CN112665430A - 薄型均温板及其制作方法 - Google Patents
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Abstract
本发明是关于一种薄型均温板及其制作方法，其中该薄型均温板包括第一金属板、第二金属板及工作流体，第一金属板形成有毛细结构和支撑结构，支撑结构包括数个支撑件；第二金属板对应第一金属板覆盖并以扩散结合方式固结，各支撑件的端面分别抵接第二金属板，并在第一金属板和第二金属板的内部形成有容腔；工作流体设置在容腔中。借此，本发明的薄型均温板不仅加工制作容易，且能够避免各金属板的变形。
Description
技术领域
本发明是有关一种散热技术，尤其是指一种薄型均温板及其制作方法。
背景技术
随着电子组件的指令周期不断提升，其所产生的热量也越来越高，为了有效地解决高发热量的问题，业界已将具有良好导热特性的均温板(Vapor Chamber)，提供给电子组件来进行导热的使用，但是现有的均温板不论是导热和薄型化需求等皆存在着改善的空间。
已知的均温板，主要包括一上板片、一下板片、一毛细组织和一工作流体，制作时首先将毛细组织布设在上板片和下板片的内部，其次通过焊接制程将上板片和下板片结合，并在上板片和下板片之间形成有一容腔，继之，将工作流体填入容腔内，最后再进行除气封口加工，如此以制作成一均温板。
然而，已知的均温板，虽然具有导热效果，但却存在以下的问题点，由于是以焊接方式对上板片和下板片的周边做封合，容易在上板片和下板片的接合面产生应力效应和变形等不良情况。通过毛细组织的布设和焊接等多道制程，让均温板的制作变得相当的繁琐和不易制作。再者，前述制程和结构所得到的均温板，其整体高度并无法有效地获得降低。
有鉴于此，本发明人遂针对上述现有技术的缺失，特潜心研究并配合学理的运用，尽力解决上述的问题点，即成为本发明人改良的目标。
发明内容
本发明的一目的，在于提供一种薄型均温板及其制作方法，该薄型均温板不仅加工制作容易，且能够避免各金属板的变形。
为了达成上述的目的，本发明提供一种薄型均温板，包括一第一金属板、一第二金属板及一工作流体，该第一金属板形成有一毛细结构和一支撑结构，该支撑结构包括数个支撑件；该第二金属板对应该第一金属板覆盖并以扩散结合方式固结，各该支撑件的端面分别抵接该第二金属板，并在该第一金属板和该第二金属板的内部形成有一容腔；该工作流体设置在该容腔中。
为了达成上述的目的，本发明还提供一种薄型均温板的制作方法，其方法步骤包括:a)提供一第一金属板及一第二金属板；b)以一蚀刻方式在该第一金属板的表面形成一毛细结构及一支撑结构，该支撑结构包括数个支撑件；c)将该第二金属板对应该第一金属板覆盖，并以一扩散结合方式使该第一金属板和该第二金属板固结，各该支撑件的端面分别抵接该第二金属板，并在该第一金属板和该第二金属板的内部形成有一容腔；以及d)将一工作流体填入该容腔中，并且施以除气和封口加工。
本发明还具有以下功效，结合过程中完全不需要焊剂，所以能够节省材料的使用成本。第一金属板和第二金属板通过扩散结合后，其接合面坚固并且能够降低接合面的变形和无应力效应。
附图说明
图1为本发明的第一金属板的立体外观图。
图2为图1中的局部区域放大图。
图3为本发明中的第一金属板俯视图。
图4为本发明中的第一金属板和第二金属板分解图。
图5为本发明薄型均温板的组合剖视图。
图6为本发明薄型均温板的另一实施例分解图。
图7为本发明薄型均温板的另一实施例组合剖视图。
图8为本发明薄型均温板的又一实施例组合剖视图。
图9为本发明薄型均温板的制作方法流程图。
附图中的符号说明：
10、10A…第一金属板；11…基板；12…毛细结构；121…第一槽沟；122…第二槽沟；13…支撑结构；131…支撑件；14…待结合边；20、20A、20B…第二金属板；21…基板；22…毛细结构；221…第一槽沟；222…第二槽沟；23…支撑结构；231…支撑件；24…待结合边；30…工作流体；a~d…步骤。
具体实施方式
有关本发明的详细说明及技术内容，配合图式说明如下，然而所附图式仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。
请参阅图1至图5所示，本发明提供一种薄型均温板，“薄型”是指结合后的厚度介于0.6mm~2.2mm之间，其中厚度介于1.0mm~2.0mm之间为优选，此薄型均温板主要包括一第一金属板10、一第二金属板20及一工作流体30。
第一金属板10可为铝、铜或其合金等材料所制成，其主要包括一基板11，在基板11的一表面以化学或物理蚀刻等方式形成有一毛细结构12，本实施例的毛细结构12为由数个第一槽沟121和数个第二槽沟122所组成，各第一槽沟121和各第二槽沟122是以斜向交错方式进行配置，并在各第一槽沟121和各第二槽沟122的间隔处形成一支撑结构13，此支撑结构13主要包括数个支撑件131，本实施例的支撑件131大致为一矩形块体，但不以此种形状为限。
进一步地，在毛细结构12和支撑结构13外部的基板11上形成有一待结合边14，本实施例的待结合边14大致呈一矩形状环框，且待结合边14的厚度与前述各支撑件131的厚度相等。
第二金属板20也可为铝、铜或其合金等材料所制成，本实施例的第二金属板20为一平整板片，其是对应于第一金属板10的一侧覆盖并且以扩散结合(Diffusion BondingTechnology)方式进行固定结合，各支撑件131的顶面分别抵接在第二金属板20的内表面，并在第一金属板10和第二金属板20的内部形成有一容腔，此容腔主要是由各第一槽沟121和各第二槽沟122所组合构成。其中的扩散结合可让待结合边14和各支撑件131的端面在没有第三介质(如:焊料或焊剂)的情况下与第二金属板20做抵贴结合。
工作流体30可为纯水等液体(见于图5所示)，其是填充注设在容腔中并且形成各第一槽沟121和各第二槽沟122中。
请参阅图6及图7所示，本发明的第二金属板20A除了可如上述实施例外，本实施例的第二金属板20A主要包括一基板21，在基板21的一表面以化学或物理蚀刻等方式形成有一毛细结构22，本实施例的毛细结构22为由数个第一槽沟221和数个第二槽沟222所组成，各第一槽沟221和各第二槽沟222是以斜向交错方式进行配置，并在各第一槽沟221和各第二槽沟222的间隔处形成一支撑结构23，此支撑结构23主要包括数个支撑件231，本实施例的支撑件231大致为一矩形块体，但不以此种形状为限。在毛细结构22和支撑结构23外部的基板21上形成有一待结合边24，本实施例的待结合边24大致呈一矩形状环框，且待结合边24的厚度与前述各支撑件231的厚度相等。
其中第一金属板10和第二金属板20A通过扩散结合，让各待结合边14、24和各支撑件131、231的端面在没有第三介质的情况下彼此对正抵接结合。
请参阅图8所示，本实施例的第一金属板10A也具有前述实施例的各支撑件131及相关结构。本实施例的第二金属板20B也具有前述实施例的毛细结构22、各支撑件231及相关结构，但毛细结构22的各第一槽沟和各第二槽沟之间采用不等间距方式进行配置，从而使一部分的支撑件231的端面与第一金属板10A的各支撑件131抵接，另一部分的支撑件231则形成在各第一槽沟或/和各第二槽沟之间。
请参阅图9所示，本发明还提供一种薄型均温板的制作方法，其步骤包括:
a)提供一第一金属板10及一第二金属板20；
b)以一蚀刻方式在第一金属板10的表面形成一毛细结构12及一支撑结构13，支撑结构13包括数个支撑件131；
c)将第二金属板20对应第一金属板10覆盖，并以一扩散结合方式使第一金属板10和第二金属板20固结，各支撑件131的端面分别抵接第二金属板20，并在第一金属板10和第二金属板20的内部形成有一容腔；以及
d)将一工作流体30填入容腔中，并且施以除气和封口加工。
以上所述仅为本发明的较佳可行实施例，并非因此即局限本发明的专利范围，故举凡运用本发明说明书及图式内容所做的等效结构变化，均同理皆包含于本发明的范围内，合予陈明。
Claims (15)
1.一种薄型均温板，其特征在于，包括:
一第一金属板，形成有一毛细结构和一支撑结构，该支撑结构包括数个支撑件；
一第二金属板，对应该第一金属板覆盖并以扩散结合方式固结，各该支撑件的端面分别抵接该第二金属板，并在该第一金属板和该第二金属板的内部形成有一容腔；以及
一工作流体，设置在该容腔中。
2.如权利要求1所述的薄型均温板，其特征在于，该第一金属板包括一基板，该毛细结构和该支撑结构形成在该基板的表面上。
3.如权利要求2所述的薄型均温板，其特征在于，该毛细结构包括数个第一槽沟和数个第二槽沟，各该第一槽沟和各该第二槽沟是以斜向交错方式进行配置。
4.如权利要求3所述的薄型均温板，其特征在于，各该支撑件分别形成在各该第一槽沟和各该第二槽沟的间隔处。
5.如权利要求2所述的薄型均温板，其特征在于，在该毛细结构和该支撑结构外部的该基板上形成有一待结合边，该待结合边为一环框。
6.如权利要求5所述的薄型均温板，其特征在于，该待结合边的厚度与各该支撑件的厚度相等。
7.如权利要求1所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板为一平整板片。
8.如权利要求1所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板包括一基板，该基板表面形成有一毛细结构和一支撑结构，该第二金属板的该支撑结构包括数个支撑件。
9.如权利要求8所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板的该毛细结构和各该支撑件是分别对正于该第一金属板的该毛细结构和各该支撑件配设。
10.如权利要求8所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板的部分该毛细结构和各该支撑件是分别与该第一金属板的部分该毛细结构和各该支撑件错位配设。
11.如权利要求8所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板的该毛细结构包括数个第一槽沟和数个第二槽沟，该第二金属板的各该第一槽沟和各该第二槽沟是以斜向交错方式进行配置。
12.如权利要求11所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板的各该支撑件分别形成在各该第一槽沟和各该第二槽沟的间隔处。
13.如权利要求11所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板的该毛细结构和该支撑结构外部的该基板上形成有一待结合边，该第二金属板的该待结合边为一环框。
14.如权利要求13所述的薄型均温板，其特征在于，该第二金属板的该待结合边的厚度与该第二金属板的各该支撑件的厚度相等。
15.一种制作如权利要求1至14中任一项所述的薄型均温板的制作方法，其特征在于，方法步骤包括:
a)提供一第一金属板及一第二金属板；
b)以一蚀刻方式在该第一金属板的表面形成一毛细结构及一支撑结构，该支撑结构包括数个支撑件；
c)将该第二金属板对应该第一金属板覆盖，并以一扩散结合方式使该第一金属板和该第二金属板固结，各该支撑件的端面分别抵接该第二金属板，并在该第一金属板和该第二金属板的内部形成有一容腔；以及
d)将一工作流体填入该容腔中，并且施以除气和封口加工。
Priority Applications (1)
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| CN201910977255.6A CN112665430A (zh) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | 薄型均温板及其制作方法 |
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Country Status (1)
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|---|---|
| CN (1) | CN112665430A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2022110395A1 (zh) * | 2020-11-30 | 2022-06-02 | 瑞声声学科技(深圳)有限公司 | 一种散热装置 |
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2019
- 2019-10-15 CN CN201910977255.6A patent/CN112665430A/zh active Pending
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