TW201829067A - 用於基板上之均勻液體流動分布的噴霧棒設計 - Google Patents

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Abstract

本文揭露了一種用於刷盒的噴霧歧管，該噴霧歧管包括具有複數個孔的細長主體、線性槽、中心孔及蓋，其中該複數個孔沿著平行於該主體之縱軸的方向呈一直線、該線性槽沿著該主體之對齊該等孔之該直線的長度形成、該中心孔沿著該主體的該長度及在該等個孔之每一者及該槽之間形成，及該蓋經設置在該槽上。

Description

用於基板上之均勻液體流動分布的噴霧棒設計
本申請案係與半導體裝置製造相關；更具體而言，本申請案係與用於清洗基板的系統及方法相關。
隨著半導體裝置幾何形狀的不斷減小，基板的超清洗處理的重要性亦日益增加。可在使用化學機械拋光(CMP)後，在刷盒內水性清洗及洗滌。然而，在清洗後存在的任何條紋、斑點及殘留物皆可導致後續的裝置故障。因此，經改善之在CMP處理後之用於清洗基板的方法已被給予了很大的關注。
當前的刷盒模組利用具有多達約五個噴嘴的噴霧棒來將HF/化學物質傳輸至基板的前側及後側。此方法已證明具有基板上噴霧之差均勻性所導致的限制。例如，來自習知噴霧棒內之習知噴嘴的噴霧僅將流體傳輸至基板上之分散的點且具有差均勻性。此外，習知噴嘴需要比可用於產生完全發展及/或期望的噴霧圖案之壓力更高的背壓，此導致具有明顯的峰及谷之基板上的氧化物蝕刻速率均勻性差。此外，現成可用之噴嘴的組合不能提供用於均勻化學覆蓋之足夠的分辨率及彈性。
因此，需要一種用於最佳化基板上之噴霧應用的設備及方法，可減少或最小化在處理期間之與清洗相關之缺陷的形成及膜分層。
在一實施例中，揭露了一種用於刷盒的噴霧歧管，該噴霧歧管包括：細長主體，該細長主體具有複數個孔，該複數個孔沿著該主體之長度呈一直線；線性槽，該線性槽沿著該主體之對齊該等孔之該直線的長度形成；中心孔，該中心孔沿著該主體的該長度及在該等孔之每一者及該槽之間形成；及蓋，該蓋經設置在該槽上。
在另一實施例中，揭露了一種用於刷盒的噴霧歧管。噴霧歧管包括：噴霧棒，該噴霧棒包括細長主體，該細長主體具有複數個孔，該複數個孔沿著該主體之縱軸呈一直線，其中該複數個孔中的每一者皆包括具有第一直徑的第一開口及與該第一開口對齊的第二開口，及該第二開口具有不同於該第一直徑的第二直徑；線性槽，該線性槽沿著該主體之該縱軸形成及與該等孔之該直線對齊；中心孔，該中心孔沿著該主體的長度及在該等孔之每一者及該槽之間形成；及焊縫，該焊縫密封該槽。
在另一實施例中，揭露了一種用於處理基板的刷盒，該刷盒包括：第一刷子及第二刷子，該第一刷子及該第二刷子經定位成清洗經定位在該刷盒之處理區域中的基板，其中該第一刷子經定位成清洗該基板的前表面，及該第二刷子經定位成清洗該基板的背部表面；及第一噴霧棒及第二噴霧棒，該第一噴霧棒及該第二噴霧棒經定位成將清洗流體傳輸至位於該刷盒之該處理區域中的該基板，其中該第一噴霧棒經定位成將清洗流體傳輸至該基板的該前表面，及該第二噴霧棒經定位成將清洗流體傳輸至該基板的該背部表面。第一噴霧棒及第二噴霧棒各自包括：細長主體，該細長主體具有複數個孔，該複數個孔沿著該主體之長度呈一直線；線性槽，該線性槽沿著該主體之對齊該等孔之該直線的長度形成；中心孔，該中心孔沿著該主體的該長度及在該等孔之每一者及該槽之間形成；及蓋，該蓋經設置在該槽上。
一般而言，本申請案的多個態樣提供了用於清洗具有設置於其上之導電材料及介電膜之基板的方法及設備。下文將參考在化學機械拋光(CMP)處理期間去除在基板表面上形成的漿料及顆粒的清洗處理來描述本申請案。化學機械拋光在本文中廣泛地定義為藉由化學及機械活動的組合來拋光基板。清洗過程可在化學機械拋光處理設備(如MIRRAÒ 拋光系統、MIRRAÒ MesaTM 拋光系統、ReflexionTM 拋光系統或ReflexionTM LK主要拋光系統；上述所有系統皆可自應用材料公司獲得)中執行或在處理後立即執行。
圖1A為根據本申請案之一個實施例的刷盒組件100的示意性透視圖。圖1B為圖1A中所示的刷盒組件100之背部的示意性透視圖。圖1B中示出的共同特徵與圖1A中示出的相同，為了簡潔起見將不在圖1B中重複該等特徵。
刷盒組件100包括固定到支撐基座104的兩個刷盒模組102A及102B。每個刷盒模組102A及102B包括腔室主體103，該腔室主體103包圍其中處理基板的清洗腔室。每個刷盒模組102A及102B經配置為以垂直方向自機器人(未示出)接收基板。刷盒組件100或一或多個刷盒模組102A及102B可用於經配置為同時清洗多個基板的系統中。
每個刷盒模組102A及102B包括形成在蓋107中的開口106。開口106經配置成允許基板進入包含在腔室主體103內的清洗腔室。在處理期間，開口106可由蓋108封閉以防止清洗溶液濺出清洗腔室及防止外部顆粒進入清洗腔室。單個蓋108經配置成關閉兩個刷盒模組102A及102B的開口106。致動器(未示出)經耦接至蓋108及經配置成便於蓋108的開啟及關閉。
每個刷盒模組102A及102B可基本上彼此相同，及一些通用裝置可在一視圖中示出，而另一些裝置則隱藏。設置在每個刷盒模組102A及102B上的通用裝置包括耦接至用於在處理期間保持基板的基板支撐件(圖1A中未示出)的驅動系統110、用於在處理期間旋轉洗滌刷子的致動器112，及用於控制洗滌刷子對基板之力的致動器組件114。致動器組件114與支撐洗滌刷子(圖1A中未示出)之相對端的安裝框架116一起操作。安裝框架116藉由樞紐軸承組件118而可移動地耦接至基座104，該樞紐軸承組件118允許安裝框架116相對於腔室主體103樞轉。每個刷盒模組102A及102B亦包括流體埠122及流體埠124，將於下文中更詳細解釋該流體埠122及該流體埠124兩者。
圖2為沿著圖1A之線2-2的刷盒模組102A的等軸橫截面視圖。在刷盒模組102A的內部容積205(例如，上述的清洗腔室)內以橫截面示出基板200。基板200由至少兩個滾筒210(僅示出一個)支撐。滾筒210中的至少一者可耦接至驅動馬達215(例如，驅動系統110)以圍繞旋轉軸RA旋轉基板200。
當基板200圍繞旋轉軸RA旋轉時，朝向基板200的主表面225致動洗滌刷子220。當基板200圍繞旋轉軸RA旋轉時，洗滌刷子220以旋轉軸旋轉，該旋轉軸基本上正交於旋轉軸RA。此外，經由流體埠124(在圖1A及圖1B中示出)而經耦合至蝕刻化學源235的噴霧棒230提供跨越基板200之線240(僅以虛線在基板200的一側上示出一部分)之均勻的噴霧圖案。線240可對應於基板200的直徑或弦。蝕刻化學源235包括清潔化學品，如酸(例如，氫氟酸(HF))。由噴霧棒230提供的噴霧圖案可為扇形或線性圖案，使得來自化學源235的化學品主要在線240處撞擊基板。線240可在基板200的直徑處或其附近。乾燥噴霧棒245可定位在噴霧棒230附近。乾燥噴霧棒245經由流體埠122(在圖1A和1B中示出)而耦接至乾燥化學源250。乾燥化學源可包括異丙醇(IPA)等乾燥流體。
圖3A-3I為可作為圖2之噴霧棒230的噴霧歧管300的一實施例的各種視圖。圖3A為示出了前側(例如，面朝圖2之線240的側)的噴霧歧管300的側視圖。圖3B為自圖3A所示之視圖旋轉約90度之噴霧歧管300的側視圖。圖3C為自圖3A所示之視圖旋轉約180度之噴霧歧管300的側視圖。圖3D為沿著圖3B之線3D-3D的噴霧歧管300的截面圖。
如圖3A所示，在噴霧歧管300上示出了複數個孔305。在一實施例中，噴霧歧管300具有約40個孔305。孔305穿過噴霧歧管300的管狀主體310來形成。管狀主體由塑膠材料(如含氟聚合物材料，例如聚偏二氟乙烯或聚偏二氟乙烯(PVDF))製成。孔305可沿著相同的線(例如，平行於管狀主體310之縱軸LA的線)而經定位在管狀主體310上。孔305的尺寸及/或孔305之間的間距可沿著平行於縱軸LA的線為相同或為不同。例如，管狀主體310的中心部分315可包括相較於與複數個孔305之其餘部分的間距及/或尺寸之不同的間隔及/或具有不同的尺寸的孔305。中心部分315將在圖3I中更詳細地解釋。
參考圖3C，示出了噴霧歧管300的背側318。示出的槽320經定位在平行於縱軸LA的背側318上。蓋325的一部分在圖3C中經示出為至少部分地填充了槽320。儘管在圖3C中係示出了蓋325的一部分，但蓋325仍將沿著槽320的長度延伸以密封整個槽320。使用蓋325密封槽320之步驟包含管狀主體310內的流體及此允許流體流過形成於其中的開口305(及流過其他流動元件)。蓋325可為焊缝。蓋325可以是與管狀主體310相同的材料。背側318與管狀主體310的前側322相對。
參考圖3D，以橫截面示出了管狀主體310以示出複數個孔305的幾何形狀。與管狀主體310一起示出中心孔328。管狀主體310包括第一端330A及與第一端330A相對的第二端330B。中心孔328可在第二端330B上敞開且延伸至第一端330A附近及/或端接於第一端330A附近。管狀主體310可為部分圓形的及部分矩形的。矩形部分包括主要大小(如圖3F所示)。第一端330A包括減少的直徑部分335。減少的直徑部分335包括直徑小於管狀主體310的主要大小的圓形主體。例如，減少的直徑部分335的直徑可比管狀主體310的主要大小小約2公釐(mm)。
圖3E為圖3D中所示之噴霧歧管300的一部分的放大圖。複數個孔305中的每一者包括流體耦接至第二開口345的第一開口340。每個第一開口340的直徑350可為約1.5mm至約2mm。第二開口345的直徑小於第一開口340的直徑350。此外，第二開口345的直徑可變化，同時第一開口340的直徑350為相同的。第一開口340的長度或深度可相對於中心孔328的表面而為相似的。例如，第一開口340的長度355可為約5mm。類似地，第二開口345的長度可相對於中心孔328的表面而為相似的。例如，第二開口345的長度360可為約1mm。可決定第一開口340的長度及直徑以將足夠體積的流體供應至基板。
槽320的寬度把大小可大於第一開口340的直徑。槽320可用於藉由鑽孔或加工來形成複數個孔305的第一開口340及第二開口345中的一者或兩者。此外，槽320可用於在形成複數個開口305之後來清洗及/或去毛刺該複數個開口305。之後，蓋325可耦接至管狀主體310以將流體容納在管狀主體310內。
圖3F為沿著圖3B之線3F-3F之噴霧歧管300的第二端330B的側視圖。中心孔328顯示在管狀主體310中。管狀主體310亦包括圍繞中心孔328的外表面365。中心孔328的直徑367可為大約6mm至大約10mm。外表面365的主要大小369可為約18mm至約22mm。
此外，管狀主體310包括圍繞外表面365的一部分設置的複數個索引特徵370。索引特徵370可作為與圖2的刷盒模組102A之介面的一部分，該部分相對於基板200來建立噴霧棒230的參考角度。每個索引特徵370可為形成在管狀主體310的外表面365中的凹陷或通道372的形式。索引特徵370可經定位在外表面365之大約一半(例如，小於外表面365之大約180度)上。
圖3G及圖3H為噴霧歧管300之第二端330B的放大圖。索引特徵370被示出為第一通道374及第二通道376。第二通道376的長度小於第一通道374的長度。第二通道376可作為噴霧棒角度標記。第二通道376的長度較短，故人員可決定用哪個方向來旋轉噴霧歧管300。
圖3I為圖3A之噴霧歧管300的放大圖。複數個孔305包括中心區域315，其中兩個間隔緊密的孔對382圍繞中心區域315的其他孔。間隔緊密的孔對382中的每一者包括兩個外部孔384，該兩個外部孔384間之間距小於噴霧歧管300之複數個孔305之其餘部分的間距。圖3E中亦可看到間隔緊密的孔對382的間隔。
間隔緊密的孔對382中的每一者圍繞兩個中間孔368，該兩個中間孔386圍繞兩個中心孔388。外部孔384、中間孔386和中心孔388的直徑可彼此不同及/或與複數個孔305的其餘部分不同。中心孔388的直徑大於中間孔386的直徑。中間孔386的直徑大於外部孔384的直徑。外部孔384的直徑大於複數個孔305的其餘部分的直徑。例如，中心孔388可包括約0.50mm至約0.54mm的直徑390A。中間孔386可包括約0.39mm至約0.43mm的直徑390B。外部孔384可包括約0.27mm至約0.31mm的直徑390C。複數個孔305的其餘部分可包括約0.22mm至約0.27mm的直徑390D。中心區域315中之孔的間隔及/或尺寸相對於複數個孔305的其餘部分的尺寸及/或間隔而言提供了在噴霧歧管300之中心處中之較高密度的孔。較大的密度提供了更大量的清洗流體至基板200的中心部分。中心區域315中之不同尺寸的孔經設置成具有更大之在噴霧歧管300之中心中的流。例如，三對不同尺寸之在中心區域315中的孔(所有該等孔之直徑大於複數個孔305的其餘部分)提供更多之在中心區域315中的流體流。外部孔384的最外部可作為自中心區域315之較大直徑的孔至中央區域315外部之複數個孔305的其餘部分的過渡。
圖4為示出了噴霧歧管400的另一個實施例的刷盒模組102A的內部容積205之一部分的示意圖。儘管在圖4中示出了刷盒模組102A的一些部分，但圖2中所示的刷盒模組102A的其他部分並未在圖4中示出。
根據此實施例的噴霧歧管400包括噴霧棒230及鄰近每個噴霧棒230安裝的一對噴射噴嘴405。每個噴霧棒230包括如第一噴霧圖案410的噴霧圖案，及每個噴射噴嘴405包括如第二噴霧圖案415的噴霧圖案。第二噴霧圖案415可為扇形圖案。第一噴霧圖案410及第二噴霧圖案415兩者在處理期間將清潔化學品輸送至基板200的主表面225。第一噴霧圖案410及第二噴霧圖案415可經調整以在線240處(例如，在基板200之主表面225上的相同位置處)撞擊基板200。在此實施例中，噴射噴嘴405位於與噴霧棒230之複數個孔305的平面不同的平面處。例如，噴射噴嘴405可定位在每個噴霧棒230的上表面420上。
根據此實施例的噴霧歧管400可向基板200的主表面225提供更多的清洗化學品流。與傳統的清洗處理相比，較大的流可提供更平滑的蝕刻速率。此外，噴射噴嘴405中的一者或兩者可經調整成僅撞擊線240的一部分。例如，可調整噴射噴嘴405以提供第二噴霧圖案415至基板200的約三分之一(或更小)的直徑，如基板200的約四分之一的直徑。
圖5為示出了噴霧歧管500的另一個實施例的刷盒模組102A的內部容積205的一部分的示意圖。儘管在圖5中示出了刷盒模組102A的一些部分，但圖5中並未示出圖2所示之刷盒模組102A的其他部分。
根據此實施例的噴霧歧管500包括噴霧棒230及與每個噴霧棒230結合的一對噴射噴嘴505(在圖5視圖中僅示出一個噴嘴)。例如，並不如圖4所示之將噴射噴嘴安裝在噴霧棒230的上表面420上，而是噴射噴嘴505係經定位在與噴霧棒230的複數個孔305相同的平面中。類似於圖4，每個噴霧棒230包括第一噴霧圖案410(為了清楚起見，圖5中並未示出)，及每個噴射噴嘴505包括第二噴霧圖案415。第一噴霧圖案410及第二噴霧圖案415兩者在處理期間將清潔化學品傳送至基板200的主表面225。類似於圖4，可調整第一噴霧圖案410及第二噴霧圖案415以在線240處撞擊基板200 (例如，在基板200的主表面225上的相同位置處)。
如圖所示，每個噴射噴嘴505可定位在噴霧棒230的第二端330B處。然而，噴霧棒230的第一端330A (圖5中未示出)亦可包括噴射噴嘴505。根據此實施例的噴射噴嘴505可替代噴霧棒230中的每一者的複數個孔305中的一或多者。
根據此實施例的噴霧歧管500可向基板200的主表面225提供更多的清洗化學品流。與習用的清洗製程相比，較大的流可提供更平滑的蝕刻速率。噴射噴嘴505中的一者或兩者可經調整成僅撞擊線240的一部分(例如，在基板200的邊緣區域處)。例如，可調整噴射噴嘴505以提供第二噴霧圖案415至基板200的約三分之一(或更小)的直徑，如基板200的約四分之一的直徑。
儘管前述內容係針對本申請案的實施例，但可在不背離本申請案之基本範疇的情況下來設計本申請案之其他及進一步的實施例，及本申請案的範疇係由下文的申請專利範圍來確定。
100‧‧‧刷盒組件
102A‧‧‧刷盒模組
102B‧‧‧刷盒模組
103‧‧‧腔室主體
104‧‧‧基座
106‧‧‧開口
107‧‧‧蓋
108‧‧‧蓋
110‧‧‧驅動系統
112‧‧‧致動器
114‧‧‧致動器組件
116‧‧‧安裝框架
118‧‧‧樞紐軸承組件
122‧‧‧流體埠
124‧‧‧流體埠
200‧‧‧基板
205‧‧‧內部容積
210‧‧‧滾筒
215‧‧‧驅動馬達
220‧‧‧洗滌刷子
225‧‧‧主表面
230‧‧‧噴霧棒
235‧‧‧蝕刻化學源
240‧‧‧線
245‧‧‧乾燥噴霧棒
250‧‧‧乾燥化學源
300‧‧‧噴霧歧管
305‧‧‧孔
310‧‧‧管狀主體
315‧‧‧中心區域
318‧‧‧背側
320‧‧‧槽
325‧‧‧蓋
328‧‧‧中心孔
330A‧‧‧第一端
330B‧‧‧第二端
335‧‧‧減少的直徑部分
340‧‧‧第一開口
345‧‧‧第二開口
350‧‧‧直徑
355‧‧‧長度
360‧‧‧長度
365‧‧‧外表面
367‧‧‧直徑
369‧‧‧大小
370‧‧‧索引特徵
372‧‧‧通道
374‧‧‧第一通道
376‧‧‧第二通道
382‧‧‧孔對
384‧‧‧外部孔
386‧‧‧中間孔
388‧‧‧中心孔
390A-390D‧‧‧直徑
400‧‧‧噴霧歧管
405‧‧‧噴射噴嘴
410‧‧‧第一噴霧圖案
415‧‧‧第二噴霧圖案
420‧‧‧上表面
500‧‧‧噴霧歧管
505‧‧‧噴射噴嘴
為了實施及可詳細理解本申請案之上述態樣，可藉由參考在附加圖式中所圖示之本案實施例，來對上文所簡述之本申請案有更具體的描述。然而，要注意的是，附加圖式僅示出了本申請案的典型實施例，且因此不被認為是對其範疇的限制；因本申請案可允許其他等效的實施例。
圖1A為根據本申請案之一實施例的刷盒組件的示意性透視圖。
圖1B為圖1A中所示出之刷盒組件之背部的示意性透視圖。
圖2為沿圖1A之線2-2的刷盒模組的等軸橫截面視圖。
圖3A-3I為可作為圖2之噴霧棒之噴霧歧管之一實施例的各種視圖。
圖4為示出了噴霧歧管的另一實施例之刷盒模組之內部容積的一部分的示意圖。
圖5為示出了噴霧歧管的另一實施例之刷盒模組之內部容積的一部分的示意圖。
為了易於理解，已儘可能使用相同的元件符號來指示圖式中共有的相同元件。可預期的是，一實施例的元件及特徵可有利地併入其他實施例中，而毋需進一步的敘述。
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Claims (25)

  1. 一種用於一刷盒的一噴霧歧管，該噴霧歧管包括： 一細長主體，該細長主體具有複數個孔，該複數個孔沿著平行於該主體之一縱軸的一方向呈一直線； 一線性槽，該線性槽沿著該主體之對齊該等孔之該直線的一長度形成； 一中心孔，該中心孔沿著該主體的該長度及在該等孔之每一者及該槽之間形成；及 一蓋，該蓋經設置在該槽上。
  2. 如請求項1所述之噴霧歧管，其中該蓋包括一焊縫。
  3. 如請求項1所述之噴霧歧管，其中該複數個孔中的每一者包括具有一第一直徑的一第一開口及與該第一開口對齊的一第二開口，該第二開口具有與該第一直徑不同的一第二直徑。
  4. 如請求項3所述之噴霧歧管，其中該第一直徑大於該第二直徑。
  5. 如請求項3所述之噴霧歧管，其中該槽包括一寬度大小，該寬度大小大於該第一直徑及該第二直徑中的每一者。
  6. 如請求項1所述之噴霧歧管，其中該主體包括一中心區域，及該中心區域中之該等孔的一間隔及/或一尺寸不同於位於該中心區域外側之該複數個孔的一尺寸及/或一間隔。
  7. 如請求項6所述之噴霧歧管，其中該中心區域包括一對間隔緊密的孔，該對間隔緊密的孔具有一間距，該間距小於位於該中心區域外側之該複數個孔的一間距。
  8. 如請求項7所述之噴霧歧管，其中該中心區域包括複數個中心孔及設置在該等中心孔與該等間隔緊密的孔之間的複數個中間孔。
  9. 如請求項8所述之噴霧歧管，其中該等中心孔的一直徑大於該等中間孔的一直徑。
  10. 如請求項9所述之噴霧歧管，其中該等中間孔的該直徑大於該等間隔緊密的孔的一直徑。
  11. 如請求項10所述之噴霧歧管，其中該等間隔緊密的孔的該直徑大於該等複數個孔之其餘部分的一直徑。
  12. 一種用於一刷盒的噴霧歧管，該噴霧歧管包括： 一噴霧棒，該噴霧棒包括一細長主體，該細長主體具有複數個孔，該複數個孔沿著該主體之一縱軸呈一直線，其中該複數個孔中的每一者皆包括具有一第一直徑的一第一開口及與該第一開口對齊的一第二開口，及該第二開口具有不同於該第一直徑的一第二直徑； 一線性槽，該線性槽沿著該主體之該縱軸形成及與該等孔之該直線對齊； 一中心孔，該中心孔沿著該主體的一長度及在該等孔之每一者及該槽之間形成；及 一蓋，該蓋密封該槽。
  13. 如請求項12所述之噴霧歧管，其中該複數個孔中的每一者包括具有一第一直徑的一第一開口及與該第一開口對齊的一第二開口，及該第二開口具有小於該第一直徑的一第二直徑。
  14. 如請求項12所述之噴霧歧管，進一步包括與該噴霧棒相關聯的一噴射噴嘴。
  15. 如請求項14所述之噴霧歧管，其中該噴射噴嘴位於該噴霧棒的一上表面上。
  16. 如請求項14所述之噴霧歧管，其中該噴射噴嘴位於該噴霧棒之該複數個孔中之每一者的一平面中。
  17. 一種用於處理一基板的一刷盒，包括： 一第一刷子及一第二刷子，該第一刷子及該第二刷子經定位成清洗經定位在該刷盒之一處理區域中的一基板，其中該第一刷子經定位成清洗該基板的一前表面，及該第二刷子經定位成清洗該基板的一背部表面；及 一第一噴霧棒及一第二噴霧棒，該第一噴霧棒及該第二噴霧棒經定位成將一清洗流體傳輸至位於該刷盒之該處理區域中的該基板，其中該第一噴霧棒經定位成將一清洗流體傳輸至該基板的該前表面，及該第二噴霧棒經定位成將一清洗流體傳輸至該基板的該背部表面，及該第一噴霧棒及該第二噴霧棒各自包括： 一細長主體，該細長主體具有複數個孔，該複數個孔沿著平行於該主體之一縱軸的一方向呈一直線； 一線性槽，該線性槽沿著該主體之對齊該等孔之該直線的一長度形成； 一中心孔，該中心孔沿著該主體的該長度及在該等孔之每一者及該槽之間形成；及 一蓋，該蓋經設置在該槽上。
  18. 如請求項17所述之刷盒，進一步包括與該噴霧棒相關聯的一噴射噴嘴。
  19. 如請求項18所述之刷盒，其中該噴射噴嘴位於該噴霧棒的一上表面上。
  20. 如請求項18所述之刷盒，其中該噴射噴嘴位於該噴霧棒之該複數個孔中的每一者的一平面中。
  21. 如請求項17所述之刷盒，其中該蓋包括一焊縫。
  22. 如請求項17所述之刷盒，其中該複數個孔中的每一者皆包括具有一第一直徑的一第一開口及與該第一開口對齊的一第二開口，及該第二開口具有與該第一直徑不同的一第二直徑。
  23. 如請求項22所述之刷盒，其中該第一直徑大於該第二直徑。
  24. 如請求項22所述之刷盒，其中該槽包括一寬度大小，該寬度大小大於該第一直徑及該第二直徑中的每一者。
  25. 如請求項17所述之刷盒，其中該主體包括一中心區域，及該中心區域中之該等孔的一間隔及/或一尺寸不同於位於該中心區域外側之該複數個孔的一尺寸及/或一間隔。
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