CN112951747A - 芯片毛边蚀刻机的组合器具 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种芯片毛边蚀刻机的组合器具，具有载片框、多块平行的长条形活动盖板、喷头；活动盖板的上方配套设置有两个间距一定距离的左、右喷头。每块活动盖板具有左侧段、中间段和右侧段，中间段的轴孔中插有一根转动轴，转动轴与载片框轴座连接；左侧段和右侧段的两外侧面相互垂直。本发明依靠活动夹具的特殊结构，有效保护芯片主体，喷头喷射的腐蚀性液体有效去除芯片边沿的毛刺，同时利用喷头喷射动力驱动活动盖板转动，减少了额外转动机构的设置。

Description

芯片毛边蚀刻机的组合器具

技术领域

本发明涉及一种芯片后处理器械。

背景技术

芯片的尺寸较小，一般不易采用人工手持，芯片测试或者清洗时一般需要采用专用夹具去夹持芯片，才能保证测试精准或清晰干净，又不易碰坏精密的芯片。

申请号：201510492831X发明提出了一种用于半导体芯片的清洗夹具。其包括：底座，设置有用于放置芯片的V型槽，当所述芯片放置于所述V型槽上时，所述芯片的一相对侧边的下边沿抵靠于所述V型槽的侧壁上，并且所述V型槽的底部设置有贯通所述底座的底部的泄流孔；盖板，用于扣合于所述底座上，以覆盖所述V型槽，并且所述盖板上设置有贯通孔，该夹具中芯片非水平放置，清晰时没有保护，芯片容易堆叠在一起或者表面易被洗涤液腐蚀。

申请号：2019109211301发明公开了一种芯片贴装基板的清洗夹具及其使用方法，属于半导体芯片封装技术领域。其包括芯片贴装基板的清洗夹具Ⅰ和芯片贴装基板的清洗夹具Ⅱ，所述芯片贴装基板的清洗夹具Ⅰ由盖板Ⅰ（10）和载料盘（30）组成，所述盖板Ⅰ（10）扣合在载料盘（30）的上方，所述芯片贴装基板的清洗夹具Ⅱ由盖板Ⅱ（20）和载料盘（30）组成，所述盖板Ⅱ（20）扣合在载料盘（30）的上方；所述盖板Ⅰ（10）包括盖板Ⅰ本体（11）和复数个盖板Ⅰ单元，所述盖板Ⅱ（20）包括盖板Ⅱ本体（21）、复数个盖板Ⅱ单元和导流通孔Ⅱ（25）。该发明阻止了锡珠在清洗过程中被水流冲入到芯片与基板之间的空隙，但是对芯片本体的保护不够，表面容易出现冲洗划痕。

发明内容

发明目的：

提供一种可以去除芯片毛边又能保护芯片主体部分不被腐蚀的芯片毛边蚀刻机的组合器具。

技术方案：

本发明的芯片毛边蚀刻机的组合器具，与芯片毛边蚀刻机配套使用，具有设置有多排多列芯片（该芯片是键合了金属引线框架并分切后的芯片）工位的载片框（其两端可以设置有轴座）、多排平行的长条形活动盖板（优选每排的盖板能够覆盖一排芯片工位），每块活动盖板的中心位置附近具有（沿着盖板长度方向）穿插转轴的转轴轴孔，以便插入一根转动轴，转动轴与载片框两侧的轴座形成转动连接。

活动盖板为沿着轴孔基本对称的三段式结构，左侧段、中间段和右侧段（转动轴轴孔设置在中间段），左侧段和右侧段的两外侧面相互垂直；中间段连接左侧段和右侧段，优选中间段的下底面为穹形拱顶，便于覆盖芯片时不接触芯片中间部位，保持芯片不易受污染。

轴座上附带有活动盖板的限位功能（比如左侧段和右侧段各有能够延伸到载片框边缘的档位销，能够被载片框的边框阻挡），保证活动盖板的转动角度不大于90°。

本发明中，在活动夹具的上方，配套设置有喷头（喷射水或者腐蚀性溶液，使得芯片的毛边被腐蚀性溶液所溶解腐蚀），喷头通过控制线与控制器相连，其喷射的射流的角度可以控制（向左下方喷射或者向右下方喷射）。

活动盖板向左侧转动一定角度时，右侧段的侧面与载片框中水平放置的芯片垂直，左侧段的外侧面与放到芯片工位中的芯片上表面平行，并且离开一定距离，避免旋转时触碰到芯片；活动盖板再向右侧转动90°时，左侧段的的侧面与载片框中水平放置的芯片垂直，右侧段的外侧面与放到芯片工位中的芯片上表面平行，并且离开一定距离，避免旋转时触碰到芯片。

优选设置两个水平间距一定距离（约为活动盖板中间段的长度）的喷头，左侧的一只喷头采用向右下方喷射的喷射角度（0°-60°，优选0°-45°，假设正向方为0°，使得水流基本集中喷射在盖板上表面附近，防止污染环境，又不浪费水压动力），此时喷射的液体向下方和右下方，向下方的液体正好喷射到芯片的左边沿，进行左边沿的毛刺腐蚀或清洗，向右下方的液体喷射到活动盖板的右侧段，给予一定的喷射压力，保证活动盖板被该喷射压力压迫后旋转，旋转后的活动盖板的右侧段稳定低覆盖在芯片上。

右侧的一只喷头采用向左下方喷射的喷射角度（-60°-0°，优选-45°-0°），此时喷射的液体向下方和左下方，向下方的液体正好喷射到芯片的右边沿，进行右边沿的毛刺腐蚀或清洗，向左下方的液体喷射到活动盖板的左侧段，给予一定的喷射压力，保证活动盖板被该喷射压力压迫后旋转，旋转后的左侧段稳定低覆盖在载片款中的芯片上。

工作时，通过控制器控制一侧的喷头（如左侧）先行喷射，喷射射流喷射清洗芯片的左边沿，同时射流的压力使得活动盖板绕着转轴向右转动，使得左侧段的外侧面垂直于芯片，右侧段的外侧面与芯片平面平行，中间段覆盖在芯片上方。

当左侧清洗完成后，控制器控制左侧喷头停止喷射，右侧喷头开始喷射，喷射射流喷射清洗芯片的左边沿，同时射流的压力使得活动盖板绕着转轴向左转动，使得右侧段的外侧面垂直于芯片，左侧段的外侧面与芯片平面平行，中间段覆盖在芯片上方。

有益效果：

酸洗、碱洗、水洗时，喷头分别喷射不同的液体，对下方活动夹具中的芯片毛边进行腐蚀或者洗涤，放在载片框中的芯片的主体部分被活动盖板的中间段所覆盖，芯片的主体部分不易被腐蚀或弄湿，而芯片两侧的毛边（铜引线框架的毛刺）容易被腐蚀和洗涤。

这样，依靠活动夹具的特殊结构，既能够有效保护芯片主体，又能够有效去除芯片边沿的毛刺。本发明巧妙地利用了液体射流产生的压力作为动力，使得活动盖板左右转动，避免了人工接触，无须设计特定的喷射溶液的喷射方向转换装置，减少了转动动力机构的设置费用。

附图说明

图1是本发明的一种连接结构及左侧去除毛刺的工艺示意图；

图2是本发明的在右侧去除毛刺时的工艺示意图；

图中，1-载片框；2-芯片；3-活动盖板左侧段；4-轴孔；6-穹形拱顶；7-喷头；喷8-水或者腐蚀性溶液的射流；9-控制器；10-控制线。

具体实施方式

如图1、2所示的芯片毛边蚀刻机的组合器具，具有载片框、活动盖板，活动盖板上具有穿插转轴的转轴轴孔，以便插入一根转动轴，与载片框两侧设置的轴座形成转动连接。

图中所示的活动盖板为三段式结构，左侧段、中间段和右侧段，转动轴轴孔设置在中间段，左侧段和右侧段的两外侧侧面相互垂直。中间段的下底面为穹形拱顶，中间段的下底面两个边沿分别具有向内凹陷的滴水槽。

活动夹具的上方，设置两个水平间距一定距离的喷头，左侧的喷头采用向右下方喷射的0°-60°喷射角度，右侧的喷头采用向左下方喷射的-60°-0°喷射角度。

依靠活动夹具的特殊结构，能够有效保护芯片主体，又能够有效去除芯片边沿的毛刺。利用液体射流产生的压力作为动力，使得活动盖板左右转动，避免了人工接触，减少了转动动力机构的设置费用。

Claims (3)

1.一种芯片毛边蚀刻机的组合器具，具有设置了载片框、多根平行设置的长条形活动盖板，每块活动盖板上具有穿插着转轴的轴孔，转轴与载片框两侧设置的轴座形成转动连接；

其特征在于：活动盖板为三段式结构，左侧段、中间段和右侧段，转动轴轴孔设置在中间段，中间段的下底面为穹形拱顶；左侧段和右侧段的两外侧侧面相互垂直；

轴座上或附带有活动盖板的限位功能，保证活动盖板的转动角度不大于90°；

活动盖板的上方，配套设置有两个水平间距一定距离的左、右喷头，左、右喷头分别通过控制线与控制器相连，左喷头喷射的射流的角度由控制器控制为向右下方喷射，右喷头喷射的射流的角度由控制器控制为向左下方喷射。

2.如权利要求1所述的芯片毛边蚀刻机的组合器具，其特征在于：左侧的喷头采用向右下方喷射的0°-60°喷射角度，左侧的喷头喷射时右侧的喷头不喷射，液体向下方和右下方；向下方的液体喷射到芯片左侧的毛边；向右下方的液体喷射到活动盖板的右侧段，给予一定的喷射压力，能够保证活动盖板被该喷射压力压迫后向右旋转，右侧段覆盖到载片款中的芯片上；

或者，右侧的喷头采用向左下方喷射的-60°-0°喷射角度；右侧的喷头喷射时左侧的喷头不喷射，液体向下方和左下方；向下方的液体喷射到芯片右侧的毛边；向左下方的液体喷射到活动盖板的左侧段，给予一定的喷射压力，保证活动盖板被该喷射压力压迫后向左旋转，左侧段覆盖到载片款中的芯片上。

3.如权利要求1所述的芯片毛边蚀刻机的组合器具，其特征在于：左侧的一只喷头采用向右下方喷射的0°-45°喷射角度；或者，右侧的一只喷头采用向左下方喷射的--45°-0°的喷射角度。

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