TW201942486A - 墊圈的安裝構造 - Google Patents

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飯田俊英
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Abstract

本發明的課題為提升墊圈與安裝構件之間的密封的性能。
其解決手段之墊圈的安裝構造具備安裝構件(3)與墊圈(1)。安裝構件(3)，具有：第1底部(11)；外側筒部(13)，設置突出於第1底部(11)；內側筒部(15)，在第1底部(11)朝著與外側筒部(13)相同方向突出並設置於外側筒部(13)的徑向內方；及槽部(17)，設置在第1底部(11)與外側筒部(13)與內側筒部(15)之間。墊圈(1)，具有：筒形狀的第2底部(42)；朝向壓入槽部(17)的第2底部(12)突出所設置的筒形狀的外側突出部(44)，及朝壓接於內側筒部(15)與軸心方向的第2底部(42)突出地設置，在與內側筒部(15)壓接時與外側突出部(42)之間徑向夾持著內側筒部(15)地設置於外側突出部(42)之徑向內方的筒形狀的內側突出部(46)。

Description

墊圈的安裝構造
本發明是關於墊圈的安裝構造。
以往，在半導體製造等的技術領域的製造裝置中所使用的墊圈的安裝構造已為人知(例如，參閱專利文獻1)。此種的墊圈的安裝構造是將墊圈形成為H型剖面，此墊圈的凹部嵌入安裝構件的突部所構成。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
[專利文獻1] 日本特開2006-307983號公報
[發明所欲解決之課題]
根據如以往之墊圈的安裝構造，藉著朝安裝構件之墊圈的安裝，在墊圈的徑向產生密封力，可將墊圈與安裝構造之間密封。但是，墊圈的密封性能仍不充分，期待密封性能的進一步提升。
本發明是鑒於如以上的情況所研創而成，以提升墊圈與安裝構件之間的密封性能為目的。

[用於解決課題的手段]
本發明的墊圈的安裝構造，具備：
安裝構件，具有：第1底部，具有流體的流通孔；外側筒部，設置突出於上述第1底部；內側筒部，在筒孔與上述流通孔連通的狀態於上述第1底部朝著與上述外側筒部相同方向突出並設置於上述外側筒部的徑向內方；及槽部，設置在上述第1底部與上述外側筒部與上述內側筒部之間，朝著上述外側筒部突出的方向開口，及
墊圈，具有：筒形狀的第2底部；筒形狀的外側突出部，設置成可壓入上述安裝構件的槽部地朝上述第2底部突出；及筒形狀的內側突出部，壓接於上述安裝構件的內側筒部與軸心方向而朝上述第2底部突出地設置，在與上述安裝構件的內側筒部壓接時與上述外側突出部之間徑向夾持著上述安裝構件的內側筒部地設置於上述外側突出部的徑向內方。
根據此構成，將上述墊圈的外側突出部壓入上述安裝構件的槽部，可在上述墊圈與上述安裝構件之間產生徑向密封力。並且，在軸心方向壓接上述安裝構件的內側筒部與上述墊圈的內側突出部，也可以在上述墊圈與上述安裝構件之間產生軸向密封力。藉此，可提升墊圈與安裝構件之間的密封性能。
根據本發明的其他的形態，
上述安裝構件之內側筒部的內周圍部及上述墊圈之內側突出部的內周圍部，藉著該內側筒部與該內側突出部的接觸構成彼此連通的流體流路的流路壁，
上述墊圈的內側突出部的突出端部具有上述安裝構件的內側筒部之最小內徑以上的內徑，
於上述墊圈的內側突出部的內周圍面具備在上述內側突出部的軸心方向隨著從上述內側突出部的突出端側朝第2底部側使該內側突出部的內徑縮小的第1內周圍面。
根據此構成，在將上述墊圈的外側突出部壓入上述安裝構件的槽部時，上述安裝構件的內側筒部被上述外側突出部朝著徑向內方推壓，因此，在上述外側突出部與徑向夾持著上述內側筒部的上述墊圈的內側突出部被上述內側筒部朝著徑向內方推壓。藉此，上述內側突出部變形使上述第1內周圍面朝著徑向內方移動。此時，由於上述第1內周圍面具有上述的形狀，可抑制上述內側突出部變形朝上述墊圈之流體流路內的突出。因此，在將上述墊圈安裝於上述安裝構件之後，流體流動於上述墊圈與上述安裝構件之間時，在上述安裝構件與上述墊圈的連通區域，不存在著妨礙流體的流動，可確保流體的順利流動。藉此，可防止流動於上述安裝構件與上述墊圈之間之流體置換性的降低。
根據本發明的進一步的形態，
上述第1內周圍面為斜面。
根據本發明的另外其他的形態，
上述第1內周圍面是朝著上述墊圈的徑向內方側形成凸的凸曲面。
根據此構成，在將上述墊圈的外側突出部壓入上述安裝構件的槽部時，可以使上述內側突出部的內周圍面變化成更平滑的面，即將設置在上述內側突出部的流體流路的流路剖面積更正確地維持於一定的面。因此，在上述流體流路中，可謀求流體之順利流動的促進。

[發明效果]
根據本發明，可提升墊圈與安裝構件之間的密封性能。
針對本發明的一實施形態一邊參閱圖示一邊說明。
第1圖是表示本發明一實施形態相關之墊圈1的安裝構造的剖面圖。第2圖為第1圖的部分放大圖。第3圖為墊圈1與安裝構造3的部分的剖面圖。
並且，第1圖、第2圖中稱相對於墊圈1設有安裝構件3的方向(圖中的下方)為墊圈1或安裝構件3的軸心方向一方，或下方。
又，如第1圖、第2圖中稱相對於墊圈1設有其他安裝構件5的方向(圖中的上方)為墊圈1或安裝構件3的軸心方向另一方，或上方。
如第1圖、第2圖表示，採用墊圈1的安裝構造以用於將墊圈1安裝在安裝構件3或其他安裝構件5。
再者，本發明相關的安裝構件3作為一例雖記載流體機器的組塊，但不限於此，例如也可作為調節器、壓力計、閥、流量計、樹脂管、流體機器的凸緣等相關的構件。
安裝構件3是為了使流體(例如，超純水或藥液等的液體)流通，以墊圈1介於安裝構件3與其他安裝構件5之間的狀態，與其他的安裝構造5接合。
安裝構件3是藉預定的熱塑性樹脂所形成。熱塑性樹脂的一例為含氟樹脂等，例如，可舉例如PFA(全氟烷氧基樹脂共聚物)、PTFE(聚四氟乙烯)、PVDF(聚偏二氟乙烯)、ETFE(乙烯-四氟乙烯共聚物)、FEP(六氟丙烯-四氟乙烯共聚物)等。
再者，本實施形態的安裝構件3不限於含氟樹脂，例如也可以由PP(聚丙烯)、HDPE(高密度聚乙烯)、LDPE(低密度聚乙烯)，或者POM(聚甲醛)、彈性體(橡膠)等的樹脂所構成。
安裝構件3，具備：第1底部11、外側筒部13、內側筒部15及槽部17。又，本實施形態的安裝構件3具備與第1底部11連結的主體部(未圖示)。
第1底部11具有使上述流體流通用之流通孔的第1流體流路21。第1流體流路21為圓形，朝著外側筒部13及內側筒部15的軸心方向(上下方向)延伸。
外側筒部13是設置在第1底部11，朝第1底部11的一方(安裝構件3的軸心方向另一方(上方))突出。外側筒部13是形成圓筒形狀，朝著軸心方向一方開口。
內側筒部15是設置在第1底部11，朝著與外側筒部13相同方向(上方)突出。內側筒部15是形成圓筒形狀，朝著安裝構件3的軸心方向另一方(上方)開口。
又，內側筒部15是在外側筒部13的徑向內方，與外側筒部13同軸配置。在內側筒部15的徑向外側且外側筒部13的徑向內側，換言之，內側筒部15及外側筒部13之間形成有後述的槽部17。
內側筒部15具有與第1底部11的流通孔連通的筒孔。此筒孔是構成上述流體流通用的第2流體流路23。第2流體流路23為圓形，朝著內側筒部15的軸心方向(上下方向)延伸。
第2流體流路23是較內側筒部15位於軸心側，其一端部與第1底部11的第1流體流路21連通。第2流體流路23與第1流體流路21是構成安裝構件3的流體流路。
如第3圖表示，內側筒部15具有第2流體流路23的筒孔之最小直徑的最小內徑D1。最小內徑D1雖是與第1底部11之流通孔的最小直徑大致相同尺寸，但也可以不同。
內側筒部15具有大致一定的內徑及外徑。並且，內側筒部15在較外側筒部13更徑向內方，與外側筒部13隔著預定間隔配置。內側筒部15的外圍面是與外側筒部13的內周圍面大致平行。
又，內側筒部15具有環狀的傾斜面的第1密封面27。第1密封面27是在內側筒部15的突出端部29(軸心方向另一方的端部)的內周圍側跨大致全周圍所形成。
第1密封面27為突出端部29的內徑，隨著從安裝構件3的軸心方向一方側擴徑至軸心方向另一方側(從第1圖的下方向上方)。
又，本實施形態中，內側筒部15是使其突出端部29較外側筒部13的突出端部(軸心方向另一方的端部)31更位於安裝構件3的軸心方向一方(下方)側。
槽部17是設置在第1底部11與外側筒部13與內側筒部15之間地朝著外側筒部13的軸心方向另一方(上方)開口。
槽部17是形成環狀，具有以第1底部11與外側筒部13與內側筒部15所圍繞的環狀的開放空間。槽部17是在外側筒部13及內側筒部15的徑向，具有大致一定的徑向寬度。
槽部17的徑向寬度是適當設定可壓入後述之墊圈1的外側突出部44。例如，槽部17的徑向寬度是設定比墊圈1之外側突出部44的徑向寬度小。
又，墊圈1是可使上述流體流通地安裝於安裝構件3。墊圈1是形成對應安裝構件3的壓入部分之槽部17的圓筒形狀。
墊圈1具有在軸心方向中央相對於和軸心方向正交的中央面35形成在軸心方向對稱的形狀。並且，墊圈1是如上述以對安裝構件3之安裝構造相同的構造，安裝於其他的安裝構件5。
墊圈1是使用預定的熱塑性樹脂，例如PEA、PTFE、PVDF、ETFE、FEP等的含氟樹脂製造。
並且，本發明相關的安裝構件3不限於含氟樹脂，例如也可以PP、HDPE、LDPE或POM，彈性體等的樹脂所構成。
詳細而言，墊圈1，具備：第2底部42、外側突出部44及內側突出部46。
第2底部42是在中央面35附近，配置於墊圈1的軸向中央部。第2底部42是形成圓筒形狀，可嵌合於安裝構件3之外側筒部13的內側所構成。
第2底部42具有由筒孔所構成的上述流體的流通孔。此流通孔是構成上述流體流通用的圓形的第3流體流路53。第3流體流路53是朝第2底部42的軸心方向(上下方向)延伸。
構成第3流體流路53的上述流通孔的直徑，即第2底部42的內徑D2具有與內側筒部15的最小內徑D1大致相同的尺寸。此內徑D2在第2底部42的軸心方向為大致一定。
外側突出部44是形成圓筒形狀，壓入安裝構件3的槽部17。外側突出部44是設置於第2底部42朝著墊圈1的軸心方向一方(下方)突出。
外側突出部44具有比槽部17的徑向寬度大的徑向寬度。外側突出部44是以安裝構件3的外側筒部13及內側筒部15分別與軸心一致的狀態壓入槽部17。
本實施形態中，外側突出部44具有與安裝構件3的外側筒部13的內徑相同或若干大的外徑。並且，外側突出部44具有比安裝構件3的內徑筒部15的外徑小的內徑。
外側突出部44的內徑是在墊圈1的軸心方向，跨外側突出部44的全長為大致一定。外側突出部44在壓入槽部17時，藉著安裝構件3的內側筒部15從徑向外側壓接。
內側突出部46是形成圓筒形狀，在安裝構件3的內側筒部15與軸心方向被壓接的部分。內側突出部46是設置在第2底部42，朝著與外側突出部44相同方向的墊圈1的軸心方向一方(下方)側突出。
內側突出部46是配置在外側突出部44的徑向內方，壓接於安裝構件3的內側筒部15時，在該內側突出部46與外側突出部44之間徑向夾持著安裝構件3的內側筒部15。
內側突出部46的突出端部(軸心方向另一方的端部)55較外側突出部44的突出端部(軸心方向另一方的端部)57更位於墊圈1的軸心方向另一方(上方)側。
內側突出部46在將第2底部42嵌合於外側筒部13的內側時，與安裝構件3的內側筒部15同軸配置。內側突出部46是與外嵌突出部44同軸配置。
又，內側突出部46具有與安裝構件3之流通孔的第1流體流路21連通的筒孔。此筒孔是構成上述流體流通用的圓形的第4流體流路59。第4流體流路59是朝著內側突出部46的軸心方向(上下方向)延伸。
第4流體流路59是以其一端部與第2底部42的第3流體流路53連通。第4流體流路59是與第3流體流路53一起構成墊圈1的流體流路的一部分。
又，內側突出部46具有環狀的斜面的第2密封面62。第2密封面62是跨內側突出部46的突出端部55之外圍側的全周圍形成。
第2密封面62為內側突出部46的突出端部55的外徑隨著從墊圈1的軸向中央側(中央面35附近)朝著軸向端側(軸心方向另一方(第1圖的下方)而縮徑。
如此一來，第2密封面62可與安裝構件3的內側筒部15的第1密封面27抵接。第2密封面62具有與第1密封面27的傾斜程度對應的傾斜程度。
本實施形態中，在剖面顯示，將相對於內側突出部46的軸心67之第2密封面62的傾斜角度設定成與相對於內側筒部15的軸心69之第1密封面27的傾斜角度不同。
並且，第2密封面62在墊圈1及安裝構件3的至少一方，附加有藉安裝構件3‧5之接合等朝軸心方向的外力的場合，與第1密封面27形成壓接。
說明在安裝構件3安裝墊圈1的順序。如第5圖表示，首先，將墊圈1的外側突出部44從其突出端部57側朝著軸心方向開始壓入安裝構件3的槽部17。
接著，將外側突出部44朝著槽部17的底部側(下方)移動，使墊圈1的內側突出部46的第2密封面62抵接於安裝構件3之內側筒部15的第1密封面27。
藉著此第2密封面62與第1密封面27的抵接，完成向槽部17之外側突出部44的壓入。在此時，第2底部42是成為嵌合於安裝構件3的外側筒部13之內側的狀態。
接著，針對墊圈1的軸心方向相反側，也對於其他的安裝構件5進行同樣的作業。隨後，將安裝構件3與其他的安裝構件5，藉著螺栓等的緊固具(未圖示)以墊圈1介於兩安裝構件3‧5間的狀態加以緊固。
藉此，將墊圈1安裝於安裝構件3，並也安裝在其他的安裝構件5，可藉著墊圈1接合安裝構件3與其他的安裝構件5。
並且在此時，可對於墊圈1及安裝構件3朝著軸心方向附加外力。因此，保持著外側突出部44壓入槽部17的狀態，可將第2密封面62壓接於第1密封面27。
因此，藉著對槽部17之外側突出部44的壓入，在墊圈1的外側突出部44與安裝構件3的外側筒部13及內側筒部15之中的至少內側筒部15之間產生徑向作用的密封力，可以和外側突出部44至少與內側筒部15之間密封。
並且，藉第1密封面27與第2密封面62的壓接，在該等兩者間，即安裝構件3的內側筒部15與墊圈1的內側突出部46之間產生軸心方向作用的密封力，也可以將內側筒部15與內側突出部46之間密封。
亦即，在對上述安裝構件之墊圈的安裝構造中，在墊圈1與安裝構件3之間，施加徑向作用的密封力，可產生軸心方向作用的密封力。藉此，可提升墊圈1與安裝構件3之間的密封的性能。
再者，本發明的安裝構件的內側筒部與墊圈之內側突出部的壓接方法是尤其不加以限定，例如，也可以在對安裝構件3的槽部17之墊圈1的外側突出部44的壓入時，使用工具等，藉著對墊圈1施加外力實現壓接。
第4圖為第3圖之墊圈1的部分放大圖。第5圖是表示對安裝構件3的墊圈1之安裝前的狀態的剖面圖。
如第3圖、第4圖表示，安裝構件3的內側筒部15的內周圍部及墊圈1之內側突出部46的內周圍部是分別藉著該內側筒部15與該內側突出部46的接觸構成彼此連通的流體流路23‧59的流路壁71‧73。
墊圈1的內側突出部46的突出端部55具有安裝構件3的內側筒部15之最小內徑D1以上的內徑。
並且，在墊圈1的內側突出部46的軸心方向隨著從突出端部55的突出端55a側朝著第2底部42側(從第1圖的下方向上方)使得該內側突出部的內徑縮小的第1內周圍面75是具備於內側突出部46的內周圍部。
詳細為在安裝構件3的內側筒部15的內周圍部，構成有第2流體流路23的流路壁71。第2流體流路23的流路壁71具有與安裝構件3之內側筒部15的最小內徑D1大致相同尺寸的直徑。
在墊圈1的內側突出部46的內周圍部，形成有第4流體流路59的流路壁73。第4流體流路59的流路壁73具有第2底部42之內徑D2以上的直徑。
在此，第2底部42的內徑D2是與安裝構件3之內側筒部15的最小內徑D1大致相同尺寸。
又，第1內周圍面75是包含於第4流體流路59的流路壁73。第1內周圍面75是以臨近第4流體流路59的方式跨內側突出部46的內周圍部的全周圍形成環狀。
第1內周圍面75是具備於內側突出部46之軸心方向另一方的一部分，在內側突出部46的軸心方向以朝著突出端部55的突出端55a擴開的方式配置在突出端55a附近。
第1內周圍面75為斜面。第1內周圍面75是在包括墊圈1(內側突出部46)的軸心67的剖面中，相對於與軸心67平行延伸的假設線79形成預定的角度Θ1傾斜。
藉此，內側突出部46在內側突出部46的軸心方向另一方側(第2底部42側)具有最小內徑D3，在內側突出部46的軸心方向一方側(突出端部55的突出端55a側)具有最大內徑D4。
本實施形態中，內側突出部46的最小內徑D3是與第2底部42的內徑D2大致相同尺寸。內側突出部46的最大內徑D4是比第2底部42的內徑D2，即內側筒部15的最小內徑D1大。
並且，內側突出部46的最小內徑D3與內側筒部15的最小內徑D1的關係不限於此，內側突出部46的最小內徑D3只要在不妨礙流體流動的程度下也可比內側筒部15的內徑大或小。
如上述第1內周圍面75為直線形斜面的場合，在內側突出部46中第1內周圍面75及與其連接的軸心方向另一方側(第2底部42側)的內周圍面81的邊界部是形成平順的彎曲面(圓倒角)。
又，內側突出部46具有撓性，可變形為小的預定的角度Θ1。具體而言，內側突出部46是以內側突出部46與第2底部42的邊界附近(突出端部55的突出基部附近)為支點使突出端部55朝著墊圈1的徑向內方(第4圖的箭頭83方向)移動。
內側突出部46的變形在本實施形態中是藉著第1密封面27與第2密封面62的壓接產生。並且在其產生時，以第1內周圍面75大致移動至第2底部42之內周圍面85的延長線87上的位置(上述角度Θ1成為0℃)為佳。
以上的構成中，如第5圖表示相對於安裝構件3位於安裝前之分離狀態的墊圈1的外側突出部44是如第1圖、第2圖表示被壓入安裝構件3的槽部17時，藉此外側突出部44將安裝構件3的內側筒部15朝著徑向內方推壓。並藉其內側筒部15，將墊圈1的內側突出部46朝徑向內方(軸心67側)推壓。
藉此，墊圈1的內側突出部46(尤其是突出端部55)是使第1內周圍面75變形朝著內側突出部46的徑向內方(墊圈1的徑向內方)移動。藉此內側突出部46的變形，朝著突出端部55之突出端55a擴徑的斜面的第1內周圍面75是以縮徑(本實施形態是與軸心67大致平行)的方式變形。
在如以上變形前的時間點，由於第1內周圍面75是隨著從內側突出部46的軸心方向一方(下方)朝軸心方向另一方(上方)使內側突出部46的內徑縮小，因此即使內側突出部46被朝著徑向內方推壓的場合，仍可抑制使內周圍部具備第1內周圍面75的內側突出部46變形成比流路壁73更向第4流體流路59(墊圈1的流體流路)內突出。
因此，在接合兩個安裝構件3‧5的狀態下，流體流動於安裝構件3與墊圈1之間時，在安裝構件3與墊圈1的連通區域，不存在有妨礙流體流動之物，可確保流體的順暢流動。藉此，可防止流動於安裝構件3與墊圈1之間的流體的置換性的降低。
亦即，內側突出部46的一部分變形成朝著第4流體流路59(墊圈1的流體流路)側突出，在流體流動於墊圈1與安裝構件3之間時，可防止流體的流動受妨礙。因此，不致使流體滯留在墊圈1與安裝構件3的連接處，可防止流體置換性的降低，可防止因流體的置換性降低而析出包含於流體的成分以致有微粒子產生的問題發生。
又，本發明的墊圈之內側突出部的內周圍部所具備的內周圍面在本實施形態雖是斜面的第1內周圍面75，但不限於此，例如，如第6圖表示，在包括墊圈1的軸心67的剖面中，也可以是朝著墊圈1的徑向內方側形成凸的凸曲面的其他的第1內周圍面91。
此時，在墊圈1的外側突出部44壓入安裝構件3的槽部17時，可以使其他的第1內周圍面91變化成比第1內周圍面75平滑的面，即可將內側突出部46的第4流體流路59的流路剖面積更正確地維持在一定的面。因此，在墊圈1的流體流路中，可謀求流體之順暢流動的促進。
並且，本發明的墊圈的第1內周圍面在本實施形態中，雖是內側突出部46的內周圍部之中設置在軸心方向一方側(下方側)的一部分(突出端部55)的第1內周圍面75，但不限於此，例如，也可以在內側突出部46的軸心方向跨該內側突出部46之內周圍部的大致全區域擴開。
又，本發明的墊圈之內側突出部的第1內周圍面在包括此墊圈的軸心的剖面中，本實施形態雖是僅具有上述預定的角度Θ1的第1內周圍面75，但不限於此，例如也可具有彼此不同的角度(相對於軸心的傾斜角度)的形狀，或是由複數的內周圍面構成的形狀(包括混合著斜面與凸曲面的複數內周圍面所構成)，也可組合該等的形狀。
考慮上述的教示，本發明得以明確採取多數的變更形態及變形形態。因此，本發明在添附的專利申請的範圍內，可理解在本說明書所記載以外的方法實施。
1‧‧‧墊圈
3‧‧‧安裝構件
5‧‧‧其他的安裝構件
11‧‧‧第1底部
13‧‧‧外側筒部
15‧‧‧內側筒部
17‧‧‧槽部
23‧‧‧第2流體流路(安裝構件之內側筒部的流體流路)
42‧‧‧第2底部
44‧‧‧外側突出部
46‧‧‧內側突出部
55‧‧‧內側突出部的突出端部
59‧‧‧第4流體流路(墊圈之內側突出部的流體流路)
71‧‧‧第2流體流路的流路壁
73‧‧‧第4流體流路的流路壁
75‧‧‧第1內周圍面
第1圖是表示本發明一實施形態相關之墊圈的安裝構造的剖面圖。
第2圖為第1圖的部分放大圖。
第3圖為第1圖的墊圈之安裝構造的墊圈與安裝構件的部分的剖面圖。
第4圖為第3圖之墊圈的部分放大圖。
第5圖是表示第1圖的墊圈的安裝構造之墊圈安裝前的狀態的剖面圖。
第6圖為第1圖的墊圈的安裝構造之其他實施例的墊圈部分的剖面圖。

Claims (4)

  1. 一種墊圈的安裝構造，具備： 安裝構件，具有：第1底部，具有流體的流通孔；外側筒部，設置突出於上述第1底部；內側筒部，在筒孔與上述流通孔連通的狀態於上述第1底部朝著與上述外側筒部相同方向突出並設置在上述外側筒部的徑向內方；及槽部，設置在上述第1底部與上述外側筒部與上述內側筒部之間，朝著上述外側筒部突出的方向開口，及 墊圈，具有：筒形狀的第2底部；筒形狀的外側突出部，設置成可壓入上述安裝構件的槽部地朝上述第2底部突出；及筒形狀的內側突出部，壓接於上述安裝構件的內側筒部與軸心方向而朝上述第2底部突出地設置，在與上述安裝構件的內側筒部壓接時與上述外側突出部之間徑向夾持著上述安裝構件的內側筒部地設置於上述外側突出部的徑向內方。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的墊圈的安裝構造，其中，上述安裝構件之內側筒部的內周圍部及上述墊圈之內側突出部的內周圍部，藉著該內側筒部與該內側突出部的接觸構成彼此連通的流體流路的流路壁， 上述墊圈的內側突出部的突出端部具有上述安裝構件的內側筒部之最小內徑以上的內徑， 於上述墊圈的內側突出部的內周圍面具備在上述內側突出部的軸心方向隨著從上述內側突出部的突出端側朝上述第2底部側使該內側突出部的內徑縮小的第1內周圍面。
  3. 如申請專利範圍第2項記載的墊圈的安裝構造，其中，上述第1內周圍面為斜面。
  4. 如申請專利範圍第2項記載的墊圈的安裝構造，其中，上述第1內周圍面是朝著上述墊圈的徑向內方側形成凸的凸曲面。
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