TW201625928A - 指示器 - Google Patents

Abstract

指示器具備有：指示器本體、配置於指示器本體的一面的第1薄膜、配置在指示器本體的另一面的第2薄膜。第1薄膜以及第2薄膜的一方比另一方的彎曲彈性率更小。

Description

指示器

本發明為關於一種將檢測結果以顏色變化來表示的指示器。

已知有檢測有無等離子、指定的氣體、紫外線、電子射線等、或濃度等，再將此檢測結果以顏色的變化表示的指示器。例如：作為檢測氣體的指示器，已知有記載於專利文獻1中的技術。

記載在專利文獻1的圖2的指示器具備有：指示器本體、包裝指示器本體的2片薄膜。指示器本體藉由2片薄膜密封。2片薄膜夾持著指示器本體並且與指示器本體緊密接觸。

〔專利文獻1〕日本特開2002-309191號公報

如此在2片薄膜與指示器本體緊密接觸而夾住指示器本體的情況下，難以從2片薄膜中取出指示器本體。

本發明為根據此情況而作出的，其目的為提供一種指示器本體容易被取出的指示器。

〔用以解決課題之手段〕 （1）根據本發明的第1形態，指示器具備有：具有變色材的指示器本體、配置於前述指示器本體的一面的第1薄膜、配置於指示器本體的另一面的第2薄膜，前述第1薄膜以及前述第2薄膜的一方比另一方的彎曲彈性率更小。

由此構成，因為第1薄膜以及第2薄膜的一方比另一方更容易彎曲，於第1薄膜和第2薄膜互相分開時，一方可比另一方以更大的曲率來彎曲。所以，容易將第1薄膜10以及第2薄膜20中的一方（較容易彎曲的薄膜）從另一方，容易從2片的薄膜取出指示器本體3。

（2）在上述指示器中，較佳地，前述第1薄膜的至少一部份，從前述第2薄膜突出，或是前述第2薄膜的至少一部份從前述第1薄膜突出。

由此構成，因為第1薄膜以及第2薄膜的任何一方從另一方突出，可壓住或是握持住突出部分，僅在第1薄膜以及第2薄膜的一方加以施力可使其彎曲。藉此，可容易地撕開從一方的薄膜至另一方的薄膜以及指示器本體。

（3）根據本發明的第2形態，指示器具備有：具有變色材的指示器本體、配置於前述指示器本體的一方的面之第1薄膜、配置於前述指示器本體的另一方的面之第2薄膜，前述第1薄膜的至少一部份從第2薄膜突出，或是前述第2薄膜的至少一部份從前述的第1薄膜突出。

由此構成，因為第1薄膜以及第2薄膜的任何一方會從另一方突出，可壓住或是握持住突出部分，僅在第1薄膜以及第2薄膜的一方加以施力可使其彎曲。藉此，可容易地撕開從一方的薄膜至另一方的薄膜以及指示器本體。

（4）較佳地，前述指示器本體具備有：前述基材、配置於前述基材的第1面的前述變色材、和設於前述基材的第2面的至少一部份上之本體黏著層，前述第1薄膜具有：密封材、設於前述密封材的裏面上的密封材黏著層；前述第1薄膜，配置於前述指示器本體的前述變色材側；前述第2薄膜，配置於前述指示器本體的前述本體黏著層側。

由此構成，從指示器將第2薄膜剝離後，指示器本體則被第1薄膜支持住。處於此狀態下，變色材則會藉由第1薄膜被密封。所以，將指示器本體貼附至貼附對象物為止，指示器本體的變色材就不會與可能成為附著不純物主因之工具或衣服等的汙染物接觸。藉此，可減輕指示器本體貼附至貼附對象物作業上的困難性。

（5）較佳地，於上述指示器中，前述第1薄膜的前述密封材黏著層比前述指示器本體的前述本體黏著層之黏著力更弱。

由此構成，比起指示器本體，第1薄膜的部分較容易從貼附對象物上剝離。所以，將指示器本體留在貼附對象物上，僅撕去第1薄膜時，可抑制指示器本體貼附於第1薄膜，隨著第1薄膜，指示器本體從貼附對象物被一同撕開的情況。還有，藉由上述構成，由於第1薄膜的密封材黏著層的黏著力較弱，可抑制指示器本體的使用之際，將第1薄膜從指示器本體撕開時，變色材的一部份或是其表面部分被剝離的情形之發生，或是變色材的表面上留下密封材黏著層的殘渣情形發生。

（6）較佳地，於上述指示器中，前述指示器本體以及藉由前述第1薄膜而構成之指示器半體的周緣部的至少一部份上，設有用於從前述指示器半體剝離前述第2薄膜的剝離部。

由此構成，在剝離部上，因為從指示器半體剝離第2薄膜，從剝離部可容易將第2薄膜撕開。還有，將使用後的指示器本體從貼附對象物撕下時，從剝離部可容易將指示器本體撕開。

（7）於上述指示器中，前述第1薄膜的一端緣和前述第2薄膜的一端緣和前述指示器本體的一端緣可以是一致，前述剝離部具有剝離材，前述剝離材為前述本體黏著層的部分，其配置於與前述指示器本體的前述一端緣對應的部分。由此構成，於本體黏著層上配置剝離材的部分則不黏貼於第2薄膜上。所以，從此部分可容易地將第2薄膜剝離。

（8）於上述指示器中，前述第1薄膜的一端緣和前述第2薄膜的一端緣和前述指示器本體的一端緣可為一致，前述剝離部為在前述指示器本體的前述一端緣上前述基材從前述本體黏著層突出的部分。由此構成，基材從本體黏著層突出的部分則不黏貼於第2薄膜上。所以，從此部分可容易將第2薄膜撕開。

（9）於上述的指示器中，前述第1薄膜的第一端緣和前述第2薄膜的一端緣可為一致，並且前述指示器本體的一端緣比前述第1薄膜的一端緣更靠內側，前述剝離部在前述第1薄膜的前述一端緣上前述第1薄膜的前述密封材從前述密封材黏著層突出的部分。由此構成，第1薄膜的密封材從密封材黏著層突出部分則沒有黏貼到第2薄膜。所以，從此部分可容易的將第2薄膜撕開。

（10）較佳地，於上述指示器中，前述第1薄膜的前述密封材黏著層，具有收容前述變色材的開口部。由此構成，可抑制第1薄膜的密封材黏著層的成分附著至變色材上。

（11）較佳地，於上述指示器中，前述第1薄膜，覆蓋前述指示器本體的整體，並且從前述指示器本體的端緣的至少一處突出。由此構成，可以握持在第1薄膜之中從指示器本體的端緣的至少一處突出的部分。所以，於貼附指示器本體的作業中，可以在指示器本體的變色材不與可能成為附著不純物主因之工具或衣服等汙染物接觸的情況下，將指示器本體貼附於貼附對象上。

（12）於上述指示器中，前述第2薄膜，也可以分割成至少2個的薄膜片。

由此構成，藉由將指示器以第2薄膜的分割部彎曲，可容易將薄膜片的分割部之端緣從指示器本體分離。藉此，可容易剝離第2薄膜。

（13）較佳地，於上述指示器中，前述第2薄膜的彎曲彈性率，比前述第1薄膜的彎曲彈性率小。由此構成，因為第2薄膜比第1薄膜更容易彎曲，將第1薄膜和第2薄膜互相分離時，可將第2薄膜用比第1薄膜更大的曲率彎曲。所以，容易從第1薄膜以及指示器本體將第2薄膜剝離，並容易從2片薄膜將指示器本體取出。

（14）於上述指示器中，前述第1薄膜和前述第2薄膜可以用相同材料形成，前述第2薄膜比前述第1薄膜更薄。

由此構成，第2薄膜會比第1薄膜更容易彎曲，藉此，藉由與上述相同的理由，指示器本體則容易從第1以及第2薄膜取出。

（15）於上述指示器中，前述第2薄膜藉由彈性率比前述第1薄膜更低的材料形成。

由此構成，第2薄膜會比第1薄膜更容易彎曲。藉此，藉由和上述相同的理由，指示器本體則容易從第1以及第2薄膜取出。

（16）於上述指示器中，前述第1薄膜可以包含補強材。

由此構成，第2薄膜會比第1薄膜更容易彎曲。藉此，藉由和上述相同理由，指示器本體則容易從第1以及第2薄膜取出。

（17）於上述指示器中，前述第1薄膜以及前述第2薄膜可以都包含補強材，前述第1薄膜的補強材以及前述第2薄膜的補強材可以是相同材料，前述第2薄膜中補強材的含量比前述第1薄膜中補強材的含量更少。由此構成，第2薄膜會比第1薄膜更容易彎曲。藉此，藉由和上述相同的理由，指示器本體則容易從第1以及第2薄膜取出。

（18）於上述指示器中，前述第1薄膜以及前述第2薄膜可以都包含補強材，前述第2薄膜的補強材比前述第1薄膜的補強材彈性低。由此構成，第2薄膜會比第1薄膜更容易彎曲。藉此，藉由和上述相同理由，指示器本體則容易從第1以及第2薄膜取出。

〔發明效果〕藉由本發明的指示器，可容易將指示器本體取出。

〔第1實施方式〕 參照圖1~圖4，說明關於第1實施方式涉及的指示器。本實施方式中，列舉檢驗出等離子的指示器1。

如圖1及圖2所示，指示器1具備有指示器本體3、第1薄膜10與第2薄膜20。

指示器本體3藉由被第1薄膜10和第2薄膜20夾持而被密封。也就是說，指示器1具有用手無法碰觸到指示器本體3的密封構造。

指示器本體3配置於等離子發生裝置的封閉空間內。作為貼附有指示器本體3之物體（以下稱為〔貼附對象物100〕。）例如可列舉出：氣體管，成為等離子處理的對象的等離子對象物（例如：矽晶圓、印刷電路板、樹脂薄膜等。），放置等離子對象物的載置台，產生等離子的電極、空腔壁等。

指示器本體3具備有：基材4、藉由等離子變色的變色材5、和本體黏著層6。

基材4具有可撓性。基材4例如藉由PE（聚乙烯）樹脂、PP（聚丙烯）樹脂、PS（聚苯乙烯）樹脂、AS（丙烯腈 - 苯乙烯）樹脂、ABS（丙烯腈 - 丁二烯 - 苯乙烯共聚物）樹脂、聚氯乙烯等的乙烯樹脂、PMMA（丙烯酸 - 甲基丙烯）樹脂、PET（聚對苯二甲酸乙二酯）樹脂、PA（尼龍）樹脂、POM（聚縮醛）樹脂、PC（聚碳酸酯）樹脂、PBT（聚對苯二甲酸丁二酯）樹脂、PPS（聚亞苯基硫醚）、PI（聚醯亞胺）樹脂、PEI（聚醚醯亞胺）樹脂、PSF（聚碸）樹脂、PTFE（聚四氟乙烯）樹脂、PCTFE（氟）樹脂、PAI（聚醯胺- 醯亞胺）樹脂、PF（酚醛）樹脂、UF（尿素甲醛）樹脂、MF（三聚氰胺）樹脂、UP（不飽和聚酯）樹脂、PU（聚氨酯）樹脂、PDAP（烯丙基）樹脂、EP（環氧）樹脂、SI（矽氧）樹脂、FF（呋喃）樹脂、PEEK（聚醚醚酮）樹脂、聚乙烯醇樹脂、維尼綸樹脂、聚偏二氯乙烯樹脂等來形成。這些樹脂之中，特別是PI（聚醯亞胺）樹脂、PET（聚對苯二甲酸乙二酯）樹脂能夠被適當使用。還有，基材4可能藉由從這些樹脂組成的群體所選出至少一個而形成。還有，基材4可能藉由在從這些群體所選出指定的材料中包含填充料或是纖維的樹酯所組成。進一步，基材4也可以是藉由這些樹脂形成的薄膜的疊層體。基材4的厚度，規定為5μm以上1000μm以下的指定值。

變色材5形成於基材4的第1面4a上。變色材5的形狀並沒有限定。例如：變色材5可能形成圓形、橢圓形、長方形、長圓形、平行四邊形、多角形等。

變色材5的厚度並沒有限定。例如：變色材5的厚度，可能規定於500nm以上，2mm以下之厚度。作為一例：變色材5的厚度，規定於10μm以上，20μm以下的指定值。

變色材5有僅由變色層所構成的情況，和藉由變色層和非變色層構成的情況。在本實施方式，變色層是指藉由等離子變色的層，非變色層是指不會藉由等離子變色的層。變色層和非變色層可配置成互相相接，也可以配置成互相疊層。變色層的變色前的顏色（色相、彩度以及/或是明度。以下相同。）以及非變色層的顏色設定為，於變色層的變色後其變色可由視覺確認。

變色層的材料，對應等離子的種類而被選擇。變色層至少包含：藉由等離子變色的變色劑、粘合劑樹脂。變色材5中，作為變色催化劑，可以含有非離子系介面活性劑以及陽離子系介面活性劑的一種或是兩種。此外，變色材5中，可能包含消泡劑、增量劑、流平劑等。

作為變色劑，可使用有機系的變色劑或無機系的變色劑。作為有機系的變色劑，例如可以舉出：蒽醌系色素、偶氮系色素、酞菁系色素、次甲基系色素等。這些色素可併用。

作為無機系的變色劑，使用化學價藉由等離子變化的金屬。作為此種金屬例如可舉例：鉬、鎢、錫、釩、鈰、碲、鉍等。作為變色劑例如可舉例： 氧化鉬（IV）、氧化鉬（VI）、氧化鎢（VI）、氧化錫（VI）、氧化釩（II）、氧化釩（III）、氧化釩（IV）、氧化釩（V）、氧化鈰（IV）、氧化碲（IV）、氧化鉍（III）、氫氧化鈰（IV）、氫氧化鉍（III）、氫氧化釩（III）、氫氧化鉬（V）、碳酸氧化鉍（III）、硫酸氧化釩（IV）、鉬酸銨、鉬酸鈉、鉬酸鉀、鎢酸鈉、鎢酸銨、原釩酸鈉、偏釩酸銨、偏釩酸鈉等。這些可併用。也就是說，變色層含有從這些無機化合物組成的群體選出之至少1個無機化合物。

作為粘合劑樹脂，例如可使用：馬來酸樹脂、酮類樹脂、烷基酚樹脂、松香改性樹脂、縮丁醛樹脂、纖維素類樹脂、聚酯類樹脂、苯乙烯馬來酸樹脂、苯乙烯 - 丙烯酸樹脂、丙烯酸系樹脂等。粘合劑樹脂藉由從這些樹脂組成的群體選出之至少1種所構成。本體黏著層6，形成於基材4的第2面4b上。

本體黏著層6，可能形成為僅覆蓋基材4的第2面4b的一部份，或是覆蓋第2面4b的整體。本體黏著層6的厚度，規定為例如0.1μm以上，100μm以下的指定值。

本體黏著層6為，例如：丙烯酸樹脂系接著劑、丙烯酸樹脂乳化接著劑、丙烯酸樹脂系黏著膠帶、α-烯烴系接著劑、氨基甲酸乙酯樹脂系接著劑、氨基甲酸乙酯樹脂溶劑系接著劑、氨基甲酸乙酯樹脂乳化接著劑、醚系纖維素、乙烯-乙酸乙烯樹脂乳化接著劑、環氧樹脂系接著劑、環氧樹脂乳化接著劑、氯乙烯樹脂溶劑系接著劑、氯丁橡膠系接著劑、乙酸乙烯樹脂乳化接著劑、氰基丙烯酸酯系接著劑、矽氧樹脂接著劑、水性高分子-異氰酸酯系接著劑、苯乙烯-丁二烯橡膠系乳膠接著劑、、腈基橡膠系接著劑、硝化纖維接著劑、酚樹脂系接著劑、改性矽氧樹脂系接著劑、聚醯亞胺系接著劑、聚醋酸乙烯樹脂溶液系接著劑、聚苯乙烯樹脂溶液系接著劑、聚乙烯醇系接著劑、聚乙烯吡咯啶酮樹脂系接著劑、聚乙烯縮丁醛樹脂系接著劑、聚苯並咪唑接著劑、聚甲基丙烯酸酯樹脂溶液系接著劑、三聚氰胺樹脂系接著劑、尿素甲醛樹脂系接著劑、間苯二酚系接著劑、天然橡膠系接著劑、天然橡膠乳膠接著劑、澱粉系接著劑、還有酪蛋白接著劑等的層。在此之中，丙烯酸樹脂系接著劑、丙烯酸樹脂乳化接著劑、丙烯酸樹脂系黏著膠帶、矽氧樹脂系接著劑可適當地使用。特別是，矽氧樹脂系接著劑由於耐熱性良好並不易產生殘渣，所以對於使用於進行高溫處理裝置內，或是需要高潔淨度的裝置內的指示器1可適當地使用。所謂的殘渣意指在指示器1使用之後，將指示器本體3從貼附對象物100剝離時，或是為了將指示器3重新貼附而從貼附對象物100剝離時，於貼附對象物100上殘留一部分的密封材黏著層12。

第1薄膜10構成如下。

第1薄膜10配置於指示器本體3的變色材5側。第1薄膜10具有覆蓋基材4的第1面4a（包含變色材5安裝部分）的全部、並且從基材4的端緣突出的部分（下述〔突出部13〕）。具體來說，突出部13設置為圍繞基材4。

第1薄膜10具有：密封材11、和設於密封材11的裏面（朝向指示器本體3的面）的密封材黏著層12。

密封材11具有可撓性。密封材11藉由PE（聚乙烯）樹脂、PP（聚丙烯）樹脂、PS（聚苯乙烯）樹脂、AS（丙烯腈-苯乙烯）樹脂、ABS（丙烯腈-丁二烯-苯乙烯共聚物）樹脂、聚氯乙烯等的乙烯基樹脂、PMMA（丙烯酸-甲基丙烯）樹脂、PET（聚對苯二甲酸乙二酯）樹脂、PA（尼龍）樹脂、POM（聚縮醛）樹脂、PC（聚碳酸酯）樹脂、PBT（聚對苯二甲酸丁二酯）樹脂、PPS（聚亞苯基硫醚）樹脂、PI（聚醯亞胺）樹脂、PEI（聚醚醯亞胺）樹脂、PSF（聚碸）樹脂、PTFE（聚四氟乙烯）樹脂、PCTFE（氟）樹脂、PAI（聚醯胺-醯亞胺）樹脂、PF（酚醛）樹脂、UF（尿素甲醛）樹脂、MF（三聚氰胺）樹脂、UP（不飽和聚酯）樹脂、PU（聚氨酯）樹脂、PDAP（烯丙基）樹脂、EP（環氧）樹脂、SI（矽氧）樹脂、FF（呋喃）樹脂、PEEK（聚醚醚酮）樹脂、聚乙烯醇樹脂、維尼綸樹脂、聚偏二氯乙烯樹脂等而形成。這些樹脂之中，特別是PI（聚醯亞胺）樹脂、PET（聚對苯二甲酸乙二酯）樹脂可以被適當使用。

還有，密封材11可藉由從這些樹脂所組成的群體中所選出的至少一項而形成。或是，密封材11可藉由在從此群體選出的指定材料中包含填充料或是纖維的樹脂而形成。進一步，密封材11也可以是藉由這些數脂而形成的薄膜的疊層體。

密封材11可以是透明的也可以是不透明的。較佳地，薄膜材11為透明或半透明，以使指示器本體3為可視覺確認。薄膜材11的厚度，規定為0.1μm以上且1000μm以下的指定值。

密封材黏著層12例如藉由丙烯酸系黏著劑或是橡膠系黏著劑而形成。於密封材黏著層12對應變色材5的位置設有開口部14。藉由變色材5收容至開口部14，可抑制密封層12的成分附著於變色材5上。開口部14的形狀，只要是可配置成讓變色材5不接觸開口部14的壁面之形狀，則無特別限定。例如：開口部14的形狀可以是圓形、橢圓形、長方形、長圓形、平行四邊形或是多角形。

密封材黏著層12構成為比本體黏著層6的黏著力更弱。所謂黏著力，意指對於貼附對象物100的接著力（剝離強度）。進一步，薄膜材黏著層12構成為粘貼於第2薄膜20。

密封材黏著層12的厚度，規定於為0.1μm以上且1000μm以下的指定值。密封材黏著層12可以是透明的，也可以是不透明的。較佳地，密封材黏著層12為透明或是半透明，以使指示器本體3可視覺辨認。

第2薄膜20構成如下。

第2薄膜20配置於指示器本體3的本體黏著層6側。第2薄膜20具有可撓性。第2薄膜20藉由和第1薄膜10的密封材11相同材料而形成。第2薄膜20和密封材11相同，可以是透明，也可以是不透明。第1薄膜10以及第2薄膜20之中，也可以僅有一方是透明或是半透明，也可以兩方都是透明或是半透明。將第1薄膜10以及第2薄膜做成透明、或是半透明、或是不透明，不僅是考慮取出指示器本體3的容易程度，也可以考慮變色材5的耐光性而決定。第1薄膜10和第2薄膜20可以由相同材料而形成，也可以藉由不同材料而形成。

第2薄膜20的厚度，規定為0.1μm以上且1000μm以下的指定值。第2薄膜20的外形等同於第1薄膜10的外形。而且，第2薄膜20以該第2薄膜20的周緣和第1薄膜10周緣一致的方式重疊至第1薄膜10和指示器本體3的疊層體（以下，稱為〔指示器半體2〕）。第2薄膜20的中央部與指示器本體3的本體黏著層6接觸，第2薄膜20的周緣部與第1薄膜10的密封材黏著層12接觸。

第2薄膜20分割成2個薄膜片21。第2薄膜20的分割部22形成於俯視視角中從離開變色材5的地方。這是因為，如同後述，為了將第2薄膜20剝離而將指示器1以第2薄膜20的分割部22彎曲時，不容易有應力作用至變色材5。

第2薄膜20比第1薄膜10的彎曲彈性率還要小。也就是說，第2薄膜20比第1薄膜10更容易彎曲。

以下，舉例第2薄膜20的構成例。第2薄膜20藉由和第1薄膜相同材料形成的情況下，第2薄膜20的厚度設定為比第1薄膜10的厚度小的尺寸。或是，第2薄膜20的厚度等同於第1薄膜10的厚度的情況下，第2薄膜20藉由比形成第1薄膜10的材料彈性率更低的材料而形成。

或是，第1薄膜10以及第2薄膜20之中，僅第1薄膜10藉由補強材進而補強。作為補強材，例如可舉例：填充料、或是纖維、或是比密封材11彈性率更高的樹脂薄膜、或是纖維薄膜等。

或是，第1薄膜10和第2薄膜20的兩薄膜藉由同種的補強材補強的情況下，第2薄膜20中的補強材的含量比第1薄膜10中的補強材的含量更少。

或是，第1薄膜10以及第2薄膜20的兩方藉由補強材補強情況下，於第2薄膜20中調配比第1薄膜10的補強材彈性率更低的補強材，或是於第2薄膜20安裝比第1薄膜10的補強材彈性率更低的薄膜狀補強材。

參照圖4，說明指示器1的貼附方法。

如圖4所示，在第2薄膜20的分割部22處將指示器1彎曲。如此一來，薄膜片21的分割部22的端緣從指示器本體3分離。作業者，將薄膜片21之剝離的部分向外側拉。因為第2薄膜20比第1薄膜10的彎曲彈性率還要小，所以在不大幅彎曲第1薄膜10（不增大曲率）的情況下，就可大幅彎曲第2薄膜20。藉此，可容易地從指示器半體2將第2薄膜20撕開。還有，由於即使不大幅彎曲第1薄膜10也可以將第2薄膜20撕開，所以可抑制指示器本體3從第1薄膜10剝落。

接下來，如圖4（b）所示，將從指示器1第2薄膜20撕下的物品（也就是說，指示器半體2）貼附於貼附對象物100上。指示器半體2以鑷子等的工具夾持搬運，但因為變色材5被第1薄膜所包覆，於貼附作業中變色材5不會附著不純物。

接下來，如圖4（c）所示，從指示器半體2將第1薄膜10撕下。具體來說，將第1薄膜10的突出部13（從指示器本體3突出部分）以鑷子夾持，將第1薄膜10撕開。因為第1薄膜10的密封材黏著層12比指示器本體3的本體黏著層6黏著力還弱，將指示器3以貼附於貼附對象100的狀態留下，可以容易地從指示器半體2地將第1薄膜10撕下。

還有，如圖4（a）~（c）所示，完全不用碰觸指示器本體3的變色材5以及基材的第1面4a，就可以將指示器本體3貼附於貼附對象物100。此為，透過指示器本體3藉由被第1以及第2薄膜夾持，以及藉由於第1薄膜10設有突出部13得以實現。

接下來，說明關於本實施方式指示器1的效果。

（1）本實施方式中，第1薄膜10以及第2薄膜20的一方比另一方彎曲彈性率更小。由此構成，因為第1薄膜10以及第2薄膜20的一方比另一方更容易彎曲，將第1薄膜10和第2薄膜20互相分離時，可將一方比另一方以更大的曲率作彎曲。所以，容易將第1薄膜10以及第2薄膜20中的一方（較容易彎曲的薄膜）從另一方，容易從2片的薄膜取出指示器本體3。

（2）本實施方式中，第1薄膜10具有：密封材11、和安裝於密封材11的裏面（朝向指示器本體3的面）的密封材黏著層12。第1薄膜10配置於指示器本體3的變色材5側，第2薄膜20配置於指示器本體3的本體黏著層6側。

由此構成，從指示器1將第2薄膜20撕下時，指示器本體3被第1薄膜10支持。處於此狀態時，變色材5藉由第1薄膜10被密封。所以，將指示器本體3貼附於貼附對象物100為止，指示器本體3的變色材5就不會與可能成為附著不純物主因之工具或衣服等之汙染物接觸。藉此，減輕往貼附對象物100的指示器本體3的貼附作業的困難性（例如，一邊注意不讓變色材5接觸到汙染物，一邊貼附至密封空間內的作業之困難性）。

（3）本實施方式中，密封層黏著層12比本體黏著層6的黏著力弱。由此構成，比起指示器本體3，第1薄膜10較容易從貼附對象物100分離。所以，將指示器本體3留在貼附對象物100上僅撕開第1薄膜10時，可抑制指示器本體3貼附至第1薄膜10並與第1薄膜10一起從貼附對象物100剝落的情況的發生。

還有，藉由上述構成，有接下來的效果。指示器本體3的本體黏著層6的黏著力設定為指示器本體3不會從貼附對象物100掉落程度的強度。所以，如果第1薄膜10的密封材黏著層12的黏著力和指示器本體的3的本體黏著層6的黏著力設定成相同程度，有可能第1薄膜10的密封材黏著層12和指示器本體3的變色材5互相粘貼為第1薄膜10難以從指示器本體3剝落的程度。

如此一來，使用指示器本體3之際將第1薄膜10從指示器本體3剝離時，有可能出現變色材5的一部或是其表面部分剝離，或是變色材5的表面上殘留密封材黏著層12的殘渣的情況。但是，藉由上述構成，因為密封材黏著層12的黏著力比本體黏著層6的黏著力弱，可抑制如此情況（變色材5的剝離以及密封材黏著層12的殘渣附著於變色材5）發生。藉此，可抑制由於變色材5的剝離或是密封材黏著層12的殘渣附著於變色材5而造成無法精確的檢測等離子的情況發生。

（4）本實施方式中，於第1薄膜10的密封材黏著層12設有收容變色材5的開口部14。由此構成，可抑制第1薄膜10的密封材黏著層12的成分附著於變色材5上。

（5）本實施方式中，第1薄膜10覆蓋指示器本體3的整體並且從指示器本體3的端緣的至少一處突出。 　　由此構成，可以握持第1薄膜10之中從指示器本體3的端緣的至少一處突出的部分（也就是說突出部13）。所以，於指示器本體3的貼附作業中，可以在指示器本體3的變色材5不與污染物（可能成為附著不純物主因之工具或衣服等）接觸的情況下將指示器本體3貼附於貼附對象物100。

（6）本實施方式中，第2薄膜20至少分割成2個薄膜片21。由此構成，藉由將指示器1在第2薄膜20的分割部22彎曲，可容易地將薄膜片21的分割部的端緣從指示器本體3分離。藉此，第2薄膜20的撕開變得容易。

（7）本實施方式中，第2薄膜20的彎曲彈性率比第1薄膜10的彎曲彈性率小。所以，因為第2薄膜20比第1薄膜10更容易彎曲，將第1薄膜10和第2薄膜互相分離時，可將第2薄膜20以比第1薄膜10更大的曲率彎曲。所以，容易從第1薄膜10以及指示器本體3將第2薄膜20撕下，並容易從第1薄膜10以及第2薄膜20將指示器本體3取出。

（8）本實施方式中，第1薄膜10和第2薄膜20以相同材料形成，且第2薄膜20可以形成為比第1薄膜10薄。或是，第1薄膜10和第2薄膜20為相同厚度，且第2薄膜20可以藉由比第1薄膜彈性率低的材料而形成。或是，可以僅有第1薄膜10包含補強材。

或是，第1薄膜10和第2薄膜20含有同種的補強材，於第2薄膜20中補強材的含量比於第1薄膜中補強材的含量少。或是，第1薄膜10以及第2薄膜20都含有補強材，且作為第2薄膜20的補強材使用比第1薄膜10的補強材彈性低的材料。由此構成，第2薄膜20變得比第1薄膜10更容易彎曲。藉此，指示器本體3變得容易從第1薄膜10以及第2薄膜20取出。

〔第2實施方式〕

參照圖5~圖7，說明第2實施方式涉及的指示器1x。對於與第1實施方式相同的構成要素付同一符號。

在第2實施方式涉及的指示器1x中，於指示器本體3的一端緣3a，第1薄膜10的一端緣10的一端緣10a和第2薄膜20的一端緣20a和指示器本體3的一端緣3a為一致的這一點，和第1實施方式不同。

進一步，第2實施方式涉及的指示器1x中，用於將第2薄膜20從指示器半體2撕開的構造不同。第1實施方式中，為了容易將第2薄膜撕開，第2薄膜20被分割。對此，第2實施方式中，為了容易撕開第2薄膜20，第2薄膜20設有不與其他構成要素粘貼的剝離部30。

如圖5~圖6所示，剝離部30作為對於指示器本體3的一端部3a的本體黏著層6貼附剝離材31的部分而構成。剝離材31藉由比本體黏著層6黏著力弱的材料，或是不與第2薄膜20粘貼的材料而形成。所以，第2薄膜20從此剝離部30剝落。

接下來，說明關於第2實施方式指示器1x的效果。

（1）第2實施方式中，和第1實施方式相同，第2薄膜20比第1薄膜10彎曲彈性率小。也就是說，第2薄膜20比第1薄膜10容易彎曲。所以，容易從第1薄膜10將第2薄膜20撕下，容易從第1薄膜10以及第2薄膜20將指示器本體30取出。

（2）第2實施方式中，藉由指示器本體3以及第1薄膜10而構成的指示器半體2的周緣部的至少一部份上，設有為了剝離第2薄膜20的剝離部30。

由此構成，由於第2薄膜20於剝離部30處從指示器半體2剝離，所以可容易地從剝離部30將第2薄膜20撕開。還有，從貼附對象物100將使用後的指示器本體3撕開時，從剝離部30可容易撕開指示器本體3。

（3）具體來說，如圖6所示，第1薄膜10的一端緣10a和第2薄膜20的一端緣20a和指示器本體3的一端緣3a為一致，剝離部30具有剝離材31，剝離材31為本體黏著層6的一部份並配置於與指示器本體3的一端緣3a對應的部分。由此構成，於本體黏著層6配置剝離材31的部分不與第2薄膜20粘貼。所以，從此部分可容易地將第2薄膜撕開。

參照圖7，說明剝離部30的變形例。

如圖7所示，第1薄膜10的一端緣10a和第2薄膜20的一端緣20a和指示器本體3的一端緣為一致。

剝離部30作為在指示器本體3的一端緣3a上基材4從本體黏著層6的突出部分4c構成。突出部分4c和第2薄膜20重疊。雖然圖7中基材4和第2薄膜20之間雖表示有空隙，實際上基材4和第2薄膜20互相接觸。

由此構成，基材4從本體黏著層6的突出部分4c不與第2薄膜粘貼。所以，從此突出部分4c可容易將第2薄膜20撕開。

參照圖8，說明剝離部30的另外的變形例。

此變形例中，於俯視視角中，第1薄膜10的突出部13為圍繞基材4而形成。而且，第1薄膜10的一端緣10a和第2薄膜20的一端緣20a為一致。另一方面，指示器本體3的一端緣3a比第1薄膜10的一端緣10a更靠內側。

如圖8所示，剝離部30作為在第1薄膜10的一端緣10a上密封材11從密封材黏著層12突出的部分11a構成。雖然圖8中密封材11和第2薄膜20之間表示有空隙，實際上密封材11和第2薄膜20互相接觸。

由此構成，第1薄膜10從密封材黏著層12突出部分11a不與第2薄膜20接粘貼。所以，從此部分11a可容易地將第2薄膜20撕開。

第2實施方式中，於第1薄膜10的密封材黏著層12上並沒有設置開口部14，變色材5和第1薄膜10的密封材11之間也存在密封材黏著層12的層。

〔第3實施方式〕

參照圖9~圖11，說明第3實施方式指示器1v。對於第3實施方式指示器1v的構成要素之中和第1實施方式相同的構成要素付同一符號。

第3實施方式指示器1v中，關於第2薄膜20的撕開構造和第1實施方式不同。第1實施方式中，為了容易撕開第2薄膜20，第2薄膜20被分割。對此，第3實施方式中，為了容易撕開第2薄膜20，在第2薄膜20設有從第1薄膜10突出的部分。

具體來說，在第1實施方式指示器1中，如圖1所示，第1薄膜10的周緣和第2薄膜20的周緣在俯視視角一致，而在第3實施方式指示器1v中，第2薄膜20的周緣的至少一部份配置為比第1薄膜10的周緣更靠外側。也就是說：在第3實施方式指示器1v中，第2薄膜20的至少一部份從第1薄膜10突出。以下，於第2薄膜20中，將從第1薄膜10突出部分稱為突出部23。

例如，如圖9所示，第2薄膜20的周緣配置為比第1薄膜10的周緣更靠外側。於第2薄膜中從第1薄膜10突出部分（突出部23）的面積，至少為鑷子的先端部可抵接程度的大小，較佳地，為可用手指夾持程度的大小。

較佳地，第2薄膜20的突出部23設為從第1薄膜10的突出部13的端緣突出。也就是說，較佳地，在比第1薄膜10的突出部13的端緣更靠外側的位置配置第2薄膜20的突出部23的端緣。

第1薄膜10的突出部13，如上述撕開第1薄膜10時被握持。也就是說，第1薄膜10的突出部13在從第2薄膜20將指示器半體2（第1薄膜10以及指示器本體3）撕下時，會用鑷子等的工具夾持。所以，較佳地，第1薄膜10的突出部13為容易夾持的構造。如果第1薄膜10的突出部13的端緣和第2薄膜20的端緣一致，則第1薄膜10和第2薄膜20之間難以插入鑷子等的工具前端。所以，作業者無法容易夾持第1薄膜10的突出部13。但是，上述構成的情況下，沿著第2薄膜20的突出部23的表面（和第1薄膜10對向的表面）滑動鑷子等的工具的前端，藉由緊接至第1薄膜10的突出部13的端緣，可將鑷子等的工具的前端插入第1薄膜10和第2薄膜20之間。所以，可容易將突出部13以鑷子等的工具夾住。

還有，關於第3實施方式的指示器1v於下一點，和關於第1實施方式指示器1不同。

關於第1實施方式的指示器1中，第2薄膜20比第1薄膜10彎曲彈性率小。對此，第3實施方式中，沒有規定第1薄膜10的彈性率和第2薄膜20的彈性率的關係。另一方面，從貼附至彎曲的貼附對象物100的容易度的觀點，可適當使用高可撓性的第1薄膜10。藉此，於彎曲的貼附對象物100上貼附指示器半體2（指示器本體3和第1薄膜10的疊層體）時，指示器半體2可沿著貼附對象物100彎曲。

說明關於第1薄膜10的密封材黏著層12。

較佳地，第1薄膜10的密封材黏著層12對於指示器本體3的黏著力比指示器本體3的本體黏著層6對於貼附對象物100的黏著力弱。這是為了可以在將指示器半體2貼附於貼附對象100後，將指示器本體3以貼附在貼附對象物100上的狀態留下，並從指示器半體2撕開第1薄膜10。

第1薄膜10的突出部13的面積較大的情況下，例如設為突出部13圍繞指示器本體3的情況下，和第1實施方式相同，第1薄膜10的密封材黏著層12構成為比本體黏著層6黏著力弱。這裡所謂的黏著力，意指對於貼附對象物100的粘貼力（剝離強度）。

參照圖11，說明指示器1v的貼附方法。

首先，將指示器1v的第2薄膜20固定於平臺等，或是用手指握持。 　　接下來，僅在第2薄膜20上施力，將第2薄膜20彎曲。特別較佳地，在指示器本體3的端緣附近以及第1薄膜10的突出部13附近將第2薄膜20彎曲。具體來說，將第2薄膜20的突出部23彎曲。

藉由第2薄膜20的突出部23彎曲，由接下來的作用，指示器本體3以及第1薄膜10從第2薄膜20剝離。也就是說，如果第2薄膜20彎曲，伴隨第2薄膜20的彎曲，指示器本體3以及第1薄膜10也會彎曲。如果第2薄膜20的曲率變大，由指示器本體3的基材4的彎曲產生的復原力（應力）變大。如果此復原力比基材4和第2薄膜20之間的密著力更大，基材4的端緣以及第1薄膜10的突出部13從第2薄膜20剝離（參照圖11）。

接下來，將從第2薄膜20離開第1薄膜10的突出部13以鑷子等的工具握持住，將第1薄膜10從第2薄膜20撕開。如此一來，指示器本體3密著於第1薄膜10的狀態下，第2薄膜20從指示器半體2剝落。接下來，將指示器半體2貼附於貼附對象物100，從指示器半體2將第1薄膜10撕開。

接下來，說明關於第3實施方式指示器1v的效果。

（1）第3實施方式中，第2薄膜20的至少一部份從第1薄膜10突出。

由此構成，因為第2薄膜20從第1薄膜10突出，可壓住或是握持住突出部分，可僅在第2薄膜上施力從而將第2薄膜20彎曲。藉此，可容易地從第2薄膜20撕開第1薄膜10以及指示器本體3。

（2）第3實施方式中，第1薄膜10覆蓋指示器本體3的整體，且從指示器本體3的端緣的至少一處突出。

由此構成，第1薄膜10之中，可握持住從指示器本體3的端緣的至少一處突出的部分（也就是說，突出部13）。所以，在指示器本體3的貼附作業中，指示器本體3的變色材5就不會與汙染物（可能成為附著不純物主因之工具或衣服等）接觸，可將指示器本體3貼附至貼附對象物100。

〔其他實施方式〕 參照圖12以及圖13，說明涉及其他實施方式的指示器1y、1z。

・上述第1、第2以及第3實施方式中，變色材5雖然僅設於基材4的一處而已，變色材5可設於基材4的複數地方。

例如，如圖12所示，指示器1y形成帶狀。指示器本體3藉由第1薄膜10和第2薄膜20夾持。基材4形成為長方形。複數的變色材5沿基材4的長邊方向以等間隔配置。第1薄膜10的密封材黏著層12上設有收容各個變色材5的複數開口部14。沿著複數的變色材5指示器1y的斷面構造，為第1實施方式所涉及指示器1相同。如此藉由將指示器1y配置於等離子裝置，沿著指示器1y的長邊方向，為可能檢驗出等離子密度變化。

還有，如圖13所示，指示器1z形成帶狀。指示器本體3藉由第1薄膜10和第2薄膜20所夾持。基材4形成為長方形。變色材5，沿著基材4的長邊方向延長。第1薄膜10的密封材黏著層12上，設有收容變色材5的開口部14。沿著變色材5的長邊方向軸線的指示器1的剖面構造，為和第1實施方式所涉及指示器1相同。由此構成，可得到如圖12所示的指示器1y相同的效果。

・上述第1實施方式中，為了不讓密封材黏著層12和變色材5接觸，於第1薄膜10的密封材黏著層12上雖設有開口部14，抑制密封材黏著層12和變色材5的接觸之構造，不限定於此。例如，變色材5的周圍上可能設有比變色材5更厚的間隔層。此情況下，第1薄膜10經間隔層疊層於指示器本體3上。

・上述第3實施方式中，第2薄膜20的至少一部份，雖構成從第1薄膜10突出，和此構成相反，第1薄膜10的至少一部份可能構成為從第2薄膜20突出。此構成情況下，僅在第1薄膜10施力可將第1薄膜10彎曲。藉此，從第1薄膜10以及指示器本體3可容易地將第2薄膜20撕開。另外，此構成情況下，如將第1薄膜10彎曲，藉由指示器本體3的復原力，指示器本體3有可能從第1薄膜10剝落。因此，此構成適用於指示器本體3的基材4的彎曲彈性率小、復原力小的物品。

・上述第3實施方式中，並無規定第2薄膜20的彈性率，例如，第2薄膜20的彎曲彈性率也可以比第1薄膜10的彎曲彈性率更大。與此相反，和第1實施方式相同，第2薄膜20的彎曲彈性率也可以比第1薄膜10的彎曲彈性率更小。此情況下，可得到比照第1實施方式的上述（7）的效果。

・上述第3實施方式所涉及的指示器1v，第2薄膜20雖沒有分割，和第1實施方式相同，第2薄膜20也可以至少分割成2個的薄膜片21。

・上述第3實施方式所涉及的指示器1v，雖沒設第2實施方式所示的剝離部30，但也可以設剝離部30。例如，於對應第1薄膜10的突出部13上設剝離部30。

・上述第1實施方式、第2實施方式、第3實施方式以及其他實施方式所涉及的指示器，係為了檢驗出等離子的指示器。但是，這些指示器也可能適用其他用途。也就是說，指示器本體的變色材，並無限定檢驗出等離子。例如，作為變色材的例子，含有等離子的氣體、電子射線、紫外線、指定的氣體（例如，有毒性氣體，或是臭氧等的活性氣體），或是可舉例檢驗出自由基的變色材等。

1,1x,1v,1y,1z‧‧‧指示器
2‧‧‧指示器半體
3‧‧‧指示器本體
3a‧‧‧（指示器本體）端緣
4‧‧‧基材
4a‧‧‧（基材）第1面
4b‧‧‧（基材）第2面
4c‧‧‧（基材）突出部分
5‧‧‧變色材
6‧‧‧本體黏著層
10‧‧‧第1薄膜
10a‧‧‧（第1薄膜）端緣
11‧‧‧密封材
12‧‧‧密封材黏著層
13‧‧‧突出部
14‧‧‧開口部
20‧‧‧第2薄膜
20a‧‧‧（第2薄膜）端緣
21‧‧‧薄膜片
22‧‧‧分割部
23‧‧‧突出部
30‧‧‧剝離部
31‧‧‧剝離材
100‧‧‧貼附對象物
A-A,B-B,C-C‧‧‧斷面切線

圖1為第1實施方式涉及的指示器的俯視圖。

圖2為沿著圖1中斷面切線A-A的指示器的斷面圖。

圖3為第1實施方式涉及的指示器的仰視圖。

圖4（a）～（c）為表示第1實施方式涉及的指示器的貼附作業之工程圖。

圖5為第2實施方式涉及的指示器的俯視圖。

圖6為沿著圖5中斷面切線B-B的指示器的斷面圖．

圖7為表示第2實施方式涉及的指示器的剝離部的變形例之斷面圖。

圖8為表示第2實施方式涉及的指示器的剝離部的變形例之斷面圖。

圖9為第3實施方式涉及的指示器的平面圖．

圖10為沿著圖9中斷面切線C-C的指示器的斷面圖．

圖11為關於第3實施方式所涉及的指示器，表示將第2薄膜彎曲時的指示器的圖．

圖12為其他實施方式涉及的指示器的俯視圖．

圖13為其他實施方式涉及的指示器的俯視圖．

1‧‧‧指示器

2‧‧‧指示器半體

3‧‧‧指示器本體

4‧‧‧基材

4a‧‧‧(基材)第1面

5‧‧‧變色材

6‧‧‧本體黏著層

10‧‧‧第1薄膜

11‧‧‧密封材

12‧‧‧密封材黏著層

13‧‧‧突出部

20‧‧‧第2薄膜

21‧‧‧薄膜片

100‧‧‧貼附對象物

Claims (18)

1. 一種指示器，其特徵為，具備： 具有變色材的指示器本體； 配置於前述指示器本體的一面的第1薄膜；以及 配置於前述指示器本體的另一面的第2薄膜， 其中，前述第1薄膜以及前述第2薄膜的一方比另一方的彎曲彈性率更小。
2. 如請求項1所記載的指示器，其中，前述第1薄膜的至少一部份從前述第2薄膜突出，或是前述第2薄膜的至少一部份從前述第1薄膜突出。
3. 一種指示器，其特徵為，具備： 具有變色材的指示器本體； 配置於前述指示器本體的一面的第1薄膜；以及 配置於前述指示器本體的另一面的第2薄膜， 其中，前述第1薄膜的至少一部份從前述第2薄膜突出，或是前述第2薄膜的至少一部份從前述第1薄膜突出。
4. 如請求項1~請求項3的任何一項所記載的指示器，其中前述指示器本體具備有：基材、配置於前述基材的第1面的前述變色材、和設於前述基材的第2面的至少一部份的本體黏著層， 前述第1薄膜具有：密封材、以及設於前述密封材的內側面上的密封材黏著層， 前述第1薄膜配置於前述指示器本體的前述變色材側，前述第2薄膜配置於前述指示器本體的前述本體黏著層側。
5. 如請求項4所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜的前述密封材黏著層比前述指示器本體的前述本體黏著層之黏著力更弱。
6. 如請求項4所記載的指示器，其中， 藉由前述指示器本體以及前述第1薄膜而構成之指示器半體的周緣部的至少一部份上設有用於從前述指示器半體剝離前述第2薄膜的剝離部。
7. 如請求項6所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜的一端緣和前述第2薄膜的一端緣和前述指示器本體的一端緣為一致， 前述剝離部具有剝離材，前述剝離材為前述本體黏著層的部分，其配置於與前述指示器本體的前述一端緣對應的部分。
8. 如請求項6所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜的一端緣和前述第2薄膜的一端緣和前述指示器本體的一端緣為一致， 前述剝離部為在前述指示器本體的前述一端緣上前述基材從前述本體黏著層突出的部分。
9. 如請求項6所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜的第一端緣和前述第2薄膜的一端緣為一致，並且前述指示器本體的一端緣比前述第1薄膜的一端緣更靠內側， 前述剝離部為在前述第1薄膜的前述一端緣上前述第1薄膜的前述密封材從前述密封材黏著層突出的部分。
10. 如請求項4所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜的前述密封材黏著層具有收容前述變色材的開口部。
11. 如請求項4所記載的指示器，其中， 所述第1薄膜覆蓋前述指示器本體的整體並且從前述指示器本體的端緣的至少一處突出。
12. 如請求項4所記載的指示器，其中， 前述第2薄膜分割成至少2個的薄膜片。
13. 如請求項4所記載的指示器，其中， 前述第2薄膜的彎曲彈性率比前述第1薄膜的彎曲彈性率更小。
14. 如請求項13所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜和前述第2薄膜用相同材料形成，前述第2薄膜比前述第1薄膜更薄。
15. 如請求項13所記載的指示器，其中， 前述第2薄膜藉由彈性率比前述第1薄膜更低的材料形成。
16. 如請求項13所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜包含補強材。
17. 如請求項13所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜以及前述第2薄膜都包含補強材，前述第1薄膜的補強材以及前述第2薄膜的補強材為相同材料，前述第2薄膜中補強材的含量比前述第1薄膜中補強材的含量更少。
18. 如請求項13所記載的指示器，其中， 前述第1薄膜以及前述第2薄膜都包含補強材，前述第2薄膜的補強材比前述第1薄膜的補強材彈性低。