CN111656061A - 密封垫的安装结构 - Google Patents

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Abstract

密封垫的安装结构具有安装构件3和密封垫1。安装构件3具有：第一基座部11；外侧筒部13，以突出的方式设置于第一基座部11；内侧筒部15，以向与外侧筒部13相同的方向突出的方式设置于第一基座部11且设置在外侧筒部13的径向内侧；以及槽部，设置于第一基座部11、外侧筒部13、内侧筒部15之间。密封垫1具有：筒形状的第二基座部42；筒形状的外侧突出部44，为了被压入槽部17而以突出的方式设置于第二基座部12；以及筒形状的内侧突出部46，为了与内侧筒部15在轴心方向上压接而以突出的方式设置于第二基座部42，并设置于外侧突出部42的径向内侧，以在内侧突出部46与内侧筒部15压接时，在内侧突出部46与外侧突出部42之间在径向上夹着内侧筒部15。

Description

密封垫的安装结构
技术领域
本发明涉及密封垫的安装结构。
背景技术
以往，已知能够在半导体制造等技术领域的制造装置中使用的密封垫的安装结构(例如，参照专利文献1)。在这种密封垫的安装结构中，密封垫形成为H型截面，该密封垫的凹部供安装构件的突部嵌入。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2006-307983号公报
发明内容
发明要解决的问题
根据以往那样的密封垫的安装结构，通过密封垫向安装构件安装，在密封垫的径向上产生密封力，从而对密封垫与安装构件之间进行密封。然而，密封垫的密封性能不充分，期望密封性能的进一步提高。
本发明鉴于上述情况而提出，其目的在于，提高密封垫与安装构件之间的密封性能。
解决问题的手段
本发明的密封垫的安装结构，其中，
具有：
安装构件，具有：第一基座部，具有流体的流通孔；外侧筒部，以突出的方式设置于所述第一基座部；内侧筒部，在筒孔与所述流通孔连通的状态下以向与所述外侧筒部相同的方向突出的方式设置于所述第一基座部且设置在所述外侧筒部的径向内侧；以及槽部，以朝向所述外侧筒部突出的方向开口的方式，设置于所述第一基座部、所述外侧筒部、所述内侧筒部之间；以及
密封垫，具有：筒形状的第二基座部；筒形状的外侧突出部，为了被压入所述安装构件的槽部而以突出的方式设置于所述第二基座部；以及筒形状的内侧突出部，为了与所述安装构件的内侧筒部在轴心方向上压接而以突出的方式设置于所述第二基座部，并设置于所述外侧突出部的径向内侧，以在所述内侧突出部与所述安装构件的内侧筒部压接时，在所述内侧突出部与所述外侧突出部之间在径向上夹着所述安装构件的内侧筒部。
根据该结构，将所述密封垫的外侧突出部压入所述安装构件的槽部，从而能够在所述密封垫与所述安装构件之间在径向上产生密封力。而且，使所述安装构件的内侧筒部与所述密封垫的内侧突出部在轴心方向上压接，从而也能够在所述密封垫与所述安装构件之间在轴心方向上产生密封力。由此，能够提高密封垫与安装构件之间的密封性能。
根据本发明的另一方式，
所述安装构件的内侧筒部的内周部以及所述密封垫的内侧突出部的内周部构成通过该内侧筒部与该内侧突出部的接触而相互连通的流体流路的流路壁，
所述密封垫的内侧突出部的突出端部具有所述安装构件的内侧筒部的最小内径以上的内径，
在所述密封垫的内侧突出部的内周部具有第一内周面，所述第一内周面在所述内侧突出部的轴心方向上随着从所述内侧突出部的突出端侧朝向所述第二基座部侧而使该内侧突出部的内径缩小。
根据该结构，在所述密封垫的外侧突出部被压入所述安装构件的槽部时，所述安装构件的内侧筒部被所述外侧突出部向径向内侧按压。因此，与所述外侧突出部在径向上夹着所述内侧筒部的所述密封垫的内侧突出部被所述内侧筒部向径向内侧按压。由此，所述内侧突出部以所述第一内周面向径向内侧移动地方式变形。此时，由于所述第一内周面具有上述的形状，因此，能够抑制所述内侧突出部以向所述密封垫的流体流路内突出的方式变形。因此，在所述密封垫安装于所述安装构件后，在流体在所述密封垫与所述安装构件之间流动时，在所述安装构件与所述密封垫的连通区域，不存在妨碍流体的流动的构件，从而能够确保流体顺畅地流动。由此，能够防止在所述安装构件与所述密封垫之间流动的流体的置换性的降低。
根据本发明的又一方式，
所述第一内周面为锥形面。
根据本发明的再一方式，
所述第一内周面为朝向所述密封垫的径向内侧凸出的凸曲面。
根据该结构，在所述密封垫的外侧突出部被压入所述安装构件的槽部时，能够使所述内侧突出部的内周面变成更平滑的面，即，能够变成能够将设置于所述内侧突出部的流体流路的流路截面积更准确地保持为恒定的面。因此，在所述流体流路中能够存进流体的顺畅流动。
发明效果
根据本发明，能够提高密封垫与安装构件之间的密封性能。
附图说明
图1是表示本发明的一实施方式的密封垫的安装结构的剖视图。
图2是图1的局部放大图。
图3是图1的密封垫的安装结构中的密封垫与安装构件的局部的剖视图。
图4是图3的密封垫的局部放大图。
图5是表示图1的密封垫的安装结构中的密封垫的安装前的状态的剖视图。
图6是表示图1的密封垫的安装结构中的其他实施例的密封垫的局部剖视图。
具体实施方式
一边参照附图一边说明本发明的一实施方式。
图1是表示本发明的一实施方式的密封垫1的安装结构的剖视图。图2是图1的局部放大图。图3是密封垫1与安装构件3的局部的剖视图。
此外，在图1、图2中，将相对于密封垫1设置安装构件3的方向(图中的下方)称为密封垫1或安装构件3的轴心方向的一方或下方。
另外，在图1、图2中，将相对于密封垫1设置另一安装构件5的方向(图中的上方)称为密封垫1或安装构件3的轴心方向的另一方或上方。
如图1、图2所示，密封垫1的安装结构用于将密封垫1安装于安装构件3或另一安装构件5。
此外，本发明的安装构件3作为一例记载为流体设备的块体，但并不限定于此，例如，也可以是与调节器、压力计、阀、流量计、树脂管、流体设备的凸缘等相关的构件。
为了使流体(例如，超纯水或药液等液体)流通，安装构件3在使密封垫1介于安装构件3与另一安装构件5之间的状态下与另一安装构件5接合。
安装构件3由规定的热塑性树脂形成。作为热塑性树脂的一例为氟树脂等，例如，可列举PFA(四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物)、PTFE(聚四氟乙烯)、PVDF(聚偏氟乙烯)、ETFE(四氟乙烯-乙烯共聚物)、FEP(四氟乙烯-六氟丙烯共聚物)等。
此外，本发明的安装构件3并不限定于氟树脂，例如，也能够由PP(聚丙烯)、HDPE(高密度聚乙烯)、LDPE(低密度聚乙烯)或POM(聚甲醛)、弹性体(橡胶)等树脂构成。
安装构件3具有第一基座部11、外侧筒部13、内侧筒部15、槽部17。另外，本实施方式中的安装构件3具有与第一基座部11相连的主体部(未图示)。
第一基座部11具有用于使所述流体流通的作为流通孔的第一流体流路21。第一流体流路21为圆形状，沿外侧筒部13以及内侧筒部15的轴心方向(上下方向)延伸。
外侧筒部13设置于第一基座部11，向第一基座部11的一方(安装构件3的轴心方向的另一方(上方))突出。外侧筒部13形成为圆筒形状，在轴心方向的一方开口。
内侧筒部15设置于第一基座部11，向与外侧筒部13相同的方向(上方)突出。内侧筒部15形成为圆筒形状，在安装构件3的轴心方向的另一方(上方)开口。
另外，内侧筒部15在外侧筒部13的径向内侧与外侧筒部13同轴配置。在内侧筒部15的径向外侧且在外侧筒部13的径向内侧，换言之，在内侧筒部15以及外侧筒部13之间形成有后述的槽部17。
内侧筒部15具有与第一基座部11的流通孔连通的筒孔。该筒孔构成用于使所述流体流通的第二流体流路23。第二流体流路23为圆形状，沿内侧筒部15的轴心方向(上下方向)延伸。
第二流体流路23相比内侧筒部15更靠轴心侧，第二流体流路23的一端部与第一基座部11的第一流体流路21连通。第二流体流路23和第一流体流路21构成安装构件3的流体流路。
如图3所示，内侧筒部15具有第二流体流路23的筒孔的最小直径即最小内径D1。最小内径D1是与第一基座部11的流通孔的最小直径大致相同的尺寸，但也可以是不同的尺寸。
内侧筒部15具有大致恒定的内径以及外径。并且，内侧筒部15相比外侧筒部13更靠径向内侧配置，并且与外侧筒部13隔开规定间隔地配置。内侧筒部15的外周面与外侧筒部13的内周面大致平行。
另外，内侧筒部15具有环状的锥形面即第一密封面27。第一密封面27沿内侧筒部15的突出端部29(轴心方向的另一方的端部)的内周侧的大致整周形成。
第一密封面27使突出端部29的内径随着从安装构件3的轴心方向的一侧朝向轴心方向的另一侧(从图1的下方向上方)而扩径。
另外，在本实施方式中，内侧筒部15的突出端部29相比外侧筒部13的突出端部(轴心方向的另一方的端部)31更靠安装构件3的轴心方向的一方(下方)。
槽部17以朝向外侧筒部13的轴心方向的另一方(上方)开口的方式，设置于第一基座部11、外侧筒部13、内侧筒部15之间。
槽部17形成为环状，具有由第一基座部11、外侧筒部13、内侧筒部15包围的环状的开放空间。槽部17在外侧筒部13以及内侧筒部15的径向上具有大致恒定的径向宽度。
槽部17的径向宽度能够合适地设定为，能够供后述的密封垫1的外侧突出部44压入。例如，槽部17的径向宽度设定为比密封垫1的外侧突出部44的径向宽度小。
另外，密封垫1以使所述流体能够流通的方式安装于安装构件3。密封垫1形成为与安装构件3的压入部分即槽部17相对应的圆筒形状。
密封垫1具有相对于在轴心方向中央与轴心方向正交的中央面35在轴心方向上对称的形状。并且，密封垫1以与前述的向安装构件3安装的安装结构相同的结构安装于另一安装构件5。
密封垫1使用规定的热塑性树脂、例如PFA、PTFE、PVDF、ETFE、FEP等氟树脂来制造。
此外，本发明的安装构件3的原材料并不限定于氟树脂，例如，也能够由PP、HDPE、LDPE或POM、弹性体等树脂构成。
详细地说，密封垫1具有第二基座部42、外侧突出部44以及内侧突出部46。
第二基座部42配置在在中央面35附近，即配置在密封垫1的轴向中央部。第二基座部42形成为圆筒形状，能够与安装构件3的外侧筒部13的内侧嵌合。
第二基座部42具有由筒孔构成的所述流体的流通孔。该流通孔构成用于使所述流体流通的圆形的第三流体流路53。第三流体流路53沿第二基座部42的轴心方向(上下方向)延伸。
构成第三流体流路53的所述流通孔的直径即第二基座部42的内径D2具有与内侧筒部15的最小内径D1大致相同的尺寸。该内径D2在第二基座部42的轴心方向上大致恒定。
外侧突出部44形成为圆筒形状，被压入安装构件3的槽部17。外侧突出部44以向密封垫1的轴心方向的一方(下方)突出的方式设置于第二基座部42。
外侧突出部44具有比槽部17的径向宽度大的径向宽度。外侧突出部44在使轴心与安装构件3的外侧筒部13以及内侧筒部15分别一致的状态下能够被压入槽部17。
在本实施方式中，外侧突出部44具有与安装构件3的外侧筒部13的内径相同或比其稍大的外径。另外，外侧突出部44具有比安装构件3的内侧筒部15的外径小的内径。
外侧突出部44的内径在密封垫1的轴心方向上在外侧突出部44的整体长度范围内大致恒定。外侧突出部44在被压入槽部17时，从径向外侧压接于安装构件3的内侧筒部15。
内侧突出部46形成为圆筒形状，是与安装构件3的内侧筒部15在轴心方向上压接的部分。内侧突出部46设置于第二基座部42，向与外侧突出部44相同的方向即密封垫1的轴心方向的一方(下方)突出。
内侧突出部46配置在外侧突出部44的径向内侧，在与安装构件3的内侧筒部15压接时，安装构件3的内侧筒部15在径向上被夹在该内侧突出部46与外侧突出部44之间。
内侧突出部46的突出端部(轴心方向的另一方的端部)55相比外侧突出部44的突出端部(轴心方向的另一方的端部)57更靠密封垫1的轴心方向的另一方(上方)。
在第二基座部42与外侧筒部13的内侧嵌合时，内侧突出部46与安装构件3的内侧筒部15同轴配置。内侧突出部46与外侧突出部44同轴配置。
另外，内侧突出部46具有与安装构件3的流通孔即第一流体流路21连通的筒孔。该筒孔构成用于使所述流体流通的圆形的第四流体流路59。第四流体流路59沿内侧突出部46的轴心方向(上下方向)延伸。
第四流体流路59在其一端部与第二基座部42的第三流体流路53连通。第四流体流路59与第三流体流路53一起构成密封垫1的流体流路的一部分。
另外，内侧突出部46具有环状的锥形面即第二密封面62。第二密封面62沿内侧突出部46的突出端部55的外周侧的整周形成。
第二密封面62构成为，内侧突出部46的突出端部55的外径随着从密封垫1的轴向中央侧(中央面35附近)朝向轴向端侧(轴心方向的另一方(图1的下方))而缩径。
这样一来，第二密封面62与安装构件3的内侧筒部15的第一密封面27能够抵接。第二密封面62具有与第一密封面27的倾斜程度相对应的倾斜程度。
在本实施方式中，在剖视时，第二密封面62相对于内侧突出部46的轴心67的倾斜角度与第一密封面27相对于内侧筒部15的轴心69的倾斜角度不同。
此外，在因安装构件3、5的接合等所引起的轴心方向的外力施加于密封垫1以及安装构件3中的至少一方的情况下，第二密封面62与第一密封面27压接。
说明将密封垫1安装于安装构件3的顺序。如图5所示，首先，将密封垫1的外侧突出部44从其突出端部57侧沿轴心方向开始压入安装构件3的槽部17。
接着，使外侧突出部44朝向槽部17的底部侧(下方)移动，使密封垫1的内侧突出部46的第二密封面62与安装构件3的内侧筒部15的第一密封面27抵接。
通过该第二密封面62与第一密封面27的抵接，完成外侧突出部44向槽部17的压入。此时，第二基座部42成为与安装构件3的外侧筒部13的内侧嵌合的状态。
接着，在密封垫1的轴心方向的相反一侧，对另一安装构件5进行相同的操作。然后，在使密封垫1介于安装构件3、5之间的状态下，通过螺栓等紧固件(未图示)使安装构件3和另一安装构件5紧固连接。
由此，将密封垫1安装于安装构件3，进而也安装于另一安装构件5，通过密封垫1能够使安装构件3和另一安装构件5接合。
并且，此时，能够对密封垫1以及安装构件3沿轴心方向施加外力。因此，在保持将外侧突出部44压入槽部17的状态的情况下，能够将第二密封面62与第一密封面27压接。
由此，通过外侧突出部44向槽部17的压入，能够在密封垫1的外侧突出部44与安装构件3的外侧筒部13以及内侧筒部15中的至少内侧筒部15之间产生在径向上作用的密封力，从而能够对外侧突出部44与至少内侧筒部15之间进行密封。
而且，通过第一密封面27与第二密封面62的压接，能够在第一密封面27与第二密封面62之间，即安装构件3的内侧筒部15与密封垫1的内侧突出部46之间产生在轴心方向上作用的密封力，从而也能够对内侧筒部15与内侧突出部46之间进行密封。
即，在密封垫向所述安装构件安装的安装结构中，在密封垫1与安装构件3之间产生在径向上作用的密封力，而且能够产生在轴心方向上作用的密封力。由此，能够提高密封垫1与安装构件3之间的密封的性能。
此外，本发明中的安装构件的内侧筒部与密封垫的内侧突出部的压接方法并不限定于此，例如，在密封垫1的外侧突出部44向安装构件3的槽部17压入时，也可以通过使用工具等对密封垫1施加外力来实现压接。
图4是图3的密封垫1的局部放大图。图5是表示密封垫1向安装构件3安装前的状态的剖视图。
如图3、图4所示，安装构件3的内侧筒部15的内周部以及密封垫1的内侧突出部46的内周部分别构成通过该内侧筒部15与该内侧突出部46的接触而相互连通的流体流路23、59的流路壁71、73。
密封垫1的内侧突出部46的突出端部55具有安装构件3的内侧筒部15的最小内径D1以上的内径。
并且，在内侧突出部46的内周部具有第一内周面75，该第一内周面75在密封垫1的内侧突出部46的轴心方向上随着从突出端部55的突出端55a侧朝向第二基座部42侧(从图1的下方向上方)而使该内侧突出部的内径缩小。
详细地说，在安装构件3的内侧筒部15的内周部构成第二流体流路23的流路壁71。第二流体流路23的流路壁71具有与安装构件3的内侧筒部15的最小内径D1大致相同的尺寸的直径。
在密封垫1的内侧突出部46的内周部形成有第四流体流路59的流路壁73。第四流体流路59的流路壁73具有第二基座部42的内径D2以上的直径。
在此，第二基座部42的内径D2为与安装构件3的内侧筒部15的最小内径D1大致相同的尺寸。
另外，第一内周面75包含于第四流体流路59的流路壁73。第一内周面75以面对第四流体流路59的方式沿内侧突出部46的内周部的整周形成为环状。
第一内周面75形成于内侧突出部46的轴心方向的另一方的一部分，以在内侧突出部46的轴心方向朝向突出端部55的突出端55a扩展的方式配置在突出端55a附近。
第一内周面75为锥形面。第一内周面75形成为，在包括密封垫1(内侧突出部46)的轴心67的截面中，相对于与轴心67平行地延伸的假想线79倾斜规定的角度Θ1。
由此，内侧突出部46在内侧突出部46的轴心方向的另一侧(第二基座部42侧)具有最小内径D3，在内侧突出部46的轴心方向的一侧(突出端部55的突出端55a侧)具有最大内径D4。
在本实施方式中，内侧突出部46的最小内径D3为与第二基座部42的内径D2大致相同的尺寸。内侧突出部46的最大内径D4比第二基座部42的内径D2即内侧筒部15的最小内径D1大。
此外，内侧突出部46的最小内径D3与内侧筒部15的最小内径D1之间的关系并不限定于此，内侧突出部46的最小内径D1只要是不妨碍流体的流动的程度，也可以比内侧筒部15的内径大，也可以比内侧筒部15的内径小。
如上所述，在第一内周面75为直线状的锥形面的情况下，在内侧突出部46中，第一内周面75和与其相连的轴心方向的另一侧(第二基座部42侧)的内周面81的边界部形成为平滑的弯曲面(圆倒角)。
另外，内侧突出部46具有挠性，能够以规定的角度Θ1变小的方式变形。具体而言，内侧突出部46以内侧突出部46与第二基座部42的边界附近(突出端部55的突出基部附近)为支点，使突出端部55向密封垫1的径向内侧(图4的箭头83方向)移动。
在本实施方式中，内侧突出部46的变形因第一密封面27与第二密封面62的压接而产生。并且，优选地，在该变形产生时，第一内周面75大致移动至第二基座部42的内周面85的延长线87上的位置(所述角度Θ1变为0°)。
在这样的结构中，如图5所示那样的在向安装构件3安装前的处于分离状态的密封垫1的外侧突出部44，在如图1、图2所示那样被压入安装构件3的槽部17时，安装构件3的内侧筒部15被该外侧突出部44向径向内侧按压。并且，密封垫1的内侧突出部46被该内侧筒部15向径向内侧(轴心67侧)按压。
由此，密封垫1的内侧突出部46(特别是突出端部55)以第一内周面75向内侧突出部46的径向内侧(密封垫1的径向内侧)移动地方式变形。通过该内侧突出部46的变形，朝向突出端部55的突出端55a扩径的锥形面即第一内周面75以缩径(在本实施方式中为与轴心67变为大致平行)的方式变形。
在这样的变形前的时刻，第一内周面75随着从内侧突出部46的轴心方向的一方(下方)朝向轴心方向的另一方(上方)而使内侧突出部46的内径缩小，因此，即使内侧突出部46被向径向内侧按压的情况下，也能够抑制在内周具有第一内周面75的内侧突出部46以比流路壁73更向第四流体流路59(密封垫1的流体流路)内突出的方式变形。
因此，在两个安装构件3、5接合的状态下，在流体在安装构件3与密封垫1之间流动时，在安装构件3与密封垫1的连通区域不会存在妨碍流体的流动的构件，从而能够确保流体顺畅地流动。由此，能够防止在安装构件3与密封垫1之间流动的流体的置换性的降低。
即，能够防止内侧突出部46的一部分以向第四流体流路59(密封垫1的流体流路)侧突出的方式变形，由此，在流体在密封垫1与安装构件3之间流动时，能够防止妨碍流体的流动。由此，流体不会滞留在密封垫1与安装构件3的接缝部位，从而能够防止流体的置换性降低，由此，能够防止产生如下问题：因流体的置换性的降低导致流体所包含的成分析出，从而产生颗粒。
另外，在本实施方式中，设置于本发明中的密封垫的内侧突出部的内周部的内周面为锥形面即第一内周面75，但并不限定于此，例如，如图6所示，在包括密封垫1的轴心67的截面中，也可以是朝向密封垫1的径向内侧凸出的凸曲面即其他的第一内周面91。
在该情况下，在密封垫1的外侧突出部44被压入安装构件3的槽部17时，能够使其他的第一内周面91变成比第一内周面75平滑的面，即，能够变成能够将内侧突出部46的第四流体流路59的流路截面积更准确地保持为恒定的面。因此，在密封垫1的流体流路中能够促进流体的顺畅流动。
此外，在本实施方式中，本发明中的密封垫的第一内周面为设置于内侧突出部46的内周部中的轴心方向的一侧(下侧)的一部分(突出端部55)的第一内周面75，但并不限定于此，例如，也可以是在内侧突出部46的轴心方向上沿该内侧突出部46的内周部的大致整个区域扩展面。
另外，在本实施方式中，本发明中的密封垫的内侧突出部的第一内周面为在包括该密封垫的轴心的截面中仅具有所述规定的角度Θ1的第一内周面75，但并不限定于此，例如，也可以为具有相互不同的角度(相对于轴心的倾斜角度)的形状或由多个内周面构成的形状(包括由使锥形面和凸曲面混合存在的多个内周面构成的面)，也可以将这些形状组合。
考虑到上述教导，显而易见的是，本发明能够采取许多变更方式以及变形方式。因此，应当理解为，本发明在所附的权利要求书的范围内能够以本说明书所记载的方法以外的方法实施。
附图标记的说明：
1 密封垫
3 安装构件
5 另一安装构件
11 第一基座部
13 外侧筒部
15 内侧筒部
17 槽部
23 第二流体流路(安装构件的内侧筒部的流体流路)
42 第二基座部
44 外侧突出部
46 内侧突出部
55 内侧突出部的突出端部
59 第四流体流路(密封垫的内侧突出部的流体流路)
71 第二流体流路的流路壁
73 第四流体流路的流路壁
75 第一内周面

Claims (4)

1.一种密封垫的安装结构，其中，
具有：
安装构件，具有：第一基座部，具有流体的流通孔；外侧筒部，以突出的方式设置于所述第一基座部；内侧筒部，在筒孔与所述流通孔连通的状态下以向与所述外侧筒部相同的方向突出的方式设置于所述第一基座部且设置在所述外侧筒部的径向内侧；以及槽部，以朝向所述外侧筒部突出的方向开口的方式，设置于所述第一基座部、所述外侧筒部、所述内侧筒部之间；以及
密封垫，具有：筒形状的第二基座部；筒形状的外侧突出部，为了被压入所述安装构件的槽部而以突出的方式设置于所述第二基座部；以及筒形状的内侧突出部，为了与所述安装构件的内侧筒部在轴心方向上压接而以突出的方式设置于所述第二基座部，并设置于所述外侧突出部的径向内侧，以在所述内侧突出部与所述安装构件的内侧筒部压接时，在所述内侧突出部与所述外侧突出部之间在径向上夹着所述安装构件的内侧筒部。
2.如权利要求1所述的密封垫的安装结构，其中，
所述安装构件的内侧筒部的内周部以及所述密封垫的内侧突出部的内周部构成通过该内侧筒部与该内侧突出部的接触而相互连通的流体流路的流路壁，
所述密封垫的内侧突出部的突出端部具有所述安装构件的内侧筒部的最小内径以上的内径，
在所述密封垫的内侧突出部的内周部具有第一内周面，所述第一内周面在所述内侧突出部的轴心方向上随着从所述内侧突出部的突出端侧朝向所述第二基座部侧而使该内侧突出部的内径缩小。
3.如权利要求2所述的密封垫的安装结构，其中，
所述第一内周面为锥形面。
4.如权利要求2所述的密封垫的安装结构，其中，
所述第一内周面为朝向所述密封垫的径向内侧凸出的凸曲面。
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