TW201626408A

TW201626408A - 透明導電體及觸控面板

Info

Publication number: TW201626408A
Application number: TW104140948A
Authority: TW
Inventors: Hiroshi Shingai
Original assignee: Tdk Corp
Priority date: 2014-12-09
Filing date: 2015-12-07
Publication date: 2016-07-16
Also published as: CN105700735B; CN105700735A; JP2016110899A; JP6390395B2; KR20160070018A; KR101737778B1

Abstract

本發明提供一種能夠藉由蝕刻容易地除去金屬氧化物層和金屬層並且耐鹼性優異的透明導電體。本發明提供一種透明導電體(100)，其依序積層有透明樹脂基材(10)、第1金屬氧化物層(12)、含有銀合金的金屬層(16)、以及第2金屬氧化物層(14)，第2金屬氧化物層(14)含有ZnO作為主成分，並且含有In2O3和TiO2作為副成分，TiO2的含量相對於ZnO、In2O3以及TiO2這3種成分的合計為6~15mol%。

Description

透明導電體及觸控面板

本發明係關於一種透明導電體以及使用其之觸控面板。

透明導電體可以用作液晶顯示器(LCD)、等離子顯示面板(PDP)以及電致發光板(有機EL、無機EL)等的顯示器、以及太陽能電池等的透明電極。又，除此之外，也可以用於電磁波遮罩膜或紅外線阻斷膜等。作為透明導電體中金屬氧化物層的材料，廣泛地使用在氧化銦(In₂O₃)中添加有錫(Sn)的ITO。

近年來，智慧手機和平板終端等，具備觸控面板的終端迅速普及。該等均具有於液晶面板上設置有觸摸感測器部，在最外表面具有具備玻璃罩(cover glass)之構成。觸摸感測器部在玻璃或薄膜基材的一面或兩面上貼附有1片或2片藉由濺鍍法將ITO膜成膜後的薄膜而構成。

伴隨著觸控面板的大型化和觸摸感測器功能的高精度化，尋求具有高穿透率並且低電阻的透明導電體。為了降低使用了ITO膜的透明導電體的電阻，需要加厚ITO膜的膜厚或者藉由熱退火進行ITO膜的結晶化。然而，如果將ITO膜厚膜化，則穿透率降低。另外，通常難以在高溫下將薄膜基材熱退火。因此，設置在薄膜基材上的ITO膜的情況下，狀態為難以維持高的穿透率並且降低電阻。

在該情況下，提出有具有以氧化鋅為主成分的金屬氧化物層和金屬層的積層結構的透明導電膜(例如，專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

專利文獻1：日本專利特開平9-291355號公報

觸控面板等的用途中，在導電部分和絕緣部分上將透明導電膜進行圖案化來進行觸摸位置的檢測。因此，在具有金屬氧化物層和金屬層的積層結構的透明導電體中，尋求能夠藉由蝕刻將金屬氧化物層和金屬層一起除去。

另外，在圖案化步驟中，使用光阻劑形成圖案，最後進行光阻劑剝離，但是在該光阻劑剝離時使用鹼溶液。因此，進行圖案化時，尋求兼顧金屬氧化物層能夠溶解於酸中進行蝕刻、且在鹼中不溶解的耐鹼性。

然而，氧化鋅是在酸及鹼中都進行反應、溶解的材料，另外，現有的以氧化鋅為主成分的金屬氧化物也難以兼顧在酸中的溶解性和耐鹼性。進一步，金屬氧化物需要具有在酸中的溶解性和充分的耐鹼性，並且需要具有充分的導電性。

因此，在以氧化鋅為主成分的金屬氧化物層和金屬層的積層結構中，具有難以兼顧將金屬氧化物層和金屬層一起蝕刻除去、以及充分的耐鹼性和優異的導電性的技術問題。

因此，本發明提供一種具有優異的耐鹼性並且高穿透率且低電阻的透明導電體，在具有含有氧化鋅作為主成分的金屬氧化物層和金屬層的積層結構的透明導電體中能夠藉由蝕刻容易地除去金屬氧化物層和金屬層。另外，本發明提供藉由使用該透明導電體從而能夠容易地製造的觸控面板。

本發明之一態樣係提供一種透明導電體，其中，上述透明導電體依序積層有透明樹脂基材、第1金屬氧化物層、含有銀合金的金屬層以及第2金屬氧化物層，第2金屬氧化物層含有ZnO作為主成分，並且含有In₂O₃和TiO₂作為副成分，TiO₂的含量相對於ZnO、In₂O₃以及TiO₂這3種成分的合計為6~15mol%。

該透明導電體具有積層結構，上述積層結構具備：構成最外表面的第2金屬氧化物層，其含有ZnO作為主成分，並且含有In₂O₃和TiO₂作為副成分，TiO₂的含量相對於ZnO、In₂O₃以及TiO₂這3種成分的合計為6~15mol%；和含有銀合金的金屬層。該第2金屬氧化物層和金屬層藉由蝕刻可以一起容易地被除去。另外，可以製成具有高透明性、高導電性、優異的耐腐蝕性以及優異的耐鹼性的透明導電體。因此，可以較佳係用於觸控面板等需要蝕刻的用途。

在幾個實施形態中，在第2金屬氧化物層中，ZnO的含量相對於ZnO、In₂O₃以及TiO₂這3種成分的合計為73~84mol%。In₂O₃的含量相對於上述3種成分的合計為9~18mol%。藉由以上述比例含有ZnO、In₂O₃以及TiO₂，可以充分地提高第2金屬氧化物層的透明性、導電性、耐腐蝕性、蝕刻性以及耐鹼性。

在幾個實施形態中，第1金屬氧化物層含有ZnO作為主成分，並且含有In₂O₃和TiO₂作為副成分，TiO₂的含量相對於 ZnO、In₂O₃以及TiO₂這3種成分的合計為6~15mol%。由此，可以藉由蝕刻一起容易地除去第1金屬氧化物層、第2金屬氧化物層以及金屬層。另外，可以製成具有高透明性、高導電性、優異的耐腐蝕性以及耐鹼性的透明導電體。

在幾個實施形態中，金屬層的厚度可以為4~11nm。可以充分地提高透明導電體的透明性，並且可以降低表面電阻。在幾個實施形態中，銀合金為Ag與選自Pd、Cu、Nd、In、Sn以及Sb中的至少一種金屬的合金。

本發明之另一態樣係提供一種觸控面板，上述觸控面板在面板上具有感測器薄膜，該感測器薄膜由上述透明導電體構成。該觸控面板由於具有由上述透明導電體構成的感測器薄膜，因此，可以容易地製造。

根據本發明，可以提供一種在具有含有氧化鋅作為主成分的金屬氧化物層和金屬層的積層結構的透明導電體中能夠藉由蝕刻容易地除去金屬氧化物層和金屬層，並且耐鹼性和導電性優異的透明導電體。另外，本發明中可以提供藉由使用該透明導電體從而能夠容易地製造的觸控面板。

10‧‧‧透明樹脂基材

12‧‧‧第1金屬氧化物層

14‧‧‧第2金屬氧化物層

16‧‧‧金屬層

15a、15b‧‧‧感測器電極

20‧‧‧硬塗層

22‧‧‧第1硬塗層

24‧‧‧第2硬塗層

50‧‧‧導體線路

70‧‧‧面板

80‧‧‧電極

90‧‧‧黏著劑

92‧‧‧墊片

100、101‧‧‧透明導電體

100a‧‧‧Y用感測器薄膜

100b‧‧‧X用感測器薄膜

200‧‧‧觸控面板

圖1係表示透明導電體的一個實施形態的剖面示意圖。

圖2係表示透明導電體的另一個實施形態的剖面示意圖。

圖3是將觸控面板的一個實施形態的剖面的一部分放大表示的剖面示意圖。

圖4(A)及圖4(B)是構成觸控面板的一個實施形態的感測器薄膜的平面圖。

以下參照圖式並詳細地說明本發明的較佳係的實施形態。但是，本發明並沒有被限定於以下的任何實施形態。另外，附圖中對同一或同等的元件賦予同一符號，視情況省略重複的說明。

圖1是表示透明導電體的一個實施形態的剖面示意圖。透明導電體100具有依序配置有薄膜狀的透明樹脂基材10、第1金屬氧化物層12、金屬層16和第2金屬氧化物層14的積層結構。

本說明書中的「透明」是指可見光穿透，也可以使光以某種程度散射。對於光的散射程度，根據透明導電體100的用途所要求的水準不同。有通常被稱為半透明該光散射的情況也包含於本說明書中的「透明」的概念中。較佳係光的散射程度小，並且較佳係透明性高。透明導電體100整體的總透光率例如為80%以上，較佳係83%以上，進一步較佳係85%以上。該總透光率是使用積分球所求得的包含擴散透射光的穿透率，可以使用市售的霧度計進行測定。

作為透明樹脂基材10，沒有特別地限定，可以是具有可撓性的有機樹脂薄膜。有機樹脂薄膜亦可為有機樹脂薄片。作為有機樹脂薄膜，例如可以列舉聚對苯二甲酸乙二酯(PET)、聚萘二甲酸乙二酯(PEN)等的聚酯薄膜、聚乙烯以及聚丙烯等的聚烯烴薄膜、聚碳酸酯薄膜、丙烯酸薄膜、降烯薄膜、聚芳酯薄膜、聚醚碸薄膜、二乙醯基纖維素薄膜、以及三乙醯基纖維素薄膜等。該等之中，較佳係聚對苯二甲酸乙二酯(PET)以及聚萘二甲酸乙二酯(PEN)等的聚酯薄膜。

從剛性的觀點，透明樹脂基材10較佳係偏厚。另一方面，從將透明導電體100薄膜化的觀點，透明樹脂基材10較佳係偏薄。基於該觀點，透明樹脂基材10的厚度例如為10~200μm。從製成光學特性優異的透明導電體的觀點，透明樹脂基材的折射率例如為1.50~1.70。另外，本說明書中的折射率在λ=633nm、溫度為20℃的條件下測定的值。

透明樹脂基材10較佳係加熱時的尺寸穩定性高。通常在薄膜製作步驟中，可撓性的有機樹脂薄膜藉由加熱產生由膨脹或收縮造成的尺寸變化。在單軸拉伸或雙軸拉伸時，可以以低成本製作厚度薄的透明樹脂基材10。引出形成電極時，如果將透明導電體100加熱，則由於熱收縮而發生尺寸變化。該尺寸變化可以按照ASTM D1204-02或JIS-C-2151來進行測定。加熱處理前後的尺寸變化率在將加熱前的尺寸設定為L_o、將加熱後的尺寸設定為L時用下式求得。

尺寸變化率(%)=100×(L-L_o)/L_o

在尺寸變化率(%)為正數的情況下，表示藉由加熱處理發生了膨脹；為負數的情況下，表示藉由加熱處理發生了收縮。雙軸拉伸的透明樹脂基材10的尺寸變化率可以在拉伸時的進行方向(MD方向)和橫向(TD方向)兩者進行測定。透明樹脂基材10的尺寸變化率例如在MD方向中為-1.0~-0.3%，在TD方向中為-0.1~+0.1%。

透明樹脂基材10也可以施以選自電暈放電處理、輝光放電處理、火焰處理、紫外線照射處理、電子射線照射處理以及臭氧處理中的至少一種表面處理。透明樹脂基材10可以是樹脂薄膜。藉由使用樹脂薄膜，可以將透明導電體100製成柔軟性優異的導電體。由此，不限於觸控面板用途的透明導電體，也可以用作撓性有機EL照明等的透明電極用或電磁波遮罩。

例如，在將透明導電體100用作構成觸控面板的感測器薄膜的情況下，透明樹脂基材10也可以使用具有可撓性的有機樹脂薄膜以對於手指和筆等的外部輸入能夠適度地變形。

第2金屬氧化物層14是包含氧化物的透明的層，含有ZnO作為主成分，並且含有In₂O₃和TiO₂作為副成分，TiO₂的含量相對於ZnO、In₂O₃以及TiO₂這3種成分的合計為6~15mol%。在此所說的主成分是在ZnO、In₂O₃以及TiO₂這3種成分中，莫耳基準的含量最多的成分。副成分是上述3種成分中不是主成分的成分。第2金屬氧化物層14由於含有ZnO作為主成分，因此，經濟性優異。另外，不使用ITO也可以形成兼具高的導電性和高的透明性的第2金屬氧化物層14。由此，即使不進行熱退火，也可以製成具有低的表面電阻的第2金屬氧化物層14。

在此，在第2金屬氧化物層14中，TiO₂的含量相對於上述3種成分的合計，從充分地提高蝕刻性的觀點，為15mol%以下，較佳係12mol%以下。另外，在第2金屬氧化物層14中，TiO₂的含量相對於上述3種成分的合計，從充分地提高耐鹼性的觀點，為6mol%以上，較佳係8mol%以上。如果TiO₂的含量過多，則第2金屬氧化物層14與金屬層16的積層結構變得不能蝕刻，另外，金屬氧化物層的導電性會消失。另一方面，如果TiO₂的含量過少，則上述積層結構的耐鹼性降低。

在第2金屬氧化物層14中，ZnO的含量相對於上述3種成分的合計，從充分地提高穿透率和導電性的觀點，例如為73mol%以上，較佳係75mol%以上。在第2金屬氧化物層14中，ZnO的含量相對於上述3種成分的合計，從充分地提高保存穩定性的觀點，例如為84mol%以下，較佳係82mol%以下。如果ZnO的含量過多，則在高溫高濕環境下進行了保存的情況下有白濁容易產生的傾向。另一方面，如果ZnO的含量過少，則有穿透率和導電性降低的傾向。

在第2金屬氧化物層14中，In₂O₃的含量相對於上述3種成分的合計，從充分地提高穿透率的觀點，例如為18mol%以下，較佳係16mol%以下。在第2金屬氧化物層14中，In₂O₃的含量相對於上述3種成分的合計，從充分地提高保存穩定性的觀點，例如為9mol%以上，較佳係11mol%以上。如果In₂O₃的含量過多，則有穿透率降低的傾向。另一方面，如果In₂O₃的含量過少，則在高溫高濕環境下進行了保存的情況下有白濁容易產生，並且表面電阻變高的傾向。

第2金屬氧化物層14兼具光學特性的調節、金屬層16的保護以及確保導電性的功能。第2金屬氧化物層14在不顯著損害其功能的範圍內，除了上述3種成分以外可以含有微量成分或不可避免的成分。但是，從製成具有充分高的特性的透明導電體100的觀點，較佳係第2金屬氧化物層14中該3種成分的合計比例高。該比例例如為95mol%以上，較佳係97mol%以上。另外，第2金屬氧化物層14較佳係不含ITO。

第1金屬氧化物層12和第2金屬氧化物層14在厚度、結構以及組成方面可以相同，也可以不同。關於第2金屬氧化物層14 的組成的記載也可以直接適用於第1金屬氧化物層12。第1金屬氧化物層12藉由具有與第2金屬氧化物層14相同的組成，從而可以藉由蝕刻一起除去第1金屬氧化物層12、金屬層16以及第2金屬氧化物層14。另外，可以進一步提高透明性、耐腐蝕性以及耐鹼性。

第1金屬氧化物層12也可以具有與第2金屬氧化物層14不同的組成。在該情況下，蝕刻僅除去第2金屬氧化物層14以及金屬層16，可以直接使第1金屬氧化物層12殘留。

第1金屬氧化物層12以及第2金屬氧化物層14的厚度，從成為適於各種觸控面板的厚度的觀點，例如為10~70nm。

第1金屬氧化物層12以及第2金屬氧化物層14可以藉由真空蒸鍍法、濺鍍法、離子鍍膜法或者CVD法等真空成膜法來進行製作。該等之中，從能夠將成膜室小型化的觀點以及成膜速度快的觀點，較佳係濺鍍法。作為濺鍍法，可以列舉DC磁控濺鍍。作為靶，可以使用氧化物靶、金屬或半金屬靶。

也可以在第2金屬氧化物層14上設置佈線電極等。後述的導通至金屬層16的電流，係藉由從設置於第2金屬氧化物層14上的佈線電極等經由第2金屬氧化物層14導通。由此，第2金屬氧化物層14較佳係具有高的導電性。從該觀點，第2金屬氧化物層14單膜的表面電阻值例如較佳係1.0×10⁺⁷Ω/□(=1.0E+7Ω/sq.)以下，進一步較佳係5.0×10⁺⁶Ω/□以下。

金屬層16是包含銀合金作為主成分的層。藉由金屬層16具有高的導電性，從而可以充分地降低透明導電體100的表面電阻。作為構成銀合金的金屬元素，可以列舉Ag與選自Pd、Cu、Nd、In、Sn以及Sb中的至少1種。作為銀合金的例子，可以列舉Ag-Pd、 Ag-Cu、Ag-Pd-Cu、Ag-Nd-Cu、Ag-In-Sn以及Ag-Sn-Sb。

金屬層16除了銀合金以外也可以含有添加物。添加物較佳係藉由蝕刻液可以容易地被除去。金屬層16中的銀合金的含量例如可以為90質量%以上，也可以為95質量%以上。金屬層16的厚度例如為1~30nm。從充分地降低透明導電體100的表面電阻並且充分地提高總透光率的觀點，金屬層16的厚度較佳係4~11nm。如果金屬層16的厚度過大，則傾向於總透光率降低。另一方面，如果金屬層16的厚度過小，則有表面電阻變高的傾向。

金屬層16具有調節透明導電體100的總透光率以及表面電阻的功能。金屬層16可以藉由真空蒸鍍法、濺鍍法、離子鍍膜法或者CVD法等真空成膜法來進行製作。該等之中，從能夠將成膜室小型化的觀點以及成膜速度快的觀點，較佳係濺鍍法。作為濺鍍法，可以列舉DC磁控濺鍍。作為靶，可以使用金屬靶。

透明導電體100中的第1金屬氧化物層12以及第2金屬氧化物層14的至少一部分以及金屬層16的至少一部分可以藉由蝕刻等除去。

圖2是表示透明導電體的另一個實施形態的剖面示意圖。透明導電體101在以夾著透明樹脂基材10的方式而具備一對硬塗層20的方面與透明導電體100不同。其它構成與透明導電體100相同。

透明導電體101作為一對硬塗層20在透明樹脂基材10的第1金屬氧化物層12側的主面上具備第1硬塗層22且在與透明樹脂基材10的第1金屬氧化物層12側相對側的主面上具備第2硬塗層24。即，透明導電體101具有依序積層有第2硬塗層24、透明樹脂基材10、第1硬塗層22、第1金屬氧化物層12、金屬層16以及第2金屬氧化物層14而成的積層結構。第1硬塗層22和第2硬塗層24的厚度、結構以及組成可以相同，也可以不同。另外，也未必需要具備第1硬塗層22和第2硬塗層24兩者，也可以僅具備任一者。

藉由設置硬塗層20，可以充分地抑制透明樹脂基材10上產生的傷。硬塗層20含有使樹脂組成物固化而得到的樹脂固化物。樹脂組成物較佳係包含選自熱固化性樹脂組成物、紫外線固化性樹脂組成物以及電子射線固化性樹脂組成物中的至少一種。熱固化性樹脂組成物可以包含選自環氧類樹脂、酚氧類樹脂、以及三聚氰胺類樹脂中的至少一種。

樹脂組成物例如為含有具有(甲基)丙烯醯基、乙烯基等能量射線反應性基團的固化性化合物的組成物。另外，(甲基)丙烯醯基係指包括丙烯醯基和甲基丙烯醯基的至少一種。固化性化合物較佳係包含在1個分子內含有2個以上、較佳係3個以上的能量射線反應性基團的多官能團單體或寡聚物。

固化性化合物較佳係含有丙烯酸類單體。作為丙烯酸類單體，具體來說，可以列舉1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、三乙二醇(甲基)丙烯酸酯、氧化乙烯改質雙酚A二(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷氧化乙烯改質三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷氧化丙烯改質三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、雙三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、以及3-(甲基)丙烯醯氧基甘油單(甲基)丙烯酸酯等。但是，不一定限定於該等。例如，還可以列舉聚氨酯改質丙烯酸酯、以及環氧基改質丙烯酸酯等。

作為固化性化合物，也可以使用具有乙烯基的化合物。作為具有乙烯基的化合物，例如可以列舉乙二醇二乙烯基醚、季戊四醇二乙烯基醚、1,6-己二醇二乙烯基醚、三羥甲基丙烷二乙烯基醚、氧化乙烯改質氫醌二乙烯基醚、氧化乙烯改質雙酚A二乙烯基醚、季戊四醇三乙烯基醚、二季戊四醇六乙烯基醚、以及雙三羥甲基丙烷聚乙烯基醚等。但是，不一定被限定於該等。

在藉由紫外線使固化性化合物固化的情況下，樹脂組成物包含光聚合起始劑。作為光聚合起始劑，可以使用各種的物質。例如可以從苯乙酮類、苯偶姻類、二苯甲酮類、以及噻喃酮類等公知的化合物中適當選擇。更具體來說，可以列舉DAROCUR 1173、IRGACURE 651、IRGACURE 184、IRGACURE 907(以上皆為商品名，Ciba Specialty Chemicals Inc.製造)、以及KAYACURE DETX-S(商品名，日本化藥(股)製造)。

光聚合起始劑相對於固化性化合物的質量可以為0.01~20質量%或者0.5~5質量%左右。樹脂組成物也可以是在丙烯酸類單體中加入有光聚合起始劑的公知的樹脂組成物。作為在丙烯酸類單體中加入有光聚合起始劑的樹脂組成物，例如可以列舉作為紫外線固化型樹脂的SD-318(商品名，Dainippon Ink and Chemicals Co.，製造)以及XNR5535(商品名，長瀨產業(股)製造)等。

為了提高塗膜的強度和/或調節折射率等，樹脂組成物也可以含有有機微粒和/或無機微粒。作為有機微粒，例如可以列舉有機矽微粒、交聯丙烯酸微粒、以及交聯聚苯乙烯微粒等。作為無機微粒，例如可以列舉氧化矽微粒、氧化鋁微粒、氧化鋯微粒、氧化鈦微粒、以及氧化鐵微粒等。其中，較佳係氧化矽微粒。

微粒較佳係其表面用矽烷偶聯劑進行了處理，並且(甲基)丙烯醯基和/或乙烯基等能量射線反應性基團在表面以膜狀存在。如果使用具有該反應性的微粒，則在能量射線照射時微粒彼此反應，或者微粒與多官能團單體或寡聚物反應，從而可以增強膜的強度。較佳係使用以含有(甲基)丙烯醯基的矽烷偶聯劑處理後的氧化矽微粒。

微粒的平均粒徑比硬塗層20的厚度小，從確保充分的透明性的觀點，可以為100nm以下，也可以為20nm以下。另一方面，從膠體溶液的製造上的觀點，可以為5nm以上，也可以為10nm以上。在使用有機微粒和/或無機微粒的情況下，有機微粒和無機微粒的合計量相對於100質量份的固化性化合物例如為5~500質量份，也可以為20~200質量份。

如果使用以能量射線固化的樹脂組成物，則藉由照射紫外線等能量射線，可以使樹脂組成物固化。因此，從製造步驟上的觀點，也較佳係使用如此樹脂組成物。

第1硬塗層22可以將樹脂組成物的溶液或分散液塗佈於透明樹脂基材10的一個面上，乾燥並使樹脂組成物固化來進行製作。此時的塗佈可以藉由公知的方法來進行。作為塗佈方法，例如可以列舉擠出噴嘴法、刮板塗佈法(blade method)、刮刀塗佈法(knife method)、棒塗法、接觸塗佈法、接觸式反轉塗佈法、凹版輥式塗佈法、浸漬法、逆轉輥塗佈法、直接輥塗法、簾式塗佈法以及擠壓法等。第2硬塗層24也與第1硬塗層22同樣地可以在透明樹脂基材10的另一個面上製作。

第1硬塗層22和第2硬塗層24的厚度例如為0.5~10μm。如果厚度超過10μm，則有容易發生厚度不均勻或皺紋等的傾向。另一方面，如果厚度低於0.5μm，則在透明樹脂基材10中含有相當量的增塑劑或寡聚物等低分子量成分的情況下，存在難以充分地抑制這些成分的滲出的情況。另外，從抑制彎曲的觀點，第1硬塗層22和第2硬塗層24的厚度較佳係相同程度。

第1硬塗層22和第2硬塗層24的折射率例如為1.40~1.60。透明樹脂基材10與第1硬塗層22的折射率的差的絕對值較佳係0.1以下。透明樹脂基材10與第2硬塗層24的折射率的差的絕對值也較佳係0.1以下。藉由降低第1硬塗層22和第2硬塗層24與透明樹脂基材10的折射率的差的絕對值，可以抑制由於第1硬塗層22和第2硬塗層24的厚度的不均勻而發生的干擾條紋的強度。

構成透明導電體100、101的各層的厚度可以按照以下的步驟進行測定。藉由聚焦離子束裝置(FIB，Focused Ion Beam)切斷透明導電體100、101得到剖面。使用穿透式電子顯微鏡(TEM)觀察該剖面，測定各層的厚度。測定較佳係在任意選擇的10個以上的位置進行測定，並求得其平均值。作為得到剖面的方法，也可以使用切片機作為聚焦離子束裝置以外的裝置。作為測定厚度的方法，也可以使用掃描式電子顯微鏡(SEM)。另外，也可以使用螢光X射線裝置測定膜厚。

透明導電體100、101的厚度可以為200μm以下，也可以為150μm以下。只要為此厚度，就可以充分地滿足薄化的要求水準。透明導電體100、101的總透光率可以為例如85%以上的高的值。另外，透明導電體100、101的表面電阻值(4端子法)即使不進行第1 金屬氧化物層12和第2金屬氧化物層14的熱退火，也可以為例如30Ω/□以下，也可以為25Ω/□以下。

具備上述構成的透明導電體100、101具有積層有第1金屬氧化物層12、金屬層16以及第2金屬氧化物層14的積層結構。該積層結構使用一般的蝕刻液可以容易地一起除去。另外，具有高的穿透率，並且即使不進行熱退火也具有高的導電性。由此，可以較佳係用作觸控面板的感測器薄膜用。

圖3是放大表示具備一對感測器薄膜的觸控面板200的剖面的一部分的剖面示意圖。圖4(A)及圖4(B)是使用了上述透明導電體100的感測器薄膜100a和100b的平面圖。觸控面板200具備藉由光學膠18而相對配置的一對感測器薄膜100a、100b。觸控面板200以能夠將接觸體的觸摸位置作為平行于成為畫面的面板70的二維座標(X-Y座標)平面中的座標位置(橫向位置和縱向位置)算出的方式而構成。

具體來說，觸控面板200具備藉由光學膠18貼附的縱向位置檢測用的感測器薄膜100a(以下稱為「Y用感測器薄膜」)和橫向位置檢測用的感測器薄膜100b(以下稱為「X用感測器薄膜」)。在X用感測器薄膜100b的下面側，在X用感測器薄膜100b與顯示裝置的面板70之間設置有墊片92。

Y用感測器薄膜100a的上面側(與面板70側相對側)藉由光學膠17設置有玻璃罩19。即觸控面板200在面板70上具有從面板70側開始依序配置有X用感測器薄膜100b、Y用感測器薄膜100a以及玻璃罩19的積層結構。

檢測縱向位置的Y用感測器薄膜100a和檢測橫向位置的X用感測器薄膜100b由上述透明導電體100構成。Y用感測器薄膜100a和X用感測器薄膜100b以與玻璃罩19相對的方式具有作為導電部的感測器電極15a和感測器電極15b。

該感測器電極15a由第1金屬氧化物層12、第2金屬氧化物層14以及金屬層16構成。如圖4(A)所示，感測器電極15a以能夠檢測縱向(y方向)的觸摸位置的方式在縱向(y方向)上延伸有數個。數個感測器電極15a沿著縱向(y方向)互相平行排列地配置。感測器電極15a的一端藉由用銀膏形成的導體線路50與驅動用IC側的電極80連接。

檢測橫向位置的X用感測器薄膜100b在於Y用感測器薄膜100a的相對面具有感測器電極15b。該感測器電極15b由第1金屬氧化物層12、第2金屬氧化物層14以及金屬層16構成。如圖4(B)所示，感測器電極15b以能夠檢測橫向(x方向)的觸摸位置的方式在橫向(x方向)上延伸有數個。數個感測器電極15b沿著橫向(x方向)互相平行排列地配置。感測器電極15b的一端藉由用銀膏形成的導體線路50與驅動用IC側的電極80連接。

Y用感測器薄膜100a和X用感測器薄膜100b在從Y用感測器薄膜100a和X用感測器薄膜100b的積層方向看時以各個感測器電極15a、15b相互正交的方式藉由光學膠18進行重疊。Y用感測器薄膜100a在與X用感測器薄膜100b側相對側藉由光學膠17設置有玻璃罩19。光學膠17、18、玻璃罩19以及面板70可以使用通常的物質。

圖4(A)及(B)中的導體線路50以及電極80可以由金屬(例如Ag)等的導電性材料構成。導體線路50以及電極80可以藉由例如網版印刷來進行圖案形成。

各感測器薄膜100a、100b中的感測器電極15a、15b的形狀和數量不限定於圖3、圖4(A)及圖4(B)所示的形態。例如，也可以增加感測器電極15a、15b的數量來提高觸摸位置的檢測精度。

X用感測器薄膜100b在與Y用感測器薄膜100a側相對側藉由墊片92設置有面板70。墊片92可以設置在對應於感測器電極15a、15b的形狀的位置和包圍感測器電極15a、15b的整體的位置。墊片92可以由具有透光性的材料，例如PET(聚對苯二甲酸乙二酯)樹脂形成。墊片92的一端藉由光學膠或者丙烯酸類或環氧類等具有透光性的黏著劑90而黏接於X用感測器薄膜100b的下面。墊片92的另一端藉由黏著劑90而黏接於顯示裝置的面板70。這樣，藉由經由墊片92將X用感測器薄膜100b和面板70相對配置，從而可以在X用感測器薄膜100b和顯示裝置的面板70之間設置縫隙S。

電極80係與控制部(IC)電性連接。分別測定由於指尖與觸控面板200的Y用感測器薄膜100a之間的靜電容量的變化而產生的各感測器電極15a、15b的電容變化。控制部可以基於測定結果將接觸體的觸摸位置作為座標位置(X軸方向的位置與Y軸方向的位置的交點)而算出。另外，感測器電極的驅動方法以及座標位置的算出方法除了上述以外還可以採用公知的各種方法。

觸控面板200可以按照以下的順序進行製造。在準備了透明導電體100之後，進行第1金屬氧化物層12、金屬層16以及第2金屬氧化物層14的蝕刻，進行圖案製作。具體來說，使用光刻的技術在第2金屬氧化物層14的表面藉由旋轉塗佈來塗佈光阻材料。其後，為了提高密黏性，也可以進行預烘烤。接著，配置遮罩圖案並進行曝光，用顯影液顯影，由此形成光阻圖案。光阻圖案的形成不限定於光刻，也可以藉由網版印刷等來形成。

接著，在酸性蝕刻液中浸漬形成有光阻圖案的透明導電體100，溶解除去沒有形成光阻圖案的部分中的第1金屬氧化物層12、第2金屬氧化物層14以及金屬層16。其後，除去光阻劑，從而可以得到形成有感測器電極15a的Y用感測器薄膜100a和形成有感測器電極15b的X用感測器薄膜100b。

使第1金屬氧化物層12和第2金屬氧化物層14為不同的組成，如果使第1金屬氧化物層12為沒有被蝕刻除去的組成，則對金屬層16和第2金屬氧化物層14一起蝕刻，在蝕刻後也可以直接殘留第1金屬氧化物層12。作為蝕刻液，可以使用無機酸類的蝕刻液。例如，較佳係磷酸類的蝕刻液。

接著，塗佈例如銀合金膏體等的金屬膏體，形成導體線路50和電極80。由此，將控制部(未圖示)和感測器電極15a、15b電連接。接著，使用光學膠18將Y用感測器薄膜100a和X用感測器薄膜100b以各個感測器電極15a、15b向著同一方向的方式貼附。在該情況下，在從Y用感測器薄膜100a和X用感測器薄膜100b的積層方法來看時，以感測器電極15a、15b相互正交的方式貼附。然後，使用光學膠17貼附玻璃罩19和Y用感測器薄膜100a。由此，可以製造觸控面板200。

觸控面板200中，作為Y用感測器薄膜100a和X用感測器薄膜100b使用透明導電體100。透明導電體100可以藉由蝕刻一起除去第1金屬氧化物層12、第2金屬氧化物層14以及金屬層16。由此，可以簡略觸控面板200的製造步驟，從而容易地製造觸控面板200。

另外，對於Y用感測器薄膜100a和X用感測器薄膜100b兩者不需要都使用透明導電體100，任一者也可以使用其它的透明導電體。即使是該觸控面板，也可以使顯示充分清晰。另外，作為感測器薄膜，也可以不使用透明導電體100而使用透明導電體101。

這樣，可以較佳係將透明導電體100、101用於觸控面板用。但是，其用途不限定於觸控面板，例如，可以將第1金屬氧化物層12、第2金屬氧化物層14以及金屬層16藉由蝕刻加工成規定形狀，形成具有第1金屬氧化物層12、第2金屬氧化物層14以及金屬層16的部分(導電部)和不具有第1金屬氧化物層12、第2金屬氧化物層14以及金屬層16的部分(非導電部)，在液晶顯示器(LCD)、等離子體顯示面板(PDP)、電致發光面板(有機EL、無機EL)、電致變色元件、以及電子紙等各種顯示裝置中用作透明電極用、防靜電用、電磁波遮罩用。另外，也可以作為天線使用。

以上說明了本發明的較佳實施形態，但是本發明不限定於上述的實施形態。例如，上述的透明導電體101具有一對硬塗層20，但是也可以僅具備第1硬塗層22和第2硬塗層24中的任一者。另外，也可以在透明樹脂基材10的一個面上設置有硬塗層，在另一個面上藉由塗佈設置多個光學調節層。在該情況下，第1金屬氧化物層12、金屬層16以及第2金屬氧化物層14也可以設置於該光學調節層上。進一步，透明導電體100、101可以在不致損害其功能的範圍內除了上述層以外在任意的位置設置任意的層。

[實施例]

以下列舉實施例以及比較例更具體地說明本發明，但是本發明不限定於該等實施例。

[實施例1~13] (透明導電體101的製作)

製作如圖2所示的透明導電體。透明導電體具有依序積層有被一對硬塗層夾置的透明樹脂基材、第1金屬氧化物層、金屬層以及第2金屬氧化物層的積層結構。按照以下的要領製作各實施例的透明導電體。

準備厚度為100μm的聚對苯二甲酸乙二酯薄膜(Toray Industries,Inc.製作，型號：U48)。將該PET薄膜用作透明樹脂基材。按照以下的順序調製第1硬塗層、以及第2硬塗層製作用的塗料。

首先，準備以下的原材料。

‧反應性基團改質膠體二氧化矽(分散介質：丙二醇單甲基醚乙酸酯，不揮發成分：40重量%)：100重量份

‧二季戊四醇六丙烯酸酯：48重量份

‧1,6-己二醇二丙烯酸酯：12重量份

‧光聚合起始劑(1-羥基環己基苯基甲酮)：2.5重量份

用溶劑(丙二醇單甲基醚(PGMA))將上述原材料稀釋並混合，使各成分分散於溶劑中。由此，調製不揮發成分(NV)為25.5重量%的塗料。將由此得到的塗料用作第1硬塗層和第2硬塗層製作用的塗料。

在透明樹脂基材的一個面上塗佈第1硬塗層製作用的塗料，製作塗膜。在設定為80℃的熱風乾燥爐中除去塗膜中的溶劑之後，使用UV處理裝置照射累計光量為400mJ/cm²的紫外線，使塗膜固化。由此，在透明樹脂基材的一個面上製作厚度為5μm的第1 硬塗層。同樣地在透明樹脂基材的另一個面上製作厚度為5μm的第2硬塗層。

在第1硬塗層上藉由DC磁控濺鍍依序形成第1金屬氧化物層、金屬層以及第2金屬氧化物層。第1金屬氧化物層以及第2金屬氧化物層使用具有表1所示的組成的ZnO-In₂O₃-TiO₂靶來形成。各個實施例中的第1金屬氧化物層以及第2金屬氧化物層使用具有相同組成的靶來形成。各實施例中的第1金屬氧化物層以及第2金屬氧化物層的組成如表1所示。各實施例中的第1金屬氧化物層以及第2金屬氧化物層的厚度為50nm。

在表1所示的全部的實施例中，金屬層使用AgPdCu(Ag：Pd：Cu=99.0：0.5：0.5(質量%))靶來形成。金屬層16的厚度為5nm。

(透明導電體101的評價)

按照以下的順序評價蝕刻特性。首先，準備含有磷酸、乙酸、硝酸的PAN系蝕刻液。在該蝕刻液中在室溫下浸漬各實施例的透明導電體1分鐘，進行蝕刻。其後，進行總透光率測定，判定第1金屬氧化物層、金屬層以及第2金屬氧化物層是否溶解。具體來說，將蝕刻後的樣品的總透光率僅與透明樹脂基材的總透光率一致的情況判定為「A」，將不一致的情況判定為「B」。總透光率(穿透率)使用霧度計(商品名：NDH-7000，日本電色工業公司製造)來測定。評價結果如表1所示。

另外，按照以下的順序評價耐鹼性。準備濃度為3wt%的KOH溶液。在該鹼溶液中在室溫下將各實施例的透明導電體浸漬 2分鐘。其後，進行總透光率測定，判定第1金屬氧化物層、金屬層以及第2金屬氧化物層是否溶解。具體來說，將鹼溶液浸漬後的樣品的總透光率與浸漬前的總透光率一致的情況判定為「A」，將不一致的情況判定為「B」。總透光率(穿透率)使用霧度計(商品名：NDH-7000，日本電色工業公司製造)來測定。評價結果如表1所示。

使用4端子電阻率計(商品名：Loresta GP，三菱化學股份有限公司製造)測定各實施例的表面電阻。將結果示於表1中。在表1中，「表面電阻(1)」是將透明導電體在85℃、85%RH(相對濕度85%)的環境下保存50小時前的表面電阻值，「表面電阻(2)」是在上述環境下保存後的表面電阻值。

將各實施例的透明導電體在85℃、85%RH的環境下保存之後，藉由目視進行保存穩定性的評價。將在透明導電體中看到白濁的情況判定為「B」，將沒有看到的情況判定為「A」。結果如表1所示。

如表1所示，在全部的實施例中蝕刻特性以及耐鹼性的評價為「A」。由此確認了，實施例1~13的透明導電體中的金屬氧化物層和金屬層可以容易地除去，並且具有優異的耐鹼性。實施例12、13的透明導電體總透光率稍低，這是由於In₂O₃的含有率高，因此，吸收率增加的緣故。然而，如果是該總透光率，只要是不要求高水準的透明性的例如雜訊片等用途(例如，雜訊遮罩等)就是能夠充分實用化的水準。

為了評價金屬氧化物層的特性，與上述的順序同樣地製作僅金屬氧化物層(單層)的樣品。與上述的順序同樣地進行該樣品的評價。將評價的結果示於表2中。另外，表2的吸收率是使用以分光器測得的穿透率和反射率的測定結果以100-穿透率-反射率=吸收率之式所求得的值。該吸收率是波長380nm下的值。

如表2所示，確認了即使各實施例的金屬氧化物層含有ZnO作為主成分，藉由含有In₂O₃和TiO₂作為副成分，並且為規定的TiO₂含有率，從而也可以兼顧耐腐蝕性和耐鹼性的提高與高的導電性。另外，確認了如果將ZnO和In₂O₃的含量設定為較佳係的範圍，則吸收率充分低。

[實施例14~24]

除了改變製作金屬層時的靶的組成，並且如表3所示變更金屬層的組成和/或變更金屬層的厚度以外，與實施例1同樣地製作透明導電體。即，在實施例14~20中改變了金屬層的厚度。在實施例21中，使用AgNdCu(Ag：Nd：Cu=99.0：0.5：0.5(質量%))靶來形成金屬層。在實施例22中，使用AgInSn(Ag：In：Sn=99.0：0.5：0.5(質量%))靶來形成金屬層。在實施例23中，使用AgSnSb(Ag：Sn：Sb=99.0：0.5：0.5(質量%))靶來形成金屬層。在實施例24中，使用AgCu(Ag：Cu=99.5：0.5(質量%))靶來形成金屬層。

與實施例1同樣地進行制得的實施例14~24的透明導電體的評價。評價結果如表3所示。另外，實施例14~24的金屬氧化物層的組成以及厚度與實施例1相同。

根據表3所示的結果，任一的實施例中蝕刻特性以及耐鹼性的評價都為「A」。由此確認了，實施例14~24的透明導電體中的金屬氧化物層和金屬層可以容易地除去，而且具有優異的耐鹼性。另外，如果金屬層的厚度變大，則確認有表面電阻變小的傾向，並且有總透光率降低的傾向。另外，在銀合金含有Pd的情況下，確認保存穩定性特別優異。

[比較例1~7]

除了作為形成第1金屬氧化物層以及第2金屬氧化物層時的靶使用具有表4所示的組成的靶以外，與實施例1同樣地製作比較例1~4的透明導電體。在各比較例中，第1金屬氧化物層和第2金屬氧化物層使用具有相同的組成的靶來形成。各比較例中的第1金屬氧化物層和第2金屬氧化物層的組成如表4所示。與實施例1同樣地評價了各比較例的透明導電體的各個特性。結果如表4所示。

如表4所示，確認了具有雖然含有ZnO-In₂O₃-TiO₂的三種成分，但是具有TiO₂的含有率在本發明所請範圍外的金屬氧化物層的透明導電體不能兼顧蝕刻特性以及耐鹼性。

(產業上之可利用性)

根據本發明，可以提供能夠藉由蝕刻容易地除去金屬氧化物層和金屬層，並且耐鹼性優異且高穿透率、低電阻的透明導電體。又，根據本發明，藉由使用該透明導電體，可以提供能夠容易地製造的觸控面板。

10‧‧‧透明樹脂基材

12‧‧‧第1金屬氧化物層

14‧‧‧第2金屬氧化物層

16‧‧‧金屬層

100‧‧‧透明導電體

Claims

一種透明導電體，其係依序積層有透明樹脂基材、第1金屬氧化物層、含有銀合金的金屬層、以及第2金屬氧化物層；上述第2金屬氧化物層含有ZnO作為主成分，並且含有In₂O₃和TiO₂作為副成分；TiO₂的含量相對於ZnO、In₂O₃以及TiO₂之3成分的合計為6~15mol%。
如請求項1之透明導電體，其中，在上述第2金屬氧化物層中，ZnO的含量相對於ZnO、In₂O₃以及TiO₂之3成分的合計為73~84mol%，In₂O₃的含量相對於上述3種成分的合計為9~18mol%。
如請求項1或2之透明導電體，其中，上述金屬層的厚度為4~11nm。
如請求項1至3中任一項之透明導電體，其中，上述第1金屬氧化物層含有ZnO作為主成分，並且含有In₂O₃和TiO₂作為副成分，TiO₂的含量相對於ZnO、In₂O₃以及TiO₂之3成分的合計為6~15mol%。
如請求項1至4中任一項之透明導電體，其中，上述銀合金為Ag與選自Pd、Cu、Nd、In、Sn以及Sb中的至少一種金屬的合金。
一種觸控面板，該觸控面板在面板上具有感測器薄膜，上述感測器薄膜由請求項1至5中任一項之透明導電體構成。