JP7428416B2 - ヒートパイプ及び当該ヒートパイプに対する冷媒液の注入並びに封止方法 - Google Patents

Description

本発明は、冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定しているウイック、及び当該ウイックと隣接しており、かつ冷媒蒸気が流動を予定している蒸気流動部を空洞部内に設置しているヒートパイプにおいて、冷媒液の注入並びに封止工程を改善しているヒートパイプ及び当該改善に係る前記注入並びに封止の方法を対象としている。

従来技術においては、冷媒液が流動する一層又は複数層のウイック及び隣接する空洞部を備えたヒートパイプにおいて、以下のような工程によって、冷媒液の注入及び封止に至る工程を実現している。
（１）上板の周囲壁における外側側部、即ちヒートパイプの平面方向と直交する方向の側部に対する注入口の穿設
↓
（２）注入口に対する注入パイプの挿入及び半田付による周囲壁との接合
↓
（３）注入パイプを介した冷媒液のヒートパイプ内への注入
↓
（４）真空ポンプによるヒートパイプ内の空気の脱気
↓
（５）ヒートパイプに対する加熱による不要な冷媒液の蒸発に伴う放出
↓
（６）注入パイプの切断及びアーク溶接を介した閉鎖による冷媒液の封止

しかしながら、上記（５）の冷媒液の蒸発に伴う放出工程は、所定の時間を要すると共に、正確な放出量を実現することが困難であり、その結果、ヒートパイプ内における正確な冷媒液の量を設定することができない。

しかも、前記（６）の閉鎖工程の結果、注入パイプの一部が残存して、上板の周囲の外側から突出した状態を維持しているが、このような突出状態は、ヒートパイプを携帯電話等の電子機器に組込む際に無意味かつ不要な支障とならざるを得ない。

更には、近年ヒートパイプの薄型化が要請されているが、そのような薄型のヒートパイプの場合には、周囲壁における外側側部の幅が狭小であることから、前記（１）の注入口の穿設及び前記（２）の注入パイプの挿入は極めて困難とならざるを得ない。

本願と本発明と発明者及び出願人が共通している特許文献１の場合には、冷媒液注入口を周囲壁の上側表面に設置し、かつ冷媒液流出口を周囲壁の内側端に設置した上で、冷媒液注入口と冷媒液流出口とを連通する流動パイプとして、ヒートパイプの平面方向と直交する方向、即ち冷媒液が上側から下側に落下する方向及び当該方向に対し、更に冷媒液流出口に至るような方向を採用している。

特許文献１のように、冷媒液注入口を上板の周囲壁の上側表面に設置している場合には、ヒートパイプが超薄型であっても、冷媒液流出口を周囲壁の内側端に設置し、かつ流動パイプを周囲壁の内側に設置することは当然可能であって、従来技術の場合のような超薄型に適用することが困難という設計上の支障は生じない。

しかも、前記（５）のような非効率的な作業及び不正確な量による冷媒液の注入という従来技術の技術的な問題点を避けることができる。

特許文献１においては、周囲壁にて冷媒液注入口、流動パイプ、冷媒液流出口を設置した上で、冷媒液の注入及び封止を実現するために、以下の工程を採用している。
（１）ヒートパイプの真空チャンバー内への投入。
↓
（２）真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始。
↓
（３）ヒートパイプの冷媒液注入口に対する加圧シリンダーによる冷媒液の加圧注入。
↓
（４）加圧シリンダーの取り外し。
↓
（５）気体の真空チャンバー内への浸入による圧力調整。
↓
（６）ヒートパイプの閉鎖部材搭載装置の設置場所への移動。
↓
（７）閉鎖部材搭載装置におけるヒートパイプの冷媒液注入口に対する閉鎖部材の搭載。
↓
（８）ヒートパイプの閉鎖部材に対する加圧装置の設置場所への移動。
↓
（９）加圧装置の作動に基づく前記冷媒液注入口に対する閉鎖部材による加圧封止。
↓
（１０）加圧装置のヒートパイプからの取り外し。

しかしながら前記の工程は、相当煩雑であり、しかも真空チャンバーは、加圧シリンダー、閉鎖部材封鎖装置、及び閉鎖部材加圧装置の各設置場所に対応して存在することを必要不可欠とすることから、膨大なスペースを不可欠とする。

更には、注入した冷媒液のヒートパイプから噴出を防止するために、前記（５）のように、気体、具体的には、窒素ガス又は空気が真空チャンバー内に浸入しているが、その結果、当該気体は、必然的にヒートパイプ中にも浸入せざるを得ない。

然るに、窒素ガス又は空気等のガスがヒートパイプ中に浸入した場合には、ヒートパイプ中における水等の純然たる冷媒液及び冷媒蒸気の濃度が低下することを意味しており、冷媒液の蒸発、冷媒蒸気の凝縮による熱交換における効率が低下することにならざるを得ない。

特許文献２においては、特許文献１の場合と同様に周囲壁にて冷媒液注入口（１ａ）、流動パイプ（注入路２ｃ）、冷媒液流出口を設置した上で、冷媒液の注入及び封止を実現するために、以下の工程を採用している。
（１）ヒートパイプの真空チャンバー内への投入。
↓
（２）真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始。
↓
（３）ヒートパイプの冷媒液注入口１ａに対する加圧シリンダーによる冷媒液の加圧注入（図５（Ａ）、（Ｂ））。
↓
（４）加圧シリンダーの取り外し。
↓
（５）冷媒液注入口１ａの周囲に対する下側先端の周囲に刃２１を有するカシメピン２０による押圧による閉鎖（図６（Ａ）、（Ｂ））。
↓
（６）冷媒液注入口１ａの周囲を形成する上板に対する棒状のカシメピン３０による押圧による下板との当接（図８（Ａ）、（Ｂ））。
↓
（７）冷媒液注入口１ａ及びその周辺領域に対するレーザビームによる溶接（図９）。

特許文献２による前記工程は、従来技術及び特許文献１の場合よりも工程数が少ない点において優れている。

しかしながら、前記（５）の閉鎖の段階では、真空チャンバーの真空の程度は完全ではないため、冷媒液注入口１ａを介してヒートパイプ中に空気が混入する危険を免れることができない。

現に、前記工程に基づくモデル実験によって、ヒートパイプ中にガスが残存し、ヒートパイプ部の圧力が３０００Ｐａであることが確認されている。

更には、前記（４）の加圧シリンダーの取り外し工程の段階において、ヒートパイプに注入した冷媒液が真空チャンバー内に噴き出すというアクシデントが発生する場合がある。

前記アクシデントは、前記（４）の取り外し工程の段階では、冷媒液注入口１ａが閉鎖されていないことを原因としているが、真空チャンバー内に噴き出した冷媒液を封止することは不可能又は困難である一方、このような冷媒液の噴き出しの結果、前記ヒートパイプを使用した製品の性能にばらつきが発生するという弊害も発生することにならざるを得ない。

このように、ヒートパイプにおける冷媒液の注入及び封止につき、従来技術及び特許文献１、２のような前記各技術的問題点を改善するような技術的構成はこれまで提唱されていない。

特開２０２１－１２４２３７号公報 特開２０１０－２４３０７７号公報

本発明は、小容量の真空チャンバー内にて正確な所定量による冷媒液を効率的に注入し、かつ封止し得るヒートパイプ、及び前記注入並びに前記封止に関する工程による方法を提供することを課題としている。

前記課題を解決するため、本発明の基本構成は、
（１）冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、上板と熱溶着が行われている下板の空洞部内に形成すると共に、上板における冷媒液の流入貫通孔及び下板の当該空洞部に面している冷媒液流出口と上板及び下板の平面方向に沿って連通し、かつ接続する流動孔に対し、流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に上板に成形した凹部から流動孔の中途部位に対する加圧を伴う熱溶着によって流動孔のうち流入貫通孔に連通する側を閉鎖し、かつ冷媒液が流動孔の一部領域に封止され、その後冷媒液流出口を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ、
（２）冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板に冷媒液の流入貫通孔を設け、中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、当該流動孔と連通する上下方向貫通孔を設け、下板に当該上下方向貫通孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板において前記上下方向貫通孔の上側の位置に、金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び当該上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって上下方向貫通孔の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ、
（３）冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板及び中板を連通する冷媒液の流入貫通孔を設け、中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、下板に当該流動孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板に前記流動孔の一部領域の上側の位置に金属塊が周囲壁を当接又は圧接した状態にて通過する接触通過孔を設け、かつ中板における当該接触通過孔の下側の位置に金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって当該流動孔のうち、冷媒液流動溝と連通している側を閉鎖し、かつ冷媒液が前記流動孔の一部領域及び前記冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ、
（４）冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、複数の中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板に冷媒液の流入貫通孔を設け、最も上側の中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、複数個の中板に当該流動孔と連通する上下方向貫通孔を設け、下板に当該上下方向貫通孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板において前記上下方向貫通孔の上側の位置に、金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び当該上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって上下方向貫通孔の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ、
（５）冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、複数の中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板及び中板を連通する冷媒液の流入貫通孔を設け、最も上側の中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、複数個の中板に当該流動孔と連通する上下方向貫通孔を設け、下板に当該上下方向貫通孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板に前記上下方向貫通孔の上側の位置に金属塊が周囲壁を当接又は圧接した状態にて通過する接触通過孔を設け、最も上側の中板における当該接触通過孔の下側の位置に金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び当該上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって上下方向貫通孔の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ、
（６）以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、下記のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法、
記
冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動 を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸 気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって各外側周囲の枠状形成領域 を介して結合している上板及び下板の何れか一方又は双方に形成されている空洞部内に形 成すると共に、上板における冷媒液の流入貫通孔及び上板又は下板における前記空洞部に 面している冷媒液流出口と上板及び下板の平面方向に沿って連通し、かつ接続する流動孔 に対し、流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に流動孔の中 途部位に対する加圧を伴う熱溶着によって流動孔のうち流入貫通孔に連通する側を閉鎖し 、かつ冷媒液が流動孔の一部領域に封止され、その後冷媒液流出口を介して前記空洞部内 に流入することを特徴とするヒートパイプ、
１ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入、
２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始、
３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入、
４ 流動孔における冷媒液流出口に至る中途部位に対する熱溶着を伴う加圧バーからの加圧による流動孔のうち流入貫通孔に連通する側の閉鎖、
５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し、
（７）以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、前記（１）のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法、
１ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入、
２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始、
３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入、
４ 流動孔における冷媒液流出口に至る中途部位に対する加圧バーからの凹部における加熱を伴う加圧による流動孔のうち流入貫通孔に連通する側の閉鎖、
５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し、
（８）以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、前記（２）のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法、
１ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入、
２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始、
３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入、
４ 凹部に対する金属塊を介した加圧バーからの加圧による流動孔と接続している上下方向貫通孔の上側位置の閉鎖、
５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し、
（９）以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、前記（３）のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法、
１ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入、
２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始、
３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入、
４ 凹部に対する金属塊を介した加圧バーからの加圧による流動孔のうち、流入貫通孔と連通する側の閉鎖、
５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し、
（１０）以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、前記（４）及び（５）記載のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法、
１ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入、
２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始、
３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入、
４ 凹部に対する金属塊を介した加圧バーからの加圧による上下方向貫通孔の上側位置の閉鎖、
５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し、
からなる。

基本構成（６）記載のヒートパイプは、基本構成（６）自体の冷媒液注入及び封止方法に立脚しており、基本構成（１）のヒートパイプは、基本構成（７）の冷媒液注入及び封止方法に立脚しており、基本構成（２）のヒートパイプは、基本構成（８）の冷媒液注入及び封止方法に立脚しており、基本構成（３）のヒートパイプは、基本構成（９）の冷媒液注入及び封止方法に立脚しており、基本構成（４）及び（９）のヒートパイプは、基本構成（１０）の冷媒液注入及び封止方法に立脚している。

したがって、基本構成（７）の作用効果は、基本構成（１）の作成段階における作用効果に該当し、基本構成（８）の作用効果は、基本構成（２）の作成段階における作用効果に該当し、基本構成（９）の作用効果は、基本構成（３）の作成段階における作用効果に該当し、基本構成（１０）の作用効果は、基本構成（４）及び（５）の作成段階における作用効果に該当し、基本構成（６）に冷媒液注入及び封止方法の作用効果は、基本構成（ ６）記載のヒートパイプの作成段階における作用効果に該当する。

従来技術の各工程と対比した場合、基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）のヒートパイプの場合には、従来技術における前記（５）の工程のような冷媒液の蒸発に伴う放出工程を不要としている結果、封止に至る工程が極めて効率的であると共に、冷媒液の注入量を正確に設定することができる。

しかも、従来技術における前記（６）の切断のように、残存する注入パイプの突設状態を避けることができ、ヒートパイプを他の電子機器に組込む場合における前記突設による不都合は生じ得ない。

更には、従来技術における前記（１）のような注入口の穿設及び前記（２）のような注入パイプの挿入は不要であることから、超薄型のヒートパイプに適用することができる。

特許文献１の各工程と対比した場合、加圧シリンダーを取り外す工程が採用されていることは、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）と共通しているが、特許文献１の場合には、その後、前記（５）乃至（１０）の合計６段階の工程を必要としているのに対し、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の場合には、工程４の熱溶着又は圧着を伴う閉鎖の後に、工程５の加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外しという２段階にて終了することができ、作業効率において特許文献１による構成を明らかに凌駕している。

しかも、特許文献１のチャンバーの場合には、加圧シリンダー、閉鎖部材搭載装置、閉鎖部材加圧装置の３個の装置に対応するスペースを必要とするのに対し、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の場合には、熱溶着を行う加圧バーを加圧シリンダーの近傍の位置に設置することが可能であって、容量が小さい真空チャンバーを使用した上で、冷媒液の注入及び封止を実現することができる。

その結果、容量の小さいチャンバーにおいて、効率的な真空脱気を実現することができる。

更には、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）においては、工程３における正確な所定量による冷媒液の加圧注入の後に、工程４の閉鎖を行うことから、特許文献１における前記（５）の工程の場合のように、真空チャンバー内に窒素ガス又は空気等のガスの噴出による圧力調整は不要であって、ヒートパイプ中に当該ガスの浸入を伴わないことから、純然たる冷媒液の注入及び封止を実現することができ、前記（５）の圧力調整を原因とする冷媒液及び冷媒蒸気の濃度の低下を原因とする熱交換における効率の低下はあり得ない。

特許文献２の各工程と対比した場合、加圧シリンダーを取り外す工程が採用されることは、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）と共通しているが、特許文献２の場合には、その後（５）乃至（７）という３段階の工程を必要とするのに対し、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の場合には、工程４の熱溶着又は圧着を伴う閉鎖の後に、工程５の加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外しという２段階にて終了することができ、作業効率において特許文献２による構成を更に凌駕している。

しかも既に説明したように、特許文献２の場合には、冷媒液注入口１ａの周囲をカシメピン２０によって圧着するという前記（５）の工程の後に、更に注入口１ａを構成している上側の板をカシメピン３０によって下板に当接するという前記（６）の工程に際し、空気がヒートパイプに流入することを避けることができないのに対し、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の場合には、加圧注入を行う工程３の後に、それぞれ熱溶着及び圧着による閉鎖という工程４が行われ、その間、冷媒液注入口は、工程３によって加圧注入が行われた加圧シリンダーと結合する状態が維持されており、外部から空気又は窒素が流動パイプ内に浸入し難い状態が継続している。

前記結合状態の維持によって、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の場合には、高度の真空状態の維持を伴う冷媒液の注入を実現しており、その結果、基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）のヒートパイプにおいては、高度の真空状態が維持されている。

基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）の各ヒートパイプ及び基 本構成（６）記載のヒートパイプの構成を示す平面図であって、（ａ）は、ウイックを長手方向に沿って平行に配置する実施形態の場合を示しており、（ｂ）は、ウイックを所定の位置から順次広幅方向を形成することによる放射状を配置している実施形態の場合を示す。但し、冷媒液の空洞部への流入については、基本構成（２）、（６）の場合を示し、基本構成（２）、（３）、（４）、（５）のように冷媒液流動溝の上側における空洞部への開口領域の図示は省略されているが、当該図示は、後述の図２（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）の下側から２番目の平面図に示す通りである。尚、上側の平面図は、加熱が行われていない場合の状態を示し、下側の平面図は、加熱が行われている場合を示す。しかも、上側の図面における濃い斑点及び薄い斑点は、ヒートパイプに対する加熱が行われていない場合には、ウイックの毛細管現象によって、冷媒液がヒートパイプ内に保持される一方、蒸気流動部にも残留している状態を示しており、下側図面における濃い斑点は、ヒートパイプに対する加熱が行われた場合には、冷媒液は専らウイック内に保持され、毛細管現象によって流動する一方、蒸気流動部内を冷媒蒸気と化して流動している状態を示す。更には、個別の枠体の図示は省略されており、かつ■の表示は、流動孔において、加圧注入による熱溶着が行われている中途部位又は加圧による圧着が行われている上下方向貫通孔の連通部位を示す。しかも、（ａ）、（ｂ）の各下側図面の点線の領域は、加熱源の存在を示す。 基本構成（１）の構成を示す断面図であって、上側から順次上板の平面方向断面図、下板の平面方向断面図、上板及び下板の上下方向に沿ったＡ－Ａ断面図を示す。 基本構成（２）の構成を示す断面図であって、上側から順次上板の平面方向断面図、中板の平面方向断面図、下板の平面方向断面図、上板、中板、下板の上下方向に沿ったＡ－Ａ方向断面図を示す。 基本構成（３）の構成を示す断面図であって、上側から順次上板の平面方向断面図、中板の平面方向断面図、下板の平面方向断面図、上板、中板、下板の上下方向に沿ったＡ－Ａ方向断面図を示す。 基本構成（４）の構成を示す断面図であって、上側から順次上板の平面方向断面図、中板（複数枚：但し図２（ｄ）においては２枚）の平面方向断面図、下板の平面方向断面図、上板、中板、下板の上下方向に沿ったＡ－Ａ方向断面図を示す。 基本構成（５）の構成を示す断面図であって、上側から順次上板の平面方向断面図、中板（複数枚：但し図２（ｅ）においては２枚）の平面方向断面図、下板の平面方向断面図、上板、中板、下板の上下方向に沿ったＡ－Ａ方向断面図を示す。 基本構成（６）記載のヒートパイプの構成を示す断面図であって、上側から順次上板の平面方向断面図、下板の平面方向断面図、上板及び下板の上下方向に沿ったＡ－Ａ断面図を示す。 基本構成（６）の各工程の状態を示す断面図であって、（ａ）は、真空脱気を開始し、かつ冷媒液を注入する前の状態を示し、（ｂ）は、流入貫通孔に対する密閉状態を伴う所定量の冷媒液の注入が継続している状態を示し、（ｃ）は、冷媒液を封止するために閉鎖部を圧着を伴う熱溶着によって閉鎖した状態を示し、（ｄ）は、冷媒液の注入及び封止が完了した状態を示す。 基本構成（７）の各工程の状態を示す断面図であって、（ａ）は、真空脱気を開始し、かつ冷媒液を注入する前の状態を示し、（ｂ）は、流入貫通孔に対する密閉状態を伴う所定量の冷媒液の注入が継続している状態を示し、（ｃ）は、冷媒液を封止するために閉鎖部を圧着を伴う熱溶着によって閉鎖した状態を示し、（ｄ）は、冷媒液の注入及び封止が完了した状態を示す。 基本構成（８）の各工程の状態を示す断面図であって、（ａ）は、真空脱気を開始し、かつ冷媒液を注入する前の状態を示し、（ｂ）は、流入貫通孔に対する密閉状態を伴う所定量の冷媒液の注入が継続している状態を示し、（ｃ）は、冷媒液を封止するために凹部を形成する上板からの圧着によって、上下方向貫通孔における流入貫通孔と連通する側を閉鎖した状態を示し、（ｄ）は、冷媒液の注入及び封止が完了した状態を示す。 基本構成（９）の各工程の状態を示す断面図であって、（ａ）は、真空脱気を開始し、かつ冷媒液を注入する前の状態を示し、（ｂ）は、流入貫通孔に対する密閉状態を伴う所定量の冷媒液の注入が継続している状態を示し、（ｃ）は、冷媒液を封止するために凹部を形成する上板からの圧着によって、流動孔のうち流入貫通孔と連通する側を閉鎖した状態を示し、（ｄ）は、冷媒液の注入及び封止が完了した状態を示す。 基本構成（４）のヒートパイプを作成する場合の基本構成（１０）の各工程の状態を示す断面図であって、（ａ）は、真空脱気を開始し、かつ冷媒液を注入する前の状態を示し、（ｂ）は、流入貫通孔に対する密閉状態を伴う所定量の冷媒液の注入が継続している状態を示し、（ｃ）は、冷媒液を封止するために凹部を形成する上板からの圧着によって、上下方向貫通孔における流入貫通孔と連通する側を閉鎖した状態を示し、（ｄ）は、冷媒液の注入及び封止が完了した状態を示す。 基本構成（５）のヒートパイプを作成する場合の基本構成（１０）の各工程の状態を示す断面図であって、（ａ）は、真空脱気を開始し、かつ冷媒液を注入する前の状態を示し、（ｂ）は、流入貫通孔に対する密閉状態を伴う所定量の冷媒液の注入が継続している状態を示し、（ｃ）は、冷媒液を封止するために凹部を形成する上板からの圧着によって、上下方向貫通孔における流入貫通孔と連通する側を閉鎖した状態を示し、（ｄ）は、冷媒液の注入及び封止が完了した状態を示す。 基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）のヒートパイプにおいて枠体を備えたウイックの実施形態の一部領域を示す平面図であって、（ａ）は、冷媒液の流動方向及び当該流動方向と交差する方向の双方に沿っている枠体を示し、（ｂ）は、冷媒液の流動方向のみに沿っている枠体を示す。 ヒートパイプにおいて枠体を備えていることを特徴とする実施形態によるウイックの設置状態を示しており、（ａ）は、五層のウイックが上板及び下板との間にて熱溶着又は圧着されている場合を示し、（ｂ）は、五層のウイックが中板の空洞部の周囲にて枠状を形成している領域に熱溶着されている場合を示し、（ｃ）は、二層のウイックが上板及び下板とそれぞれ突設されている場合を示す。尚、（ａ）、（ｃ）は、図９（ａ）の場合と同様に、枠体から突起を突設し、かつ中板から離れた状態にて設置されている場合を示し、（ｂ）は、突起を突設していないウイックが前記領域に接合している場合を示す。更には、（ａ）における上下方向に連続した黒色領域は、熱溶着又は圧着が行われている領域を示し、（ｂ）の左右方向の黒色領域は、前記領域との間にて熱溶着が行われている領域を示し、（ｃ）の上下方向の黒色領域は、上板及び下板からウイックが突設されている領域を示す。

基本構成（１）は、図１（ａ）、（ｂ）及び図２（ａ）に示すように、冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック２１、及び当該ウイック２１の隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部２２を、上板１１と熱溶着が行われている下板１３の空洞部内に形成すると共に、上板１１における冷媒液の流入貫通孔４１及び下板１３の当該空洞部に面している冷媒液流出口４２と上板１１及び下板１３の平面方向に沿って連通し、かつ接続する流動孔５に対し、流入貫通孔４１を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に上板１１に成形した凹部３０から流動孔５の中途部位に対する加圧を伴う熱溶着によって流動孔５のうち流入貫通孔４１に連通する側を閉鎖し、かつ冷媒液が流動孔５の一部領域に封止され、その後冷媒液流出口４２を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ１である。
尚、図２（ａ）の下側のＡ－Ａ断面図は、冷媒液が流動孔５に封止されており、空洞部に流入する前の状態を示す。

基本構成（１）においては、凹部３０を上板１１に設置していることから、基本構成（１）の場合よりも、上板１１をやや厚く設定する場合があるが、上板１１及び下板１３の２枚の板を採用していることから、後述する基本構成（６）記載のヒートパイプ１と同様又は当該ヒートパイプ１に準ずる程度に薄いヒートパイプ１を実現することができる。

基本構成（２）は、図１（ａ）、（ｂ）及び図２（ｂ）に示すように、冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック２１、及び当該ウイック２１の隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部２２を、相互に熱溶着によって結合している上板１１、中板１２、下板１３のうち、下板１３上に配置されている中板１２に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板１１に冷媒液の流入貫通孔４１を設け、中板１２に当該流入貫通孔４１と連通し、かつ中板１２の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔５を設置すると共に、当該流動孔５と連通する上下方向貫通孔４３を設け、下板１３に当該上下方向貫通孔４３と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝５１を設置すると共に、上板１１において前記上下方向貫通孔４３の上側の位置に、金属塊３が嵌入されている凹部３０を形成すると共に、当該流動孔５及び当該上下方向貫通孔４３及び冷媒液流動溝５１に対し、冷媒液の流入貫通孔４１を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部３０に対する前記金属塊３を介した加圧によって上下方向貫通孔４３の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔４３及び冷媒液流動溝５１に封止され、その後冷媒液流動溝５１における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ１である。
尚、図２（ｂ）の下側のＡ－Ａ断面図は、冷媒液が流動孔５に封止されており、空洞部に流入する前の状態を示す。
更には、図２（ｂ）の上板１１及び下板１３においては、ウイック２１及び蒸気流動部２２を空洞部内に形成していない場合を図示しているが、基本構成（２）においては、基本構成（１）と同様に、上板１１及び下板１３にウイック２１及び蒸気流動部２２を配置している空洞部を形成することができる。

基本構成（２）においては、上板１１、１枚の中板１２、下板１３という３枚の板を採用していることから、基本構成（１）の場合よりも、厚いヒートパイプ１を形成していることに帰するが、中板１２の空洞領域に相当の容積を有するウイック２１及び蒸気流動部２２を設置することができ、基本構成（１）の場合よりも単位時間当たりの冷却効率が高く、ひいてはスピーディーな冷却を実現することができる。
尚、冷媒液流動溝５１における上側の空洞部への開口領域は、基本構成（１の冷媒液流出口４２と同様に、空洞部内への冷媒液の流出機能を発揮しており、かつこの点は、基本構成（３）、（４）、（５）の場合においても同様である。

基本構成（３）は、図１（ａ）、（ｂ）、及び図２（ｃ）に示すように、冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック２１、及び当該ウイック２１の隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部２２を、相互に熱溶着によって結合している上板１１、中板１２、下板１３のうち、下板１３上に配置されている中板１２に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板１１及び中板１２を連通する冷媒液の流入貫通孔４１を設け、中板１２に当該流入貫通孔４１と連通し、かつ中板１２の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔５を設置すると共に、下板１３に当該流動孔５と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝５１を設置すると共に、上板１１に前記流動孔５の一部領域の上側の位置に金属塊３が周囲壁を当接又は圧接した状態にて通過する接触通過孔３１を設け、かつ中板１２における当該接触通過孔３１の下側の位置に金属塊３が嵌入されている凹部３０を形成すると共に、当該流動孔５及び冷媒液流動溝５１に対し、冷媒液の流入貫通孔４１を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部３０に対する前記金属塊３を介した加圧によって当該流動孔５のうち、冷媒液流動溝５１と連通している側を閉鎖し、かつ冷媒液が前記流動孔５の一部領域及び前記冷媒液流動溝５１に封止され、その後冷媒液流動溝５１における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ１である。
尚、図２（ｃ）の下側のＡ－Ａ断面図は、冷媒液が流動孔５に封止されており、空洞部に流入する前の状態を示す。
更には、図２（ｃ）の上板１１及び下板１３においては、ウイック２１及び蒸気流動部２２を空洞部内に形成していない場合を図示しているが、基本構成（３）においては、基本構成（１）と同様に、上板１１及び下板１３にウイック２１及び蒸気流動部２２を配置している空洞部を形成することができる。

基本構成（３）は、基本構成（２）と同様に上板１１、１枚の中板１２、下板１３による３枚の板を採用している点において共通しているが、基本構成（４）、（５）のように上下方向貫通孔４３を設けずに、流動孔５を冷媒液流動溝５１と連通している点において、基本構成（４）、（５）よりも構成がシンプルであり、しかも基本構成（４）、（５）と同様にスピーディーな冷却を実現することができる。

基本構成（４）は、図１（ａ）、（ｂ）及び図２（ｄ）に示すように、冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック２１、及び当該ウイック２１の隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部２２を、相互に熱溶着によって結合している上板１１、複数の中板１２、下板１３のうち、下板１３上に配置されている中板１２に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板１１に冷媒液の流入貫通孔４１を設け、最も上側の中板１２に当該流入貫通孔４１と連通し、かつ中板１２の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔５を設置すると共に、複数個の中板１２に当該流動孔５と連通する上下方向貫通孔４３を設け、下板１３に当該上下方向貫通孔４３と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝５１を設置すると共に、上板１１において前記上下方向貫通孔４３の上側の位置に、金属塊３が嵌入されている凹部３０を形成すると共に、当該流動孔５及び当該上下方向貫通孔４３及び冷媒液流動溝５１に対し、冷媒液の流入貫通孔４１を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部３０に対する前記金属塊３を介した加圧によって上下方向貫通孔４３の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔４３及び冷媒液流動溝５１に封止され、その後冷媒液流動溝５１における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ１である。
尚、図２（ｄ）の下側のＡ－Ａ断面図は、冷媒液が流動孔５に封止されており、空洞部に流入する前の状態を示す。
更には、図２（ｄ）の上板１１及び下板１３においては、ウイック２１及び蒸気流動部２２を空洞部内に形成していない場合を図示しているが、基本構成（９）においては、基本構成（１）、（２）と同様に、上板１１及び下板１３にウイック２１及び蒸気流動部２２を配置している空洞部を形成することができる。

基本構成（４）においては、上板１１、複数枚の中板１２、下板１３という４枚以上の板を採用することによって、複数枚の中板１２が形成する空洞領域に必要にして十分な容積のウイック２１及び蒸気流動部２２を設置することができ、基本構成（２）の場合よりも更に単位時間当たりの冷却効率が高く、ひいては、極めてスピーディーな冷却を実現することができる。

基本構成（５）は、図１（ａ）、（ｂ）及び図２（ｅ）に示すように、冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック２１、及び当該ウイック２１の隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部２２を、相互に熱溶着によって結合している上板１１、複数の中板１２、下板１３のうち、下板１３上に配置されている中板１２に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板１１及び中板１２を連通する冷媒液の流入貫通孔４１を設け、最も上側の中板１２に当該流入貫通孔４１と連通し、かつ中板１２の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔５を設置すると共に、複数個の中板１２に当該流動孔５と連通する上下方向貫通孔４３を設け、下板１３に当該上下方向貫通孔４３と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝５１を設置すると共に、上板１１に前記上下方向貫通孔４３の上側の位置に金属塊３が周囲壁を当接又は圧接した状態にて通過する接触通過孔３１を設け、最も上側の中板１２における当該接触通過孔３１の下側の位置に金属塊３が嵌入されている凹部３０を形成すると共に、当該流動孔５及び当該上下方向貫通孔４３及び冷媒液流動溝５１に対し、冷媒液の流入貫通孔４１を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部３０に対する前記金属塊３を介した加圧によって上下方向貫通孔４３の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔４３及び冷媒液流動溝５１に封止され、その後冷媒液流動溝５１における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ１である。
尚、図２（ｅ）の下側のＡ－Ａ断面図は、冷媒液が流動孔５に封止されており、空洞部に流入する前の状態を示す。
更には、図２（ｅ）の上板１１及び下板１３においては、ウイック２１及び蒸気流動部２２を空洞部内に形成していない場合を図示しているが、基本構成（５）においては、基本構成（１）と同様に、上板１１及び下板１３にウイック２１及び蒸気流動部２２を配置している空洞部を形成することができる。

基本構成（５）は、凹部３０の形成位置が、上板１１ではなく中板１２である点において、基本構成（４）のヒートパイプ１と相違するが、その結果、上下方向貫通孔４３の上下方向の距離が短い点において、基本構成（４）よりも構成が稍シンプルである一方、極めてスピーディーな冷却を実現する点において、基本構成（４）と共通している。

基本構成（６）記載のヒートパイプは、図１（ａ）、（ｂ）及び図２（ｆ）に示すように、冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック２１、及び当該ウイック２１の隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部２２を、相互に熱溶着によって各外側周囲の枠状形成領域１１０及び１３０を介して結合している上板１１及び下板１３の何れか一方又は双方に形成されている空洞部内に形成すると共に、上板１１における冷媒液の流入貫通孔４１及び上板１１又は下板１３における前記空洞部に面している冷媒液流出口４２と上板１１及び下板１３の平面方向に沿って連通し、かつ接続する流動孔５に対し、流入貫通孔４１を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に流動孔５の中途部位に対する加圧を伴う熱溶着によって流動孔５のうち流入貫通孔４１に連通する側を閉鎖し、かつ冷媒液が流動孔５の一部領域に封止され、その後冷媒液流出口４２を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ１である。
尚、図２（ｆ）の下側のＡ－Ａ断面図は、冷媒液が流動孔５に封止されており、空洞部に流入する前の状態を示す。

基本構成（６）記載のヒートパイプにおいては、流動孔５を上板１１及び／又は下板１３の平面方向に沿って設置し得ることから、薄いヒートパイプ１を実現することができる。

基本構成（６）は、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプ１に注入し、かつ封止することによって、図２（ｆ）に示 すヒートパイプ１を形成することを特徴とするヒートパイプ１における冷媒液注入及び封止方法である。
１ ヒートパイプ１の真空チャンバー７内への投入。
２ 真空ポンプによる真空チャンバー７に対する真空脱気の開始（図３（ａ））。
３ 冷媒液の流入貫通孔４１に対する密閉状態を伴う加圧シリンダー８による所定量の冷媒液の加圧注入（図３（ｂ））。
４ 流動孔５における冷媒液流出口４２に至る中途部位に対する熱溶着を伴う加圧バー９からの加圧による流動孔５のうち流入貫通孔４１に連通する側の閉鎖（図３（ｃ））。
５ 加圧シリンダー８及び加圧バー９のヒートパイプ１からの取り外し（図３（ｄ））。

基本構成（７）は、図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプ１に注入し、かつ封止することによって、基本構成（３）のヒートパイプ１を形成することを特徴とするヒートパイプ１における冷媒液注入及び封止方法である。
１ ヒートパイプ１の真空チャンバー７内への投入。
２ 真空ポンプによる真空チャンバー７に対する真空脱気の開始（図４（ａ））。
３ 冷媒液の流入貫通孔４１に対する密閉状態を伴う加圧シリンダー８による所定量の冷媒液の加圧注入（図４（ｂ））。
４ 流動孔５における冷媒液流出口４２に至る中途部位に対する加圧バー９からの凹部３０における加熱を伴う加圧による流動孔５のうち流入貫通孔４１に連通する側の閉鎖（図４（ｃ））。
５ 加圧シリンダー８及び加圧バー９のヒートパイプ１からの取り外し（図４（ｄ））。

基本構成（８）は、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプ１に注入し、かつ封止することによって、基本構成（２）のヒートパイプ１を形成することを特徴とするヒートパイプ１における冷媒液注入及び封止方法である。
１ ヒートパイプ１の真空チャンバー７内への投入。
２ 真空ポンプによる真空チャンバー７に対する真空脱気の開始（図５（ａ））。
３ 冷媒液の流入貫通孔４１に対する密閉状態を伴う加圧シリンダー８による所定量の冷媒液の加圧注入（図５（ｂ））。
４ 凹部３０に対する金属塊３を介した加圧バー９からの加圧による流動孔５と接続している上下方向貫通孔４３の上側位置の閉鎖（図５（ｃ））。
５ 加圧シリンダー８及び加圧バー９のヒートパイプ１からの取り外し（図５（ｄ））。

基本構成（９）は、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプ１に注入し、かつ封止することによって、基本構成（３）のヒートパイプ１を形成することを特徴とするヒートパイプ１における冷媒液注入及び封止方法である。
１ ヒートパイプ１の真空チャンバー７内への投入。
２ 真空ポンプによる真空チャンバー７に対する真空脱気の開始（図６（ａ））。
３ 冷媒液の流入貫通孔４１に対する密閉状態を伴う加圧シリンダー８による所定量の冷媒液の加圧注入（図６（ｂ））。
４ 凹部３０に対する金属塊３を介した加圧バー９からの加圧による流動孔５のうち、流入貫通孔４１と連通する側の閉鎖（図６（ｃ））。
５ 加圧シリンダー８及び加圧バー９のヒートパイプ１からの取り外し（図６（ｄ））。
尚、工程４においては、金属塊３は基本構成（４）の接触通過孔３１を当接又は圧接した状態にて通過しているが、図６（ｃ）に示すように、金属塊３と接触通過孔３１との当接又は圧接によって、冷媒液の上側への浸潤は充分防止されている。

基本構成（１０）は、図７（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）及び図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプ１に注入し、かつ封止することによって、基本構成（４）及び（５）のヒートパイプ１を形成することを特徴とするヒートパイプ１における冷媒液注入及び封止方法である。
１ ヒートパイプ１の真空チャンバー７内への投入。
２ 真空ポンプによる真空チャンバー７に対する真空脱気の開始（図７（ａ）及び図８（ａ））。
３ 冷媒液の流入貫通孔４１に対する密閉状態を伴う加圧シリンダー８による所定量の冷媒液の加圧注入（図７（ｂ）及び図８（ｂ））。
４ 凹部３０に対する金属塊３を介した加圧バー９からの加圧による上下方向貫通孔４３の上側位置の閉鎖（図７（ｃ）及び図８（ｃ））。
５ 加圧シリンダー８及び加圧バー９のヒートパイプ１からの取り外し（図７（ｄ）及び図８（ｄ））。
尚、図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示す工程４においては、金属塊３は基本構成（１０）の接触通過孔３１を当接又は近接した状態にて通過しているが、図８（ｃ）に示すように、金属塊３と接触通過孔３１との当接又は圧接によって、冷媒液の上側への浸潤は充分防止されている。

基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）におけるウイック２１は、冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を実現する物の総称であり、当該物については色々な形状を採用することができる。

即ち、上板１１、中板１２、下板１３において、ヒートパイプ１に反映している外部の熱を吸収させるために、ヒートパイプ１内における空洞部内にて採用し得る形状については、様々な構成を想定することができる。

具体的には、上板１１及び下板１３内の空洞領域又は上板１１、中板１２、下板１３の空洞領域において突設される突起、張設される二次元又は三次元のメッシュ、湾曲又は屈曲したパイプ等の何れも採用可能である。

特に、図９（ａ）に示す冷媒液の流動方向及び当該方向と交差する方向による枠体、又は図９（ｂ）に示すような冷媒液の流動方向に沿った枠体は、シンプルな形状として好適に採用することができる。

基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の工程３における所定量の冷媒液の加圧注入は、当該注入が所定期間継続することを当然の前提とする一方、前記２の真空脱気は、通常前記４の閉鎖の段階にて終了している。

図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）乃至図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）においては、加圧シリンダー８及び加圧バー９は、何れも支持枠６によって上下方向移動自在の状態にて支持されている。

しかも、流入貫通孔４１に対して密閉状態にて押圧している加圧シリンダー８の先端に近い箇所に開閉弁８１が設置されており、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）乃至図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）においては、工程２、４、５の段階では、加圧シリンダー８は閉鎖しているが、図３（ｂ）乃至図８（ｂ）に示すように、工程３の段階では、開閉弁８１は開口している。

基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）、（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の従来技術及び特許文献１、同２に対する技術上のメリットについては、既に効果の項において指摘した通りである。

図１（ａ）、（ｂ）の上側図面に示すように、基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）においては、ヒートパイプ１中に注入された冷媒液は、加熱源１０が存在しない場合には、主としてウイック２１の毛細管現象によってウイック２１内に保持されているが、全てのウイック２１に保持されている訳ではない一方、ヒートパイプ１に対する加熱源１０の接触が行われ、当該加熱源１０に対する冷却を行う際には、図１（ａ）、（ｂ）の下側図面に示すように、冷媒液は専らウイック２１の毛細管現象によってウイック２１の領域を流動し、冷媒蒸気は、蒸気流動部２２を流動している。

基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）においては、工程４の閉鎖の結果、図３（ｃ）乃至図８（ｃ）の右側に示すような流入貫通孔４１及びその近傍における冷媒液が残留し、工程５においてヒートパイプ１の取り外しが行われた場合には、図３（ｄ）乃至図８（ｄ）に示すように、残留した冷媒液は無駄となるが、このような冷媒液はさしたる量ではなく、基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）、（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の作用効果によるメリットを低下させる要因ではない。

基本構成（２）、（４）、（５）においては、それぞれ図２（ｂ）、図２（ｄ）、図２（ｅ）に示すように、流動孔５のうち流入貫通孔４１と連通していない側においては、冷媒液は封止されるが、当該封止の後に、ウイック２１及び蒸気流動部２２を備えた空洞部に流入している。

基本構成（７）、（８）、（９）、（１０）において凹部３０を加圧した場合には、必然的に凹部３０の底部は、図４（ｃ）、（ｄ）、図５（ｃ）、（ｄ）、図６（ｃ）、（ｄ）、図７（ｃ）、（ｄ）、及び図８（ｃ）、（ｄ）に示すように変形し、その結果、基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）のヒートパイプ１は、それぞれ図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（e）の下側におけるＡ－Ａ断面図に示すように、凹部３０
に該当する底部は、下側への湾曲状態によって変形している。

以下、基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）、（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の具体的構成につき、実施形態に即して説明する。

基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）においては、熱溶着として超音波振動による熱溶着を採用することができる。

前記実施形態の場合には、シンプルな構成による熱溶着を実現することができる。

基本構成（８）、（９）、（１０）においては、凹部３０に対する加圧が、金属塊３を介して行われているが、金属塊３の形状としては、図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）乃至図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、球状を採用する場合が多い。

しかしながら、金属塊３の形状は、球状に限定する必要はない。

具体的には、半球、又は円柱をも採用することができる。
但し、どのような形状であろうと、工程４の加圧が行われた後に、基本構成（２）、（３）、（４）、（５）のヒートパイプ１中に金属塊３が残存する場合には、当該加圧によって加圧方向に即して縮小するような部材、即ち加圧方向と直交する方向に扁平形状となるような部材が好ましい。

しかしながら、基本構成（２）、（３）、（４）、（５）のヒートパイプ１においては、金属塊３が残存することは必要不可欠ではなく、図２（ｃ）、（ｄ）の下側におけるＡ－Ａ断面図に示すように、金属塊３が除去されている構成を選択することができる。
但し、前記除去の構成を選択する場合には、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の工程５においては、金属塊３をも取り外して除去することを必要不可欠とする。
尚、金属塊３の部材としては、熱伝導率が良好である銅を採用する場合が多い。

上記のような金属塊３の形状に対応して、凹部３０の形状については、半球状又は円筒状とする実施形態を採用することができ、当該実施形態の場合には、金属塊３とのスムーズな嵌合を実現することができる。

金属塊３及び凹部３０につき、様々な形状を採用する場合であっても、金属塊３を介した加圧を原因として、中板１２及び下板１３が変形することによって、金属塊３と中板１２及び下板１３との間に強固な界面接合が形成される。
但し、ヒートパイプ１の使用環境温度が２００℃を超えるような高温使用の場合には、２０気圧～４０気圧という高圧の水蒸気圧が発生することから、ヒートパイプ１については、このような高温に耐え得るような素材及び構造を採用することを必要不可欠とする。

基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）及び基本構成（６）記載のヒートパイプ１においては、図１（ａ）に示すように、複数個のウイック２１を、冷媒液の流動方向である長手方向に沿って平行に配置することを特徴とする実施形態を採用することができる。

このような実施形態は、図１（ａ）の下側図面に示すように、加熱源１０が長手方向を有する棒状又は長方形の場合、当該長手方向を前記長手方向と直交する方向に配置することによって、効率的な冷却を行うことができる（尚、図１（ａ）の下側図面は、棒状の場合を示す。）。

前記各ヒートパイプ１においては、図１（ｂ）に示すように、複数個のウイック２１を、所定の位置から冷媒液の流動方向にて順次広幅状態を形成することによって、放射状に配置していることを特徴とする実施形態を採用することができる。

上記実施形態の場合は、図１（ｂ）の下側図面に示すように、例えば、円形又は正多角形のように長手方向を有していない加熱源１０の場合に、ヒートパイプ１の中央位置に当該加熱源１０を配置することによって効率的な冷却を実現することができる（尚、図１（ｂ）の下側図面は、円形の場合を示す。）。

図１（ａ）に示すように、ウイック２１を長手方向に沿って平行状態に配置する実施形態と、図１（ｂ）に示すように、ウイック２１を前記のような放射状に配置する実施形態を対比した場合、後者の方が熱抵抗が少なく、ひいては、効率的な冷却に有利であることを、以下の通り明らかにする。

図１（ａ）に示すように、長手方向に沿って平行に配置された各ウイック２１の長さをＬとし、厚みをｔとし、幅をｗとし、熱抵抗比率をρとした場合には、それぞれ平行状態にあるウイック２１の熱抵抗Ｒについては、
Ｒ≒（ρＬ）／（Ｗｔ） ・・・（１）
が成立する。

これに対し、図１（ｂ）に示すように、円形のヒートパイプ１であって、中心位置からの距離が内壁に至る距離をｒ_１とし、半径ｒ_２を有する円盤状の加熱源１０の中心位置をヒートパイプ１の中心位置に配置し、かつウイック２１の放射角度をθとした場合に、中心位置からの距離がｒである場合の円弧の長さは約θｒであることから、円形の加熱源１０から内側端に至るまでのウイック２１の熱抵抗Ｒ’については、

・・・（２）
が成立する。

通常の設計では、前記（１）式の（Ｌ／Ｗ）については、約１０に設定することができ、前記（２）式のｒ_１／ｒ_２についても、約１０と設定することができ、θについては、図１（ｂ）に示すように、θ≒π／４と設定することができる。

であることから、平行状態の熱抵抗値Ｒより放射状の熱抵抗値Ｒ’の方が熱抵抗値が小さく、その結果、加熱源１０の熱がウイック２１の低い熱抵抗によって冷媒液を伝導し、かつ加熱源１０の熱エネルギーを冷媒液の蒸発エネルギーとして効率的に吸収できることを意味している。

このような帰結は、正に前記（２）式のＲ’の方が、前記（１）式のＲの場合よりも熱交換効率が高いことを示している。
尚、図１（ｂ）においては、蒸気流動部２２についても放射状にする実施形態を採用しているが、ウイック２１を放射状とする一方、蒸気流動部２２については、図１（ａ）と同様に、直線状とする実施形態も採用することができる。
但し、図１（ｂ）のように、蒸気流動部２２もまた放射状とする実施形態の方が、外気からの冷却による熱交換が大きいことから、上記のような放射状の実施形態よりも熱交換効率が高い状況にある。

基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）及び基本構成（６）記載の各ヒートパイプ１においては、図９（ａ）、（ｂ）に示すような枠体を有するウイック２１を採用した上で、図１０（ａ）に示すように、一層又は複数層のウイック２１が、上板１１及び下板１３との間にて熱溶着又は圧着されていることを特徴とする実施形態を採用することができ、しかも超音波振動による熱溶着を採用することもできる。
尚、図１０（ａ）は、五層のウイック２１の場合を示す。

このようなウイック２１を、上板１１及び下板１３の間にて熱溶着又は圧着を伴う実施形態の場合には、一層だけでなく、１０層程度までのウイック２１を形成することが可能となり、大量の熱交換を行うヒートパイプ１を実現することができる。

基本構成（２）、（３）、（４）、（５）のヒートパイプ１においては、図１０（ｂ）に示すように、一層又は複数層のウイック２１が、中板１２の空洞部の周囲にて枠状を形成している領域１２０に熱溶着されていることを特徴とする実施形態を採用することができる。
尚、図１０（ｂ）もまた、五層のウイック２１の場合を示す。

図１０（ｂ）の実施形態の場合においても、１０層程度までのウイック２１を形成することが可能である。

複数個のウイック２１の間にスペースを形成するために、通常図７（ａ）並びに図８（ａ）及び図１０（ａ）並びに後述する図１０（ｃ）に示すように、ウイック２１に備えられている枠体には突起２１０を突設する実施形態を採用する場合が多い。

しかしながら、図１０（ｂ）に示す実施形態の場合には、中板１２の空洞部の周囲にて枠状を形成している領域１２０との熱溶着に際し、ウイック２１を相互間に所定の間隔を設けた状態とすることによって、前記スペースを確保することができる。

基本構成（１）及び基本構成（６）記載のヒートパイプ１においては、図１０（ｃ）に示すように、二層のウイック２１が、上板１１及び下板１３からそれぞれ複数個の突起２１０を介して突設されていることを特徴とする実施形態を採用することができる。

このような実施形態の場合には、図１０（ａ）、（ｂ）に示す実施形態に比し、極めて薄型であってコンパクトなヒートパイプ１を実現することができる。

以下、実施例に即して説明する。

実施例は、基本構成（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）の方法において、例えば図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）及び図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）に示すように、工程３の加圧シリンダー８において、先端側におけるシリンダー８が中途部位に て冷媒液流出口４２側に変形した上で流入貫通孔４１に至る形状であることを特徴としている。

通常、加圧シリンダー８及び加圧バー９は、支持枠６によって支持されているが、このような支持の設計上、加圧シリンダー８と加圧バー９とは水平方向に沿って所定のスペースを伴う距離を必要とする。

然るに、加圧シリンダー８が鉛直方向に即した直線状の場合には、必然的に流入貫通孔４１と冷媒液流出口４２との間には所定の距離を必要不可欠とする。

このような場合、前記のような加圧シリンダー８の形状によって、流入貫通孔４１と冷媒液流出口４２との距離を短縮することができる。
尚、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）及び図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）においては、加圧シリンダー８の下側が直角に屈曲した形状の場合を示すが、前記形状については、例えば湾曲形状の場合をも選択することができる。

実施例において流入貫通孔４１と冷媒液流出口４２との距離が小さくなることは、図３（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）及び図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）と図５（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）乃至図８（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）との対比によっても明らかである。

このように、基本構成（１）、（２）、（３）、（４）、（５）、（６）、（７）、（８）、（９）、（１０）に基づく本発明は、効率的に正確な所定量による冷媒液の注入及びその後の封止の実現、コンパクトであって、容量の少ない真空チャンバーの採用、更には効率的な熱交換を実現し得る点において画期的であって、利用範囲は広範である。

１ ヒートパイプ
１１ 上板
１１０ 上板における枠状形成領域
１２ 中板
１２０ 中板における枠状形成領域
１３ 下板
１３０ 下板における枠状形成領域
２１ ウイック
２１０ 枠体を備えたウイックにおける突起
２２ 蒸気流動部
３ 金属塊
３０ 凹部
３１ 接触通過孔
４１ 流入貫通孔
４２ 冷媒液流出口
４３ 上下方向貫通孔
５ 流動孔
５１ 冷媒液流動溝
６ 支持枠
７ 真空チャンバー
８ 加圧シリンダー
８１ 開閉弁
９ 加圧バー
１０ 加熱源

Claims (24)

1. 冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、上板と熱溶着が行われている下板の空洞部内に形成すると共に、上板における冷媒液の流入貫通孔及び下板の当該空洞部に面している冷媒液流出口と上板及び下板の平面方向に沿って連通し、かつ接続する流動孔に対し、流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に上板に成形した凹部から流動孔の中途部位に対する加圧を伴う熱溶着によって流動孔のうち流入貫通孔に連通する側を閉鎖し、かつ冷媒液が流動孔の一部領域に封止され、その後冷媒液流出口を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ。
2. 冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板に冷媒液の流入貫通孔を設け、中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、当該流動孔と連通する上下方向貫通孔を設け、下板に当該上下方向貫通孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板において前記上下方向貫通孔の上側の位置に、金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び当該上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって上下方向貫通孔の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ。
3. 冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板及び中板を連通する冷媒液の流入貫通孔を設け、中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、下板に当該流動孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板に前記流動孔の一部領域の上側の位置に金属塊が周囲壁を当接又は圧接した状態にて通過する接触通過孔を設け、かつ中板における当該接触通過孔の下側の位置に金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって当該流動孔のうち、冷媒液流動溝と連通している側を閉鎖し、かつ冷媒液が前記流動孔の一部領域及び前記冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ。
4. 冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、複数の中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板に冷媒液の流入貫通孔を設け、最も上側の中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、複数個の中板に当該流動孔と連通する上下方向貫通孔を設け、下板に当該上下方向貫通孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板において前記上下方向貫通孔の上側の位置に、金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び当該上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって上下方向貫通孔の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ。
5. 冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって結合している上板、複数の中板、下板のうち、下板上に配置されている中板に設定されている空洞部内に形成すると共に、上板及び中板を連通する冷媒液の流入貫通孔を設け、最も上側の中板に当該流入貫通孔と連通し、かつ中板の平面方向に沿っている冷媒液の流動孔を設置すると共に、複数個の中板に当該流動孔と連通する上下方向貫通孔を設け、下板に当該上下方向貫通孔と連通し、かつ上側が空洞部側に開口している冷媒液流動溝を設置すると共に、上板に前記上下方向貫通孔の上側の位置に金属塊が周囲壁を当接又は圧接した状態にて通過する接触通過孔を設け、最も上側の中板における当該接触通過孔の下側の位置に金属塊が嵌入されている凹部を形成すると共に、当該流動孔及び当該上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に対し、冷媒液の流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に凹部に対する前記金属塊を介した加圧によって上下方向貫通孔の上側を閉鎖し、かつ冷媒液が上下方向貫通孔及び冷媒液流動溝に封止され、その後冷媒液流動溝における上側の開口領域を介して前記空洞部内に流入することを特徴とするヒートパイプ。
6. 超音波振動による熱溶着を採用することを特徴とする請求項１に記載のヒートパイプ。
7. 凹部に対する加圧が、変形可能な金属製の球、又は半球、又は円柱を介して行われ、かつ当該封止部材が凹部に圧着された状態にて残存していることを特徴とする請求項２，３、４、５の何れか一項に記載のヒートパイプ。
8. 凹部の形状が、円筒状、又は半球状であることを特徴とする請求項７記載のヒートパイプ。
9. 複数個のウイックを、冷媒液の流動方向である長手方向に沿って平行に配置することを特徴とする請求項１、２、３、４、５の何れか一項に記載のヒートパイプ。
10. 複数個のウイックを、所定の位置から冷媒液の流動方向にて順次広幅状態を形成することによって、放射状に配置していることを特徴とする請求項１、２、３、４、５の何れか一項に記載のヒートパイプ。
11. 一層又は複数層のウイックが、上板及び下板との間にて熱溶着又は圧着されていることを特徴とする請求項１、２、３、４、５の何れか一項に記載のヒートパイプ。
12. 超音波振動による熱溶着を採用することを特徴とする請求項１１記載のヒートパイプ。
13. 一層又は複数層のウイックが、中板の空洞部の周囲にて枠状を形成している領域に熱溶着されていることを特徴とする請求項２，３、４、５の何れか一項に記載のヒートパイプ。
14. 二層のウイックが、上板及び下板からそれぞれ複数個の突起を介して突設されていることを特徴とする請求項１に記載のヒートパイプ。
15. 以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、下 記のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
    記
    冷媒液の流動方向を変化させる流動障害物を備え、かつ冷媒液の毛細管現象を伴う流動 を予定し、かつ平面形状を呈しているウイック、及び当該ウイックの隣接領域にて冷媒蒸 気の流動を予定している蒸気流動部を、相互に熱溶着によって各外側周囲の枠状形成領域 を介して結合している上板及び下板の何れか一方又は双方に形成されている空洞部内に形 成すると共に、上板における冷媒液の流入貫通孔及び上板又は下板における前記空洞部に 面している冷媒液流出口と上板及び下板の平面方向に沿って連通し、かつ接続する流動孔 に対し、流入貫通孔を介して加圧注入された冷媒液を充満した状態とし、更に流動孔の中 途部位に対する加圧を伴う熱溶着によって流動孔のうち流入貫通孔に連通する側を閉鎖し 、かつ冷媒液が流動孔の一部領域に封止され、その後冷媒液流出口を介して前記空洞部内 に流入することを特徴とするヒートパイプ。
    １ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入。
    ２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始。
    ３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入。
    ４ 流動孔における冷媒液流出口に至る中途部位に対する熱溶着を伴う加圧バーからの加圧による流動孔のうち流入貫通孔に連通する側の閉鎖。
    ５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し。
16. 以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、請求項１記載のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
    １ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入。
    ２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始。
    ３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入。
    ４ 流動孔における冷媒液流出口に至る中途部位に対する加圧バーからの凹部における加熱を伴う加圧による流動孔のうち流入貫通孔に連通する側の閉鎖。
    ５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し。
17. 以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、請求項２記載のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
    １ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入。
    ２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始。
    ３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入。
    ４ 凹部に対する金属塊を介した加圧バーからの加圧による流動孔と接続している上下方向貫通孔の上側位置の閉鎖。
    ５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し。
18. 以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、請求項３記載のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
    １ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入。
    ２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始。
    ３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入。
    ４ 凹部に対する金属塊を介した加圧バーからの加圧による流動孔のうち、流入貫通孔と連通する側の閉鎖。
    ５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し。
19. 以下の工程によって、冷媒液をヒートパイプに注入し、かつ封止することによって、請求項４及び請求項５記載のヒートパイプを形成することを特徴とするヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
    １ ヒートパイプの真空チャンバー内への投入。
    ２ 真空ポンプによる真空チャンバーに対する真空脱気の開始。
    ３ 冷媒液の流入貫通孔に対する密閉状態を伴う加圧シリンダーによる所定量の冷媒液の加圧注入。
    ４ 凹部に対する金属塊を介した加圧バーからの加圧による上下方向貫通孔の上側位置の閉鎖。
    ５ 加圧シリンダー及び加圧バーのヒートパイプからの取り外し。
20. 前記工程３の加圧シリンダーにおいて、先端側におけるシリンダーが中途部位にて冷媒液流出口側に変形した上で冷媒液流出口に至る形状であることを特徴とする請求項１５記載のヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
21. 前記工程３の加圧シリンダーにおいて、先端側におけるシリンダーが中途部位にて冷媒液流出口側に変形した上で冷媒液流出口に至る形状であることを特徴とする請求項１６記載のヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
22. 前記工程３の加圧シリンダーにおいて、先端側におけるシリンダーが中途部位にて冷媒液流出口側に変形した上で冷媒液流出口に至る形状であることを特徴とする請求項１７記載のヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
23. 前記工程３の加圧シリンダーにおいて、先端側におけるシリンダーが中途部位にて冷媒液流出口側に変形した上で冷媒液流出口に至る形状であることを特徴とする請求項１８記載のヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。
24. 前記工程３の加圧シリンダーにおいて、先端側におけるシリンダーが中途部位にて冷媒液流出口側に変形した上で冷媒液流出口に至る形状であることを特徴とする請求項１９記載のヒートパイプにおける冷媒液注入及び封止方法。

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