KR20160036184A - 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title abstract description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 47
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 13
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 8
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 6
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 78
- 239000010408 film Substances 0.000 description 29
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 15
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 13
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 13
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 6
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 6
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 3
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 3
- 229910004205 SiNX Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 2
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000002595 magnetic resonance imaging Methods 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
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- G02F1/133325—Assembling processes
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- H10K50/00—Organic light-emitting devices
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- Optics & Photonics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
본 발명은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 개시한다. 본 발명은, 챔버와, 상기 챔버 내부에 설치되며, 제1 부재가 안착하는 제1 홀더와, 제2 부재가 삽입되어 안착되는 프리얼라인부와, 상기 챔버 내부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 상기 프리얼라인부가 안착하는 제2 홀더와, 상기 챔버 내부에 설치되며, 길이가 가변하여 상기 프리얼라인부의 상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 핀유닛을 포함한다.
Description
본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.
이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.
상기와 같은 표시 장치는 다양한 부재를 사용할 수 있으며, 이러한 부재는 서로 합착하여 제조할 수 있다. 이러한 합착 공정에서 사용되는 제조 장치는 제품의 성능 및 제조 수율에 영향을 미칠 수 있다.
본 발명의 실시예들은 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예는 챔버와, 상기 챔버 내부에 설치되며, 제1 부재가 안착하는 제1 홀더와, 제2 부재가 삽입되어 안착되는 프리얼라인부와, 상기 챔버 내부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 상기 프리얼라인부가 안착하는 제2 홀더와, 상기 챔버 내부에 설치되며, 길이가 가변하여 상기 프리얼라인부의 상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 핀유닛을 포함하는 표시 장치의 제조 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 프리얼라인부는, 바디부와, 상기 바디부의 표면으로부터 인입되도록 형성되는 적어도 하나 이상의 제2 부재안착홈을 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부재안착홈에는 상기 핀유닛의 일부가 삽입되는 삽입홀이 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 홀더가 안착되며, 상기 제2 홀더의 위치를 가변시키는 얼라인부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 프리얼라인부와 기판의 위치를 촬영하는 촬영부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 홀더와 연결되도록 설치되며, 상기 제2 홀더를 선형 운동시키는 제1 선형구동부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 핀유닛은, 상기 제2 부재와 점 접촉 또는 선 접촉하는 헤드부와, 상기 헤드부와 연결되어 상기 헤드부를 선형 운동시키는 제2 선형구동부를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 헤드부는 적어도 일부분이 절연물질로 형성될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 챔버에 연결되어 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 압력조절부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 압력조절부는, 상기 챔버와 연결되는 연결배관과, 상기 연결배관에 설치되어 상기 연결배관의 기체를 흡입하여 외부로 배출시키거나 외부의 기체를 상기 연결배관으로 공급하는 펌프를 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 제2 부재를 상기 제1 부재에 라미네이션하는 합착롤러부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 합착롤러부는, 상기 제1 부재에 적어도 일부분이 부착된 상기 제2 부재의 표면을 롤링하는 롤러와, 상기 롤러에 연결되어 상기 롤러를 상기 제1 부재의 길이 방향 또는 폭 방향으로 선형 운동시키는 제3 선형구동부를 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 합착롤러부는, 상기 제3 선형구동부와 상기 롤러 사이에 설치되어 상기 롤러를 상기 제1 부재 측으로 가력하는 가력부를 더 구비할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 챔버 내부에 배치되어 상기 제2 부재를 가력하여 상기 제1 부재에 부착시키는 프레스부를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 프레스부는 상기 제1 홀더에 회동 가능하도록 설치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 프리얼라인부의 표면은 절연처리될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는 제2 부재를 프리얼라인부에 형성된 적어도 하나 이상의 제2 부재안착홈에 삽입하여 안착시키는 단계와, 상기 프리얼라인부를 선형 운동시켜 제1 홀더에 안착된 제1 부재에 접촉시키는 단계와, 핀유닛을 작동시켜 상기 제2 부재를 상기 제1 부재에 점 접촉 또는 선 접촉시켜 상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 단계와, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전체면을 부착시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 단계는, 상기 프리얼라인부를 상기 제1 부재로부터 멀어지도록 선형 운동시키면서 수행될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 챔버 내부를 진공에서 상압으로 변경시켜 차압에 의하여 부착할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 롤러로 상기 제2 부재를 롤링하여 상기 제1 부재와 상기 제2 부재를 부착시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 프레스로 상기 제2 부재를 가압하여 상기 제1 부재와 상기 제2 부재를 부착시킬 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 프리얼라인부와 상기 제1 부재의 위치를 얼라인하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 단계 및 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 진공 상태에서 수행될 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다.
이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법은 제조 효율을 증대시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 프리얼라인부를 보여주는 사시도이다.
도 3a 내지 3F는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 표시 장치를 제조하는 순서를 보여주는 순서도이다.
도 4는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 프리얼라인부를 보여주는 사시도이다.
도 3a 내지 3F는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 표시 장치를 제조하는 순서를 보여주는 순서도이다.
도 4는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다. 도 2는 도 1에 도시된 프리얼라인부를 보여주는 사시도이다.
도 1 및 도 2를 참고하면, 표시 장치의 제조 장치(100)는 챔버(110), 제1 홀더(130), 프리얼라인부(140), 제2 홀더(150), 제1 선형구동부(152), 핀유닛(170), 얼라인부(151), 촬영부(190) 및 압력조절부(180)를 포함할 수 있다.
챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있다. 이때, 챔버(110)는 일부가 개구되도록 형성될 수 있다. 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(120)가 설치되어 개구부를 개폐할 수 있다.
제1 홀더(130)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 설치될 수 있다. 이때, 제1 홀더(130)는 제1 부재(R)가 안착되도록 일반적인 브라켓 형태로 형성되거나 제1 부재(R)를 클램핑하도록 클램프(Clamp) 형태로 형성되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 홀더(130)가 일반적인 브라켓 형태로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
프리얼라인부(140)는 다양한 재질로 형성될 수 있다. 예를 들면, 프리얼라인부(140)는 플라스틱, 실리콘 등과 같은 절연 물질로 형성될 수 있다. 또한, 프리얼라인부(140)는 알루미늄이나 서스(SUS) 등과 같은 금속 재질로 형성될 수 있다. 이때, 프리얼라인부(140)의 표면은 절연 처리될 수 있다. 예를 들면, 프리얼라인부(140)이 금속 재질로 형성되는 경우 프리얼라인부(140)의 표면은 어노다이징(Anodizing) 처리되거나 표면에 플라스틱이나, 고무 등과 같은 절연 물질이 도포되거나 코팅될 수 있다. 따라서 프리얼라인부(140)는 제2 부재(P)가 안착되거나 제1 부재(R)와 접촉하는 경우 정전기 등으로 인하여 제1 부재(R) 및 제2 부재(P) 중 적어도 하나가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
상기와 같은 프리얼라인부(140)는 바디부(141)와, 바디부(141)에 형성되어 접착부재(H)가 형성된 제2 부재(P)가 안착하는 제2 부재안착홈(142)을 구비할 수 있다. 이때, 제2 부재안착홈(142)은 바디부(141)의 표면으로부터 인입되도록 형성됨으로써 제2 부재(P)의 안착 후 제2 부재(P)의 프리얼라인(Pre-align)을 수행할 필요가 없다. 상기와 같은 제2 부재안착홈(142)에는 핀유닛(170)의 일부가 통과하는 삽입홀(143)이 형성될 수 있다. 이때, 제2 부재안착홈(142)의 면적은 삽입홀(143)의 면적보다 크게 형성될 수 있다.
제2 부재안착홈(142)은 바디부(141)의 표면에 적어도 한 개 이상 형성될 수 있다. 이때, 제2 부재안착홈(142)이 복수개 구비되는 경우 복수개의 제2 부재안착홈(142)은 서로 일정 간격 이격되어 형성될 수 있다.
제2 홀더(150)는 프리얼라인부(140)를 고정시킬 수 있다. 이때, 제2 홀더(150)는 제1 홀더(130)와 유사하도록 일반적인 브라켓 형태 또는 클램프 형태로 형성될 수 있다. 또한, 제2 홀더(150)는 챔버(110) 내부에서 선형 운동할 수 있다. 예를 들면, 제2 홀더(150)는 도 1에 도시된 바와 같이 챔버(110)의 상하로 선형 운동할 수 있다.
제1 선형구동부(152)는 제2 홀더(150)를 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 제1 선형구동부(152)는 일반적인 리니어 모터를 구비할 수 있다. 다른 실시예로써 제1 선형구동부(152)는 일반적인 모터, 기어, 기어에 치합하는 랙기어를 구비할 수 있다. 또 다른 실시예로써 제1 선형구동부(152)는 길이가 가변하는 실린더를 구비할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 선형구동부(152)가 리니어 모터인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 핀유닛(170)은 길이 가변함으로써 제2 부재(P)를 제1 부재(R)에 점 접촉 또는 선 접촉 시킨 후 제2 부재(P)의 일부를 제1 부재(R)에 접착시킬 수 있다. 이때, 핀유닛(170)은 제2 부재(P)와 점 접촉 또는 선 접촉하는 헤드부(171)와, 헤드부(171)와 연결되어 헤드부(171)를 선형운동시키는 제2 선형구동부(172)를 구비할 수 있다.
헤드부(171)는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 헤드부(171)는 제2 부재(P)와 점 접촉하도록 반구 형태로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 헤드부(171)는 제2 부재(P)와 선 접촉하도록 단면적이 반원인 기둥 형태로 형성될 수 있다. 이때, 헤드부(171)의 형상은 상기에 한정되는 것은 아니며 제2 부재(P)와 점 접촉 또는 선 접촉하는 형상을 모두 포함할 수 있다.
헤드부(171)는 절연 물질로 형성되거나 표면이 절연 처리될 수 있다. 구체적으로 헤드부(171)는 플라스틱, 실리콘, 세라믹 등과 같은 절연 물질로 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 헤드부(171)는 금속 재질로 형성되며, 표면의 적어도 일부분에 절연 물질이 설치되거나 어노다이징 처리될 수 있다. 특히 제2 부재(P)와 접촉하는 헤드부(171) 부분이 절연 처리될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 헤드부(171)가 절연 물질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
제2 선형구동부(172)는 제1 선형구동부(152)와 유사하게 형성될 수 있다. 구체적으로 제2 선형구동부(172)는 모터와 기어, 랙 기어를 구비하고, 헤드부(171)는 랙 기어에 연결되어 선형 운동할 수 있다. 다른 실시예로써 제2 선형구동부(172)는 헤드부(171)와 연결되는 실린더를 구비할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제2 선형구동부(172)가 실린더인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 얼라인부(151)는 프리얼라인부(140)가 안착되는 제2 홀더(150)와 연결될 수 있다. 얼라인부(151)는 제2 홀더(150)를 서로 상이한 3방향으로 이동시킬 수 있다. 이때, 얼라인부(151)는 일반적인 디스플레이 분야에서 사용되는 얼라인부와 서로 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
촬영부(190)는 챔버(110) 내부에 설치되어 프리얼라인부(140)와 제1 부재(R)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 촬영부(190)는 프리얼라인부(140)와 제1 부재(R)의 형상을 촬영할 수 있다. 또한, 프리얼라인부(140)와 제1 부재(R)에는 각각 얼라인마크가 구비되는 경우 각 얼라인마크를 촬영할 수 있다.
압력조절부(180)는 챔버(110)에 연결되는 연결배관(181) 및 연결배관(181)에 설치되어 연결배관(181)의 기체를 외부로 배출시키거나 외부의 기체를 연결배관(181)으로 공급하는 펌프(182)를 구비할 수 있다.
한편, 표시 장치의 제조 장치(100)는 각 구성요소를 제어하는 제어부(미도시)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 제어부는 챔버(110)에 설치되는 회로기판, 외부에 유선 또는 무선으로 연결되는 컴퓨터, 휴대폰 등과 같은 단말기를 포함할 수 있다.
이하에서는 표시 장치의 제조 장치(100)를 통하여 표시 장치(미표기)를 제조하는 방법에 대해서 상세히 설명하기로 한다.
도 3a 내지 3F는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 표시 장치를 제조하는 순서를 보여주는 순서도이다. 도 4는 도 1에 도시된 표시 장치의 제조 장치를 통하여 제조된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.
도 3a 내지 도 4를 참고하면, 우선 제1 부재(R)와 제2 부재(P)를 제조하여 준비할 수 있다. 이때, 제1 부재(R)와 제2 부재(P)는 다양한 부재일 수 있다. 예를 들면, 제1 부재(R) 또는 제2 부재(P)는 표시 장치(200), 커버윈도우, 터치패널, 기판(210), 보호필름, 광학필름 또는 편광필름 등을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부재(R)는 표시 장치(200)이며 제2 부재(P)는 편광필름인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같은 표시 장치(200)는 다양한 형태일 수 있다. 예를 들면, 표시 장치(200)는 액정 디스플레이 패널, 플라즈마 디스플레이 패널 또는 유기 발광 디스플레이 패널을 구비할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 표시 장치(200)가 유기 발광 디스플레이 패널을 구비하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
상기와 같이 제1 부재(R)와 제2 부재(P)가 준비되는 경우 제2 부재(P)에는 접착부재(H)가 형성된 상태일 수 있다. 이때, 접착부재(H)는 일반적으로 사용되는 접착제 또는 광학점착필름(OCA, Optically clear adhesive film)일 수 있다.
이후 제2 부재(P)를 프리얼라인부(140)에 형성된 제2 부재안착홈(142)에 안착할 수 있다. 이때, 제2 부재(P)는 복수개가 각각 복수개의 제2 부재안착홈(142)에 안착될 수 있다. 특히 상기와 같이 각 제2 부재(P)가 각 제2 부재안착홈(142)에 안착하는 경우 제2 부재(P)는 별도의 프리얼라인을 수행할 필요가 없다.
구체적으로 일반적으로 제2 부재(P)를 제1 부재(R)에 부착하기 위해서 제2 부재(P)를 별도의 프리얼라인 공정을 수행한 후 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 정밀 얼라인을 수행한다. 이때, 프리얼라인은 별도의 스테이지에 제2 부재(P)를 안착한 후 제2 부재(P)를 일방향으로 이동시켜 블록 등에 모서리를 접촉시키는 공정을 통하여 수행할 수 있다.
그러나 본 실시예들에 따르면 프리얼라인부(140)의 제2 부재안착홈(142)에 제2 부재(P)를 삽입함으로써 프리얼라인 공정이 완료될 수 있다. 따라서 표시 장치의 제조 장치(100) 및 표시 장치의 제조 방법은 간편한 구조를 통하여 제2 부재(P)의 프리얼라인이 가능함으로써 작업에 필요한 공간을 최소화할 수 있고, 작업시간을 단축시킬 수 있다.
한편, 상기와 같이 제2 부재(P)의 배치가 완료되면, 로봇암 등을 통하여 프리얼라인부(140)를 챔버(110) 내부로 삽입할 수 있다. 이때, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압 상태로 형성시킬 수 있으며, 게이트밸브(120)는 챔버(110)의 개구된 부분을 개방시킬 수 있다.
상기와 같이 제2 부재(P)의 프리얼라인부(140)를 챔버(110) 내부로 삽입하기 전이나 삽입하는 동안 제1 부재(R)도 챔버(110) 내부로 삽입될 수 있다. 이때, 제1 부재(R)를 챔버(110) 내부로 삽입하는 방법은 제2 부재(P)를 챔버(110) 내부로 삽입하는 방법과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
제1 부재(R)와 제2 부재(P)가 챔버(110)에 진입하면, 제1 부재(R)와 제2 부재(P)는 각각 제1 홀더(130)와 제2 홀더(150)에 안착할 수 있다. 이후 펌프(182)가 작동하여 연결배관(181) 내부의 기체를 외부로 배출시켜 챔버(110) 내부의 분위기를 진공 상태로 유지시킬 수 있다.
촬영부(190)는 제1 부재(R)와 프리얼라인부(140)의 위치를 촬영하여 상기 제어부로 전송할 수 있다. 상기 제어부는 촬영부(190)에서 전송된 이미지를 근거로 기 설정된 위치와 제1 부재(R)의 위치 및 프리얼라인부(140)의 위치를 비교하여 제1 부재(R)와 프리얼라인부(140)의 얼라인 여부를 판별할 수 있다.
상기 제어부는 제1 부재(R)의 위치와 프리얼라인부(140)의 위치가 서로 어긋난 것으로 판단되면, 프리얼라인부(140)의 위치를 조정하도록 얼라인부(151)를 제어할 수 있다. 반면, 제1 부재(R)의 위치와 프리얼라인부(140)의 위치가 정렬된 것으로 판단되면, 상기 제어부는 후속 공정을 진행할 수 있다.(도 3a 참고)
상기와 같이 제1 부재(R)의 위치와 프리얼라인부(140)의 위치의 정렬이 완료되면, 제1 선형구동부(152)가 작동하여 제2 홀더(150)를 선형 운동시켜 프리얼라인부(140)를 제1 부재(R)에 인접시킬 수 있다.(도 3b 참고)
이후 제2 선형구동부(172)가 작동하여 헤드부(171)를 상승시키고, 삽입홀(143)을 통과한 헤드부(171)는 제2 부재(P)를 점 접촉 또는 선 접촉하여 가력할 수 있다. 이때, 제2 부재(P)와 제1 부재(R)는 접착부재(H)에 의하여 일정 영역만 접착될 수 있다.(도 3c 참고)
상기의 과정이 진행되는 동안 제1 선형구동부(152)가 작동하여 프리얼라인부(140)를 제1 부재(R)로부터 이격되도록 선형 운동시킬 수 있다.(도 3d 참고) 이후 제2 선형구동부(172)가 작동하여 헤드부(171)를 제2 부재(P)로부터 분리시킬 수 있다.(도 3e 참고)
상기의 과정이 완료되면, 펌프(182)를 작동시켜 외부의 기체를 연결배관(181)을 통하여 챔버(110) 내부로 공급할 수 있다. 이때, 챔버(110) 내부는 순간적으로 각 영역에서 압력차가 발생할 수 있다. 특히 연결배관(181)과 인접한 챔버(110) 부분은 상대적으로 고압이 형성되고, 제1 부재(R)와 제2 부재(P) 부분은 상대적으로 저압이 형성될 수 있다. 상기와 같은 압력차에 의하여 제2 부재(P)는 제1 부재(R) 측으로 가압되되어 제1 부재(R)와 제2 부재(P)는 부착될 수 있다. 이때, 제1 부재(R)와 제2 부재(P)는 순간적으로 부착되고, 제1 부재(R)와 제2 부재(P) 사이는 진공 상태를 유지함으로써 기포가 발생하지 않고 정확하게 서로 부착될 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조 장치(100) 및 표시 장치의 제조 방법은 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 부착 시 기포가 발생하지 않음으로써 불량률을 최소화할 수 있다.
또한, 표시 장치의 제조 장치(100) 및 표시 장치의 제조 방법은 간편하게 제2 부재(P)를 프리얼라인할 수 있으며, 작업 동선이 짧아지고 작업 시간을 단축할 수 있다.
한편, 상기와 같이 제조된 표시 장치(200)는 제1 부재(R), 제2 부재(P) 및 접착부재(H)를 포함할 수 있다. 이때, 제1 부재(R)는 기판(210) 및 표시부(D)를 포함할 수 있다. 또한, 제1 부재(R)는 표시부(D)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 또는 봉지 기판(미도시)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 봉지 기판은 일반적인 디스플레이 장치에 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 또한, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1 부재(R)가 박막 봉지층(E)를 포함하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(210) 상에 표시부(D)가 형성될 수 있다. 이때, 표시부(D)는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(270)이 형성되며, 이 패시베이션막(270) 상에 유기 발광 소자(280)가 형성될 수 있다.
이때, 기판(210)은 유리 재질을 사용할 수 있는 데, 반드시 이에 한정되지 않으며, 플라스틱재를 사용할 수도 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(210)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(210)이 유리 재질로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
기판(210)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(220)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.
이 버퍼층(220) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(230)이 형성된 후, 활성층(230)이 게이트 절연층(240)에 의해 매립된다. 활성층(230)은 소스 영역(231)과 드레인 영역(233)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(232)을 더 포함한다.
이러한 활성층(230)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(230)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(230)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(230)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(230)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
이러한 활성층(230)은 버퍼층(220) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(230)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(231) 및 드레인 영역(233)이 불순물에 의해 도핑된다.
게이트 절연층(240)의 상면에는 활성층(230)과 대응되는 게이트 전극(250)과 이를 매립하는 층간 절연층(260)이 형성된다.
그리고, 층간 절연층(260)과 게이트 절연층(240)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(260) 상에 소스 전극(271) 및 드레인 전극(272)을 각각 소스 영역(231) 및 드레인 영역(233)에 콘택되도록 형성한다.
이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(270)이 형성되고, 이 패시베이션막(270) 상부에 유기 발광 소자(280,OLED)의 화소 전극(281)이 형성된다. 이 화소 전극(281)은 패시베이션막(270)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(272)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(270)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(270)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.
패시베이션막(270) 상에 화소 전극(281)을 형성한 후에는 이 화소 전극(281) 및 패시베이션막(270)을 덮도록 화소 정의막(290)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(281)이 노출되도록 개구된다.
그리고, 적어도 상기 화소 전극(281) 상에 중간층(282) 및 대향 전극(283)이 형성된다.
화소 전극(281)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(283)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(281)과 대향 전극(283)의 극성은 반대로 되어도 무방하다.
화소 전극(281)과 대향 전극(283)은 상기 중간층(282)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(282)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.
중간층(282)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(282)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다.
한편, 하나의 단위 화소(P)는 복수의 부화소(R,G,B)로 이루어지는데, 복수의 부화소(R,G,B)는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소(R,G,B)는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소(R,G,B)를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다.
한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.
박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al2O3, SiO2, TiO2 중 어느 하나를 포함할 수 있다.
박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자(280)에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.
박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다.
박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(280,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층을 포함할 수 있다.
다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(280,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층, 제 2 유기층, 제 3 무기층을 포함할 수 있다.
또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(280,OLED)의 상부로부터 순차적으로 제 1 무기층, 제 1 유기층, 제 2 무기층, 상기 제 2 유기층, 제 3 무기층, 제 3 유기층, 제 4 무기층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자(280,OLED)와 제 1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제 1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(280,OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.
제 1 유기층은 제 2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제 2 유기층도 제 3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.
제2 부재(P)는 상기에서 설명한 편광필름을 구비할 수 있다. 이때, 상기 편광필름은 일반적으로 디스플레이 분야에서 사용되는 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
따라서 상기와 같이 제조된 표시 장치(200)는 제1 부재(R)와 제2 부재(P) 사이에 기포가 발생하지 않음으로써 선명한 화질을 구현할 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다.
도 5를 참고하면, 표시 장치의 제조 장치(300)는 챔버(310), 제1 홀더(330), 프리얼라인부(340), 제2 홀더(350), 제1 선형구동부(352), 합착롤러부(360), 핀유닛(370), 얼라인부(351), 촬영부(390) 및 압력조절부(380)를 포함할 수 있다.
이때, 챔버(310), 제1 홀더(330), 프리얼라인부(340), 제2 홀더(350), 제1 선형구동부(352), 핀유닛(370), 얼라인부(351), 촬영부(390) 및 압력조절부(380)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 챔버(110), 제1 홀더(130), 프리얼라인부(140), 제2 홀더(150), 제1 선형구동부(152), 핀유닛(170), 얼라인부(151), 촬영부(190) 및 압력조절부(180)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
합착롤러부(360)는 롤러(361), 제3 선형구동부(362) 및 가력부(363)를 구비할 수 있다. 롤러(361)는 회전 가능하도록 제3 선형구동부(362)에 설치되어 롤링함으로써 제1 부재(R)와 제2 부재(P)를 합착할 수 있다. 이때, 롤러(361)는 제1 부재(R)의 표면과 경사지도록 제3 선형구동부(362)에 연결될 수 있다. 또한, 가력부(363)는 롤러(361)와 제3 선형구동부(362) 사이에 배치되어 롤러(361)를 제1 부재(R) 측으로 가력할 수 있다. 따라서 롤러(361)가 제2 부재(P)를 가압함으로써 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 전면을 부착시킬 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조 장치(300)의 작동을 살펴보면, 상기에서 설명한 것과 동일 유사하게 형성될 수 있다.
구체적으로 제1 부재(R) 및 제2 부재(P)를 준비한 후 제1 부재(R)를 챔버(310) 내부로 삽입하여 제1 홀더(330)에 안착할 수 있다. 또한, 제2 부재(P)는 프리얼라인부(340)의 제2 부재안착홈(342)에 안착하여 프리얼라인부(340)를 챔버(310) 내부로 삽입하여 프리얼라인부(340)를 제2 홀더(350)에 안착할 수 있다. 이때, 게이트밸브(320)를 통하여 챔버(310)를 개방하기 전에 챔버(310) 내부의 압력을 대기압 상태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같이 제1 부재(R)와 프리얼라인부(340)의 안착이 완료되면, 펌프(382)가 작동하여 연결배관(381)을 통하여 챔버(310) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다. 이때, 챔버(310)는 진공 상태를 유지할 수 있다.
촬영부(390)에서 촬영된 이미지를 근거로 제어부(미도시)에서 제1 부재(R)와 프리얼라인부(340)의 위치를 정렬할 수 있다. 이때, 정렬한 방법은 상기에서 설명한 것과 같이 상기 제어부가 얼라인부(351)를 통하여 프리얼라인부(340)를 이동시키는 방법이 사용될 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 제1 선형구동부(352)는 프리얼라인부(340)가 제1 부재(R)에 인접하도록 제2 홀더(350)를 선형 운동시킬 수 있다. 이후 제2 선형구동부(372)는 헤드부(371)를 제2 부재(P)에 접촉시키도록 선형 운동시킬 수 있다. 이때, 헤드부(371)는 제2 부재(P)를 다양한 위치에서 가력할 수 있다. 일 실시예로써 헤드부(371)는 제2 부재(P)의 폭 방향 또는 길이 방향의 끝단을 가압할 수 있다. 따라서 제2 부재(P)의 양끝단 중 하나는 제1 부재(R)와 접착되고 제2 부재(P)의 양끝단 중 다른 하나는 제1 부재(R)와 떨어진 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 헤드부(371)는 제2 부재(P)의 중앙 부위를 제1 부재(R)와 접착시킬 수 있다.
상기와 같이 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 일부의 접착이 완료되면, 제2 선형구동부(372)는 헤드부(371)를 제2 부재(P)로부터 이격시키도록 헤드부(371)를 선형 운동시킬 수 있다.
이후 제3 선형구동부(362)는 롤러(361)를 제1 부재(R)의 폭 방향 또는 길이 방향으로 선형 운동시킴으로써 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 완전히 부착시킬 수 있다. 이때, 제2 부재(P)의 양단 중 하나가 제1 부재(R)에 접착되는 경우, 롤러(361)의 진행 방향은 제1 부재(R)와 제2 부재(P)가 접착된 부분에서 제1 부재(R)와 제2 부재(P)가 접착되지 않은 부분으로 이동하면서 제1 부재(R)와 제2 부재(P)를 접착시킬 수 있다. 또한, 다른 실시예로써 제2 부재(P)의 중앙 부분이 제1 부재(R)와 접착되는 경우, 롤러(361)의 반지름은 제2 부재(P)의 쳐짐 등으로 인한 곡선보다 크게 형성됨으로써 제1 부재(R)와 제2 부재(P)를 부착시킬 수 있다.
상기와 같은 작업이 진행되는 동안 가력부(363)는 롤러(361)를 제1 부재(R) 측으로 가력할 수 있다. 또한, 펌프(382)는 연결배관(381) 내부의 공기를 흡입하여 챔버(310) 내부를 진공 상태로 유지시킬 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조 장치(300) 및 표시 장치의 제조 방법은 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 합착 시 발생하는 기포를 효과적으로 제거함으로써 제품의 불량률을 저감시킬 수 있다. 또한, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법은 프리얼라인부(340)를 사용함으로써 제2 부재(P)의 프리얼라인 공정을 생략함으로써 구조를 간단히 할 수 있고, 생산공정을 최소화할 수 있다.
도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 표시 장치의 제조 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6을 참고하면, 표시 장치의 제조 장치(400)는 챔버(410), 제1 홀더(430), 프리얼라인부(440), 제2 홀더(450), 제1 선형구동부(452), 프레스부(460), 핀유닛(470), 얼라인부(451), 촬영부(490) 및 압력조절부(480)를 포함할 수 있다.
이때, 챔버(410), 제1 홀더(430), 프리얼라인부(440), 제2 홀더(450), 제1 선형구동부(452), 핀유닛(470), 얼라인부(451), 촬영부(490) 및 압력조절부(480)는 상기 도 1 내지 도 4에서 설명한 챔버(110), 제1 홀더(130), 프리얼라인부(140), 제2 홀더(150), 제1 선형구동부(152), 핀유닛(170), 얼라인부(151), 촬영부(190) 및 압력조절부(180)와 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다.
프레스부(460)는 제2 부재(P)가 부착하는 경우 제2 부재(P)를 가력하여 제1 부재(R)에 합착시킬 수 있다. 이때, 프레스부(460)는 지그(미표기)와, 상기 지그를 가력하는 제3 선형구동부(미도시)를 구비할 수 있다.
상기와 같은 상기 지그는 다양한 위치에 설치될 수 있다. 예를 들면, 상기 지그는 제2 홀더(450)와 평행하게 배치될 수 있다. 이때, 제1 홀더(430)는 선형 운동 가능하도록 설치되어 제2 부재(P)의 일부가 제1 부재(R)에 부착 후 상기 지그 상으로 이동할 수 있다. 또한, 상기 지그는 상기의 경우 이외에도 제1 홀더(430)의 측면에 회동 가능하도록 설치될 수 있다. 이때, 상기 지그는 제2 부재(P)의 일부가 제1 부재(R)에 부착 후 회동함으로써 제2 부재(P)를 가압할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 상기 지그가 제1 홀더(430)에 회동 가능하도록 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조 장치(400)의 작동을 살펴보면, 상기에서 설명한 것과 동일 유사하게 형성될 수 있다.
구체적으로 제1 부재(R) 및 제2 부재(P)를 준비한 후 제1 부재(R)를 챔버(410) 내부로 삽입하여 제1 홀더(430)에 안착할 수 있다. 또한, 제2 부재(P)는 프리얼라인부(440)의 제2 부재안착홈(442)에 안착하여 프리얼라인부(440)를 챔버(410) 내부로 삽입하여 프리얼라인부(440)를 제2 홀더(450)에 안착할 수 있다. 이때, 게이트밸브(420)를 통하여 챔버(410)를 개방하기 전에 챔버(410) 내부의 압력을 대기압 상태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같이 제1 부재(R)와 프리얼라인부(440)의 안착이 완료되면, 펌프(482)가 작동하여 연결배관(481)을 통하여 챔버(410) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다. 이때, 챔버(410)는 진공 상태를 유지할 수 있다.
촬영부(490)에서 촬영된 이미지를 근거로 제어부(미도시)에서 제1 부재(R)와 프리얼라인부(440)의 위치를 정렬할 수 있다. 이때, 정렬한 방법은 상기에서 설명한 것과 같이 상기 제어부가 얼라인부(451)를 통하여 프리얼라인부(440)를 이동시키는 방법이 사용될 수 있다.
상기의 과정이 완료되면, 제1 선형구동부(452)는 프리얼라인부(440)가 제1 부재(R)에 인접하도록 제2 홀더(450)를 선형 운동시킬 수 있다. 이후 제2 선형구동부(472)는 헤드부(471)를 제2 부재(P)에 접촉시키도록 선형 운동시킬 수 있다. 1
상기와 같이 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 일부의 접착이 완료되면, 제2 선형구동부(472)는 헤드부(471)를 제2 부재(P)로부터 이격시키도록 헤드부(471)를 선형 운동시킬 수 있다.
이후 상기 제3 선형구동부는 상기 지그를 회동시켜 제2 부재(P)를 제1 부재(R)에 합착시킬 수 있다. 이때, 상기 지그는 제2 부재(P)의 일단으로부터 제2 부재(P)의 타단으로 가력함으로써 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 합착 시 제1 부재(R)와 제2 부재(P) 사이의 기포를 외부로 배출시킬 수 있다.
상기와 같은 작업이 진행되는 동안 펌프(482)는 연결배관(481) 내부의 공기를 흡입하여 챔버(410) 내부를 진공 상태로 유지시킬 수 있다.
따라서 표시 장치의 제조 장치(400) 및 표시 장치의 제조 방법은 제1 부재(R)와 제2 부재(P)의 합착 시 발생하는 기포를 효과적으로 제거함으로써 제품의 불량률을 저감시킬 수 있다. 또한, 표시 장치의 제조 장치 및 표시 장치의 제조 방법은 프리얼라인부(440)를 사용함으로써 제2 부재(P)의 프리얼라인 공정을 생략함으로써 구조를 간단히 할 수 있고, 생산공정을 최소화할 수 있다.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100,300,400: 표시 장치의 제조 장치
110,310,410: 챔버
120,320,420: 게이트밸브
130,330,430: 제1 홀더
140,340,440: 프리얼라인부
150,350,450: 제2 홀더
151,351,451: 얼라인부
152,352,452: 제1 선형구동부
170,370,470: 핀유닛
180,380,480: 압력조절부
190,390,490: 촬영부
200: 표시 장치
210: 기판
220: 버퍼층
230: 활성층
240: 게이트 절연층
250: 게이트 전극
260: 층간 절연층
270: 패시베이션막
280: 유기 발광 소자
290: 화소 정의막
110,310,410: 챔버
120,320,420: 게이트밸브
130,330,430: 제1 홀더
140,340,440: 프리얼라인부
150,350,450: 제2 홀더
151,351,451: 얼라인부
152,352,452: 제1 선형구동부
170,370,470: 핀유닛
180,380,480: 압력조절부
190,390,490: 촬영부
200: 표시 장치
210: 기판
220: 버퍼층
230: 활성층
240: 게이트 절연층
250: 게이트 전극
260: 층간 절연층
270: 패시베이션막
280: 유기 발광 소자
290: 화소 정의막
Claims (23)
- 챔버;
상기 챔버 내부에 설치되며, 제1 부재가 안착하는 제1 홀더;
제2 부재가 삽입되어 안착되는 프리얼라인부;
상기 챔버 내부에 선형 운동 가능하도록 설치되며, 상기 프리얼라인부가 안착하는 제2 홀더; 및
상기 챔버 내부에 설치되며, 길이가 가변하여 상기 프리얼라인부의 상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 핀유닛;을 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 프리얼라인부는,
바디부;
상기 바디부의 표면으로부터 인입되도록 형성되는 적어도 하나 이상의 제2 부재안착홈;을 구비하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 2 항에 있어서,
상기 제2 부재안착홈에는 상기 핀유닛의 일부가 삽입되는 삽입홀이 형성되는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제2 홀더가 안착되며, 상기 제2 홀더의 위치를 가변시키는 얼라인부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 프리얼라인부와 기판의 위치를 촬영하는 촬영부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 제2 홀더와 연결되도록 설치되며, 상기 제2 홀더를 선형 운동시키는 제1 선형구동부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 핀유닛은,
상기 제2 부재와 점 접촉 또는 선 접촉하는 헤드부; 및
상기 헤드부와 연결되어 상기 헤드부를 선형 운동시키는 제2 선형구동부;를 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 헤드부는 적어도 일부분이 절연물질로 형성되는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 챔버에 연결되어 상기 챔버 내부의 압력을 조절하는 압력조절부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 9 항에 있어서,
상기 압력조절부는,
상기 챔버와 연결되는 연결배관; 및
상기 연결배관에 설치되어 상기 연결배관의 기체를 흡입하여 외부로 배출시키거나 외부의 기체를 상기 연결배관으로 공급하는 펌프;를 구비하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 챔버 내부에 배치되어 상기 제2 부재를 상기 제1 부재에 라미네이션하는 합착롤러부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 11 항에 있어서,
상기 합착롤러부는,
상기 제1 부재에 적어도 일부분이 부착된 상기 제2 부재의 표면을 롤링하는 롤러;
상기 롤러에 연결되어 상기 롤러를 상기 제1 부재의 길이 방향 또는 폭 방향으로 선형 운동시키는 제3 선형구동부;를 구비하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 12 항에 있어서,
상기 합착롤러부는,
상기 제3 선형구동부와 상기 롤러 사이에 설치되어 상기 롤러를 상기 제1 부재 측으로 가력하는 가력부;를 더 구비하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 챔버 내부에 배치되어 상기 제2 부재를 가력하여 상기 제1 부재에 부착시키는 프레스부;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 장치. - 제 14 항에 있어서,
상기 프레스부는 상기 제1 홀더에 회동 가능하도록 설치되는 표시 장치의 제조 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 프리얼라인부의 표면은 절연처리된 표시 장치의 제조 장치. - 제2 부재를 프리얼라인부에 형성된 적어도 하나 이상의 제2 부재안착홈에 삽입하여 안착시키는 단계;
상기 프리얼라인부를 선형 운동시켜 제1 홀더에 안착된 제1 부재에 접촉시키는 단계;
핀유닛을 작동시켜 상기 제2 부재를 상기 제1 부재에 점 접촉 또는 선 접촉시켜 상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 단계; 및
상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전체면을 부착시키는 단계;를 포함하는 표시 장치의 제조 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 단계는,
상기 프리얼라인부를 상기 제1 부재로부터 멀어지도록 선형 운동시키면서 수행되는 표시 장치의 제조 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 챔버 내부를 진공에서 상압으로 변경시켜 차압에 의하여 부착하는 표시 장치의 제조 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 롤러로 상기 제2 부재를 롤링하여 상기 제1 부재와 상기 제2 부재를 부착시키는 표시 장치의 제조 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 프레스로 상기 제2 부재를 가압하여 상기 제1 부재와 상기 제2 부재를 부착시키는 표시 장치의 제조 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 프리얼라인부와 상기 제1 부재의 위치를 얼라인하는 단계;를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법. - 제 17 항에 있어서,
상기 제2 부재의 일부를 상기 제1 부재에 부착시키는 단계 및 상기 제1 부재와 상기 제2 부재의 전면을 부착시키는 단계는 진공 상태에서 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140127875A KR102241849B1 (ko) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
| US14/726,950 US10439168B2 (en) | 2014-09-24 | 2015-06-01 | Apparatus for manufacturing display device and method of manufacturing display device using the same |
| TW104129807A TWI690105B (zh) | 2014-09-24 | 2015-09-09 | 用於製造顯示裝置的設備及利用其製造顯示裝置的方法 |
| CN201510612233.1A CN105449122B (zh) | 2014-09-24 | 2015-09-23 | 用于制造显示设备的装置和使用其制造显示设备的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020140127875A KR102241849B1 (ko) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20160036184A true KR20160036184A (ko) | 2016-04-04 |
| KR102241849B1 KR102241849B1 (ko) | 2021-04-20 |
Family
ID=55527157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020140127875A KR102241849B1 (ko) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | 표시 장치의 제조 장치 및 이를 이용한 표시 장치의 제조 방법 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US10439168B2 (ko) |
| KR (1) | KR102241849B1 (ko) |
| CN (1) | CN105449122B (ko) |
| TW (1) | TWI690105B (ko) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107170911B (zh) * | 2017-06-23 | 2019-01-04 | 深圳市华星光电技术有限公司 | 一种显示面板的老化测试系统及方法 |
| WO2021245956A1 (ja) * | 2020-06-05 | 2021-12-09 | ローツェ株式会社 | ウエハ搬送装置、およびウエハ搬送方法 |
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- 2015-06-01 US US14/726,950 patent/US10439168B2/en active Active
- 2015-09-09 TW TW104129807A patent/TWI690105B/zh active
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105449122B (zh) | 2019-10-11 |
| US20160088779A1 (en) | 2016-03-24 |
| TW201622206A (zh) | 2016-06-16 |
| US10439168B2 (en) | 2019-10-08 |
| CN105449122A (zh) | 2016-03-30 |
| KR102241849B1 (ko) | 2021-04-20 |
| TWI690105B (zh) | 2020-04-01 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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