TW201831855A - 蒸氣室 - Google Patents

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Abstract

提供蒸氣室，零件個數減少且生產性佳，而且，在減少封入工作流體的空洞部之外周空間的同時，能夠防止空洞部的面積縮小。
一種蒸氣室，其包括：藉由層疊的板狀構件形成空洞部的容器；已被封入上述空洞部的工作流體；及已被收容於上述空洞部的芯部構造體；構成上述容器的最外層之一方的板狀構件，具備至少一個具有孔部的一方的突出部；構成上述容器的最外層的另一方的板狀構件，具備至少一個與上述一方的突出部層疊，並具有將上述孔部和上述空洞部連通的流路的另一方的突出部；上述空洞部的外周被封住。

Description

蒸氣室
本發明係關於蒸氣室，其藉由不安裝工作流體的注入、排氣用噴嘴，使得即使是相同的設置空間，也能將封入工作流體的區域更為擴張。
搭載於電氣/電子機器的半導體元件等的電子零件，由於伴隨著高機能化的高密度搭載等，使得其發熱量增大，近年來，其冷卻變得更為重要。可以使用蒸氣室作為電子零件的冷卻方法。
蒸氣室的容器中，設置有被排氣並且被封入工作流體的空洞部。藉由工作流體在空洞部內一邊相變化一邊擴散、回流，使得熱從蒸氣室的受熱部向放熱部面狀地輸送。為了將空洞部排氣，並將工作流體注入空洞部，在容器安裝了和該空洞部連通的噴嘴。將工作流體注入後，於徑方向把噴嘴壓扁以將其封住，因此，噴嘴在從容器的外周突出特定突出量的狀態下，殘留於蒸氣室。因此，為了設置蒸氣室，必須在容器的外側有對應於噴嘴的突出量的空間。但是，狹小空間中，很難設置上述空間，所以有時無法設置蒸氣室。
因此，已提出一種蒸氣室，其對應於噴嘴的突出量，使噴嘴被收納為位於特定的輪廓線的內側(專利文獻1)。但 是，專利文獻1中，噴嘴也是從容器的外周突出，所以必須使噴嘴周邊的空洞部後退，工作流體的熱輸送面積就對應於空洞部的後退量而變得狹窄，亦即，具有放熱效率降低的問題。
另外，專利文獻1中，必須要為有別於容器的另一構件的噴嘴，所以有零件個數增加的問題，而且，蒸氣室的生產之時，必須要有噴嘴安裝程序，而在生產性造成問題。
先行技術文獻 專利文獻
專利文獻1：日本特開2000-258079號公報
有鑑於上述情況，本發明之目的在於提供蒸氣室，零件個數減少且生產性佳，而且，在減少封入工作流體的空洞部之外周空間的同時，能夠防止空洞部的面積縮小。
本發明的態樣為一種蒸氣室，其包括：藉由層疊的板狀構件形成空洞部的容器；已被封入上述空洞部的工作流體；及已被收容於上述空洞部的芯部構造體；構成上述容器的最外層之一方的板狀構件，具備至少一個具有孔部的一方的突出部；構成上述容器的最外層的另一方的板狀構件，具備至少一個與上述一方的突出部層疊，並具有將上述孔部和上述空洞部連通的流路的另一方的突出部；上述空洞部的外周被封住。
上述態樣中，至少2枚板狀構件層疊，形成具有空 洞部的容器。另外，一方的突出部及另一方的突出部，係為從容器的外周突出的部位。
本發明的態樣為一種蒸氣室，層疊的上述板狀構件至少有3枚；層疊於構成最外層的上述一方的板狀構件和構成最外層的上述另一方的板狀構件之間的中層的板狀構件，其具有，至少一個與上述一方的突出部及上述另一方的突出部層疊，並且具有與上述孔部和上述流路連通的其他孔部的中層的突出部，以及形成上述空洞部的內側面的框部。
上述態樣中，至少3枚的板狀構件層疊，形成具有空洞部的容器。其中，中層的板狀構件之框部作為形成空洞部之間隔體。另外，中層的突出部為，從容器的外周突出的部位。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，在較上述孔部更靠上述空洞部側，具有上述流路的封住部。
本發明的態樣為蒸氣室，其中在較上述封住部更靠外側，形成層疊的上述一方的突出部和上述另一方的突出部的切斷部。
上述態樣中，在較流路的封住部更靠突出部的先端側，層疊的一方的突出部和另一方的突出部被切斷。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述切斷部未從容器的外周突出。在上述態樣中，一方的突出部和另一方的突出部，從其基部被切下。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述流路係由板金加工而形成。
本發明的態樣為蒸氣室，其中上述孔部及上述其 他孔部為平面視圓形，直徑為0.1~5mm。本說明書中，所謂的「平面視」的意思是，從相對於蒸氣室的平面部垂直方向視覺辨認的態樣。
本發明的態樣為蒸氣室，其中上述流路為寬度0.1~5mm、高度0.1~5mm、長度5~150mm。
本發明的態樣為蒸氣室，其中上述容器的材質為，由不鏽鋼、銅、銅合金、鋁、鋁合金、錫、錫合金、鈦、鈦合金、鎳及鎳合金構成的群當中選擇的至少1種金屬。
本發明的態樣為一種蒸氣室，其包括：藉由一方的板狀構件及與該一方的板狀構件層疊的另一方的板狀構件形成空洞部的容器；已被封入上述空洞部的工作流體；及已被收容於上述空洞部的芯部構造體；上述一方的板狀構件，具備至少一個具有孔部的一方的突出部；上述另一方的板狀構件，具備至少一個與上述一方的突出部層疊，並具有將上述孔部和上述空洞部連通的流路的另一方的突出部；形成於上述另一方的板狀構件之與上述一方的板狀構件對向的面之凹部，形成上述空洞部的至少一部分；上述流路，係為形成於上述另一方的突出部的與上述一方的突出部對向之面的凹溝，在上述另一方的突出部的未與上述一方的突出部對向的面，沿著上述流路形成作為上述一方的突出部方向的階差之階差部；上述空洞部的外周被封住。
上述態樣中，一方的突出部及另一方的突出部，係為從容器的外周突出的部位。另外，另一方的突出部上，在與一方的突出部對向的面上形成凹溝，在與形成了凹溝的面相 反的面，形成作為凹溝方向的階差之階差部。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述階差部，形成於上述另一方的突出部的兩緣部。
上述態樣中，沿著凹溝設置的階差部，夾著凹溝形成於另一方的突出部的兩側緣部。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，在較上述孔部更靠上述空洞部側，具有上述流路的封住部。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，在較上述封住部更靠外側，形成層疊的上述一方的突出部和上述另一方的突出部的切斷部。
上述態樣中，在較流路的封住部更靠突出部的先端側，層疊的一方的突出部和另一方的突出部被切斷。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述切斷部未從容器的外周突出。上述態樣中，一方的突出部和另一方的突出部，係從其基部被切下。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述流路係由蝕刻或切削加工而形成。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述階差部係由蝕刻或切削加工而形成。上述態樣中，階差部的表面有蝕刻之痕或切削加工之痕。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述孔部為平面視圓形，直徑為0.1~5mm。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述流路為寬度0.1~5mm、深度0.1~5mm、長度5~150mm。
本發明的態樣為蒸氣室，其中，上述容器的材質為，由不鏽鋼、銅、銅合金、鋁、鋁合金、錫、錫合金、鈦、鈦合金、鎳及鎳合金構成的群當中選擇的至少1種金屬。
依據本發明的態樣，在一方的突出部有設置孔部的空間即可，另外，另一方的突出部具有和一方的突出部相同的空間即可，亦即，能夠減少一方的突出部和另一方的突出部的突出量，所以能夠在減少空洞部外周的空間的同時，防止空洞部的面積縮小。因此，即使蒸氣室的設置空間狹小，也能夠確保空洞部的面積，能夠得到良好的放熱效率。
依據本發明的態樣，不需要為了將空洞部排氣、將工作流體注入空洞部，而準備噴嘴等的有別於容器的構件，因此能夠減少零件個數。另外，依據本發明的態樣，蒸氣室的製造時，不需要有安裝噴嘴等的有別於容器的構件的程序，因此生產性佳。
依據本發明的態樣，層疊的板狀構件至少有3枚，中層的板狀構件具有形成空洞部的內側面的框部，藉此，能夠將容器的平面視的形狀複雜化，因此能夠提升蒸氣室的設計自由度。
依據本發明的態樣，在較封住部更靠外側，形成層疊的突出部的切斷部，藉此能夠更減少突出部的突出量，因此，在更減少空洞部外周的空間的同時，能夠更充分確保空洞部的面積。
依據本發明的態樣，在另一方的突出部之未與一 方的突出部對向的面上，沿著流路形成作為朝向一方的突出部方向之階差的階差部，藉此，能夠容易壓扁流路，結果使得流路的封住簡易化。
1、2、3、4、5、6、7、8‧‧‧蒸氣室
10、40、110‧‧‧容器
11、41、111‧‧‧一方的板狀構件
12、42、112‧‧‧另一方的板狀構件
14、44、114‧‧‧空洞部
21、121‧‧‧一方的突出部
22、122‧‧‧另一方的突出部
24‧‧‧第1孔部
25‧‧‧第2孔部
124‧‧‧孔部
26、126‧‧‧流路
127‧‧‧階差部
【圖1】本發明的第1實施形態例之蒸氣室在封住前的分解立體圖。
【圖2】(a)圖為本發明的第1實施形態例之蒸氣室在封住前的平面圖、(b)圖為(a)圖的(A)-(A)剖面的說明圖、(c)圖為(a)圖的(B)-(B)剖面的說明圖、(d）圖為(a)圖的(C)-(C)剖面的說明圖。
【圖3】(a)圖為本發明的第2實施形態例之蒸氣室在完全封住後的平面圖、(b)圖為(a)圖的(D)-(D)剖面的說明圖。
【圖4】(a)圖為本發明的第3實施形態例之蒸氣室在封住前的立體圖、(b)圖為(a)圖的(E)-(E)剖面之說明圖。
【圖5】本發明的第4實施形態例之蒸氣室在封住前的平面圖。
【圖6】(a)圖為本發明的第5實施形態例之蒸氣室在封住前的分解立體圖、(b)圖為(a)圖的(A)-(A)剖面之說明圖。
【圖7】(a)圖為本發明的第5實施形態例之蒸氣室在封住前的平面圖、(b)圖為(a)圖的(B)-(B)剖面的說明圖、(c)圖為(a)圖的(C)-(C)剖面的說明圖、(d)圖為(a)圖的(D)-(D)剖面的說明圖。
【圖8】(a)圖為本發明的第6實施形態例之蒸氣室在完全封住後的平面圖、(b)圖為(a)圖的(E)-(E)剖面的說明圖。
【圖9】本發明的第7實施形態例之蒸氣室在封住前的平面圖。
【圖10】(a)圖為本發明的第8實施形態例之蒸氣室在封住前的分解立體圖、(b)圖為本發明的第8實施形態例之蒸氣室的空洞部的說明圖。
以下，使用圖式說明本發明的第1實施形態例之蒸氣室。如圖1所示，第1實施形態例之蒸氣室1具有：有空洞部14的平面型的容器10、以及被封入空洞部14內的工作流體(未圖示)。另外，在空洞部14內，收納了具有毛細管力的芯部構造體15。
容器10為，構成最外層的一方的板狀構件11、與一方的板狀構件11對向的同樣構成最外層的另一方的板狀構件12、以及配置在一方的板狀構件11和另一方的板狀構件12之間的中層板狀構件13層疊而成的構造。因此，蒸氣室1的容器10為3層構造。一方的板狀構件11、另一方的板狀構件12和中層板狀構件13，係彼此在平面視中疊合的位置層疊。
一方的板狀構件11和另一方的板狀構件12分別為平板狀的構件。中層板狀構件13為框狀的構件，框部16的外面形成容器10的外側面。另外，框部16的內面形成空洞部14的側面。據此，中層板狀構件13之框部16內面和一方的板狀構件11內面和另一方的板狀構件12內面所形成的容器10的中空部，成為空洞部14。空洞部14的平面視的形狀可以因應蒸氣室1的使用條件等而適當選擇，但在蒸氣室1中係為矩形。
如圖1所示，一方的板狀構件11上，設有短簽狀的突出區域(一方的突出部21)，其係為向容器10的平面方向延伸的平板狀。蒸氣室1中設有1個一方的突出部21。一方的突出部21係延伸於和一方的板狀構件11相同的平面上。據此，一方的突出部21，在平面視中，係位於空洞部14的外側。另外，另一方的板狀構件12上設置短簽狀的突出區域(另一方的突出部22)，其係為向容器10的平面方向延伸的平板狀。蒸氣室1中，設置1個另一方的突出部22。另一方的突出部22係延伸於和另一方的板狀構件12相同的平面上。據此，另一方的突出部22，在平面視中，係位於空洞部14的外側。另外，另一方的突出部22，係設置在平面視中與一方的突出部21疊合的位置。另外，中層板狀構件13上設有短簽狀的突出區域(中層突出部23)，其係為向容器10的平面方向延伸的平板狀。蒸氣室1中設置1個中層突出部23。中層突出部23係延伸於和中層板狀構件13相同的平面上。據此，中層突出部23，在平面視中，係位於空洞部14的外側。另外，中層突出部23設置為，在平面視中與一方的突出部21及另一方的突出部22疊合的位置。據此，一方的板狀構件11和另一方的板狀構件12和中層板狀構件13彼此在平面視中疊合的位置層疊，對應於此，一方的突出部21和另一方的突出部22和中層突出部23彼此在平面視中疊合的位置層疊。
一方的突出部21上設有作為貫通孔的第1孔部24。另外，中層突出部23上，在平面視中與第1孔部24疊合的位置，也設有作為貫通孔的第2孔部25。據此，第1孔部24和第2孔部25彼此連通。第1孔部24和第2孔部25之平面視的形狀並 不特別限定，但在蒸氣室1中，其分別為平面視圓形。另外，第1孔部24和第2孔部25的尺寸並不特別限定，例如，其可以分別具有0.1~5mm的直徑。
另一方的突出部22上，設置了從空洞部14觀看時呈現凹狀的凹陷的流路26。據此，流路26成為從另一方的突出部22表面突起(隆起)成凸狀的態樣。
如圖2(a)、(b)所示，流路26設置於，在平面視中與第1孔部24及第2孔部25疊合的位置。據此，流路26與第1孔部24及第2孔部25連通。另外，如圖2(a)、(d)所示，在平面視中，流路26從與第1孔部24及第2孔部25疊合的位置延伸到與空洞部14疊合的位置。據此，流路26與空洞部14連通。亦即，透過流路26，第1孔部24及第2孔部25和空洞部14連通。蒸氣室1中，流路26的一方的端部與第1孔部24及第2孔部25連通，流路26的另一方的端部與空洞部14連通。
再者，如圖2(c)所示，流路26當中，作為平面視中與第1孔部24及第2孔部25疊合的部位(亦即，一方的端部)和平面視中與空洞部14疊合的部位(亦即，另一方的端部)之間的部位的中央部，位於中層突出部23面上。
流路26的製作方法並不特別限定，不過可以用例如卷壓加工等的壓力機裝置的板金加工。另外，流路26的尺寸並不特別限定，但在蒸氣室1中，其具有例如0.1~5mm的寬度、0.1~5mm的高度、5~150mm的長度。另外，流路26的平面視的形狀並不特別限定，但在蒸氣室1中，其為直線狀。
容器10的材料可以為例如：不鏽鋼、銅、銅合金、 鋁、鋁合金、錫、錫合金、鈦、鈦合金、鎳、鎳合金等。
除了流路26的部位之外的蒸氣室1的厚度，並不特別限定，不過可以為例如0.2~10mm。另外，空洞部14的厚度並不特別限定，不過可以為例如0.1~9.9mm。另外，一方的板狀構件11及另一方的板狀構件12的板厚並不特別限定，不過可以分別為例如0.05~3mm。
封入空洞部14的工作流體可以因應其與容器10的材料的適合性而適當選擇，其可以為例如：水、氯氟碳化合物類、環戊烷、乙二醇及其混合物等。芯部構造體15並不特別限定，但可以為例如、銅粉等的金屬粉的燒結體、金屬線構成的金屬網格、細溝、不織布等。再者，蒸氣室1中，使用形成為平面視梯狀的金屬網格。
繼之，使用圖式說明將工作流體注入第1實施形態例之蒸氣室1的空洞部14的方法。將工作流體注入空洞部14之前，事先將包含突出部的外周的容器10之外周熔接(例如，雷射熔接、電阻熔接等)以將其封住。
如圖2(a)~(d)所示，第1孔部24透過第2孔部25和流路26而與空洞部14連通。據此，首先，將排氣裝置(未圖示)安裝在第1孔部24，從第1孔部24透過第2孔部25和流路26以將空洞部14內進行排氣處理，使得空洞部14內為減壓狀態。亦即，第1孔部24和第2孔部25具有空洞部14的排氣口之功能。另外，流路26具有氣體的排出路之功能，其使得空洞部14的氣體從空洞部14向作為排氣口的第1孔部24流通。排氣處理後，將液相的工作流體(未圖示)從第1孔部24透過第2孔部25和流路26注入 空洞部14內。亦即，第1孔部24和第2孔部25具有液相的工作流體之注入口的功能。另外，流路26亦具有液相的工作流體的供給路之功能，其使得液相的工作流體從作為注入口的第1孔部24及第2孔部25向空洞部14流通。再者，在此係使得空洞部14內為減壓狀態之後才將液相的工作流體注入，但也可以不如此，而是將液相的工作流體注入空洞部14內之後，再將空洞部14內進行排氣處理。
將液相的工作流體注入經過排氣處理的空洞部14之後，用斂縫治具等，將流路26的中央部(與第1孔部24及第2孔部25對應的部位和與空洞部14對應的部位之間的部位)向中層突出部23面上壓扁，以將流路26封住於突出部形成封住部(未圖示)。藉由在突出部形成封住部，工作流體被封入已經減壓的空洞部14內。而且，藉由將突出部的封住部熔接(例如雷射熔接、電阻熔接等)，能夠將該封住部完全封住。據此，在已經封住的蒸氣室1中，在與第1孔部24及第2孔部25對應的部位和與空洞部14對應的部位之間的部位被封住的流路26，成為殘留於從第1孔部24及第2孔部25的位置(突出部的位置)到空洞部14的位置的態樣。
第1實施形態例之蒸氣室1中，在一方的突出部21有設置第1孔部24的空間即可，在中層突出部23有設置第2孔部25的空間即可，另外，在另一方的突出部22有和一方的突出部21及中層突出部23同樣的空間即可，所以能夠減少一方的突出部21、中層突出部23及另一方的突出部22的突出量。據此，能夠在減少空洞部14外周之空間的同時，防止工作流體發揮熱輸 送特性的空洞部14之面積縮小。因此，即使蒸氣室1的設置空間狹小，也能夠確保空洞部14的面積，能夠發揮良好的放熱效率。
蒸氣室1中，不需要為了將空洞部14排氣、將工作流體注入空洞部14，而準備噴嘴等的有別於容器10的構件，因此能夠減少零件個數。另外，蒸氣室1中，在製造的時候，不需要有安裝噴嘴等的有別於容器10的構件之程序，因此生產性佳。另外，蒸氣室1中，層疊的板狀構件至少有3枚，中層板狀構件13具有形成空洞部14的內側面的框部16，因此，能夠將容器10的平面視的形狀複雜化，提高蒸氣室1的設計自由度。
另外，蒸氣室1中，流路26的剖面為從另一方的突出部22表面突起成凸狀的形狀，所以可以容易地藉由壓扁將之封住。
繼之，使用圖式說明本發明的第2實施形態例之蒸氣室。再者，關於與第1實施形態例之蒸氣室相同構成的要素，係使用相同符號說明。
第1實施形態例之蒸氣室中，在流路的中央部形成封住部，將該封住部熔接以將之完全封住，但如圖3(a)、(b)所示，第2實施形態例之蒸氣室2中，將形成於流路26的中央部的封住部熔接以將之完全封住後，接著，在較該封住部更靠先端部側，將層疊的一方的突出部、中層突出部及另一方的突出部切斷。
蒸氣室2中，用斂縫治具等將流路26的中央部向中層板狀構件13的框部16上壓扁以形成封住部，然後，將封住部 熔接(例如，雷射熔接、電阻熔接等)以形成熔接部30。較形成了熔接部30之封住部更靠外側，亦即，在突出部的先端部側，層疊的一方的突出部、中層突出部及另一方的突出部被切斷，形成層疊的突出部的切斷部31。據此，在已經封住的蒸氣室2中，形成於容器10的周緣部的熔接部30所封住的流路26，成為殘留於從框部16的位置到空洞部14的位置的態樣。
如圖3(a)所示，蒸氣室2中，層疊的一方的突出部、中層突出部及另一方的突出部都是在其基部被切斷。據此，切斷部31的切斷面並不從容器10的外周突出。
藉由將層疊的突出部切斷，能夠更減少層疊的突出部的突出量，而且，蒸氣室2中，藉由將層疊的突出部在其基部切斷，而將層疊的突出部完全除去，因此，在更減少空洞部14外周空間的同時，能夠充分確保空洞部14的面積。
繼之，使用圖式說明本發明的第3實施形態例之蒸氣室。再者，關於與第1、第2實施形態例之蒸氣室相同構成的要素，係使用相同符號說明。
第1、第2實施形態例之蒸氣室中，容器為一方的板狀構件和中層的板狀構件和另一方的板狀構件層疊而成的3層構造，但也可以不如此，而如圖4(a)、(b)所示，第3實施形態例之蒸氣室3中，係為一方的板狀構件41、和與一方的板狀構件41對向的另一方的板狀構件42層疊而成的2層構造。
如圖4(a)所示，蒸氣室3中，作為下板的一方的板狀構件41和作為上板的另一方的板狀構件42重疊而形成具有空洞部44的容器40。在另一方的板狀構件42的中央部，設有從 一方的板狀構件41觀看時之凹部。另一方的板狀構件42的凹部形成容器40的空洞部44。在另一方的板狀構件42的另一方的突出部22，設有從一方的板狀構件41觀看時為凹狀的凹陷的流路26。流路26為從另一方的突出部22表面突起(隆起)成凸狀的態樣。在平面視中，流路26延伸到與空洞部44疊合的位置。據此，流路26與空洞部44連通。
一方的板狀構件41，為與第1、第2實施形態例之蒸氣室的一方的板狀構件相同構造的構件。據此，在一方的板狀構件41的一方的突出部21，設有作為貫通孔的第1孔部24。流路26設置在平面視中與第1孔部24疊合的位置。
據此，如圖4(b)所示，蒸氣室3中，另一方的突出部22的流路26與一方的突出部21的第1孔部24連通。亦即，第1孔部24和空洞部44，透過流路26而連通。
蒸氣室3中，將液相的工作流體(未圖示)注入已經排氣處理的空洞部44之後，用斂縫治具等，將另一方的板狀構件42的流路26中央部向一方的板狀構件41的一方的突出部21面上壓扁，藉此將流路26封住，於突出部形成封住部(未圖示)。藉由在突出部形成封住部，工作流體被封入已經減壓的空洞部44內。而且，藉由將突出部的封住部熔接(例如，雷射熔接、電阻熔接等)，能夠將該封住部完全封住。
第3實施形態例之蒸氣室3中，也和第1實施形態例之蒸氣室一樣，能夠減少一方的突出部21和另一方的突出部22的突出量。據此，在減少空洞部44外周的空間的同時，能夠防止工作流體發揮熱輸送特性的空洞部44的面積縮小。
繼之，使用圖式說明本發明的第4實施形態例之蒸氣室。再者，與第1~第3實施形態例之蒸氣室相同構成的要素，係使用相同符號說明。
上述第1實施形態例之蒸氣室中，設置1個層疊的突出部，但也可以不如此，而如圖5所示，在第4實施形態例之蒸氣室4中，設置複數個層疊的突出部(圖5中為2個)。亦即，蒸氣室4中，一方的突出部、另一方的突出部22及中層的突出部分別設有複數個(圖5中有2個)。另外，一方的板狀構件和另一方的板狀構件12和中層的板狀構件彼此在平面視中疊合的位置層疊，對應於此，2個的一方的突出部和2個的另一方的突出部22和2個的中層的突出部分別彼此在平面視中疊合的位置層疊，形成2個層疊的突出部(第1層疊的突出部和第2層疊的突出部)。
層疊的突出部之位置並不特別限定，不過在蒸氣室4中，在容器10的對向之端部分別設有1個層疊的突出部。
蒸氣室4中，2個的層疊的突出部當中，從第1層疊的突出部(圖5中的左側的層疊的突出部)將液相的工作流體注入空洞部14內，從第2層疊的突出部(圖5中的右側的層疊的突出部)將空洞部14內進行排氣處理，使得空洞部14內為減壓狀態。亦即，蒸氣室4中，設有液相的工作流體注入用的層疊的突出部、以及空洞部14排氣用的層疊的突出部。
第4實施形態例之蒸氣室4中，和具有1個層疊的突出部的第1實施形態例之蒸氣室一樣，能夠減少層疊的突出部的突出量，因此，在減少空洞部14外周的空間的同時，能夠防 止工作流體發揮熱輸送特性的空洞部14的面積縮小。
繼之，說明本發明的蒸氣室的其他實施形態例。第1、第2、第4實施形態例之蒸氣室中的容器為3層構造，但也可以將複數之中層的板狀構件層疊，成為4層以上的多層構造。另外，第1實施形態例之蒸氣室中，將流路的中央部向中層的突出部面上壓扁以在突出部形成封住部，並將該封住部熔接，但也可不如此，而是接著在較已熔接的封住部更靠先端部側，將層疊的突出部切斷。另外，第3、第4實施形態例之蒸氣室中，也可以在較已熔接的突出部的封住部更靠先端部側，將層疊的突出部的先端部切斷。另外，第3實施形態例之蒸氣室中，設有1個層疊的突出部，但也可以不如此，而設置複數個層疊的突出部。另外，對於上述各實施形態例的蒸氣室，亦可以因應需要，在流路封住後，再用壓製加工等，將該流路全體壓扁到與另一方的突出部表面同一平面為止。再者，藉由將流路全體壓扁，在容器形成流路的壓扁痕。
以下，使用圖式說明本發明的第5實施形態例之蒸氣室。如圖6(a)、圖7(a)所示，第5實施形態例之蒸氣室5具有：有空洞部114的平面型的容器110、已被封入空洞部114內的工作流體(未圖示)。另外，在空洞部114內，收納了具有毛細管力的芯部構造體(未圖示)。
一方的板狀構件111和與一方的板狀構件111對向的另一方的板狀構件112重疊，藉此形成具有空洞部114的容器110。據此，容器110為一方的板狀構件111和另一方的板狀構件112層疊而成的構造，其為2層構造。一方的板狀構件111和 另一方的板狀構件112於平面視中疊合的位置互相層疊。一方的板狀構件111和另一方的板狀構件112，分別為平板狀的構件。
如圖7(a)、(d)所示，在另一方的板狀構件112的中央部，設有從一方的板狀構件111觀看時之凹部。亦即，另一方的板狀構件112的兩面當中，在作為與一方的板狀構件111對向之面的背面123形成凹部。另一方的板狀構件112的上述兩面當中，作為未與一方的板狀構件111對向的面之表面125上與凹部的位置對應的部位，則位於與凹部的周緣部對應之部位同一平面上。因此，另一方的板狀構件112上，與凹部的位置對應的部位並非為凸形狀。另一方面，在一方的板狀構件111的中央部上，並未設置凹部，而為平面狀。據此，另一方的板狀構件112的凹部形成容器110的空洞部114。亦即，由另一方的板狀構件112的凹部內面和一方的板狀構件111內面所形成的容器110的中空部，成為空洞部114。空洞部114的平面視的形狀可以因應蒸氣室5的使用條件等而適當選擇，但在蒸氣室5中為矩形。
如圖6(a)、圖7(a)所示，在一方的板狀構件111上，設有短簽狀的突出區域(一方的突出部121)，其係為向容器110的平面方向延伸的平板狀。蒸氣室5中，設有1個一方的突出部121。一方的突出部121，係於與一方的板狀構件111同一平面上延伸。據此，一方的突出部121，在平面視中係位於空洞部114的外側。另外，另一方的板狀構件112上設置短簽狀的突出區域(另一方的突出部122)，其係為向容器110的平面方向延伸 的平板狀。蒸氣室5中，設有1個另一方的突出部122。另一方的突出部122，係於與另一方的板狀構件112同一平面上延伸。據此，另一方的突出部122，在平面視中係位於空洞部114的外側。另外，另一方的突出部122，設置於平面視中的與一方的突出部121疊合的位置。據此，一方的板狀構件111和另一方的板狀構件112彼此在平面視中疊合的位置層疊，對應於此，一方的突出部121和另一方的突出部122彼此在平面視中疊合的位置層疊。
一方的突出部121上，設置作為貫通孔的孔部124。孔部124的平面視的形狀並不特別限定，但在蒸氣室5中為平面視圓形。另外，孔部124的尺寸並不特別限定，例如具有0.1~5mm的直徑。
如圖6(b)、圖7(b)、(c)所示，另一方的突出部122上，設置從一方的突出部121(一方的板狀構件111)觀看時為凹狀的流路126。流路126為，設置在另一方的板狀構件112的背面123當中，作為與一方的突出部121疊合的位置(對向位置)的另一方的突出部122的凹溝。據此，如圖6(a)所示，流路126並非為從另一方的板狀構件112的表面125突起(隆起)的態樣。亦即，另一方的板狀構件112的表面125當中，與流路126的位置對應的部位和與空洞部114的位置對應的部位係位於同一平面上。因此，容器110中，與流路126的位置對應之部位的厚度，和與空洞部114的位置對應之部位的厚度相同。
如圖7(a)、(b)所示，流路126，設置在平面視中與孔部124疊合的位置。據此，流路126與孔部124連通。另外， 如圖7(a)所示，流路126，在平面視中，從與孔部124疊合位置延伸到空洞部114(亦即，另一方的板狀構件112的凹部)。作為凹溝的流路126和作為凹部的空洞部114，在相連的狀態下連接。據此，流路126與空洞部114連通。結果，孔部124和空洞部114透過流路126連通。蒸氣室5中，流路126的一方的端部與孔部124連通，流路126的另一方的端部與空洞部114連通。流路126的深度並不特別限定，可以因應使用條件等而適當選擇，例如，可以為和作為空洞部114的設置於另一方的板狀構件112的凹部約略相同深度。
另外，如圖7(c)所示，流路126當中、作為平面視中與孔部124疊合的部位(亦即，一方的端部)和平面視中與空洞部114連通的部位(亦即，另一方的端部)之間的部位之中央部，位於一方的突出部121面上。
如圖6、7所示，另一方的板狀構件112的表面125當中，在另一方的突出部122的位置，設有作為朝向一方的突出部121方向的階差之階差部127。在另一方的突出部122，藉由階差部127，並非與另一方的板狀構件112的表面125同一平面上，而設有較另一方的板狀構件112的表面125低的平坦面128。階差部127及平坦面128，係沿著流路126的延伸方向設置。
蒸氣室5中，階差部127及平坦面128，係沿著流路126的延伸方向設置於另一方的突出部122的兩緣部。夾著流路126分別設置1個(合計2個)沿著作為凹溝的流路126設置的階差部127。亦即，階差部127係沿著流路126設置於其兩側。另外，平坦面128延伸到上述兩緣部的端部為止。據此，設置了階差 部127的另一方的突出部122的剖面形狀成為凸狀。在上述凸狀的突起部設置流路126。再者，如圖6(a)、圖7(a)所示，蒸氣室5中，階差部127及平坦面128，不僅是設置為從另一方的突出部122的先端部到基部為止，而是從另一方的突出部122的基部更朝向空洞部114方向，延伸到空洞部114附近為止。階差部127的高度並不特別限定，但可以為例如相當於作為凹溝的流路126的深度。
作為另一方的板狀構件112之凹部的空洞部114及作為與空洞部114連通的凹溝之流路126的製作方法並不特別限定，但可以為例如蝕刻、切削加工等。另外，階差部127及平坦面128的製作方法並不特別限定，但可以為例如和空洞部114及流路126一樣為蝕刻、切削加工等。據此，空洞部114、流路126、階差部127及平坦面128上分別有蝕刻痕、切削加工痕。
流路126的尺寸並不特別限定，但在蒸氣室5中具有例如0.1~5mm寬度、0.1~5mm深度、5~150mm長度。另外，流路126的平面視之形狀並不特別限定，但在蒸氣室5中為直線狀。
容器110的材料可以為例如：不鏽鋼、銅、銅合金、鋁、鋁合金、錫、錫合金、鈦、鈦合金、鎳、鎳合金等。
蒸氣室5的厚度並不特別限定，但可以為例如0.2~10mm。另外，空洞部114的厚度並不特別限定，但可以為例如0.1~9.9mm。另外，一方的板狀構件111及另一方的板狀構件112的板厚並不特別限定，但可以為：例如，一方的板狀構 件111的板厚為0.05~3mm、另一方的板狀構件112的板厚為0.15~9.95mm。
封入空洞部114的工作流體可以因應其與容器10的材料的適合性而適當選擇，其可以為例如：水、氯氟碳化合物類、環戊烷、乙二醇及其混合物等。芯部構造體並不特別限定，但可以為例如、銅粉等的金屬粉的燒結體、金屬線構成的金屬網格、細溝、不織布等。
繼之，使用圖式說明將工作流體注入第5實施形態例之蒸氣室5的空洞部114的方法。將工作流體注入空洞部114之前，事先將包含突出部的外周的容器110的外周(空洞部114的外周)熔接(例如，雷射熔接、電阻熔接等)以將其封住。
如圖7(a)~(d)所示，孔部124透過流路126與空洞部114連通。據此，首先，將排氣裝置(未圖示)安裝在孔部124，從孔部124透過流路126將空洞部114內進行排氣處理，使得空洞部114內為減壓狀態。亦即，孔部124具有空洞部114的排氣口的功能。另外，流路126具有氣體的排出路的功能，其使得空洞部114的氣體從空洞部114向作為排氣口的孔部124流通。排氣處理後，將液相的工作流體(未圖示)從孔部124透過流路126注入空洞部114內。亦即，孔部124具有液相的工作流體之注入口的功能。另外，流路126具有液相的工作流體之供給路的功能，其使得液相的工作流體從作為注入口的孔部124向空洞部114流通。再者，在此，係使得空洞部114內為減壓狀態後才將液相的工作流體注入，但也可以不如此，而是將液相的工作流體注入空洞部114內之後，再將空洞部114內進行排氣處 理。
如上述，設置了階差部127的另一方的突出部122的剖面形狀成為凸狀，流路126位於凸狀的突起部。將液相的工作流體注入經過排氣處理的空洞部114之後，用斂縫治具等，將流路126的中央部(與孔部124對應的部位和空洞部114之間的部位)向一方的突出部121面上壓扁，以將流路126封住而在突出部形成封住部(未圖示)。藉由在突出部形成封住部，工作流體被封入已經減壓的空洞部114內。而且，藉由將突出部的封住部熔接(例如，雷射熔接、電阻熔接等)，能夠將該封住部完全封住。據此，在已經封住的蒸氣室5中，流路126在與孔部124對應部位和空洞部114之間的部位被封住。另外，在已經封住的蒸氣室5中，流路126成為殘留於從孔部124的位置(突出部的位置)到空洞部114的態樣。
第1實施形態例之蒸氣室5中，在一方的突出部121有設置作為排氣口及液相的工作流體之注入口的孔部124的空間即可，另外，在另一方的突出部122有和一方的突出部121同樣的空間即可，所以能夠減少一方的突出部121及另一方的突出部122的突出量。據此，能夠在減少空洞部114外周的空間的同時，防止工作流體發揮熱輸送特性的空洞部114的面積縮小。因此，即使蒸氣室5的設置空間狹小，也能夠確保空洞部114的面積，能夠發揮良好的放熱效率。
蒸氣室5中，不需要為了將空洞部114排氣，將工作流體注入空洞部114，而準備噴嘴等的有別於容器110的構件，因此能夠減少零件個數。另外，蒸氣室5中，在製造的時 候，不需要有安裝噴嘴等的有別於容器110的構件之程序，因此生產性佳。
另外，蒸氣室5中，在凸狀的另一方的突出部122之剖面形狀的突起部設置流路126，因此可以藉由壓扁而容易地將流路126封住。另外，蒸氣室5的容器110中，與流路126的位置對應的部位之厚度和與空洞部114的位置對應的部位之厚度相同，因此，能夠避免流路126之部位中的容器110厚度增大。據此，蒸氣室5中，在維持容器110的薄度時，能夠省略將流路126全體壓扁的程序。
繼之，使用圖式說明本發明的第6實施形態例之蒸氣室。再者，關於與第5實施形態例之蒸氣室相同構成的要素，係使用相同符號說明。
第5實施形態例之蒸氣室中，在流路的中央部形成封住部，將該封住部熔接以將之完全封住，但如圖8(a)、(b)所示，第6實施形態例之蒸氣室6中，將形成於流路126的中央部的封住部藉由熔接完全封住後，接著，在較該封住部更靠先端部側，將層疊的一方的突出部及另一方的突出部切斷。
蒸氣室6中，流路126的中央部當中，將另一方的突出部的基部和空洞部114之間的部位，亦即，非屬另一方的突出部的空洞部114的周緣部的部位，向一方的板狀構件111的面上壓扁，在流路126形成封住部。而且，將上述封住部熔接(例如，雷射熔接、電阻熔接等)以形成熔接部130。較形成了熔接部130的封住部更靠外側，亦即，在突出部的先端部側，將層疊的一方的突出部及另一方的突出部切斷以形成層疊的突出 部的切斷部131。據此，已經封住的蒸氣室6中，被形成於容器110的周緣部的熔接部130封住的流路126，成為殘留於從切斷部131的位置到空洞部114的位置的態樣。對應於此，階差部127及平坦面128，成為殘留於從切斷部131的位置到空洞部114附近的位置的態樣。
如圖8(a)所示，蒸氣室6中，層疊的一方的突出部及另一方的突出部都是在其基部被切斷。據此，切斷部131的切斷面並未從容器110的外周突出。
藉由將層疊的突出部切斷，能夠更減少層疊的突出部的突出量，而且，蒸氣室6中，層疊的突出部在其基部被切斷，使得層疊的突出部完全被除去，因此，能夠在更減少空洞部114外周的空間之同時，能夠更充分確保空洞部114的面積。
繼之，使用圖式說明本發明的第7實施形態例之蒸氣室。再者，關於與第5、第6實施形態例之蒸氣室相同構成的要素，係使用相同符號說明。
上述第5實施形態例之蒸氣室中，設置1個層疊的突出部，但也可以不如此，而如圖9所示，在第7實施形態例之蒸氣室7中，設置複數個層疊的突出部(圖9中為2個)。亦即，蒸氣室7中，一方的突出部及另一方的突出部122分別設有複數個(圖9中有2個)。另外，一方的板狀構件和另一方的板狀構件112彼此在平面視中疊合的位置層疊，對應於此，2個的一方的突出部和2個的另一方的突出部122分別彼此在平面視中疊合的位置層疊，形成2個的層疊的突出部(第1層疊的突出部和第2層 疊的突出部)。
層疊的突出部的位置並不特別限定，但在蒸氣室7中，在容器110的對向的端部，分別設有1個層疊的突出部。
蒸氣室7中，2個的層疊的突出部當中，從第1層疊的突出部(圖9中的左側的層疊的突出部)將液相的工作流體注入空洞部114內，從第2層疊的突出部(圖9中的右側的層疊的突出部)將空洞部114內進行排氣處理，使得空洞部114內為減壓狀態。亦即、蒸氣室7中，設有液相的工作流體注入用的層疊的突出部、以及空洞部114排氣用的層疊的突出部。
第7實施形態例之蒸氣室7中，和具有1個層疊的突出部的第5實施形態例之蒸氣室一樣，能夠減少層疊的突出部的突出量，因此，在減少空洞部114外周的空間的同時，能夠防止工作流體發揮熱輸送特性的空洞部114的面積縮小。
繼之，使用圖式說明本發明的第8實施形態例之蒸氣室。再者，關於與第5~第7實施形態例之蒸氣室相同構成的要素，係使用相同符號說明。
第8實施形態例之蒸氣室中，一方的板狀構件的中央部並未設置凹部而是平面狀，但也可以不如此，而是如圖10(a)所示，第8實施形態例之蒸氣室8中，不僅是在另一方的板狀構件112，在一方的板狀構件111的中央部也設置凹部144。一方的板狀構件111的凹部144，係設置於和另一方的板狀構件112的凹部114’在平面視中疊合的位置。
據此，如圖10(b)所示，另一方的板狀構件112的凹部114’和一方的板狀構件111的凹部144，形成容器110的空洞 部114。亦即，由另一方的板狀構件112的凹部114’內面和一方的板狀構件111的凹部144內面所形成的容器110的中空部，成為空洞部114。
蒸氣室8也能夠減少層疊的突出部的突出量，在減少空洞部114外周的空間的同時，能夠防止工作流體發揮熱輸送特性的空洞部114的面積縮小。
繼之，說明本發明的蒸氣室之其他實施形態例。第5實施形態例之蒸氣室中，將流路的中央部向一方的突出部面上壓扁以在流路形成封住部，再將該封住部熔接，但也可以不如此，可以在較已經熔接的封住部更靠先端部側，將層疊的突出部切斷。另外，第7實施形態例之蒸氣室中，在較已經熔接的突出部的封住部更靠先端部側，將層疊的突出部的先端部切斷亦可。另外，第5實施形態例之蒸氣室中，階差部及平坦面，係從另一方的突出部的先端部延伸到空洞部附近，但階差部及平坦面設置在將流路封住的部位即可，也可以不如此，例如亦可以只設置在從另一方的突出部的先端部到基部、從另一方的突出部的先端部到基部之間的一部份、或者另一方的突出部的基部和空洞部之間的部位。
【產業上的利用可能性】
本發明的蒸氣室，在減少封入工作流體的空洞部之外周空間的同時，能夠防止空洞部的面積縮小，因此，在例如設置於狹小空間、且要有良好放熱效率的情況下具有很高的利用價值。

Claims (19)

  1. 一種蒸氣室，其包括：藉由層疊的板狀構件形成空洞部的容器；已被封入上述空洞部的工作流體；及已被收容於上述空洞部的芯部構造體；構成上述容器的最外層之一方的板狀構件，具備至少一個具有孔部的一方的突出部；構成上述容器的最外層的另一方的板狀構件，具備至少一個與上述一方的突出部層疊，並具有將上述孔部和上述空洞部連通的流路的另一方的突出部；上述空洞部的外周被封住。
  2. 如申請專利範圍第1項所記載的蒸氣室，層疊的上述板狀構件至少有3枚；層疊於構成最外層的上述一方的板狀構件和構成最外層的上述另一方的板狀構件之間的中層的板狀構件，其具有，至少一個與上述一方的突出部及上述另一方的突出部層疊，並且具有與上述孔部和上述流路連通的其他孔部的中層的突出部，以及形成上述空洞部的內側面的框部。
  3. 如申請專利範圍第1或2項所記載的蒸氣室，在較上述孔部更靠上述空洞部側，具有上述流路的封住部。
  4. 如申請專利範圍第3項所記載的蒸氣室，在較上述封住部更靠外側，形成層疊的上述一方的突出部和上述另一方的突出部的切斷部。
  5. 如申請專利範圍第4項所記載的蒸氣室，上述切斷部未從 容器的外周突出。
  6. 如申請專利範圍第1到5項中任一項所記載的蒸氣室，上述流路係由板金加工而形成。
  7. 如申請專利範圍第1到6項中任一項所記載的蒸氣室，上述孔部及上述其他孔部為平面視圓形，直徑為0.1~5mm。
  8. 如申請專利範圍第1到7項中任一項所記載的蒸氣室，上述流路為寬度0.1~5mm、高度0.1~5mm、長度5~150mm。
  9. 如申請專利範圍第1到8項中任一項所記載的蒸氣室，上述容器的材質為，由不鏽鋼、銅、銅合金、鋁、鋁合金、錫、錫合金、鈦、鈦合金、鎳及鎳合金構成的群當中選擇的至少1種金屬。
  10. 一種蒸氣室，其包括：藉由一方的板狀構件及與該一方的板狀構件層疊的另一方的板狀構件形成空洞部的容器；已被封入上述空洞部的工作流體；及已被收容於上述空洞部的芯部構造體；上述一方的板狀構件，具備至少一個具有孔部的一方的突出部；上述另一方的板狀構件，具備至少一個與上述一方的突出部層疊，並具有將上述孔部和上述空洞部連通的流路的另一方的突出部；上述另一方的板狀構件之形成於與上述一方的板狀構件對向的面之凹部，形成上述空洞部的至少一部分；上述流路，係為形成於上述另一方的突出部的與上述一方 的突出部對向之面的凹溝，在上述另一方的突出部的未與上述一方的突出部對向的面，沿著上述流路形成作為上述一方的突出部方向的階差之階差部；上述空洞部的外周被封住。
  11. 如申請專利範圍第10項所記載的蒸氣室，上述階差部，形成於上述另一方的突出部的兩緣部。
  12. 如申請專利範圍第10或11項所記載的蒸氣室，在較上述孔部更靠上述空洞部側，具有上述流路的封住部。
  13. 如申請專利範圍第12項所記載的蒸氣室，在較上述封住部更靠外側，形成層疊的上述一方的突出部和上述另一方的突出部的切斷部。
  14. 如申請專利範圍第13項所記載的蒸氣室，上述切斷部未從容器的外周突出。
  15. 如申請專利範圍第10到14項中任一項所記載的蒸氣室，上述流路係由蝕刻或切削加工而形成。
  16. 如申請專利範圍第10到15項中任一項所記載的蒸氣室，上述階差部係由蝕刻或切削加工而形成。
  17. 如申請專利範圍第10到16項中任一項所記載的蒸氣室，上述孔部為平面視圓形，直徑為0.1~5mm。
  18. 如申請專利範圍第10到17項中任一項所記載的蒸氣室，上述流路為寬度0.1~5mm、深度0.1~5mm、長度5~150mm。
  19. 如申請專利範圍第10到18項中任一項所記載的蒸氣室，上述容器的材質為，由不鏽鋼、銅、銅合金、鋁、鋁合金、錫、錫合金、鈦、鈦合金、鎳及鎳合金構成的群當中選擇 的至少1種金屬。
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