TW201939041A - 探針卡線上調針維修系統及其方法 - Google Patents

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Abstract

一種探針卡線上調針維修方法，該探針卡係經一預定時間使用，該探針卡線上調針維修方法之步驟包含有：擷取第一影像資訊，一第一影像擷取單元擷取一探針卡之複數個探針的一第一影像資訊，並將該第一影像資訊提供給一控制單元；擷取第二影像資訊，一第二影像擷取單元擷取該些探針的一第二影像資訊，並將該第二影像資訊提供給該控制單元；找出變形量，該控制單元依據該第一影像資訊與該第二影像資訊，以找出各探針之變形量。

Description

探針卡線上調針維修系統及其方法
一種探針卡線上調針維修系統及其方法，尤指一種利用影像擷取單元擷取探針卡之探針於不同軸向的影像資訊，再藉由判讀該影像資訊，以即時找出探針之變形量。
現行的探針量測機台係利用探針卡的探針接觸待測物，再藉由所回饋的導電性，而得知待測物是否異常。然於多次量測後，對同一位置產生有重複性錯誤時，此時才會反應探針之位置狀態可能有問題。
當探針之位置狀態可能有問題時，工作人員會將探針卡拆卸下來，以作位置檢測，其係耗時且費工。
由於探針量測係藉由探針接觸待測物後，再進電性量測，其係屬破壞性量測，若探針位置有問題，而未能及時偵測預防，繼續以破壞性方式量測待測物，可能使位置狀態錯誤的探針扎錯位置，而對待測物造成不可回復之損壞。
有鑑於此，本發明之目的在於提供一種探針卡線上調針維修系統及其方法，其係利用影像擷取單元擷取探針卡之探針於不同軸向的影像資訊，再藉由判讀該影像資訊，以即時找出探針之變形量。
本發明之技術手段為一種探針卡線上調針維修方法，該探針卡係經一預定時間使用，該探針卡線上調針維修方法之步驟包含有： 擷取第一影像資訊，一第一影像擷取單元擷取一探針卡之複數個探針的一第一影像資訊，並將該第一影像資訊提供給一控制單元； 擷取第二影像資訊，一第二影像擷取單元擷取該些探針的一第二影像資訊，並將該第二影像資訊提供給該控制單元； 找出變形量，該控制單元依據該第一影像資訊與該第二影像資訊，以找出各探針之變形量。
於一實施例，一判斷變形量是否超出一預定數值之步驟，若否，則該控制單元不動作；若是，則該控制單元發出一警示訊號，或者至一清潔程序。
於一實施例，該清潔程序之步驟包含有： 啟動清針，該探針進行一按壓清潔模組或一檢測電性之步驟，並將該檢測電性之步驟所檢測之結果回饋給該控制單元，以供該控制單元作判斷；該按壓清潔模組，其係使該些探針按壓一清潔模組，以去除該些探針之沾黏物，或者該些探針按壓該清潔模組，以調整該些探針；該檢測電性係為該探針卡移動至一導電模組，該些探針係接觸該導電模組，以偵測該些探針的導電性；提供負壓給該清潔模組，以使該負壓吸附該沾黏物； 判斷是否導電性正常，若為否，則再執行該按壓清潔模組之步驟；若為是，該些探針完成清潔，該探針卡則完成清針動作；若重覆多次該按壓清潔模組織步驟，該些探針仍未達到正常導電性時，該控制單元係產生一警示訊號，該重覆多次之次數為一設定值。
一種探針卡線上調針維修系統，該探針卡係經一預定時間使用，該探針卡線上調針維修系統包含有： 一控制單元； 一第一影像擷取單元，其係訊號連接該控制單元；以及 一第二影像擷取單元，其係訊號連接該控制單元； 其中，該第一影像擷取單元擷取一探針卡之複數個探針的一第一影像資訊，並將該第一影像資訊提供給該控制單元；該第二影像擷取單元擷取該些探針的一第二影像資訊，並將該第二影像資訊提供給該控制單元；該控制單元依據該第一影像資訊與該第二影像資訊，以找出各探針之變形量。
於一實施例，該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元係設於一基座，該控制單元控制該基座以水平方式移動、垂直方式移動或擺動方式轉動，而使該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元移動至該影像擷取位置。
於一實施例，一清潔模組、一負壓模組與一導電模組；該負壓模組係耦接該清潔模組；該導電模組係相鄰於該清潔模組；該些探針係按壓該清潔模組，以去除該些探針之沾黏物；該負壓模組係提供一負壓給該清潔模組，以吸附該沾黏物；該些探針係接觸該導電模組，以偵測該些探針的導電性；該清潔模組為一多孔性材質；該負壓模組係耦接該多孔性材質的孔；該導電模組為一導電材質。
綜合上述，本發明之一種探針卡線上調針維修系統及其方法，可即時利用第一影像擷取單元與第二影像擷取單元進行檢測，藉以縮短檢測時間且降低人工的消耗。再者，本發明可即時偵測預防探針變形造成針尖位置錯誤，以避免探針扎錯位置而破壞性待測物，同時，不會對待測物造成不可回復之損壞。
請配合第1圖所示，本發明係一種探針卡線上調針維修系統，其具有一基座10、一第一影像擷取單元12、一第二影像擷取單元11與一控制單元13。
第一影像擷取單元12與第二影像擷取單元11係設於基座10。基座10、第一影像擷取單元12與第二影像擷取單元11係訊號連接控制單元13。
第一影像擷取單元12擷取一探針卡20之複數個探針21的一第一影像資訊，並將該第一影像資訊提供給控制單元13。第二影像擷取單元11擷取該些探針21的一第二影像資訊，並將第二影像資訊提供給控制單元13。控制單元13依據第一影像資訊與第二影像資訊，以找出各探針21之變形量。
請配合參考第2圖所示，本發明更具有一清潔模組30、一負壓模組31與一導電模組32。
清潔模組30具有複數個孔300。清潔模組30為一多孔性材質。該多孔性材質為陶瓷。導電模組32係相鄰於清潔模組30。導電模組32為一導電材質，導電材質為鍍金塊。負壓模組31係耦接清潔模組30之孔300。
探針21係按壓清潔模組30，以去除探針21之沾黏物。負壓模組31係提供一負壓給清潔模組30，以吸附該沾黏物，進而避免沾黏物在機台內揚飛而造成對待測物之污染。探針21係接觸導電模組32，以偵測探針的導電性。
請配合參考第3圖與第1圖所示，本發明係一種探針卡線上調針維修方法，其步驟包含有：
步驟S1，擷取第一影像資訊。一探針卡20係移動至一影像擷取位置，並等待一產品(待測物)退出影像擷取位置。探針卡20具有複數個探針21。控制單元13控制基座10以水平方式移動、垂直方式移動或擺動方式轉動，而使第一影像擷取單元12與第二影像擷取單元11移動至影像擷取位置。第一影像擷取單元12係以一第一軸向擷取探針卡20之探針21的針尖之第一影像資訊。第一影像資訊係提供給控制單元10。
步驟S2，擷取第二影像資訊。第二影像擷取單元11係以一第二軸向擷取探針卡20之探針21的針尖之第一影像資訊。第二影像資訊係提供給控制單元10。如前所述，第一影像擷取單元12與第二影像擷取單元11移動至影像擷取位置，而各自以不同軸向對探針21之針尖擷取第一影像資訊與第二影像資訊。
於另一實施例中，第一影像擷取單元12與第二影像擷取單元11亦可同時對探針21的針尖進行影像擷取；或者由第二影像擷取單元11先進行影像擷取後，再由第一影像擷取單元12進行影像擷取。
步驟S3，找出變形量。請配合參考第4圖所示，控制單元10依據針尖211之第一影像資訊與第二影像資訊找出各探針21的變形量。若更進一步說明，第一影像資訊係顯示該些探針21之針尖211於第一軸向的位置狀態，若該些探針21之針尖211超出第一預定數值A，則表示針尖211於第一軸向具有變形量。假若，針尖211未超出第一預定數值A，則表示針尖211於第一軸向之位置尚在容許範圍內。
請配合參考第5圖所示，第二影像資訊係顯示該些探針21之針尖211於第二軸向的位置狀態，若該些探針21之針尖211超出第二預定數值B，則表示針尖211於第二軸向具有變形量。假若，針尖211未超出第二預定數值B，則表示針尖211於第二軸向之位置尚在容許範圍內。
步驟S4，判斷變形量是否超出一預定數值。若否，則控制單元13不動作；若是，則控制單元13發出一警示訊號，或者至一清潔程序。警示訊號可為聲音、光線、閃光、訊息或電信訊息，藉以通知操作者進行檢測或維修。
承上所述，請配合參考第6圖與第2圖所示，若至清潔程序，其步驟包含有：
步驟S5，啟動清針。探針21進行一按壓清潔模組（步驟S6）或一檢測電性（步驟S8）之步驟，並將該檢測電性（步驟S8）之步驟所檢測之結果回饋給該控制單元，以供該控制單元作判斷。
步驟S6，按壓清潔模組。探針卡20之探針21按壓清潔模組30，以去除探針21之沾黏物；或者探針21按壓清潔模組30，以調整探針21於第一軸向或第二軸向之位置。
步驟S7，負壓吸附沾黏物。負壓模組31係提供負壓給清潔模組30的孔300，以使清潔模組30的孔300吸附沾黏物。
步驟S8，檢測電性。探針卡20移動至導電模組32，探針21係接觸導電模組32，以偵測探針21的導電性，並將檢測電性之結果回饋給控制單元13。
步驟S9，判斷是否導電性正常。若為否，則再執行步驟S6之按壓清潔模組的步驟；若為是，探針21完成清潔，探針卡20則完成清針動作；若重覆多次步驟S6之按壓清潔模組織的步驟，探針21仍未達到正常導電性時，控制單元13係產生一警示訊號，該重覆多次之次數為一設定值。警示訊號可為聲音、光線、閃光、訊息或電信訊息。
前述之實施例中，如第4圖或第5圖所示，該控制單元13係判斷探尖211之位置是否有超出第一預定數值A或第二預定數值B。然而，在另一實施例中，由於該探針卡20在上線使用前，其上之各探針21之位置是已知，而各探針21之針尖211彼此相互之相對位置也是已知，因此，該控制單元13亦可判斷各針尖211彼此相互之相對位置是否有超出一預定數值。
綜合上述，本發明之一種探針卡線上調針維修系統及其方法，其係為第一影像擷取單元12與第二影像擷取單元11移動至影像擷取位置，而各自以不同軸向對探針21之針尖擷取第一影像資訊與第二影像資訊。控制單元再藉由第一影像資訊與第二影像資訊，以找出變形量或判斷變形量是否超出預定數值。
若變形量超出預定數值，則可進一步利用清潔模組調整探針21，或者去除位於探針21之沾黏物。如此，當探針21之位置狀態有問題時，可即時利用第一影像擷取單元12與第二影像擷取單元11進行檢測，藉以縮短檢測時間且降低人工的消耗。再者，本發明可即時偵測預防，以避免破壞性方式量測待測物，同時，不會對待測物造成不可回復之損壞。
以上所述之具體實施例，僅係用於例釋本發明之特點及功效，而非用於限定本發明之可實施範疇，於未脫離本發明上揭之精神與技術範疇下，任何運用本發明所揭示內容而完成之等效改變及修飾，均仍應為下述之申請專利範圍所涵蓋。
10‧‧‧基座
11‧‧‧第二影像擷取單元
12‧‧‧第一影像擷取單元
13‧‧‧控制單元
20‧‧‧探針卡
21‧‧‧探針
211‧‧‧針尖
30‧‧‧清潔模組
300‧‧‧孔
31‧‧‧負壓模組
32‧‧‧導電模組
S1~S9‧‧‧步驟
A‧‧‧第一預定數值
B‧‧‧第二預定數值
第1圖為本發明之一種探針卡線上調針維修系統之示意圖。 第2圖為一清潔模組、一負壓模組與一導電模組之示意圖。 第3圖為本發明之一種探針卡線上調針維修方法之流程示意圖。 第4圖為一第一影像資訊之示意圖。 第5圖為一第二影像資訊之示意圖。 第6圖為一清潔程序之流程示意圖。

Claims (10)

  1. 一種探針卡線上調針維修方法，該探針卡係經一預定時間使用，該探針卡線上調針維修方法之步驟包含有： 擷取第一影像資訊，一第一影像擷取單元擷取一探針卡之複數個探針的一第一影像資訊，並將該第一影像資訊提供給一控制單元； 擷取第二影像資訊，一第二影像擷取單元擷取該些探針的一第二影像資訊，並將該第二影像資訊提供給該控制單元； 找出變形量，該控制單元依據該第一影像資訊與該第二影像資訊，以找出各探針之變形量。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡線上調針維修方法，其更具有一判斷變形量是否超出一預定數值之步驟，若否，則該控制單元不動作；若是，則該控制單元發出一警示訊號，或者至一清潔程序。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡線上調針維修方法，其中該探針卡係移動至一影像擷取位置，並等待一產品退出該影像擷取位置，該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元移動至該影像擷取位置，而各自以不同軸向對該些探針之針尖擷取該第一影像資訊與該第二影像資訊； 於該找出變形量之步驟中，該控制單元依據該些針尖的第一影像資訊與該第二影像資訊，以找出各探針之變形量。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡線上調針維修方法，其中該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元係設於一基座，該控制單元控制該基座以水平方式移動、垂直方式移動或擺動方式轉動，而使該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元移動至該影像擷取位置。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之探針卡線上調針維修方法，其中該清潔程序之步驟包含有： 啟動清針，該探針進行一按壓清潔模組或一檢測電性之步驟，並將該檢測電性之步驟所檢測之結果回饋給該控制單元，以供該控制單元作判斷；該按壓清潔模組，其係使該些探針按壓一清潔模組，以去除該些探針之沾黏物，或者該些探針按壓該清潔模組，以調整該些探針；該檢測電性係為該探針卡移動至一導電模組，該些探針係接觸該導電模組，以偵測該些探針的導電性；提供負壓給該清潔模組，以使該負壓吸附該沾黏物； 判斷是否導電性正常，若為否，則再執行該按壓清潔模組之步驟；若為是，該些探針完成清潔，該探針卡則完成清針動作；若重覆多次該按壓清潔模組織步驟，該些探針仍未達到正常導電性時，該控制單元係產生一警示訊號，該重覆多次之次數為一設定值。
  6. 如申請專利範圍第2或4項所述之探針卡線上調針維修方法，其中該第一影像資訊係為該些探針於一第一軸向的影像；該第二影像資訊係為該些探針於一第二軸向的影像。
  7. 一種探針卡線上調針維修系統，該探針卡係經一預定時間使用，該探針卡線上調針維修系統包含有： 一控制單元； 一第一影像擷取單元，其係訊號連接該控制單元；以及 一第二影像擷取單元，其係訊號連接該控制單元； 其中，該第一影像擷取單元擷取一探針卡之複數個探針的一第一影像資訊，並將該第一影像資訊提供給該控制單元；該第二影像擷取單元擷取該些探針的一第二影像資訊，並將該第二影像資訊提供給該控制單元；該控制單元依據該第一影像資訊與該第二影像資訊，以找出各探針之變形量。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之探針卡線上調針維修系統，其中該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元係設於一基座，該控制單元控制該基座以水平方式移動、垂直方式移動或擺動方式轉動，而使該第一影像擷取單元與該第二影像擷取單元移動至該影像擷取位置。
  9. 如申請專利範圍第7項所述之探針卡線上調針維修系統，其中該第一影像擷取單元係擷取該些探針之針尖的該第一影像資訊；該第二影像擷取單元係擷取該些針尖的該第二影像資訊。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之探針卡線上調針維修系統，其更具有一清潔模組、一負壓模組與一導電模組；該負壓模組係耦接該清潔模組；該導電模組係相鄰於該清潔模組；該些探針係按壓該清潔模組，以去除該些探針之沾黏物；該負壓模組係提供一負壓給該清潔模組，以吸附該沾黏物；該些探針係接觸該導電模組，以偵測該些探針的導電性；該清潔模組為一多孔性材質；該負壓模組係耦接該多孔性材質的孔；該導電模組為一導電材質。
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