CN110230989A - 探针卡在线调针维修系统及其方法 - Google Patents

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李茂衫
吴松霖
吴振文
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    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge

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Abstract

本发明公开了一种探针卡在线调针维修系统及其方法，该探针卡经一预定时间使用，该探针卡在线调针维修方法的步骤包含有：撷取第一影像信息，一第一影像撷取单元撷取一探针卡的多个探针的一第一影像信息，并将该第一影像信息提供给一控制单元；撷取第二影像信息，一第二影像撷取单元撷取该多个探针的一第二影像信息，并将该第二影像信息提供给该控制单元；找出变形量，该控制单元依据该第一影像信息与该第二影像信息，以找出各探针的变形量。

Description

探针卡在线调针维修系统及其方法
技术领域
本发明涉及一种探针卡在线调针维修系统及其方法，尤指一种利用影像撷取单元撷取探针卡的探针于不同轴向的影像信息，再通过判读该影像信息，以实时找出探针的变形量。
背景技术
现行的探针测量机台利用探针卡的探针接触待测物，再通过所回馈的导电性得知待测物是否异常。但是，于多次测量后，对同一位置产生有重复性错误时，此时才会反应探针的位置状态可能有问题。
当探针的位置状态可能有问题时，工作人员会将探针卡拆卸下来，以作位置检测，其耗时且费工。
由于探针测量是通过探针接触待测物后再进电性测量，其属破坏性测量，若探针位置有问题而未能及时侦测预防，继续以破坏性方式测量待测物，可能使位置状态错误的探针扎错位置，从而对待测物造成不可回复的损坏。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种探针卡在线调针维修系统及其方法，其利用影像撷取单元撷取探针卡的探针于不同轴向的影像信息，再通过判读该影像信息，以实时找出探针的变形量。
本发明的技术手段为一种探针卡在线调针维修方法，该探针卡经一预定时间使用，该探针卡在线调针维修方法的步骤包含有：
撷取第一影像信息，一第一影像撷取单元撷取一探针卡的多个探针的一第一影像信息，并将该第一影像信息提供给一控制单元；
撷取第二影像信息，一第二影像撷取单元撷取该多个探针的一第二影像信息，并将该第二影像信息提供给该控制单元；
找出变形量，该控制单元依据该第一影像信息与该第二影像信息，以找出各探针的变形量。
于一实施例，一判断变形量是否超出一预定数值的步骤，若否，则该控制单元不动作；若是，则该控制单元发出一警示信号，或者至一清洁程序。
于一实施例，该清洁程序的步骤包含有：
启动清针，该探针进行一按压清洁模块或一检测电性的步骤，并将该检测电性的步骤所检测的结果回馈给该控制单元，以供该控制单元作判断；该按压清洁模块，其使该多个探针按压一清洁模块，以去除该多个探针的沾黏物，或者该多个探针按压该清洁模块，以调整该多个探针；该检测电性为该探针卡移动至一导电模块，该多个探针接触该导电模块，以侦测该多个探针的导电性；提供负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物；
判断是否导电性正常，若为否，则再执行该按压清洁模块的步骤；若为是，该多个探针完成清洁，该探针卡则完成清针动作；若重复多次该按压清洁模组织步骤，该多个探针仍未达到正常导电性时，该控制单元产生一警示信号，该重复多次的次数为一设定值。
本发明还公开了一种探针卡在线调针维修系统，该探针卡经一预定时间使用，该探针卡在线调针维修系统包含有：
一控制单元；
一第一影像撷取单元，其信号连接该控制单元；以及
一第二影像撷取单元，其信号连接该控制单元；
其中，该第一影像撷取单元撷取一探针卡的多个探针的一第一影像信息，并将该第一影像信息提供给该控制单元；该第二影像撷取单元撷取该多个探针的一第二影像信息，并将该第二影像信息提供给该控制单元；该控制单元依据该第一影像信息与该第二影像信息，以找出各探针的变形量。
于一实施例，该第一影像撷取单元与该第二影像撷取单元设于一基座，该控制单元控制该基座以水平方式移动、垂直方式移动或摆动方式转动，以使该第一影像撷取单元与该第二影像撷取单元移动至该影像撷取位置。
于一实施例，探针卡在线调针维修系统更具有一清洁模块、一负压模块与一导电模块；该负压模块耦接该清洁模块；该导电模块相邻于该清洁模块；该多个探针按压该清洁模块，以去除该多个探针的沾黏物；该负压模块提供一负压给该清洁模块，以吸附该沾黏物；该多个探针接触该导电模块，以侦测该多个探针的导电性；该清洁模块为一多孔性材质；该负压模块耦接该多孔性材质的孔；该导电模块为一导电材质。
综合上述，本发明提供的一种探针卡在线调针维修系统及其方法可实时利用第一影像撷取单元与第二影像撷取单元进行检测，以缩短检测时间且降低人工的消耗。另外，本发明可实时侦测预防探针变形造成针尖位置错误，以避免探针扎错位置而破坏性待测物，同时，不会对待测物造成不可回复的损坏。
附图说明
图1为本发明的一种探针卡在线调针维修系统的示意图。
图2为一清洁模块、一负压模块与一导电模块的示意图。
图3为本发明的一种探针卡在线调针维修方法的流程示意图。
图4为一第一影像信息的示意图。
图5为一第二影像信息的示意图。
图6为一清洁程序的流程示意图。
附图标记说明：10-基座；11-第二影像撷取单元；12-第一影像撷取单元；13-控制单元；20-探针卡；21-探针；211-针尖；30-清洁模块；300-孔；31-负压模块；32-导电模块；S1～S9-步骤；A-第一预定数值；B-第二预定数值。
具体实施方式
请配合图1所示，本发明提供一种探针卡在线调针维修系统，其具有一基座10、一第一影像撷取单元12、一第二影像撷取单元11与一控制单元13。
第一影像撷取单元12与第二影像撷取单元11设于基座10。基座10、第一影像撷取单元12与第二影像撷取单元11信号连接控制单元13。
第一影像撷取单元12撷取一探针卡20的多个探针21的一第一影像信息，并将该第一影像信息提供给控制单元13。第二影像撷取单元11撷取该多个探针21的一第二影像信息，并将第二影像信息提供给控制单元13。控制单元13依据第一影像信息与第二影像信息，以找出各探针21的变形量。
请配合参考图2所示，本发明更具有一清洁模块30、一负压模块31与一导电模块32。
清洁模块30具有多个孔300。清洁模块30为一多孔性材质。该多孔性材质为陶瓷。导电模块32相邻于清洁模块30。导电模块32为一导电材质，导电材质为镀金块。负压模块31耦接清洁模块30的孔300。
探针21按压清洁模块30，以去除探针21的沾黏物。负压模块31提供一负压给清洁模块30，以吸附该沾黏物，进而避免沾黏物在机台内扬飞而造成对待测物的污染。探针21接触导电模块32，以侦测探针的导电性。
请配合参考图3与图1所示，本发明提供一种探针卡在线调针维修方法，其步骤包含有：
步骤S1，撷取第一影像信息。一探针卡20移动至一影像撷取位置，并等待一产品(待测物)退出影像撷取位置。探针卡20具有多个探针21。控制单元13控制基座10以水平方式移动、垂直方式移动或摆动方式转动，以使第一影像撷取单元12与第二影像撷取单元11移动至影像撷取位置。第一影像撷取单元12以一第一轴向撷取探针卡20的探针21的针尖的第一影像信息。第一影像信息提供给控制单元10。
步骤S2，撷取第二影像信息。第二影像撷取单元11以一第二轴向撷取探针卡20的探针21的针尖的第一影像信息。第二影像信息提供给控制单元10。如前所述，第一影像撷取单元12与第二影像撷取单元11移动至影像撷取位置而各自以不同轴向对探针21的针尖撷取第一影像信息与第二影像信息。
于另一实施例中，第一影像撷取单元12与第二影像撷取单元11亦可同时对探针21的针尖进行影像撷取；或者由第二影像撷取单元11先进行影像撷取后，再由第一影像撷取单元12进行影像撷取。
步骤S3，找出变形量。请配合参考图4所示，控制单元10依据针尖211的第一影像信息与第二影像信息找出各探针21的变形量。若更进一步说明，第一影像信息显示该多个探针21的针尖211于第一轴向的位置状态，若该多个探针21的针尖211超出第一预定数值A，则表示针尖211于第一轴向具有变形量。假若，针尖211未超出第一预定数值A，则表示针尖211于第一轴向的位置尚在容许范围内。
请配合参考图5所示，第二影像信息显示该多个探针21的针尖211于第二轴向的位置状态，若该多个探针21的针尖211超出第二预定数值B，则表示针尖211于第二轴向具有变形量。如果针尖211未超出第二预定数值B，则表示针尖211于第二轴向的位置尚在容许范围内。
步骤S4，判断变形量是否超出一预定数值。若否，则控制单元13不动作；若是，则控制单元13发出一警示信号，或者至一清洁程序。警示信号可为声音、光线、闪光、信息或电子信号，以通知操作者进行检测或维修。
承上所述，请配合参考图6与图2所示，若至清洁程序，其步骤包含有：
步骤S5，启动清针。探针21进行一按压清洁模块(步骤S6)或一检测电性(步骤S8)的步骤，并将该检测电性(步骤S8)的步骤所检测的结果回馈给该控制单元，以供该控制单元作判断。
步骤S6，按压清洁模块。探针卡20的探针21按压清洁模块30，以去除探针21的沾黏物；或者探针21按压清洁模块30，以调整探针21于第一轴向或第二轴向的位置。
步骤S7，负压吸附沾黏物。负压模块31提供负压给清洁模块30的孔300，以使清洁模块30的孔300吸附沾黏物。
步骤S8，检测电性。探针卡20移动至导电模块32，探针21接触导电模块32，以侦测探针21的导电性，并将检测电性的结果回馈给控制单元13。
步骤S9，判断是否导电性正常。若为否，则再执行步骤S6的按压清洁模块的步骤；若为是，探针21完成清洁，探针卡20则完成清针动作；若重复多次步骤S6的按压清洁模组织的步骤，探针21仍未达到正常导电性时，控制单元13产生一警示信号，该重复多次的次数为一设定值。警示信号可为声音、光线、闪光、信息或电子信号。
前述的实施例中，如图4或图5所示，该控制单元13判断探尖211的位置是否有超出第一预定数值A或第二预定数值B。然而，在另一实施例中，由于该探针卡20在上线使用前，其上的各探针21的位置是已知，而各探针21的针尖211彼此相互的相对位置也是已知，因此，该控制单元13亦可判断各针尖211彼此相互的相对位置是否有超出一预定数值。
综合上述，本发明提供的一种探针卡在线调针维修系统及其方法，其为第一影像撷取单元12与第二影像撷取单元11移动至影像撷取位置而各自以不同轴向对探针21的针尖撷取第一影像信息与第二影像信息。控制单元再通过第一影像信息与第二影像信息，以找出变形量或判断变形量是否超出预定数值。
若变形量超出预定数值，则可进一步利用清洁模块调整探针21，或者去除位于探针21的沾黏物。如此，当探针21的位置状态有问题时，可实时利用第一影像撷取单元12与第二影像撷取单元11进行检测，以缩短检测时间且降低人工的消耗。另外，本发明可实时侦测预防，以避免破坏性方式测量待测物，同时，不会对待测物造成不可回复的损坏。
以上所述的具体实施例仅用于例释本发明的特点及功效，而非用于限定本发明的可实施范畴，于未脱离本发明上揭的精神与技术范畴下，任何运用本发明所揭示内容而完成的等效改变及修饰，均仍应为本案保护范围所涵盖。

Claims (10)

1.一种探针卡在线调针维修方法，该探针卡经一预定时间使用，其特征在于，该探针卡在线调针维修方法的步骤包含有：
撷取第一影像信息，一第一影像撷取单元撷取一探针卡的多个探针的一第一影像信息，并将该第一影像信息提供给一控制单元；
撷取第二影像信息，一第二影像撷取单元撷取该多个探针的一第二影像信息，并将该第二影像信息提供给该控制单元；
找出变形量，该控制单元依据该第一影像信息与该第二影像信息，以找出各探针的变形量。
2.如权利要求1所述的探针卡在线调针维修方法，其特征在于，更具有一判断变形量是否超出一预定数值的步骤，若否，则该控制单元不动作；若是，则该控制单元发出一警示信号，或者至一清洁程序。
3.如权利要求1所述的探针卡在线调针维修方法，其特征在于，该探针卡移动至一影像撷取位置并等待一产品退出该影像撷取位置，该第一影像撷取单元与该第二影像撷取单元移动至该影像撷取位置而各自以不同轴向对该多个探针的针尖撷取该第一影像信息与该第二影像信息；
于该找出变形量的步骤中，该控制单元依据该多个针尖的第一影像信息与该第二影像信息，以找出各探针的变形量。
4.如权利要求1所述的探针卡在线调针维修方法，其特征在于，该第一影像撷取单元与该第二影像撷取单元设于一基座，该控制单元控制该基座以水平方式移动、垂直方式移动或摆动方式转动，以使该第一影像撷取单元与该第二影像撷取单元移动至该影像撷取位置。
5.如权利要求2所述的探针卡在线调针维修方法，其特征在于，该清洁程序的步骤包含有：
启动清针，该探针进行一按压清洁模块或一检测电性的步骤，并将该检测电性的步骤所检测的结果回馈给该控制单元，以供该控制单元作判断；该按压清洁模块使该多个探针按压一清洁模块，以去除该多个探针的沾黏物，或者该多个探针按压该清洁模块，以调整该多个探针；该检测电性为该探针卡移动至一导电模块，该多个探针接触该导电模块，以侦测该多个探针的导电性；提供负压给该清洁模块，以使该负压吸附该沾黏物；
判断是否导电性正常，若为否，则再执行该按压清洁模块的步骤；若为是，该多个探针完成清洁，该探针卡则完成清针动作；若重复多次该按压清洁模组织步骤，该多个探针仍未达到正常导电性时，该控制单元产生一警示信号，该重复多次的次数为一设定值。
6.如权利要求2或4所述的探针卡在线调针维修方法，其特征在于，该第一影像信息为该多个探针于一第一轴向的影像；该第二影像信息为该多个探针于一第二轴向的影像。
7.一种探针卡在线调针维修系统，该探针卡经一预定时间使用，其特征在于，该探针卡在线调针维修系统包含有：
一控制单元；
一第一影像撷取单元，其信号连接该控制单元；以及
一第二影像撷取单元，其信号连接该控制单元；
其中，该第一影像撷取单元撷取一探针卡的多个探针的一第一影像信息，并将该第一影像信息提供给该控制单元；该第二影像撷取单元撷取该多个探针的一第二影像信息，并将该第二影像信息提供给该控制单元；该控制单元依据该第一影像信息与该第二影像信息，以找出各探针的变形量。
8.如权利要求7所述的探针卡在线调针维修系统，其特征在于，该第一影像撷取单元与该第二影像撷取单元设于一基座，该控制单元控制该基座以水平方式移动、垂直方式移动或摆动方式转动，以使该第一影像撷取单元与该第二影像撷取单元移动至该影像撷取位置。
9.如权利要求7所述的探针卡在线调针维修系统，其特征在于，该第一影像撷取单元撷取该多个探针的针尖的该第一影像信息；该第二影像撷取单元撷取该多个针尖的该第二影像信息。
10.如权利要求7所述的探针卡在线调针维修系统，其特征在于，更具有一清洁模块、一负压模块与一导电模块；该负压模块耦接该清洁模块；该导电模块相邻于该清洁模块；该多个探针按压该清洁模块，以去除该多个探针的沾黏物；该负压模块提供一负压给该清洁模块，以吸附该沾黏物；该多个探针接触该导电模块，以侦测该多个探针的导电性；该清洁模块为一多孔性材质；该负压模块耦接该多孔性材质的孔；该导电模块为一导电材质。
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