TW201720732A - 處理單元及電子零件搬送裝置 - Google Patents

Abstract

本發明的課題是在於提供一種使個別配置進退驅動裝置的形式的電子零件搬送裝置的組裝作業形成簡便的處理單元及電子零件搬送裝置。處理單元具有：單元框體(61)；處理位置，其係被配置於單元框體(61)，對電子零件實施預定處理；立柱框架(611)，其係被立設於單元框體(61)，比處理位置的高度更高；及進退驅動部裝置(8)，其係以能夠位於處理位置的正上之方式設置於立柱框架(611)的端部，具有可前進及後退於軸方向的桿(81)，使桿朝處理位置前進。而且，進退驅動部裝置(8)與處理位置係分離吸附吸盤(33)的全長以上來配置。此處理單元係以桿(81)，吸附吸盤(33)及處理位置能夠排列於一直線上的方式，調整單元框體(61)的位置。

Description

處理單元及電子零件搬送裝置

本發明是有關對電子零件實施預定處理的處理單元及一邊搬送電子零件一邊實施預定處理的電子零件搬送裝置。

電子零件是經過接受電氣特性或外觀等的各種檢查，按照品質分類，重新梱包的後工程。電子零件搬送裝置是擔負後工程的製造裝置，形成搬送路徑，且在搬送路徑配置實施各種檢查，分類或梱包的處理單元。然後，電子零件搬送裝置是使電子零件沿著搬送路徑移動，以各種處理單元來對電子零件實施處理。此電子零件搬送裝置是具備旋轉台或水平軌道等的搬送手段。搬送手段是使保持電子零件的保持手段以一定高度水平移動。各種的處理單元是被配置於保持手段的移動軌跡正下，藉由保持手段的昇降來接受電子零件而實施處理。

保持手段的昇降方法是可舉在保持手段本身設有驅動機構而自力昇降的形式，搬送手段全體昇降的形式。自力昇降形式是基於從驅動機構拉出的電氣配線會纏 繞等的理由，無法適用在旋轉台持續旋轉於1方向的搬送手段。搬送手段全體昇降的形式，由於搬送路徑的全保持手段成為一律的昇降速度，因此無法兼顧藉由提高昇降速度來提升生產性及藉由降低昇降速度來抑制電子零件發生缺陷。

於是，可思考在各處理單元的上方個別配置使保持手段昇降的驅動源(例如參照專利文獻1)。具體而言，在旋轉台或水平軌道設置軸承孔或延伸於上下的導軌，可昇降地支撐保持手段。然後，隔著搬送路徑，在處理單元的正上配置進退驅動裝置。進退驅動裝置是具有例如可前進及後退的桿。藉由馬達等來使桿朝保持手段降下，以桿下端來將保持手段朝處理單元推下。

就個別配置此進退驅動裝置的形式而言，往處理時間短的處理單元是以較低速來使保持手段下降，可防止電子零件的缺陷。另一方面，往處理時間長的處理單元是以較高速來使保持手段下降，可使從電子零件的下降開始經由處理來朝搬送路徑恢復為止的間歇時間減少。藉此，複數的處理全體，可使搬送速度提升，同時達成電子零件的缺陷防止。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2004-182388號公報

電子零件搬送裝置的製造時，就保持手段自力昇降的形式而言，只要一邊將搬送手段所形成的搬送路徑與處理單元對位，一邊設置於架台即可。即使是搬送手段全體昇降的形式，也只要一邊將搬送手段所形成的搬送路徑與處理單元對位，一邊設置於架台即可。

可是，就個別配置進退驅動裝置的形式而言，必須以能夠配合搬送手段所形成的搬送路徑，處理單元及進退驅動裝置的3者關係之方式進行對位。需要將搬送路徑與處理單元對位的第1作業，及將搬送路徑與進退驅動裝置對位的第2作業。因此，個別配置進退驅動裝置的形式與保持手段自力昇降的形式及搬送手段全體昇降的形式作比較，對位作業的作業量會增加。作業量的增加會影響電子零件搬送裝置的成本。

並且，隨著在電子零件搬送裝置所進行的處理的追加，削除，更換之處理單元的位置變更，也會產生對位作業。在變更處理單元的位置時，必須配合處理單元所移動的位置來變更或增設進退驅動裝置的位置。對位作業中是無法運轉電子零件搬送裝置，帶來電子零件的生產性降低。一旦對位作業的作業時間變長，則電子零件的生產性便會降低。

有關進退驅動裝置的位置變更，依電子零件搬送裝置的規格，成為大規模的改造作業。亦即，在電子 零件搬送裝置中，亦有在搬送路徑的上方配置設置進退驅動裝置的支撐盤，且進退驅動裝置與控制裝置的連接器電路基板會被設置於該支撐盤的例子。在此例子中是必須在所欲重新設置進退驅動裝置的支撐盤的該當處貫通設置進退驅動裝置的安裝用的孔。必須變更連接進退驅動裝置的訊號線之插座。亦有需要進退驅動裝置所具備的致動器的改造或變更時。由裝置的小型化的觀點，一旦各零件被集成，則為了孔的貫設作業，進退驅動裝置的卸下及安裝作業，連接之插座的變更作業，電子零件搬送裝置的其他構成也需要一旦卸下。

本發明是為了解決上述那樣的問題點而被提案，提供一種以進退驅動裝置來使保持手段昇降的形式的電子零件搬送裝置的組裝作業簡便的處理單元及電子零件搬送裝置為目的。

本發明的處理單元，係於旋轉台的外緣可滑動地設置保持電子零件的保持手段，使前述旋轉台間歇旋轉於圓周方向，藉此備於沿著前述旋轉台的外周來形成電子零件的搬送路徑之電子零件搬送裝置中，對電子零件實施預定的處理之處理單元，其特徵為具備：單元框體；處理位置，其係被配置於前述單元框體，用以對電子零件實施預定處理； 框架，其係被立設於前述單元框體，比前述處理位置的高度更高；及進退驅動部，其係以能夠成為比前述處理位置更高的位置之方式設置在前述框架的端部，具有可前進及後退於軸方向的桿，藉由前進的前述桿的推壓力來使前述保持手段滑動，使能夠藉由滑動的前述保持手段來將電子零件交接至前述處理位置，調整前述單元框體對於前述旋轉台的位置。

前述電子零件搬送裝置，亦可於前述搬送路徑的正下具有與前述搬送路徑平行擴大的台，將延伸至前述搬送路徑的正下的軌道配置於前述台的上面而成，在前述單元框體的底面更具備嵌於前述軌道的滑塊，至前述滑塊與前述軌道被嵌入，前述進退驅動部與前述處理位置夾著前述搬送路徑為止，使前述單元框體朝前述搬送路徑來沿著前述軌道而前進。

又，本發明的電子零件搬送裝置，係一邊搬送電子零件，一邊實施預定處理的電子零件搬送裝置，其特徵為具備：搬送手段，其係形成前述電子零件的搬送路徑；及處理單元，其係被配置於前述搬送路徑的正下，對於循前述搬送路徑的電子零件實施預定處理，前述搬送手段係具有：旋轉台，其係間歇旋轉於圓周方向；保持手段，其係可滑動地設置於前述旋轉台的外緣， 保持電子零件，前述處理單元係具有：單元框體；處理位置，其係被配置於前述單元框體，用以對電子零件實施預定處理；框架，其係被立設於前述單元框體，比前述處理位置的高度更高；及進退驅動部，其係以能夠成為比前述處理位置更高的位置之方式設置在前述框架的端部，具有可前進及後退於軸方向的桿，前述處理單元，係藉由前進的前述桿的推壓力來使前述保持手段滑動，使能夠藉由滑動的前述保持手段來將電子零件交接至前述處理位置，調整前述單元框體對於前述旋轉台的位置。

亦可更具備：台，其係位於前述搬送路徑的正下，與前述搬送路徑平行擴大；軌道，其係被配置於前述台的上面，延伸至前述搬送路徑的正下；及滑塊，其係設於前述單元框體的底面，嵌於前述軌道，至前述滑塊與前述軌道被嵌入，前述進退驅動部與前述處理位置夾著前述搬送路徑為止，使前述單元框體朝前述搬送路徑來沿著前述軌道而前進。

若根據本發明，則即使是以進退驅動裝置來使保持手段昇降的形式的電子零件搬送裝置，還是可大幅度削減形成有搬送手段的搬送路徑及處理單元以及進退驅動裝置的對位作業，因此組裝作業簡便。

1‧‧‧電子零件搬送裝置

1a‧‧‧搬送路徑

2‧‧‧台

21‧‧‧軌道

3‧‧‧搬送單元

31‧‧‧旋轉台

32‧‧‧直接驅動馬達

33‧‧‧吸附吸盤

4‧‧‧晶圓環夾具

41‧‧‧環插入部

42‧‧‧環移動機構

43‧‧‧環旋轉部

44‧‧‧頂起銷

5‧‧‧拾取裝置

51a、51b‧‧‧拾取頭

51c‧‧‧稜鏡

511‧‧‧旋轉台

512‧‧‧噴嘴部

512a，512b‧‧‧端子

513‧‧‧彈性夾頭

514‧‧‧音圈馬達

515‧‧‧底座

52‧‧‧直接驅動馬達

53‧‧‧零件位置檢測部

54‧‧‧頭移動機構

6‧‧‧外觀檢查單元

61‧‧‧單元框體

611‧‧‧立柱框架

62‧‧‧照相機

63‧‧‧稜鏡

64‧‧‧環照明

65‧‧‧滑塊

7‧‧‧捲帶單元

71‧‧‧行走溝

72‧‧‧收納作業處

73‧‧‧單元框體

731‧‧‧立柱框架

74‧‧‧滑塊

8‧‧‧進退驅動裝置

81‧‧‧桿

圖1是表示電子零件搬送裝置1的全體構成的側面圖。

圖2是表示晶圓環夾具的構成的立體圖。

圖3是表示拾取裝置的構成的立體圖。

圖4是表示拾取頭的構成的立體圖。

圖5是表示搬送單元的構成的側面圖。

圖6是表示搬送單元的構成的上面圖。

圖7是表示外觀檢查單元的構成的立體圖。

圖8是表示捲帶單元的構成的立體圖。

圖9是表示外觀檢查單元的組裝過程的第1過程的立體圖。

圖10是表示外觀檢查單元的組裝過程的第2過程的側面圖。

(全體構成)

以下，一面參照圖面，一面詳細說明有關本實施形態的電子零件搬送裝置1。圖1所示的電子零件搬送裝置1是一邊搬送電子零件，一邊實施預定處理。電子零件是被使用在電氣製品的零件，半導體元件等會被封裝，半導體元件是可舉電晶體或二極體或電容器或電阻等的離散半導體或積體電路等。

此電子零件搬送裝置1是具備：搬送單元3，晶圓環夾具4，拾取裝置5，外觀檢查單元6及捲帶單元7。在台2的上面載置搬送單元3，外觀檢查單元6及捲帶單元7，在台2之下，晶圓環夾具4會與台2的平面水平橫置。台2是一部分缺口，拾取裝置5是在台2的上下突出而被設置於缺口部分。

晶圓環夾具4是收容外觀檢查的電子零件的收容單元的一例。搭載藉由晶圓環所成的收容體。外觀檢查是預定處理的一例。拾取裝置5是從晶圓環夾具4拾取電子零件，將電子零件交接至搬送單元3。搬送單元3是在其周圍環狀形成高度一定的搬送路徑1a，使電子零件沿著搬送路徑1a移動。拾取裝置5是被配置於搬送路徑1a的一點的正下，晶圓環夾具4是被配置於拾取裝置5的正下，沿著與搬送路徑1a平行擴大的平面橫置。

捲帶單元7是被配置於搬送路徑1a的一點的正下。捲帶單元7是與拾取裝置5離間配置。此捲帶單元 7是將被外觀檢查的電子零件收容於載帶。外觀檢查單元6是實施預定處理的處理單元的一例，檢查電子零件的外觀。被配置於拾取裝置5與捲帶單元7之間的搬送路徑1a上的一點的正下。

(晶圓環夾具)

將晶圓環夾具4的詳細構成顯示於圖2。晶圓環夾具4是使晶圓環平躺保持，使晶圓環與水平面平行移動於彼此正交的2軸方向，藉此使預定拾取的電子零件位於拾取裝置5的正下。晶圓環是將貼附被切割的晶圓之薄板張貼於環，個片的電子零件會排列成陣列狀。

此晶圓環夾具4是具備：環插入部41，其係晶圓環被水平插入；環移動機構42，其係使環插入部41水平移動；環旋轉機構43，其係使環插入部41以和水平面正交的縱軸為中心旋轉；及頂起銷44，其係被定點設置，從晶圓環的背側頂起電子零件。

環插入部41是以水平延伸的2片的甜甜圈板41a、41b所構成。一方的甜甜圈板41a與另一方的甜甜圈板41b是設間隙部41c而重疊。在間隙部41c中插入晶圓環。被設於甜甜圈板41a、41b的中心之孔是包含被插入至環插入部41的晶圓環的晶圓全體。

環移動機構42是具有：從其背面來固定下層 側的甜甜圈板41a之更下層的支撐板42a，及被固定設置於支撐板42a的背面之軌道42b、42c。在支撐板42a的中心也設有包含被插入至環插入部41的晶圓環的晶圓全體之孔。軌道42b是延伸於與水平面平行的1軸方向，軌道42c是延伸於與水平面平行且與軌道42b正交的第2軸方向。一旦支撐板42a沿著軌道42b、42c滑動，則被固定於支撐板42a的環插入部41會沿著水平面而2次元移動。

環旋轉部43是具備：被固定於環插入部41的時序滑輪43a，及捲繞於時序滑輪43a的輪帶43b，以及使輪帶43b行走的馬達43c。時序滑輪43a是具有與環插入部41同心圓的環形狀，在外周捲有輪帶43b。此環旋轉部43是藉由使馬達43c旋轉來令輪帶43b行走，隨著輪帶43b的行走來使時序滑輪43a旋轉。環插入部21是與時序滑輪43a的旋轉連動旋轉。

頂起銷44是藉由隨著往前端而變細之內殻的銷及收容該銷之外殻的筒所成的2重構造構件，朝環插入部41的孔突出。此頂起銷44是銷可從筒前進及後退。一旦銷藉由驅動機構而前進，則頂起銷44會伸長至頂起晶圓環的薄板上的一點。

環移動機構42是使電子零件移動至藉由頂起銷44所被頂起的位置，環插入部41是修正藉由頂起銷44所被頂起的電子零件的方向。頂起銷44是藉由頂起電子零件來擴大與鄰接的電子零件的切割線，容易拾取電子 零件。

(拾取裝置)

將拾取裝置5的詳細構成顯示於圖3。

拾取裝置5是具備：一對的拾取頭51a、51b，其係從晶圓環夾具4接受電子零件，而交接至搬送單元3；直接驅動馬達52，其係使拾取頭51a、51b依序與晶圓環夾具4及搬送單元3對向；零件位置檢測部53，其係檢測出預定拾取的電子零件的位移；及頭移動機構54，其係使朝向晶圓環夾具4側的拾取頭51a或51b的位置與電子零件的位置一致。

拾取頭51a、51b是藉由吸引來保持電子零件的吸附吸盤，為保持手段的一例。拾取頭51a、51b是180度正相反對峙，被支撐於同一的旋轉台511的平面上。拾取頭51a、51b的軸延長線是雙方皆通過旋轉台511的中心，拾取頭51a、51b是以等距離離開旋轉台511的中心之位置作為基端，突出至旋轉台511的半徑方向外方。拾取頭51a、51b的全長是相同。亦即，拾取頭51a、51b的前端是位於與旋轉台511同心圓的同一軌道上。

旋轉台511是以和台平面正交的台中心為軸，藉由直接驅動馬達52來間歇性地各180度重複正轉及逆轉，拾取頭51a、51b是間歇性地替換位置，拾取頭 51a、51b是在朝正上方方向的第1停止點及朝正下面方向的第2停止點停止。此旋轉台511是具有對於搬送路徑1a及晶圓環夾具4的擴大的平面正交的平面。

亦即，包含拾取頭51a、51b的旋轉台511是被縱置。拾取頭51a、51b是藉由間歇旋轉來朝正上方向及正下方向的任一。朝正下方向的拾取頭51a或51b是與晶圓環夾具4的環插入部41對面，朝正上方向的拾取頭51a或51b是與形成有搬送單元3的搬送路徑1a上的一點對面。

零件位置檢測部53是具備稜鏡51c及照相機51d。稜鏡51c是被安裝於旋轉台511的平面上中心。稜鏡51c是使和旋轉台511的中心軸同軸的光路彎曲至正下面。照相機51d是被配置於與旋轉台511的中心軸同軸的光路上。照相機51d是攝取位於朝正下面的拾取頭51a或51b的延長線上之晶圓環上的電子零件的位置。藉由照相機51d的攝像結果，可解析預定拾取的電子零件與朝正下面的拾取頭51a或51b的位置關係。

頭移動機構54是使旋轉台511移動至與晶圓環夾具4的擴大平面水平的第1軸(X軸)及與該第1軸正交的第2軸(Y軸)。被安裝於旋轉台511的拾取頭51a、51b也移動於X軸及Y軸方向。此頭移動機構54是具備：延伸於X軸方向的滾珠螺桿機構54x，及延伸於Y軸方向的滾珠螺桿機構54y。

滾珠螺桿機構54x及滾珠螺桿機構54y是分 別藉由：馬達，及被切螺紋而藉由馬達來軸旋轉的軸，以及和軸螺合來支撐旋轉台511的滑塊所構成，滾珠螺桿機構54x的軸會延伸於X軸方向，滾珠螺桿機構54y的軸會延伸於Y軸方向。藉由隨著馬達的旋轉之軸的旋轉，滑塊會沿著軸來移動，藉此拾取頭51a、51b移動於X軸方向及Y軸方向。

更詳細說明拾取頭51a。圖4是表示拾取頭51a的詳細構成的立體圖。拾取頭51b是有關與拾取頭51a同一構成省略詳細的說明。拾取頭51a是以前端開口的中空管之噴嘴部512作為本體。旋轉台511的半徑方向外方為開口。在噴嘴部512的前端，為了緩和對電子零件的荷重，嵌入彈性夾頭513。在負壓作用於噴嘴部512之下，藉由吸引力來保持電子零件。在正壓被導入至拾取頭51a、51b，或以電磁閥等破壞真空之下，使電子零件脫離。

此拾取頭51a是往旋轉台511的半徑方向外方伸長，及往旋轉台511的半徑方向中心側縮小。拾取頭51a是自備用以伸長及縮小的致動器(actuator)，成為可自力驅動。亦即，拾取頭51a是在與頭前端相反的端部具有音圈馬達(Voice Coil Motor)514。拾取頭51a的噴嘴部512會被固定於音圈馬達514的可動部。可動部是例如動圈(moving coil)型的線圈骨架。

此音圈馬達514是經由底座515來固定於旋轉台511的平面。因此，拾取頭51a是若音圈馬達514作 動，則隨著可動部的前進，往旋轉台511的半徑方向外方伸長，隨著可動部的後退，往旋轉台511的半徑方向中心側縮小。

(搬送單元)

將搬送單元3的詳細構成顯示於圖5及6。搬送單元3是具備旋轉台31，直接驅動馬達32及吸附吸盤33。旋轉台31是從圓盤形狀或星形形狀等的中心放射狀地擴大於同一平面上，從中心到各外緣具有等距離的圓形的包絡線。此旋轉台31是圓中心會被直接驅動馬達32的旋轉軸所支撐，經由直接驅動馬達32來設置於台2。在旋轉台31的外周側與台2之間產生間隙。此旋轉台31是藉由直接驅動馬達32來間歇旋轉於圓周方向。

吸附吸盤33是藉由吸引電子零件來保持的保持手段，在旋轉台31的緣，於圓周等配位置，可昇降地被支撐。在本實施形態中，旋轉台31是具有臂31a會沿著半徑方向來放射狀延伸的星形形狀，臂31a是在圓周等配位置延伸。吸附吸盤33是被臂31a的前端支撐，與旋轉台32所擴大的平面垂直延伸，從旋轉台32往下方垂下。

具體而言，臂31a是具備導軌31b及L字昇降臂31c。導軌31b是與旋轉台31所擴大的平面垂直延伸，可昇降地支撐L字昇降臂31c。L字昇降臂31c是具有彎曲成L字狀的形狀，以彎曲部為中心延伸於一方的縱 框架會沿著導軌31b的方式被該導軌31b支撐，以彎曲部為中心延伸於另一方的橫框架會延伸至旋轉台31的半徑方向外方。吸附吸盤33是被固定於L字昇降臂31c的橫框架前端，藉此可與L字昇降臂31c一起昇降。

在縱框架的內部設有介於L字昇降臂31c與導軌31b之間的線圈彈簧，經由L字昇降臂31c來將吸附吸盤33彈撥至上方。並且，藉由後述的進退驅動裝置8，L字昇降臂31的最上部31d會反抗線圈彈簧的彈壓力而推進至下方，藉此吸附吸盤33會經由L字昇降臂31c來降下。

吸附吸盤33是具有內部中空的管子形狀，下端開口而成為吸引口33a。吸附吸盤33的中空內部是與排出器或真空泵等的負壓發生源連通。例如藉由在排出器內產生噴流，或藉由真空泵所使產生的負壓擴及吸附吸盤33等，在吸附吸盤33產生負壓，可在吸引口33a藉由吸引力來保持電子零件。

在此搬送單元3中，旋轉台31的每1間距的旋轉角度與鄰接的吸附吸盤33所成的角度是相同。吸附吸盤33是位於離旋轉台31的圓中心等距離。因此，各吸附吸盤33循同一軌跡，停止於同一位置。藉由吸附吸盤33的間歇旋轉，吸附吸盤33的吸引部33b所循的軌跡會成為電子零件的搬送路徑1a。朝拾取裝置5的正上方向的拾取頭51a、51b的位置，外觀檢查單元6的設置位置，及捲帶單元7的設置位置是被調整成位於吸附吸盤 33的任一停止位置的正下。

(外觀檢查單元)

將外觀檢查單元6的詳細構成顯示於圖7。在單元框體61搭載照相機62，稜鏡63，環照明64及進退驅動裝置8而成。照相機62，稜鏡63及環照明64是外觀檢查的處理部。照相機62是經由稜鏡63來攝像。稜鏡63是使光軸朝照相機62折射。環照明64是在藉由矽等的透明構件所成的環內部將LED等的發光元件配置成環狀而成，使光集中於環上方且環的中心軸上的一領域。電子零件是被降下至藉由環照明64來照射的領域，接受外觀檢查。亦即，環照明64使光集中的領域是為了電子零件的外觀檢查的處理位置。

進退驅動裝置8是具備對於本體前進及後退的桿81，以桿81的前端來推物體。例如，進退驅動裝置8是具備馬達及圓筒凸輪，桿81是從動圓筒凸輪的凸輪面，圓筒凸輪是將馬達的旋轉力變換成直線推力，桿81是作為凸輪隨動機構，以能夠離開圓筒凸輪中心的方式前進。

稜鏡63，環照明64及進退驅動裝置8是在外觀檢查單元6的前方側使高度不同，設置於上面視同一位置。由下往上依序配置稜鏡63，環照明64，進退驅動裝置8。詳細是在單元框體61延伸設置有比環照明64的位置更高延伸的立柱框架611，在此立柱框架611的上端 部，進退驅動裝置8會形成與環照明64及稜鏡63相向而被支撐。更在單元框體61的底面設有滑塊65。滑塊65是具有細長的凹溝形狀，將溝內部朝下方固定。

詳細是稜鏡63朝照相機62而使折射的光軸與環照明64的中心軸會形成同軸A1。吸附吸盤33與L字昇降臂31c的最上部31d之間的水平方向的距離D和進退驅動裝置8的桿81的軸線A2與同軸A1之間的距離會形成相同。同軸A1與軸線A2是平行延伸於上下。同軸A1與軸線A2是與滑塊65的中心線C正交。如此，藉由單元框體61及立柱框架611來固定稜鏡63，進退驅動裝置8及環照明64的位置及斜度。

在此，如圖6所示般，在台2的上面，在吸附吸盤33的各停止位置，一對一對應設置有軌道21。軌道21是包含吸附吸盤33的停止位置放射狀延伸設置的長突起。典型的各軌道21是沿著旋轉台31的半徑方向延伸，其延長線會通過旋轉台31的旋轉中心。外觀檢查單元6是將滑塊65嵌入軌道21而使沿著軌道21滑動，藉此設定於搬送單元3的周圍。另外，軌道21與滑塊65是只要能夠滑動地嵌合即可，形狀並無特別加以限定。亦可為軌道21側具有凹溝形狀，滑塊65為長突起。

將外觀檢查單元6設定於台2時，以環照明64的上端面比吸附吸盤33的吸引口33a更低，進退驅動裝置8的桿81的下端比L字昇降臂31c的最上部31d更高之方式，安裝環照明64及進退驅動裝置8。並且，立 柱框架611是被立設於比稜鏡63，進退驅動裝置8及環照明64的列更靠外觀檢查單元6的後方側，進退驅動裝置8與環照明64之間的空間是除了外觀檢查單元6的後方以外，外觀檢查單元6的前方側及兩側會被解放。

(捲帶單元)

將捲帶單元7的詳細構成顯示於圖8。捲帶單元7是實施將電子零件收納於載帶的處理。載帶是沿著帶長度方向來並設有被模壓加工的口袋，各口袋是電子零件的收納領域。此捲帶單元7是具有使載帶一直線行走的行走溝71，使載帶沿著行走溝71行走。

捲帶單元7是使載帶間歇性地行走。載帶的每1間距的行走量是與連結鄰接的口袋的中心彼此間的線段的長度一致，捲帶單元7是使各口袋停止於同一處。口袋的同一停止處之中的1處是電子零件的收納作業處72，成為用以對電子零件實施收納處理的處理位置。

此捲帶單元7是在收納作業處72的上方具備進退驅動裝置8。在捲帶單元7的單元框體73延伸設置有比行走溝71的上端更高延伸的立柱框架731，在此立柱框架731的上端部，進退驅動裝置8會形成與收納作業處72相向而被支撐。更在單元框體73的底面設有滑塊74。滑塊74是與滑塊65同樣，具有細長的凹溝形狀，將溝內部朝下方固定，從捲帶單元7的前方延伸至後方。

詳細是滑塊74的中心線C與行走溝71成為 上面視同軸。吸附吸盤33與L字狀臂31c的最上部31d之間的水平方向的距離D和進退驅動裝置8的桿81的軸線A2與收納作業處72之間的距離會形成相同。軸線A1及通過收納作業處72的鉛直線是分別與滑塊74的中心線C正交。如此，藉由單元框體73及立柱框架731來固定行走溝71，收納作業處72及進退驅動裝置8的位置及斜度。

將捲帶單元7設定於台2時，以行走溝71的上端比吸附吸盤33的吸引口33a更低，進退驅動裝置8的桿81的下端比L字昇降臂31c的最上部31d更高之方式，安裝行走溝71及進退驅動裝置8，設定收納作業處72。並且，立柱框架731是被立設於比收納作業處72及進退驅動裝置8的列更靠捲帶單元7的後方側，進退驅動裝置8與收納作業處72之間的空間是除了捲帶單元7的後方側以外，外觀檢查單元6的前方側及兩側會被解放。

(動作)

說明此電子零件搬送裝置1的動作。預先在晶圓環夾具4的環插入部41設定晶圓環，在捲帶單元7的行走溝71設定載帶。在晶圓環夾具4中，環移動機構42是使環插入部41移動於X軸方向及Y軸方向，使電子零件依序移動至頂起銷44的正上方。

此時，依電子零件的貼著情況，有時預定拾取的電子零件的位置及方向會對於規定位置及規定方向偏 移。在拾取裝置5中，零件位置檢測部53是在所欲朝正下面方向之例如拾取頭51a移動來之前，檢測出預定拾取的電子零件對於規定位置及規定方向的偏移。

一旦檢測出位置及方向的偏移，則頭移動機構54是使滾珠螺桿機構54x及滾珠螺桿機構54y作動，使旋轉台511移動，使朝正下面方向的拾取頭51a移動至位移後的電子零件的位置，而使能夠解消電子零件之偏離規定位置的位移。並且，晶圓環夾具4的環旋轉部43是使環插入部41旋轉，而使方向偏移的電子零件能夠與規定方向一致。

然後，頂起銷44是向朝正下面方向的拾取頭51a頂起電子零件。在朝正下面方向的拾取頭51a所安裝的音圈馬達514是使朝正下面方向的拾取頭51a向電子零件前進，使彈性夾頭513與電子零件抵接。與電子零件抵接的拾取頭51a、51b是與負壓產生裝置8常時連接，藉由強力的吸引力來保持電子零件。

一旦朝正下面方向的拾取頭51a保持電子零件，則直接驅動馬達52使旋轉台511例如逆時針等旋轉180度至的一方向，使從晶圓環夾具4取得電子零件的拾取頭51a朝正上方方向。同時，頭移動機構54是使旋轉台511恢復至原點位置。藉此，保持電子零件而朝正上方方向的拾取頭51a是與搬送單元3的吸附吸盤33正面相向。

然後，保持電子零件來朝正上方方向的拾取 頭51a是藉由音圈馬達514來朝吸附吸盤33前進，將電子零件交接至吸附吸盤33。在此階段，拾取頭51a與拾取頭51b的立場是替換，朝正下面的拾取頭51b是進行來自晶圓環夾具4的電子零件的取出處理。

搬送單元3是在拾取裝置5的正上方使空的吸附吸盤33依序待機。一旦吸附吸盤33從拾取裝置5接受電子零件，則旋轉台31藉由直接驅動馬達32來間歇性旋轉。保持電子零件的吸附吸盤33不久停止在外觀檢查單元6的設置處。

在外觀檢查單元6的設置處，由下往上依序排列稜鏡63，環照明64，保持電子零件的吸附吸盤33及L字昇降臂31c，進退驅動裝置8。外觀檢查單元6所具備的進退驅動裝置8是使桿81前進至下方，以桿81的下端推壓L字昇降臂31c的最上部31d，反抗線圈彈簧的彈壓力，與L字昇降臂31c一起使吸附吸盤33沿著導軌31b下降。環照明64是照射以吸附吸盤33的吸引口33a所吸引的電子零件，稜鏡63是將光軸上的電子零件的像導入至照相機62，照相機62是將電子零件攝像。

一旦電子零件的攝像終了，則外觀檢查單元6所具備的進退驅動裝置8是使桿81後退至上方，藉由線圈彈簧的彈壓力來使吸附吸盤33上昇。一旦吸附吸盤33上昇，則旋轉台31是藉由直接驅動馬達32來更間歇性地旋轉，保持電子零件的吸附吸盤33不久在捲帶單元7的設置處停止。

在捲帶單元7的設置處，由下往上依序排列收容作業處72，保持電子零件的吸附吸盤33及L字昇降臂31c，進退驅動裝置8。捲帶單元7是至保持電子零件的吸附吸盤33在收容作業處72的正上停止為止，使載帶行走1間距，使空的口袋移動至收容作業處72。捲帶單元7所具備的進退驅動裝置8是使桿81前進至下方，以桿81的下端推壓吸附吸盤33的頭部33a，反抗線圈彈簧31c的彈壓力，使吸附吸盤33沿著導軌31b下降。然後，吸附吸盤33是藉由真空破壞來使電子零件脫離，收容在位於收容作業處72的空口袋。

(單元的設置，交換，位置變更方法)

說明如此的電子零件搬送裝置1的組裝作業。圖9及圖10是表示外觀檢查單元6的設置方法的模式圖。如圖9所示般，外觀檢查單元6是嵌入滑塊65及軌道21，沿著軌道21來使朝搬送單元3前進。然後，如圖10所示般，在進退驅動裝置8的桿81的軸線A2上，使位置成在檢查單元6的設置處停止的L字昇降臂31c的最上部31d，在使通過環照明64的中心及稜鏡63的光軸之同軸A1與在外觀檢查單元6的設置處停止的吸附吸盤33的軸線一致之處，使外觀檢查單元6的前進停止。

在此1次的前進作業及位置調整下，吸附吸盤33的吸引口33a會精度佳地位於稜鏡63朝照相機62而使彎曲的光軸上，且L字昇降臂31c的最上部31d會精 度佳地位於進退驅動裝置8的桿81的軸線上。因此，在外觀檢查單元6的1次的前進作業及位置調整下，可藉由進退驅動裝置8來使吸附吸盤33朝外觀檢查單元6精度佳地下降，藉由照相機62來攝取被保持於吸附吸盤33的電子零件。

其次，在電子零件搬送裝置1中，會有將外觀檢查單元6的處理機能及使吸附吸盤33往外觀檢查單元6降下的進退機能移至吸附吸盤33所停止的其他的位置之佈局變更作業發生的情形。

在此佈局變更作業中是只要從軌道21卸下外觀檢查單元6，嵌入重新設置外觀檢查單元6之處的軌道21及滑塊65，使在外觀檢查單元6的設置處停止的L字昇降臂31c的最上部31d位於進退驅動裝置8的桿81的軸線A2上，使通過環照明64的中心及稜鏡63的光軸之同軸A1與在外觀檢查單元6的設置處停止之吸附吸盤33的軸線同軸，使外觀檢查單元6的前進停止即使。只要各經歷1次此外觀檢查單元6的卸下作業，前進作業，及位置調整，便可完成外觀檢查單元6的位置變更作業。

在此，所有的軌道21是沿著旋轉台31的半徑方向來延伸設置，其延長線會通過旋轉台31的旋轉中心。因此，即使變更外觀檢查單元6的設置位置，外觀檢查單元6還是朝同方向，亦即旋轉台31的旋轉中心。因此，不需要外觀檢查單元6的方向調整作業。

有關捲帶單元7作業內容也是與外觀檢查單 元6的設置及位置變更方法相同。將滑塊74及軌道21嵌入。然後，只要在捲帶單元7的設置處停止的L字昇降臂31c的最上部31d位於捲帶單元7所具備的進退驅動裝置8的桿81的軸線上為止，使捲帶單元7前進即可。

另外，不僅外觀檢查單元6或捲帶單元7，還有需要將電子零件拉到近旁實施處理的各種處理單元。例如，可舉測定電子零件的電氣特性的電氣特性測試單元，變更電子零件的位置或方向的修正單元，加熱電子零件的加熱單元，標記的雷射標記單元，分類收納電子零件的分類單元。

在該等處理單元中也是只要在其單元框體具備進退驅動裝置8，藉由前進的桿81的推壓力來使吸附吸盤33滑動，構成電子零件可藉由滑動的吸附吸盤33來交接至處理位置即可。處理位置是在測試單元中配置有測子的平台，在修正單元中可2次元方向移動，旋轉移動或其雙方的平台，在加熱單元中收納電子零件的口袋，用以藉由雷射來標記電子零件的平台，在分類單元中搬送電子零件的梭子(shuttle)等。

藉此，1次的前進作業及位置調整作業，可賦予電子零件搬送裝置1其處理單元所具有的處理機能，及使吸附吸盤33降下的進退機能。並且，只要各經歷1次卸下作業，前進作業，及位置調整，便可完成其處理單元的位置變更作業。

(效果)

如以上般，電子零件搬送裝置1是具備：搬送單元3，其係形成電子零件的搬送路徑1a；處理單元，其係配置於搬送路徑1a的正下，對於繞行搬送路徑1a的電子零件實施預定處理。

搬送單元3是具備：旋轉台31，其係間歇旋轉於圓周方向；及吸附吸盤33，其係可滑動地設置於旋轉台31的外緣，保持電子零件。

然後，進退驅動部裝置8與處理位置是分離吸附吸盤33的全長以上來配置。此處理單元是藉由前進的桿81的推壓力來使吸附吸盤33滑動，藉由滑動的吸附吸盤33，使電子零件能夠交接至處理位置地，調整單元框體61或73的位置。藉此，以1次的對位作業，外觀檢查單元6或捲帶單元7等的處理單元及進退驅動裝置8以及搬送單元3的搬送路徑1a可對位，組裝作業成為簡便。因此，可抑制電子零件搬送裝置1的製造成本，以及電子零件搬送裝置1的運轉率提升所帶來的生產性提升。

另外，吸附吸盤33是保持電子零件的保持手段的一例，保持手段是静電吸附方式，柏努利吸盤方式，或機械性夾持電子零件的吸盤機構也可適用。

並且，具備：位於搬送路徑1a的正下，與搬送路徑1a平行擴大的台2； 被配置於台2的上面，延伸至搬送路徑1a的正下的軌道21；及被設於單元框體61或73的底面，嵌於軌道21的滑塊65或74。

藉此，只要嵌合滑塊65或74及軌道21，至進退驅動裝置8與處理位置夾著搬送路徑1a為止，使單元框體61或73朝搬送路徑1a來沿著軌道21而前進，便完成對位作業。組裝作業更簡便。

並且，只要所有的軌道21沿著旋轉台31的半徑方向來延伸設置，其延長線通過旋轉台31的旋轉中心，即使變更處理單元的設置位置，也會因為處理單元同方向，亦即朝旋轉台31的旋轉中心，所以不需要外處理單元的方向調整作業。因此，組裝作業或佈局變更會更容易。

(其他的實施形態)

如以上般說明本發明的各實施形態，但可在不脫離發明主旨的範圍進行各種的省略，置換，變更。而且，該等實施形態或其變形是含在發明的範圍或主旨中，且含在申請專利範圍所記載的發明及其均等的範圍中。

亦即，只要處理單元具備進退驅動裝置8，藉由進退驅動裝置8來使吸附吸盤33滑動，以滑動的吸附吸盤33能夠接近處理位置的方式，進退驅動裝置8與處理位置的位置關係預先被固定即可，只要進退驅動裝置8 與處理單元的位置關係配合搬送單元3的構造來佈局即可。例如，以進退驅動裝置8的桿81來對吸附吸盤33的頭部賦予推壓力，藉此構成使吸附吸盤33昇降時，進退驅動裝置8與處理位置亦可在與滑塊65或74的中心線C的正交線上排列成一直線。又，亦可採用廢止滑塊65或74及軌道21，將處理單元直接安裝於台2的構造。

6‧‧‧外觀檢查單元

8‧‧‧進退驅動裝置

61‧‧‧單元框體

611‧‧‧立柱框架

62‧‧‧照相機

63‧‧‧稜鏡

64‧‧‧環照明

65‧‧‧滑塊

81‧‧‧桿

A1、A2‧‧‧軸線

C‧‧‧中心線

D‧‧‧距離

Claims (4)

1. 一種處理單元，係備於電子零件搬送裝置，對電子零件實施預定的處理，該電子零件搬送裝置於旋轉台的外緣可滑動地設置保持電子零件的保持手段，使前述旋轉台間歇旋轉於圓周方向，藉此沿著前述旋轉台的外周來形成電子零件的搬送路徑；其特徵為具備：單元框體；處理位置，其係被配置於前述單元框體，用以對電子零件實施預定處理；框架，其係被立設於前述單元框體，比前述處理位置的高度更高；及進退驅動部，其係以成為比前述處理位置更高的位置之方式設置在前述框架的端部，具有可前進及後退於軸方向的桿；藉由前進的前述桿的推壓力來使前述保持手段滑動，使能夠藉由滑動的前述保持手段來將電子零件交接至前述處理位置，調整前述單元框體對於前述旋轉台的位置。
2. 如申請專利範圍第1項之處理單元，其中，前述電子零件搬送裝置，係於前述搬送路徑的正下具有與前述搬送路徑平行擴大的台，將延伸至前述搬送路徑的正下的軌道配置於前述台的上面而成；在前述單元框體的底面更具備嵌於前述軌道的滑塊；至前述滑塊與前述軌道被嵌入，前述進退驅動部與前述處理位置夾著前述搬送路徑為止，使前述單元框體朝前 述搬送路徑來沿著前述軌道而前進。
3. 一種電子零件搬送裝置，係一邊搬送電子零件，一邊實施預定處理的電子零件搬送裝置，其特徵為具備：搬送手段，其係形成前述電子零件的搬送路徑；及處理單元，其係被配置於前述搬送路徑的正下，對於循前述搬送路徑的電子零件實施預定處理；前述搬送手段係具有：旋轉台，其係間歇旋轉於圓周方向；及保持手段，其係於前述旋轉台的外緣可滑動地設置，保持電子零件；前述處理單元係具有：單元框體；處理位置，其係被配置於前述單元框體，用以對電子零件實施預定處理；框架，其係被立設於前述單元框體，比前述處理位置的高度更高；及進退驅動部，其係以成為比前述處理位置更高的位置之方式設置在前述框架的端部，具有可前進及後退於軸方向的桿；前述處理單元，係藉由前進的前述桿的推壓力來使前述保持手段滑動，使能夠藉由滑動的前述保持手段來將電子零件交接至前述處理位置，調整前述單元框體對於前述旋轉台的位置。
4. 如申請專利範圍第3項之電子零件搬送裝置，其 中，更具備：台，其係位於前述搬送路徑的正下，與前述搬送路徑平行擴大；軌道，其係被配置於前述台的上面，延伸至前述搬送路徑的正下；及滑塊，其係設於前述單元框體的底面，嵌於前述軌道，至前述滑塊與前述軌道被嵌入，前述進退驅動部與前述處理位置夾著前述搬送路徑為止，使前述單元框體朝前述搬送路徑來沿著前述軌道而前進。