TW201818575A - 在半導體層中達成有效電荷注入以使電子和/或電洞傳輸的方法 - Google Patents

在半導體層中達成有效電荷注入以使電子和/或電洞傳輸的方法 Download PDF

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Abstract

本發明係關於一種用於製備有機電子裝置之方法且係關於一種根據此方法製備之有機電子裝置。

Description

在半導體層中達成有效電荷注入以使電子和/或電洞傳輸的方法
本發明係關於一種用於製備有機電子裝置之方法且係關於一種根據此方法製備之有機電子裝置。
高效能有機電子裝置，特定言之此等具有短通道長度之裝置(例如有機薄膜電晶體、有機光伏打電池或有機發光裝置)需要歐姆接觸(即非整流電接面)或相較於通道電阻之可忽略接觸電阻。為減少接觸電阻且最終減少用於自電極至半導體之電荷注入之能量障壁，注入界面之功函必須匹配於p型/n型半導體之HOMO/LUMO能階。解決此問題之若干方法自文獻已知。在大多數情況中，半導體材料及(因此) HOMO/LUMO能階係固定的，使電極為用於對準能階之唯一可控變數。依循此策略之一方法係使電極功函匹配於半導體之HOMO或LUMO能階。例如，具有低功函之金屬可用於電子注入且具有高功函之金屬可用於電洞注入。 然而，此方法可引起有關成本、處理及穩定性之問題。例如，在具有深HOMO能階之p型半導體之情況中，鉑或鈀或鉑及鈀之合金可用作為電極材料，其等係非常昂貴。在具有淺LUMO能階之n型半導體之情況中，鈣係常用電極材料，然而其對於空氣係不穩定的。 廣泛使用之替代方法在於使用電極改質層或電極與半導體之間的中間層，其可充當電極施體或受體且其可併入改變電極之功函之偶極矩。具體而言，自文獻已知形成於電極與半導體之間的自組裝單層(SAM)可用於有效地影響電極之功函(J. Niederhausen等人之Phys. Rev B 84, 165302 (2011)；H. Kim等人之Organic Electronics 14 (2013) 2108-2113；D.M. Alloway等人之J. Phys. Chem. C (2009), 113, 20328–20334)。 根據技術方法之狀態，電極改質層或自組裝單層為此目的直接沈積於電極表面上。 例如，WO 2013/113389揭示一種有機半導體裝置，其中中間層插入有機半導體材料與電極之間。該中間層藉由將含有層形成材料之溶液旋塗於電極上或藉由使電極浸入此溶液中而製備於電極上。接著，使用該有機半導體材料塗佈依此方式處理之樣本。 US 2010/0176387 A1係關於一種具有提供於電極表面上之硫醇化合物層之有機薄膜電晶體。該硫醇化合物層藉由使含有硫醇化合物之氣體、液體或固體與電極表面接觸而形成。最終，形成有機半導體層以與電極重疊。 然而，此等方法之主要缺點係電極改質層或自組裝單層直接沈積於電極上(即，在半導體沈積之前)。一方面，電極改質層可改良電荷注入，但另一方面，電極改質層亦可導致電極之表面能量中之非意欲改變。例如，未處理電極之表面能量可較高，接觸使其更容易沈積半導體材料，而當已使用(例如)含氟化合物處理時，電極具有低表面能量。表面能量中之此改變可引起不需要的副作用(諸如去濕潤、非最佳半導體定向及有關晶體成長及有害晶粒界形成之複雜物。例如，接觸角在改質層直接沈積於電極上時可太高，其可導致如上文所描述之差形態或不完全/不存在的薄膜形成。此等不需要的副作用經常因具有高接觸角之基板而不可避免。大於85°之高接觸角經常導致此等問題。各種硫醇化合物之接觸角已在由(例如) Boudinet等人展示於文獻中(D. Boudinet等人之Organic Electronics (2010), 11, pp. 227-237)。 因此，行業中需要一種克服技術方法之狀態之缺點之用於製備有機電子裝置的方法。 因此，本發明之目的係提供一種減少或消除源自自先前技術已知之方法之缺點之用於製備有機電子裝置的方法。具體而言，本發明之目的係提供一種用於在有機電子裝置之半導體層中達成電子之良好電荷注入及/或電洞傳輸，藉此改良裝置效能之有效方法。此外，本發明之目的係提供一種促進低成本市售有機電子裝置之生產之方法。
本發明者現已意外地發現上述目的可由用於生產有機電子裝置之本發明方法個別或以任何組合達成。 因此，本申請案提供一種用於製備有機電子裝置之方法，該方法包括 (a)使半導體材料沈積於電極上以形成半導體層，及 (b)隨後藉由將表面改質化合物施加於該半導體層上而產生介於步驟(a)之該電極與該半導體層之間的中間層，其中該表面改質化合物包括化學式HX-R之化合物，其中X係Se、Te或S，且R係包括1至12個碳原子之烴基，其中一或多個氫視情況由包含至少一雜原子之官能基取代。 由本申請案提供之進一步較佳方法係如附屬技術方案中所指示。 本申請案亦提供一種由根據本申請案之方法製備之有機電子裝置。
如本文所使用，術語「有機場效應電晶體(OFET)」將理解為包含稱為「有機薄膜電晶體(OTFT)」之此等裝置之子類。 此外，如本文所使用，術語「有機電子裝置」將理解為包含術語「有機半導體裝置」及此等裝置之若干具體實施方案(諸如如上文所界定之有機場效應電晶體)。 在本申請案中，術語「中間層」、「電極改質層」及「表面改質層」可互換地使用。 在一般態樣中，本申請案提供一種用於製備有機電子裝置之方法。該方法包括使半導體材料沈積於電極上以形成半導體層之步驟(a)及產生介於該電極與該半導體層之間的中間層之後續步驟(b)。 如本文所使用，術語「半導體材料」指稱可取決於施加於其之電壓而充當電導體或絕緣體之化合物。術語「半導體層」指稱係半導電之材料之連續系統。 此外，如本文所使用，術語電極用於經調適以電接觸且經調適以將負電荷載體及/或正電荷載體注入半導體層中及/或經調適以自半導體層提取負電荷載體及/或正電荷載體之元件。 例如，該電極可為有機場效應電晶體中之源極電極及/或汲極電極，其中該源極電極及該汲極電極均與半導體層接觸使得半導體通道連接該源極電極及該汲極電極。較佳地，此等電極提供於支撐層或基板上。下文給定適合支撐層或基板之實例(由於支撐層或基板可指稱於有機電子裝置之內文中)。 不特別限制可在本發明中用於製備有機電子裝置之電極材料。適合電極材料包含電傳導有機及無機材料或其等之摻合物。例示性有機電極材料或摻合物包含聚苯胺、聚吡咯、聚(3,4-乙烯二氧噻吩) (PEDOT)或摻雜共軛聚合物、石墨之進一步分散物或糊劑。 作為電極材料，無機材料係較佳的，其等較佳地選自金屬及金屬氧化物。可用於本發明中之金屬及金屬氧化物之類型亦包含合金及金屬之任何摻合物、金屬氧化物之任何摻合物以及金屬及金屬氧化物之任何摻合物。 例示性金屬(其等特別適合於有機電子裝置中之電極)可選自由金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、鋁(Al)、鎳(Ni)、鈀(Pd)、鉑(Pt)、鈦(Ti)、鈣(Ca)、鉬(Mo)、鈧(Sc)及其等之任何摻合物組成之群組。在此等中，金、銅及銀係特別較佳的，此係由於金、銅及銀非常好地接合於硫族(即-OH基團(羥基)、-SH基團(硫醇)、-SeH基團(硒醇)及-TeH基團(碲醇))，較佳地接合於-SH。銀係最佳的，此係由於其比銅穩定且比金便宜。例示性合金(其等特別適合於有機電子裝置中之電極)包含不銹鋼(例如332不銹鋼、316不銹鋼)、金之合金、銀之合金、銅之合金、鋁之合金、鎳之合金、鈀之合金、鉑之合金、鈦之合金、鈣之合金、鉬之合金及鈧之合金。 例示性電傳導金屬氧化物包含銦錫氧化物(ITO)、摻氟錫氧化物、氧化錫、氧化鋅、摻雜鋁之氧化鋅及其等之摻合物。 電極可藉由液體塗佈(諸如(例如)噴塗、浸塗、網塗或旋塗或藉由真空沈積方法(包含(例如)物理氣相沈積、化學氣相沈積或熱蒸發方法)而沈積或形成。適合電極材料及用於形成電極之方法通常為熟習技術者所已知且可容易在文獻中發現。亦可使用有機金屬前驅物且有機金屬前驅物亦可自液相沈積。 通常，有機電子裝置可為或可包括任何類型之有機電子裝置。 例如，有機電子裝置可選自由有機場效應電晶體(OFET)、薄膜電晶體(TFT)、積體電路(IC)、積體電路(IC)、邏輯電路、電容器、射頻識別(RFID)標籤、裝置或組件、有機發光二極體(OLED)、有機發光電晶體(OLET)、平板顯示器、顯示器之背光、有機光伏打裝置(OPV)、有機太陽能電池(OSC)、光電二極體、雷射二極體、光電導體、有機光電偵測器(OPD)、電子照像裝置(例如電子照像記錄裝置)、有機記憶體裝置、感測器裝置、電荷注入層、電荷傳輸層或聚合物發光二極體(PLED)中之夾層、肖特基(Schottky)二極體、平坦化層、抗靜電膜、聚合物電解質隔膜(PEM)、導電基板、導電圖案、電池中之電極材料、對準層、生物感測器、生物晶片、安全記號、安全裝置及用於偵測及鑑別DNA序列之組件或裝置組成之群組。 電極可由上文所描述之方法之任何者應用於基板。各種基板可用於有機電子裝置(例如矽晶圓、玻璃或聚合材料)之製備。較佳聚合材料包含(但不限於)醇酸樹脂、烯丙酯、苯環丁烯、丁二烯苯乙烯、纖維素、醋酸纖維素、環氧化物、環氧聚合物、乙烯-氯三氟乙烯共聚物、乙烯-四氟乙烯共聚物、纖維玻璃增強聚合物、氟碳聚合物、六氟丙烯偏二氟乙烯共聚物、高密度聚乙烯、聚對二甲苯、聚醯胺、聚醯亞胺、聚芳醯胺、聚二甲基矽氧烷、聚醚碸、聚乙烯、聚萘二甲酸乙二酯、聚對苯二甲酸乙二酯、多酮、聚甲基丙烯酸甲酯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚碸、聚四氟乙烯、聚氨酯、聚氯乙烯、聚環烯、聚矽氧橡膠及聚矽氧。在此等中，聚對苯二甲酸乙二酯、聚醯亞胺、聚環烯及聚萘二甲酸乙二酯基板材料係最佳的。另外，對於本發明之一些實施例，基板可為任何適合材料(例如聚合材料、塗有上文所列舉之材料之一或多者之金屬或玻璃材料)。應瞭解在形成此基板時，可採用諸如擠出、拉伸、摩擦或光化學技術之方法以提供用於裝置製造之均質表面以及提供有機半導體材料之預對準以增強材料中之載體遷移率。替代地，基板可為聚合材料、塗有上述聚合材料之一或多者之金屬或玻璃。 半導體材料及用於施加半導體層之方法可選自熟習技術者已知之標準材料及方法，且在文獻中描述。 可用於根據本發明之方法中之半導體材料可為氧化物半導體材料或有機半導體(OSC)材料。有機半導體材料係較佳的。再者，半導體材料可為n型或p型半導體材料。較佳地，該半導體材料具有至少1 – 10-5 cm² V-1 s-1 之場效應電晶體遷移率。 在本發明之較佳實施例中，半導體材料係有機半導體材料。有機半導體材料係用作為(例如)有機場效應電晶體中之主動通道材料或有機整流二極體之層元件。可藉由液體塗佈而沈積以允許周圍處理之有機半導體材料係較佳的。有機半導體材料較佳地經噴塗、浸塗、網塗或旋塗或藉由印刷方法(諸如噴墨印刷、柔版印刷或凹版印刷)沈積。有機半導體材料可視情況經真空沈積或氣相沈積。 半導體通道亦可為相同類型之半導體材料之兩者或兩者以上之複合物。此外，p型通道材料可(例如)與n型材料混合以達成摻雜層之效應。亦可使用多層半導體層。例如，半導體可在靠近絕緣體界面處為本質半導體且可鄰近於本質層額外地塗佈高度摻雜之區域。 有機半導體材料可為相較於聚合物或大分子之單體化合物(亦稱為「小分子」)或聚合化合物或含有選自單體化合物及聚合化合物之任一者或兩者之一或多種化合物之混合物、分散物或摻合物。較佳地，有機半導體材料係選自聚合化合物之群組。 在單體材料之情況中，OSC可為任何共軛分子(例如較佳地含有兩個或兩個以上、非常較佳地至少三個芳環之芳香族分子)。在本發明之一些較佳實施例中，OSC含有選自5-員芳環、6-員芳環或7-員芳環之芳環，而在其他較佳實施例中，OSC含有選自5-員芳環或6-員芳環之芳環。OSC材料可為單體、寡聚物或聚合物，包含單體、寡聚物或聚合物之一或多者之混合物、分散物及摻合物。 OSC之芳環之各者視情況含於選自Se、Te、P、Si、B、As、N、O或S、較佳地選自Si、N、O或S之一或多個雜原子。此外，芳環可視情況由烷基、烷氧基、聚烷氧基、硫代烷基、醯基、芳香基或取代芳基、鹵素所取代，其中通常採用氟、氰基、硝基或視情況取代之由N(R’)(R’’)表示之仲或叔烷基胺或芳胺(其中R’及R’’各獨立地為H、視情況取代之烷基或視情況取代之芳香基、烷氧基或聚烷氧基)。此外，在R’及R’’係烷基或芳香基之情況中，此等可視情況氟化。 上述芳環可為稠環或由共軛鏈接基團(諸如-C(T1 )=C(T2 )-、-CºC-、N(R"')-、-N=N-、(R"')=N-、-N=C(R"')-，其中T1 及T2 各獨立地表示H、Cl、F、-CºN或低級烷基(諸如C1-4 烷基)；R"'表示H，視情況取代之烷基或視情況取代之芳香基)彼此鏈接。此外，在R"'係烷基或芳香基之情況中，其可視情況氟化。 可用於本發明中之有機半導體材料之進一步較佳實例包含化合物、寡聚物及選自由包含共軛羥聚合物(諸如包含該等共軛羥聚合物之寡聚物之聚并苯、聚苯、聚(苯基乙烯)、聚茀)；凝結芳香族烴(諸如稠四苯、(chrysene)、稠五苯、芘、二萘嵌苯、蔻或此等之可溶性取代衍生物)；寡聚對位經取代之伸苯基(諸如對聯四苯(p-4P)、對聯五苯(p-5P)、對聯六苯(p-6P)或此等之可溶性取代衍生物)；共軛雜環聚合物(諸如聚(3-取代之噻吩)、聚(3,4-二取代之噻吩)、視情況取代之聚噻吩并[2,3-b]噻吩、視情況取代之聚噻吩并[3,2-b]噻吩、聚(3-取代之硒吩)、聚苯并噻吩、聚異硫茚、聚(N-取代之吡咯)、聚(3-取代之吡咯)、聚(3,4-二取代之吡咯)、聚呋喃、聚吡啶、聚-1,3,4-噁二唑、聚異硫茚、聚(N-取代之苯胺)、聚(2-取代之苯胺)、聚(3-取代之苯胺)、聚(2,3-二取代之苯胺)、聚甘菊環、聚芘)；吡唑啉化合物；聚硒吩；聚苯并呋喃；聚吲哚；聚嗒嗪；聯苯胺化合物；茋化合物；三嗪；經取代之金屬或無金屬卟吩、酞青素、氟酞青、萘菁或氟萘菁；C60 及C70 富勒烯、N,N'-二烷基、經取代之二烷基、二芳香基或經取代之二芳香基-1,4,5,8-萘四羧酸二醯亞胺及氟衍生物；N,N'-二烷基、經取代之二烷基、二芳香基或經取代之二芳香基3,4,9,10-二萘嵌苯四羧酸二醯亞胺；紅菲繞啉；對苯醌；1,3,4-噁二唑；11,11,12,12-四氰基萘-2,6-醌并二甲烷；α,α'-雙(二噻吩并[3,2-b2',3'-d]噻吩)；2,8-二烷基、經取代之二烷基、二芳香基或經取代之二芳香基蒽二噻吩；2,2'-二苯并[1,2-b:4,5-b']二噻吩組成之群組之化合物之衍生物。在期望OSC之液體沈積技術之情況中，來自上述列表之化合物及其衍生物受限於可溶於適當溶劑或適當溶劑之混合物中之化合物及其衍生物。 此外，在根據本發明之一些較佳實施例中，OSC材料係涵蓋選自以下之一或多個重複單元之聚合物或共聚物：噻吩-2,5-二基、3-取代之噻吩-2,5-二基、視情況取代之噻吩并[2,3-b]噻吩-2,5-二基、視情況取代之噻吩并[3,2-b]噻吩-2,5-二基、硒吩-2,5-二基或3-取代之硒吩-2,5-二基。 進一步較佳p型OSC係包括電子受體單元及電子施體單元之共聚物。此較佳實施例之較佳共聚物係(例如)包括較佳地由如上文所界定之一或多個群組R 4,8分佈之一或多個苯并[1,2-b:4,5-b']二噻吩-2,5-二基單元之共聚物，且進一步包括選自群組A及群組B之一或多個芳香基或雜芳基單元、較佳地包括群組A之至少一單元及群組B之至少一單元，其中群組A由具有電子施體性質之芳香基或雜芳基組成且群組B由具有電子受體性質之芳香基或雜芳基組成，且較佳地群組A由硒吩-2,5-二基、噻吩-2,5-二基、噻吩并[3,2-b]噻吩-2,5-二基、噻吩并[2,3-b]噻吩-2,5-二基、硒吩并[3,2-b]硒吩-2,5-二基、硒吩并[2,3-b]硒吩-2,5-二基、硒吩并[3,2-b]噻吩-2,5-二基、硒吩并[2,3-b]噻吩-2,5-二基、苯并[1,2-b:4,5-b']二噻吩-2,6-二基、2,2-二噻吩、2,2-二硒吩、二噻吩并[3,2-b:2',3'-d]噻咯-5,5-二基、4H-環戊[2,1-b:3,4-b']二噻吩-2,6-二基、2,7-二-噻吩-2-基-咔唑、2,7-二-噻吩-2-基-茀、引達省并[1,2-b:5,6-b']二噻吩-2,7-二基、苯并[1'',2'':4,5;4'',5'':4',5']雙(噻咯并[3,2-b:3',2'-b']噻吩)-2,7-二基、2,7-二-噻吩-2-基-引達省并[1,2-b:5,6-b']二噻吩、2,7-二-噻吩-2-基-苯并[1'',2'':4,5;4'',5'':4',5']雙(噻咯并[3,2-b:3',2'-b']噻吩)-2,7-二基及2,7-二-噻吩-2-基-菲基并[1,10,9,8-c,d,e,f,g]咔唑組成，所有視情況由如上文所界定之一或多個、較佳地一或兩個群組R取代，且群組B由苯并[2,1,3]噻二唑-4,7-二基、5,6-二烷基-苯并[2,1,3]噻二唑-4,7-二基、5,6-二烷氧基苯并[2,1,3]噻二唑-4,7-二基、苯并[2,1,3]硒二唑-4,7-二基、5,6-二烷基-苯并[2,1,3]硒二唑-4,7-二基、苯并[1,2,5]噻二唑-4,7,二基、苯并[1,2,5]硒二唑-4,7,二基、苯并[2,1,3]二唑-4,7-二基、5,6-二烷氧基苯并[2,1,3]二唑-4,7-二基、2H-苯并三唑-4,7-二基、2,3-二氰-1,4-伸苯基、2,5-二氰,1,4-伸苯基、2,3-二氟-1,4-伸苯基、2,5-二氟-1,4-伸苯基、2,3,5,6-四氟-1,4-伸苯基、3,4-二氟噻吩-2,5-二基、噻吩并[3,4-b]吡嗪-2,5-二基、喹噁啉-5,8-二基、噻吩并[3,4-b]噻吩-4,6-二基、噻吩并[3,4-b]噻吩-6,4-二基及3,6-吡咯并[3,4-c]吡咯-1,4-二酮組成，所有視情況由如上文所界定之一或多個、較佳地一或兩個群組R取代。 在本發明之其他較佳實施例中，OSC材料係經取代之聚對苯(諸如稠五苯、稠四苯或蔥，或其等之雜環衍生物)。雙(三烷基甲矽烷基乙炔基)聚對苯或雙(三烷基甲矽烷基乙炔基)異并苯(如(例如) US 6,690,029或WO 2005/055248 A1或US 7,385,221中所揭示)亦係有用的。 進一步較佳有機半導體材料選自由基於四芳香基引達省并二噻吩之結構單元(如WO 2016/015804 A1中所揭示)及包括其等一或多個重複單元之聚合物或共聚物(諸如(例如)以下聚合物(P-1)至(P-3)之一者)組成之群組：(P-1)(P-2)(P-3) 在適當且需要調整如(例如) WO 2005/055248 A1中所描述之流變性質之情況中，本發明之一些實施例採用包含一或多個有機黏合劑之OSC組合物。 黏合劑(其通常係聚合物)可包括絕緣黏合劑或半導體黏合劑，或其等之混合物可在本文中指稱有機黏合劑、聚合黏合劑或僅指稱黏合劑。 根據本發明之較佳黏合劑係低介電常數之材料，即，具有3.3或更小之介電常數ε之材料。有機黏合劑較佳地具有3.0或更小、更加低2.9或更小之介電常數ε。較佳地有機黏合劑具有1.7或更大之介電常數ε。尤其較佳的係黏合劑之介電常數在自2.0至2.9之範圍內。儘管不希望受限於任何特定理論，但據信使用具有大於3.3之介電常數ε之黏合劑可導致電子裝置中(例如OFET上)之OSC層遷移率之減少。另外，高介電常數黏合劑亦可導致裝置之增加電流遲滯(其係非所要的)。 適合有機黏合劑之實例包含聚苯乙烯或苯乙烯及α-甲基苯乙烯之聚合物或共聚物；或包含苯乙烯、α-甲基苯乙烯之共聚物且可適合地使用丁二烯。例如，US 2007/0102696 A1中揭示適合黏合劑之進一步實例。 在較佳實施例之類型中，有機黏合劑係其中至少95%、更佳地至少98%且尤其所有原子由氫原子、氟原子及碳原子組成之黏合劑。 黏合劑較佳地能夠形成薄膜，更佳地撓性薄膜。 黏合劑亦可選自較佳地具有足夠低之介電常數、非常較佳地3.3或更小之介電常數之可交聯之黏合劑(諸如丙烯酸酯、環氧樹脂、乙烯醚及硫醇烯)。黏合劑亦可為或介晶或液晶。 在另一較佳實施例中黏合劑係半導體黏合劑，其含有共軛鍵，尤其係共軛雙鍵及/或芳環。適合及較佳黏合劑係(例如)如(例如) US 6,630,566中所揭示之聚三芳胺。 黏合劑對OSC之比例通常係20:1至1:20 (以重量計)，較佳地10:1至1:10，更佳地5:1至1:5，更佳地3:1至1:3，進一步較佳地2:1至1:2且尤其係1:1。已發現與將自先前技術期望相比，黏合劑中之化學式I之化合物之稀釋對電荷遷移率具有較少或無有害影響。 根據本發明之方法進一步包括產生介於電極與半導體層之間的中間層，該步驟在使半導體層沈積於電極上之步驟(a)之後執行。 如本文所使用，術語「中間層」指稱位於電極與半導體層之間的層。換言之，電極表面及半導體層與該中間層接觸。較佳地，該接觸為直接實體接觸。換言之，較佳的係中間層直接毗鄰電極表面及半導體層。因此，電極表面由包括表面改質化合物之中間層覆蓋。術語「覆蓋」(如本文所使用)意謂至少10%、或20%、或30%、或40%、或50%、或60%、或70%、或80%、或90%、或95%、或97%、或99%之電極表面由該中間層覆蓋。在其中由根據本發明之方法製備之有機電子裝置包括一個以上電極(例如一或多個源極電極及一或多個汲極電極)之情況中，待由中間層覆蓋之(若干)電極可取決於(例如)所使用之電極材料而自由選擇。例如，中間層可位於(或多個)源極電極與半導體層之間及/或可位於一個(或多個)汲極電極與半導體層之間。較佳地，中間層位於所有此等電極與半導體層之間。 根據本發明之中間層有效地改質電極之表面使得電子之電荷注入及/或自電極至半導體層之電洞傳輸如上文所描述改良。 根據本發明之方法，表面改質化合物施加於半導體層，其已沈積於電極上。如上文所提及，根據自先前技術已知之方法，中間層或表面改質層在使半導體材料沈積於頂上之前沈積於電極上。換言之，使用表面改質化合物直接處理電極。相反地，根據本發明之方法，在半導體材料之沈積之後使用表面改質化合物處理半導體層及(最終)電極。在施加半導體層之後，表面改質化合物有效地滲透半導體層且隨後透過半導體層擴散至電極，藉此產生介於電極與半導體層之間的中間層。換言之，將表面改質化合物施加於該電極上係經由透過薄半導體層擴散至電極而間接地實行。 半導體電極之此「回溯性」基於擴散之處理達成良好電荷注入但避免產生源自使用表面改質化合物直接處理電極表面且使得後續薄膜塗佈更困難(如上文所描述)的低表面能量電極表面。因此，對裝置效能有害且使用已知方法所觀察到之對半導體之微結構、晶體成長速率及半導體定向之改變藉由根據本發明之方法消除或至少減少。此導致改良的裝置效能且有利於基於低成本市售有機物之電子裝置之生產。 如已提及，術語半導體層係指半導電之材料之可滲透連續系統。 較佳地，在使用如上文所描述之方法產生中間層之前沈積於電極上之半導體層之厚度為＜ 200 nm。更佳地，半導體層之厚度係在2 nm與200 nm之間、更佳地2 nm與100 nm之間、更佳地2 nm與50 nm之間之範圍內且最佳地20 nm。 不希望受限於任何理論，據信若半導體層之厚度大於200 nm，則表面改質化合物透過半導體層滲透至電極可不有效或耗費太長時間產生介於電極與半導體層之間的中間層，藉此達成良好電子之良好電荷注入及/或電洞傳輸且同時減少或消除上文所提及之不需要的副作用。 表面改質化合物可藉由真空沈積方法或氣相沈積方法或藉由液體塗佈方法施加於半導體層上。例示性沈積方法包含物理氣相沈積(PVD)、化學氣相沈積(CVD)、昇華或液體塗佈方法。液體塗佈方法係較佳的。特別較佳的係基於溶劑之液體塗佈方法。 在本發明之較佳實施例中，表面改質化合物由使用包括表面改質化合物及至少一有機溶劑之調配物之液體塗佈施加於半導體層。在沈積之後，溶劑可視情況至少部分地蒸發。 較佳基於溶劑之液體塗佈方法包含(但不限於)浸塗、旋塗、噴墨印刷、凸版印刷、網版印刷、刮刀塗佈、輥印刷、反向輥印刷、平版印刷、軟版印刷、凹版印刷、捲筒印刷、噴塗、刷塗及移印。 用於上述程序之步驟(b)中之適合溶劑可選自由醇、醚、酮、芳香族烴及此等之任何者之任何混合物組成之群組。適合醇可(例如)選自由甲醇、乙醇、異丙醇及正丙醇組成之群組。適合醚可具有線性或循環結構且可(例如)選自由二乙醚、四氫呋喃(THF)、丁基苯基醚、甲基乙基醚及4-對甲苯基甲醚組成之群組。適合酮可(例如)選自由丙酮、2-庚酮及環己酮組成之群組。適芳香族烴可(例如)選自由甲苯、三甲苯、環己苯及鹵代芳香族烴組成之群組。此等鹵代芳香族烴為氯苯、二氯苯及三氯苯以及此等之任何者之任何混合物。 較佳地，表面改質化合物存在於自0.01重量%至10重量%、較佳地自0.01重量%至5重量%且更佳地自0.05重量%至2重量%之調配物或溶液中，其中重量%係相對於調配物或溶液之總重量。 如本文所使用，術語「表面改質化合物」指代能夠透過半導體層遷移至電極且適合於在該電極與該半導體層之間形成層(即中間層或表面改質層)以覆蓋電極表面之化合物。藉此，電極與半導體層之間的接觸電阻藉由改變電極之功函(如上文所描述)而減少。 較佳地，表面改質化合物形成介於電極與半導體層之間的自組裝單層(SAM)。此意謂產生於電極與半導體層之間的中間層較佳地係自組裝單層。如本文所使用，術語自組裝單層指稱兩親分子之組織層，其中分子之一端(其通常指稱首基)展示對基板(例如電極及/或半導體材料)之特殊親和力(取決於製造技術)。SAM可藉由親水首基之化學吸附於基板上接著疏水性殘留物(其通常指稱尾)之相對緩慢二維組織而產生。通常，自組裝單層之厚度在0.1 nm至10 nm之範圍內。 用於根據本發明之方法中之表面改質化合物包括化學式HX-R之化合物，其中X係Se、Te或S，且R係包括1至12個碳原子之烴基。 如本文所使用，術語「烴基」指稱官能基(其指稱烴，即完全由氫及碳組成之有機化合物)，至少一氫原子自其移除。 較佳地，本發明之烴基官能團R選自包括1至12個碳原子之飽和、非飽和及芳香族烴基。 如本文所使用，術語「飽和烴基」指稱完全由碳-碳單鍵構成且使用氫飽和之烴基。此包含非循環飽和烴基，其可為線性或分支(即烷基)及含有至少一環之飽和烴基(即環烷基)。 術語「非飽和烴基」(如本文所使用)指稱具有一或多個碳-碳雙鍵(即烯基)及/或一或多個碳-碳三鍵(即炔基)且可為線性或分支之烴基。該一或多個碳-碳雙鍵或三鍵可為內部或末端。 術語「芳香族烴基」(如本文所使用)指稱具有包含烷基-烯基-或炔基芳香基及多環芳香族烴基之至少一芳環(即芳香基)之烴基。 在本發明之較佳實施例中，烴基R選自由以下組成之群組： 烷基，其中烷基係線性、循環或分支且可包括1至12個碳原子，較佳地甲基、乙基、丙基(例如正丙基、異丙基)、丁基(例如正丁基、異丁基、二級丁基、三級丁基)、戊基(例如正戊基、異戊基、新戊基)、己基、庚基、辛基、壬基、癸基、十一基、十二基及環己基； 烯基、炔基，其中烯基或炔基係線性或分支且可包括2至12個碳原子，較佳地乙烯基、丙烯基、環己基、丁烯基、丁二烯基、戊烯基、戊二烯基、己烯、己二烯、庚烯基、辛烯基、壬烯基、癸烯基、十一碳烯基、十二碳烯基、乙炔基、丙炔基、丁炔基、戊炔基、己炔基； 苯基、苄基、萘基； 烷基苯基(其中苯基之烷基可包括1至6個碳原子)係線性或分支且較佳地位於相對於HX基團之2-或4-位置中之苯基處，諸如2-甲苯、3-甲苯或4-甲苯、2,3-二甲苯、2,4-二甲苯、2,6-二甲苯、3,4-二甲苯、3,5-二甲苯、2,3,4-三甲苯、2,4,5-三甲苯、2,4,6-三甲苯、2,3,5,6-四甲苯、2,3,4,6-四甲苯或2,3,4,5-四甲苯、2,3,4,5,6-五甲苯、正丁苯、較佳地2-正丁苯、4-正丁苯、第三丁苯、戊苯、己苯、環己苯且更佳地4-甲苯或4-正丁苯；及 芳基苯，較佳地4-聯苯。 在進一步較佳實施例中，R係包括5至12個原子之雜芳基。 術語「雜芳基」(如本文所使用)指稱具有至少一芳環之循環芳香族烴基，其中芳環中之原子之一或多者係除碳之外之元素之原子。較佳地，雜芳基之雜原子選自Si、N、O及S。進一步較佳地，雜芳基係五員環或六員環(諸如吡咯基、呋喃基、噻吩基、吡啶基、嘧啶基、哌喃基或噻喃基)。 烴基R之一或多個氫視情況由包含至少一雜原子之官能基取代。換言之，烴基R可未由各包含至少一雜原子之一或多個官能基取代或由各包含至少一雜原子之一或多個官能基取代。 官能基之該至少一雜原子較佳地選自由O、N、S、Se、P、F、Cl及Br組成之群組。 在更佳實施例中，取代來自R之一或多個氫之官能基係拉電子基團或推電子基團。較佳拉電子官能基係-F、-Cl、-Br、-NO2 、-CN、-NC、-SO3 H、-SO3 R’、-SO2 R’、-SO2 NHR’、-COOH、-COR’、-COOR’、-CONHR’及CON(R’)2 ，其中R’可選自甲基、乙基、其中一或多個氫由氟取代之甲基及其中一或多個氫由氟取代之乙基。較佳地，R’係其中一或多個氫由氟取代之甲基或乙基。較佳推電子官能基係-OH、-OR’’、-SR’’、-NH2 、-NHR’’、-N(R’’)2 ，其中R’’選自甲基或乙基。 可用作為烴基R處之取代基之官能基可根據其拉電子或推電子性質來選擇且依據其對電極之有效功函之所要影響。例如，具有由拉電子基團取代之一或多個氫之烴基可用於表面改質化合物中以增加電極之功函。或具有由退電子基團取代之一或多個氫之烴基可用於表面改質化合物中以減少電極之功函(Boudinet等人之Organic Electronics (2010), 11, pp. 227-237)。 在另一較佳實施例中，表面改質化合物具有＜ 500 g/mol、更佳地 ＜ 300 g/mol之分子量。不希望受限於任何理論，據信若所使用之表面改質化合物具有大於500 g/mol之分子量則該表面改質化合物透過該半導體層之滲透性使得遷移太慢而不允許具有商業利益之生產。 在本發明之又一較佳實施例中，在化學式HX-R之表面改質化合物中，X = S。表面改質化合物上包含硫醇基促進其透過可滲透半導體層之擴散且亦改良單層形成。此對於電極材料選自Au、Ag或Cu之情況尤其如此。 更佳地，表面改質化合物係用於使用p型半導體材料之操作之五氟苯硫醇或用於使用n型半導體材料之操作之甲苯硫醇。 在進一步較佳實施例中，表面改質化合物包括上文所列舉之化合物之兩者或兩者以上之組合。例如，兩種不同表面改質化合物可選自上文所列舉之化合物以產生兩組分中間層。 根據本發明之用於有機電子裝置之製備之較佳方法包括以下步驟 (a)使導電材料沈積於基板上以形成電極； (b)使半導體材料沈積於該電極上以形成半導體層； (c)隨後藉由將如上文所界定之表面改質化合物施加於該半導體層而產生介於該電極與該半導體層之間的中間層； (d)使閘極絕緣體沈積於該半導體層上，藉此形成閘極絕緣體層； (e)使閘極沈積於該閘極絕緣體層上；及 (f)視情況使鈍化層沈積於該閘極上。 在根據本發明之方法中，步驟b)中之半導體材料之沈積可視情況接著至少部分地移除所存在之任何溶劑及/或使半導體材料退火。 步驟c)中之施加表面改質化合物可視情況接著退火步驟。半導體材料之退火可視情況在已添加表面改質化合物之前及之後執行。 已發現本發明之方法(其中改良電荷注入之中間層或表面改質層藉由將表面改質化合物施加於已沈積於電極上之半導體層而產生)允許具有改良裝置效能之有機電子裝置之簡化材料及成本有效生產，因為電極表面之表面能量在半導體層之沈積之後將較高。換言之，本發明藉由消除使半導體層沈積於電極(其表面已由表面改質層之沈積來處理)上之需要而允許此等電子裝置之有效生產。已如此處理之電極表面具有使後續薄膜塗佈更困難之低表面能量。 本發明者已發現本發明允許經由裝置電極之「回溯性」基於擴散之處理(即無需使用表面改質化合物(例如形成自組裝單層之化合物)直接處理電極)製備具有良好電荷注入之有機電子裝置。第實驗已非常意外地展示相較於有機電子裝置(其中已使用表面改質化合物直接處理電極)，本發明方法允許使用比在相同條件下更佳之處理來生產展現相等或較高之遷移率及電流之有機電子裝置。 因此，在進一步態樣中，本申請案亦係關於一種由根據上文所揭示之實施例之任一者或多者之方法製備之有機電子裝置。該有機電子裝置包括電極、半導體層及介於該電極與該半導體層之間的中間層。該中間層包括化學式HX-R之化合物，其中X係Se、Te或S，且R係包括如上文所界定之1至12個碳原子之烴基。R之一或多個氫視情況由包含如上文所界定之至少一雜原子之官能基取代。 在本發明之較佳實施例中，該中間層係如上文所界定之自組裝單層。 由根據本發明之方法製備之有機電子裝置可選自如上文所提及之大量裝置。較佳地，該等有機電子裝置選自選自由有機場效應電晶體(OFET)、有機薄膜電晶體(OTFT)、有機發光二極體(OLED)、有機發光電晶體(OLET)、有機光伏打裝置(OPV)、有機光電偵測器(OPD)、有機太陽能電池、雷射二極體、肖特基二極體、光電導體及光電偵測器組成之群組。 上文所提及之電子裝置已為熟習技術者所熟知且將在下文中使用有機場效應電晶體(OFET)來繪示。有機薄膜電晶體包括閘極、絕緣(或閘極絕緣體)層、源極電極、汲極電極及連接該源極電極及該汲極電極之有機半導體通道，其中源極電極及汲極電極之至少一者或全部可根據本發明與中間層接觸。OFET之其他特徵為熟習技術者所熟知。OFET (其中有機半導體材料配置為閘極介電質與汲極及源極電極之間的薄膜)係一般已知且在(例如) US 5,892,244、US 5,998,804及US 6,723,394中描述。 若源極電極及汲極電極由絕緣層自閘極分離，閘極及半導體層均與絕緣層接觸且源極電極及汲極電極均與半導體層接觸，則OFET裝置中之閘極、源極電極及汲極電極及絕緣層及半導體層可依任何序列配置。 因此，由根據本發明製備之OFET裝置包括： -源極電極， -汲極電極， -閘極， -根據本發明之中間層， -半導體層， -一或多個閘極絕緣體層，及 -(視情況)基板， 其中該中間層位於該半導體層與該源極電極及該汲極電極之至少一者之間。 根據本發明之OFET裝置可為頂部閘極裝置或底部閘極裝置。OFET裝置之適合結構為熟習技術者所已知且在文獻中(例如在US 2007/0102696 A1中)描述。 為了本發明，亦可能的係裝置係頂部接觸裝置。為了技術原因，大體上接受頂部接觸裝置不適應中間層。本發明程序助於克服此等技術問題且允許藉由本發明方法處理頂部接觸裝置。 圖6a展示根據本發明製備之典型頂部閘極OFET之示意性表示，其包含提供於基板(1)上之源極(S)電極及汲極(D)電極(2)、提供於S/D電極上之本發明之表面改質化合物之中間層(較佳地自組裝單層)(3)、提供於S/D電極及中間(3)上之層半導體材料(4)、如提供於半導體層(4)上之閘極絕緣體層之層介電材料(5)、提供閘極絕緣體層(5)上之閘極(6)及提供於閘極(6)上之選用鈍化或保護層(7)以遮蔽其不受可稍後提供之進一步層或裝置損害或保護其免受環境影響。由雙箭頭指示之源極電極及汲極電極(2)之間的區域係通道區域。 圖6b展示根據本發明製備之典型底部閘極OFET之示意性表示，其包含提供於基板(1)上之閘極(6)、提供於閘極(4)上之層介電材料(5)(閘極絕緣體層)、提供於閘極絕緣體層(6)上之源極(S)及汲極(D)電極(2)、提供於S/D電極上之本發明之表面改質化合物之中間層(較佳地自組裝單層)(3)、提供於S/D電極及中間層(3)上之有機半導體材料(4)之層及提供於有機半導體層(4)上之選用保護或鈍化層(7)以遮蔽其不受可稍後提供之進一步層或裝置損害或保護其免受環境影響。 在根據本發明之OFET裝置中，閘極絕緣體層之介電材料較佳地係較佳地經溶液塗佈使得允許周圍處理之有機材料，但其亦可由真空沈積技術沈積。 由根據本發明之方法製備之電晶體裝置亦可為互補有機薄膜電晶體(CTFT)，其包括p型半導體材料之層及n型半導體材料之層兩者。 除有機薄膜電晶體之外，本發明亦可適用於有機光伏打(OPV)裝置(自文獻已知之任何類型，參閱(例如) Waldauf等人之Appl. Phys. Lett. 89, 233517 (2006))以及有機發光裝置(OLED)。 可根據本發明之方法製備之較佳有機光伏打裝置(OPV)包括： -低功函電極(例如金屬，諸如鋁或金)及高功函電極(例如銦錫氧化物，通常指稱「ITO」)，低功函電極及高功函電極之一者係透明的， -包括選自有機半導體材料之電洞傳輸材料及電子傳輸材料之層(亦指稱「作用層」)，其位於低功函電極與高功函電極之間；該作用層可存在為(例如)雙層或兩個不同層或p型及n型半導體之摻合物或混合物，從而形成塊狀異接面(BHJ)(參閱(例如) Coakley、K. M.及McGehee之M. D. Chem. Mater. 2004, 16, 4533)， -根據本發明之中間層， -選用塗層，(例如)面向作用層之低功函電極之側上之LiF及/或面向作用層之高功函電極之側上之TiOx以提供分別用於電子及電洞之歐姆接觸， 其中根據本發明，中間層位於該作用層與電極(較佳地高功函電極)之至少一者之間。 使用多層結構實現常見OLED。發射層一般夾置於一或多個電子傳輸及/或電洞傳輸層之間。藉由在電荷載體朝向發射層移動時施加電壓電子及電洞(其中其重組導致含於發射層中之生光團單元之激發及(因此)發光)。用於OLED中之適合單體、寡聚或聚合化合物或材料之選擇、特徵化以及處理一般為熟習技術者所已知，參閱(例如) Miller等人之Synth. Metals, 2000, 111-112, 31-34, Alcala, J. Appl. Phys., 2000, 88, 7124-7128及其中所列舉之文獻。 本發明亦被證明對於製造CMOS (互補金屬氧化物半導體)電路裝置係有用的，其中電路之不同部分需要單獨注入層(例如相同電路上之n型或p型自組裝單層)。 本發明亦被證明對於助於自與n型或p型注入有關之特定電極處理減輕交叉污染之效應係有用的。 除非內文另有明確指示，否則如本文所使用，本文中之術語之複數形式被解釋為包含單數形式且反之亦然。 在本說明書之描述及申請專利範圍中，字語「包括」及「含有」及字語之變動意謂「包含(但不限於)」，且不意欲(且不)排除其他組分。 應瞭解可進行本發明之前述實施例之變動同時仍落入本發明之範疇內。除非另有規定，否則本說明書中所揭示之各特徵繼而由用於相同、等效或類似目的之替代特徵替代。因此，除非另有規定，否則所揭示之各特徵僅為一系列同屬等效或類似特徵之一實例。 除其中至少一些此等特徵及/或步驟互相排斥之組合之外，本說明書中所揭示之所有特徵可以任何組合組合。特定言之，本發明之特徵仍可適用於本發明之所有態樣且可以任何組合使用。同樣地，非基本組合中所描述之特徵可單獨使用(不組合使用)。實例 現將藉由參考以下實例更詳細描述本發明，其僅係繪示性的且不限制本發明之範疇。 對於所有實例，使用電腦控制之Agilent 4155C半導體參數分析器在周圍大氣環境下實施電晶體裝置之電特徵化。計算化合物在飽和狀態中之電荷載體遷移率(µsat )。使用方程式(方程式1)在飽和狀態(Vd ＞ (Vg-V0))中計算場效應遷移率：(方程式1) 其中W係通道寬度，L係通道長度，Ci 係絕緣層之電容，Vg 係閘極電壓，V0 係開啟電壓且µsat 係飽和狀態中之電荷載體遷移率。開啟電壓(V0 )判定為源極-汲極電流之開始。實例 1- 無需中間層之頂部閘極底部接觸 TFT 頂部閘極底部接觸薄膜電晶體(TFT)製造於玻璃基板上。Au透過陰影遮罩蒸鍍以製造源極電極及汲極電極。隨後，具有鄰二氯苯中之基於多環噻吩之單體單元之有機聚合半導體化合物之7 mg/cm³溶液旋塗於頂上以產生約40 nm厚半導體層。在下文中約1 μm厚介電層藉由旋塗而沈積，在介電層之頂上Au閘極藉由蒸鍍而沈積。 所得裝置判定為具有-40 V處之0.2 cm²/V∙s之遷移率。圖1中展示所得裝置之各自轉移特性及電荷載體遷移率。實例 2- 具有由習知方法產生之中間層之頂部閘極底部接觸 TFT 頂部閘極底部接觸薄膜電晶體(TFT)製造於玻璃基板上。Au透過陰影遮罩蒸鍍以製造源極電極及汲極電極。接著，自組裝單層藉由浸沒於苯-硫醇衍生物之溶液中且允許乾燥而製備於其上。隨後，具有鄰二氯苯中之基於多環噻吩之單體單元之有機聚合半導體化合物之7 mg/cm³溶液旋塗於頂上以產生約40 nm厚半導體層。在下文中約1 μm厚介電層藉由旋塗而沈積，在介電層之頂上Au閘極藉由蒸鍍而沈積。 所得裝置判定為具有-40 V處之0.38 cm²/V∙s之遷移率。圖2中展示所得裝置之各自轉移特性及電荷載體遷移率。實例 3- 具有根據本發明產生之中間層之頂部閘極底部接觸 TFT 頂部閘極底部接觸薄膜電晶體(TFT)製造於玻璃基板上。Au透過陰影遮罩蒸鍍以製造源極電極及汲極電極。具有鄰二氯苯中之基於多環噻吩之單體單元之有機聚合半導體化合物之7 mg/cm³溶液旋塗於頂上以產生約40 nm厚半導體層。隨後，苯-硫醇衍生物之溶液施加於半導體層。在下文中約1 μm厚介電層藉由旋塗而沈積，在介電層之頂上Au閘極藉由蒸鍍而沈積。 所得裝置判定為具有-40 V處之0.45 cm²/V∙s之遷移率。圖3中展示所得裝置之各自轉移特性及電荷載體遷移率。實例 4- 無需中間層之頂部閘極頂部接觸 TFT 頂部閘極頂部接觸薄膜電晶體(TFT)製造為類似於實例1之電晶體。 圖4中展示所得裝置之各自轉移特性及電荷載體遷移率。無法獲得工作裝置。實例 5- 具有根據本發明產生之中間層之頂部閘極頂部接觸 TFT 頂部閘極頂部接觸薄膜電晶體(TFT)製造為類似於實例3之電晶體。 所得裝置判定為具有-40 V處之0.1 cm²/V∙s之遷移率。圖5中展示所得裝置之各自轉移特性及電荷載體遷移率。 一般而言，本發明實例展示本申請案之方法產生以優異電荷載體遷移率為特徵之電子裝置。事實上，發現根據本發明方法(即其中藉由應用本發明「回溯」方法而產生自組裝單層)製備之裝置獲得之結果優於藉由使用習知方法(即其中藉由使基板進入適合化合物(例如硫醇)之溶液中之源極電極及汲極電極而製備自組裝單層)製備之電子裝置之結果。
1‧‧‧基板
2‧‧‧電極
3‧‧‧中間層/中間
4‧‧‧半導體材料/半導體層/閘極
5‧‧‧介電材料/閘極絕緣體層
6‧‧‧閘極/閘極絕緣體層
7‧‧‧鈍化層/保護層
圖1展示實例1之頂部閘極底部接觸薄膜電晶體之轉移特性及電荷載體遷移率。 圖2展示實例2之頂部閘極底部接觸薄膜電晶體之轉移特性及電荷載體遷移率。 圖3展示實例3之頂部閘極底部接觸薄膜電晶體之轉移特性及電荷載體遷移率。 圖4展示實例4之頂部閘極頂部接觸薄膜電晶體之轉移特性及電荷載體遷移率。 圖5展示實例5之頂部閘極頂部接觸薄膜電晶體之轉移特性及電荷載體遷移率。 圖6a展示頂部閘極有機場效應電晶體之示意性例示性表示。 圖6b展示底部閘極有機場效應電晶體之示意性例示性表示。

Claims (15)

  1. 一種用於製備有機電子裝置之方法，該方法包括 (a)使半導體材料沈積於電極上以形成半導體層，及 (b)隨後藉由將表面改質化合物施加於該半導體層上而於步驟(a)之該電極與該半導體層之間產生中間層，其中該表面改質化合物包括式HX-R之化合物，其中X係Se、Te或S，且R係包括1至12個碳原子之烴基，其中一或多個氫視情況由包含至少一個雜原子之官能基取代。
  2. 如請求項1之方法，其中在步驟(a)中沈積之該半導體層之厚度係＜ 200 nm。
  3. 如請求項1或請求項2之方法，其中R係選自飽和烴基、非飽和烴基及芳香族烴基。
  4. 如請求項1或請求項2之方法，其中該至少一個雜原子係選自由O、N、S、Se、P、F、Cl及Br組成之群組。
  5. 如請求項1或請求項2之方法，其中該表面改質化合物具有＜ 500 g/mol之分子量。
  6. 如請求項1或請求項2之方法，其中在該表面改質化合物中，X = S。
  7. 如請求項1或請求項2之方法，其中該表面改質化合物係五氟苯硫醇或甲苯硫醇。
  8. 如請求項1或請求項2之方法，其中在步驟(b)中施加之該表面改質化合物形成自組裝單層。
  9. 如請求項1或請求項2之方法，其中該電極包括選自由Au、Ag、Cu、Al、Ni、Pd、Pt、Ti、Ca、Mo、Sc及其等之任何摻合物組成之群組之至少一材料。
  10. 如請求項1或請求項2之方法，其中該表面改質化合物係藉由使用包括該表面改質化合物及至少一種有機溶劑之調配物液體塗佈而施加至該半導體層。
  11. 如請求項10之方法，其中該至少一種有機溶劑係選自由醇、醚、酮、芳香族烴及此等之任何者之任何混合物組成之群組。
  12. 一種藉由如請求項1至10中任一項之方法製備之有機電子裝置，該裝置包括電極、半導體層及介於該電極與該半導體層之間的中間層， 其中該中間層包括式HX-R之化合物，其中X係Se、Te或S，且R係包括1至12個碳原子之烴基，其中一或多個氫視情況由包含至少一個雜原子之官能基取代。
  13. 如請求項12之有機電子裝置，其中該中間層係自組裝單層。
  14. 如請求項12或請求項13之有機電子裝置，其中該有機電子裝置係選自由下列組成之群組：有機場效應電晶體(OFET)、薄膜電晶體(TFT)、積體電路(IC)、邏輯電路、電容器、射頻識別(RFID)標籤、裝置或組件、有機發光二極體(OLED)、有機發光電晶體(OLET)、平板顯示器、顯示器之背光、有機光伏打裝置(OPV)、有機太陽能電池(OSC)、光電二極體、雷射二極體、光電導體、有機光電偵測器(OPD)、電子照像裝置、電子照像記錄裝置、有機記憶體裝置、感測器裝置、電荷注入層、電荷傳輸層或聚合物發光二極體(PLED)中之夾層、肖特基二極體、平坦化層、抗靜電膜、聚合物電解質隔膜(PEM)、導電基板、導電圖案、電池中之電極材料、對準層、生物感測器、生物晶片、安全記號、安全裝置及用於偵測及鑑別DNA序列之組件或裝置。
  15. 如請求項12或請求項13之有機電子裝置，其中該裝置係頂部閘極有機場效應電晶體或底部閘極有機場效應電晶體。
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