TW202004345A - 正型感光性樹脂組合物及自其製備之固化膜 - Google Patents

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Abstract

本發明係關於一種正型感光性樹脂組合物及自其製備之固化膜。所述正型感光性樹脂組合物包括對顯影劑之溶解速率在特定範圍內之丙烯酸共聚物、及含有酚羥基之化合物，以使得當形成固化膜時可獲得高對比度及高敏感性圖案。此外，當形成半色調以及全色調時，可進一步增強圖案之黏著性。

Description

正型感光性樹脂組合物及自其製備之固化膜
本發明係關於一種感光性樹脂組合物及自其製備之固化膜。更特定言之，本發明係關於一種正型感光性樹脂組合物，其具有高對比度且在高敏感性圖案之形成及半色調區域中之黏著力方面極佳；及自其製備之固化膜，其待用於液晶顯示器、有機EL顯示器及其類似物。
一般而言，透明的平坦化膜出於絕緣之目的形成於薄膜電晶體（TFT）基板上以防止在液晶顯示器或有機EL顯示器中透明電極與資料線之間接觸。經由在資料線附近置放透明的像素電極，可增加面板之孔隙比且可實現高亮度/對比度。為形成此類透明的平坦化膜，採用若干加工步驟以賦予特定圖案輪廓，且由於需要較少加工步驟，故正型感光性樹脂組合物廣泛用於此方法中。
使用丙烯酸樹脂作為原料之習知正型感光性組合物具有的問題是，由於其低對比度（或解析度），感光性特徵劣化。缺點亦在於與下基板之化學鍵合微弱，從而導致黏著性不良，且膜保留率低。
另一方面，使用矽氧烷樹脂作為原料之正型感光性組合物由於其高對比度特徵而具有極佳敏感性及膜保留率。由於矽氧烷樹脂中之矽烷醇基團可與下基板之羥基形成化學鍵，故與丙烯酸樹脂相比，其黏著性亦極佳。
因此，已使用丙烯酸樹脂及矽氧烷聚合物一起採用以增強其敏感性、鍵合及黏著性之正型感光性樹脂組合物（參見日本專利第5,099,140號）。
同時，若正型感光性樹脂組合物包括某一量或更多之矽氧烷樹脂，則在後續固化膜之製程中，存在關於耐化學性之製程可靠性之問題。因此，重要的是以特定量混合矽氧烷樹脂及丙烯酸樹脂。
然而，即使丙烯酸樹脂及矽氧烷樹脂一起使用，與黏著性相關之問題仍未解決。詳言之，當在半色調區域中形成圖案時，不同於全色調，即使在非曝光區域中，半色調亦會曝露於某一透射率，以使得在除曝光區域外之整個區域中發生溶解。另外，由於與全色調區域相比半色調區域具有相對小的厚度，故在此態樣中圖案與基板之黏著性更成問題。先前技術文獻 專利文獻
（專利文獻1）日本專利第5,099,140號
待解決之問題 因此，為解決以上提及之問題，本發明旨在提供一種感光性樹脂組合物，其包括適當量之丙烯酸共聚物及矽氧烷共聚物，其中在顯影時具有適當溶解速率之丙烯酸共聚物當形成半色調及全色調時進一步增強圖案對基板之敏感性及黏著性。
此外，一起使用含有酚羥基之化合物，其旨在藉由增加與光活化之化合物之結合力而降低未曝光區域對顯影劑之溶解速率。另一方面，其旨在進一步增加曝光區域之溶解速率，由此增強對比度及黏著性。問題之解決方案
為實現以上目的，本發明提供一種正型感光性樹脂組合物，其包括（A）丙烯酸共聚物；（B）矽氧烷共聚物；（C）含有酚羥基之化合物；及（D）1,2-二疊氮醌化合物。
為實現另一目的，本發明提供一種由正型感光性樹脂組合物製備之固化膜。本發明之有利效果
本發明之正型感光性樹脂組合物包括對顯影劑之溶解速率在特定範圍內之丙烯酸共聚物及含有酚羥基之化合物，以使得當形成固化膜時可獲得高對比度及高敏感性圖案。此外，當形成半色調以及全色調時，可進一步增強圖案之黏著性。
本發明之正型感光性樹脂組合物包括（A）丙烯酸共聚物；（B）矽氧烷共聚物；（C）含有酚羥基之化合物；及（D）1,2-二疊氮醌化合物。其可視情況進一步包括（E）環氧化合物；（F）矽烷化合物；（G）溶劑；（H）界面活性劑；及/或（I）黏著補充劑。
在下文中，將詳細闡述感光性樹脂組合物之各組分。
如本文所用，術語「(甲基)丙烯醯基」係指「丙烯醯基」及/或「甲基丙烯醯基」，且術語「(甲基)丙烯酸酯」係指「丙烯酸酯」及/或「甲基丙烯酸酯」。
如下所述之各組分之重量平均分子量藉由凝膠滲透層析法(GPC，溶離劑：四氫呋喃)參比聚苯乙烯標準物進行量測。（ A ）丙烯酸共聚物
根據本發明之正型感光性樹脂組合物可包括丙烯酸共聚物（A）。
丙烯酸共聚物（A）可包括（a-1）衍生自烯系不飽和羧酸、烯系不飽和羧酸酐或其組合之結構單元；（a-2）衍生自含有環氧基之不飽和化合物之結構單元；及（a-3）衍生自不同於結構單元（a-1）及（a-2）之烯系不飽和化合物之結構單元。
丙烯酸共聚物（A）為用於在顯影步驟中實現可顯影性之鹼溶性樹脂，且亦起用於在塗佈時形成膜之基底及用於形成最終圖案之結構的作用。 （a-1）衍生自烯系不飽和羧酸、烯系不飽和羧酸酐或其組合之結構單元
結構單元（a-1）衍生自烯系不飽和羧酸、烯系不飽和羧酸酐或其組合。烯系不飽和羧酸、烯系不飽和羧酸酐或其組合為分子中含有至少一個羧基之可聚合不飽和化合物。其可為選自以下之至少一者：不飽和單羧酸，諸如(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸及肉桂酸；不飽和二羧酸及其酸酐，諸如順丁烯二酸、順丁烯二酸酐、反丁烯二酸、伊康酸、伊康酸酐、檸康酸、檸康酸酐及甲基反丁烯二酸；三價或更高價之不飽和聚羧酸及其酸酐；及二價或更高價之聚羧酸之單[(甲基)丙烯醯氧基烷基]酯，諸如丁二酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯、鄰苯二甲酸單[2-(甲基)丙烯醯氧基乙基]酯及其類似物。但不限於此。出於可顯影性之觀點，以上中之(甲基)丙烯酸較佳。
結構單元（a-1）之量可為以構成丙烯酸共聚物（A）之結構單元之總莫耳數計5至50莫耳%、較佳10至40莫耳%。在以上範圍內，可實現膜圖案形成，同時保持有利可顯影性。 （a-2）衍生自含有環氧基之不飽和化合物之結構單元
結構單元（a-2）衍生自含有環氧基之不飽和單體。含有環氧基之不飽和單體之特定實例可包含(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸4-羥基丁酯縮水甘油醚、(甲基)丙烯酸3,4-環氧丁酯、(甲基)丙烯酸4,5-環氧基戊酯、(甲基)丙烯酸5,6-環氧基己酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧基庚酯、(甲基)丙烯酸2,3-環氧環戊酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧基環己酯、丙烯酸α-乙基縮水甘油酯、丙烯酸α-正丙基縮水甘油酯、丙烯酸α-正丁基縮水甘油酯、N-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲基苯甲基)丙烯醯胺、N-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲基苯基丙基)丙烯醯胺、烯丙基縮水甘油醚、2-甲基烯丙基縮水甘油醚及其組合。出於室溫下儲存穩定性及溶解性之觀點，(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧基環己酯、丙烯酸4-羥基丁酯縮水甘油醚或其組合較佳。
衍生自含有環氧基之不飽和化合物之結構單元（a-2）之量可為以構成丙烯酸共聚物（A）之結構單元之總莫耳數計1至45莫耳%，較佳3至30莫耳%。在以上範圍內，可維持組合物之儲存穩定性，且宜可增強膜在後烘烤時之保留率。 （a-3）衍生自不同於結構單元（a-1）及（a-2）之烯系不飽和化合物之結構單元
結構單元（a-3）衍生自不同於結構單元（a-1）及（a-2）之烯系不飽和化合物。不同於結構單元（b-1）及（b-2）之烯系不飽和化合物可為選自由以下組成之群的至少一者：具有芳環之烯系不飽和化合物，諸如(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、苯氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、對壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、對壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、苯乙烯、甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、三乙基苯乙烯、丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、庚基苯乙烯、辛基苯乙烯、氟苯乙烯、氯苯乙烯、溴苯乙烯、碘苯乙烯、甲氧基苯乙烯、乙氧基苯乙烯、丙氧基苯乙烯、對羥基-α-甲基苯乙烯、乙醯基苯乙烯、乙烯基甲苯、二乙烯苯、乙烯基苯酚、鄰乙烯基苯甲基甲醚、間乙烯基苯甲基甲醚及對乙烯基苯甲基甲醚；不飽和羧酸酯，諸如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸二甲胺基乙酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯、(甲基)丙烯酸羥乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-氯丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、α-羥基甲基丙烯酸甲酯、α-羥基甲基丙烯酸乙酯、α-羥基甲基丙烯酸丙酯、α-羥基甲基丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三丙二醇(甲基)丙烯酸酯、聚(乙二醇)甲醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氟丙酯、(甲基)丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟異丙酯、(甲基)丙烯酸八氟戊酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧基丁酯、(甲基)丙烯酸4,5-環氧基戊酯、(甲基)丙烯酸5,6-環氧基己酯及(甲基)丙烯酸6,7-環氧基庚基酯；含有N-乙烯基之N-乙烯基三級胺，諸如N-乙烯基吡咯啶酮、N-乙烯基咔唑及N-乙烯基嗎啉；不飽和醚，諸如乙烯基甲醚及乙烯基乙醚；及不飽和醯亞胺，諸如N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-(4-氯苯基)順丁烯二醯亞胺、N-(4-羥苯基)順丁烯二醯亞胺及N-環己基順丁烯二醯亞胺。
結構單元（a-3）之量可為以構成丙烯酸共聚物（A）之結構單元之總莫耳數計5至70莫耳%、較佳15至65莫耳%。在以上量範圍內，可控制丙烯酸共聚物（亦即鹼溶性樹脂）之反應性且增加其在鹼性水溶液中之溶解性，以使得可明顯增強感光性樹脂組合物之適用性。
丙烯酸共聚物（A）可藉由以下製備：混配提供結構單元（a-1）、（a-2）及（a-3）之化合物中之各者，及向其中添加分子量控制劑、聚合引發劑、溶劑及其類似物，之後向其中填充氮氣及緩慢攪拌混合物以進行聚合。分子量控制劑可為硫醇化合物，諸如丁基硫醇、辛基硫醇、月桂基硫醇或其類似物、或α-甲基苯乙烯二聚體，但不特定限於此。
聚合引發劑可為偶氮化合物，諸如2,2'-偶氮二異丁腈、2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)及2,2'-偶氮雙(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)；或過氧化苯甲醯；過氧化月桂基；過氧基特戊酸第三丁酯；1,1-雙(第三丁基過氧基)環己烷或其類似物，但不限於此。聚合引發劑可單獨或以其中兩者或更多者之組合形式使用。
另外，溶劑可為通常用於製備丙烯酸共聚物（A）之任何溶劑。較佳可為3-甲氧基丙酸甲酯或丙二醇單甲醚乙酸酯（PGMEA）。
詳言之，可藉由保持反應時間更長同時在聚合反應期間保持反應條件更溫和，來減少未反應單體之殘餘量。
反應條件及反應時間不受特定限制。舉例而言，可將反應溫度調節至低於習知溫度之溫度，例如室溫至60℃或室溫至65℃。接著，保持反應時間直至發生充分反應為止。
當藉由以上方法製備丙烯酸共聚物（A）時，可將丙烯酸共聚物（A）中未反應單體之殘餘量減少至極微小的水準。
此處，如本文所用之術語丙烯酸共聚物（A）之未反應單體（或殘餘單體）係指旨在提供丙烯酸共聚物（A）之結構單元（a-1）至（a-3）但並不參與反應（亦即並不形成共聚物鏈）之化合物（亦即單體）之量。
特定言之，本發明之感光性樹脂組合物中殘留之丙烯酸共聚物（A）之未反應單體的量可為以100重量份之共聚物計（基於固體含量）2重量份或更少、較佳1重量份或更少。
此處，術語固體含量係指不包括溶劑之組合物的量。
當藉由凝膠滲透層析法(溶離劑：四氫呋喃)參比聚苯乙烯標準物測定時，由此製備之共聚物之重量平均分子量（Mw）可在500至50,000 Da、較佳3,000至30,000 Da之範圍內。在以上範圍內，對基板之黏著性極佳，物理及化學特性良好，且黏度適當。
此外，若在顯影期間丙烯酸共聚物（A）對顯影劑之溶解過快，則存在由於丙烯酸樹脂之快速可顯影性而使圖案之黏著性劣化之問題。若其溶解過慢，則存在敏感性降低之問題。
因此，重要的是，丙烯酸共聚物（A）對顯影劑具有適當程度之溶解速率。特定言之，丙烯酸共聚物（A）可具有一定溶解速率，以使得在100至130℃、100至120℃、或110℃之預烘烤溫度下由感光性樹脂組合物形成之塗佈膜以400至1,300埃/秒、450至1,300埃/秒、500至1,200埃/秒、或550至1,200埃/秒之速率溶解於2.38重量%之氫氧化四甲基銨水溶液中。在以上範圍內，就顯影時之敏感性及對比度而言更有利。
丙烯酸共聚物（A）可以基於不包括溶劑之固體含量以感光性樹脂組合物之總重量計16至77重量%、較佳20至77重量%、更佳20至70重量%之量的使用。在以上範圍內，顯影時之圖案輪廓可有利，且可改良如膜保留率及耐化學性之此類特性。（ B ）矽氧烷共聚物
本發明之感光性樹脂組合物除丙烯酸共聚物（A）以外包括作為黏合劑之矽氧烷共聚物（B）。
矽氧烷共聚物（亦即矽氧烷聚合物或聚矽氧烷）包含矽烷化合物及/或其水解產物之縮合物。
在此類情況下，矽烷化合物或其水解產物可為單官能至四官能矽烷化合物。
因而，矽氧烷共聚物（B）可包括選自以下Q、T、D及M類型之矽氧烷結構單元： - Q型矽氧烷結構單元：包括矽原子及四個相鄰氧原子之矽氧烷結構單元，其可衍生自例如四官能矽烷化合物或具有四個可水解基團之矽烷化合物之水解產物。 - T型矽氧烷結構單元：包括矽原子及三個相鄰氧原子之矽氧烷結構單元，其可衍生自例如三官能矽烷化合物或具有三個可水解基團之矽烷化合物之水解產物。 - D型矽氧烷結構單元：包括矽原子及兩個相鄰氧原子之矽氧烷結構單元（亦即線性矽氧烷結構單元），其可衍生自例如雙官能矽烷化合物或具有兩個可水解基團之矽烷化合物之水解產物。 - M型矽氧烷結構單元：包括矽原子及一個相鄰氧原子之矽氧烷結構單元，其可衍生自例如單官能矽烷化合物或具有一個可水解基團之矽烷化合物之水解產物。
舉例而言，矽氧烷聚合物（B）可包括衍生自由以下式1表示之矽烷化合物的至少一個結構單元，且矽氧烷聚合物（B）可為例如由以下式1表示之矽烷化合物及/或其水解產物之縮合物。 [式1] (R1 )n Si(OR2 )4-n
在以上式1中，n為0至3之整數，R1 各自獨立地為C1-12 烷基、C2-10 烯基、C6-15 芳基、3至12員雜烷基、4至10員雜烯基或6至15員雜芳基，且R2 各自獨立地為氫、C1-6 烷基、C2-6 醯基或C6-15 芳基，其中所述雜烷基、所述雜烯基及所述雜芳基各自獨立地具有至少一選自由O、N及S組成之群的雜原子。
R1 具有雜原子之結構單元之實例包含醚、酯及硫化物。
化合物可為四官能矽烷化合物，其中n為0；三官能矽烷化合物，其中n為1；雙官能矽烷化合物，其中n為2；或單官能矽烷化合物，其中n為3。
矽烷化合物之特定實例可包含例如，作為四官能矽烷化合物，四乙醯氧基矽烷、四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、四丁氧基矽烷、四苯氧基矽烷、四苯甲氧基矽烷及四丙氧基矽烷；作為三官能矽烷化合物，甲基三氯矽烷、甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、甲基三異丙氧基矽烷、甲基三丁氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、乙基三異丙氧基矽烷、乙基三丁氧基矽烷、丁基三甲氧基矽烷、五氟苯基三甲氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、d3 -甲基三甲氧基矽烷、九氟丁基乙基三甲氧基矽烷、三氟甲基三甲氧基矽烷、正丙基三甲氧基矽烷、正丙基三乙氧基矽烷、正丁基三乙氧基矽烷、正己基三甲氧基矽烷、正己基三乙氧基矽烷、癸基三甲氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、3-丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、對羥基苯基三甲氧基矽烷、1-(對羥苯基)乙基三甲氧基矽烷、2-(對羥苯基)乙基三甲氧基矽烷、4-羥基-5-(對羥基苯基羰氧基)戊基三甲氧基矽烷、三氟甲基三乙氧基矽烷、3,3,3-三氟丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧基環己基)乙基三乙氧基矽烷、[(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲氧基]丙基三甲氧基矽烷、[(3-乙基-3-氧雜環丁基)甲氧基]丙基三乙氧基矽烷、3-巰基丙基三甲氧基矽烷及3-三甲氧基矽烷基丙基琥珀酸；作為雙官能矽烷化合物，二甲基二乙醯氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、二苯基二苯氧基矽烷、二丁基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷、3-(2-胺基乙基胺基)丙基二甲氧基甲基矽烷、3-胺基丙基二乙氧基甲基矽烷、3-氯丙基二甲氧基甲基矽烷、3-巰基丙基二甲氧基甲基矽烷、環己基二甲氧基甲基矽烷、二乙氧基甲基乙烯基矽烷、二甲氧基甲基乙烯基矽烷及二甲氧基二-對甲苯基矽烷；及作為單官能矽烷化合物，三甲基矽烷、三丁基矽烷、三甲基甲氧基矽烷、三丁基乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)二甲基甲氧基矽烷及(3-縮水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷。
四官能矽烷化合物中較佳的是四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷及四丁氧基矽烷；三官能矽烷化合物中較佳的是甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、甲基三異丙氧基矽烷、甲基三丁氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、乙基三異丙氧基矽烷、乙基三丁氧基矽烷及丁基三甲氧基矽烷；雙官能矽烷化合物中較佳的是二甲基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、二苯基二苯氧基矽烷、二丁基二甲氧基矽烷及二甲基二乙氧基矽烷。
此等矽烷化合物可單獨或以其中兩者或更多者之組合形式使用。
用於獲得以上式1之矽烷化合物之水解產物或縮合物條件不受特定限制。舉例而言，式1之矽烷化合物視情況用溶劑，諸如乙醇、2-丙醇、丙酮、乙酸丁酯或其類似物稀釋；向其中添加反應所必需的水及作為催化劑之酸（例如鹽酸、乙酸、硝酸及其類似物）或鹼（例如氨、三乙胺、環己胺、氫氧化四甲基銨及其類似物）；之後攪拌混合物以完成水解聚合反應，由此可獲得其所需水解產物或縮合物。
藉由以上式1之矽烷化合物之水解聚合反應而獲得之縮合物（亦即矽氧烷聚合物）之重量平均分子量較佳在500至50,000 Da範圍內。在以上範圍內，其就成膜特徵、溶解性、對顯影劑之溶解速率及其類似特性而言更佳。
本文所用之溶劑或酸或鹼催化劑之類型及量可任意選擇而不加限制。水解聚合反應可在20℃或更低之低溫下進行。但反應可藉由加熱或回流加速。所要反應時間隨矽烷單體之類型及濃度、反應溫度及其類似條件而變化。通常需要15分鐘至30天進行反應直至由此獲得之縮合物之分子量變為大致500至50,000 Da。然而，反應時間不限於此範圍。
矽氧烷共聚物（B）可包括線性矽氧烷結構單元（亦即D型矽氧烷結構單元）。此線性矽氧烷結構單元可衍生自雙官能矽烷化合物，例如由n為2之以上式1表示之化合物。特定言之，矽氧烷共聚物（B）包括以Si原子莫耳數計0.5至50莫耳%、較佳1至30莫耳%之量的衍生自n為2之以上式1之矽烷化合物的結構單元。在以上含量範圍內，固化膜可具有可撓性特徵，同時維持某一程度之硬度，由此可進一步增強對外部應力之抗裂性。
此外，矽氧烷共聚物（B）可包括衍生自由n為1之以上式1表示之矽烷化合物的結構單元（亦即T-型結構單元)。較佳地，矽氧烷共聚物（B）包括以Si原子莫耳數計40至85莫耳%、更佳50至80莫耳%之量比率的衍生自n為1之以上式1之矽烷化合物的結構單元。在以上含量範圍內，形成精確圖案輪廓更有利。
另外，考慮到固化膜之硬度、敏感性及保留率，矽氧烷共聚物（B）較佳包括衍生自具有芳基之矽烷化合物的結構單元。舉例而言，矽氧烷共聚物（B）可包括以Si原子莫耳數計30至70莫耳%、較佳35至50莫耳%之量的衍生自具有芳基之矽烷化合物的結構單元。在以上含量範圍內，矽氧烷共聚物（B）與1,2-二疊氮萘醌化合物之相容性良好，其可防止敏感性過度降低，同時使固化膜實現更有利的透明度。衍生自具有芳基之矽烷化合物的結構單元可為衍生自R3 為芳基之以上式1之矽烷化合物的結構單元、較佳n為1且R3 為芳基之以上式1之矽烷化合物、尤其n為1且R3 為苯基之以上式1之矽烷化合物（亦即T-苯基型矽氧烷結構單元）。
矽氧烷聚合物（B）可包括衍生自由n為0之以上式1表示之矽烷化合物的結構單元（亦即Q型結構單元）。較佳地，矽氧烷共聚物（B）可包括以Si原子莫耳數計10至40莫耳%、較佳15至35莫耳%之量的衍生自由n為0之以上式1表示之矽烷化合物的結構單元。在以上含量範圍內，感光性樹脂組合物可在形成圖案期間對鹼性水溶液以適當程度維持其溶解性，由此防止由溶解性降低或組合物之溶解性急劇增加引起的任何缺陷。
本文所用之術語「以Si原子莫耳數計之莫耳%」係指特定結構單元中所含Si原子之莫耳數相對於構成矽氧烷聚合物之所有結構單元中所含Si原子總莫耳數之百分比。
矽氧烷聚合物（B）中矽氧烷單元之莫耳量可藉由Si-NMR、1 H-NMR、13 C-NMR、IR、TOF-MS、元素分析、灰分量測及其類似技術之組合量測。舉例而言，為量測具有苯基之矽氧烷單元之莫耳量，對整個矽氧烷聚合物進行SI-NMR分析，之後對結合苯基之Si峰面積及未結合苯基之Si峰面積進行分析。接著可由其之間的峰面積比率計算莫耳量。
本發明之感光性樹脂組合物可包括基於不包括溶劑之固體含量以組合物之總重量計16至77重量%、較佳20至77重量%、更佳地20至70重量%之量的矽氧烷共聚物（B）。
此外，矽氧烷共聚物（B）可以100重量份丙烯酸共聚物（A）計(基於固體含量）5至150重量份、較佳5至120重量份、更佳5至100重量份之量使用。在以上含量範圍內，可將可顯影性維持於適合程度，由此產生膜保留率及圖案對比度極佳之固化膜。（ C ）含有酚羥基之化合物
本發明之感光性樹脂組合物包括含有酚羥基之化合物（C）。
含有酚羥基之化合物（C）在其結構中含有酚系基團。其藉由增加與光活化之化合物（例如基於1,2-二疊氮醌之化合物（D））之結合力而降低未曝光區域對顯影劑之溶解速率。另一方面，其進一步增加曝露於紫外線之區域的溶解速率，由此保持高對比度及良好黏著性特徵。
特定言之，含有酚羥基之化合物（C）可容易溶解於顯影劑中。然而，含有酚羥基之化合物（C）可與未曝光區域（在無紫外線下）中之光敏性化合物氫鍵合，其可降低組合物對顯影劑之溶解速率。另一方面，含有酚羥基之化合物（C）可不與曝光區域（在紫外線下）中之光敏性化合物氫鍵合，且已氫鍵合之彼等化合物可藉由光分解。由於含有酚羥基之化合物（C）可保持其固有溶解速率，故可增加組合物對顯影劑之溶解性。
亦即，在未曝光區域中可藉由氫鍵合進一步改良黏著力，而在曝光區域中可實現適當溶解速率，由此產生極佳對比度。
含有酚羥基之化合物（C）可為三酚型化合物，諸如參(4-羥基苯基)甲烷、雙(4-羥基-3-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,3,5-三甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-3,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,5-二甲基苯基)-2,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基苯基)-3-甲氧基-4-羥基苯基甲烷、雙(5-環己基-4-羥基-2-甲基苯基)-4-羥基苯基甲烷、雙(5-環己基-4-羥基-2-甲基苯基)-3-羥基苯基甲烷、雙(5-環己基-4-羥基-2-甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷及雙(5-環己基-4-羥基-2-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷；線性型多酚化合物，例如線性型3-核酚系化合物，諸如雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷、2,3,4-三羥基苯基-4'-羥基苯基甲烷、2,4-雙(3,5-二甲基-4-羥基苯甲基)-5-羥基苯酚及2,6-雙(2,5-二甲基-4-羥基苯甲基)-4-甲基苯酚；線性型4-核酚系化合物，諸如1,1-雙[3-(2-羥基-5-甲基苯甲基)-4-羥基-5-環己基苯基]異丙烷、雙[2,5-二甲基-3-(4-羥基-5-甲基苯甲基)-4-羥基苯基]甲烷、雙[2,5-二甲基-3-(4-羥基苯甲基)-4-羥基苯基]甲烷、雙[3-(3,5-二甲基-4-羥基苯甲基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3,5-二甲基-4-羥基苯甲基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷、雙[3-(3,5-二乙基-4-羥基苯甲基)-4-羥基-5-甲基苯基]甲烷、雙[3-(3,5-二乙基-4-羥基苯甲基)-4-羥基-5-乙基苯基]甲烷、雙[2-羥基-3-(3,5-二甲基-4-羥基苯甲基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[2-羥基-3-(2-羥基-5-甲基苯甲基)-5-甲基苯基]甲烷、雙[4-羥基-3-(2-羥基-5-甲基苯甲基)-5-甲基苯基]甲烷及雙[2,5-二甲基-3-(2-羥基-5-甲基苯甲基)-4-羥基苯基]甲烷；及線性型5-核酚系化合物，諸如2,4-雙[2-羥基-3-(4-羥基苯甲基)-5-甲基苯甲基]-6-環己基苯酚、2,4-雙[4-羥基-3-(4-羥基苯甲基)-5-甲基苯甲基]-6-環己基苯酚及2,6-雙[2,5-二甲基-3-(2-羥基-5-甲基苯甲基)-4-羥基苯甲基]-4-甲基苯酚；雙酚型化合物，諸如2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(2',3',4'-三羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(2',4'-二羥基苯基)丙烷、2-(4-羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、2-(3-氟-4-羥基苯基)-2-(3'-氟-4'-羥基苯基)丙烷、2-(2,4-二羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷、2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(4'-羥基苯基)丙烷及2-(2,3,4-三羥基苯基)-2-(4'-羥基-3',5'-二甲基苯基)丙烷；多核分支化合物，諸如1-[1,1-雙(4-甲基苯基)乙基]-4-[1-(4-羥苯基)異丙基]苯、1-[1-(4-羥苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(4-羥基苯基)乙基]苯及1-[1-(3-甲基-4-羥基苯基)異丙基]-4-[1,1-雙(3-甲基-4-羥基苯基)乙基]苯；縮合酚系化合物，諸如1,1-雙(4-羥基苯基)環己烷；
Figure 02_image001
（TrisP-HAP）、
Figure 02_image003
（BisP-AP）、
Figure 02_image005
（BisOTBP-AP）、
Figure 02_image007
（BisP-DP）、
Figure 02_image009
（Ph-cc-AP）、
Figure 02_image011
（TrisP-PA）、
Figure 02_image013
（TrisP-TC）、
Figure 02_image015
（BisOTBP-Z）、
Figure 02_image017
（TekP-4HBP）、
Figure 02_image019
（TekP-4HBPA）、
Figure 02_image021
（BisOPP-AP）、
Figure 02_image023
（TPM-DP）、
Figure 02_image025
（Bis-FL）、
Figure 02_image027
、
Figure 02_image029
、
Figure 02_image031
、
Figure 02_image033
、
Figure 02_image035
、
Figure 02_image037
或
Figure 02_image039
。
特定言之，出於圖案形成及顯影時之可顯影性之觀點，含有酚羥基之化合物（C）較佳可為三酚型化合物，諸如雙(5-環己基-4-羥基-2-甲基苯基)-3,4-二羥基苯基甲烷、雙(4-羥基-2,3,5-三甲基苯基)-2-羥基苯基甲烷及其類似物；線性型4-核酚系化合物，諸如1,1-雙[3-(2-羥基-5-甲基苯甲基)-4-羥基-5-環己基苯基]異丙烷、
Figure 02_image001
（TrisP-HAP）或
Figure 02_image011
（TrisP-PA）。
含有酚羥基之化合物（C）可以100重量份之丙烯酸共聚物計(基於固體含量）1至50重量份、較佳2至40重量份、更佳2至30重量份之量使用。在以上範圍內，可在半色調區域中實現具有高敏感性及極佳黏著性之圖案特徵。（ D ）基於 1,2- 二疊氮醌之化合物
本發明之感光性樹脂組合物包括基於1,2-二疊氮醌之化合物（D）。
基於1,2-二疊氮醌之化合物（D）為藉由光（例如紫外線）活化之光敏性化合物。其連同如上文所述之含有酚羥基之化合物（C）一起可控制組合物對顯影劑之溶解性。
基於1,2-二疊氮醌之化合物可為光阻領域中用作感光劑之化合物。
基於1,2-二疊氮醌之化合物之實例包含酚系化合物與1,2-二疊氮苯醌-4-磺酸或1,2-二疊氮苯醌-5-磺酸之酯；酚系化合物與1,2-二疊氮萘醌-4-磺酸或1,2-二疊氮萘醌-5-磺酸之酯；其中羥基經胺基取代之酚系化合物與1,2-二疊氮苯醌-4-磺酸或1,2-二疊氮苯醌-5-磺酸之磺醯胺；其中羥基經胺基取代之酚系化合物與1,2-二疊氮萘醌-4-磺酸或1,2-二疊氮萘醌-5-磺酸之磺醯胺。以上化合物可單獨或以其中兩者或更多者之組合形式使用。
酚系化合物之實例包含2,3,4-三羥基二苯甲酮、2,4,6-三羥基二苯甲酮、2,2',4,4'-四羥基二苯甲酮、2,3,3',4-四羥基二苯甲酮、2,3,4,4'-四羥基二苯甲酮、雙(2,4-二羥基苯基)甲烷、雙(對羥基苯基)甲烷、三(對羥基苯基)甲烷、1,1,1-三(對羥基苯基)乙烷、雙(2,3,4-三羥基苯基)甲烷、2,2-雙(2,3,4-三羥基苯基)丙烷、1,1,3-參(2,5-二甲基-4-羥苯基)-3-苯基丙烷、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚、雙(2,5-二甲基-4-羥基苯基)-2-羥基苯基甲烷、3,3,3',3'-四甲基-1,1'-螺雙茚-5,6,7,5',6',7'-己醇、2,2,4-三甲基-7,2',4'-三羥基黃烷及其類似物。
基於1,2-二疊氮醌之化合物之更特定實例包含2,3,4-三羥基二苯甲酮與1,2-二疊氮萘醌-4-磺酸之酯、2,3,4-三羥基二苯甲酮與1,2-二疊氮萘醌-5-磺酸之酯、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與1,2-二疊氮萘醌-4-磺酸之酯、4,4'-[1-[4-[1-[4-羥基苯基]-1-甲基乙基]苯基]亞乙基]雙酚與1,2-二疊氮萘醌-5-磺酸之酯及其類似物。
以上化合物可單獨或以其中兩者或更多者之組合形式使用。
若使用上文所例示之較佳化合物，則可增強感光性樹脂組合物之透明度。
基於1,2-二疊氮醌之化合物（D）可以100重量份之丙烯酸共聚物（A）計（基於固體含量）10至35重量份、較佳12至35重量份、更佳12至32重量份之量使用。在以上含量範圍內，更容易形成圖案，且可在其形成時遏制塗佈膜之如粗糙表面之缺陷，且在顯影時遏制在圖案底部出現之如浮渣之圖案形狀。（ E ）環氧化合物
在根據本發明之正型感光性樹脂組合物中，環氧化合物可另外連同矽氧烷共聚物（B）一起採用，以便增加矽氧烷黏合劑（亦即矽氧烷共聚物）之內部密度，由此改良待自其製備之固化膜之耐化學性。
環氧化合物（E）可為含有至少一個環氧基之不飽和單體之均寡聚物或異寡聚物。
含有至少一個環氧基之不飽和單體之實例可包含(甲基)丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸4-羥丁酯縮水甘油醚、(甲基)丙烯酸3,4-環氧基丁酯、(甲基)丙烯酸4,5-環氧基戊酯、(甲基)丙烯酸5,6-環氧基己酯、(甲基)丙烯酸6,7-環氧基庚酯、(甲基)丙烯酸2,3-環氧環戊酯、(甲基)丙烯酸3,4-環氧環己酯、丙烯酸α-乙基縮水甘油酯、丙烯酸α-正丙基縮水甘油酯、丙烯酸α-正丁基縮水甘油酯、N-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲苯甲基)丙烯醯胺、N-(4-(2,3-環氧丙氧基)-3,5-二甲基苯基丙基)丙烯醯胺、烯丙基縮水甘油醚、2-甲基烯丙基縮水甘油醚、鄰乙烯基苯甲基縮水甘油醚、間乙烯基苯甲基縮水甘油醚、對乙烯基苯甲基縮水甘油醚及其混合物。較佳地，可使用甲基丙烯酸縮水甘油酯。
環氧化合物可藉由任何此項技術中熟知之方法合成。
市售環氧化合物之實例可為GHP03（甲基丙烯酸縮水甘油酯均聚物，Miwon Commercial Co., Ltd.）。
環氧化合物（E）可進一步包括以下結構單元。
其特定實例可包含衍生自以下之任何結構單元：苯乙烯；具有烷基取代基之苯乙烯，諸如甲基苯乙烯、二甲基苯乙烯、三甲基苯乙烯、乙基苯乙烯、二乙基苯乙烯、三乙基苯乙烯、丙基苯乙烯、丁基苯乙烯、己基苯乙烯、庚基苯乙烯及辛基苯乙烯；具有鹵素之苯乙烯，諸如氟苯乙烯、氯苯乙烯、溴苯乙烯及碘苯乙烯；具有烷氧基取代基之苯乙烯，諸如甲氧基苯乙烯、乙氧基苯乙烯及丙氧基苯乙烯；對羥基-α-甲基苯乙烯、乙醯基苯乙烯；具有芳環之烯系不飽和化合物，諸如二乙烯苯、乙烯基苯酚、鄰乙烯基苯甲基甲醚、間乙烯基苯甲基甲醚及對乙烯基苯甲基甲醚；不飽和羧酸酯，諸如(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸二甲胺基乙酯、(甲基)丙烯酸異丁酯、(甲基)丙烯酸第三丁酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸乙基己酯、(甲基)丙烯酸四氫呋喃酯、(甲基)丙烯酸羥基乙酯、(甲基)丙烯酸2-羥丙酯、(甲基)丙烯酸2-羥基-3-氯丙酯、(甲基)丙烯酸4-羥基丁酯、(甲基)丙烯酸甘油酯、α-羥基甲基丙烯酸甲酯、α-羥基甲基丙烯酸乙酯、α-羥基甲基丙烯酸丙酯、α-羥基甲基丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-甲氧基乙酯、(甲基)丙烯酸3-甲氧基丁酯、乙氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三丙二醇(甲基)丙烯酸酯、聚(乙二醇)甲醚(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸苯酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸2-苯氧基乙酯、苯氧基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、對壬基苯氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯、對壬基苯氧基聚丙二醇(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氟丙酯、(甲基)丙烯酸1,1,1,3,3,3-六氟異丙酯、(甲基)丙烯酸八氟戊酯、(甲基)丙烯酸十七氟癸酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸異冰片酯、(甲基)丙烯酸二環戊酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯酯、(甲基)丙烯酸二環戊氧基乙酯及(甲基)丙烯酸二環戊烯氧基乙酯；具有N-乙烯基之三級胺，諸如N-乙烯基吡咯啶酮、N-乙烯基咔唑及N-乙烯基嗎啉；不飽和醚，諸如乙烯基甲醚及乙烯基乙醚；不飽和醯亞胺，諸如N-苯基順丁烯二醯亞胺、N-(4-氯苯基)順丁烯二醯亞胺、N-(4-羥基苯基)順丁烯二醯亞胺及N-環己基順丁烯二醯亞胺。衍生自上文例示之化合物之結構單元可單獨或以其中兩者或更多者之組合形式含於環氧化合物（E）中。
考慮到可聚合性，以上化合物中之基於苯乙烯之化合物可為較佳的。
詳言之，就耐化學性而言更佳的是，藉由不使用上文中衍生自含有羧基之單體的結構單元而使環氧化合物（E）不含羧基。
可含有以構成環氧化合物（E）之結構單元之總莫耳量計0至70莫耳%、較佳10至60莫耳%之量的結構單元。在以上含量範圍內，就薄膜強度而言其可為更有利的。
環氧化合物（E）之重量平均分子量較佳可為100至30,000 Da。其重量平均分子量更佳可為1,000至15,000 Da。若環氧化合物之重量平均分子量為至少100 Da，則固化膜之硬度可更有利。若其為30,000 Da或更少，則固化膜可具有均勻厚度，其適用於使其上之任何梯級平坦化。
在本發明之正型感光性樹脂組合物中，環氧化合物（E）可以100重量份之丙烯酸共聚物（A）計（基於固體含量）0至20重量份、較佳0至17重量份、更佳0至15重量份之量使用。在以上含量範圍內，感光性樹脂組合物之耐化學性及敏感性可更有利。（ F ）矽烷化合物
本發明之正型感光性樹脂組合物可包括至少一種由以上式1表示之矽烷化合物。詳言之，其可包括T型及/或Q型之矽烷單體，由此藉由與環氧化合物（例如環氧寡聚物）結合以減少矽氧烷共聚物中之高反應性矽烷醇基團（Si-OH）而增強後處理中處理期間之耐化學性。 [式1] (R1 )n Si(OR2 )4-n
以上式1之定義與上文所述相同。
R1 具有雜原子之結構單元之實例包含醚、酯及硫化物。
化合物可為四官能矽烷化合物，其中n為0；三官能矽烷化合物，其中n為1；雙官能矽烷化合物，其中n為2；或單官能矽烷化合物，其中n為3。
矽烷化合物之特定實例可包含例如，作為四官能矽烷化合物，四乙醯氧基矽烷、四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷、四丁氧基矽烷、四苯氧基矽烷、四苯甲氧基矽烷及四丙氧基矽烷；作為三官能矽烷化合物，甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、甲基三異丙氧基矽烷、甲基三丁氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、乙基三異丙氧基矽烷、乙基三丁氧基矽烷、丁基三甲氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、苯基三乙氧基矽烷、d3 -甲基三甲氧基矽烷、正丙基三甲氧基矽烷、正丙基三乙氧基矽烷、正丁基三乙氧基矽烷、正己基三甲氧基矽烷、正己基三乙氧基矽烷、癸基三甲氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-甲基丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、3-丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、3-丙烯醯氧基丙基三乙氧基矽烷、對羥基苯基三甲氧基矽烷、1-(對羥基苯基)乙基三甲氧基矽烷、2-(對羥基苯基)乙基三甲氧基矽烷、4-羥基-5-(對羥基苯基羰氧基)戊基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三甲氧基矽烷、3-胺基丙基三乙氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三乙氧基矽烷、[(3-乙基-3-氧雜環丁烷基)甲氧基]丙基三甲氧基矽烷、[(3-乙基-3-氧雜環丁烷基)甲氧基]丙基三乙氧基矽烷、3-巰基丙基三甲氧基矽烷及3-三甲氧基矽烷基丙基琥珀酸；作為雙官能化合物，二甲基二乙醯氧基矽烷、二甲基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、二苯基二苯氧基矽烷、二丁基二甲氧基矽烷、二甲基二乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二甲氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)甲基二乙氧基矽烷、3-(2-胺基乙胺基)丙基二甲氧基甲基矽烷、3-胺基丙基二乙氧基甲基矽烷、3-巰基丙基二甲氧基甲基矽烷、環己基二甲氧基甲基矽烷、二乙氧基甲基乙烯基矽烷、二甲氧基甲基乙烯基矽烷及二甲氧基二對甲苯基矽烷；及作為單官能矽烷化合物，三甲基矽烷、三丁基矽烷、三甲基甲氧基矽烷、三丁基乙氧基矽烷、(3-縮水甘油氧基丙基)二甲基甲氧基矽烷及(3-縮水甘油氧基丙基)二甲基乙氧基矽烷。
四官能矽烷化合物中較佳的是四甲氧基矽烷、四乙氧基矽烷及四丁氧基矽烷；三官能矽烷化合物中較佳的是甲基三甲氧基矽烷、甲基三乙氧基矽烷、甲基三異丙氧基矽烷、甲基三丁氧基矽烷、苯基三甲氧基矽烷、乙基三甲氧基矽烷、乙基三乙氧基矽烷、乙基三異丙氧基矽烷、乙基三丁氧基矽烷、丁基三甲氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、3-縮水甘油氧基丙基三乙氧基矽烷、2-(3,4-環氧環己基)乙基三甲氧基矽烷及2-(3,4-環氧環己基）乙基三乙氧基矽烷；雙官能矽烷化合物中較佳的是二甲基二甲氧基矽烷、二苯基二甲氧基矽烷、二苯基二乙氧基矽烷、二苯基二苯氧基矽烷、二丁基二甲氧基矽烷及二甲基二乙氧基矽烷。
此等矽烷化合物可單獨或以其中兩者或更多者之組合形式使用。
矽烷化合物（F）可以100重量份之丙烯酸共聚物（A）計（基於固體含量）0至20重量份、較佳0至15重量份、更佳0至12重量份之量使用。在以上含量範圍內，可進一步增強固化膜之耐化學性。（ G ）溶劑
本發明之正型感光性樹脂組合物可以液態組合物形式製備，其中將以上組分與溶劑混合。溶劑可為例如有機溶劑。
根據本發明之正型感光性樹脂組合物中之溶劑之量不受特定限制。舉例而言，可採用溶劑以使得固體內含物為以組合物之總重量計10至70重量%、較佳15至60重量%。
術語固體內含物係指不包括溶劑之構成組合物之組分。若溶劑之量在以上範圍內，則可容易進行組合物塗佈，且可使其流動性保持於適當程度。
本發明之溶劑不受特定限制，只要其可溶解以上提及之組分且為化學穩定的即可。舉例而言，溶劑可為醇、醚、二醇醚、乙二醇烷基醚乙酸酯、二乙二醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、丙二醇烷基醚丙酸酯、芳族烴、酮、酯及其類似物。
溶劑之特定實例包含甲醇、乙醇、四氫呋喃、二噁烷、甲基溶纖劑乙酸酯、乙基溶纖劑乙酸酯、乙醯乙酸乙酯、乙二醇單甲醚、乙二醇單乙醚、乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚、二乙二醇單甲醚、二乙二醇單乙醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇單丙醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇乙醚乙酸酯、丙二醇丙醚乙酸酯、二丙二醇甲醚乙酸酯、丙二醇丁醚乙酸酯、甲苯、二甲苯、甲基乙基酮、4-羥基-4-甲基-2-戊酮、環戊酮、環己酮、2-庚酮、γ-丁內酯、2-羥基丙酸乙酯、2-羥基-2-甲基丙酸乙酯、乙氧基乙酸乙酯、羥基乙酸乙酯、2-羥基-3-甲基丁酸甲酯、2-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、N,N-二甲基甲醯胺、N,N-二甲基乙醯胺、N-甲基吡咯啶酮及其類似物。
上文中較佳的是乙二醇烷基醚乙酸酯、二乙二醇、丙二醇單烷基醚、丙二醇烷基醚乙酸酯、酮及其類似物。詳言之，較佳的是二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲基乙基醚、二丙二醇二甲醚、二丙二醇二乙醚、丙二醇單甲醚、丙二醇單乙醚、丙二醇甲醚乙酸酯、2-甲氧基丙酸甲酯、γ-丁內酯、4-羥基-4-甲基-2-戊酮及其類似物。
上文所例示之溶劑可單獨或以其中兩以上者或更多者之組合形式使用。（ H ）界面活性劑
本發明之正型感光性樹脂組合物可進一步包括界面活性劑以在必要時增強其可塗佈性。
界面活性劑之種類不受限制。其實例可包含基於氟之界面活性劑、基於矽之界面活性劑、非離子界面活性劑及其類似物。
界面活性劑（H）之特定實例可包含基於氟及矽之界面活性劑，諸如由Dow Corning Toray Co., Ltd.提供之FZ-2122、由BM CHEMIE Co., Ltd.提供之BM-1000及BM-1100、由Dai Nippon Ink Chemical Kogyo Co., Ltd.提供之Megapack F-142 D、F-172、F-173及F-183、由Sumitomo 3M Ltd.提供之Florad FC-135、FC-170 C、FC-430及FC-431、由Asahi Glass Co., Ltd.提供之Sufron S-112、S-113、S-131、S-141、S-145、S-382、SC-101、SC-102、SC-103、SC-104、SC-105及SC-106、由Shinakida Kasei Co., Ltd.提供之Eftop EF301、EF303及EF352、由Toray Silicon Co., Ltd.提供之SH-28 PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、F-8428、DC-57及DC-190；非離子界面活性劑，諸如聚氧化乙烯烷基醚，包括聚氧化乙烯月桂基醚、聚氧化乙烯硬脂基醚、聚氧化乙烯油基醚及其類似物；聚氧化乙烯芳基醚，包括聚氧化乙烯辛基苯基醚、聚氧化乙烯壬基苯基醚及其類似物；及聚氧化乙烯二烷基酯，包括聚氧化乙烯二月桂酸酯、聚氧化乙烯二硬脂酸酯及其類似物；及有機矽氧烷聚合物KP341（由Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.製造）、基於(甲基)丙烯酸酯之共聚物Polyflow第57及95號（由Kyoei Yuji Chemical Co., Ltd.製造）及其類似物。其可單獨或以其中兩者或更多者之組合形式使用。
感光性樹脂組合物中可採用以100重量份之丙烯酸共聚物（A）計（基於固體含量）0.001至5重量份、較佳0.001至3重量份、更佳0.001至2重量份之量的界面活性劑（H）。在以上含量範圍內，組合物之塗佈順利進行。（ I ）黏著補充劑
本發明之感光性樹脂組合物可進一步包括黏著補充劑以增強與基板之黏著性。
黏著補充劑可具有至少一個選自由以下組成之群的反應性基團：羧基、(甲基)丙烯醯基、異氰酸酯基、胺基、巰基、乙烯基及環氧基。
黏著補充劑之種類不受特定限制。其可為選自由以下組成之群的至少一者：三甲氧基矽烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙醯氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、γ-異氰酸酯基丙基三乙氧基矽烷、γ-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、γ-縮水甘油氧基丙基三乙氧基矽烷、N-苯基胺基丙基三甲氧基矽烷及β-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷。較佳的是γ-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、γ-縮水甘油氧基丙基三乙氧基矽烷或N-苯基胺基丙基三甲氧基矽烷，其能夠增強膜保留率且對基板之黏著性極佳。
黏著補充劑（I）可以100重量份丙烯酸共聚物（A）計（基於固體含量）0.001至5重量份、較佳0.001至3重量份、更佳0.001至2重量份之量使用。在以上含量範圍內，可進一步增強對基板之黏著性。
另外，本發明之感光性樹脂組合物可進一步包括其他添加劑，只要不對感光性樹脂組合物之物理特性有不利影響即可。
根據本發明之感光性樹脂組合物可用作正型感光性樹脂組合物。
詳言之，本發明之正型感光性樹脂組合物包括對顯影劑之溶解速率在特定範圍內之丙烯酸共聚物及含有酚羥基之化合物，以使得當形成固化膜時可獲得高對比度及高敏感性圖案。
特定言之，當將根據本發明之感光性樹脂組合物塗佈於玻璃基板上且固化以形成乾燥膜時。將乾燥膜顯影，基於365 nm之波長以200 mJ/cm2 之曝光速率進行曝光，且加熱以製備具有3 µm之厚度的固化膜。接著，根據以下等式1之固化膜之對比度（γ）值可為4.5至6.0、4.5至5.7、或4.5至5.5（參見評估實例4及圖2）。 [等式1] 對比度(γ) = [Log10 (Dc /D0 )]-1 Dc = Log10 （顯影時膜厚度為0時之能量） D0 = Log10 [顯影時之膜保留率（d'/d0 ）與對比度圖之直線斜率之交叉點] d0 =顯影前之（初始）膜厚度 d' =顯影時之膜厚度
此外，若使用根據本發明之感光性樹脂組合物，則可進一步增強圖案對基板之黏著性，形成半色調以及全色調。
本發明提供由感光性樹脂組合物形成之固化膜。
固化膜可藉由此項技術中已知之方法形成，例如，將感光性樹脂組合物塗佈於基板上且接著固化之方法。
更特定言之，在固化步驟中，塗佈於基板上之感光性樹脂組合物可在例如60至130℃之溫度下經歷預烘烤以移除溶劑；接著使用具有所要圖案之光遮罩曝光；及經歷使用例如氫氧化四甲基銨（TMAH）溶液之顯影劑顯影以在塗層上形成圖案。此後，必要時，使圖案化之塗層例如在150至300℃之溫度下經歷後烘烤10分鐘至5小時，以製備所需固化膜。曝光可基於200至500 nm之波長帶中365 nm之波長以10至200 mJ/cm2 之曝光速率進行。根據本發明之方法，出於所述方法之觀點，可容易形成所要圖案。
感光性樹脂組合物於基板上之塗佈可藉由旋塗法、狹縫塗佈法、輥式塗佈法、網版印刷法、塗覆器法或其類似方法以例如2至25 µm之所需厚度進行。另外，作為用於曝光（照射）之光源，可使用低壓汞燈、高壓汞燈、超高壓汞燈、金屬鹵化物燈、氬氣雷射或其類似光源。必要時，亦可使用X射線、電子射線或其類似物。
本發明之感光性樹脂組合物能夠形成就耐熱性、透明度、介電常數、耐溶劑性、耐酸性及鹼金屬耐受性而言極佳的固化膜。因此，由此形成之本發明之固化膜具有極佳透光率，當固化膜經受熱處理或浸沒於溶劑、酸、鹼或其類似物中或與其接觸時，不具有表面粗糙度。因此，固化膜可作為平坦化膜有效用於液晶顯示器或有機EL顯示器之薄膜電晶體（TFT）基板；有機EL顯示器之分區；半導體裝置之層間介電質；光波導之芯或包層材料或其類似物。此外，本發明提供一種電子部件，其包括作為保護膜之固化膜。
在下文中，將參考以下實例更詳細描述本發明。然而，提供此等實例以說明本發明，且本發明之範疇並非僅限於此。
在以下合成實例中，重量平均分子量藉由凝膠滲透層析法（GPC，溶離劑：四氫呋喃）參比聚苯乙烯標準物進行測定。合成實例 1 ：合成丙烯酸共聚物（ A-1 ）
配備有冷卻管及攪拌器之燒瓶中裝入200重量份丙二醇單甲醚乙酸酯作為溶劑，且使溶劑之溫度升高至70℃，同時緩慢攪拌溶劑。向其中添加15.9重量份甲基丙烯酸、20.8重量份甲基丙烯酸縮水甘油酯、20.3重量份苯乙烯、31.2重量份甲基丙烯酸甲酯及11.7重量份甲基丙烯酸酯，之後經5小時逐滴添加3重量份2,2'-偶氮雙(2,4-二甲基戊腈)作為自由基聚合引發劑以進行聚合反應。由此獲得之共聚物之重量平均分子量（固體含量：30重量%）為10,000 Da。合成實例 2 ：合成丙烯酸共聚物（ A-2 ）
以與合成實例1相同之方式進行聚合反應，但其中改用17.7重量份甲基丙烯酸、20.4重量份苯乙烯、29.4重量份甲基丙烯酸甲酯及11.8重量份甲基丙烯酸酯。由此獲得之共聚物之重量平均分子量（固體含量：30重量%）為10,000 Da。合成實例 3 ：合成矽氧烷共聚物（ B ）
配備有回流冷凝器之反應器中裝入53.5重量份苯基三甲氧基矽烷、18.4重量份甲基三甲氧基矽烷、28.1重量份四乙氧基矽烷、20重量%之純水及5重量%之PGMEA，之後在0.1重量%之草酸催化劑存在下使混合物回流且劇烈攪拌7小時。接著，使混合物冷卻且用PGMEA稀釋以使得固體含量為40%。因而，合成如藉由GPC參比聚苯乙烯分析之具有5,000至10,000 Da之重量平均分子量之聚合物。實例及比較實例：製備感光性樹脂組合物
以下實例及比較實例之感光性樹脂組合物使用在以上合成實例中所製備之化合物來製備。
在以下實例及比較實例中所用之組分如下。 [表1]
Figure 108115204-A0304-0001
 實例 1
將23.85 g合成實例1中合成之丙烯酸共聚物（A-1）、23.85 g合成實例2中合成之丙烯酸共聚物（A-2）、15.33 g合成實例3中合成之矽氧烷共聚物（B）、1.25 g含有酚羥基之化合物（C-1）、3.25 g 1,2-二疊氮醌化合物（D）、0.06 g界面活性劑（H）及32.42 g溶劑均勻混合。攪拌混合物溶液3小時，且經由具有0.2 µm孔徑之過濾膜過濾，以獲得具有25重量%之固體含量之組合物溶液。實例 2 至 6 及比較實例 1 至 5
感光性樹脂組合物各以與實例1中相同之方式製備，但其中各別組分之類別及/或含量如以下表2中所示改變。 [表2]
Figure 108115204-A0304-0002
 評估實例 1 ：評估丙烯酸共聚物（ A ）之溶解速率（ ADR ）
為測定以上實例及比較實例中所用之丙烯酸系共聚物之溶解速率，將丙烯酸共聚物旋塗於晶圓基板上且於保持於110℃下之加熱板上預烘烤120秒以形成具有1 μm厚度之乾膜。在與顯影相同的條件下，使用溶解速率計（Luzchem，型號：TFA-11CT）量測晶圓基板上所形成之1 μm厚度之塗佈膜在2.38重量%之氫氧化四甲基銨之水溶液中的溶解速率（埃/秒）。結果示於以下表3中。評估實例 2 ：評估敏感性
實例及比較實例中製備之組合物各自藉由旋塗塗佈於玻璃基板上。接著將塗佈之基板在保持在115℃之加熱板上預烘烤120秒，以形成乾膜。經由具有尺寸在1 μm至30 μm範圍之方孔圖案的遮罩，使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器（型號名稱：MA6），基於365 nm之波長以0至200 mJ/cm2 之曝光速率曝光乾燥膜某一時段，其中遮罩與基板之間的間隙為25 µm。接著在23℃下經由攪拌噴嘴用顯影劑顯影其60秒，所述顯影劑為2.38重量%氫氧化四甲基銨之水溶液。接著使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器（型號名稱：MA6），基於365 nm之波長以200 mJ/cm2 之曝光速率曝光顯影膜某一時段（亦即漂白步驟）。在對流烘箱中在230℃下加熱曝光膜30分鐘，以製備厚度為3 μm之固化膜。對於在以上程序中經尺寸為10 μm之遮罩形成之孔圖案，量測實現10 μm臨界尺寸（CD，線寬，單位：μm）之曝光能量之量。值（mJ/cm2 ）愈低，敏感性愈佳。結果示於以下表3中。評估實例 3 ：評估半色調之黏著性
實例及比較實例中製備之組合物各自藉由旋塗塗佈於玻璃基板上。接著將塗佈之基板在保持在115℃之加熱板上預烘烤120秒，以形成乾膜。將各圖案為間隔1 µm之6條1 µm至30 µm範圍內之線的光遮罩施加於乾膜，接著使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器（型號名稱：MA6），基於365 nm之波長以0至200 mJ/cm2 之曝光速率曝光所述乾膜某一時段（亦即漂白步驟），其中遮罩與基板之間的間隙為25 µm。在此類情況下，將某一量之透射率（亦即形成1.5 µm之厚度的透射率）施加於除光遮罩中之線區域外之體區域，由此在體區域中形成半色調。接著在23℃下經由攪拌噴嘴用2.38重量%氫氧化四甲基銨之顯影劑水溶液顯影其60秒。接著使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器（型號名稱：MA6），基於365 nm之波長以200 mJ/cm2 之曝光速率曝光顯影膜某一時段（亦即漂白步驟）。在對流烘箱中在230℃下加熱曝光膜30分鐘，以製備厚度為1.5 µm之固化膜（在非曝光區域中係指3 μm）。接著，使用顯微鏡觀察氮化矽基板上1 µm至30 µm線圖案中殘留之最小線圖案之程度。在顯微鏡觀察期間，將在線圖案與遮罩CD分離之後殘留之最低CD尺寸之圖案評估為顯影黏著性。最小殘留圖案尺寸愈小，顯影黏著性愈佳。特定言之，如下根據最小殘留圖案尺寸評估黏著性。結果示於以下表3及圖1中。
若最小殘留圖案尺寸為2 µm或更小，則將其標記為◎。若其為大於2 µm至3 µm，則將其標記為○。若其為大於3 µm至8 µm，則將其標記為Δ。若其為大於8 µm，則將其標記為×。評估實例 4 ：評估對比度（ γ ）
實例及比較實例中製備之組合物各自藉由旋塗塗佈於玻璃基板上。接著將塗佈之基板在保持在115℃之加熱板上預烘烤120秒，以形成乾膜。將以某一間隔分成多種透射率之遮罩施加於乾膜，接著使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器（型號名稱：MA6），基於365 nm之波長以0至200 mJ/cm2 之曝光速率曝光所述乾膜某一時段，其中遮罩與基板之間的間隙為25 µm。接著在23℃下經由攪拌噴嘴用2.38重量%氫氧化四甲基銨之顯影劑水溶液顯影其60秒。接著使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器（型號名稱：MA6），基於365 nm之波長以200 mJ/cm2 之曝光速率曝光其某一時段（亦即漂白步驟）。在對流烘箱中在230℃下加熱曝光膜30分鐘，以製備厚度為3 μm之固化膜。藉由厚度量測設備（SNU Precision）量測由以上方法形成之固化膜之厚度相對於曝光能量之變化，以自d'（顯影時膜厚度）及d0 （顯影前之初始膜厚度）獲得對比度值。值愈大，對比度愈佳。結果示於以下表3及圖2中。 對比度（γ）= [Log10 (Dc /D0 )]-1 Dc = Log10 （顯影時膜厚度為0時之能量） D0 = Log10 [顯影時之膜保留率（d'/d0 ）與對比度圖之直線斜率之交叉點] d' =顯影時之膜厚度 d0 =顯影前之（初始）膜厚度
若所述值為4或更小，則將其標記為×。若其為大於4至5，則將其標記為○。若其為大於5，則將其標記為◎。評估實例 5 ：評估膜保留率
實例及比較實例中製備之組合物各自藉由旋塗塗佈於玻璃基板上。接著將塗佈之基板在保持在115℃之加熱板上預烘烤120秒，以形成乾膜。接著在23℃下經由攪拌噴嘴用2.38重量%氫氧化四甲基銨之顯影劑水溶液顯影其60秒。接著使用發射波長為200 nm至450 nm之光的對準器（型號名稱：MA6），基於365 nm之波長以200 mJ/cm2 之曝光速率曝光顯影膜某一時段（亦即漂白步驟）。在對流烘箱中在230℃下加熱曝光膜30分鐘，以製備厚度為3 μm之固化膜。藉由使用量測儀（SNU Precision）計算後烘烤後之膜厚度與預烘烤後之膜厚度的百分比比率來由以下等式1獲得膜保留率（%）。數值愈高，膜保留率愈佳。特定言之，若膜保留率為70%或更高，則將其評價為極佳。結果示於以下表3中。 [等式1] 膜保留率（%）=（後烘烤後之膜厚度/預烘烤後之膜厚度）×100
若所述值小於70%，則將其標記為×。若其為70%或更多，則將其標記為○。 [表3]
Figure 108115204-A0304-0003
如以上表3中所示，實例1至6中所用之丙烯酸系共聚物在顯影條件下各自具有400至1,300埃/秒之溶解速率。相反，比較實例3至5中所用之丙烯酸系共聚物之溶解速率小於或大於以上範圍。
此外，包括含有酚羥基之化合物及丙烯酸共聚物一起之實例1至6之組合物敏感性、對比度及膜保留率極佳。
另外，如由表3之結果及圖1之照片所證實，甚至在諸如半色調形成後之漂白的後處理之後基板上之圖案仍充分保留，由此指示實例之組合物之黏著性極佳。
相反，比較實例1至3之組合物（其不包括含有酚羥基之化合物）幾乎不展示由於評估半色調黏著性而殘留之圖案。
另外，包括溶解速率在本發明範圍外之丙烯酸共聚物及含有酚羥基之化合物的比較實例4之組合物在形成半色調時有殘留於基板上之圖案。但結果展示殘留圖案之數目及清晰度不如實例。比較實例5之組合物之半色調黏著性良好，但其對比度不良。
無
圖1為顯微照片，其各自展示上面形成有圖案之基板之側面，以評估當在獲自組合物之固化膜上形成半色調時圖案對基板之黏著性。此處，半色調自實例及比較實例之組合物中之各者形成，且經歷後續製程。
圖2為藉由對評估實例4中所獲得之實例及比較實例中之膜保留率（對比度）取平均獲得之圖表。

Claims (12)

  1. 一種正型感光性樹脂組合物，其包括： （A）丙烯酸共聚物； （B）矽氧烷共聚物； （C）含有酚羥基之化合物；及 （D）1,2-二疊氮醌化合物。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其中當所述丙烯酸共聚物（A）在110℃下於2.38重量%氫氧化四甲基銨之水溶液中溶解90秒時，其具有400至1,300埃/秒之溶解速率。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之正型感光性樹脂組合物， 其中所述丙烯酸共聚物（A）具有500至50,000 Da之重量平均分子量（Mw）。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其中所述矽氧烷共聚物（B）包括衍生自由以下式1表示之矽烷化合物的結構單元： [式1] (R1 )n Si(OR2 )4-n 在以上式1中， n為0至3之整數； R1 各自獨立地為C1-12 烷基、C2-10 烯基、C6-15 芳基、3至12員雜烷基、4至10員雜烯基或6至15員雜芳基；及 R2 各自獨立地為氫、C1-6 烷基、C2-6 醯基或C6-15 芳基， 其中所述雜烷基、所述雜烯基及所述雜芳基各自獨立地具有至少一個選自由O、N及S組成之群的雜原子。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之正型感光性樹脂組合物， 其中所述矽氧烷共聚物（B）包括衍生自由以上式1表示之矽烷化合物的結構單元，其中n為0。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其中所述丙烯酸共聚物（A）包括（a-1）衍生自烯系不飽和羧酸、烯系不飽和羧酸酐或其組合之結構單元；（a-2）衍生自含有環氧基之不飽和化合物之結構單元；及（a-3）衍生自不同於所述結構單元（a-1）及（a-2）之烯系不飽和化合物之結構單元。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其包括基於固體含量以100重量份所述丙烯酸共聚物（A）計1至50重量份之量的所述含有酚羥基之化合物（C）。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其中所述矽氧烷共聚物（B）基於固體含量以所述丙烯酸共聚物（A）及所述矽氧烷共聚物（B）之總重量計5至60重量%之量使用。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其進一步包括環氧化合物。
  10. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其進一步包括至少一種由以下式1表示之矽烷化合物： [式1] (R1 )n Si(OR2 )4-n 在以上式1中， n為0至3之整數； R1 各自獨立地為C1-12 烷基、C2-10 烯基、C6-15 芳基、3至12員雜烷基、4至10員雜烯基或6至15員雜芳基；及 R2 各自獨立地為氫、C1-6 烷基、C2-6 醯基或C6-15 芳基， 其中所述雜烷基、所述雜烯基及所述雜芳基各自獨立地具有至少一個選自由O、N及S組成之群的雜原子。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物， 其中當將所述感光性樹脂組合物塗佈於玻璃基板上且固化以形成乾燥膜且使所述乾燥膜顯影，基於365 nm之波長以200 mJ/cm2 之曝光速率進行曝光及加熱以製備具有3 µm厚度之固化膜時，根據以下等式1之所述固化膜之對比度（γ）值為4.5至6.0： [等式1] 對比度（γ） = [Log10 (Dc /D0 )]-1 Dc = Log10 （顯影時膜厚度為0時之能量） D0 = Log10 [顯影時之膜保留率（d'/d0 ）與對比度圖之直線斜率之交叉點] d0 =顯影前之（初始）膜厚度 d' =顯影時之膜厚度。
  12. 一種固化膜，其由如申請專利範圍第1項所述之正型感光性樹脂組合物製備。
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