TW201641962A - 彩色濾光片基板及其製造方法 - Google Patents
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Abstract
本發明提供一種彩色濾光片基板,包括:透明基板;黑矩陣,呈網狀設置在該透明基板上以定義複數色彩填充區域;彩色濾光層,包括複數彩色濾光單元分別設置於該色彩填充區域中;第一間隔物,包括至少一光阻層與間隔物層,該第一間隔物對應設置在黑矩陣上,該光阻層的材質與一彩色濾光單元的材質相同;第二間隔物,對應設置在與該第一間隔物設置位置不同的黑矩陣上,且該第一間隔物的高度大於該第二間隔物的高度。
Description
本發明涉及一種彩色濾光片基板及其製造方法。
顯示裝置包括對位元設置的陣列基板及彩色濾光片基板,陣列基板及彩色濾光片基板之間設置間隔物用於支撐彩色濾光片基板。彩色濾光片基板是決定一彩色液晶面板的顏色、對比、色澤、鮮明度及飽和度等特性的關鍵元件。彩色濾光片基板間隔設置黑矩陣與彩色濾光單元,該間隔物對應該黑矩陣設置,且設置兩個高度不同的第一、第二間隔物。然而在該彩色濾光片基板上製作第一、第二間隔物需要與彩色濾光單元分開形成,且高度不同的第一、第二間隔物需要在不同製程中形成,而造成彩色濾光片基板的製程複雜。
有鑑於此,有必要提供一種製程簡單的彩色濾光片基板及其製造方法。
一種彩色濾光片基板,包括:透明基板;黑矩陣,呈網狀設置在該透明基板上以定義複數色彩填充區域;彩色濾光層,包括複數彩色濾光單元分別設置於該色彩填充區域中;第一間隔物,包括至少一光阻層與間隔物層,該第一間隔物對應設置在黑矩陣上,該光阻層的材質與一彩色濾光單元的材質相同;第二間隔物,對應設置在與該第一間隔物設置位置不同的黑矩陣上,且該第一間隔物的高度大於該第二間隔物的高度。
優選地,該黑矩陣設置在相鄰的該複數彩色濾光單元之間,從而使得該複數第一、第二及第三彩色濾光單元彼此間隔設置,相鄰的第一彩色濾光單元與第二彩色濾光單元之間具有一第一間隙,該第一間隔物對應該第一間隙設置在相應的黑矩陣上;相鄰的第二彩色濾光單元與第三彩色濾光單元之間具有一第二間隙,該第二間隙物對應該第二間隙設置在相應的黑矩陣上。
優選地,該第一間隔物包括一光阻層,且該光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同。
優選地,該第一間隔物包括層疊設置的第一光阻層與第二光阻層,該第一光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,該第二光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,且該第一光阻層的材質與該第二光阻層的材質不同。
優選地,該第一間隔物包括層疊設置的第一、第二及第三光阻層,該第一光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,該第二光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,該第三光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,且該第一、第二及第三光阻層的材質互不相同。
優選地,該間隔物層與該第二間隔物的材質相同。
一種彩色濾光片基板的製造方法,包括:於透明基板上沉積形成網狀設置的黑矩陣,該黑矩陣定義複數色彩填充區域;於至少一部分的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成第一間隔物的至少一光阻層;於該至少一光阻層上形成間隔物層;及在預定區域形成該第二間隔物。
優選地,於至少一部分的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成至少一光阻層的步驟包括:沉積覆蓋該黑矩陣的第一彩色光阻材料層,選擇性曝光顯影該第一彩色光阻材料層,從而於該至少一部分的色彩填充區域中形成該第一彩色濾光單元並在與之相鄰的黑矩陣上形成該至少一光阻層。
優選地,該至少一光阻層包括一第一光阻層與一第二光阻層,於第一預定區域的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成至少一光阻層的步驟包括:於其中一部分的色彩填充區域中同步形成第一彩色濾光單元並在與之相鄰的黑矩陣上形成該第一光阻層;同步於其中另一部分的色彩填充區域中形成第二彩色濾光單元及在該第一光阻層上形成第二光阻層,該第一光阻層與該第二光阻層層疊設置;及於剩餘的彩色填充區域中形成第三彩色濾光單元。
優選地,該至少一光阻層包括一第一光阻層、一第二光阻層及一第三光阻層,於第一預定區域的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成至少一光阻層的步驟包括:於其中一部分的色彩填充區域中同步形成該第一彩色濾光單元並在與之相鄰的黑矩陣上形成該第一光阻層;同步於其中另一部分的色彩填充區域中形成第二彩色濾光單元及在該第一光阻層表面上形成該第二光阻層;及於剩餘的彩色填充區域中形成第三彩色濾光單元及在該第二光阻層表面形成該第三光阻層,該第一、第二及第三光阻層層疊設置。
相較於先前技術,本發明的彩色濾光片基板及其製造方法中第一間隔物的光阻層與該複數彩色濾光單元在同一製程中使用同種材質製成,而第一間隔物的間隔層與第二間隔物在同一製程中形成,以形成不同高度的第一間隔物與第二間隔物,從而可簡化彩色濾光片基板的製程。
圖1是本發明彩色濾光片基板第一實施方式的結構示意圖。
圖2-圖6是本發明彩色濾光片基板的製造方法第一實施方式結構示意圖。
圖7是本發明彩色濾光片基板的製造方法第一實施方式流程示意圖。
圖8是本發明彩色濾光片基板第二實施方式的結構示意圖。
圖9-圖13是本發明彩色濾光片基板的製造方法第二實施方式結構示意圖。
圖14是本發明彩色濾光片基板的製造方法第二實施方式流程示意圖。
圖15是本發明彩色濾光片基板第三實施方式的結構示意圖。
圖16-圖20是本發明彩色濾光片基板的製造方法第三實施方式結構示意圖。
圖21是本發明彩色濾光片基板第三實施方式的製造方法流程示意圖。
請參閱圖1,圖1是本發明彩色濾光片基板第一實施方式結構示意圖。彩色濾光片基板10包括透明基板110、複數黑矩陣120、彩色濾光層130、第一間隔物140及第二間隔物150。該複數黑矩陣120呈網狀設置在該彩色濾光片基板10的一側,從而定義了複數色彩填充區域。該彩色濾光層130包括複數分別設置於該色彩填充區域的彩色濾光單元。在本實施例中,該彩色濾光單元包括複數第一彩色濾光單元130a、複數第二彩色濾光單元130b及複數第三彩色濾光單元130c。該黑矩陣120設置在相鄰的該複數彩色濾光單元之間,從而使得第一、第二及第三彩色濾光單元130a、130b及130c彼此間隔設置。
該第一間隔物140包括光阻層142與間隔物層144,該間隔物層144與該光阻層142層疊設置。該第一間隔物140設置在該黑矩陣120上。該第二間隔物150對應與該第一間隔物140不同的黑矩陣120設置,且該第一間隔物140的高度H1大於該第二間隔物150的高度H2。在本實施例中,相鄰的第一彩色濾光單元130a與第二彩色濾光單元130b之間具有一第一間隙,該第一間隔物140對應該第一間隙設置在相應的黑矩陣120上。相鄰的第二彩色濾光單元130b與第三彩色濾光單元130c之間具有一第二間隙,該第二間隙物150對應該第二間隙設置在相應的黑矩陣120上。
該透明基板110為玻璃基板或塑膠基板等透明材質的基板。該黑矩陣120由擋光性能較好的材質如金屬鉻、油墨等構成。
該光阻層142的材質與該彩色濾光層130中其中一彩色濾光單元的材質相同。在本實施方式中,該光阻層142的材質與該第一彩色濾光單元130a的材質相同。在其他實施方式中,該光阻層142的材質可以與該第二彩色濾光單元130b或第三彩色濾光單元130c的材質相同。該第一彩色濾光單元130a為紅色濾光單元,該第二彩色濾光單元130b為綠色濾光單元,該第三彩色濾光單元130c為藍色濾光單元。
該間隔物層144及該第二間隔物150的材質為聚醯亞胺。
在本實施例中,該光阻層142設置在該間隔物層144與該黑矩陣120之間,且與該材質相同的彩色濾光單元,如第一彩色濾光單元130a由同一光阻材料層所圖案化形成。且該光阻層142的厚度小於該第一彩色濾光單元130a的厚度。
請一併參閱圖2-圖7,圖2-圖6是本發明彩色濾光片基板的製造方法第一實施方式結構示意圖。圖7是本發明彩色濾光片基板的製造方法第一實施方式流程示意圖。
步驟S201,請參閱圖2,在一基板上形成黑矩陣120。具體地,將具有遮光性能的材質沉積在該透明基板110上,圖案化該遮光材質形成黑矩陣120。在本實施方式中,使用光微影法圖案化形成該黑矩陣120,該黑矩陣120定義複數色彩填充區域,用於分別設置各彩色濾光單元。
步驟S203,請參閱圖3,於其中一部分的色彩填充區域處形成該第一彩色濾光單元130a及與該第一彩色濾光單元130a相鄰的黑矩陣120上形成光阻層142。具體地,在本實施方式中,首先在該透明基板110上沉積覆蓋該黑矩陣120的第一彩色光阻材料層,然後經曝光顯影製程於其中一部分的色彩填充區域中形成該第一彩色濾光單元130a並在與之相鄰的黑矩陣120上形成該光阻層142,移除剩餘的第一彩色光阻材料。
步驟S205,請參閱圖4,於另一部分的色彩填充區域沉積形成該第二彩色濾光單元130b。具體地,在本實施方式中,在步驟S203後,在該透明基板110上對應該另一部分的色彩填充區域沉積第二彩色光阻材料層,然後經曝光顯影製程於另一部分的色彩填充區域中形成該第二彩色濾光單元130b,移除剩餘的第二彩色光阻材料。
步驟S207,請參閱圖5,於剩餘的色彩填充區域中沉積形成該第三彩色濾光單元130c。該第三彩色濾光單元130c的形成方法與該第二彩色濾光單元130b的形成方法相同,故不在此贅述。
步驟S209,請參閱圖6,沉積形成該間隔物層144與該第二間隔物150。具體地,在本實施方式中,首先在該彩色濾光層130、該光阻層142上沉積形成間隔物材料層,然後圖案化該間隔物材料層,從而在對應該光阻層142及與該光阻層142相鄰的黑矩陣120上蝕刻形成該間隔物層144及該第二間隔物150。
在其他實施方式中,該光阻層142可以與該第二彩色濾光單元130b或第三彩色濾光單元130c在同一製程步驟中形成。
請參閱圖8,圖8是本發明彩色濾光片基板第二實施方式的結構示意圖。彩色濾光片基板30包括透明基板310、複數黑矩陣320、彩色濾光層330、第一間隔物340及第二間隔物350。該複數黑矩陣320呈網狀設置在該彩色濾光片基板30的一側,從而定義了複數色彩填充區域。該彩色濾光層330包括複數分別設置於該色彩填充區域的彩色濾光單元。在本實施方式中,該彩色濾光單元包括複數第一彩色濾光單元330a、複數第二彩色濾光單元330b及複數第三彩色濾光單元330c。該黑矩陣320設置在相鄰的該複數彩色濾光單元之間,從而使得該複數第一、第二及第三彩色濾光單元330a、330b及330c彼此間隔設置。該第一間隔物340包括第一光阻層342a與第二光阻層342b與間隔物層344,該間隔物層344與該第一光阻層342a、第二光阻層342b層疊設置。該第一間隔物340設置在該黑矩陣320上。該第二間隔物350設置在與該第一間隔物340相鄰的黑矩陣320上,且該第一間隔物340的高度H21大於該第二間隔物350的高度H22。在本實施例中,相鄰的第一彩色濾光單元330a與第二彩色濾光單元330b之間具有一第一間隙,該第一間隔物340對應該第一間隙設置在相應的黑矩陣320上。相鄰的第二彩色濾光單元330b與第三彩色濾光單元330c之間具有一第二間隙,該第二間隙物350對應該第二間隙設置在相應的黑矩陣320上。
該透明基板310為玻璃基板或塑膠基板等透明材質的基板。該黑矩陣320由擋光性能較好的材質如金屬鉻、油墨等構成。
在本實施方式中,該第一光阻層342a的材質與該第一彩色濾光單元330a的材質相同,該第二光阻層342b的材質與該第二彩色濾光單元330b的材質相同。在其他實施方式中,該第一光阻層342a的材質可以與該第二彩色濾光單元330b或第三彩色濾光單元330c的材質相同,該第二光阻層342b的材質與該第一彩色濾光單元330a或第三彩色濾光單元330c的材質相同,但該第一光阻層342a與該第二光阻層342b的材質不同。該第一彩色濾光單元330a為紅色濾光單元,該第二彩色濾光單元330b為綠色濾光單元,該第三彩色濾光單元330c為藍色濾光單元。
該間隔物層342及該第二間隔物350的材質為聚醯亞胺。
在本實施例中,該第一光阻層342a與該第二光阻層342b設置在該間隔物層344與該黑矩陣320之間。
請一併參閱圖9-圖14,圖9-圖13是本發明彩色濾光片基板的製造方法第二實施方式結構示意圖。圖14是本發明彩色濾光片基板的製造方法第二實施方式流程示意圖。
步驟S401,請參閱圖9,在一基板上形成黑矩陣320。具體地,將具有遮光性能的材質沉積在該透明基板310上,圖案化該遮光材質形成黑矩陣320。在本實施方式中,使用光微影法圖案化形成該黑矩陣320,該黑矩陣320定義複數色彩填充區域,用於分別設置各彩色濾光單元。
步驟S403,請參閱圖10,於其中一部分的色彩填充區域處形成該第一彩色濾光單元330a及與該第一彩色濾光單元330a相鄰的黑矩陣320上形成第一光阻層342a。具體地,在本實施方式中,首先在該透明基板310上沉積覆蓋該黑矩陣320的第一彩色光阻材料層,然後經曝光顯影製程於其中一部分的色彩填充區域中形成該第一彩色濾光單元330a並在與之相鄰的黑矩陣320上形成該第一光阻層342a,移除剩餘的第一彩色光阻材料。
步驟S405,請參閱圖11,於另一部分的色彩填充區域沉積形成該第二彩色濾光單元330b及在該第一光阻層342a上形成該第二光阻層342b。該第二彩色濾光單元330b、第二光阻層342b的形成方法與該第一彩色濾光單元330a及該第一光阻層342a的形成方法相同,故不在此贅述。
步驟S407,請參閱圖12,於剩餘的色彩填充區域中沉積形成該第三彩色濾光單元330c。該第三彩色濾光單元330c的形成方法與該第一彩色濾光單元330a的形成方法相同,故不在此贅述。
步驟S409,請參閱圖13,沉積形成該間隔物層344與該第二間隔物350。具體地,在本實施方式中,首先在該彩色濾光層330、該光阻層342上沉積形成間隔物材料層,然後圖案化該間隔物材料層,從而在對應該光阻層342及與該第一光阻層342a相鄰的黑矩陣320上蝕刻形成該間隔物層344及該第二間隔物350。
在其他實施方式中,該第一光阻層342a可以與該第二彩色濾光單元330b或第三彩色濾光單元330c在同一製程步驟中形成,該第二光阻層342b可以與該第一彩色濾光單元330a或第三彩色濾光單元330c在同一製程步驟中形成,但該第一光阻層342a與該第二光阻層342b需在不同的彩色濾光單元製程中形成。
請參閱圖15,圖15是本發明彩色濾光片基板第三實施方式結構示意圖。彩色濾光片基板50包括透明基板510、複數黑矩陣520、彩色濾光層530、第一間隔物540及第二間隔物550。該複數黑矩陣520呈網狀設置設置在該彩色濾光片基板50的一側,從而定義了複數色彩填充區域。該彩色濾光層530包括複數分別設置於該色彩填充區域的彩色濾光單元。在本實施方式中,該彩色濾光單元包括複數第一彩色濾光單元530a、複數第二彩色濾光單元530b及複數第三彩色濾光單元530c。該黑矩陣520設置在相鄰的該複數彩色濾光單元之間,從而使得該複數第一、第二及第三彩色濾光單元530a、530b及530c彼此間隔設置。該第一間隔物540包括第一光阻層542a、第二光阻層542b、第三光阻層542c與間隔物層544,該間隔物層544與該第一光阻層542a、第二光阻層542b層疊設置。該第一間隔物540設置在該黑矩陣520上。該第二間隔物550設置在與該第一間隔物540相鄰的黑矩陣520上,且該第一間隔物540的高度H31大於該第二間隔物550的高度H32。在本實施例中,相鄰的第一彩色濾光單元530a與第二彩色濾光單元530b之間具有一第一間隙,該第一間隔物540對應該第一間隙設置在相應的黑矩陣520上。相鄰的第二彩色濾光單元530b與第三彩色濾光單元530c之間具有一第二間隙,該第二間隙物550對應該第二間隙設置在相應的黑矩陣520上。
該透明基板510為玻璃基板或塑膠基板等透明材質的基板。該黑矩陣520由擋光性能較好的材質如金屬鉻、油墨等構成。
在本實施方式中,該第一光阻層542a的材質與該第一彩色濾光單元530a的材質相同,該第二光阻層542b的材質與該第二彩色濾光單元530b的材質相同,該第三光阻層542c的材質與該第三彩色濾光單元530c的材質相同。在其他實施方式中,該第一光阻層542a的材質可以與該第二彩色濾光單元530b或第三彩色濾光單元530c的材質相同,該第二光阻層542b的材質與該第一彩色濾光單元530a或第三彩色濾光單元530c的材質相同,該第三光阻層542b的材質與該第三彩色濾光單元530c的材質相同,但該第一光阻層542a、該第二光阻層542b及該第三光阻層542c的材質互不相同。該第一彩色濾光單元530a為紅色濾光單元,該第二彩色濾光單元530b為綠色濾光單元,該第三彩色濾光單元530c為藍色濾光單元。
該間隔物層542及該第二間隔物550的材質為聚醯亞胺。
在本實施例中,該第一光阻層542a、該第二光阻層542b及該第三光阻層542c設置在該間隔物層544與該黑矩陣520之間。
請一併參閱圖16-圖21,圖16-圖20是本發明彩色濾光片基板的製造方法第三實施方式結構示意圖。圖21是本發明彩色濾光片基板的製造方法第三實施方式流程示意圖。
步驟S601,請參閱圖16,在一基板上形成黑矩陣520。具體地,將具有遮光性能的材質沉積在該透明基板510上,圖案化該遮光材質形成黑矩陣520。在本實施方式中,使用光微影法圖案化形成該黑矩陣520,該黑矩陣520定義複數色彩填充區域,用於分別設置各彩色濾光單元。
步驟S603,請參閱圖17,於其中一部分的色彩填充區域處形成該第一彩色濾光單元530a及與該第一彩色濾光單元530a相鄰的黑矩陣520上形成第一光阻層542a。具體地,在本實施方式中,首先在該透明基板510上沉積覆蓋該黑矩陣520的第一彩色光阻材料層,然後經曝光顯影製程於其中一部分的色彩填充區域中形成該第一彩色濾光單元530a並在與之相鄰的黑矩陣520上形成該第一光阻層542a,移除剩餘的第一彩色光阻材料。
步驟S605,請參閱圖18,於另一部分的色彩填充區域沉積形成該第二彩色濾光單元530b及在該第一光阻層542a上形成該第二光阻層542b。該第二彩色濾光單元530b、第二光阻層542b的形成方法與該第一彩色濾光單元530a及該第一光阻層542a的形成方法相同,故不在此贅述。
步驟S607,請參閱圖19,於剩餘的色彩填充區域中沉積形成該第三彩色濾光單元330c及在該第二光阻層542b上形成第三光阻層542c。該第三彩色濾光單元330c、該第三光阻層542c的形成方法與該第一彩色濾光單元330a及該第一光阻層542a的形成方法相同,故不在此贅述。
步驟S609,請參閱圖20,沉積形成該間隔物層544與該第二間隔物550。具體地,在本實施方式中,首先在該彩色濾光層530、該光阻層542上沉積形成間隔物材料層,然後圖案化該間隔物材料層,從而在對應該光阻層542及與該第一光阻層542a相鄰的黑矩陣520上蝕刻形成該間隔物層544及該第二間隔物550。
在其他實施方式中,該第一光阻層542a可以與該第二彩色濾光單元530b或第三彩色濾光單元530c在同一製程步驟中形成,該第二光阻層542b可以與該第一彩色濾光單元530a或第三彩色濾光單元530c在同一製程步驟中形成,但該第一光阻層542a、該第二光阻層542b及該第三光阻層542c需在不同的彩色濾光單元製程中形成。
本發明的彩色濾光片基板及其製造方法中第一間隔物的光阻層與該複數彩色濾光單元在同一製程中使用同種材質製成,而第一間隔物的間隔層與第二間隔物在同一製程中形成,以形成不同高度的第一間隔物與第二間隔物,且該第一間隔物包括至少一與彩色濾光單元材質相同的光阻層從而增加第一間隔物與第二間隔物之間的段差。進一步增加顯示器的顯示均勻性。
本發明之技術內容及技術特點已揭示如上,然而熟悉本項技術之人士仍可能基於本發明之教示及揭示而作種種不背離本發明精神之替換及修飾。因此,本發明之保護範圍應不限於實施例所揭示者,而應包括各種不背離本發明之替換及修飾,並為以下之申請專利範圍所涵蓋。
10、30、50‧‧‧彩色濾光片基板
110、310、510‧‧‧透明基板
120、320、520‧‧‧黑矩陣
130、330、530‧‧‧彩色濾光層
140、340、540‧‧‧第一間隔物
150、350、550‧‧‧第二間隔物
130a、330a、530a‧‧‧第一彩色濾光單元
130b、330b、530b‧‧‧第二彩色濾光單元
130c、330c、530c‧‧‧第三彩色濾光單元
142‧‧‧光阻層
144、344、544‧‧‧間隔物層
342a、542a‧‧‧第一光阻層
342b、542b‧‧‧第二光阻層
342c、542c‧‧‧第三光阻層
S201~S209、S401~S409、S601~S609‧‧‧步驟
無
10‧‧‧彩色濾光片基板
110‧‧‧透明基板
120‧‧‧黑矩陣
130‧‧‧彩色濾光層
140‧‧‧第一間隔物
150‧‧‧第二間隔物
130a‧‧‧第一彩色濾光單元
130b‧‧‧第二彩色濾光單元
130c‧‧‧第三彩色濾光單元
142‧‧‧光阻層
144‧‧‧間隔物層
Claims (10)
- 一種彩色濾光片基板,包括:
透明基板;
黑矩陣,呈網狀設置在該透明基板上以定義複數色彩填充區域;
彩色濾光層,包括複數彩色濾光單元分別設置於該色彩填充區域中;
第一間隔物,包括至少一光阻層與間隔物層,該第一間隔物對應設置在黑矩陣上,該光阻層的材質與一彩色濾光單元的材質相同;及
第二間隔物,對應設置在與該第一間隔物設置位置不同的黑矩陣上,且該第一間隔物的高度大於該第二間隔物的高度。 - 如請求項1所述之彩色濾光片基板,其中,該彩色濾光單元包括複數第一彩色濾光單元、複數第二彩色濾光單元及複數第三彩色濾光單元,該黑矩陣設置在相鄰的該複數彩色濾光單元之間,從而使得該複數第一、第二及第三彩色濾光單元彼此間隔設置,相鄰的第一彩色濾光單元與第二彩色濾光單元之間具有一第一間隙,該第一間隔物對應該第一間隙設置在相應的黑矩陣上;相鄰的第二彩色濾光單元與第三彩色濾光單元之間具有一第二間隙,該第二間隙物對應該第二間隙設置在相應的黑矩陣上。
- 如請求項2所述之彩色濾光片基板,其中,該第一間隔物包括一光阻層,且該光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同。
- 如請求項2所述之彩色濾光片基板,其中,該第一間隔物包括層疊設置的第一光阻層與第二光阻層,該第一光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,該第二光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,且該第一光阻層的材質與該第二光阻層的材質不同。
- 如請求項2所述之彩色濾光片基板,其中,該第一間隔物包括層疊設置的第一、第二及第三光阻層,該第一光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,該第二光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,該第三光阻層的材質與第一、第二或第三彩色濾光單元的材質相同,且該第一、第二及第三光阻層的材質互不相同。
- 如請求項1所述之彩色濾片基板,其中,該間隔物層與該第二間隔物的材質相同。
- 一種彩色濾光片基板的製造方法,包括:
於透明基板上沉積形成網狀設置的黑矩陣,該黑矩陣定義複數色彩填充區域;
於至少一部分的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成第一間隔物的至少一光阻層;
於該至少一光阻層上形成間隔物層;及
在預定區域形成該第二間隔物。 - 如請求項7所述之彩色濾光片基板的製造方法,其中,於至少一部分的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成至少一光阻層的步驟包括:
沉積覆蓋該黑矩陣的第一彩色光阻材料層,
選擇性曝光顯影第一彩色光阻材料層,從而於該至少一部分的色彩填充區域中形成該第一彩色濾光單元並在與之相鄰的黑矩陣上形成該至少一光阻層。 - 如請求項7所述之彩色濾光片基板的製造方法,其中,
該至少一光阻層包括一第一光阻層與一第二光阻層,於第一預定區域的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成至少一光阻層的步驟包括:
於其中一部分的色彩填充區域中同步形成第一彩色濾光單元並在與之相鄰的黑矩陣上形成該第一光阻層;
同步於其中另一部分的色彩填充區域中形成第二彩色濾光單元及在該第一光阻層上形成第二光阻層,該第一光阻層與該第二光阻層層疊設置;及
於剩餘的彩色填充區域中形成第三彩色濾光單元。 - 如請求項7所述之彩色濾光片基板的製造方法,其中,該至少一光阻層包括一第一光阻層、一第二光阻層及一第三光阻層,於第一預定區域的色彩填充區域中形成彩色濾光單元且同時於部分的該黑矩陣上形成至少一光阻層的步驟包括:
於其中一部分的色彩填充區域中同步形成第一彩色濾光單元並在與之相鄰的黑矩陣上形成該第一光阻層;
同步於其中另一部分的色彩填充區域中形成第二彩色濾光單元及在該第一光阻層表面上形成該第二光阻層;及
於剩餘的彩色填充區域中形成第三彩色濾光單元及在該第二光阻層表面形成該第三光阻層,
該第一、第二及第三光阻層層疊設置。
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