件組W1後，噴射乾燥空氣，使工件組W1乾燥。
在殼體12之側面，係設置有觸控面板40。在觸控面板40，係顯示有關於加工裝置1之加工條件等的各種資訊。又，觸控面板40，係亦使用於設定加工條件等的各種資訊。如此一來，觸控面板40，係作為用以輸入資訊的輸入裝置而發揮功能，並且亦作為用以顯示所輸入之資訊的顯示裝置而發揮功能。
另外，加工裝置1，係具備有：複數個攝影機，用以拍攝加工裝置1之內部及外部的預定部位。複數個攝影機，係包含有被設置於殼體12的前面及側面之如圖1所示的操作員用攝影機41、匣盒用攝影機42、夾頭座用攝影機43及洗淨單元用攝影機44。
操作員用攝影機41，係被安裝於觸控面板40之上方，拍攝操作觸控面板40的操作員。
匣盒用攝影機42，係經由支臂42a被安裝於殼體12的前面之匣盒平台16的上方。匣盒用攝影機42，係從上方拍攝被配置於匣盒平台16的匣盒中之工件組W1的收容口附近。匣盒用攝影機42，係可拍攝工件組W1相對於匣盒進出的態樣。
夾頭座用攝影機43，係經由支臂43a被安裝於殼體12的前面之夾頭座20的上方。夾頭座用攝影機43，係從其保持面23的上方拍攝夾頭座20。夾頭座用攝影機43，係可拍攝藉由夾頭座20進行之工件組W1的保持狀態。
洗淨單元用攝影機44，係經由支臂44a被安裝於殼體12的前面之旋轉洗淨單元24的上方。洗淨單元用攝影機44，係從上方拍攝旋轉洗淨單元24。洗淨單元用攝影機44，係可拍攝工件組W1被洗淨及乾燥的態樣。
控制部14，係執行各種處理，並整合控制加工裝置1的各構成要素。例如，來自各種感測器(未圖示)之檢測結果被輸入至控制部14。又，控制部14，係控制切割進給機構及切割機構，實施對晶圓W的切割加工。又，控制部14，係具有：記憶體141，用以記憶各種程式及資料。
又，包含有攝影機41~44之複數個攝影機及控制部14，係構成日誌資料作成裝置，該日誌資料作成裝置，係作成與對晶圓W進行加工之加工裝置1的工作狀態有關之日誌資料。關於此，控制部14，係作為作成日誌資料的日誌資料作成部而發揮功能。
亦即，控制部14，係作成「使加工裝置1之工作狀態與工作狀態之發生時刻與藉由攝影機在工作狀態的發生時刻所拍攝到之圖像彼此相關聯」的日誌資料。控制部14，係將作成的日誌資料記憶於記憶體141。
另外，加工裝置1之工作狀態(事項)，係例如包含有：觸控面板40藉由操作員進行操作；工件組W1相對於匣盒進出；工件組W1被保持於夾頭座20；夾頭座20藉由旋轉洗淨單元24洗淨或乾燥；切割機構中之驅動軸的位置；來自檢測到驅動軸的移動之感測器的輸出信號 ；加工水之流量計的值；全自動程式之進行中的步驟；及錯誤的發生。
在加工裝置1中，包含有攝影機41~44之複數個攝影機，係在加工裝置1的工作期間，連續地拍攝動態圖像。 控制部14，係在藉由未圖示之感測器等檢測到加工裝置1之工作狀態的發生時，取得工作狀態的內容(名稱)及其發生時刻。 而且，控制部14，係從各攝影機取得在工作狀態的發生時刻所拍攝到的圖像。該圖像，係例如藉由各攝影機所拍攝到的動態圖像中之因應工作狀態的發生時刻之部分(靜止圖像)。
而且，控制部14，係將所取得之工作狀態、其發生時刻及其發生時刻所拍攝到之圖像彼此相關連地記錄於日誌資料，藉此，作成(更新)日誌資料。
在以下中，表示關於日誌資料之顯示的實施例。 在圖2中，表示包含有被顯示於加工裝置1的觸控面板40之與加工裝置1的操作有關之頂層選單之主畫面的例子。在該主畫面中，係在「頂層選單(0.0)」之上部，顯示最近的3個工作狀態(開始全自動等)。當操作員觸碰主畫面中之顯示最近的工作狀態之部分時，則控制部14，係從記憶體141讀出直至目前為止所作成的日誌資料且顯示於觸控面板40。
在圖3中，表示觸控面板40中之日誌資料的顯示例。在該圖所示的例子中，係在每一行表示加工裝置1的工作狀態。在各行之左側表示工作狀態的發生時刻(日期時間)，在其右側表示工作狀態的內容。
操作員藉由觸碰一行中之一部分(例如，其發生時刻之部分)的方式，選擇該行所記載的1個工作狀態。控制部14，係如圖4所示般，將與選擇到之工作狀態相關聯而被記錄於日誌資料的圖像，亦即在選擇到之工作狀態的發生時刻所拍攝到之圖像顯示於觸控面板40。
在圖4所示的例子中，係4個圖像G1~G4被顯示於觸控面板40。圖像G1，G3及G4，係表示加工裝置1之一部分的靜止圖像，圖像G2，係表示設置有加工裝置1之加工室之內部的靜止圖像。
如以上般，在本實施形態中，係複數個攝影機被安裝於加工裝置1之內部及外部的預定部位。而且，控制部14，係在工作狀態的發生時，作成「使工作狀態與工作狀態之發生時刻與藉由攝影機在工作狀態的發生時刻所拍攝到之圖像彼此相關聯」的日誌資料。
藉此，操作員，係可藉由參閱日誌資料的方式，確認各工作狀態的發生時之加工裝置1及其周邊的圖像。因此，操作員，係可在加工結果發生了問題時，將該問題的發生原因添加至日誌資料所記錄之工作狀態的內容，且使用加工裝置1之內外的圖像進行查明。
因此，例如即便在工作狀態之內容因加工裝置1中發生感測器錯誤等而被錯誤識別且記錄於日誌資料的情況下，操作員，係亦可基於日誌資料之圖像來試著掌握問題的發生原因。因此，由於操作員，係可更輕易地掌握問題的發生原因，故可更迅速地解決問題。 又，若錯誤發生之原因是由加工裝置的其他動作所造成者的話，則可從圖像特定原因。 例如，若在搬送被加工物之搬送裝置進行動作時存在切割水流量錯誤、主軸負載電流值錯誤，則可從圖像特定原因。
另外，使用於加工裝置1之攝影機，係不僅包含拍攝加工裝置1者，另包含拍攝加工裝置1的周邊者為較佳。藉此，當加工結果所發生之問題的發生原因在於加工裝置之周邊環境的情況下，可迅速地掌握問題的發生原因。
又，在圖3所示之日誌資料的顯示例中，控制部14，係將日誌資料中之工作狀態的內容及發生時刻顯示於觸控面板40。取而代之，控制部14，係亦可使用圖標等，將工作狀態之內容、發生時刻及拍攝了與該些相關連而被記錄於日誌資料的圖像之攝影機的位置顯示於觸控面板40。
又，在本實施形態中，係加工裝置1具有包含攝影機41~44的複數個攝影機。取而代之，加工裝置1，係亦可被構成為包含用以拍攝特別重要的1個部位之1台攝影機。
又，在本實施形態中，控制部14，係將日誌資料的內容，亦即日誌資料所記錄之工作狀態、其發生時刻及藉由攝影機在工作狀態的發生時刻所拍攝到之圖像顯示於被設置在加工裝置1之側面的觸控面板40。取而代之，控制部14，係亦可被構成為將日誌資料的內容顯示於被連接在加工裝置1之其他終端裝置的顯示部。
又，控制部14，係將作成的日誌資料記憶於加工裝置1的記憶體141。取而代之，控制部，係亦可將日誌資料記憶於被連接至加工裝置1的其他記憶裝置。
1:加工裝置 10:支撐台 12:殼體 14:控制部 141:記憶體 16:匣盒平台 17:推拉裝置 18:暫時放置裝置 20:夾頭座 24:旋轉洗淨單元 30:搬送裝置 40:觸控面板 41:操作員用攝影機 42:匣盒用攝影機 44:洗淨單元用攝影機 W1:工件組 W:晶圓
[圖1] 本實施形態之加工裝置的立體圖。 [圖2] 表示與加工裝置之操作有關之主畫面之一例的說明圖。 [圖3] 表示日誌資料之顯示例的說明圖。 [圖4] 表示與加工裝置之工作狀態相關聯地被設成為日誌資料之圖像的照片。
1:加工裝置
10:支撐台
12:殼體
14:控制部
16:匣盒平台
17:推拉裝置
18:暫時放置裝置
20:夾頭座
21:移動板
22:夾具
23:保持面
24:旋轉洗淨單元
30:搬送裝置
31:搬送墊
33:搬送墊移動機構
35:搬送墊升降機構
40:觸控面板
41:操作員用攝影機
42:匣盒用攝影機
42a:支臂
43:夾頭座用攝影機
43a:支臂
44:洗淨單元用攝影機
44a:支臂
141:記憶體
171:推拉臂
172:推拉臂移動機構
C:防水蓋
L:分割預定線
F:環狀框架
T:切割帶
W:晶圓
W1:工件組

Claims (1)

  1. 一種日誌資料作成裝置，係作成與對被加工物進行加工之加工裝置的工作狀態有關之日誌資料，該日誌資料作成裝置，其特徵係，具備有： 攝影機，拍攝該加工裝置的預定部位；及 日誌資料作成部，作成「使該加工裝置之工作狀態與該工作狀態之發生時刻與藉由該攝影機在該發生時刻所拍攝到之圖像彼此相關聯」的日誌資料。
TW108145080A 2018-12-11 2019-12-10 日誌資料作成裝置 TW202021725A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018231529A JP2020095379A (ja) 2018-12-11 2018-12-11 ログデータ作成装置
JP2018-231529 2018-12-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW202021725A true TW202021725A (zh) 2020-06-16

Family

ID=71084948

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108145080A TW202021725A (zh) 2018-12-11 2019-12-10 日誌資料作成裝置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2020095379A (zh)
KR (1) KR20200071671A (zh)
CN (1) CN111314599A (zh)
TW (1) TW202021725A (zh)

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10328976A (ja) 1997-05-27 1998-12-15 Hitachi Seiki Co Ltd 工作機械の稼働情報記録方法および工作機械の稼働情報記録機能を備えたｎｃ装置ならびに工作機械の稼働情報記録プログラムを記録した記録媒体
WO2005091098A1 (ja) * 2004-03-22 2005-09-29 Digital Electronics Corporation 表示器、コンピュータを表示器として機能させるためのプログラムプロダクト、およびそのプログラムプロダクトを格納した記録媒体
JP2007249581A (ja) * 2006-03-15 2007-09-27 Toshiba Corp 料金収受システムおよびログ管理方法
JP2008219312A (ja) * 2007-03-02 2008-09-18 Hitachi Ltd 映像出力装置および障害情報収集方法およびシステム
JP2012118567A (ja) * 2009-03-27 2012-06-21 Mitsubishi Electric Corp プログラマブル表示器
JP5737989B2 (ja) * 2011-02-14 2015-06-17 富士機械製造株式会社 部品実装機
JP6530913B2 (ja) * 2015-01-06 2019-06-12 株式会社テイエルブイ 機器作動状態管理システム、機器作動状態管理装置、及び、機器作動状態管理プログラム
JP2017041045A (ja) * 2015-08-19 2017-02-23 セイコーエプソン株式会社 監視ストレージ装置、監視情報ストレージ装置、監視ストレージシステム、監視ストレージ方法、および監視ストレージプログラム
CN106844179A (zh) * 2017-02-07 2017-06-13 上海与德信息技术有限公司 日志存储方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
KR20200071671A (ko) 2020-06-19
JP2020095379A (ja) 2020-06-18
CN111314599A (zh) 2020-06-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6935168B2 (ja) 加工装置
TWI714593B (zh) 切割裝置
JP6887260B2 (ja) 加工装置
TW200824023A (en) Visual inspection apparatus
JP2020136357A (ja) チャックテーブル及び検査装置
TWI606501B (zh) Processing device
JP2009278029A (ja) ダイシング装置
JP2016055365A (ja) 加工装置及び表示システム
JP6765930B2 (ja) 加工装置
JP7358107B2 (ja) レーザー加工装置
CN111524828A (zh) 检查用工作台
TW202021725A (zh) 日誌資料作成裝置
JP2001015580A (ja) ウェハカセット監視装置
TW201634211A (zh) 加工裝置
JP2010114125A (ja) 半導体ウエーハ加工装置
JP2019054096A (ja) 加工装置及び加工装置の使用方法
TWI813825B (zh) 加工裝置
JP7403379B2 (ja) 加工装置
JP2004200224A (ja) 認識不良解決方法及びそれを用いた電子部品搭載装置
TWI853972B (zh) 加工裝置
JP2021152723A (ja) 加工装置
JP2024089876A (ja) 加工装置
JP2022083252A (ja) 加工装置及び加工方法
JP2023086578A (ja) 抗折強度測定装置
JP2023031141A (ja) 試験装置