TW201946856A

TW201946856A - 高速旋轉分類器中的基板傾斜控制

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Publication number: TW201946856A
Application number: TW108113361A
Authority: TW
Inventors: 阿薩夫施勒岑杰; 馬克思Ｊ史達普
Original assignee: 美商應用材料股份有限公司
Priority date: 2018-05-03
Filing date: 2019-04-17
Publication date: 2019-12-16
Also published as: US20190337734A1; TWI724410B; CN112005356A; WO2019212651A1; US11072502B2

Abstract

本案揭露了一種用於分類複數個基板的設備和方法。該設備包括分類單元、可旋轉支撐件、複數個夾持器及空氣噴嘴，分類單元能夠支撐複數個箱，可旋轉支撐件設置在分類單元內，可旋轉支撐件可繞旋轉軸旋轉，複數個夾持器在相對於旋轉軸的共同半徑上耦接到可旋轉支撐件，當該可旋轉支撐件旋轉時，夾持器經定位以沿著該等箱上方的一路徑行進，當被分類的基板由該等夾持器中的一個夾持器釋放到複數個箱中的一箱中時，該空氣噴嘴經配置以將該被分類的基板相對於該箱中的一堆疊的基板重新定向。

Description

高速旋轉分類器中的基板傾斜控制

本揭示案的實施例一般係關於太陽能基板檢查設備。更具體言之，所揭露的實施例係關於用於基板的高速分類的系統和方法。

基板（如太陽能基板）在個別檢查站的處理期間被常規檢查，以確保符合預定的品質控制標準。不同的檢查技術提供有關產品和製程的全面性資料。然而，由於所需檢查站的數量以及在其間移動基板所導致的移送時間，全面性檢查可能是耗時的，而降低了產量。因此，設備製造商經常面臨在徹底檢查連帶繁瑣的檢查/移送時間或者放棄某些檢查處理之間作選擇的決定。

隨著檢查處理持續減少完成檢查步驟的時間量，需要能夠跟上更快分類的分類設備以增加產量。然而，在這些更快的分類系統中搬運（handling）基板有時會產生問題。例如，通常在分類期間拾取基板並將其堆疊在箱中，且堆疊過程可能包括使基板下落（drop）一小段距離。若該下落的基板以不同於該下落的基板所待堆疊在其上的另一基板（如，「堆疊的基板（stacked substrate）」）的定向傾斜，則當下落的基板與堆疊的基板接觸時可能發生裂縫或破裂。

如前所述，需要一種改良的基板檢查系統，用於以提高的速度對檢查過的（inspected）基板分類並允許更高的產量。因此，本領域需要一種高速旋轉分類器，其控制被分類的（sorted）基板的傾斜角度。

本案揭露了一種用於分類複數個基板的設備和方法。在一個實施例中，該設備包括分類單元，設置在分類單元內的可旋轉支撐件，可旋轉支撐件可繞旋轉軸旋轉。複數個夾持器在相對於旋轉軸的共同半徑上耦接到該可旋轉支撐件，複數個箱定位在當可旋轉支撐件旋轉時該等夾持器所沿著行進的路徑下方的分類單元內。空氣噴嘴設置在夾持器與複數個箱中的每個箱之間，當被分類的基板由該等夾持器中的一個夾持器釋放到該複數個箱中的一箱中時，該空氣噴嘴經配置以將該被分類的基板相對於堆疊的基板重新定向。

在另一個實施例中，揭露了一種適於對基板分類的設備，其包括分類單元。分類單元包括支撐結構、至少一個夾持器與複數個個別可拆卸式分類箱，該支撐結構從旋轉軸徑向向外延伸，至少一個夾持器耦接到支撐結構以用於支撐基板，該複數個個別可拆卸式分類箱定位於分類單元內，該複數個個別可拆卸式分類箱在當至少一個夾持器旋轉時該至少一個夾持器所沿著行進的路徑下方。複數個個別可拆卸式分類箱中的各者包括單一空氣噴嘴，其用於在從該至少一個夾持器釋放之後將該基板的一平面定向作重新定向。

在又一個實施例中，揭露了一種操作用於對殼體中的複數個基板分類的設備之方法。該方法包括以下步驟：用旋轉的分類單元上的至少一個夾持器來固持檢查過的基板。將至少一個夾持器所固持的檢查過的基板繞分類單元的中心軸旋轉到分配給檢查過的基板之分類箱上方的一位置，其中該分類箱包含一底板，該底板具有在非水平方向上成角度的一平面。該方法包括以下步驟：將該檢查過的基板從在一水平平面定向上的該至少一個夾持器釋放到所分配的分類箱中，以及在放置於所分配的分類箱內之前，將檢查過的基板的平面定向作重新定向。

本揭示案的實施例一般係關於基板搬運系統。基板搬運系統適用於分類系統，如在基板檢查系統中使用的分類系統。檢查系統包括多個量測單元，其適於分析基板的一個或多個特徵，其包括（僅舉例來說）厚度、電阻率、鋸痕、幾何形狀、污跡、碎片（chips）、微裂紋和晶體片段。檢查系統可用於識別基板上的缺陷並在處理基板之前估計電池效率。基板可經移送通過檢查系統以及/或在軌道或輸送機系統上的量測單元之間移送，隨後基於檢查資料而經由與高速旋轉分類設備耦接的夾持器分類到相應的箱中。分類設備保持每小時至少5400個基板的分類能力。每個箱包括傾斜控制裝置，其用於當基板從旋轉分類設備落入相應的箱中時控制基板的傾斜或平面定向。

圖1繪示根據一個實施例的檢查系統100的頂視圖。檢查系統100包括裝載模組102、模組化單元104和分類單元106。

裝載模組102可以是例如裝載機器人或其他將基板裝載到檢查系統100中的基板搬運機（handler）。模組化單元104可以是例如檢查基板的量測單元。僅作為示例，裝載模組102、模組化單元104和分類單元106可相對於彼此線性地設置。裝載模組102包括移送機器人108、端效器與夾持器夾具，移送機器人108具有支撐元件109（如抽吸元件），夾持器夾具用於夾持和移送基板110。移送機器人108適於將基板110從位於裝載模組102內的一個或多個匣112移送到輸送機系統114。輸送機系統114可以是馬達驅動的輸送機系統，且可包括一個或多個輸送機，例如由致動器透過滾輪和/或驅動齒輪驅動的輸送帶或軌道。輸送機系統114可以以線性佈置方式設置，以透過模組化單元104移送從移送機器人108所接收的基板。如此一來，輸送機系統114設置在模組化單元104內，且利於透過模組化單元104移送基板110。額外的模組化單元可定位在裝載模組102和模組化單元104之間，以及/或定位在模組化單元104和分類單元106之間，以及/或定位在分類單元106之後，以利於檢查系統100的擴充。

裝載模組102接收一個或多個匣112。每個匣112可包含以堆疊配置的基板110。基板可以以例如水平或垂直方式堆疊。例如，每個匣112可在其中包括複數個槽，且每個槽經配置來固持基板110。藉由連續示例，匣112可經定位使得基板110一個在另一個上定位。基板110經由移送機器人108從匣112移送到輸送機系統114，以用於移送通過系統100。裝載模組102與具有圖形使用者介面的電腦（所示為控制器190）通訊，該圖形使用者介面適於呈現與裝載模組102中發生的操作有關的資訊，其包括處理度量、批號等。在一個實例中，電腦可包括觸控螢幕介面。

模組化單元104可包括一個或多個量測站。在圖1的實施例中，模組化單元104包括五個量測站116A-116E。可以預期檢查系統100亦可在空間允許時藉由向模組化單元104增加或減少量測站來修改，而不是增加第二模組化單元，從而增加產量和/或施行的量測過程的數量。

僅作為示例，量測站116A-116E可包括以下單元中的任一者：微裂紋檢查單元、厚度量測單元、電阻率量測單元、光致發光單元、幾何檢查單元、鋸痕檢測單元、污跡檢測單元、碎片檢測單元和/或晶體片段檢測單元。僅作為示例，微裂紋檢查單元可經配置以檢查基板的裂縫，以及可選地確定基板的晶體片段。僅作為示例，幾何檢查單元可經配置以分析基板的表面特性。僅作為示例，鋸痕檢測單元可經配置以識別包括基板上的凹槽、階部和雙階部標記的鋸痕。量測站亦可包括上面所列之外的其他實例。

在一個示例中且僅出於說明的目的，量測站116A可以是如上所述之微裂紋檢查單元。藉由進一步的示例且僅出於說明的目的，量測站116B可以是適於量測基板厚度的厚度量測單元。量測站116B亦可以或替代地量測基板110的電阻率。量測站116B接收在量測站116A中檢查之後沿輸送機系統114移送的基板110，量測站116A可以是任何類型的量測站。量測站116B沿著量測站116A的位置下游的輸送機系統114所界定之基板110的在線（in-line）路徑設置。量測站116B在基板110上施行一個或多個檢查處理。在量測站116B處發生的檢查處理可在基板移動時進行；然而，可以預期的是，可停止基板110的移動，以利於提高檢查的準確性。

藉由進一步的示例且僅出於說明的目的，量測站116C可以是經配置以檢測缺陷和/或施行雜質量測的光致發光單元，及量測站116D可以是經配置以分析基板110的幾何和表面特性的幾何檢測單元。

量測站116C接收在量測站116B中檢查之後沿著輸送機系統114移送的基板110。量測站116D接收在量測站116C中檢查之後沿著輸送機系統114移送的基板110。量測站116E接收在量測站116D中檢查之後沿輸送機系統114移送的基板110，以及若在如圖所示的線性路徑中使用額外的量測單元，則以此類推。另外，在一些實施例中，可使用非線性路徑檢查。如此一來，基板110可以以非線性方式在量測站116A-116E之間移送，例如以圓形方式或以弧形方式移送。

輸送機系統114將檢查過的基板110從模組化單元104往分類單元106輸送。輸送機系統114可將檢查過的基板110移送到分類單元106中，移送到基板搬運機觸及的範圍內的位置，如與分類單元106一起安置的旋轉分類系統120。另外，輸送機系統114可繼續通過分類單元106到達連接器150。如此一來，若分類單元106沒有對基板110分類，則檢查過的基板110可繞過分類單元106的旋轉分類系統120並傳到連接器150。此外，若旋轉分類系統120沒有拾取檢查過的基板110，則基板可沿著輸送機系統114朝向連接器150繼續。在某些實施例中，沒有被旋轉分類系統120拾取的基板可沿輸送系統114繼續，這可能導致有未分類的基板箱。在某些實施例中，分類單元106可被連接器150進一步耦接，經由連接器150耦接附加單元，如僅作為示例，附加的檢查系統、附加的分類單元、附加的量測單元等。連接器150亦可進一步允許輸送機系統114與附加單元（如僅作為示例，附加的檢查系統、附加的分類單元、附加的量測單元等）的輸送機系統對準。

檢查系統100亦可包括控制器190。控制器利於系統100的控制和自動化。控制器190可與以下各者中的一個或多個耦接或通訊：輸送機系統114、裝載模組102、模組化單元104、分類單元106、移送機器人108和/或量測站116A-116E。檢查系統100可向控制器190提供關於基板移動、基板移送、基板分類和/或施行的量測的資訊。

控制器190可包括中央處理單元（CPU）（未圖示）、記憶體（未圖示）和支援電路系統（或I/O）（未圖示）。CPU可以是在工業設置中用於控制各種處理和硬體（如，模式產生器、馬達和其他硬體）並監控處理（例如，處理時間和基板定位或位置）的任何形式的電腦處理器之一。記憶體（未圖示）連接到CPU，且可以是一個或多個容易取得之記憶體，如隨機存取記憶體（RAM）、唯讀記憶體（ROM）、軟碟、硬碟或任何其他形式的數位儲存格式，本端的或是遠端的。軟體指令和資料可以經編碼並儲存在記憶體中以指示CPU。支援電路系統（未圖示）也連接到CPU，以用於以習用方式支援處理器。支援電路可包括習用的快取、電源供應、時脈電路、輸入/輸出電路系統、子系統以及類似物。控制器190可讀的程式（或電腦指令）決定哪些任務可在基板上施行。該等程式可以是控制器190可讀的軟體，且可包括用於監控和控制例如檢查系統100內的處理時間和基板定位或位置的程式碼。

圖2繪示安置在分類單元106內的圖1的旋轉分類系統120的頂視圖。旋轉分類系統120包括可旋轉支撐件122，可旋轉支撐件122被包含於旋轉分類系統120內。可旋轉支撐件122具有旋轉軸R。可旋轉支撐件122可以是旋轉盤、圓形支撐件、管狀結構或用於有效分類基板110的任何其他形狀。可旋轉支撐件122包括複數個臂124。每個臂124具有第一端126和第二端128。每個臂124的第一端126經由合適的連接（例如，焊接連接、銷連接、緊固連接等）耦接到可旋轉支撐件122。每個臂124的第二端128相對於旋轉軸R徑向向外延伸。每個臂124經設置與旋轉分類系統120的基部155成實質法線角度。基部155定位於底部160上，底部（floor）160可以是製造設施的底板。在一個實施例中，可旋轉支撐件122可包括至少十二個臂124，如十四個臂或十六個臂；然而，可以預期的是，可使用任何數量的臂124，如，僅舉例來說，十個或更多個臂124。每個臂124亦可包括垂直定向的支撐構件（未圖示），其沿實質平行於旋轉軸R的方向延伸。

至少一個夾持器130耦接到每個臂124的第二端128，或者夾持器130可耦接到垂直定向的支撐構件，垂直定向的支撐構件耦接到臂124。每個夾持器130可設置在每個臂124的底側或端部上，使得一旦檢查過的基板110到達分類單元106，每個夾持器130可拾取基板110。僅舉例來說，每個夾持器130可以是抽吸夾持器、爪夾持器、磁性夾持器或拾取器。在一個實施例中，每個夾持器130是白努利拾取器。夾持器130在水平定向上從輸送機系統114拾取基板，且當夾持器130沿旋轉軸R旋轉時，基板保持在水平定向上。在一個實例中，垂直地固定夾持器130，使得每個夾持器130不在平行於旋轉軸R的方向上移動。每個夾持器130所固持的基板維持與從輸送機系統114所拾取的共面（coplanar），以從旋轉分類系統120釋放。

一個或多個分類箱140在共同半徑上從旋轉軸R徑向向外設置。在一個實施例中，僅作為示例，使用至少十個分類箱140；然而，可以預期的是，可以使用任何數量的分類箱140，例如六個、八個或十二個分類箱140。當可旋轉支撐件122旋轉複數個臂124時，分類箱140可直接定位在夾持器130所採用的路徑下方。在一個操作模式中，旋轉分類系統120可以以步進方式繞旋轉軸R旋轉，使得旋轉分類系統120停止，以當每個基板110進入分類單元106時，從輸送機系統114抓取（即，拾取）基板110。分類箱140定位在基部155上，以從旋轉分類系統120接收基板110。響應於在量測站116A-116E中施行的一個或多個檢查處理期間確定的一個或多個基板特性，可將基板110分類到分類箱140中。旋轉分類系統120將基板110定位在分配箱140上，該分類箱140被分配來接收具有至少一個預定基板特性的基板。隨後將基板110從相應的夾持器130釋放到適當的分類箱140中。分類箱140可儲存夾持器130所釋放的被分類的基板110。每個夾持器130經配置以將基板110從輸送機系統114移送到相應的分類箱140，使得基板110的主表面實質平行於基部155以及/或正交於旋轉軸R。釋放基板110使得基板110在靜置於相應分類箱140中的另一基板的表面上之前自由下落一小段距離，如下面將詳細描述的。

分類箱140可各自可從分類單元106個別地移除。每個分類箱140可與分類單元106可拆卸式地連接，例如，僅作為示例，藉由個別可拆卸式的抽屜座（drawer）或容器、滑出式器皿或拉出式抽屜座或容器。作為連續示例，每個分類箱140可從分類單元106外部進出，使得可在不需要技術人員進入分類單元106的情況下，每個分類箱140可從分類單元106移除。可藉由例如將分類箱140拉出分類單元106而從分類單元106移除滿的（full）分類箱140。每個分類箱140可從分類單元106移除，同時分類單元106繼續分類基板110。如此一來，即使特定的分類箱140已滿或已被移除，基板110的分類也可繼續。因此，在分類發生時，每個分類箱140可被清空或更換。另外，經由使用計數器（未圖示），控制器190可計算每個分類箱140內的基板110的數量。如此一來，當特定的分類箱140裝滿或不在適當位置時，分類單元106跳過滿的或被移除的分類箱140，直到滿的或被移除的分類箱140被清空或更換為止。一旦在分類單元106內更換了空的分類箱140，則計數器可以針對該特定分類箱140重置。每次更換或清空分類箱140時，計數器可自動重置。滿的分類箱140可由操作員清空或更換。如此一來，分類單元106可繼續旋轉基板110，直到所分配的分類箱140可用。若沒有可用的分類箱140，則分類單元106可警告操作者並繼續旋轉基板110直到適當的分類箱140變得可用。一旦控制器190確定特定分類箱140正在接近容量（capacity）或處於容量，控制器190可藉由發出警報和/或顯示警報來警告操作員。

儘管未圖示，但是可以預期的是，額外的分類箱140可定位在分類單元106內以接收基板110，基板110可能無預期性地從分類中被省略，從而防止對此種基板的損壞。此外，廢棄箱（rejection bin）144可定位於分類單元106內以捉取已經被模組化單元104的一個或多個量測站116A-116E所剔除的基板110。如此一來，旋轉分類系統120可將損壞的基板輸送到廢棄箱144。

旋轉分類系統120亦可包括可由一個或多個存取面板所存取的產量分析伺服器146。產量分析伺服器146耦接到裝載模組102和量測站116A-116E中的一個或多個，且適於接收、收集、分析、儲存和/或報告從裝載模組102和一個或多個量測站116A-116E所接收的關於穿過其中的每個基板110的資料。

可旋轉支撐件122可與旋轉致動器（未圖示）耦接，如氣動缸或步進馬達。旋轉致動器可使可旋轉支撐件122旋轉，例如以索引（indexing）方式旋轉。在可旋轉支撐件122的每個索引步驟時，新的基板110經由輸送機系統114從模組化單元104經由每個夾持器130接收到旋轉分類系統120上。此外，且如下文進一步論述的，可旋轉支撐件122可在相應的分類箱140上和/或在廢棄箱144上索引複數個臂124中的各者，使得基板110可被釋放到分類箱140中或者廢棄箱144。藉由連續移動或索引步進，可從輸送機系統114連續地移除基板110，從而立即為下一個基板110釋放輸送機系統114上的空間。如此一來，旋轉運動允許每個夾持器130與每個分類箱140介接，使得在夾持器130旋轉回到接收另一個基板110的位置之前，由夾持器130固持的基板將被釋放到分類箱140中的一個中。旋轉分類系統120將繼續移動直到所有基板110已被分類。

在一些實施例中，旋轉分類系統120可以以一秒2/3個的速率拾取來自模組化單元104經由輸送機系統114輸送的基板110。在此種實施例中，旋轉分類系統120可有利地每小時分類至少5400個基板，這是對習用分類系統的顯著改進。

圖3是圖2的分類箱140之一的等距側視圖。分類箱140包括側壁300，且側壁300的一部分被部分切除，以表示沉積在分類箱140內的複數個堆疊的基板302。分類箱140經配置以接收被分類的基板305，該被分類的基板305由夾持器130中的一個（如圖2中所示及所述）懸掛在分類箱140上方。被分類的基板305具有切除部分以示出最上面的堆疊基板306。最上面的堆疊的基板306藉由夾持器130預先沉積到分類箱140中，且被分類的基板305在從夾持器130釋放之後沉積到最上面的堆疊的基板306上。數字編號308所指的箭頭表示夾持器130的行進方向，如圖2所示。

分類箱140經配置及/或定向，使得每個堆疊的基板302的角310至少在Z方向上在分類箱140的角315處對齊。此外，堆疊的基板302在分類箱140內對齊，使得相鄰的側（side）312A和312B在Z方向上對齊。藉由分類箱140的構造和/或定向提供堆疊的基板302的角310和/或相鄰側312A和312B的對齊。例如，分類箱140可相對於X、Y和Z方向中的一個或組合傾斜，使得堆疊的基板302的角310和/或相鄰側312A和312B分別抵靠角315和/或側壁300靜置。在另一個實例中，支撐堆疊的基板302的底板317可相對於X、Y和Z方向中的一者或組合傾斜，使得堆疊的基板302的角310和/或相鄰側312A和312B來分別抵靠角315和/或側壁300靜置。

底板317可相對於分類箱140垂直（Z方向）移動，使得被分類的基板305的自由下落距離減小。在一個實例中，底板317可耦接到使底板317垂直移動的馬達或者使底板317垂直移動的彈簧。如此一來，隨著更多的堆疊基板302被添加到分類箱140中，即使當底板317降低時，最上面的堆疊的基板306也可保持更靠近分類箱140的頂部。

如上所論述的，一旦從夾持器釋放被分類的基板305，直到與最上面的堆疊基板306接觸之前，被分類的基板305自由下落一距離320。如圖3清楚所示，被分類的基板305在一旦從夾持器釋放時的傾斜度或平面定向相對於支撐分類箱140的基部155是實質水平的。例如，被分類的基板305包括具有一平面的主表面350A，該平面以線325A和325B所表示，其實質不平行於最上面的堆疊的基板306的主表面350B的如線330A和330B所示的平面。

當被分類的基板305從夾持器130下落且下降距離320時，被分類的基板305的傾斜度和/或平面定向在接觸最上面的堆疊的基板306之前沒有顯著改變。因此，被分類的基板305的側335A、側335B和角340中的一個或多個與最上面的堆疊的基板306接觸，這可能導致對被分類的基板305和最上面的堆疊的基板306中的一個或兩個的損壞。例如，被分類的基板305的側335A、側335B和角340中的一個或全部可與最上面的堆疊的基板306的相鄰側312C和312D與角345中的一個或全部接觸，這可能使被分類的基板305和最上面的堆疊基板306中的一者或兩者破裂或碎裂。

儘管一些習用的分類系統使用往被分類的基板的兩個或更多個側引導的壓縮空氣，以有效地減慢被分類的基板從夾持器釋放時的下落速率，但是如本說明書所述之旋轉分類系統100的至少一個實施例可不使用。反之，如本文所述之旋轉分類系統120的至少一個實施例依賴於從夾持器130落下的被分類的基板305與最上面的堆疊的基板306的主表面之間的環境空氣和/或環境/大氣壓力。當被分類的基板和堆疊的基板的主表面實質平行時，利用環境空氣和/或環境/大氣壓的氣墊效應最為有效。然而，被分類的基板305和最上面的堆疊基板306的主表面不平行，如圖3所示。

如此一來，被分類的基板305的主表面350A經重新定向而與最上面的堆疊的基板306的主表面350B實質平行。利用空氣噴嘴355對被分類的基板305重新定向。空氣噴嘴355被支撐在分類箱140附近和/或在被分類的基板305下方。例如，當被分類的基板305下降距離320時，空氣噴嘴355經定位以將加壓空氣導向被分類的基板305的主表面350A。空氣噴嘴355可經定位以將加壓空氣引導於角處（如角340）或側（如側335A），使得下落的基板（即，被分類的基板305）的傾斜度從水平定向移動到與分類箱140中的堆疊的基板302的角度實質匹配的一角度（即，與分類箱140的角度或傾斜度相同的角度或傾斜度）。空氣噴嘴355可經定位以將加壓空氣引導到角340和側335A之間的位置。在一些實施例中，當被分類的基板305下降距離320時，針對被分類的基板305的至少一部分，空氣噴嘴355在被分類的基板305下方。例如，在行進方向308上行進的夾持器130在這種行進期間釋放被分類的基板305。如此一來，由於被分類的基板305保持的動量，當被分類的基板305下降距離320時，被分類的基板305在X/Y平面上行進。在此行進期間，空氣噴嘴355可在被分類的基板305下方。在這種情境下，空氣噴嘴355可經定時以在側335A從其上通過時或此時間附近提供加壓空氣。在任何情境下，來自空氣噴嘴355的加壓空氣將被分類的基板305的主表面350A作重新定向，以實質平行於最上面堆疊的基板306的主表面350B，如圖4所示。

圖4是實質平行於最上面的堆疊的基板306之被分類的基板305的等距視圖。具體言之，被分類的基板305的主表面350A的平面（線325A和325B）實質等於最上面的堆疊的基板306的主表面350B的平面（線330A和330B）。被分類的基板305的傾斜度的這種重新定向提供了被分類的基板305的主表面350A的平面（線325A和325B）與最上面的堆疊的基板306的主表面350B的平面（線330A和330B）之間的實質平行的關係。這裡使用的實質平行被定義為被分類的基板305的主表面350A的平面（線325A和325B）與最上面的堆疊的基板306的主表面350B的平面（線330A和330B）之間的差異不多於（up to）約10度。在從夾持器釋放之後且/或在與被分類的基板305與最上面的堆疊的基板306之間接觸之前，被分類的基板305相對於最上面的堆疊的基板306的重新定向提供了自然發生的氣墊，其使得被分類的基板305下降略微減慢。被分類的基板305相對於最上面的堆疊的基板306的重新定向亦防止被分類的基板305的單一角免於首先撞擊分類箱140內的最上面的堆疊的基板306。因此，重新定向和/或氣墊降低了碎裂的可能性，這防止了對被分類的基板305和/或最上面的堆疊的基板306中的任一者或兩者的損壞。

再次參考圖3，空氣噴嘴355的角度α是可調整的。例如，角度α可相對於被分類的基板305的主表面350A的平面（線325A和325B）從約0度調整到約45度。在一個實例中，角度α與參考平面成約5度至約15度。參考平面包括X-Y平面（基於圖3的方向插入（inset ））以及在旋轉分類系統120變水平之後，旋轉分類系統120（圖2和圖3中所示）的基部155的水平表面的平面中的一者或兩者。

發明所屬領域中具有通常知識者將會理解到，前面的實例為示例性的而不是限制性的。在閱讀說明書和研究圖式之後，對於發明所屬領域中具有通常知識者所作顯而易見的置換、改進、等效物和改良皆包含於本揭示的真實精神和範圍內。因此，所附專利申請範圍旨在包括落入這些教示的真實精神和範圍內的所有這樣的修改、置換和等效物。

100‧‧‧檢查系統

102‧‧‧裝載模組

104‧‧‧模組化單元

106‧‧‧分類單元

108‧‧‧機器人

109‧‧‧支撐元件

110‧‧‧基板

112‧‧‧匣

114‧‧‧輸送機系統

116A-116E‧‧‧量測站

120‧‧‧旋轉分類系統

122‧‧‧可旋轉支撐件

124‧‧‧臂

126‧‧‧第一端

128‧‧‧第二端

130‧‧‧夾持器

140‧‧‧分類箱

144‧‧‧廢棄箱

146‧‧‧產量分析伺服器

150‧‧‧連接器

155‧‧‧基部

160‧‧‧底部

190‧‧‧控制器

300‧‧‧側壁

302‧‧‧堆疊的基板

305‧‧‧被分類的基板

306‧‧‧最上面的堆疊的基板

308‧‧‧行進方向

310‧‧‧角

312A‧‧‧側

312B‧‧‧側

315‧‧‧角

317‧‧‧底板

320‧‧‧距離

325A‧‧‧平面

325B‧‧‧平面

330A‧‧‧平面

330B‧‧‧平面

335A‧‧‧側

340‧‧‧角

345‧‧‧角

350A‧‧‧主表面

350B‧‧‧主表面

355‧‧‧空氣噴嘴

本揭示之特徵已簡要概述於前，並在以下有更詳盡之論述，可以藉由參考所附圖式中繪示之本案實施例以作瞭解。然而，值得注意的是，所附圖式僅繪示了本揭示的示例實施例，而由於本揭示可允許其他等效之實施例，因此所附圖式並不會視為本揭示範圍之限制。

圖1繪示根據一個實施例的檢查系統的頂視圖。

圖2繪示根據一個實施例的圖1的檢查系統的高速旋轉分類器的頂視圖。

圖3是圖2的分類箱之一的等距側視圖。

圖4是與最上面的堆疊的基板實質平行的被分類的基板的等距視圖。

為便於理解，在可能的情況下，使用相同的數字編號代表圖式中相同的元件。可以預期的是一個實施例中的元件與特徵可有利地用於其他實施例中而無需贅述。

國內寄存資訊 (請依寄存機構、日期、號碼順序註記)
無

國外寄存資訊 (請依寄存國家、機構、日期、號碼順序註記)
無

Claims

一種用於分類複數個基板的設備，該設備包括：一分類單元，該分類單元能夠支撐複數個箱；一可旋轉支撐件，該可旋轉支撐件設置在該分類單元內，該可旋轉支撐件可繞一旋轉軸旋轉；複數個夾持器，該複數個夾持器在相對於該旋轉軸的一共同半徑上耦接到該可旋轉支撐件，當該可旋轉支撐件旋轉時，該等夾持器經定位以沿著該等箱上方的一路徑行進；及一空氣噴嘴，當一被分類的基板由該等夾持器中的一個夾持器釋放到該複數個箱中的一箱中時，該空氣噴嘴經配置以將該被分類的基板相對於該箱中的一堆疊的基板重新定向。
如請求項1所述之設備，其中該等夾持器中的各者是一白努利拾取器。
如請求項1所述之設備，其中該等夾持器中的各者是一非接觸式夾持器。
如請求項1所述之設備，進一步包括一裝載單元，該裝載單元與一量測單元耦接，其中該量測單元與該分類單元耦接。
如請求項1所述之設備，其中該複數個箱可相對於該等夾持器垂直移動。
如請求項1所述之設備，其中該複數個箱可從該分類單元的外部個別移除，以及其中在分類時，個別移除該複數個箱。
如請求項1所述之設備，進一步包括儲存指令的一電腦可讀媒介，當一處理器執行該等指令時，該等指令使該設備藉由以下步驟對該複數個基板分類：用該分類模組的至少一個夾持器固持該基板；將該至少一個夾持器所固持的該基板繞該分類單元的一中心軸旋轉到分配給該基板的該分類箱上方的一位置；將該基板從該至少一個夾持器釋放到該所分配的分類箱中；及在該基板將要靜置在該分類箱中之前，用一流體射流改變從該至少一個夾持器釋放的該基板的一傾斜度。
一種適於分類基板的設備，包括：一分類單元，該分類單元能夠支撐複數個個別可拆卸式分類箱，其中該分類單元包含：一支撐結構，該支撐結構從一旋轉軸徑向向外延伸；至少一個夾持器，該至少一個夾持器耦接到該支撐結構以用於支撐一基板，當該至少一個夾持器旋轉時，該至少一個夾持器經定位以沿著該等個別可拆卸式分類箱上方的一路徑行進；及一空氣噴嘴，該空氣噴嘴用於在從該至少一個夾持器釋放之後將該基板的一平面定向作重新定向。
如請求項8所述之設備，進一步包括儲存指令的一電腦可讀媒介，當一處理器執行該等指令時，該等指令使該設備藉由以下步驟對該等基板分類：用該分類模組的至少一個夾持器固持該基板；將該至少一個夾持器所固持的該基板繞該分類單元的一中心軸旋轉到分配給該基板的該分類箱上方的一位置；將該基板從該至少一個夾持器釋放到該分配的分類箱中；及在該基板將要靜置在該分類箱中之前，用一流體射流改變從該至少一個夾持器釋放的該基板的一傾斜度。
如請求項8所述之設備，其中該至少一個夾持器是一白努利拾取器。
如請求項8所述之設備，其中該至少一個夾持器是一非接觸式夾持器。
如請求項8所述之設備，其中每個個別可拆卸式分類箱包括複數個氣體出口，該複數個氣體出口可操作以在該等個別可拆卸式分類箱內產生一加壓氣體支撐墊。
一種操作用於對一殼體中的複數個基板分類的一設備的方法，該方法包括以下步驟：用一旋轉的分類單元上的至少一個夾持器來固持一檢查過的基板；將該至少一個夾持器所固持的該檢查過的基板繞該分類單元的一中心軸旋轉到分配給該檢查過的基板之一分類箱上方的一位置，其中該分類箱包含一底板，該底板具有在一非水平方向上成角度的一平面；將該檢查過的基板從在一水平平面定向上的該至少一個夾持器釋放到該分配的分類箱中；及在放置於該分配的分類箱內之前，將該檢查過的基板的該平面定向作重新定向。
如請求項13所述之方法，其中該重新定向的步驟包括以下步驟：將該檢查過的基板的該平面定向定位成實質平行於該基板的該非水平平面。
如請求項13所述之方法，其中該重新定向的步驟包括以下步驟：在該檢查過的基板從該至少一個夾持器釋放之後，使一氣體對著（against）該檢查過的基板流動。
如請求項15所述之方法，其中在自由落入該分配的分類箱期間，使一氣體對著該檢查過的基板流動使該檢查過的基板旋轉。
如請求項13所述之方法，其中在自由落入該分配的分類箱期間，使一氣體對著該檢查過的基板的一角流動使該檢查過的基板旋轉。
如請求項17所述之方法，其中該重新定向的步驟包括以下步驟：將該基板重新定位以實質匹配在該分配的分類箱中設置的一個或多個堆疊的基板的一非水平角度。
如請求項18所述之方法，其中該至少一個夾持器垂直固定，且該底板可相對於該至少一個夾持器垂直移動。
如請求項13所述之方法，其中當該分類單元旋轉時，該分配的分類箱係可拆卸式的。