TW201622206A - 用於製造顯示裝置的設備及利用其製造顯示裝置的方法 - Google Patents

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Abstract

本發明揭露一種用於製造顯示裝置的設備。該設備包含反應室；其中安裝有第一元件之第一支持器，第一支持器係在反應室中；其中安裝有第二元件之預對準單元；容納預對準單元之第二支持器，第二支持器與第一支持器相對地位於反應室中，使第二支持器沿著第一方向相對於第一支持器線性移動；以及藉由在第一方向上延伸，使安裝在預對準單元上的部分第二元件與第一元件接觸之插銷單元，插銷單元係在反應室中。

Description

用於製造顯示裝置的設備及利用其製造顯示裝置的方法
相關申請案之交互參照
2014年9月24日向韓國智財局所申請之韓國專利申請案No. 10-2014-0127875，且名為：「用於製造顯示裝置的設備及利用其製造顯示裝置的方法 (Apparatus for Manufacturing Display Device and Method of Manufacturing Display Device Using the Same)」揭露之全部內容藉由參照而併入本文中。
一或多個例示性實施例係關於一種用於製造顯示裝置的設備及製造顯示裝置的方法。
行動電子設備包含平板個人電腦(PCs)及例如行動電話的小型電子裝置。
實施例可藉由提供一種用於製造顯示裝置的設備而實現，該設備包含反應室、其中安裝有第一元件之第一支持器，第一支持器係在反應室中、其中安裝有第二元件預對準單元、容納預對準單元之第二支持器，第二支持器位於反應室中且與第一支持器相對，以使第二支持器沿著第一方向相對於第一支持器線性移動、以及藉由在第一方向上延伸而將安裝在預對準單元上的部份的第二單元與第一元件接觸之插銷單元，插銷單元係在反應室中。
預對準單元可包含主體部分；以及相對於主體部分的表面凹之入至少一第二元件安裝槽。
第二元件安裝槽可包含使部份的該插銷單元插入其中的插入孔。
設備可進一步包含對準單元以改變第二支持器的位置且其中第二支持器安裝在對準單元。
設備可進一步包含拍攝單元，其拍攝預對準單元的位置及第一元件的位置的影像。
設備可進一步包含連接至第二支持器之第一線性驅動單元，第一線性驅動單元沿著第一方向線性移動第二支持器。
插銷單元可包含接觸第二元件之頭部部分，使接觸區域係為一點或一線；以及連接至頭部部分且沿著第一方向線性移動頭部部分之第二線性驅動單元。
至少部分的頭部部分可包含絕緣材料。
設備可進一步包含連接至反應室且調整反應室的內部壓力之壓力調整單元。
壓力調整單元可包含連接至反應室的連接管以及在連接管中的泵，泵自連接管排出氣體至外部或提供外部氣體至連接管。
設備可進一步包含層壓第二元件貼附至第一元件上的貼附輥單元。
貼附輥單元可包含滾動跨過第二元件的表面之輥以及第三線性驅動單元，第三線性驅動單元連接至輥且在垂直於第一方向的方向上線性移動輥。至少一部分的第二元件可與第一元件接觸。
貼附輥單元可進一步包含在第三線性驅動單元與輥之間的力施加單元，且力施加單元朝向第一元件施加力至輥。
設備可進一步包含在反應室中的加壓單元，且藉由施加力至第二元件而使第二元件貼附至第一元件。
加壓單元可在第一支持器且可為可旋轉的。
可絕緣化預對準單元的表面。
實施例可藉由提供一種製造顯示裝置的方法而實現，該方法可包含：插入第二元件至在預對準單元中的至少一第二元件安裝槽，且將第二元件安裝在至少一第二元件安裝槽；在第一方向上線性移動預對準單元，使預對準單元與安裝在反應室中之第一支持器的第一元件接觸；藉由啟動插銷單元使第二元件與第一元件接觸，其接觸區域係為一點或一線，而使部分的第二元件貼附至第一元件；以及使第一元件的整體表面與第二元件的整體表面彼此貼附。
貼附部分的第二元件至第一元件可包含在第一方向上線性移動預對準單元，使預對準單元遠離第一元件。
第一元件的整體表面與第二元件的整體表面的彼此貼附可包含使反應室的內部壓力自真空狀態調整成大氣壓力。
第一元件的整體表面與第二元件的整體表面的彼此貼附可包含滾動輥以跨過第二元件。
第一元件的整體表面與第二元件的整體表面的彼此貼附可包含施加壓力至第二元件。
方法可進一步包含在預對準單元沿第一方向線性移動之前，在垂直於第一方向的方向上對準該預對準單元與第一元件。
貼附部分的第二元件至第一元件，以及第一元件的整體表面與第二元件的整體表面的彼此貼附可在真空狀態中進行。
例示性實施例將參照附圖更充分的描述於下文中；然而，其可以各種不同形式實施，而不應理解為限於本文所闡述的實施例。相反的，提供這些例示性實施例使得本揭露徹底及完整，且充分傳達例示性實施方式予此技術領域中具有通常知識者。
在圖式內相似的參考符號指稱相似的元件，且因此，重複的描述將被省略。
本文中所使用之用詞「及/或(and/or)」包含一或多個相關所列項目之任一及所有組合。當表述詞例如「至少一個(at least one of)」後綴於一系列元件時，修飾整列元件而非修飾該列中之單一元件。
同時此用語「第一 (first)」、「第二 (second)」等可用來描述各種構件，但此構件不應被上述用語所限制。上述用語僅用於與另一構件區分。
在本文中所用之單數形式「一(a)」、「一(an)」及「該(the)」也旨在包含複數形式，除非上下文另有明確地指示。
將進一步被理解的是，本文中所使用之用語「包含(including)」、「包含(comprising)」以及「具有(having)」特指所述特徵或構件之存在，但不排除一或多個其他特徵或構件之存在或增加。
將理解的是，當層、區域或構件被指為「形成在(formed on)」另一層、區域、或構件「上」時，其可直接或間接地形成在其他層、區域、或構件上。亦即，例如，可存在中間層、中間區域、或中間構件。進一步，將理解的是，當層被指為在另一層「之下(under)時，其能直接在另一層之下，或亦可存在一或多個中間層。此外，亦將理解的是，當層被指為在兩層「之間(between)」時，其可為兩層之間的唯一層，或亦可存在一或多個中間層。
附圖中構件的尺寸可為了說明上之方便而被放大。換句話說，由於附圖中的構件尺寸及厚度係為了說明上之方便而任意地顯示，下列實施例不因此受限。
在下列例示中，x軸、y軸以及z軸不限於直角坐標系統的三個軸，且可以更廣泛的意義解釋。例如，x軸、y軸以及z軸可彼此垂直，或可代表彼此不垂直的不同方向。
當實施例可不同地實施，特定的製程順序可以與所述順序不同地執行。例如，兩個連續描述之製程可實質上同時執行，或者與所述順序相反的順序執行。
第1圖係根據實施例，描繪用於製造顯示裝置的設備100之截面圖。第2圖係為描繪第1圖的預對準單元140之透視圖。參照第1圖及第2圖，設備100可包含反應室110、第一支持器130、預對準單元140、第二支持器150、第一線性驅動單元152、插銷單元170、對準單元151、拍攝單元190以及壓力調整單元180。
在反應室110中可形成一空間。反應室110可具有形成在其中的開口。閘閥120可提供在反應室110的開口中，以開啟及關閉開口。
第一支持器130可被固定在反應室110的內部。第一支持器130可為托架的形式，以使第一元件R可安裝在第一支持器130；或可為夾具的形式，以使部分的第一元件R可固定至第一支持器130。在下文中，為了便於說明，將主要以第一支持器130以托架的形式提供之範例進行詳細描述。
預對準單元140可由各種材料形成。例如，預對準單元140可由塑膠或矽(silicon)等絕緣材料形成。預對準單元140可由鋁或不繡鋼等金屬材料形成。預對準單元140的表面可塗布絕緣層。例如，預對準單元140可由金屬材料形成，且預對準單元140的表面可被陽極化，或可塗布或覆蓋塑膠或橡膠等絕緣材料。當第二元件P安裝在預對準單元140或預對準單元140與第一元件R接觸時，預對準單元140可避免第一元件R及第二元件P中的至少一個因為靜電而受到損壞。
預對準單元140可包含主體部分141及在主體部分141中的第二元件安裝槽142。第二元件安裝槽142沿著z軸安裝包含有附著元件H的第二元件P。
第二元件安裝槽142可相對於主體部分141的表面凹入，且在第二元件安裝在第二元件安裝槽142之後，可不分別進行第二元件P的預對準。部分的插銷單元170穿過其通過的插入孔143可形成在第二元件安裝槽142中。第二元件安裝槽142的面積可大於x-y平面中插入孔143的面積。
至少一個第二元件安裝槽142可形成在主體部分141的表面。第二元件安裝槽142可以複數個提供，且複數個第二元件安裝槽142可在例如矩陣或x-y平面上彼此分隔。
第二支持器150可固定預對準單元140。與第一支持器130相似，第二支持器150可為托架的形式或為夾具的形式。第二支持器150可在反應室110中線性移動。例如，如第1圖所示，第二支持器150可在反應室110的垂直方向，如z方向線性移動。
第一線性驅動單元152可連接至第二支持器150且沿著第一方向線性移動第二支持器150。第一線性驅動單元152可包含線性馬達。在部分實施例中，第一線性驅動單元152可包含馬達、齒輪以及與齒輪嚙合的齒條。在部分實施例中，第一線性驅動單元152可包含具有可變化長度的汽缸。在下文中，為了便於說明，將主要以第一線性驅動單元152係為線性馬達的範例進行詳細描述。
在插銷單元170延伸且使第二元件P與第一元件R接觸，使接觸區域為一點或一線後，插銷單元170可將部分的第二元件P結合至第一元件R。插銷單元170可包含與第二元件P接觸的頭部部分171，使接觸區域為一點或一線；以及連接至頭部部分171的第二線性驅動單元172，以沿著第一方向，如沿著z方向，線性移動頭部部分171。
頭部部分171可各式各樣地形成。例如，頭部部分171可具有半球形的形狀，使頭部部分171與第二元件P接觸且接觸區域係為一點。在部分實施例中，頭部部分171可具有半圓形截面的柱體形狀，使頭部部分171與第二元件P接觸且接觸區域係為一線。在實施例中，在頭部部分171與第二元件P之間的接觸區域可為一點或一線。
頭部部分171可由絕緣材料形成，或其表面可塗布有絕緣材料。例如，頭部部分171可由如塑膠、矽或陶瓷的材料形成。在部分實施例中，頭部部分171可由金屬材料形成，且頭部部分171的表面可具有至少一部分含有絕緣材料或經陽極化。例如，與第二元件P接觸的部分頭部部分171可塗布有絕緣材料。在下文中，為了便於說明，將主要以頭部部分171由絕緣材料形成的範例進行詳細描述。
第二線性驅動單元172可與第一線性驅動單元152相似。第二線性驅動單元172的例子可包含馬達、齒輪以及齒條，且頭部部分171可連接至齒條且可線性移動。在部分實施例中，第二線性驅動單元172可為連接至頭部部分171的汽缸。在下文中，為了便於說明，將主要以第二線性驅動單元172為汽缸的範例進行詳細描述。
對準單元151可改變第二支持器的位置，且第二支持器150被安裝在對準單元151。對準單元151可連接至預對準單元140安裝於其中的第二支持器150。對準單元151可在三個不同方向上移動第二支持器150。對準單元151可與用於顯示器領域所用的對準單元相同或相似，且將省略其之詳細描述。
在反應室110中可提供拍攝單元190，以拍攝預對準單元140及第一元件R的位置的影像。拍攝單元190可拍攝預對準單元140及第一元件R的形狀的影像。預對準單元140及第一元件R可分別具有對準記號，且拍攝單元190亦可拍攝預對準單元140及第一元件R的每一個的對準記號的影像。
壓力調整單元180可包含連接至反應室110的連接管181、以及自連接管181排放氣體至外部或供給外部氣體至連接管181的泵182。
設備100可包含控制器，其控制設備100的每一個構件。控制器可為在反應室110中提供的電路板或有線或無線地連接至外部的終端，如電腦或手機。
在下文中，將詳細描述利用用於製造顯示裝置的設備100製造顯示裝置的方法。
第3A圖至第3F圖係為描繪利用第1圖之用於製造顯示裝置的設備100製造顯示裝置之製程。第4圖係為描繪藉由利用第1圖之用於製造顯示裝置的設備100製造之顯示裝置之截面圖。參照第3A圖至第4圖，可製造第一元件R及第二元件P。第一元件R及第二元件P可各不相同。例如，第一元件R及第二元件P的每一個可包含顯示裝置200、覆蓋視窗、觸控面板、基板210以及如保護膜、光學膜或偏光膜的其他膜。在下文中，為了便於說明，將主要以第一元件R為顯示裝置200且第二元件P為偏光膜的範例進行詳細描述。
顯示裝置200可為各種形式。例如，顯示裝置200可包含液晶顯示面板、電漿顯示面板或有機發光顯示面板。在下文中，為了便於說明，將主要以顯示裝置200包含有機發光顯示面板的範例進行詳細描述。
在製造第一元件R及第二元件P之後的情況中，附著元件H可已形成在第二元件P中。附著元件H可為附著劑、或光學透明附著膜(OCA)。
接著，可將第二元件P插入且安裝在形成於預對準單元140的第二元件安裝槽142中。複數個第二元件P可分別安裝在複數個第二元件安裝槽142。在上述複數個第二元件P分別安裝在複數個第二元件安裝槽142的情況中，可不分別進行預對準第二元件P。
為了使第二元件P與第一元件R連接，可分別進行第二元件P的預對準，且接著可進行第一元件R與第二元件P的精確對準。預對準製程可藉由將第二元件P安裝至額外的臺(extra stage)而進行，且接著在一方向上移動第二元件P，使第二元件P的角與例如阻擋件接觸。
根據例示性實施例，預對準製程可藉由將第二元件P插入至預對準單元140的第二元件安裝槽142而完成。根據用於製造顯示裝置的設備100及製造顯示裝置的方法，第二元件P可經由簡單結構而預對準，且可減少製造顯示裝置的所需空間及製造時間。
一旦完成第二元件P的配置時，舉例而言，預對準單元140可藉由機械臂插入反應室110中。壓力調整單元180可將反應室110的內部壓力調整為與大氣壓力相等，且閘閥120可開啟或關閉反應室110的開口。
安裝有第二元件P的預對準單元140插入反應室110的同時或之前，第一元件R亦可插入反應室110中。將第一元件R插入反應室110中的方法可與將第二元件P插入反應室110中的方法相同或相似，且將省略其之詳細描述。
當第一元件R及第二元件P進入反應室110時，第一元件R及第二元件P可分別安裝在第一支持器130及第二支持器150。泵182可在其後啟動，以自連接管181將氣體排出至外部，而可使反應室110內部維持真空狀態。
拍攝單元190可拍攝顯示第一元件R及預對準單元140位置的影像，且傳送拍攝之影像至控制器。控制器可基於傳送的影像比較第一元件R及預對準單元140的預定位置與第一元件R及預對準單元140的位置，且可判定例如，第一元件R及預對準單元140是否沿著x-y平面對準。
若控制器判定第一元件R及預對準單元140的位置錯位時，可控制對準單元151以調整預對準單元140的位置。若判定第一元件R及預對準單元140的位置為對準時，控制器可進行後續的製程(參照第3A圖)。在實施例中，在沿著第一方向線性移動預對準單元140之前，在垂直於第一方向的方向上對準預對準單元140與第一元件R。
當完成第一元件R與預對準單元140位置的對準時，可啟動第一線性驅動單元152，以沿著第一方向，如沿著z方向，線性移動第二支持器150，使預對準單元140與第一元件R相鄰(參照第3B圖)。
接著，可啟動第二線性驅動單元172，以例如沿著z方向，升起頭部部分171，且隨著頭部部分171通過插入孔143時，頭部部分171與可第二元件P接觸，使接觸區域為一點或一線，且可對第二元件P施加壓力。僅第二元件P及第一元件R的部分區域可因為附著元件H而彼此附著(參照第3C圖)。
在上述製程期間，可啟動第一線性驅動單元152，以例如沿著z方向線性移動預對準單元140，使預對準單元140沿著第一方向，例如沿著z方向與第一元件R線性分離(參照第3D圖)。之後可啟動第二線性驅動單元172，以使頭部部分171例如沿著z方向移動而遠離第二元件P(參照第3E圖)。
一旦完成上述製程時，可啟動泵182，以通過連接管181供給外部氣體至反應室110。在反應室110內部的不同區域之間的壓力可不同。例如，在其與連接管181相鄰之反應室110的區域周圍，形成相對高的壓力，以及在第一元件R及第二元件P周圍形成相對低的壓力。由於如上述壓力差，壓力可從第一元件R朝向第二元件P施加，且可使第一元件R及第二元件P結合。第一元件R及第二元件P可瞬間彼此結合。藉由維持第一元件R與第二元件P之間的真空狀態，第一元件R及第二元件P可準確地彼此結合，且可避免其間之氣泡產生。
根據用於製造顯示裝置的設備100及製造顯示裝置的方法，第一元件R及第二元件P可沒有氣泡地結合，且可降低顯示裝置中的缺陷。
根據用於製造顯示裝置的設備100及製造顯示裝置的方法，可簡單地預對準第二元件P，而可減少操作線長度，且可縮短製造時間。
藉由上述方法製造的顯示裝置可包含第一元件R、第二元件P以及附著元件H。第一元件R可包含基板210及顯示單元D。第一元件R亦可包含形成在顯示單元D的頂部上的薄膜封裝層E或封裝基板。封裝基板可與用於顯示裝置的封裝基板相同或相似，且將省略其之詳細描述。在下文中，為了便於說明，將主要以第一元件R包含薄膜封裝層E的範例進行詳細描述。
顯示單元D可形成在基板210上。薄膜電晶體(TFT)可被包含在顯示單元D中，鈍化層270可形成以覆蓋TFT及顯示單元D，且有機發光裝置(OLED)280可形成在鈍化層270上。
在實施例中，基板210可由玻璃形成。基板210亦可由塑膠材料、聚亞醯胺(polyimide, PI)或如SUS或鈦(Ti)的金屬材料形成。在下文中，為了便於說明，將主要以基板210由玻璃形成的範例進行詳細描述。
在基板210的上表面上，進一步形成包含有機化合物及/或無機化合物的緩衝層220。緩衝層220可由矽氧化物(SiOx , x≥1)及/或矽氮化物(SiNx , x≥1)形成。
以預定圖樣配置的主動層230可形成在緩衝層220上，且至少一個主動層230可藉由閘極絕緣層240覆蓋。主動層230可具有源極區域231與汲極區域233，且可進一步包含在源極區域231與汲極區域233之間的通道區域232。
主動層230可形成以包含各種材料。例如，主動層230可含有如非晶矽或多晶矽的無機半導體材料。在實施例中，主動層230可含有氧化半導體。在部分實施例中，主動層230可含有有機半導體材料。在下文中，為了便於說明，將主要以主動層230由非晶矽形成的範例進行詳細描述。
主動層230可藉由在緩衝層220上形成非晶矽膜的方式形成，將非晶矽膜結晶成多晶矽膜，且接著圖樣化多晶矽膜。包含在主動層230中的源極區域231與汲極區域233可基於TFT的類型摻雜雜質。例如，TFT可為驅動TFT或開關TFT。
在閘極絕緣層240的上表面上，可形成對應於主動層230的閘極電極250以及覆蓋閘極電極250的中間絕緣層260。
接觸孔H1可形成在中間絕緣層260以及閘極絕緣層240中，且源極電極271與汲極電極272可形成在中間絕緣層260上，以分別與源極區域231與汲極區域233接觸。
在TFT的頂部上，可形成鈍化層270。在鈍化層270的頂部上，可形成OLED280的像素電極281。像素電極281可經由形成在鈍化層270的孔洞H2接觸TFT的汲極電極272。鈍化層270可由無機材料及/或有機材料形成為單層或多層。當鈍化層270以多層形成時，多層之中的最上層可為可平坦化鈍化層270的上表面之平坦層，使得不論鈍化層270的下層是否不平整，鈍化層270的上表面為平坦的。在實施例中，鈍化層270可對應於鈍化層270下層的不平整而使鈍化層270的上表面形成為不平整。鈍化層270可由透明絕緣體形成以達成共振效應。
像素電極281形成在鈍化層270上之後，像素定義層290可由有機材料及/或無機材料形成，以覆蓋像素電極281及鈍化層270。開口可形成在像素定義層290中，以露出像素電極281。
中間層282與相對電極283可至少形成在像素電極281上。
雖然像素電極281可作為陽極且相對電極283可作為陰極，但是像素電極281及相對電極283的極性可相反。
像素電極281與相對電極283可藉由中間層282而彼此絕緣，且可施加彼此具有不同極性的電壓至中間層282，且光可藉由有機發光層射出。
中間層282可包含有機發光層。在部分實施例中，除了有機發光層，中間層282可進一步包含電洞注入層、電洞傳輸層、電子傳輸層以及電子注入層中的至少一層。
一個單元像素可包含複數個子像素，且複數個子像素可射出各種顏色的光。例如，複數個子像素可分別包含射出紅光、綠光及藍光的子像素，或可包含分別射出紅光、綠光、藍光以及白光的子像素。
薄膜封裝層E可包含複數個無機層，或可包含無機層及有機層。
薄膜封裝層E的有機層可由聚合物形成。有機層可為單層或層堆疊，且可由聚乙二醇對苯二甲酸酯(polyethylene terephthalate)、PI、聚碳酸酯(polycarbonate)、環氧(epoxy)、聚乙烯(polyethylene)以及聚丙烯酸酯(polyacrylate)中的一種形成。例如，薄膜封裝層E的有機層可由聚丙烯酸酯形成，且詳細而言，可包含含有二丙烯酸酯類單體及三丙烯酸酯類單體的聚合單體組成物。單體組成物可進一步包含單丙烯酸酯類單體。在實施例中，單體組成物可進一步包含如三甲基苯甲醯基二苯基膦氧化物(trimethylbenzoyl diphenylphosphine oxide (TPO))的光起始劑。
薄膜封裝層E的無機層可為包含金屬氧化物或金屬氮化物的單層或堆疊的層。例如，無機層可包含SiNx 、鋁氧化物(Al2 O3 )、二氧化矽(silicon dioxide (SiO2 ))以及二氧化鈦(titanium dioxide (TiO2 ))中的一種。
露出至外部的薄膜封裝層E的最上層可由無機層形成，以避免水氣滲入至OLED 280。
薄膜封裝層E可包含其中至少一層有機層設置在至少兩層無機層之間的至少一夾層結構。在部分實施例中，薄膜封裝層E可包含其中至少一層無機層設置在至少兩層有機層之間的至少一夾層結構。在其他實施例中，薄膜封裝層E可包含其中至少一層有機層設置在至少兩層無機層之間的夾層結構以及其中至少一層無機層設置在至少兩層有機層之間的另一夾層結構。
薄膜封裝層E可包含自OLED 280的頂部依序設置的第一無機層、第一有機層以及第二無機層。
在部分實施例中，薄膜封裝層E可包含自OLED 280的頂部依序設置第一無機層、第一有機層、第二無機層、第二有機層以及第三無機層。
在其他實施例中，薄膜封裝層E可包含自OLED 280的頂部依序設置第一無機層、第一有機層、第二無機層、第二有機層、第三無機層、第三有機層以及第四無機層。
在OLED 280與第一無機層之間，可另外包含含有氟化鋰(lithium fluoride (LiF))的鹵化金屬層。當藉由濺鍍形成第一無機層時，鹵化金屬層可避免OLED 280被損壞。
第一有機層的面積可小於第二無機層的面積，且第二有機層的面積可小於第三無機層的面積。
第二元件P可包含如上述的偏光膜。偏光膜可與用於顯示器領域的偏光膜相同或相似，且將省略其之詳細描述。
在如上述製造的顯示裝置200中，在第一元件R與第二元件P之間可不形成氣泡，且顯示裝置200可具有銳利的畫面。
第5圖係根據另一實施例，描繪用於製造顯示裝置的設備300之截面圖。參照第5圖，用於製造顯示裝置的設備300可包含反應室310、第一支持器330、預對準單元340、第二支持器350、第一線性驅動單元352、貼附輥單元360、插銷單元370、對準單元 351、拍攝單元 390以及壓力調整單元 380。
反應室310、第一支持器330、預對準單元340、第二支持器350、第一線性驅動單元352、插銷單元370、對準單元 351、拍攝單元 390以及壓力調整單元 380可與第1圖至第4圖所述之反應室110、第一支持器130、預對準單元140、第二支持器150、第一線性驅動單元152、插銷單元170、對準單元 151、拍攝單元 190以及壓力調整單元 180相同或相似，且將省略其之詳細敘述。
貼附輥單元360可包含輥361、第三線性驅動單元362以及力施加單元363。輥361可提供在第三線性驅動單元362中以為可旋轉的，可例如在x-y平面上跨過第二元件P滾動，且可貼附第一元件R及第二元件P。輥361可連接至第三線性驅動單元362，使輥361置於相對於第一元件R的表面的一角度。力施加單元363可設置在輥361與第三線性單元362之間，可朝向第一元件R施加力至輥361，且輥361可藉由對第二元件P施加壓力而貼附第一元件R與第二元件P的整體表面。
可以與上述相同或相似的方式操作用於製造顯示裝置的設備300。
在製備第一元件R與第二元件P之後，第一元件R可插入反應室310且可安裝在第一支持器330。第二元件P可安裝在預對準單元340的第二元件安裝槽342，預對準單元340可插入反應室310，且預對準單元340可安裝在第二支持器350。在可經由閘閥320打開反應室310之前，可將反應室310的內部壓力調整至與大氣壓力相等。
當完成將第二元件P安裝至預對準單元340時，可啟動泵382以經由連接管381自反應室310排出氣體至外部。反應室310可保持在真空。
基於藉由拍攝單元390拍攝影像，控制器可對準第一元件R與預對準單元340的位置。如上所述，對準可因為控制器經由對準單元351移動預對準單元340而進行。
一旦完成上述的製程，第一線性驅動單元352可線性移動第二支持器350，使預對準單元340與第一元件R相鄰。接著，第二線性驅動單元372可線性移動頭部部分371，使頭部部分371與第二元件P接觸。頭部部分371可施加力至第二元件P的各種位置。在部分實施例中，頭部部分371可施加壓力至第二元件P的寬度或長度方向的一端，例如沿著x-y平面上。第二元件P的兩端中的一端可貼附至第一元件R，且第二元件P的兩端中的另一端可與第一元件R相隔。在部分實施例中，頭部部分371可將第二元件P的中間部分貼附至第一元件R。
一旦第一元件R與第二元件P的貼附完成時，第二線性驅動單元372可線性移動頭部部分371，例如沿著z方向，使頭部部分374與第二元件P分離。
接著，進行輥361跨過第二元件P的滾動。第三線性驅動單元362藉由在第一元件R的寬度或長度方向上線性移動輥361而可完全地貼附第一元件R及第二元件P。在第二元件P的兩端中的一端貼附至第一元件R的情況下，第一元件R及第二元件P可於輥自第一元件R與第二元件P貼附著的部分移動至第一元件R與第二元件P未貼附著的部分時貼附。在第二元件P的中間部分貼附至第一元件R的情況下，可例如，藉由具有比由第二元件P的下垂而形成曲線大的半徑之輥361，貼附第一元件R與第二元件P。
在上述的操作期間，力施加單元363可朝向第一元件R施加力至輥361。泵382可抽吸連接管381中的空氣，且可使反應室310內部維持真空狀態。
根據用於製造顯示裝置的設備300及製造顯示裝置的方法，可有效地移除當第一元件R與第二元件P貼附時產生的氣泡，且可降低產品的缺陷。藉由利用預對準單元340可省略第二元件P的預對準製程，且可簡化用於製造顯示裝置的設備之結構及可使生產製程效率化。
第6圖係根據另一實施例，描繪用於製造顯示裝置的設備400之截面圖。參照第6圖，用於製造顯示裝置的設備400可包含反應室410、第一支持器430、預對準單元440、第二支持器450、第一線性驅動單元452、加壓單元460、插銷單元470、對準單元451、拍攝單元490以及壓力調整單元480。
反應室410、第一支持器430、預對準單元440、第二支持器450、第一線性驅動單元452、插銷單元470、對準單元451、拍攝單元490以及壓力調整單元480可與第1圖至第4圖所述之反應室110、第一支持器130、預對準單元140、第二支持器150、第一線性驅動單元152、插銷單元170、對準單元 151、拍攝單元 190以及壓力調整單元 180相同或相似，且將省略其之詳細敘述。
當第二元件P貼附至第一元件R時，加壓單元460可施加力至第二元件P，且第二元件P可貼附至第一元件R。加壓單元460可包含治具，以及用於施加力至治具)的第三線性驅動單元。
治具可被提供在各種位置。例如，治具可設置成與第二支持器450平行。第一支持器430可線性移動，且在部分的第二元件P貼附至第一元件R之後移動至治具上。在部分實施例中，治具可提供在第一支持器430的一側以為可旋轉的。在部分的第二元件P貼附至第一元件R之後，治具可藉由旋轉施加壓力至第二元件P。在下文中，為了便於說明，將主要以治具可提供在第一支持器430以為可旋轉的範例進行詳細描述。
用於製造顯示裝置的設備400可以與上述相同或相似的方式操作。
在製備第一元件R及第二元件P之後，第一元件R可插入反應室410且可安裝在第一支持器430。第二元件P可安裝在預對準單元440的第二元件安裝槽442，預對準單元440可插入反應室410，且預對準單元440可安裝在第二支持器450。可經由閘閥420打開反應室410之前，可將反應室410的內部壓力調整至與大氣壓力相等。
當完成第二元件P安裝至預對準單元440時，可啟動泵482以經由連接管481自反應室410排出氣體至外部。反應室410可保持在真空。
基於藉由拍攝單元490拍攝影像，控制器可對準第一元件R與預對準單元440的位置。如上所述，對準可 因為控制器經由對準單元451移動預對準單元440而進行。
一旦完成上述的製程，第一線性驅動單元452可線性移動第二支持器450，使預對準單元440與第一元件R相鄰。接著，第二線性驅動單元472可線性移動頭部部分471，使頭部部分471與第二元件P接觸。
一旦完成第一元件R與第二元件P的貼附，第二線性驅動單元472可線性移動頭部部分471，使頭部部分471與第二元件P分離。
接著，第三線性驅動單元可藉由旋轉治具而將第二元件P貼附至第一元件R。力可經由治具以自第二元件P的一端至其他端的方向上，施加至第二元件P，且可將形成在第一元件R與第二元件P之間的氣泡排出至外部。
在上述的操作期間，泵482可抽吸在連接管481中的空氣，且可使反應室410內部維持真空狀態。
根據用於製造顯示裝置的設備400及製造顯示裝置的方法，可有效地移除當第一元件R與第二元件P貼附時產生的氣泡，且可降低產品的缺陷。藉由利用預對準單元440可省略第二元件P的預對準製程，且可簡化用於製造顯示裝置的設備之結構及可使生產製程效率化。
藉由總結及回顧的方式，移動電子設備可包含顯示裝置以支援各種功能，例如，提供如影像及畫面的視覺訊息給使用者。隨著用於驅動顯示裝置的構件的變小，可增加顯示裝置相對於電子裝置的尺寸。可允許彎曲在平面狀態的顯示裝置的結構。
各種元件可用於顯示裝置，且元件可製造成彼此黏合。在結合製程中，利用用於製造顯示裝置的設備可能影響產品的性能和製造良率。
如上所述，根據一或多個上述例示性實施例，用於製造顯示裝置的設備及製造顯示裝置的方法可增加製造效率。
例示性實施例已於文中揭露，而儘管使用特定的術語，其僅以一般且描述性的意義使用及解釋，而非用於限制之目的。於部分範例中，除非有明確的表示，否則對於提出之本申請案之所屬技術領域具有通常知識者而言為顯而易知的是，與特定實施例結合之特性、特徵及/或元件可被單獨使用，或結合其他實施例中的特性、特徵及/或元件使用。據此，領域內具通常知識者將理解的是，在未脫離如以下申請專利範圍所述之本發明之精神與範疇下，可進行各種細節與形式上之修改。
100、300、400‧‧‧設備
110、310、410‧‧‧反應室
120、320、420‧‧‧閘閥
130、330、430‧‧‧第一支持器
140、340、440‧‧‧預對準單元
141‧‧‧主體部分
142、342、442‧‧‧第二元件安裝槽
143‧‧‧插入孔
150、350、450‧‧‧第二支持器
151、351、451‧‧‧對準單元
152、352、452‧‧‧第一線性驅動單元
170、370、470‧‧‧插銷單元
171、371、471‧‧‧頭部部分
172、372、472‧‧‧第二線性驅動單元
180、380、480‧‧‧壓力調整單元
181、381、481‧‧‧連接管
182、382、482‧‧‧泵
190、390、490‧‧‧拍攝單元
200‧‧‧顯示裝置
210‧‧‧基板
220‧‧‧緩衝層
230‧‧‧主動層
231‧‧‧源極區域
232‧‧‧通道區域
233‧‧‧汲極區域
240‧‧‧閘極絕緣層
250‧‧‧閘極電極
260‧‧‧中間絕緣層
270‧‧‧鈍化層
271‧‧‧源極電極
272‧‧‧汲極電極
280‧‧‧有機發光裝置
281‧‧‧像素電極
282‧‧‧中間層
283‧‧‧相對電極
290‧‧‧像素定義層
360‧‧‧貼附輥單元
361‧‧‧輥
362‧‧‧第三線性驅動單元
363‧‧‧力施加單元
460‧‧‧加壓單元
D‧‧‧顯示單元
E‧‧‧薄膜封裝層
H‧‧‧附著元件
H1‧‧‧接觸孔
H2‧‧‧孔洞
P‧‧‧第二元件
TFT‧‧‧薄膜電晶體
R‧‧‧第一元件
X、Y、Z‧‧‧方向
對於所屬領域具有通常知識者而言，藉由詳細描述例示性實施例時一併參照附圖而使特徵變得顯而易知，其中：
第1圖係根據實施例，描繪用於製造顯示裝置的設備之截面圖；
第2圖係為描繪第1圖的預對準單元之透視圖；
第3A圖至第3F圖係為描繪利用第1圖之用於製造顯示裝置的設備來製造顯示裝置之製程；
第4圖係為描繪藉由利用第1圖之用於製造顯示裝置的設備製造之顯示裝置之截面圖；
第5圖係根據另一實施例，描繪用於製造顯示裝置的設備之截面圖；以及
第6圖係根據另一實施例，描繪用於製造顯示裝置的設備之截面圖。
100‧‧‧設備
110‧‧‧反應室
120‧‧‧閘閥
130‧‧‧第一支持器
140‧‧‧預對準單元
150‧‧‧第二支持器
151‧‧‧對準單元
152‧‧‧第一線性驅動單元
170‧‧‧插銷單元
171‧‧‧頭部部分
172‧‧‧第二線性驅動單元
180‧‧‧壓力調整單元
181‧‧‧連接管
182‧‧‧泵
190‧‧‧拍攝單元
210‧‧‧基板
D‧‧‧顯示單元
E‧‧‧薄膜封裝層
H‧‧‧附著元件
P‧‧‧第二元件
R‧‧‧第一元件

Claims (15)

  1. 一種用於製造顯示裝置的設備，該設備包含： 一反應室； 一第一支持器，安裝有一第一元件，該第一支持器係在該反應室中； 一預對準單元，安裝有一第二元件； 一第二支持器，容納該預對準單元，該第二支持器位於該反應室中且與該第一支持器相對，以使該第二支持器沿著一第一方向相對於該第一支持器線性移動；以及 一插銷單元，藉由在該第一方向上延伸而將安裝在該預對準單元上的部份的該第二單元與該第一元件接觸，該插銷單元係在該反應室中。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該預對準單元包含： 一主體部分；以及 至少一第二元件安裝槽，相對於該主體部分的表面凹入。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之設備，其中該第二元件安裝槽包含部份的該插銷單元插入其中的一插入孔。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之設備，進一步包含一對準單元，以改變該第二支持器的位置且該第二支持器安裝在該對準單元。
  5. 如申請專利範圍第1項所述之設備，進一步包含一拍攝單元，拍攝該預對準單元的位置及該第一元件的位置的影像。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之設備，進一步包含一第一線性驅動單元，係連接至該第二支持器，該第一線性驅動單元沿著該第一方向線性移動該第二支持器。
  7. 如申請專利範圍第1項所述之設備，其中該插銷單元包含： 一頭部部分，接觸該第二元件，使一接觸區域係為一點或一線；以及 一第二線性驅動單元，連接至該頭部部分且沿著該第一方向線性移動該頭部部分。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之設備，進一步包含一壓力調整單元，連接至該反應室且調整該反應室的內部壓力。
  9. 一種顯示裝置的製造方法，該方法包含： 插入一第二元件至在一預對準單元中的至少一第二元件安裝槽，且將該第二元件安裝在該至少一第二元件安裝槽； 在一第一方向上線性移動該預對準單元，使該預對準單元與安裝在一反應室中之一第一支持器的一第一元件接觸； 藉由啟動一插銷單元使該第二元件與該第一元件接觸，其接觸區域係為一點或一線，而使部分的該第二元件貼附至該第一元件；以及 使該第一元件的整體表面與該第二元件的整體表面彼此貼附。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中貼附部分的該第二元件至該第一元件包含在該第一方向上線性移動該預對準單元，使該預對準單元遠離該第一元件。
  11. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該第一元件的整體表面與該第二元件的整體表面的彼此貼附包含將該反應室的內部壓力自一真空狀態調整成大氣壓力。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該第一元件的整體表面與該第二元件的整體表面的彼此貼附包含滾動一輥以跨過該第二元件。
  13. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中該第一元件的整體表面與該第二元件的整體表面的彼此貼附包含施加壓力至該第二元件。
  14. 如申請專利範圍第9項所述之方法，進一步包含在沿著該第一方向線性移動該預對準單元之前，在垂直於該第一方向的方向上對準該預對準單元與該第一元件。
  15. 如申請專利範圍第9項所述之方法，其中貼附部分的該第二元件至該第一元件，以及該第一元件的整體表面與該第二元件的整體表面的彼此貼附係在一真空狀態中進行。
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