TW201917080A - 振動系統的控制裝置及工件搬送裝置 - Google Patents

Abstract

提供一種適用於零件進料器或超音波馬達等利用了振動之裝置，而可穩定、高效率地令它們驅動之振動系統的控制裝置。 　　設計成一種將複數個振動系統(1、2)透過共通的驅動指令予以驅動時被利用之物，振動系統(1、2)各自具有共振頻率(f1、f2)，目標頻率設定手段(31)，在該些共振頻率(f1、f2)之間設定目標頻率(fm)；及追蹤手段(32)，令驅動指令的頻率(fv)追蹤此目標頻率設定手段(31)設定的目標頻率(fm)。

Description

振動系統的控制裝置及工件搬送裝置

本發明有關適用於零件進料器或超音波馬達等利用了振動之裝置，而可穩定、高效率地令它們驅動之振動系統的控制裝置及工件搬送裝置。

習知，有如橢圓振動零件進料器或超音波馬達等這般具有複數個振動系統，而令它們以單一的頻率驅動藉此發揮種種機能之裝置。在此，所謂複數個振動系統，包含複數個構造物所成之振動系統、或具有複數個振動方向之振動系統、同一構造物之複數個振動模態，的任一種。

這樣的裝置中，為令其有效率地振動，多會以成為接近該些複數個振動系統的共振頻率之值之方式來進行設計、調整，而以它們的共振頻率附近的頻率來驅動。此外，有人提出一種控制，是因應複數個當中的一個振動系統的共振頻率來調節驅動頻率(例如參照專利文獻1、2)。

專利文獻1揭示超音波馬達的驅動電路，係構成為，以和驅動狀態相應的電壓(從驅動檢測用的壓電元件得到的電壓)、與對壓電體的施加電壓(對2個電極當中的一方的施加電壓)之相位差會成為事先設定好的相位差之方式，來控制驅動頻率。

另一方面，專利文獻2揭示橢圓振動零件進料器的驅動控制裝置，係構成為，以水平方向振動與垂直方向振動的其中一方的振幅會成為最大之方式，來設定輸出頻率。 [先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1] 日本特公平07-2023號公報 　　[專利文獻2] 日本特開平11-227926號公報

[發明所欲解決之問題]

然而，如圖12所示，各振動系統的共振頻率嚴格說來並不一致，而有偏差。此外，當由於溫度變化等而共振頻率變化的情形下，各振動系統的共振頻率未必會同樣地變化，料想偏差亦可能變大。

因此，習知的基於一個振動系統的共振頻率來調整驅動頻率之控制中，由於共振頻率的偏差的影響，裝置全體的效率不會成為最大。此外，各振動系統的振動的響應放大率(response magnification)的差距會變大，料想會發生在一部分的振動系統為了造出必要的振幅而必需有過大的振盪力、或在一部分的振動系統振幅不足等種種問題。

本發明是以有效解決該些問題為目的。 [解決問題之技術手段]

本發明為解決該問題，係為採取下述手段之物。

也就是說，本發明之振動系統的控制裝置，係將複數個振動系統透過共通的驅動指令予以驅動時被利用之物，其特徵為，前述各振動系統各自具有共振頻率，具備：目標頻率設定手段，在該些共振頻率之間設定目標頻率；及追蹤手段，令前述驅動指令的頻率追蹤前述目標頻率設定手段設定的目標頻率；而構成。

若依此方式構成，則不會偏坦一部分的共振頻率而能夠以取得全體性的平衡之頻率來驅動各振動系統。又，即使振動系統的共振頻率由於溫度等而變化之情形下，仍可以追蹤此之頻率來驅動振動系統。

在此情形下，較佳是，前述目標頻率設定手段，為一以前述各振動系統的相位與前述驅動指令的相位之間會成為規定的相位關係之方式來設定前述目標頻率之物，前述追蹤手段，為一進行將前述驅動指令的頻率設為前述目標頻率之反饋控制之物。

像這樣，若設計成透過相位來設定目標頻率，便不必搜索共振頻率，因此能夠不中斷驅動而持續控制。

具體而言，理想是，前述目標頻率設定手段，具備：相位差設定器，設於各振動系統；及相位差檢測器，檢測各振動系統中檢測到的相位與前述驅動指令的相位之相位差；及加法器，將前述各振動系統每一者的設定相位差與前述檢測相位差之偏差予以相加；基於藉由此加法器加算而成之合成偏差來生成前述驅動指令。

若依此方式構成，則不必使用相位搜索共振頻率，故能夠將控制裝置的構成簡化。

又，合適是，前述各振動系統中，前述相位差檢測器，將前述驅動指令的訊號與來自前述振動檢測器的檢測訊號予以相乘而取出直流成分，將其標準化(normalization)，藉此檢測相位差。

若依此方式構成，則不必以零交叉檢測等這般高解析力來進行取樣，因此可確實地檢測相位關係(∴取出直流成分而予以標準化之效果)。若依此方式構成，則即使當在各振動系統振幅相異之情形下，仍可除去其所造成之影響而進行確實的相位差檢測。

此外，另較佳是，前述目標頻率設定手段，為一檢測前述各振動系統的振動頻率而將目標頻率設定於其之間之物，前述追蹤手段，為一進行將前述驅動指令的頻率設為前述目標頻率之反饋控制之物。

若依此方式構成，則例如相位檢測困難的對象物中，仍能夠不倚賴相位而透過振動頻率相對簡單地設定目標頻率。

又，若將以上的控制裝置適用於具備：搬送部，將工件以載置之狀態予以搬送；及行進波產生手段，藉由相位相異的駐波被合成而產生用來令前述搬送部撓曲振動(flexural vibration)之行進波；之工件搬送裝置，而設計成藉由上述控制裝置來控制此工件搬送裝置的行進波產生手段，則可使其以高效率發揮穩定的搬送能力。 [發明之效果]

按照以上說明之本發明，能夠提供一種當適用於零件進料器或超音波馬達等利用了振動之裝置的情形下，可穩定、高效率地令它們驅動之新穎有用的振動系統的控制裝置及工件搬送裝置。

以下，參照圖面說明本發明之一實施形態。

圖1為將本實施形態之振動系統的控制裝置C以方塊圖表示而成者。此控制裝置C，帶有第一、第二振動系統1、2，而具有各振動系統1、2的共振頻率f1、f2會落在相近值這樣的振動部(1x、2x)。作為像這樣共振頻率f1、f2落在相近值這樣的振動系統，例如可舉出以複數個振動模態來振盪具有空間相位差之複數處，藉此使行進波產生之零件進料器等的超音波振動系統、或透過往XYZ方向之振動來使橢圓振動產生之平面搬送裝置等的彈簧-質量-阻尼振動系統等。

具體而言，第一、第二振動系統1，2，各自藉由第一、第二振盪器11、21而被振盪。

藉由發訊器等的驅動指令生成部32a而生成之頻率可變而為正弦波或矩形波等的周期訊號，會藉由第一、第二放大器12、22被放大而被輸入給第一、第二振盪器11、21。有關第二振盪器21，係被輸入將來自驅動指令生成部32的周期訊號於移相器23將相位錯開而藉由第二放大器22予以放大而成者，以便賦予以第一振動系統1為基準之相對的相位差。

也就是說，來自驅動指令生成部32的周期訊號，會被輸入至第一放大器12，並且藉由移相器23將相位錯開而被輸入至第二放大器22。

在此，若為通常的控制，通例是構成為，在檢測第一振動系統1的振動波形之位置設置第一振動檢測器14，並且設置第一相位差檢測器15來輸入藉由驅動指令生成部32生成之周期訊號與藉由第一振動檢測器14檢測之訊號，以在此處該相位差△f1會成為90°之方式來藉由目標頻率設定手段31調整頻率，而控制驅動指令生成部32。同時，會構成為將該驅動頻率藉由移相器23來改變相位而驅動第二振動系統2。

然而，如前述般藉由第一振動系統1的共振頻率f1來驅動全體之控制，於第二振動系統2中會成為偏離共振頻率f2之驅動，因此在與第一振動系統1之間響應放大率的差距會變大，料想會發生為了在第二振動系統2造出必要的振幅而第二放大器22必需要過大的振盪力、或振幅不足等種種問題。這在設計成藉由第二振動系統2的共振頻率f2來驅動全體的情形下狀況亦同。

鑑此本實施形態，是也於第二振動系統2側，在檢測該第二振動系統2的振動波形之位置設置第二振動檢測器24，並且設置第二相位差檢測器25來輸入藉由驅動指令生成部32被生成而藉由移相器23被相位調整後之周期訊號與藉由第二驅動檢測器24檢測之訊號而檢測相位差△f2，將此相位差和前述的第一相位差檢測器15的相位差一起輸入至目標頻率設定手段31。

目標頻率設定手段(頻率調整器)31，由第一、第二相位差檢測器15、25的輸出f1、f2，將第一振動系統1與第二振動系統2的共振頻率f1、f2之頻率訂為目標頻率fm而調節藉由驅動指令生成部32被生成之驅動指令的頻率fv。

像這樣，於調節驅動指令的頻率fv之際，目標頻率設定手段31是使用複數個振動系統1，2各自的指令一響應間相位差來設定頻率。然後，以驅動指令生成部32作為追蹤手段，令驅動頻率fv追蹤該目標頻率fm。

針對目標頻率設定手段31與追蹤手段32，更具體而言是採用如圖2般的構成。

目標頻率設定手段31，具備第一、第二相位差設定器31A1、31B1，藉由減法器30a、30b各自求出與第一、第二相位差檢測器15、25的輸出訊號之偏差。對於各自之偏差，能夠藉由調整增益調整部31A2、31B2來調整權重。

然後，以藉由加法器30c將第一、第二偏差訊號相加而成之訊號(以下稱為合成偏差)作為當做驅動指令的基礎之反饋訊號，此反饋訊號從目標頻率設定手段31被輸出。

本發明之追蹤手段亦即驅動指令生成部32，為了輸入反饋訊號而使驅動指令的驅動頻率fv追蹤中間頻率fm，係藉由PI控制器32a來自動調節發訊器32b(VCO：Voltage controlled oscillator)的頻率，而輸出驅動指令。

針對相位差檢測器15、25，採用如圖3般的構成。

也就是說，在此相位差檢測器15、25設有用來從藉由第一、第二振動檢測器14、24被檢測出的訊號來檢測振動振幅之振幅檢測器15a、25a。此外，將被輸入給振動系統1、2之周期訊號、與藉由振動檢測器14、24被檢測之訊號藉由乘法器15b、25b予以相乘，通過低通濾波器15c、25c來截止高頻成分。其後設置除法器15d、25d，將來自低通濾波器15c、25c的輸出訊號除以來自振幅檢測器15a、25a的輸出訊號而予以標準化(normalization)。

若像這樣構成，例如假設增益調節器31A2、32A2的增益各自為1，第一相位差設定器15及第二相位差設定器25的設定皆為-90°，則當第一偏差△f1或第二偏差△f2會處於一方變大時另一方變小之關係，因此結果而言，驅動指令的頻率會持穩在第一偏差△f1成為0的頻率與第二偏差△f2成為0的頻率之間的頻率。也就是說，能夠以對於第一振動系統1最佳的頻率f與對於第二振動系統2最佳的頻率f之間的頻率fm，亦即取得了平衡的頻率來驅動第一振動系統1及第二振動系統2。

為了說明這一點，以下設想第一、第二振動系統1、2以單純的彈簧-質量-阻尼系統來表現，而以在振動檢測器14、24檢測振動位移這樣的裝置為例，以各自共振頻率f1、f2之間的頻率來驅動。

將第一、第二相位差設定器31A1、31B1中的設定值訂為-90°。也就是說，設定成於各自於共振頻率下偏差會成為0。在此情形下，某一頻率下的偏差△f1(= -90°-f1)與△f2(=-90°-f2)會成為圖4所示般的值。依此圖，△f1與△f2的大小相等而符號成為相反這樣的頻率fm，存在於2個振動系統1、2的共振頻率f1、f2之間。是故，若將驅動指令的頻率fv調整成合成偏差△f1+△f2會成為0這樣的頻率，則能夠以2個共振頻率f1、f2之間的頻率fm來驅動(參照圖5)。此時，圖4中的驅動頻率fv，會持穩在第一振動系統的共振頻率f1與第二振動系統的共振頻率f2之中間頻率fm一帶。

上述的目標頻率設定手段31係自動設定這樣的頻率，藉由追蹤手段32讓驅動頻率fv追蹤該目標頻率fm。另，若藉由增益調節器31A2、32B2調整對於2個偏差的增益，則亦可進行按比例之設定而以雖在2個共振頻率f1、f2之間但更靠近一方的共振頻率f1(f2)之頻率來驅動。

在此，講述當將相位差檢測器15、25設計成如圖3般的構成之情形下的作用。

若將第一、第二驅動指令訊號各自訂為cosωt、cos(ωt-fe)，將藉由第一、第二振動檢測器14，24而被輸出的位移之檢測訊號訂為v1cos(ωt+f1)、v2cos(ωt-fe+f2)，則將驅動指令訊號與檢測訊號相乘而成之訊號成為以下般。

若通過低通濾波器15c、25c而僅取出直流成分，則各自成為(1/2)v1cosf1、(1/2)v2cosf2。再藉由除法器15d、25d予以標準化，藉此便得到不和v1、v2相依而和cosf1、cosf2成比例之訊號。cosf1、cosf2各自藉由共振頻率f1、f2而成為0，在共振頻率f、f2附近以1～-1單調地變化。是故，若以成為cosfA+cosfB=0之方式調整目標頻率fm，便能以2個振動系統1、2的共振頻率f1、f2之間(中間一帶)的頻率來驅動。

反之，設想當不進行標準化之情形，也就是說以v1cosf1+v2cosf2成為0之方式來進行了控制之情形。2個振動系統的振動振幅v1、v2係藉由各自的共振頻率而取最大值，因此v1cosf1與v2cosf2不會成為單調的變化。圖6為將v1cosf1、v2cosf2、v1cosf1+v2cosf2繪製而成之曲線。v1cosf1+v2cosf2，除了共振頻率f、f2的中間的頻率fm以外還存在成為0之點，此外值的變化的方向(圖表的斜率)會因頻率而異。因此，容易變得以偏離共振頻率的中間值fm之頻率被驅動，或控制變得不穩定(驅動頻率偏離目標值而發散)。藉由進行標準化會解決這樣的問題，控制會變得容易。

依以上，按照本實施形態之振動系統的控制裝置C，在第一驅動系統1與第二驅動系統2之間，振動的響應放大率之差距會變小，而難以發生在一方的振動系統f1(f2)必需要過大的振盪力這類問題、或一方的振動系統f1(f2)的振幅不足這類問題。

此外，比起以一方的共振頻率f1(f2)來驅動全體這樣的情形，可獲得就全體而言必要的電力會變小之優點、或因頻率受到自動調整而變得免去搜索第一、第二振動系統1、2的共振頻率f1、f2這樣的工夫之優點。

以上已說明了本發明之一實施形態，但各部的具體的構成並不僅限定於上述的實施形態。

例如，即使當振動系統有3個以上這樣的情形下，藉由使用將針對各自的系統被輸出的偏差訊號予以相加而成之訊號來控制，便不會偏坦一部分的共振頻率而能夠以取得全體性的平衡之頻率來驅動。

此外，上述實施形態中，針對第一、第二相位差檢測器15、25的輸出各者，是於第一、第2相位差設定器31A1、31B1取與設定值之偏差，但亦可如圖7所示，對於將第一、第二相位差檢測器15、25的輸出予以相加而成之訊號於相位差設定131a取與設定值之偏差。在此情形下，相位差設定器只需1個。

此外，上述實施形態中雖使用了PI控制，但不限於此，能夠採用將合成偏差設為0這樣各式各樣的控制手法。

此外，藉由振動檢測器檢測之物，亦可為振動位移、振動速度、振動加速度的任一者。

此外，亦可控制成不以共振頻率，而是以從其起算偏離了規定量之頻率來驅動。為此，可調整相位差設定器31A1、31A2的設定相位差。

此外，被輸入至相位差檢測器15、25之驅動指令，只要相位差是相同訊號則亦可為任一段的訊號。例如，圖2等中雖對第一相位差檢測器15輸入來自發訊器32之輸出訊號，但亦可輸入來自第一放大器12之輸出訊號。

此外，本發明中，雖僅講述驅動頻率之控制方法，但亦可設想併用將各振動系統的振幅保持在設定好的大小之固定振幅控制等。在此情形下，藉由將振幅保持在一定，可達成更穩定的驅動。此外，圖3般的構成的情形下，能夠將使用了標準化之振幅檢測器的輸出訊號亦使用於固定振幅控制。

此外，於能夠視為共振頻率下的最大振幅大略相等之振動系統中，如圖8所示，亦可構成為藉由頻率檢測器215、225檢測各振動系統的振動頻率而將此輸入至目標頻率設定手段231，透過頻率差設定器231a來設定目標頻率fm，而構成為追蹤手段232進行將驅動指令的頻率fv設為目標頻率fm之反饋控制。

像這樣，當能夠將最大振幅大略相等設為前提之情形下，即使不倚賴相位也能夠透過振動頻率來相對簡單地設定目標頻率。

若使用以上這樣的控制裝置C，以透過共通的驅動指令來驅動被配置於具有空間相位差之複數處而互相帶有相位差被振盪之複數個振動系統，藉此使行進波在路徑(track)上產生之方式來構成工件搬送裝置，則可防止行進波比之降低，而以高效率使裝置運轉。

也就是說，當使用行進波來搬送工件之情形下，比起其他裝置特別要求設計/調整成使得驅動頻率成為趨近共振頻率之值。但，使用了行進波之搬送中的頻帶為高頻(例：超音波)，因此習知之控制方法中響應會來不及。也就是說，難以實現效率良好的控制。

此外，作為使用了此行進波之搬送裝置的驅動源，多會使用壓電體，但由於對壓電體施加之電壓的影響，會有壓電體本身成為熱源，而招致溫度變化等之可能性。故，此溫度變化等所造成之共振頻率的變化所導致之偏差會變大，而無法將裝置全體的效率提高到最大限度。鑑此，藉由適用本發明，便能使其以高效率發揮穩定的搬送能力。

圖9揭示工件搬送裝置的一例亦即零件進料器PF。此零件進料器PF，係由令被投入的工件沿著螺旋搬送部T1爬坡之缽饋送器Bf、及對於從此缽饋送器Bf被排出的工件藉由整列搬送部t1進行整列或方向判別等而僅令正確姿勢的工件通過並且令不適當的工件透過返回搬送部t2返回至缽饋送器Bf之線性進料器Lf所構成。

其中缽饋送器Bf，如圖10所示，是構成為行進波產生手段BZ，對於進料器本體底面的圓環狀的振動區域當中，位於第一區域而以0°模態振動之第一振動系統1的振動部1x、及位於第二區域而以90°模態振動之第二振動系統的振動部2x，透過使用了壓電元件之第一振盪器11及第二振盪器12予以振盪，藉此相位相異的駐波會被合成，藉此產生用來令前述搬送部T1撓曲振動(flexural vibration)之行進波。又，當將上述控制裝置C適用於此缽饋送器Bf之情形下，可構成為藉由在圖1等亦有揭示之第一、第二放大器12、22而被放大的周期訊號係被輸入至行進波產生手段BZ的第一、第二振盪器11、21，而第一、第二振動系統1(1x)、2(2x)的振動透過第一、第二振動檢測器14、24被取出。圖10中控制裝置C(參照圖1)的其他部分省略，控制方法和上述實施形態相同。在此情形下同樣地，控制裝置C能夠採用圖6或圖7之構成來取代圖1之構成。

當驅動這樣的零件進料器PF之情形下，通例是各振盪部1x、2x下的共振頻率近乎視為相同來驅動，若在振動部1x、2x的底面貼附壓電元件則會由於壓電元件的發熱而複數個振盪點下的共振頻率會變化數個%，而有駐波比降低而明顯損及搬送效率之可能性，但藉由透過控制裝置C之控制，便可有效解決該問題。

另一方面，圖9的線性進料器Lf，如圖11所示，是構成為行進波產生手段LZ，對於進料器本體底面的長圓狀的振動區域當中，位於第一區域而以0°模態振動之第一振動系統1的振動部1x、及位於第二區域而以90°模態振動之第二振動系統的振動部2x，透過使用了壓電元件之第一振盪器11及第二振盪器12予以振盪，藉此相位相異的駐波會被合成，藉此產生用來令前述搬送部t1、t2撓曲振動之行進波。又，當將上述控制裝置C適用於此線性進料器Lf之情形下同樣地，可構成為藉由在圖1等亦有揭示之第一、第二放大器12、22而被放大的周期訊號係被輸入至行進波產生手段LZ的第一、第二振盪器11、21，而第一、第二振動系統1(1x)、2(2x)的振動透過第一、第二振動檢測器14、24被取出。圖11中控制裝置C(參照圖1)的其他部分省略，控制方法和上述實施形態相同。在此情形下同樣地，控制裝置C能夠採用圖6或圖7之構成來取代圖1之構成。

依此方式，同樣會發揮和上述相同的作用效果。

此外，使用以上這樣的控制裝置，將於XYZ方向動作之複數個振動系統在共通的驅動指令之下以所需的相位差來驅動，藉此即使構成為令平面狀的搬送部上的工件在XY平面內搬送之工件搬送裝置，仍可使其以高效率發揮穩定的搬送能力。

其他的構成，在不脫離本發明要旨之範圍內亦可有各種變形。

1‧‧‧第一振動系統

2‧‧‧第二振動系統

15‧‧‧第一相位差檢測器

25‧‧‧第二相位差檢測器

30‧‧‧加法器

31‧‧‧目標頻率設定手段

32‧‧‧追蹤手段(驅動指令生成部)

31A1‧‧‧第一相位差設定器

32B1‧‧‧第二相位差設定器

C‧‧‧振動系統的控制裝置

f1、f2‧‧‧共振頻率

fm‧‧‧目標頻率

T1、t1、t2‧‧‧搬送部

BZ、LZ‧‧‧行進波產生手段

PF‧‧‧工件搬送裝置(零件進料器)

[圖1] 本發明一實施形態之振動系統的控制裝置示意方塊圖。 　　[圖2] 圖1的一部分具體示意方塊圖。 　　[圖3] 圖2的一部分更具體示意方塊圖。 　　[圖4] 複數個振動系統中的共振頻率與驅動指令的頻率之關係示意波德圖(Bode plot)。 　　[圖5] 用來說明同實施形態中的目標頻率之和圖4的一部分相對應之波德圖。 　　[圖6] 用來說明同實施形態中當不進行標準化的情形下的問題之比較圖。 　　[圖7] 本發明之振動系統的控制裝置的變形例示意圖。 　　[圖8] 本發明之振動系統的控制裝置的另一變形例示意圖。 　　[圖9] 作為本發明之工件搬送裝置的構成例之零件進料器示意圖。 　　[圖10] 對於構成同零件進料器之缽饋送器的控制方塊圖。 　　[圖11] 對於構成同零件進料器之線性進料器的控制方塊圖。 　　[圖12] 用來說明和本發明對比之習知的控制之圖。

Claims (6)

1. 一種振動系統的控制裝置，係將複數個振動系統透過共通的驅動指令予以驅動時被利用之控制裝置，其特徵為， 　　前述各振動系統各自具有共振頻率， 　　具備：目標頻率設定手段，在該些共振頻率之間設定目標頻率；及 　　追蹤手段，令前述驅動指令的頻率追蹤前述目標頻率設定手段設定的目標頻率；而構成。
2. 如申請專利範圍第1項所述之振動系統的控制裝置，其中，前述目標頻率設定手段，為一以前述各振動系統的相位與前述驅動指令的相位之間會成為規定的相位關係之方式來設定前述目標頻率之物，前述追蹤手段，為一進行將前述驅動指令的頻率設為前述目標頻率之反饋控制之物。
3. 如申請專利範圍第2項所述之振動系統的控制裝置，其中，前述目標頻率設定手段，具備：相位差設定器，設於各振動系統；及相位差檢測器，檢測各振動系統中檢測到的相位與前述驅動指令的相位之相位差；及加法器，將前述各振動系統每一者的設定相位差與前述檢測相位差之偏差予以相加；基於藉由此加法器加算而成之合成偏差來生成前述驅動指令。
4. 如申請專利範圍第3項所述之振動系統的控制裝置，其中，前述各振動系統中，前述相位差檢測器，將前述驅動指令與來自前述振動檢測器的檢測訊號予以相乘而取出直流成分，將其標準化(normalization)，藉此檢測相位差。
5. 如申請專利範圍第1項所述之振動系統的控制裝置，其中，前述目標頻率設定手段，為一檢測前述各振動系統的共振頻率而將目標頻率設定於其之間之物，前述追蹤手段，為一進行將前述驅動指令的頻率設為前述目標頻率之反饋控制之物。
6. 一種工件搬送裝置，其特徵為，具備：搬送部，將工件以載置之狀態予以搬送；及行進波產生手段，藉由相位相異的駐波被合成而產生用來令前述搬送部撓曲振動(flexural vibration)之行進波；如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述之振動系統的控制裝置被適用於前述行進波產生手段。