TW201732307A - 探針卡檢測設備 - Google Patents

Abstract

本發明提供一種探針卡檢測設備，包含：一基座，具有一可翻轉平台；一背板，與該基座連接；以及一母板組件包含一下母板和一與該下母板可樞轉連接之上母板，其中該下母板固定在該可翻轉平台上，且該上母板具有一對應該下母板及該背板的可樞轉方向，使該上母板相對於該下母板的一可樞轉角度大於90度。

Description

探針卡檢測設備

本發明是關於一種探針卡檢測設備，特別是關於一種具有側掀式的母板組件之探針卡檢測設備。

請參照第1圖，其顯示一種習知探針卡檢測設備100之示意圖。該探針卡檢測設備100包含一基座110、一背板120、一可翻轉平台130、和一後掀式的母板組件140。該母板組件140包含一下母板142和一上母板144，該母板組件140係組裝在該可翻轉平台130上，其中該下母板142和該上母板144係以固定式絞鍊結構以及固定式氣壓棒系統(未繪示於圖中)連接，使得該上母板144可朝一接近該背板120的可樞轉方向A(即後掀式的可樞轉方向)並相對該下母板142樞轉。如第1圖所示，在該上母板144上設置有一針盤150，該針盤150係用於承載複數個彈性測試探針(pogo pin)。並且，在該下母板142對應於該上母板144上之該針盤150的位置係放置一待檢測的探針卡160，藉由將該上母板144樞轉至與該下母板142疊合時，使得該針盤150上的該等彈性測試探針電性接觸該等探針卡160上之相對應的接觸墊以形成電氣迴路，進而使該探針卡160與該探針卡檢測設備100產生連結，因而能檢測該探針卡160是否有異常。

然而，習知該探針卡檢測設備100具有以下缺點：

(1)由於該等彈性測試探針係設置在該上母板144，當將該上母板144向下與該下母板142蓋合時，該等彈性測試探針係以一斜向的角度與該探針卡160上的接觸墊接觸，因而導致該彈性測試探針的下壓位置與其對應接觸墊的接觸位置產生偏移，使得該接觸墊的點位無法產生正確迴路進而造成誤判。此外，由於在每次蓋合時此蓋合的動作都會對該等彈性測試探針施加一側向力，導致該等彈性測試探針容易產生歪斜或損壞。再者，當將該上母板144向下蓋合時，靠近該母板組件140內部(即靠近該上母板144與該下母板142之間的樞接端的位置)的彈性測試探針的活動行程最短，而靠近該母板組件140外部(即遠離該上母板144與該下母板142之間的樞接端的位置)的彈性測試探針的活動行程最長，導致該等彈性測試探針施加在該探針卡160上的針壓不平均，進而影響該探針卡160之檢測結果的準確性。

(2)習知後掀式的母板組件140僅適用於單一型號的探針卡160，若要檢測另一型號的探針卡時，必須將整組的母板組件140進行替換。然而，該母板組件140具有一定的重量，在搬運和拆裝上容易造成人員的不便且在過程中容易造成意外傷害。

(3)由於該母板組件140係採用後掀式的結構，故該上母板144會因該背板120的阻擋以及受到該下母板142和該上母板144之間的固定式絞鍊結構與固定式氣壓棒系統的限制，導致該下母板142和該上母板144之間的可樞轉角度僅可為一銳角(即該可樞轉角度小於90度)。意味著，由於人員的操作空間會受到該上母板144的可樞轉角度的限制，使得在靠近該母板組件140內部(即樞接端)的空間無法被有效的利用。

(4)當要藉由一架設在該可翻轉平台130上方的顯微鏡(未繪 示於圖中)觀測該探針卡160之下表面的針腳時，必須將該可翻轉平台130朝側掀方向翻轉以進行觀測。然而，若是設置在該母板組件140上的電路板(未繪示於圖中)的尺寸過大時，會因該探針卡檢測設備100的機台結構限制，導致不可將該可翻轉平台130進行側向翻轉，否則會造成該電路板與該探針卡檢測設備100產生結構上的干涉。

(5)該母板組件140係直接地放置且固定在該可翻轉平台130的檯面上，並且係以該下母板142的整個大面積的底面作為承靠面。然而，由於在該母板組件140搬運和更換過程中容易造成該下母板142的底面產生刮傷或磨損，導致該下母板142的基準面產生歪斜，致使無法精確地傳達該探針卡160的針位水平。再者，由於係採用單一個且大面積的底面作為承靠面，基於加工製造的極限，大面積的底面在尺寸上的公差難以精確地控制在微米等級，因此也會導致無法精確地傳達該探針卡160的針位水平。

(6)部分型號的探針卡在進行檢測時必須搭載在一機框(stiffener)上。然而，在該母板組件140上並無設置與探針卡之機框的相對承靠位置。因此當將該上母板144與該下母板142蓋合時，探針卡的承靠位置並非與實際探針卡之機框的相對承靠位置相同。此外，由於該探針卡160大多係以可繞性的材料製成，故若單以探針卡160與該上母板144做承靠，容易因該探針卡160的繞曲而導致彈性測試探針無法成功地與對應的接觸墊電性接觸。

有鑑於此，有必要提供一種探針卡檢測設備，以解決習知技術所存在的問題。

為解決上述技術問題，本發明之目的在於提供一種探針卡檢測設備，藉由將習知後掀式母板組件改變為側掀式的母板組件，使得上母板可相對下母板樞轉180度而不會與該探針卡檢測設備的背板互相干涉。此外，通過將本發明之該母板組件設計為將下母板固定設置在該探針卡檢測設備的可翻轉平台上，並搭配使用一快拆結構連接該上母板和該下母板兩者。因此，當該上母板展開而與該下母板一起呈水平置放時，可輕易且安全地將該上母板與該下母板快速分離。另一方面，由於本發明之該上母板可完全展開至水平狀態，故可將探針卡設計為組裝在該上母板上。並且，可採用將該探針卡先與該上母板的針盤平行並列之後再將該探針卡垂直下壓的方式使該探針卡與該上母板的針盤組裝，使得該針盤上的每一彈性測試探針具有相同的下壓行程，且施加在該探針板上各處的針壓也較為平均。

本發明之另一目的在於提供一種探針卡檢測設備，其較佳地適用於當檢測搭載有機框的探針卡時使用。該探針卡檢測設備藉由提供一平行塊，且將該平行塊壓疊在母板組件的上方，使得該平行塊與機框的上承靠面互相抵靠，進而使得該探針卡獲得較佳地穩定性。

為達成上述目的，本發明提供一種探針卡檢測設備，包含：一基座，具有一可翻轉平台；一背板，與該基座連接；以及一母板組件，包含一下母板和一與該下母板可樞轉連接之上母板，其中該下母板固定在該可翻轉平台上，且該上母板具有一對應該下母板及該背板的可樞轉方向，使該上母板相對於該下母板的一可樞轉角度大於90度。

於本發明其中之一較佳實施例當中，該可樞轉方向平行於該背板。

於本發明其中之一較佳實施例當中，該可樞轉角度為180度。

於本發明其中之一較佳實施例當中，該上母板用於與一針盤和一探針卡組裝，並且該針盤係位在該上母板與該探針卡之間。

於本發明其中之一較佳實施例當中，該母板組件還包含至少一連接件，用於連接該下母板和該上母板，該至少一連接件包含一樞接座、一樞接臂以及一樞接軸，其中該樞接座具有一第一連接孔且固定在該下母板之一側邊，以及該樞接臂具有一第二連接孔且固定在該上母板之另一側邊，且該樞接軸用於穿設入該第一連接孔和該第二連接孔以可樞轉地連接該下母板與該上母板。

於本發明其中之一較佳實施例當中，當該樞接軸分別與該第一連接孔和該第二連接孔分離後，使該上母板與該下母板互相分離。

於本發明其中之一較佳實施例當中，探針卡檢測設備還包含一平面板，設置該上母板之上，且該平面板抵靠在用於搭載一探針卡之一機框上。

於本發明其中之一較佳實施例當中，該下母板具有一活動式承靠組件，該活動式承靠組件包含一用於與該可翻轉平台互相抵靠的下承靠面，當該上母板樞轉至與該下母板疊合時，該活動式承靠組件之該下承靠面抵靠在該可翻轉平台上，以及當該上母板朝遠離該下母板的方向樞轉時，該活動式承靠組件向上抬升，使得該下承靠面與該可翻轉平台相距一縱向距離。

於本發明其中之一較佳實施例當中，該可翻轉平台包含至少 一承靠塊用於承靠一探針卡。

100、200、300‧‧‧探針卡檢測設備

110、210、310‧‧‧基座

120、220、320‧‧‧背板

130、230、230’、330‧‧‧可翻轉平台

140、240、340‧‧‧母板組件

142、242、342‧‧‧下母板

144、244、344‧‧‧上母板

150、250‧‧‧針盤

252‧‧‧彈性測試探針

160、260、360‧‧‧探針卡

270‧‧‧連接件

272‧‧‧樞接座

274‧‧‧樞接臂

276‧‧‧樞接軸

2722‧‧‧第一連接孔

2742‧‧‧第二連接孔

280、380‧‧‧機框

282‧‧‧下凸緣

382‧‧‧上凸緣

2422‧‧‧中央開口

2424‧‧‧活動式承靠組件

2424A‧‧‧下承靠面

2424B‧‧‧上承靠面

232‧‧‧承靠塊

232’‧‧‧第一承靠塊

234’‧‧‧第二承靠塊

390‧‧‧平面板

392‧‧‧鎖扣機構

θ‧‧‧可樞轉角度

A‧‧‧可樞轉方向

B‧‧‧可樞轉方向

D‧‧‧橫向距離

H‧‧‧縱向距離

第1圖顯示習知探針卡檢測設備之示意圖；第2圖顯示根據本發明之第一較佳實施例之探針卡檢測設備之示意圖；第3圖顯示第2圖之側掀式母板組件之立體爆炸圖；第4圖顯示第2圖之探針卡檢測設備之上視示意圖；第5圖顯示根據本發明之二較佳實施例之探針卡檢測設備之可翻轉平台之示意圖；第6A與第6B圖分別繪示第3圖之活動式承靠組件之作動示意圖。第7圖顯示根據本發明之第三較佳實施例之探針卡檢測設備之示意圖；以及第8圖顯示將第7圖之平面板疊置在母板組件上之示意圖。

為了讓本發明之上述及其他目的、特徵、優點能更明顯易懂，下文將特舉本發明較佳實施例，並配合所附圖式，作詳細說明如下。

請參照第2圖和第3圖，其中第2圖顯示根據本發明之第一較佳實施例之探針卡檢測設備200之示意圖，以及第3圖顯示第2圖之側掀式母板組件之立體爆炸圖。該探針卡檢測設備200包含一基座210、一背板220、一可翻轉平台230、和一側掀式的母板組件240。該背板220係與該基座210之一側壁連接，且該基座210係用於承載該可翻轉平台230和該母板組件 240。該母板組件240包含一下母板242、一上母板244和至少一連接件270。該下母板242係固定設置在該可翻轉平台230上，並於本實施例中，係藉由三個連接件270與該上母板244連接，但該連接件270的數量僅係作為示例，數量不侷限於此，可依實際需求設置。

如第3圖所示，每一該連接件270包含具有一對第一連接孔2722的一樞接座272、具有一第二連接孔2742的一樞接臂274、以及一樞接軸276，其中該樞接座272係固定在該下母板242之一側邊，以及該樞接臂274係固定在該上母板244之相對的一側邊。藉由將每一該樞接軸276穿設入該對第一連接孔2722和該第二連接孔2742後，使得該上母板244與該下母板242形成可樞轉連接；反之，當將每一該樞接軸276從該對第一連接孔2722和該第二連接孔2742抽離後，即使該上母板244與該下母板242互相分離。可以理解的是，可通過在該連接件270設置簡易的栓鎖機制，使得僅需按壓或扭轉該樞接軸276即可解除該樞接軸276與該對第一連接孔2722和該第二連接孔2742之間的扣合，因而達到使該上母板244與該下母板242快速拆裝的目的。應當注意的是，在本發明之第一較佳實施例中的該連接件270的結構僅係作為示例，在其他實施例中亦可採用不同的快拆結構取代該連接件270，例如採用鉸鍊扣件的結構。

請參照第4圖，其顯示第2圖之探針卡檢測設備200之上視示意圖。在本發明的探針卡檢測設備200中，由習知後掀式的母板組件改設為該側掀式的母板組件240，亦即該上母板244具有一相對於該下母板242的側掀式可樞轉方向B且該側掀式可樞轉方向B是平行於該背板220(而第1圖所示的習知上母板144的可樞轉方向A是朝向該背板120)，因此能使該上母板 244相對該下母板242的可樞轉角度θ可大於90度，並且較佳地樞轉到180度，即將該上母板244可完全展開至與該下母板242一同呈水平狀態。相應的，當將該上母板244相對該下母板242進行樞轉時，該上母板244始終與該背板220保持一相同的橫向距離D。也就是說，該上母板244不會與該探針卡檢測設備200的該背板220產生任何結構上的干涉。

如第2圖和第3圖所示，由於本發明之該探針卡檢測設備200可將該上母板244相對該下母板242展開至一水平狀態，故可方便使用者直接將一探針卡260組裝在該上母板244上。更詳言之，該上母板244係用於依序組裝一針盤250和一探針卡260。該針盤250係用於承載複數個彈性測試探針(pogo pin)252。該探針卡260包含相對的一第一面和一第二面，該第一面具有複數個接觸墊以及該第二面具有複數個突出該第二面的針腳。當將該探針卡260組裝至該上母板244上時，係將具有複數個接觸墊的該第一面面對該針盤250的方向進行組裝。藉由將該探針卡260與該針盤250對應組裝，使得該針盤250上的該等彈性測試探針252電性接觸該探針卡260上之相對應的接觸墊以產生迴路，進而使該探針卡260與該探針卡檢測設備200產生連結，因而可檢測該探針卡260是否有異常。應當注意的是，在將該探針卡260與該針盤250對應組裝時，先將該探針卡260與該上母板244的該針盤250平行並列之後再將該探針卡260垂直下壓使該探針卡260與該上母板244的該針盤250組裝，使得該針盤250上之每一彈性測試探針252具有相同的活動行程，進而讓施加在該探針卡260上各處的針壓平均。此外，由於該探針卡260係以水平地放置在該針盤250上，即每一彈性測試探針252係以垂直的方向進行伸縮，進而避免該彈性測試探針252因側向施壓而導致歪斜或磨耗的 問題。此外，由於係先將該探針卡260與該針盤250組裝後，才將該上母板244樞轉至與該下母板242疊合以進行該探針卡260的檢測。因此，即使將該上母板244進行多次開合也不會造成該針盤250上之該等彈性測試探針252反覆的釋放與收縮，故可有效地減少該等彈性測試探針252的壓放次數，進而增加該彈性測試探針252的使用壽命。

另一方面，在習知技術中(如第1圖所示)，由於探針卡160係組裝在該下母板142上，因此為了使用架設在該可翻轉平台130上方的顯微鏡(未繪示於圖中)觀察位於該探針卡160之針腳時，必須將整個該可翻轉平台130側向翻轉以將該探針卡160的針腳面朝向顯微鏡的方向。然而，上述方法存在當母板組件140的電路板的尺寸過大時會造成與該探針卡檢測設備100產生結構上的干涉。相較於習知技術，本發明係藉由將該探針卡260直接組裝在該上母板244上，並且組裝後該探針卡260的該第一面(即針腳面)就是直接地面向顯微鏡的方向。因此，不需藉由側向樞轉該可翻轉平台230即可進行該探針卡260之針腳的觀測，進而避免因翻轉該可翻轉平台230造成與該探針卡檢測設備200產生結構上的干涉的問題。

由上可知，由於在本發明之該探針卡檢測設備200中，該探針卡260係組裝在該上母板244上，因此該下母板242僅係作為承載抵靠的平台，而不受限於檢測的探針卡的型號的限制，故可永久地鎖固在該探針卡檢測設備200的該可翻轉平台230上。意味著，當要更換檢測不同型號的探針卡時，只需要更換上母板244即可檢測不同型號的探針卡。更明確地說，本發明僅需要將該上母板244展開呈水平狀態，並且搭配可達到快速拆裝的該連接件270的使用，就可輕易且安全地將該上母板244和該下母板242快速 分離以達到更換不同型號的探針卡之母板的功效。相較於習知技術中為了檢測不同型號的探針卡必需將整組的母板組件進行替換，本發明採用只更換上母板244的方式，有效地減輕人員在搬運和更換上的負擔。

如第3圖所示，該下母板242包含一中央開口2422，該中央開口2422的下方為該可翻轉平台230的檯面，該可翻轉平台230上設置有至少一個承靠塊232用於提供該探針卡260的承靠以穩定該探針卡260，並將該探針卡260保持在一較佳的檢測基準面。可以理解的是，在不同的實施例中，可根據檢測的探針卡的單一點位的厚度(即根據探針卡與可翻轉平台的檯面的相距之高度)在該可翻轉平台上設置模組化的承靠塊。舉例來說，請參照第5圖，其顯示根據本發明之二較佳實施例之探針卡檢測設備之可翻轉平台230’的示意圖。為了搭配具有不同厚度的探針卡的檢測，該可翻轉平台230’在厚度相對較薄的點位設置有4個高度較高的第一承靠塊232’，以及在厚度相對較厚的點位設置4個高度較低的第二承靠塊234’。

請參照第3圖和第6A與第6B圖，其中第6A與第6B圖分別繪示第3圖之活動式承靠組件2424的作動示意圖。如第3圖所示，在檢測特定型號的探針卡260時需搭配一用於加固該探針卡260整體結構的機框(stiffener)280一起使用。由於該機框280係採用鋼性材料構成，相較於採用可繞性材質的該探針卡260，該機框280可提供該探針卡260結合該機框280所形成之整體組件較佳的穩定性以及保持在較佳的檢測基準面。因此，本發明除了提供該承靠塊232以提供該探針卡260的承靠以外，還進一步提供與該機框280抵靠的元件。如第3圖所示，在該機框280與該下母板242對應接觸的位置設置至少一下凸緣282(如第3圖所示之4個下凸緣282)，藉由該等 下凸緣282與該下母板242的抵靠，進而使得在檢測該探針卡260時能獲得較佳的穩定性。

另一方面，如同習知技術中所述，假若採用將下母板之大面積的底板作為整體母板組件的承靠面，容易因加工製造上的限制，導致下母板之底板的平整度無法被控制在微米的等級，進而造成當探針卡承靠在底板後產生歪斜的問題，因而影響檢測的精確度。故，本發明採用小面積且多件式的活動式承靠組件2424作為承靠該機框280之該等下凸緣282的元件。在製造上，可藉由將一中型的板塊進行精密研磨以使得整個板塊的平整度和厚度皆被控制在精準的塊規公差等級後，再將該板塊裁切成多個小型的板塊以作為本發明之該機框280之該等下凸緣282或該等活動式承靠組件2424，因而確保每一承靠面的水平。此外，為了防止在將該下母板242裝設至該可翻轉平台230上因撞擊或磨擦而導致該活動式承靠組件2424之該下承靠面2424A的損傷，故如第6A圖所示，本發明將該活動式承靠組件2424設計為當無施加外力於該活動式承靠組件2424之該上承靠面2424B時(即當該上母板244朝遠離該下母板242的方向樞轉)，該活動式承靠組件2424向上抬升，使得該活動式承靠組件2424之該下承靠面2424A與該可翻轉平台230相距一縱向距離H。另外，如第6B圖所示，當該上母板244樞轉至與該下母板242疊合時，該機框280之該等下凸緣282會壓疊在該等活動式承靠組件2424之該上承靠面2424B上，使得每一活動式承靠組件2424之該下承靠面2424A抵靠在該可翻轉平台230上，進而提供探針卡260與該機框280所形成之整體組件較佳的穩定性以及保持在較佳的檢測基準面。

請參照第7圖和第8圖，其中第7圖顯示根據本發明之第三較 佳實施例之探針卡檢測設備300之示意圖，以及第8圖顯示將第7圖之平面板疊置在母板組件上之示意圖。該探針卡檢測設備300包含一基座310、一背板320、一可翻轉平台330和一側掀式的母板組件340。該背板320係與該基座310之一側壁連接，且該基座310係用於承載該可翻轉平台330和該母板組件340。該母板組件240包含一下母板342、一上母板344和至少一連接件(未標號)。可以理解的是，本發明之第三較佳實施例之探針卡檢測設備300包含第一較佳實施例之探針卡檢測設備200的所有元件，故在此不加以贅述。第三較佳實施例之該探針卡檢測設備300相較於第一較佳實施例之該探針卡檢測設備200差別在於，該探針卡檢測設備300進一步包含一平面板390，用於放置在該母板組件340之該上母板344之上，以提供搭載探針卡360之機框380向上的承靠面。該平面板390與該下母板342樞轉連接。具體而言，該上母板344和該平面板390係分別與該下母板342兩相對的側邊樞轉連接，使得該上母板344和該平面板390皆可相對該下母板342進行樞轉運動。

如第7圖和第8圖所示，搭載該探針卡360之該機框380在相對於該下母板342之另一表面具有複數個上凸緣382。如同前述，該等上凸緣382係藉由精密的加工而形成之具有塊規公差等級的承靠平面。當檢測該探針卡360時，係先將該上母板344蓋合在該下母板342之上，接著才將該平面板390壓疊在該上母板344之上，並且藉由一鎖扣機構392將該平面板390與該母板組件340鎖扣組合，使得探針卡360得以維持在一較佳地檢測基準面上，進而獲得較為精確的檢測值。

綜上所述，在本發明之探針卡檢測設備中，藉由將習知的後掀式母板組件改變為側掀式的母板組件，使得上母板可相對下母板樞轉180 度且不會與該探針卡檢測設備的背板互相干涉。此外，通過將本發明之該母板組件設計為將下母板固定設置在該探針卡檢測設備的可翻轉平台上，並搭配使用一快拆結構連接該上母板和該下母板。因此，當該上母板展開呈水平時，可輕易且安全地將該上母板與該下母板快速分離。另一方面，由於本發明之該上母板可完全展開至水平狀態，故可將探針卡設計為組裝在該上母板上。也就是說，可採用將該探針卡先與該上母板的針盤平行並列之後再將該探針卡垂直下壓的方式使該探針卡與該上母板的針盤組裝，使得該針盤上的每一彈性測試探針具有相同的下壓行程，且施加在該探針板上各處的針壓也較為平均。再者，藉由在下母板設置活動式承靠組件，使得實際提供探針卡檢測時的下方承靠面可得到保護，進而獲得較精確的檢測值。又，當檢測搭載有機框的探針卡時，藉由提供一平行塊，用於壓疊在母板組件的上方，使得該平行塊與機框的上承靠面互相抵靠，進而使得該探針卡獲得較佳地穩定性。

雖然本發明已用較佳實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，本發明所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

200‧‧‧探針卡檢測設備

210‧‧‧基座

220‧‧‧背板

230‧‧‧可翻轉平台

240‧‧‧母板組件

242‧‧‧下母板

244‧‧‧上母板

260‧‧‧探針卡

θ‧‧‧可樞轉角度

B‧‧‧可樞轉方向

Claims (9)

1. 一種探針卡檢測設備，包含：一基座，具有一可翻轉平台；一背板，與該基座連接；以及一母板組件，包含一下母板和一與該下母板可樞轉連接之上母板，其中該下母板固定在該可翻轉平台上，且該上母板具有一對應該下母板及該背板的可樞轉方向，使該上母板相對於該下母板的一可樞轉角度大於90度。
2. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測設備，其中該可樞轉方向平行於該背板。
3. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測設備，其中該可樞轉角度為180度。
4. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測設備，其中該上母板用於與一針盤和一探針卡組裝，並且該針盤係位在該上母板與該探針卡之間。
5. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測設備，其中該母板組件還包含至少一連接件，用於連接該下母板和該上母板，該至少一連接件包含一樞接座、一樞接臂以及一樞接軸，其中該樞接座具有一第一連接孔且固定在該下母板之一側邊，以及該樞接臂具有一第二連接孔且固定在該上母板之另一側邊，且該樞接軸用於穿設入該第一連接孔和該第二連接孔以可樞轉地連接該下母板與該上母板。
6. 如申請專利範圍第5項所述之探針卡檢測設備，其中當該樞接軸分別與該第一連接孔和該第二連接孔分離後，使該上母板與該下母板互相分離。
7. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測設備，還包含一平面板，設置該上母板之上，且該平面板抵靠在用於搭載一探針卡之一機框上。
8. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測設備，其中該下母板具有一活動式承靠組件，該活動式承靠組件包含一用於與該可翻轉平台互相抵靠的下承靠面，當該上母板樞轉至與該下母板疊合時，該活動式承靠組件之該下承靠面抵靠在該可翻轉平台上，以及當該上母板朝遠離該下母板的方向樞轉時，該活動式承靠組件向上抬升，使得該下承靠面與該可翻轉平台相距一縱向距離。
9. 如申請專利範圍第1項所述之探針卡檢測設備，其中該可翻轉平台包含至少一承靠塊用於承靠一探針卡。