TW201940896A - 放射線檢測器的製造方法及放射線檢測器的製造裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的課題在於提供一種可簡單且以良好精度進行對準，可提高輝度、解析度或閃爍體的利用效率之放射線檢測器的製造裝置及製造方法，且意圖在於提供一種依據藉拍攝手段所取得的資訊，在形成於發光體面板的格子狀間隔壁及形成於光電轉換面板的光電轉換元件設定至少兩個滿足下述之基準點，進行利用該基準點的資訊之演算，依據演算結果，執行使載置有發光體面板及/或光電轉換面板的架台運轉之位置調整步驟之放射線檢測器的製造、及可製造放射線檢測器之裝置。

Description

放射線檢測器的製造方法及放射線檢測器的製造裝置

本發明係關於使用於醫療診斷裝置、非破壞檢查裝置等之放射線檢測器的製造方法及其製造裝置。

以往，在醫療現場係廣泛採用使用了薄膜的X射線影像。然而，由於使用薄膜的X射線影像係類比影像資訊，故近年來正開發電腦放射攝影(computed radiography：CR)或平板X射線檢測裝置(flat panel detector：FPD)等之數位方式的放射線檢測裝置。

在FPD中，係使用將放射線轉換成可視光之屬發光體面板的閃爍體面板(scintillator panel)。閃爍體面板係包含碘化銫(CsI)等的X射線螢光體，依據所照射的X射線，該X射線螢光體發出可視光，將其發光藉TFT(thin film transistor；薄膜電晶體)、CCD(charge-coupled device；電荷耦合裝置)轉換成電氣訊號，藉以將X射線的資訊轉換成數位影像資訊。然而，FPD有影像解析度低的問題。此乃因X射線螢光體發光時，因螢光體本身的關係會造成可視光散射等所致者。為了減小此光的散射之影響，有提出在由間隔壁所分隔的單元(cell)內填充螢光體之方法(專利文獻1~4)。

然而，作為用於形成此種間隔壁之方法，已知有對矽晶圓進行蝕刻加工之方法，此方法中，由於可形成之閃爍體面板的尺寸係由矽晶圓的尺寸所限定，故無法得到500mm見方的大尺寸構成。另一方面，已知有使用含有玻璃粉末的糊料，將以低軟化點玻璃為主成分的間隔壁以高精度加工成大面積來製造閃爍體面板之技術，該低軟化點玻璃含有2~20質量%的鹼金屬氧化物(專利文獻4)。

先前技術文獻 專利文獻

專利文獻1 日本特開平5-60871號公報

專利文獻2 日本特開平5-188148號公報

專利文獻3 日本特開2011-7552號公報

專利文獻4 國際公開WO2012/161304公報

為了使由間隔壁構成有單元(cell)構造之閃爍體面板的優點發揮最大極限，將配列在與閃爍體面板對向的受光基板之光電轉換元件的各元件、與由格子狀間隔壁所形成的畫素無偏差地對位而貼合是很重要的。一旦該間隔壁的開口部、即閃爍(scintillation)所致的發光部分與光電轉換元件的位置發生偏差時，便會導致受光區存在不發光的間隔壁，受光效率會降低。又，會產生因發光的光漏到鄰接的光電轉換元件，因而無法獲得 原本的影像清晰度之缺點。為了避免此問題，將閃爍體面板與光電轉換元件對準並正確地貼合的技術是必要的。為此，有採用分別在顯示區域外設置對準標記，使其在同軸上一致來貼合的方法之情況。

然而，為了形成與顯示區域的畫素高精度地保持位置關係的對準標記，方法被限定為光微影法等，在加工法上會產生限制。又，當間隔壁的厚度較厚時，必須在標記彼此的間隔分離的狀態下對準，受到相機之光軸偏差的影響，對準的精確度會降低。貼合後無法確認位置偏差也是一課題。

又，關於不使用對準標記而進行對位的方法，亦有在單元構造的一部分設置不具有螢光體及基材的貫通間隔壁部，並以相機經由此貫通間隔壁來確認光電轉換元件並進行對準之方法。於此情況，會有貫通間隔壁部分成為非顯示區域，導致放射線檢測器的有效面積變小之課題。

於是，本發明的目的在於提供一種可簡單且以良好精度進行對準，可提高輝度、解析度、或閃爍體的利用效率之放射線檢測器的製造裝置及製造方法。

此課題係可藉由以下的技術手段的任一者達成。

(1)一種放射線檢測器的製造方法，其特徵為具有：將發光體面板載置於第1架台上的步驟，該發光體面板係為在以同一間距呈矩陣狀形成於片狀基材上而成 的格子狀間隔壁(將由此格子狀間隔壁所劃分的單元配列成矩陣狀的區域稱為間隔壁形成區域)、與由該格子狀間隔壁所包圍的單元，配置有藉由放射線的照射而發出可視光的材料(將前述單元內配置有前述發光材料而成的構成簡稱為畫素)；將光電轉換面板載置於第2架台上之步驟，該光電轉換面板係為檢測可視光的光電轉換元件以同一間距呈矩陣狀配列在片狀透明基材上而成(將此光電轉換元件以矩陣狀配列而成的區域稱為元件形成區域)；第1拍攝步驟，從前述第1架台上設有發光體面板的間隔壁之側的面以包含間隔壁的方式至少拍攝兩處；第2拍攝步驟，從與前述第2架台上設有光電轉換面板之光電轉換元件的面相反側的面隔介透明基材，或者從設有光電轉換元件之面的側以包含光電轉換元件的方式至少拍攝兩處；第1演算處理步驟，依據在前述第1拍攝步驟及第2拍攝步驟所拍攝之發光體面板及光電轉換面板的影像進行演算處理；第1位置調整步驟，依據前述第1演算處理的結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以使前述發光體面板與前述光電轉換面板平行地配置於對向位置；及貼合步驟，在保持著水平面的相對位置的狀態下將前述發光體面板與前述光電轉換面板重疊而貼合，其中，在此，關於由前述間隔壁劃分的單元的間距與前述光電轉換元件的間距，當為發光體面板時，係在 由間隔壁劃分的單元所配列之於對向配置時相互重疊的至少兩個方向上相等或者一者為另一者的整數倍的關係，而當為光電轉換面板時，係在光電轉換元件所配列之於對向配置時重疊的至少兩個方向上相等或者一者為另一者的整數倍的關係，在前述第1拍攝步驟與前述第2拍攝步驟所拍攝的區域，係為前述兩個方向於對向配置時配置成重疊時處於對向位置，且含有間隔壁形成區域內或元件形成區域內的配置資訊為已知之畫素或元件的在間隔壁形成區域及元件形成區域的各者中至少兩個區域，前述第1演算步驟係為，a)在各拍攝區域中選擇畫素或光電轉換元件之步驟，其中，使選擇的格子或光電轉換元件的相對配置資訊一致，b)在已選擇的畫素或光電轉換元件內設定基準點之步驟，其中，使基準點的格子或光電轉換元件內的絕對位置一致，c)以各對向的區域中之基準點間的距離的和成為最小的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉的方向、作動的長度及旋轉角之步驟。

(2)如前述(1)之放射線檢測器的製造方法，其中，在第1位置調整後，貼合步驟之前，包含：第3拍攝步驟，從與前述光電轉換面板設有光電轉換元件之面相反側的面，拍攝光電轉換元件及發光體面板上的間隔壁； 第2演算處理步驟，依據在前述第3拍攝步驟所拍攝之光電轉換元件的影像及間隔壁的影像，進行演算處理；及第2位置調整步驟，依據前述第2演算處理步驟的演算結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以調整前述發光體面板與前述光電轉換面板的相對位置，前述第2演算處理步驟係以檢測間隔壁的影像與光電轉換元件之列間的影像的偏差量且使其偏差量最小化的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉之方向、作動的長度及旋轉角。

(3)如前述(1)或(2)之放射線檢測器的製造方法，其中前述貼合步驟係藉由隔著黏著片使用彈性輥或墊，對前述發光體面板與前述光電轉換面板加壓來進行貼合。

(4)如前述(3)之放射線檢測器的製造方法，其中使用彈性輥或墊的加壓係在減壓氣體環境下進行。

(5)如前述(1)或(2)之放射線檢測器的製造方法，其中前述貼合步驟係透過藉由熱或紫外線硬化的接著劑，來進行前述發光體面板與前述光電轉換面板的貼合。

(6)一種放射線檢測器的製造裝置，係面板的貼合裝置，其特徵為：第1架台，載置第1面板；第2架台，載置第2面板；第1拍攝裝置，拍攝時與前述第1架台對向配置，且被配置在前述第2架台的背面側以拍攝前述第1面板及第2面板； 演算手段，依據藉前述第1拍攝裝置所拍攝之第1面板及第2面板的影像，進行演算處理；及位置調整手段，依據前述演算處理的結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以使前述第1面板與前述第2面板平行地配置在對向位置；及貼合手段，在保持著水平面的相對位置的狀態下將前述第1面板與前述第2面板重疊而貼合；其中前述第2架台係構成為前述第2面板可藉由第1拍攝裝置觀察；前述第1面板係為在以同一間距呈矩陣狀形成於片狀基材上而成的格子狀間隔壁、與由該格子狀間隔壁所包圍的單元，配置有藉由放射線的照射而發出可視光的材料而成的發光體面板(將前述單元內配置有前述發光材料而成的構成簡稱為畫素)；前述第2面板係為檢測可視光的光電轉換元件以同一間距呈矩陣狀配列在片狀透明基材上而成的光電轉換面板；由前述間隔壁劃分的單元的間距與前述光電轉換元件的間距，係在對向配置時重疊的至少兩個方向上為相等或者一者為另一者的整數倍的關係；藉前述第1拍攝裝置所拍攝的發光體面板及光電轉換面板的區域，係為前述兩個方向於對向配置時配置成重疊時處於對向位置，且含有配置資訊為已知的畫素或元件之區域時，A.前述第1拍攝裝置係以包含前述第1面板的間隔壁的方式可拍攝至少兩處，又，從前述第2架台的背面 側以包含光電轉換面板的光電轉換元件之方式可拍攝至少兩處，且，B.前述演算手段係使用所輸入的拍攝資料，至少，a)在各拍攝區域中選擇畫素或光電轉換元件(其中，使選擇的格子或光電轉換元件之相對的配置資訊一致)，b)在已選擇的畫素或光電轉換元件內設定基準點(其中，使基準點的格子或光電轉換元件內的絕對位置一致)，c)以各對向的區域中之基準點間的距離的和成為最小的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉的方向、作動的長度及旋轉角，並輸出。

(7)一種放射線檢測器的製造裝置，係面板的貼合裝置，其特徵為具有：第1架台，載置第1面板；第2架台，載置第2面板；第1拍攝裝置，與前述第1架台對向配置，拍攝前述第1面板；第2拍攝裝置，與前述第2架台對向配置，拍攝第2面板；演算手段，係依據藉由前述第1拍攝裝置及第2拍攝裝置所拍攝之第1面板及第2面板的影像，進行演算處理；位置調整手段，依據前述演算處理的結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以使前述第1面板與前述第2面板平行地配置在對向位置；及 貼合手段，在保持著水平面的相對位置的狀態下將前述第1面板與前述第2面板重疊而貼合，其中，前述第1面板係為在以同一間距呈矩陣狀形成於片狀基材上而成的格子狀間隔壁、與由該格子狀間隔壁所包圍的單元，配置有藉由放射線的照射而發出可視光之材料而成的發光體面板(將前述單元內配置有前述發光材料而成的構成簡稱為畫素)；前述第2面板係為檢測可視光的光電轉換元件以同一間距呈矩陣狀配列在片狀透明基材上而成的光電轉換面板；由前述間隔壁劃分的單元的間距與前述光電轉換元件的間距，係在對向配置時重疊的至少兩個方向上為相等或者一者為另一者的整數倍的關係，藉前述第1拍攝裝置及第2拍攝裝置所拍攝之發光體面板及光電轉換面板的區域，係為前述兩個方向於對向配置時配置成重疊時處於對向位置，且含有配置資訊為已知的畫素或元件之區域時，A.前述第1拍攝裝置係以包含前述第1面板的間隔壁的方式至少可拍攝兩處，前述第2拍攝裝置係以包含光電轉換面板的光電轉換元件之方式至少可拍攝兩處，B.前述演算手段係使用所輸入的拍攝資料，至少，a)在各拍攝區域中選擇畫素或光電轉換元件(其中，使選擇的格子或光電轉換元件之相對的配置資訊一致)， b)在已選擇的畫素或光電轉換元件內設定基準點(其中，使基準點的格子或光電轉換元件內的絕對位置一致)，c)以各對向的區域中之基準點間的距離的和成為最小的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉之方向、作動的長度及旋轉角，並輸出。

(8)如前述(6)或(7)之放射線檢測器的製造裝置，其中前述貼合手段係具有加壓前述第1面板與前述第2面板的彈性輥或墊。

根據本發明，可將具有由間隔壁所形成之單元構造的閃爍體面板與光電轉換面板以使彼此的畫素高精度地一致之方式貼合。又，即便不設置專用的對準標記，也可將相互的畫素彼此對準而貼合，並將光電轉換元件的畫素全面利用作為放射線檢測器的有效顯示區域。

1‧‧‧閃爍體面板(發光體面板)

2‧‧‧光電轉換面板

3‧‧‧基材

4‧‧‧接著層

5‧‧‧間隔壁補強層

6‧‧‧間隔壁

7‧‧‧反射層

8‧‧‧螢光體

9‧‧‧透明接著層

10‧‧‧光電轉換元件

11‧‧‧輸出層

12‧‧‧透明基板

13‧‧‧電源部

14‧‧‧發光二極體

15‧‧‧TFT

16‧‧‧閃爍體面板基準點

17‧‧‧光電轉換面板基準點

18‧‧‧下載台

19‧‧‧貫通孔

20‧‧‧上載台

21‧‧‧相機

22‧‧‧橡膠輥

圖1係示意地表示閃爍體面板與光電轉換面板的配置關係之立體圖。

圖2係示意地表示閃爍體面板與光電轉換面板的構成之前視圖。

圖3係示意地表示閃爍體面板與光電轉換面板的配置關係之剖面圖。

圖4係用以說明閃爍體面板與光電轉換面板中的基準點的設定之前視圖。

圖5係表示對準及貼合裝置的例子之外觀圖。

圖6係可視地說明本發明之對準及貼合的步驟的例子之流程圖。

用以實施發明的形態

以下，使用圖式來說明關於本發明，但本發明並不限定於此圖所示的態樣來解釋者。

作為使用於發光體面板的發光之放射線，係可使用X射線、γ線等的電磁放射線與α線、β線、中子射線等的粒子放射線，惟其中較佳為可使用X射線。

圖1係示意地表示屬發光體面板的閃爍體面板與光電轉換面板的配置關係之立體圖。閃爍體面板1係包含具有螢光體的閃爍體層，吸收入射X射線等的放射線的能量，以波長為300~800nm範圍的電磁波也就是可視光線為中心，放射涵蓋紫外光至紅外光的範圍的電磁波(光)。光電轉換面板2係為光電轉換元件在透明基板上呈平面地配列。閃爍體面板1與光電轉換面板2係透過接著劑等貼合。閃爍體面板和光電轉換面板，一般而言分別為矩形的片狀，又，閃爍體面板的發光面與配列有光電轉換元件群的光電轉換面板係以對向的方式貼合。一般而言，在光電轉換面板的周圍，連接於元件的電極係以拉出配線的形式分成複數個方塊而形成，其後，進行FPD化時，將可撓性配線構件等接著以與電路基板連接。

圖2係示意地表示屬發光體面板的閃爍體面板與光電轉換面板的構成之前視圖。關於閃爍體面板1，在片狀基材3上於其延伸的方向上，藉間隔壁劃分的單元(cell)係以同一間距形成有矩陣狀(將被此格子狀間隔壁劃分的單元配列成矩陣狀的區域稱為間隔壁形成區域)，在被劃分的單元內充填有螢光體8。在此，關於使單元延伸的方向，例如為矩形單元的情況可假定2個方向，為正六角形或正三角形單元的情況可假定3個方向，但是當然以單元所延伸的全部方向上為同一間距較理想。又，光電轉換面板2係在透明基板12上，於其延伸方向上，在此圖中由發光二極體14和TFT15所構成的光電轉換元件係以同一間距形成矩陣狀(此光電轉換元件配列成矩陣狀的區域稱為元件形成區域)。但是當然以在光電轉換元件延伸的全部方向上為同一間距者較佳。

本發明中，關於以前述間隔壁劃分之單元的間距與前述光電轉換元件的間距方面，當為發光體面板時，係在由間隔壁所劃分的單元所配列之於對向配置時相互重疊的至少兩個方向上相等或者一者為另一者的整數倍的關係，而當為光電轉換面板時，係在光電轉換元件所配列之於對向配置時相互重疊的至少兩個方向上相等或者一者為另一者的整數倍的關係。例如，由發光體面板上的間隔壁所劃分的單元與光電轉換面板上的光電轉換元件，其形狀及大小是相同的，且以同一圖案配列時在由間隔壁劃分的單元所延伸的全部方向及光電轉換 元件所延伸的全部方向上使之一致，又，在一個延伸方向上，一者的間距為另一者的間距的整數倍時，可使複數個單元或光電轉換元件對應於一個光電轉換元件或單元。藉由將這樣的方向採用至少兩個，可在平面上建構與藉間隔壁所劃分的單元與光電轉換元件的對應關係。

以典型的例子而言，如圖2所示，由間隔壁所劃分的單元與光電轉換元件皆為矩形，且其形狀及大小相同。又，以此方式作成的話，可提高基板的利用效率，且可提高螢光等的發光至光電轉換的效率，所以是理想的。在此，間隔壁的寬度與光電轉換元件間的距離未必要一致，由間隔壁劃分的單元及光電轉換元件的大小係可理解為以間隔壁的中央線、光電轉換元件間的間隙的中央線所包圍者。間隔壁的寬度與光電轉換元件間的距離相等或者後者較短的話，在提高所發光之光的利用效率方面是理想的。

由於光電轉換面板係在透明基板上形成有光電轉換元件，故可光可透射元件形成區域的外側。又，可從面板可背面觀察光電轉換元件。

圖3係圖1的a-b方向剖面圖。此例的閃爍體面板1係形成將平板狀基材3與包含間隔壁6的閃爍體層隔介接著層4貼合之構成。在藉由間隔壁6所劃分的空間形成單元構造，在單元內充填有螢光體8。在間隔壁6的表面形成有反射層7，在間隔壁6與接著層4之間設有間隔壁補強層5。閃爍體面板1與光電轉換面板2係藉由透明接著層9接著。光電轉換面板2係在透 明基板12上將光電轉換元件10和輸出層11配列成二維狀，並與電源部13連接。當由放射線所發出的光到達光電轉換元件10時，會通過輸出層11被輸出電氣訊號。如圖3所示，此閃爍體面板係在間隔壁的格子形成有閃爍體的畫素，畫素間距係成為相鄰之間隔壁的間隔之間隔壁間距。藉由將此間隔壁間距以與利用光電轉換元件10所形成之元件的間距同一尺寸設計，可使面板內的畫素彼此一對一對應而貼合。藉此，由放射線所發出的光可在不會擴散至鄰接的畫素下傳遞至與各單元對應的光電轉換元件，可得到高清晰度的影像。雖未圖示，但也可將畫素間距的關係設成一者為另一者的整數倍。一般而言，畫素間距愈小，愈可得到高清晰度的影像，但作為明亮度的指標之感度會變低。例如，藉由設計為光電轉換元件的畫素間距的整數倍之間隔壁間距並貼合，可製作清晰度比同一間距差者但感度卻高的面板。

以下，記載屬於使用於本發明的發光體面板之閃爍體面板1的製造方法的一例。在平板上之玻璃基板等的基材表面，使用網版印刷法等，而將含玻璃粉末的糊料A塗布於一面，並加以乾燥而得到塗布膜A。在塗布膜A上將含玻璃粉末的糊料B使用網版印刷法等塗布於一面，並加以乾燥而得到塗布膜B。塗布膜B係以完全遮蔽塗布膜A之方式形成較佳。將此等燒成，去除有機成分。含玻璃粉末的糊料A係以具有燒成溫度以上的熔點之無機粉末為主成分，含玻璃粉末的糊料B係以具有燒成溫度以下的熔點之低熔點玻璃粉末為主成分， 藉此透過燒成塗布膜A可作為非燒結層，覆蓋塗布膜A的塗布膜B可作為燒結層。藉由將塗布膜A作成非燒結層，可作為在之後的步驟中所實施之層剝離用的剝離輔助層。屬於燒結層的塗布膜B由於強固，故可作為用以穩定形成格子狀間隔壁的間隔壁補強層5。在塗布膜B上，使用狹縫模塗布器(slit die coater)等將含玻璃粉末的糊料C塗布成片狀，並加以乾燥而得到塗布膜C。將塗布膜C利用光微影法等進行圖案加工而得到格子狀間隔壁圖案。藉由將其燒成，並去除有機成分而得到間隔壁6。以覆蓋所形成的間隔壁的表面之方式形成反射層7，進一步在由間隔壁劃分的單元內部填充螢光體8。接著，藉由將包含基材的塗布膜A之間隔壁圖案的外周部截斷(cut)，能夠以屬剝離輔助層的塗布膜A為起點將基材與由塗布膜B所形成之間隔壁輔助層上方的閃爍體層剝離。將其使用接著層4貼合於薄膜等由放射線吸収小的材料所構成的基材3，可製造閃爍體面板1。

在本發明之放射線檢測器的製造方法中，含有以下的各步驟。

(1)將發光體面板載置於第1架台上之步驟；(2)將光電轉換面板載置於第2架台上之步驟；(3)第1拍攝步驟，從第1架台上設有閃爍體面板的間隔壁之側的面以包含間隔壁的方式製造拍攝2處；(4)第2拍攝步驟，從第2架台上與設有光電轉換面板的光電轉換元件的面相反側的面透過透明基材，或者從設有光電轉換元件的面的側，以包含光電轉換元件的 方式至少拍攝2處；(5)第1演算處理步驟，依據在第1拍攝步驟及第2拍攝步驟所拍攝之發光體面板及光電轉換面板的影像，進行演算處理；(6)第1位置調整步驟，依據第1演算處理的結果，第1架台或第2架台運轉以使發光體面板和光電轉換面板平行地配置在對向位置；(7)在保持水平面上之相對位置的狀態下將發光體面板與光電轉換面板重疊而貼合之步驟。

本發明中，發光體面板及光電轉換面板較佳為分別載置於可在水平方向、高度方向、旋轉軸方向運轉的架台上，可調整其相對的位置。此外，兩架台只要可對發光體面板及光電轉換面板的相對位置進行調整即足夠。又，在載置前以事先使發光體面板與光電轉換面板會被貼合的面板朝向一致之方式來進行載置的話，在避免架台多餘的運轉上是較理想的。

其次，在第1拍攝步驟與第2拍攝步驟所拍攝的區域，必須是面板重疊時位於對向位置，且含有間隔壁形成區域內或元件形成區域內的配置資訊為已知(即可從實物取得畫素或元件的資訊)之畫素或元件的至少兩個區域。在後述的第1演算步驟中於所拍攝的區域內進行基準點的設定，而藉由以所拍攝的區域成為對向的配置之方式選擇，可提高基於該對向的區域內之基準點間的距離的最小化演算的結果所得之發光體面板與光電轉換面板的對位精度。

使用於第1拍攝步驟及第2拍攝步驟的拍攝裝置並無特別限制，一般為CCD相機。又，在第2拍攝步驟中由於光電轉換面板係使用透明基材來製作，所以也可從與設有光電轉換元件的面相反側的面，透過透明基材來進行拍攝，又，也可從設有光電轉換元件的面的側來拍攝，惟因為使用相同相機進行拍攝，故較佳係從與設有光電轉換元件的面相反側的面透過透明基材來進行拍攝。

接著，藉由第1演算步驟，為了可容易理解本發明，舉出以發光體面板上由間隔壁所劃分的單元與光電轉換面板上的光電轉換元件為相同大小的正方形所形成的例子，參照圖4來進行說明。

首先，在從所拍攝的區域中設定基準點之發光體面板中進行畫素的選擇，且在光電轉換面板中進行光電轉換元件的選擇。此畫素或光電轉換元件的選擇係根據預先的畫素或光電轉換元件的座標資訊來選擇。例如，可在配列有如圖4的方形畫素或光電轉換元件的情況下，特定畫素或光電轉換元件的座標作為第m行、第n列(在此，m與n為整數)的畫素。為了能進行此選擇，以在拍攝區中包含有具有固有特徵的畫素或光電轉換元件較佳，可決定依據具有該固有特徵的畫素或光電轉換元件的座標資訊所選擇的元件。作為具有此種固有特徵的畫素或光電轉換元件，可列舉以鄰接之畫素或光電轉換元件的數量不同作為特徵之畫素或光電轉換元件。例如，在如圖4的間隔壁形成區域或元件形成區域為方形 的情況，角的位置的畫素或光電轉換元件相當於此種畫素或光電轉換元件。例如，方形間隔壁形成區域的四角的座標資訊，係在製作間隔壁面板時可掌握作為固有的資訊，在光電轉換面板中亦同樣。

參照圖4，具體地說明。圖4係表示閃爍體面板設有間隔壁之面的角落部，以及與光電轉換面板設有光電轉換元件之面相反側的面的角落部之示意圖。此等角落部係兩面板重疊時處於對向的位置關係，在第1拍攝步驟及第2拍攝步驟中拍攝圖4所示的區域。此外，圖中，雖僅顯示一個角落部，但在各面板中係實施兩個以上。從拍攝有閃爍體面板的間隔壁形成區域之影像將會成為基準的畫素當作設定例，將角落部的畫素或光電轉換元件設為具有固有特徵的畫素或光電轉換元件，在發光體面板側，向面板中央選擇朝X方向(圖中為橫向)為3畫素、朝Y方向(圖中為縱向)為第3畫素之畫素。另一方面，在光電轉換面板側，選擇了朝X方向為1畫素，朝Y方向為1畫素的光電轉換元件。

設定基準點的畫素，在發光體面板及光電轉換面板中，至少兩處兩處地求取，而此等畫素或光電轉換元件係以相對的配置資訊一致的方式選擇。相對的配置資訊一致意指：以使所選擇之畫素間的座標資訊上的距離與所選擇之光電轉換元件間的座標資訊上的距離一致的方式來選擇。依據前述的設定例(如圖4所示之以發光體面板上由間隔壁所劃分的單元與光電轉換面板上的光電轉換元件為相同大小的正方形所形成之例子)具體 地說明時，將發光體面板上所選擇之畫素的座標資訊表示為α(a,b)及β(c,d)，光電轉換面板上所選擇的畫素的座標資訊表示為γ(A,B)及δ(C,D)時，(式1)及(式2)的關係成立之意。此外，α(a,b)意指：從設為零點的畫素朝X方向第a畫素、朝Y方向第b畫素之畫素。

(a-c)=(A-C) (式1)

(b-d)=(B-D) (式2)

此外，此例中，係使用以發光體面板上由間隔壁劃分的單元與光電轉換面板上的光電轉換元件為相同的大小的正方形所形成之例子，例如，若發光體面板的畫素之X方向的間距為光電轉換面板的光電轉換元件之X方向的間距的2倍，則(式1)係以(式1’)的方式表示。

1/2×(a-c)=(A-C) (式1’)

此外，無庸贅述，在包含於拍攝的區域之具有固有特徵的畫素或光電轉換元件的座標資訊，係能夠以已知的資訊輸入演算手段，所以無需在全部的攝影區域映射前述的零點。

本發明中，較佳可進行後述之第2演算處理步驟，與發光體面板和光電轉換面板重疊，間隔壁形成區域係以突出元件形成區域外重疊較佳，使得從光電轉換面板側觀看時不會被光電轉換元件遮隱而能夠觀察。依據前述設定例(如圖4所示之以發光體面板上由間隔壁所劃分的單元與光電轉換面板上的光電轉換元件為相同 大小的正方形所形成之例子)具體地說明時，發光體面板的畫素以m行、n列配列，光電轉換面板的光電轉換元件以M行、N列配列，發光面板側設定有基準點之畫素的座標資訊設為ε(e,f)，光電轉換面板之對應的光電轉換元件的座標資訊設為ζ(E,F)(其中，e,f,E,F為正的整數)時，以(e-E)≧1、(f-F)≧1成立較佳，又，於此情況，較理想是間隔壁形成區域的尺寸比元件形成區域的尺寸還大，且由增多有效畫素數的觀點來看，以m>M，n>N，m-e≧M，n-f≧N，成立較佳。

其次，在所選擇的畫素或光電轉換元件中設定基準點。在此，基準點係以畫素中的絕對位置與光電轉換元件中的絕對位置一致之方式選擇。最簡單的設定例，係選擇格子點、即與其他的畫素或光電轉換元件的接觸最多的場所(點)。依據前述設定例(如圖4所示之以發光體面板上由間隔壁所劃分的單元與光電轉換面板上的光電轉換元件為相同大小的正方形所形成之例子)具體地說明時，在圖4中選擇格子的左下角(圖4中，閃爍體面板基準點16)和與其對應之光電轉換元件上的左下角(圖4中，光電轉換面板基準點17)。又，也可採用將其設為為例如從左下角起算1μm上方的點之制定法。

根據以此方式決定的基準點，實施第1演算步驟。第1演算步驟的演算係演算使架台運轉的方向、 作動的長度及旋轉角，該架台載置有使各對向的區域中之基準點間的距離的和成為最小之發光體面板或光電轉換面板。舉例說明時，在發光體面板上的基準點及光電轉換面板上的基準點各有兩個的情況下，求得連結發光體面板的基準點間的線段與連結光電轉換面板上的基準點的線段在試著使其等對向時重疊(即，兩線段無扭轉的關係而平行，且線段間的距離最小，(其中發光體面板與光電轉換面板間的距離不變)且不重疊的部分(即突出之線段的部分))的長度最小之位置。

此外，基準點為3個以上時，求得連結基準點間所形成之多角形的重疊的最小化(例如演算將重疊的2個多角形之頂點間距離最小化之變化、重疊的面積最大之變化)。

其次，依據第1演算步驟的結果，使載置有發光體面板及光電轉換面板的架台運轉，即完成對準、第1位置調整。此外，可使兩者的架台運轉，也可僅使任一者的架台運轉。

又，本發明較佳係在第1位置調整步驟後且在後述的貼合步驟前，執行以下步驟：第3拍攝步驟，從與前述光電轉換面板設有光電轉換元件之面相反側的面，拍攝光電轉換元件及發光體面板上的間隔壁；第2演算處理步驟，依據在前述第3拍攝步驟所拍攝之光電轉換元件的影像及間隔壁的影像，進行演算處理；及 第2位置調整步驟，依據前述第2演算處理步驟的演算結果，使前述第1架台及第2架台運轉以調整前述發光體面板與前述光電轉換面板的相對位置；在此，前述第2演算處理步驟係以檢測間隔壁的影像與光電轉換元件的列間的影像之偏差量且將其偏差量最小化的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉之方向、作動的長度及旋轉角。

亦即，第1位置調整步驟後，雖可進行高精度的對準，但畫素的列與光電轉換元件的列有發生些微的扭轉關係之可能性。

於是，第3拍攝步驟係從與設有光電轉換元件的面相反側的面，拍攝光電轉換元件的列與間隔壁，在第2演算處理步驟中求得各自延伸的方向以演算扭轉的程度，在第2位置調整步驟中依據演算結果來修正扭轉。當在第2演算步驟中利用影像處理，在發光體面板求得間隔壁的延伸方向，而在光電轉換元件面板中檢測光電轉換元件間的間隙部分以求得光電轉換元件的延伸方向時，可以良好精度進行演算。

其次，就貼合步驟進行說明。

關於使發光體面板與光電轉換面板貼合的方法，係可採用周知的方法。例如，藉由隔介接著片並使用彈性輥或墊等來按壓，可強固地接著。又，可透過因熱或紫外線而硬化的接著劑來接著。作為接著片或賦予接著劑的區域，可為間隔壁形成區域或元件形成區域的全面，也可為一部分。為一部分的情況，藉由賦予至面 板的外周部，可將發光體面板與光電轉換面板的間隙進行無限地縮小。在經對位的貼合中，係以發光體面板與光電轉換面板的位置不會偏差的方式貼合，亦即，應在保持水平面上的相對位置之狀態貼合。

以下，更具體地說明本發明的實施形態，惟本發明並不限定於此具體例來作解釋。

圖5係示意地表示可實施本發明之對準貼合裝置的構成之一例。設有使面板吸附面對向的兩個吸附載台，即下載台18(對應於第2架台)與上載台20(對應於第1架台)。下載台18具有滑動於左右方向(X方向)的機構，可移動至上載台的正下方，而且也可移動於垂直方向(Y方向)、旋轉方向(θ方向)、上下方向(Z方向)。藉由此機構(對應於位置調整手段)，使吸附固定於下載台18的面板移動以被夾持在與上載台20之間後，可遞送到上載台20。將面板接地到上載台後，可讓其他面板吸附於下載台，且同樣地移動，藉此可重疊兩片面板。又，在下載台於既定的位置設有貫通孔19，藉由設置於上載台的對面的2台相機21(對應於第1拍攝裝置)，可將經由此貫通孔19吸附的面板(對應於第2面板)從背面進行拍攝。吸附於上載台20之面板(對應於第1面板)的拍攝，係可在下載台從對面退避的狀態下實施，而且在吸附於下載台的面板為透明的情況，也可利用貫通孔19隔著下載台的面板來拍攝。藉由作成此種裝置構成，在與貫通孔對應之面板的位置配置會成為貼合的基準之基準點時，便可進行面板的位置測定及對位、即對準。若在 固定有相機的狀態下拍攝貼合的兩片面板的基準點，就可在同一座標系測定面板位置，所以能高精度地對準且裝置構成也變簡易，較為理想。橡膠輥22係可在下載台載置貼合的兩片面板的狀態下按壓面板的表面，藉由使下載台移動於X方向，可將兩者均一地接著。此外，也可構成為在下載台的對面設置相機21’(未圖示)，使被吸附於上下載台的各面板從其表面側進行拍攝。於此情況，因為不需要隔著下載台拍攝面板的背面，所以不需要設置於下載台的貫通孔19。然而，為了使面板彼此高精度地對準而貼合，相機21與相機21’的位置關係必須預先以良好精度設定‧設置，且必須設置成與藉由演算手段進行演算所使用的相機的位置資訊之間不會產生偏差。此乃因會依據藉各相機所拍攝的影像進行演算，根據其結果進行面板的位置調整，故相機的位置偏差與貼合時的位置偏差會產生關聯之故。

接著，以圖5所示的裝置為例，就將閃爍體面板與光電轉換面板貼合的較佳方法進行說明。圖6係示意地顯示步驟的一例。

在步驟1，使下載台移動到最遠離上載台的位置(之後，稱為待機位置)。在待機位置的下載台上放置閃爍體面板，進行吸附固定。載置面板的朝向，係預先考量由間隔壁形成區域及間隔壁所形成之畫素的形狀。將屬貼合面的間隔壁形成面設在下面，實施對位。在此，在之後的步驟4使用相機拍攝時，對準面板角落部的間隔壁形成區域落在相機的視野內之位置。較佳為 在載台附上作為基準的標記(marking)、或設置可擋止面板的基準銷。

在步驟2，使下載台朝X方向移動到上載台的正下方為止。其後，令下載台上升(Z方向)，令閃爍體面板接觸上載台的吸附面。將上載台的吸附設為ON之後，將下載台的吸附設為OFF，藉此可將閃爍體面板移載到上載台側。

在步驟3，令下載台下降(Z方向)，使其移動到待機位置。

在步驟4，以相機拍攝閃爍體面板之間隔壁形成區域的角落部分。以拍攝2處以上較佳，從對準精度的觀點來看以包含對角的角落部更佳。相機的倍率，較佳為使用於將角落部的間隔壁形成區域納入視野之數十倍程度的低倍率與用於高精度的位置測定之數百倍程度的高倍率作2階段切換、或使其連續地變化。又，相機的畫素解析度係以1μm以下較佳。在低倍率的拍攝中，將間隔壁形成區域的角落部納入視野，從視野內選擇特定的畫素。所選擇的畫素，可為在間隔壁形成區域中之設計上得知的位置資訊者，也可透過預先將從角落部的畫素起算的距離設定在裝置來自動檢測。在沒有自動檢測的情況，係以角落部的畫素為基準從畫素間距來測定，也能以手動方式選擇。接著，從所選擇的畫素中，選擇貼合的基準點。在可使用相機的放大功能的情況下，以所選擇的畫素為中心進行放大拍攝。基準點係選擇可在格子的一部分特定一個角、一個邊的中心、格子 的中心等在面板的位置座標之點。藉由此基準點的位置測定，可求得裝置與閃爍體面板的位置關係。

在步驟5，在處於待機位置的下載台放置電轉換面板，進行吸附固定。載置的朝向係從在步驟1放置閃爍體的朝向，以貼合兩面板時位置關係變適當的方式來考量。又，將屬於貼合面之形成有光電轉換元件的面朝上，實施對位。與閃爍體面板同樣地，以之後的步驟7的相機拍攝時，對準面板角落部的元件形成區域落在相機的視野內之位置。由於相機係在下載台移動到上載台正下方為止的位置相當於下載台之貫通孔的位置，所以可通過此貫通孔從光電轉換面板的透明基板側(面板背面)拍攝元件形成區域。

在步驟6，將事先貼附於光電轉換面板之透明接著片的離型薄膜剝離，使接著面露出。透明接著片的貼附係可使用一般的積層機(laminating device)來實施。此時，由於異物的卡住會變成缺點，所以必須考量潔淨室(cleanroom)等的潔淨環境，利用靜電消除裝置(ionizer)進行的除電等。以透明接著片而言，較佳為在可維持接著的範圍薄者，宜為5~30μm左右。此係為了將在閃爍體所發出之可視光的損失抑制得較小，並抑制間隔壁與光電轉換元件間的漏光之故。本形態中，雖將被賦予至光電轉換面板的元件形成區域全面之透明接著片使用於接著層，但亦可事先將藉由熱或紫外線而硬化的接著劑形成作為接著層。接著劑係可利用網版印刷法或狹縫模塗布器、分配器(dispenser)等進行塗布。又，接著層也可賦予至面板的外周部之類的一部分。

在步驟7，使下載台朝X方向移動到上載台的正下方。其後，使下載台上升(Z方向)，使上載台的閃爍體面板與光電轉換面板接近。面板間的空隙係以100~500μm左右較佳。為100μm以下的情況下進行對準前恐有面板的一部分會接觸到之虞，為500μm以上的情況下面板的拍攝面偏離相機的焦點深度之可能性高，變得無法忽視Z方向移動時的位置偏差之故。在使面板接近的狀態下，通過下載台的貫通孔從光電轉換面板的透明基板側(背面)拍攝角落部的元件形成區域。與閃爍體面板同樣地，以拍攝兩處以上的角落部較佳，使其位置關係在兩面板相對地一致。在低倍率的拍攝中將元件形成區域的角落部納入視野，從視野內選擇特定的光電轉換元件。所選擇的元件較佳為選擇與在步驟4中選擇的格子在設計上重疊的元件。又，在元件的選擇中，閃爍體面板的間隔壁形成區域宜設定成在面板的所有邊中位於比光電轉換面板的元件形成區域靠外側。藉此，從光電轉換面板的透明基板側觀看時，可同時看到光電轉換面板外周部的元件和閃爍體的間隔壁，能夠確保彼此的位置有無偏差。元件的選擇係與閃爍體面板的情況同樣，也可藉由事先設定從角落部的元件起算的距離，來自動檢測。在沒有自動檢測的情況，係以角落部的元件為基準從間距計算，也能以手動方式選擇。接著，從所選擇的元件中，選擇貼合基準點。在可使用相機的放大功能的情況下，以所選擇的元件為中心進行放大拍攝。基準點係選擇可在元件的一部分特定一個角、一個邊的中 心、元件的中心等在面板的位置座標之點。藉由此基準點的位置測定，可求得裝置與光電轉換面板的位置關係。針對在步驟4所求得的基準點的座標與在本步驟所求得知基準點的座標，以在使面板對向的狀態下各基準點間之距離的和成為最小的方式進行演算，藉由使下載台運轉來實施用於使畫素與元件一致的對位。

在步驟8，將對準的光電轉換面板外周部的元件、和位於其外側的間隔壁，通過下載台的貫通孔從光電轉換面板的透明基板側，通過透明基板以同一視野拍攝，來確認有無位置偏差。若可正常地對準，則間隔壁的格子會位置光電轉換元件的延長線上。位置偏差的有無係以在面板的對角進行確認較佳。在有產生位置偏差的情況，亦可再度實施步驟7之基準點的選擇以後的步驟來進行再確認，也可依據所拍攝的影像實施演算處理，檢測影像的偏差量以將其偏差量最小化的方式使下載台運轉以補正偏差。可確認到無位置偏差後，在保持著水平方向的位置關係的狀態使下載台進一步上升，使閃爍體面板與光電轉換面板隔著透明接著片接觸。藉此，成為在保持著對準後的位置之狀態下貼合兩面板的狀態。

在步驟9，解除上載台的吸附，使下載台下降。之後，在將橡膠等彈性輥壓抵閃爍體面板的全寬的狀態下使下載台朝X方向移動。藉此，可使面板全體均一地加壓、接著。就取代輥而言，也可使用按壓面板全面的平面墊。以彈性體的橡膠硬度而言，較佳為40~70 度。為40度以下時，即便使押入面板的量增加，橡膠的變形量也會變大，難以傳送所需的壓力，若超過70度，在按壓時，閃爍體面板的間隔壁會有破裂之可能性。為了提升接著的均一性，將彈性體壓抵面板的步驟也可重複實施複數次。又，為了抑制貼合時的氣泡，也可將裝置全體設置於真空腔室內且在減壓氣體環境下實施步驟8、9。在使用藉由熱或紫外線而硬化的接著劑作為接著層時，在步驟9中，可實施屬於接著劑硬化用的製程之加熱或紫外線照射。

在步驟10，使下載台返回待機位置，解除載台的吸附並卸下貼合的面板。在以上的步驟中，可使由閃爍體面板與光電轉換面板彼此的間隔壁所劃分之單元與光電轉換元件高精度地一致來貼合。

[實施例]

以下，列舉實施例，具體地說明本發明。此外，本發明的要旨並不限定於此例來作解釋。

作為光電轉換面板，係準備在元件的尺寸139×139μm、有效元件區域302.464×249.088mm、有效元件數2176畫素×1792畫素、面板尺寸311×258mm的透明玻璃基板上，將由薄膜電晶體(TFT)和與其連接的發光二極體所構成的光電轉換元件配列成矩陣狀而成的面板。在光電轉換面板之光電轉換元件形成面的全面，事先利用積層機(laminator)貼附黏著層厚度25μm的透明黏著片。作為閃爍體面板，係準備在由格子狀間隔壁所形成之畫素的尺寸139×139μm、有效畫素區域 303.298×249.922mm、有效畫素數2182畫素×1800畫素(比起光電轉換面板，在X方向、Y方向皆大6畫素份)、面板尺寸304.298×250.922mm的格子狀間隔壁所劃分的單元，填充有螢光體而成的面板。

對準、貼合裝置係具有對向配置在上下方向之兩個平板上的吸附載台，下側的載台係在水平方向(XY)與上下方向(Z)及旋轉方向(θ)具有移動軸，上側的載台係作成固定的構成。在上載台的對面設置可拍攝上載台的對角位置之2台對準用CCD相機。相機係使用在固定位置可進行50倍之低倍率、200倍之高倍率的倍率切換者且解析度為0.5μm者。下側的載台在對角的位置具有兩處貫通孔，設成與上載台對向時上述2台相機與此貫通孔的位置對應之構造。又，設有對準機構，其係從相機所拍攝的影像或設定於元件中的區域，自動辨識既定的圖案，依據測定位置的位置測定機構與測定位置資料進行演算，依據演算結果使載台移動既定量。為了使上下載台接近以將暫時接著的兩片面板均一地貼合，而設有可加壓載台全寬的橡膠輥。橡膠輥的橡膠硬度係使用50度者。

將上述閃爍體面板以由格子狀間隔壁所形成的畫素面朝下的方式吸附固定於下載台。載置成使面板的長邊方向成為裝置的X方向、短邊方向成為Y方向。閃爍體面板係將兩邊抵住設置於下載台的銷來進行定位。定位用銷係在下載台移動到上載台的正下方時設定在閃爍體面板的角落部的間隔壁形成區域納入上述2台對準相機的視野之位置。

使下載台移動到上載台正下方後，使下載台上升，使閃爍體面板與上載台接觸。同時，藉由以上載台吸附固定閃爍體面板，並解除下載台的吸附，來進行面板的遞送。使下載台下降，移動到待機位置。

利用2台對準相機以將位於對角之閃爍體面板角落部的間隔壁形成區域包含在內之方式進行拍攝，選擇由此影像的角落部的畫素在X、Y方向皆進入3畫素份面板內側的格子。以由此格子中接近面板中心的1角作為閃爍體面板基準點。格子的選擇係以角落部的格子進入視野的低倍率來實施，基準點係藉由以所選擇的格子為中心切換成高倍率，進一步從視野的影像搜尋時事先登錄的影像圖案之圖案匹配(pattern mapping)來決定，並測定位置。

接著，使光電轉換面板以光電轉換元件面朝上的方式吸附固定於下載台，方向係與閃爍體面板配合而載置成使面板的長邊方向成為裝置的X方向、短邊方向成為Y方向。定位也同樣使用銷來實施，面板對角之角落部的元件形成區域係設定在分別收納於2台對準相機視野的位置。將預先貼附的透明黏著片的剝離薄膜剝除以使接著面露出後，將下載台移動到上載台正下方。使下載台上升，且在光電轉換面板與閃爍體面板的距離成為0.3mm的位置使其停止。

在此，使用2台對準相機拍攝位於光電轉換面板的對角之角落部的元件形成區域。拍攝係從設置於下載台的貫通孔通過透明基板從面板背面進行。在此， 雖選擇成為光電轉換面板的基準之元件，但此元件係選擇處於與閃爍體面板所選擇的格子在設計上對向的位置之最角落部的元件。與閃爍體面板同樣，也將由此元件中接近面板中心的1角設定為光電轉換面板基準點。元件的選擇及基準點的選擇和位置測定亦使用2階段的拍攝來實施。

依據在各面板中各測定兩處之基準點的位置測定結果，以對向之基準點間的距離的和成為最小的方式進行演算處理，使下載台朝X、Y、θ方向移動(亦即，進行左右的移動與旋轉動作)。在此，利用相機的高倍率同時拍攝光電轉換元件的最外周部的元件與位於比其靠外側之閃爍體面板的間隔壁格子，以映射於螢幕之影像的目視確認了沒有產生畫素的位置偏差。

然後，在保持著水平方向的位置關係的狀態下使下載台上升，使兩面板接觸而暫時接著。在此也再次用高倍率相機確認到沒有發生位置偏差。

解除上載台的吸附，在將下載台下降的狀態下使貼合用橡膠輥作動，使輥移動至押入閃爍體面板0.5mm的位置為止。在保持此押入量的狀態下使下載台朝X方向移動以將面板全面均一地加壓而完全貼合。其後，使下載台移動到待機位置以解除吸附，並卸下貼合的面板。

在此面板連接電路、電源等以進行FPD化，而完成X射線檢測器。使用此拍攝X射線透視影像。評價影像時，得到與畫素間距相同的139μm的影像清晰 度，在有產生對準偏差的情況下亦沒有觀察到特徵的莫爾紋狀不均，所以從特性面也可確認到能夠正常地進行對準貼合。

產業上之可利用性

藉由本發明的製造方法所製造之放射線檢測器，係使用於醫療診斷裝置獲非破壞檢查機器等。

Claims (8)

1. 一種放射線檢測器的製造方法，其特徵為具有：將發光體面板載置於第1架台上的步驟，該發光體面板係為在以同一間距呈矩陣狀形成於片狀基材上而成的格子狀間隔壁(將由此格子狀間隔壁所劃分的單元配列成矩陣狀的區域稱為間隔壁形成區域)、與由該格子狀間隔壁所包圍的單元，配置有藉由放射線的照射而發出可視光的材料(將前述單元內配置有前述發光材料而成的構成簡稱為畫素)；將光電轉換面板載置於第2架台上之步驟，該光電轉換面板係為檢測可視光的光電轉換元件以同一間距呈矩陣狀配列在片狀透明基材上而成(將此光電轉換元件以矩陣狀配列而成的區域稱為元件形成區域)；第1拍攝步驟，從前述第1架台上設有發光體面板的間隔壁之側的面以包含間隔壁的方式至少拍攝兩處；第2拍攝步驟，從與前述第2架台上設有光電轉換面板之光電轉換元件的面相反側的面隔介透明基材，或者從設有光電轉換元件之面的側以包含光電轉換元件的方式至少拍攝兩處；第1演算處理步驟，依據在前述第1拍攝步驟及第2拍攝步驟所拍攝之發光體面板及光電轉換面板的影像進行演算處理；第1位置調整步驟，依據前述第1演算處理的結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以使前述發光 體面板與前述光電轉換面板平行地配置於對向位置；及貼合步驟，在保持著水平面的相對位置的狀態下將前述發光體面板與前述光電轉換面板重疊而貼合，其中，在此，關於由前述間隔壁劃分的單元的間距與前述光電轉換元件的間距，當為發光體面板時，係在由間隔壁劃分的單元所配列之於對向配置時相互重疊的至少兩個方向上相等或者一者為另一者的整數倍的關係，而當為光電轉換面板時，係在光電轉換元件所配列之於對向配置時重疊的至少兩個方向上相等或者一者為另一者的整數倍的關係，在前述第1拍攝步驟與前述第2拍攝步驟所拍攝的區域，係為前述兩個方向於對向配置時配置成重疊時處於對向位置，且含有間隔壁形成區域內或元件形成區域內的配置資訊為已知之畫素或元件的在間隔壁形成區域及元件形成區域的各者中至少兩個區域，前述第1演算步驟係為，a)在各拍攝區域中選擇畫素或光電轉換元件之步驟，其中，使選擇的格子或光電轉換元件的相對配置資訊一致，b)在已選擇的畫素或光電轉換元件內設定基準點之步驟，其中，使基準點的格子或光電轉換元件內的絕對位置一致，c)以各對向的區域中之基準點間的距離的和成為最小的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉的方向、作動的長度及旋轉角之步驟。
2. 如請求項1之放射線檢測器的製造方法，其中在第1位置調整後，貼合步驟之前，包含：第3拍攝步驟，從與前述光電轉換面板設有光電轉換元件之面相反側的面，拍攝光電轉換元件及發光體面板上的間隔壁；第2演算處理步驟，依據在前述第3拍攝步驟所拍攝之光電轉換元件的影像及間隔壁的影像，進行演算處理；及第2位置調整步驟，依據前述第2演算處理步驟的演算結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以調整前述發光體面板與前述光電轉換面板的相對位置，前述第2演算處理步驟係以檢測間隔壁的影像與光電轉換元件之列間的影像的偏差量且使其偏差量最小化的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉之方向、作動的長度及旋轉角。
3. 如請求項1或2之放射線檢測器的製造方法，其中前述貼合步驟係藉由隔著黏著片使用彈性輥或墊，對前述發光體面板與前述光電轉換面板加壓來進行貼合。
4. 如請求項3之放射線檢測器的製造方法，其中使用彈性輥或墊的加壓係在減壓氣體環境下進行。
5. 如請求項1或2之放射線檢測器的製造方法，其中前述貼合步驟係透過藉由熱或紫外線硬化的接著劑，來進行前述發光體面板與前述光電轉換面板的貼合。
6. 一種放射線檢測器的製造裝置，係面板的貼合裝置，其特徵為具有：第1架台，載置第1面板；第2架台，載置第2面板；第1拍攝裝置，拍攝時與前述第1架台對向配置，且被配置在前述第2架台的背面側以拍攝前述第1面板及第2面板；演算手段，依據藉前述第1拍攝裝置所拍攝之第1面板及第2面板的影像，進行演算處理；及位置調整手段，依據前述演算處理的結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以使前述第1面板與前述第2面板平行地配置在對向位置；及貼合手段，在保持著水平面的相對位置的狀態下將前述第1面板與前述第2面板重疊而貼合；其中前述第2架台係構成為前述第2面板可藉由第1拍攝裝置觀察；前述第1面板係為在以同一間距呈矩陣狀形成於片狀基材上而成的格子狀間隔壁、與由該格子狀間隔壁所包圍的單元，配置有藉由放射線的照射而發出可視光的材料而成的發光體面板(將前述單元內配置有前述發光材料而成的構成簡稱為畫素)；前述第2面板係為檢測可視光的光電轉換元件以同一間距呈矩陣狀配列在片狀透明基材上而成的光電轉換面板；由前述間隔壁劃分的單元的間距與前述光電轉換元件的間距， 係在對向配置時重疊的至少兩個方向上為相等或者一者為另一者的整數倍的關係；藉前述第1拍攝裝置所拍攝的發光體面板及光電轉換面板的區域，係為前述兩個方向於對向配置時配置成重疊時處於對向位置，且含有配置資訊為已知的畫素或元件之區域時，A.前述第1拍攝裝置係以包含前述第1面板的間隔壁的方式可拍攝至少兩處，又，從前述第2架台的背面側以包含光電轉換面板的光電轉換元件之方式可拍攝至少兩處，且，B.前述演算手段係使用所輸入的拍攝資料，至少，a)在各拍攝區域中選擇畫素或光電轉換元件(其中，使選擇的格子或光電轉換元件之相對的配置資訊一致)，b)在已選擇的畫素或光電轉換元件內設定基準點(其中，使基準點的格子或光電轉換元件內的絕對位置一致)，c)以各對向的區域中之基準點間的距離的和成為最小的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉的方向、作動的長度及旋轉角，並輸出。
7. 一種放射線檢測器的製造裝置，係面板的貼合裝置，其特徵為具有：第1架台，載置第1面板；第2架台，載置第2面板；第1拍攝裝置，與前述第1架台對向配置，拍攝前述第1面板； 第2拍攝裝置，與前述第2架台對向配置，拍攝第2面板；演算手段，係依據藉由前述第1拍攝裝置及第2拍攝裝置所拍攝之第1面板及第2面板的影像，進行演算處理；位置調整手段，依據前述演算處理的結果，使前述第1架台及/或第2架台運轉以使前述第1面板與前述第2面板平行地配置在對向位置；及貼合手段，在保持著水平面的相對位置的狀態下將前述第1面板與前述第2面板重疊而貼合，其中，前述第1面板係為在以同一間距呈矩陣狀形成於片狀基材上而成的格子狀間隔壁、與由該格子狀間隔壁所包圍的單元，配置有藉由放射線的照射而發出可視光之材料而成的發光體面板(將前述單元內配置有前述發光材料而成的構成簡稱為畫素)；前述第2面板係為檢測可視光的光電轉換元件以同一間距呈矩陣狀配列在片狀透明基材上而成的光電轉換面板；由前述間隔壁劃分的單元的間距與前述光電轉換元件的間距，係在對向配置時重疊的至少兩個方向上為相等或者為另一者的整數倍的關係，藉前述第1拍攝裝置及第2拍攝裝置所拍攝之發光體面板及光電轉換面板的區域，係為前述兩個方向於對向配置時配置成重疊時處於對向位置，且含有配置資訊為已知的畫素或元件之區域時， A.前述第1拍攝裝置係以包含前述第1面板的間隔壁的方式至少可拍攝兩處，前述第2拍攝裝置係以包含光電轉換面板的光電轉換元件之方式至少可拍攝兩處，B.前述演算手段係使用所輸入的拍攝資料，至少，a)在各拍攝區域中選擇畫素或光電轉換元件(其中，使選擇的格子或光電轉換元件之相對的配置資訊一致)，b)在已選擇的畫素或光電轉換元件內設定基準點(其中，使基準點的格子或光電轉換元件內的絕對位置一致)，c)以各對向的區域中之基準點間的距離的和成為最小的方式，演算使載置有發光面板或光電轉換元件面板的架台運轉之方向、作動的長度及旋轉角，並輸出。
8. 如請求項6或7之放射線檢測器的製造裝置，其中前述貼合手段係具有加壓前述第1面板與前述第2面板的彈性輥或墊。